JP3303523B2 - 電気光学表示セルのセル厚制御方法およびセル厚制御装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えばプラズマアド
レス表示装置、液晶表示装置等を構成する液晶表示セル
（パネル）等の液晶層の厚さ、従ってセル厚を制御する
のに適用して好適な電気光学表示セルのセル厚制御方法
およびセル厚制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、プラズマセルと電気光学表示セル
とが誘電シートを介して積層されてなるプラズマアドレ
ス表示装置が提案されている。図５および図６は、プラ
ズマアドレス表示装置１００の構成例を示している。

【０００３】同図において、プラズマアドレス表示装置
１００は、電気光学表示セル１と、プラズマセル２と、
それら両者の間に介在する誘電シート３とを積層したフ
ラットパネル構造とされる。誘電シート３は薄板ガラス
等で構成される。この誘電シート３は表示セル１を駆動
するためにできるだけ薄くする必要があり、例えば５０
μｍ程度の板厚を有するように形成される。

【０００４】表示セル１は上側のガラス基板（上側基
板）４を用いて構成される。上側基板４の内側主面に
は、透明導電材料からなると共に行方向に延びる複数本
のデータ電極５が所定の間隔を保持して列方向に並列的
に形成される。上側基板４はスペーサ６によって所定の
間隙を保持した状態で誘電シート３に接合される。上側
基板４および誘電シート３の間隙には、電気光学材料と
しての液晶が充填されて液晶層７が形成される。ここ
で、上側基板４および誘電シート３の間隙の寸法は例え
ば４〜１０μｍとされ、表示面全体に亘って均一に保た
れる。なお、電気光学材料としては液晶以外のものを使
用することもできる。

【０００５】一方、プラズマセル２は下側のガラス基板
（下側基板）８を用いて構成される。下側基板８の内側
主面には、プラズマ電極を構成する列方向に延びる複数
のアノード電極９Ａおよびカソード電極９Ｋが交互に所
定の間隔を保持して行方向に並列的に形成される。ま
た、アノード電極９Ａおよびカソード電極９Ｋの各上面
のほぼ中央部には、それぞれ電極に沿って延在するよう
に所定幅の隔壁１０が形成される。そして、各隔壁１０
の頂部は誘電シート３の下面に当接され、下側基板８お
よび誘電シート３の間隙の寸法が一定に保持される。

【０００６】また、下側基板８の周辺部にはその周辺部
に沿って低融点ガラス等を使用したフリットシール材１
１が配設され、下側基板８と誘電シート３とが気密的に
接合される。下側基板８および誘電シート３の間隙に
は、イオン化可能なガスが封入される。封入されるガス
としては、例えばヘリウム、ネオン、アルゴンあるいは
これらの混合気体等が使用される。

【０００７】下側基板８および誘電シート３の間隙に
は、各隔壁１０で分離された列方向に延びる複数の放電
チャネル（空間）１２が行方向に並列的に形成される。
すなわち、放電チャネル１２はデータ電極５と直交する
ように形成される。各データ電極５は列駆動単位となる
と共に、各放電チャネル１２は行駆動単位となり、両者
の交差部にはそれぞれ図７に示すように画素１３が規定
される。

【０００８】以上の構成において、所定の放電チャネル
１２に対応するアノード電極９Ａとカソード電極９Ｋと
の間に所定電圧が印加されると、その放電チャネル１２
の部分のガスが選択的にイオン化されてプラズマ放電が
発生し、その内部は略アノード電位に維持される。この
状態で、データ電極５にデータ電圧が印加されると、そ
の放電チャネル１２に対応して列方向に並ぶ複数の画素
１３の液晶層７に誘電シート３を介してデータ電圧が書
き込まれる。プラズマ放電が終了すると、放電チャネル
１２は浮遊電位となり、各画素１３の液晶層７に書き込
まれたデータ電圧は、次の書き込み期間（例えば１フィ
ールド後あるいは１フレーム後）まで保持される。この
場合、放電チャネル１２はサンプリングスイッチとして
機能すると共に、各画素１３の液晶層７はサンプリング
キャパシタとして機能する。

【０００９】各画素１３の液晶層７に書き込まれたデー
タ電圧によって液晶が動作することから画素単位で表示
が行なわれる。したがって、上述したようにプラズマ放
電を発生させて列方向に並ぶ複数の画素１３の液晶層７
にデータ電圧を書き込む放電チャネル１２を行方向に順
次走査していくことで、二次元画像の表示を行うことが
できる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、表示セル１
に要求される諸特性のうち、応答速度、コントラスト、
視野角等は液晶層７の厚み、従ってセル厚と密接な関係
があり、液晶材料の光学特性に合わせてセル厚を厳密に
設定しないと、高い表示品質を得ることができなくな
る。また、セル厚が均一でなくなると、表示むらが発生
すると共に応答速度がばらつくため、視認性が低下す
る。

【００１１】そのため従来、図８に示すように上側基板
４および誘電シート３の間に球形プラスチック等のスペ
ーサ粒子１４を分散させた後に加圧してセル厚を制御す
ることが行なわれている。加圧方法としては、プレスま
たは高圧エアで加圧する方法が提案されている。

【００１２】プレスで加圧する方法は、金属盤やガラス
盤等によって表示セル１を挟んで荷重をかけて液晶注入
口（図８には図示せず）より液晶を押し出した後に、液
晶注入口に封止剤を塗布して硬化させるものである。ま
た、高圧エアで加圧する方法は、一の面が定盤に当接さ
れた状態で他の面に高圧エアで荷重をかけて液晶注入口
より液晶を押し出した後に、液晶注入口に封止剤を塗布
して硬化させるものである。

【００１３】プレスで加圧する方法によれば、金属盤や
ガラス盤等のプレス面の平坦度および平行度をセル厚が
必要とする精度（±０．１μｍのオーダー）で得ること
ができず、表示セル１の面に対して均一な荷重をかける
ことが困難であり、セル厚が均一とならずに表示むらが
発生する等の問題点がある。また、表示セル１の両面に
金属盤やガラス盤が配設された状態で荷重がかけられる
ため、表示セル１を取り出すまで実際のセル厚が分から
ず、セル厚を制御するための圧力や時間等の条件設定が
難しい等の問題点がある。また、表示セル１の外面にゴ
ミ等が付着した場合には、上側基板４や誘電シート３と
プレス面との間にゴミ等が介在された状態で荷重がかけ
られるため、荷重をかけた際に上側基板４や誘電シート
３、特に薄く形成される誘電シート３が割れてしまう等
のおそれがある。

【００１４】また、高圧エアで加圧する方法によれば、
高圧エアを閉じ込めるための複雑で高耐圧の治具構造が
必要となる等の問題点がある。また、表示セル１の両面
に定盤や上述した治具構造が配設された状態で荷重がか
けられるため、プレスで加圧する場合と同様に、表示セ
ル１を取り出すまで実際のセル厚が分からず、セル厚を
制御するための圧力や時間等の条件設定が難しい等の問
題点がある。また、表示セル１の外面にゴミ等が付着し
た場合には、上側基板４や誘電シート３と定盤との間に
ゴミ等が介在された状態で荷重がかけられるため、プレ
スで加圧する場合と同様に、荷重をかけた際に上側基板
４や誘電シート３が割れてしまう等のおそれがある。

【００１５】この発明は、表示セルの破損等を招くこと
なく、均一なセル厚を得ることができる電気光学表示セ
ルのセル厚制御方法を提供することを目的とする。また
この発明は、セル厚を確認しながらセル厚制御を行い得
る電気光学表示セルのセル厚制御方法を提供することを
目的とする。またこの発明は、簡単かつ安価に構成で
き、しかも表示セルの破損等を招くことなく均一なセル
厚を得ることができる電気光学表示セルのセル厚制御装
置を提供することを目的とする。また、この発明はセル
厚を確認しながらセル厚制御を行い得る電気光学表示セ
ルのセル厚制御装置を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る電
気光学表示セルのセル厚制御方法は、第１および第２の
基板間に電気光学材料が充填されてなる電気光学表示セ
ルにおいて、上記電気光学表示セルを挟むように第１お
よび第２の偏光板を配置し、一の面側に光を照射すると
共に他の面側より表示色を観察して上記セル厚が所定値
となったことを判別するためのセル厚観察判別手段を備
え、上記電気光学材料の注入口を覆うようにＯリングを
配するとともに、排気口および封止剤供給口を有する平
板を上記Ｏリング上に配し、上記排気口に接続された排
気ポンプにより所定排気圧で排気を行って上記注入口よ
り上記電気光学材料を排出させ、上記セル厚が所定値と
なったことを上記セル厚観察判別手段により判別した時
点で上記注入口に連通する封止剤供給口から封止剤を排
気室内に吸入させ、封止剤が上記注入口の上部を満たし
たら、上記排気ポンプによる排気をやめると共に、上記
注入口を大気圧にリークさせて、上記注入口より封止剤
を上記表示セル内に吸入させ紫外線により硬化させて封
止するものである。

【００１７】

【００１８】請求項２の発明に係る電気光学表示セルの
セル厚制御装置は、第１および第２の基板間に電気光学
材料が充填されてなる電気光学表示セルの電気光学材料
の注入口を覆うように配されるＯリングと、排気口およ
び封止剤供給口を有しＯリング上に配される平板と、こ
の平板の排気口に接続される排気ポンプと、注入口を大
気圧にリークさせて平板の封止剤供給口より流入される
封止剤を注入口より表示セル内に吸入させて封止する封
止制御手段とを備えるものである。

【００１９】請求項３の発明に係る電気光学表示セルの
セル厚制御装置は、請求項２の発明において、電気光学
表示セルを挟むように偏光面が互いに直交する第１およ
び第２の偏光板を配すると共に、一の面側に光を照射す
る照明手段を備えるものである。

【００２０】

【作用】請求項１の発明においては、電気光学表示セル
の電気光学材料の注入口より所定排気圧で電気光学材料
を排出させることで、セル厚は徐々に薄くなり、従って
セル厚の制御を行い得る。この場合、表示セルの両面に
均一な荷重がかかるため、片面に均一な荷重がかかる高
圧エアによる加圧よりも均一なセル厚を得ることが可能
となる。また、表示セルの両面に加圧機構が配設されて
荷重がかけられるものでなく、例えば表示セルを挟むよ
うに偏光板を配設して表示色を観察する等してセル厚制
御時にセル厚を容易に確認することが可能となる。ま
た、表示セルの外面を金属盤等で押圧して荷重をかける
ものでなく、表示セルの外面にゴミ等が付着していても
表示セルの基板が割れる等のおそれはなくなる。

【００２１】また、セル厚によって表示色が変化する
が、その表示色を観察することでセル厚が所定値となっ
たことを判断するものであり、セル厚を確認しながらセ
ル厚制御を行うことができ、表示セル毎のばらつきを吸
収して精度よくセル厚を制御することが可能となる。

【００２２】請求項２の発明においては、排気ポンプに
より所定排気圧で排気することで電気光学表示セルの電
気光学材料の注入口より電気光学材料を排出させること
ができ、セル厚が徐々に薄くなるようにセル厚の制御を
行い得る。この場合、表示セルの両面に均一な荷重がか
かるため、片面に均一な荷重がかかる高圧エアによる加
圧よりも均一なセル厚を得ることが可能となる。また、
表示セルの両面に加圧機構が配設されて荷重がかけられ
るものでなく、例えば表示セルを挟むように偏光板を配
設して表示色を観察する等してセル厚制御時にセル厚を
容易に確認することが可能となる。

【００２３】また、表示セルの外面を金属盤等で押圧し
て荷重をかけるものでなく、表示セルの外面にゴミ等が
付着していても表示セルの基板が割れる等のおそれはな
くなる。また、高圧エアを閉じ込めるための複雑かつ高
耐圧な治具構造等は必要でなく、簡単かつ安価に構成す
ることが可能となる。また、排気ポンプに接続される排
気管を分岐すれば一度に多数の表示セルのセル厚制御を
行うことができ、生産効率を上げることが可能となる。

【００２４】請求項３の発明においては、他の面側より
観察される表示色はセル厚によって変化するため、表示
色によってセル厚を確認しながらセル厚制御を行うこと
ができ、表示セル毎のばらつきを吸収して精度よくセル
厚を制御することが可能となる。

【００２５】

【実施例】以下、図面を参照しながら、この発明に係る
電気光学表示セルのセル厚制御方法およびセル厚制御装
置の一実施例について説明する。本例は図５〜図８に示
すプラズマアドレス表示装置の電気光学表示セル１のセ
ル厚制御に適用したものである。各図面において、図５
〜図８と対応する部分には同一符号を付して示してい
る。

【００２６】図１は、本例のセル厚制御装置２０の全体
構成を示している。同図において、１は電気光学表示セ
ルであり、２１，２２は表示セル１を挟むように配設さ
れた互いに偏光面が直交する偏光板、２３は偏光板２２
側の面を照射するためのバックライト部である。偏光板
２１の表示セル１の液晶の注入口に対応する部分２１１
ａは、後述するようにセル厚の制御機構部を配設するた
めに切り欠かれる。

【００２７】図２はセル厚の制御機構部の構成を示した
断面図であり、図３はその要部の分解斜視図である。同
図において、４ａは上側基板４に設けられた液晶の注入
口であり、液晶は注入口４ａを通じて上側基板４および
誘電シート３の間隙に注入される。注入口４ａがリング
内に位置するように上側基板４の外面上にシリコンゴム
等で形成されるＯリング３１が配され、またＯリング３
１上に平板３２が配される。

【００２８】平板３２にはそれぞれリング内に位置する
ように排気口３２ａおよび封止剤供給口３２ｂが設けら
れる。排気口３２ａには一端が排気ポンプ（図示せず）
に接続される排気管３３の他端が気密的に接続される。
排気管３３内には排気ポンプ側から平板３２の排気口３
２ａ側への流れを防止するための逆流防止部材３４、例
えばベンコットン（商品名）が配設される。また、封止
剤供給口３２ｂ上には例えばアクリル系のフィルム３５
が配される。

【００２９】以上のようにセル厚の制御機構部を配置し
た状態で、以下のようにしてセル厚制御および封止が行
なわれる。まず、排気ポンプによって排気管３３を介し
て所定排気圧で排気をする。これにより、上側基板４の
注入口４ａより液晶が流れ出し、セル厚が徐々に薄くな
っていく。ここで、偏光板２１側（図１および図２に矢
印Ｑで図示）から観察される表示色は、セル厚の変化に
伴って変化する。そのため、予め設定セル厚となってい
るサンプルの表示色と比較することで、設定セル厚とな
ったことを判断することができる。

【００３０】次に、セル厚が設定セル厚となった時点
で、図２に示すように封止剤供給口３２ｂに対応するフ
ィルム３５上に封止剤３６、例えば紫外線硬化型の接着
剤をのせる。そして、封止剤３６の上からニードル３７
等でフィルム３５に穴を開ける。Ｏリング３１、平板３
２、上側基板４等で構成される排気室は排気動作によっ
て真空状態にあるので、フィルム３５に穴が開けられる
ことで、封止剤３６が封止剤供給口３２ｂより排気室内
に流入してくる。

【００３１】次に、流入した封止剤３６が上側基板４の
液晶の注入口４ａの上部を満たしたら、排気ポンプによ
る排気をやめると共に、注入口４ａを大気圧にリークさ
せて封止剤３６を注入口４ａより表示セル１内に吸入さ
せる。そして、Ｏリング３１、平板３２等のセル厚の制
御機構部を全て取り去って、表示セル１上に付着してい
る封止剤３６を拭き取った後に、表示セル１内に吸入さ
せた封止剤３６に紫外線を照射する等して硬化させて封
止する。

【００３２】このように本例においては、表示セル１の
液晶の注入口４ａより所定排気圧で液晶を排出させてセ
ル厚を制御するものであり、表示セル１の両面に均一な
荷重がかかるため、片面に均一な荷重がかかる従来の高
圧エアによる加圧よりも均一なセル厚を得ることができ
る。また、表示セル１を挟むように偏光板２１，２２が
配設され、表示色に観察してセル厚を確認しながらセル
厚制御を行うことができ、表示セル毎のばらつきを吸収
して設定セル厚に精度よくセル厚を制御することができ
る。また、表示セル１の外面を金属盤等で押圧して荷重
をかけるものでなく、表示セル１の外面にゴミ等が付着
していても表示セル１の上側基板４や誘電シート３が割
れる等のおそれはなくなる。また従来のようにプレスに
よる加圧のための治具構造や、高圧エアを閉じ込めるた
めの複雑かつ高耐圧な治具構造等は必要でなく、簡単か
つ安価に構成することができる。

【００３３】なお、上述実施例においては、平板３２の
封止剤供給口３２ｂ上に配されたフィルム３５に穴を開
けることで封止剤３６を注入口４ａに導くものを示した
が、図４に示すようにフィルム３５を使用しない構成も
考えられる。すなわち、平板３２の封止剤供給口３２ｂ
には一端が封止剤３６が収容された容器４１に接続され
たフレキシブルチューブ４２の他端が気密的に接続され
る。容器４１には穴４３が形成されており、この穴４３
は封止剤３６を液晶の注入口４ａに導く時点まではシー
ル部材４４で覆われた状態におかれる。上述したように
セル厚が設定セル厚となって封止剤３６を液晶の注入口
４ａに導く場合には、シール部材４４を剥すと共に封止
剤３６がフレキシブルチューブ４２を通って平板３２の
封止剤供給口３２ｂから排気室内に流入するように容器
４１を傾ければよい。

【００３４】また、上述実施例においては、１個の表示
セル１のセル厚のみを制御する場合について述べたが、
排気ポンプに接続される排気管３３を分岐し、それぞれ
の分岐排気管を複数の表示セル１の上述したようなセル
厚の制御機構部の平板３２の排気口３２ａに接続するこ
とで、１個の排気ポンプを使用して複数の表示セル１の
セル厚を並行して制御することができ、生産効率を上げ
ることができる。

【００３５】また、上述実施例においては、表示セル１
を挟むように偏光板２１，２２を配して表示色を観察す
ることでセル厚制御時にセル厚を認識するものを示した
が、表示セル１の両面に加圧機構が配設されて荷重がか
けられるものでないため、実際に測定器でセル厚を測定
することもでき、セル厚制御時に測定器の測定値でもっ
てセル厚を認識するようにしてもよい。

【００３６】また、上述実施例においては、上側基板４
に液晶の注入口４ａが設けられたものを示したが、例え
ばスペーサ６の部分に液晶の注入口が設けられるものに
も同様に適用してセル厚制御をすることができる。

【００３７】また、上述実施例は、プラズマアドレス表
示装置の電気光学表示セル１のセル厚制御をする場合に
適用したものであるが、この発明はその他の電気光学表
示セルのセル厚を制御する場合にも同様に適用できるこ
とは勿論である。

【００３８】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、電気光学表示
セルの電気光学材料の注入口より所定排気圧で電気光学
材料を排出させることで、セル厚は徐々に薄くなり、従
ってセル厚の制御を行うことができる。この場合、表示
セルの両面に均一な荷重がかかるため、片面に均一な荷
重がかかる高圧エアによる加圧よりも均一なセル厚を得
ることができ、表示むらの発生等を防止できる。また、
表示セルの両面に加圧機構が配設されて荷重がかけられ
るものでなく、例えば表示セルを挟むように偏光板を配
設して表示色を観察する等してセル厚制御時にセル厚を
容易に確認することができる。また、表示セルの外面を
金属盤等で押圧して荷重をかけるものでなく、表示セル
の外面にゴミ等が付着していても表示セルの基板が割れ
る等のおそれはなくなる。

【００３９】また、セル厚によって表示色が変化する
が、その表示色を観察することでセル厚が所定値となっ
たことを判断するものであり、セル厚を確認しながらセ
ル厚制御を行うことができ、表示セル毎のばらつきを吸
収して精度よくセル厚を制御することができる。

【００４０】請求項２の発明によれば、排気ポンプによ
り所定排気圧で排気することで電気光学表示セルの電気
光学材料の注入口より電気光学材料を排出させることが
でき、セル厚が徐々に薄くなるようにセル厚の制御を行
うことができる。この場合、表示セルの両面に均一な荷
重がかかるため、片面に均一な荷重がかかる高圧エアに
よる加圧よりも均一なセル厚を得ることができ、表示む
らの発生等を防止できる。また、表示セルの両面に加圧
機構が配設されて荷重がかけられるものでなく、例えば
表示セルを挟むように偏光板を配設して表示色を観察す
る等してセル厚制御時にセル厚を容易に確認することが
できる。

【００４１】また、表示セルの外面を金属盤等で押圧し
て荷重をかけるものでなく、表示セルの外面にゴミ等が
付着していても表示セルの基板が割れる等のおそれはな
くなる。また、高圧エアを閉じ込めるための複雑かつ高
耐圧な治具構造等は必要でなく、簡単かつ安価に構成す
ることができる。また、排気ポンプに接続される排気管
を分岐すれば一度に多数の表示セルのセル厚制御を行う
ことができ、生産効率を上げることができる。

【００４２】請求項３の発明によれば、他の面側より観
察される表示色はセル厚によって変化するため、表示色
によってセル厚を確認しながらセル厚制御を行うことが
でき、表示セル毎のばらつきを吸収して精度よくセル厚
を制御することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るセル厚制御装置の一実施例の全
体構成を示す斜視図である。

【図２】セル厚の制御機構部の構成を示す断面図であ
る。

【図３】セル厚の制御機構部の構成を示す要部の分解斜
視図である。

【図４】セル厚の制御機構部の他の構成を示す断面図で
ある。

【図５】プラズマアドレス表示装置の構成例を示す斜視
図である。

【図６】プラズマアドレス表示装置の構成例を示す断面
図である。

【図７】データ電極、プラズマ電極、放電チャネルの配
列を示す図である。

【図８】スペーサ粒子が散布された電気光学表示セルを
示す図である。

【符号の説明】

１ 電気光学表示セル ２ プラズマセル ３ 誘電シート ４ 上側のガラス基板（上側基板） ４ａ 液晶の注入口 ５ データ電極 ６ スペーサ ７ 液晶層 ８ 下側のガラス基板（下側基板） ９Ａ アノード電極 ９Ｋ カソード電極 １０ 隔壁 １１ フリットシール材 １２ 放電チャネル １３ 画素 １４ スペーサ粒子 ２０ セル厚制御装置 ２１，２２ 偏光板 ２３ バックライト部 ３１ Ｏリング ３２ 平板 ３３ 排気管 ３５ フィルム ３６ 封止剤 ４１ 容器 ４２ フレキシブルチューブ ４３ 穴 ４４ シール部材

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１および第２の基板間に電気光学材料
   が充填されてなる電気光学表示セルにおいて、 上記電気光学表示セルを挟むように第１および第２の偏
   光板を配置し、一の面側に光を照射すると共に他の面側
   より表示色を観察して上記セル厚が所定値となったこと
   を判別するためのセル厚観察判別手段を備え、 上記電気光学材料の注入口を覆うようにＯリングを配す
   るとともに、排気口および封止剤供給口を有する平板を
   上記Ｏリング上に配し、 上記排気口に接続された 排気ポンプにより所定排気圧で
   排気を行って上記注入口より上記電気光学材料を排出さ
   せ、 上記セル厚が所定値となったことを上記セル厚観察判別
   手段により判別した時点で上記注入口に連通する封止剤
   供給口から封止剤を排気室内に吸入させ、封止剤が上記
   注入口の上部を満たしたら、上記排気ポンプによる排気
   をやめると共に、上記注入口を大気圧にリークさせて、
   上記注入口より封止剤を上記表示セル内に吸入させ紫外
   線により硬化させて封止することを特徴とする電気光学
   表示セルのセル厚制御方法。
2. 【請求項２】 第１および第２の基板間に電気光学材料
   が充填されてなる電気光学表示セルの上記電気光学材料
   の注入口を覆うように配されるＯリングと、排気口およ
   び封止剤供給口を有し上記Ｏリング上に配される平板
   と、 この平板の排気口に接続される排気ポンプと、 上記注入口を大気圧にリークさせて上記平板の封止剤供
   給口より流入される封止剤を上記注入口より上記表示セ
   ル内に吸入させて封止する封止制御手段とを備えること
   を特徴とする電気光学表示セルのセル厚制御装置。
3. 【請求項３】 上記電気光学表示セルを挟むように偏光
   面が互いに直交する第１および第２の偏光板を配すると
   共に、一の面側に光を照射する照明手段を備えることを
   特徴とする請求項２に記載の電気光学表示セルのセル厚
   制御装置。