JP3288509B2

JP3288509B2 - 光素子モジュール及び光素子モジュールの製造方法

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Publication number: JP3288509B2
Application number: JP31155993A
Authority: JP
Inventors: 晋中谷
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1993-12-13
Filing date: 1993-12-13
Publication date: 2002-06-04
Anticipated expiration: 2017-06-04
Also published as: JPH07168056A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光通信分野において用
いられる光素子モジュールに関するものである。

【０００２】

【従来技術】従来の光素子モジュールとしては、図１２
に示す構造のものが知られている。図１２は従来の光素
子モジュールの断面図であり、ケース1内部に設置され
た素子マウント5上には、レーザー素子アレイ等の発光
素子やホト・ダイオード等の受光素子である光素子3を
形成したヘッダ4と、レンズ6が設けられている。そし
て、この光素子3と外部の光ファイバ7との間で光のやり
とり行うために、開孔されたパイプ2がケース1にロウ付
けによって取付けられている。さらにこのパイプ2に
は、光ファイバ7が固定された熔接用スリーブ8が接続さ
れている。

【０００３】ケース1とパイプ2及び熔接用スリーブ8は
目的に応じて材質が選択されており、ケース1は銅タン
グステンやコバールを用いて形成されている。一方パイ
プ2及び熔接用スリーブ8は、コバールやステンレス３０
４を用いて形成されている。これらの材質の選択は熔接
の可否，放熱特性及び線膨張係数等の条件に基づいてお
こなわれる。

【０００４】この光素子モジュールの光学系において
は、光素子3とレンズ6間の距離Ｌ1及びレンズ6と光ファ
イバ７間の距離Ｌ2に関して部材相互の高い実装精度が
要求される。

【０００５】このため光素子モジュールは以下の手順で
製造される。

【０００６】まず始めに、ケース1にパイプ2をロウ付け
によって固定する。ここでロウ付けを用いてケース1と
パイプ2を固定するのは、ケース1内部の気密を保つため
である。

【０００７】次に、ヘッダ4に光素子3をボンディングす
る。このときのボンディング精度は±20〜30μmであ
る。光素子3には発光部あるいは受光部が複数個、等間
隔に造り込まれている。

【０００８】次に、素子マウント5上にヘッダ4をハンダ
付けによって固定し、レンズ6をヘッダ4との間の光学的
な位置調整を行った後に同様にハンダ付けによって固定
する。このとき、レンズ6は光素子3との距離について高
い精度が要求されるため、光素子3が発光素子の場合は
出力光の状態を、また受光素子の場合は入射光の状態を
各々実際に確認して光軸調整を行っている。この段階で
の光学的調整を、この明細書中では便宜上粗調整と呼ぶ
ことにする。

【０００９】次に、素子マウント5をケース1内に実装す
る。このとき、素子マウント5はケース1に対してだいた
いの位置に実装されるので、実装精度はせいぜい±0．3
mm程度である。

【００１０】次に、光ファイバ７の光軸調整を行って、
これをパイプ2にＹＡＧレーザーを用いたスポット溶接
（図中の●）などにより、熔接用スリーブ8を介して固
定する。

【００１１】光ファイバ7を熔接用スリーブ8を介して固
定するのは以下の理由による。

【００１２】即ち、素子マウント5が非常にラフに実装
されているので、ケース1の外側から見た光素子3の位置
は光素子モジュール毎に光軸方向に大きくばらついる。
このため、光ファイバ７の調整位置は各光素子モジュー
ルによって異なっており、光ファイバ７の固定に際し
て、光軸方向の調整と光軸に対して垂直方向の調整を行
う必要があるからである。

【００１３】この調整は粗調整と同様に、光素子3が発
光素子の場合は出力光の状態を、また受光素子の場合は
入射光の状態を各々実際に確認して光軸調整を行ってい
る。この段階での光学的調整を、この明細書中では便宜
上微調整と呼ぶことにする。

【００１４】最後に、蓋9によってケース1を密閉して、
光素子モジュールが完成する。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
光素子モジュールを製造する際には、光素子とレンズ及
び光ファイバの光学的位置関係を最適値に調整する必要
がある。

【００１６】しかしながらこの従来の製造方法では、素
子マウント5にレンズ6を固定する際の粗調整と、光ファ
イバ7を熔接用スリーブ8を用いてパイプ2に固定する際
の微調整が必要がある。

【００１７】上記した粗調整では、レンズ6と素子マウ
ント5を接着してからケース1内部に実装しているので作
業性は良くなるが、素子マウント5をケース1内に実装す
る際に焦点となる部分がないので高精度な実装が出来な
い。また、粗調整を素子マウント5をケース1内に実装し
てから行う方法もあるが、光素子モジュールの狭いケー
ス1内部で行う必要があり、効率良い作業が行えない。
この結果、粗調整段階での光素子3とレンズ6の位置関係
は、光ファイバ7の位置を調整することで補正可能な範
囲に収まる程度の調整でしかなかった。

【００１８】このため光ファイバ７の固定の際に光軸方
向への微調整が別途必要となり、製造工程が複雑化して
いた。

【００１９】本発明は上記問題点を解決し、製造工程を
複雑化することなく高精度の実装を可能とすることを目
的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に本発明の光素子モジュールは、基板と、この基板上に
設けられた光素子と、その基板を収納した筐体と、内部
に位置決め部を有し一端を筐体に固定されたパイプと、
このパイプ内部の位置決め部に固定されたレンズと、光
ファイバ・ケーブルとその端部を支持するフォルダとを
備え、光ファイバ・ケーブルとフォルダの端面を同一面
上に揃え、フォルダの端面を前記パイプの他端に固定し
た光ファイバとを有し、このパイプがレンズを含めた光
素子から光ファイバ端面までの光軸の方向の距離の基準
となる構造としたものである。更にこの光素子モジュー
ルにおいて、レンズに面した基板の端部をパイプに接す
るようにしたものである。

【００２１】あるいは、第１の位置決め部を有する基板
と、この基板上に設けられた光素子と、この基板を収納
した筐体と、内部に第２の位置決め部を有し一端を筐体
に固定されたパイプと、このパイプ内部の第２の位置決
め部に固定されたレンズと、光ファイバ・ケーブルとそ
の端部を支持するフォルダとを備え、光ファイバ・ケー
ブルとフォルダの端面を同一面上に揃え、フォルダの端
面をパイプの他端に固定した光ファイバとを有し、基板
の第１の位置決め部がパイプに接するようにしたもので
ある。

【００２２】

【００２３】

【００２４】あるいは、光素子モジュールの製造方法に
おいて、筐体に内部に位置決め部を有するパイプを接続
する工程と、パイプ内部の位置決め部にレンズを固定す
る工程と、光素子を搭載した基板をパイプの端部に突き
当てて筐体内部に固定する工程と、光ファイバを構成す
る光ファイバ・ケーブルとフォルダの端面を同一面上に
揃え、フォルダの端面をパイプの他の端部に突き当てて
固定する工程とを行うようにしたものである。

【００２５】あるいは、筐体に内部に第１の位置決め部
を有するパイプを接続する工程と、パイプ内部の第１の
位置決め部にレンズを固定する工程と、第２の位置決め
部を有する基板に光素子を搭載する工程と、基板の第２
の位置決め部をパイプの端部に突き当てて筐体内部に固
定する工程と、光ファイバを構成する光ファイバ・ケー
ブルとフォルダの端面を同一面上に揃え、フォルダの端
面をパイプの他の端部に突き当てて固定する工程とを行
うようにしたものである。

【００２６】更にこれらの光素子モジュールの製造方法
において、レンズとして平板マイクロレンズを用いるよ
うにしたものである。

【００２７】

【作用】パイプの各部形状は高精度に加工可能であり、
このパイプを光素子モジュールの光学系の位置調整の基
準とすることで、各部品の実装工程で発生する取付け位
置の誤差を最小限度に抑さえることができる。

【００２８】

【実施例】本発明の内容理解を容易にするために、以下
の実施例の説明中では、光素子とレンズ及び光ファイバ
が形成する光学系の光軸方向をＺ軸方向と便宜上定義す
る。

【００２９】同様に、Ｚ軸に垂直で且つ光素子を設置し
た基板を固定する筐体底部に水平な方向をＸ軸方向、Ｚ
軸方向に垂直で且つ筐体底部に鉛直な方向をＹ軸方向と
便宜上定義する。

【００３０】本発明の第１の実施例について、図１，
２，３，４，５，６及び７を用いて説明する。

【００３１】図３はこの第１の実施例の光素子モジュー
ルの上面図であり、図１は図３中のA−A'断面における
横断面図である。また図２は、この光素子モジュールの
部材精度を説明するための、図１の要部拡大図である。
そして、図４はレーザー素子アレイ3aを素子マウント5
上に実装した状態を説明するための斜視図である。

【００３２】図３及びそのA−A'断面における横断面図
である図１に示すように、筐体であるケース1内部に設
置された素子マウント5上には、光素子として半導体レ
ーザー素子が複数個等間隔に形成されているレーザー素
子アレイ3aを形成した、ヘッダ4が設けられている。
（このレーザー素子アレイ3aは、より正確にはワイアボ
ンディングがされて外部の端子との間に配線が形成され
ているのだが、ここでは記載を省略する。）そして、こ
のレーザー素子アレイ3aが発した光を外部に出力するた
めに、開口されたパイプ2aがケース1にロウ付けによっ
て取付けられている。このパイプ2aの内部には平板マイ
クロレンズ6aが固定されている。そしてこのパイプ2aに
直接光ファイバ7の端面が接続されている。

【００３３】このケース１のサイズは、24.5mm（幅）×
15.0mm（長さ）×8.0mm（厚さ）であり、材質は銅タン
グステンを用いている。またパイプ2のサイズは、内側
に突き出ている部分について、8.0mm（幅）×4.5mm（厚
さ）であり、材質はコバールを用いている。

【００３４】上記ケース1とパイプ2aについて異種部材
を用いるのは以下の理由による。

【００３５】レーザー素子アレイ3aは線膨張係数が低
く、台座および外部筐体と線膨張係数が異なると反りが
生じてしまい好ましくない。そのため、ケース1はレー
ザー素子アレイ3aと線膨張係数が近い材質が望ましい。
この点ではコバールあるいは銅タングステンがその条件
を満たしている。また、レーザー素子アレイ3aの発光に
伴う発熱よりレーザー素子アレイ3a自身の特性が劣化す
ることを防ぐために、放熱特性の良い材質を用いなけれ
ばならない。コバールの放熱特性はセラミック並に悪い
ので、この実施例ではケース1の材質として銅タングス
テンを選択するものである。

【００３６】一方、パイプ2aは光ファイバ7の端面と熔
接可能でなければならない。この条件に関して、コバー
ル及びステンレス304は熔接が可能であり、なかでもコ
バールは線膨張係数が低く望ましい特性を有している。
そのため、この実施例ではパイプ2aの材質としてコバー
ルを用いている。

【００３７】このパイプ2aの構造について、図５
（ａ），（ｂ）を用いて説明する。図５（ａ）はパイプ
2aの斜視図であり、図５（ｂ）はその断面形状を示した
斜視図である。図５及び図１から明らかなように、パイ
プ2aは単一の長方形の開口部を有しており、この開口部
中には、平板マイクロレンズ6aが決められた位置に固定
可能なようにざぐり部10が設けられている。

【００３８】この平板マイクロレンズ6aについては図６
（ａ），（ｂ）の全体図を用いてその構造を説明する。
図６（ａ）は正面図であり、図６（ｂ）は側面図であ
る。これらの図に示すように平板マイクロレンズ6aは、
サイズが2.0mm（縦幅）×４．５ｍｍ（横幅）の屈折率
の低い基板中に、複数の屈折率が高い領域が埋設され
て、複数の直径２５０μmのレンズを一体に形成してい
る。

【００３９】更に、このパイプ2aに接続する光ファイバ
7の構造について、図７を用いて説明する。図７は光フ
ァイバ7の構造を示した斜視図である。ここで説明する
光ファイバ7は、複数の光ファイバ・ケーブル7aを、複
数のＶ溝が等間隔に形成された基板7bで挟み、更にこの
基板7bをパイプ2aと同一の金属材料からなるフォルダ7c
で挟みこむ構造となっている。

【００４０】基板7bのＶ溝は、シリコンウエハを基板7b
として用い化学エッチングを行うことにより高精度に作
成することができ、光ファイバ・ケーブル7aを高精度に
整列させることができる。

【００４１】また、光ファイバ・ケーブル7a の端面を
基板7b及びフォルダ7cと同時に研磨すれば、容易にフォ
ルダ7c等と同一面上に光ファイバ・ケーブル7aの端面を
揃えることができる。

【００４２】この第１の実施例の光素子モジュールの製
造方法について、順に説明する。

【００４３】まず始めに、レーザー素子アレイ3aから前
光ファイバ7端面までのＺ軸（光軸）方向の距離の基準
となっているパイプ2aを、ケース1にロウ付けによって
固定する。

【００４４】次に、パイプ2a内部のざぐり部10によって
位置決めされた位置に平板マイクロレンズ6aを突き当
て、低融点ガラス等によって密閉して固定する。

【００４５】次に、ヘッダ4にレーザー素子アレイ3aを
ボンディングする。このときのボンディング精度は±20
〜30μmである。

【００４６】次に、素子マウント5の突起5aにヘッダ4を
突き当て、ハンダ付けによって固定する。

【００４７】次に、素子マウント5をパイプ2aに突き当
てて、Ｘ軸方向について平板マイクロレンズ6aとヘッダ
4との間の光学的な位置調整（粗調整）を行った後に、
素子マウント5をケース1の底部にハンダ付けによって固
定する。このときのＸ軸方向の調整は、レーザー素子ア
レイ3aの出力光の状態を実際に確認して行う。

【００４８】次に、光ファイバ7の端面をパイプ2aに突
き当ててＸ軸方向とＹ軸方向について光学的な位置調整
（微調整）を行った後に、パイプ2aにＹＡＧレーザーを
用いたスポット溶接（図中の●）などにより固定する。
このときの調整も、レーザー素子アレイ3aの出力光の状
態を実際に確認して行う。

【００４９】最後に、蓋9によってケース1を密閉して、
この光素子モジュールは完成する。以上の説明に従って
光素子モジュールを製造した場合、パイプ2aはケース1
とは別個に加工しているので、旋削加工や研磨加工等の
工法を用いれば、図２に示すＡ部（パイプ2の長さ：本
実施例では2.1mm）、及びＢ部（ざぐり部10までの深
さ：本実施例では1.6mm）は非常に高精度な加工が可能
である。そのために、パイプ2a端面からの平板マイクロ
レンズ6aの実装位置はＢ部の寸法精度によって決る。

【００５０】一方、レーザー素子アレイ3aを搭載した素
子マウント5は、図４の斜視図に示すような構造をして
いる。

【００５１】素子マウント5の先端部分には機械的に平
行に加工された突起5aが設けられている。そしてレーザ
ー素子アレイ3aはあらかじめヘッダ4に実装されてお
り、さらにヘッダ4は素子マウント5の突起5aに突き当て
て固定されている。

【００５２】従って、素子マウント5端面からのレーザ
ー素子アレイ3aまでの距離は、図２に示すＣ部（突起5a
の幅：本実施例では0.5mm）の加工精度と、図２に示す
Ｄ部（ヘッダ4にレーザー素子アレイ3aを実装した際の
誤差：本実施例では基本は0mmであり、誤差は±0.03m
m）によって決まる。

【００５３】従って素子マウント5をケース1内に実装す
る際に、素子マウント5をパイプ2a端面に突き当てて固
定すれば、平板マイクロレンズ6aとレーザー素子アレイ
3aの間の距離Ｌ1 は、Ａ部、Ｂ部、Ｃ部、Ｄ部の各部の
精度によって決まる。

【００５４】また、平板マイクロレンズ6aと光ファイバ
７間の距離Ｌ2についても、光ファイバ７をパイプ2a端
面に突き当てて固定するようにしているので、その精度
はパイプ2aに対する平板マイクロレンズ6aの実装精度、
すなわち、図中Ｂ部の加工精度のみによって決まる。

【００５５】この実施例では、Ａ部の誤差は±0.02mm、
Ｂ部の誤差は±0.03mm、Ｃ部の誤差は±0.03mm、Ｄ部の
誤差は±0.03mm以内であった。そして実装後のレーザー
素子アレイ3aから平板マイクロレンズ6a端面までの距離
Ｌ1の誤差は±0.03mm以内であり、また平板マイクロレ
ンズ6a端面から光ファイバ７端面までの距離Ｌ2の誤差
も±0.03mm以内であった。これらの結果から、従来方法
に比較して１０倍程度の実装精度の向上をはかることが
出来る。

【００５６】以上の構造をもって光素子モジュールを構
成すれば、部材寸法をあらかじめ光学結合条件の最適値
に加工することによりＺ軸方向について高精度に位置決
め出来るので、Ｚ軸方向については調整を行うことなし
に、損失の少ない光素子モジュールの提供が可能であ
る。この結果、粗調整及び微調整の工程を大幅に簡略す
ることが可能となる。

【００５７】また、図３及び図４から明らかなように、
本発明による実装方法は、全ての部品の固定を機械的に
平行に加工された部分に突き当てて行っているので、実
装時の光素子の角度ずれを非常に少なくすることが出来
るという利点もある。

【００５８】更にこの実施例では、レンズとして平板マ
イクロレンズ6aを用いているので、レーザー素子アレイ
3aの数に比べてレンズの数が多くなり、レーザー素子ア
レイ3aの位置がＸ軸方向あるいはＹ軸方向にずれた場
合、ずれた位置に対応したレンズを用いることができ
る。

【００５９】仮にレーザー素子アレイ3aと平板マイクロ
レンズ6aのＸ軸方向及びＹ軸方向の位置合わせに関して
全く無調整で設置しても、レンズの半径以上のずれは論
理的に起こりえない。レンズの直径は250μmなので、ず
れは最大でも125μm以内である。そしてこの程度のずれ
による光素子モジュールの効率の低下は、光素子モジュ
ールの性能の許容範囲内にあるので、上記製造方法中の
粗調整は行わなくてもよい。

【００６０】また、ずれが生じた場合でも、半導体レー
ザー素子が等間隔に配置されたレーザー素子アレイ3a全
体がずれるだけなので、微調整に際して光ファイバ7は
レーザー素子アレイ3aのずれを考慮することなく工学的
な位置調整を行うことができる。この結果、粗調整及び
微調整の工程を更に簡略することも可能となる。

【００６１】これ以外にも、レンズをパイプに低融点ガ
ラスを使って実装することによって、パイプの開口部を
レンズ自身で密閉することができ、ケースの気密を保つ
ためにパイプを別途密閉する工程が不要となる。この点
からも製造工程を簡略化する効果を有する。

【００６２】次に本発明の第２の実施例について、図８
及び図９を用いて説明する。図８はこの実施例の上面図
であり、図９はレーザー素子アレイ3aを素子マウント5b
上に実装した状態を説明する斜視図である。

【００６３】この実施例の説明において、ケース1，半
導体レーザー素子アレイ3a，ヘッダ4，蓋9，光ファイバ
7及びパイプ2aとその内部に設けられた平板マイクロレ
ンズ6aについては、第１の実施例の構成と同一であり、
詳細な説明は省略する。

【００６４】図８及び図９に示すように、ケース1内部
に設置された素子マウント5b上に半導体レーザー素子ア
レイ3aを形成したヘッダ4が設けられている。そして、
開孔されたパイプ2aがケース1に取付けられている。こ
のパイプ2aの内部には平板マイクロレンズ6aが固定され
ている。そしてこのパイプ2aに直接光ファイバ7の端面
が接続されている。

【００６５】素子マウント5bは第１の実施例中の素子マ
ウント5と形状が異なり、パイプ2aと接する端面に凹部1
1を有しており、この凹部11をパイプ2aに突き当てて固
定してある。このような構成にした結果、パイプ2aをＸ
軸方向の光学的位置合わせの基準とすることができ、粗
調整及び微調整の工程を更に簡略することが可能とな
る。この第２の実施例では、Ｘ軸方向についてのみ言及
したが、パイプ及び素子マウントの形状を適宜加工する
ことによって、同様にＹ軸方向についても光学的位置合
わせの基準として用いることができる。

【００６６】以上説明した第１及び第２の実施例では、
レンズとして平板マイクロレンズを用いたが、通常のレ
ンズを用いた光素子モジュールにも本発明を適用するこ
とが可能である。通常のレンズを用いた第３の実施例
を、図１０及び１１を用いて説明する。図１０はこの実
施例の横断面図であり、図１１はこの実施例で用いるパ
イプ2bの斜視図である。

【００６７】この実施例では平板マイクロレンズ6aの代
わりに通常のレンズ6が用いられており、このレンズ6及
びレンズ6を収納するパイプ2b以外の各構成であるケー
ス1，半導体レーザー素子アレイ3a，ヘッダ4，素子マウ
ント5，突起5a，蓋9及び光ファイバ7については、第１
の実施例と同一の構成であり説明は省略する。

【００６８】パイプ2bには、図１１及び図１０に示され
た断面形状からも明らかなように、レーザー素子アレイ
3aの発光部に対応した開口部が設けられている。そし
て、このパイプ2bの各開口部は中にざぐり加工が施され
ており、複数のレンズ6が各々ざぐり部10に突き当てら
れて固定されている。

【００６９】この第３の実施例の光素子モジュールの製
造方法についても、簡単に説明しておく。

【００７０】基本的には、第１の実施例の製造方法と同
様であり、まず始めにパイプ2bをケース1に固定する。

【００７１】次に、パイプ2b内部のざぐり部10によって
位置決めされた位置に、レンズ6を突き当てて固定す
る。以下、上記した粗調整と微調整を行い、この光素子
モジュールが完成する。

【００７２】この実施例でも、従来方法に比較して１０
倍程度の実装精度の向上をはかることが出来る。

【００７３】この実施例では、通常のレンズ6を用いて
いるので、平板マイクロレンズ6aを用いた第１及び第２
の実施例とは異なり、粗調整をより厳密に行う必要があ
るが、Ｚ軸方向の調整については同様に行う必要がな
く、従来に比べればはるかに簡単な製造工程で製造する
ことが可能である。

【００７４】上記各実施例では光素子として発光素子の
一種である半導体レーザー素子アレイを用いているが、
ホト・ダイオード等の受光素子からなる光素子モジュー
ルであっても同様の問題を抱えており、本発明の光素子
モジュールの構造及び製造方法が適用可能である。

【００７５】さらに上記各実施例では、複数の発光部を
有する光素子を実装した光素子モジュールについて説明
したが、単一の発光部あるいは受光部を有する光素子を
実装した光素子モジュールであっても、ケース状の外部
筐体を用いたものは、ケースの加工が難しくケース自体
の精度が得られないので、これら実施例と同様に本発明
を適用することによって高精度の位置決めが可能であ
る。

【００７６】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、光素子の高精度な実装が簡単にでき、低コストで
かつ信頼性の高い光素子モジュールを提供することが可
能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例の光素子モジュールの横断面図で
ある。

【図２】図１の要部拡大図である。

【図３】第１の実施例の光素子モジュールの上面図であ
る。

【図４】第１の実施例のレーザー素子アレイ3aを素子マ
ウント5上に実装した状態を説明する斜視図である。

【図５】パイプ2aの斜視図である。

【図６】平板マイクロレンズ6aの全体図である。

【図７】光ファイバ7の構造を示した斜視図である。

【図８】第２の実施例の光素子モジュールの上面図であ
る。

【図９】第２の実施例のレーザー素子アレイ3aを素子マ
ウント5上に実装した状態を説明する斜視図である。

【図１０】第３の実施例の横断面図である。

【図１１】パイプ2bの斜視図である。

【図１２】従来の光素子モジュールの断面図である。

【符号の説明】

1 ケース 2，2a，2b パイプ 3 光素子 3a レーザー素子アレイ 4 ヘッダ 5，5b 素子マウント 5a 素子マウント5の突起 6 レンズ 6a 平板マイクロレンズ 7 光ファイバ 8 熔接用スリーブ 9 蓋 10 ざぐり部 11 凹部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02B 6/42

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】基板と、前記基板上に設けられた光素子と、前記基板を収納した筐体と、内部に位置決め部を有し一端を前記筐体に固定されたパ
イプと、前記パイプ内部の位置決め部に固定されたレンズと、光ファイバ・ケーブルとその端部を支持するフォルダと
を備え、前記光ファイバ・ケーブルとフォルダの端面を
同一面上に揃え、前記フォルダの端面を前記パイプの他
端に固定した光ファイバとを有し、前記レンズに面した前記基板の端部が前記パイプに接
し、前記パイプが前記レンズを含めた前記光素子から前
記光ファイバ端面までの光軸の方向の距離の基準となっ
ていることを特徴とする光素子モジュール。
【請求項２】第１の位置決め部を有する基板と、前記基板上に設けられた光素子と、前記基板を収納した筐体と、内部に第２の位置決め部を有し一端を前記筐体に固定さ
れたパイプと、前記パイプ内部の第２の位置決め部に固定されたレンズ
と、光ファイバ・ケーブルとその端部を支持するフォルダと
を備え、前記光ファイバ・ケーブルとフォルダの端面を
同一面上に揃え、前記フォルダの端面を前記パイプの他
端に固定した光ファイバとを有し、前記基板の第１の位置決め部が前記パイプに接している
ことを特徴とする光素子モジュール。
【請求項３】ａ）筐体に、内部に位置決め部を有する
パイプを接続する工程と、ｂ）前記パイプ内部の位置決め部にレンズを固定する工
程と、ｃ）光素子を搭載した基板を、前記パイプの端部に突き
当てて前記筐体内部に固定する工程と、ｄ）光ファイバを構成する光ファイバ・ケーブルとフォ
ルダの端面を同一面上に揃え、前記フォルダの端面を前
記パイプの他の端部に突き当てて固定する工程とを有す
ることを特徴とする光素子モジュールの製造方法。
【請求項４】ａ）筐体に、内部に第１の位置決め部を
有するパイプを接続する工程と、ｂ）前記パイプ内部の第１の位置決め部にレンズを固定
する工程と、ｃ）第２の位置決め部を有する基板に光素子を搭載する
工程と、ｄ）前記基板の第２の位置決め部を、前記パイプの端部
に突き当てて前記筐体内部に固定する工程と、ｅ）光ファイバを構成する光ファイバ・ケーブルとフォ
ルダの端面を同一面上に揃え、前記フォルダの端面を前
記パイプの他の端部に突き当てて固定する工程とを有す
ることを特徴とする光素子モジュールの製造方法。
【請求項５】請求項３又は４記載の光素子モジュール
の製造方法において、前記レンズが平板マイクロレンズ
であることを特徴とする光素子モジュールの製造方法。