JP3272731B2 - アクチュエータおよび保持装置 - Google Patents

アクチュエータおよび保持装置

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JP3272731B2 JP52777297A JP52777297A JP3272731B2 JP 3272731 B2 JP3272731 B2 JP 3272731B2 JP 52777297 A JP52777297 A JP 52777297A JP 52777297 A JP52777297 A JP 52777297A JP 3272731 B2 JP3272731 B2 JP 3272731B2
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本明細書に記載の実施形態は、制御部を有する装置お
よび装置を制御する方法に関する。さらに詳細には、こ
れらの実施形態は、バルブ制御部およびバルブを制御す
る方法に関する。
制御器および制御方法は多くの適用分野で使用されて
いる。様々な適用分野があるとすると、特定の適用分野
に適した様々な制御器および制御方法が必要となる。例
えば、一つの装置用に一つの制御器を有する代りに、複
数の装置用に一つの制御器を有することが望ましい。あ
るいは、性能上などの理由から、複数の制御器を一つの
装置に接続することもできる。また、できるだけ小さな
空間を占有する一つの制御器を有することも重要となろ
う。
発明の概要 一実施形態では、バルブの形を有するアクチュエータ
は、第一ポートと第一ポートに流体連結された第二ポー
トとを含み、流体は第一ポートと第二ポートとの間を連
絡する。第一ポートと第二ポートとには可撓性部材が動
作可能に接続されている。この可撓性部材は、第一ポー
トと第二ポートとの間の流体連絡を可能にする第一位置
と第一ポートと第二ポートとの間の流体連絡を限定させ
る第二位置との間を動くことができる。第一位置と第二
位置との間で可撓性部材を動かすために、第一制御器が
可撓性部材に動作可能に接続されている。第二位置に可
撓性部材を保持するために、第二制御器が可撓性部材に
動作可能に接続されている。
もう一つの実施形態によれば、可撓性部材を有するバ
ルブの形を有するアクチュエータを制御する方法が提供
される。可撓性部材は、この可撓性部材が第一ポートと
第二ポートとの間の流体連絡を可能にする第一位置と、
可撓性部材が第一ポートと第二ポートとの間の流体連絡
を限定させる第二位置との間を、動くことができる。こ
の方法は、可撓性部材を第一の力で第二位置に向けて動
かすことを含む。可撓性部材は、第二の力で第二位置に
保持される。第二の力を低減すると、可撓性部材が第一
位置に向けて動くことができるようになる。
さらに別の一実施形態では、第一位置と第二位置との
間を動くことができる可撓性部材を含むアクチュエータ
が提供される。第一位置と第二位置との間で可撓性部材
を動かすために、第一制御器が可撓性部材に動作可能に
接続されている。また可撓性部材を第二位置に保持する
ために、第二制御器が可撓性部材に動作可能に接続され
ている。
さらに別の実施形態では、第一位置と第二位置との間
を動くことができるアクチュエータが提供される。この
アクチュエータは、第一位置と第二位置との間でアクチ
ュエータを動かすための第一制御器と、アクチュエータ
を第二位置に保持するための第二制御器とを含む。
図面の簡単な説明 第１図は、本明細書に記載の一実施形態のブロック略
図である。
第２図は、第１図の実施形態の適用例の断面図であ
る。
第３図は、第２図の適用例を構成するために使用され
るマスクを示す図である。
第４図は、第２図の適用例を構成するために使用され
るマスクを示す図である。
第５図は、第２図の適用例を構成するために使用され
るマスクを示す図である。
第６図は、第２図の適用例を構成するために使用され
るマスクを示す図である。
第７図は、第２図の適用例を構成するために使用され
るマスクを示す図である。
第８図は、第２図の適用例を構成するために使用され
るマスクを示す図である。
第９図は、第２図の適用例を構成するために使用され
るマスクを示す図である。
第10A図から第10C図は、第２図の適用例の構造を示す
図である。
第11A図から第11H図は、第２図の適用例の構造を示す
図である。
第12A図と第12B図は、第２図の適用例の動作を示す図
である。
第13図は、第２図の適用例を使用する構造を示す図で
ある。
好ましい実施形態の詳細な説明 これから説明する各実施形態は、装置制御部および装
置を制御する方法に関するものである。これらの制御部
および制御方法は、適当ないかなる装置にも適用するこ
とができる。
一般にこの制御器および方法は、対抗する力を利用し
て装置の操作を実施する。ここでは特定の実施形態につ
いて説明するが、実施形態に対していくらかの変更が可
能であることに留意されたい。例えば、方法ステップの
特定の順序を開示するが、これらの方法ステップは適当
などんな順序で実行してもよい。また、ある方法からの
ステップを別の方法からのステップと混合して、さらに
別の方法を得ることもできる。
第１図に示す実施形態の例示的な構造10は一般に、第
一制御器14と第二制御器16によって操作されるアクチュ
エータやバルブなどの装置12を含み、したがって第一制
御器14と第二制御器16とは装置12に動作可能に接続され
ている。第一および第二制御器14、16は、装置12の操作
を行うために様々な力発生機構を使用することができ
る。一実施形態では、第一制御器14は、装置12を第一位
置と第二位置との間で動かす第一の力を提供し、第二制
御器16は、装置12を第一位置および／または第二位置に
維持する第二の力を提供する。ある特定の実施形態で
は、第一制御器14は空気力源であるが、第二制御器16は
静電気力源である。別の実施形態では、第一制御器14は
バイモルフ合金または形状記憶合金を通じて作用する熱
的な力を供給する素子であり、第二制御器16は静電気力
を供給する素子である。さらに別の実施形態では、第一
制御器14は液圧力を供給し、第二制御器16は静電気力を
供給する。さらに別の実施形態では、第一制御器14は圧
電的な力を供給する素子であるが、第二制御器16は静電
気力を供給する。本質的に、第一および第二制御器14、
16は、空気、流体、静電気、圧電、熱、弾性、電磁、水
圧など、特定の適用例に適したどんな適切な力を供給し
てもよい。
特定の実施形態は、第２図に示すバルブ組立て品18で
ある。図示されたバルブ組立て品18は二個のバルブ20
A、20Bからなるが、この実施形態は望みに応じて一つま
たは複数のバルブで構成できることに留意されたい。バ
ルブ組立て品18は、可撓性材料でできた少なくとも一つ
の第一可撓性部材すなわちバルブダイヤフラム22および
一つの第二可撓性部材すなわちバルブダイヤフラム24を
含む。第一バルブダイヤフラム22は、第一ポートすなわ
ち入口ポート26と第二ポートすなわち出口ポート28に動
作可能に接続されている。第二バルブダイヤフラム24
は、第一ポートすなわち入口ポート30と第二ポートすな
わち出口ポート32に動作可能に接続されている。これら
のポート26、28、30、32の機能は変わることもある。望
むならば、共通または別個の供給コンジットを入口ポー
ト26、30に接続してもよい。図示した構造では、第一出
口ポート28と第二出口ポート32は共通出口コンジット34
に集まる。あるいは、個別の出口コンジット34を設ける
こともできる。
各バルブ20A、20Bが、一つは第一制御器14によって供
給され、もう一つは第二制御器16によって供給される二
つの制御力によって操作され、これら両制御器はバルブ
ダイヤフラムと動作可能に接続されている。例示として
示す実施形態では、第一制御器14によって供給される制
御力は空気である。図示した実施形態では、第一制御力
は、流体運搬コンジット36を通じてハウジング38を経て
バルブ20A、20Bに伝えられる。流体運搬コンジット36
は、空気圧を第一および第二バルブダイヤフラム22、24
の第一側部に伝える。
図示した実施形態では、第二制御器16によって供給さ
れる制御力は静電気力である。この第二制御力すなわち
静電気力は、第一バルブダイヤフラム22または第二バル
ブダイヤフラム24のいずれかまたはその両方と、バルブ
ダイヤフラム22、24に隣接して位置する接地面40との間
に発生する。この特定の実施形態では、接地面40はシリ
コンのウエハなどのような導電性材料の部片を含む。接
地面40は、電気絶縁性材料の層42によってバルブダイヤ
フラム22、24から分離されている。導電性材料の部片44
は、層42の接地面40とは反対側の片側に設けられてい
る。図示された構造では、二個の部片すなわち電気接触
パッド44A、44Bがある。導電性材料の部片44A、44Bは、
個別にバルブダイヤフラム22、24にそれぞれ電気的に接
続されている。接地面40と部片44A、44Bとの間に、した
がってバルブダイヤフラム22、24に電位を印加すること
によって静電気力が発生する。
この特定の実施形態では、バルブダイヤフラム22、24
は、ポリシリコンなどのような導電性の可撓性材料でで
きている。バルブダイヤフラム22、24は、外力が加わる
ことなく流体運搬コンジット46が第一入口ポート26と第
一出口ポート28との間に形成され、流体運搬コンジット
48が第二入口ポート30と第二出口ポート32との間に形成
されるように、構成されている。バルブダイヤフラム2
2、24はまた、流体運搬コンジット46中の空気圧より高
い空気圧がバルブダイヤフラム22の側面に面するコンジ
ット36に加えられるとき、あるいは流体運搬コンジット
48中の空気圧より高い空気圧がバルブダイヤフラム24の
側面に面するコンジット36に加えられるとき、適切なバ
ルブダイヤフラム22または24が曲がり、すなわち層42の
バルブダイヤフラム係合面50Aまたは50Bに向かってそれ
ぞれ動き、関連する入口ポートと出口ポートの間に抑止
バリアを形成するように構成されている。バルブダイヤ
フラム22、24および接地面40は、バルブダイヤフラム22
または24のいずれかがバルブダイヤフラム係合面50Aま
たは50Bに十分に近接しているときに、バルブダイヤフ
ラム22または24と接地面40との間に電位を印加すること
ができ、このため負の空気圧または低下した空気圧がバ
ルブダイヤフラム22または24の側面に面するコンジット
36に加えられても、バルブダイヤフラム22および／また
は24が、バルブダイヤフラム22または24と接地面40との
間の静電気力によって、バルブダイヤフラム係合面50A
または50Bに隣接する位置に維持されるように、構成さ
れている。
バルブ組立て品18をさらに明らかにするために、バル
ブ組立て品18の一製造方法について論ずる。この方法に
よれば、バルブ組立て品18は、それぞれ厚さ約400μｍ
の三個のシリコンウエハから製作される。三個のシリコ
ンウエハはハウジング38、接地面40、および基層52を形
成する。製作は、第３図から第９図に示すマスクを使用
する一連の製造ステップを含む。
基層52は、厚さが約400μｍで厚さの許容変動幅が約2
5μｍである＜100＞シリコンウエハから製作される。入
口ポート26、30に通じるフローチャネル（深さ約10〜20
μｍ）がマスク１（第３図）によってパターン付けさ
れ、プラズマとフォトレジストエッチングマスクとを使
用して第10A図に示すように基層52にエッチングされ
る。基層52を酸化して、厚さ約１μｍの酸化層56を作成
する。酸化層56を基層52上でマスク２（第４図）によっ
てパターン付けし、出口コンジット34（第10B図）を形
成するエッチング貫通孔のためのウィンドウを開く。そ
れから基層52をKOHによってエッチングして貫通孔を作
成し、酸化層56をHFによって基層52の表面から除去する
（第10C図）。
ハウジング38は、マスク６および７（第５図、第６
図）を利用して基層52と同様の方式で製作される。マス
ク６（第５図）は、実質的にバルブダイヤフラム22、24
の周りに凹部54を形成するために使用される。マスク７
（第６図）は、流体運搬コンジット36をエッチングする
ために使用される。酸化層は、電気絶縁のために必要な
のでKOHによるエッチングをした後でも除去されない。
全厚の変動幅が約３μｍ以下の約400μｍの両面研磨
＜100＞シリコンウエハ53から、接地面40を形成する層
の製作過程を第11A図から第11H図に示す。接地面40を形
成する層の両側に厚さ約0.1μｍの熱酸化層を成長さ
せ、その後、上側の酸化層をHFによるエッチングによっ
て除去し、下側の酸化層はフォトレジスト（図示せず）
によって保護する。厚さ約0.1μｍのシリコンに富む窒
化ケイ素層58を堆積する（第11A図）。厚さ約５μｍの
リンケイ酸塩ガラス（PSG）の犠牲層60を付着して、第1
1B図に示すようにパターン付けする（マスク３、第７
図）。次に、厚さ約４μｍのポリシリコン層を減圧化学
蒸着法（LPCVD）によって堆積し、リンを多量にドープ
してこれを導電性にする。片側のポリシリコンを除去
し、反対側のポリシリコンをマスク４（第８図）によっ
てパターン付けして、第一および第二バルブダイヤフラ
ム22、24、電気接触パッド44A、44B（図示せず）、およ
び第一および第二バルブダイヤフラム22、24とこれらに
結合される電気接触パッド44A、44B（第11C図）との間
の電気的相互接続（図示せず）を形成する。厚さ約0.12
μｍの化学量論的窒化ケイ素62の層をLPCVDによって付
着し（第11D図）、ポリシリコン構造を包む。厚さ約0.1
μｍの熱酸化物層（図示せず）と、厚さ0.12μｍの化学
量論的窒化物層62と、厚さ0.1μｍのケイ素に富む窒化
物層58との組合せである酸化物窒化物層（図示せず）
を、底側にパターン付けして（マスク５、第９図）、ウ
エハ53の片側からアクセス孔をエッチングするためのウ
ィンドウ64を開く（第11E図）。アクセス孔66をエッチ
ングするにはKOHを使用する（第11F図）。それから、厚
さ0.12μｍの化学量論的窒化物層62と厚さ0.1μｍのケ
イ素に富む窒化物層58との組合せである窒化物層を、片
側をプラズマによって除去し、このプラズマはまた、第
11G図に示すように、アクセス孔の中の反対側で厚さ0.1
μｍのケイ素に富む窒化物層58も除去する。第一および
第二バルブダイヤフラム22、24をHF中に放出すると、PS
G60、ならびにポリシリコン構造を覆う片側の化学量論
的窒化物層62と、底側の酸化層（図示せず）が除去され
る（第11H図）。
底部ウエハ52と中間ウエハ40は、接着しようとする表
面にスパッタした低温溶融ガラスに基づくような低温法
やシリコン溶融接着技法などの低温法によって接着す
る。ウエハ52、40の平滑性に適したその他の適当な接着
方法を使用してもよい。ハウジング38は、接着剤、また
はウエハ40の上面の立体形状によって機能することがで
きる他の適用可能な方法によって接着することができ
る。
本明細書に記載の実施形態は、実施形態の一つの動作
を検討することによってさらによく理解できよう。次に
例示の目的でこの検討を行う。
本明細書に記載の一実施形態の動作は、第12A図と第1
2B図によって理解できよう。説明をわかりやすくするた
め、バルブ組立て品18の出発構成は第12A図に示すよう
に第一位置にあり、それぞれの第一位置にある第一バル
ブダイヤフラム22と第二バルブダイヤフラム24は共に入
口ポート26、30と出口ポート28、32の間でそれぞれ流体
連絡を可能にしていると仮定する。
空気圧が、第一制御器14から流体運搬コンジット36を
通じて凹部54へ送られる。空気圧はバルブダイヤフラム
22、24を、これらの対応する各ダイヤフラム係合面50
A、50Bに向かって曲げる（第二位置）。第二制御器16か
ら導電性材料の部片44Aに電位が送られる。この電位は
部片44Aから、電気的に結合された第一バルブダイヤフ
ラム22に移る。第一制御器14からの空気圧が低減され、
これによって第二バルブダイヤフラム24は曲がりが直
り、ダイヤフラム係合面50Bから離れてその第一位置に
向かう。しかしながら、第一バルブダイヤフラム22と接
地面40との間の静電気力は、第12B図に示すように、第
二バルブダイヤフラム22をダイヤフラム係合面50Aに隣
接するその第二位置に維持する。
第一バルブダイヤフラム22はダイヤフラム係合面50A
に隣接して位置し、第一バルブダイヤフラム22と接地面
40の間の静電気力によって、この静電気力が低減される
まで第二位置に維持される。特定の一実施形態では、静
電気力は、接地面40を電気的に接地したまま、第一バル
ブダイヤフラム22に対して約65ボルト（直流）の電位を
印加することによって発生する。誘電体として使用され
る絶縁層42で分離された第一バルブダイヤフラム22と接
地面40との間の電位差は、第一バルブダイヤフラム22お
よび接地面40に逆の電荷を発生させ、第一制御器14から
の空気圧を加えることなく第一バルブダイヤフラム22を
バルブダイヤフラム係合面50Aに隣接するその第二位置
に維持するのに十分な、静電引力を二つの構成部品間に
発生させる。この第二位置における第一バルブダイヤフ
ラム22によって、入口ポート26と出口ポート28との間に
流体連絡はない。しかしながら、第二バルブダイヤフラ
ム24はその第一位置に向かって動いているので、入口ポ
ート30と出口ポート32との間には流体連絡がある。一実
施形態では、入口ポート26における圧力を、真空度約10
0キロパスカル（15psi）以下であり、約51キロパスカル
（15インチHg）以上の圧力にして、バルブ20Aの所期の
動作を行わせる。
第二バルブダイヤフラム24は、その第一位置にあると
きは、バルブダイヤフラム係合面50Bからずれている。
第一位置にあるときは、供給ポート30と出口ポート32と
の間に流体連絡がある。一実施形態では、入口ポート30
における圧力を、真空度約100キロパスカル（15psi）以
下であり、約51キロパスカル（15インチHg）以上の圧力
であり、流体運搬コンジット36に存在する圧力は、真空
度約68キロパスカル（20インチHg）である。流体運搬コ
ンジット36に存在する圧力より供給ポート30における圧
力を高くして、第二バルブダイヤフラム24をその第一位
置に維持する。
第12B図に示す位置では、流体運搬コンジット36中の
圧力を（例えば、同じ流体運搬コンジット36によって制
御される他の装置12の状態を変えるために）変えること
ができる。流体運搬コンジット36中の圧力を例えば瞬間
的に約140キロパスカル（20psi）に上昇させると、第二
バルブダイヤフラム24は瞬間的にその第二位置に動き、
これによって入口ポート30と出口ポート32との間の流体
連絡を遮断する。しかしながら、流体運搬コンジット36
中の圧力が「静止」値、例えば約68キロパスカル（20イ
ンチHg）の真空度に戻ると、導電性材料の部片44Bに電
位を印加することなく、第二バルブダイヤフラム24はそ
の第一位置に戻る。こうして、バルブ20A、20Bの位置は
維持され、その間、流体運搬コンジット36の圧力は変化
して、同じ流体運搬コンジット36によって制御される他
のバルブの状態を変化させる。
バルブ20A、20Bの位置を、部片44A、44Bに印加される
電位および／または流体運搬コンジット36における圧力
を操作することによって、変えることができる。特定の
一実施形態では、バルブ20Bの位置を変えるために、流
体運搬コンジット36における圧力を約140キロパスカル
（20psi）に上昇させる。流体運搬コンジット36におけ
る圧力はここでは入口ポート30における圧力よりも高い
ので、第二バルブダイヤフラム24は、バルブダイヤフラ
ム係合面50Bに隣接するその第二位置に向かって動く。
第二バルブダイヤフラム24が第二位置にある間、約直流
65ボルトの電位が導電性材料の部片44Bと第二バルブダ
イヤフラム24に印加して、第二バルブダイヤフラム24と
接地面40の間に静電引力を発生させる。
第一ダイヤフラム22に事前に印加された電位は除去さ
れ、第一バルブダイヤフラム22と接地面40との間の静電
気力を解除する。次に流体運搬コンジット36における圧
力が、例えば真空度約68キロパスカル（20インチHg）の
比較的低い値に戻される。流体運搬コンジット36におけ
る圧力に比べて比較的高い入口ポート26中の圧力（漸増
的に第三の力）は、第一バルブダイヤフラム22をその第
一位置に向けて動かし、入口ポート26と出口ポート28と
の間に流体連絡を確立する。第二バルブダイヤフラム24
における静電気力は、第二バルブダイヤフラム24をその
第二位置に維持して、入口ポート30と出口ポート32との
間の流体連絡を低減させる。
入口ポート26における圧力が例えば真空度約51キロパ
スカル（15インチHg）に維持され、入口ポート30におけ
る圧力が例えば約100キロパスカル（15psi）に維持され
ている場合には、上記の動作を使用して、出口コンジッ
ト34の圧力を、真空度約100キロパスカル（15psi）から
約51キロパスカル（15インチHg）に変えることができ
る。同様の動作を使用して、出口コンジット34の圧力を
約100キロパスカル（15psi）に戻すことができる。
すべてが単一の流体運搬コンジット36によって制御さ
れる複数のバルブ装置について、電位をそれぞれのバル
ブダイヤフラム22、24に印加して所望のバルブ位置を選
択的に維持またはラッチすることによって、圧力状態の
同様な変化を実施することができる。このようなバルブ
配置の一例を第13図に示す。各々が二個のバルブ20A、2
0Bを含み、各々がその結合されたバルブダイヤフラム2
2、24の個別の電気制御部を有する、三個のバルブ組立
て品18は、単一の三方ソレノイドバルブ68により空気圧
によって制御され、この三方ソレノイドバルブ68は、コ
ンジット70からの約140キロパスカル（20psi）の圧力信
号またはコンジット72からの真空度約68キロパスカル
（20インチHg）の圧力信号を、単一の分岐された流体運
搬コンジット36に送る。ソレノイドバルブ68とコンジッ
ト70、72は第一制御器14として作用する。適当な導体に
よって各バルブ組立て品18ごとの導電性材料の部片44
A、44Bに接続された電圧源は、第二制御器16を含む。バ
ルブ組立て品18の各々は共通の供給コンジット（図示せ
ず）に連結され、この共通の供給コンジット18は、真空
度約51キロパスカル（15インチHg）を三つの入口ポート
26に供給し、また約100キロパスカル（15psi）の圧力を
入口ポート30に供給する。バルブ組立て品18の静電およ
び空気圧制御の組合せは、三つの出口コンジット34に存
在する三つの独立に制御可能な出力圧を生じさせる。
またバルブダイヤフラム22および／または24を第一位
置または第二位置のいずれか、またはその両方に維持す
るために制御器16を使用できる構造もある。これは、流
体運搬コンジット36に存在する空気圧とは関係なく、関
連する静電気力と空気力の相対強さに応じて行うことが
できる。また別の構造では、空気力を、静電気力または
バイモルフすなわち形状記憶合金を通じて作用する熱的
な力で置き換えることができる。要するに、バルブダイ
ヤフラム22および／または24を第二位置から第一位置に
向けて動かすために使用される空気力の代りに、ハウジ
ング38とバルブダイヤフラム22および／または24の間の
十分に強い静電引力と組み合わされることもある、バル
ブダイヤフラム22および／または24に加えられる十分に
強い反発静電気力または熱的な力を、バルブダイヤフラ
ム22および／または24を第一位置から第二位置に向けて
動かすために使用することができる。この反対も可能で
ある。それから、このような例では、バルブダイヤフラ
ム22および／または24を、関連する静電状態または熱状
態に関係なく、第一位置または第二位置もしくはその両
方に維持するために使用することができる。これらの構
造では、第一制御器14と第二制御器16の組合せがバルブ
ダイヤフラム22、24の動く速度を増加させる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マグレガニー，メーラン アメリカ合衆国、オハイオ・44124、ペ パー・パイク、サウス・ウツドランド・ ロード・31100 (56)参考文献 特開 平５−302684（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−69519（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−208676（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−312271（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−108482（ＪＰ，Ａ) 実開 平６−32850（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−188674（ＪＰ，Ｕ) 米国特許5029805（ＵＳ，Ａ) 独国特許出願公開4418450（ＤＥ，Ａ １) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16K 7/00 F16K 31/00

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】第一可撓性部材を有する第一バルブと、 第二可撓性部材を有する第二バルブと、 第一可撓性部材及び第二可撓性部材の両方を流体連絡が
    可能になる第一位置と流体連絡が不可能になる第二位置
    との間で移動させるべく第一可撓性部材及び第二可撓性
    部材の両方と動作可能に接続された第一制御器と、 第一可撓性部材及び第二可撓性部材の一方を第一可撓性
    部材及び第二可撓性部材の他方の位置とは無関係に第二
    位置に保持すべく第一可撓性部材及び第二可撓性部材の
    夫々と動作可能に接続された第二制御器とを備えてお
    り、 第一制御器が、空気、流体、圧電、熱、弾性、電磁、又
    は水圧による力を供給し、 第二制御器が静電気力を供給する装置。
  2. 【請求項２】第一可撓性部材及び第二可撓性部材が導電
    性材料でできている請求の範囲第１項に記載の装置。
  3. 【請求項３】第二制御器は、第一可撓性部材及び第二可
    撓性部材の少なくとも一方と電気的に接続された電圧源
    である請求の範囲第２項に記載の装置。
  4. 【請求項４】第一可撓性部材を有する第一バルブと、第
    二可撓性部材を有する第二バルブと、第一可撓性部材及
    び第二可撓性部材の両方を流体連絡が可能になる第一位
    置と流体連絡が不可能になる第二位置との間で移動させ
    るべく第一可撓性部材及び第二可撓性部材の両方と動作
    可能に接続された第一制御器と、第一可撓性部材及び第
    二可撓性部材の一方を第一可撓性部材及び第二可撓性部
    材の他方の位置とは無関係に第二位置に保持すべく第一
    可撓性部材及び第二可撓性部材の夫々と動作可能に接続
    された第二制御器とを備える装置を制御する方法であっ
    て、 （ａ）第一制御器を使用して、第一可撓性部材及び第二
    可撓性部材を、これらの両方が流体連絡を可能ならしめ
    ないように、第二位置に移動させるステップと、 （ｂ）第二制御器を使用して、第一可撓性部材を第二位
    置に保持するステップと、 （ｃ）第一可撓性部材が流体連絡を不可能にしている
    間、第二可撓性部材が流体連絡を可能ならしめるよう
    に、第一制御器を使用して、第二可撓性部材を第一位置
    に移動させるステップとを備えている前記方法。
  5. 【請求項５】第一制御器が空気力を供給する請求の範囲
    第４項に記載の方法。
  6. 【請求項６】第二制御器が静電気力を供給する請求の範
    囲第４項又は第５項に記載の方法。
  7. 【請求項７】第一可撓性部材及び第二可撓性部材が導電
    性材料でできている請求の範囲第４項から第６項のいず
    れか一項に記載の方法。
  8. 【請求項８】第二制御器は、第一可撓性部材及び第二可
    撓性部材の少なくとも一方と電気的に接続された電圧源
    である請求の範囲第７項に記載の方法。
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