JP3325389B2 - Electron microscope sample equipment - Google Patents
Electron microscope sample equipmentInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、カートリッジタイプの
電子顕微鏡の試料装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cartridge type electron microscope sample apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】電子顕微鏡においては、カートリッジタ
イプの試料装置が使用されている。このような試料装置
を用いて試料を交換して観察するには、以下のように繁
雑な作業を必要とした。2. Description of the Related Art In an electron microscope, a cartridge type sample apparatus is used. In order to observe a sample by exchanging it using such a sample device, a complicated operation is required as follows.
【０００３】まず、カートリッジを試料ホルダから取り
外した後、工具を用いて試料固定ナットをカートリッジ
本体から外してワッシャをカートリッジから取り外す。
そして、試料をメッシュ状部材上から取り除く。そこ
で、新たな試料をメッシュ状部材上に載置し、その上に
ワッシャを配置する。次に、試料固定ナットを工具で回
転させてワッシャをカートリッジ側に締め付けて行き、
メッシュ上に載置された試料をワッシャで押さえつけ
る。このようにして試料をカートリッジ本体上に取り付
けた後、カートリッジ本体を試料ホルダに装着するよう
にしている。First, after the cartridge is removed from the sample holder, the sample fixing nut is removed from the cartridge body using a tool, and the washer is removed from the cartridge.
Then, the sample is removed from the mesh member. Therefore, a new sample is placed on the mesh member, and a washer is placed thereon. Next, rotate the sample fixing nut with a tool and tighten the washer to the cartridge side,
The sample placed on the mesh is pressed down with a washer. After the sample is mounted on the cartridge body in this way, the cartridge body is mounted on the sample holder.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
試料の交換作業は極めて繁雑であるため、短時間に試料
を交換して観察することができないばかりでなく、特別
な工具を必要とする欠点がある。As described above, the conventional work of exchanging a sample is extremely complicated, so that not only can the sample be exchanged and observed in a short time, but also a special tool is required. There are drawbacks.
【０００５】本発明はこのような従来の問題を解決し、
簡単に試料交換を行い得、しかも試料交換に特別な工具
を必要としない電子顕微鏡の試料装置を提供することを
目的としている。The present invention solves such a conventional problem,
It is an object of the present invention to provide a sample device of an electron microscope which can easily perform sample exchange and does not require a special tool for sample exchange.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】そのため第１の発明は、
試料ホルダと、該試料ホルダに脱着自在に装着されるカ
ートリッジ本体と、該カートリッジ本体の先端に形成さ
れたメッシュ状部を備え、該先端部はカートリッジ本体
の厚さより薄く形成されており、この薄く形成された部
分にメッシュ状部が形成されている電子顕微鏡の試料装
置を特徴としている。Means for Solving the Problems Therefore, the first invention is directed to:
A sample holder, a cartridge body detachably mounted to the sample holder, and a mesh-like portion formed at a tip of the cartridge body, wherein the tip is a cartridge body
Is formed thinner than the thickness of the thin portion.
It is characterized by a sample device of an electron microscope in which a mesh-like part is formed in each part .
【０００７】また、第２の本発明は、試料ホルダと、該
試料ホルダに脱着自在に装着されるカートリッジ本体
と、該カートリッジ本体の先端に形成されたメッシュ状
部を備え、該カートリッジ本体はメッシュ状部を含めて
フォトエッチングにより形成されている電子顕微鏡の試
料装置を特徴としている。[0007] A second aspect of the present invention provides a sample holder,
Cartridge body detachably attached to sample holder
And a mesh formed at the tip of the cartridge body
Part, the cartridge body includes a mesh part
It is characterized by a sample device of an electron microscope formed by photoetching .
【０００８】[0008]
【０００９】[0009]
【作用】本発明においては、メッシュ状部がカートリッ
ジ本体の先端に形成されているため、このメッシュ状部
材で試料を容易に掬い上げてメッシュ状部に載置するこ
とができ、試料を簡単に装着できる。In the present invention, since the mesh portion is formed at the tip of the cartridge body, the sample can be easily scooped up by this mesh member and placed on the mesh portion, and the sample can be easily prepared. Can be installed.
【００１０】[0010]
【実施例】図１は本発明の一実施例の平面図であり、図
２は第１図におけるＡ−Ａ´断面を示す図である。両図
において、１はカートリッジ本体を示しており、カート
リッジ本体１は１ｍｍ乃至０．５ｍｍの厚さを有してい
る。カートリッジ本体１は試料ホルダ２に自在に脱着で
きるようになっており、試料ホルダ２にはカートリッジ
本体１を挿入するための挿入孔３が備えられている。挿
入孔３に挿入されるカートリッジ本体１をしっかりと保
持するため、挿入孔３には押さえバネ４が備えられてい
る。カートリッジ本体１にはガイド穴５が備えられてお
り、カートリッジ本体１が挿入孔３の底まで挿入される
と、バネ６によってカートリッジ本体１側に押圧されて
いるボール７がガイド穴５に挿入され、カートリッジ本
体１は試料ホルダ２に安定に固定される。９は前記ボー
ルの移動をガイドするための孔である。カートリッジ本
体１の先端部はカートリッジ本体１の厚さより薄く形成
されており、この部分にメッシュ状部８が形成されてい
る。このカートリッジ本体１より薄く形成されているメ
ッシュ状部８はこのメッシュ状部８により試料を掬い上
げやすいようにカートリッジ本体１から突出して形成さ
れている。このメッシュ状部８は機械加工によって形成
しても良いが、フォトエッチングを利用して形成すると
良い。1 is a plan view of one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a cross section taken along the line AA 'in FIG. In both figures, reference numeral 1 denotes a cartridge main body, and the cartridge main body 1 has a thickness of 1 mm to 0.5 mm. The cartridge body 1 can be freely attached to and detached from the sample holder 2, and the sample holder 2 is provided with an insertion hole 3 for inserting the cartridge body 1. To securely hold the cartridge body 1 inserted into the insertion hole 3, the insertion hole 3 is provided with a holding spring 4. The cartridge body 1 is provided with a guide hole 5. When the cartridge body 1 is inserted to the bottom of the insertion hole 3, the ball 7 pressed toward the cartridge body 1 by the spring 6 is inserted into the guide hole 5. The cartridge body 1 is stably fixed to the sample holder 2. 9 is a hole for guiding the movement of the ball. The tip portion of the cartridge body 1 is formed thinner than the thickness of the cartridge body 1, and a mesh-like portion 8 is formed at this portion. The mesh portion 8 formed thinner than the cartridge body 1 is formed so as to protrude from the cartridge body 1 so that the sample is easily scooped up by the mesh portion 8. The mesh portion 8 may be formed by machining, but is preferably formed by photo-etching.
【００１１】以下、フォトエッチングで形成する場合の
手順について説明する。Hereinafter, a procedure for forming by photo etching will be described.
【００１２】まず、第３図に示すように、基板１０に円
形の凹部Ａをフォトエッチングにより一定の間隔をおい
て多数形成する。そして、次のエッチングにより夫々の
凹部Ａに同心に円形のメッシュ状部Ｂを形成する。次
に、最後のエッチングにより、基板１０からカートリッ
ジ本体１となる部分以外の部分Ｃを除去すると共に、ガ
イド穴５になる部分Ｄを除去する。そこで、通電用に最
後まで残された細いライン状部分Ｆを夫々のカートリッ
ジ本体１から除去すれば、多数のカートリッジ本体１を
低コストで容易に作成することができる。First, as shown in FIG. 3, a large number of circular concave portions A are formed on a substrate 10 at regular intervals by photoetching. Then, a circular mesh portion B is formed concentrically in each recess A by the next etching. Next, by the last etching, the part C other than the part to be the cartridge body 1 is removed from the substrate 10 and the part D to be the guide hole 5 is removed. Therefore, by removing the thin line-shaped portions F remaining until the end for energization from the respective cartridge main bodies 1, a large number of cartridge main bodies 1 can be easily produced at low cost.
【００１３】このようなカートリッジ本体１を用いて試
料を観察するには、ミクロトーム等でスライスされた試
料をその先端のメッシュ状部８で掬い上げる。掬い上げ
られた試料はメッシュ状部８上に載置されるため、カー
トリッジ本体１を試料ホルダー２の挿入孔３に挿入す
る。このようにしてカートリッジ本体１が装着された試
料ホルダー２を図示しない対物レンズ磁極片間に挿入す
れば、試料の電子顕微鏡観察を行うことができる。この
ように、工具等を用いることなくカートリッジ本体１の
先端のメッシュ状部８で試料を掬い上げてメッシュ状部
８に試料を載置できるため、簡単に試料の交換を行う事
が可能になる。In order to observe a sample using such a cartridge body 1, a sample sliced by a microtome or the like is scooped up by a mesh portion 8 at the tip thereof. Since the scooped sample is placed on the mesh portion 8, the cartridge body 1 is inserted into the insertion hole 3 of the sample holder 2. By inserting the sample holder 2 with the cartridge body 1 attached between the magnetic pole pieces of the objective lens (not shown) in this manner, the sample can be observed with an electron microscope. As described above, the sample can be scooped up by the mesh portion 8 at the tip of the cartridge main body 1 without using a tool or the like, and the sample can be placed on the mesh portion 8, so that the sample can be easily replaced. .
【００１４】この実施例に基づく試料装置によれば、前
記メッシュ状部はカートリッジ本体の厚さより薄く形成
されており、この薄く形成された部分がカートリッジ本
体から突出して形成されているため、試料をメッシュ状
部８に容易に掬い上げることができる。According to the sample apparatus of this embodiment, the mesh portion is formed thinner than the thickness of the cartridge main body, and the thinly formed portion is formed to protrude from the cartridge main body. It can be easily scooped up on the mesh portion 8.
【００１５】なお、上述した実施例は本発明の一実施例
にすぎず、変形して実施することができる。例えば、図
４及びそのＡ−Ａ´断面を示す図５に示すように、メッ
シュ状部８を支持する先端部の厚さをカートリッジ本体
１の他の部分と同じ厚さに形成することもできる。The above-described embodiment is merely an embodiment of the present invention, and can be modified and implemented. For example, as shown in FIG. 4 and FIG. 5 showing a cross section taken along the line AA ′, the thickness of the tip end supporting the mesh-like portion 8 can be formed to be the same thickness as other portions of the cartridge body 1. .
【００１６】[0016]
【００１７】第１の発明に基づく試料装置によれば、カ
ートリッジ本体の先端にメッシュ状部が形成され、前記
先端部はカートリッジ本体の厚さより薄く形成されてお
り、この薄く形成された部分にメッシュ状部が形成され
ているため、カートリッジ本体先端部の縁に引っ掛かる
ことなしに容易にメッシュ状部上に試料を掬いあげるこ
とができる。According to the sample device according to the first invention, mosquitoes
A mesh portion is formed at the tip of the cartridge body, and the tip portion is formed thinner than the thickness of the cartridge body. Since the mesh portion is formed at this thinly formed portion, the edge of the cartridge body tip portion is formed. The sample can be easily scooped on the mesh-shaped portion without being caught on the mesh.
【００１８】また、第２の本発明に基づく試料装置によ
れば、極めて低いコストに製造できるカートリッジが提
供され、この種のカートリッジを使い捨てで使用するこ
とが可能になる。According to the second aspect of the present invention, there is provided a cartridge which can be manufactured at extremely low cost, and this kind of cartridge can be used disposably.
【図１】 本発明の一実施例を示すための図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention.
【図２】 図１に示した一実施例のＡ−Ａ´断面を示す
ための図である。FIG. 2 is a view showing a section taken along line AA ′ of the embodiment shown in FIG. 1;
【図３】 カートリッジ本体のフォトエッチングによる
製造過程を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a manufacturing process of the cartridge body by photoetching.
【図４】 本発明の他の一実施例を説明するための図で
ある。FIG. 4 is a diagram for explaining another embodiment of the present invention.
【図５】 図４に示した一実施例のＡ−Ａ´断面を示す
ための図である。FIG. 5 is a diagram showing a cross section taken along line AA ′ of the embodiment shown in FIG. 4;
１：カートリッジ本体 ２：試料ホルダ ３：挿入孔 ４：押さえバネ ５：ガイド穴 ６：バネ ７：ボール ８：メッシュ状部 ９：ガイド孔 Ａ：凹部 1: cartridge body 2: sample holder 3: insertion hole 4: holding spring 5: guide hole 6: spring 7: ball 8: mesh portion 9: guide hole A: concave portion
Claims (2)
装着されるカートリッジ本体と、該カートリッジ本体の
先端に形成されたメッシュ状部を備え、 該先端部はカートリッジ本体の厚さより薄く形成されて
おり、この薄く形成された部分にメッシュ状部が形成さ
れている 電子顕微鏡の試料装置。And 1. A sample holder comprising a cartridge body that is detachably mounted on said sample holder, a mesh-like portion formed at the tip of the cartridge body, the tip portion is thinner than the thickness of the cartridge body hand
And a mesh-like part is formed in this thinly formed part.
Sample devices of the electron microscope being.
装着されるカートリッジ本体と、該カートリッジ本体の
先端に形成されたメッシュ状部を備え、 該カートリッジ本体はメッシュ状部を含めてフォトエッ
チングにより形成されている 電子顕微鏡の試料装置。2. A sample holder and detachably attached to the sample holder.
A cartridge body to be mounted;
The cartridge body includes a mesh-shaped portion formed at the tip, and the cartridge body includes a photo-etched portion including the mesh-shaped portion.
An electron microscope sample device formed by ching .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14769294A JP3325389B2 (en) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | Electron microscope sample equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14769294A JP3325389B2 (en) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | Electron microscope sample equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0817381A JPH0817381A (en) | 1996-01-19 |
| JP3325389B2 true JP3325389B2 (en) | 2002-09-17 |
Family
ID=15436119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14769294A Expired - Fee Related JP3325389B2 (en) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | Electron microscope sample equipment |
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|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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-
1994
- 1994-06-29 JP JP14769294A patent/JP3325389B2/en not_active Expired - Fee Related
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