JP3312319B2 - フッ素及びヒ素含有廃水の処理方法 - Google Patents

フッ素及びヒ素含有廃水の処理方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はフッ素及びヒ素含有廃水
の処理方法に関する。さらに詳しくは、フッ素吸着剤及
びヒ素吸着剤の吸着能力の効率を高め、フッ素及びヒ素
を完全に除去することのできるフッ素及びヒ素含有廃水
の処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】半導体
製造工程、ゴミ焼却場等で生じる廃水には時としてフッ
素及びヒ素が含まれる場合がある。フッ素の排出基準は
現在15ppmであるが更に規制が強化されつつある。
またヒ素はその毒性について古くから知られており、特
に三価のヒ素は毒性が強く、主に胃腸障害、神経及び血
管障害を起こすことが知られており、その環境基準は
0.05ppmで、さらに0.01ppm以下に強化さ
れようとしている。従って、フッ素及びヒ素を含有する
廃水からこれらを完全に除去することが望まれている。
【0003】廃水中の有害物質の除去方法は従来から種
々な方法が知られている。例えば、廃水中のフッ素を除
去する方法としては、カルシウム化合物を用いた中和凝
集沈殿法、あるいは塩基性陰イオン交換樹脂を用いる方
法、アルミニウム塩型キレート樹脂を用いる方法(特開
昭57−107287)、希土類金属担持樹脂を用いる
方法(特開昭61−192340)等の吸着法が知られ
ている。一方、廃水中のヒ素を除去する方法としては、
鉄化合物を用いた凝集沈殿法、あるいはジルコニウム担
時型陽イオン交換樹脂を用いる方法(日本化学会誌、3
79、1981)、希土類元素の水和酸化物を用いる方
法(特開昭61−187931)等の吸着処理が知られ
ている。
【0004】しかしながら、これらの方法には種々の問
題点がある。例えば凝集沈殿処理法は、多量のスラッジ
が生成する欠点があり、またフッ素を低濃度まで処理で
きない欠点がある。
【0005】またジルコニウム担持型陽イオン交換樹脂
あるいは希土類元素の水和酸化物を吸着剤として用いる
方法は、本発明で対象とするフッ素及びヒ素を含む廃水
に用いると、フッ素とヒ素を一緒に吸着する為、吸着剤
の交換頻度が大きくなる欠点がある。例えば吸着剤の交
換時期を規制値の低いヒ素がリークし始める時点で判断
すると、フッ素を吸着できる能力を残したまま交換しな
ければならず、その吸着能力を十分発揮できないと言う
欠点がある。
【0006】本発明は上記の点に鑑みなされたもので、
特定の凝集沈殿処理、及びフッ素吸着処理工程、ヒ素吸
着処理工程を組み合わせることにより、フッ素吸着剤及
びヒ素吸着剤の吸着能力の効率を高め、フッ素及びヒ素
を完全に除去することのできる処理方法を見出し本発明
に到った。
【0007】
【課題を解決するための手段】即ち本発明は、フッ素及
びヒ素を含有する廃水を硫酸アルミニウム又は塩化カル
シウムを用いて凝集沈殿処理した後、アルミニウム担持
型樹脂を用いて吸着処理し、次いでジルコニウム担持型
樹脂又は希土類元素の含水酸化物を用いて吸着処理を行
うフッ素及びヒ素含有廃水の処理方法である。
【0008】本発明において用いるアルミニウム担持型
樹脂としては、アルミニウムイオンを吸着させたイオン
交換樹脂あるいはアルミニウムイオンを吸着させたキレ
ート樹脂が挙げられる。陽イオン交換樹脂としてはスチ
レン−ジビニルベンゼン共重合樹脂、塩化ビニル樹脂、
塩化ビニリデン樹脂、アクリル樹脂、尿素樹脂の群より
選ばれたる1種を樹脂母体とし、これにカルボン酸基、
スルホン酸基等のイオン交換基を付与せしめた陽イオン
交換樹脂が挙げられ、またキレート樹脂としては上記と
同様な樹脂母体にアミノ酸基、チオ尿素基、ジエチルジ
チオカルバミン酸基、チオール基、オキシム基、アミド
オキシム基、イミドオキシム基、イミノ酢酸基、イミノ
ジ酢酸基、イミノプロピオン酸基、およびイミノジプロ
ピオン酸基群より選ばれた少なくとも1種をキレート形
成基として付与せしめたキレート樹脂が挙げられる。
【0009】本発明において用いるジルコニウム担持型
樹脂としては、前記と同様な樹脂母体に同様なイオン交
換基を有する陽イオン交換樹脂、あるいはキレート形成
基を有するキレート樹脂とオキシ塩化ジルコニウムを用
いて、陽イオン交換樹脂あるいはキレート樹脂にジルコ
ニウムを吸着させた樹脂、またはジルコニウムの水和酸
化物を高分子材料と共に造粒したものが挙げられる。
【0010】本発明に用いる希土類元素の含水酸化物と
しては、スカンジウム、イットリウム、ランタン、セリ
ウム、プラセオジウム、ネオジム、プロメチウム、サマ
リウム、ユーロピウム、ガドリニウム、テルビウム、ジ
スプロシウム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イ
ッテルビウム、ルテチウム等の希土類元素の酸化物又は
水酸化物が挙げられる。これら希土類元素の含水酸化物
は、例えば希土類元素を含む塩酸塩、硫酸塩、硝酸塩等
の塩類の水溶液中にアルカリ溶液を添加し、PH調整す
ることにより容易に調製することができ、これらをその
ままあるいは高分子材料と共に造粒したものも用いるこ
とができる。
【0011】本発明の処理方法は、先ずフッ素及びヒ素
を含有する廃水に硫酸アルミニウム又は塩化カルシウム
を用いて凝集沈殿処理を行い、廃水中のフッ素濃度及び
ヒ素濃度を低下させ、吸着剤への負担を低減させる。上
記凝集沈殿処理は常法により行うことができ、例えばフ
ッ素及びヒ素を含有する廃水をPH5〜8.5、好まし
くはPH6.5〜7.5に調整した後、硫酸アルミニウ
ム又は塩化カルシウムを添加し5〜30分、好ましくは
10〜20分撹拌した後、必要により高分子凝集剤を添
加し、静置分離あるいは濾過等により、生成した水不溶
物を除去する等により行うことができる。凝集沈殿処理
に用いる硫酸アルミニウムまたは塩化カルシウムの添加
量は、廃水に対し100〜10,000ppmが好まし
く、また高分子凝集剤はポリアクリルアマイドあるいは
これにアニオン変性、カチオン変性、ノニオン変性等を
行って得られるポリアクリルアマイド系高分子凝集剤等
が挙げられる。その添加量は0.5〜10が好ましい。
【0012】次に凝集沈殿処理した廃水を、アルミニウ
ム担持型樹脂により吸着処理を行う。アルミニウム型吸
着樹脂による吸着処理は、凝集沈殿処理した廃水とアル
ミニウム担持型樹脂とが十分接触する方法であればいず
れの方法も採用することができ、例えばアルミニウム担
持型樹脂を充填した塔に廃水を上向流あるいは下向流で
通水するカラム式、廃水にアルミニウム担持型樹脂を添
加し、混合後分離するバッチ式等により行うことができ
る。この処理により廃水中から通常1ppm以下までフ
ッ素を除くことができ、またヒ素はほとんど廃水中に残
存するためアルミニウム担持型樹脂はフッ素のみを吸着
してその吸着能力を十分発揮させることができる。
【0013】アルミニウム担持型樹脂により吸着処理を
行った廃水を次いでジルコニウム担持型樹脂又は希土類
元素の含水酸化物を用いて吸着処理を行う。ジルコニウ
ム担持型樹脂又は希土類元素の含水酸化物による吸着処
理は、前記で処理した廃水とジルコニウム担持型樹脂又
は希土類元素とが十分接触する方法であればカラム式、
バッチ式のいずれの方法も採用することができる。この
処理により廃水中からヒ素を0.005ppm以下まで
除くことができ、しかもジルコニウム担持型樹脂又は希
土類元素の含水酸化物はフッ素に影響されずにヒ素のみ
を吸着することができるのでその吸着能力を十分発揮す
ることができる。
【0014】本発明の処理方法は、フッ素とヒ素を含有
する廃水に適用することが好ましく、これらの廃水とし
ては例えば半導体製造工場廃水、温泉水、または地熱発
電所等で利用する地下湧水の処理等が挙げられる。
【0015】以下、実施例により本発明を更に詳細に説
明するが、本発明はその主旨を越えない限り、これらに
限定されない。以下「%」は「重量%」を、「BV」は
「l/l−R」を表す。
【0016】実施例1 フッ素イオン50ppm及びヒ素イオン0.5ppmを
含有する水溶液に硫酸バンド1000ppmを添加し1
0分撹拌し、次いで弱アニオン変性ポリアクリルアマイ
ド2ppmを加えて撹拌し、さらに5分静置した後、デ
カンテーションにより固液分離した。得られた凝集沈殿
処理水はフッ素イオンが15ppmとヒ素イオンが0.
5ppmであった。内径40mmφのガラスカラム2本
を直列に配列し、1塔目にはアミノリン酸型キレート樹
脂1000ml当り10gのアルミニウムイオンを吸着
させたアルミニウム担持型樹脂100mlを充填し、2
塔目には弱酸性イオン交換樹脂(アンバーライトIRC
50)1000ml当り90gのジルコニウムイオンを
担持したジルコニウム担持型樹脂100mlを充填した
装置を用い、これに前記の凝集沈殿処理水をSV10
(BV/Hr)、下向流で通水した。通水量が600B
Vで1塔目の処理水にフッ素イオンが1ppm検出され
たが、2塔目の処理水のヒ素イオンは0.005ppm
以下であった。1塔目のアルミニウム担持型樹脂だけを
再生し、さらに通水したところ、2塔目の処理水中にフ
ッ素イオンが1ppmまたはヒ素イオンが0.005p
pm検出されるまでに合わせて1,000BV通水する
ことができた。アルミニウム担持型樹脂の再生は、2N
−NaOHをSV2(BV/Hr)、下向流で3BV通
水して溶離した後、20%硫酸アルミニウム水溶液2B
Vを添加し、4時間撹拌してアルミニウムを吸着させて
行った。
【0017】実施例2 実施例1と同様な2塔式の装置を用い、1塔目にエポキ
シ樹脂を樹脂母体とするイミノジ酢酸型キレート樹脂1
000ml当り12gのアルミニウムを吸着させたアル
ミニウム担持型樹脂100mlを充填し、2塔目に下記
の様に調整したジルコニウム担持型樹脂100mlを充
填し、これに実施例1同様に凝集沈殿処理を行ったフッ
素イオン10ppm及びヒ素イオン0.7ppmを含有
する処理水を、通水速度SV5(BV/Hr)、下向流
で通水処理した。通水量が800BVで1塔目の処理水
にフッ素イオンが1ppm検出されたが、2塔目の処理
水のヒ素イオンは0.005ppm以下であった。1塔
目のアルミニウム担持型樹脂だけを実施例1と同様に再
生し、さらに通水したところ、2塔目の処理水中にフッ
素イオンが1ppmまたはヒ素イオンが0.005pp
m検出されるまでに合わせて1500BV通水すること
ができた。上記のジルコニウム担持型樹脂としては、1
0%オキシ塩化ジルコニウム水溶液を2N−NaOHで
中和し、生成した沈殿を濾別し、50℃で48時間乾燥
して得たジルコニウム水和酸化物8gにフェノール44
g及び30%ホルマリン120gを添加し、これをノニ
ルフェノール3モルエチレンオキサイド付加体0.1%
を含むジクロロベンゼン2000gに、撹拌下、滴下し
て加え、90〜100℃で6時間脱水しながら重縮合反
応を行い粒状に調整した物を用いた。
【0018】実施例3 フッ素イオン60ppm及びヒ素イオン0.5ppmを
含有する水溶液に塩化カルシウム2000ppmを添加
し10分撹拌し、次いで中アニオン変性ポリアクリルア
マイド3ppmを加えて撹拌し、さらに5分静置した
後、デカンテーションにより固液分離した。得られた凝
集沈殿処理水はフッ素イオンが20ppmとヒ素イオン
が0.5ppmであった。実施例1と同様な2塔式の装
置を用い、1塔目にはアミノリン酸型キレート樹脂10
00ml当り10gのアルミニウムイオンを吸着させた
アルミニウム担持型樹脂100mlを充填し、2塔目に
下記の様に調整したセリウムの水和酸化物100mlを
充填し、これに前記凝集沈殿処理を行ったフッ素イオン
15ppm及びヒ素イオン0.1ppmを含有する処理
水を、通水速度SV10(BV/Hr)、下向流で通水
処理した。通水量が900BVで1塔目の処理水にフッ
素イオンが1ppm検出されたが、2塔目の処理水のヒ
素イオンは0.005ppm以下であった。1塔目のア
ルミニウム担持型樹脂だけを実施例1と同様に再生し、
さらに通水したところ、2塔目の処理水中にフッ素イオ
ンが1ppmまたはヒ素イオンが0.005ppm検出
されるまでに合わせて1,500BV通水することがで
きた。上記セリウムの水和酸化物としては、20%塩化
セリウム水溶液に等モルの過酸化水素水を添加し、pH
10に調整後85℃に加熱し1昼夜熟成して調整したも
のを用いた。
【0019】比較例1 実施例1に用いたと同様なアミノリン酸型キレート樹脂
1000ml当り10gのアルミニウムイオンを吸着さ
せたアルミニウム担持型樹脂100mlを内径40mm
φのガラスカラムに充填した塔に、実施例1と同様に凝
集沈殿処理を行ったフッ素イオン15ppm及びヒ素イ
オン0.5ppmを含有する処理水を、通水速度SV1
0(BV/Hr)、下向流で通水処理した。通水量が1
0BVになると処理水中にヒ素イオンが0.005pp
m検出され始め、それ以上通水すると処理水中に高濃度
のヒ素イオンが流出した。
【0020】比較例2 実施例1に用いたと同様な弱酸性イオン交換樹脂(アン
バーライトIRC50)1000ml当り90gのジル
コニウムイオンを担持したジルコニウム担持型樹脂10
0mlを内径40mmφのガラスカラムを充填した塔
に、実施例1と同様に凝集沈殿処理を行ったフッ素イオ
ン15ppm及びヒ素イオン0.5ppmを含有する処
理水を、通水速度SV10(BV/Hr)、下向流で通
水処理した。通水量が50BVになると処理水中にヒ素
イオンが0.005ppm検出され始め、さらに100
BV通水すると処理水中にフッ素イオンが1ppm検出
され始め、それ以上通水すると処理水中にフッ素イオン
及びヒ素イオンが流出した。
【0021】比較例3 実施例3に用いたと同様なセリウムの水和酸化物100
mlを内径40mmφのガラスカラムに充填した塔に、
実施例1と同様に凝集沈殿処理を行ったフッ素イオン1
5ppm及びヒ素イオン0.5ppmを含有する処理水
を、通水速度SV5(BV/Hr)、下向流で通水処理
した。通水量が170BVになると処理水中にヒ素イオ
ンが0.005ppm検出され始め、さらに200BV
通水するとフッ素イオンが1ppm検出され始め、それ
以上通水すると処理水中にフッ素イオン及びヒ素イオン
が流出した。
【0022】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明の処理方法
は、特定の凝集沈殿処理、及びフッ素吸着処理工程、ヒ
素吸着処理工程を組み合わせたもので、フッ素吸着剤及
びヒ素吸着剤の吸着能力を有効に利用することにより、
廃水中のフッ素及びヒ素を完全に除去すると共に、吸着
剤各々の再生頻度が少なくて済み、多量の廃水を処理で
きる等優れた効果を発揮する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI C02F 1/52 ZAB C02F 1/52 ZABJ (56)参考文献 特開 昭57−107287(JP,A) 特開 昭61−187931(JP,A) 特開 昭60−129185(JP,A) 特開 昭61−68307(JP,A) 特開 昭54−4874(JP,A) 特開 昭61−185375(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C02F 1/00

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フッ素及びヒ素を含有する廃水を硫酸ア
    ルミニウム又は塩化カルシウムを用いて凝集沈殿処理し
    た後、アルミニウム担持型樹脂を用いて吸着処理し、次
    いでジルコニウム担持型樹脂又は希土類元素の水和酸化
    物を用いて吸着処理を行うことを特徴とするフッ素及び
    ヒ素含有廃水の処理方法。
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