JP2005009988A - 圧力計測用センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】燃焼圧センサ(圧力計測用センサ)1は車両用エンジン等の内燃機関内の燃焼圧を計測するもので、金属膜からなるダイアフラム2と、ダイアフラム2上に載置され上部に端子3と接続される電極5が形成された基板(圧電素子)6と、この基板6上に載置され端子3の少なくとも一部を露出させるとともに電極5を覆う碍子(絶縁性部材)7とを備えている。基板6は、ランガテイト(La3Ga5.5Ta0.5O14)単結晶のインゴットを切断して形成されているとした。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、内燃機関の燃焼室等の高温環境下でも使用可能な圧力計測用センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
内燃機関の燃焼室内における燃焼圧等を計測するための圧力計測用センサとして、機械的負荷を圧電素子によりアナログ信号に変換する圧電素子を備え、変換されたアナログ信号を計測することによって連続する圧力変化を測定するものが知られている。
このような圧力計測用センサの圧電素子部分を直接内燃機関内部に挿入して圧力を測定して異常時と正常時との燃焼波形を比較(以下、ノック検知と称する。)することによって、排気ガス還流(以下、EGRと称する。)、最大トルクのための最小進入角度(以下、MBTと称する。)の制御が可能となり、燃料と空気の最適混合比を実現できる。そして、リーンバーン制御が可能となって内燃機関の大幅な燃費向上を行うことができる。
【0003】
従来、このようなセンサに使用する圧電素子としては、α−Quartz(水晶の一種)、ニオブ酸リチウム(以下、LiNbO3と称する。)、タンタル酸リチウム(LiTaO3と称する。)等が使用されてきた。
しかし、α−Quartzに関しては、キュリー温度が573℃付近であるために300℃付近が使用限界となってしまい、内燃機関に使用するためには圧電素子を冷却する機構(一般に水冷)が必要であった。そのため、センサ自体が大掛かりなものとなって冷却機構のコストと重量が大きくなることから車両に搭載するのが困難であった。また、LiNbO3、LiTaO3は、300℃付近で結晶自体が分解してしまい特性を維持できなくなるとともに、強誘電体であるために焦電性を持ち温度変化によって電荷発生量が変化することから、やはり冷却機構が必要になるという問題があった。
【0004】
そこで、このような冷却機構を不要とする圧力計測用センサとして、1470℃までキュリー温度がなく、内燃機関内部の高温状態においても安定して同一の結晶構造を保持でき、その結果、物質的劣化のない状態で内燃機関内部に入れて直接圧力測定可能なランガサイト(La3Ga5SiO14)単結晶を圧電素子として使用するものが提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
【0005】
【特許文献1】
特許第3256799号公報(第3図)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ランガサイト単結晶は、単位力に発生する電荷発生量を示す定数(以下、圧電定数と称する。)d(C/N)が、温度変化に従いその変化量が大きくなり、300℃付近までの間で10%以上変化してしまい、α−quartzの変化量である2%と比べるとその差が大きいという特性がある。
したがって、従来の圧力計測用センサでは、燃費向上のために内燃機関の始動から温度が一定になるまでの温度変化が大きい状態の圧力変化を正確に計測しようとしても、ランガサイト単結晶単独で正確に測定することは不可能であり、別に内燃機関の温度を測定して温度補償する必要があった。
【0007】
そのため、温度測定用の素子や温度補償用の回路等の部品が増えてしまい、センサの小型化や低コスト化に限界があった。また、温度測定用素子の熱応答性が悪い場合には圧力の温度補償が遅れるために、正確な圧力を測定することが困難であった。
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、小型化や低コスト化に優れ、内燃機関の内部等の高温状態下でも正確な圧力を計測可能な圧力計測用センサを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
本発明の圧力計測用センサは、圧電素子を備える圧力計測用センサであって、前記圧電素子が、ランガテイト(La3Ga5.5Ta0.5O14)単結晶の基板を備えていることを特徴とする。
【0009】
この圧力計測用センサは、上記の構成を備えているので、温度変化に対する圧電定数の変化率をランガサイト単結晶の場合よりも小さく抑えることができ、測定精度を向上することができる。したがって、温度補償回路が不要になるので、センサを構成する部品点数を減らすことができる。
また、ランガテイト単結晶のキュリー温度が1500℃なので、内燃機関内部等の高温状態下においても安定した結晶構造を保つことができるとともに、α―quartzと同程度の温度安定性を維持することができる。したがって、内燃機関内部等の高温下に直接挿入しても内部の圧力を正確に測定することができる。
【0010】
また、本発明の圧力計測用センサは、前記圧力計測用センサであって、前記基板が、前記ランガテイト単結晶のインゴットを、オイラー角表示で(φ、θ、ψ)と表したとき、88度≦φ≦92度、88度≦θ≦92度の範囲内の結晶軸に対して垂直に切断したものであることが好ましい。
この圧力計測用センサは、基板が上記の方向で切断されているので、圧電効果を維持できる範囲で加工誤差範囲を設けることができ、加工コストを低減することができる。
【0011】
さらに、本発明の圧力計測用センサは、前記圧力計測用センサであって、金属膜からなるダイアフラムと、該ダイアフラム上に載置され上部に端子を有する電極が形成された前記基板と、該基板上に載置され前記端子の少なくとも一部を露出させるとともに前記電極を覆う絶縁性部材とを備えていることを特徴とする。
【0012】
この圧力計測用センサは、上記の構成を備えているので、ダイアフラムに加えられた圧力が機械的負荷となってランガテイト結晶の基板に伝達されて電荷を発生させる。このとき、上述した基板を使用しているので、高温下においても温度補償回路等を備えることなく、発生した電荷を基板表面に形成された電極を介して端子へと出力することができる。したがって、この電荷エネルギーを計測することによって、正確な圧力を安定的に計測することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の一実施形態について、図1から図4を参照して説明する。
本実施形態に係る燃焼圧センサ(圧力計測用センサ)1は車両用エンジン等の内燃機関内の燃焼圧を計測するもので、図1に示すように、Ni合金又は耐熱ステンレス等の金属膜からなるダイアフラム2と、ダイアフラム2上に載置され上部に端子3と接続される電極5が形成された基板(圧電素子)6と、この基板6上に載置され端子3の少なくとも一部を露出させるとともに電極5を覆う碍子(絶縁性部材)7とを備えている。これらは、円筒状のハウジング8の内周側に沿って挿入された円筒状の絶縁管10の内部に収納されている。
【0014】
基板6は、結晶学上X軸方位にてチョクラルスキー又はブリッジマン法にて育成したランガテイト単結晶のインゴットを切断して形成したランガテイトウエハから形成されている。このとき、ランガテイト自体の圧電定数d11が十分大きいこと、及び、図2に示すように、オイラー角表示で(φ、θ、ψ)と表したとき、結晶学上のX軸(オイラー角度が0度)付近はそれぞれの切断角度による圧電特性の差が少ない。そこで、オイラー角表示で(φ、θ、ψ)と表したとき、88度≦φ≦92度、88度≦θ≦92度の範囲内の結晶軸に対して垂直方向に1〜2mmの厚みに切断して形成する。
基板6表面に形成された電極5は、高温に対して安定な電極材であるPt(白金)又はIr(イリジウム)がスパッタリング法等によって形成されたものである。
【0015】
端子3は、図3に示すように、電極5と接する接触面部3aと、発生した電荷を圧力値として読み取るために電気信号に変換するチャージアンプ11に接続される接続部3bとを備えている。
碍子7は、アルミナ等の絶縁性を有する材料で構成されており、絶縁管10とともに基板6に発生した電荷が電極5や端子3以外に漏電しないように載置されている。
このように、燃焼圧センサ1は、ランガテイト単結晶の結晶学上の略X軸方向に、ダイアフラム2、基板6、端子3、及び碍子7が順に載置されている。
チャージアンプ11は、基板6に発生した電荷によって電荷を発生させるコンデンサ12と、コンデンサ12と並列に接続されて電荷を放電する抵抗13と、電荷を電気量に変換して取扱の容易なアナログ電圧信号として出力するトランジスタ15とを備えている。
【0016】
次に、本実施形態に係る燃焼圧センサ1の使用方法について説明する。
まず、燃焼圧センサ1を、図4に示すように、ガソリンエンジン16の例えば、点火プラグ17及び吸気ポート18の近傍位置からダイアフラム2を露出させるように燃焼室20内に挿入する。そして、クランク軸21を回転して、コンロッド22に接続されるピストン23を上下させる。このとき、燃焼室20内に挿入されたガソリン燃料が燃焼して、図3に示す圧力Fが発生し、この圧力Fが、燃焼圧センサ1のダイアフラム2を変位させ、さらにこの変位が基板6に伝達され、圧電変換されて基板6の表面に電荷が発生する。
【0017】
ここで、ダイアフラム2の変位が基板6を圧縮する方向の場合、基板6のダイアフラム2側の表面には負の電荷が発生するとともに、電極5側の表面には同じ大きさの正の電荷が発生する。一方、ダイアフラム2の変位が基板6を引っ張る方向の場合、基板6のダイアフラム2側の表面には正の電荷が発生するとともに、電極5側の表面には同じ大きさの負の電荷が発生する。こうして発生した電荷は、何れの場合も電極5及び端子3を介してチャージアンプ11内のコンデンサ12に電荷を発生させる。この際、コンデンサ12と並列に配設されたトランジスタ15により電荷エネルギーが変換されて電圧信号となって出力される。一方、コンデンサ12にチャージされた電荷は抵抗13にて放電される。このときに回路の時定数が決定される。
【0018】
出力されたアナログ電圧信号は、図示しない校正装置によってbar等の圧力値に変換されるとともに表示される。
こうして、計測された燃焼圧からエンジントルク変動を直接検知することによって、EGR、MBT等の制御が可能となり、燃料と空気の最適混合比を実現できる。そして、リーンバーン制御が可能となって内燃機関の大幅な燃費向上を行うことができる。
【0019】
この燃焼圧センサ1によれば、圧電素子としてランガテイト単結晶の基板6を使用するので、後述するように温度変化に対する圧電定数の変化率をランガサイト単結晶の場合よりも小さく抑えることができ、測定精度を向上することができる。したがって、温度補償回路が不要になるので、センサを構成する部品点数を減らして小型化することができる。
また、ランガテイト単結晶のキュリー温度が1500℃なので、ガソリンエンジン16の燃焼室20内に直接挿入して高温状態下においても、安定した結晶構造を保つことができるとともに、後述するようにα―quartzと同程度の温度安定性を維持することができる。したがって、高温の燃焼室20内部の圧力を正確に測定することができる。
さらに、基板6がランガテイト単結晶のインゴットから上記の方向で切断されているので、圧電効果を維持できる範囲で加工誤差範囲を設けることができ、加工コストを低減することができる。
【0020】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、本発明の圧力計測用センサを上述したように燃焼圧センサとして利用する場合に限らず、高温度環境下における圧力計測用として使用するものとしても構わない。
【0021】
【実施例】
次に、本実施形態の燃焼圧センサ1を1500ccクラスの車両における4サイクルガソリンエンジンに装着し、クランク角に対する圧力波形の測定を行った。この際、エンジン出力を常時一定に保ちつつ、燃焼圧センサ1の温度を計測し、温度に対する圧力波形変化を調べた。結果を図5に示す。
この結果、400℃以内では、圧力波形にほとんど変化が見られないことから、400℃以内であれば、基板6を冷却しなくても高精度な圧力測定が可能であることが明らかになった。
【0022】
また、ランガサイト単結晶の場合と比較するため、圧電定数d11の400℃までの温度特性を圧電定数の一般的な測定方法である共振反共振測定法により測定した。結果を図6に示す。
この結果、ランガテイト単結晶(LTG)では1%以内の変化率であるのに対して、ランガサイト単結晶(LGS)では、13.2%もの変化があった。すなわち、ランガサイト単結晶の場合は単独では使用できず、圧力を校正するための温度測定素子又は装置や温度補償回路を新たに設置する必要があることを示している。一方、ランガテイト単結晶の場合は、ランガサイト単結晶の場合と比べると十分小さい変化率であって、共振反共振法の誤差範囲程度のものであり、温度測定素子又は装置や温度補償回路を設けなくても十分に精度の高い測定が可能であることが明らかになった。
【0023】
さらに、ランガサイト単結晶とランガテイト単結晶との抵抗率の温度変化を測定した。結果を図7に示す。
ランガサイト単結晶は、400℃で108Ωcm以上であるのに対して、ランガテイト単結晶は106Ωcm台であった。すなわち、ランガサイト単結晶を使用する場合は、基板の厚みをランガテイト単結晶よりも大きくしなければ、コンデンサにチャージされた電荷がすぐに放電されてしまい、時定数が必要以上に小さくなってしまうことを示す。そのため、ランガサイト単結晶の場合は、基本的な物性面からセンサの単純化や小型化に限度があり、応用面が限定されてしまうことが明らかになった。
【0024】
【発明の効果】
以上説明した本発明においては以下の効果を奏する。
本発明の圧力計測用センサによれば、ランガテイト単結晶基板を備えているので、センサの小型化や低コスト化に優れ、内燃機関の内部等の高温状態下でも正確な圧力測定を行うことができる。したがって、正確なノック検知が可能となって、内燃機関の大幅な燃費向上に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る燃焼圧センサの一部断面を示す斜視図である。
【図2】本発明の一実施形態に係るランガサイト単結晶基板の結晶学上のX軸に対する切断角度と圧電定数との関係を示すグラフである。
【図3】本発明の一実施形態に係る燃焼圧センサの断面とチャージアンプの構成を示す図である。
【図4】本発明の一実施形態に係る燃焼圧センサをガソリンエンジンに取り付けた状態を示す断面図である。
【図5】本発明の一実施形態に係る燃焼圧センサをガソリンエンジンに取り付けて計測した燃焼圧とクランク角度との関係を示すグラフである。
【図6】本発明の一実施形態に係る燃焼圧センサのランガテイト単結晶とランガサイト単結晶とにおける圧電定数と温度との関係を示すグラフである。
【図7】本発明の一実施形態に係る燃焼圧センサのランガテイト単結晶とランガサイト単結晶とにおける抵抗率と温度との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
1 燃焼圧センサ(圧力計測用センサ)
2 ダイアフラム
3 端子
5 電極
6 基板(圧電素子)
7 碍子(絶縁性部材)
LTG ランガテイト
Claims (3)
- 圧電素子を備える圧力計測用センサであって、
前記圧電素子が、ランガテイト(La3Ga5.5Ta0.5O14)単結晶の基板を備えていることを特徴とする圧力計測用センサ。 - 前記基板が、前記ランガテイト単結晶のインゴットを、オイラー角表示で(φ、θ、ψ)と表したとき、88度≦φ≦92度、88度≦θ≦92度の範囲内の結晶軸に対して垂直に切断したものであることを特徴とする請求項1に記載の圧力計測用センサ。
- 金属膜からなるダイアフラムと、
該ダイアフラム上に載置され上部に端子を有する電極が形成された前記基板と、
該基板上に載置され前記端子の少なくとも一部を露出させるとともに前記電極を覆う絶縁性部材とを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧力計測用センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003173793A JP2005009988A (ja) | 2003-06-18 | 2003-06-18 | 圧力計測用センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005009988A true JP2005009988A (ja) | 2005-01-13 |
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Family Applications (1)
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JP2003173793A Pending JP2005009988A (ja) | 2003-06-18 | 2003-06-18 | 圧力計測用センサ |
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JP (1) | JP2005009988A (ja) |
Cited By (4)
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JP2006250711A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Citizen Fine Tech Co Ltd | 圧力センサ |
JP2007052005A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-03-01 | Mikuni Corp | 圧力センサ素子及び圧力センサ |
JP2007139504A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Seiko Instruments Inc | 圧電センサ及びその製造方法 |
JP2010190445A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-02 | Mikuni Corp | 燃焼圧センサ付きグロープラグ |
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2003
- 2003-06-18 JP JP2003173793A patent/JP2005009988A/ja active Pending
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JP2010190445A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-02 | Mikuni Corp | 燃焼圧センサ付きグロープラグ |
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