DE60034465T2 - Ein normalerweise geschlossenes einbaumikrorückschlagventil - Google Patents

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Description

  • Die US-Regierung besitzt bezahlte Lizenzrechte an der vorliegenden Erfindung sowie das Recht, unter bestimmten Umständen vom Patentinhaber zu verlangen, gemäß den Bedingungen von Grant Nr. SR01 RR06217-06 zu günstigen Konditionen Lizenzen an Andere zu vergeben.
  • TECHNISCHER BEREICH
  • Die vorliegende Erfindung betrifft Rückschlagventile in mikrofluidischen Systemen und spezieller ein kanalinternes Rückschlagventil.
  • HINTERGRUND
  • Mikropumpen sind Geräte, die kleine Fluidvolumen pumpen und ventilsteuern können. Es wurden zahlreiche Mikropumpen demonstriert, viele davon Membranpumpen mit Rückschlagventilen und piezoelektrischer Betätigung. Einige dieser Mikropumpen haben eine geringere Leistungsaufnahme und sinnvolle Strömungsraten demonstriert, aber es kann aufgrund des Fehlens eines guten kanalinternen Rückschlagventils für solche Mikropumpen zu einem außerhalb der Ebene liegenden Fluidstrom kommen.
  • Rückschlagventile sind passive Bauelemente, die für einen Fluidvorwärtsstrom geöffnet und für einen Fluidrückwärtsstrom geschlossen werden können. In mikrofluidischen Systemen können Rückschlagventile individuell in einem Kanal benutzt werden, um den Fluidstrom in einer bestimmten Richtung zu isolieren, oder sie können paarweise verwendet werden, um Fluidströme in Mikropumpen zu leiten.
  • Die EP 0 465 229 A1 beschreibt eine Mikropumpe und ein Verfahren zur Herstellung einer Mikropumpe. Die Mikropumpe umfasst ein Siliciumsubstrat, das zwischen zwei Glassubstraten sandwichartig eingeschlossen ist. Das Siliciumsubstrat ist mit einem Ventil mit einer Ventilmembran und einem Ventilelement zum Regeln des Fluidstroms durch ein Durchgangsloch in der Ventilmembran ausgebildet. Die US 5171132 beschreibt auch eine Mikropumpe. Die Mikropumpe dieses Dokumentes umfasst eine dünne Membranplatte, die zwischen einer Oberflächenplatte und einem Glassubstrat sandwichartig eingeschlossen ist. Die dünne Membranplatte hat ein Einlassventil und ein Auslassventil. Ein weiteres Dokument des Standes der Technik, die US 4826131 , beschreibt ein aus zwei Siliciumsubstraten geätztes elektrisch steuerbares Ventil.
  • Es kann vorteilhaft sein, ein kanalinternes Öffnungsrückschlagventil bereitzustellen, das auf einem Substrat mit anderen mikrofluidischen Systemkomponenten wie z.B. Mikropumpen und Kanälen gefertigt sein kann, um ein integriertes mikrofluidisches System zu bilden.
  • ZUSAMMENFASSUNG
  • Erfindungsgemäß wird ein Verfahren zur Herstellung eines Rückschlagventils bereitgestellt, das die folgenden Schritte beinhaltet: Auftragen einer ersten Polymerschicht auf ein Substrat; Auftragen einer Opferschicht, deren Gestalt einer Kammer auf der ersten Polymerschicht entspricht; Auftragen einer zweiten Polymerschicht auf die Opferschicht zum Bilden der Kammer; Bilden eines Ventilsitzes über der Kammer, wobei der genannte Ventilsitz eine Begrenzung mit einem Kontaktrand hat; Bilden einer Verschlusskappe auf der Kammer, wobei die genannte Verschlusskappe eine Begrenzung mit einem Verschlussrand hat, der die Kontaktränder des Ventilsitzes überlappt; Entfernen der Opferschicht; und Zusammendrücken der Kammer, um dadurch den Verschlussrand in Verschlusskontakt mit dem Kontaktrand zu ziehen.
  • Das Verfahren beinhaltet ferner vorzugsweise den Schritt des Erzeugens einer Öffnung in der Kammer. Der Schritt des Zusammendrückens der Kammer umfasst vorzugsweise das Ziehen eines Vakuums in der Kammer durch die Öffnung. Die erste und die zweite Polymerschicht umfassen vorzugsweise Parylene und der Schritt des Zusammendrückens der Kammer erfolgt als Reaktion auf eine Haftreibungskraft zwischen der genannten ersten und zweiten Polymerschicht.
  • Eine mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Rückschlagventilbaugruppe kann ein kanalinternes Rückschlagventil beinhalten, das zwischen dem vorderen und hinteren Abschnitt eines Kanals geschaltet ist. Das Rückschlagventil und der Kanal können beide an einem gemeinsamen Siliciumsubstrat angebracht sein. Der Kanal kann eine Breite zwischen etwa 10 μm und etwa 400 μm, das Rückschlagventil eine Breite zwischen etwa 50 μm und etwa 500 μm haben. Das Rückschlagventil kann allgemein kreisförmig sein. Das Rückschlagventil kann auch normal geschlossen sein, d.h. kann in Abwesenheit eines Druckdifferentials zwischen dem vorderen und dem hinteren Abschnitt des Kanals dichten.
  • Verschlusskappe und Ventilsitz können jeweils aus Polymermembranen mit einer Dicke von etwa 1 μm bis etwa 5 μm gebildet sein. Gemäß verschiedenen Ausgestaltungen kann das Polymer aus Parylene, Mylar, Polyurethan und Fluorsilikon ausgewählt werden. Der Ventilsitz kann eine Metallschicht aus Gold oder eine Mehrfachschicht aus Chrom und Gold beinhalten, um die Kontaktflächen des Ventilsitzes und die Verschlusskappe in der geschlossenen Position zu trennen. Die Metallschicht kann eine Dicke von mehreren hundert Ångström haben.
  • Das mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Rückschlagventil kann für Vorwärtsfluidströme öffnen, d.h. Drücke, die Fluidstrom vom vorderen zum hinteren Abschnitt des Kanals drücken. Das Rückschlagventil kann Fluidströmungsraten im Bereich von etwa 1 nl/min bis etwa 1 μl/min aufnehmen.
  • Eine oder mehrere Ausgestaltungen der Erfindung werden in den Begleitzeichnungen und der nachfolgenden Beschreibung im Einzelnen dargelegt. Weitere Merkmale, Aufgaben und Vorteile der Erfindung gehen aus der Beschreibung, den Zeichnungen sowie den Ansprüchen hervor.
  • BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1A–1B illustrieren eine Rückschlagventilbaugruppe mit einem kanalinternen Rückschlagventil in einem normal geschlossenen Zustand gemäß alternativen Ausgestaltungen.
  • 2A–2G illustrieren eine Reihe von Stufen in einem Verfahren zur Herstellung der Rückschlagventilbaugruppe von 1.
  • 3A–3D illustrieren eine Reihe von Stufen in dem Verfahren zum Bilden einer zusammengedrückten Kammer gemäß alternativen Ausgestaltungen.
  • 4 illustriert ein Paar Rückschlagventile in einem Kanal.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
  • Die 1A und 1B illustrieren ein kanalinternes Mikrorückschlagventil 100 gemäß alternativen Ausgestaltungen. Das Rückschlagventil 100 kann den Fluidstrom in einem Kanal 102 regulieren. Der Kanal 102 und das Rückschlagventil 100 können aus Polymermembranen auf einem Substrat 106 ausgebildet sein. Das Substrat kann aus einer Reihe von Materialien wie beispielsweise Silicium, Glas, Plastik und Aluminium ausgewählt werden.
  • Das Substrat 106 kann einen Einlass 108 zum Einleiten eines Fluids in einen vorderen Abschnitt 110 des Kanals und einen Auslass 112 zum Ausstoßen des Fluids aus einem hinteren Abschnitt 114 des Kanals 102 aufweisen. Eine Rückschlagventilbaugruppe 116 kann das Rückschlagventil 100, den Kanal 102 und das Substrat 106 beinhalten. Der vordere und der hintere Abschnitt des Kanals 102 können parallel zur Oberfläche des Substrats 106 verlaufen, wie in 1A dargestellt ist. Gemäß alternativen Ausgestaltungen kann/können der vordere Abschnitt 110 und/oder der hintere Abschnitt 114 des Kanals durch das Substrat in das Rückschlagventil 100 verlaufen, wie in 1B gezeigt ist.
  • Gemäß einer Ausgestaltung kann das Rückschlagventil 100 normal geschlossen sein, d.h. in Abwesenheit eines Druckdifferentials zwischen dem vorderen und dem hinteren Abschnitt des Kanals 102 dichten. Das Rückschlagventil 100 kann einen Fluidstrom vom vorderen Abschnitt 110 zum hinteren Abschnitt 114 des Kanals, d.h. einen Vorwärtsstrom, als Reaktion auf einen Vorwärtsdruck zulassen, der gleich oder höher ist als ein Schwellenvorwärtsdruck. Das Rückschlagventil 100 kann auch einen Gegenstrom vom hinteren Abschnitt 114 in Richtung auf den vorderen Abschnitt 100 des Kanals als Reaktion auf Rückwärtsdrücke bis zu einem Zusammenbruchrückstau verhüten. Beim Zusammenbruchrückstau kann das Rückschlagventil 100 katastrophal versagen, z.B. indem es sich vom Substrat 106 ablöst. Der Zusammenbruchrückstau kann erheblich höher sein als der Schwellendruck. So kann der Zusammenbruchrückstau beispielsweise etwa 40 psi, der Schwellendruck etwa 0,3 bis 3,5 psi betragen.
  • Das Rückschlagventil 100 kann allgemein kreisförmig sein und einen Ventilsitz 120 und eine Verschlusskappe 122 aufweisen. Für Vorwärtsdrücke unterhalb des Schwellendrucks und Gegendrücke unterhalb des Zusammenbruchrückstaudrucks kann der Umfangsrand der Verschlusskappe 122 den Ventilsitz 120 berühren und überlappen, so dass das Rückschlagventil 100 geschlossen ist und einen Fluidstrom zwischen dem vorderen und dem hinteren Abschnitt des Kanals 102 verhindert. Dieser Zustand ist in 1 dargestellt. Für Vorwärtsdrücke über dem und einschließlich des Schwellendruck(s) kann die Verschlusskappe 122 durch das Fluid vom Ventilsitz 120 weggedrückt werden, so dass das Ventil öffnet und Fluid vom vorderen Abschnitt 110 zum hinteren Abschnitt 114 des Kanals 102 strömen kann.
  • Die Umfangskontakt-(verschluss)-fläche des Ventilsitzes 120 und der Verschlusskappe 122 können durch eine Metallschicht 130 wie z.B. einen Goldfilm oder einen mehrschichtigen Film aus Gold und Chrom getrennt werden. Der Metallfilm 130 kann eine Haftreibungskraft zwischen den beiden Polymeroberflächen reduzieren. Die Verschlusskappe 122 kann von einem Schaft 132 getragen werden, der mit einer zusammengedrückten Kammer 134 am Boden des Rückschlagventils 100 verbunden ist.
  • Die Abmessungen des Ventilsitzes 120 und der Verschlusskappe 122 können von der Breite des Kanals 102 abhängig sein. Gemäß verschiedenen Ausgestaltungen kann der Kanal 102 eine Breite von etwa 100 μm bis etwa 400 μm haben. Im Allgemeinen können die Durchmesser des Ventilsitzes 120 und der Verschlusskappe 122 etwa 50 μm bis etwa 100 μm größer sein als die Kanalbreite.
  • Das Rückschlagventil 100 kann zum Regulieren von Fluiden bei geringen Durchflussmengen von beispielsweise etwa 5 nl/min bis 1 μl/min geeignet sein. Das Rückschlagventil 100 kann Fluide in unterschiedlichen Phasen regulieren, einschließlich Gase, Flüssigkeiten und Gas/Flüssigkeitsgemische.
  • Gemäß einer Ausgestaltung kann das Rückschlagventil 100 auf dem Substrat 106 mit Fertigungstechniken ähnlich denen ausgebildet sein, die zum Fertigen elektronischer Bauelemente in Silicium angewendet werden. So kann z.B. eine Reihe von Rückschlagventilbaugruppen 116 gleichzeitig auf einem Siliciumwafer ausgebildet sein, der dann zum Trennen der einzelnen Baugruppen 116 vereinzelt werden kann. Die 2A–2G illustrieren Stufen in einem beispielhaften Fertigungsprozess.
  • Eine 1,5 μm dicke Siliciumdioxidschicht kann auf einer Vorderseite und einer Rückseite eines Siliciumwafers bei 1050°C thermisch aufwachsen gelassen werden. Die Siliciumdioxidschicht auf der Rückseite des Wafers kann mit gepufferter Fluorwasserstoffsäure (BHF) strukturiert und geätzt werden, um Siliciumoberflächenbereiche zu exponieren, die dem Einlass 108 und dem Auslass 112 entsprechen. Eine Fotoresistschicht kann auf der Vorderseite des Wafers vorgesehen werden, um die Siliciumdioxidschicht auf dieser Fläche vor dem Ätzmittel zu schützen.
  • Der Wafer kann in Kaliumhydroxid (KOR) eingetaucht werden, um Einlass 108 und Auslass 112 wegzuätzen, bis eine etwa 10 μm dicke Siliciummembran 200 zwischen der Oberseite des Ein-/Auslasses und der Vorderseite des Wafers zurückbleibt. Die Siliciumdioxidschicht auf der Vorderseite des Wafers kann mit einer BHF-Ätzung, gefolgt von einer dreiminütigen BrF3-Gasphasenätzung zum Aufrauen der Vorderseite beseitigt werden. Der Wafer kann dann nach einer Alkoholspülung von fünfzehn bis dreißig Sekunden zwanzig Minuten lang in einen Haftverbesserer eingetaucht werden, z.B. eine 0,5%ige Lösung eines Haftverbesserers des Typs A-174, der von Speciality Coating Services, Inc. aus Indianapolis, IN, erhältlich ist.
  • Eine 1 μm dicke Mehrfachschicht 202 kann auf der Vorderseite des Wafers wie in 2A gezeigt ausgebildet werden. Das Polymer kann ein Polymer sein, das von Speciality Coating Services, Inc. erhältlich ist und unter dem Handelsnamen Parylene verkauft wird. Ein Vorteil von Parylene ist die Tatsache, dass es mit einem CVD-(chemische Aufdampfung)-Prozess abgesetzt werden kann. Es können auch andere Parylene-Typen für die Polymerschicht geeignet sein, wie z.B. Parylene C, Parylene D und Parylene N. Andere geeignete Materialien für die Polymerschicht 202 und andere Polymerschichten im Rückschlagventil 100 können z.B. Mylar®, Polyurethan, Fluorsilikon und Fluorpolymere wie Polytetrafluorethylen (PTFE) beinhalten. Die Polymerschichten können aufgedampft, schleuderbeschichtet, laminiert oder auf andere Weise abgesetzt werden.
  • Eine Fotoresist-Opferschicht 204 kann auf die Vorderseite des Wafers schleuderbeschichtet und strukturiert werden und die Geometrie der Kammer 134 in einem unzusammengedrückten Zustand bilden. Die Fotoresistschicht kann eine 4 μm dicke Schicht aus einem Fotoresist des Typs AZ4400 und eine 1,5 μm dicke Schicht aus einem Fotoresist des Typs AZ1518 beinhalten, die beide von Hoechst Celanese Corporation aus Somerville in NJ erhältlich sind. Der Wafer kann bei etwa 120°C gehärtet werden, gefolgt vom Absetzen einer 1 μm dicken Parylene C Schicht 205.
  • Nach dem Strukturieren der Parylene C Schicht 205 mit einem Sauerstoffplasma kann eine 5 μm dicke Fotoresistschicht (AZ4400) schleuderbeschichtet und strukturiert werden, um eine Fotoresist-Opferschicht 206 für den Kanal 102 zu bilden, wie in 2B zu sehen ist. Als Nächstes kann eine 3 bis 4 μm dicke Parylene C Schicht 208 abgesetzt werden. Diese Parylene C Schicht 208 entspricht dem Kanal 102 und dem Ventilsitz 120 im Rückschlagventil 100.
  • Gemäß einer Ausgestaltung beträgt der berechnete Schwellendruck, d.h. der Vorwärtsdruck, der zum Abheben der Verschlusskappe 122 vom Ventilsitz 120 nötig ist, etwa 0,3 psi. Es wurde jedoch entdeckt, dass eine starke Haftreibungskraft zwischen den Parylene-Flächen der Verschlusskappe 122 und dem Ventilsitz 120 vorliegen kann. So kann beispielsweise selbst bei einer Kontaktringfläche mit einer Breite von weniger als 10 μm ein Vorwärtsdruck von etwa 35 psi notwendig sein, um die Haftreibungskraft zwischen der Verschlusskappe 122 und dem Ventilsitz 120 zu überwinden und das Rückschlagventil 100 zu öffnen. Zum Reduzieren dieser Haftreibungskraft können eine oder beide Parylene C Kontaktfläche(n) chemisch und physikalisch modifiziert werden.
  • Die Parylene C Fläche des Ventilsitzes 120 kann durch Aufrauen der Parylene C Schicht 208 in Sauerstoffplasma für ein paar Minuten chemisch modifiziert werden. Die Kontaktfläche kann durch Verdampfen von ein paar hundert Ångström Gold oder einer Mehrfachschicht aus Chrom und Gold zum Bilden der Metallschicht 130 auf dem Ventilsitz 120 wie in 2B gezeigt physikalisch modifiziert werden. Gemäß einer Ausgestaltung kann die Metallschicht 130 ein mehrschichtiger Film aus 100 Å Cr und 500 Å Au sein. Eine Monoschicht aus einem Alkanthiol kann ebenfalls auf einer Goldschicht 130 abgesetzt werden, um die Goldfläche hydrophober zu machen.
  • Eine 2 μm dicke Fotoresist-Opferschicht 210 (AZ4400) für die Verschlusskappe 122 kann über dem Ventilsitz 120 und der Metallschicht 130 schleuderbeschichtet und strukturiert werden, wie in 2C zu sehen ist. Nach dem Härten der Fotoresistschicht 210 kann eine 1 μm dicke Parylene C Schicht auf die Fotoresistschicht 210 abgesetzt und in einem Sauerstoffplasma zum Bilden der Verschlusskappe 122 wie in 2D gezeigt strukturiert werden.
  • Eine 6 μm dicke Fotoresist-Opferschicht 212 (AZ4400) kann über der Verschlusskappe 122 schleuderbeschichtet und strukturiert und gehärtet werden. Eine 3 μm dicke Parylene C Schicht kann über der Fotoresistschicht 212 abgesetzt werden, um eine obere Abdeckmembran 220 für das Rückschlagventil 100 und den Kanal 102 zu bilden, wie in 2E zu sehen ist.
  • Die im Einlass 108 und im Auslass 112 verbleibende dünne Silicummembran 200 kann mit BrF3 von der Rückseite des Wafers weggeätzt werden, um die Fotoresistschichten 204, 206, 210 und 212 zu exponieren. Nach dem Vereinzeln des Wafers kann wie in 2F gezeigt ein die Rückschlagventilbaugruppe 116 enthaltender Chip in Aceton bei Raumtemperatur für 10 Stunden oder mehr eingetaucht werden, um die Fotoresistschichten zu entfernen.
  • Eine 3 μm dicke Parylene C Schicht 230 kann dann über der Rückschlagventilbaugruppe 116 abgesetzt werden. In diesem Zustand kann die Höhe h1 der Kammer 134 etwa 5 μm betragen und die Lücke h2 zwischen der Verschlusskappe 122 und dem Metallring 130 kann etwa 3 μm betragen. Aufgrund des relativ geringen Youngschen Moduls von etwa 3 GPa von Parylene C kann die Kammer 134 relativ leicht zusammengedrückt werden.
  • Mit der zusammengedrückten Kammer 134 (siehe 2G) wird der Umfangsverschlussbereich der Verschlusskappe 122 gegen den Metallring 130 auf dem Ventilsitz 120 gepresst. Dadurch wird das Rückschlagventil 100 verschlossen und in die normal geschlossene Position vorgespannt. Das Verschließen kann in Anwesenheit von in der zusammengedrückten Kammer 134 beobachteten Newton-Ringen verifiziert werden.
  • Die 3A–3D illustrieren Stufen in einem beispielhaften Verfahren zum Fertigen und Zusammendrücken der Kammer 134. Die Opferschicht 204 für die Kammer 134 kann zwei Opferschichten beinhalten. Eine untere Schicht 302 kann eine Metall- oder Fotoresistschicht, die der Form einer Auslasskammer 304 für die Kammer 134 entspricht, und eine obere Schicht 306 sein, die der Form des Körpers der Kammer 134 entspricht. Die Parylene C Schicht 205 kann abgesetzt und gehärtet und dann strukturiert und geätzt werden, um einen Auslass 308 in der Auslasskammer 304 zu bilden, wie in 3A dargestellt ist. Die Opferschichten 302 und 304 können mit Aceton entfernt werden, wie in 3B zu sehen ist. Je nach der Geometrie der Kammer 134 kann diese aufgrund von inhärenten Haftreibungskräften zwischen den Parylene C Schichten 202 und 205 wie in 3C gezeigt automatisch zusammengedrückt werden. Ein solches automatisches Zusammendrücken kann für eine Kammer mit einem Durchmesser von mehr als etwa 150 μm und Parylene-Schichtdicken 204 von etwa 1 μm erfolgen. Die Kammer 134 kann auch durch Ziehen eines Vakuums in der Kammer zusammengedrückt werden, um ein Druckdifferential von etwa 1 atm zwischen der Kammer 134 und dem Kanal 102 bei Raumtemperatur zu erzeugen. Gemäß einer alternativen Ausgestaltung kann die Kammer 134 zum Absetzen einer anderen Parylene-Schicht 310 auf der Parylene-Schicht 205 zusammengedrückt werden.
  • Gemäß einer Ausgestaltung kann das Rückschlagventil 100 nach der Ausführung der oben beschriebenen Fertigungsschritte vom Substrat 106 entfert werden.
  • 4 illustriert ein Paar Rückschlagventile 400 in einem Kanal 402 gemäß einer Ausgestaltung. Eine Vakuumöffnung 404 kann zwischen den beiden Rückschlagventilen 400 vorgesehen werden. Die Vakuumöffnung 404 kann mit der Kammer 134 jedes Rückschlagventils 400 durch einen T-förmigen Kanal 406 verbunden werden. Die Kammern 134 können durch Ausziehen von Luft in den Kammern 134 durch die Vakuumöffnung und anschließendes Verschließen der Öffnung 404 zusammengedrückt werden.
  • Das Rückschlagventil 100 gemäß verschiedenen Ausgestaltungen ist für den Einsatz in kompakten fluidischen Systemen vorgesehen, die das Mischen und Zuführen von Fluiden in kleinen Volumen handhaben können. So kann beispielsweise eine Reihe von mikrofluidischen Systemkomponenten wie z.B. Rückschlagventile, Kanäle und Mikropumpen kombiniert werden, um einen relativ komplexen Bench-Prozess auf einem Modul des Kartentyps zu reproduzieren. Ein solches Modul des Kartentyps kann zur Verarbeitung biologischer Proben verwendet werden und kann wegwerfbar sein.
  • Es wurde eine Reihe von Ausgestaltungen der Erfindung beschrieben. Es ist jedoch zu verstehen, dass verschiedene Modifikationen, die nicht ausdrücklich beschrieben wurden, vorgenommen werden können.

Claims (4)

  1. Verfahren zur Herstellung eines Rückschlagventils (100), das die folgenden Schritte beinhaltet: Auftragen einer ersten Polymerschicht (202) auf ein Substrat (106); Auftragen einer Opferschicht (204), deren Gestalt einer Kammer (134) auf der ersten Polymerschicht (202) entspricht; Auftragen einer zweiten Polymerschicht (205) auf die Opferschicht (204) zum Bilden der Kammer (134); Bilden eines Ventilsitzes (120) über der Kammer, wobei der genannte Ventilsitz (120) eine Begrenzung mit einem Kontaktrand hat; Bilden einer Verschlusskappe (122) auf der Kammer, wobei die genannte Verschlusskappe (122) eine Begrenzung mit einem Verschlussrand hat, der die Kontaktränder des Ventilsitzes (120) überlappt; Entfernen der Opferschicht (204); und Zusammendrücken der Kammer (134), um dadurch den Verschlussrand in Verschlusskontakt mit dem Kontaktrand zu ziehen.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, das ferner das Erzeugen einer Öffnung (308) in der Kammer (134) beinhaltet.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei das genannte Zusammendrücken der Kammer (134) das Ziehen eines Vakuums in der Kammer durch die Öffnung (308) beinhaltet.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die erste (202) und die zweite (205) Polymerschicht Parylene umfassen und wobei das genannte Zusammendrücken der Kammer (134) als Reaktion auf eine Haftreibungskraft zwischen der genannten ersten (202) und zweiten (205) Polymerschicht erfolgt.
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