JP3258524B2 - Image display device - Google Patents
Image display deviceInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、電子源として表面伝導
型放出素子を用い、これらを2次元平面上に複数個配置
した画像表示装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image display device using a surface conduction electron-emitting device as an electron source and arranging a plurality of these devices on a two-dimensional plane.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から、電子放出素子としては、熱陰
極素子と冷陰極素子の2種類が知られている。このうち
冷陰極素子では、例えば、表面伝導型電子放出素子や、
電界放出型素子(以下FE型と記す)や、金属/絶縁層
/金属型放出素子(以下MIM型と記す)、などが知ら
れている。2. Description of the Related Art Conventionally, two types of electron-emitting devices, a hot cathode device and a cold cathode device, are known. Among them, in the cold cathode device, for example, a surface conduction electron-emitting device,
Field emission devices (hereinafter referred to as FE type) and metal / insulating layer / metal type emission devices (hereinafter referred to as MIM type) are known.
【0003】また、FE型の例は、例えば、W. P. Dyke
&W. W. Dolan,“Field emission”,Advance in Elec
tron Physics, 8, 89 (1956)や、或は、C. A. Spindt,
“Physical Properties of thin-film field emission
catheodes with molybdenumcones”,J. Appl. Phys.,
47, 5248 (1976)等が知られている。An example of the FE type is, for example, WP Dyke
& W. W. Dolan, “Field emission”, Advance in Elec
tron Physics, 8, 89 (1956) or CA Spindt,
“Physical Properties of thin-film field emission
catheodes with molybdenumcones ”, J. Appl. Phys.,
47, 5248 (1976) and the like.
【0004】また、MIM型の例としては、例えば、C.
A. Mead, “Operation of tunnel-emission Devices,
J. Appl. Phys., 32,646 (1961)などが知られている。[0004] Examples of the MIM type include, for example, C.I.
A. Mead, “Operation of tunnel-emission Devices,
J. Appl. Phys., 32,646 (1961) and the like are known.
【0005】表面伝導型電子放出素子としては、例え
ば、M. I. Elinson Radio E-ng. Electron Phys., 10,
1290. (1965)や、後述する他の例が知られている。As a surface conduction electron-emitting device, for example, MI Elinson Radio En-ng. Electron Phys., 10,
1290. (1965) and other examples described below.
【0006】また、表面伝導型電子放出素子は、基板上
に形成された小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流す
ことにより電子放出が生ずる現象を利用するものであ
る。この表面伝導型電子放出素子としては、前記エリン
ソン(Elinson)等によるSnO2薄膜を用いたものの他
に、Au薄膜によるもの[G. Dittmer:“Thin Solid Fi
lms”,,9,317(1972)]や、In2 O3 /SnO2 薄膜
によるもの[M. Hartwelland C. G. Fonstad:“IEEE Tr
ans. ED Conf.”,519 (1975)]や、カーボン薄膜による
もの[荒木久 他:真空、第26巻、第1号、22(1
983)]等が報告されている。The surface conduction electron-emitting device utilizes a phenomenon in which electron emission occurs when a current flows in a small-area thin film formed on a substrate in parallel with the film surface. Examples of the surface conduction electron-emitting device include a device using an SnO2 thin film by Elinson and others, and a device using an Au thin film [G. Dittmer: “Thin Solid Fi
lms ”,, 9,317 (1972)] and those using In2O3 / SnO2 thin films [M. Hartwell and CG Fonstad:“ IEEE Tr
ans. ED Conf. ", 519 (1975)] and those using carbon thin films [Hisashi Araki et al .: Vacuum, Vol. 26, No. 1, 22 (1
983)] has been reported.
【0007】これらの表面伝導型電子放出素子の素子構
成の典型的な例として、M. Hartwellらによる素子の平
面図を図20に示す。同図において、3001は基板
で、3004はスパッタで形成された金属酸化物よりな
る導電性薄膜である。この導電性薄膜3004は図示の
ようにH字形の平面形状に形成されている。この導電性
薄膜3004に後述の通電フォーミングと呼ばれる通電
処理を施すことにより、電子放出部3005が形成され
る。尚、図中の間隔Lは、0.5〜1[mm],Wは
0.1[mm]で設定されている。また、図示の便宜か
ら、電子放出部3005は導電性薄膜3004の中央に
矩形の形状で示したが、これは模式的なものであり、実
際の電子放出部の位置や形状を忠実に表現しているわけ
ではない。As a typical example of the device configuration of these surface conduction electron-emitting devices, a plan view of the device by M. Hartwell et al. Is shown in FIG. In the figure, reference numeral 3001 denotes a substrate, and reference numeral 3004 denotes a conductive thin film made of a metal oxide formed by sputtering. The conductive thin film 3004 is formed in an H-shaped planar shape as shown. An electron emission portion 3005 is formed by subjecting the conductive thin film 3004 to an energization process called energization forming described later. The interval L in the figure is set at 0.5 to 1 [mm], and W is set at 0.1 [mm]. Further, for convenience of illustration, the electron-emitting portion 3005 is shown in a rectangular shape at the center of the conductive thin film 3004, but this is a schematic shape, and the position and shape of the actual electron-emitting portion are faithfully represented. Not necessarily.
【0008】M. Hartwellらによる素子を初めとして上
述の表面伝導型電子放出素子においては、電子放出を行
う前に導電性薄膜3004に通電フォーミングと呼ばれ
る通電処理を施すことにより電子放出部3005を形成
するのが一般的であった。即ち、通電フォーミングと
は、導電性薄膜3004の両端に一定の直流電圧、もし
くは、例えば1V/分程度の非常にゆっくりとしたレー
トで昇圧する直流電圧を印加して通電し、導電性薄膜3
004を局所的に破壊もしくは変形もしくは変質せし
め、電気的に高抵抗な状態の電子放出部3005を形成
することである。尚、局所的に破壊もしくは変形もしく
は変質した導電性薄膜3004の一部には亀裂が発生す
る。そして、この通電フォーミング後に導電性薄膜30
04に適宜の電圧を印加した場合には、その亀裂付近に
おいて電子放出が行われる。In the above-described surface conduction electron-emitting device, such as the device by M. Hartwell et al., The electron-emitting portion 3005 is formed by applying an energization process called energization forming to the conductive thin film 3004 before electron emission. It was common to do. That is, the energization forming is to apply a constant DC voltage to both ends of the conductive thin film 3004 or to apply a DC voltage which is boosted at a very slow rate of, for example, about 1 V / min, and to energize the conductive thin film 3.
004 is locally destroyed, deformed, or altered to form an electron emitting portion 3005 in an electrically high-resistance state. Note that a crack is generated in a part of the conductive thin film 3004 that is locally broken, deformed, or altered. After the energization forming, the conductive thin film 30 is formed.
When an appropriate voltage is applied to the element 04, electrons are emitted near the crack.
【0009】上述の表面伝導型放出素子は、構造が単純
で製造も容易であることから、大面積に亙り多数の電子
放出素子を形成できる利点がある。そこで、例えば、本
出願人による特開昭64−31332号公報において開
示されるように、多数の素子を配列して駆動するための
方法が研究されている。The above-described surface conduction electron-emitting device has an advantage that a large number of electron-emitting devices can be formed over a large area because of its simple structure and easy manufacture. Therefore, for example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-31332 by the present applicant, a method for arranging and driving a large number of elements has been studied.
【0010】また、表面伝導型放出素子の応用について
は、例えば、画像表示装置、画像記録装置などの画像形
成装置や、荷電ビーム源、等が研究されている。As for applications of the surface conduction electron-emitting device, for example, image forming apparatuses such as image display apparatuses and image recording apparatuses, charged beam sources, and the like have been studied.
【0011】特に画像表示装置への応用としては、例え
ば本出願人によるUSP5,066,883や特開平2
−257551号公報において開示されているように、
表面伝導型放出素子と電子ビームの照射により発光する
蛍光体とを組み合わせて用いた画像表示装置が研究され
ている。表面伝導型放出素子と蛍光体とを組み合わせて
用いた画像表示装置は、従来の他の方式の画像表示装置
よりも優れた特性が期待されている。例えば、近年普及
してきた液晶表示装置と比較しても、自発光型であるた
めバックライトを必要としない点や、視野角が広い点が
優れていると言える。Particularly, as an application to an image display device, for example, US Pat.
As disclosed in -257551,
An image display device using a combination of a surface conduction electron-emitting device and a phosphor that emits light when irradiated with an electron beam has been studied. An image display device using a combination of a surface conduction electron-emitting device and a phosphor is expected to have better characteristics than other conventional image display devices. For example, compared to a liquid crystal display device that has become widespread in recent years, it can be said that it is excellent in that it is a self-luminous type and does not require a backlight and has a wide viewing angle.
【0012】図21に示すように、赤(R)、緑
(G)、青(B)3色の画素が三角形状に並んでいる配
列をデルタ配列と呼ぶ。このデルタ配列は、同図に示す
ように上下に隣接している2ラインにおいて、画素のピ
ッチが行方向に1/2ピッチずれている。このようなデ
ルタ配列の表示装置を作るために、液晶表装置では図2
2のように、列方向配線を蛇行させている(特公平3−
64046号)。As shown in FIG. 21, an arrangement in which pixels of three colors of red (R), green (G), and blue (B) are arranged in a triangle is called a delta arrangement. In this delta arrangement, as shown in the figure, in two vertically adjacent lines, the pixel pitch is shifted by ピ ッ チ pitch in the row direction. In order to produce a display device having such a delta arrangement, a liquid crystal display device shown in FIG.
As shown in FIG. 2, the column wiring is meandering.
No. 64046).
【0013】[0013]
【発明が解決しようとする課題】このように、デルタ配
列の表示装置において、列方向配線を蛇行させると、列
方向配線が直線である場合に比べて製造が難しいという
問題点があった。As described above, in the display device of the delta arrangement, when the column-direction wiring is meandered, there is a problem that manufacturing is more difficult than when the column-direction wiring is straight.
【0014】本発明は上記従来例に鑑みてなされたもの
で、列方向配線を直線のままにしてデルタ配列された画
像表示装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above conventional example, and has as its object to provide an image display device which is arranged in a delta arrangement while keeping the line in the column direction straight.
【0015】また本発明の目的は、所定の列方向配線が
常に所定の色の蛍光体を発光させるための駆動信号を伝
播するようにして駆動回路の構成を簡単にできる画像表
示装置を提供することにある。Another object of the present invention is to provide an image display apparatus in which a predetermined column-direction wiring always transmits a drive signal for causing a phosphor of a predetermined color to emit light, thereby simplifying the configuration of a drive circuit. It is in.
【0016】[0016]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の画像表示装置は以下のような構成を備える。
即ち、一対の電極と電子放出部とを具備する表面伝導型
放出素子を複数の行に亙って接続しマトリクス状に形成
したマルチ電子ビーム源と、前記電子ビーム源より放出
される電子により発光する蛍光体とを備えた画像表示装
置において、前記蛍光体が複数行に亙って、隣接する行
間で前記蛍光体の位置が行方向にほぼ1/2ずれて配設
され、前記蛍光体のそれぞれのほぼ中心が行方向に隣接
する表面伝導型放出素子の電子放出部の間をほぼ3:1
に分割する位置の上方に来るように配設された蛍光面
と、前記表面伝導型電子放出素子に印加する電位方向を
前記行毎に反転させ、画像信号に応じて駆動する駆動手
段とを有する。In order to achieve the above object, an image display device according to the present invention has the following arrangement.
That is, a surface conduction electron-emitting device having a pair of electrodes and an electron-emitting portion is connected over a plurality of rows to form a multi-electron beam source formed in a matrix, and light is emitted by electrons emitted from the electron beam source. An image display device comprising: a phosphor that is disposed in a plurality of rows such that the positions of the phosphors are shifted from each other by approximately に in a row direction between adjacent rows; The center of each is approximately 3: 1 between the electron emission portions of the surface conduction electron-emitting devices adjacent in the row direction.
And a driving unit for inverting the potential direction applied to the surface-conduction electron-emitting device for each row and driving in accordance with an image signal. .
【0017】[0017]
【作用】以上の構成において、蛍光体が複数行に亙っ
て、隣接する行間で蛍光体の位置が行方向にほぼ1/2
ずれて配設され、これら蛍光体のそれぞれのほぼ中心が
行方向に隣接する表面伝導型放出素子の電子放出部の間
をほぼ3:1に分割する位置の上方に来るように配設さ
れており、これら表面伝導型電子放出素子に印加する電
位方向を行毎に反転させ、画像信号に応じて駆動するよ
うに動作する。これにより、各表面伝導型電子放出素子
は、その位置がずらされて配設されている蛍光体に向け
て電子を放出して画像を表示することができる。In the above arrangement, the position of the phosphors in a plurality of rows is approximately 1/2 in the row direction between adjacent rows.
The phosphors are arranged so as to be shifted from each other so that the center of each of the phosphors is located above a position where the electron emission portions of the surface conduction electron-emitting devices adjacent in the row direction are divided approximately 3: 1. In addition, the direction of the potential applied to these surface conduction electron-emitting devices is inverted for each row, and the device operates so as to be driven according to an image signal. Accordingly, each surface conduction electron-emitting device can display an image by emitting electrons toward the phosphors whose positions are shifted.
【0018】[0018]
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の好適な実
施例を詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
【0019】<第1実施例>図1は、本発明の一実施例
の画像表示装置の構成を示すブロック図である。尚、こ
の第1実施例では、飛び越し走査を行わない場合で説明
する。<First Embodiment> FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an image display apparatus according to one embodiment of the present invention. In the first embodiment, a case will be described where interlaced scanning is not performed.
【0020】同期分離回路14は、NTSC信号s1の
同期信号と映像信号を分離する。この同期分離回路14
で分離された同期信号はタイミング制御回路3へ、映像
信号は信号処理部1へ送られる。信号処理部1は、映像
信号にA/D変換などの信号処理を施した後、これを変
調信号発生部2へ送る。変調信号発生部2では、1ライ
ン分の映像信号をシリアル−パラレル変換し、パルス幅
変調信号s4として、MOS−FET11のゲートヘ出
力している。The synchronization separation circuit 14 separates the synchronization signal of the NTSC signal s1 from the video signal. This synchronization separation circuit 14
The synchronization signal separated by is sent to the timing control circuit 3, and the video signal is sent to the signal processing unit 1. After performing signal processing such as A / D conversion on the video signal, the signal processing unit 1 sends this to the modulation signal generation unit 2. The modulation signal generator 2 converts the video signal for one line from serial to parallel and outputs it to the gate of the MOS-FET 11 as a pulse width modulation signal s4.
【0021】スイッチング回路4は、ゲート11より出
力される映像信号s5の極性を反転させるための回路で
ある。ディスプレイパネル12内の電子放出素子13
は、後述する図3に示すように、対向する一対の電極5
6,57間に電子放出部53が挟まれた構造をしてい
る。この一対の電極56,57にかける電圧の極性を反
転することにより、電子放出素子13は電子を放出する
方向を、例えば図3に示すように図面の右方向に放出し
たり、或はその逆に左方向に放出させることができる。
尚、タイミング制御回路3よりの制御信号s2は、映像
信号s5の極性を反転するタイミングを制御する信号で
ある。また、10は映像信号s5の極性を反転させるた
めのスイッチで、後述するスイッチ8と連動して切り替
えられる。The switching circuit 4 is a circuit for inverting the polarity of the video signal s5 output from the gate 11. Electron emission element 13 in display panel 12
Is a pair of electrodes 5 facing each other, as shown in FIG.
It has a structure in which the electron emission portion 53 is sandwiched between 6, 57. By inverting the polarity of the voltage applied to the pair of electrodes 56 and 57, the electron-emitting device 13 emits electrons in a direction in which electrons are emitted, for example, as shown in FIG. Can be released to the left.
The control signal s2 from the timing control circuit 3 is a signal for controlling the timing of inverting the polarity of the video signal s5. Reference numeral 10 denotes a switch for inverting the polarity of the video signal s5, which is switched in conjunction with a switch 8 described later.
【0022】スイッチング回路5は、走査信号s6の極
性を反転させるための回路である。パルス発生器6は、
同じ極性のパルス信号s7を発生し続ける。そして、タ
イミング制御回路3よりの信号s3によりスイッチ8が
切り替わることにより、パルス発生器6よりのパルス信
号s7が反転器9を通ると、そのパルス信号s7の極性
が反転し、通らなければ反転しない。そして、このスイ
ッチング回路5を通ったパルス信号s7は、走査行選択
回路7によって表示駆動する行が選択された走査信号s
6としてディスプレイパネル12に送られる。The switching circuit 5 is a circuit for inverting the polarity of the scanning signal s6. The pulse generator 6
The pulse signal s7 having the same polarity is continuously generated. When the switch 8 is switched by the signal s3 from the timing control circuit 3, when the pulse signal s7 from the pulse generator 6 passes through the inverter 9, the polarity of the pulse signal s7 is inverted. . The pulse signal s7 that has passed through the switching circuit 5 is converted into a scanning signal s for which a row to be driven for display is selected by the scanning row selection circuit 7.
6 is sent to the display panel 12.
【0023】図2は、本実施例のディスプレイパネル1
2の構成を説明するための図である。FIG. 2 shows a display panel 1 of the present embodiment.
FIG. 3 is a diagram for explaining the configuration of FIG.
【0024】電子放出素子13は、対向する2つの電極
56、57と、これら電極56,57に挟まれた電子放
出部53とを有している。これら電極56,57間に、
ある値以上の電圧をかけることにより電子放出部53か
ら電子が放出される。図示のように、電極57は列方向
配線54と接続されており、映像信号s5の電位と同電
位になる。また電極56は行方向配線55に接続されて
おり、このラインが選択されて表示走査されている間は
走査信号s6の電位と同電位になる。ここで、映像信号
s5と走査信号s6の極性を反転すれば、電極56,5
7に加わる電位の極性も反転する。従って、電子放出部
53に印加される電圧の極性も反転する。こうして電子
放出部53に印加される電圧の極性が反転すると、その
電子放出部53から放出される電子の軌道は、図3に示
すように変化する。The electron-emitting device 13 has two electrodes 56 and 57 facing each other, and an electron-emitting portion 53 sandwiched between the electrodes 56 and 57. Between these electrodes 56 and 57,
Electrons are emitted from the electron emitting section 53 by applying a voltage equal to or higher than a certain value. As illustrated, the electrode 57 is connected to the column direction wiring 54 and has the same potential as the potential of the video signal s5. The electrode 56 is connected to the row wiring 55, and has the same potential as the potential of the scanning signal s6 while this line is selected for display scanning. Here, if the polarities of the video signal s5 and the scanning signal s6 are reversed, the electrodes 56, 5
The polarity of the potential applied to 7 is also inverted. Therefore, the polarity of the voltage applied to the electron emission section 53 is also inverted. When the polarity of the voltage applied to the electron emitting section 53 is reversed in this way, the trajectory of the electrons emitted from the electron emitting section 53 changes as shown in FIG.
【0025】図3は、図2の断面Aで切った場合の1つ
の電子放出素子の構成を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing the structure of one electron-emitting device when cut along section A in FIG.
【0026】フェースプレート101の内側(電子放出
素子部53側)には、図示のように蛍光体110,11
1が塗布されている。電極56,57は、それぞれ行方
向配線55、列方向配線54と接続されており、ある値
以上の電圧(例えばVf[v])が印加されると電子放
出部53から電子が放出される。電子が放出されると、
フェースプレート101と電子放出部53との間に印加
された電圧Va[V]によって、その電子はフェースプ
レート101方向に加速され、フェースプレート101
の蛍光体110又は111にに照射される。このとき電
子は、中心軸100に沿って真上に進むのではなく電子
軌道102、或いは電子軌道103を描いて進む。い
ま、電極56が負極性で電極57が正極性となるように
電圧Vfを印加したとき(図の実線)は、電子放出部5
3から放出された電子は、電子軌道103(実線)に示
す軌道上を進む。逆に、電極56が正極性で、電極57
が負極性となるように電圧Vfが印加された時は(図の
点線)、電子放出部53から放出される電子の軌道は電
子軌道102(点線)で示すようになる。この時の中心
軸100と電子のランディング位置との距離Lefは、
次式(1)により算出できる。On the inside of the face plate 101 (on the side of the electron-emitting device section 53), the phosphors 110, 11
1 is applied. The electrodes 56 and 57 are connected to the row direction wiring 55 and the column direction wiring 54, respectively. When a voltage (for example, Vf [v]) higher than a certain value is applied, electrons are emitted from the electron emission unit 53. When electrons are emitted,
The electrons are accelerated in the direction of the face plate 101 by the voltage Va [V] applied between the face plate 101 and the electron emission section 53, and the electrons are accelerated toward the face plate 101.
Are irradiated on the phosphors 110 or 111 of the fluorescent substance. At this time, the electrons do not proceed right above the central axis 100 but proceed along the electron trajectory 102 or 103. When the voltage Vf is applied so that the electrode 56 has a negative polarity and the electrode 57 has a positive polarity (solid line in the figure), the electron emitting portion 5
The electrons emitted from 3 travel on orbits indicated by electron orbits 103 (solid lines). Conversely, the electrode 56 has a positive polarity and the electrode 57
When the voltage Vf is applied so as to have a negative polarity (dotted line in the figure), the trajectory of the electrons emitted from the electron emitting portion 53 becomes as shown by the electron trajectory 102 (dotted line). At this time, the distance Lef between the central axis 100 and the landing position of the electron is:
It can be calculated by the following equation (1).
【0027】 Lef=2×K×Lh×SQRT(Vf/Va) (1) 但し、Lh[m]は、電子放出素子13と蛍光体110
あるいは111との距離を示し、Kは、電子放出素子1
3の種類や形状により決まる定数である。また、SQR
T(Vf/Va)は、Vf/Vaの平方根を示してい
る。Lef = 2 × K × Lh × SQRT (Vf / Va) (1) where Lh [m] is the electron emission element 13 and the phosphor 110
Alternatively, it indicates the distance to 111, and K is the electron-emitting device 1
These are constants determined by the types and shapes of the three. Also, SQR
T (Vf / Va) indicates the square root of Vf / Va.
【0028】次に、本実施例の表示装置の動作を、図1
を用いて説明する。Next, the operation of the display device of this embodiment will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG.
【0029】例えばTV受像回路等より入力されるNT
SC信号は、同期分離回路14で同期信号と映像信号に
分けられる。同期信号はタイミング制御回路3に送ら
れ、映像信号は信号処理部1へ送られる。信号処理部1
では、R,G,B色の復調やA/D変換等を行い、ディ
ジタルの映像信号を変調信号発生部2へ送る。変調信号
発生部2では、信号処理部1から送られてきた映像信号
の1ライン分のデータをシリアル−パラレル変換し、パ
ルス幅変調信号s4としてMOS−FET11のゲート
へ送り出す。For example, NT input from a TV receiving circuit or the like
The SC signal is divided into a synchronization signal and a video signal by a synchronization separation circuit 14. The synchronization signal is sent to the timing control circuit 3, and the video signal is sent to the signal processing unit 1. Signal processing unit 1
Then, demodulation of R, G, and B colors, A / D conversion, and the like are performed, and a digital video signal is sent to the modulation signal generator 2. The modulation signal generating unit 2 performs serial-parallel conversion of one line of data of the video signal sent from the signal processing unit 1 and sends it out to the gate of the MOS-FET 11 as a pulse width modulation signal s4.
【0030】スイッチング回路4は、映像信号s5の極
性を反転させるための回路で、スイッチ10には、タイ
ミング制御回路3からスイッチ切替え信号s2が入力さ
れており、この切替え信号s2に従って、スイッチ10
の接続がa端子とb端子との間で切り換えられる。いま
スイッチ10がa端子と接続されている時は、負極性の
映像信号s5がディスプレイパネル12に送られ、逆に
スイッチ10が端子bと接続されているときは、正極性
の映像信号s5が出力されることになる。この正と負の
極性の切り換えは、1水平同期期間(1H)ごとに行わ
れる。The switching circuit 4 is a circuit for inverting the polarity of the video signal s5. The switch 10 receives a switch switching signal s2 from the timing control circuit 3, and the switch 10 receives the switch signal s2 according to the switching signal s2.
Is switched between the terminal a and the terminal b. Now, when the switch 10 is connected to the terminal a, a negative video signal s5 is sent to the display panel 12, and when the switch 10 is connected to the terminal b, the positive video signal s5 is sent. Will be output. The switching between the positive and negative polarities is performed every one horizontal synchronization period (1H).
【0031】スイッチング回路5は、ディスプレイパネ
ル12に入力される走査信号s6の極性を反転させるた
めの回路である。まず、パルス発生器6が同じ極性(例
えば正極性)で1H周期のパルス信号s7を発生する。
スイッチ8は、タイミング制御回路3よりのスイッチ切
替え信号s3により、1Hごとに切り替えられる。即
ち、スイッチ8が端子cと接続しているときは、パルス
信号s7はそのままスイッチング回路5を通過して走査
行選択回路7に入力される。一方、スイッチ8が端子d
と接続されている時は、パルス信号s7は反転器9によ
り極性を反転されて(負極性)、走査行選択回路7へ送
られる。こうして1水平同期期間ごとに極性が反転さ
れ、走査行選択回路7に選択された走査信号s6がディ
スプレイパネル12の選択行に送られる。The switching circuit 5 is a circuit for inverting the polarity of the scanning signal s6 input to the display panel 12. First, the pulse generator 6 generates a 1H-cycle pulse signal s7 having the same polarity (for example, positive polarity).
The switch 8 is switched every 1H by a switch switching signal s3 from the timing control circuit 3. That is, when the switch 8 is connected to the terminal c, the pulse signal s7 passes through the switching circuit 5 as it is and is input to the scanning row selection circuit 7. On the other hand, the switch 8 is connected to the terminal d
When the pulse signal s7 is connected, the polarity of the pulse signal s7 is inverted (negative polarity) by the inverter 9 and sent to the scanning row selection circuit 7. In this manner, the polarity is inverted every horizontal synchronization period, and the scanning signal s6 selected by the scanning row selection circuit 7 is sent to the selected row of the display panel 12.
【0032】次に、本実施例の動作を図4のタイミング
チャートを用いて説明する。尚、図中の記号は図1と同
じものである。Next, the operation of this embodiment will be described with reference to the timing chart of FIG. The symbols in the figure are the same as those in FIG.
【0033】NTSC信号s1の映像信号は、信号処理
部1及び偏重信号発生部2により信号処理されてパルス
幅変調信号s4となる。図4におけるパルス幅変調信号
s4は、ある一本の列方向の信号線に注目し、そこを流
れる信号を示したものである。このパルス幅変調信号s
4の幅Lが長いほど、電子放出部53から電子が放出さ
れる時間が長くなるため、それにより発光される画素の
輝度が明るく感じられる。スイッチング回路4を切替え
るスイッチ切替え信号s2は、1Hごとに発生され、こ
のスイッチ切替え信号s2によりスイッチ10が切り換
えられる。The video signal of the NTSC signal s1 is subjected to signal processing by the signal processing section 1 and the weighted signal generation section 2 to become a pulse width modulation signal s4. The pulse width modulation signal s4 in FIG. 4 focuses on one signal line in the column direction and shows a signal flowing therethrough. This pulse width modulation signal s
The longer the width L of 4 is, the longer the time in which electrons are emitted from the electron emitting portion 53 is, and thus the brightness of the pixels that emit light is perceived as being brighter. The switch switching signal s2 for switching the switching circuit 4 is generated every 1H, and the switch 10 is switched by the switch switching signal s2.
【0034】図4におけるスイッチ切替え信号s2の
a,bは、スイッチ10における端子との接続状態を示
している。即ち、スイッチ10が端子aと接続されてい
る時は映像信号s5が負極性に、端子bと接続されてい
る時は、映像信号s5が正極性になる。このときの映像
信号s5の様子が、図4の映像信号s5で示されてい
る。尚、映像信号s5を示す細実線は接地電位(=0
[V])を表している。この映像信号s5のパルス幅
は、パルス幅変調信号s4の幅Lと等しくなる。In FIGS. 4A and 4B, a and b of the switch signal s2 indicate the connection state with the terminal of the switch 10. That is, when the switch 10 is connected to the terminal a, the video signal s5 has a negative polarity, and when the switch 10 is connected to the terminal b, the video signal s5 has a positive polarity. The state of the video signal s5 at this time is shown by the video signal s5 in FIG. Note that a thin solid line indicating the video signal s5 is a ground potential (= 0).
[V]). The pulse width of the video signal s5 is equal to the width L of the pulse width modulation signal s4.
【0035】また、パルス発生器6より出力されるパル
ス信号s7も又前述のように1H周期で発生する。本実
施例では、パルス信号s7は正極性とする。タイミング
制御回路3より出力されるスイッチ8を切り換えるため
の信号s3もまた1H周期で発生しており、これにより
スイッチ8は、1Hごとに端子cと端子dに切り替えら
れて接続される。図4における信号s3のc,dは、ス
イッチ8における端子,dとの接続状態を示している。
これに伴って走査信号s6は、図4に示すように、1H
ごとに極性が反転された信号となる。The pulse signal s7 output from the pulse generator 6 is also generated at a 1H cycle as described above. In this embodiment, the pulse signal s7 has a positive polarity. The signal s3 for switching the switch 8 output from the timing control circuit 3 is also generated in a 1H cycle, whereby the switch 8 is switched and connected to the terminals c and d every 1H. In FIG. 4, c and d of the signal s3 indicate the connection state with the terminal and d of the switch 8.
Accordingly, the scanning signal s6 becomes 1H as shown in FIG.
Each time the signal is inverted.
【0036】図5は以上のように表示装置を駆動した
際、各々の電子放出部53から蛍光体に向かってどのよ
うに電子が照射されるかを示した図で、図の行方向をX
方向に、列方向をY方向としてX、Y、Z座標系を定め
た時、n行目と(n+1)行の放出素子に沿って、XZ
平面で切った断面図を示している。FIG. 5 is a diagram showing how electrons are emitted from each electron emitting portion 53 toward the phosphor when the display device is driven as described above.
When the X, Y, and Z coordinate systems are defined with the column direction as the Y direction, XZ along the n-th row and the (n + 1) -th row emission elements
FIG. 4 shows a cross-sectional view taken along a plane.
【0037】図5において、上側がn行目の電子放出素
子の断面図で、下側が(n+1)行目の電子放出素子の
断面図である。本実施例の表示装置では、図21に示す
ように画素配列がデルタ配列であるため、n行目と(n
+1)行目とで、蛍光体150は水平方向に1/2ピッ
チずれて配設されている。前述のように、電極57は列
方向配線54(配線i〜配線l)に接続されており、電
極56は行方向配線55に接続されている。図のよう
に、これら電極の位置はn行目と(n+1)行目とで水
平方向にずれておらず、そのため列方向配線i〜配線l
は各々一本の直線で構成されている。これら電極56,
57間に所定電圧値以上の電圧が印加されると、これら
電極56,57に挟まれた電子放出素子13に存在する
電子放出部53から電子が放出され、図示のような電子
軌道155を描いて蛍光体150に照射される。また、
図に示すように、各蛍光体150のX軸方向の中心位置
が、電子放出部53の間を3:1に分割する位置の上方
にある。In FIG. 5, the upper side is a cross-sectional view of the electron-emitting device in the n-th row, and the lower side is a cross-sectional view of the electron-emitting device in the (n + 1) -th row. In the display device of this embodiment, since the pixel array is a delta array as shown in FIG.
In the (+1) th row, the phosphors 150 are arranged with a shift of 1/2 pitch in the horizontal direction. As described above, the electrode 57 is connected to the column wiring 54 (the wiring i to the wiring 1), and the electrode 56 is connected to the row wiring 55. As shown in the figure, the positions of these electrodes are not shifted in the horizontal direction between the n-th row and the (n + 1) -th row.
Are each composed of one straight line. These electrodes 56,
When a voltage equal to or higher than a predetermined voltage value is applied between the electrodes 57 and 57, electrons are emitted from the electron emitting portion 53 existing in the electron emitting element 13 sandwiched between the electrodes 56 and 57, and an electron trajectory 155 as shown in the drawing is drawn. Irradiates the phosphor 150. Also,
As shown in the figure, the center position of each phosphor 150 in the X-axis direction is above the position where the space between the electron-emitting portions 53 is divided 3: 1.
【0038】次に、n行目と(n+1)行目の2つの行
の電子放出素子の駆動方法を説明する。Next, a method of driving the electron-emitting devices in the two rows of the n-th row and the (n + 1) -th row will be described.
【0039】まずn行目の行方向配線55が選択され、
この行方向配線55に負極性の走査信号s6が入力され
る。これと同期して、列方向配線54に正極性の映像信
号s5が入力される。これにより電極57の電位は正極
性になり、電極56の電位は負極性になる。これによ
り、電子放出部53から図のような電子軌道155を描
いて電子が蛍光体150に照射される。次に、(n+
1)行目の行方向配線55が選択され、この行方向配線
55に正極性の走査信号s6が入力され、これと同期し
て、列方向配線54には負極性の映像信号s5が入力さ
れる。これにより、電極57の電位は負極性となり、電
極56の電位は正極性となる。こうして、電子放出部5
3から図のような電子軌道155を描いて、電子が蛍光
体150に照射される。このように連続する2ラインに
おいて、電子放出部53に印加する電圧の極性を反転す
ることにより、蛍光体150がデルタ配列されている表
示装置において、列方向の配線を直線にして表示回路を
構成することができる。First, the n-th row direction wiring 55 is selected.
The scanning signal s6 of negative polarity is input to the row direction wiring 55. In synchronization with this, a positive polarity video signal s5 is input to the column direction wiring 54. As a result, the potential of the electrode 57 becomes positive and the potential of the electrode 56 becomes negative. As a result, electrons are irradiated onto the phosphor 150 from the electron emission section 53 along an electron trajectory 155 as shown in the figure. Next, (n +
1) The row direction wiring 55 of the row is selected, a positive scanning signal s6 is input to the row direction wiring 55, and in synchronism therewith, a negative video signal s5 is input to the column direction wiring 54. You. As a result, the potential of the electrode 57 becomes negative and the potential of the electrode 56 becomes positive. Thus, the electron emission portion 5
Electrons are irradiated on the phosphor 150 along the electron orbit 155 as shown in FIG. By inverting the polarity of the voltage applied to the electron-emitting portion 53 in the two continuous lines in this manner, a display device having the phosphors 150 arranged in a delta arrangement constitutes a display circuit with straight lines in the column direction. can do.
【0040】尚、図5では、n行目の配線iと(n+
1)行目の配線j,kで1画素を形成している。In FIG. 5, the wirings i and (n +
1) One pixel is formed by the wirings j and k in the row.
【0041】また、図6に示すように電子軌道の出力方
向と、その軌道の長さを変えることにより、電子放出部
53と蛍光体150の組み合わせが図5とは異なる構成
を採ることも可能である。このような電子軌道の変化
は、前述の(1)式のVa,Vfの値を変えることで可
能となる。しかし、図5のような構成とした場合は、一
本の列方向配線54には同一の色信号が流れるため(配
線iにはR信号、配線jにはG信号、配線kにはB信
号)、駆動回路が単純化できるという長所がある。図6
の例では、n行目の列方向配線jと、(n+1)行の列
方向配線i,jとで1画素を構成している。Also, as shown in FIG. 6, by changing the output direction of the electron orbit and the length of the orbit, the combination of the electron emitting portion 53 and the phosphor 150 can have a configuration different from that of FIG. It is. Such a change in the electron orbit can be achieved by changing the values of Va and Vf in the above-mentioned equation (1). However, in the case of the configuration as shown in FIG. 5, the same color signal flows through one column wiring 54 (an R signal on the wiring i, a G signal on the wiring j, and a B signal on the wiring k). ), There is an advantage that the driving circuit can be simplified. FIG.
In the example of (1), one pixel is composed of the column direction wiring j of the nth row and the column direction wirings i and j of the (n + 1) th row.
【0042】<第2実施例>次に本発明の第2実施例と
して、NTSC信号を飛び越し走査して表示する方法を
説明する。尚、この第2実施例も、前述の第1実施例と
同様に、図1の回路で実現できる。但し、図1における
スイッチ8、スイッチ10の切り換えの周期は1水平走
査期間(1H)ではなく1フィールド期間である。また
飛び越し走査するため、走査行選択回路7は、1行おき
に走査行を選択する必要がある。また、この第2実施例
では、電子放出素子は前述の第1実施例と同じものを用
い、図2に示すように配線する。<Second Embodiment> Next, as a second embodiment of the present invention, a method of interlaced scanning and displaying an NTSC signal will be described. Incidentally, this second embodiment can also be realized by the circuit of FIG. 1, as in the first embodiment. However, the switching cycle of the switches 8 and 10 in FIG. 1 is not one horizontal scanning period (1H) but one field period. Further, in order to perform interlaced scanning, the scanning row selection circuit 7 needs to select a scanning row every other row. Further, in the second embodiment, the same electron-emitting device as that in the first embodiment is used, and wiring is performed as shown in FIG.
【0043】次に、本実施例における動作を図6のタイ
ミングチャートを用いて説明する。なお、図中の記号は
図1と同じものを採用している。Next, the operation of this embodiment will be described with reference to the timing chart of FIG. Note that the symbols in the figure are the same as those in FIG.
【0044】NTSC信号s1の映像信号は、信号処理
部1及び変調信号発生部2で信号処理されてパルス幅変
調信号s4となる。このパルス幅変調信号s4は、ある
一本の列方向信号に注目し、そこを流れる信号を示した
ものである。このパルス幅変調信号s4の幅Lが長いほ
ど、電子放出部53から電子が放出される時間が長くな
るため、その輝点(画素)が明るく感じる。スイッチ切
替え信号s2は1フィールド期間ごとに発生されてスイ
ッチ10の接続を切り換える。図6の信号s2における
a,bは、スイッチ10が接続される端子を表してい
る。いま、スイッチ10が端子aに接続されている時は
映像信号s5が負極性に、端子bに接続されている時は
映像信号s5が正極性になる。この映像信号s5の様子
が、図6のs5に示されている。図中の細実線は、接地
電位(=0[V])を表す。この映像信号s5のパルス
幅は、パルス幅変調信号s4の幅Lと等しくなる。The video signal of the NTSC signal s1 is subjected to signal processing in the signal processing section 1 and the modulation signal generation section 2 to become a pulse width modulation signal s4. The pulse width modulation signal s4 is a signal that focuses on one column direction signal and indicates a signal flowing therethrough. The longer the width L of the pulse width modulation signal s4, the longer the time period during which electrons are emitted from the electron emission unit 53, so that the bright spot (pixel) feels brighter. The switch switching signal s2 is generated every field period to switch the connection of the switch 10. “A” and “b” in the signal s2 in FIG. 6 represent terminals to which the switch 10 is connected. When the switch 10 is connected to the terminal a, the video signal s5 has a negative polarity, and when the switch 10 is connected to the terminal b, the video signal s5 has a positive polarity. The state of the video signal s5 is shown as s5 in FIG. The thin solid line in the figure represents the ground potential (= 0 [V]). The pulse width of the video signal s5 is equal to the width L of the pulse width modulation signal s4.
【0045】又、パルス信号s7は、1H周期で発生し
ており、この実施例では、パルス信号s7は正極性とす
る。そして、スイッチ8を切り換えるための信号s3は
1フィールド期間の周期で発生する。これによりスイッ
チ8は、1フィールド期間ごとに端子cと端子dに接続
されるように切り替えられる。これに伴って、走査信号
s6は、図6に示すようにフィールドごとに極性が反転
した信号となる。またこの第2実施例では飛び越し走査
をするために、奇数フィールドは1行目、3行目、5行
目、…のように奇数行目に表示し、偶数フィールドは2
行目、4行目、6行目、…というように、偶数行目に表
示する。このときも、映像信号s5と走査信号s6の極
性は常に反対でなければならない。The pulse signal s7 is generated in a 1H cycle. In this embodiment, the pulse signal s7 has a positive polarity. The signal s3 for switching the switch 8 is generated in a cycle of one field period. Thereby, the switch 8 is switched so as to be connected to the terminals c and d every field period. Accordingly, the scanning signal s6 is a signal whose polarity is inverted for each field as shown in FIG. In the second embodiment, in order to perform interlaced scanning, odd fields are displayed on odd rows such as the first row, third row, fifth row,.
The data is displayed on even-numbered rows, such as the fourth, fourth, sixth, and so on rows. Also at this time, the polarities of the video signal s5 and the scanning signal s6 must always be opposite.
【0046】[ディスプレイパネル12の構成と製造
法]次に、本実施例に適用した画像表示装置のディスプ
レイパネル12の構成と、その製造法について、具体的
な例を示して説明する。[Structure of Display Panel 12 and Manufacturing Method] Next, the structure of the display panel 12 of the image display apparatus applied to the present embodiment and the manufacturing method thereof will be described with reference to specific examples.
【0047】図8は、本実施例に用いたディスプレイ
(表示)パネル12の斜視図であり、その内部構造を示
すためにパネル12の1部を切り欠いて示している。FIG. 8 is a perspective view of the display (display) panel 12 used in the present embodiment, in which a part of the panel 12 is cut away to show the internal structure thereof.
【0048】図中、1005はリアプレートで、前述の
リアプレート153に対応している。1006は側壁、
1007はフェースプレートで、このフェースプレート
1007は、前述のフェースプレート101に対応して
いる。これら1005〜1007により、表示パネル1
2の内部を真空に維持するための気密容器を形成してい
る。このような気密容器を組み立てるにあたっては、各
部材の接合部に十分な強度と気密性を保持させるため封
着する必要があるが、例えばフリットガラスを接合部に
塗布し、大気中あるいは窒素雰囲気中で、摂氏400〜
500度で10分以上焼成することにより封着を達成し
た。気密容器内部を真空に排気する方法については後述
する。In the figure, reference numeral 1005 denotes a rear plate, which corresponds to the above-mentioned rear plate 153. 1006 is a side wall,
A face plate 1007 corresponds to the face plate 101 described above. With these 1005 to 1007, the display panel 1
An airtight container for maintaining the inside of the container 2 at a vacuum is formed. When assembling such an airtight container, it is necessary to seal the joints of the members in order to maintain sufficient strength and airtightness. In, 400-degree Celsius
Sealing was achieved by baking at 500 degrees for 10 minutes or more. A method of evacuating the inside of the airtight container to a vacuum will be described later.
【0049】リアプレート1005には基板1001が
固定されているが、この基板1001上には表面伝導型
放出素子1002がN×M個形成されている。(N,M
は2以上の正の整数であり、目的とする表示画素数に応
じて適宜設定される。例えば、高品位テレビジョンの表
示を目的とした表示装置においては、N=3000,M
=1000以上の数を設定することが望ましい。本実施
例においては、N=3072,M=1024とした)。
N×M個の表面伝導型放出素子1002は、M本の行方
向配線1003とN本の列方向配線1004により単純
マトリクス配線されている。前記1001〜1004に
よって構成される部分をマルチ電子ビーム源と呼ぶ。な
お、マルチ電子ビーム源の製造方法や構造については、
後で詳しく述べる。A substrate 1001 is fixed to the rear plate 1005. On the substrate 1001, N × M surface-conduction emission devices 1002 are formed. (N, M
Is a positive integer of 2 or more, and is appropriately set according to the target number of display pixels. For example, in a display device for displaying high-definition television, N = 3000, M
It is desirable to set a number equal to or greater than 1000. In this embodiment, N = 3072 and M = 1024).
The N × M surface conduction electron-emitting devices 1002 are arranged in a simple matrix by M row-directional wirings 1003 and N column-directional wirings 1004. The part constituted by 1001 to 1004 is called a multi-electron beam source. In addition, regarding the manufacturing method and structure of the multi-electron beam source,
I will elaborate later.
【0050】本実施例においては、気密容器のリアプレ
ート1005にマルチ電子ビーム源の基板1001を固
定する構成としたが、マルチ電子ビーム源の基板100
1が十分な強度を有するものである場合には、気密容器
のリアプレートとしてマルチ電子ビーム源の基板100
1自体を用いてもよい。In this embodiment, the substrate 1001 of the multi-electron beam source is fixed to the rear plate 1005 of the airtight container.
If 1 has sufficient strength, the substrate 100 of the multi-electron beam source is used as a rear plate of the hermetic container.
1 itself may be used.
【0051】また、フェースプレート1007の下面に
は、蛍光膜1008(前述の実施例の蛍光体150に相
当)が形成されている。本実施例はカラー表示装置であ
るため、蛍光膜1008の部分にはCRTの分野で用い
られる赤、緑、青、の3原色の蛍光体が塗り分けられて
いる。各色の蛍光体は、例えば図9に示すように、RG
Bの各色に対応した蛍光体がデルタ形状に配列されてお
り、各色の蛍光体間には黒色の導電材1010が設けら
れている。この黒色の導電材1010を設ける目的は、
電子ビームの照射位置に多少のずれがあっても表示色に
ずれが生じないようにするためや、外光の反射を防止し
て表示コントラストの低下を防ぐため、更には電子ビー
ムによる蛍光膜のチャージアップを防止するためなどで
ある。この黒色の導電体1010には、黒鉛を主成分と
して用いたが、上記の目的に適するものであればこれ以
外の材料を用いても良い。On the lower surface of the face plate 1007, a fluorescent film 1008 (corresponding to the fluorescent material 150 of the above embodiment) is formed. Since this embodiment is a color display device, phosphors of three primary colors of red, green, and blue used in the field of CRT are separately applied to a portion of the fluorescent film 1008. For example, as shown in FIG.
Phosphors corresponding to each color B are arranged in a delta shape, and a black conductive material 1010 is provided between the phosphors of each color. The purpose of providing the black conductive material 1010 is as follows.
In order to prevent the display color from being shifted even if there is a slight shift in the electron beam irradiation position, to prevent the reflection of external light to prevent the display contrast from lowering, and to further reduce the fluorescent film by the electron beam. This is to prevent charge-up. Although graphite is used as a main component of the black conductor 1010, any other material may be used as long as it is suitable for the above purpose.
【0052】尚、モノクロームの表示パネルを作成する
場合には、単色の蛍光体を蛍光膜1008に用いればよ
く、また黒色導電材1010は必ずしも必要としない。When a monochrome display panel is formed, a monochromatic phosphor may be used for the phosphor film 1008, and the black conductive material 1010 is not necessarily required.
【0053】また、蛍光膜1008のリアプレート10
05側の面には、CRTの分野では公知のメタルバック
1009を設けてある。このメタルバック1009を設
けた目的は、蛍光膜1008が発する光の一部を鏡面反
射して光の利用率を向上させるためや、負イオンの衝突
から蛍光膜1008を保護するため、電子ビームの加速
電圧を印加するための電極として作用させるためや、更
には蛍光膜1008を励起した電子の導電路として作用
させるためなどである。このようなメタルバック100
9は、蛍光膜1008をフェースプレート1007上に
形成した後、蛍光膜表面を平滑化処理し、その上にAl
(アルミニウム)を真空蒸着する方法により形成した。
なお、蛍光膜1008に低電圧用の蛍光体材料を用いた
場合にはメタルバック1009は用いない。The rear plate 10 of the fluorescent film 1008
On the surface on the 05 side, a metal back 1009 known in the field of CRT is provided. The purpose of providing the metal back 1009 is to improve the light utilization rate by mirror-reflecting a part of the light emitted from the fluorescent film 1008, and to protect the fluorescent film 1008 from the collision of negative ions with the electron beam. This is for the purpose of functioning as an electrode for applying an acceleration voltage, and also for functioning as a conductive path for the excited electrons of the fluorescent film 1008. Such a metal back 100
9: After forming the fluorescent film 1008 on the face plate 1007, the surface of the fluorescent film is smoothed, and
(Aluminum) was formed by a vacuum deposition method.
Note that when a fluorescent material for low voltage is used for the fluorescent film 1008, the metal back 1009 is not used.
【0054】また、本実施例では用いなかったが、加速
電圧の印加用や蛍光膜の導電性向上を目的として、フェ
ースプレート1007と蛍光膜1008との間に、例え
ばITOを材料とする透明電極を設けてもよい。Although not used in this embodiment, a transparent electrode made of, for example, ITO is provided between the face plate 1007 and the fluorescent film 1008 for the purpose of applying an acceleration voltage and improving the conductivity of the fluorescent film. May be provided.
【0055】また、Dx1〜Dxm,Dy1〜Dyn及びHv
は、この表示パネル12と不図示の電気回路とを電気的
に接続するために設けた気密構造の電気接続用端子であ
る。これらDx1〜Dxmは、マルチ電子ビーム源の行方向
配線55と接続され、Dy1〜Dynはマルチ電子ビーム源
の列方向配線54と接続され、Hvはフェースプレート
1007のメタルバック1009と電気的に接続されて
いる。Further, Dx1 to Dxm, Dy1 to Dyn and Hv
Is a terminal for electric connection of an airtight structure provided for electrically connecting the display panel 12 to an electric circuit (not shown). Dx1 to Dxm are connected to the row wiring 55 of the multi electron beam source, Dy1 to Dyn are connected to the column wiring 54 of the multi electron beam source, and Hv is electrically connected to the metal back 1009 of the face plate 1007. Have been.
【0056】また、気密容器内部を真空に排気するに
は、気密容器を組み立てた後、不図示の排気管と真空ポ
ンプとを接続し、気密容器内を10のマイナス7乗[T
orr]程度の真空度まで排気する。その後、排気管を
封止するが、気密容器内の真空度を維持するために、封
止の直前或はその封止後に、気密容器内の所定の位置に
ゲッター膜(不図示)を形成する。このゲッター膜と
は、例えばBaを主成分とするゲッター材料をヒータも
しくは高周波加熱により加熱し、蒸着して形成した膜で
あり、該ゲッター膜の吸着作用により気密容器内は1×
10マイナス5乗ないしは1×10マイナス7乗[To
rr]の真空度に維持される。In order to evacuate the inside of the hermetic container to a vacuum, after assembling the hermetic container, an exhaust pipe (not shown) and a vacuum pump are connected, and the inside of the hermetic container is raised to 10 −7 [T
orr]. Thereafter, the exhaust pipe is sealed, but a getter film (not shown) is formed at a predetermined position in the airtight container immediately before or after the sealing in order to maintain the degree of vacuum in the airtight container. . The getter film is, for example, a film formed by heating and depositing a getter material containing Ba as a main component by a heater or high-frequency heating.
10 minus 5 or 1 × 10 minus 7 [To
rr].
【0057】以上、本発明の一実施例の表示パネル12
の基本構成とその製法について説明した。As described above, the display panel 12 according to one embodiment of the present invention is described.
The basic configuration and its manufacturing method have been described.
【0058】次に、前記実施例の表示パネル12に用い
たマルチ電子ビーム源の製造方法について説明する。本
実施例の画像表示装置に用いるマルチ電子ビーム源は、
表面伝導型放出素子を単純マトリクス配線した電子源で
あれば、表面伝導型放出素子の材料や形状あるいは製法
に制限はない。しかしながら、本願発明者らは、表面伝
導型放出素子の中で、電子放出部もしくはその周辺部を
微粒子膜から形成したものが電子放出特性に優れ、しか
も製造が容易に行えることを見出している。従って、こ
のようなマルチ電子ビーム源は、高輝度で大画面の画像
表示装置に用いる場合に最も好適であると言える。そこ
で、上記実施例の表示パネル12においては、電子放出
部53もしくはその周辺部を微粒子膜から形成した表面
伝導型放出素子1002を用いている。そこで、まず好
適な表面伝導型放出素子について基本的な構成と製法お
よび特性を説明し、その後で多数の素子を単純マトリク
ス配線したマルチ電子ビーム源の構造について述べる。Next, a method of manufacturing the multi-electron beam source used for the display panel 12 of the above embodiment will be described. The multi-electron beam source used for the image display device of the present embodiment is:
There is no limitation on the material, shape, or manufacturing method of the surface conduction electron-emitting device as long as it is an electron source in which the surface conduction electron-emitting devices are arranged in a simple matrix. However, the present inventors have found that among the surface conduction electron-emitting devices, those in which the electron-emitting portion or its peripheral portion is formed from a fine particle film have excellent electron-emitting characteristics and can be easily manufactured. Therefore, it can be said that such a multi-electron beam source is most suitable for use in a high-luminance, large-screen image display device. Therefore, in the display panel 12 of the above embodiment, the surface conduction electron-emitting device 1002 in which the electron-emitting portion 53 or its peripheral portion is formed of a fine particle film is used. Therefore, the basic configuration, manufacturing method and characteristics of a suitable surface conduction electron-emitting device will be described first, and then the structure of a multi-electron beam source in which many devices are arranged in a simple matrix will be described.
【0059】[表面伝導型放出素子の好適な素子構成と
その製法]電子放出部もしくはその周辺部を微粒子膜か
ら形成する表面伝導型放出素子の代表的な構成には、平
面型と垂直型の2種類があげられる。[Suitable Device Configuration of Surface Conduction Emission Device and Manufacturing Method Thereof] A typical configuration of a surface conduction type emission device in which an electron emitting portion or its peripheral portion is formed from a fine particle film includes a planar type and a vertical type. There are two types.
【0060】<平面型の表面伝導型放出素子>まず最初
に、平面型の表面伝導型放出素子の素子構成と、その製
法について説明する。<Plane type surface conduction electron-emitting device> First, the structure of a planar surface conduction electron-emitting device and its manufacturing method will be described.
【0061】図10(a)(b)に示すのは、平面型の
表面伝導型放出素子の構成を説明するための平面図
(a)および断面図(b)である。FIGS. 10 (a) and 10 (b) are a plan view (a) and a cross-sectional view (b) for explaining the structure of a planar type surface conduction electron-emitting device.
【0062】図中、1101は基板、1102と110
3は素子電極(前述の電極56,57に対応)、110
4は導電性薄膜、1105は通電フォーミング処理によ
り形成した電子放出部、1113は通電活性化処理によ
り形成した薄膜を示している。基板1101としては、
例えば、石英ガラスや青板ガラス等の各種ガラス基板
や、アルミナ等の各種セラミクス基板、あるいは上述の
各種基板上に例えばSiO2 を材料とする絶縁層を積層
した基板などを用いることができる。In the figure, 1101 is a substrate, 1102 and 110
3 is an element electrode (corresponding to the electrodes 56 and 57 described above), 110
Reference numeral 4 denotes a conductive thin film, 1105 denotes an electron emitting portion formed by an energization forming process, and 1113 denotes a thin film formed by an energization activation process. As the substrate 1101,
For example, various types of glass substrates such as quartz glass and blue plate glass, various types of ceramics substrates such as alumina, and substrates obtained by laminating an insulating layer made of, for example, SiO2 on the above various types of substrates can be used.
【0063】また、基板1101上に基板面と平行に対
向して設けられた素子電極1102と1103は、導電
性を有する材料によって形成されている。例えば、N
i,Cr,Au,Mo,W,Pt,Ti,Cu,Pd,
Ag等の金属、あるいはこれらの金属の合金、あるいは
In2 O3 −SnO2 等の金属酸化物、ポリシリコンな
どの半導体、などの中から適宜材料を選択して用いれば
よい。これら電極1102,1103を形成するには、
例えば真空蒸着などの製膜技術とフォトリソグラフィ、
エッチングなどのパターニング技術を組み合わせて用い
れば容易に形成できるが、それ以外の方法(例えば印刷
技術)を用いて形成してもさしつかえない。The device electrodes 1102 and 1103 provided on the substrate 1101 in parallel with the substrate surface are formed of a conductive material. For example, N
i, Cr, Au, Mo, W, Pt, Ti, Cu, Pd,
Materials may be appropriately selected from metals such as Ag, alloys of these metals, metal oxides such as In2 O3 -SnO2, and semiconductors such as polysilicon. To form these electrodes 1102 and 1103,
For example, film forming technology such as vacuum evaporation and photolithography,
Although it can be easily formed by using a combination of patterning techniques such as etching, it may be formed by other methods (for example, printing technique).
【0064】素子電極1102と1103の形状は、当
該電子放出素子の応用目的に合わせて適宜設計される。
一般的には、電極間隔Lは、通常は数百オングストロー
ムから数百マイクロメータの範囲から適当な数値を選ん
で設計されるが、中でも表示装置に応用するために好ま
しいのは数マイクロメータより数十マイクロメータの範
囲である。また、素子電極の厚さdについては、通常は
数百オングストロームから数マイクロメータの範囲から
適当な数値が選ばれる。また、導電性薄膜1104の部
分には、微粒子膜を用いる。ここで述べた微粒子膜と
は、構成要素として多数の微粒子を含んだ膜(島状の集
合体も含む)のことを指す。微粒子膜を微視的に調べれ
ば、通常は、個々の微粒子が離間して配置された構造
か、あるいは微粒子が互いに隣接した構造か、或は微粒
子が互いに重なり合った構造が観測される。The shapes of the device electrodes 1102 and 1103 are appropriately designed according to the application purpose of the electron-emitting device.
Generally, the electrode interval L is usually designed by selecting an appropriate value from the range of several hundred angstroms to several hundred micrometers. It is in the range of ten micrometers. As for the thickness d of the device electrode, an appropriate numerical value is usually selected from a range of several hundred angstroms to several micrometers. Further, a fine particle film is used for the conductive thin film 1104. The fine particle film mentioned here refers to a film containing a large number of fine particles as constituent elements (including an island-shaped aggregate). When a fine particle film is examined microscopically, usually, a structure in which individual fine particles are spaced apart from each other, a structure in which fine particles are adjacent to each other, or a structure in which fine particles overlap with each other is observed.
【0065】微粒子膜に用いた微粒子の粒径は、数オン
グストロームから数千オングストロームの範囲に含まれ
るものであるが、なかでも好ましいのは10オングスト
ロームから200オングストロームの範囲のものであ
る。また、微粒子膜の膜厚は、以下に述べるような諸条
件を考慮して適宜設定される。即ち、素子電極1102
或は1103と電気的に良好に接続するのに必要な条
件、後述する通電フォーミングを良好に行うのに必要な
条件、微粒子膜自身の電気抵抗を後述する適宜の値にす
るために必要な条件などである。The particle size of the fine particles used in the fine particle film is in the range of several Angstroms to several thousand Angstroms, but preferably in the range of 10 Angstroms to 200 Angstroms. Further, the thickness of the fine particle film is appropriately set in consideration of various conditions described below. That is, the device electrode 1102
Or conditions necessary for good electrical connection with 1103, conditions necessary for good energization forming described later, conditions necessary for setting the electrical resistance of the fine particle film itself to an appropriate value described later. And so on.
【0066】具体的には、数オングストロームから数千
オングストロームの範囲のなかで設定するが、なかでも
好ましいのは10オングストロームから500オングス
トロームの間である。More specifically, the setting is made in the range of several Å to several thousand Å, and the most preferable value is in the range of 10 Å to 500 Å.
【0067】また、微粒子膜を形成するのに用いられう
る材料としては、例えば、Pd,Pt,Ru,Ag,A
u,Ti,In,Cu,Cr,Fe,Zn,Sn,T
a,W,Pb,等の金属や、PdO,SnO2 ,In2
O3 ,PbO,Sb2O3 ,等の酸化物や、HfB2 ,
ZrB2 ,LaB6 ,CeB6 ,YB4 ,GdB4 ,等
の硼化物や、TiC,ZrC,HfC,TaC,Si
C,WC,等の炭化物や、TiN,ZrN,HfN,等
の窒化物や、Si,Ge,等の半導体や、カーボン、な
どがあげられ、これらの中から適宜選択される。Materials that can be used to form the fine particle film include, for example, Pd, Pt, Ru, Ag, A
u, Ti, In, Cu, Cr, Fe, Zn, Sn, T
a, W, Pb, etc., PdO, SnO2, In2
O3, PbO, Sb2O3, etc., oxides such as HfB2,
Borides such as ZrB2, LaB6, CeB6, YB4, GdB4, TiC, ZrC, HfC, TaC, Si
Examples thereof include carbides such as C and WC, nitrides such as TiN, ZrN, and HfN, semiconductors such as Si and Ge, and carbon, and are appropriately selected from these.
【0068】以上述べたように、導電性薄膜1104を
微粒子膜で形成したが、そのシート抵抗値については、
10の3乗から10の7乗[オーム/sq]の範囲に含
まれるよう設定した。As described above, the conductive thin film 1104 is formed of a fine particle film.
It was set to be included in the range of 10 3 to 10 7 [Ohm / sq].
【0069】なお、導電性薄膜1104と素子電極11
02および1103とは、電気的に良好に接続されるの
が望ましいため、互いの一部が重なりあうような構造を
とっている。その重なり方は、図10の例においては、
下から、基板1101、素子電極1102,1103、
導電性薄膜1104の順序で積層したが、場合によって
は下から基板、導電性薄膜、素子電極の順序で積層して
も差し支えない。The conductive thin film 1104 and the device electrode 11
Since it is desirable that the wires 02 and 1103 be electrically connected well, they have a structure in which a part of each overlaps with the other. In the example of FIG.
From below, a substrate 1101, element electrodes 1102, 1103,
Although the conductive thin films 1104 are stacked in this order, the substrate, the conductive thin film, and the device electrodes may be stacked in this order from the bottom in some cases.
【0070】また、電子放出部1105は、導電性薄膜
1104の一部に形成された亀裂状の部分であり、電気
的には周囲の導電性薄膜よりも高抵抗な性質を有してい
る。この亀裂部分は、導電性薄膜1104に対して、後
述する通電フォーミングの処理を行うことにより形成さ
れる。この亀裂内には、数オングストロームから数百オ
ングストロームの粒径の微粒子が配置される場合があ
る。なお、実際の電子放出部の位置や形状を精密かつ正
確に図示するのは困難であるため、図10においては模
式的に示した。The electron-emitting portion 1105 is a crack-like portion formed in a part of the conductive thin film 1104, and has a higher electrical property than the surrounding conductive thin film. The cracked portion is formed by performing a later-described energization forming process on the conductive thin film 1104. Fine particles having a particle size of several Angstroms to several hundred Angstroms may be arranged in the crack. Since it is difficult to accurately and accurately show the actual position and shape of the electron-emitting portion, they are schematically shown in FIG.
【0071】また、薄膜1113は、炭素もしくは炭素
化合物よりなる薄膜で、電子放出部1105及びその近
傍を被覆している。薄膜1113は、通電フォーミング
処理後に、後述する通電活性化の処理を行うことにより
形成する。The thin film 1113 is a thin film made of carbon or a carbon compound, and covers the electron emitting portion 1105 and its vicinity. The thin film 1113 is formed by performing an energization activation process described later after the energization forming process.
【0072】薄膜1113は、単結晶グラファイト、多
結晶グラファイト、非晶質カーボン、のいずれかか、も
しくはその混合物であり、膜厚は500[オングストロ
ーム]以下とするが、300[オングストローム]以下
とするのより好ましい。The thin film 1113 is made of any one of single crystal graphite, polycrystalline graphite and amorphous carbon, or a mixture thereof, and has a thickness of 500 [Å] or less, but 300 [Å] or less. Is more preferable.
【0073】なお、実際の薄膜1113の位置や形状を
精密に図示するのは困難なため、図10においては模式
的に示し、平面図(a)においては、薄膜1113の一
部を除去した素子を図示した。Since it is difficult to precisely show the actual position and shape of the thin film 1113, FIG. 10 schematically shows the position and the shape of the thin film 1113, and FIG. Is illustrated.
【0074】以上、好ましい素子の基本構成を述べた
が、実施例においては以下のような素子を用いた。The basic structure of the preferred elements has been described above. In the examples, the following elements were used.
【0075】即ち、基板1101には青板ガラスを用
い、素子電極1102と1103にはNi薄膜を用い
た。これら素子電極1102,1103の厚さdは、1
000[オングストローム]、電極間隔Lは2[マイク
ロメータ]とした。微粒子膜の主要材料としてPdもし
くはPdOを用い、微粒子膜の厚さは約100[オング
ストローム]、幅Wは100[マイクロメータ]とし
た。That is, blue glass was used for the substrate 1101, and Ni thin films were used for the device electrodes 1102 and 1103. The thickness d of these device electrodes 1102 and 1103 is 1
000 [angstrom], and the electrode interval L was 2 [micrometer]. Pd or PdO was used as the main material of the fine particle film, the thickness of the fine particle film was about 100 [angstrom], and the width W was 100 [micrometer].
【0076】次に、好適な平面型の表面伝導型放出素子
の製造方法について説明する。Next, a description will be given of a method of manufacturing a preferred planar type surface conduction electron-emitting device.
【0077】図11(a)〜(e)は、本実施例の表面
伝導型放出素子の製造工程を説明するための断面図で、
各部材の表記は前記図11と同一である。FIGS. 11A to 11E are cross-sectional views for explaining a manufacturing process of the surface conduction electron-emitting device of this embodiment.
The notation of each member is the same as in FIG.
【0078】(1)まず、図11(a)に示すように、
基板1101上に素子電極1102及び1103を形成
する。これら素子電極を形成するにあたっては、予め基
板1101を洗剤、純水、有機溶剤を用いて十分に洗浄
後、素子電極1102,1103の材料を堆積させる。
この堆積させる方法としては、例えば、蒸着法やスパッ
タ法などの真空成膜技術を用ればよい。その後、その堆
積した電極材料を、フォトリソグラフィ・エッチング技
術を用いてパターニングし、図11(a)に示した一対
の素子電極(1102と1103)を形成する。(1) First, as shown in FIG.
Element electrodes 1102 and 1103 are formed over a substrate 1101. In forming these device electrodes, the substrate 1101 is sufficiently washed beforehand with a detergent, pure water, and an organic solvent, and then the material for the device electrodes 1102 and 1103 is deposited.
As a method for this deposition, for example, a vacuum film forming technique such as an evaporation method or a sputtering method may be used. Thereafter, the deposited electrode material is patterned by using a photolithography / etching technique to form a pair of device electrodes (1102 and 1103) shown in FIG.
【0079】(2)次に、図11(b)に示すように、
導電性薄膜1104を形成する。(2) Next, as shown in FIG.
A conductive thin film 1104 is formed.
【0080】この導電性薄膜1104を形成するにあた
っては、まず図11(a)の基板1101に有機金属溶
液を塗布して乾燥し、加熱焼成処理して微粒子膜を成膜
した後、フォトリソグラフィ・エッチングにより所定の
形状にパターニングする。ここで有機金属溶液とは、導
電性薄膜1104に用いる微粒子の材料を主要元素とす
る有機金属化合物の溶液である。具体的には、本実施例
では主要元素としてPdを用いた。また、実施例では塗
布方法として、ディッピング法を用いたが、それ以外の
例えばスピンナー法やスプレー法を用いてもよい。In forming the conductive thin film 1104, first, an organic metal solution is applied to the substrate 1101 shown in FIG. 11A, dried, heated and baked to form a fine particle film, and then photolithography is performed. It is patterned into a predetermined shape by etching. Here, the organometallic solution is a solution of an organometallic compound containing a material of fine particles used for the conductive thin film 1104 as a main element. Specifically, in this example, Pd was used as a main element. In the embodiment, the dipping method is used as the coating method, but other methods such as a spinner method and a spray method may be used.
【0081】また、微粒子膜で作られる導電性薄膜11
04の成膜方法としては、本実施例で用いた有機金属溶
液の塗布による方法以外の、例えば真空蒸着法やスパッ
タ法或は化学的気相堆積法などを用いる場合もある。The conductive thin film 11 made of a fine particle film
As a method of forming the film 04, a method other than the method of applying the organometallic solution used in this embodiment, for example, a vacuum evaporation method, a sputtering method, or a chemical vapor deposition method may be used.
【0082】(3)次に、同図(c)に示すように、フ
ォーミング用電源1110から素子電極1102と11
03の間に適宜の電圧を印加し、通電フォーミング処理
を行って電子放出部1105を形成する。(3) Next, as shown in FIG. 10C, the forming electrodes 1110 and 11
The electron-emitting portion 1105 is formed by applying an appropriate voltage during the period 03 and performing the energization forming process.
【0083】この通電フォーミング処理とは、微粒子膜
で作られた導電性薄膜1104に通電を行って、その一
部を適宜に破壊、変形、もしくは変質せしめ、電子放出
を行うのに好適な構造に変化させる処理のことである。
この微粒子膜で作られた導電性薄膜のうち電子放出を行
うのに好適な構造に変化した部分(即ち、電子放出部1
105)においては、薄膜に適当な亀裂が形成されてい
る。なお、電子放出部1105が形成される前と比較す
ると、形成された後は素子電極1102と1103の間
で計測される電気抵抗は大幅に増加する。The energization forming treatment is to energize the conductive thin film 1104 made of a fine particle film, to appropriately break, deform, or alter a part of the conductive thin film 1104 to obtain a structure suitable for performing electron emission. This is the process of changing.
A portion of the conductive thin film made of the fine particle film that has been changed to a structure suitable for emitting electrons (that is, the electron emitting portion 1).
In 105), an appropriate crack is formed in the thin film. Note that the electrical resistance measured between the device electrodes 1102 and 1103 is significantly increased after the formation of the electron emission portions 1105 as compared to before the formation.
【0084】このフォーミングのための通電方法をより
詳しく説明するために、図12に、フォーミング用電源
1110から印加する適宜の電圧波形の一例を示す。FIG. 12 shows an example of an appropriate voltage waveform applied from the forming power supply 1110 in order to describe the energizing method for forming in more detail.
【0085】微粒子膜で作られた導電性薄膜1104を
フォーミングする場合には、パルス状の電圧が好まし
く、本実施例の場合には同図に示したようにパルス幅T
1の三角波パルスをパルス間隔T2で連続的に印加し
た。その際には、三角波パルスの波高値Vpfを、順次
昇圧した。また、電子放出部1105の形成状況をモニ
タするためのモニタ・パルスPmを、適宜の間隔で三角
波パルスの間に挿入し、その際に流れる電流を電流計1
111(図11(c))で計測した。When forming the conductive thin film 1104 made of a fine particle film, a pulse-like voltage is preferable. In the case of this embodiment, a pulse width T is used as shown in FIG.
One triangular wave pulse was continuously applied at a pulse interval T2. At that time, the peak value Vpf of the triangular wave pulse was sequentially increased. In addition, a monitor pulse Pm for monitoring the formation state of the electron emitting portion 1105 is inserted at an appropriate interval between the triangular wave pulses, and the current flowing at that time is measured by the ammeter 1.
111 (FIG. 11 (c)).
【0086】本実施例においては、例えば10のマイナ
ス5乗[torr]程度の真空雰囲気下において、例え
ばパルス幅T1を1[ミリ秒]、パルス間隔T2を10
[ミリ秒]とし、波高値Vpfを1パルスごとに0.1
[V]ずつ昇圧した。そして、三角波を5パルス印加す
る毎に1回の割合で、モニタ・パルスPmを挿入した。
ここでフォーミング処理に悪影響を及ぼすことがないよ
うに、モニタ・パルスPmの電圧Vpmは0.1[V]
に設定した。そして、素子電極1102と1103の間
の電気抵抗が1×10の6乗[オーム]になった段階、
即ち、モニタ・パルスの印加時に、電流計1111で計
測される電流が1×10のマイナス7乗[A]以下にな
った段階で、フォーミング処理にかかわる通電を終了し
た。In this embodiment, for example, in a vacuum atmosphere of about 10 −5 [torr], for example, the pulse width T1 is 1 [millisecond] and the pulse interval T2 is 10
[Milliseconds], and the peak value Vpf is set to 0.1 for each pulse.
The voltage was increased by [V]. Then, the monitor pulse Pm was inserted at a rate of once every five pulses of the triangular wave were applied.
Here, the voltage Vpm of the monitor pulse Pm is 0.1 [V] so as not to adversely affect the forming process.
Set to. Then, when the electric resistance between the element electrodes 1102 and 1103 becomes 1 × 10 6 [ohm],
That is, when the current measured by the ammeter 1111 became 1 × 10 −7 [A] or less when the monitor pulse was applied, the energization related to the forming process was terminated.
【0087】なお、上記の方法は、本実施例の表面伝導
型放出素子に関する好ましい方法であり、例えば微粒子
膜の材料や膜厚、或は素子電極間隔Lなど、表面伝導型
放出素子の設計を変更した場合には、それに応じて通電
の条件を適宜変更するのが望ましい。The above method is a preferable method for the surface conduction electron-emitting device of this embodiment. For example, the design of the surface conduction electron-emitting device, such as the material and film thickness of the fine particle film or the distance L between the device electrodes, is determined. If it is changed, it is desirable to appropriately change the energization conditions accordingly.
【0088】(4)次に、図11(d)に示すように、
活性化用電源1112から素子電極1102と1103
の間に適宜の電圧を印加し、通電活性化処理を行って、
電子放出特性の改善を行う。(4) Next, as shown in FIG.
The device electrodes 1102 and 1103 are supplied from the activation power source 1112.
During the energization activation process, apply an appropriate voltage during
Improve electron emission characteristics.
【0089】この通電活性化処理とは、通電フォーミン
グ処理により形成された電子放出部1105に適宜の条
件で通電を行って、その近傍に炭素もしくは炭素化合物
を堆積せしめる処理のことである。図においては、炭素
もしくは炭素化合物よりなる堆積物を部材1113とし
て模式的に示した。尚、このような通電活性化処理を行
うことにより、この活性化処理を行う前と比較して、同
じ印加電圧における放出電流を典型的には100倍以上
に増加させることができる。The energization activation process is a process of energizing the electron emitting portion 1105 formed by the energization forming process under appropriate conditions to deposit carbon or a carbon compound in the vicinity thereof. In the figure, a deposit made of carbon or a carbon compound is schematically shown as a member 1113. By performing such an energization activation process, the emission current at the same applied voltage can be typically increased by a factor of 100 or more as compared to before the activation process.
【0090】具体的には、10のマイナス4乗ないし1
0のマイナス5乗[torr]の範囲内の真空雰囲気中
で、電圧パルスを定期的に印加することにより、真空雰
囲気中に存在する有機化合物を起源とする炭素もしくは
炭素化合物を堆積させる。堆積物1113は、単結晶グ
ラファイト、多結晶グラファイト、非晶質カーボン、の
いずれかか、もしくはその混合物であり、膜厚は500
[オングストローム]以下、より好ましくは300[オ
ングストローム]以下である。Specifically, 10 minus the fourth power to 1
By applying a voltage pulse periodically in a vacuum atmosphere within the range of 0 to the fifth power [torr], carbon or a carbon compound originating from an organic compound existing in the vacuum atmosphere is deposited. The deposit 1113 is any of single crystal graphite, polycrystalline graphite, and amorphous carbon, or a mixture thereof, and has a thickness of 500.
[Angstrom] or less, more preferably 300 [angstrom] or less.
【0091】この時の通電方法をより詳しく説明するた
めに、図13(a)に、活性化用電源1112から印加
する適宜の電圧波形の一例を示す。本実施例において
は、一定電圧の矩形波を定期的に印加して通電活性化処
理を行ったが、具体的には,矩形波の電圧Vacは14
[V],パルス幅T3は、1[ミリ秒],パルス間隔T
4を10[ミリ秒]とした。尚、上述の通電条件は、本
実施例の表面伝導型放出素子に関する好ましい条件であ
り、表面伝導型放出素子の設計を変更した場合には、そ
れに応じて条件を適宜変更するのが望ましい。FIG. 13A shows an example of an appropriate voltage waveform applied from the activating power supply 1112 in order to explain the energizing method at this time in more detail. In the present embodiment, the energization activation process is performed by periodically applying a rectangular wave having a constant voltage.
[V], pulse width T3 is 1 [millisecond], pulse interval T
4 was set to 10 [milliseconds]. It should be noted that the above-mentioned energization conditions are preferable conditions for the surface conduction electron-emitting device of the present embodiment, and when the design of the surface conduction electron-emitting device is changed, it is desirable to appropriately change the conditions accordingly.
【0092】図11(d)に示す1114は、該表面伝
導型放出素子から放出される放出電流Ieを捕捉するた
めのアノード電極で、直流高電圧電源1115および電
流計1116が接続されている。尚、基板1101を表
示パネル12の中に組み込んでから活性化処理を行う場
合には、表示パネル12の蛍光面をアノード電極111
4として用いる。活性化用電源1112から電圧を印加
する間、電流計1116により放出電流Ieを計測して
通電活性化処理の進行状況をモニタし、活性化用電源1
112の動作を制御する。Reference numeral 1114 shown in FIG. 11D denotes an anode electrode for capturing the emission current Ie emitted from the surface conduction electron-emitting device, to which a DC high voltage power supply 1115 and an ammeter 1116 are connected. When the activation process is performed after the substrate 1101 is incorporated into the display panel 12, the phosphor screen of the display panel 12 is set to the anode electrode 111.
Used as 4. While a voltage is applied from the activation power supply 1112, the emission current Ie is measured by the ammeter 1116 to monitor the progress of the energization activation process, and the activation power supply 1
The operation of 112 is controlled.
【0093】この電流計1116で計測された放出電流
Ieの一例を図13(b)に示すが、活性化電源111
2からパルス電圧を印加しはじめると、時間の経過とと
もに放出電流Ieは増加するが、やがて飽和してほとん
ど増加しなくなる。このように、放出電流Ieがほぼ飽
和した時点で活性化用電源1112からの電圧印加を停
止し、通電活性化処理を終了する。An example of the emission current Ie measured by the ammeter 1116 is shown in FIG.
When the application of the pulse voltage starts from 2, the emission current Ie increases with time, but eventually saturates and hardly increases. As described above, when the emission current Ie is substantially saturated, the application of the voltage from the activation power supply 1112 is stopped, and the energization activation process ends.
【0094】なお、上述の通電条件は、本実施例の表面
伝導型放出素子に関する好ましい条件であり、表面伝導
型放出素子の設計を変更した場合には、それに応じて条
件を適宜変更するのが望ましい。The above-described energization conditions are preferable conditions for the surface conduction electron-emitting device of the present embodiment, and when the design of the surface conduction electron-emitting device is changed, the conditions should be changed accordingly. desirable.
【0095】以上のようにして、図11(e)に示す平
面型の表面伝導型放出素子を製造した。As described above, the planar surface conduction electron-emitting device shown in FIG. 11E was manufactured.
【0096】[垂直型の表面伝導型放出素子]次に、電
子放出部もしくはその周辺を微粒子膜から形成した表面
伝導型放出素子のもうひとつの代表的な構成、即ち、垂
直型の表面伝導型放出素子の構成について説明する。[Vertical Surface Conduction Emitting Element] Next, another typical structure of a surface conduction electron-emitting element in which an electron-emitting portion or its periphery is formed of a fine particle film, that is, a vertical surface-conduction type emission device. The configuration of the emission element will be described.
【0097】図14は、垂直型の基本構成を説明するた
めの模式的な断面図である。FIG. 14 is a schematic sectional view for explaining the basic structure of the vertical type.
【0098】図中、1201は基板、1202と120
3は素子電極、1206は段差形成部材、1204は微
粒子膜を用いた導電性薄膜、1205は通電フォーミン
グ処理により形成した電子放出部、1213は通電活性
化処理により形成した薄膜、である。In the drawing, reference numeral 1201 denotes a substrate, 1202 and 120
Reference numeral 3 denotes an element electrode; 1206, a step forming member; 1204, a conductive thin film using a fine particle film; 1205, an electron emitting portion formed by energization forming; and 1213, a thin film formed by energization activation.
【0099】垂直型が先に説明した平面型と異なる点
は、素子電極のうちの片方(1202)が段差形成部材
1206上に設けられており、導電性薄膜1204が段
差形成部材1206の側面を被覆している点にある。従
って、前記図10の平面型における素子電極間隔Lは、
垂直型においては段差形成部材1206の段差高Lsと
して設定される。なお、基板1201、素子電極120
2および1203、微粒子膜を用いた導電性薄膜120
4、については、前記平面型の説明中に列挙した材料を
同様に用いることが可能である。また、段差形成部材1
206には、例えばSiO2 のような電気的に絶縁性の
材料を用いる。The difference between the vertical type and the flat type described above is that one of the element electrodes (1202) is provided on the step forming member 1206, and the conductive thin film 1204 is provided on the side surface of the step forming member 1206. It is in the point of coating. Accordingly, the element electrode interval L in the planar type shown in FIG.
In the vertical type, the height is set as the step height Ls of the step forming member 1206. Note that the substrate 1201, the element electrode 120
2 and 1203, conductive thin film 120 using fine particle film
For 4, the materials listed in the description of the planar type can be used in the same manner. Step forming member 1
For 206, an electrically insulating material such as SiO2 is used.
【0100】次に、垂直型の表面伝導型放出素子の製法
について説明する。図14(a)〜(f)は、本実施例
における製造工程を説明するための断面図で、各部材の
表記は図14と同一で、以下の(1)〜(7)に従って
製造される。Next, a method of manufacturing a vertical surface conduction electron-emitting device will be described. FIGS. 14A to 14F are cross-sectional views for explaining a manufacturing process in the present embodiment. The notation of each member is the same as that in FIG. 14 and manufactured according to the following (1) to (7). .
【0101】(1)まず、図15(a)に示すように、
基板1201上に素子電極1203を形成する。(1) First, as shown in FIG.
An element electrode 1203 is formed over a substrate 1201.
【0102】(2)同図(b)に示すように、段差形成
部材を形成するための絶縁層1206を積層する。この
絶縁層1206は、例えばSiO2 をスパッタ法で積層
すればよいが、例えば真空蒸着法や印刷法などの他の成
膜方法を用いてもよい。(2) As shown in FIG. 10B, an insulating layer 1206 for forming a step forming member is laminated. The insulating layer 1206 may be formed by stacking, for example, SiO2 by sputtering, but other film forming methods such as, for example, a vacuum evaporation method or a printing method may be used.
【0103】(3)同図(c)に示すように、絶縁層1
206の上に素子電極1202を形成する。(3) As shown in FIG.
An element electrode 1202 is formed over the element 206.
【0104】(4)同図(d)に示すように、絶縁層1
206の一部を、例えばエッチング法を用いて除去し、
素子電極1203を露出させる。(4) As shown in FIG.
A part of 206 is removed using, for example, an etching method,
The device electrode 1203 is exposed.
【0105】(5)同図(e)に示すように、微粒子膜
を用いた導電性薄膜1204を形成する。この導電性薄
膜1204を形成するには、前記平面型の場合と同じ
く、例えば塗布法などの成膜技術を用いればよい。(5) As shown in FIG. 10E, a conductive thin film 1204 using a fine particle film is formed. In order to form the conductive thin film 1204, a film forming technique such as a coating method may be used as in the case of the flat type.
【0106】(6)平面型の場合と同じく、通電フォー
ミング処理を行い、電子放出部1205を形成する。
(図11(c)を用いて説明した平面型の通電フォーミ
ング処理と同様の処理を行えばよい。) (7)平面型の場合と同じく、通電活性化処理を行い、
電子放出部1205近傍に炭素もしくは炭素化合物12
13を堆積させる。(図11(d)を用いて説明した平
面型の通電活性化処理と同様の処理を行えばよい。) 以上のようにして、図15(f)に示す垂直型の表面伝
導型放出素子を製造した。 [表示装置に用いた表面伝導型放出素子の特性]以上、
平面型と垂直型の表面伝導型放出素子について素子構成
と製法を説明したが、次にこの表面伝導型電子放出素子
を表示装置に用いた場合の特性について述べる。(6) As in the case of the flat type, the energization forming process is performed to form the electron emitting portions 1205.
(A process similar to the planar energization forming process described with reference to FIG. 11C may be performed.) (7) As in the case of the planar type, the energization activation process is performed.
Carbon or carbon compound 12 near the electron emitting portion 1205
13 is deposited. (A process similar to the planar energization activation process described with reference to FIG. 11D may be performed.) As described above, the vertical surface conduction electron-emitting device shown in FIG. Manufactured. [Characteristics of surface conduction electron-emitting device used in display device]
The element structure and manufacturing method of the planar and vertical surface conduction electron-emitting devices have been described. Next, the characteristics when the surface conduction electron-emitting device is used in a display device will be described.
【0107】図16は、本実施例の表面伝導型電子放出
素子を表示装置に用いた素子の(放出電流Ie)対(素
子印加電圧Vf)特性、および(素子電流If)対(素
子印加電圧Vf)特性の典型的な例を示す図である。
尚、放出電流Ieは素子電流Ifに比べて著しく小さ
く、同一尺度で図示するのが困難である上、これらの特
性は素子の大きさや形状等の設計パラメータを変更する
ことにより変化されるものであるため、2本のグラフは
各々任意の単位で図示した。FIG. 16 shows (emission current Ie) vs. (device applied voltage Vf) characteristics and (device current If) vs. (device applied voltage) characteristics of a device using the surface conduction electron-emitting device of this embodiment in a display device. FIG. 5 is a diagram illustrating a typical example of Vf) characteristics.
Note that the emission current Ie is significantly smaller than the element current If, and it is difficult to show the same current on the same scale. In addition, these characteristics are changed by changing design parameters such as the size and shape of the element. For this reason, the two graphs are shown in arbitrary units.
【0108】本実施例の表示装置に用いた電子放出素子
は、放出電流Ieに関して以下に述べる3つの特性を有
している。The electron-emitting device used in the display device of this embodiment has the following three characteristics with respect to the emission current Ie.
【0109】第1に、ある電圧(これを閾値電圧Vth
と呼ぶ)以上の大きさの電圧を素子に印加すると急激に
放出電流Ieが増加するが、一方、閾値電圧Vth未満
の電圧では放出電流Ieはほとんど検出されない。即
ち、放出電流Ieに関して、明確な閾値電圧Vthを持
った非線形素子である。First, a certain voltage (this is referred to as a threshold voltage Vth
The emission current Ie sharply increases when a voltage having the above magnitude is applied to the element, but the emission current Ie is hardly detected at a voltage lower than the threshold voltage Vth. That is, the non-linear element has a clear threshold voltage Vth with respect to the emission current Ie.
【0110】第2に、放出電流Ieは素子に印加する電
圧Vfに依存して変化するため、電圧Vfで放出電流I
eの大きさを制御できる。Second, since the emission current Ie changes depending on the voltage Vf applied to the element, the emission current Ie varies with the voltage Vf.
The magnitude of e can be controlled.
【0111】第3に、素子に印加する電圧Vfに対して
素子から放出される電流Ieの応答速度が速いため、電
圧Vfを印加する時間の長さによって素子から放出され
る電子の電荷量を制御できる。Third, since the response speed of the current Ie emitted from the element is fast with respect to the voltage Vf applied to the element, the amount of charge of the electrons emitted from the element depends on the length of time during which the voltage Vf is applied. Can control.
【0112】以上のような特性を有するため、表面伝導
型放出素子を表示装置に好適に用いることができた。例
えば多数の素子を表示画面の画素に対応して設けた表示
装置において、第1の特性を利用すれば、表示画面を順
次走査して表示を行うことが可能である。即ち、駆動中
の素子には所望の発光輝度に応じて閾値電圧Vth以上
の電圧を適宜印加し、非選択状態の素子には閾値電圧V
th未満の電圧を印加する。こうして駆動する素子を順
次切り替えてゆくことにより、表示画面を順次走査して
表示を行うことが可能である。Because of the above-mentioned characteristics, the surface conduction electron-emitting device could be suitably used for a display device. For example, in a display device in which a large number of elements are provided corresponding to pixels of a display screen, if the first characteristic is used, display can be performed by sequentially scanning the display screen. That is, a voltage equal to or higher than the threshold voltage Vth is appropriately applied to the element under driving according to the desired light emission luminance, and the threshold voltage V
A voltage less than th is applied. By sequentially switching the elements to be driven in this manner, display can be performed by sequentially scanning the display screen.
【0113】また、前述した第2の特性か、又は第3の
特性を利用することにより、発光輝度を制御することが
できるため、諧調表示を行うことが可能である。Further, by using the second characteristic or the third characteristic described above, the emission luminance can be controlled, so that a gradation display can be performed.
【0114】[多数素子を単純マトリクス配線したマル
チ電子ビーム源の構造]次に、上述の表面伝導型放出素
子を基板上に配列して単純マトリクス配線したマルチ電
子ビーム源の構造について述べる。[Structure of a multi-electron beam source in which a large number of elements are arranged in a simple matrix] Next, a structure of a multi-electron beam source in which the above-described surface conduction electron-emitting elements are arranged on a substrate and arranged in a simple matrix will be described.
【0115】図17に示すのは、前記図8の表示パネル
12に用いたマルチ電子ビーム源の平面図である。前述
したように、基板1001上には、図10で示したもの
と同様な表面伝導型放出素子が配列され、これらの素子
は行方向配線55と列方向配線54に接続され、単純マ
トリクスに配線されている。行方向配線55と列方向配
線54とが交差する部分には、電極間に絶縁層(不図
示)が形成されており、電気的な絶縁が保たれている。FIG. 17 is a plan view of the multi-electron beam source used for the display panel 12 of FIG. As described above, on the substrate 1001, surface conduction type emission elements similar to those shown in FIG. 10 are arranged, and these elements are connected to the row-direction wiring 55 and the column-direction wiring 54, and are arranged in a simple matrix. Have been. An insulating layer (not shown) is formed between the electrodes at a portion where the row wiring 55 and the column wiring 54 intersect, so that electrical insulation is maintained.
【0116】図17のA−A’に沿った断面形状を図1
8に示す。FIG. 1 is a sectional view taken along the line AA ′ of FIG.
FIG.
【0117】なお、このような構造のマルチ電子源は、
予め基板1001上に行方向配線55、列方向配線5
4、電極間絶縁層(不図示)、および表面伝導型放出素
子の素子電極と導電性薄膜とを形成した後、行方向配線
55および列方向配線54を介して、各素子に給電して
通電フォーミング処理と通電活性化処理を行うことによ
り製造した。Incidentally, the multi-electron source having such a structure is as follows.
The row direction wiring 55 and the column direction wiring 5 are previously formed on the substrate 1001.
4. After forming the interelectrode insulating layer (not shown), the device electrode of the surface conduction electron-emitting device, and the conductive thin film, power is supplied to each device via the row wiring 55 and the column wiring 54 to supply current. It was manufactured by performing a forming process and a current activation process.
【0118】図19は、本実施例の表面伝導型放出素子
を電子ビーム源として用いたディスプレイパネル12
に、例えばテレビジョン放送等の種々の画像情報源より
提供される画像情報を表示できるように構成した多機能
表示装置の一例を示すためのブロック図である。FIG. 19 shows a display panel 12 using the surface conduction electron-emitting device of this embodiment as an electron beam source.
FIG. 1 is a block diagram showing an example of a multi-function display device configured to be able to display image information provided from various image information sources such as a television broadcast.
【0119】図中、12は前述したディスプレイパネ
ル、2101はディスプレイパネル12の駆動回路で、
2101aは映像信号を出力する駆動回路、2101b
は走査信号を出力する駆動回路を示している。尚、本実
施例の表示装置は、例えばテレビジョン信号のように映
像情報と音声情報の両方を含む信号を受信する場合に
は、当然映像の表示と同時に音声を再生するものである
が、本実施例の特徴と直接関係しない音声情報の受信、
分離、再生、処理、記憶などに関する回路やスピーカな
どについては説明を省略する。In the figure, reference numeral 12 denotes the display panel described above, and 2101 denotes a driving circuit for the display panel 12.
2101a is a driving circuit for outputting a video signal, 2101b
Denotes a driving circuit that outputs a scanning signal. Note that the display device of the present embodiment, when receiving a signal including both video information and audio information, such as a television signal, naturally reproduces the audio simultaneously with the display of the video. Reception of audio information not directly related to the features of the embodiment,
Descriptions of circuits, speakers, and the like related to separation, reproduction, processing, storage, and the like are omitted.
【0120】以下、画像信号の流れに沿って各部の機能
を説明してゆく。Hereinafter, the function of each unit will be described along the flow of the image signal.
【0121】まず、TV信号受信回路2113は、例え
ば電波や空間光通信などのような無線伝送系を用いて伝
送されるTV画像信号を受信するための回路である。受
信するTV信号の方式は特に限られるものではなく、例
えば、NTSC方式、PAL方式、SECAM方式など
の処方式でもよい。また、これらより更に多数の走査線
よりなるTV信号(例えばMUSE方式等のいわゆる高
品位TV)は、大面積化や大画素数化に適した前記ディ
スプレイパネル12の利点を生かすのに好適な信号源で
ある。TV信号受信回路2113で受信されたTV信号
は、デコーダ2104に出力される。First, the TV signal receiving circuit 2113 is a circuit for receiving a TV image signal transmitted using a wireless transmission system such as radio waves or spatial optical communication. The format of the received TV signal is not particularly limited, and may be, for example, a prescription formula such as the NTSC format, the PAL format, or the SECAM format. A TV signal (for example, a so-called high-definition TV such as a MUSE system) composed of a larger number of scanning lines is a signal suitable for taking advantage of the display panel 12 suitable for increasing the area and the number of pixels. Source. The TV signal received by the TV signal receiving circuit 2113 is output to the decoder 2104.
【0122】また、TV信号受信回路2112は、例え
ば同軸ケーブルや光ファイバなどのような有線伝送系を
用いて伝送されるTV画像信号を受信するための回路で
ある。前記TV信号受信回路2113と同様に、受信す
るTV信号の方式は特に限られるものではなく、また本
回路で受信されたTV信号もデコーダ2104に出力さ
れる。また、画像入力インターフェース回路2111
は、例えばTVカメラや画像読み取りスキャナなどの画
像入力装置から供給される画像信号を取り込むための回
路で、取り込まれた画像信号はデコーダ2104に出力
される。The TV signal receiving circuit 2112 is a circuit for receiving a TV image signal transmitted using a wired transmission system such as a coaxial cable or an optical fiber. As with the TV signal receiving circuit 2113, the type of the TV signal to be received is not particularly limited, and the TV signal received by this circuit is also output to the decoder 2104. Also, the image input interface circuit 2111
Is a circuit for capturing an image signal supplied from an image input device such as a TV camera or an image reading scanner. The captured image signal is output to the decoder 2104.
【0123】画像メモリインターフェース回路2110
は、ビデオテープレコーダ(以下VTRと略す)に記憶
されている画像信号を取り込むための回路で、取り込ま
れた画像信号はデコーダ2104に出力される。画像メ
モリインターフェース回路2109は、ビデオディスク
に記憶されている画像信号を取り込むための回路で、取
り込まれた画像信号はデコーダ2104に出力される。
画像メモリインターフェース回路2108は、いわゆる
静止画ディスクのように、静止画像データを記憶してい
る装置から画像信号を取り込むための回路で、取り込ま
れた静止画像データはデコーダ2104に出力される。Image memory interface circuit 2110
Is a circuit for capturing an image signal stored in a video tape recorder (hereinafter abbreviated as VTR), and the captured image signal is output to a decoder 2104. The image memory interface circuit 2109 is a circuit for taking in an image signal stored in the video disk, and the taken-in image signal is output to the decoder 2104.
The image memory interface circuit 2108 is a circuit for taking in an image signal from a device storing still image data, such as a so-called still image disk, and the taken still image data is output to the decoder 2104.
【0124】入出力インターフェース回路2105は、
本表示装置と、外部のコンピュータもしくはコンピュー
タネットワークもしくはプリンタなどの出力装置とを接
続するための回路である。画像データや文字データ・図
形情報の入出力を行うのはもちろんのこと、場合によっ
ては本表示装置の備えるCPU2106と外部との間で
制御信号や数値データの入出力などを行うことも可能で
ある。画像生成回路2107は、前記入出力インターフ
ェース回路2105を介して外部から入力される画像デ
ータや文字・図形情報や、あるいはCPU2106より
出力される画像データや文字・図形情報に基づき表示用
画像データを生成するための回路である。本回路の内部
には、例えば画像データや文字・図形情報を蓄積するた
めの書き換え可能メモリや、文字コードに対応する画像
パターンが記憶されている読みだし専用メモリや、画像
処理を行うためのプロセッサなどの画像の生成に必要な
回路が組み込まれている。The input / output interface circuit 2105 includes:
A circuit for connecting the present display device to an external computer, a computer network, or an output device such as a printer. In addition to inputting and outputting image data, character data, and graphic information, control signals and numerical data can be input and output between the CPU 2106 included in the display device and the outside in some cases. . The image generation circuit 2107 generates display image data based on image data and character / graphic information input from the outside via the input / output interface circuit 2105 or image data and character / graphic information output from the CPU 2106. It is a circuit for performing. Within this circuit, for example, a rewritable memory for storing image data and character / graphic information, a read-only memory for storing image patterns corresponding to character codes, and a processor for performing image processing A circuit necessary for generating an image such as an image is incorporated.
【0125】本実施例の回路により生成された表示用画
像データは、デコーダ2104に出力されるが、場合に
よっては前記入出力インターフェース回路2105を介
して外部のコンピュータネットワークやプリンタ入出力
することも可能である。The display image data generated by the circuit of this embodiment is output to the decoder 2104. In some cases, it is possible to input / output an external computer network or a printer via the input / output interface circuit 2105. It is.
【0126】また、CPU2106は、主として本表示
装置の動作制御や、表示画像の生成や選択や編集に関わ
る作業を行う。例えば、マルチプレクサ2103に制御
信号を出力し、ディスプレイパネルに表示する画像信号
を適宜選択したり組み合わせたりする。また、その際に
は表示する画像信号に応じてディスプレイパネル・コン
トローラ2102に対して制御信号を発生し、画面表示
周波数や走査方法(例えばインターレースかノンインタ
ーレースか)や一画面の走査線の数など表示装置の動作
を適宜制御する。前記画像生成回路2107に対して画
像データや文字・図形情報を直接出力したり、あるいは
前記入出力インターフェース回路2105を介して外部
のコンピュータやメモリをアクセスして画像データや文
字・図形情報を入力する。The CPU 2106 mainly performs operations related to operation control of the display device and generation, selection, and editing of a display image. For example, a control signal is output to the multiplexer 2103, and image signals to be displayed on the display panel are appropriately selected or combined. At that time, a control signal is generated to the display panel controller 2102 in accordance with the image signal to be displayed, and the screen display frequency, the scanning method (for example, interlaced or non-interlaced), the number of scanning lines on one screen, and the like. The operation of the display device is appropriately controlled. Image data and character / graphic information are directly output to the image generation circuit 2107, or image data and character / graphic information are input by accessing an external computer or memory via the input / output interface circuit 2105. .
【0127】なお、CPU2106は、むろんこれ以外
の目的の作業にも関わるものであっても良い。例えば、
パーソナルコンピュータやワードプロセッサなどのよう
に、情報を生成したり処理する機能に直接関わっても良
い。あるいは、前述したように入出力インターフェース
回路2105を介して外部のコンピュータネットワーク
と接続し、例えば数値計算などの作業を外部機器と協同
して行っても良い。The CPU 2106 may, of course, be involved in work for other purposes. For example,
It may be directly related to a function of generating and processing information, such as a personal computer or a word processor. Alternatively, as described above, the computer may be connected to an external computer network via the input / output interface circuit 2105, and work such as numerical calculation may be performed in cooperation with an external device.
【0128】また、入力部2114は、前記CPU21
06に使用者が命令やプログラム、あるいはデータなど
を入力するためのものであり、例えばキーボードやマウ
スのほか、ジョイスティック,バーコードリーダ,音声
認識装置など多様な入力機器を用いることが可能であ
る。The input unit 2114 is connected to the CPU 21.
06 is for the user to input commands, programs, data, and the like. For example, in addition to a keyboard and a mouse, various input devices such as a joystick, a barcode reader, and a voice recognition device can be used.
【0129】デコーダ2104は、前記2107ないし
2113より入力される種々の画像信号を3原色信号、
または輝度信号とI信号,Q信号に逆変換するための回
路である。なお、同図中に点線で示すように、デコーダ
2104は内部に画像メモリを備えるのが望ましい。こ
れは、例えばMUSE方式をはじめとして、逆変換する
に際して画像メモリを必要とするようなテレビ信号を扱
うためである。また、画像メモリを備えることにより、
静止画の表示が容易になる、あるいは前記画像生成回路
2107およびCPU2106と協動して画素の間引
き、補間、拡大、縮小、合成等の画像処理や編集が容易
に行えるようになるという利点が生まれるからである。A decoder 2104 converts various image signals input from the above 2107 to 2113 into three primary color signals,
Alternatively, it is a circuit for inversely converting a luminance signal into an I signal and a Q signal. It is to be noted that the decoder 2104 desirably includes an image memory therein, as indicated by a dotted line in FIG. This is for handling television signals that require an image memory when performing inverse conversion, such as the MUSE method. Also, by having an image memory,
There is an advantage that display of a still image is facilitated, or image processing and editing such as pixel thinning, interpolation, enlargement, reduction, and synthesis can be easily performed in cooperation with the image generation circuit 2107 and the CPU 2106. Because.
【0130】マルチプレクサ2103は、前記CPU2
106より入力される制御信号に基づき表示画像を適宜
選択するものである。即ち、マルチプレクサ2103は
デコーダ2104から入力される逆変換された画像信号
のうちから所望の画像信号を選択して駆動回路2101
a,2101bに出力する。その場合には、一画面表示
時間内で画像信号を切り替えて選択することにより、い
わゆる多画面テレビのように、一画面を複数の領域に分
けて領域によって異なる画像を表示することも可能であ
る。また、ディスプレイパネルコントローラ2102
は、前記CPU2106より入力される制御信号に基づ
き駆動回路2101a,2101bの動作を制御するた
めの回路である。A multiplexer 2103 is connected to the CPU 2
A display image is appropriately selected based on a control signal input from the control unit 106. That is, the multiplexer 2103 selects a desired image signal from the inversely converted image signals input from the decoder 2104, and selects the driving circuit 2101
a, 2101b. In that case, by switching and selecting an image signal within one screen display time, it is possible to divide one screen into a plurality of areas and display different images depending on the areas, as in a so-called multi-screen TV. . Also, the display panel controller 2102
Is a circuit for controlling the operation of the drive circuits 2101a and 2101b based on the control signal input from the CPU 2106.
【0131】まず、ディスプレイパネル12の基本的な
動作にかかわるものとして、例えばディスプレイパネル
の駆動用電源(図示せず)の動作シーケンスを制御する
ための信号を駆動回路2101a,2101bに対して
出力する。First, as a signal related to the basic operation of the display panel 12, for example, a signal for controlling an operation sequence of a power supply (not shown) for driving the display panel is output to the driving circuits 2101a and 2101b. .
【0132】また、ディスプレイパネルの駆動方法に関
わるものとして、例えば画面表示周波数や走査方法(例
えばインターレースかノンインターレースか)を制御す
るための信号を駆動回路2101a,2101bに対し
て出力する。Further, as a signal relating to the driving method of the display panel, a signal for controlling, for example, a screen display frequency and a scanning method (for example, interlaced or non-interlaced) is output to the driving circuits 2101a and 2101b.
【0133】また、場合によっては表示画像の輝度やコ
ントラストや色調やシャープネスといった画質の調整に
関わる制御信号を駆動回路2101a,2101bに対
して出力する場合もある。駆動回路2101a,bは、
ディスプレイパネル12に印加する駆動信号を発生する
ための回路であり、前記マルチプレクサ2103から入
力される画像信号と、前記ディスプレイパネルコントロ
ーラ2102より入力される制御信号に基づいて動作す
るものである。In some cases, control signals related to image quality adjustment such as brightness, contrast, color tone, and sharpness of a display image may be output to the drive circuits 2101a and 2101b. The driving circuits 2101a and 2101b
A circuit for generating a drive signal to be applied to the display panel 12, which operates based on an image signal input from the multiplexer 2103 and a control signal input from the display panel controller 2102.
【0134】以上、各部の機能を説明したが、図20に
例示した構成により、本表示装置においては多様な画像
情報源より入力される画像情報をディスプレイパネル1
2に表示することが可能である。即ち、テレビジョン放
送等の各種の画像信号はデコーダ2104において逆変
換された後、マルチプレクサ2103において適宜選択
され、駆動回路2101a,2101bに入力される。
一方、ディスプレイコントローラ2102は、表示する
画像信号に応じて駆動回路2101a,2101bの動
作を制御するための制御信号を発生する。駆動回路21
01a,2101bは、画像信号と制御信号に基づいて
ディスプレイパネル12に駆動信号を印加する。The function of each unit has been described above. With the configuration illustrated in FIG. 20, in the present display device, image information input from various image information sources is displayed on the display panel 1.
2 can be displayed. That is, various image signals such as television broadcasts are inversely converted by the decoder 2104, then appropriately selected by the multiplexer 2103, and input to the drive circuits 2101a and 2101b.
On the other hand, the display controller 2102 generates a control signal for controlling the operation of the driving circuits 2101a and 2101b according to the image signal to be displayed. Drive circuit 21
01a and 2101b apply drive signals to the display panel 12 based on image signals and control signals.
【0135】これにより、ディスプレイパネル12にお
いて画像が表示される。これらの一連の動作は、CPU
2106により統括的に制御される。また、本表示装置
においては、前記デコーダ2104に内蔵する画像メモ
リや、画像生成回路2107およびCPU2106が関
与することにより、単に複数の画像情報の中から選択し
たものを表示するだけでなく、表示する画像情報に対し
て、例えば拡大、縮小、回転、移動、エッジ強調、間引
き、補間、色変換、画像の縦横比変換等の画像処理や、
合成、消去、接続、入れ換え、はめ込み等の画像編集を
行うことも可能である。また、本実施例の説明では特に
触れなかったが、上記画像処理や画像編集と同様に、音
声情報に関しても処理や編集を行うための専用回路を設
けても良い。As a result, an image is displayed on the display panel 12. These series of operations are performed by the CPU
It is controlled overall by 2106. In addition, in the present display device, not only the image information selected from a plurality of pieces of image information is displayed but also displayed by the involvement of the image memory incorporated in the decoder 2104, the image generation circuit 2107 and the CPU 2106. For image information, for example, image processing such as enlargement, reduction, rotation, movement, edge enhancement, thinning, interpolation, color conversion, image aspect ratio conversion,
It is also possible to perform image editing such as combining, erasing, connecting, exchanging, and fitting. Although not specifically described in the description of the present embodiment, a dedicated circuit for processing and editing audio information may be provided as in the above-described image processing and image editing.
【0136】従って、本表示装置は、テレビジョン放送
の表示機器、テレビ会議の端末機器、静止画像および動
画像を扱う画像編集機器、コンピュータの端末機器、ワ
ードプロセッサ等の事務用端末機器、ゲーム機などの機
能を一台で兼ね備えることが可能で、産業用あるいは民
生用として極めて応用範囲が広い。Therefore, the present display device is a television broadcast display device, a video conference terminal device, an image editing device that handles still images and moving images, a computer terminal device, an office terminal device such as a word processor, a game machine, and the like. Function can be provided by a single unit, and the range of application is extremely wide for industrial or consumer use.
【0137】なお、図20は、表面伝導型放出素子を電
子ビーム源とするディスプレイパネルを用いた表示装置
の構成の一例を示したにすぎず、これのみに限定される
ものではない事は言うまでもない。例えば、図20の構
成要素のうち使用目的上必要のない機能に関わる回路は
省いても差し支えない。またこれとは逆に、使用目的に
よってはさらに構成要素を追加しても良い。例えば、本
表示装置をテレビ電話機として応用する場合には、テレ
ビカメラ、音声マイク、照明機、モデムを含む送受信回
路などを構成要素に追加するのが好適である。FIG. 20 shows only an example of the configuration of a display device using a display panel using a surface conduction electron-emitting device as an electron beam source, and it goes without saying that the present invention is not limited to this. No. For example, among the components shown in FIG. 20, circuits relating to functions that are unnecessary for the intended use may be omitted. Conversely, additional components may be added depending on the purpose of use. For example, when the present display device is applied as a videophone, it is preferable to add a transmission / reception circuit including a television camera, an audio microphone, an illuminator, and a modem to the components.
【0138】本表示装置においては、とりわけ表面伝導
型放出素子を電子ビーム源とするディスプレイパネルが
容易に薄形化できるため、表示装置全体の奥行きを小さ
くすることが可能である。それに加えて、表面伝導型放
出素子を電子ビーム源とするディスプレイパネルは大画
面化が容易で輝度が高く視野角特性にも優れるため、本
実施例の表示装置は臨場感あふれ迫力に富んだ画像を視
認性良く表示する事が可能である。In the present display device, in particular, since the display panel using the surface conduction electron-emitting device as the electron beam source can be easily thinned, the depth of the entire display device can be reduced. In addition, since the display panel using the surface conduction electron-emitting device as the electron beam source is easy to enlarge the screen, has high brightness, and has excellent viewing angle characteristics, the display device of this embodiment is full of immersive and powerful images. Can be displayed with good visibility.
【0139】尚、本発明は、複数の機器から構成される
システムに適用しても、1つの機器から成る装置に適用
しても良い。また、本発明はシステム或は装置に本発明
を実施するプログラムを供給することによって達成され
る場合にも適用できる。The present invention may be applied to a system composed of a plurality of devices or an apparatus composed of one device. The present invention can also be applied to a case where the present invention is achieved by supplying a program for implementing the present invention to a system or an apparatus.
【0140】以上説明したように本実施例によれば、デ
ルタ配列の蛍光体を備える表示装置において、蛍光体の
配列に合わせて電子放出素子の位置を決定し、それら電
子放出素子を接続するための列方向配線を蛇行させる必
要がなくなる。そのため、列方向配線が直線で良くな
り、配線パターンを作成する負荷を軽減できる。As described above, according to the present embodiment, in the display device having the delta-arranged phosphors, the positions of the electron-emitting devices are determined according to the arrangement of the phosphors, and the electron-emitting devices are connected. It is not necessary to meander the column direction wiring. Therefore, the wiring in the column direction can be made straight, and the load of creating a wiring pattern can be reduced.
【0141】また、列方向配線の蛇行を防ぐために列方
向配線の数を2倍にする必要もなくなるという効果があ
る。Further, there is an effect that it is not necessary to double the number of column-direction wirings in order to prevent meandering of the column-direction wirings.
【0142】また、列方向の配線を直線にできるため、
線抵抗をより小さくでき、線抵抗による画像濃度の変動
を抑えて、表示される画像の質の低下を防止できる効果
がある。Further, since the wiring in the column direction can be made straight,
There is an effect that the line resistance can be further reduced, the fluctuation of the image density due to the line resistance can be suppressed, and the quality of the displayed image can be prevented from being deteriorated.
【0143】[0143]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、列
方向配線を直線のままにしてデルタ配列された蛍光体を
発光できる効果がある。As described above, according to the present invention, there is an effect that the phosphors arranged in the delta arrangement can emit light while the wiring in the column direction is kept straight.
【0144】また本発明によれば、所定の列方向配線が
常に所定の色の蛍光体を発光させるための駆動信号を伝
播するようにして駆動回路の構成を簡単にできるという
効果がある。Further, according to the present invention, there is an effect that the configuration of the drive circuit can be simplified by allowing the predetermined column direction wiring to always transmit the drive signal for causing the phosphor of the predetermined color to emit light.
【0145】また本発明によれば、列方向配線と行方向
配線とを共に直線パターンで配線できるため、製造工程
を簡略化できる画像表示装置を提供することができる。Further, according to the present invention, since both the column direction wiring and the row direction wiring can be wired in a linear pattern, it is possible to provide an image display device which can simplify the manufacturing process.
【0146】[0146]
【図1】本実施例の表示装置の表示駆動回路の構成を示
すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of a display driving circuit of a display device according to an embodiment.
【図2】本実施例の表示パネルにおける電子放出素子の
配列を説明する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an arrangement of electron-emitting devices in the display panel of the present embodiment.
【図3】本実施例の電子放出素子の電子放出部から放出
された電子の軌道を表す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a trajectory of electrons emitted from an electron emitting portion of the electron emitting device of the present embodiment.
【図4】本発明の第1実施例における、飛び越し走査を
せずに表示装置を駆動する際のタイミングチャートであ
る。FIG. 4 is a timing chart when the display device is driven without performing interlaced scanning in the first embodiment of the present invention.
【図5】第1実施例において、電子放出部から電子が放
出され蛍光体に照射される様子を示した図である。FIG. 5 is a diagram showing a state in which electrons are emitted from an electron emitting portion and are irradiated on a phosphor in the first embodiment.
【図6】本発明の他の実施例において、電子放出部から
電子が放出され蛍光体に照射される様子を示した図であ
る。FIG. 6 is a view showing a state in which electrons are emitted from an electron emitting portion and are irradiated on a phosphor in another embodiment of the present invention.
【図7】本発明の第2実施例における、飛び越し走査を
して表示装置を駆動する際のタイミングチャートであ
る。FIG. 7 is a timing chart for driving a display device by performing interlaced scanning in a second embodiment of the present invention.
【図8】本発明の実施例の画像形成装置の表示パネルの
構成を示す一部分解斜視図である。FIG. 8 is a partially exploded perspective view showing a configuration of a display panel of the image forming apparatus according to the embodiment of the present invention.
【図9】従来の画像形成装置の蛍光面の模式図である。FIG. 9 is a schematic view of a phosphor screen of a conventional image forming apparatus.
【図10】本実施例で用いた平面型の表面伝導型放出素
子の平面図(a)と、その断面図(b)である。FIGS. 10A and 10B are a plan view and a cross-sectional view, respectively, of a planar type surface conduction electron-emitting device used in this example.
【図11】本実施例の平面型の表面伝導型放出素子の製
造工程を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the planar surface-conduction emission type electron-emitting device of the present embodiment.
【図12】本実施例における通電フォーミング処理の印
加電圧波形を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing an applied voltage waveform in the energization forming process in the present embodiment.
【図13】本実施例における通電活性化処理の際の印加
電圧波形(a)と、放出電流Ieの変化(b)を示す図
である。FIG. 13 is a diagram showing an applied voltage waveform (a) and a change (b) of an emission current Ie during the energization activation process in this embodiment.
【図14】本実施例で用いた垂直型の表面伝導型放出素
子の平面図である。FIG. 14 is a plan view of a vertical surface conduction electron-emitting device used in this example.
【図15】本実施例の垂直型の表面伝導型放出素子の製
造工程を示す断面図である。FIG. 15 is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the vertical surface conduction electron-emitting device of the present embodiment.
【図16】本実施例で用いた表面伝導型放出素子の典型
的な特性を示すグラフ図である。FIG. 16 is a graph showing typical characteristics of the surface conduction electron-emitting device used in this example.
【図17】本実施例のマルチ電子源の配列を説明する図
である。FIG. 17 is a diagram illustrating an arrangement of a multi-electron source according to the present embodiment.
【図18】図17のA−A’で示したマルチ電子ビーム
源の基板の断面図である。18 is a cross-sectional view of the substrate of the multi-electron beam source shown by AA ′ in FIG.
【図19】本発明の実施例の画像形成装置の構成を示す
ブロック図である。FIG. 19 is a block diagram illustrating a configuration of an image forming apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図20】従来の表面伝導型放出素子の一例を示す図で
ある。FIG. 20 is a diagram showing an example of a conventional surface conduction electron-emitting device.
【図21】従来のカラー画像表示装置の画素の配列を示
す図である。FIG. 21 is a diagram showing an arrangement of pixels of a conventional color image display device.
【図22】従来のマトリクス配線された配線を説明する
図である。FIG. 22 is a diagram illustrating a conventional matrix wiring.
1 信号処理部 2 変調信号発生部 3 タイミング制御回路 4,5 スイッチング回路 6 パルス発生器 7 走査行選択回路 8,10 スイッチ 9 反転器 11 MOS−FETゲート 12 ディスプレイパネル 13,1002 電子放出素子 53 電子放出部 54 列方向配線 55 行方向配線 56,57 電極 101,1007 フェースプレート 110,150 蛍光体 154,1005 リアプレート 1001 基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Signal processing part 2 Modulation signal generation part 3 Timing control circuit 4,5 Switching circuit 6 Pulse generator 7 Scanning row selection circuit 8,10 Switch 9 Inverter 11 MOS-FET gate 12 Display panel 13,1002 Electron emission element 53 Electron Emission unit 54 Column direction wiring 55 Row direction wiring 56, 57 Electrode 101, 1007 Face plate 110, 150 Phosphor 154, 1005 Rear plate 1001 Substrate
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−261028(JP,A) 特開 平2−299142(JP,A) 特開 平1−146236(JP,A) 特開 昭64−31332(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 31/12 G09G 3/22 Continuation of the front page (56) References JP-A-3-261028 (JP, A) JP-A-2-299142 (JP, A) JP-A-1-146236 (JP, A) JP-A-64-31332 (JP) , A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H01J 31/12 G09G 3/22
Claims (9)
面伝導型放出素子を複数の行に亙って接続しマトリクス
状に形成したマルチ電子ビーム源と、前記電子ビーム源
より放出される電子により発光する蛍光体とを備えた画
像表示装置において、 前記蛍光体が複数行に亙って、隣接する行間で前記蛍光
体の位置が行方向にほぼ1/2ずれて配設され、前記蛍
光体のそれぞれのほぼ中心が行方向に隣接する表面伝導
型放出素子の電子放出部の間をほぼ3:1に分割する位
置の上方に来るように配設された蛍光面と、 前記表面伝導型電子放出素子に印加する電位方向を前記
行毎に反転させ、画像信号に応じて駆動する駆動手段
と、を有することを特徴とする画像表示装置。1. A multi-electron beam source in which a surface conduction electron-emitting device having a pair of electrodes and an electron-emitting portion is connected in a plurality of rows and formed in a matrix, and is emitted from the electron beam source. An image display device comprising: a phosphor that emits light by electrons; wherein the phosphor is disposed over a plurality of rows, and a position of the phosphor is shifted by approximately 1/2 in a row direction between adjacent rows; A phosphor screen disposed such that a substantially center of each of the phosphors is located above a position where the electron emission portions of the surface conduction electron-emitting devices adjacent to each other in the row direction are divided approximately 3: 1; An image display device comprising: driving means for inverting a potential direction to be applied to the electron-emitting device for each row and driving the electron emission element in accordance with an image signal.
関して前記表面伝導型放出素子の電子放出部のほぼ上方
に来るように配置されていることを特徴とする請求項1
に記載の画像表示装置。2. The device according to claim 1, wherein each of the phosphors is arranged so as to be substantially above an electron emission portion of the surface conduction electron-emitting device in a column direction.
An image display device according to claim 1.
型電子放出素子より放出される電子が照射されることに
より赤色または緑色または青色のいずれかの色に発光
し、これら3色が三角形状をなして配置されていること
を特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。3. Each of the phosphors emits any one of red, green and blue colors when irradiated with electrons emitted from the surface conduction electron-emitting device, and these three colors have a triangular shape. The image display device according to claim 1, wherein the image display device is arranged in the following manner.
は、同じ色の蛍光体を駆動するための信号を出力するこ
とを特徴とする請求項3に記載の画像表示装置。4. The image display device according to claim 3, wherein each of the column direction wirings of the matrix outputs a signal for driving a phosphor of the same color.
出素子のそれぞれが当該表面伝導型電子放出素子の真上
の蛍光体の隣の蛍光体に電子を放出するように駆動する
ことを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。5. The driving means drives each of the surface conduction electron-emitting devices such that each of the surface conduction electron-emitting devices emits electrons to a phosphor adjacent to a phosphor directly above the surface conduction electron-emitting device. The image display device according to claim 1.
出素子のそれぞれが当該表面伝導型電子放出素子の真上
の蛍光体に電子を放出するように駆動することを特徴と
する請求項1に記載の画像表示装置。6. The driving device according to claim 1, wherein the driving unit drives each of the surface conduction electron-emitting devices to emit electrons to a phosphor right above the surface conduction electron-emitting device. An image display device according to claim 1.
動すべき行を選択するための走査行選択手段と、 前記走査行選択手段により選択された表面伝導型放出素
子の行に画像信号に応じた駆動信号を印加するための駆
動信号源と、 前記一対の電極に印加する駆動信号の電圧値を所定の期
間ごとに反転するための反転手段とを備えることを特徴
とする請求項1に記載の画像表示装置。7. The scanning line selecting unit for selecting a line to be driven among the surface conduction electron-emitting devices of the multi-electron beam source, and the surface conduction selected by the scanning line selecting unit. A drive signal source for applying a drive signal corresponding to an image signal to a row of the mold emission elements; and an inverting unit for inverting a voltage value of the drive signal applied to the pair of electrodes every predetermined period. The image display device according to claim 1, wherein:
に前記一対の電極に印加する電圧を反転させることを特
徴とする請求項7に記載の画像表示装置。8. The image display device according to claim 7, wherein the inverting unit inverts a voltage applied to the pair of electrodes every horizontal period of an image.
間ごとに前記一対の電極に印加する電圧を反転させるこ
とを特徴とする請求項7に記載の画像表示装置。9. The image display device according to claim 7, wherein said inverting means inverts a voltage applied to said pair of electrodes every one field period of an image.
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