JP3329632B2 - マイクロウェーブ用の誘電体セラミック組成物 - Google Patents
マイクロウェーブ用の誘電体セラミック組成物Info
- Publication number
- JP3329632B2 JP3329632B2 JP24446595A JP24446595A JP3329632B2 JP 3329632 B2 JP3329632 B2 JP 3329632B2 JP 24446595 A JP24446595 A JP 24446595A JP 24446595 A JP24446595 A JP 24446595A JP 3329632 B2 JP3329632 B2 JP 3329632B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mol
- pbo
- bao
- composition
- tio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/46—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
- C04B35/462—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はマイクロウェーブ用
の誘電体セラミック（ｃｅｒａｍｉｃ）組成物に関し、
特に、誘電常数が高くて、共振周波数の温度係数が低く
て、品質係数（Ｑｕａｌｉｔｙ ｆａｃｔｏｒ：Ｑ）が
良好なマイクロウェーブ用の誘電体セラミック組成物に
関する。
の誘電体セラミック（ｃｅｒａｍｉｃ）組成物に関し、
特に、誘電常数が高くて、共振周波数の温度係数が低く
て、品質係数（Ｑｕａｌｉｔｙ ｆａｃｔｏｒ：Ｑ）が
良好なマイクロウェーブ用の誘電体セラミック組成物に
関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、車輌用の電話機（ｃａｒ−ｐｈｏ
ｎｅ）、携帯の電話機、無線の電話機、衛星放送受信機
等の無線通信手段が汎用化になることによりマイクロウ
ェーブ回路及び集積回路だけでなくマイクロウェーブ帯
域用のフィルタ（ｆｉｌｔｅｒ）、基板及び電圧調節振
動子（Ｖｏｌｔａｇｅ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ Ｏｓｃ
ｉｌｌａｔｏｒ：ＶＣＯ）等の各種素子らの特性が、向
上なりつつある。
ｎｅ）、携帯の電話機、無線の電話機、衛星放送受信機
等の無線通信手段が汎用化になることによりマイクロウ
ェーブ回路及び集積回路だけでなくマイクロウェーブ帯
域用のフィルタ（ｆｉｌｔｅｒ）、基板及び電圧調節振
動子（Ｖｏｌｔａｇｅ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ Ｏｓｃ
ｉｌｌａｔｏｒ：ＶＣＯ）等の各種素子らの特性が、向
上なりつつある。
【０００３】上記マイクロウェーブ用の素子に利用され
る素材は、誘電常数が大きくて、高周波における品質係
数が５０００以上に高くなければならず、かつ、共振周
波数の温度係数が±５ｐｐｍ／℃程度で低くなければな
らない。
る素材は、誘電常数が大きくて、高周波における品質係
数が５０００以上に高くなければならず、かつ、共振周
波数の温度係数が±５ｐｐｍ／℃程度で低くなければな
らない。
【０００４】したがって、マイクロウェーブ用の素子は
通常、誘電常数が大きいＢａＯ−Ｎｄ2Ｏ3−ＴｉＯ2系
及びＢａＯ−Ｓｍ2Ｏ3−ＴｉＯ2系等のような誘電体セ
ラミックで形成され共振器（ｒｅｓｏｎａｔｏｒ）の形
態になる。
通常、誘電常数が大きいＢａＯ−Ｎｄ2Ｏ3−ＴｉＯ2系
及びＢａＯ−Ｓｍ2Ｏ3−ＴｉＯ2系等のような誘電体セ
ラミックで形成され共振器（ｒｅｓｏｎａｔｏｒ）の形
態になる。
【０００５】上記ＢａＯ−Ｎｄ2Ｏ3−ＴｉＯ2系及びＢ
ａＯ−Ｓｍ2Ｏ3−ＴｉＯ2系等の誘電体セラミックは、
誘電常数（ε）が６０〜８０程度であり、品質係数
（Ｑ）は１ＧＨｚで５０００程度と高いが、共振周波数
の温度係数（τf）が±３０ｐｐｍ／℃程度で非常に大
きいという問題点があった。
ａＯ−Ｓｍ2Ｏ3−ＴｉＯ2系等の誘電体セラミックは、
誘電常数（ε）が６０〜８０程度であり、品質係数
（Ｑ）は１ＧＨｚで５０００程度と高いが、共振周波数
の温度係数（τf）が±３０ｐｐｍ／℃程度で非常に大
きいという問題点があった。
【０００６】また、Ｍｒ．Ｊｕｎｉｃｈｉ ｋａｔｔｏ
等によりＪＡＰＡＮＥＳＥ ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ Ａ
ＰＰＬＩＥＤ ＰＨＹＳＩＣＳ，ＶＯＬ．３０，ＮＯ．
９Ｂ，ｐｐ．２３４３−２３４６（１９９１．１１）に
高い誘電常数を有するＰｂＯ−ＺｒＯ2 ─ＣａＯ系が提
示されている。
等によりＪＡＰＡＮＥＳＥ ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ Ａ
ＰＰＬＩＥＤ ＰＨＹＳＩＣＳ，ＶＯＬ．３０，ＮＯ．
９Ｂ，ｐｐ．２３４３−２３４６（１９９１．１１）に
高い誘電常数を有するＰｂＯ−ＺｒＯ2 ─ＣａＯ系が提
示されている。
【０００７】上記ＰｂＯ−ＺｒＯ2─ＣａＯ系は、誘電
常数が９０以上に高いが、品質係数が１０００から３５
００程度と低くて、３ＧＨｚ以上の高周波では損失係数
が高いので帯域通過フィルタ（Ｂａｎｄ Ｐａｓｓ Ｆ
ｉｌｔｅｒ：ＢＰＦ）及び振圧調節の振動子等の部品損
失が高くになる短点があった。
常数が９０以上に高いが、品質係数が１０００から３５
００程度と低くて、３ＧＨｚ以上の高周波では損失係数
が高いので帯域通過フィルタ（Ｂａｎｄ Ｐａｓｓ Ｆ
ｉｌｔｅｒ：ＢＰＦ）及び振圧調節の振動子等の部品損
失が高くになる短点があった。
【０００８】Ｍｒ．Ｗａｋｉｎｏ等によりＪＯＵＲＮＡ
Ｌ ＯＦ ＡＭＥＲＩＣＡ ＣＥＲＡＭＩＣ ＳＯＣＩ
ＥＴＹ，ＶＯＬ．６７，ＮＯ．４，ｐｐ．２７８−２８
１にＢａＯ−ＰｂＯ−Ｎｄ2Ｏ3−ＴｉＯ2系の組成物が
提示された。
Ｌ ＯＦ ＡＭＥＲＩＣＡ ＣＥＲＡＭＩＣ ＳＯＣＩ
ＥＴＹ，ＶＯＬ．６７，ＮＯ．４，ｐｐ．２７８−２８
１にＢａＯ−ＰｂＯ−Ｎｄ2Ｏ3−ＴｉＯ2系の組成物が
提示された。
【０００９】上記ＢａＯ−ＰｂＯ−Ｎｄ2Ｏ3−ＴｉＯ2
系の組成物は、ＢａＯ−Ｎｄ2Ｏ3−ＴｉＯ2系の組成物
にＰｂＯを添加したことで０．５ＢａＯ−０．５ＰｂＯ
−１．０Ｎｄ2Ｏ3−５．０ＴｉＯ2の組成比を有する。
系の組成物は、ＢａＯ−Ｎｄ2Ｏ3−ＴｉＯ2系の組成物
にＰｂＯを添加したことで０．５ＢａＯ−０．５ＰｂＯ
−１．０Ｎｄ2Ｏ3−５．０ＴｉＯ2の組成比を有する。
【００１０】上記ＢａＯ−ＰｂＯ−Ｎｄ2Ｏ3−ＴｉＯ2
系の組成物は、上記ＰｂＯにより誘電常数が高くになっ
て８５−９０程度になり、品質係数も４０００−５００
０程度で高い。
系の組成物は、上記ＰｂＯにより誘電常数が高くになっ
て８５−９０程度になり、品質係数も４０００−５００
０程度で高い。
【００１１】しかし、ＢａＯ−ＰｂＯ−Ｎｄ2Ｏ3−Ｔｉ
Ｏ2系の組成物の中でＰｂＯの組成比が非常に大きい。
Ｐｂは揮発性が大変強くてＰｂＯ量に比例して揮発され
る量が多くになるので、この組成物として製造された素
子は均一な組成比を有することがむずかしく、しかも製
造工程上、人体に致命的な影響することがあるという問
題点があった。
Ｏ2系の組成物の中でＰｂＯの組成比が非常に大きい。
Ｐｂは揮発性が大変強くてＰｂＯ量に比例して揮発され
る量が多くになるので、この組成物として製造された素
子は均一な組成比を有することがむずかしく、しかも製
造工程上、人体に致命的な影響することがあるという問
題点があった。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、マイ
クロウェーブ用の素子が製造することができるように、
誘電常数と高周波での品質係数とが大きくて、共振周波
数の温度係数が小さいマイクロウェーブ用の誘電体セラ
ミック組成物を提供することにある。
クロウェーブ用の素子が製造することができるように、
誘電常数と高周波での品質係数とが大きくて、共振周波
数の温度係数が小さいマイクロウェーブ用の誘電体セラ
ミック組成物を提供することにある。
【００１３】本発明の他の目的は、ＰｂＯの組成比を小
さくにして人体によくないＰｂの揮発量を小さくにし、
均一な組成比を有する素子を製造することができるマイ
クロウェーブ用の誘電体セラミック組成物を提供するこ
とにある。
さくにして人体によくないＰｂの揮発量を小さくにし、
均一な組成比を有する素子を製造することができるマイ
クロウェーブ用の誘電体セラミック組成物を提供するこ
とにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の一態様によるマイクロウェーブ用の誘電体
セラミック組成物は、ＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2及び
ＰｂＯで成すか、または、上記元素らの化合物で成して
［（ＢａＯ）1-α（ＰｂＯ）α］−ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉ
Ｏ2の組成式を有する。
めの本発明の一態様によるマイクロウェーブ用の誘電体
セラミック組成物は、ＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2及び
ＰｂＯで成すか、または、上記元素らの化合物で成して
［（ＢａＯ）1-α（ＰｂＯ）α］−ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉ
Ｏ2の組成式を有する。
【００１５】ここで、６ｍｏｌ（モル）％＜ｘ＜２０ｍ
ｏｌ％、６ｍｏｌ％＜ｙ＜２０ｍｏｌ％、６０ｍｏｌ％
＜ｚ＜７５ｍｏｌ％及び０ｍｏｌ％＜α＜０．２ｍｏｌ
％である。
ｏｌ％、６ｍｏｌ％＜ｙ＜２０ｍｏｌ％、６０ｍｏｌ％
＜ｚ＜７５ｍｏｌ％及び０ｍｏｌ％＜α＜０．２ｍｏｌ
％である。
【００１６】上記の目的を達成するための本発明の他の
態様によるマイクロウェーブの誘電体セラミック組成物
は、ＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2及びＰｂＯを主成分に
してＳｒＯ，ＺｒＯ2，ＭｎＯ2，ＭｇＯ，ＺｎＯ，Ｂｉ
2Ｏ3，Ｌａ2Ｏ3及びＣｅＯ2等とか上記元素らの化合物
を部成分として選択的に一種類または多種類が添加され
てｘ［（Ｂａｏ）1-α-β（ＰｂＯ）α（ＭＯ）β］−
ｙ［（Ｓｍ2Ｏ3）1-γ-δ（Ｌａ2Ｏ3）γ（Ｃｅ
Ｏ2）δ］−ｚＴｉＯ2の組成式を有する。
態様によるマイクロウェーブの誘電体セラミック組成物
は、ＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2及びＰｂＯを主成分に
してＳｒＯ，ＺｒＯ2，ＭｎＯ2，ＭｇＯ，ＺｎＯ，Ｂｉ
2Ｏ3，Ｌａ2Ｏ3及びＣｅＯ2等とか上記元素らの化合物
を部成分として選択的に一種類または多種類が添加され
てｘ［（Ｂａｏ）1-α-β（ＰｂＯ）α（ＭＯ）β］−
ｙ［（Ｓｍ2Ｏ3）1-γ-δ（Ｌａ2Ｏ3）γ（Ｃｅ
Ｏ2）δ］−ｚＴｉＯ2の組成式を有する。
【００１７】ここで、ＭＯは、ＳｒＯ，ＺｒＯ2，Ｍｎ
Ｏ2，ＭｇＯ，ＺｎＯまたはＢｉ2Ｏ3であり、６ｍｏｌ
％＜ｘ＜２０ｍｏｌ％，６ｍｏｌ％＜ｙ＜２０ｍｏｌ
％，６０ｍｏｌ％＜ｚ＜７５ｍｏｌ％，０ｍｏｌ％＜α
＜０．２ｍｏｌ％，０ｍｏｌ％＜β＜０．３ｍｏｌ％，
０ｍｏｌ％＜γ＜０．３ｍｏｌ％及び０ｍｏｌ％＜δ＜
０．３ｍｏｌ％であり、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００ｍｏｌ％で
ある。
Ｏ2，ＭｇＯ，ＺｎＯまたはＢｉ2Ｏ3であり、６ｍｏｌ
％＜ｘ＜２０ｍｏｌ％，６ｍｏｌ％＜ｙ＜２０ｍｏｌ
％，６０ｍｏｌ％＜ｚ＜７５ｍｏｌ％，０ｍｏｌ％＜α
＜０．２ｍｏｌ％，０ｍｏｌ％＜β＜０．３ｍｏｌ％，
０ｍｏｌ％＜γ＜０．３ｍｏｌ％及び０ｍｏｌ％＜δ＜
０．３ｍｏｌ％であり、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００ｍｏｌ％で
ある。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
【００１９】本発明はＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2及び
ＰｂＯで成すか、または、上記ＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，Ｔｉ
Ｏ2及びＰｂＯを主成分にしてＳｒＯ，ＺｒＯ2，ＭｎＯ
2，ＭｇＯ，ＺｎＯ，Ｂｉ2Ｏ3，Ｌａ2Ｏ3及びＣｅＯ2等
の部成分を選択的に一種類または多種類を添加して誘電
常数と高周波とに品質係数が大きくて共振周波数の温度
係数が小さいマイクロウェーブ用の素子が製造すること
ができる誘電体セラミック組成物を得る。
ＰｂＯで成すか、または、上記ＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，Ｔｉ
Ｏ2及びＰｂＯを主成分にしてＳｒＯ，ＺｒＯ2，ＭｎＯ
2，ＭｇＯ，ＺｎＯ，Ｂｉ2Ｏ3，Ｌａ2Ｏ3及びＣｅＯ2等
の部成分を選択的に一種類または多種類を添加して誘電
常数と高周波とに品質係数が大きくて共振周波数の温度
係数が小さいマイクロウェーブ用の素子が製造すること
ができる誘電体セラミック組成物を得る。
【００２０】ＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2及びＰｂＯを
下記〈表１〉のように秤量して脱イオン水と混合する。
下記〈表１〉のように秤量して脱イオン水と混合する。
【００２１】上述したことを混合する方法としては、パ
ウダ状態のＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2及びＰｂＯと脱
イオン水とをプラスチック（ｐｌａｓｔｉｃ）容器に入
れてジルコニアボール（ｚｉｒｃｏｎｉａ ｂａｌｌ）
で混合するボールミリング（ｂａｌｌ ｍｉｌｌｉｎ
ｇ）方法を利用する。
ウダ状態のＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2及びＰｂＯと脱
イオン水とをプラスチック（ｐｌａｓｔｉｃ）容器に入
れてジルコニアボール（ｚｉｒｃｏｎｉａ ｂａｌｌ）
で混合するボールミリング（ｂａｌｌ ｍｉｌｌｉｎ
ｇ）方法を利用する。
【００２２】上記混合されたパウダは、 ｘ［（ＢａＯ）1-α（ＰｂＯ）α］−ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 の組成を有する。
【００２３】上記組成式に６ｍｏｌ％＜ｘ＜２０ｍｏｌ
％，６ｍｏｌ％＜ｙ＜２０ｍｏｌ％，６０ｍｏｌ％＜ｚ
＜７５ｍｏｌ％及び０ｍｏｌ％＜α＜０．２ｍｏｌ％で
あり、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００ｍｏｌ％である。それから、
上記脱イオン水を蒸発させてパウダを乾燥させた後、こ
の乾燥されたパウダを１０００℃以上の高温で燒結して
結晶構造になるようにして適正量のポリビニールアルコ
ールを添加してジルコニア誘発に混合させる。
％，６ｍｏｌ％＜ｙ＜２０ｍｏｌ％，６０ｍｏｌ％＜ｚ
＜７５ｍｏｌ％及び０ｍｏｌ％＜α＜０．２ｍｏｌ％で
あり、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００ｍｏｌ％である。それから、
上記脱イオン水を蒸発させてパウダを乾燥させた後、こ
の乾燥されたパウダを１０００℃以上の高温で燒結して
結晶構造になるようにして適正量のポリビニールアルコ
ールを添加してジルコニア誘発に混合させる。
【００２４】次に、上記混合された材料を金型と油圧プ
レスとを利用して１０ｍｍ以上の直径と５ｍｍ以上の高
さとを有する円筒型の試片に成形して、この試片をジル
コニアセッタ（ｚｉｒｃｏｎｉａ ｓｅｔｔｅｒ）に置
き、電気爐に焼結する。
レスとを利用して１０ｍｍ以上の直径と５ｍｍ以上の高
さとを有する円筒型の試片に成形して、この試片をジル
コニアセッタ（ｚｉｒｃｏｎｉａ ｓｅｔｔｅｒ）に置
き、電気爐に焼結する。
【００２５】上記成形時１．０ｔｏｎ／ｃｍ2以上の圧
力で遂行して、焼結は空気雰囲気で１２００〜１４００
℃程度の高温で２〜５時間程度遂行する。
力で遂行して、焼結は空気雰囲気で１２００〜１４００
℃程度の高温で２〜５時間程度遂行する。
【００２６】上記のような方法で作られた試片の誘電常
数と品質係数を測定して共振周波数の温度係数を計算し
て〈表１〉に示した。
数と品質係数を測定して共振周波数の温度係数を計算し
て〈表１〉に示した。
【００２７】上記で誘電常数はＨａｋｋｉ−Ｃｏｌｅｍ
ａｎ法で３ＧＨｚの高周波で７８．１〜９３．２程度
に、品質係数は開放型共振技法で上記試片の無負荷時１
ＧＨｚで３９０６〜７１０７程度に測定された。
ａｎ法で３ＧＨｚの高周波で７８．１〜９３．２程度
に、品質係数は開放型共振技法で上記試片の無負荷時１
ＧＨｚで３９０６〜７１０７程度に測定された。
【００２８】又は、共振周波数の温度係数（τf）は下
記式、
記式、
【００２９】
【数１】
【００３０】に求めるが、これは２５℃の温度に対する
共振周波数を基準に２５℃〜１２５℃の温度範囲に対す
ることと大略−１５．１〜＋１４．６ｐｐｍ／℃程度が
なる。
共振周波数を基準に２５℃〜１２５℃の温度範囲に対す
ることと大略−１５．１〜＋１４．６ｐｐｍ／℃程度が
なる。
【００３１】上記式でｆ（１２５）は１２５℃での共振
周波数であり、ｆ（２５）は２５℃での共振周波数にｆ
（２５）とｆ（１２５）は３ＧＨＺを中心に各各の試片
によりすこしずつ差異を有する。
周波数であり、ｆ（２５）は２５℃での共振周波数にｆ
（２５）とｆ（１２５）は３ＧＨＺを中心に各各の試片
によりすこしずつ差異を有する。
【００３２】そして、ΔＴは測定温度の差異に上記式の
場合には１２５℃−２５℃＝１００℃である。
場合には１２５℃−２５℃＝１００℃である。
【００３３】〈表１〉は、 ｘ［（ＢａＯ）1-α（ＰｂＯ）α］−ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 の組成と焼結条件による誘電常数、品質係数及び共振周
波数の温度係数を求めたものである。
波数の温度係数を求めたものである。
【００３４】
【表１】
【００３５】〈表２〉と〈表３〉は、ＢａＯ，Ｓｍ
2Ｏ3，ＴｉＯ2 及びＰｂＯを主成分にして所定量のＢａ
Ｏの代わりにＳｒＯとＺｒＯ2 を副成分に添加して、各
々、 ｘ［（ＢａＯ）1-α-β（ＰｂＯ）α−（ＳｒＯ）β］
−ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 と、 ｘ［（ＢａＯ）1-α-β（ＰｂＯ）α−（ＺｒＯ2）β］
−ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 との組成を有する誘電体セラミック組成物の誘電常数、
品質係数及び共振周波数の温度係数を示したものであ
る。
2Ｏ3，ＴｉＯ2 及びＰｂＯを主成分にして所定量のＢａ
Ｏの代わりにＳｒＯとＺｒＯ2 を副成分に添加して、各
々、 ｘ［（ＢａＯ）1-α-β（ＰｂＯ）α−（ＳｒＯ）β］
−ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 と、 ｘ［（ＢａＯ）1-α-β（ＰｂＯ）α−（ＺｒＯ2）β］
−ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 との組成を有する誘電体セラミック組成物の誘電常数、
品質係数及び共振周波数の温度係数を示したものであ
る。
【００３６】＜表２＞、＜表３＞より、所定量のＢａＯ
代わりにＳｒＯとＺｒＯ2を副成分に添加させることと
誘電常数及び品質係数が増加されて、共振周波数の温度
係数が陽（＋）に移動することがわかる。
代わりにＳｒＯとＺｒＯ2を副成分に添加させることと
誘電常数及び品質係数が増加されて、共振周波数の温度
係数が陽（＋）に移動することがわかる。
【００３７】
【表２】
【００３８】
【表３】
【００３９】＜表４＞は、ＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2
及びＰｂＯを主成分にして所定量のＢａＯの代わりにＭ
ｎＯ2を副成分に添加して ｘ［（ＢａＯ）1-α-β（ＰｂＯ）α−（ＭｎＯ2）β］
−ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 の組成を有する誘電体セラミック組成物の誘電常数、品
質係数及び共振周波数の温度係数を示したものである。
及びＰｂＯを主成分にして所定量のＢａＯの代わりにＭ
ｎＯ2を副成分に添加して ｘ［（ＢａＯ）1-α-β（ＰｂＯ）α−（ＭｎＯ2）β］
−ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 の組成を有する誘電体セラミック組成物の誘電常数、品
質係数及び共振周波数の温度係数を示したものである。
【００４０】＜表４＞より、所定量のＢａＯ代わりにＭ
ｎＯ2を副成分に添加させることで、誘電常数及び品質
係数が増加されて焼結性が向上されて適正焼結温度が１
２００〜１３００℃程度となり上記ＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，
ＴｉＯ2及びＰｂＯの主成分のみで成す組成物より低く
なることがわかる。
ｎＯ2を副成分に添加させることで、誘電常数及び品質
係数が増加されて焼結性が向上されて適正焼結温度が１
２００〜１３００℃程度となり上記ＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，
ＴｉＯ2及びＰｂＯの主成分のみで成す組成物より低く
なることがわかる。
【００４１】
【表４】
【００４２】＜表５＞と＜表６＞は、ＢａＯ，Ｓｍ
2Ｏ3，ＴｉＯ2及びＰｂＯを主成分にして所定量のＢａ
Ｏ代わりにＭｇＯ，ＺｎＯを副成分に添加して、各々、 ｘ［（ＢａＯ）1-α-β（ＰｂＯ）α（ＭｇＯ）β］−
ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 と、 ｘ［（ＢａＯ）1-α-β（ＰｂＯ）α（ＺｎＯ）β］−
ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 の組成を有する誘電体セラミック組成物誘電常数、品質
係数及び共振周波数の温度係数を示したものである。
2Ｏ3，ＴｉＯ2及びＰｂＯを主成分にして所定量のＢａ
Ｏ代わりにＭｇＯ，ＺｎＯを副成分に添加して、各々、 ｘ［（ＢａＯ）1-α-β（ＰｂＯ）α（ＭｇＯ）β］−
ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 と、 ｘ［（ＢａＯ）1-α-β（ＰｂＯ）α（ＺｎＯ）β］−
ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 の組成を有する誘電体セラミック組成物誘電常数、品質
係数及び共振周波数の温度係数を示したものである。
【００４３】＜表５＞、＜表６＞より、所定量のＢａＯ
の代わりにＭｇＯとＺｎＯを副成分に添加させること
で、誘電常数及び品質係数がほぼ同一ながら焼結性が向
上されて適正焼結温度が１２００〜１３００℃程度にな
りＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2及びＰｂＯの主成分のみ
で成る組成物より低くなることがわかる。
の代わりにＭｇＯとＺｎＯを副成分に添加させること
で、誘電常数及び品質係数がほぼ同一ながら焼結性が向
上されて適正焼結温度が１２００〜１３００℃程度にな
りＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2及びＰｂＯの主成分のみ
で成る組成物より低くなることがわかる。
【００４４】
【表５】
【００４５】
【表６】
【００４６】＜表７＞は、ＢａＯ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2
及びＰｂＯを主成分にして所定量のＢａＯの代わりにＢ
ｉ2Ｏ3を副成分に添加して、 ｘ［（ＢａＯ）1-α-β（ＰｂＯ）α（Ｂｉ2Ｏ3）β］
−ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 の組成を有する誘電体セラミック組成物の誘電常数、品
質係数及び共振周波数の温度係数を示われる。
及びＰｂＯを主成分にして所定量のＢａＯの代わりにＢ
ｉ2Ｏ3を副成分に添加して、 ｘ［（ＢａＯ）1-α-β（ＰｂＯ）α（Ｂｉ2Ｏ3）β］
−ｙＳｍ2Ｏ3−ｚＴｉＯ2 の組成を有する誘電体セラミック組成物の誘電常数、品
質係数及び共振周波数の温度係数を示われる。
【００４７】＜表７＞より所定量のＢａＯ代わりにＢｉ
2Ｏ3を副成分に添加させることにより焼結性が向上され
て適正焼結温度が１２００〜１３００℃程度になりＢａ
Ｏ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2及びＰｂＯの主成分のみで成す
組成物より低くなるがＢｉ2Ｏ3が２０ｍｏｌ％以上添加
されれば揮発により組成調節に難しさがある。
2Ｏ3を副成分に添加させることにより焼結性が向上され
て適正焼結温度が１２００〜１３００℃程度になりＢａ
Ｏ，Ｓｍ2Ｏ3，ＴｉＯ2及びＰｂＯの主成分のみで成す
組成物より低くなるがＢｉ2Ｏ3が２０ｍｏｌ％以上添加
されれば揮発により組成調節に難しさがある。
【００４８】
【表７】
【００４９】上記＜表１＞乃至＜表７＞にある組成物で
Ｓｍ2Ｏ3の含有量が増加されることにより品質係数が増
加されるが適定焼結温度が１４００℃以上に高くなり、
又は１８ｍｏｌ％以上になれば共振周波数の温度係数が
陽に移動する。
Ｓｍ2Ｏ3の含有量が増加されることにより品質係数が増
加されるが適定焼結温度が１４００℃以上に高くなり、
又は１８ｍｏｌ％以上になれば共振周波数の温度係数が
陽に移動する。
【００５０】そして、Ｓｍ2Ｏ3の含有量が５ｍｏｌ％以
下でなければ相対的にＴｉＯ2の含有量が増加されて共
振周波数の温度係数が陽に移動される。
下でなければ相対的にＴｉＯ2の含有量が増加されて共
振周波数の温度係数が陽に移動される。
【００５１】又は、上記＜表２＞乃至＜表７＞にある組
成物の組成式で６ｍｏｌ％＜ｘ＜２０ｍｏｌ％，６ｍｏ
ｌ％＜ｙ＜２０ｍｏｌ％，６０ｍｏｌ％＜ｚ＜７５ｍｏ
ｌ％，０ｍｏｌ％＜α＜０．２ｍｏｌ％及び０ｍｏｌ％
＜β＜０．３ｍｏｌ％であり、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００ｍｏ
ｌ％になる。
成物の組成式で６ｍｏｌ％＜ｘ＜２０ｍｏｌ％，６ｍｏ
ｌ％＜ｙ＜２０ｍｏｌ％，６０ｍｏｌ％＜ｚ＜７５ｍｏ
ｌ％，０ｍｏｌ％＜α＜０．２ｍｏｌ％及び０ｍｏｌ％
＜β＜０．３ｍｏｌ％であり、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００ｍｏ
ｌ％になる。
【００５２】＜表８＞＜表９＞及び＜表１０＞は、Ｂａ
Ｏ，Ｓｍ２Ｏ３，ＴｉＯ２およびＰｂＯを主成分にし
て、希土流元素である所定量のＳｍ２Ｏ３代わりに希土
流元素であるＬａ２Ｏ３とＣｅＯ ２ を各各添加すると
か、又はＬａ２Ｏ３とＣｅＯ２を共に副成分に添加し
て、 ｘ［（ＢａＯ）１−α（ＰｂＯ）α］−ｙ［（Ｓｍ２Ｏ
３）１−γ（Ｌａ２Ｏ３）γ］−ｚＴｉＯ２， ｘ［（ＢａＯ）１−α（ＰｂＯ）α］−ｙ［（Ｓｍ２Ｏ
３）１−γ−δ（Ｌａ２Ｏ３）γ（ＣｅＯ ２ ）δ］−ｚ
ＴｉＯ２ の成分を有する誘電体セラミック組成物誘電常数、品質
係数及び共振周波数の温度係数を示したものである。
Ｏ，Ｓｍ２Ｏ３，ＴｉＯ２およびＰｂＯを主成分にし
て、希土流元素である所定量のＳｍ２Ｏ３代わりに希土
流元素であるＬａ２Ｏ３とＣｅＯ ２ を各各添加すると
か、又はＬａ２Ｏ３とＣｅＯ２を共に副成分に添加し
て、 ｘ［（ＢａＯ）１−α（ＰｂＯ）α］−ｙ［（Ｓｍ２Ｏ
３）１−γ（Ｌａ２Ｏ３）γ］−ｚＴｉＯ２， ｘ［（ＢａＯ）１−α（ＰｂＯ）α］−ｙ［（Ｓｍ２Ｏ
３）１−γ−δ（Ｌａ２Ｏ３）γ（ＣｅＯ ２ ）δ］−ｚ
ＴｉＯ２ の成分を有する誘電体セラミック組成物誘電常数、品質
係数及び共振周波数の温度係数を示したものである。
【００５３】＜表８＞＜表９＞及び＜表１０＞により、
所定量のＳｍ2Ｏ3代わりにＬａ2Ｏ3とＣｅＯ2を各各添
加するとか、又は、Ｌａ2Ｏ3とＣｅＯ2を共に副成分に
添加させることにより、誘電常数及び品質係数が向上さ
れて共振周波数の温度係数を安定化させることが出来る
ことがわかる。
所定量のＳｍ2Ｏ3代わりにＬａ2Ｏ3とＣｅＯ2を各各添
加するとか、又は、Ｌａ2Ｏ3とＣｅＯ2を共に副成分に
添加させることにより、誘電常数及び品質係数が向上さ
れて共振周波数の温度係数を安定化させることが出来る
ことがわかる。
【００５４】特に、ＢａＯ代わりにＬａ2Ｏ3が添加され
れば品質係数が増加されるが共振周波数の温度係数が陽
に移動する。
れば品質係数が増加されるが共振周波数の温度係数が陽
に移動する。
【００５５】＜表８＞乃至＜表１０＞に有る組成物の組
成式で６ｍｏｌ％＜ｘ＜２０ｍｏｌ％，６ｍｏｌ％＜ｙ
＜２０ｍｏｌ％，６０ｍｏｌ％＜ｚ＜７５ｍｏｌ％，０
ｍｏｌ％＜α＜０．２ｍｏｌ％，０ｍｏｌ％＜β＜０．
３ｍｏｌ％，０ｍｏｌ％＜γ＜０．３ｍｏｌ％，０ｍｏ
ｌ％＜δ＜０．３ｍｏｌ％であり、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００
ｍｏｌ％になる。
成式で６ｍｏｌ％＜ｘ＜２０ｍｏｌ％，６ｍｏｌ％＜ｙ
＜２０ｍｏｌ％，６０ｍｏｌ％＜ｚ＜７５ｍｏｌ％，０
ｍｏｌ％＜α＜０．２ｍｏｌ％，０ｍｏｌ％＜β＜０．
３ｍｏｌ％，０ｍｏｌ％＜γ＜０．３ｍｏｌ％，０ｍｏ
ｌ％＜δ＜０．３ｍｏｌ％であり、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００
ｍｏｌ％になる。
【００５６】
【表８】
【００５７】
【表９】
【００５８】
【表１０】
【００５９】上記＜表１＞乃至＜表１０＞に示されるよ
うに組成物を１２００〜１４００℃範囲の焼結温度で焼
結すれば８５以上の誘電率と±５ｐｐｍ／℃以内の共振
周波数温度係数を得ることが出来るし、１ＧＨｚ共振周
波数で６０００以上の品質係数を得ることが出来る。
うに組成物を１２００〜１４００℃範囲の焼結温度で焼
結すれば８５以上の誘電率と±５ｐｐｍ／℃以内の共振
周波数温度係数を得ることが出来るし、１ＧＨｚ共振周
波数で６０００以上の品質係数を得ることが出来る。
【００６０】また、上述した＜表１＞乃至＜表１０＞に
ある組成物でＢａＯの含有量を増加させると品質係数が
低くなるが共振周波数の温度係数が増加される。
ある組成物でＢａＯの含有量を増加させると品質係数が
低くなるが共振周波数の温度係数が増加される。
【００６１】また、上記組成物でＴｉＯ2の含有量を増
加させると最適焼結温度が減少して品質係数が増加され
る。
加させると最適焼結温度が減少して品質係数が増加され
る。
【００６２】しかし、ＴｉＯ2の含有量が７５ｍｏｌ％
以上であれば、共振周波数の温度係数は陽に移動され
て、６０％以下であれば、化学組成比が適合でないので
誘電体特性が示されていない、又は、ＰｂＯの含有量が
増加されることにより適正焼結温度が低くなり誘電常数
が増加されるが１５ｍｏｌ％以上になれば、１５ｍｏｌ
％以上になるとＰｂＯの揮発により組成比を正確に調節
することが難しいだけでなく品質係数が低下される。
以上であれば、共振周波数の温度係数は陽に移動され
て、６０％以下であれば、化学組成比が適合でないので
誘電体特性が示されていない、又は、ＰｂＯの含有量が
増加されることにより適正焼結温度が低くなり誘電常数
が増加されるが１５ｍｏｌ％以上になれば、１５ｍｏｌ
％以上になるとＰｂＯの揮発により組成比を正確に調節
することが難しいだけでなく品質係数が低下される。
【００６３】それゆえ、２〜４ｍｏｌ％程度のＰｂＯを
使用して成分元素の揮発による品質係数の低下を防止す
ることが出来るし、組成の調節が容易である。
使用して成分元素の揮発による品質係数の低下を防止す
ることが出来るし、組成の調節が容易である。
【００６４】上記＜表１＞乃至＜表１０＞にある組成物
でＢａＯ代わりにＢａＣＯ3を、ＰｂＯ代わりにＰｂ3Ｏ
4を使用することが出来ることもある。
でＢａＯ代わりにＢａＣＯ3を、ＰｂＯ代わりにＰｂ3Ｏ
4を使用することが出来ることもある。
【００６５】上記で、ＢａＣＯ3は炭素成分が揮発され
ても誘電特性を大きく変化させなく、Ｐｂ3Ｏ4は各各の
組成物が均一に混合されるようにして、誘電特性を大き
く変化させない。
ても誘電特性を大きく変化させなく、Ｐｂ3Ｏ4は各各の
組成物が均一に混合されるようにして、誘電特性を大き
く変化させない。
【００６６】また、３１ｍｏｌ％内外の酸化ＰｂＯとＢ
ｉ2Ｏ3を使用することによって、成分元素の揮発による
品質係数の低下を防止することが出来るし、組成の調節
が容易である。
ｉ2Ｏ3を使用することによって、成分元素の揮発による
品質係数の低下を防止することが出来るし、組成の調節
が容易である。
【００６７】又は、同一な組成で焼結温度が高くなると
誘電常数及び品質係数が少し高くなり、焼結時間が長く
なると誘電常数はほぼ変化がないけれど、品質係数が少
し高くなる。
誘電常数及び品質係数が少し高くなり、焼結時間が長く
なると誘電常数はほぼ変化がないけれど、品質係数が少
し高くなる。
【００６８】従って、本発明によるマイクロウェーブ用
誘電体セラミック組成物は常温で８５℃以上の誘電常
数、±５ｐｐｍ／℃以内の共振周波数の温度係数及び１
ＧＨｚで６０００以上の品質係数を有するのでマイクロ
ウェーブ用フィルター、共振器誘電体、積層セラミック
キャパシタ、電子波障碍ピイルタ用誘電体及びキャパシ
タ用誘電体に利用することが出来る。
誘電体セラミック組成物は常温で８５℃以上の誘電常
数、±５ｐｐｍ／℃以内の共振周波数の温度係数及び１
ＧＨｚで６０００以上の品質係数を有するのでマイクロ
ウェーブ用フィルター、共振器誘電体、積層セラミック
キャパシタ、電子波障碍ピイルタ用誘電体及びキャパシ
タ用誘電体に利用することが出来る。
【００６９】又は、酸化ＰｂＯ及びＢｉ2Ｏ3の揮発に対
する問題点を減らすことが出来るので一般製造工程を使
用することができるし、人体に有害な元素の使用を減ら
すことが出来る長所がある。
する問題点を減らすことが出来るので一般製造工程を使
用することができるし、人体に有害な元素の使用を減ら
すことが出来る長所がある。
【００７０】
【発明の効果】以上のように、本発明の誘電体セラミッ
ク組成物は、誘電常数が大きく、高周波での品質係数が
大きく、しかも、共振周波数の温度係数が小さいので、
マイクロウェーブ用素子を製造するのに適している。
ク組成物は、誘電常数が大きく、高周波での品質係数が
大きく、しかも、共振周波数の温度係数が小さいので、
マイクロウェーブ用素子を製造するのに適している。
【００７１】また、本発明のセラミック組成物は、人体
に対して有害なＰｂＯの組成比が小さいため、通常の製
造工程で素子を製造することが可能であるとともに、均
一な組成比を有する素子を製造することが可能である。
に対して有害なＰｂＯの組成比が小さいため、通常の製
造工程で素子を製造することが可能であるとともに、均
一な組成比を有する素子を製造することが可能である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 李 錫珍 大韓民国大田直轄市儒城区魚隱洞99番地 (72)発明者 崔 太逑 大韓民国大田直轄市儒城区新城洞160− １番地 審査官 武重 竜男 (56)参考文献 特開 昭63−174209（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−162822（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−162823（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−139820（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−275125（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−309927（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−333425（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−325621（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−333422（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−104566（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−290358（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−290359（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−295856（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−295855（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−295854（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−277161（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/42 - 35/50 ＣＡ（ＳＴＮ) ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)
Claims (3)
- 【請求項１】ｘ［（ＢａＯ） １−α−β （ＰｂＯ）
α （ＭＯ） β ］−ｙＳｍ ２ Ｏ ３ −ｚＴｉＯ ２ 、 または、 ｘ［（ＢａＯ） １−α （ＰｂＯ） α ］−ｙ［（Ｓｍ ２ Ｏ
３ ） １−γ−δ （Ｌａ ２ Ｏ ３ ） γ （ＣｅＯ ２ ） δ ］−ｚ
ＴｉＯ ２ の組成式で表されるマイクロウェーブ用誘電体セラミッ
ク組成物。 （ここで、ＭＯは、ＳｒＯ，ＺｒＯ２，Ｍｎ
Ｏ２，ＭｇＯ，ＺｎＯおよびＢｉ２Ｏ３のうちのいずれ
か一つであり、６ｍｏｌ％≦ｘ≦２０ｍｏｌ％，６ｍｏ
ｌ％≦ｙ≦２０ｍｏｌ％，６０ｍｏｌ％≦ｚ≦７５ｍｏ
ｌ％，０ｍｏｌ％＜α≦０．２ｍｏｌ％，０ｍｏｌ％＜
β≦０．３ｍｏｌ％，０ｍｏｌ％≦γ≦０．３ｍｏｌ％
および０ｍｏｌ％＜δ≦０．３ｍｏｌ％であり、ｘ＋ｙ
＋ｚ＝１００ｍｏｌ％である。） - 【請求項２】請求項１において、上記ＢａＯに代えて、
ＢａＣＯ３を用いたマイクロウェーブ用誘電体セラミッ
ク組成物。 - 【請求項３】請求項１において、上記ＰｂＯに代えて、
Ｐｂ３Ｏ４を用いたマイクロウェーブ用誘電体セラミッ
ク組成物。
Applications Claiming Priority (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR94-23883 | 1994-09-22 | ||
| KR1019940023883A KR970005885B1 (ko) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 마이크로웨이브용 유전체 세라믹 조성물 |
| KR94-30097 | 1994-11-16 | ||
| KR1019940030097A KR970008751B1 (ko) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | 마이크로웨이브용 유전체 세라믹 조성물 |
| KR94-33907 | 1994-12-13 | ||
| KR1019940033907A KR970008752B1 (ko) | 1994-12-13 | 1994-12-13 | 마이크로웨이브용 유전체 세라믹 조성물 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08119729A JPH08119729A (ja) | 1996-05-14 |
| JP3329632B2 true JP3329632B2 (ja) | 2002-09-30 |
Family
ID=27349099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24446595A Expired - Lifetime JP3329632B2 (ja) | 1994-09-22 | 1995-09-22 | マイクロウェーブ用の誘電体セラミック組成物 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5750452A (ja) |
| JP (1) | JP3329632B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69818897D1 (de) * | 1997-04-24 | 2003-11-20 | Ngk Spark Plug Co | Dielektrisches Material und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US6107227A (en) * | 1998-08-03 | 2000-08-22 | Cts Corporation | Barium neodymium titanate dielectric ceramic composition incorporating samarium oxide for improved electrical performance |
| JP3840869B2 (ja) * | 1999-10-28 | 2006-11-01 | 株式会社村田製作所 | 高周波用誘電体磁器組成物、誘電体共振器、誘電体フィルタ、誘電体デュプレクサおよび通信機装置 |
| JP2001348270A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-18 | Philips Japan Ltd | 誘電体磁器組成物 |
| KR100514539B1 (ko) * | 2002-12-02 | 2005-09-13 | 전자부품연구원 | 중간 유전율을 가지는 저온 동시소성 세라믹 조성물 및 그 제조방법 |
| EP2957547B1 (en) | 2009-12-16 | 2019-07-31 | Skyworks Solutions, Inc. | Dielectric ceramic materials and associated methods |
| US8835339B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-09-16 | Skyworks Solutions, Inc. | Enhanced high Q material compositions and methods of preparing same |
| US10315959B2 (en) | 2016-09-29 | 2019-06-11 | Skyworks Solutions, Inc. | Temperature compensated dielectric material |
| JP6801517B2 (ja) * | 2017-03-02 | 2020-12-16 | Tdk株式会社 | 誘電体組成物および電子部品 |
| CN111393158A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-07-10 | 湖南大学 | 一种低介电常数微波介质陶瓷及其制备方法 |
| CN112979314B (zh) * | 2021-04-19 | 2022-05-10 | 清华大学 | 一种中等介电常数高q微波介质陶瓷材料及其制备方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5937526B2 (ja) * | 1980-07-01 | 1984-09-10 | 松下電器産業株式会社 | 誘電体磁組成物 |
| US4500942A (en) * | 1982-11-12 | 1985-02-19 | Ferro Corporation | Temperature stable monolithic capacitors and ceramic compositions for producing same |
| JPS59230207A (ja) * | 1983-05-09 | 1984-12-24 | 沖電気工業株式会社 | マイクロ波用誘電体セラミツクス |
| JPH0644405B2 (ja) * | 1985-11-07 | 1994-06-08 | 株式会社住友金属セラミックス | マイクロ波用誘電体磁器組成物 |
| DE69004374T2 (de) * | 1989-08-09 | 1994-02-24 | Oki Electric Ind Co Ltd | Dielektrische Keramik zur Anwendung im Bereich der Mikrowellen. |
| US5256639A (en) * | 1991-01-21 | 1993-10-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dielectric ceramic composition |
| US5264403A (en) * | 1991-09-27 | 1993-11-23 | Ngk Insulators, Ltd. | Dielectric ceramic composition containing ZnO-B2 O3 -SiO2 glass |
| EP0637041B1 (en) * | 1993-07-26 | 1998-04-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dielectric ceramic compositions |
-
1995
- 1995-09-22 JP JP24446595A patent/JP3329632B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-03-03 US US08/804,280 patent/US5750452A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08119729A (ja) | 1996-05-14 |
| US5750452A (en) | 1998-05-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3329632B2 (ja) | マイクロウェーブ用の誘電体セラミック組成物 | |
| EP1279179B1 (en) | Tunable electrical devices comprising cacu3 ti4o12 | |
| JP2000034165A (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| JPH0351042B2 (ja) | ||
| KR100707578B1 (ko) | 마이크로파 유전체 자기 조성물 및 유전체 공진기 | |
| KR0155066B1 (ko) | 고주파용 유전체 자기 조성물 | |
| US5846892A (en) | Ceramic dielectrics and methods for forming the same | |
| JP3253835B2 (ja) | マイクロウェーブ用誘電体セラミック組成物 | |
| JP3325051B2 (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| EP0589441A1 (en) | Composition of dielectric ceramics | |
| US5262370A (en) | Dielectric ceramic compositions | |
| JP4066312B2 (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| KR970005885B1 (ko) | 마이크로웨이브용 유전체 세라믹 조성물 | |
| KR970008711B1 (ko) | 마이크로웨이브용 유전체 세라믹 조성물 | |
| CN1179915C (zh) | 高频介电陶瓷材料及其制备方法 | |
| US5569632A (en) | Compositions of high frequency dielectrics | |
| KR100339097B1 (ko) | 마이크로파용 유전체 조성물 및 그 제조방법 | |
| JP4377482B2 (ja) | 誘電体磁器組成物およびその製造方法 | |
| KR970008751B1 (ko) | 마이크로웨이브용 유전체 세라믹 조성물 | |
| JP2977707B2 (ja) | 高周波用誘電体磁器組成物 | |
| KR970008752B1 (ko) | 마이크로웨이브용 유전체 세라믹 조성물 | |
| JP2624576B2 (ja) | 高周波用誘電体磁器 | |
| KR100415983B1 (ko) | 고주파용 유전체 세라믹 조성물 | |
| JP2579138B2 (ja) | マイクロ波用誘電体組成物 | |
| JP2917476B2 (ja) | 誘電体磁器組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020625 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070719 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080719 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080719 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090719 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100719 Year of fee payment: 8 |