JP3293470B2 - 放射温度計 - Google Patents

放射温度計

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、計測対象の温度
を非接触で計測する放射温度計に関するものである。
【0002】
【従来の技術】物体から放射される光には温度情報が含
まれている。物体の温度を非接触で計測する放射温度計
はこの現象を利用している。そして、放射温度計の基礎
となるのが、良く知られているプランクの放射則であ
り、式(1)にこれを示す。
【0003】
【数5】
【0004】式の中で、Wλ[W/cm2/μm]は分
光放射発散度であり光の放射量に相当する。λ[μm]
は波長、T[K]は温度である。c1は放射の第1定数
と呼ばれ、c1=(3.7415±0.0003)×104[Wcm-2μ
4]であり、c2は放射の第2定数と呼ばれ、c2
(1.43879±0.00019)×104[μmK]である。プラン
クの放射則において、λTが小さく、exp(c2/λ
T) >> 1なる場合には式(2)に示すようなウィーン
の公式が適用できる。
【0005】
【数6】
【0006】以上の2つの式からわかるように、計測対
象の温度が高くなると光の放射量が大きくなる。また、
計測対象の温度変化に対して、波長特性、すなわち波長
に対する放射発散度分布も変化することがわかる。計測
対象の温度が高くなると放射発散度分布が短波長側へと
シフトする。
【0007】図5は放射温度計の一般的構成を示した構
成図である。図において、1は温度を計測するべき対象
から放射された光を受けて、光電変換により例えば電圧
のような電気信号に変換する光検出器であり、レンズ、
フィルタ、光電変換素子などから構成される。2はこの
光検出器1から計測対象の温度情報を含んだ電気信号を
受け、所定の変換式に基づいて計測対象の温度を演算す
る演算器、3はこの演算器2での演算に必要な諸定数が
記憶されているメモリである。
【0008】次に動作について説明する。光検出器1の
波長帯域が非常に小さい場合には、上記式(1)や式
(2)においてλをほぼ一定とみなすことにより光の放
射量Wλと計測対象の温度Tの関係は一意に決められ
る。ところが、通常、光検出器1の波長帯域はある程度
の幅があり、光検出器の構成のしかたによる波長選択特
性をもつため、実際に光検出器1が出力するVは、式
(1)や式(2)に光検出器1の波長選択特性をかけた
ものを積分して得られるものとなる。
【0009】したがって、実際の測定の結果出力される
上記Vの値としては、上述の波長に対する放射発散度分
布の変化や、光検出器1の波長選択特性というような、
波長λによる複雑な影響を受けた結果が出力されている
ことになる。実際の温度測定においてこのような波長λ
の影響を厳密に考慮するのは非常に繁雑なので、λを変
数としない近似式を導く必要がある。
【0010】すなわち、所定の波長帯域をその放射温度
計の測定波長領域として限定(設定)し、式(1)や式
(2)のλをその領域内のある代表値として固定すると
いう考え方により、波長λを変数とせずに光検出器出力
Vと実際の温度Tとの関係を示す近似式(変換式)を、
上記式(1)、(2)に基づいて導く。これにより光検
出器出力Vから温度Tを求めることができる。式(3)
は、例えば「JIS C 1612 放射温度計の性能
表示方法通則」(日本規格協会発行)に示された入出力
特性近似式である。
【0011】
【数7】
【0012】式(3)の中で、ai(i=1,2,3)は定数で
あり、メモリ3に記憶されている。これらaiを決める
ことにより、使用する光検出器1に対応した変換式を得
ることができ、光検出器出力Vから温度Tが求められ
る。このための校正方法について以下に説明する。
【0013】まず、亜鉛点(419.527℃)、アルミニウ
ム点(660.323℃)、銀点(961.78℃)、銅点(1084.62
℃)などの定点黒体炉のうちの3種類以上を用いて、定
点黒体炉の温度Tと光検出器1の出力Vとを測定する。
その次に、この各定点測定値を用いて、最小二乗法によ
って式(3)の定数aiを決定し、メモリ3に記憶す
る。任意の計測対象の温度Tを計測するときには、式
(3)を変換した式(4)を用いる。
【0014】
【数8】
【0015】図6は、このような変換式(近似式)によ
る近似誤差の計算例を示すものである。光検出器1の波
長範囲を0.80−1.00μmとし、亜鉛点(419.53℃)、ア
ルミニウム点(660.32℃)、銀点(961.78℃)、銅点
(1084.62℃)の黒体放射発散度計算値を校正データと
し、各定数aiを決定している。図6に示すように、近
似誤差は校正点付近で小さくなっている。このように、
光検出器1がある程度の幅の波長帯域をもつ場合におい
ても、計測対象の温度を計測することができる。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来の放
射温度計においては、上記のような変換式に基づいて計
測対象の温度を算出していたので、光検出器の波長帯域
が比較的に大きくなると、計測対象の温度変化にともな
う放射発散度分布の変化の影響を受け、近似誤差が大き
くなるという課題があった。すなわち、上述のように計
測対象の温度に応じて放射発散度分布が短波長側あるい
は長波長側へシフトするため、波長帯域が大きいと放射
発散度分布の変化幅も大きくなる。上記従来の変換式
は、波長がある値に固定されているとみなした場合にお
いて、その光検出器に対して校正を行うことで諸定数を
決めて導かれているので、校正点からずれた波長ほど近
似誤差が大きく、波長帯域の幅が大きいほど近似誤差の
影響が大きくなる。
【0017】この発明は、上述のような課題を解決する
ためになされたもので、計測対象の温度変化にともなう
波長特性の変化の影響を受けにくくし、近似誤差を小さ
くすることを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる放射温
度計は、計測対象からの光の放射量を検出して検出信号
Vを出力する光検出手段と、上記光検出手段からの検出
信号Vより上記計測対象の温度Tを演算する演算手段と
を備え、上記演算手段では、計測対象からの放射光の波
長λと計測対象の温度Tにより計測対象の分光放射発散
度Wλを表すプランクの放射則またはウィーンの公式に
基づき、上記プランクの放射則またはウィーンの公式に
おけるλ を放射光の波長λを固定して定数とし、か
つ、放射光の波長λと温度Tとの積λTを温度Tを変数
として温度Tが高くなると共に温度Tでの微分係数が小
さくなる正の微分係数でなる関数で対応させて設定した
上記光検出手段からの検出信号Vと上記計測対象の温度
Tとの関係式を用い、上記光検出手段からの検出信号V
より上記計測対象の温度Tを演算することを特徴とする
ものである。また、演算手段における上記関係式を
【0019】
【数9】
【0020】a1,a2,a3,a4:定数としたものであ
る。
【0021】また、演算手段における上記関係式を
【0022】
【数10】
【0023】a1,a2,a3,a4:定数としたものであ
る。
【0024】また、演算手段における上記関係式を
【0025】
【数11】
【0026】a1,a2,a3,a4,a:定数としたもので
ある。
【0027】また、演算手段における上記関係式を
【0028】
【数12】
【0029】a1,a2,a3,a4,a:定数としたもので
ある。
【0030】
【発明の実施の形態】実施形態1. この発明の実施形態における放射温度計の構成を図1に
示す。図1において、1は温度を計測するべき対象から
放射された光を受けて、光電変換により例えば電圧のよ
うな電気信号に変換する光検出手段としての光検出器で
あり、レンズ、フィルタ、光電変換素子などから構成さ
れる。2はこの光検出器1から計測対象の温度情報を含
んだ電気信号を受け、所定の変換式に基づいて計測対象
の温度を演算する演算器、3はこの演算器2での演算に
必要な諸定数が記憶されているメモリである。演算器
2、メモリ3により演算手段が形成される。
【0031】この発明においても上述のプランクの放射
則[式(1)]、ウィーンの公式[式(2)]に基づく
近似式を用いて、出力Vから温度Tを求める。式(l)
または式(2)からわかるように、光検出器1の出力V
は波長と温度の関数である。出力Vから温度Tを求め
る、すなわち出力と温度を一対一に対応させるために
は、波長を定数として固定し、温度のみを変数とする必
要がある。校正を行うということは、光検出器1のもつ
ある幅の波長帯域を任意の波長で代表させると解釈する
ことができる。
【0032】しかし、式(1)または式(2)からわか
るように放射量の波長特性は温度とともに変化するの
で、各温度における代表波長は一定ではない。温度が上
昇すると、放射量の波長特性は短波長側へとシフトする
ために、代表波長も短波長側へとシフトする。したがっ
て、温度T、代表波長をλ0とすると、λ0が変化するこ
とからTとλ0Tの関係は図2のように上に凸なる関数
として表される。波長を定数として固定することを前提
とした従来の変換式は、図2においては直線で表わされ
る(図示せず)ので、このようにTとλ0Tの関係が上
に凸なる関数として表される実際の状況に対しては、従
来の変換式では温度Tの違いによる近似誤差が大きくな
る。
【0033】この発明では、λを固定することに対応し
て、温度Tによるこのλの変化の影響を、変数である温
度Tによって吸収させることにより打ち消すことで、近
似誤差を抑えるものである。つまり、式(1)または式
(2)におけるλTの部分を、上に凸なる関数として表
現する項、すなわち温度Tを基底とする指数項(指数a
3は0<a3<1)と対応させて出力Vと温度Tとの関係
式を設定するものである。指数a3は代表波長のシフト
が大きい程小さくなる傾向となる。この実施形態におけ
る出力Vと温度Tとの関係式を式(5)に示す。
【0034】
【数13】
【0035】校正は、従来例と同様に、いくつかの温度
において校正用黒体温度Tと光検出器1の出力Vとの関
係を測定し、この各定点測定値を用いて、最小二乗法に
よって式(5)の定数aiを決定し、メモリ3に記憶す
る。任意の計測対象の温度Tを計測するときには、式
(5)の関係式に基づく式(6)を出力Vから温度Tへ
の変換式として用いる。
【0036】
【数14】
【0037】図3は、この実施形態における近似誤差の
計算例を示すものである。光検出器1の波長範囲を0.80
−1.00μmとし、亜鉛点(419.53℃)、アルミニウム点
(660.32℃)、銀点(961.78℃)、銅点(1084.62℃)
の黒体放射発散度計算値を校正データとし、各定数ai
を決定している。ここでは、a1=1.825×104,a2=−
1.171×104,a3=9.531×10−1,a4=0.0である。(こ
こではa4を0としてa1,a2,a3を最適化した。)上記
代表波長のシフトはわずかなので、a3は1に近い値と
なっている。
【0038】図3に示すように、この実施形態による近
似誤差は従来例に比べて小さいことがわかる。以上のよ
うにこの発明による放射温度計においては、計測対象の
温度変化にともなう波長特性の非線形的な変化を打ち消
すようにしているので、光検出器の波長帯域が大きい場
合でも、近似誤差の少ない計測ができる。
【0039】実施形態2. 上記実施形態1では、ウィーンの公式に基づいて関係式
を設定したが、より厳密なプランクの放射則に基づいて
設定してもよい。すなわち、関係式として式(7)を用
い、変換式として式(8)を用いる。
【0040】
【数15】
【0041】
【数16】
【0042】実施形態3. 上記実施形態は、計測対象の温度変化による波長特性変
化に基づく非線形成分を除去しようというものである
が、これに加え、オフセット成分を除去することでさら
に近似誤差が低減される。すなわち、近似式として式
(9)を用い、温度換算式として式(10)を用いる。
ただし、式の中でai(i=1,2,3,4,5)は定数であり、メ
モリ3に記憶される。
【0043】
【数17】
【0044】
【数18】
【0045】図4は、この場合の近似誤差の計算例を示
すものである。光検出器1の波長範囲を0.85−0.95μm
とし、実施形態1と同様に4点の構成データより各定数
iを定めた。ここでは、a1=6.567×103,a2=−1.57
0×104,a3=9.966×10-1,a4=5.704×100,a5=0.0で
ある。実施形態1と同様に、上記代表波長のシフトはわ
ずかなので、a3は1に近い値となっている。図4に示
すように、この実施形態による近似誤差は従来例に比べ
て小さいことがわかる。これにより、オフセット分を除
去した近似誤差の少ない計測ができる。
【0046】実施形態4. 実施形態3では、ウィーンの公式に基づいて関係式を設
定したが、より厳密なプランクの放射則に基づいて設定
してもよい。すなわち、関係式として式(11)を用
い、変換式として式(12)を用いる。
【0047】
【数19】
【0048】
【数20】
【0049】実施形態5. 以上の実施形態では、計測対象を放射率ε=1の黒体と
して説明したが、放射率ε<1の計測対象に対しても有
効であることは言うまでもない。温度T、放射率εの計
測対象の放射量Nε(T)は、温度Tの黒体計測対象の
放射量Nb(T)に放射率εを乗じたものとして得られ
る(式(13))。
【0050】
【数21】
【0051】計測対象が放射率εである場合には、黒体
の計測対象の場合に比べ光検出器1の出力Vε倍になっ
ていることになる。したがって、たとえば実施形態1の
関係式(式(14))および変換式(式(15))は以
下のようになる。
【0052】
【数22】
【0053】
【数23】
【0054】これにより、計測対象が放射率εである場
合にも近似誤差の少ない計測ができる。なお、実施形態
2、3、4の場合に対しても同様であることは言うまで
もない。
【0055】また、上記実施形態では演算器2、メモリ
3を個別のブロックで示しているが、この発明の演算手
段はこの構成に限らず、プロセッサでソフトウェアを動
作させるもので構成してもよい。
【0056】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、温度計測精度が向上するという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施形態における放射温度計の構
成図である。
【図2】 温度Tに対する波長と温度との積の関係を示
す摸式図である。
【図3】 この発明の実施形態による近似誤差を示す特
性図である。
【図4】 この発明の実施形態による近似誤差を示す特
性図である。
【図5】 従来の放射温度計の構成図である。
【図6】 従来の放射温度計の近似誤差を示す特性図で
ある。
【符号の説明】
1 光検出器 2 演算器 3 メモリ

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 計測対象からの光の放射量を検出して検
    出信号Vを出力する光検出手段と、上記光検出手段から
    の検出信号Vより上記計測対象の温度Tを演算する演算
    手段とを備え、上記演算手段では、計測対象からの放射
    光の波長λと計測対象の温度Tにより計測対象の分光放
    射発散度Wλを表すプランクの放射則またはウィーンの
    公式に基づき、上記プランクの放射則またはウィーンの
    公式におけるλ を放射光の波長λを固定して定数と
    し、かつ、放射光の波長λと温度Tとの積λTを温度T
    を変数として温度Tが高くなると共に温度Tでの微分係
    数が小さくなる正の微分係数でなる関数で対応させて設
    定した上記光検出手段からの検出信号Vと上記計測対象
    の温度Tとの関係式を用い、上記光検出手段からの検出
    信号Vより上記計測対象の温度Tを演算することを特徴
    とする放射温度計。
  2. 【請求項2】 計測対象からの光の放射量を検出して検
    出信号Vを出力する光検出手段と、この光検出手段から
    出力される上記検出信号Vと温度Tとの関係を示す変換
    式 【数1】 1,a2,a3,a4:定数に基づき、上記計測対象の温度
    を演算する演算手段とを備えたことを特徴とする放射温
    度計。
  3. 【請求項3】 計測対象からの光の放射量を検出して検
    出信号Vを出力する光検出手段と、この光検出手段から
    出力される上記検出信号Vと温度Tとの関係を示す関係
    式 【数2】 1,a2,a3,a4:定数に基づき、上記計測対象の温度
    を演算する演算手段とを備えたことを特徴とする放射温
    度計。
  4. 【請求項4】 計測対象からの光の放射量を検出して検
    出信号Vを出力する光検出手段と、この光検出手段から
    出力される上記検出信号Vと温度Tとの関係を示す関係
    式 【数3】 1,a2,a3,a4 ,a :定数に基づき、上記計測対象の
    温度を演算する演算手段とを備えたことを特徴とする放
    射温度計。
  5. 【請求項5】 計測対象からの光の放射量を検出して検
    出信号Vを出力する光検出手段と、この光検出手段から
    出力される上記検出信号Vと温度Tとの関係を示す関係
    式 【数4】 1,a2,a3,a4 ,a :定数に基づき、上記計測対象の
    温度を演算する演算手段とを備えたことを特徴とする放
    射温度計。
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計測と制御,1988年 9月10日,第27巻第9号,p.64−69

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