JP3256799B2 - 高温度中で使用できる圧力計測用センサ - Google Patents

高温度中で使用できる圧力計測用センサ

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明の圧力計測用センサは、特
に高温度中で使用できるもので、各種の内燃機関の燃焼
室内に直接取り付け、燃焼に伴い発生する燃焼圧を常時
計測するための圧電素子のセンサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の圧力又は力を計測するた
めのセンサは、作用した機械的負荷によってセンサ自体
を変形させて、その変形量を計測するいわゆる歪ゲージ
と、機械的負荷を圧電素子に作用させて電荷を発生させ
る圧電素子のセンサが用いられており、一般に前者は圧
力又は力の変化が遅い状態、すなわち、静的測定に適し
ており、後者は圧力また力が急激に変化するような状
態、すなわち、連続する動的圧力のピークの計測に適し
ているといえる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、通常の温度
範囲における圧力又は力を圧電素子のセンサにより計測
することは、センサ自体の変位がなく、応答速度が速
く、小型である等の優れた特性により屡々使用されてお
り、内燃機関の燃焼室内で発生する圧力ピークの状態を
直接計測するためには圧力センサを燃焼室内に設置する
ことが望ましいものであるが、従来、この種のセンサと
して使用されている圧電素子の水晶、チタン酸ジルコン
酸鉛、チタン酸等単結晶材料のキューリー点(温度)は
いずれも320〜550℃程度と低く、キューリー点を
越えて使用することはできないため、内燃機関の燃焼室
内で混合気が爆発する際の1000℃を越える高温度中
の気圧(燃焼圧)変動を直接測定することができないも
のである。
【0004】この場合対策として圧電素子の周辺を冷却
するための水冷式アダプタを使うか、圧電素子を温度の
低い場所に取り付け、燃焼室から圧電素子までを導入管
で連結して温度を低下させて発生した圧力ピークを検出
する方法が採られている実情であるが、これらの方法に
おける課題は水冷方式は装置が大掛かりに成り、内燃機
関を床上でテストするような場合には使うことができる
が、車載状態での使用は極めて困難なものであり、ま
た、燃焼室から圧電素子までを圧力導入管で連結してい
るため応答が遅れること、長期間の使用で導入管の内部
にカーボン等が付着して精度のよい計測ができなくなる
等の課題を有している。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の高温度中で使用
できる圧力計測用センサは、前述の課題に鑑み、研鑽の
結果、その物質の融点に到達するまでキューリー点が存
在しないランガサイト(LaGaSiO14)等の
置換型単結晶材料を、結晶学上の座標軸Xにしたがって
切断し、正しく平行な2つの面を有するチップ状に形成
した圧電素子を備えたものであり、更に、機械的負荷が
作用する方向に結晶学上の座標軸Xにしたがった面を整
列させて、発生する電荷の量と極性を測定して機械的負
荷の大きさと方向を測定するようにしたものであり、更
には、機械的負荷が作用する方向に結晶学上の座標軸X
にしたがった面と直交する座標軸Yにしたがった面を整
列させて、発生する電荷の量と極性を測定して機械的負
荷の大きさと方向を測定するものである。
【0006】
【作用】本発明の高温度中で使用できる圧力計測用セン
サの圧電素子は、その物質の融点に到達するまでキュー
リー点が存在しないランガサイト(LaGaSiO
14)等の置換型単結晶材料を、結晶学上の座標軸Xに
したがって切断し、正しく平行な2つの面を有するチッ
プ状に形成した圧電素子を備えており、前記結晶学上の
座標軸Xにしたがった面に正の方向の機械的負荷が作用
すると一方面にプラスの電荷が発生すると共に平行する
他方面にマイナスの電荷が発生し、逆に、負の方向の機
械的負荷が作用すると極性が逆転して一方面にマイナス
の電荷が発生するとと共に平行する他方面にプラスの電
荷が発生する圧電素子の特性を用いて、又は、前記結晶
学上の座標軸Xにしたがった面と直交する座標軸Yにし
たがった面に正の方向の機械的負荷が作用すると座標軸
Zにしたがった面の一方面にプラスの電荷が発生すると
共に平行する他方面にマイナスの電荷が発生し、逆に、
負の方向の機械的負荷が作用すると極性が逆転して一方
面にマイナスの電荷が発生するとと共に平行する他方面
にプラスの電荷が発生する圧電素子の特性を用いて、発
生する電荷の量と極性を測定して機械的負荷の大きさと
方向を測定するようにしたものである。
【0007】従って、本発明の目的は、高温度になる内
燃機関に直接取り付けて、ノック検知(正常燃焼波形と
非正常燃焼のモニタによる波形比較)をさせ、EGR
(排気ガス還流)及びMBT(最大トルクのための最小
進角電気位置)の制御を可能とし、更に、アイドリング
時、エンジンブレーキ走行時における失火検出をさせ、
トルク変動の即時検出によるリーンバーン制御、つま
り、最適混合比制御を可能とし、排ガス対策に寄与でき
る高温度中で使用できる圧力計測用センサを提供するも
のである。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明の高温度中で使用できる圧
力計測用センサの実施の形態について図面を参照して具
体的に説明する。
【0009】図1は本発明の高温度中で使用できる圧力
計測用センサの実施の形態の圧電素子に対して正の方向
の機械的負荷が作用した場合の発生する電荷とその極性
を示す説明図であり、図2は本発明の高温度中で使用で
きる圧力計測用センサの実施の形態の圧電素子に対して
負の方向の機械的負荷が作用した場合の発生する電荷と
その極性を示す説明図であり、図3は本発明の高温度中
で使用できる圧力計測用センサの実施の形態の電荷を取
り出すための構成を示す説明図であり、図4は本発明高
温度中で使用できる圧力計測用センサの実施の形態の電
荷を取り出すための回路図であり、図5は本発明高温度
中で使用できる圧力計測用センサの実施の形態の内燃機
関のシリンダヘッドの燃焼室に取り付けた状態の説明図
であり、図6は本発明の高温度中で使用できる圧力計測
用センサの次実施の形態の圧電素子に対して正の方向の
機械的負荷が作用した場合の発生する電荷とその極性を
示す説明図であり、図7は本発明の高温度中で使用でき
る圧力計測用センサの次実施の形態の圧電素子に対して
負の方向の機械的負荷が作用した場合の発生する電荷と
その極性を示す説明図である。
【0010】本発明の圧力計測用センサは、特に高温度
中で使用できるもので、各種の内燃機関の燃焼室内に直
接取り付け、燃焼に伴い発生する燃焼圧を常時計測する
ための圧電素子1のセンサに関するものであり、請求項
1に記載の高温度中で使用できる圧力計測用センサは、
その物質の融点に到達するまでキューリー点が存在しな
いことを特徴とするランガサイト(LaGaSiO
14)等の置換型単結晶材料を、結晶学上の座標軸Xに
したがって切断し、正しく平行な2つの面を有するチッ
プ状に形成した圧電素子1を備えたものである。
【0011】更に、請求項2に記載の高温度中で使用で
きる圧力計測用センサは、請求項1に記載の高温度中で
使用できる圧力計測用センサにおいて、結晶学上の座標
軸Xにしたがった面に正の方向の機械的負荷+Fが作用
すると一方面にプラスの電荷+qが発生すると共に平行
する他方面にマイナスの電荷−qが発生し、逆に、負の
方向の機械的負荷−Fが作用すると極性が逆転して一方
面にマイナスの電荷−qが発生するとと共に平行する他
方面にプラスの電荷+qが発生する圧電素子1の特性を
用いて、機械的負荷+F.−Fが作用する方向に結晶学
上の座標軸Xにしたがった面を整列させて、発生する電
荷の量と極性を測定して機械的負荷の大きさと方向を測
定するようにしたものである。
【0012】更には、請求項3に記載の高温度中で使用
できる圧力計測用センサは、請求項1に記載の高温度中
で使用できる圧力計測用センサにおいて、結晶学上の座
標軸Xにしたがった面と直交する座標軸Yにしたがった
面に正の方向の機械的負荷+Fが作用すると座標軸Zに
したがった面の一方面にプラスの電荷+qが発生すると
共に平行する他方面にマイナスの電荷−qが発生し、逆
に、負の方向の機械的負荷−Fが作用すると極性が逆転
して一方面にマイナスの電荷−qが発生するとと共に平
行する他方面にプラスの電荷+qが発生する圧電素子1
の特性を用いて、機械的負荷+F.−Fが作用する方向
に結晶学上の座標軸Xにしたがった面と直交する面を整
列させて、発生する電荷の量と極性を測定して機械的負
荷の大きさと方向を測定するようにしたものである。
【0013】即ち、本発明の高温度中で使用できる圧力
計測用センサの圧電素子1は、キューリー点、つまり、
加わった温度により結晶状態が変化して圧電効果が得ら
れなくなる温度が存在しないランガサイト(LaGa
SiO14)等の置換型単結晶材料を用いることによ
り、燃焼室内で発生する圧力ピークの状態を直接計測で
きるものであり、ランガサイト(LaGaSiO
14)はキューリー点が存在しなく融点は1470℃で
あり、ランガサイト(LGS)に代表されるランガサイ
ト系の置換型単結晶材料にはLNG(LaNb0.5
Ga5.5SiO14)、LTG(LaTa0.5
5.5SiO14)があるものである。
【0014】次に、図1に図示する如く、圧電素子1は
結晶学的軸Xにしたがってカットされており、圧電素子
1に対して機械的負荷+F.−Fの加わる方向と発生す
る電荷+q.−qを示しており、機械的負荷+F.−F
が圧電素子1に対して正の方向の機械的負荷(圧縮方向
の機械的負荷)+Fとして作用した場合、圧電素子1の
一方面にプラスの電荷+qが現れると共に、平行する反
対側の他方面にはマイナスの電荷−qが現れるものであ
る。
【0015】次いで、図2に図示する如く、逆に負の方
向の機械的負荷(引っ張り方向の機械的負荷)−Fが作
用した場合には圧電素子1の一方面に発生する電荷の極
性が逆転してマイナス電荷−qが現れ、同時に反対側の
他方面にはプラス電荷+qが現れるものである。
【0016】次に、本発明の置換型単結晶材料の圧電素
子1の電荷+q.−qは、作用した機械的負荷+F.−
Fの合計に直接比例して圧電素子1の表面に現れ、その
量は圧電素子1の大きさや形状に無関係で、ランガサイ
ト(LaGaSiO14)においては1ニュートン
当たり6.16ピコクーロンの電荷が現れるもので、従
来、一般的に使用されている水晶においては1ニュート
ン当たり2.13ピコクーロンの電荷を発生するもので
ある。
【0017】そして、図3に図示する如く、2枚の圧電
素子1のセンサの間に電極2を挟み込み電荷信号を取り
出すもので、ダイアフラム3は力又は圧力を圧電素子1
に伝達させるもので、絶縁材4を内装しており、ハウジ
ング5は圧電素子1を内燃機関のシリンダヘッド部分に
ネジ込みできるようにしているものである。
【0018】つまり、2枚の圧電素子1のセンサを機械
的負荷+F.−Fが作用する方向に整列させ、ダイアフ
ラム3により燃焼による圧力変動を圧電素子1に伝達し
電荷信号を発生させ、その電荷信号を電極2で取り出す
ものである。
【0019】本発明の圧電素子1は機械的負荷+F.−
Fが作用することにより圧電素子1の結晶が変形し、圧
電素子1の表面の変形量に応じて電荷エネルギーが帯電
するので、その電荷量を計測して機械的負荷+F.−F
の単位(N、Pa、Kgf等)に換算することを原理と
しているが、実際には帯電した電荷エネルギーを直接取
り扱うことは困難なためチャージアンプを介在させて取
り扱いの容易な電圧信号に変換するもので、帯電した電
荷の放電を防ぐために圧電素子1に、センサハウジン
グ、電気コネクタ、及び、チャージアンプに至るまでの
接続ケーブル等の絶縁抵抗を高くしているものである。
【0020】つまり、図4に図示する如く、2枚の圧電
素子1は帯電する電荷の同極側を向かい合わせにするこ
とにより同一の機械的負荷にたいし2倍の電荷感度が得
られ、機械的負荷+F.−Fが加わると圧電素子1の表
面に機械的負荷+F.−Fに直接比例した量の帯電が表
れ、帯電した電荷は一度コンデンサ6に蓄えられた後、
固定抵抗7を通じて放電するもので、この場合、蓄えら
れる電荷がプラスであるかマイナスであるかは、圧電素
子1に作用する機械的負荷が正の方向の機械的負荷+F
であるか、負の方向の機械的負荷−Fであるかにより決
定されるものである。
【0021】そして、コンデンサ6の電気容量と固定抵
抗7の電気抵抗により回路の時定数が決定され、それに
伴い放電時間が決定されるもので、Mosトランジスタ
8はコンデンサ6に蓄えられた電荷エネルギーを電気量
に変換して取り扱いの容易なアナログ電圧として出力す
るものである。
【0022】本発明による圧力検出用の置換型単結晶材
料の圧電素子1はチャージアンプに接続されており、圧
電素子1に基準圧力を与え、それに伴って出力する電気
信号を調整すれば、圧電素子1とチャージアンプによる
測定の基準圧力により校正することができるものであ
る。
【0023】従って、圧電素子1を内燃機関の燃焼室に
直接取り付ければ、燃焼に伴う圧力の変動を圧力に直接
比例した電気信号に変換して出力させることができるの
でMPa、barのような夫々の誘導単位の値で計測で
きるものである。
【0024】更に、図5に図示する如く、本発明の高温
度中で使用できる圧力計測用センサ1を内燃機関のシリ
ンダヘッド9の燃焼室10に取り付けたものであり、圧
電素子1はキューリー点が存在しないランガサイト(L
GaSiO14)であり、圧電素子1の感圧部、
即ち、ダイアフラム3をシリンダヘッド9より燃焼室1
0内に露出させた状態で稼動させることができ、燃焼の
際に発生する圧力負荷Pを直接圧電素子1に伝達するこ
とを可能とするものである。
【0025】この構成は機械的負荷の変化を極めて短い
振動系で伝達するので圧電素子1の共振周波数が高く、
応答速度が速く、従って、圧力ピークの正確な計測と燃
焼波形のモニタ、トルク変動の判別が可能になるもので
あり、燃焼室10内で発生した機械的負荷+Fは、燃焼
の際に発生する圧力負荷Pが一番大きいと考えられる
が、アイドリング回転時、エンジンブレーキ状態におけ
る回転時等では大きな燃焼圧は発生せず吸気、排気の際
に発生する圧力変動と区別しにくいものであるが、燃焼
による圧力変動のみを正確に計測のために、クランク軸
の回転角を計測して、特定の角度においてチャージアン
プ回路のリセットと燃焼圧信号の読み込みをするよう回
転角検出用ロータリエンコーダ11を備え作動信号を出
すようにしているものである。
【0026】更には、高温度中で使用できる圧力計測用
センサの次実施の形態は、図6及び図7に図示する如
く、圧電素子1の結晶学上の座標軸Xにしたがった面と
直交する座標軸Yにしたがった面に正の方向の機械的負
荷+Fが作用すると座標軸Zにしたがった面の一方面に
プラスの電荷+qが発生すると共に平行する他方面にマ
イナスの電荷−qが発生し、逆に、負の方向の機械的負
荷−Fが作用すると極性が逆転して一方面にマイナスの
電荷−qが発生するとと共に平行する他方面にプラスの
電荷+qが発生する特性を用いて、機械的負荷+F.−
Fが作用する方向に結晶学上の座標軸Xにしたがった面
と直交する座標軸Yにしたがった面を整列させて、発生
する電荷の量と極性を測定して機械的負荷の大きさと方
向を測定するようにしたものである。
【0027】つまり、図1及び図2で図示したものは縦
軸効果による圧電現象と称し、電荷+q.−qは与えら
れた機械的負荷+F.−Fの合計に直接比例して圧電素
子1の表面に現れる電荷の量(公称電荷感度)は圧電素
子1の大きさや形状に関係なく現れ、これに対し、図6
及び図7で図示した次実施の形態のものは横軸効果によ
る圧電現象と称し、横軸効果によって現れる電荷の量
(公称電荷感度)は縦軸効果と異なり圧電素子1の大き
さや形状に関係し、座標軸Xにしたがった面の寸法に対
する座標軸Yにしたがった面の寸法の比に依存するもの
で、一般に横軸効果の電荷感度は縦軸効果に比較して5
0倍またはそれ以上が得られるものである。
【0028】
【発明の効果】本発明の高温度中で使用できる圧力計測
用センサは、前述の構成から、極めて小型で軽量、簡単
な構造、耐久性、低価格、さらに高温度の環境下でも冷
却等の付加装置を必要とせずに容易に圧力計測がでるき
るものであり、機械的強度、又は、耐圧は圧電素子の面
積10mmにたいし150barであり、この値は通
常排気量2000cc程度の排気量のエンジンにおける
燃焼圧に相当するもので、従って、圧電素子は小型化で
き、車載状態で内燃機燃焼室内の燃焼圧の計測、燃焼波
形のモニタを行うことができるもので、更には、燃焼圧
の計測と同時に燃焼波形のモニタが可能なもので、この
機能をノッキング検出として使うことができるものであ
る。
【0029】更には、本発明は燃焼波形を直接モニタす
ることができるのでトルク変動に伴う異常燃焼を燃焼波
形の異常として検出することを可能とし、特に、省エネ
ルギーを目的とした希薄燃焼方式の内燃機関においては
燃焼圧センサを使ってトルク変動を直接検知し、希薄燃
焼限界のためのMBT(最大トルのクのための最小進角
電気位置)制御を容易に行うことができ、排気量の増加
又は加給器付き内燃機など機械的負荷の増加(燃焼圧の
増加)に対しては圧電素子の面積の拡大、即ち、燃焼圧
センサの大型化により対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の高温度中で使用できる圧力計測
用センサの実施の形態の圧電素子に対して正の方向の機
械的負荷が作用した場合の発生する電荷とその極性を示
す説明図である。
【図2】図2は本発明の高温度中で使用できる圧力計測
用センサの実施の形態の圧電素子に対して負の方向の機
械的負荷が作用した場合の発生する電荷とその極性を示
す説明図である。
【図3】図3は本発明の高温度中で使用できる圧力計測
用センサの実施の形態の電荷を取り出すための構成を示
す説明図である。
【図4】図4は本発明高温度中で使用できる圧力計測用
センサの実施の形態の電荷を取り出すための回路図であ
る。
【図5】図5は本発明高温度中で使用できる圧力計測用
センサの実施の形態の内燃機関のシリンダヘッドの燃焼
室に取り付けた状態の説明図である。
【図6】図6は本発明の高温度中で使用できる圧力計測
用センサの次実施の形態の圧電素子に対して正の方向の
機械的負荷が作用した場合の発生する電荷とその極性を
示す説明図である。
【図7】図7は本発明の高温度中で使用できる圧力計測
用センサの次実施の形態の圧電素子に対して負の方向の
機械的負荷が作用した場合の発生する電荷とその極性を
示す説明図である。
【符号の説明】
1 圧電素子 2 電極 3 ダイアフラム 4 絶縁材 5 ハウジング 6 コンデンサ 7 固定抵抗 8 Mosトランジスタ 9 シリンダヘッド 10 燃焼室 11 回転角検出用ロータリエンコーダ 12 ピストン +F 正の方向の機械的負荷 −F 負の方向の機械的負荷 +q プラスの電荷 −q マイナスの電荷 P 燃焼の際に発生する圧力負荷
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01L 9/08 G01L 23/10 G01L 1/16 H01L 41/08 JICSTファイル(JOIS)

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】その物質の融点に到達するまでキューリー
    点が存在しないことを特徴とするランガサイト(La
    GaSiO14)等の置換型単結晶材料を、結晶学上
    の座標軸Xにしたがって切断し、正しく平行な2つの面
    を有するチップ状に形成した圧電素子を備えたことを特
    徴とする高温度中で使用できる圧力計測用センサ。
  2. 【請求項2】結晶学上の座標軸Xにしたがった面に正の
    方向の機械的負荷が作用すると一方面にプラスの電荷が
    発生すると共に平行する他方面にマイナスの電荷が発生
    し、逆に、負の方向の機械的負荷が作用すると極性が逆
    転して一方面にマイナスの電荷が発生するとと共に平行
    する他方面にプラスの電荷が発生する圧電素子の特性を
    用いて、機械的負荷が作用する方向に結晶学上の座標軸
    Xにしたがった面を整列させて、発生する電荷の量と極
    性を測定して機械的負荷の大きさと方向を測定するよう
    にしたことを特徴とする請求項1に記載の高温度中で使
    用できる圧力計測用センサ。
  3. 【請求項3】結晶学上の座標軸Xにしたがった面と直交
    する座標軸Yにしたがった面に正の方向の機械的負荷が
    作用すると座標軸Zにしたがった一方面にプラスの電荷
    が発生すると共に平行する他方面にマイナスの電荷が発
    生し、逆に、負の方向の機械的負荷が作用すると極性が
    逆転して一方面にマイナスの電荷が発生するとと共に平
    行する他方面にプラスの電荷が発生する圧電素子の特性
    を用いて、機械的負荷が作用する方向に結晶学上の座標
    軸Xにしたがった面と直交する座標軸Yにしたがった面
    を整列させて、発生する電荷の量と極性を測定して機械
    的負荷の大きさと方向を測定するようにしたことを特徴
    とする請求項1に記載の高温度中で使用できる圧力計測
    用センサ。
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