JP3278380B2 - Linear motor - Google Patents
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- JP3278380B2 JP3278380B2 JP19560097A JP19560097A JP3278380B2 JP 3278380 B2 JP3278380 B2 JP 3278380B2 JP 19560097 A JP19560097 A JP 19560097A JP 19560097 A JP19560097 A JP 19560097A JP 3278380 B2 JP3278380 B2 JP 3278380B2
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- jacket
- coil
- linear motor
- reinforcing member
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体露
光装置や高精度加工機など精密な位置決めを行うための
装置などに好適に使用されるリニアモータに関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motor suitably used for a device for performing precise positioning such as a semiconductor exposure apparatus and a high-precision processing machine.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体露光装置や高精度加工機などで使
用されるナノメートルオーダーの位置決め装置では、駆
動源であるリニアモータからの発熱が位置決めに悪影響
を及ぼす。発熱による構造体の熱変形あるいは空気温度
の上昇による位置計測のレーザ干渉計の計測誤差などの
要因によって、リニアモータの搭載された装置の位置決
め精度が悪化する。例えば、１℃の温度変化であっても
１００ｍｍの低熱膨張材（熱膨張係数１×１０-6）は１
００ｎｍだけ変形するし、また、光干渉式測長計の光路
における空気温度の変化が１℃以下であっても測定値に
１００ｎｍの誤差が生じ得る。従って、これらの温度変
化の防止策としてリニアモータの冷却、特にリニアモー
タから発生する熱の回収が必要となっている。2. Description of the Related Art In a positioning device on the order of nanometers used in a semiconductor exposure apparatus or a high-precision processing machine, heat generated from a linear motor as a driving source has a bad influence on positioning. Factors such as thermal deformation of the structure due to heat generation or a measurement error of the laser interferometer in position measurement due to an increase in air temperature deteriorate the positioning accuracy of the device equipped with the linear motor. For example, a low-thermal-expansion material of 100 mm (a coefficient of thermal expansion of 1 × 10 −6 ) is 1 even if the temperature changes by 1 ° C.
It is deformed by only 00 nm, and even if the change in air temperature in the optical path of the optical interferometer is 1 ° C. or less, an error of 100 nm may occur in the measured value. Therefore, it is necessary to cool the linear motor, in particular, to recover the heat generated from the linear motor, as a measure for preventing such a temperature change.
【０００３】一方、装置の高性能化に伴い、リニアモー
タの高出力化が要求されており、そのためにコイルに流
れる電流を増やすと発熱量も大きく増大する。よってさ
らなる冷却能力の増強が必要とされる。また、コイル温
度の上昇によるコイル抵抗の増加やコイル線の破損を防
ぐためにも、コイルの冷却能力を高めることは重要であ
る。On the other hand, with an increase in the performance of the apparatus, an increase in the output of the linear motor is required. Therefore, when the current flowing through the coil is increased, the amount of heat generated also greatly increases. Therefore, it is necessary to further increase the cooling capacity. It is also important to increase the cooling capacity of the coil in order to prevent an increase in coil resistance and breakage of the coil wire due to a rise in coil temperature.
【０００４】コイルの冷却手段を備えたリニアモータの
例は、例えば特開平７−３０２１２４号、特開平７−３
０２７４７号、特開平８−１６７５５４号に記載されて
いる。Examples of a linear motor provided with a coil cooling means are disclosed in, for example, JP-A-7-302124 and JP-A-7-3.
02747 and JP-A-8-167554.
【０００５】図１７は冷却手段を備えた従来のリニアモ
ータの構成を示す図である。同図において、コイル１と
その両側のヨーク２に固定された永久磁石３により構成
され、コイル１は肉薄のシート４、４′およびフレーム
５で構成されたジャケット８で覆われている。コイル１
は固定具７によってフレーム５に固定されている。ここ
でジャケット８の内部空間６に冷媒を流すことにより、
コイルからの発生熱を回収している。FIG. 17 is a diagram showing a configuration of a conventional linear motor provided with a cooling means. In FIG. 1, a coil 1 and permanent magnets 3 fixed to yokes 2 on both sides of the coil 1 are covered with a jacket 8 composed of thin sheets 4, 4 'and a frame 5. Coil 1
Is fixed to the frame 5 by the fixture 7. Here, by flowing a refrigerant through the internal space 6 of the jacket 8,
The heat generated from the coil is recovered.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例では、冷却能力を上げるために冷媒の流量を増加させ
ると冷媒の圧力上昇によってジャケットの肉薄部分が外
方向へ変形して、永久磁石に接触したりジャケットが破
損する恐れがあるため、これを防ぐためにはジャケット
の肉薄部の強度の確保が必要である。一方で、リニアモ
ータの高出力化のためには、永久磁石の間の距離を小さ
くして磁束密度を上げることが必要となり、このために
肉薄部分をできるだけ薄くしてジャケットを小型化した
いという背反する要求もある。However, in the above-mentioned prior art, when the flow rate of the refrigerant is increased in order to increase the cooling capacity, the thin portion of the jacket is deformed outward due to the increase in the pressure of the refrigerant, and comes into contact with the permanent magnet. In order to prevent this, it is necessary to ensure the strength of the thin portion of the jacket. On the other hand, in order to increase the output of a linear motor, it is necessary to increase the magnetic flux density by reducing the distance between the permanent magnets. There are also conflicting requirements.
【０００７】本発明は上記課題を解決すべくなされたも
ので、冷媒の圧力を増大させてもあるいはジャケットを
小型化してもジャケットの変形や破損を抑えて、従来以
上に高出力化を果たしたリニアモータを提供することを
目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and even if the pressure of the refrigerant is increased or the size of the jacket is reduced, deformation and breakage of the jacket are suppressed, and higher output is achieved than before. An object is to provide a linear motor.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の好ましい形態の一つは、コイルと、該コイルを覆い
内部空間に冷媒が供給されるジャケットとを有するリニ
アモータにおいて、該冷媒の圧力に対して該ジャケット
を補強する補強部材を、ジャケット内部の該コイルの空
芯部に、該空芯部を貫通し且つ前記ジャケットの前記コ
イルを挟んで対向する箇所に固定ないし一体化した形
で、設けたことを特徴とするリニアモータである。One preferred embodiment of the present invention for achieving the above object is a linear motor having a coil and a jacket for covering the coil and supplying a refrigerant to an internal space. A form in which a reinforcing member for reinforcing the jacket against pressure is fixed to or integrated with an air core portion of the coil inside the jacket, at a position penetrating the air core portion and opposed to the jacket with the coil interposed therebetween. And a linear motor provided.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】＜実施例１＞ 図１は本発明の一実施形態である単相リニアモータを表
す図である。図２は内部構造を説明する分解図、図３は
リニアモータの斜視図である。FIG. 1 is a view showing a single-phase linear motor according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an exploded view illustrating an internal structure, and FIG. 3 is a perspective view of a linear motor.
【００１０】図１において、１は駆動用の電流が流れる
コイル、２は磁気回路を構成する２つのヨーク、３は各
ヨーク２に固定され異なる磁極同士が互いに対向して配
置された永久磁石である。４、４′はコイル１を挟んで
配されたシート、５は２枚のシート４、４′同士を支持
するフレームであり、該シート４、４′とフレーム５に
よって、コイル１を内包するジャケットを構成してい
る。シート４、４′とフレーム５との接合は接着剤やボ
ルトなどで固定されている。６は該ジャケットの内部空
間であり、７はコイル１をジャケットに固定している固
定具である。８は本実施形態の特徴的部材である補強部
材であり、シート４および４′の両方に接着あるいはボ
ルト固定され両者の間の広がりを防止する耐圧具として
機能する。補強部材８は巻線されたコイル１の空芯部分
に位置している。シート４、４′、フレーム５及び補強
部材８の材質は非磁性体材料、例えば高分子樹脂材料
（ＰＥＥＫ）又はセラミックス材料が好ましい。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a coil through which a driving current flows, 2 denotes two yokes constituting a magnetic circuit, and 3 denotes a permanent magnet fixed to each yoke 2 and having different magnetic poles arranged opposite to each other. is there. Reference numerals 4 and 4 'denote sheets provided with the coil 1 interposed therebetween, and reference numeral 5 denotes a frame for supporting the two sheets 4, 4', and a jacket for enclosing the coil 1 by the sheets 4, 4 'and the frame 5. Is composed. The joint between the sheets 4, 4 'and the frame 5 is fixed with an adhesive or bolts. Reference numeral 6 denotes an internal space of the jacket, and reference numeral 7 denotes a fixture for fixing the coil 1 to the jacket. Reference numeral 8 denotes a reinforcing member that is a characteristic member of the present embodiment, and functions as a pressure-resistant member that is bonded or bolted to both the sheets 4 and 4 'to prevent the sheet from spreading between them. The reinforcing member 8 is located at the air core portion of the coil 1 wound. The material of the sheets 4, 4 ', the frame 5, and the reinforcing member 8 is preferably a non-magnetic material, for example, a polymer resin material (PEEK) or a ceramic material.
【００１１】図２及び図３において、１０はコイル１の
リード線（２本）、１１はリード線１０をジャケット内
部から外部へ引き出すための小孔である。この小孔１１
から冷媒が漏れ出さないように、リード線を引き出した
後に接着材等で小孔が気密に封止されている。１２、１
３はジャケットに接続された冷媒の供給管及び回収管で
ある。冷媒は供給管１２から供給されてジャケット内を
流れコイルの発生熱を受け取り、回収管１３から排出さ
れて回収される。なおコイル１の導線自体が直接冷媒に
触れないようにコイル表面には表面処理がなされてい
る。冷媒は液体又は気体であって、特に不活性なものが
好ましい。2 and 3, reference numeral 10 denotes a lead wire (two wires) of the coil 1, and reference numeral 11 denotes a small hole for leading the lead wire 10 from the inside of the jacket to the outside. This small hole 11
After the lead wires are drawn out, the small holes are hermetically sealed with an adhesive or the like so that the refrigerant does not leak out of the lead wires. 12, 1
Reference numeral 3 denotes a refrigerant supply pipe and a recovery pipe connected to the jacket. The refrigerant is supplied from the supply pipe 12, flows through the jacket, receives the heat generated by the coil, is discharged from the recovery pipe 13, and is recovered. The surface of the coil is subjected to a surface treatment so that the conductor of the coil 1 does not directly contact the coolant. The refrigerant is a liquid or a gas, and particularly preferably an inert one.
【００１２】上記構成において、固定磁界を発生してい
る永久磁石３の間の空間に位置するコイル１に電流を流
すとローレンツ力が働き、コイル１と永久磁石３は上下
方向に相対的に運動する。例えば、同図の上側半分にお
いては、磁界は紙面の左から右方向へ、電流が紙面の奥
から手前方向に流れると、電流の大きさに応じた力がコ
イル１には紙面の上方向へ永久磁石３には下方向へ働
き、それぞれが相対的に移動する。このようにコイルに
所定の電流を流すことにより、ヨークおよびコイルがそ
れぞれ固定されている構造物を駆動するものである。な
お、本実施例ではコイル側が固定子、永久磁石が保持さ
れたヨーク側が可動子となったいわゆるムービングマグ
ネット型のリニアモータとなっているが、固定子と可動
子が逆であっても良い。In the above configuration, when an electric current is applied to the coil 1 located in the space between the permanent magnets 3 generating the fixed magnetic field, Lorentz force acts, and the coil 1 and the permanent magnet 3 relatively move vertically. I do. For example, in the upper half of the figure, when the magnetic field flows from the left to the right of the paper and the current flows from the back of the paper to the front, a force corresponding to the magnitude of the current is applied to the coil 1 upward in the paper. The permanent magnet 3 acts downward and moves relative to each other. By passing a predetermined current through the coil in this way, a structure to which the yoke and the coil are respectively fixed is driven. In this embodiment, a so-called moving magnet type linear motor is used in which the coil is a stator and the yoke holding the permanent magnet is a mover. However, the stator and the mover may be reversed.
【００１３】ジャケットの内部空間６に温度制御された
冷媒を供給して流すことにより、コイルに通電したとき
に発生する熱を回収し、コイル自体の温度上昇やリニア
モータの搭載されている装置やその雰囲気の温度上昇を
抑えている。この際、補強部材８があるために、冷媒の
圧力でシート４、４′が外側に膨らんで変形するのを抑
えている。By supplying and flowing a temperature-controlled refrigerant to the inner space 6 of the jacket, the heat generated when the coil is energized is recovered, and the temperature of the coil itself is increased, and a device equipped with a linear motor is installed. The temperature rise of the atmosphere is suppressed. At this time, the presence of the reinforcing member 8 prevents the sheets 4, 4 'from expanding and deforming outward due to the pressure of the refrigerant.
【００１４】なお、図１ではコイル１は固定具７によっ
てフレーム５に固定しているが、シート４、４′に固定
するようにしてもよい。また、補強部材８はコイル１に
直接固定されてはいないが、補強部材８にコイル１を固
定して固定具７を省略するようにしてもよい。また固定
具７および補強部材８の数は１つに限らず複数に分割し
て設けてもよい。Although the coil 1 is fixed to the frame 5 by the fixture 7 in FIG. 1, it may be fixed to the sheets 4, 4 '. Further, although the reinforcing member 8 is not directly fixed to the coil 1, the coil 1 may be fixed to the reinforcing member 8 and the fixture 7 may be omitted. Further, the number of the fixing members 7 and the reinforcing members 8 is not limited to one, and may be provided by dividing into a plurality.
【００１５】以上の本実施例によれば、冷媒の圧力を上
げるあるいはジャケットのシートを薄くしてもジャケッ
トの変形や破損が抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷
却効率を向上させることができると共にジャケットの小
型化が図れ、ひいてはリニアモータの推力を向上させる
ことができる。According to the above embodiment, the deformation and breakage of the jacket can be suppressed even if the pressure of the refrigerant is increased or the jacket sheet is thinned, so that the flow rate of the refrigerant can be increased and the cooling efficiency can be improved. The size of the jacket can be reduced, and the thrust of the linear motor can be improved.
【００１６】＜実施例２＞ 図４は本発明のリニアモータの別の実施形態のジャケッ
ト部分の構成を表した図であり、ジャケットの外側の可
動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図１と同一であ
る。Embodiment 2 FIG. 4 is a view showing a configuration of a jacket portion of another embodiment of the linear motor of the present invention, and the arrangement of the mover (yoke and permanent magnet) outside the jacket is as described above. It is the same as FIG.
【００１７】先の実施例では別部材のフレームとシート
によってジャケットを構成したが、本実施例では、２つ
のジャケットカバー１４、１４′それぞれがフレーム部
とシート部が一体になったものを使用して、これらジャ
ケットカバー同士を接合している。ジャケット内部でコ
イル１の空芯部に設けた補強部材８は、ジャケットカバ
ー１４、１４′のそれぞれの肉薄部分に接着剤もしくは
ボルトを使用して固定している。コイル１は固定具７を
介して補強部材８の周囲に固定されている。In the above embodiment, the jacket is constituted by a frame and a sheet as separate members. In this embodiment, two jacket covers 14 and 14 'each having a frame and a sheet integrated with each other are used. These jacket covers are joined together. A reinforcing member 8 provided in the air core portion of the coil 1 inside the jacket is fixed to a thin portion of each of the jacket covers 14 and 14 'using an adhesive or a bolt. The coil 1 is fixed around the reinforcing member 8 via the fixture 7.
【００１８】この構成によれば、ジャケットの部品点数
が減り組立が容易になるほかに、結合箇所がジャケット
カバー１４、１４′同士の間だけなので、結合部から冷
媒が漏れ出す可能性が小さいという利点がある。According to this configuration, the number of parts of the jacket is reduced and the assembling is facilitated. In addition, since the connecting portion is only between the jacket covers 14 and 14 ', the possibility that the refrigerant leaks from the connecting portion is small. There are advantages.
【００１９】＜例１＞ 図５は本発明を説明する上での例としてのジャケット部
分の構成を表した図であり、ジャケットの外側の可動子
（ヨークや永久磁石）の配置は先の図１と同一である。<Example 1> FIG. 5 is a view showing a configuration of a jacket portion as an example for explaining the present invention, and the arrangement of a mover (yoke or permanent magnet) outside the jacket is shown in the previous figure. Same as 1.
【００２０】本例では、補強部材８はコイル１の空芯部
は貫通せず、２つの補強部材がコイル側面とジャケット
カバー１４、１４′の肉薄部との間をそれぞれ固定した
ことを特徴としている。なお補強部材８をジャケットカ
バー１４、１４′と一体化して同一部材としてもよい。
また、補強部材８によってコイル１とジャケットカバー
１４、１４′を固定しているので固定具７を省略するこ
ともできる。The present embodiment is characterized in that the reinforcing member 8 does not penetrate the air core portion of the coil 1 and the two reinforcing members are fixed between the side surfaces of the coil and the thin portions of the jacket covers 14, 14 '. I have. The reinforcing member 8 may be integrated with the jacket covers 14 and 14 'to be the same member.
Further, since the coil 1 and the jacket covers 14, 14 'are fixed by the reinforcing member 8, the fixing member 7 can be omitted.
【００２１】この構成によれば、補強部材がコイルの空
芯部分に存在しない。According to this configuration, the reinforcing member does not exist in the air core portion of the coil.
【００２２】＜実施例３＞ 図６は本発明の別の実施形態のジャケット部分の構成を
示した図であり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや
永久磁石）の配置は先の図１と同一である。<Embodiment 3> FIG. 6 is a view showing the configuration of a jacket portion according to another embodiment of the present invention. The arrangement of the mover (yoke and permanent magnet) outside the jacket is the same as that of FIG. Are identical.
【００２３】本実施例はジャケットのジャケットカバー
自体に補強部材を設けたことを特徴とする。１４、１
４′はコイル１のジャケットを構成し、コイル形状のリ
ング状に彫り込まれたジャケットカバーである。ジャケ
ットカバー１４、１４′はコイル１の空芯部分でも互い
に結合されている。該空芯部分での結合は接着剤やボル
トを使用して行い、冷媒圧力でジャケットカバーの肉薄
部が外側に広がろうとするのを抑えている。つまりジャ
ケットカバー１４、１４′内面の対向する突起部が、ジ
ャケットを補強して変形を防止する補強部材となってい
る。コイル１は固定具７を介して補強部材の周囲に固定
されている。This embodiment is characterized in that a reinforcing member is provided on the jacket cover itself of the jacket. 14, 1
Reference numeral 4 'denotes a jacket cover which forms the jacket of the coil 1 and is engraved in a coil-shaped ring shape. The jacket covers 14, 14 ′ are also connected to each other at the air core portion of the coil 1. The bonding at the air core portion is performed by using an adhesive or a bolt to prevent the thin portion of the jacket cover from spreading outward due to the refrigerant pressure. That is, the opposing projections on the inner surfaces of the jacket covers 14 and 14 'are reinforcing members for reinforcing the jacket to prevent deformation. The coil 1 is fixed around the reinforcing member via a fixture 7.
【００２４】この構成によれば、ジャケットの部品点数
がさらに減るため信頼性がより向上する。特に肉薄部の
シートに比べてコイル空芯部での結合部分の肉厚がある
ため、ここを接合するボルトおよびネジ部のスペースを
確保しやすくボルト締結の設計が容易である。According to this configuration, the number of components of the jacket is further reduced, so that the reliability is further improved. In particular, since the connection portion at the coil air core portion is thicker than the thin portion of the sheet, it is easy to secure the space for the bolts and screw portions to be joined therewith, and it is easy to design the bolt fastening.
【００２５】＜実施例４＞ 図７は本発明の別の実施形態のジャケット部分の構成を
表した図であり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや
永久磁石）の配置は先の図１と同一である。<Embodiment 4> FIG. 7 is a view showing the configuration of a jacket portion according to another embodiment of the present invention. The arrangement of the mover (yoke or permanent magnet) outside the jacket is the same as that of FIG. Are identical.
【００２６】本実施例は先の図６の構成の固定具７まで
もジャケットカバー１４と一体化し同一部材としたもの
である。コイル１はジャケットカバー１４に形成された
型に嵌められて固定され、ジャケットカバー１４、１
４′同士が接着剤やボルト等で結合される。コイル１の
空芯部分でも互いに接着剤やボルト等で結合されて補強
部材が形成される。In this embodiment, even the fixture 7 having the structure shown in FIG. 6 is integrated with the jacket cover 14 to be the same member. The coil 1 is fixed by being fitted into a mold formed on the jacket cover 14.
4 'are joined together with an adhesive or a bolt. The hollow core portions of the coils 1 are also joined to each other with an adhesive, a bolt or the like to form a reinforcing member.
【００２７】この構成によれば、部品点数が最小限で済
むため高い信頼性が得られると共に、ジャケットカバー
の加工でコイルの位置決めができるので組立が非常に容
易である。According to this configuration, high reliability is obtained because the number of components is minimized, and the coil can be positioned by processing the jacket cover, so that assembly is very easy.
【００２８】＜実施例５＞ 図８は本発明の別の実施形態である多相リニアモータに
おけるジャケット部分の内部構造を説明する図である。<Embodiment 5> FIG. 8 is a view for explaining the internal structure of a jacket portion in a polyphase linear motor according to another embodiment of the present invention.
【００２９】図８において、１ａ〜１ｃは駆動用の電流
が流れるコイル、４、４′は各コイルを挟んで配された
シート、５は２枚のシート４、４′同士を支持するフレ
ームであり、該シート４、４′とフレーム５によって、
コイル１ａ〜１ｃを内包するジャケット４２を構成して
いる。シート４、４′とフレーム５との接合は接着剤や
ボルトなどで固定されている。７はコイル１ａ〜ｃを固
定している固定具である。８ａ〜８ｃおよび８ａ′、８
ｂ′は本実施形態の特徴的部材である補強部材であり、
シート４および４′の両方に接着あるいはボルト固定さ
れ両者の間の広がりを防止する耐圧具として機能する。
補強部材８ａ〜ｃは巻線されたコイル１の空芯部分に、
補強部材８ａ′、８ｂ′は配列されたコイルとコイルの
間に位置している。シート４、４′、フレーム５及び補
強部材８の材質は非磁性体材料、例えば高分子樹脂材料
（ＰＥＥＫ）又はセラミックス材料が好ましい。ジャケ
ット内部から外部へ引き出されるコイル１ａ〜ｃのリー
ド線（各２本）は図示されていない。また、冷媒は図示
されていない供給管から供給されてジャケット内を流れ
コイルの発生熱を受け取り、図示されていない回収管か
ら排出されて回収される。なおコイル１の導線自体が直
接冷媒に触れないようにコイル表面には表面処理がなさ
れている。冷媒は液体又は気体であって、特に不活性な
ものが好ましい。In FIG. 8, reference numerals 1a to 1c denote coils through which a driving current flows, 4 and 4 'denote sheets provided with each coil interposed therebetween, and 5 denotes a frame for supporting two sheets 4, 4'. Yes, with the seats 4, 4 'and the frame 5,
A jacket 42 including the coils 1a to 1c is formed. The joint between the sheets 4, 4 'and the frame 5 is fixed with an adhesive or bolts. 7 is a fixture for fixing the coils 1a to 1c. 8a to 8c and 8a ', 8
b ′ is a reinforcing member that is a characteristic member of the present embodiment,
It is bonded or bolted to both sheets 4 and 4 'and functions as a pressure-resistant device for preventing spread between them.
The reinforcing members 8a to 8c are provided at the air core portion of the wound coil 1,
The reinforcing members 8a ', 8b' are located between the arranged coils. The material of the sheets 4, 4 ', the frame 5, and the reinforcing member 8 is preferably a non-magnetic material, for example, a polymer resin material (PEEK) or a ceramic material. The lead wires (two each) of the coils 1a to 1c drawn out from the inside of the jacket to the outside are not shown. The refrigerant is supplied from a supply pipe (not shown), flows through the jacket, receives the heat generated by the coil, and is discharged from a recovery pipe (not shown) and collected. The surface of the coil is subjected to a surface treatment so that the conductor of the coil 1 does not directly contact the coolant. The refrigerant is a liquid or a gas, and particularly preferably an inert one.
【００３０】図９は多相リニアモータ全体の構成を表す
斜視図である。同図において、１は複数のコイル列、４
２はジャケット、４３はジャケットを固定する固定部
材、２、２′は磁気回路を構成するヨーク、３はヨーク
２、２′に固定され異なる磁極同士が互いに対向して配
置された永久磁石である。２３はヨークを固定する固定
部材である。FIG. 9 is a perspective view showing the structure of the whole polyphase linear motor. In the figure, reference numeral 1 denotes a plurality of coil rows, 4
2 is a jacket, 43 is a fixing member for fixing the jacket, 2 and 2 'are yokes constituting a magnetic circuit, and 3 is a permanent magnet fixed to the yokes 2 and 2' and having different magnetic poles facing each other. . 23 is a fixing member for fixing the yoke.
【００３１】上記構成において、固定磁界を発生してい
る永久磁石３の間の空間に位置するコイル１に所定の電
流を流すとローレンツ力が働き、コイル１を含むジャケ
ット４２と永久磁石３が相対的に運動する。また、複数
のコイルが駆動方向に配列されているため、コイル個数
に応じてリニアモータのストロークを変えることができ
る。本実施例ではコイル側が固定子、永久磁石が保持さ
れたヨーク側が可動子となったいわゆるムービングマグ
ネット型のリニアモータとなっているが、固定子と可動
子が逆であっても良い。In the above configuration, when a predetermined current is applied to the coil 1 located in the space between the permanent magnets 3 generating the fixed magnetic field, a Lorentz force acts, and the jacket 42 including the coil 1 and the permanent magnet 3 move relative to each other. Exercise. Further, since the plurality of coils are arranged in the driving direction, the stroke of the linear motor can be changed according to the number of coils. In this embodiment, a so-called moving magnet type linear motor is used in which the coil is a stator and the yoke holding the permanent magnet is a mover. However, the stator and the mover may be reversed.
【００３２】ジャケットの内部空間に温度制御された冷
媒を供給して流すことにより、コイルに通電したときに
発生する熱を回収し、コイル自体の温度上昇やリニアモ
ータの搭載されている装置やその雰囲気の温度上昇を抑
えている。この際、補強部材８ａ〜８ｃおよび８ａ′、
８ｂ′があるために、冷媒の圧力でシート４、４′が外
側に膨らんで変形するのを抑えている。By supplying and flowing a temperature-controlled refrigerant into the inner space of the jacket, heat generated when the coil is energized is recovered, and the temperature of the coil itself rises, and a device equipped with a linear motor and its The temperature rise of the atmosphere is suppressed. At this time, the reinforcing members 8a to 8c and 8a ',
The presence of 8b 'prevents the sheets 4, 4' from expanding and deforming outward due to the pressure of the refrigerant.
【００３３】なお、図８ではコイル１は固定具７によっ
て補強部材８ａ〜８ｃに固定しているが、シート４、
４′もしくは補強部材８ａ′、８ｂ′に固定するように
してもよい。また、補強部材８ａ〜８ｃはコイル１ａ〜
１ｃに直接固定されてはいないが、補強部材８ａ〜８ｃ
にコイル１ａ〜１ｃを固定して固定具７を省略するよう
にしてもよい。また固定具７、補強部材８ａ〜８ｃおよ
び８ａ′、８ｂ′の数は１つに限らず複数に分割して設
けてもよい。In FIG. 8, the coil 1 is fixed to the reinforcing members 8 a to 8 c by the fixture 7.
4 'or the reinforcing members 8a' and 8b '. In addition, the reinforcing members 8a to 8c are
1c is not directly fixed, but the reinforcing members 8a to 8c
Alternatively, the coils 1a to 1c may be fixed and the fixture 7 may be omitted. Further, the number of the fixing member 7 and the reinforcing members 8a to 8c and 8a ', 8b' is not limited to one, and may be provided by dividing into a plurality.
【００３４】以上の本実施例によれば、冷媒の圧力を上
げるあるいはジャケットのシートを薄くしてもジャケッ
トの変形や破損が抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷
却効率を向上させることができると共にジャケットの小
型化が図れ、ひいてはリニアモータの推力を向上させる
ことができる。According to the above embodiment, the deformation and breakage of the jacket can be suppressed even when the pressure of the refrigerant is increased or the jacket sheet is made thin, so that the flow rate of the refrigerant can be increased and the cooling efficiency can be improved. The size of the jacket can be reduced, and the thrust of the linear motor can be improved.
【００３５】＜実施例６＞ 図１０は本発明のリニアモータの別の実施形態のジャケ
ット部分の構成を表した図であり、ジャケットの外側の
可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図９と同一で
ある。<Embodiment 6> FIG. 10 is a view showing the configuration of a jacket portion of another embodiment of the linear motor according to the present invention, and the arrangement of the mover (yoke or permanent magnet) outside the jacket is as described above. It is the same as FIG.
【００３６】先の実施例では別部材であったフレームと
シート、固定具および補強部材の一部もしくは全部を一
体化するもので、本実施例では、２つのジャケットカバ
ー１４、１４′がコイルを固定し覆い、これらジャケッ
トカバー同士を接合している。ジャケットカバーはコイ
ル形状に彫り込まれ、コイル１ａ〜１ｃはそれぞれの空
芯部でジャケットカバー１４′に固定されている。ジャ
ケットカバー１４、１４′はコイル１の空芯部分および
コイルとコイルの間でも互いに結合されている。該空芯
部分および該コイル間部分での結合は接着剤やボルトを
使用して行い、冷媒圧力でジャケットカバーの肉薄部が
外側に広がろうとするのを抑えている。つまりジャケッ
トカバー１４、１４′内面の対向する突起部がジャケッ
トを補強して変形を防止する補強部材となっている。In the present embodiment, the frame, the seat, the fixture and the reinforcing member, which are separate members in the previous embodiment, are partly or wholly integrated, and in this embodiment, the two jacket covers 14, 14 'hold the coil. They are fixed and covered, and these jacket covers are joined together. The jacket cover is engraved in a coil shape, and the coils 1a to 1c are fixed to the jacket cover 14 'at their respective air cores. The jacket covers 14, 14 'are also connected to each other between the air core portion of the coil 1 and between the coils. The connection between the air core portion and the portion between the coils is performed by using an adhesive or a bolt to prevent the thin portion of the jacket cover from spreading outward due to the refrigerant pressure. That is, the opposing projections on the inner surfaces of the jacket covers 14 and 14 'serve as reinforcing members that reinforce the jacket and prevent deformation.
【００３７】この構成によれば、ジャケットの部品点数
が減り組立が容易になるほかに、結合箇所がジャケット
カバー１４、１４′同士の間だけなので、結合部から冷
媒が漏れ出す可能性が小さいという利点がある。特に肉
薄部のシートに比べてコイル空芯部での結合部分の肉厚
があるため、ここを接合するボルトおよびネジ部のスペ
ースを確保しやすくボルト締結の設計が容易である。According to this structure, the number of parts of the jacket is reduced and the assembling is facilitated. In addition, since the connecting portion is only between the jacket covers 14 and 14 ', the possibility that the refrigerant leaks from the connecting portion is small. There are advantages. In particular, since the connection portion at the coil air core portion is thicker than the thin portion of the sheet, it is easy to secure the space for the bolts and screw portions to be joined therewith, and it is easy to design the bolt fastening.
【００３８】＜例２＞ 図１１は本発明を説明する上での例としてのジャケット
部分の構成を表した図であり、ジャケットの外側の可動
子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図９と同一であ
る。<Example 2> FIG. 11 is a view showing a configuration of a jacket portion as an example for explaining the present invention, and the arrangement of a mover (yoke or permanent magnet) outside the jacket is shown in the previous figure. Same as 9.
【００３９】本例では、シート４、４′とフレーム５が
冷却ジャケットを構成し、積層されたコイル１ａ〜１ｃ
を補強部材８ａ〜ｄによって、またコイル１ｄ〜１ｆを
補強部材８ｅ〜８ｈよってそれぞれシート４および４′
に接着剤などで固定したことを特徴としている。シート
４、４′はコイル１の部分でコイル１および補強部材８
を介して結合されているので、コイル１および補強部材
８が耐圧具として機能する。なおシート４、４′と補強
部材８は一体化してもよく、またシート４、４′とフレ
ーム５と一体化して同一部材としてもよい。コイルの空
芯部やコイル間に補強部材を設けることなく、冷媒圧力
でシートが外側に広がろうとするのを抑えている。In this example, the sheets 4, 4 'and the frame 5 constitute a cooling jacket, and the stacked coils 1a to 1c
By the reinforcing members 8a to 8d and the coils 1d to 1f by the reinforcing members 8e to 8h, respectively.
It is characterized by being fixed with an adhesive or the like. The sheets 4 and 4 'are the coil 1 and the reinforcing member 8 at the coil 1 portion.
The coil 1 and the reinforcing member 8 function as a pressure-resistant device. The sheets 4, 4 'and the reinforcing member 8 may be integrated, or the sheets 4, 4' and the frame 5 may be integrated into the same member. The sheet is prevented from spreading outward due to the refrigerant pressure without providing a reinforcing member between the coil and the air core portion of the coil.
【００４０】この構成によれば、補強部材がコイルの空
芯部分などに存在しない。According to this configuration, the reinforcing member does not exist at the air core portion of the coil.
【００４１】＜実施例７＞ 図１２は本発明のリニアモータの別の実施形態のジャケ
ット部分の構成を表した図であり、ジャケットの外側の
可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図９と同一で
ある。<Embodiment 7> FIG. 12 is a view showing a configuration of a jacket portion of another embodiment of the linear motor of the present invention, and the arrangement of the mover (yoke or permanent magnet) outside the jacket is as described above. It is the same as FIG.
【００４２】先の例では補強部材がコイルの空芯部分な
どに存在しない構成であったが、本実施例ではずらして
積層したコイルの空芯部などにコイル本体を避けるよう
に補強部材を設置し、シート４と４′とを補強部材８ａ
〜ｅが直接結合している。同図ではコイル列は補強部材
に固定されている。なおシート４、４′とフレーム５と
一体化して同一部材としてもよい。また同図では補強部
材とコイルは接着もしくは一体成形などにより直接結合
されているが、固定具などを介して結合してもよい。補
強部材が冷媒圧力でシートが外側に広がろうとするのを
抑えている。In the previous example, the reinforcing member was not provided at the air core portion of the coil, but in the present embodiment, the reinforcing member is provided at the air core portion of the staggered coil so as to avoid the coil body. Then, the sheets 4 and 4 'are connected to the reinforcing member 8a.
To e are directly bonded. In the figure, the coil row is fixed to a reinforcing member. The seats 4, 4 'and the frame 5 may be integrated into a single member. Although the reinforcing member and the coil are directly connected by bonding or integral molding in the same figure, they may be connected via a fixture or the like. The reinforcing member prevents the sheet from spreading outward due to the refrigerant pressure.
【００４３】以上の本実施例によれば、冷媒の圧力を上
げるあるいはジャケットのシートを薄くしてもジャケッ
トの変形や破損が抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷
却効率を向上させることができると共にジャケットの小
型化が図れ、ひいてはリニアモータの推力を向上させる
ことができる。According to the above embodiment, the deformation and breakage of the jacket can be suppressed even if the pressure of the refrigerant is increased or the jacket sheet is made thin, so that the flow rate of the refrigerant can be increased and the cooling efficiency can be improved. The size of the jacket can be reduced, and the thrust of the linear motor can be improved.
【００４４】＜例３＞ 図１３は本発明のリニアモータを説明する上での例とし
てのジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケッ
トの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図
９と同一である。<Example 3> FIG. 13 is a view showing a configuration of a jacket portion as an example for explaining the linear motor of the present invention. The arrangement of a mover (yoke or permanent magnet) outside the jacket is shown in FIG. This is the same as FIG.
【００４５】先の例では別部材であったフレームとシー
ト、固定具および補強部材の一部もしくは全部を一体化
するもので、本例では、２つのジャケットカバー１４、
１４′がコイルを固定し覆い、これらジャケットカバー
同士を接合している。ジャケットカバーはコイル形状に
彫り込まれ、コイル１ａ、１ｄ、１ｇはそれぞれの空芯
部でジャケットカバー１４に固定され、コイル１ｃ、１
ｆはそれぞれの空芯部でジャケットカバー１４′に固定
され、コイル１ｂ、１ｅはそれぞれの空芯部でジャケッ
トカバー１４、１４′の両方に固定されている。ジャケ
ットカバー１４、１４′はコイル１ｂ、１ｅなどを介し
て互いに結合され、冷媒圧力でジャケットカバーの肉薄
部が外側に広がろうとするのを抑えている。つまりジャ
ケットカバー１４、１４′内面の突起部が、ジャケット
を補強して変形を防止する補強部材となっている。In the above example, the frame and the seat, the fixture, and part or all of the reinforcing member, which are separate members, are integrated, and in this example, two jacket covers 14,
14 'secures and covers the coil and joins these jacket covers together. The jacket cover is engraved into a coil shape, and the coils 1a, 1d, and 1g are fixed to the jacket cover 14 at their respective air cores, and the coils 1c, 1c, and 1g are fixed.
f is fixed to the jacket cover 14 'at each air core, and the coils 1b and 1e are fixed to both the jacket covers 14 and 14' at each air core. The jacket covers 14, 14 'are connected to each other via the coils 1b, 1e, etc., to prevent the thin portion of the jacket cover from spreading outward due to the refrigerant pressure. That is, the protrusions on the inner surfaces of the jacket covers 14 and 14 'are reinforcing members for reinforcing the jacket to prevent deformation.
【００４６】＜実施例８＞ 図１４は上記説明したいずれかの実施例のリニアモータ
をウエハステージを有する露光装置に用いた実施形態を
示す。同図において、２１はあおり機構を有するウエハ
ステージであり、上面に半導体ウエハ２３を搭載してい
る。ウエハステージ２１の上方には、光源や照明光学系
を有する照明系２７、ウエハに転写すべきパターンを備
えたレチクル２８、該レチクル２８のパターンを所定の
倍率で縮小投影する縮小投影光学系２９が設けられてい
る。Eighth Embodiment FIG. 14 shows an embodiment in which the linear motor of any of the above-described embodiments is used in an exposure apparatus having a wafer stage. In the figure, reference numeral 21 denotes a wafer stage having a tilting mechanism, on which a semiconductor wafer 23 is mounted. Above the wafer stage 21, an illumination system 27 having a light source and an illumination optical system, a reticle 28 having a pattern to be transferred to a wafer, and a reduction projection optical system 29 for reducing and projecting the pattern of the reticle 28 at a predetermined magnification are provided. Is provided.
【００４７】ウエハステージの構成について説明する。
２４はあおりステージを水平方向のみ規制するガイドで
あり、例えば静圧軸受を用いることによって、Ｚ方向、
傾斜方向およびＺ軸回転方向の運動を許容している。２
６はベースである。２５は上記説明したいずれかの実施
例の構成を備えたリニアモータであり、３個のリニアモ
ータ（残りの１個は図示せず）の駆動によって、ステー
ジ２１の重力方向であるＺ方向の位置あるいは傾きをベ
ース２６に対して調節することができる。また、ステー
ジ２１のＺ方向の位置および傾きを計測することによ
り、ステージのＺ方向の位置および傾きを制御できる。The configuration of the wafer stage will be described.
24 is a guide that regulates the tilt stage only in the horizontal direction. For example, by using a hydrostatic bearing,
Movement in the tilt direction and the Z-axis rotation direction is allowed. 2
6 is a base. Reference numeral 25 denotes a linear motor having the configuration of any of the above-described embodiments, and the position of the stage 21 in the Z direction which is the direction of gravity of the stage 21 is driven by driving three linear motors (the remaining one is not shown). Alternatively, the inclination can be adjusted with respect to the base 26. Further, by measuring the position and the inclination of the stage 21 in the Z direction, the position and the inclination of the stage 21 in the Z direction can be controlled.
【００４８】本実施例によれば、リニアモータの冷却効
率が上がりコイルから発生する熱を回収しているので、
リニアモータからの発熱がウエハステージに伝わって温
度上昇させたり、雰囲気温度を上昇させることがないた
め、ウエハステージの位置決め精度を飛躍的に向上させ
ることができ、ひいては従来以上に高精度な露光転写が
可能となる。According to this embodiment, since the cooling efficiency of the linear motor is increased and the heat generated from the coil is recovered,
Since the heat from the linear motor is not transmitted to the wafer stage to raise the temperature or the ambient temperature, the positioning accuracy of the wafer stage can be dramatically improved, and as a result, exposure transfer with higher precision than ever before Becomes possible.
【００４９】＜実施例９＞ 図１５は上記露光装置を使用した半導体デバイス（ICや
LSI等の半導体チップ、あるいは液晶パネルやCCD等）の
生産フローを示す。ステップ１（回路設計）では半導体
デバイスの回路設計を行う。ステップ２（マスク製作）
では設計した回路パターンを形成したマスクを製作す
る。ステップ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を
用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハプロセ
ス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを
用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回
路を形成する。ステップ５（組み立て）は後工程と呼ば
れ、ステップ４によって作製されたウエハを用いて半導
体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシ
ング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封
入）等の工程を含む。ステップ６（検査）ではステップ
５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久
性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デ
バイスが完成し、これが出荷（ステップ７）される。Embodiment 9 FIG. 15 shows a semiconductor device (IC or IC) using the above exposure apparatus.
Shows the production flow of semiconductor chips such as LSIs, or liquid crystal panels and CCDs. In step 1 (circuit design), the circuit of the semiconductor device is designed. Step 2 (mask production)
Then, a mask on which the designed circuit pattern is formed is manufactured. In step 3 (wafer manufacture), a wafer is manufactured using a material such as silicon. Step 4 (wafer process) is called a pre-process, and an actual circuit is formed on the wafer by lithography using the prepared mask and wafer. Step 5 (assembly) is called a post-process, and is a process of forming a semiconductor chip using the wafer produced in step 4, and includes processes such as an assembly process (dicing and bonding) and a packaging process (chip encapsulation). . In step 6 (inspection), inspections such as an operation confirmation test and a durability test of the semiconductor device manufactured in step 5 are performed. Through these steps, a semiconductor device is completed and shipped (step 7).
【００５０】図１６は上記ウエハプロセスの詳細なフロ
ーを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸
化させる。ステップ１２（CVD）ではウエハ表面に絶縁
膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハに
電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン打
込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５
（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステ
ップ１６（露光）では上記説明した露光によってマスク
の回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ１７
（現像）では露光したウエハを現像する。ステップ１８
（エッチング）では現像したレジスト像以外の部分を削
り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッチング
が済んで不要となったレジストを取り除く。これらのス
テップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に
回路パターンが形成される。FIG. 16 shows a detailed flow of the wafer process. Step 11 (oxidation) oxidizes the wafer's surface. Step 12 (CVD) forms an insulating film on the wafer surface. Step 13 (electrode formation) forms electrodes on the wafer by vapor deposition. In step 14 (ion implantation), ions are implanted into the wafer. Step 15
In (resist processing), a photosensitive agent is applied to the wafer. In step 16 (exposure), the circuit pattern on the mask is printed and exposed on the wafer by the above-described exposure. Step 17
In (development), the exposed wafer is developed. Step 18
In (etching), portions other than the developed resist image are scraped off. In step 19 (resist stripping), unnecessary resist after etching is removed. By repeating these steps, multiple circuit patterns are formed on the wafer.
【００５１】[0051]
【発明の効果】本発明によれば、冷媒の圧力を上げるも
しくはジャケットの肉薄部分を薄くしても、ジャケット
の変形や破損を抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷却
効率を向上させることができると共に、ジャケットの小
型化によりリニアモータの推力を向上させることができ
る。According to the present invention, the deformation and breakage of the jacket can be suppressed even if the pressure of the refrigerant is increased or the thin portion of the jacket is reduced, so that the flow rate of the refrigerant can be increased and the cooling efficiency can be improved. At the same time, the thrust of the linear motor can be improved by downsizing the jacket.
【図１】リニアモータを説明する上面図FIG. 1 is a top view illustrating a linear motor.
【図２】リニアモータのジャケット構成を示す分解図FIG. 2 is an exploded view showing a jacket configuration of the linear motor.
【図３】リニアモータの外観を表す斜視図FIG. 3 is a perspective view showing the appearance of a linear motor.
【図４】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図FIG. 4 is a diagram showing a jacket of another type of linear motor.
【図５】本発明を説明する上での例としてのリニアモー
タのジャケットを表す図FIG. 5 is a diagram showing a linear motor jacket as an example for describing the present invention.
【図６】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図FIG. 6 is a diagram showing a jacket of another type of linear motor.
【図７】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図FIG. 7 is a diagram showing a jacket of another type of linear motor.
【図８】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図FIG. 8 is a diagram showing a jacket of another type of linear motor.
【図９】別の形態のリニアモータの構成を示す図FIG. 9 is a diagram showing a configuration of another form of linear motor.
【図１０】別の形態のリニアモータのジャケットを表す
図FIG. 10 is a diagram showing a jacket of another type of linear motor.
【図１１】本発明を説明する上での例としてのリニアモ
ータのジャケットを表す図FIG. 11 is a diagram showing a jacket of a linear motor as an example for describing the present invention.
【図１２】別の形態のリニアモータのジャケットを表す
図FIG. 12 is a diagram showing a jacket of a linear motor of another embodiment.
【図１３】本発明を説明する上での例としてのリニアモ
ータのジャケットを表す図FIG. 13 is a diagram showing a jacket of a linear motor as an example for describing the present invention.
【図１４】ステージを有する露光装置の構成図FIG. 14 is a configuration diagram of an exposure apparatus having a stage.
【図１５】半導体デバイスの製造フローを示す図FIG. 15 is a diagram showing a manufacturing flow of a semiconductor device.
【図１６】ウエハプロセスの詳細なフローを示す図FIG. 16 is a diagram showing a detailed flow of a wafer process.
【図１７】従来例のリニアモータを説明する図FIG. 17 is a diagram illustrating a conventional linear motor.
１ コイル ２ ヨーク ３ 永久磁石 ４、４′ シート ５ フレーム ７ 固定具 ８ 補強部材 １４、１４′ ジャケットカバー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Coil 2 Yoke 3 Permanent magnet 4, 4 'sheet 5 Frame 7 Fixture 8 Reinforcement member 14, 14' Jacket cover
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02K 41/02 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H02K 41/02
Claims (8)
媒が供給されるジャケットとを有するリニアモータにお
いて、該冷媒の圧力に対して該ジャケットを補強する補
強部材を、ジャケット内部の該コイルの空芯部に、該空
芯部を貫通し且つ前記ジャケットの前記コイルを挟んで
対向する箇所に固定ないし一体化した形で設けたことを
特徴とするリニアモータ。1. A linear motor having a coil and a jacket covering the coil and supplying a refrigerant to an internal space, wherein a reinforcing member for reinforcing the jacket against the pressure of the refrigerant includes a reinforcing member for the coil inside the jacket. A linear motor, which is provided in an air core portion so as to be fixed or integrated at a portion penetrating the air core portion and facing the coil with the coil interposed therebetween.
られたヨークが設けられていることを特徴とする請求項
１記載のリニアモータ。2. The linear motor according to claim 1, further comprising a yoke to which a magnet is attached with the jacket interposed therebetween.
を挟んで２枚のシートを接合したものである請求項１記
載のリニアモータ。3. The linear motor according to claim 1, wherein the jacket is formed by joining a frame and two sheets across the frame.
ーを接合したものである請求項１記載のリニアモータ。4. The linear motor according to claim 1, wherein the jacket is formed by joining two jacket covers.
材料からなることを特徴とする請求項１記載のリニアモ
ータ。5. The linear motor according to claim 1, wherein the jacket and the reinforcing member are made of a non-magnetic material.
クス材料からなることを特徴とする請求項５記載のリニ
アモータ。6. The linear motor according to claim 5, wherein said jacket and said reinforcing member are made of a ceramic material.
構成された突起部であることを特徴とする請求項１記載
のリニアモータ。7. The linear motor according to claim 1, wherein the reinforcing member is a protrusion configured as a part of a jacket.
ることを特徴とする請求項１記載のリニアモータ。8. The linear motor according to claim 1, wherein a component of the jacket fixes the coil.
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