JP3268033B2 - アクチュエータ - Google Patents
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- JP3268033B2 JP3268033B2 JP30510092A JP30510092A JP3268033B2 JP 3268033 B2 JP3268033 B2 JP 3268033B2 JP 30510092 A JP30510092 A JP 30510092A JP 30510092 A JP30510092 A JP 30510092A JP 3268033 B2 JP3268033 B2 JP 3268033B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ボイスコイルモータ
型のリニアアクチュエータに係り、磁気回路部及びコイ
ル部を一体化し、精密位置決め装置、油圧及び空圧バル
ブのＮＣ制御装置、ロボット腕、組立て装置等の種々の
用途に利用できる小型高性能アクチュエータに関する。
型のリニアアクチュエータに係り、磁気回路部及びコイ
ル部を一体化し、精密位置決め装置、油圧及び空圧バル
ブのＮＣ制御装置、ロボット腕、組立て装置等の種々の
用途に利用できる小型高性能アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】ボイスコイルモータ（Ｖｏｉｃｅ Ｃｏ
ｉｌ Ｍｏｔｏｒ）は、磁石が作る磁界の中で可動コイ
ル部のみが動くモータであり、可動線輪型とも呼ばれる
タイプで、一般的な回転型モータで直線運動させる場合
に必要な回転運動を直線運動に変換する機構が不要なリ
ニアモータである。
ｉｌ Ｍｏｔｏｒ）は、磁石が作る磁界の中で可動コイ
ル部のみが動くモータであり、可動線輪型とも呼ばれる
タイプで、一般的な回転型モータで直線運動させる場合
に必要な回転運動を直線運動に変換する機構が不要なリ
ニアモータである。
【０００３】ボイスコイルモータは、可動部がコイル及
びそれを支持するボビンで構成されており軽量であるこ
と、強力な磁界の中を可動コイル部だけが直線運動する
ことから、軸出力速度が極めて速いことが特徴であり、
また、ボイスコイルモータの制御にはクローズドループ
方式が必要で、ステッピングモータ等のオープンループ
方式に比べ、制御系が若干複雑になるが、出力は入力電
流に完全に比例し精密な制御が可能であること、コイル
インダクタンスが小さく電気的応答にすぐれているこ
と、コギング、トルクリップルがなく円滑な制御が可能
なことなど多くの利点がある。かかるボイスコイルモー
タは、従来、主としてハードディスクドライブ（ＨＤ
Ｄ）装置のヘッド位置決め用に用いられてきた。
びそれを支持するボビンで構成されており軽量であるこ
と、強力な磁界の中を可動コイル部だけが直線運動する
ことから、軸出力速度が極めて速いことが特徴であり、
また、ボイスコイルモータの制御にはクローズドループ
方式が必要で、ステッピングモータ等のオープンループ
方式に比べ、制御系が若干複雑になるが、出力は入力電
流に完全に比例し精密な制御が可能であること、コイル
インダクタンスが小さく電気的応答にすぐれているこ
と、コギング、トルクリップルがなく円滑な制御が可能
なことなど多くの利点がある。かかるボイスコイルモー
タは、従来、主としてハードディスクドライブ（ＨＤ
Ｄ）装置のヘッド位置決め用に用いられてきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は先に、上記
のようなボイスコイルモータの特長、利点を種々の産業
分野で容易に適用できるボイスコイル型リニアアクチュ
エータの開発を行った結果、図３に示すような、外径の
異なる一対の円筒材２１，２２を同軸配置して一端部を
導通可能に接続し、一対のエンドプレート２０，２０間
に配置し、ヨーク部材の外側円筒材２１内周面に円筒状
の永久磁石２３を着設した所要空隙内に静磁界を発生さ
せる磁気回路と、該空隙内に配置される可動コイル２５
とをかかるフレーム内に配設し、エンドプレート２０，
２０に直動可能に軸支された出力軸２６と可動コイル２
５をボビン２４により接続一体化した構成のアクチュエ
ータを完成した。（特開平４−１０１６５７号）
のようなボイスコイルモータの特長、利点を種々の産業
分野で容易に適用できるボイスコイル型リニアアクチュ
エータの開発を行った結果、図３に示すような、外径の
異なる一対の円筒材２１，２２を同軸配置して一端部を
導通可能に接続し、一対のエンドプレート２０，２０間
に配置し、ヨーク部材の外側円筒材２１内周面に円筒状
の永久磁石２３を着設した所要空隙内に静磁界を発生さ
せる磁気回路と、該空隙内に配置される可動コイル２５
とをかかるフレーム内に配設し、エンドプレート２０，
２０に直動可能に軸支された出力軸２６と可動コイル２
５をボビン２４により接続一体化した構成のアクチュエ
ータを完成した。（特開平４−１０１６５７号）
【０００５】また、上記発明は、磁気回路部と可動コイ
ル部とを軸受を介して所要フレーム内に一体化し、さら
に可動コイル２５と一体化された出力軸２６の一方端
に、可動コイルの移動位置を確認するための、例えば差
動トランス、エンコーダ等の位置センサー、あるいは可
動コイルの移動速度を確認するための速度センサーを該
フレームに一体化し、上記出力軸の他方端には制御対象
物、例えば油圧バルブ等を接続したことを特徴とするア
クチュエータである。
ル部とを軸受を介して所要フレーム内に一体化し、さら
に可動コイル２５と一体化された出力軸２６の一方端
に、可動コイルの移動位置を確認するための、例えば差
動トランス、エンコーダ等の位置センサー、あるいは可
動コイルの移動速度を確認するための速度センサーを該
フレームに一体化し、上記出力軸の他方端には制御対象
物、例えば油圧バルブ等を接続したことを特徴とするア
クチュエータである。
【０００６】この構成のアクチュエータは、高速かつ高
精度に位置決めすることができ、精密位置決め装置、油
圧及び空圧バルブのＮＣ制御装置、ロポット腕、組立て
装置等の様々な用途に利用できる。しかし、近年さらに
小型、高出力であり、さらに高精度の出力軸の制御が可
能なリニアアクチュエータが求められている。
精度に位置決めすることができ、精密位置決め装置、油
圧及び空圧バルブのＮＣ制御装置、ロポット腕、組立て
装置等の様々な用途に利用できる。しかし、近年さらに
小型、高出力であり、さらに高精度の出力軸の制御が可
能なリニアアクチュエータが求められている。
【０００７】この発明は、ボイスコイル型リニアアクチ
ュエータにおいて、高精度の出力軸の制御が可能で、小
型、高出力を達成したリニアアクチュエータの提供を目
的としている。
ュエータにおいて、高精度の出力軸の制御が可能で、小
型、高出力を達成したリニアアクチュエータの提供を目
的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は、所定の空隙
を形成して同磁極を対向配置しかつ空隙側端面に磁極片
を固着した一対のリング状永久磁石と、前記永久磁石
を、各永久磁石の他方端面に配置する一対の盤状サイド
ヨーク部とこれらサイドヨークを接続一体化する筒状ヨ
ーク部にて内蔵配置するヨーク部と、前記永久磁石の軸
方向にサイドヨーク部を貫通して直動可能に配置する出
力軸と、前記筒状ヨーク部の内周面と前記一対の磁極片
外周面との間に配置し、磁極片外周に外装する可動コイ
ルと、前記出力軸と可動コイルとを接続し、前記一対の
磁極片間に形成される空隙内に配置するコイル支持体と
を有することを特徴とするアクチュエータである。
を形成して同磁極を対向配置しかつ空隙側端面に磁極片
を固着した一対のリング状永久磁石と、前記永久磁石
を、各永久磁石の他方端面に配置する一対の盤状サイド
ヨーク部とこれらサイドヨークを接続一体化する筒状ヨ
ーク部にて内蔵配置するヨーク部と、前記永久磁石の軸
方向にサイドヨーク部を貫通して直動可能に配置する出
力軸と、前記筒状ヨーク部の内周面と前記一対の磁極片
外周面との間に配置し、磁極片外周に外装する可動コイ
ルと、前記出力軸と可動コイルとを接続し、前記一対の
磁極片間に形成される空隙内に配置するコイル支持体と
を有することを特徴とするアクチュエータである。
【０００９】この発明は、種々の産業機器に適用できる
小型で高出力のボイスコイル型アクチュエータとして、
一対の永久磁石をいわゆる内磁型スピーカーの構成のよ
うに、同磁極を対向配置させた構成とすることにより、
かつ可動コイルを筒状ヨーク部と磁極片外周端面との間
に配置し磁極片外周に外装する構成とすることにより、
磁石断面積を増すとともに、磁気回路外への磁束の漏れ
を少なくし、空隙の磁束密度を効率よく向上させること
が可能である。
小型で高出力のボイスコイル型アクチュエータとして、
一対の永久磁石をいわゆる内磁型スピーカーの構成のよ
うに、同磁極を対向配置させた構成とすることにより、
かつ可動コイルを筒状ヨーク部と磁極片外周端面との間
に配置し磁極片外周に外装する構成とすることにより、
磁石断面積を増すとともに、磁気回路外への磁束の漏れ
を少なくし、空隙の磁束密度を効率よく向上させること
が可能である。
【００１０】また、この発明において、例えば可動コイ
ルとヨーク中央部において軸方向に直動可能に配置する
出力軸とを接続一体化するコイル支持体が、一対の永久
磁石の空隙対向磁極面に固着された磁極片間に配置され
るような構成とすることにより、図3の従来装置ではボ
ビン24内にヨークの一部である内側円筒材22を通し、出
力軸26を受けるための支持部を有する等、複雑な構成と
なっていたが、この発明ではコイル支持体及びヨークの
構成が簡素化され、装置全体の構成が単純化でき、製造
を容易にすることができる。
ルとヨーク中央部において軸方向に直動可能に配置する
出力軸とを接続一体化するコイル支持体が、一対の永久
磁石の空隙対向磁極面に固着された磁極片間に配置され
るような構成とすることにより、図3の従来装置ではボ
ビン24内にヨークの一部である内側円筒材22を通し、出
力軸26を受けるための支持部を有する等、複雑な構成と
なっていたが、この発明ではコイル支持体及びヨークの
構成が簡素化され、装置全体の構成が単純化でき、製造
を容易にすることができる。
【００１１】さらに、この発明の構成は、従来装置に比
べヨークの長さを短縮でき、磁気回路からの磁束を効率
よく利用でき、さらに、出力軸の移動範囲を一対の磁極
片間に形成された所要の空隙内としたため、装置が大幅
に小型化した。
べヨークの長さを短縮でき、磁気回路からの磁束を効率
よく利用でき、さらに、出力軸の移動範囲を一対の磁極
片間に形成された所要の空隙内としたため、装置が大幅
に小型化した。
【００１２】この発明のアクチュエータは、可動コイル
と接続一体化された出力軸の一方端に、可動コイルの移
動位置を確認するための、例えば差動トランス、エンコ
ーダ等の位置センサー、あるいは可動コイルの移動速度
を確認するための速度センサーを配設することにより、
装置の高精度化を図ることができる。また、上記出力軸
の他方端には制御対象物、たとえば油圧バルブ等を接続
してもよい。また、制御対象物の作動状況を確認するセ
ンサーを付設してこの信号に基づいて出力軸を制御する
こともできる。
と接続一体化された出力軸の一方端に、可動コイルの移
動位置を確認するための、例えば差動トランス、エンコ
ーダ等の位置センサー、あるいは可動コイルの移動速度
を確認するための速度センサーを配設することにより、
装置の高精度化を図ることができる。また、上記出力軸
の他方端には制御対象物、たとえば油圧バルブ等を接続
してもよい。また、制御対象物の作動状況を確認するセ
ンサーを付設してこの信号に基づいて出力軸を制御する
こともできる。
【００１３】制御対象物には、ＨＤＤ装置は勿論のこ
と、工作物、測定物などの精密位置決め装置、油圧及び
空圧バルブ等のＮＣ制御装置、組立てラインの組立て装
置、ロボット腕、ボンディング装置等の種々の用途に応
じて、アクチュエータの可動部質量、ストローク、コイ
ル、永久磁石等を種々選定することにより、いずれのも
のにも適用利用できる。
と、工作物、測定物などの精密位置決め装置、油圧及び
空圧バルブ等のＮＣ制御装置、組立てラインの組立て装
置、ロボット腕、ボンディング装置等の種々の用途に応
じて、アクチュエータの可動部質量、ストローク、コイ
ル、永久磁石等を種々選定することにより、いずれのも
のにも適用利用できる。
【００１４】
【作用】この発明によるアクチュエータの作用を図面に
基づいて詳述する。図１のＡはこの発明によるアクチュ
エータの一実施例を示す一部縦断説明図であり、同Ｂは
同ＡにおけるＸ−Ｙ縦断面説明図である。
基づいて詳述する。図１のＡはこの発明によるアクチュ
エータの一実施例を示す一部縦断説明図であり、同Ｂは
同ＡにおけるＸ−Ｙ縦断面説明図である。
【００１５】所定の空隙1を形成して一対のリング状永
久磁石2が対向配置され、該リング状永久磁石2の空隙側
端面にはリング状の磁極片3が固着される。該リング状
永久磁石2の他方端面には一対の盤状サイドヨーク部4,4
が固着され、該サイドヨーク部4,4は円筒状の筒状ヨー
ク部5にて接続一体化される。
久磁石2が対向配置され、該リング状永久磁石2の空隙側
端面にはリング状の磁極片3が固着される。該リング状
永久磁石2の他方端面には一対の盤状サイドヨーク部4,4
が固着され、該サイドヨーク部4,4は円筒状の筒状ヨー
ク部5にて接続一体化される。
【００１６】つまり、リング状永久磁石2及びリング状
の磁極片3を盤状サイドヨーク部4,4と筒状ヨーク部5に
て包囲された構成することにより、リング状永久磁石2
からの漏洩磁束を低減することができる。盤状サイドヨ
ーク部4,4と筒状ヨーク部5からなるヨークの構成は、磁
界発生源を包囲し、磁極片3外周端面と筒状ヨーク部5内
周面間に静磁界を発生するよう、組立て作業性を考慮し
適宜選定できる。
の磁極片3を盤状サイドヨーク部4,4と筒状ヨーク部5に
て包囲された構成することにより、リング状永久磁石2
からの漏洩磁束を低減することができる。盤状サイドヨ
ーク部4,4と筒状ヨーク部5からなるヨークの構成は、磁
界発生源を包囲し、磁極片3外周端面と筒状ヨーク部5内
周面間に静磁界を発生するよう、組立て作業性を考慮し
適宜選定できる。
【００１７】可動コイル６は該筒状ヨーク部５と前記磁
極片３，３の外周端面との間の静磁界内に位置し、磁極
片３，３の外周面に外装して配置してあり、また、一対
のリング状永久磁石２，２の中心軸方向に盤状サイドヨ
ーク部４，４を貫通して軸受９を介して直動可能に出力
軸８を配置してあり、さらに円盤状のコイル支持体７を
空隙１内に配置して上記出力軸８と可動コイル６とを接
続一体化してある。従って、出力軸８は空隙１内のコイ
ル支持体７の移動範囲内で直動可能となる。コイル支持
体７は非磁性体からなり、空隙１内に配置できればいず
れの形状でも良く、また出力軸８も非磁性体からなり、
アクチュエータの用途に応じて種々の形状を採用するこ
とができる。従って、出力軸８も上記の如く、リング状
永久磁石２，２の中心軸方向にサイドヨーク部４，４を
貫通して配置するほか、任意の軸方向に配置することが
できる。サイドヨーク部の出力軸対向面に配置され、出
力軸の往復動を円滑にする軸受９は、どのような構成で
も良いが、従来からあるリニアボールベアリング、含油
メタル軸受等種々の構成が選択できる。
極片３，３の外周端面との間の静磁界内に位置し、磁極
片３，３の外周面に外装して配置してあり、また、一対
のリング状永久磁石２，２の中心軸方向に盤状サイドヨ
ーク部４，４を貫通して軸受９を介して直動可能に出力
軸８を配置してあり、さらに円盤状のコイル支持体７を
空隙１内に配置して上記出力軸８と可動コイル６とを接
続一体化してある。従って、出力軸８は空隙１内のコイ
ル支持体７の移動範囲内で直動可能となる。コイル支持
体７は非磁性体からなり、空隙１内に配置できればいず
れの形状でも良く、また出力軸８も非磁性体からなり、
アクチュエータの用途に応じて種々の形状を採用するこ
とができる。従って、出力軸８も上記の如く、リング状
永久磁石２，２の中心軸方向にサイドヨーク部４，４を
貫通して配置するほか、任意の軸方向に配置することが
できる。サイドヨーク部の出力軸対向面に配置され、出
力軸の往復動を円滑にする軸受９は、どのような構成で
も良いが、従来からあるリニアボールベアリング、含油
メタル軸受等種々の構成が選択できる。
【００１８】可動コイル６は、筒状ヨーク部５の内周面
と前記磁極片外周端面との間の静磁界の発生する位置
で、磁極片３，３に外装しており、コイル支持体７を介
して出力軸８に接続される構成となっている。リード線
１０を介して可動コイル６に給電されると、可動コイル
６に軸方向に推力が発生し、コイル支持体７を介して出
力軸８に伝えられる。可動コイル６に通電するリード線
１０は、可動コイル６からコイル支持体７に沿ってヨー
ク中心部に導かれ、出力軸８の切欠部を通してヨーク中
心部では出力軸８の中空部を通り、装置外部へ通じてい
る。可動コイル６に給電するリード線１０は、コイル支
持体７に導かれ中空の出力軸８内を通って装置外部へ出
されているため、可動コイル及びコイル支持体７が回転
しても、従来のアクチュエータのように、リード線が切
れたり曲がったりすることがなく、またそれを防止する
ための手段も不要であるため、給電部の構造が簡素化さ
れ、アクチュエータの信頼性が高くなる。
と前記磁極片外周端面との間の静磁界の発生する位置
で、磁極片３，３に外装しており、コイル支持体７を介
して出力軸８に接続される構成となっている。リード線
１０を介して可動コイル６に給電されると、可動コイル
６に軸方向に推力が発生し、コイル支持体７を介して出
力軸８に伝えられる。可動コイル６に通電するリード線
１０は、可動コイル６からコイル支持体７に沿ってヨー
ク中心部に導かれ、出力軸８の切欠部を通してヨーク中
心部では出力軸８の中空部を通り、装置外部へ通じてい
る。可動コイル６に給電するリード線１０は、コイル支
持体７に導かれ中空の出力軸８内を通って装置外部へ出
されているため、可動コイル及びコイル支持体７が回転
しても、従来のアクチュエータのように、リード線が切
れたり曲がったりすることがなく、またそれを防止する
ための手段も不要であるため、給電部の構造が簡素化さ
れ、アクチュエータの信頼性が高くなる。
【００１９】このアクチュエータの磁界発生源となる一
対のリング状永久磁石２には、フェライト磁石、アルニ
コ系磁石、希土類コバルト系磁石が使用できるが、特
に、ＲとしてＮｄやＰｒを中心とする資源的に豊富な軽
希土類を用い、Ｂ、Ｆｅを主成分として３０ＭＧＯｅ以
上の極めて高いエネルギー積を示す、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系永
久磁石を使用することにより、著しく小型化、高出力化
することができる。リング状永久磁石２は必ずしも一体
物である必要はなく、複数の永久磁石ブロックを軸方向
に積層したもの、複数の弓形永久磁石を組み合わせたも
のなど、適宜選定される。永久磁石２の配置を、内磁型
スピーカタイプのような構成とすることにより、サイド
ヨーク内面全体を有効に使うことが可能である。
対のリング状永久磁石２には、フェライト磁石、アルニ
コ系磁石、希土類コバルト系磁石が使用できるが、特
に、ＲとしてＮｄやＰｒを中心とする資源的に豊富な軽
希土類を用い、Ｂ、Ｆｅを主成分として３０ＭＧＯｅ以
上の極めて高いエネルギー積を示す、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系永
久磁石を使用することにより、著しく小型化、高出力化
することができる。リング状永久磁石２は必ずしも一体
物である必要はなく、複数の永久磁石ブロックを軸方向
に積層したもの、複数の弓形永久磁石を組み合わせたも
のなど、適宜選定される。永久磁石２の配置を、内磁型
スピーカタイプのような構成とすることにより、サイド
ヨーク内面全体を有効に使うことが可能である。
【００２０】一対のリング状永久磁石２に固着される磁
極片３の寸法は、リング状永久磁石２と同程度の寸法で
良く、永久磁石２の寸法、材質に合わせて適宜選定する
が、図２に示すように、コイル支持体７の軸方向厚み及
び可動コイル６の移動範囲、すなわち出力軸８の移動範
囲を考慮して、可動コイル対向面を永久磁石２の方向へ
延長した構成とすることもできる。
極片３の寸法は、リング状永久磁石２と同程度の寸法で
良く、永久磁石２の寸法、材質に合わせて適宜選定する
が、図２に示すように、コイル支持体７の軸方向厚み及
び可動コイル６の移動範囲、すなわち出力軸８の移動範
囲を考慮して、可動コイル対向面を永久磁石２の方向へ
延長した構成とすることもできる。
【００２１】装置は盤状サイドヨーク部４，４及び筒状
ヨーク部５により密封された構成となっているが、図１
のＡに示すように、円盤状のコイル支持体７側面に１個
または２個以上の孔１１を開けることにより、コイル支
持体７が軸方向に往復動する際に空気の抵抗を避けるこ
とができ、運動がスムーズに行われる。また、孔１１を
開けることにより、装置を軽量化できる利点もある。
ヨーク部５により密封された構成となっているが、図１
のＡに示すように、円盤状のコイル支持体７側面に１個
または２個以上の孔１１を開けることにより、コイル支
持体７が軸方向に往復動する際に空気の抵抗を避けるこ
とができ、運動がスムーズに行われる。また、孔１１を
開けることにより、装置を軽量化できる利点もある。
【００２２】この発明によるアクチュエータは、磁界発
生源が直接可動コイルに対向する構成ではなく、筒状ヨ
ーク部５の内周面と前記磁極片３外周端面間の静磁界に
可動コイル６を配置することにより、盤状サイドヨーク
部４，４内面全面を有効に活用することができ、筒状ヨ
ーク部５と磁極片３及び磁極片３，３間の空隙を狭くし
て磁気回路外への漏洩磁束を低減することができる。こ
の条件の範囲内であれば、制御対象物に応じて、同磁極
を対向させ磁極片を固着した一対の永久磁石を、他方端
面にサイドヨークを固着し筒状ヨーク部にて接続一体化
し、該筒状ヨーク部と磁極片外周端面との間に配置した
可動コイルと、前記磁極片間に配置し軸方向に直動可能
な出力軸とをコイル支持体にて接続一体化した構成であ
れば、いずれの構成も採用できる。
生源が直接可動コイルに対向する構成ではなく、筒状ヨ
ーク部５の内周面と前記磁極片３外周端面間の静磁界に
可動コイル６を配置することにより、盤状サイドヨーク
部４，４内面全面を有効に活用することができ、筒状ヨ
ーク部５と磁極片３及び磁極片３，３間の空隙を狭くし
て磁気回路外への漏洩磁束を低減することができる。こ
の条件の範囲内であれば、制御対象物に応じて、同磁極
を対向させ磁極片を固着した一対の永久磁石を、他方端
面にサイドヨークを固着し筒状ヨーク部にて接続一体化
し、該筒状ヨーク部と磁極片外周端面との間に配置した
可動コイルと、前記磁極片間に配置し軸方向に直動可能
な出力軸とをコイル支持体にて接続一体化した構成であ
れば、いずれの構成も採用できる。
【００２３】
【実施例】図１のＡに示すこの発明のアクチュエータを
用いて、図３に示す従来装置と比較した。同一条件のも
とで単位体積あたりの推力および単位重量あたりの推力
を比較すると、単位体積あたりの推力で３倍、単位重量
あたりの推力で１．８倍もの良好な結果が得られた。
用いて、図３に示す従来装置と比較した。同一条件のも
とで単位体積あたりの推力および単位重量あたりの推力
を比較すると、単位体積あたりの推力で３倍、単位重量
あたりの推力で１．８倍もの良好な結果が得られた。
【００２４】
【発明の効果】この発明は、リング状永久磁石を、各永
久磁石の他方端面に配置する一対の盤状サイドヨーク部
とこれらサイドヨークを接続一体化する筒状ヨーク部と
からなるヨーク内に内蔵した構成により、コイル支持
体、ヨークの構造が簡素化され、装置を小型化し製造を
容易とすることが可能である。また、磁石断面積を増や
すとともに、磁気回路外への漏洩磁束を低減でき、可動
コイルの配置される筒状ヨーク部の内周面と磁極片外周
端面のギャップ磁束密度を、効率よく高めることができ
るため、高出力化されたアクチュエータを得ることがで
きる。
久磁石の他方端面に配置する一対の盤状サイドヨーク部
とこれらサイドヨークを接続一体化する筒状ヨーク部と
からなるヨーク内に内蔵した構成により、コイル支持
体、ヨークの構造が簡素化され、装置を小型化し製造を
容易とすることが可能である。また、磁石断面積を増や
すとともに、磁気回路外への漏洩磁束を低減でき、可動
コイルの配置される筒状ヨーク部の内周面と磁極片外周
端面のギャップ磁束密度を、効率よく高めることができ
るため、高出力化されたアクチュエータを得ることがで
きる。
【図１】この発明によるアクチュエータの一実施例を示
す一部縦断説明図であり、同Ｂは同ＡにおけるＸ−Ｙ縦
断面説明図である。
す一部縦断説明図であり、同Ｂは同ＡにおけるＸ−Ｙ縦
断面説明図である。
【図２】この発明によるアクチュエータの他の実施例を
示す要部縦断説明図であ
示す要部縦断説明図であ
【図３】従来のアクチュエータの構成例を示す一部縦断
説明図である。
説明図である。
１ 空隙 ２ リング状永久磁石 ３ 磁極片 ４ 盤状サイドヨーク部 ５ 筒状ヨーク部 ６ 可動コイル ７ コイル支持体 ８ 出力軸 ９ 軸受 １０ リード線 １１ 孔 ２０ エンドプレート ２１，２２ 円筒材 ２３ 永久磁石 ２４ ボビン ２５ 可動コイル ２６ 出力軸
Claims (1)
- 【請求項１】 所定の空隙を形成して同磁極を対向配置
しかつ空隙側端面に磁極片を固着した一対のリング状永
久磁石と、前記永久磁石を、各永久磁石の他方端面に配
置する一対の盤状サイドヨーク部とこれらサイドヨーク
を接続一体化する筒状ヨーク部にて内蔵配置するヨーク
部と、前記永久磁石の軸方向にサイドヨーク部を貫通し
て直動可能に配置する出力軸と、前記筒状ヨーク部の内
周面と前記一対の磁極片外周面との間に配置し、磁極片
外周に外装する可動コイルと、前記出力軸と可動コイル
とを接続し、前記一対の磁極片間に形成される空隙内に
配置するコイル支持体とを有することを特徴とするアク
チュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30510092A JP3268033B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30510092A JP3268033B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06133523A JPH06133523A (ja) | 1994-05-13 |
| JP3268033B2 true JP3268033B2 (ja) | 2002-03-25 |
Family
ID=17941106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30510092A Expired - Fee Related JP3268033B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3268033B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005312286A (ja) | 2004-03-24 | 2005-11-04 | Shinano Kenshi Co Ltd | リニアアクチュエータ |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2533876Y2 (ja) * | 1990-07-25 | 1997-04-23 | 株式会社東京マイクロ | ビデオカメラのオートフォーカス用差動トランス式位置、速度検出回路並びに差動トランス付きリニアモータ |
| JPH04101657A (ja) * | 1990-08-20 | 1992-04-03 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | アクチュエータ |
| JP2542491Y2 (ja) * | 1991-01-23 | 1997-07-30 | 株式会社ユニシアジェックス | リニアモータ |
-
1992
- 1992-10-16 JP JP30510092A patent/JP3268033B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06133523A (ja) | 1994-05-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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