JP3273768B2 - 荷重測定装置および荷重測定方法 - Google Patents

荷重測定装置および荷重測定方法

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JP3273768B2 JP21277199A JP21277199A JP3273768B2 JP 3273768 B2 JP3273768 B2 JP 3273768B2 JP 21277199 A JP21277199 A JP 21277199A JP 21277199 A JP21277199 A JP 21277199A JP 3273768 B2 JP3273768 B2 JP 3273768B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、荷重測定装置およ
び荷重測定方法に関し、特に、回路構成を単純化し、量
産時に低廉化・小型化が容易な荷重測定装置および荷重
測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、荷重測定装置および荷重測定方法
は一般に、荷重検出器と荷重計測装置とにより構成され
る。これらの荷重検出器は、被測定の荷重を受け、受け
た荷重量に応じた電気信号を検出して出力する。荷重計
測装置は、荷重検出器から出力される電気信号を受信
し、信号の増幅、A/D変換、荷重表示等の処理を行
う。
【0003】図3は、従来の荷重測定装置のブロック構
成例を示している。図3において、本従来例の荷重測定
装置の荷重検出器11は、ホイートストンブリッジで構
成されている。このホイートストンブリッジは、二個の
センサS11、S12と、二個のダミーD11、D12
とでブリッジ回路を形成する。
【0004】また、荷重計測装置は、荷重検出器を駆動
する駆動電源12、荷重検出器11から出力される出力
信号を増幅する増幅器(AMP)13、増幅器13で増
幅されたアナログ信号をデジタル信号に変換するA/D
変換器14、荷重検出値を表示する表示器15、システ
ムの各種動作を制御する制御部16、により構成され
る。
【0005】上記に構成される荷重測定装置の構成部に
おいて、センサS11、S12は、例えば、伸縮により
抵抗値の変化する歪みゲージ、または二極間の間隔距離
変化により容量値が変化するコンデンサ型センサ等が用
いられる。荷重計測器11の駆動電源12は、一般的に
直流または交流型の定電圧電源が用いられる。
【0006】上記の構成の荷重測定装置は、例えば、誤
差率0.1%FS(フルスケール)以下等の高精度を得
ることができる。このような高精度な測定精度を得るた
めに、求める誤差率以上の精度を有する駆動電源を用い
たり、駆動電源の出力電圧の変動に応じて測定値を補正
する等の処理を行う。
【0007】このように高精度の荷重測定装置が容易に
得られるため、上記従来例の測定システムは、静止荷
重、動的荷重、圧力、衝撃力等の測定、特に産業用の荷
重測定装置として幅広く用いられている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の荷重測定装置は、既述のように高精度の測定システ
ムの構成が可能である反面、荷重検出器駆動電源、増幅
器(AMP)、A/D変換器等が必要であり、装置の基
本構成が複雑である。つまり、従来の荷重測定装置で
は、一式の測定システムを構成するには、荷重検出器を
駆動する駆動電源、荷重検出器で測定した微弱なアナロ
グ測定信号を増幅する増幅器(AMP)、増幅器で増幅
したアナログ測定信号をデジタル測定信号に変換するA
/D変換器等が必要不可欠である。
【0009】この基本構成において、特に、アナログ回
路とデジタル回路、より高精度を求められる荷重検出器
駆動用電源と、さらに上記のアナログ回路とデジタル回
路を駆動するための電源等が必要であり、IC回路化、
ワンチップ化、回路の集約化等を行い難い構成となって
いる。また、制御回路の低消費電力化はそれほど困難で
は無いが、荷重検出器駆動用電源の電源容量は、荷重検
出器の必要容量を満たさなければならない制約がある。
【0010】そのため、装置の回路構成・回路規模等を
簡略化するには限界が生じ、装置を簡易に構成すること
が難しい。特に、簡易的な荷重測定器、例えば、一般家
庭の調理において用いる荷重計、体重計の低廉化、携帯
を欲する荷重計の小型軽量化、等に限界が生じる問題を
伴う。さらに、工業用の荷重変換器を用いた台貫秤等
は、検出装置の構成が重装備であり、軽量装備の検出装
置の出現が望まれている。
【0011】本発明は、基本構成が単純で小型化且つ低
廉化が容易な荷重測定装置および荷重測定方法を提供す
ることを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、請求項1記載の発明の荷重測定装置は、少なくとも
3枚の極板を積層し該極板のそれぞれが載荷された負荷
荷重を受け、この受けた負荷荷重の大きさに応じて圧縮
または伸張するバネを相互に隣接するそれぞれの極板間
に設け、それぞれの極板間で構成されるコンデンサを積
層した積層コンデンサの構造とされ、積層コンデンサの
各々を相互に接続して構成された荷重検出器と、荷重検
出器と接続され積層コンデンサの容量を発振要素としこ
の積層コンデンサの容量値の変化に応じて発振周波数を
変化させる発振回路と、荷重検出器に対する発振回路の
無負荷時の発振周波数と負荷荷重時の発振周波数との少
なくとも二つの発信周波数値を用いて予め定めた手順に
基づき負荷荷重の値を計測する計測回路とを有し、容量
値の変化量と負荷荷重の変化量とを対応させ、該負荷荷
重量をデジタル値として計測可能としたことを特徴とし
ている。
【0013】また、上記の積層コンデンサの相互の接続
は並列接続とし、荷重検出器および発振回路は、CR発
振器とし、発振回路は差動増幅器を有し、この差動増幅
器と荷重検出器とにより、ウィーンブリッジ発振器とし
て構成するとよい。
【0014】請求項記載の発明の荷重測定方法は、
板のそれぞれが載荷された負荷荷重を受ける少なくとも
3枚の極板を積層し、極板のそれぞれの間に負荷荷重の
大きさに応じて圧縮または伸張するバネを設け、それぞ
れの対向する極板間で構成されるコンデンサを積層した
積層コンデンサの構造とし、積層コンデンサの各々のコ
ンデンサを相互に接続し、相互に接続された積層コンデ
ンサを所定の発信器へ接続し、該積層コンデンサの容量
を発振要素とし該容量値の変化に応じて発振周波数を変
化させ、負荷荷重が無負荷時の発振周波数と実負荷荷重
時の発振周波数との少なくとも二つの発信周波数を計測
し、容量値の変化量を発振周波数の変化量とし該変化量
と負荷荷重の変化量とを対応させ予め定めた手順に基づ
き負荷荷重の値を算出する各工程を有し、アナログ信号
からデジタルへ変換するアナログ/デジタル変換の処理
工程を用いることなく負荷荷重量をデジタル値として計
測可能としたことを特徴としている。
【0015】また、上記積層コンデンサの相互の接続は
並列接続とするとよい。
【0016】
【発明の実施の形態】次に添付図面を参照して本発明に
よる荷重測定装置および荷重測定方法の実施の形態を詳
細に説明する。図1、図2および図4〜図6を参照する
と本発明の荷重測定装置および荷重測定方法の構成を説
明するための実施形態が示されている。
【0017】図1は、本実施形態の荷重測定装置のブロ
ック構成例を示している。図1において、本実施形態の
荷重測定装置は、荷重検出器1、発振回路2、表示器
3、および計測回路4を有して構成される。
【0018】荷重検出器1は、一個のセンサS1と、三
個のダミーD1、D2、D3とでブリッジ回路として構
成される。このブリッジ回路は、より詳細には、例えば
ウィーンブリッジ回路に構成される。また、センサS1
は、荷重を容量変化として検出するコンデンサ型、ある
は抵抗値変化として検出する抵抗ゲージ型等が適用され
る。これらの荷重検出器1および発振回路2を、ウィー
ンブリッジ発振器として構成した場合、この発振回路2
から出力される出力信号の発振周波数fは、下記とな
る。
【0019】 f∝1/(S1・D1・D2・D3)1/2 …(1)
【0020】上式において、センサS1のインピーダン
スをセンサS1が受ける荷重量Wに応じて可変とし、ダ
ミーD1、D2、D3のインピーダンスをセンサS1が
受ける荷重量Wに係わらず不変とする。
【0021】上記構成の発振回路2からは、式(1)に
基づき、荷重検出器1が受ける荷重、より正確にはセン
サS1が受ける荷重量Wに応じて、発振周波数fが変化
する出力信号を得ることができる。よって、発振周波数
fの所定値f1から所定値f2への変動値Δfは、下記
に例示する所定の手順に基づき、荷重量Wへ換算するこ
とが可能となる。
【0022】上述した手順は、例えば、センサS1へ負
荷させる少なくとも3種類の荷重量W1、W2、W3
と、荷重負荷の結果得られる周波数f1、f2、f3と
から求めるか、荷重量W対発信周波数fの変換テーブル
形式として構成することも可能である。後者の変換テー
ブル形式とする場合、テーブルを構成する隣接する荷重
間隔ΔWは発振周波数fの非直線性の大きさに応じて定
め、荷重間隔ΔW間の発振周波数fxは、例えば、一般
的に行われる比例計算によることも可能である。
【0023】図2において、荷重検出器1を構成するセ
ンサS1は、具体的な構成例として、フラットプレート
型の2つの電極5a、5bの間隔距離dの変動による、
容量変化型式のセンサとする。このセンサS1の2極5
a、5bは、相互に面積Aのフラットプレートとされ、
これらの2極5a、5b間にはバネ材6をサンドウィッ
チ状に介在させ、2極5a、5bを構成するプレートの
表面に加えられる荷重量Wに応じて、2極5a、5b間
の間隔距離dが変化する構造に構成する。
【0024】バネ材6の材料としては、荷重Wにより変
形し間隔距離dが変化し、繰り返し性・復元性の高い材
質が求められる。さらに、電気的に不導通の材質が好ま
しい。例えば、ゴム、樹脂、バネ状に加工した強化ガラ
スファイバー等である。なお、銅、鉄等を用いる場合に
は、2つの電極間を絶縁させる必要がある。
【0025】上記構成の荷重検出器の容量値C[F]
は、下記式2により得られる。なお、下記の式におい
て、符合Aは2極5a、5bを構成するプレートの表面
面積[m2]、dは2極5a、5bのプレートの間隔距
離[m]である。
【0026】 C∝A/d …(2)
【0027】上記の関係をより具体的に検討する。セン
サS1を略10cm四方の板を用い、二極間距離を10
mmで、空気コンデンサとして構成したとする。このセ
ンサS1の容量は、略10[pF]である。
【0028】10pFのコンデンサを二個と、10Kオ
ームの抵抗器を二個用いてウィーンブリッジ発振器を構
成すると、発振周波数が略1.6[MHz]の高周波信
号が得られる。このウィーンブリッジ発振器は、例え
ば、差動増幅器を有して構成される。本構成において、
無負荷時に10pFの荷重変換器1が定格負荷荷重時に
20pFへ変動したとする。本条件での発振周波数値の
変動は、無負荷重時の1.6MHzから定格負荷荷重時
の2.4MHzまたは3.2MHzへ変化する。この場
合の2.4MHzはブリッジの1辺の容量Cを変化させ
た場合であり、3.2MHzはブリッジの2辺の容量C
を変化させた場合である。
【0029】この関係は、上記の式(1)および式
(2)に基づくものである。これら符号のセンサS1お
よびダミーD1〜D3における値の関係は、S1=D1
(またはS2)=10pF、D2=D3=10Kオー
ム、である。なお、上記を荷重量に応じた抵抗値の変化
とし、ダミーを固定した容量として構成した場合も、上
記と同様に検出が可能である。
【0030】上記に構成された荷重測定装置において、
センサS1に印加された負荷Wを発振回路2で所定周波
数fの発振信号とする。
【0031】計測回路4は、この発振信号を入力し、リ
ミッタ、コンパレータ等によりパルス信号とし、発振信
号の周波数fをカウントする。センサS1への無負荷時
の周波数f0と負荷Wを印加した時点の周波数f1との
差の周波数Δfを計測し、計測した差の周波数Δfを荷
重量に相当する値へ変換することにより、負荷荷重量W
を得ることができる。
【0032】表示器3は、LCD等のデジタル表示器で
あり、計測回路4からの計測値を表示する。不図示の操
作スイッチにより無負荷時の信号を入力し零点補正を行
い「0」表示とし、センサS1へ負荷印加時の荷重測定
値「W」を読み取り可能とする。但し、この零点補正用
のスイッチは、トラッキングによる自動補正とし、不要
または補足的に設ける構成としてもよい。
【0033】上記の実施形態によれば、荷重検出器また
は荷重センサを駆動するための専用の電源が不要であ
る。また、荷重検出信号が発信信号であるため、デジタ
ル信号化にA/D変換器が不要である。さらに、荷重検
出、計測、制御のための全体の電源を、一の電源で構成
することが可能である。上記の要件に基づく本実施形態
の荷重測定システムは、システムの構成が単純である。
このため、回路の集約化が容易であり、且つ量産効果と
してより高い低廉化が期待できる。具体例としての実施
例を、以下に詳述する。
【0034】(実施例1) 図4は、荷重測定装置の実施例1のシステム構成例を示
すブロック図である。図4において、実施例1の荷重測
定装置は、容量式荷重検出器10、コンデンサ容量増幅
回路21および無安定バイブレータ22を具備する発振
回路20、表示器30、計測回路40を有して構成され
る。なお、本構成において、発振回路20のコンデンサ
容量増幅回路21は無安定バイブレータ22からより安
定化した発振出力を得るために設けられたものであり、
特に、容量式荷重検出器10の容量値が小さい場合に用
いられる。よって、容量式荷重検出器10の容量値が大
きく、発振信号が求める精度に対し安定している場合に
は不要である。
【0035】図5は、容量式荷重検出器10の構成例を
示す側断面図である。図5において、本実施例1に適用
される容量式荷重検出器10は、載荷板101、ベース
板(マイナス極板)102、絶縁板103、プラス極板
104、およびバネ105を有して構成される。
【0036】ベース板(マイナス極板)102は、被測
定荷重を受ける、容量式荷重検出器10の機械的な底面
部を構成すると伴に、荷重の測定要素となる容量測定部
を形成するマイナス極板を構成する。
【0037】絶縁板103は、ベース板(マイナス極
板)102とプラス極板104との間の電気的な絶縁を
確保するための絶縁板である。
【0038】プラス極板104は、絶縁板103を介し
て載荷板101へ機械的に取り付けられ、ベース板(マ
イナス極板)102とで荷重の測定要素となる容量測定
部のコンデンサを形成する。
【0039】バネ105は、載荷板101とベース板
(マイナス極板)102との間に設けられ、載荷板10
1へ載荷される荷重の大きさに応じて圧縮される。この
圧縮/伸張により荷重の測定要素となる容量値が大/小
に変化する。
【0040】上記に構成される容量式荷重検出器10に
おいて、載荷板101は被測定荷重を受ける板であり、
例えば、被測定物が載荷される。この載荷される荷重の
大きさに応じてバネ105が圧縮され、荷重の測定要素
となる容量値が変化する。
【0041】図6は、詳細な発振回路20を示す回路図
であり、コンデンサ容量増幅回路21および無安定バイ
ブレータ22の構成例を示している。図6の発振回路に
おいて、入力端子のSENS INへ、容量式荷重検出
器10のベース板(マイナス極板)102およびプラス
極板104とが接続され、出力端子のPULS OUT
が計測回路40へ接続される。容量式荷重検出器10の
ベース板(マイナス極板)102およびプラス極板10
4とで形成される容量測定部の、容量値の大きさに応じ
て無安定バイブレータ22から出力される発振信号の周
波数が変動する。
【0042】計測回路40は、例えば、不図示の中央演
算回路(CPU)を具備して構成される。中央演算回路
(CPU)は、発振回路20から出力される発振信号の
周波数をカウントするカウンタ機能部と、このカウンタ
機能部がカウントしたカウント数を予め定められた所定
の手順で荷重値に変換する演算機能部と、演算機能部が
演算した荷重値を出力する出力部とを備えている。中央
演算回路(CPU)が出力する信号に基づき、表示部3
0が測定荷重値を表示する。
【0043】上記の荷重測定において、より高度の測定
精度を得るにためには、発振回路20において、より高
い発振周波数でのより安定した発振動作を確保する必要
がある。発振の安定化のために、コンデンサ容量増幅回
路21で容量式荷重検出器10の容量信号をより大きく
することも一の策ではあるが、これは二次的な安定化策
と言える。直接的・一時的な安定化策は、容量式荷重検
出器10の載荷荷重に対する出力信号をより増大化し、
容量式荷重検出器10の出力感度を大きくすることであ
る。
【0044】容量式荷重検出器10の感度を上げるため
には、載荷荷重に対する出力信号の変化量を大きくす
る、即ちダイナミックレンジを拡大化することと、出力
値の増大化、即ち出力信号の強大化とがある。容量式荷
重検出器10の感度向上の構造上の要件は、第1に、容
量値を大きくする、即ち極板の面積を大きくすること
と、プラス/マイナスの極板間の距離dを小さくするこ
とである。第2に、載荷荷重に対する極板間の距離dの
変動量を大きくすることである。
【0045】上記第1の要件と第2の要件とは、相互に
相対しており、単純にはそれぞれを満たすことができな
い。また、極板の面積の拡大化は、容量式荷重検出器1
0の機械的な増大化を伴う。さらに、極板間の距離dの
変動量の増大化は、バネ105の剛性を小さくすること
であり、この剛性の縮小化は零点の不安定化と応答性の
緩慢化を伴うことが、実荷重試験により確認されてい
る。
【0046】(実施例2) 図7は、容量式荷重検出器を二層構造の容量式荷重検出
器10a、10bとして構成した実施例を示している。
本実施例2の容量式荷重検出器10a、10bは、上記
の相互に矛盾する第1の要件と第2の要件の改善を図っ
たものである。
【0047】実施例2の二層型の容量式荷重検出器10
a、10bは、載荷荷重方向に対し極板を3枚とし、構
成されるコンデンサ「C」を2個「C1+C2」とす
る。これらの2個のコンデンサ「C1+C2」を並列接
続することにより、載荷荷重Wがそれぞれのコンデンサ
「C1+C2」へ印加される。並列接続されたコンデン
サCの出力は、載荷荷重Wに対応するそれぞれのコンデ
ンサ「C1+C2」の出力信号の総和となり、増大化さ
れる。
【0048】上記の構成によれば、容量式荷重検出器1
0a、10bからはより大きな出力信号を得ることがで
き、発振回路20からより高い周波数の安定した信号が
出力され、計測回路40で高精度の測定結果が取得され
る。なお、実施例2は二層構造としたが、積層数をさら
に増せば発振回路20からより高く安定化した周波数の
信号が得られることが確認された。これらの実験に伴う
参考データを以下に列記する。
【0049】容量式荷重検出器10a、10bを、有効
極板のサイズ;略100×150mm、絶縁板の板厚;
3mm、電極板厚;0.5mm、バネの自由高さ;7m
m、最大間隔変位量;約2mm、積層数;2極、として
構成して分解能略1/2000が得られた。但し、回路
構成は図6に基づき、発振回路20の出力信号を1秒間
のサンプリング間隔で計数した値による。
【0050】実施例1および実施例2によれば、荷重検
出器には、歪みゲージ、ロードセル(荷重変換器)等を
センサ部品を用いる必要がない。また、測定回路部に
は、荷重検出器用の駆動電源およびアナログ信号をデジ
タル信号に変換するA/D変換器等を必要としない。こ
れらの要件を伴うより単純化した構成により、高精度な
荷重測定装置を得ることができる。
【0051】容量式荷重検出器10の積層数は、2極に
限られない。極数を増すことにより、上述の理由に基づ
き、得られる測定精度はより向上化する。
【0052】尚、上述の実施形態は本発明の好適な実施
の一例である。但し、これに限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施
が可能である。例えば、上記の実施形態では、荷重検出
器のセンサを容量値の変化としたが、上記の抵抗値の他
に、コイルのリアクタンス(L)変化等、荷重値を周波
数の変化として検出可能で有れば、何れでも良い。
【0053】
【発明の効果】以上の説明より明かなように、本発明の
荷重測定装置および荷重測定方法は、極板のそれぞれが
載荷された負荷荷重を受け、極板のそれぞれの間にバネ
を設け 、それぞれの対向する極板間で構成されるコンデ
ンサを積層した積層コンデンサの構造とする。この積層
コンデンサの各々のコンデンサを相互に接続して発信器
へ接続し、積層コンデンサの容量を発振要素とし容量値
の変化に応じて発振周波数を変化させ、無負荷時の発振
周波数と実負荷荷重時の発振周波数との少なくとも二つ
の発信周波数を計測し、容量値の変化量を発振周波数の
変化量とし、予め定めた手順に基づき負荷荷重の値を算
出する。本構成により荷重の測定を行うため、荷重検出
のための駆動電源、検出信号を増幅する増幅器、アナロ
グ信号をデジタル信号へ変換するA/D変換器等が不要
となる。よって、構成が簡素化され、装置の小型化、低
価格化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の荷重測定装置の実施形態を示す回路構
成ブロック図である。
【図2】荷重検出器の構成例を示す概念的な縦断面図で
ある。
【図3】従来の荷重測定装置の回路構成例を示すブロッ
ク図である。
【図4】荷重測定装置の実施例1を示す回路構成ブロッ
ク図である。
【図5】実施例1の容量式荷重検出器の構成例を示す縦
断面図である。
【図6】発振回路の構成例を示す回路図である。
【図7】実施例2の二層型の容量式荷重検出器の構成例
を示す図である。
【符号の説明】
1 荷重検出器 2 発振回路 3 表示器 4 計測回路 5 電極 6 バネ材 S1 センサ D1、D2、D3 ダミー d 2極間の間隔距離 10 容量式荷重検出器 20 発振回路 21 コンデンサ容量増幅回路 22 無安定バイブレータ 30 表示器 40 計測回路 101 載荷板 102 ベース板(マイナス極板) 103 絶縁板 104 プラス極板 105 バネ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−30971(JP,A) 特開 平9−43078(JP,A) 特開 平6−307949(JP,A) 特開 平6−150267(JP,A) 特開 平5−10808(JP,A) 実開 昭59−163940(JP,U) 実開 平5−33032(JP,U) 実開 昭58−189933(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01L 1/14 G01G 3/00

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも3枚の極板を積層し該極板の
    それぞれが載荷された負荷荷重を受け、該受けた負荷荷
    重の大きさに応じて圧縮または伸張するバネを相互に隣
    接するそれぞれの前記極板間に設け、前記それぞれの極
    板間で構成されるコンデンサを積層した積層コンデンサ
    の構造とされ、該積層コンデンサの各々を相互に接続し
    て構成された荷重検出器と、 前記荷重検出器と接続され前記積層コンデンサの容量を
    発振要素とし該積層コンデンサの容量値の変化に応じて
    発振周波数を変化させる発振回路と、 前記荷重検出器に対する前記発振回路の無負荷時の発振
    周波数と負荷荷重時の発振周波数との少なくとも二つの
    発信周波数値を用いて予め定めた手順に基づき前記負荷
    荷重の値を計測する計測回路とを有し、前記容量値の変化量と前記負荷荷重の変化量とを対応さ
    せ、該 負荷荷重量をデジタル値として計測可能としたこ
    とを特徴とする荷重測定装置。
  2. 【請求項2】 前記積層コンデンサの相互の接続は、並
    列接続であることを特徴とする請求項1に記載の荷重測
    定装置。
  3. 【請求項3】 前記荷重検出器および発振回路は、CR
    発振器であることを特徴とする請求項1または2に記載
    の荷重測定装置。
  4. 【請求項4】 前記発振回路は差動増幅器を有し、該差
    動増幅器と前記荷重検出器とにより、ウィーンブリッジ
    発振器として構成されたことを特徴とする請求項1から
    3の何れかに記載の荷重測定装置。
  5. 【請求項5】 極板のそれぞれが載荷された負荷荷重を
    受ける少なくとも3枚の極板を積層し、 前記極板のそれぞれの間に前記負荷荷重の大きさに応じ
    て圧縮または伸張するバネを設け、 前記それぞれの対向する極板間で構成されるコンデンサ
    を積層した積層コンデンサの構造とし、 前記積層コンデンサの各々のコンデンサを相互に接続
    し、 前記相互に接続された積層コンデンサを所定の発信器へ
    接続し、該積層コンデンサの容量を発振要素とし該容量
    値の変化に応じて発振周波数を変化させ、 前記負荷荷重が無負荷時の発振周波数と実負荷荷重時の
    発振周波数との少なくとも二つの前記発信周波数を計測
    し、 前記容量値の変化量を前記発振周波数の変化量とし該変
    化量と前記負荷荷重の変化量とを対応させ予め定めた手
    順に基づき前記負荷荷重の値を算出する各工程を有し、 アナログ信号からデジタルへ変換するアナログ/デジタ
    ル変換の処理工程を用いることなく前記負荷荷重量を
    ジタル値として計測可能としたことを特徴とする荷重測
    定方法。
  6. 【請求項6】 前記積層コンデンサの相互の接続は並列
    接続であることを特徴とする請求項5に記載の荷重測定
    方法。
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