JP3337470B2 - 実質的酸素含有量を有するガスの製造方法 - Google Patents
実質的酸素含有量を有するガスの製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、空気から窒素吸着によつて実質的酸素含有
量を有するガスを製造する方法に関し、特にｎ基の複数
吸着器に、期間Ｔに従つて、前記吸着器の各々に、一つ
の吸着器から他の吸着器へとT/nの時間差をもつて、 ａ）空気の送入といわゆる並流方向で高圧ガスを取り出
すことによる、実質的酸素含有量を有する前記ガスの製
造段階、 ｂ）ほぼ0.2×105Pa（絶対圧）のサイクル最低圧力ま
で、大気圧以下の圧力での向流ポンピング最終過程を組
み合わせた減圧段階、 ｃ）酸素富化空気との向流最終再圧縮を組み合わせた再
圧縮段階を、 ｄ）常に少なくとも２基の吸着器が、異なる圧力レベル
で減圧段階のポンピング過程にあるような、吸着器数及
び前記段階それぞれの継続時間で、 順次かつ周期的に行う種類の製造方法に関する。
量を有するガスを製造する方法に関し、特にｎ基の複数
吸着器に、期間Ｔに従つて、前記吸着器の各々に、一つ
の吸着器から他の吸着器へとT/nの時間差をもつて、 ａ）空気の送入といわゆる並流方向で高圧ガスを取り出
すことによる、実質的酸素含有量を有する前記ガスの製
造段階、 ｂ）ほぼ0.2×105Pa（絶対圧）のサイクル最低圧力ま
で、大気圧以下の圧力での向流ポンピング最終過程を組
み合わせた減圧段階、 ｃ）酸素富化空気との向流最終再圧縮を組み合わせた再
圧縮段階を、 ｄ）常に少なくとも２基の吸着器が、異なる圧力レベル
で減圧段階のポンピング過程にあるような、吸着器数及
び前記段階それぞれの継続時間で、 順次かつ周期的に行う種類の製造方法に関する。
上記方法では、大気圧、又は平衡が再圧縮を開始した
吸着器で保証されるならば大気圧よりわずかに低い圧力
から、大気への廃ガスの排出によつて約0.2×105Pa（絶
対圧）の低圧までの減圧の期間中にわたつてポンピング
を行うために、大流量を処理するのに適しているのであ
れば、この圧力レベルでは入口と出口との間でほぼ0.5
×105Paの比較的小さい圧力差しか受け入れないルーツ
（Roots）式の容積形圧縮機が一般に用いられる。より
大きな圧縮比については、２段の容積形圧縮機を用いな
ければならず、圧力が単一の第１段のためにほぼ0.5×1
05Pa（絶対圧）の値まで低下したときに、第２段が第１
段と直列に運転されるので、圧縮機の効率は低下し、ポ
ンピング流量が大きいときには、しばしば多段圧縮機が
用いられる。
吸着器で保証されるならば大気圧よりわずかに低い圧力
から、大気への廃ガスの排出によつて約0.2×105Pa（絶
対圧）の低圧までの減圧の期間中にわたつてポンピング
を行うために、大流量を処理するのに適しているのであ
れば、この圧力レベルでは入口と出口との間でほぼ0.5
×105Paの比較的小さい圧力差しか受け入れないルーツ
（Roots）式の容積形圧縮機が一般に用いられる。より
大きな圧縮比については、２段の容積形圧縮機を用いな
ければならず、圧力が単一の第１段のためにほぼ0.5×1
05Pa（絶対圧）の値まで低下したときに、第２段が第１
段と直列に運転されるので、圧縮機の効率は低下し、ポ
ンピング流量が大きいときには、しばしば多段圧縮機が
用いられる。
したがつてこのやり方は、特にエネルギー消費に関し
て高価であり、大流量の製造装置については実施が困難
である。
て高価であり、大流量の製造装置については実施が困難
である。
本発明は、この種の応用では不可欠である急速なやり
方でのこのような真空減圧を、より少ない設備投資費及
び消費エネルギー費で実施できるある種の構成を目的と
しており、本発明のこの目的は上記ａ）からｄ）の点で
想起される方法において、次の対策を組み合わせること
によつて達成される。
方でのこのような真空減圧を、より少ない設備投資費及
び消費エネルギー費で実施できるある種の構成を目的と
しており、本発明のこの目的は上記ａ）からｄ）の点で
想起される方法において、次の対策を組み合わせること
によつて達成される。
ｅ）ポンピング段階は、T/n又はT/nの約数と等しい全同
一継続時間を複数の副ポンピング段階に分割され、各副
ポンピング段階は、前記副段階の流量及び圧力変化の条
件に特定のポンピング手段と組み合わされる。
一継続時間を複数の副ポンピング段階に分割され、各副
ポンピング段階は、前記副段階の流量及び圧力変化の条
件に特定のポンピング手段と組み合わされる。
ｆ）各ポンピング手段は、前記手段と組み合わされた副
段階を終了した吸着器から、前記副段階の始まる吸着器
の方へ直ちに切換えられる。
段階を終了した吸着器から、前記副段階の始まる吸着器
の方へ直ちに切換えられる。
さらに詳しくは、次の構成のどれかを備えている。
1. ポンピング手段は、ほぼ0.5×105Pa（絶対圧）の下
限より高い圧力値については容積形圧縮機の種類であ
り、前記上限とほぼ0.2×105Pa（絶対圧）の下限との間
に含まれる圧力値については遠心圧縮機の種類である。
限より高い圧力値については容積形圧縮機の種類であ
り、前記上限とほぼ0.2×105Pa（絶対圧）の下限との間
に含まれる圧力値については遠心圧縮機の種類である。
この構成は、入口圧力レベルに関しての容積形圧縮機
の順応性及びさらに大きな圧縮比についての遠心圧縮機
の優れた効率を結合することができる。
の順応性及びさらに大きな圧縮比についての遠心圧縮機
の優れた効率を結合することができる。
2. いくつかの異なつたポンピング手段はすべて容積形
圧縮機型であり、最初の副段階を除いてどのような副ポ
ンピング段階とも対応するポンピング手段は、直列でそ
れのすぐ前の副ポンピング段階のポンピング手段の下流
（ガスの流れ方向に沿つて）に付加された簡単なポンピ
ング手段を有し、与えられた最初の減圧での副ポンピン
グ段階と対応する簡単なポンピング手段の数は、そのす
ぐ前の副ポンピング段階と組み合わされた簡単なポンピ
ング手段の数より一つだけ多く、さらに詳しくは一実施
態様では、副ポンピング段階の数は、２台の主ポンピン
グ手段、及び最後の副ポンピング段階の間に前記各ポン
ピング手段に選択的に接続される１台の簡単なポンピン
グ手段による二つである。
圧縮機型であり、最初の副段階を除いてどのような副ポ
ンピング段階とも対応するポンピング手段は、直列でそ
れのすぐ前の副ポンピング段階のポンピング手段の下流
（ガスの流れ方向に沿つて）に付加された簡単なポンピ
ング手段を有し、与えられた最初の減圧での副ポンピン
グ段階と対応する簡単なポンピング手段の数は、そのす
ぐ前の副ポンピング段階と組み合わされた簡単なポンピ
ング手段の数より一つだけ多く、さらに詳しくは一実施
態様では、副ポンピング段階の数は、２台の主ポンピン
グ手段、及び最後の副ポンピング段階の間に前記各ポン
ピング手段に選択的に接続される１台の簡単なポンピン
グ手段による二つである。
例えばルーツ式の容積形圧縮機を実際にもつぱら使用
することに導くこの構成は、0.5×105Pa（絶対値）又は
それ以下の圧力で、１台又は複数台の他の圧縮機、１段
又は複数段をもつた１台の圧縮機、又は多段主圧縮機の
１段又は複数段を時々１台の主圧縮機に付加することに
よつて、回転機械への投資費を最低限まで減少できる。
することに導くこの構成は、0.5×105Pa（絶対値）又は
それ以下の圧力で、１台又は複数台の他の圧縮機、１段
又は複数段をもつた１台の圧縮機、又は多段主圧縮機の
１段又は複数段を時々１台の主圧縮機に付加することに
よつて、回転機械への投資費を最低限まで減少できる。
3. 副ポンピング段階と同じ数の簡単なポンピング手段
があり、最初の副ポンピング段階は、中間の副段階の間
は並列に、場合によつては直列−並列に接続され、最後
の副ポンピング段階の間は直列に接続され、さらに詳し
くは、副段階の数が二つである実施態様では、並列に配
置され次いで直列に配置される２台の簡単なポンピング
手段と接続される前記簡単なポンピング手段を使用す
る。
があり、最初の副ポンピング段階は、中間の副段階の間
は並列に、場合によつては直列−並列に接続され、最後
の副ポンピング段階の間は直列に接続され、さらに詳し
くは、副段階の数が二つである実施態様では、並列に配
置され次いで直列に配置される２台の簡単なポンピング
手段と接続される前記簡単なポンピング手段を使用す
る。
この構成のために、減圧レベルが適度に留まつている
ときに、例えば並列に接続された２台のポンプを用いる
方向で使用される機材の能力が最高に利用され、このこ
とは排気を著しく速めることができ、一方２台のポンプ
は、減圧が0.5×105Pa（絶対圧）以下に下がるときは直
列に分岐され、このことは大きな圧縮比での運転を可能
にする。本発明による構成は、排気操作を実施するため
の時間の点で大きな利益を、また設置すべき真空ポンプ
の大きさを小さくする点でも利益を得ることができる。
ときに、例えば並列に接続された２台のポンプを用いる
方向で使用される機材の能力が最高に利用され、このこ
とは排気を著しく速めることができ、一方２台のポンプ
は、減圧が0.5×105Pa（絶対圧）以下に下がるときは直
列に分岐され、このことは大きな圧縮比での運転を可能
にする。本発明による構成は、排気操作を実施するため
の時間の点で大きな利益を、また設置すべき真空ポンプ
の大きさを小さくする点でも利益を得ることができる。
本発明は、本発明による設備の第１及び第２実施態
様、並びに本発明による方法を実施するためのポンピン
グ装置の一実施態様をそれぞれ示す第１図から第３図に
関して以下に述べられる。
様、並びに本発明による方法を実施するためのポンピン
グ装置の一実施態様をそれぞれ示す第１図から第３図に
関して以下に述べられる。
第１図の実施態様では、窒素吸着によつて実質的酸素
含有量を有するガスを製造する設備は、周期的に作動す
る弁（図示しない）によつて吸着器１〜５の入口７に接
続された管路６を経て圧縮空気を供給される、ｎ＝５の
５基の吸着器1,2,3,4及び５を用い、そのとき各製品出
口８は、図示しない弁の働きによつて、製造の終了した
及び／又は最初の減圧中の吸着器と再圧縮の開始及び／
又は再圧縮中の吸着器との間の平衡管路９に選択的かつ
周期的に接続される。出口８はまた、製品酸素管路10に
も接続される。
含有量を有するガスを製造する設備は、周期的に作動す
る弁（図示しない）によつて吸着器１〜５の入口７に接
続された管路６を経て圧縮空気を供給される、ｎ＝５の
５基の吸着器1,2,3,4及び５を用い、そのとき各製品出
口８は、図示しない弁の働きによつて、製造の終了した
及び／又は最初の減圧中の吸着器と再圧縮の開始及び／
又は再圧縮中の吸着器との間の平衡管路９に選択的かつ
周期的に接続される。出口８はまた、製品酸素管路10に
も接続される。
有利には製品酸素によるパージー溶離で終る減圧によ
る再生は、大気圧以下の圧力で行われ、そのため吸着器
の各“入口"7から２本の排気ライン、すなわち一方は容
積形圧縮機13に達する11、他方は遠心圧縮機14に達する
12が設けられる。
る再生は、大気圧以下の圧力で行われ、そのため吸着器
の各“入口"7から２本の排気ライン、すなわち一方は容
積形圧縮機13に達する11、他方は遠心圧縮機14に達する
12が設けられる。
再生操作中、各吸着器１〜５はまず、大気圧又はさら
に低い平衡終了時の圧力からほぼ0.5×105Pa（絶対圧）
まで、ライン11を経て容積形圧縮機13の作用を受けさせ
られる。容積形圧縮機13は、取り出すべき流量に応じ
て、一段のみのもの、又は二段、さらにそれ以上の段の
ものである。
に低い平衡終了時の圧力からほぼ0.5×105Pa（絶対圧）
まで、ライン11を経て容積形圧縮機13の作用を受けさせ
られる。容積形圧縮機13は、取り出すべき流量に応じ
て、一段のみのもの、又は二段、さらにそれ以上の段の
ものである。
ほぼ0.5×105の圧力に達するとすぐ、当該吸着器は管
路12に切換えられ、それから0.5×105Pa（絶対圧）から
0.2×105Pa（絶対圧）に減圧するのに特に適した遠心圧
縮機14が作動する。
路12に切換えられ、それから0.5×105Pa（絶対圧）から
0.2×105Pa（絶対圧）に減圧するのに特に適した遠心圧
縮機14が作動する。
この種の製造設備では、サイクルは所定の継続時間Ｔ
を有し、T/n（ｎは吸着器の合計数）と等しい継続時間
の吸着器ポンピング操作は、ポンプ13（又は14）が吸着
器への作用を終つたとき、ポンプが次の吸着器への作用
を開始し、その結果ポンプ13及び14が常に働いているよ
うに、曲型的には等しい継続時間（T/2n）の二つの副段
階に分割される。
を有し、T/n（ｎは吸着器の合計数）と等しい継続時間
の吸着器ポンピング操作は、ポンプ13（又は14）が吸着
器への作用を終つたとき、ポンプが次の吸着器への作用
を開始し、その結果ポンプ13及び14が常に働いているよ
うに、曲型的には等しい継続時間（T/2n）の二つの副段
階に分割される。
第２図を参照すると、酸素製造設備は、管路11及び12
が、弁25,26を経て大気排出管路23,24にそれぞれ排出す
る容積形圧縮機型の主ポンプ21,22にそれぞれ接続され
ているという相違点を除けば第１図で述べた設備と類似
している。ポンプ21（22）とそれと組み合わされた弁25
（26）との間には、弁29（30）をもつた分岐管路27（2
8）が設けられ、分岐管路は２本とも他の圧縮機31（同
様に容積形のが有利）の入口に達し、この圧縮機31は出
口32を経て大気中に排出し、かつ一般的には多段圧縮機
の第２段であり、第１段は圧縮機21又は圧縮機22によつ
て構成される。さらに同じ単一の回転機械は３段を組み
込んでおり、その二つの同一の第１段21,22は、それぞ
れ単独で0.5×105Pa（絶対圧）への減圧を行うのに適し
ており、一方第３段31は、どちらかの段21,22と直列で
0.2×105Pa（絶対圧）への減圧を行うようにすることが
できる。
が、弁25,26を経て大気排出管路23,24にそれぞれ排出す
る容積形圧縮機型の主ポンプ21,22にそれぞれ接続され
ているという相違点を除けば第１図で述べた設備と類似
している。ポンプ21（22）とそれと組み合わされた弁25
（26）との間には、弁29（30）をもつた分岐管路27（2
8）が設けられ、分岐管路は２本とも他の圧縮機31（同
様に容積形のが有利）の入口に達し、この圧縮機31は出
口32を経て大気中に排出し、かつ一般的には多段圧縮機
の第２段であり、第１段は圧縮機21又は圧縮機22によつ
て構成される。さらに同じ単一の回転機械は３段を組み
込んでおり、その二つの同一の第１段21,22は、それぞ
れ単独で0.5×105Pa（絶対圧）への減圧を行うのに適し
ており、一方第３段31は、どちらかの段21,22と直列で
0.2×105Pa（絶対圧）への減圧を行うようにすることが
できる。
作動中この実施態様では、排気管路11は一つの吸着器
に割当てられ、一方排気管路12は他の一つの吸着器に、
当該排気操作間に常にT/2nの遅れをもつて割当てられ
る。排気管路11はまず単一のポンピング段21と接続さ
れ、一方他の管路12は直列に配置された二つのポンピン
グ段22及び31と接続される（弁25及び30は開かれ、弁26
及び29は閉じられる）。継続時間の終了時には管路11が
ほぼ0.5×105Pa（絶対圧）に、管路12がほぼ0.2×105Pa
（絶対圧）になるT/2nと等しい継続時間の経過後、弁が
切換えられ（弁26及び29は開かれ、弁25及び30は閉じら
れ）、その結果ポンピング操作は同一吸着塔について管
路11のレベルで続けられ、一方ポンピング開始操作は次
の吸着塔について開始される。
に割当てられ、一方排気管路12は他の一つの吸着器に、
当該排気操作間に常にT/2nの遅れをもつて割当てられ
る。排気管路11はまず単一のポンピング段21と接続さ
れ、一方他の管路12は直列に配置された二つのポンピン
グ段22及び31と接続される（弁25及び30は開かれ、弁26
及び29は閉じられる）。継続時間の終了時には管路11が
ほぼ0.5×105Pa（絶対圧）に、管路12がほぼ0.2×105Pa
（絶対圧）になるT/2nと等しい継続時間の経過後、弁が
切換えられ（弁26及び29は開かれ、弁25及び30は閉じら
れ）、その結果ポンピング操作は同一吸着塔について管
路11のレベルで続けられ、一方ポンピング開始操作は次
の吸着塔について開始される。
第３図には、モーター35によつて駆動される駆動軸34
に配置された二段ポンプ（第１段54,第２段55）を有す
る、管路53を経て少なくとも１基の吸着器から出る廃ガ
スのポンピング用副集合体の変形実施態様が示されてい
る。ポンプの第１段54は吸引管路53に直接接続された入
口36を有し、一方その送出口37は、一方では管路38によ
つて弁39、大気に41で排出するための消音器40に接続さ
れ、他方では管路42によつて弁43、ポンプの第２段55の
入口44に接続され、第２段55の送出口45は管路46によつ
て直接消音器40に接続される。供給管路53はさらに、一
方では管路47によつて弁48、第２段55の入口44に接続さ
れ、他方では管路49によつて弁50、消音器40に接続され
る。管路42はそれ自身、弁43と第２段55の入口44の間
で、大気に導く消音器40と連通する、弁52をもつた管路
51に接続される。
に配置された二段ポンプ（第１段54,第２段55）を有す
る、管路53を経て少なくとも１基の吸着器から出る廃ガ
スのポンピング用副集合体の変形実施態様が示されてい
る。ポンプの第１段54は吸引管路53に直接接続された入
口36を有し、一方その送出口37は、一方では管路38によ
つて弁39、大気に41で排出するための消音器40に接続さ
れ、他方では管路42によつて弁43、ポンプの第２段55の
入口44に接続され、第２段55の送出口45は管路46によつ
て直接消音器40に接続される。供給管路53はさらに、一
方では管路47によつて弁48、第２段55の入口44に接続さ
れ、他方では管路49によつて弁50、消音器40に接続され
る。管路42はそれ自身、弁43と第２段55の入口44の間
で、大気に導く消音器40と連通する、弁52をもつた管路
51に接続される。
このポンピング用副集合体の作動は次のようである。
ポンピング開始で廃ガス吸引管路53の圧力がほぼ0.5×1
05Paまでは、弁39及び48は開かれ弁50,43及び52は閉じ
られ、そのため二つの段54及び55は、一方（54）は管路
38を経て、他方（55）は管路47によつて供給され管路46
内に送出して、消音器40内に並列で排出する。したがつ
て最大流量が、ほぼ0.5×105Pa（絶対圧）の減圧までポ
ンピングされ得る。ほぼ0.5×105Pa（絶対圧）の減圧が
達成されたとき、弁39及び48は閉じられ、弁50は閉じら
れたままであり、一方弁43及び52は開かれる。そのとき
廃ガスは、これを38,43,42を経て第２段55の入口44に送
出する第１段54にのみ到達し、第２段はこのガスを大気
に排出する消音器40に送出する。そのとき第１段54及び
第２段55は、直列で作動し、そのとき0.2×105Pa（絶対
圧）の最終圧力に容易に到達できる。ポンプ54及び55の
直列の分岐管路と平行な分岐管路の通過が、管路56から
直接ポンプ55の入口へのあまりにも急激な真空化を避け
ていることは注目されよう。そのため例えば弁48及び39
の閉に比べて弁43の開を数十秒遅らせたり、あるいは場
合によつては、非常に短い時間の間開いている管路51及
び弁52を経てわずかな空気を流入させることができる。
ポンピング開始で廃ガス吸引管路53の圧力がほぼ0.5×1
05Paまでは、弁39及び48は開かれ弁50,43及び52は閉じ
られ、そのため二つの段54及び55は、一方（54）は管路
38を経て、他方（55）は管路47によつて供給され管路46
内に送出して、消音器40内に並列で排出する。したがつ
て最大流量が、ほぼ0.5×105Pa（絶対圧）の減圧までポ
ンピングされ得る。ほぼ0.5×105Pa（絶対圧）の減圧が
達成されたとき、弁39及び48は閉じられ、弁50は閉じら
れたままであり、一方弁43及び52は開かれる。そのとき
廃ガスは、これを38,43,42を経て第２段55の入口44に送
出する第１段54にのみ到達し、第２段はこのガスを大気
に排出する消音器40に送出する。そのとき第１段54及び
第２段55は、直列で作動し、そのとき0.2×105Pa（絶対
圧）の最終圧力に容易に到達できる。ポンプ54及び55の
直列の分岐管路と平行な分岐管路の通過が、管路56から
直接ポンプ55の入口へのあまりにも急激な真空化を避け
ていることは注目されよう。そのため例えば弁48及び39
の閉に比べて弁43の開を数十秒遅らせたり、あるいは場
合によつては、非常に短い時間の間開いている管路51及
び弁52を経てわずかな空気を流入させることができる。
本発明は、特定の実施態様に関して述べられてきたけ
れども、本発明はこれに限られるものではなくて、むし
ろ当業者にとつて明らかな修正及び変形を受け入れるも
のである。
れども、本発明はこれに限られるものではなくて、むし
ろ当業者にとつて明らかな修正及び変形を受け入れるも
のである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ペトリー，ウイルフリー フランス国．エフ−75003・パリ．リ ユ・デユ・タンプル．129 (72)発明者 モンロー，クリスチアン フランス国．エフ−75011・パリ．リ ユ・ド・シヤロン．159 (56)参考文献 実開 平４−41715（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C01B 13/02 B01D 53/04 ＥＵＲＯＰＡＴ（ＱＵＥＳＴＥＬ)
Claims (5)
- 【請求項１】ｎ基の複数吸着器（１〜５）によつて、期
間Ｔに従つて前記吸着器のそれぞれに、一つの吸着器か
ら他の吸着器へとT/nの時間差をもつて、 ａ）（６での）空気の送入といわゆる並流方向で（10を
経て）高圧ガスを取り出すことによる、実質的酸素含有
量を有するガスの製造段階、 ｂ）ほぼ0.2×105Pa（絶対圧）のサイクル最低圧力ま
で、大気圧以下の圧力での向流ポンピング（13）（21,2
2,31）（54,55）最終過程を組み合わせた減圧段階、 ｃ）酸素富化空気との向流最終再圧縮を組み合わせた再
圧縮段階を、 ｄ）常に少なくとも２基の吸着器（1,2）（2,3）（3,
4）（4,5）（5,1）が異なる圧力レベルで減圧段階のポ
ンピング過程にあるような吸着器数（ｎ）及び前記段階
それぞれの継続時間で、 順次かつ周期的に行う種類の、空気から窒素吸着によつ
て実質的酸素含有量を有するガスを製造する方法におい
て、 ｅ）ポンピング段階が、T/n又はT/nの約数と等しい全同
一継続時間を複数の副ポンピング段階に分割され、各副
ポンピング段階が、前記副段階の流量及び圧力変化の条
件に特定のポンピング手段（13又は14）（21,又は21と3
1,又は22と31）（並列の54と55、又は直列の54と55）と
組み合わされること、 ｆ）各ポンピング手段が、前記ポンピング手段と組み合
わされた副段階を終了した吸着器（１又は２又は３又は
４又は５）から、前記副段階の始まる吸着器（それぞれ
２又は３又は４又は５又は１）の方へ直ちに切換えられ
ること を特徴とする方法。 - 【請求項２】１台のポンピング手段が、ほぼ0.5×105Pa
（絶対圧）の下限より高い圧力値については容積形圧縮
機型（13）であり、第２ポンピング手段が、前記上限と
ほぼ0.2×105Pa（絶対圧）との間に含まれる圧力値につ
いては遠心圧縮機型（14）であることを特徴とする請求
の範囲第１項記載の方法。 - 【請求項３】いくつかの異なるポンピング手段が、すべ
て容積形圧縮機型（21,22,31）であり、最初の副段階を
除いてどのような副ポンピング段階とも対応するポンピ
ング手段が、直列でそれのすぐ前の副ポンピング段階の
ポンピング手段の下流に付加された簡単なポンピング手
段（21又は22）を有し、与えられた最初の減圧での副ポ
ンピング段階と対応する簡単なポンピング手段の数が、
そのすぐ前の副ポンピング段階と組み合わされた簡単な
ポンピング手段（31）の数より一つだけ多く、与えられ
た最初の減圧での副ポンピング段階と対応する簡単なポ
ンピング手段（21と31のような）の数が、そのすぐ前の
副ポンピング段階と組み合わされた簡単なポンピング手
段（22のような）の数より一つだけ多いことを特徴とす
る請求の範囲第１項記載の方法。 - 【請求項４】副ポンピング段階の数が、２台の最初のポ
ンピング手段（21,22）、及び最後の副ポンピング段階
の間に最初のポンピング手段のそれぞれ（21又は22）と
選択的に接続される１台のポンピング手段（31）による
二つであることを特徴とする請求の範囲第３項記載の方
法。 - 【請求項５】副ポンピング段階と同じ数の簡単なポンピ
ング手段（54,55のような）があり、簡単なポンピング
手段（54,55のような）が、最初の副ポンピング段階の
間は並列に、最後の副ポンピング段階の間は直列に用い
られることを特徴とする請求の範囲第１項記載の方法。
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