JP3315315B2 - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JP3315315B2
JP3315315B2 JP18442196A JP18442196A JP3315315B2 JP 3315315 B2 JP3315315 B2 JP 3315315B2 JP 18442196 A JP18442196 A JP 18442196A JP 18442196 A JP18442196 A JP 18442196A JP 3315315 B2 JP3315315 B2 JP 3315315B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路装
置に関し、特に低電圧及び低消費電力で動作するスタテ
ィックランダムアクセスメモリ(以下、SRAMと呼
ぶ。)等の半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体集積回路装置の高密度化及
び大容量化に伴い、低電圧で駆動され、且つ、高速に動
作するSRAM等の半導体集積回路装置が強く望まれて
いる。
【0003】以下、従来の半導体集積回路装置を図面を
参照しながら説明する。
【0004】図31は従来のSRAMのメモリセルを示
した図である。図31において、P1は一方のインバー
タの第1の負荷トランジスタ、P2は他方のインバータ
の第2の負荷トランジスタ、N1は一方のインバータを
駆動する第1の駆動トランジスタ、N2は他方のインバ
ータを駆動する第2の駆動トランジスタ、V1はメモリ
セルの信号電位を保持する第1の記憶ノード、V2は第
1の記憶ノードV1との相補関係の電位を保持する第2
の記憶ノード、WLはアレイ状に配置されたメモリセル
の中から指定されたロウ(=行)方向のメモリセルを活
性化するためのワード線、BLはアレイ状に配置された
メモリセルの中から指定されたコラム(=列)方向のメ
モリセルに対し書き込み動作及び読み出し動作を制御す
るビット線、/BLは書き込み動作時にはビット線BL
と相補の電位になり、読み出し動作時にはビット線BL
と同電位になりビット線BLのリファレンス電位となる
ビット相補線、Vccはメモリセルを動作させる第1の電
源、Vssはメモリセルを動作させる基準電位となる第2
の電源、N3はワード線WLが活性化されたときのみビ
ット線BLにより第1の記憶ノードV1に対して書き込
み動作及び読み出し動作を可能にする第1のスイッチ、
N4はワード線WLが活性化されたときのみビット相補
線/BLにより第2の記憶ノードV2に対して書き込み
動作及び読み出し動作を可能にする第2のスイッチ、I
rはビット線BLにより第1の記憶ノードV1の信号電
位が読み出される際に生じる読み出し電流、Idは第1
の記憶ノードV1の信号電位が読み出される際に第2の
駆動トランジスタが活性化され、第1の電源Vccから第
2の電源Vssに流れる貫通電流である。第1の負荷トラ
ンジスタP1及びそれと対をなす第2の負荷トランジス
タP2と第1の駆動トランジスタN1及びそれと対をな
す第2の駆動トランジスタN2とはフリップフロップ接
続され、第1の記憶ノードV1と第2の記憶ノードV2
との電位が常に逆転されて保持されている。Vccは3V
に設定され、Vssは0Vに設定されている。
【0005】以下、前記のように構成されたメモリセル
の動作を説明する。書き込み動作について説明する。ま
ず、ワード線WLが選択され電位が上がり、第1のスイ
ッチN3及び第2のスイッチN4がオンになる。次に、
第1の電源Vccの電位を保持する状態を「1」と表わ
し、第2の電源Vssの電位を保持する状態を「0」と表
わすことにして、第1の記憶ノードV1に「1」、第2
の記憶ノードV2に「0」を書き込むとすると、ビット
線BLは第1の電源Vccの電位に印加され、ビット相補
線/BLは第2の電源Vssの電位に印加される。このと
き、第1の記憶ノードV1の電位は第1のスイッチN3
を通して印加されているビット線BLの電位である第1
の電源Vccの電位に徐々に近づく。同時に第1の記憶ノ
ードV1と同電位である第2の駆動トランジスタN2の
ゲート電極の電位は徐々に上がり、しきい値電圧を越え
ると第2の駆動トランジスタN2が活性化されて、第2
の記憶ノードV2は第2の電源Vssの電位に徐々に近づ
く。
【0006】また、第2の記憶ノードV2の電位が第2
の電源Vssに近づき、第1の駆動トランジスタN1のし
きい値電圧よりも下がると第1の駆動トランジスタN1
はオフになり、第1の記憶ノードV1の電位は最終的に
第1の電源Vccの電位になって保持される。
【0007】逆に、第1の記憶ノードV1に「0」、第
2の記憶ノードV2に「1」を書き込む場合は、ビット
線BLは第2の電源Vssの電位に印加され、ビット相補
線/BLは第1の電源Vccの電位に印加される。次に、
前記とは逆に、第2の記憶ノードV2の電位がビット相
補線/BLの電位Vccになって保持される。
【0008】次に、読み出し動作について説明する。ま
ず、ワード線WLが選択され電位が上がり、第1のスイ
ッチ及び第2のスイッチがオンになり、ビット相補線/
BL及びビット線BLが選択され、第1の電源Vcc付近
に共にプリチャージされて電位が上がる。
【0009】次に、第1の記憶ノードV1に「0」、第
2の記憶ノードV2に「1」が保持されているとする。
第1の駆動トランジスタN1は第2の記憶ノードV2の
電位が高く活性化されているため、ビット線BLから第
1のスイッチN3を通して第2の電源Vssに対し読み出
し電流Irが流れ、ビット線BLの電位は初期の第1の
電源Vccの電位よりも下がる。
【0010】一方、第2の駆動トランジスタN2は第1
の記憶ノードV1の電位が低くて動作していないため、
ビット相補線/BLには読み出し電流が流れない。従っ
て、ビット相補線/BLの電位は初期の第1の電源Vcc
の電位と変わらない。このときのビット線BLとビット
相補線/BLとの電位差が検出されることにより保持さ
れていたデータが読み出される。
【0011】逆に、第1の記憶ノードV1に「1」、第
2の記憶ノードV2に「0」が保持されている場合は、
ビット相補線/BLに読み出し電流が流れて、ビット相
補線/BLの電位は初期の第1の電源Vccの電位よりも
下がるので、ビット線BLとの電位を比べると前記とは
逆の電位差が発生し、逆のデータが読み出される。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以下に
示すように前記従来のSRAMのメモリセルは2つの問
題点を有していた。
【0013】第1に、読み出し動作時において、第1の
電源Vccと第2の電源Vssとの間に貫通電流Idが生じ
るという問題である。例えば、第1の記憶ノードV1に
「0」、第2の記憶ノードに「1」が保持されていたと
する。前述したように、ワード線が活性化され、第1の
電源Vcc付近にプリチャージされたビット線BLと第2
の電源Vssの電位を保持していた第1の記憶ノードV1
とが接続されると、容量が格段に大きいビット線BLの
電位Vccに引かれて第1の記憶ノードV1の電位は大き
く上昇することになる。従って、第1の記憶ノードV1
に接続されている第2の駆動トランジスタN2のゲート
電極の電位がしきい値電圧を越えるので、オフになって
いた第2の駆動トランジスタN2が活性化されるため、
貫通電流Id が流れる。この貫通電流Id はメモリセル
の消費電力を増加させる原因になっていた。
【0014】さらに、貫通電流Id が流れることによ
り、第2の記憶ノードV2が保持していた第1の電源V
ccの電位が降下するため、第2の記憶ノードV2に接続
されている第1の駆動トランジスタN1のゲート電極の
電位も降下するので、ビット線BLの電位が急速に降下
して必要な読み出し電流Ir が小さくなる。従って、読
み出し電流Ir の値がノイズ電流の値に近くなるので読
み出し動作が不安定になる。この問題は、第1の電源電
圧Vccを低く設定すればするほどノイズマージンが確保
できなくなり、低電圧駆動を妨げる大きな要因となって
いた。
【0015】第2に、読み出し動作終了後において、ワ
ード線WLに接続されている同一行の全てのメモリセル
に接続されたビット相補線/BL及びビット線BLに生
じた電位差を元に戻すためのプリチャージが必要とな
る。特にSRAMやROM(=リードオンリーメモリ)
において並列に接続されているメモリセル数が多いた
め、プリチャージに要する消費電力が大きくなるという
問題を有していた。
【0016】本発明は、前記従来の問題を一挙に解決
し、並列ビット数が大きなSRAMやROMにおいて、
プリチャージに消費する電力を不要にすると共に、メモ
リセルにおける貫通電流を発生させず、また、小振幅伝
送及び電荷の再利用を行なうことにより、低消費電力、
且つ、低電圧で高速に動作ができるようにすることを目
的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明は、ビット線対を接地電位とすることにより
プリチャージに消費する電力を不要にし、読み出し動作
時に選択されたメモリセルに対してインピーダンス検知
用の電流を注入すると共に、メモリセルの駆動トランジ
スタのソース電極の電位に対して逆の電位を保持してい
る記憶ノードをビット線と遮断することにより、貫通電
流を防ぐものであり、また、書き込み動作時にはメモリ
セルのソース線の電位を書き込みデータに応じて接地電
位よりも高くするものである。
【0018】 具体的に本発明に係る第1の半導体集積
回路装置は、データを記憶するメモリセルが行列状に配
設されてなるメモリセルアレイと、前記メモリセルアレ
イの行方向に並ぶメモリセルをロウアドレスにより選択
するロウデコーダと、前記メモリセルアレイの列方向に
並ぶメモリセルをコラムアドレスにより選択するコラム
回路とを備え、前記コラム回路は、前記メモリセルから
データを読み出す際に、前記ロウアドレス及びコラムア
ドレスにより選択されるメモリセルにデータの信号電位
を検出するための電流を注入する検出電流注入手段を有
している。
【0019】 第1の半導体集積回路装置によると、
出電流注入手段は、メモリセルからデータを読み出す際
に、選択されたメモリセルに対してデータの信号電位を
検出するための電流を注入するため、メモリセルのイン
ピーダンスを検知することにより、該インピーダンスの
値に応じて選択されたメモリセルのデータを判定するこ
とができる。
【0020】また、読み出し期間に活性化されたロウ方
向に並ぶメモリセルから信号電位の電荷が流出しないの
で、メモリセルに対するプリチャージを行なう必要がな
くなる。
【0021】 第1の半導体集積回路装置において、
記検出電流注入手段が、メモリセルからデータを読み出
すデータ読み出し期間に、選択された前記メモリセルに
インピーダンスを検知するための電流を注入するセンス
アンプであることが好ましい。
【0022】 このように、検出電流注入手段が、選択
されたメモリセルにインピーダンスを検知するための電
流を注入するセンスアンプであるため、選択されたメモ
リセルの信号電位をインピーダンスの差として確実に検
出することができる。このため、読み出し動作が高速に
且つ確実に行なえるようになる。
【0023】 第1の半導体集積回路装置において、前
記検出電流注入手段がセンスアンプである場合に、前記
センスアンプは、選択された前記メモリセルからデータ
を読み出した後に、該メモリセルに注入された電流を廃
棄することが好ましい。
【0024】 このように、センスアンプは、メモリセ
ルからデータを読み出した後に、選択されたメモリセル
に注入されたインピーダンスを検知するための電流を廃
棄するため、選択されたメモリセルの電位を読み出し前
の状態に戻すことができるので、次の読み出し動作を保
障することができる。
【0025】 また、第1の半導体集積回路装置におい
て、前記検出電流注入手段がセンスアンプである場合
に、前記センスアンプは、第1導電型のトランジスタ対
及び第2導電型のトランジスタ対よりなるインバータ回
路がフリップフロップ接続されてなり、前記第1導電型
のトランジスタ対のソース電極対はアドレスが特定され
た前記メモリセルのデータが入力される入力対となり、
前記第2導電型のトランジスタ対のソース電極対の共通
接点は、所定の活性化信号により制御される第2導電型
の第1のトランジスタを介して電源に接続され、前記イ
ンバータ回路の出力対は前記活性化信号により制御され
る第1導電型の第1のトランジスタ及び第1導電型の第
2のトランジスタを介して前記電源にそれぞれ接続され
ており、前記データ読み出し期間に前記第2導電型の第
1のトランジスタと前記第1導電型の第1及び第2のト
ランジスタとは同時に活性化されないことが好ましい。
【0026】 このように、第2導電型の第1のトラン
ジスタと第1導電型の第1及び第2のトランジスタとは
同時に活性化されないため、センスアンプの活性化信号
がオンになっている期間は入力対のインピーダンス特性
の差を検知する電位差が生じることになり、該活性化信
号がオフになっている期間はフリップフロップ回路が活
性化されて検知した電位差を増幅すると共に、注入され
た電荷を廃棄することができる。
【0027】 第1の半導体集積回路装置において、
記メモリセルアレイは、列方向に並ぶ前記メモリセルを
制御する第1の制御線及び第2の制御線を有しており、
前記コラム回路は、前記メモリセルからデータを読み出
す際に、前記第1の制御線及び第2の制御線に第1の電
位を印加し、前記メモリセルにデータを書き込む際に、
前記第1の制御線に前記第1の電位又は第2の電位を印
加し、且つ、前記第2の制御線に第3の電位を印加する
ビット線制御回路を有していることが好ましい。
【0028】 このように、メモリセルアレイは、列方
向に並ぶ前記メモリセルを制御する第1の制御線及び第
2の制御線を有しており、メモリセルからデータを読み
出す際に、第1の制御線及び第2の制御線に第1の電位
を印加しているため、第1の制御線及び第2の制御線を
接地電位とすることができる。また、メモリセルにデー
タを書き込む際に、第1の制御線に第1の電位又は第2
の電位を印加し、且つ、第2の制御線に第3の電位を印
加するビット線制御回路を有しているため、第1の制御
線にはローのデータ又はハイのデータを印加し、且つ、
第2の制御線に書き込みを制御する制御電位を印加する
ことができるので、記憶ノードに信号電位を確実に書き
込むことができる。
【0029】 第1の半導体集積回路装置において、前
記コラム回路がビット線制御回路を有している場合に、
前記メモリセルは、第1の電源に接続された第1の負荷
トランジスタ、該第1の負荷トランジスタと対をなす第
2の負荷トランジスタ、第2の電源に接続された第1の
駆動トランジスタ及び該第1の駆動トランジスタと対を
なす第2の駆動トランジスタがフリップフロップ接続さ
れてなり、前記第1の負荷トランジスタに接続され、信
号電位を保持する第1の記憶ノードと、前記第2の負荷
トランジスタに接続され、該第1の記憶ノードとは相補
関係の信号電位を保持する第2の記憶ノードと、前記第
1の記憶ノードと前記第1の制御線との間に直列に接続
されており、第3の制御線により制御され、一方のソー
ス/ドレイン電極が前記第1の制御線に接続されている
第1のスイッチトランジスタと、前記第2の制御線によ
り制御され、一方のソース/ドレイン電極が前記第1の
記憶ノードに接続され他方のソース/ドレイン電極が前
記第1のスイッチトランジスタの他方のソース/ドレイ
ン電極に接続されている第2のスイッチトランジスタと
を有し、前記第2のスイッチトランジスタは前記第1の
記憶ノードと前記第1の駆動トランジスタとの間に直列
に接続されていることが好ましい。
【0030】 このように、第2のスイッチトランジス
タは第1の記憶ノードと第1の駆動トランジスタとの間
に直列に接続されているため、第1の記憶ノードが第1
の制御線から遮断されるので、プリチャージの電位を接
地電位に設定できると共に、読み出し期間に第1の制御
線が活性化されても第1の記憶ノードの電位が上昇しな
なる。その結果、メモリセルには貫通電流が流れなく
なるので、低電圧駆動が可能となる。
【0031】 さらにこの場合に、前記第2のスイッチ
トランジスタのしきい値電圧は、前記第1の駆動トラン
ジスタ、第2の駆動トランジスタ及び第1のスイッチト
ランジスタのいずれのしきい値電圧よりも低くなるよう
に設定されていることが好ましい。
【0032】 このように、書き込み動作時に第2の制
御線により活性化される第2のスイッチトランジスタの
しきい値電圧が低くなるよう設定されているため、第2
の制御線に印加される第3の電位よりも高い電位が不要
となるので、消費電力をさらに減少することができる。
【0033】 またこの場合に、前記第2の負荷トラン
ジスタのサイズは、前記第1の負荷トランジスタ及び第
2の駆動トランジスタのいずれのサイズよりも小さくな
るように設定されていることが好ましい。
【0034】 このように、第1の記憶ノードの電位に
より制御される第2の負荷トランジスタのサイズが小さ
く設定されているため、第2の負荷トランジスタの動作
速度が速くなるので、書き込み動作において第1の記憶
ノードにハイのデータ「1」が早く書き込めるようにな
り、アクセス時間を短縮することができる。
【0035】 またこの場合に、前記メモリセルは、前
記第2の記憶ノードと前記第2の電源との間に前記第2
の駆動トランジスタと並列に接続されており、前記第1
のスイッチトランジスタと前記第2のスイッチトランジ
スタとの接続点の電位により制御される第3のスイッチ
トランジスタをさらに有していることが好ましい。
【0036】 このようにすると、第1の制御線により
制御される第3のスイッチトランジスタが第2の記憶ノ
ードと接地電位となる第2の電源との間に接続されるた
め、第3のスイッチトランジスタは第1の記憶ノードに
より制御される第2の駆動トランジスタよりも先に動作
し始めることになるので、第2の記憶ノードが速やかに
基準電位に近づくようになり、アクセス時間を短縮する
ことができる。
【0037】 またこの場合に、前記第1の電源は降圧
回路により降圧されていることが好ましい。
【0038】 このようにすると、メモリセルに印加さ
れる電位は通常の電源電位である第1の電源の電位より
も低くなるため、メモリセルの消費電力を少なくするこ
とができる。また、ソース線の電位が相対的に上昇する
ことになるため、駆動トランジスタの信号電位のラッチ
能力が低下するので、書き込み動作が早くなる。
【0039】 この場合に、前記降圧回路は前記メモリ
セルを構成している全てのトランジスタの導電型が反転
されてなるメモリセルであることが好ましい。
【0040】 このようにすると、導電型が反転された
メモリセルと反転されていないメモリセルとが直列に接
続されるため、通常の電源電位である第1の電源の電位
が印加されることにより、直列接続された2つのメモリ
セルを安定して駆動することができる。その上、直列接
続された2つのメモリセルを通常の電源電位である第1
の電源の電位により駆動することができるため、1つ当
たりのメモリセルの消費電力を少なくすることができ
る。
【0041】 またこの場合に、前記第3の制御線に接
続されているメモリセルの数が前記第1の制御線及び前
記第2の制御線に接続されているメモリセルの数よりも
多くなることが好ましい。
【0042】 このようにすると、第3の制御線に接続
されるメモリセルの数が増え、第1及び第2の制御線対
に接続されるメモリセルの数が減るため、第3の制御線
の本数が少なくなるので、ロウアドレスのデコードを早
く行なえるようになり、アクセス時間を短縮することが
できるので、高速動作が可能となる。 第1の半導体集積
回路装置において、前記コラム回路がビット線制御回路
を有している場合に、前記メモリセルは、第1の電源に
接続された第1の負荷トランジスタ、該第1の負荷トラ
ンジスタと対をなす第2の負荷トランジスタ、第2の電
源に接続された第1の駆動トランジスタ及び該第1の駆
動トランジスタと対をなす第2の駆動トランジスタがフ
リップフロップ接続されてなり、前記第1の負荷トラン
ジスタに接続され、信号電位を保持する第1の記憶ノー
ドと、前記第2の負荷トランジスタに接続され、該第1
の記憶ノードとは相補関係の信号電位を保持する第2の
記憶ノードと、前記第2の記憶ノードと前記第1の制御
線との間に直列に接続されており、前記第3の制御線に
より制御され、一方のソース/ドレイン電極が前記第1
の制御線に接続されている第1のスイッチトランジスタ
と、前記第2の制御線により制御され、一方のソース/
ドレイン電極が前記第2の記憶ノードに接続され他方の
ソース/ドレイン電極が前記第1のスイッチトランジス
タの他方のソース/ドレイン電極に接続されている第2
のスイッチトランジスタと、前記第1のスイッチトラン
ジスタと前記第2の電源との間に直列に接続されてお
り、第1の記憶ノードにより制御される第3のスイッチ
トランジスタとを有していることが好ましい。
【0043】 このように、第2の制御線により制御さ
れ、一方のソース/ドレイン電極が第2の記憶ノードに
接続され他方のソース/ドレイン電極が第1のスイッチ
トランジスタの他方のソース/ドレイン電極に接続され
ている第2のスイッチトランジスタと、第1のスイッチ
トランジスタと第2の電源との間に直列に接続されてお
り、第1の記憶ノードにより制御される第3のスイッチ
トランジスタとを有しているため、第1の記憶ノードが
第1の制御線から遮断されるので、プリチャージの電位
を接地電位に設定できると共に、読み出し時に第1の制
御線が活性化されても第1の記憶ノードの電位が上昇し
なくなる。その結果、メモリセルには貫通電流が流れな
くなるので、低電圧駆動が可能となる。さらに、インバ
ータ内にスイッチトランジスタが直列に接続されていな
いため、その分のノイズマージンを大きくできる。
【0044】 この場合に、前記第1の負荷トランジス
タのサイズは前記第2の負荷トランジスタのサイズより
も小さくなるように設定されていることが好ましい。
【0045】 このように、第2の記憶ノードの電位に
より制御される第1の負荷トランジスタのサイズが小さ
くなるよう設定されているため、第1の負荷トランジス
タの動作速度が速くなるので、書き込み動作において第
2の記憶ノードにハイのデータ「1」が早く書き込める
ようになり、アクセス時間を短縮することができる。
【0046】 またこの場合に、前記メモリセルは、前
記第1の記憶ノードと前記第2の電源との間に前記第1
の駆動トランジスタと並列に接続されており、前記第1
のスイッチトランジスタと前記第2のスイッチトランジ
スタとの接続点の電位により制御される第4のスイッチ
トランジスタをさらに有していることが好ましい。
【0047】 このようにすると、第1の制御線により
活性化され、第1及び第2のスイッチトランジスタの接
続点の電位により制御される第4のスイッチトランジス
タが第1の記憶ノードと接地電位となる第2の電源との
間に接続されるため、第4のスイッチトランジスタは第
2の記憶ノードにより制御される第1の駆動トランジス
タよりも先に動作し始めるので、第1の記憶ノードが速
やかに基準電位に近づくようになり、アクセス時間を短
縮することができる。
【0048】 またこの場合に、前記第1の電源は降圧
回路により降圧されていることが好ましい。
【0049】 このようにすると、メモリセルに印加さ
れる電位は通常の電源電位である第1の電源の電位より
も低くなるため、メモリセルの消費電力を少なくするこ
とができる。また、ソース線の電位が相対的に上昇する
ことになるため、駆動トランジスタの信号電位のラッチ
能力が低下するので、書き込み動作が早くなる。
【0050】 この場合に、前記降圧回路は前記メモリ
セルを構成している全てのトランジスタの導電型が反転
されてなるメモリセルであることが好ましい。
【0051】 このようにすると、導電型が反転された
メモリセルと反転されていないメモリセルとが直列に接
続されるため、通常の電源電位である第1の電源の電位
が印加されることにより、直列接続された2つのメモリ
セルを安定して駆動することができる。また、直列接続
された2つのメモリセルを通常の電源電位である第1の
電源の電位により駆動することができるため、1つ当た
りのメモリセルの消費電力を少なくすることができる。
【0052】 この場合に、前記第3の制御線に接続さ
れているメモリセルの数は前記第1の制御線及び第2の
制御線に接続されているメモリセルの数よりも多くなる
ことが好ましい。
【0053】 このようにすると、第3の制御線に接続
されるメモリセルの数が増え、第2及び第3の制御線対
に接続されるメモリセルの数が減るため、第3の制御線
の本数が少なくなるので、ロウアドレスのデコードを早
く行なえるようになる。その結果、アクセス時間を短縮
することができるので、高速動作が可能となる。
【0054】 本発明に係る第2の半導体集積回路装置
は、メモリセルが行列状に配設されてなるメモリセルア
レイを備えた半導体集積回路装置を対象とし、前記メモ
リセルは、ゲート電極とドレイン電極とがクロスカップ
ルされている第1のトランジスタ及び第2のトランジス
タからなるトランジスタ対を含み、前記メモリセルにデ
ータを書き込む際に、前記トランジスタ対のうちの少な
くともよりオンの状態にあるトランジスタのゲート・ソ
ース間電圧の差の絶対値が小さくなるように前記トラン
ジスタのソース電極の電位を変動させるソース電位変動
手段を備えている。
【0055】 第2の半導体集積回路装置によると、
モリセルにデータを書き込む際に、トランジスタ対のう
ちの少なくともよりオンの状態にあるトランジスタのゲ
ート・ソース間電圧の差の絶対値が小さくなるようにト
ランジスタのソース電極の電位を変動させるソース電位
変動手段を備えているため、トランジスタ対のうちの少
なくともよりオンの状態にあるトランジスタが他のトラ
ンジスタよりもオフの状態になるので、信号電位のラッ
チ能力が低下する。
【0056】 第2の半導体集積回路装置において、
記トランジスタ対はソース電極が共有されていることが
好ましい。このようにすると、ソース電極の電位を容易
に且つ確実に変動させることができる。
【0057】 第2の半導体集積回路装置において、
記トランジスタ対はソース電極が分離されていることが
好ましい。このようにすると、書き込みデータに応じて
信号電位のラッチ能力を低下させることができる。
【0058】 この場合に、前記ソース電位変動手段
は、前記トランジスタ対が、よりオフの状態にある側の
トランジスタのゲート・ソース間電圧の差の絶対値が大
きくなるように前記トランジスタのソース電極の電位を
変動させることが好ましい。
【0059】 このように、ソース電位変動手段は、ト
ランジスタ対が、よりオフの状態にある側のトランジス
タのゲート・ソース間電圧の差の絶対値が大きくなるよ
うにトランジスタのソース電極の電位を変動させるた
め、トランジスタ対のうちの少なくともよりオフの状態
にあるトランジスタが他のトランジスタよりもオンの状
態になるので、信号電位のラッチ能力が低下する。その
結果、記憶ノード対の信号電位のバランスが早く崩れる
ようになるので、書き込み動作を高速に行なえるように
なる。
【0060】 さらにこの場合に、前記メモリセルにお
ける、前記第1のトランジスタはドレイン電極が第1の
記憶ノードに接続された第1の駆動トランジスタであ
り、前記第2のトランジスタはドレイン電極が前記第1
の記憶ノードの相補関係にある第2の記憶ノードに接続
された第2の駆動トランジスタであり、前記メモリセル
は、互いのゲート電極とソース電極とがクロスカップル
され、一方のソース/ドレイン電極が第1の電源に接続
され他方のソース/ドレイン電極が前記第1の記憶ノー
ドに接続された第1の負荷トランジスタと、一方のソー
ス/ドレイン電極が第1の電源に接続され他方のソース
/ドレイン電極が前記第2の記憶ノードに接続された第
2の負荷トランジスタとを有しており、前記ソース電位
変動手段は、第1の記憶ノードに前記第1の駆動トラン
ジスタのソース/ドレイン電極と反対の信号電位を書き
込む際には、前記第3の電源にグラウンド線制御電位を
印加し且つ前記第4の電源に前記第2の電源の電位を印
加すると共に、前記第1の記憶ノードに第1の駆動トラ
ンジスタのソース/ドレイン電極と同じ信号電位を書き
込む際には、前記第3の電源に前記第2の電源の電位を
印加し且つ前記第4の電源に前記グラウンド線制御電位
を印加するグラウンド線制御回路であることが好まし
い。
【0061】 このようにすると、ソース電位変動手段
はグラウンド線制御回路であって、第1の記憶ノードに
第1の駆動トランジスタのソース/ドレイン電極と反対
の信号電位を書き込む際には、第3の電源にグラウンド
線制御電位を印加し且つ第4の電源に第2の電源の電位
を印加すると共に、第1の記憶ノードに第1の駆動トラ
ンジスタのソース/ドレイン電極と同じ信号電位を書き
込む際には、第3の電源に第2の電源の電位を印加し且
つ第4の電源にグラウンド線制御電位を印加するため、
第1又は第2の記憶ノードの信号電位のラッチ能力を確
実に低下させることができる。
【0062】 第2の半導体集積回路装置は、前記メモ
リセルアレイは列方向に並ぶ前記メモリセルを制御する
第1の制御線及び第2の制御線を有しており、前記メモ
リセルからデータを読み出す際に、前記第1の制御線及
び第2の制御線に第1の電位を印加し、前記メモリセル
にデータを書き込む際に、前記第1の制御線に前記第1
の電位又は第2の電位を印加し、且つ、前記第2の制御
線に第3の電位を印加するビット線制御回路を備えてい
ことが好ましい。
【0063】 このように、メモリセルアレイは、列方
向に並ぶ前記メモリセルを制御する第1の制御線及び第
2の制御線を有しており、メモリセルからデータを読み
出す際に、第1の制御線及び第2の制御線に第1の電位
を印加しているため、第1の制御線及び第2の制御線を
接地電位とすることができる。また、メモリセルにデー
タを書き込む際に、第1の制御線に第1の電位又は第2
の電位を印加し、且つ、第2の制御線に第3の電位を印
加するビット線制御回路を有しているため、第1の制御
線にはローのデータ又はハイのデータを印加し、且つ、
第2の制御線に書き込みを制御する制御電位を印加する
ことができるので、記憶ノードに信号電位を確実に書き
込むことができる。
【0064】 第2の半導体集積回路装置がビット線制
御回路を備えている場合に、前記メモリセルは、前記第
1の記憶ノードと前記第1の制御線との間に直列に接続
されており、第3の制御線により制御され、一方のソー
ス/ドレイン電極が前記第1の制御線に接続されている
第1のスイッチトランジスタと、前記第2の制御線によ
り制御され、一方のソース/ドレイン電極が前記第1の
記憶ノードに接続され他方のソース/ドレイン電極が前
記第1のスイッチトランジスタの他方のソース/ドレイ
ン電極に接続されている第2のスイッチトランジスタと
を有し、前記第2のスイッチトランジスタは前記第1の
記憶ノードと前記第1の駆動トランジスタとの間に直列
に接続されていることが好ましい。
【0065】 このように、第2のスイッチトランジス
タは第1の記憶ノードと第1の駆動トランジスタとの間
に直列に接続されているため、第1の記憶ノードが第1
の制御線から遮断されるので、プリチャージの電位を接
地電位に設定できると共に、読み出し期間に第1の制御
線が活性化されても第1の記憶ノードの電位が上昇しな
くなる。その結果、メモリセルには貫通電流が流れなく
なるので、低電圧駆動が可能となる。
【0066】 この場合に、互いに隣接する前記メモリ
セルは前記第3の電源と前記第4の電源とに共通に接続
されていることが好ましい。
【0067】 このように、互いに隣接するメモリセル
は第3の電源線と第4の電源線とを共有しているため、
これらの電源線の本数を減らすことができるので、半導
体基板上の素子のエリアがこれらの電源線により犠牲に
ならない。
【0068】 またこの場合に、前記第2のスイッチト
ランジスタのしきい値電圧は前記第1の駆動トランジス
タ、第2の駆動トランジスタ及び第1のスイッチトラン
ジスタのいずれのしきい値電圧よりも低くなるように設
定されていることが好ましい。
【0069】 このように、書き込み動作時に第2の制
御線により活性化される第2のスイッチトランジスタの
しきい値電圧が低くなるように設定されているため、第
2の制御線が印加される第3の電位よりも高い電位が不
要となるので、消費電力をさらに減少することができ
る。
【0070】 またこの場合に、前記第2の負荷トラン
ジスタのサイズは前記第1の負荷トランジスタ及び第2
の駆動トランジスタのいずれのサイズよりも小さくなる
ように設定されていることが好ましい。
【0071】 このように、第1の記憶ノードの電位に
より制御される第2の負荷トランジスタのサイズが小さ
く設定されているため、第2の負荷トランジスタの動作
速度が速くなるので、書き込み動作において第1の記憶
ノードにハイのデータ「1」が早く書き込めるようにな
り、アクセス時間を短縮することができる。
【0072】 またこの場合に、前記第2の制御線は前
記第3の制御線と平行に配置されており、前記第4の電
源に接続されている電源線と前記第1の制御線とはコラ
ムアドレスをデコードするための前記メモリセルのビッ
ト線対をなすことが好ましい。
【0073】 このようにすると、書き込み時の制御線
となる第2の制御線が第3の制御線に対して平行になる
ように配置されるため、ロウ方向よりもコラム方向に多
くのメモリセルが接続されているメモリセルアレイの場
合には、第2の制御線に接続されるメモリセルの数が減
ることになるので、第2の制御線の容量が下がり、書き
込み動作時の消費電力を少なくすることができる。
【0074】 さらに、書き込み対象となるメモリセル
は第1の制御線及び第2の制御線とが交差するメモリセ
ルに限られることになるため、誤書き込みを防止するこ
とができる。
【0075】 この場合に、前記第2の制御線は複数の
同一コラムの前記メモリセルにより共有されていること
が好ましい。
【0076】 このように、第2の制御線が複数の同一
コラムのメモリセルにより共有されるため、第2の制御
線の本数が減ることになるので、半導体基板上の素子の
エリアが第2の制御線により犠牲にならない。
【0077】 またこの場合に、前記メモリセルは、前
記第2の記憶ノードと前記第4の電源との間に前記第2
の駆動トランジスタと平行に接続されており、前記第1
のスイッチトランジスタと前記第2のスイッチトランジ
スタとの接続点の電位により制御される第3のスイッチ
トランジスタをさらに有していることが好ましい。
【0078】 このようにすると、第1の制御線により
制御される第3のスイッチトランジスタが第2の記憶ノ
ードと接地電位となる第2の電源との間に接続されるた
め、第3のスイッチトランジスタは第1の記憶ノードに
より制御される第2の駆動トランジスタよりも先に動作
し始めるので、第2の記憶ノードが速やかに基準電位に
近づくようになり、アクセス時間を短縮することができ
る。
【0079】 またこの場合に、前記第1の電源は降圧
回路により降圧されていることが好ましい。
【0080】 このようにすると、メモリセルに印加さ
れる電位は通常の電源電位である第1の電源の電位より
も低くなるため、メモリセルの消費電力を少なくするこ
とができる。また、ソース線の電位が相対的に上昇する
ことになるため、駆動トランジスタの信号電位のラッチ
能力が低下するので、書き込み動作が早くなる。
【0081】 この場合に、前記降圧回路は前記メモリ
セルを構成している全てのトランジスタの導電型が反転
されてなるメモリセルであることが好ましい。
【0082】 このようにすると、導電型が反転された
メモリセルと反転されていないメモリセルとが直列に接
続されるため、通常の電源電位であり第1の電源の電位
が印加されることにより、直列接続された2つのメモリ
セルを安定して駆動することができる。また、直列接続
された2つのメモリセルを通常の電源電位である第1の
電源の電位により駆動することができるため、1つ当た
りのメモリセルの消費電力を少なくすることができる。
【0083】 またこの場合に、前記第3の制御線に接
続されているメモリセルの数は前記第1の制御線及び第
2の制御線に接続されているメモリセルの数よりも多く
ることが好ましい。
【0084】 このようにすると、第3の制御線に接続
されるメモリセルの数が増え、第1及び第2の制御線対
に接続されるメモリセルの数が減るため、第3の制御線
の本数が少なくなるので、ロウアドレスのデコードを早
く行なえるようになる。その結果、アクセス時間を短縮
することができるので、高速動作が可能となる。
【0085】 第2の半導体集積回路装置がビット線制
御回路を備えている場合に、前記メモリセルは、前記第
2の記憶ノードと前記第1の制御線との間に直列に接続
されており、前記第3の制御線により制御され、一方の
ソース/ドレイン電極が前記第1の制御線に接続されて
いる第1のスイッチトランジスタと、前記第2の制御線
により制御され、一方のソース/ドレイン電極が前記第
2の記憶ノードに接続され他方のソース/ドレイン電極
が前記第1のスイッチトランジスタの他方のソース/ド
レイン電極に接続されている第2のスイッチトランジス
タと、前記第1のスイッチトランジスタと前記第3の電
源との間に直列に接続されており、前記第1の記憶ノー
ドにより制御される第3のスイッチトランジスタとを有
していることが好ましい。
【0086】 このように、第2の制御線により制御さ
れ、一方のソース/ドレイン電極が第2の記憶ノードに
接続され他方のソース/ドレイン電極が第1のスイッチ
トランジスタの他方のソース/ドレイン電極に接続され
ている第2のスイッチトランジスタと、第1のスイッチ
トランジスタと第2の電源との間に直列に接続されてお
り、第1の記憶ノードにより制御される第3のスイッチ
トランジスタとを有しているため、第1の記憶ノードが
第1の制御線から遮断されるので、プリチャージの電位
を接地電位に設定できると共に、読み出し時に第1の制
御線が活性化されても第1の記憶ノードの電位が上昇し
なくなる。その結果、メモリセルには貫通電流が流れな
くなるので、低電圧駆動が可能となる。さらに、インバ
ータ内にスイッチトランジスタが直列に接続されていな
いため、その分のノイズマージンを大きくすることがで
きる。
【0087】 この場合に、互いに隣接する前記メモリ
セルは前記第3の電源と前記第4の電源とに共通に接続
されていることが好ましい。
【0088】 このように、互いに隣接するメモリセル
は第3の電源線と第4の電源線とを共有しているため、
これらの電源線の本数が減ることになるので、半導体基
板上の素子のエリアがこれらの電源線により犠牲になら
ない。
【0089】 またこの場合に、前記第1の負荷トラン
ジスタのサイズは前記第2の負荷トランジスタのサイズ
よりも小さくなるように設定されていることが好まし
い。
【0090】 このように、第2の記憶ノードの電位に
より制御される第1の負荷トランジスタのサイズが小さ
く設定されているため、第1の負荷トランジスタの動作
速度が速くなるので、書き込み動作において第2の記憶
ノードにハイのデータ「1」が早く書き込めるようにな
り、アクセス時間を短縮することができる。
【0091】 またこの場合に、前記第2の制御線は前
記第3の制御線と平行に配置されており、前記第4の電
源に接続されている電源線と前記第1の制御線とはコラ
ムアドレスをデコードするための前記メモリセルのビッ
ト線対をなすことが好ましい。
【0092】 このように、書き込み時の制御線となる
第2の制御線が第3の制御線に対して平行になるように
配置されるため、ロウ方向よりもコラム方向に多くのメ
モリセルが接続されているメモリセルアレイの場合に
は、第2の制御線に接続されるメモリセルの数が減るこ
とになるので、第2の制御線の容量が下がり、書き込み
動作時の消費電力を少なくすることができる。
【0093】 さらに、書き込み対象となるメモリセル
は第2の制御線と第1の制御線とが交差するメモリセル
に限られることになるため、誤書き込みを防止すること
ができる。
【0094】 この場合に、前記第2の制御線は前記複
数の同一コラムの前記メモリセルにより共有されている
ことが好ましい。
【0095】 このように、第2の制御線が複数の同一
コラムのメモリセルにより共有されるため、第2の制御
線の本数が減ることになるので、半導体基板上の素子の
エリアが第2の制御線により犠牲にならない。
【0096】 またこの場合に、前記メモリセルは、前
記第1の記憶ノードと前記第3の電源との間に前記第1
の駆動トランジスタと並列に接続されており、前記第1
のスイッチトランジスタと前記第2のスイッチトランジ
スタとの接続点の電位により制御される第4のスイッチ
トランジスタをさらに有していることが好ましい。
【0097】 このようにすると、第1の制御線により
活性化され、第1及び第2のスイッチトランジスタの接
続点の電位により制御される第4のスイッチトランジス
タが第1の記憶ノードと接地電位となる第2の電源との
間に接続されるため、第4のスイッチトランジスタは第
2の記憶ノードにより制御される第1の駆動トランジス
タよりも先に動作し始めることになるので、第1の記憶
ノードが速やかに基準電位に近づくようになり、アクセ
ス時間を短縮することができる。
【0098】 またこの場合に、前記第1の電源は降圧
回路により降圧されていることが好ましい。
【0099】 このようにすると、メモリセルに印加さ
れる電位は通常の電源電位である第1の電源の電位より
も低くなるため、メモリセルの消費電力を少なくするこ
とができる。また、ソース線の電位が相対的に上昇する
ことになるため、駆動トランジスタの信号電位のラッチ
能力が低下するので、書き込み動作が早くなる。
【0100】 この場合に、前記降圧回路は前記メモリ
セルを構成している全てのトランジスタの導電型が反転
されてなることが好ましい。
【0101】 このようにすると、導電型が反転された
メモリセルと反転されていないメモリセルとが直列に接
続されるため、通常の電源電位である第1の電源の電位
が印加されることにより、直列接続された2つのメモリ
セルを安定して駆動することができる。その上、直列接
続された2つのメモリセルを通常の電源電位である第1
の電源の電位により駆動することができるため、1つ当
たりのメモリセルの消費電力を少なくすることができ
る。
【0102】 またこの場合に、前記第3の制御線に接
続されているメモリセルの数は前記第1の制御線及び第
2の制御線に接続されているメモリセルの数よりも多く
なることが好ましい。
【0103】 このようにすると、第3の制御線に接続
されるメモリセルの数が増え、第1及び第2の制御線対
に接続されるメモリセルの数が減るため、第3の制御線
の本数が少なくなるので、ロウアドレスのデコードを早
く行なえるようになる。その結果、アクセス時間を短縮
することができるので、高速動作が可能となる。
【0104】 第2の半導体集積回路装置において、
記メモリセルアレイは、列方向に並ぶ前記メモリセルを
制御する第1の制御線及び第2の制御線と、行方向に並
ぶ前記メモリセルを制御する第3の制御線とを有してお
り、前記メモリセルにおける、前記第1のトランジスタ
はドレイン電極が第1の記憶ノードに接続された第1の
駆動トランジスタであり、前記第2のトランジスタはド
レイン電極が前記第1の記憶ノードの相補関係にある第
2の記憶ノードに接続された第2の駆動トランジスタで
あり、前記メモリセルは、互いのゲート電極とソース電
極とがクロスカップルされ、一方のソース/ドレイン電
極が第1の電源に接続され他方のソース/ドレイン電極
が前記第1の記憶ノードに接続された第1の負荷トラン
ジスタと、一方のソース/ドレイン電極が第1の電源に
接続され他方のソース/ドレイン電極が前記第2の記憶
ノードに接続された第2の負荷トランジスタとを有して
おり、前記第1の記憶ノードと前記第1の制御線との間
に直列に接続されており、前記第3の制御線により制御
され、一方のソース/ドレイン電極が前記第1の制御線
に接続されている第1のスイッチトランジスタと、前記
第2の記憶ノードにより制御され、一方のソース/ドレ
イン電極が前記第1のスイッチトランジスタの他方のソ
ース/ドレイン電極に接続されている第2のスイッチト
ランジスタと、前記第2の記憶ノードと前記第2の制御
線との間に直列に接続されており、前記第1の記憶ノー
ドにより制御される第3のスイッチトランジスタと、前
記第1の制御線により制御され、一方のソース/ドレイ
ン電極が前記第3のスイッチトランジスタの一方のソー
ス/ドレイン電極に接続され他方のソース/ドレイン電
極が前記第2の制御線に接続されている第4のスイッチ
トランジスタとを有し、前記第2のスイッチトランジス
タは前記第1の記憶ノードと前記第1の駆動トランジス
タとの間に直列に接続され、前記第3のスイッチトラン
ジスタは前記第2の記憶ノードと前記第2の駆動トラン
ジスタとの間に直列に接続されていることが好ましい。
【0105】 このように、第2の記憶ノードにより制
御され、一方のソース/ドレイン電極が第1のスイッチ
トランジスタのソース/ドレイン電極に接続されている
第2のスイッチトランジスタを有しているため、第1の
記憶ノードが第1の制御線から遮断されるので、プリチ
ャージの電位を接地電位に設定できると共に、読み出し
期間に第1の制御線が活性化されても第1の記憶ノード
の電位が上昇しなくなる。その結果、読み出し時のメモ
リセルには貫通電流が流れなくなるので、低電圧駆動が
可能となる。
【0106】 この場合に、前記メモリセルアレイは、
互いに直列に接続され、第1のメモリセルと、該第1の
メモリセル内の対応する各トランジスタの導電型が反転
された第2のメモリセルとを有し、前記第1のメモリセ
ル及び第2のメモリセルは前記第1の電源の電位のほぼ
半分の電位に印加されることが好ましい。
【0107】 このようにすると、導電型が反転された
メモリセルと反転されていないメモリセルとが直列に接
続されるため、通常の電源電位である第1の電源の電位
が印加されることにより、直列接続された2つのメモリ
セルを安定して駆動することができるので、1つ当たり
のメモリセルの消費電力を少なくすることができる。
【0108】 さらに、基準電位が通常の電源電位のほ
ぼ半分の電位とされるため、ローのデータとなる基準電
位が第1の記憶ノードに書き込まれる際に、第1導電型
のメモリセルにおける第1の制御線に基準電位よりも低
い接地電位が印加され、第2導電型のメモリセルにおけ
る第1の制御線に基準電位よりも高い電源電位が印加さ
れるので、第1又は第2の記憶ノードのラッチ能力は低
して書き込み動作が早く完了し、アクセス時間を短縮
することができる。
【0109】 またこの場合に、前記第1及び第4のス
イッチトランジスタ並びに前記第1及び第2の駆動トラ
ンジスタのうちのいずれのしきい値電圧の絶対値も、前
記第1及び第2の負荷トランジスタ並びに前記第2及び
第3のスイッチトランジスタのしきい値電圧の絶対値よ
りも小さくなるように設定されていることが好ましい。
このように、第1及び第4のスイッチトランジスタ並び
に第1及び第2の駆動トランジスタのうちのいずれのし
きい値電圧の絶対値も、第1及び第2の負荷トランジス
タ並びに第2及び第3のスイッチトランジスタの各しき
い値電圧の絶対値よりも小さくなるように設定されてい
るため、第1の駆動トランジスタ及び第1のスイッチト
ランジスタ並びに第2の駆動トランジスタ及び第4のス
イッチトランジスタの動作が高速になると共に、読み出
し動作も書き込み動作も行なわない期間に発生するスタ
ンバイ電流を抑制することができるので、一層の高速化
及び低消費電力化を図ることができる。
【0110】 またこの場合に、前記メモリセルにおけ
る前記第1、第2及び第3の制御線は読み出し専用の制
御線であり、前記メモリセルアレイは、列方向の前記メ
モリセルにおける書き込み専用の第4の制御線及び第5
の制御線と、行方向の前記メモリセルにおける書き込み
専用の第6の制御線と、前記第6の制御線に制御され、
一方のソース/ドレイン電極が前記第1の記憶ノードに
接続され他方のソース/ドレイン電極が前記第4の制御
線に接続されている第5のスイッチトランジスタと、前
記第6の制御線に制御され、一方のソース/ドレイン電
極が前記第2の記憶ノードに接続され他方のソース/ド
レイン電極が前記第5の制御線に接続されている第6の
スイッチトランジスタとを有しており、前記第1及び第
4のスイッチトランジスタ、前記第1及び第2の駆動ト
ランジスタ並びに前記第5及び第6のスイッチトランジ
スタのうちのいずれのしきい値電圧の絶対値も、前記第
1及び第2の負荷トランジスタ並びに前記第2及び第3
のスイッチトランジスタの各しきい値電圧の絶対値より
も小さくなるように設定されていることが好ましい。こ
のように、第1、第2及び第3の制御線は読み出し専用
の制御線として用い、さらに、メモリセルアレイに列方
向のメモリセルにおける書き込み専用の第4の制御線及
び第5の制御線と、行方向のメモリセルにおける書き込
み専用の第6の制御線と、第1の記憶ノードに接続され
ている第5のスイッチトランジスタと、第2の記憶ノー
ドに接続されている第6のスイッチトランジスタとが新
たに設けられているため、読み出し動作と書き込み動作
とを同時に行なうことができる。また、第1及び第4の
スイッチトランジスタ、第1及び第2の駆動トランジス
タ並びに第5及び第6のスイッチトランジスタのうちの
いずれのしきい値電圧の絶対値も、第1及び第2の負荷
トランジスタ並びに第2及び第3のスイッチトランジス
タのしきい値電圧の絶対値よりも小さくなるように設定
されているため、読み出し時には第1の駆動トランジス
タ及び第1のスイッチトランジスタ並びに第2の駆動ト
ランジスタ及び第4のスイッチトランジスタの動作が高
速になり、書き込み時には第5及び第6のスイッチトラ
ンジスタの動作が高速になると共に、読み出し動作も書
き込み動作も行なわない期間に発生するスタンバイ電流
を抑制することができる。その結果、一層の高速化及び
低消費電力化を図ることができる。
【0111】
【発明の実施の形態】本発明に係る半導体集積回路装置
における読み出し動作及び書き込み動作の基本思想を図
面に基づいて説明する。
【0112】まず、読み出し動作の基本思想を説明す
る。
【0113】図32は従来のSRAM装置における読み
出し時の電流の流れを模式的に表わしている。図32
(a)に示す第1の従来型SRAMは、図32(b)の
タイミングチャートに示すプリチャージ期間に選択非選
択に関わらずプリチャージ電源からメモリセルアレイの
すべてのビット線に対して電荷を供給した後に、読み出
し期間においてもメモリセルアレイのすべてのビット線
から電荷を廃棄し、外部から入力されたコラムアドレス
をもとにして選択スイッチにより選択されたビット線の
電荷のみをアンプを通して増幅している。従って、第1
の従来型SRAMはプリチャージの消費電流はその一部
が使用されるのみで効率が非常に悪かった。
【0114】また、図32(c)に示す第2の従来型S
RAM装置は、コラムアドレスをもとにして第1の選択
スイッチによりメモリセルアレイの選択されたビット線
にのみ電流を供給し、供給する電流量を減らして効率を
高めている。
【0115】図23は本発明に係るSRAM半導体集積
回路装置における読み出し時の電流の流れを模式的に表
わしている。図23(b)のタイミングチャートに示す
ように、読み出し期間に後述するセンスアンプの活性化
信号XSAがオンとなり、図23(a)に示すように、
選択されたメモリセルに該センスアンプ側からビット線
対のインピーダンスの差を検知できる程度の電流を注入
する。これにより、図23(b)に示すように、メモリ
セルの信号電位に応じて、例えば選択されたビット線対
のうち一方のビット線が接地され、他方のビット線(=
ビット相補線)が接地されないような場合は、ビット相
補線の電位が上昇することになる。この微小な電位差を
センスアンプにより読み出した後、センスアンプの活性
化信号XSAはオフとなるため、センスアンプの活性化
信号XSAの反転信号であって、後述するセンスアンプ
のイコライズ信号EQにより選択されたビット線対を強
制的に接地することにより注入された電荷を廃棄してい
る。
【0116】これにより、選択されたメモリセルにセン
スアンプ側からビット線対のインピーダンスの差を検知
できる程度の電流、すなわちメモリセルを構成するトラ
ンジスタのしきい値電圧程度の電位差で十分な電流を供
給し、検知したインピーダンスの差により信号電位を判
定しているため、高速に読み出し動作を行なうことがで
きる。
【0117】また、プリチャージに要する電源回路及び
電力が不要となるため、低消費電力化を図ることができ
る。
【0118】なお、非選択のビット線を接地している
が、本発明に係るメモリセルは記憶ノードに保持されて
いる信号電位が破壊されない構成を備えていることはい
うまでもない。
【0119】次に、書き込み動作の基本思想を説明す
る。
【0120】図33は従来のSRAMにおける書き込み
動作を模式的に表わしている。図33において、SRA
Mにおけるメモリセルのインバータ対のうちのソース線
がローデータの保持電源となる接地電位Vssに接続され
る第1の駆動トランジスタN1及び第2の駆動トランジ
スタN2のみを抜き出してクロスカップルトランジスタ
として図示したものであり、データを保持するノードを
第1の記憶ノードV1と、第2の記憶ノードV2とす
る。
【0121】まず、第1の記憶ノードV1に信号電位0
Vのローデータを書き込む場合は、図33に示すよう
に、書き込み前の第1の記憶ノードV1の信号電位が2
Vのハイデータであるとすると、第1及び第2の記憶ノ
ードV1,V2の信号電位のバランスを崩す方法とし
て、第1の記憶ノードV1から第1のスイッチトランジ
スタN3を通して信号電位の電荷を引き抜くことが考え
られる。書き込み前の第1の駆動トランジスタN1のゲ
ート・ソース間電圧Vgs(N1)は0Vであり、第2の
駆動トランジスタN2のゲート・ソース間電圧Vgs(N
2)は2Vである。従って、第1の駆動トランジスタN
1はオフの状態であり、第2の駆動トランジスタN2は
オンの状態である。書き込み動作が始まると、第1の記
憶ノードV1の電位は徐々に下がり始めるため、第1の
記憶ノードV1にゲート電極が接続されている第2の駆
動トランジスタN2が徐々にオフとなる。
【0122】このような逆転書き込みが完了するには、
第1及び第2の駆動トランジスタN1,N2のゲート・
ソース間電圧Vgsの電位差は2Vであるため、第1の駆
動トランジスタN1のゲート・ソース間電圧Vgs(N
1)が2Vに、第2の駆動トランジスタN2のゲート・
ソース間電圧Vgs(N2)が0Vになる必要がある。
【0123】図24は本発明に係るSRAM半導体集積
回路装置における書き込み時のクロスカップルトランジ
スタのソース線の電位を模式的に表わしている。図24
(a)に示すように、図33と同様の構成をとるメモリ
セルを対象にして、第1の記憶ノードV1にローデータ
を書き込む場合を考える。図24(a)に示すように、
書き込み前の第1の記憶ノードV1の信号電位が2Vの
ハイデータであるとすると、ローデータの書き込み時に
クロスカップルトランジスタの共通ソース線の電位Vm
を1Vとし接地電位Vssよりも高く設定する。
【0124】これにより、第1の駆動トランジスタN1
のゲート・ソース間電圧Vgs(N1)が0Vになり、第
2の駆動トランジスタN2のゲート・ソース間電圧Vgs
(N2)が1Vになる。
【0125】この逆転書き込みが完了するには、第1及
び第2の駆動トランジスタN1,N2のゲート・ソース
間電圧Vgsの電位差は1Vであるため、第1の駆動トラ
ンジスタN1のゲート・ソース間電圧Vgs(N1)が1
Vに、第2の駆動トランジスタN2のゲート・ソース間
電圧Vgs(N2)が0Vになるように1Vの電位差が生
ずるだけでよく、第1の駆動トランジスタN1のラッチ
能力が下がるため、第1の記憶ノードV1と第2の記憶
ノードV2との電位のバランスが早く崩れるので、書き
込み動作が従来よりも速やかに完了することになる。
【0126】また、図24(b)に示すメモリセルにお
けるクロスカップルトランジスタはそれぞれのソース線
が分離されており、書き込みデータに応じて、クロスカ
ップルトランジスタの各記憶ノードのラッチ能力を弱め
る方向にそれぞれのソース線の電位を印加することによ
り、第1の記憶ノードV1と第2の記憶ノードV2との
電位のバランスを早く崩すようにしている。
【0127】例えば、第1の記憶ノードV1にローデー
タを書き込む場合を考える。図24(b)に示すよう
に、書き込み前の第1の記憶ノードV1の信号電位が2
Vのハイデータであるとすると、ローデータの書き込み
時にクロスカップルトランジスタの第1のソース線の電
位Vm1を接地電位の0Vに、第2のソース線の電位Vm2
を1Vにそれぞれ印加する。
【0128】これにより、第1の駆動トランジスタN1
のゲート・ソース間電圧Vgs(N1)が1Vになり、第
2の駆動トランジスタN2のゲート・ソース間電圧Vgs
(N2)も1Vになる。
【0129】図24(a)に示す共通ソース線の場合
は、オフからオンにさせたい第1の駆動トランジスタN
1の書き込み前のゲート・ソース間電圧Vgs(N1)が
0Vであったが、図24(b)に示す分離型ソース線の
場合は、第1の駆動トランジスタN1の書き込み前のゲ
ート・ソース間電圧Vgs(N1)が1Vとなっているた
め、第1の駆動トランジスタN1はオンになるのが早く
なるので、第1の記憶ノードV1と第2の記憶ノードV
2との電位のバランスが早く崩れるようになる。その結
果、一層高速に書き込み動作を行なうことができる。
【0130】以下、本発明の具体的な実施形態を図面に
基づいて順次説明する。まず、本発明に係る半導体集積
回路装置の全体図及び周辺の各制御装置を説明した後、
各実施形態について説明する。
【0131】図25は本発明に係る半導体集積回路装置
の全体構成図である。図25に示す半導体集積回路装置
は、SRAMとなるメモリセルがロウ方向にn個(nは
正の整数を示す。以下同じ。)、コラム方向にm個(m
は正の整数とする。以下同じ。)のn行m列の行列状に
合計(n×m)個配置され、指定されたロウアドレスに
よりワード線WL(m)を選択するロウデコーダと、指
定されたコラムアドレスAddによりビット線対BL
(n),/BL(n)を選択して読み出し動作及び書き
込み動作を行なったり、メモリセルの独立したグラウン
ド線に印加する第3の電源Vs1(n)及び第4の電源V
s2(n)を選択したりするコラム回路と、コラム回路に
対して書き込みデータDin、読み出しデータDout 及び
読み出し参照データ/Dout の制御を行なう入出力デー
タ制御回路と、コラム回路に対して読み出し要求/WE
又は書き込み要求WEを指示するリード/ライト切り替
え制御回路と、コラム回路に対してセンスアンプの活性
化信号XSA及びビット線のイコライズ信号EQにより
読み出し期間を制御するクロック制御回路とからなる構
成である。
【0132】なお、メモリセルアレイにおいてロウ方向
とはロウアドレスが一定であり、かつ、コラムアドレス
が変化する方向とし、コラム方向とはコラムアドレスが
一定であり、かつ、ロウアドレスが変化する方向とす
る。
【0133】図26は本発明の一実施形態に係るコラム
回路を示すブロック構成図である。図26に示すコラム
回路は、指定されたコラムアドレスAddによりビット
線対BL(n),/BL(n)をデコードしてデータの
書き込みを行なうビット線の選択回路DSW1と、指定
されたコラムアドレスAddにより第3の電源Vs1
(n)及び第4の電源Vs2(n)をデコードして選択す
るグラウンド線の選択回路DSW2と、読み出し動作時
に指定されたコラムアドレスAddによりビット線対B
L(n),/BL(n)をデコードし共通データ線RD
(k)及び共通データ参照線/RD(k)(kは、正の
整数とする。以下同じ。)によりセンスアンプに伝える
センスアンプ前段の選択回路DSW3と、書き込み動作
時にビット線の選択回路DSW1に対してビット線対B
L(n),/BL(n)が多重化された前ビット線対p
BL(k),/pBL(k)の電位を制御するビット線
制御回路A1又はA2と、グラウンド線の選択回路DS
W2に対して第3の電源Vs1(n)及び第4の電源Vs2
(n)が多重化された第1の前グラウンド線pVs1
(k)及び第2の前グラウンド線pVs2(k)の電位を
制御するグラウンド線制御回路Bと,読み出し動作時に
センスアンプ前段の選択回路DSW3により選択された
共通データ線対RD(k),/RD(k)の電流差を検
出し、検出された電流差を電位差に変換して増幅するセ
ンスアンプとからなる構成である。
【0134】図27(a)は本発明の一実施形態に係る
ビット線の選択回路を示す回路図である。図27(a)
に示すビット線の選択回路DSW1は、入力されたコラ
ムアドレスAddをデコードするコラムデコーダと、ビ
ット線制御回路A1から入力された前ビット線対pBL
(k),/pBL(k)とコラムデコーダの出力とによ
りビット線対BL(n),/BL(n)を選択するコラ
ムスイッチとから構成されている。
【0135】図27(b)は本発明の一実施形態に係る
グラウンド線の選択回路を示す回路図である。図27
(b)に示すグラウンド線の選択回路DSW2は、入力
されたコラムアドレスAddをデコードするコラムデコ
ーダと、グラウンド線制御回路Bから入力された第1の
前グラウンド線pVs1(k)及び第2の前グラウンド線
pVs2(k)とコラムデコーダの出力とにより第3の電
源Vs1(n)又は第4の電源Vs2(n)を選択するコラ
ムスイッチとから構成されている。
【0136】図28は本発明の一実施形態に係るセンス
アンプ前段の選択回路を示す回路図である。図28
(a)に示すセンスアンプ前段の選択回路DSW3は、
入力されたコラムアドレスAddをデコードするコラム
デコーダと、接続された複数のビット線対BL(n),
/BL(n)から前記コラムデコーダの出力により指定
されたビット線対BL(n),/BL(n)を選択し、
共通データ線対RD(k),/RD(k)に出力する第
3のコラムスイッチとから構成されている。
【0137】なお、本願に示すセンスアンプは入出力分
離型を示してるが、図27(a)に示すビット線の選択
回路DSW1と図28(a)に示すセンスアンプ前段の
選択回路DSW3とは必ずしも両方設ける必要はなく、
センスアンプが入出力スルー型である場合は共用が可能
となる。
【0138】以下、本発明の第1実施形態を図面に基づ
いて説明する。
【0139】図1(a)は本発明の第1実施形態に係る
メモリセルを表わす回路図である。図1(a)におい
て、P1は第1の電源Vccに接続された一方のインバー
タの第1の負荷トランジスタ、P2は第1の電源Vccに
接続され第1の負荷トランジスタP2と対をなすもう一
方のインバータの第2の負荷トランジスタ、N1は一方
のインバータを駆動する第1の駆動トランジスタ、N2
は第1の駆動トランジスタと対をなすもう一方のインバ
ータを駆動する第2の駆動トランジスタ、V1はメモリ
セルの信号電位を保持する第1の記憶ノード、V2は第
1の記憶ノードV1の相補電位を保持する第2の記憶ノ
ード、BLはアレイ状に配置されたメモリセルの中から
指定されたコラム方向のメモリセルに対し、書き込み動
作時には第2の電位としての第1のハイデータ電位Vu1
に印加され、読み出し動作時には第1の電位としての接
地電位Vx1に印加される第1の制御線としてのビット
線、/BLは書き込み動作時には書き込み制御線として
第3の電位である第2のハイデータ電位Vu2に印加さ
れ、読み出し動作時にはビット線BLのリファレンスと
なり第1の電位としての接地電位Vx1に印加される第2
の制御線としてのビット相補線、WLはアレイ状に配置
されたメモリセルの中から指定されたロウ方向のメモリ
セルを活性化するための第3の制御線としてのワード
線、Vccはメモリセルを動作させる通常の電源である第
1の電源、Vssはメモリセルを動作させる基準電位の接
地電位である第2の電源、N3はワード線WLが活性化
されたときのみビット線BLにより第1の記憶ノードV
1に対して書き込み動作及び読み出し動作を可能にする
第1のスイッチ、N14は書き込み動作時にビット相補
線/BLが活性化されたときのみ第1の記憶ノードV1
に対して書き込み動作を可能にする第2のスイッチ、V
3は第1の駆動トランジスタN1と第1のスイッチN3
との第1の接続点である。
【0140】第1の駆動トランジスタN1と第2の駆動
トランジスタN2とは対をなし、第1の負荷トランジス
タP1及び第2の負荷トランジスタP2は対をなし、こ
れらのトランジスタ群はフリップフロップ接続されてい
る。
【0141】第1の記憶ノードV1は第1の負荷トラン
ジスタP1に接続され、また第2のスイッチN14及び
第1の駆動トランジスタN1を介して第2の電源Vssに
接続されている。
【0142】第2の記憶ノードV2は第2の負荷トラン
ジスタP2に接続され、また第2の駆動トランジスタN
2を介して第2の電源Vssに接続されている。
【0143】以下、前記のように構成されたメモリセル
の動作を図面に基づいて説明する。図29は本発明の第
1実施形態に係るメモリセルの動作時のタイミングチャ
ートである。図29において、CLKは半導体集積回路
装置全体を制御するシステムクロック、REは読み出し
要求であって書き込み要求WEの反転信号、pDoutは
センスアンプの出力、/pDout はセンスアンプの参照
出力である。なお、前述した信号名は省略する。
【0144】クロックCLKに同期して読み出し動作又
は書き込み動作が行なわれる場合を考える。読み出し要
求/WE及び書き込み要求WEは、読み出し期間中であ
るか又は書き込み期間中であるかを決定する信号であ
る。クロックCLKの立ち上がりエッジにおいて読み出
し要求/WEが「1」の場合はそのクロックサイクルは
読み出し期間となり、書き込み要求WEが「1」の場合
はそのクロックサイクルは書き込み期間となる。図29
に示すように、前半のクロックサイクルが読み出し期間
であり後半のクロックサイクルが書き込み期間である。
【0145】最初に、読み出し期間のメモリセルの動作
を説明する。
【0146】まず、第1の記憶ノードV1には「0」す
なわち第2の電源の電位Vssが保持され、第2の記憶ノ
ードV2には「1」すなわち第1の電源の電位Vccが保
持されているとする。クロックCLKの立ち上がりエッ
ジにより読み出し期間であることが認識され、ロウアド
レス及びコラムアドレスがラッチされる。
【0147】次に、センスアンプの活性化信号XSAと
ビット線のイコライズ信号EQとがリセットされ、ラッ
チされたアドレスにより選択されるワード線WL(1)
が立ちあがる。また、ビット線対BL(1),/BL
(1)は接地電位Vx1にプリチャージされている。図2
1(a)に示すように、ビット線制御回路A1(=プリ
チャージ制御回路)は書き込み要求WEにより制御さ
れ、読み出し期間中は書き込み要求WEは「0」のため
接地電位Vx1が発生する。ただし、Vx1の電位は必ずし
も接地電位である必要はなく、図1(a)に示す第2の
スイッチN14が十分に動作しない程度の低い電位であ
ればよい。
【0148】次に、図29に示すワード線WL(1)が
立ち上がり、図1(a)に示す第1のスイッチN3がオ
ンになると、第1の駆動トランジスタN1と第1のスイ
ッチN3の第1の接続点V3はビット線BLに接続され
る。
【0149】次に、第2の記憶ノードV2の電位は第1
の電源Vccであるため、第1の駆動トランジスタが十分
に動作しており、ビット線BLは低インピーダンスで第
2の電源Vssと接続される。一方、ビット相補線/BL
は第2のスイッチN14のゲート電極に接続されている
だけであるため、ビット線BLよりも高いインピーダン
スで第2の電源Vssに接続される。従って、ビット線対
BL,/BL間の電気的特性の差は、第1の記憶ノード
V1の保持データにのみ依存するため、インピーダンス
特性の差として現われるので、高速かつ安定な読出し動
作が可能になる。
【0150】次に、ビット線対BL,/BL間のインピ
ーダンスの差は図28(a)に示すセンスアンプ前段の
選択回路DSW3を通して図22(a)に示すセンスア
ンプに送られ、センスアンプにおいてインピーダンス特
性の差が電流の差として検出され、その検出された電流
差が電位差に変換及び増幅された後、読み出しデータD
out 及び/Dout として図25に示す入出力データ制御
回路に送られ、読み出し動作は完了する。
【0151】本実施形態の特徴として、従来のように保
持データの信号電位がビット線対BL,/BL間の直接
の電位差として読み出されず、またビット線対BL,/
BLは共に接地電位である第2の電源Vssの電位に印加
されているため、プリチャージに使用する電力を不要に
することができる。
【0152】さらに、インピーダンス検知用の読み出し
電流として確保すべき最小電圧は、ビット線対BL,/
BLのインピーダンス特性の差として検知できる範囲で
よくなるため、第1の駆動トランジスタN1及び第2の
駆動トランジスタN2が動作する電圧、すなわちトラン
ジスタのしきい値電圧となるので、低電圧動作が可能と
なる。なお、本発明に係るセンスアンプの構成及びその
動作は後述する。
【0153】また、第1の記憶ノードV1は第2のスイ
ッチN14によりビット線から遮断されているため、読
み出し時に記憶ノードV1の電位が上昇することがない
ので、第1の電源Vccから第2の駆動トランジスタを通
して第2の電源Vssに貫通電流が流れなくなる。従っ
て、安定な読み出し動作が可能となり、不要な電力を消
費しない。
【0154】次に、書き込み期間のメモリセルの動作を
説明する。
【0155】まず、第1の記憶ノードV1に「1」が、
第2の記憶ノードV2に「0」が書き込まれるとする。
後半のクロックサイクルにおいて、クロックCLKの立
ち上がりエッジにより書き込み期間であることが認識さ
れ、ロウアドレス及びコラムアドレスがラッチされる。
【0156】次に、ラッチされたアドレスにより選択さ
れるワード線WL(2)が立ち上がり、図21(a)に
示すビット線制御回路A1において、書き込み要求WE
が「1」のため、前ビット線pBL(k)に第1のハイ
データ電位Vu1が発生し、前ビット相補線/pBL
(k)に第2のハイデータ電位Vu2が発生する。
【0157】その結果、ビット相補線/BL(1)の電
位は第2のハイデータ電位Vu2に印加される。第2のハ
イデータ電位Vu2は第2のスイッチN14を十分に動作
させるために必要な電圧であって高いほど望ましく、例
えば、第1の電源Vccの電位又はその昇圧電位Vppであ
ってもよい。
【0158】次に、ワード線WL(2)及びビット相補
線/BL(1)は共に電圧が印加されるため、第1のス
イッチN3及び第2のスイッチN14は共にオンにな
る。
【0159】次に、ビット線BL(1)と第1の記憶ノ
ードV1とが第1のスイッチN3及び第2のスイッチN
14を通して接続されるため、第1の記憶ノードV1の
電位は徐々に第1のハイデータ電位Vu1に近づく。同時
に、第1の負荷トランジスタP1のゲート電極は第2の
記憶ノードV2と接続されているため、第1の負荷トラ
ンジスタP1はゲート電極の電位がそのしきい値電圧を
越えると活性化されるので、第1の記憶ノードV1は第
1の電源Vccに接続される。
【0160】また、第2の駆動トランジスタN2のゲー
ト電極が第1の記憶ノードV1と接続されているため、
その電位がしきい値電圧を越えると第2の駆動トランジ
スタN2は活性化され、第2の記憶ノードV2は第2の
電源Vssに接続される。同時に、第2の負荷トランジス
タP2のゲート電極は第1の記憶ノードV1と接続され
ているため、第2の負荷トランジスタP2はゲート電極
の電位がそのしきい値電圧を越えて高くなると停止する
ので、第2の記憶ノードV2は第1の電源Vccから遮断
され、その電位は第2の電源Vssに近づき、書き込み動
作は完了する。なお、第1のハイデータ電位Vu1は、書
き込み時間を短縮するために第2のハイデータ電位Vu2
と同様に高いほどよく、第1の電源の電位Vcc又はその
昇圧電位Vppとする。
【0161】以下、本発明の第1実施形態の第1変形例
を説明する。
【0162】第1変形例は、第2のスイッチN14のし
きい値電圧が、第1の駆動トランジスタN1のしきい値
電圧、第2の駆動トランジスタN2のしきい値電圧及び
第1のスイッチN3のいずれのしきい値電圧よりも低く
なるように設定されている構成とする。
【0163】本変形例の特徴として、第2のスイッチN
14となるMOS型トランジスタのしきい値電圧を他の
トランジスタよりも低く設定することにより、書き込み
動作時にビット相補線/BLが第1の電源Vccよりも高
い電位Vppまで昇圧する必要がなくなるため、低電圧で
動作するメモリセルを実現することができる。
【0164】なお、第2のスイッチN14のしきい値電
圧を低く設定できるのは、第2のスイッチN14のしき
い値電圧が低くしたことにより、たとえ第2のスイッチ
N14に貫通電流が生じたとしても、直列に接続された
第1の駆動トランジスタN1がその貫通電流を遮断する
からである。
【0165】以下、本発明の第1実施形態の第2変形例
を説明する。
【0166】第2変形例は第2の負荷トランジスタP2
のサイズが、第1の負荷トランジスタP1及び第2の駆
動トランジスタN2よりも小さくなるように設定されて
いる構成とする。
【0167】従来のメモリセルの設計において、読み出
し動作時のノイズマージンを大きくすることと、書き込
み動作時の書き込み速度を上げることとは互いに反する
関係を有するので、第1のスイッチN3に相当するアク
セストランジスタと第2の駆動トランジスタN2との電
流駆動能力比や、前記アクセストランジスタと第2の負
荷トランジスタP2との電流駆動能力比はノイズマージ
ンを確保するために十分に考慮されなければならなかっ
た。
【0168】本変形例の特徴として、第1の記憶ノード
V1及び第2の記憶ノードV2はビット線対BL,/B
Lとそれぞれ遮断されているため、読み出し動作時のノ
イズマージンが非常に大きく確保されており、しかもノ
イズマージンは容易には小さくならないので、フリップ
フロップ回路のバランスを崩して、第2の負荷トランジ
スタP2のサイズが小さくできるようになり、その結
果、書込み動作を高速化にすることができる。
【0169】以下、本発明の第1実施形態の第3変形例
を図面に基づいて説明する。
【0170】図1(b)は本発明の第1実施形態の第3
変形例に係るメモリセルを表わす回路図である。図1
(a)に示すメモリセルに対して新たに図1(b)に示
すメモリセルに追加された構成要素のみを説明する。図
1(b)において、N15は書き込み動作時の書き込み
速度を上げるために第2の記憶ノードV2と第2の電源
Vssとの間に第2の駆動トランジスタN2と並列に接続
され、ビット線BLにより第1のスイッチN3を介して
制御される第3のスイッチである。
【0171】以下、前記のように構成されたメモリセル
の書き込み動作を説明する。一般に書き込み動作時にお
いて、記憶ノードに対して「0」から「1」に書き替え
る場合のほうが、「1」から「0」に書き替える場合よ
りも余計に時間がかかる。それは、記憶ノードに電圧を
印加しても、印加した電圧が駆動トランジスタのしきい
値電圧を越えるまでは駆動トランジスタが動作しないか
らである。
【0172】第1実施形態と比較して特徴的な点のみを
説明する。第1の記憶ノードに「1」及び第2の記憶ノ
ードに「0」を書き込む場合を考える。まず、ワード線
WLには第1の電源Vcc程度の電圧が印加され、ビット
相補線/BLには第2のハイデータ電位Vu2が印加され
るため、第1のスイッチN3及び第2のスイッチN14
は共にオンになる。
【0173】次に、ビット線BLと第1の記憶ノードV
1とが第1のスイッチN3及び第2のスイッチN14を
通して接続されるため、第1の記憶ノードV1の電位は
徐々に第1のハイデータ電位Vu1に近づく。また、第1
の接続点V3の電位は第1の記憶ノードV1よりも高い
ため、第2の駆動トランジスタN2が動作するよりも先
に第3のスイッチN15が動作を開始するので、第2の
記憶ノードV2の電位は、第2の電源Vssの電位に急速
に近づくことになり、第1の駆動トランジスタN1は急
速に動作を止め、かつ第1の負荷トランジスタP1は急
速に低インピーダンスとなり、第1実施形態の場合より
も高速に書き込み動作を行なうことができる。
【0174】なお、メモリセル当たりのトランジスタの
数が1つ増えることになるが、対象性が良くなるため、
半導体基板上のレイアウト設計をする際に不利にはなら
ない。
【0175】以下、本発明の第1実施形態の第4変形例
を図面に基づいて説明する。
【0176】図2(a)は本発明の第1実施形態の第4
変形例に係るメモリセルの電源の電位を示している。図
2(a)において、Vm は第1の電源Vccの電位が降圧
回路により降圧され第2の電源Vssの電位よりも高い第
6の電源Vm の電位である。ワード線WL及び書き込み
動作時におけるビット相補線/BLは第1の電源Vccの
電位に印加され、第1実施形態に係るメモリセルは第6
の電源Vm の電位が印加される構成である。
【0177】本変形例の特徴として、フリップフロップ
接続されるトランジスタ群は第1の電源Vccの電位より
も低い第6の電源Vm の電位であっても、読み出し動作
時にはビット線対BL,/BLが第2の電源Vssの電位
に印加され、書き込み動作時にはビット相補線/BLに
第1実施形態と同様の第1の電源Vccの電位と同程度の
電位に印加されるため、安定した動作をすることができ
る。
【0178】また、メモリセルの共通ソース線に第1の
電源Vccと第2の電源Vssとの中間の第6の電源Vm の
電位が印加されているため、信号電位のラッチ能力が低
下しているので、書き込み動作が早くなる。
【0179】以下、本発明の第1実施形態の第5変形例
を図面に基づいて説明する。
【0180】図2(b)は本発明の第1実施形態の第5
変形例に係るメモリセルの電源の電位を示している。図
2(b)において、図2(a)に示した降圧回路に替え
て第1実施形態に係るメモリセルが接続されている構成
とする。
【0181】図3は本発明の第1実施形態の第5変形例
に係るメモリセルを表わす回路図である。図3(a)に
おけるメモリセルは、図2(b)に示すメモリセル2に
対応し、メモリセルの構成は図1(a)に示す第1実施
形態に係るメモリセルの各トランジスタが対応するトラ
ンジスタの導電型と逆の導電型に設定されている。図3
(b)におけるメモリセルは、図2(b)に示すメモリ
セル1に対応し、メモリセルの構成は図1(a)に示す
第1実施形態に係るメモリセルと同様である。
【0182】本変形例の特徴として、メモリセル1は、
フリップフロップ接続されるトランジスタ群N1,N
2,P1及びP2を駆動する電位が第1の電源Vccの電
位の約2分の1となる第6の電源Vm の電位であって
も、読み出し動作時においてはワード線WLnが第1の
電源Vccの電位に、ビット線対BLn,/BLnが第2
の電源Vssの電位に印加され、書き込み動作時において
はワード線WLn及びビット相補線/BLnが第1実施
形態と同じ第1の電源Vccの電位と同程度の電位に印加
されるため、安定した動作をすることができる。
【0183】また、メモリセル2は、フリップフロップ
接続されるトランジスタ群P1,P2,N1及びN2が
駆動される電位が第1の電源Vccの電位の約2分の1と
なる第6の電源Vm の電位であっても、読み出し動作時
においてはワード線WLpが第2の電源Vssの電位に、
ビット線対BLp,/BLpが第1の電源Vccの電位と
同程度の電位に印加され、書き込み動作時においてはワ
ード線WLp及びビット相補線/BLpが第1実施形態
と逆の第2の電源Vssの電位に印加されるため、安定し
た動作をすることができる。
【0184】さらに、メモリセル1及びメモリセル2
は、共通ソース線に第6の電源Vm の電位が印加されて
いるため、信号電位のラッチ能力が低下しているので、
書き込み動作が早くなる。
【0185】以下、本発明の第1実施形態の第6変形例
を図面に基づいて説明する。
【0186】図4は本発明の第1実施形態の第6変形例
に係るメモリセルアレイを表わす模式図である。
【0187】図5は本発明の第1実施形態の第6変形例
に係るメモリセルアレイからデータを読み出す際のタイ
ミングチャートを示している。図5において、dT1は
本実施形態と従来例とのワード線WL(m)の立ち上が
りの時間差、dT2は本実施形態と従来例との読み出し
データ出力の時間差を表わしている。
【0188】図4(a)において、図1(a)に示す第
1実施形態に係るメモリセルが4行×16列のアレイ状
に配置されており、WL(m)はワード線、BL(n)
はビット線、/BL(n)は書き込み時には書き込み制
御線となるビット相補線である。図4(b)において、
ロウ系はメモリセルが8行×8列に配置されている場合
の従来のワード線WL(m)をデコードするゲートアレ
イを示しており、コラム系は同じく従来のビット線対B
L(n),/BL(n)をデコードするゲートアレイを
示している。図4(c)において、ロウ系はメモリセル
が4行×16列に配置されている場合の第6変形例のワ
ード線WL(m)をデコードするゲートアレイを示して
おり、コラム系は同じく本実施形態のビット線対BL
(n),/BL(n)をデコードするゲートアレイを示
している。
【0189】従来、アレイ状に配置されたSRAMにお
いて、ロウアドレスとコラムアドレスとは区別されない
アドレス非マルチプレックスが採用されているため、前
アドレスをワード線WL(m)のデコード、又はビット
線BL(n)のデコードのどちらにも割り振ることがで
きる。ワード線WL(m)が活性化されると、活性化さ
れたワード線WL(m)に接続されている全てのメモリ
セルには貫通電流が流れたりビット線対BL(n),/
BL(n)に電位差が生じたりするため、ビット線BL
(n)のイコライズ時に無駄に電力を消費してしまうの
で、極力ワード線WL(m)の数を多くして1本のワー
ド線WL(m)に接続されるメモリセルの数を減らす傾
向にあった。しかし、ワード線WL(m)の数を増やす
とロウアドレスのデコードに時間がかかるため、アドレ
ス入力からデータ出力までのアクセス時間が延びるとい
う問題が生じる。
【0190】図4(b)及び図4(c)に示すように、
従来例と第6変形例とはデコード方式が異なり、ロウア
ドレスをデコードする本変形例に係るロウ系は従来より
もゲートアレイの段数が少ないためデコード時間が短縮
され、本変形例に係るコラム系は従来よりもゲートアレ
イの段数が多いためデコード時間が延びることになる。
【0191】しかしながら、図5に示すように、アドレ
ス入力からデータ出力までのアクセス時間は第6変形例
のほうが従来例よりも短縮される。それは、デコードさ
れたワード線WL(m)の立ち上がり時間が早いため、
ビット線BL(n)にデータ信号の電位が現われるのが
早くなることと、また、ビット線BL(n)がデコード
されるのに時間がかかっても、ワード線WL(m)のデ
コードが終了した後、ビット線BL(n)にデータ信号
の電位が現われるまでの間にビット線BL(n)のデコ
ードが完了してさえいれば、従来よりも余計にかかる時
間は相殺されてしまうからである。
【0192】本変形例の特徴として、活性化されたワー
ド線WL(m)に接続されたメモリセルは記憶ノードが
ビット線BL(n)から遮断されているため貫通電流が
流れず、またプリチャージに電力が消費されないメモリ
セルを用いているため、メモリセル当たりの消費電力が
小さくなる。その結果、ワード線1本当りに接続が可能
なメモリセルの数が増えるため、ワード線WL(m)の
本数を減らすことができるので、ロウアドレスのデコー
ドが早くなり、従って、アクセス時間を短縮することが
できる。
【0193】以下、本発明の第2実施形態を図面に基づ
いて説明する。
【0194】図6(a)は本発明の第2実施形態に係る
メモリセルを表わす回路図である。図6(a)におい
て、図1(a)に示す第1実施形態に係るメモリセルに
対して構成が異なる点のみを説明する。N24は書き込
み動作時にビット相補線/BLにより活性化され、第1
のスイッチN3と第2の記憶ノードV2との間に直列に
接続されている第2のスイッチであって、N25は第1
のスイッチN3とメモリセルの共通のグラウンド線であ
る第2の電源Vssとの間に直列に接続され、読み出し動
作時に第1の記憶ノードにより活性化されてビット線対
BL,/BLのインピーダンス制御を行なう第3のスイ
ッチである。
【0195】以下、前記のように構成されたメモリセル
の動作において、第1実施形態と異なる点のみを説明す
る。
【0196】最初に、読み出し期間のメモリセルの動作
を説明する。第1の記憶ノードV1には「0」すなわち
第2の電源の電位Vssが保持され、第2の記憶ノードV
2には「1」すなわち第1の電源の電位Vccが保持され
ているとする。
【0197】まず、ワード線WLが立ち上がり第1のス
イッチN3がオンになる。
【0198】次に、第1の記憶ノードV1の電位は第2
の電源Vssの接地電位であるため、第3のスイッチN2
5がオフとなり、ビット線BLとそのリファレンスであ
るビット相補線/BLとのインピーダンス特性に差が出
ない。
【0199】逆に、第1の記憶ノードV1には「1」す
なわち第1の電源Vccの電位が保持され、第2の記憶ノ
ードV2には「0」すなわち第2の電源Vssの接地電位
が保持されている場合は、第3のスイッチN25がオン
になるので、ビット線BLとビット相補線/BLとのイ
ンピーダンス特性に差が生じることになる。
【0200】従って、第1実施形態と同じく、ビット線
対BL,/BL間の電気的特性の差は、第1の記憶ノー
ドV1の保持データにのみ依存し、インピーダンス特性
の差として現われるので、安定な読出し動作が可能にな
る。
【0201】次に、書き込み期間のメモリセルの動作を
説明する。第1の記憶ノードV1に「1」が、第2の記
憶ノードV2に「0」が書き込まれるとする。
【0202】まず、ワード線WLには第1の電源Vcc程
度の電圧が印加され、ビット相補線/BLには第2のハ
イデータ電位Vu2が印加されるため、第1のスイッチN
3及び第2のスイッチN24は共にオンになる。
【0203】次に、ビット線BLと第2の記憶ノードV
2とが第1のスイッチN3を通して接続されるため、第
2の記憶ノードV2の電位はビット線BLに印加されて
いる接地電位Vx1に徐々に近づく。また、第1の駆動ト
ランジスタN1のゲート電極が第2の記憶ノードV2と
接続されているため、そのしきい値電圧まで下がると第
1の駆動トランジスタN1の動作が止まり、かつ第1の
負荷トランジスタP1のゲート電極が第2の記憶ノード
V2と接続されているため、第1の負荷トランジスタP
1はそのしきい値電圧を越えて低くなると動作し始める
ので、第1の記憶ノードV1の電位は、第1の電源Vcc
に次第に近づいて書き込み動作は完了する。なお、書き
込みの対象となる記憶ノードは、第1実施形態のメモリ
セルにおいては第1の記憶ノードV1であり、本実施形
態においては前記のように第2の記憶ノードV2であ
る。
【0204】本実施形態の特徴として、第1の記憶ノー
ドV1及び第2の記憶ノードV2から第2の電源に接続
されるトランジスタの数が共に1つとなり、対象性が良
い。さらに、ビット相補線/BLにより活性化される第
2のスイッチN24がインバータ内に直列接続されてい
ないため、ノイズマージンは第1実施形態の場合よりも
大きくなる。
【0205】本実施形態のメモリセルと第1実施形態の
メモリセルとの使い分けは、よりノイズマージンを優先
する場合には第2のスイッチN24がインバータ内に直
列に接続されていない本実施形態のメモリセルを用い、
より集積度を優先する場合には6個のトランジスタによ
り構成される第1実施形態のメモリセルを用いると良
い。
【0206】以下、本発明の第2実施形態の第1変形例
を説明する。
【0207】第1変形例は、第1の負荷トランジスタP
1のサイズが、第2の負荷トランジスタP2よりも小さ
くなるように設定されている構成とする。
【0208】書き込み動作時において、第1の記憶ノー
ドの「0」を「1」に書き替える場合が最も長い時間を
必要とする。それは、第1の記憶ノードV1はビット線
BLから遮断されており、しかも第2の記憶ノードV2
が「0」にされることにより間接的に書き込まれるた
め、第1の駆動トランジスタN1が十分に停止し、かつ
第1の負荷トランジスタP1が十分に動作するのに時間
がかかるからである。MOS型トランジスタはしきい値
電圧を越えないと動作しないため、第1の負荷トランジ
スタP1のサイズを小さくして低容量にすることによ
り、動作時間を短縮することができる。
【0209】本変形例の特徴として、第1の記憶ノード
V1及び第2の記憶ノードV2はビット線対BL,/B
Lと遮断されているため、読み出し動作時のノイズマー
ジンが非常に大きく確保されており、しかも容易には小
さくならないので、フリップフロップ回路のバランスを
崩して、第1の負荷トランジスタP1のサイズを小さく
し書き込み易くして、書込み動作を高速化することがで
きる。
【0210】以下、本発明の第2実施形態の第2変形例
を図面に基づいて説明する。
【0211】図6(b)は本発明の第2実施形態の第2
変形例に係るメモリセルを表わす回路図である。図6
(a)に示すメモリセルに対して新たに図6(b)に示
すメモリセルに追加された構成要素のみを説明する。図
6(b)において、N26は書き込み動作時の第2の記
憶ノードV2に対する書き込み速度を上げるために、第
1の記憶ノードV1と第2の電源Vssとの間に第1の駆
動トランジスタN1と並列に接続され、ビット線BLに
より制御される第4のスイッチである。
【0212】以下、前記のように構成されたメモリセル
の書き込み動作を説明する。第1の記憶ノードに「0」
及び第2の記憶ノードに「1」を書き込む場合を考え
る。第2実施形態と比較して特徴的な点のみを説明する
と、まず、ワード線WLには第1の電源Vcc程度の電圧
が印加され、ビット相補線/BLには第2のハイデータ
電位Vu2が印加されるため、第1のスイッチN3及び第
2のスイッチN14は共にオンになる。
【0213】次に、ビット線BLと第2の記憶ノードV
2とが第1のスイッチN3及び第2のスイッチN24を
通して接続されるため、第2の記憶ノードV2の電位は
徐々に第1のハイデータ電位Vu1に近づく。また、第4
のスイッチN26のゲート電極の電位は第2の記憶ノー
ドV2よりも高いため、第1の駆動トランジスタN1が
動作するよりも先に第4のスイッチN26が動作を開始
しているので、第1の記憶ノードV1の電位は、第2の
電源Vssの電位に急速に近づく。従って、第2の駆動ト
ランジスタN2は急速に動作を止め、かつ第2の負荷ト
ランジスタP2は急速に低インピーダンスとなり、第2
実施形態よりも高速に書き込み動作を行なうことができ
る。
【0214】以下、本発明の第2実施形態の第3変形例
を図面に基づいて説明する。
【0215】図2(a)は本発明の第2実施形態の第3
変形例に係るメモリセルの電源の電位を示している。本
実施形態は、第1実施形態の第4変形例におけるメモリ
セル1に替わり第2実施形態のメモリセルを有する構成
とする。
【0216】本変形例の特徴として、フリップフロップ
接続されるトランジスタ群は第1の電源Vccの電位より
も低い第6の電源Vm の電位であっても、読み出し動作
時にはビット線対BL,/BLが第2の電源Vssの電位
に印加され、書き込み動作時にはビット相補線/BLに
第2実施形態と同様の第1の電源Vccの電位と同程度の
電位に印加されるため、安定した動作ができる。
【0217】また、メモリセルの共通ソース線に第1の
電源Vccと第2の電源Vssとの中間の第6の電源Vm の
電位が印加されているため、信号電位のラッチ能力が低
下しているので、書き込み動作が早くなる。
【0218】以下、本発明の第2実施形態の第4変形例
を図面に基づいて説明する。
【0219】図2(b)は本発明の第2実施形態の第4
変形例に係るメモリセルの電源の電位を示している。図
2(b)において、図2(a)に示した降圧回路に替え
て第2実施形態に係るメモリセルが接続されている構成
とする。
【0220】図7は本発明の第2実施形態の第4変形例
に係るメモリセルを表わす回路図である。図7(a)に
おけるメモリセルは、図2(b)に示すメモリセル2に
対応し、メモリセルの構成は図6(a)に示す第2実施
形態に係るメモリセルの各トランジスタが対応するトラ
ンジスタの導電型と逆の導電型に設定されている。図7
(b)におけるメモリセルは、図2(b)に示すメモリ
セル1に対応し、メモリセルの構成は図6(a)に示す
第1実施形態に係るメモリセルと同様である。
【0221】本変形例の特徴として、第1実施形態の第
5変形例と同様に、メモリセル1は、フリップフロップ
接続された負荷トランジスタP1及びP2並びに駆動ト
ランジスタN1及びN2が低電圧で動作し、ワード線W
Ln及びビット線対BLn,/BLnが第2実施形態と
同じ降圧されていない電位により制御されるため、安定
した動作をすることができる。
【0222】また同様に、メモリセル2は、フリップフ
ロップ接続された負荷トランジスタN1及びN2並びに
駆動トランジスタP1及びP2は低電圧で動作し、ワー
ド線WLp及びビット線対BLp,/BLpは第2実施
形態と同じ降圧されていない電位により制御されるた
め、安定した動作をすることができる。
【0223】さらに、メモリセル1及びメモリセル2
は、共通ソース線に第6の電源Vm の電位が印加されて
いるため、信号電位のラッチ能力が低下しているので、
書き込み動作が早くなる。
【0224】以下、本発明の第2実施形態の第5変形例
を図面に基づいて説明する。
【0225】図4は本発明の第2実施形態の第5変形例
に係るメモリセルアレイを表わす模式図である。
【0226】図5は本発明の第2実施形態の第5変形例
に係るメモリセルアレイからデータを読み出す際のタイ
ミングチャートを示している。
【0227】図4(a)におけるメモリセルは、図6
(a)に示す第2実施形態のメモリセルが4行×16列
のアレイ状に配置されており、WLはワード線、BLは
ビット線、/BLは書き込み時には書き込み制御線とな
るビット相補線である。図4(b)、図4(c)及び図
5の説明は第1実施形態の第6変形例と同じであるので
省略する。
【0228】本変形例の特徴として、第1実施形態の第
6変形例と同様に、活性化されたワード線に接続された
メモリセルは記憶ノードがビット線から遮断されている
ため貫通電流が流れず、またプリチャージに電力が消費
されないメモリセルを用いているため、メモリセル当た
りの消費電力が小さくなるので、ワード線の本数を減ら
すことができるようになり、その結果、アクセス時間を
短縮することができる。
【0229】以下、本発明の第3実施形態を図面に基づ
いて説明する。
【0230】図8(a)は本発明の第3実施形態に係る
メモリセルを表わす回路図である。図8(a)におい
て、図1(a)に示す第1実施形態に係るメモリセルと
の構成の違いのみを説明すると、Vs1は第1の駆動トラ
ンジスタN1のグラウンド線が接続される第3の電源、
Vs2は第2の駆動トランジスタN2のグラウンド線が接
続される第4の電源である。
【0231】図9は本発明の第3実施形態に係るグラウ
ンド線制御回路を表わす回路図である。図9において、
WEは図25に示すリード/ライト切り替え制御回路に
より通知される書き込み要求、Dinは図25に示す入出
力データ制御回路により通知される書き込みデータ、p
Vs1(k)は図27(b)に示すグラウンド線の選択回
路DSW2に送られ、メモリセルのグラウンド線の第3
の電源Vs1に印加するための多重化された第1の前グラ
ウンド線、pVs2(k)は同じくグラウンド線の選択回
路DSW2に送られ、メモリセルの第4の電源Vs2に印
加するための多重化された第2の前グラウンド線、Vu3
は第1の前グラウンド線pVs1(k)及び第2の前グラ
ウンド線pVs2(k)に印加するグラウンド線制御電
位、Vssは第1の前グラウンド線pVs1(k)及び第2
の前グラウンド線pVs2(k)に印加する接地電位であ
る第2の電源、PB1は書き込み要求WEの相補値に応
じて第1の前グラウンド線pVs1(k)にグラウンド線
制御電位Vu3を開閉する第1のP型スイッチ、PB2は
書き込みデータDinに応じて第1の前グラウンド線pV
s1(k)にグラウンド線制御電位Vu3を開閉する第2の
P型スイッチ、NB1は書き込みデータDinに応じて第
1の前グラウンド線pVs1(k)に第2の電源Vssの電
位を開閉する第1のN型スイッチ、NB2は書き込み要
求WEに応じて第1の前グラウンド線pVs1(k)に第
2の電源Vssの電位を開閉する第2のN型スイッチ、N
B3は書き込み要求WEの相補値に応じて第1の前グラ
ウンド線pVs1(k)に第2の電源Vssの電位を開閉す
る第3のN型スイッチ、PB3は書き込み要求WEの相
補値に応じて第2の前グラウンド線pVs2(k)にグラ
ウンド線制御電位Vu3を開閉する第3のP型スイッチ、
PB4は書き込みデータDinの相補値に応じて第2の前
グラウンド線pVs2(k)にグラウンド線制御電位Vu3
を開閉する第4のP型スイッチ、NB4は書き込みデー
タDinの相補値に応じて第2の前グラウンド線pVs2
(k)に第2の電源Vssの電位を開閉する第4のN型ス
イッチ、NB5は書き込み要求WEに応じて第2の前グ
ラウンド線pVs2(k)に第2の電源Vssの電位を開閉
する第5のN型スイッチ、NB6は書き込み要求WEの
相補値に応じて第2の前グラウンド線pVs2(k)に第
2の電源Vssの電位を開閉する第6のN型スイッチであ
る。
【0232】以下、前記のように構成されたグラウンド
線制御回路Bの動作を説明する。
【0233】本実施形態においては、書き込み要求WE
を正論理とする。
【0234】まず、書き込み要求WEが「1」の場合、
すなわち書き込み期間のグラウンド線制御回路Bの動作
を説明する。
【0235】書き込みデータDinが「1」のとき、第1
の前グラウンド線pVs1(k)における、第1のP型ス
イッチPB1、第1のN型スイッチNB1及び第2のN
型スイッチNB2が閉じて他のスイッチが開くため、第
1の前グラウンド線pVs1(k)は第2の電源Vssの電
位に印加され、第2の前グラウンド線pVs2(k)にお
ける、第3のP型スイッチPB3、第4のP型スイッチ
PB4及び第4のN型スイッチNB4が閉じて他のスイ
ッチが開くため、第2の前グラウンド線pVs2(k)は
グラウンド線制御電位Vu3に印加される。
【0236】書き込みデータDinが「0」のとき、第1
の前グラウンド線pVs1(k)における、第1のP型ス
イッチPB1、第2のP型スイッチPB2及び第2のN
型スイッチNB2が閉じて他のスイッチが開くため、第
1の前グラウンド線pVs1(k)はグラウンド線制御電
位Vu3に印加され、第2の前グラウンド線pVs2(k)
における、第3のP型スイッチPB3、第4のN型スイ
ッチNB4及び第5のN型スイッチNB5が閉じて他の
スイッチが開くため、第2の前グラウンド線pVs2
(k)は第2の電源Vssの電位に印加される。
【0237】次に、書き込み要求WEが「0」の場合、
すなわち読み出し期間のグラウンド線制御回路Bの動作
を説明する。
【0238】書き込みデータDinが「1」のとき、第1
の前グラウンド線pVs1(k)における、第1のN型ス
イッチNB1及び第3のN型スイッチNB3が閉じて他
のスイッチが開くため、第1の前グラウンド線pVs1
(k)は第2の電源Vssの電位に印加され、第2の前グ
ラウンド線pVs2(k)における、第4のP型スイッチ
PB4及び第6のN型スイッチNB6が閉じて他のスイ
ッチが開くため、前ビット相補線/pBL(k)は第2
の電源Vssの電位に印加される。
【0239】書き込みデータDinが「0」のとき、第1
の前グラウンド線pVs1(k)における、第2のP型ス
イッチPB2及び第3のN型スイッチNB3が閉じて他
のスイッチが開くため、第1の前グラウンド線pVs1
(k)は第2の電源Vssの電位に印加され、第2の前グ
ラウンド線pVs2(k)における、第4のN型スイッチ
NB4及び第6のN型スイッチNB6が閉じて他のスイ
ッチが開くため、第2の前グラウンド線pVs2(k)は
第2の電源Vssの電位に印加される。
【0240】本実施形態の特徴として、書き込み期間中
には、書き込みデータDinに応じて第3の電源Vs1又は
第4の電源Vs2に印加する第2の電源Vssの電位又はグ
ラウンド線制御電位Vu3が生成され、読み出し期間中に
は、第3の電源Vs1又は第4の電源Vs2に印加する第2
の電源Vssの電位が共に生成される。
【0241】以下、前記のように構成されたメモリセル
の動作を、図面に基づいて説明する。
【0242】図30は本発明の第3実施形態に係るメモ
リセルの動作時のタイミングチャートである。各信号は
図29と同様であるため説明を省略する。
【0243】図30に示すように、読み出し動作は、読
み出し期間のタイミングチャートが図29に示す読み出
し期間のタイミングチャートと同じであり、動作も同じ
であるため説明を省略する。
【0244】書き込み動作においても、第1実施形態と
の違いのみを説明する。まず、第1の記憶ノードV1に
「1」が、第2の記憶ノードV2に「0」が書き込まれ
るとする。
【0245】次に、ラッチされたアドレスにより選択さ
れたワード線WL(2)が立ち上がり、図9に示すグラ
ウンド線制御回路Bにおいて、書き込み要求WEは
「1」でありATき込みデータDinは「0」であるとす
ると、第1の前グラウンド線pVs1(k)にグラウンド
線制御電位Vu3が発生し、第2の前グラウンド線pVs2
(k)に第2の電源Vssの電位が発生する。
【0246】次に、ビット相補線/BL(1)の電位が
第2のハイデータ電位Vu2に印加されると共に、第3の
電源Vs1(1)はグラウンド線制御電位Vu3に印加さ
れ、第4の電源Vs2(1)は第2の電源Vssの電位に印
加される。
【0247】次に、ワード線WL(2)には第1の電源
Vcc程度の電圧が印加され、ビット相補線/BL(1)
には第2のハイデータ電位Vu2が印加されるため、図8
(a)に示す第1のスイッチN3及び第2のスイッチN
14は共にオンになる。
【0248】次に、ビット線BLと第1の記憶ノードV
1とが第1のスイッチN3及び第2のスイッチN14を
通して接続されるため、第1の記憶ノードV1の電位は
徐々に第1のハイデータ電位Vu1に近づき、逆に第2の
記憶ノードV2の電位は徐々に第2の電源Vssの電位に
近づく。
【0249】本実施形態の特徴として、書き込み動作期
間において、第2のスイッチN14は常に動作中であ
り、第1の負荷トランジスタP1及び第1の駆動トラン
ジスタN1も、第1の記憶ノードV1の電位が「1」に
なるまでの過渡期においては動作中のため、第1の電源
Vccから第3の電源Vs1に向けて貫通電流が流れてしま
う。しかし、第1の記憶ノードにつながる第3の電源V
s1の電位を接地電位である第2の電源Vssの電位よりも
高く設定することにより、第1の駆動トランジスタN1
のオン抵抗が大きくなるため、該第1の駆動トランジス
タN1を流れる貫通電流が抑制されるので、書き込み動
作が早く完了する。
【0250】また、第3の電源を第2の電源Vssよりも
高く印加しているため、第2の記憶ノードの信号電位の
ラッチ能力が低下するので、第1の駆動トランジスタN
1が第2の電源Vssの場合に比べて早くオフになる。そ
の結果、信号電位のバランスが早く崩れるので、書き込
み動作を一層加速することになる。
【0251】なお、グラウンド線制御電位Vu3は、数1
00mV以上、かつ、第1の電源Vccの電位と第1の駆
動トランジスタN1のしきい値電圧Vtとの差の電位以
下に設定されている。
【0252】以下、本発明の第3実施形態の第1変形例
を図面に基づいて説明する。
【0253】図8(b)は本発明の第3実施形態の第1
変形例に係るメモリセルアレイの一部を表わす回路図で
ある。図8(b)において、メモリセル31、32及び
33は図8(a)に示す第3実施形態に係るメモリセル
が同一のワード線WLに接続されており、メモリセル3
1の第4の電源Vs2(n−1)とメモリセル32の第3
の電源Vs1(n)とが接続され、メモリセル32の第4
の電源Vs2(n)とメモリセル33の第3の電源Vs1
(n+1)とが接続されている構成である。
【0254】前記の構成をとるメモリセルにおいて、メ
モリセル32に対して書き込みを行なう場合に、隣接す
るメモリセルは書込み制御線となるビット相補線/BL
(n−1)及び/BL(n+1)が選択されていないた
め、隣接メモリセル31及び33の第2のスイッチN1
4はオフになっている。従って、第3の電源Vs1と第4
の電源Vs2との電位差、すなわちグラウンド線制御電位
Vu3は、数100mV以上、かつ、第1の電源Vccの電
位と第1の駆動トランジスタN1又は第2の駆動トラン
ジスタN2のしきい値電圧Vtとの差の電位以下に設定
することができる。
【0255】本変形例の特徴として、互いに隣接するメ
モリセル同士の第3の電源Vs1及び第4の電源Vs2を共
有して、分割されたグラウンド線の本数が増加しないよ
うにできるため、基板上の回路素子形成領域を犠牲にす
ることがない。
【0256】以下、本発明の第3実施形態の第2変形例
を説明する。
【0257】第2変形例は、第1実施形態の第1変形例
と同様に、第2のスイッチN14のしきい値電圧が、第
1の駆動トランジスタN1のしきい値電圧、第2の駆動
トランジスタN2のしきい値電圧及び第1のスイッチN
3のしきい値電圧よりも低くなるように設定されている
構成とする。
【0258】本変形例の特徴として、第1実施形態の第
1変形例と同様に、第2のスイッチN14となるMOS
型トランジスタのしきい値電圧を他のトランジスタと比
較して低く設定することにより、書き込み動作時におい
てビット相補線/BLが第1の電源Vccの電位よりも高
い電位Vppまで昇圧される必要がなくなるため、低電圧
により動作するメモリセルを実現することができる。
【0259】以下、本発明の第3実施形態の第3変形例
を説明する。
【0260】第3変形例は、第1実施形態の第2変形例
と同様に、第2の負荷トランジスタP2のサイズが、第
1の負荷トランジスタP1及び第2の駆動トランジスタ
N2よりも小さくなるように設定されている構成とす
る。
【0261】本変形例の特徴として、第1実施形態の第
2変形例と同様に、第1の記憶ノードV1及び第2の記
憶ノードV2はビット線対BL,/BLとそれぞれ遮断
されているため、読み出し動作時のノイズマージンが非
常に大きく確保されており、しかも容易には小さくなら
ないので、フリップフロップ回路のバランスを崩して、
第2の負荷トランジスタP2のサイズを小さくすること
ができ、書込み動作が高速になる。
【0262】以下、本発明の第3実施形態の第4変形例
を図面に基づいて説明する。
【0263】図10は本発明の第3実施形態の第4変形
例に係るメモリセルを表わす回路図である。図10にお
いて、図8(a)に示す第3実施形態に係るメモリセル
との構成の違いのみを説明すると、/BLは書き込み動
作時に第4の電源Vs2の電位に印加されるビット線BL
の相補線となり、WTは書き込み動作時に第2のハイデ
ータ電位Vu2に印加される第2の制御線としての書き込
み制御線となる構成である。
【0264】第4の電源Vs2に印加する第2の電源Vss
の電位及びグラウンド線制御電位Vu3は、図9に示すグ
ラウンド線制御回路Bにより生成され、また、第2のハ
イデータ電位Vu2は図21(b)に示すビット線制御回
路A2により生成される。
【0265】第4変形例の読み出し動作及び書き込み動
作は第3実施形態と同様であるため省略する。
【0266】本変形例の特徴として、ロウ方向よりもコ
ラム方向に多くのメモリセルが接続されている構成とす
る場合の書き込み動作時において、第2の電源Vssの電
位から第2のハイデータ電位Vu2まで大きく電位が変化
する書き込み制御線WTの配線が、ワード線WLと平行
に配置されることにより、書き込み制御線WTに接続さ
れるメモリセルの数が減るため、書き込み制御線WTの
負荷容量が減るので、メモリセルの消費電力が減り、ま
たその書き込み動作が高速になる。
【0267】さらに、第1の駆動トランジスタN1のグ
ラウンド線の電位となる第3の電源Vs1の電位が図9に
示すグラウンド線制御回路Bにより制御されて、書き込
み動作が行なわれる際に、書き込み制御線WTがロウ方
向から選択されることにより、書き込みデータ信号が印
加されるビット線BLはコラム方向に配置され、書き込
み制御電圧が印加される書き込み制御線WTはロウ方向
に配置されているため、書き込みが行なわれるメモリセ
ルは、ビット線BLと書き込み制御線WTとが交差する
選択されたメモリセルに限られるので、選択されていな
いメモリセルに対してデータを書き込んでしまう、いわ
ゆる誤書き込みを防ぐことができる。
【0268】以下、本発明の第3実施形態の第5変形例
を図面に基づいて説明する。
【0269】図11は本発明の第3実施形態の第5変形
例に係るメモリセルアレイを表わす模式図である。図1
1において、図10に示す第3実施形態の第4変形例に
係るメモリセルがアレイ状に配置される際に、4本のワ
ード線WLに対して1本の書き込み制御線WTが配置さ
れる構成である。書き込み制御線WTの電位は、第3実
施形態の第4変形例と同様に、図21(b)に示すビッ
ト線制御回路A2により生成される。
【0270】図11に示すように、4コラムごとに選択
コラムが存在するとすると、16本のワード線に対し
て、4本の書き込み制御線WTを設けることにより、4
本の書き込み制御線WTがそれぞれ異なるコラムアドレ
スのメモリセルに接続されるため、選択セルのみが、ワ
ード線となるワード線WLと書き込み制御線となる書き
込み制御線WTとにより同時に選択される唯一のメモリ
セルになる。従って、第3の電源Vs1及び第4の電源V
s2の電位が書き込み動作時に変化したとしても、選択さ
れなかったメモリセルに対する誤書き込みは防止でき
る。
【0271】本変形例の特徴として、ワード線WLと同
じロウアドレスごとに書き込み制御線WTを設けるので
はなく、4本のワード線WLに対して1本のみ設ける構
成をとることにより、書き込み制御線WTの本数を減ら
すことができるため、書き込み制御線WTが半導体基板
上の回路素子形成領域を犠牲にしない。
【0272】以下、本発明の第3実施形態の第6変形例
を図面に基づいて説明する。
【0273】図12は本発明の第3実施形態の第6変形
例に係るメモリセルを表わす回路図である。図8(a)
に示すメモリセルに対して新たに図12に示すメモリセ
ルに追加された構成要素のみを説明する。図12におい
て、N35は書き込み動作時の第1の記憶ノードV1に
対する書き込み速度を上げるために第2の記憶ノードV
2と第4の電源Vs2との間に第2の駆動トランジスタN
2と並列に接続され、ビット線BLにより第1のスイッ
チN3を介して制御される第3のスイッチである。
【0274】以下、前記のように構成されたメモリセル
の書き込み動作を説明する。
【0275】第3実施形態と比較して特徴的な点のみを
説明する。第1の記憶ノードに「1」及び第2の記憶ノ
ードに「0」を書き込む場合を考える。まず、ワード線
WLには第1の電源Vcc程度の電圧が印加され、ビット
相補線/BLには第2のハイデータ電位Vu2が印加され
るため、第1のスイッチN3及び第2のスイッチN14
は共にオンになる。
【0276】次に、ビット線BLと第1の記憶ノードV
1とが第1のスイッチN3及び第2のスイッチN14を
通して接続されるため、第1の記憶ノードV1の電位は
図21(a)に示すビット線制御回路A1が生成する第
1のハイデータ電位Vu1に徐々に近づく。また、第1の
接続点V3の電位は第1の記憶ノードV1よりも高くな
っているため、第2の駆動トランジスタN2が動作する
よりも先に第3のスイッチN35が動作を開始するの
で、第2の記憶ノードV2の電位は、第2の電源Vssの
電位に急速に近づき、第1の駆動トランジスタN1は急
速に動作を止め、かつ第1の負荷トランジスタP1は急
速に低インピーダンスとなり、第3実施形態よりも高速
に書き込み動作を行なうことができる。
【0277】なお、メモリセル当たりのトランジスタの
数が1つ増えることにはなるが、対象性が良くなるた
め、半導体基板上のレイアウト設計をする際に不利には
ならない。
【0278】以下、本発明の第3実施形態の第7変形例
を図面に基づいて説明する。
【0279】図2(a)は本発明の第3実施形態の第7
変形例に係るメモリセルの電源の電位を示している。第
7変形例は、第1実施形態の第4変形例におけるメモリ
セル1に替わり第3実施形態のメモリセルを有する構成
とするものである。
【0280】本変形例の特徴として、フリップフロップ
接続されるトランジスタ群は第1の電源Vccの電位より
も低い第6の電源Vm の電位であっても、読み出し動作
時にはビット線対BL,/BLが第2の電源Vssの電位
に印加され、書き込み動作時にはビット相補線/BLに
第3実施形態と同様の第1の電源Vccの電位と同程度の
電位に印加されるため、安定した動作ができる。
【0281】また、メモリセルの共通ソース線に第1の
電源Vccと第2の電源Vssとの中間の第6の電源Vm の
電位が印加されているため、信号電位のラッチ能力が低
下しているので、書き込み動作が早くなる。
【0282】以下、本発明の第3実施形態の第8変形例
を図面に基づいて説明する。
【0283】図2(b)は本発明の第3実施形態の第8
変形例に係るメモリセルの電源の電位を示している。図
2(b)において、図2(a)に示した降圧回路に替え
て第3実施形態に係るメモリセルが接続されている構成
とする。
【0284】図13は本発明の第3実施形態の第8変形
例に係るメモリセルを表わす回路図である。図13
(a)におけるメモリセルは、図2(b)に示すメモリ
セル2に対応し、メモリセルの構成は図8(a)に示す
第3実施形態に係るメモリセルの各トランジスタが対応
するトランジスタの導電型と逆の導電型に設定されてい
る。図13(b)におけるメモリセルは、図2(b)に
示すメモリセル1に対応し、メモリセルの構成は図8
(a)に示す第1実施形態に係るメモリセルと同様であ
る。
【0285】本変形例の特徴として、第1実施形態の第
5変形例と同様に、メモリセル1は、フリップフロップ
接続された負荷トランジスタP1及びP2並びに駆動ト
ランジスタN1及びN2が低電圧で動作し、ワード線W
Ln及びビット線対BL,/BLnが第3実施形態と同
じ降圧されていない電位で制御されるため、安定した動
作をすることができる。
【0286】また、メモリセル2は、フリップフロップ
接続された負荷トランジスタN1及びN2並びに駆動ト
ランジスタP1及びP2が低電圧で動作し、ワード線W
Lp及びビット線対BLp,/BLpが第3実施形態と
同様に降圧されていない電位で制御されるため、安定し
た動作をすることができる。
【0287】さらに、メモリセル1及びメモリセル2
は、共通ソース線に第6の電源Vm の電位が印加されて
いるため、信号電位のラッチ能力が低下しているので、
書き込み動作が早くなる。
【0288】以下、本発明の第3実施形態の第9変形例
を図面に基づいて説明する。
【0289】図4は本発明の第3実施形態の第9変形例
に係るメモリセルアレイを表わす模式図である。
【0290】図5は本発明の第3実施形態の第9変形例
に係るメモリセルアレイからデータを読み出す際のタイ
ミングチャートを示している。
【0291】図4(a)において、メモリセルは図8
(a)に示す第3実施形態のメモリセルが4行×16列
のアレイ状に配置されており、WLはワード線、BLは
ビット線、/BLは書き込み時には書き込み制御線とな
るビット相補線である。図4(b)、図4(c)及び図
5の説明は第1実施形態の第6変形例と同様であるので
省略する。
【0292】本変形例の特徴として、第1実施形態の第
6変形例と同様に、活性化されたワード線に接続された
メモリセルは記憶ノードがビット線から遮断されている
ため貫通電流が流れず、またプリチャージに電力が消費
されないメモリセルを用いているためメモリセル当たり
の消費電力が小さくなるので、ワード線WLの本数を減
らすことができるようになり、その結果、アクセス時間
を短縮することができる。
【0293】以下、本発明の第4実施形態を図面に基づ
いて説明する。
【0294】図14(a)は本発明の第4実施形態に係
るメモリセルを表わす回路図である。図14(a)にお
いて、図6(a)に示す第2実施形態に係るメモリセル
との構成の違いのみを説明すると、Vs1は第1の駆動ト
ランジスタN1のグラウンド線が接続される第3の電
源、Vs2は第2の駆動トランジスタN2のグラウンド線
が接続される第4の電源である。
【0295】図9は本発明の第4実施形態に係るグラウ
ンド線制御回路を表わす回路図である。図9に示すグラ
ウンド線制御回路Bは第3実施形態と共通に用いられる
ため説明を省略する。
【0296】以下、前記のように構成されたメモリセル
及びグラウンド線制御回路の動作を、図面に基づいて説
明する。
【0297】図30は本発明の第4実施形態に係るメモ
リセルの動作時のタイミングチャートである。
【0298】図30に示すように、読み出し動作は、読
み出し期間のタイミングチャートが図29に示す読み出
し期間のタイミングチャートと同様であり、動作も同様
であるため説明を省略する。
【0299】書き込み動作においても、第2実施形態と
の違いのみを説明する。まず、第1の記憶ノードV1に
「0」が、第2の記憶ノードV2に「1」が書き込まれ
るとする。
【0300】次に、ラッチされたアドレスにより選択さ
れるワード線WL(2)が立ち上がり、図9に示すグラ
ウンド線制御回路Bにおいて、書き込み要求WEは
「1」であり、書き込みデータDinは「0」であるとす
ると、第1の前グラウンド線pVs1(k)はグラウンド
線制御電位Vu3に印加され、第2の前グラウンド線pV
s2(k)は第2の電源Vssの電位に印加される。
【0301】次に、ビット相補線/BL(1)の電位が
第2のハイデータ電位Vu2に印加されると共に、第3の
電源Vs1(1)はグラウンド線制御電位Vu3に印加さ
れ、第4の電源Vs2(1)は第2の電源Vssの電位に印
加される。
【0302】次に、ワード線WL(2)には第1の電源
Vcc程度の電圧が印加され、ビット相補線/BL(1)
には第2のハイデータ電位Vu2が印加されるため、第1
のスイッチN3及び第2のスイッチN24は共にオンに
なる。
【0303】その結果、ビット線BLと第2の記憶ノー
ドV2とが第1のスイッチN3を通して接続されるた
め、第2の記憶ノードV2の電位は徐々に接地電位Vx1
に近づく。また、第1の駆動トランジスタN1のゲート
電極が第2のデータ保持ノードV2と接続されているた
め、そのしきい値電圧まで下がると第1の駆動トランジ
スタN1の動作が止まり、かつ第1の負荷トランジスタ
P1のゲート電極が第2の記憶ノードV2と接続されて
いるため、第1の負荷トランジスタP1はそのしきい値
電圧を越えると動作し始めるので、第1の記憶ノードV
1の電位は、第1の電源Vccに次第に近づいて書き込み
動作は完了する。なお、書き込みの対象となる記憶ノー
ドは、第3実施形態のメモリセルにおいては第1の記憶
ノードV1であるが、本実施形態においては第2実施形
態と同じ第2の記憶ノードV2である。
【0304】本実施形態の特徴として、書き込み動作期
間において、第1の駆動トランジスタN1は、第1の記
憶ノードV1にローデータを書き込む場合に、第3の電
源Vs1にグラウンド線制御電位Vu3を印加することによ
り、第1の記憶ノードV1の信号電位のラッチ能力を低
下させているため、第1の記憶ノードV1に速やかに
「0」に書き込むことができる。
【0305】なお、グラウンド線制御電位Vu3は、数1
00mV以上、かつ、第1の電源Vccの電位と第1の駆
動トランジスタのしきい値電圧Vtとの差の電位以下に
設定される。
【0306】本実施形態のメモリセルと第3実施形態の
メモリセルとの使い分けは、よりノイズマージンを優先
する場合には第2のスイッチN24が第1の駆動トラン
ジスタN1と直列に接続されていない本実施形態のメモ
リセルを用い、より集積度を優先する場合には6個のト
ランジスタにより構成される第3実施形態のメモリセル
を用いると良い。
【0307】以下、本発明の第4実施形態の第1変形例
を図面に基づいて説明する。
【0308】図14(b)は本発明の第4実施形態の第
1変形例に係るメモリセルアレイの一部を表わす回路図
である。図14(b)において、メモリセル41、42
及び43は図14(a)に示す第4実施形態に係るメモ
リセルが同一のワード線WLに接続されており、メモリ
セル41の第4の電源Vs2(n−1)とメモリセル42
の第3の電源Vs1(n)とが接続され、メモリセル42
の第4の電源Vs2(n)とメモリセル43の第3の電源
Vs1(n+1)とが接続されている構成とする。
【0309】前記の構成をとるメモリセルにおいて、第
3実施形態の第1変形例と同様に、隣接するメモリセル
は書込み制御線となるビット相補線/BL(n−1)及
び/BL(n+1)が選択されていないため、隣接メモ
リセル41及び43の第2のスイッチN24はオフにな
っている。従って、第3の電源Vs1と第4の電源Vs2と
の電位差、すなわちグラウンド線制御電位Vu3は、数1
00mV以上、かつ、第1の電源Vccの電位と第1の駆
動トランジスタN1又は第2の駆動トランジスタN2の
しきい値電圧Vtとの差の電位以下に設定することが可
能である。
【0310】本変形例の特徴として、互いに隣接するメ
モリセル同士の第3の電源Vs1及び第4の電源Vs2を共
有しているため、分割されたグラウンド線の本数が増加
しないので、半導体基板上の回路素子形成領域が分割さ
れたグラウンド線によって犠牲にならない。
【0311】以下、本発明の第4実施形態の第2変形例
を説明する。
【0312】第2変形例は、第2実施形態の第1変形例
と同様に、第1の負荷トランジスタP1のサイズが、第
2の負荷トランジスタP2よりも小さく設定されている
構成とする。
【0313】本変形例の特徴として、第2実施形態の第
1変形例と同様に、第1の記憶ノードV1及び第2の記
憶ノードV2はビット線対BL,/BLとそれぞれ遮断
されているため、読み出し動作時のノイズマージンが非
常に大きく確保されており、しかも容易には小さくなら
ないので、フリップフロップ回路のバランスを崩して、
第1の負荷トランジスタP1のサイズを小さくすること
ができ、書込み動作を高速化することができる。
【0314】以下、本発明の第4実施形態の第3変形例
を図面に基づいて説明する。
【0315】図15(a)は本発明の第4実施形態の第
3変形例に係るメモリセルを表わ回路図である。図15
(a)において、図14(a)に示す第4実施形態に係
るメモリセルとの構成の違いのみを説明すると、ビット
線BLの相補線となる/BLは第4の電源Vs2に印加さ
れ、WTは書き込み動作時に第2のハイデータ電位Vu2
に印加される書き込み制御線となる構成である。
【0316】第4の電源Vs2に印加する第2の電源Vss
の電位及びグラウンド線制御電位Vu3は、図9に示すグ
ラウンド線制御回路Bにより生成され、第2のハイデー
タ電位Vu2は図21(b)に示すビット線制御回路A2
により生成される。
【0317】第3変形例の読み出し動作及び書き込み動
作は第4実施形態と同様であるため省略する。
【0318】本変形例の特徴として、図10に示した第
3実施形態の第4変形例と同様に、ロウ方向よりもコラ
ム方向に多くのメモリセルが接続されている構成とする
場合の書き込み動作時において、書き込み制御線WTに
接続されるメモリセルの数が減るため、書き込み制御線
WTの負荷容量が減るので、メモリセルの消費電力が減
り、またその書き込み動作が高速になる。さらに、第1
の駆動トランジスタN1のグラウンド線の電位となる第
3の電源Vs1の電位が図9に示すグラウンド線制御回路
Bにより制御されて、書き込み動作が行なわれる際に、
書き込みが行なわれるメモリセルは、ビット線BLと書
き込み制御線WTとが交差する選択されたメモリセルに
限られるので、選択されていないメモリセルに対して、
誤書き込みを防ぐことができる。
【0319】以下、本発明の第4実施形態の第4変形例
を図面に基づいて説明する。
【0320】図11は本発明の第4実施形態の第4変形
例に係るメモリセルアレイを表わす模式図である。図1
1において、第4実施形態の第3変形例に係るメモリセ
ルがアレイ状に配置される際に、4本のワード線WLに
対して1本の書き込み制御線WTが配置される構成であ
る。書き込み制御線WTの電位は図21(b)に示すビ
ット線制御回路A2により生成される。
【0321】図11に示すように、第3実施形態の第5
変形例と同様に、4本の書き込み制御線WTがそれぞれ
異なるコラムアドレスのメモリセルに接続されるため、
選択セルのみが、ワード線WLと書き込み制御線WTと
により同時に選択される唯一のメモリセルになるので、
第3の電源Vs1の電位及び第4の電源Vs2の電位が書き
込み動作時に変化したとしても、選択されなかったメモ
リセルに対する誤書き込みが防止できる。
【0322】本変形例の特徴として、ワード線WLと同
じロウアドレスごとに書き込み制御線WTを設けるので
はなく、4本のワード線WLに対して1本のみ設ける構
成をとることにより、書き込み制御線WTの本数を減ら
すことができるため、書き込み制御線WTが半導体基板
上の回路素子形成領域を犠牲にしない。
【0323】以下、本発明の第4実施形態の第5変形例
を図面に基づいて説明する。
【0324】図15(b)は本発明の第4実施形態の第
5変形例に係るメモリセルを表わす回路図である。図1
4(a)に示すメモリセルに対して新たに図15(b)
に示すメモリセルに追加された構成要素のみを説明す
る。図15(b)において、N46は書き込み動作時の
第2の記憶ノードV2に対する書き込み速度を上げるた
めに、第1の記憶ノードV1と第3の電源Vs1との間に
第1の駆動トランジスタN1と並列に接続され、ビット
線BLにより第1のスイッチN3を介して制御される第
4のスイッチである。
【0325】以下、前記のように構成されたメモリセル
の書き込み動作を説明する。
【0326】第4実施形態と比較して特徴的な点のみを
説明する。第1の記憶ノードV1に「0」及び第2の記
憶ノードに「1」を書き込む場合を考える。まず、ワー
ド線WLには第1の電源Vcc程度の電圧が印加され、ビ
ット相補線/BLには第2のハイデータ電位Vu2が印加
されるため、第1のスイッチN3及び第2のスイッチN
14は共にオンになる。
【0327】次に、ビット線BLと第2の記憶ノードV
2とが第1のスイッチN3及び第2のスイッチN24を
通して接続されるため、第2の記憶ノードV2の電位は
図21(a)に示すビット線制御回路A1により生成さ
れる第1のハイデータ電位Vu1に徐々に近づく。また、
第4のスイッチN46のゲート電極の電位は第2の記憶
ノードV2よりも高いため、第1の駆動トランジスタN
1が動作するよりも先に第4のスイッチN46が動作を
開始しているので、第1の記憶ノードV1の電位は、第
2の電源Vssの接地電位に急速に近づく。従って、第2
の駆動トランジスタN2は急速に動作を止め、かつ第2
の負荷トランジスタP2は急速に低インピーダンスとな
り、第4実施形態よりも高速に書き込み動作を行なうこ
とができる。
【0328】以下、本発明の第4実施形態の第6変形例
を図面に基づいて説明する。
【0329】図2(a)は本発明の第4実施形態の第6
変形例に係るメモリセルの電源の電位を示している。本
実施形態は、第1実施形態の第4変形例におけるメモリ
セル1に替わり第4実施形態のメモリセルを有する構成
とする。
【0330】本実施形態の特徴として、フリップフロッ
プ接続されるトランジスタ群は第1の電源Vccの電位よ
りも低い第6の電源Vm の電位であっても、読み出し動
作時にはビット線対BL,/BLが第2の電源Vssの電
位に印加され、書き込み動作時にはビット相補線/BL
に第4実施形態と同様の第1の電源Vccの電位と同定度
の電位に印加されるため、安定した動作をすることがで
きる。
【0331】また、メモリセルの共通ソース線に第1の
電源Vccと第2の電源Vssとの中間の第6の電源Vm の
電位が印加されているため、信号電位のラッチ能力が低
下しているので、書き込み動作が早くなる。
【0332】以下、本発明の第4実施形態の第7変形例
を図面に基づいて説明する。
【0333】図2(b)は本発明の第4実施形態の第7
変形例に係るメモリセルの電源の電位を示している。図
2(b)において、図2(a)に示した降圧回路に替え
て第4実施形態に係るメモリセルが接続されている構成
とする。
【0334】図16は本発明の第4実施形態の第7変形
例に係るメモリセルを表わす回路図である。図16
(a)におけるメモリセルは、図2(b)に示すメモリ
セル2に対応し、メモリセルの構成は図14(a)に示
す第4実施形態に係るメモリセルの各トランジスタが対
応するトランジスタの導電型と逆の導電型に設定されて
いる。図16(b)におけるメモリセルは、図2(b)
に示すメモリセル1に対応し、メモリセルの構成は図1
4(a)に示す第4実施形態に係るメモリセルと同様で
ある。
【0335】本変形例の特徴として、第3実施形態の第
8変形例と同様に、メモリセル1は、フリップフロップ
接続された負荷トランジスタP1及びP2並びに駆動ト
ランジスタN1及びN2が低電圧で動作し、ワード線W
Ln及びビット線対BLn,/BLnが第4実施形態と
同じく降圧されていない電位で制御されるため、安定し
た動作をすることができる。
【0336】また、メモリセル2は、フリップフロップ
接続された負荷トランジスタN1及びN2並びに駆動ト
ランジスタP1及びP2が低電圧で動作し、ワード線W
Lp及びビット線対BLp,/BLpが第4実施形態と
同じ降圧されていない電位で制御されるため、安定した
動作をすることができる。
【0337】さらに、メモリセル1及びメモリセル2
は、共通ソース線に第6の電源Vm の電位が印加されて
いるため、信号電位のラッチ能力が低下しているので、
書き込み動作が早くなる。
【0338】以下、本発明の第4実施形態の第8変形例
を図面に基づいて説明する。
【0339】図4は本発明の第4実施形態の第8変形例
に係るメモリセルアレイを表わす模式図である。
【0340】図5は本発明の第4実施形態の第8変形例
に係るメモリセルアレイからデータを読み出す際のタイ
ミングチャートを示している。
【0341】図4(a)において、メモリセルは図14
(a)に示す第4実施形態のメモリセルが4行×16列
のアレイ状に配置され、WLはワード線、BLはビット
線、/BLは書き込み時には書き込み制御線となるビッ
ト相補線である。図4(b)、図4(c)及び図5の説
明は第1実施形態の第6変形例と同様であるため省略す
る。
【0342】本変形例の特徴として、第1実施形態の第
6変形例と同様に、活性化されたワード線WLに接続さ
れたメモリセルは記憶ノードがビット線BLから遮断さ
れているため貫通電流が流れず、またプリチャージに電
力が消費されないメモリセルを用いているため、メモリ
セル当たりの消費電力が小さくなるので、ワード線の本
数を減らすことができるようになり、その結果、アクセ
ス時間を短縮することができる。
【0343】以下、本発明の第5実施形態を図面に基づ
いて説明する。
【0344】図17(a)は本発明の第5実施形態に係
るメモリセルを表わす回路図である。図17(a)にお
いて、図28に示す従来のメモリセルに比べて構成の異
なる構成要素のみを説明すると、N54は第2の記憶ノ
ードV2の電位により制御され第1の記憶ノードV1を
ビット線BLから遮断する第2のスイッチ、N55は第
1の記憶ノードV1の電位により制御され第2の記憶ノ
ードV2をビット相補線/BLから遮断する第3のスイ
ッチ、N56はワード線WLが活性化された際にビット
相補線/BLにより第2の記憶ノードV2に対して書き
込み動作を可能にする第4のスイッチ、Vsmはメモリセ
ルを動作させる基準電位となる第5の電源、V53は第
1の駆動トランジスタN1と第1のスイッチN3との間
の第1の接続点、V54は第2の駆動トランジスタN2
と第3のスイッチN55との間の第2の接続点である。
【0345】第2のスイッチN54は第1の負荷トラン
ジスタP1と第1の駆動トランジスタN1との間に直列
に接続され、第3のスイッチN55は第2の負荷トラン
ジスタP2と第2の駆動トランジスタN2との間に直列
に接続されている。
【0346】第1の駆動トランジスタN1及び第2のス
イッチN54と第2の駆動トランジスタN2及び第3の
スイッチN55とは対をなし、第1の負荷トランジスタ
P1及び第2の負荷トランジスタP2は対をなし、これ
らのトランジスタ群はフリップフロップ接続されてい
る。
【0347】第1の記憶ノードV1は第1の負荷トラン
ジスタP1に接続され、また第2のスイッチN54及び
第1の駆動トランジスタN1を介して第5の電源Vsmに
接続されている。
【0348】第2の記憶ノードV2は第2の負荷トラン
ジスタP2に接続され、また第3のスイッチN55及び
第2の駆動トランジスタN2を介して第5の電源Vsmに
接続されている。
【0349】以下、前記のように構成されたメモリセル
の動作を図に基づいて説明する。図19(a)は本発明
の第5実施形態に係るメモリセルの動作時のタイミング
チャートである。図19(a)において、Vccはメモリ
セルの読み出し動作及び書き込み動作を制御する第1の
電源の電位、Vssはメモリセルの読み出し動作及び書き
込み動作を制御する接地電位となる第2の電源の電位、
Vsmはメモリセルの読み出し動作及び書き込み動作を制
御する第1の電源の電位Vccのほぼ2分の1の基準電位
となる第5の電源の電位、V1はメモリセルの第1の記
憶ノードの電位、V2はメモリセルの第2の記憶ノード
の電位、WLnはワード線の電位、BLn及び/BLn
はビット線とビット相補線との電位である。
【0350】最初に、本実施形態に係るメモリセルの読
み出し期間の動作を説明する。
【0351】まず、第1の記憶ノードV1には「1」す
なわち第1の電源Vccの電位が保持され、第2の記憶ノ
ードV2には「0」すなわち第5の電源Vsmの電位が保
持されているとする。メモリセルの各制御回路の動作は
第1実施形態と同じであるのでメモリセルにのみ着目し
て説明する。
【0352】まず、ワード線WLnの電位が立ち上がり
第1のスイッチN3及び第4のスイッチN56がオンに
なると、第1の接続点V53はビット線BLnに接続さ
れ、第2の接続点V54はビット相補線/BLnに接続
される。
【0353】次に、第2の記憶ノードV2の電位は第5
の電源Vsmの電位であるため、第1の駆動トランジスタ
N1が十分に動作しておらず、ビット線BLnは高イン
ピーダンスで第5の電源Vsmと接続される。一方、ビッ
ト相補線/BLnは第2の接続点V54に接続され、第
2の駆動トランジスタN2が十分に動作しているため、
ビット線BLnよりも低いインピーダンスで第5の電源
Vsmに接続される。従って、ビット線対BLn,/BL
n間の電気的特性の差は、第1の記憶ノードV1の保持
データにのみ依存し、インピーダンス特性の差として現
われるので、安定な読出し動作が可能になる。
【0354】本実施形態の特徴として、第1の記憶ノー
ドV1は第2のスイッチN54によりビット線から遮断
されているため、読み出し時に記憶ノードV1の電位が
上昇することがないので、第1の電源Vccから第2の駆
動トランジスタN2を通して第5の電源Vsmに貫通電流
が流れなくなる。従って、安定な読み出し動作が可能と
なり、不要な電力を消費することがない。
【0355】また、従来のように保持データの信号電位
がビット線対BLn,/BLn間の電位差として読み出
されず、またビット線対BLn,/BLnは共に接地電
位に印加されているため、プリチャージに使用する電力
が不要となる。
【0356】さらに、インピーダンス検知用の読み出し
電流として確保すべき最小電圧は、ビット線対BLn,
/BLnのインピーダンス特性の差として検知できる範
囲でよくなるため、第1の駆動トランジスタN1及び第
2の駆動トランジスタN2が動作する電圧、すなわちト
ランジスタのしきい値電圧となるので低電圧動作が可能
となる。
【0357】次に、本実施形態に係るメモリセルの書き
込み期間の動作を説明する。
【0358】まず、第1の記憶ノードV1に「0」が、
第2の記憶ノードV2に「1」が書き込まれるとする。
【0359】次に、図19(a)の書き込み期間に示す
ように、ラッチされたアドレスにより選択されるワード
線WLnが立ち上がり、ビット相補線/BLnの電位は
第1の電源Vccの電位に印加され、ビット線BLnの電
位は第2の電源Vssの電位に印加される。
【0360】次に、ワード線WLnには第1の電源Vcc
程度の電圧が印加されて第1のスイッチN3及び第4の
スイッチN56は共にオンになる。
【0361】次に、図17(a)に示すビット相補線/
BLnと、第1の電源の電位Vccが保持されている第1
の記憶ノードV1にゲート電極が接続されて活性化され
ている第3のスイッチN55を通して第2の記憶ノード
V2とが接続されるため、第2の記憶ノードV2の電位
は徐々に第1の電源Vccの電位に近づく。
【0362】また、第2の記憶ノードV2にゲート電極
が接続されている第2のスイッチN54はそのゲート電
極の電位がしきい値電圧を越えると動作し始め、「0」
の基準電位となる第5の電源Vsmの電位よりも低い電位
に印加されたビット線BLnと記憶ノードV1とが第1
のスイッチN3及び第2のスイッチN54を通して接続
され、図19(a)に示すように、第1の記憶ノードV
1の電位は徐々に第5の電源の電位Vsmを越えて第2の
電源の電位Vssに近づく。同時に第1の駆動トランジス
タN1のゲート電極が第2の記憶ノードV2と接続され
ているため、そのゲート電極の電位がしきい値電圧を越
えると第1の駆動トランジスタN1は動作し始め、第1
の記憶ノードV1は第5の電源Vsmと接続され、かつ第
1の負荷トランジスタP1のゲート電極は第2の記憶ノ
ードV2と接続されているため、第1の負荷トランジス
タP1はゲート電極の電位がそのしきい値電圧を越えて
高くなると動作が停止するので、第1の記憶ノードV1
は第1の電源Vccから遮断される。
【0363】また、第2の駆動トランジスタN2及び第
3のスイッチN55のゲート電極が第1の記憶ノードV
1と接続されているため、その電位がしきい値電圧より
も下がると第2の駆動トランジスタN2及び第3のスイ
ッチN55は動作を停止して、第2の記憶ノードV2は
第5の電源Vsmから遮断され、かつ第2の負荷トランジ
スタP2のゲート電極が第1の記憶ノードV1と接続さ
れているため、第2の負荷トランジスタP2はゲート電
極の電位がそのしきい値電圧を越えて低くなると動作し
始めるので、第2の記憶ノードV2は第1の電源Vccに
接続されて書き込み動作は完了する。
【0364】本実施形態の特徴として、「0」を書き込
む際に、ビット線BLが「0」の基準電位となる第5の
電源Vsmの電位よりも低い第2の電源Vssの電位に印加
されるため、高速に「0」を書き込むことができ、従っ
て、その相補値となる「1」の書き込み動作も早くな
る。
【0365】さらに、クロスカップルトランジスタを構
成する第1の駆動トランジスタN1及び第2の駆動トラ
ンジスタN2の共通グラウンド線に接続されている第5
の電源Vsmは第1の電源の電位Vccのほぼ2分の1であ
るため、第1の駆動トランジスタN1及び第2の駆動ト
ランジスタN2の信号電位のラッチ能力が低下するた
め、書き込み動作がさらに早くなる傾向を示す。
【0366】以下、本発明の第5実施形態の第1変形例
を図面に基づいて説明する。
【0367】図18は本発明の第5実施形態の第1変形
例に係るメモリセルを表わす回路図である。図18にお
いて、図17(a)に示す第5実施形態に係るメモリセ
ルとの構成の違いのみを説明すると、Vs1は第1の駆動
トランジスタN1のグラウンド線が接続される第3の電
源、Vs2は第2の駆動トランジスタN2のグラウンド線
が接続される第4の電源である。
【0368】図9は本発明の第5実施形態の第1変形例
に係るグラウンド線制御回路の回路図である。図9に示
すグラウンド線制御回路は第3実施形態及び第4実施形
態と共通に用いる制御回路であるため説明を省略する。
【0369】以下、前記のように構成されたメモリセル
を説明する。
【0370】読み出し動作の説明は第5実施形態と同様
であるため省略し、書き込み動作の説明は第5実施形態
との違いのみとする。
【0371】まず、第1の記憶ノードV1に「0」が、
第2の記憶ノードV2に「1」が書き込まれるとする。
【0372】次に、ラッチされたアドレスにより選択さ
れるワード線WLが立ち上がり、図9に示すグラウンド
線制御回路Bにおいて、書き込み要求WEは「1」であ
り、書き込みデータDinは「1」とすると、第1の前グ
ラウンド線pVs1(k)に第2の電源Vssの電位が発生
し、第2の前グラウンド線pVs2(k)にグラウンド線
制御電位Vu3が発生する。
【0373】その結果、ビット相補線/BLの電位が第
1の電源Vccの電位に印加されると共に、第3の電源V
s1は第2の電源Vssの電位に印加され、第4の電源Vs2
はグラウンド線制御電位Vu3に印加される。
【0374】次に、ワード線WLに第1の電源Vccの電
位程度の電圧が印加されるため、第1のスイッチN3及
び第4のスイッチN56は共にオンになる。
【0375】次に、第5実施形態と同様に、ビット相補
線/BLと、活性化されている第3のスイッチN55を
通して第2の記憶ノードV2とが接続されるため、第2
の記憶ノードV2の電位は徐々に第1の電源Vccの電位
に近づく。
【0376】また、「0」の基準電位となる第2の電源
Vssの電位に印加されたビット線BLと記憶ノードV1
とが第1のスイッチN3及び第2のスイッチN54を通
して接続され、第1の記憶ノードV1の電位は、徐々に
第2の電源Vssの電位に近づく。
【0377】本変形例の特徴として、第5実施形態と同
様に、書き込み動作期間において、第2の負荷トランジ
スタP2、第3のスイッチN55及び第2の駆動トラン
ジスタN2は、第2の記憶ノードV2の電位が「1」に
なるまでの過渡期において動作中のため、第1の電源V
ccから第4の電源Vs2に向けて貫通電流が流れてしま
う。しかし、第2の記憶ノードにつながる第4の電源V
s2の電位を接地電位である第2の電源Vssよりも高く設
定することにより、第2の駆動トランジスタN2のオン
抵抗が高くなるため、該第2の駆動トランジスタN2を
流れる貫通電流が抑制されるので、書き込み動作が早く
なる。
【0378】なお、グラウンド線制御電位Vu3は、数1
00mV以上、かつ、第1の電源Vccの電位と第2の駆
動トランジスタのしきい値電圧Vtとの差の電位以下に
設定される。
【0379】以下、本発明の第5実施形態の第2変形例
を図面に基づいて説明する。
【0380】図17は本発明の第5実施形態の第2変形
例に係るメモリセルを表わす回路図である。図17
(a)に示すメモリセルは第5実施形態に用いたものと
同じであるので説明を省略する。図17(b)におい
て、Vsmはメモリセルを駆動する第1の電源Vccの電位
のほぼ2分の1の電位である基準電位となる第5の電源
であり、Vssはメモリセルを駆動する接地電位となる第
2の電源であり、各トランジスタは図17(a)に示す
メモリセルに対応する各トランジスタの導電型を反転さ
せた構成である。
【0381】第2変形例は図17(a)及び図17
(b)のメモリセルが、第1実施形態の第5変形例と同
様に、2段に直列に接続された構成とする。
【0382】以下、前記のように構成されたメモリセル
の動作を図面に基づいて説明する。図19(a)は図1
7(a)に示す第2変形例に係るメモリセルの動作時の
タイミングチャートであり、図19(b)は図17
(b)に示す第2変形例に係るメモリセルの動作時のタ
イミングチャートである。
【0383】図17(a)に示す第2変形例に係るメモ
リセルの読み出し動作及び書き込み動作は第5実施形態
と同じであるため、説明を省略する。
【0384】図19(b)に示すメモリセルのタイミン
グチャートは負論理となるため、読み出し期間において
は、第1の記憶ノードV1に「0」が保持され、第2の
記憶ノードV2に「1」が保持されていることを示し、
書き込み期間においては、第1の記憶ノードV1に
「1」が書き込まれ、第2の記憶ノードV2に「0」が
書き込まれるようすを示している。
【0385】図17(b)に示す第2変形例に係るメモ
リセルの読み出し動作及び書き込み動作は、駆動トラン
ジスタがP型トランジスタであるため、接地電位である
第2の電源Vssの電位で動作すること以外は第5実施形
態と同様である。
【0386】本変形例の特徴として、第1実施形態の第
5変形例と同様に、図17(a)に示すメモリセルにお
いて、フリップフロップ接続されるトランジスタ群N
1,N2,N54,N55,P1及びP2は、駆動され
る電位が第1の電源Vccの電位の約2分の1となる第5
の電源の電位Vsmであっても、読み出し動作時において
は、ワード線WLnが第1の電源Vccの電位に印加さ
れ、ビット線対BLn,/BLnが第5の電源Vsmの電
位に印加される。また、書き込み動作時においては、前
記トランジスタ群はワード線WLnが第1実施形態と同
じ第1の電源Vccの電位に印加され、ビット線BLn及
びビット相補線/BLnが基準電位となる第5の電源の
電位Vsmを中心として第1の電源Vccの電位の2分の1
ずつを増減して印加されるため、それらの電位差は実質
的に第1実施形態と同じ第1の電源Vccの電位に印加さ
れるので、本実施形態に係るメモリセルは安定した動作
をすることができる。
【0387】また、図17(b)に示すメモリセルは、
図17(a)に示すメモリセルとはトランジスタの導電
型が反転しているため、各トランジスタが駆動及び制御
される電位は全て反転されているので、図17(a)に
示すメモリセルと同様に安定した動作をすることができ
る。
【0388】以下、本発明の第5実施形態の第3変形例
を説明する。
【0389】図17(a)は本発明の第5実施形態の第
3変形例に係るメモリセルを表わす回路図であって、第
5実施形態に用いたものと同様の構成である。
【0390】本変形例は、各構成要素のトランジスタの
しきい値電圧の設定値を調整することにより、動作の高
速化を図る。
【0391】例えば、各トランジスタのしきい値電圧を
Vt (トランジスタ名)で表わすとすると、各メモリセ
ルの各トランジスタのしきい値電圧を Vtp(P1) =Vtp(P2) =−0.5V, Vtn(N54)=Vtn(N55)=0.5V, Vtn(N1) =Vtn(N2) =0.1V, Vtn(N3) =Vtn(N56)=0.1V のようにそれぞれ設定する。
【0392】このようにすると、読み出しの高速動作を
規定する第1の駆動トランジスタN1と第1のスイッチ
トランジスタN3とが速やかに活性化されるため、読み
出し動作の高速化を図ることができる。
【0393】さらに、読み出し動作も書き込み動作も行
われていない状態において消費されるスタンバイ電流
は、第2のスイッチトランジスタN54及び第3のスイ
ッチトランジスタN55のしきい値電圧が0.5Vと高
いため、メガビット級の大容量の記憶装置であっても、
マイクロアンペア以下に抑えることができる。
【0394】なお、図17(b)に示す反転型のメモリ
セルの場合は、各メモリセルの各トランジスタのしきい
値電圧を Vtn(N1) =Vtn(N2) =0.5V, Vtp(P54)=Vtp(P55)=−0.5V, Vtp(P1) =Vtp(P2) =−0.2V, Vtp(P3) =Vtp(P56)=−0.2Vのように
それぞれ設定すればよい。
【0395】以下、本発明の第5実施形態の第4変形例
を図面に基づいて説明する。
【0396】図20(a)は本発明の第5実施形態の第
4変形例に係るメモリセルを表わす回路図である。図1
7(a)に示すメモリセルに新たに追加された構成要素
のみを説明する。図20(a)において、BLrは読み
出し専用の第1の制御線としての読み出し用ビット線、
/BLrは読み出し専用の第2の制御線としての読み出
し用ビット相補線、WLrは読み出し専用の第3の制御
線としての読み出し用ワード線、BLwは書き込み専用
の第1の制御線としての書き込み用ビット線、/BLw
は書き込み専用の第2の制御線としての書き込み用ビッ
ト相補線、WLwは書き込み専用の第3の制御線として
の書き込み用ワード線、N81は書き込み専用ワード線
WLwにより活性化され、書き込み用ビット線BLwと
第1の記憶ノードV1との間に直列に接続された書き込
み専用の第5のスイッチ、N82は書き込み専用ワード
線WLwにより活性化され、書き込み用ビット相補線/
BLwと第2の記憶ノードV2との間に直列に接続され
た書き込み専用の第6のスイッチである。
【0397】本変形例のメモリセルは、読み出し動作と
書き込み動作とが同時に実行が可能な2ポートSRAM
である。
【0398】本変形例のメモリセルにおいても、各トラ
ンジスタのしきい値電圧の設定値を調整することにより
動作を高速にすることが可能となる。
【0399】例えば、各メモリセルの各トランジスタの
しきい値電圧を Vtp(P1) =Vtp(P2) =−0.5V, Vtn(N54)=Vtn(N55)=0.5V, Vtn(N1) =Vtn(N2) =0.1V, Vtn(N3) =Vtn(N56)=0.1V Vtn(N81)=Vtn(N82)=0.1V のようにそれぞれ設定する。
【0400】本変形例のメモリセルは、読み出し専用の
第1のスイッチN3と第1の駆動トランジスタN1とが
直列に接続され、第4のスイッチN56と第2の駆動ト
ランジスタN2とが直列に接続されていると共に、書き
込み専用の第5のスイッチN81と第1の記憶ノードV
1とが接続され、第6のスイッチN82と第2の記憶ノ
ードV2とが接続されている点に特徴がある。
【0401】この構成及びしきい値電圧の設定により、
第1の記憶ノードV1と読み出し時に読み出し用ビット
線BLrと接続される第1の接続点V53とが切り離さ
れ、第2の記憶ノードV2と読み出し動作時に読み出し
用ビット相補線/BLrと接続される第2の接続点V5
4とが切り離されるため、読み出し時のスタチックノイ
ズマージンを大きくしながら、書き込みの高速化を図る
ことができる。
【0402】なお、図20(b)に示す反転型のメモリ
セルの場合は、各メモリセルの各トランジスタのしきい
値電圧を Vtn(N1) =Vtn(N2) =0.5V, Vtp(P54)=Vtp(P55)=−0.5V, Vtp(P1) =Vtp(P2) =−0.2V, Vtp(P3) =Vtp(P56)=−0.2V Vtp(P81)=Vtp(P82)=−0.2V のようにそれぞれ設定すればよい。
【0403】以下、本発明の第6実施形態を図面に基づ
いて説明する。
【0404】図21(a)は本発明の第6実施形態に係
るビット線制御回路を表わす回路図である。図21
(a)において、WEは図25に示すリード/ライト切
り替え制御回路により通知される書き込み要求、Dinは
図25に示す入出力データ制御回路により通知される書
き込みデータ、pBL(k)は図27(a)に示すビッ
ト線の選択回路DSW1を通してメモリセルのビット線
に印加するための多重化された前ビット線、/pBL
(k)は同じくビット線の選択回路DSW1を通してメ
モリセルのビット相補線/BLに印加するための多重化
された前ビット相補線、Vu1は前ビット線pBL(k)
に印加する第1のハイデータ電位、Vu2は前ビット相補
線/pBL(k)に印加する第2のハイデータ電位、V
x1は前ビット線pBL(k)又は前ビット相補線/pB
L(k)に印加する接地電位、P61は書き込み要求W
Eの相補値に応じて第1のハイデータ電位Vu1を開閉す
る第1のP型スイッチ、P62は書き込みデータDinに
応じて第1のハイデータ電位Vu1を開閉する第2のP型
スイッチ、N61は書き込みデータDinに応じて接地電
位Vx1を開閉する第1のN型スイッチ、N62は書き込
み要求WEに応じて接地電位Vx1を開閉する第2のN型
スイッチ、N63は書き込み要求WEの相補値に応じて
接地電位Vx1を開閉する第3のN型スイッチ、P63は
書き込み要求WEの相補値に応じて第2のハイデータ電
位Vu2を開閉する第3のP型スイッチ、P64はゲート
電極が接地されているため常に閉じている第4のP型ス
イッチ、N64はゲート電極が接地されているため常に
開いている第4のN型スイッチ、N65は書き込み要求
WEに応じて接地電位Vx1を開閉する第5のN型スイッ
チ、N66は書き込み要求WEの相補値に応じて接地電
位Vx1を開閉する第6のN型スイッチである。
【0405】以下、前記のように構成されたビット線制
御回路A1の動作を説明する。
【0406】図29又は図30に示すように、本実施形
態において、書き込み要求WEを正論理とする。
【0407】まず、書き込み要求WEが「1」の場合、
すなわち書き込み期間のビット線制御回路A1の動作を
説明する。
【0408】書き込みデータDinが「1」のとき、前ビ
ット線pBL(k)における、第1のP型スイッチP6
1、第1のN型スイッチN61及び第2のN型スイッチ
N62が閉じて他のスイッチが開くため、前ビット線p
BL(k)は接地電位Vx1に印加され、前ビット相補線
/pBL(k)における、第3のP型スイッチP63及
び第4のP型スイッチP64が閉じて他のスイッチが開
くため、前ビット相補線/pBL(k)は第2のハイデ
ータ電位Vu2に印加される。前ビット線pBL(k)に
印加される接地電位Vx1によりメモリセルの書き込み対
象となる記憶ノードには「0」が書き込まれることにな
る。
【0409】書き込みデータDinが「0」のとき、前ビ
ット線pBL(k)における、第1のP型スイッチP6
1、第2のP型スイッチP62及び第2のN型スイッチ
N62が閉じて他のスイッチが開くため、前ビット線p
BL(k)は第1のハイデータ電位Vu1に印加され、前
ビット相補線/pBL(k)における、第3のP型スイ
ッチP63及び第4のP型スイッチP64が閉じて他の
スイッチが開くため、前ビット相補線/pBL(k)は
第2のハイデータ電位Vu2に印加される。前ビット線p
BL(k)に印加される第1のハイデータ電位Vu1は第
1の電源Vccの電位又はその昇圧された電位Vppに印加
されるため、メモリセルの書き込み対象となる記憶ノー
ドには「1」が書き込まれることになる。
【0410】次に、書き込み要求WEが「0」の場合、
すなわち読み出し期間の場合を説明する。
【0411】書き込みデータDinが「1」のとき、前ビ
ット線pBL(k)における、第1のN型スイッチN6
1及び第3のN型スイッチN63が閉じて他のスイッチ
が開くため、前ビット線pBL(k)は接地電位Vx1に
印加され、前ビット相補線/pBL(k)において、第
4のP型スイッチP64及び第6のN型スイッチN66
が閉じて他のスイッチが開くため、前ビット相補線/p
BL(k)は接地電位Vx1に印加される。 従って、接
地電位Vx1により読み出し期間中は前ビット線pBL
(k)及び前ビット相補線/pBL(k)は共に接地電
位となる。
【0412】書き込みデータDinが「0」のとき、前ビ
ット線pBL(k)における、第2のP型スイッチP6
2及び第3のN型スイッチN63が閉じて他のスイッチ
が開くため、前ビット線pBL(k)は接地電位Vx1に
印加され、前ビット相補線/pBL(k)における、第
4のP型スイッチP64及び第6のN型スイッチN66
が閉じて他のスイッチが開くため、前ビット相補線/p
BL(k)は接地電位Vx1に印加される。
【0413】従って、接地電位Vx1により読み出し期間
中は前ビット線pBL(k)及び前ビット相補線/pB
L(k)は共に接地電位となる。
【0414】本実施形態の特徴として、書き込み期間中
には、メモリセルのビット線BLに印加する書き込みデ
ータとなる接地電位Vx1又は第1のハイデータ電位Vu1
が生成され、書き込み制御線となるビット相補線/BL
に印加する制御用の第2のハイデータ電位Vu2が生成さ
れると共に、読み出し期間中には、ビット線対BL,/
BLに印加する接地電位Vx1が生成される。
【0415】本実施形態に係るビット線制御回路A1は
第3実施形態の第4変形例、第3実施形態の第5変形
例、第4実施形態の第3変形例及び第4実施形態の第4
変形例を除く第1実施形態から第4実施形態の全てのメ
モリセルにおいて使用される。
【0416】以下、本発明の第6実施形態の第1変形例
を図面に基づいて説明する。
【0417】図21(b)は本発明の第6実施形態の第
1変形例に係るビット線制御回路をを表わす回路図であ
る。図21(b)において、図21(a)に示すビット
線制御回路A1との違いのみを説明する。WTは図21
(a)における前ビット相補線/pBL(k)に替わる
ものであり、第3実施形態の第4変形例、第3実施形態
の第5変形例、第4実施形態の第3変形例及び第4実施
形態の第4変形例に係るメモリセルにおいて、書き込み
動作時に第2の制御線としての書き込み制御線となる。
【0418】第1変形例に係るビット線制御回路A2の
動作は前記第6実施形態に係るビット線制御回路A1と
同様であるため説明を省略する。
【0419】以下、本発明の第7実施形態を図面に基づ
いて説明する。
【0420】図22(a)は本発明の第7実施形態に係
るセンスアンプを表わす回路図である。図22(a)に
おいて、RD(k)は読み出し動作時に図28(a)又
(b)に示すセンスアンプ前段の選択回路DSW3から
コラムデコーダによりデコードされたビット線BL
(n)のデータを取り込む共通データ線、/RD(k)
は同じくセンスアンプ前段の選択回路DSW3からコラ
ムデコーダによりデコードされたビット相補線/BL
(n)のデータを取り込む共通データ参照線、XSAは
読み出し期間の前半にのみ活性化され、共通データ線R
D(k)及び共通データ参照線/RD(k)のインピー
ダンスを検知するトリガとなるセンスアンプの活性化信
号、EQは読み出し期間の後半にのみ活性化され、イン
ピーダンス特性の差を電位差に変換し、またビット線対
BL(n),/BL(n)を接地電位にプリチャージす
るトリガとなるビット線のイコライズ信号、Vccはセン
スアンプを動作させる第1の電源、Vx1はセンスアンプ
を動作させ、またビット線対BL(n),/BL(n)
のプリチャージ用の接地電位、P71は一方のインバー
タの第1の負荷トランジスタ、P72は第1の負荷トラ
ンジスタP71と対をなす他方のインバータの第2の負
荷トランジスタ、N71は一方のインバータの第1の駆
動トランジスタ、N72は第1の駆動トランジスタN7
1と対をなす他方のインバータの第2の駆動トランジス
タ、N73はセンスアンプの活性化信号XSAにより活
性化され第1の電源Vccと共通データ参照線/RD
(k)とを接続する第1導電型の第1のトランジスタと
しての第3のトランジスタ、N74はセンスアンプの活
性化信号XSAにより活性化され第1の電源Vccと共通
データ線RD(k)とを接続する第1導電型の第2のト
ランジスタとしての第4のトランジスタ、P75はセン
スアンプの活性化信号XSAの相補信号により活性化さ
れ第1の電源Vccと第1の負荷トランジスタN71及び
第2の負荷トランジスタN72の共通のソース電極とを
接続する第2導電型の第1のトランジスタとしての第5
のトランジスタ、N76はビット線のイコライズ信号E
Qにより活性化され共通データ参照線/RD(k)を接
地電位Vx1に印加するための第1のスイッチ、N77は
ビット線のイコライズ信号EQにより活性化され共通デ
ータ線RD(k)を接地電位Vx1に印加するための第2
のスイッチ、pDout は共通データ線RD(k)のイン
ピーダンス特性の差を電位差に変換して出力するセンス
アンプの出力、/pDout は共通データ参照線/RD
(k)のインピーダンス特性の差を電位差に変換して出
力するセンスアンプの参照出力、N78はセンスアンプ
の出力pDout を適当な電位に変換する第6のトランジ
スタ、N79はセンスアンプの参照出力/pDout を適
当な電位に変換する第7のトランジスタ、Dout は図2
5に示す入出力データ制御回路に送られる読み出しデー
タ、/Dout は同じく入出力データ制御回路に送られる
読み出し参照データである。
【0421】なお、図28(b)に示すセンスアンプ前
段の選択回路DSW3はセンスアンプの活性化信号XS
Aが活性化されている際に、共通データ線RD(k)の
参照電位となる共通データ参照線/RD(k)の電位が
第1の電源Vccと第2の電源Vssとの中間となるよう
に、ダミーセルが共通データ参照線/RD(k)に設け
られている。
【0422】以下、前記のように構成されたセンスアン
プの動作を説明する。図29において、全ての信号の立
上がり方向をハイと呼び立ち下がり方向をローと呼ぶ。
図29に示すタイミングチャートの読み出し期間の前半
において、まず、センスアンプの活性化信号XSAがハ
イになり、ビット線のイコライズ信号EQがローにな
る。このときの回路を等価回路にして示したのが図22
(b)である。
【0423】図22(b)において、図22(a)に示
した構成要素と同じ符号を付している。共通データ線R
D(k)は図28(a)に示すセンスアンプ前段の選択
回路DSW3により選択されたビット線BLが接続さ
れ、共通データ参照線/RD(k)はセンスアンプ前段
の選択回路DSW3により選択されたビット相補線/B
Lが接続される。
【0424】このように、本センスアンプは読み出し期
間の前半に、選択されたビット線対BL,/BLに対し
てのみインピーダンス検知用の電流をセンスアンプ側か
ら注入している。
【0425】センスアンプの出力対pDout 及び/pD
out の電位は、第3のトランジスタN73及び第4のト
ランジスタN74と第1の駆動トランジスタN71及び
第2の駆動トランジスタN72との抵抗比により決定さ
れる。従って、例えば共通データ線RD(k)に選択さ
れたビット線BLは接地レベルの低インピーダンスで接
続されており、共通データ参照線/RD(k)に選択さ
れたビット相補線/BLは低インピーダンスでは接続さ
れていない、すなわち浮いている状態とすると、図29
に示すようにビット線対BL,/BLは共に接地電位に
印加されていても、低インピーダンス側の共通データ線
RD(k)には高インピーダンス側の共通データ参照線
/RD(k)よりも多くの電流が流れるため、センスア
ンプの出力pDout の電位は電圧降下が大きくなるの
で、センスアンプの参照出力/pDout よりも低くな
る。図29に示すように、この読み出し期間前半のセン
スアンプの出力対pDout 及び/pDout の電位差は僅
少である。
【0426】次に、図29に示す読み出し期間の後半に
おいて、センスアンプの活性化信号XSAがローにな
り、ビット線のイコライズ信号EQがハイになる。この
ときの回路を等価回路にして示したのが図22(c)で
ある。
【0427】図22(c)において、図22(a)に示
した構成要素と同じ符号を付している。図22(c)に
示すように、第1の負荷トランジスタP71及び第2の
負荷トランジスタP72と第1の駆動トランジスタN7
1及び第2の駆動トランジスタN72により構成される
フリップフロップ回路が活性化され、センスアンプの出
力対pDout 及び/pDout の電位は、相補型MOSレ
ベルの電位に変換される。図29に示すように、この読
み出し期間後半のセンスアンプの出力対pDout 及び/
pDout の電位差は増幅されている。
【0428】また、共通データ線対RD(k)及び/R
D(k)に接地電位Vx1が印加されることにより、イン
ピーダンス検知用に注入された電荷は廃棄される。
【0429】なお、本発明の第3実施形態の第4変形例
及び第4実施形態の第3変形例の場合に限り、共通デー
タ参照線/RD(k)は第4の電源Vs2の電位に印加さ
れる。
【0430】本実施形態の特徴として、読み出し期間の
前半において、図28(a)又は(b)に示すセンスア
ンプ前段の選択回路DSW3のコラムデコーダにより選
択されたビット線対BL,/BLに対してのみインピー
ダンス検知用の電流をセンスアンプ側から注入し、第3
のトランジスタN73及び第4のトランジスタN74に
より生じるビット線対BL,/BLの電流の差を検知し
てセンスアンプの出力対pDout 及び/pDout に電位
差を生じさせ、読み出し期間の後半において、該電位差
をフリップフロップ回路により増幅させることにより、
所望の読み出しデータ対Dout 及び/Dout を生成する
と共に、選択されたビット線対BL,/BLを接地レベ
ルとして注入された電荷を廃棄している。
【0431】このように、本発明に係る半導体集積回路
装置によると、低消費電力化の障害となるビット線のプ
リチャージの電位を接地電位とすることにより、低消費
電力化を図れると共に、ビット線を接地電位とすること
から生じるメモリセルの記憶ノードの電位喪失を防ぐた
めに、ビット線と記憶ノードとの間をスイッチトランジ
スタにより遮断している。この結果、読み出し時のメモ
リセルの貫通電流を抑制することもできるようになる。
【0432】また、信号電位の読み出しは、センスアン
プ側から選択されたメモリセルにのみインピーダンスを
検知できる程度の電流を注入するだけで行なえるため、
一層の低消費電力化を図れると共に、読み出し動作を高
速に行なうことができる。
【0433】一方、メモリセルのソース線の電位に記憶
ノードの信号電位のラッチ能力を弱める方向の電位を印
加するため、書き込み動作を高速にすることができる。
【0434】
【発明の効果】 本発明に係る第1の半導体集積回路装
置によると、選択されたメモリセルのインピーダンス値
を検知することにより、該メモリセルのデータを判定す
るため高速な読み出し動作が可能となる。
【0435】さらに、プリチャージが不要になるため、
低消費電力化を図ることができる。
【0436】
【0437】
【0438】
【0439】
【0440】
【0441】
【0442】
【0443】
【0444】
【0445】
【0446】
【0447】
【0448】
【0449】
【0450】
【0451】
【0452】
【0453】
【0454】
【0455】
【0456】 本発明に係る第2の半導体集積回路装置
によると、トランジスタ対のうちの少なくともよりオン
の状態にあるトランジスタが他のトランジスタよりもオ
フの状態になるため、信号電位のラッチ能力が低下する
ので、記憶ノード対の信号電位のバランスが早く崩れる
ようになり、その結果、書き込み動作を高速に行なえる
ようになる。
【0457】
【0458】
【0459】
【0460】
【0461】
【0462】
【0463】
【0464】
【0465】
【0466】
【0467】
【0468】
【0469】
【0470】
【0471】
【0472】
【0473】
【0474】
【0475】
【0476】
【0477】
【0478】
【0479】
【0480】
【0481】
【0482】
【0483】
【0484】
【0485】
【0486】
【0487】
【0488】さらに、基準電位と同じ電位が第1の記憶
ノードに書き込まれる際に、第1のメモリセルにおい
て、第1の制御線に基準電位よりも低い接地電位が印加
され、第2のメモリセルにおいて、第1の制御線に基準
電位よりも高い電源電位が印加されるため、該第1の記
憶ノードは速やかに基準電位に近づくので、書き込み動
作が早く完了し、アクセス時間を短縮することができ
る。
【0489】
【0490】
【0491】
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の第1実施形態に係るメモリセ
ルを示す回路図である。(b)は本発明の第1実施形態
の第3変形例に係るメモリセルを示す回路図である。
【図2】(a)は本発明の第1実施形態の第4変形例、
第2実施形態の第3変形例、第3実施形態の第7変形例
及び第4実施形態の第6変形例に係るメモリセルの電源
の電位を示す図である。(b)は本発明の第1実施形態
の第5変形例、第2実施形態の第4変形例、第3実施形
態の第8変形例及び第4実施形態の第7変形例に係るメ
モリセルの電源の電位を示す図である。
【図3】(a)、(b)は本発明の第1実施形態の第5
変形例に係るメモリセルを示す回路図である。
【図4】(a)は本発明の第1実施形態の第6変形例、
第2実施形態の第5変形例、第3実施形態の第9変形例
及び第4実施形態の第8変形例に係るメモリセルアレイ
を示す模式図であり、(b)は従来のワード線及びビッ
ト線をデコードするゲートアレイの回路図であり、
(c)は本発明に係るワード線及びビット線をデコード
するゲートアレイの回路図である。
【図5】本発明の第1実施形態の第6変形例、第2実施
形態の第5変形例、第3実施形態の第9変形例及び第4
実施形態の第8変形例に係るメモリセルアレイからデー
タを読み出す際のタイミングチャートを示す図である。
【図6】(a)は本発明の第2実施形態に係るメモリセ
ルを示す回路図である。(b)は本発明の第2実施形態
の第2変形例に係るメモリセルを示す回路図である。
【図7】(a)、(b)は本発明の第2実施形態の第4
変形例に係るメモリセルを示す回路図である。
【図8】(a)は本発明の第3実施形態に係るメモリセ
ルを示す回路図である。(b)は本発明の第3実施形態
の第1変形例に係るメモリセルアレイの一部を示す回路
図である。
【図9】本発明の第3実施形態、第4実施形態及び第5
実施形態の第1変形例に係るグラウンド線の制御回路を
示す回路図である。
【図10】本発明の第3実施形態の第4変形例に係るメ
モリセルを示す回路図である。
【図11】本発明の第3実施形態の第5変形例、第4実
施形態の第4変形例に係るメモリセルアレイを示す模式
図である。
【図12】本発明の第3実施形態の第6変形例に係るメ
モリセルを示す回路図である。
【図13】(a)、(b)は本発明の第3実施形態の第
8変形例に係るメモリセルを示す回路図である。
【図14】(a)は本発明の第4実施形態に係るメモリ
セルを示す回路図である。(b)は本発明の第4実施形
態の第1変形例に係るメモリセルアレイの一部をを示す
回路図である。
【図15】(a)は本発明の第4実施形態の第3変形例
に係るメモリセルを示す回路図である。(b)は本発明
の第4実施形態の第5変形例に係るメモリセルを示す回
路図である。
【図16】(a)、(b)は本発明の第4実施形態の第
7変形例に係るメモリセルを示す回路図である。
【図17】(a)は本発明の第5実施形態及び第5実施
形態の第2変形例に係るメモリセルを示す回路図であ
る。(b)は本発明の第5実施形態の第2変形例に係る
メモリセルを示す回路図である。
【図18】本発明の第5実施形態の第1変形例に係るメ
モリセルを示す回路図である。
【図19】(a)は図17(a)に示す本発明の第5実
施形態の第2変形例に係るメモリセルの動作時のタイミ
ングチャートを示す図である。(b)は図17(b)に
示す本発明の第5実施形態の第2変形例に係るメモリセ
ルの動作時のタイミングチャートを示す図である。
【図20】(a)、(b)は本発明の第5実施形態の第
4変形例に係るメモリセルを示す回路図である。
【図21】(a)は本発明の第6実施形態に係るビット
線の制御回路を示す回路図である。(b)は本発明の第
6実施形態の第1変形例に係るビット線の制御回路を示
す回路図である。
【図22】(a)は本発明の第7実施形態に係るセンス
アンプを示す回路図である。(b)は本発明の第7実施
形態に係る読み出し期間前半のセンスアンプの等価回路
を示す回路図である。(c)は本発明の第7実施形態に
係る読み出し期間後半のセンスアンプの等価回路を示す
回路図である。
【図23】本発明に係るSRAM半導体集積回路装置に
おける読み出し時の電流の流れの模式図であって、
(a)はSRAM装置であり、(b)はタイミングチャ
ートである。
【図24】本発明に係るSRAM半導体集積回路装置に
おける書き込み時のクロスカップルトランジスタのソー
ス線の電位の模式図を示し、(a)は共通型のソース線
を有するメモリセルの模式図であり、(b)は分離型の
ソース線を有するメモリセルの模式図である。
【図25】本発明の実施形態に係る半導体集積回路装置
の全体構成図である。
【図26】本発明の実施形態に係るコラム回路を示すブ
ロック構成図である。
【図27】(a)は本発明の実施形態に係るビット線の
選択回路を示す回路図である。(b)は本発明の実施形
態に係るグラウンド線の選択回路を示す回路図である。
【図28】(a)、(b)は本発明の実施形態に係るセ
ンスアンプ前段の選択回路を示す回路図である。
【図29】本発明の第1実施形態及び第2実施形態に係
るメモリセルの動作時のタイミングチャートを示す図で
ある。
【図30】本発明の第3実施形態及び第4実施形態に係
るメモリセルの動作時のタイミングチャートを示す図で
ある。
【図31】従来のメモリセルを示す回路図である。
【図32】従来のSRAM装置における読み出し時の電
流の流れの模式図を示し、(a)は第1の従来型SRA
M装置の模式図であり、(b)は第1の従来型SRAM
装置のタイミングチャートであり、(c)は第2の従来
型SRAM装置の模式図であり、(d)は第2の従来型
SRAM装置のタイミングチャートである。
【図33】従来のSRAM装置における書き込み動作の
模式図である。
【符号の説明】
P1 第1の負荷トランジスタ N1 第1の反転型負荷トランジスタ P2 第2の負荷トランジスタ N2 第2の反転型負荷トランジスタ N1 第1の駆動トランジスタ P1 第1の反転型駆動トランジスタ N2 第2の駆動トランジスタ P2 第2の反転型駆動トランジスタ N3 第1のスイッチ P3 第1の反転型スイッチ N14 第2のスイッチ P14 第2の反転型スイッチ N24 第2のスイッチ P24 第2の反転型スイッチ N54 第2のスイッチ P54 第2の反転型スイッチ N15 第3のスイッチ N25 第3のスイッチ P25 第3の反転型スイッチ N35 第3のスイッチ N55 第3のスイッチ P55 第3の反転型スイッチ N26 第4のスイッチ N46 第4のスイッチ N56 第4のスイッチ P56 第4の反転型スイッチ N81 第5のスイッチ P81 第5の反転型スイッチ N82 第6のスイッチ P82 第6の反転型スイッチ V1 第1の記憶ノード V2 第2の記憶ノード V3 第1の接続点 V53 第1の接続点 V4 第2の接続点 V54 第2の接続点 WL ワード線 WL(m) ワード線 WLn ワード線 WLp ワード線 WLr 読み出し用ワード線 WLw 書き込み用ワード線 WT 書き込み制御線 WT(m) 書き込み制御線 BL ビット線 BL(n) ビット線 BLn ビット線 BLp ビット線 BLr 読み出し用ビット線 BLw 書き込み用ビット線 /BL ビット相補線 /BL(n) ビット相補線 /BLn ビット相補線 /BLp ビット相補線 /BLr 読み出し用ビット相補線 /BLw 書き込み用ビット相補線 Vcc 第1の電源 Vss 第2の電源 Vs1 第3の電源 Vs1(n) 第3の電源 Vs2 第4の電源 Vs2(n) 第4の電源 Vsm 第5の電源 Vm 第6の電源 Vx1 接地電位 Vu1 第1のハイデータ電位 Vu2 第2のハイデータ電位 Vu3 グラウンド線制御電位 A1 ビット線制御回路 A2 ビット線制御回路 WE 書き込み要求 RE 読み出し要求 Din 書き込みデータ pBL(k) 前ビット線 /pBL(k) 前ビット相補線 P61 第1のP型スイッチ P62 第2のP型スイッチ P63 第3のP型スイッチ P64 第4のP型スイッチ N61 第1のN型スイッチ N62 第2のN型スイッチ N63 第3のN型スイッチ N64 第4のN型スイッチ N65 第5のN型スイッチ N66 第6のN型スイッチ Dout 読み出しデータ /Dout 読み出し参照データ pDout センスアンプの出力 /pDout センスアンプの参照出力 XSA センスアンプの活性化信号 EQ センスアンプのイコライズ信号 RD(k) 共通データ線 /RD(k) 共通データ参照線 P71 第1の負荷トランジスタ P72 第2の負荷トランジスタ N71 第1の駆動トランジスタ N72 第2の駆動トランジスタ N73 第3のトランジスタ N74 第4のトランジスタ P75 第5のトランジスタ N76 第1のスイッチ N77 第2のスイッチ N78 第6のトランジスタ N79 第7のトランジスタ B グラウンド線制御回路 PB1 第1のP型スイッチ PB2 第2のP型スイッチ PB3 第3のP型スイッチ PB4 第4のP型スイッチ NB1 第1のN型スイッチ NB2 第2のN型スイッチ NB3 第3のN型スイッチ NB4 第4のN型スイッチ NB5 第5のN型スイッチ NB6 第6のN型スイッチ pVs1(k) 第1の前グラウンド線 pVs2(k) 第2の前グラウンド線 DSW1 ビット線の選択回路 DSW2 グラウンド線の選択回路 DSW3 センスアンプ前段の選択回路 Add コラムアドレス dT1 ワード線の立ち上がりの時間差 dT2 読み出しデータ出力の時間差

Claims (15)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 データを記憶するメモリセルが行列状に
    配設されてなるメモリセルアレイと、 前記メモリセルアレイの行方向に並ぶメモリセルをロウ
    アドレスにより選択するロウデコーダと、 前記メモリセルアレイの列方向に並ぶメモリセルをコラ
    ムアドレスにより選択するコラム回路とを備え、 前記コラム回路は、前記メモリセルからデータを読み出
    す際に、前記ロウアドレス及びコラムアドレスにより選
    択されるメモリセルにデータの信号電位を検出するため
    の電流を注入する検出電流注入手段を有しており、 前記検出電流注入手段は、 メモリセルからデータを読み出すデータ読み出し期間
    に、選択された前記メモリセルにインピーダンスを検知
    するための電流を注入するセンスアンプであり、 前記セ
    ンスアンプは、 第1導電型のトランジスタ対及び第2導電型のトランジ
    スタ対よりなるインバータ回路がフリップフロップ接続
    されてなり、 前記第1導電型のトランジスタ対のソース電極対はアド
    レスが特定された前記メモリセルのデータが入力される
    入力対となり、 前記第2導電型のトランジスタ対のソース電極対の共通
    接点は、所定の活性化信号により制御される第2導電型
    の第1のトランジスタを介して電源に接続され、 前記インバータ回路の出力対は前記活性化信号により制
    御される第1導電型の第1のトランジスタ及び第1導電
    型の第2のトランジスタを介して前記電源にそれぞれ接
    続されており、 前記データ読み出し期間に前記第2導電型の第1のトラ
    ンジスタと前記第1導電型の第1及び第2のトランジス
    タとは同時に活性化されない ことを特徴とする半導体集
    積回路装置。
  2. 【請求項2】 データを記憶するメモリセルが行列状に
    配設されてなるメモリセルアレイと、 前記メモリセルアレイの行方向に並ぶメモリセルをロウ
    アドレスにより選択するロウデコーダと、 前記メモリセルアレイの列方向に並ぶメモリセルをコラ
    ムアドレスにより選択するコラム回路とを備え、 前記コラム回路は、前記メモリセルからデータを読み出
    す際に、前記ロウアドレス及びコラムアドレスにより選
    択されるメモリセルにデータの信号電位を検出するため
    の電流を注入する検出電流注入手段を有しており、 前記メモリセルアレイは、 列方向に並ぶ前記メモリセルを制御する第1の制御線及
    び第2の制御線を有しており、 前記コラム回路は、 前記メモリセルからデータを読み出す際に、前記第1の
    制御線及び第2の制御線に第1の電位を印加し、 前記メモリセルにデータを書き込む際に、前記第1の制
    御線に前記第1の電位又は第2の電位を印加し、且つ、
    前記第2の制御線に第3の電位を印加するビット線制御
    回路を有していることを特徴とする半導体集積回路装
    置。
  3. 【請求項3】 前記メモリセルは、 第1の電源に接続された第1の負荷トランジスタ、該第
    1の負荷トランジスタと対をなす第2の負荷トランジス
    タ、第2の電源に接続された第1の駆動トランジスタ及
    び該第1の駆動トランジスタと対をなす第2の駆動トラ
    ンジスタがフリップフロップ接続されてなり、 前記第1の負荷トランジスタに接続され、信号電位を保
    持する第1の記憶ノードと、 前記第2の負荷トランジスタに接続され、該第1の記憶
    ノードとは相補関係の信号電位を保持する第2の記憶ノ
    ードと、 前記第1の記憶ノードと前記第1の制御線との間に直列
    に接続されており、第3の制御線により制御され、一方
    のソース/ドレイン電極が前記第1の制御線に接続され
    ている第1のスイッチトランジスタと、 前記第2の制御線により制御され、一方のソース/ドレ
    イン電極が前記第1の記憶ノードに接続され他方のソー
    ス/ドレイン電極が前記第1のスイッチトランジスタの
    他方のソース/ドレイン電極に接続されている第2のス
    イッチトランジスタとを有し、 前記第2のスイッチトランジスタは前記第1の記憶ノー
    ドと前記第1の駆動トランジスタとの間に直列に接続さ
    れていることを特徴とする請求項2に記載の半導体集積
    回路装置。
  4. 【請求項4】 前記第2のスイッチトランジスタのしき
    い値電圧は、前記第1の駆動トランジスタ、第2の駆動
    トランジスタ及び第1のスイッチトランジスタのいずれ
    のしきい値電圧よりも低くなるように設定されているこ
    とを特徴とする請求項3に記載の半導体集積回路装置。
  5. 【請求項5】 前記第2の負荷トランジスタのサイズ
    は、前記第1の負荷トランジスタ及び第2の駆動トラン
    ジスタのいずれのサイズよりも小さくなるように設定さ
    れていることを特徴とする請求項3又は4に記載の半導
    体集積回路装置。
  6. 【請求項6】 前記メモリセルは、前記第2の記憶ノー
    ドと前記第2の電源との間に前記第2の駆動トランジス
    タと並列に接続されており、前記第1のスイッチトラン
    ジスタと前記第2のスイッチトランジスタとの接続点の
    電位により制御される第3のスイッチトランジスタをさ
    らに有していることを特徴とする請求項3〜5のいずれ
    か1項に記載の半導体集積回路装置。
  7. 【請求項7】 前記第1の電源は降圧回路により降圧さ
    れていることを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項
    に記載の半導体集積回路装置。
  8. 【請求項8】 前記降圧回路は前記メモリセルを構成し
    ている全てのトランジスタの導電型が反転されてなるメ
    モリセルであることを特徴とする請求項7に記載の半導
    体集積回路装置。
  9. 【請求項9】 前記第3の制御線に接続されているメモ
    リセルの数が前記第1の制御線及び前記第2の制御線に
    接続されているメモリセルの数よりも多いことを特徴と
    する請求項3〜8のいずれか1項に記載の半導体集積回
    路装置。
  10. 【請求項10】 前記メモリセルは、 第1の電源に接続された第1の負荷トランジスタ、該第
    1の負荷トランジスタと対をなす第2の負荷トランジス
    タ、第2の電源に接続された第1の駆動トランジスタ及
    び該第1の駆動トランジスタと対をなす第2の駆動トラ
    ンジスタがフリップフロップ接続されてなり、 前記第1の負荷トランジスタに接続され、信号電位を保
    持する第1の記憶ノードと、 前記第2の負荷トランジスタに接続され、該第1の記憶
    ノードとは相補関係の信号電位を保持する第2の記憶ノ
    ードと、 前記第2の記憶ノードと前記第1の制御線との間に直列
    に接続されており、前記第3の制御線により制御され、
    一方のソース/ドレイン電極が前記第1の制御線に接続
    されている第1のスイッチトランジスタと、 前記第2の制御線により制御され、一方のソース/ドレ
    イン電極が前記第2の記憶ノードに接続され他方のソー
    ス/ドレイン電極が前記第1のスイッチトランジスタの
    他方のソース/ドレイン電極に接続されている第2のス
    イッチトランジスタと、 前記第1のスイッチトランジスタと前記第2の電源との
    間に直列に接続されており、第1の記憶ノードにより制
    御される第3のスイッチトランジスタとを有しているこ
    とを特徴とする請求項2に記載の半導体集積回路装置。
  11. 【請求項11】 前記第1の負荷トランジスタのサイズ
    は前記第2の負荷トランジスタのサイズよりも小さくな
    るように設定されていることを特徴とする請求項10
    記載の半導体集積回路装置。
  12. 【請求項12】 前記メモリセルは、 前記第1の記憶ノードと前記第2の電源との間に前記第
    1の駆動トランジスタと並列に接続されており、前記第
    1のスイッチトランジスタと前記第2のスイッチトラン
    ジスタとの接続点の電位により制御される第4のスイッ
    チトランジスタをさらに有していることを特徴とする
    求項10又は11に記載の半導体集積回路装置。
  13. 【請求項13】 前記第1の電源は降圧回路により降圧
    されていることを特徴とする請求項10〜12のいずれ
    か1項に記載の半導体集積回路装置。
  14. 【請求項14】 前記降圧回路は前記メモリセルを構成
    している全てのトランジスタの導電型が反転されてなる
    メモリセルであることを特徴とする請求項13に記載の
    半導体集積回路装置。
  15. 【請求項15】 前記第3の制御線に接続されているメ
    モリセルの数は前記第1の制御線及び第2の制御線に接
    続されているメモリセルの数よりも多いことを特徴とす
    請求項10〜14のいずれか1項に記載の半導体集積
    回路装置。
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