JP3252327B2 - 基板上に書き込まれた文字の識別方法及び識別装置 - Google Patents
基板上に書き込まれた文字の識別方法及び識別装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、電子部品の製造、特に半導体素材でできた
基板またはウエハからのICの製造の分野に関するもので
あり、各基板に書き込まれた特に英数字の形の弁別文字
またはバーコードから、自動化製造工程での、とりわけ
これらの基板の識別または認識を行う方法または装置に
関するものである。
基板またはウエハからのICの製造の分野に関するもので
あり、各基板に書き込まれた特に英数字の形の弁別文字
またはバーコードから、自動化製造工程での、とりわけ
これらの基板の識別または認識を行う方法または装置に
関するものである。
従来技術では、ウエハの形の基板上、より厳密には各
ウエハのいずれか一つの面上に刻まれた文字を識別する
ための広く普及された方法が知られている。この方法
は、マニピュレータアームを用いて各ウエハを水平に移
動させるものである。これらの文字は、識別される文字
を備えた表面の部分がカメラ及び照明システムの光軸と
同一線上に、かつそれらと垂直になるように配置するた
めに、バスケットからウエハを取り出し、次にノッチま
たはルート面の形でその周囲にマーキングを行うことに
よってこのウエハを角度をつけて配向するように、垂直
に配置されたバスケットの各溝の中に互いに一列に並べ
られている。
ウエハのいずれか一つの面上に刻まれた文字を識別する
ための広く普及された方法が知られている。この方法
は、マニピュレータアームを用いて各ウエハを水平に移
動させるものである。これらの文字は、識別される文字
を備えた表面の部分がカメラ及び照明システムの光軸と
同一線上に、かつそれらと垂直になるように配置するた
めに、バスケットからウエハを取り出し、次にノッチま
たはルート面の形でその周囲にマーキングを行うことに
よってこのウエハを角度をつけて配向するように、垂直
に配置されたバスケットの各溝の中に互いに一列に並べ
られている。
この方法には多くの欠点があるが、特に、とりわけウ
エハの処理の際、25のウエハを処理するのにおよそ４分
ないし６分と、文字識別サイクルの時間が比較的長いこ
と、マニピュレータアームによって大きなスペースが必
要なこと、照明システムやカメラのようにこれらウエハ
の上方に機械的エレメントが存在することによってウエ
ハの粒子の汚染が増大すること、さらに、とりわけマニ
ピュレータアームの存在によって投資及び運転コストが
比較的高くなってしまうことが挙げられる。
エハの処理の際、25のウエハを処理するのにおよそ４分
ないし６分と、文字識別サイクルの時間が比較的長いこ
と、マニピュレータアームによって大きなスペースが必
要なこと、照明システムやカメラのようにこれらウエハ
の上方に機械的エレメントが存在することによってウエ
ハの粒子の汚染が増大すること、さらに、とりわけマニ
ピュレータアームの存在によって投資及び運転コストが
比較的高くなってしまうことが挙げられる。
同様に、一つのバスケットのあらゆるウエハをある装
置上で角度をつけて配向させ、ウエハの下に設置された
ミラーによってそのバスケットから文字を取り出さずに
他の装置上でウエハの文字を識別する別の方法が存在す
る。ただし、このためには、識別されるウエハの手前に
位置する２つのウエハを持ち上げる必要があり、これら
の多様なマニピュレーションはウエハの粒子の汚染源と
なる恐れがある。
置上で角度をつけて配向させ、ウエハの下に設置された
ミラーによってそのバスケットから文字を取り出さずに
他の装置上でウエハの文字を識別する別の方法が存在す
る。ただし、このためには、識別されるウエハの手前に
位置する２つのウエハを持ち上げる必要があり、これら
の多様なマニピュレーションはウエハの粒子の汚染源と
なる恐れがある。
最後に、同一の装置上で、角度をつけて配列させ、同
一バスケット内に配置されたウエハの識別を行うことが
できる別の方法があるが、これによると、カメラ及び照
明システムはウエハの上方に配置され、その結果、大気
が大きく乱れ、ウエハの粒子の汚染の危険が増大してし
まう。
一バスケット内に配置されたウエハの識別を行うことが
できる別の方法があるが、これによると、カメラ及び照
明システムはウエハの上方に配置され、その結果、大気
が大きく乱れ、ウエハの粒子の汚染の危険が増大してし
まう。
本発明の目的は、これらの欠点を解消し、他の利点を
もたらすことにある。より詳細にいえば、少なくとも以
下の段階を含むことを特徴とする、基板に刻まれた文字
の識別方法である。
もたらすことにある。より詳細にいえば、少なくとも以
下の段階を含むことを特徴とする、基板に刻まれた文字
の識別方法である。
＊前記の文字全体を書き込む最小の平らな表面を通り、
その平らな表面に対する垂線と第一の角度をなす第一平
面内に位置する少なくとも一つの第一光源を用いて前記
の文字を直接的に照らす段階。その第一の光源は、前記
の平らな表面を通り、前記の平らな表面に垂直で前記の
第一平面にも垂直な第二の平面と第二の角度をなす直線
上に位置している。
その平らな表面に対する垂線と第一の角度をなす第一平
面内に位置する少なくとも一つの第一光源を用いて前記
の文字を直接的に照らす段階。その第一の光源は、前記
の平らな表面を通り、前記の平らな表面に垂直で前記の
第一平面にも垂直な第二の平面と第二の角度をなす直線
上に位置している。
＊少なくとも前記の第二の平面に平行な光軸を備え、前
記の平らな表面への前記の垂線と第三の角度をなす、電
子式観察手段によって前記の文字を観察する段階。その
光軸は前記の平面と25゜以下の角度をなす。
記の平らな表面への前記の垂線と第三の角度をなす、電
子式観察手段によって前記の文字を観察する段階。その
光軸は前記の平面と25゜以下の角度をなす。
＊少なくともニューロンネットワーク式認識ソフトウェ
アによって前記の文字を識別する。
アによって前記の文字を識別する。
有利な特徴によれば、前記の第一及び第二の角度は35
〜65゜、好ましくは45゜であり、前記の第三の角度は40
〜60゜、好ましくは48゜である。
〜65゜、好ましくは45゜であり、前記の第三の角度は40
〜60゜、好ましくは48゜である。
本発明による方法は、文字の斜め照明によって、後続
の製造段階中にウエハ上に現れ、時々各ウエハの識別文
字が書き込まれる表面の部分をカバーするもっぱら垂直
及び水平のカッティングラインとは別に、それらの文字
の映像を得ることができる。垂直及び水平のこれらのカ
ッティングラインは、従来の技術による装置では、観察
される映像に擾乱を発生させ、そのため、文字識別のエ
ラー率が高くなり、したがってウエハの不良率が高くな
る恐れがあった。斜め照明はまた、文字が刻まれた表面
に対して観察される文字のコントラストをさらに強くす
ることもできる。というのも、前記の表面で反射する入
射光線は、特に、光線と光軸が文字の書き込み表面に垂
直である場合のように、観察用の光軸中にあるわけでは
ないからである。
の製造段階中にウエハ上に現れ、時々各ウエハの識別文
字が書き込まれる表面の部分をカバーするもっぱら垂直
及び水平のカッティングラインとは別に、それらの文字
の映像を得ることができる。垂直及び水平のこれらのカ
ッティングラインは、従来の技術による装置では、観察
される映像に擾乱を発生させ、そのため、文字識別のエ
ラー率が高くなり、したがってウエハの不良率が高くな
る恐れがあった。斜め照明はまた、文字が刻まれた表面
に対して観察される文字のコントラストをさらに強くす
ることもできる。というのも、前記の表面で反射する入
射光線は、特に、光線と光軸が文字の書き込み表面に垂
直である場合のように、観察用の光軸中にあるわけでは
ないからである。
加えて、斜め照明及びカメラの光軸の斜め位置のた
め、ウエハがバスケットに配置されるとき、各ウエハを
他のウエハに対して移動させることなく、各ウエハの文
字を観察することが可能になる。このように照明され観
察された文字の識別は、特にニューロンネットワーク式
識別ソフトウェアによって可能になる。
め、ウエハがバスケットに配置されるとき、各ウエハを
他のウエハに対して移動させることなく、各ウエハの文
字を観察することが可能になる。このように照明され観
察された文字の識別は、特にニューロンネットワーク式
識別ソフトウェアによって可能になる。
有利な特徴によれば、本発明による方法は、前記の第
二の平面に対して、前記の第一の光源と対称な少なくと
も一つの第二の光源を用いて前記の文字を照らすことを
特徴とする。
二の平面に対して、前記の第一の光源と対称な少なくと
も一つの第二の光源を用いて前記の文字を照らすことを
特徴とする。
この特徴により、カメラの光軸に対して対称な照明が
可能になり、したがって文字の識別のための映像の処理
がより簡単になる。
可能になり、したがって文字の識別のための映像の処理
がより簡単になる。
有利な特徴によれば、本発明による方法は、前記の平
らな表面を通り、それぞれ前記の平らな表面に対する垂
線と複数の角度をなす、複数の平面内に位置する複数の
光源によって前記の文字が照明されることを特徴とす
る。
らな表面を通り、それぞれ前記の平らな表面に対する垂
線と複数の角度をなす、複数の平面内に位置する複数の
光源によって前記の文字が照明されることを特徴とす
る。
複数の光源は、必要に応じて、特に、偶然に反射体や
黒っぽい酸化物の沈積物を有する可能性のある、文字を
書き込む表面の外観に応じて、各光源の光の強さを変化
させることによってより幅広い照明の調節を行うことが
できる。
黒っぽい酸化物の沈積物を有する可能性のある、文字を
書き込む表面の外観に応じて、各光源の光の強さを変化
させることによってより幅広い照明の調節を行うことが
できる。
別の有利な特徴によれば、本発明による方法は、保持
手段中に動かないように垂直に配置された複数の基板に
適用することができ、少なくとも以下の段階を含むこと
を特徴とする。
手段中に動かないように垂直に配置された複数の基板に
適用することができ、少なくとも以下の段階を含むこと
を特徴とする。
＊前記の基板の下方に位置する少なくとも一つの光源に
よって第一の基板上に書き込まれた前記の文字を照らし
出す。
よって第一の基板上に書き込まれた前記の文字を照らし
出す。
＊前記の基板の下方に位置する前記の電子式観察手段に
よって前記の第一の基板上に書き込まれた前記の文字を
観察する。
よって前記の第一の基板上に書き込まれた前記の文字を
観察する。
＊少なくともニューロンネットワーク式識別ソフトウェ
アによって前記の文字を識別する。
アによって前記の文字を識別する。
＊少なくとも光源と前記の電子式観察手段を、第二の基
板の識別位置に置くために、前記の複数の基板の整列軸
と平行に並進移動させる。
板の識別位置に置くために、前記の複数の基板の整列軸
と平行に並進移動させる。
この特徴により、保持手段、特にバスケットの中に配
置された複数の基板を識別することができ、前記の基板
は、決められた順番で、マニピュレートされることな
く、全体の中で一つ一つ識別される。照明と観察は基板
の下方から行われるので、基板は動くことがなく、粒子
の汚染も著しく軽減される。
置された複数の基板を識別することができ、前記の基板
は、決められた順番で、マニピュレートされることな
く、全体の中で一つ一つ識別される。照明と観察は基板
の下方から行われるので、基板は動くことがなく、粒子
の汚染も著しく軽減される。
本発明はまた、基板上に刻まれた文字の識別装置であ
って、前記の基板の位置決め手段、前記の文字を照明す
る照明手段、前記の文字を観察する観察手段、前記の文
字を識別する識別手段を備えており、前記の照明手段
が、一つの基板の前記の文字全体を書き込む最小の平ら
な表面を通り、前記の平らな表面に対する垂線と第一の
角度をなす、第一平面内に位置する少なくとも一つの第
一光源を有し、その第一光源は、前記の平らな表面を通
り、前記の平らな表面に垂直で前記の第一平面にも垂直
な第二平面と第二の角度をなし、前記観察手段は、前記
識別手段に少なくとも一つの映像を伝送し、前記平らな
表面に対する前記の垂線と第三の角度をなし、前記の第
一平面と25゜以下の角度をなす前記の第二平面に少なく
とも平行な光軸を有する電子カメラを備えることを特徴
とする文字の識別装置を対象とする。
って、前記の基板の位置決め手段、前記の文字を照明す
る照明手段、前記の文字を観察する観察手段、前記の文
字を識別する識別手段を備えており、前記の照明手段
が、一つの基板の前記の文字全体を書き込む最小の平ら
な表面を通り、前記の平らな表面に対する垂線と第一の
角度をなす、第一平面内に位置する少なくとも一つの第
一光源を有し、その第一光源は、前記の平らな表面を通
り、前記の平らな表面に垂直で前記の第一平面にも垂直
な第二平面と第二の角度をなし、前記観察手段は、前記
識別手段に少なくとも一つの映像を伝送し、前記平らな
表面に対する前記の垂線と第三の角度をなし、前記の第
一平面と25゜以下の角度をなす前記の第二平面に少なく
とも平行な光軸を有する電子カメラを備えることを特徴
とする文字の識別装置を対象とする。
本発明の他の特徴及び利点は、添付の図面を参照しな
がら、本発明のいかなる限定的解釈も引き出さず例示的
なものとして以下に説明する本発明による基板上に書き
込まれた文字の識別装置及び方法の実施例を読めば、明
らかになるであろう。
がら、本発明のいかなる限定的解釈も引き出さず例示的
なものとして以下に説明する本発明による基板上に書き
込まれた文字の識別装置及び方法の実施例を読めば、明
らかになるであろう。
第１図は、本発明による装置を照明手段及び観察手段
の幾何学的配置の実施形態の第一の例を示す略断面図で
ある。
の幾何学的配置の実施形態の第一の例を示す略断面図で
ある。
第２図は、第１図に示した実施例をF2方向から見た略
前面図である。
前面図である。
第３図は、第１図に示した実施例をF1方向から見た略
上面図である。
上面図である。
第４図は、本発明による装置の照明手段の幾何学的配
置の実施形態の第二の例を示す略断面図である。
置の実施形態の第二の例を示す略断面図である。
第５図は、第１図、第２図及び第３図による照明手段
及び観察手段を有する本発明による装置の実施形態の一
例を示す機能的部分略断面図である。
及び観察手段を有する本発明による装置の実施形態の一
例を示す機能的部分略断面図である。
第６図は、第５図に従った本発明による装置の実施形
態の一例を示す断面図である。
態の一例を示す断面図である。
第７図は、第６図に従った本発明による装置の実施形
態の一例を示す前面図である。
態の一例を示す前面図である。
第１図に部分的に示されている本発明による装置の照
明手段及び観察手段の幾何学的配置は、ウエハ２の形の
基板の文字１の識別位置にある所が、第一平面P1に垂直
な断面図として示されている。照明手段は、特に４つの
発光ダイオードダイオード（LED）を用いて実施される
第一光源S1、第二光源S2、第三光源S3、第四光源S4を有
すると有利である。４つの光源S1、S2、S3、S4は基板の
文字１全体を書き込んだ最小の平らな表面３を通る平面
P1内にほぼ位置している。平面P1は、表面３に対する垂
線４と約45゜の第一の角度β１となるのが好ましく、第
１図に示されているように、表面３の長軸の一本を含ん
でいるのが好ましい。
明手段及び観察手段の幾何学的配置は、ウエハ２の形の
基板の文字１の識別位置にある所が、第一平面P1に垂直
な断面図として示されている。照明手段は、特に４つの
発光ダイオードダイオード（LED）を用いて実施される
第一光源S1、第二光源S2、第三光源S3、第四光源S4を有
すると有利である。４つの光源S1、S2、S3、S4は基板の
文字１全体を書き込んだ最小の平らな表面３を通る平面
P1内にほぼ位置している。平面P1は、表面３に対する垂
線４と約45゜の第一の角度β１となるのが好ましく、第
１図に示されているように、表面３の長軸の一本を含ん
でいるのが好ましい。
ウエハ２は、電子工業において一般的に使用されてい
るタイプの薄いディスクの形のものであり、その前面に
は、第２図に示されているように、円周付近の区域にウ
エハのID文字が刻まれている。添付の図面に示されてい
るウエハ２と文字１の例は原寸に比例していず、一般に
よく見られる代表的なものであるが、決して限定的なも
のではなく、たとえば他のあらゆるタイプのウエハ上に
書き込まれたバーコードなど他のあらゆる様式の文字も
本発明による装置を用いて識別できる。
るタイプの薄いディスクの形のものであり、その前面に
は、第２図に示されているように、円周付近の区域にウ
エハのID文字が刻まれている。添付の図面に示されてい
るウエハ２と文字１の例は原寸に比例していず、一般に
よく見られる代表的なものであるが、決して限定的なも
のではなく、たとえば他のあらゆるタイプのウエハ上に
書き込まれたバーコードなど他のあらゆる様式の文字も
本発明による装置を用いて識別できる。
平面P1において、第一光源S1、第二光源S2、第三光源
S3、第四光源S4はそれぞれ、特に、第１図をF1方向から
見た図である第３図（第一平面P1に垂直な図）に示され
ているように、表面３に垂直であり平面P1にも垂直であ
る第二平面P2と有利には45゜の第二の角度β２を特に形
成し、表面３を通る、第一直線D1、第二直線D2、第三直
線D3、第四直線D4上にほぼ位置している。
S3、第四光源S4はそれぞれ、特に、第１図をF1方向から
見た図である第３図（第一平面P1に垂直な図）に示され
ているように、表面３に垂直であり平面P1にも垂直であ
る第二平面P2と有利には45゜の第二の角度β２を特に形
成し、表面３を通る、第一直線D1、第二直線D2、第三直
線D3、第四直線D4上にほぼ位置している。
第２図と第３図に示されているように第一光源S1と第
三光源S3はそれぞれ、第二平面P2に対して第二光源S2と
第四光源S4と対称とするのが有利である。
三光源S3はそれぞれ、第二平面P2に対して第二光源S2と
第四光源S4と対称とするのが有利である。
４つの光源S1、S2、S3、S4は、文字１に向けて特に円
錐形のその光束を送り、かつ有利には表面３からほぼ等
しい距離の位置にある。第二平面P2からそれらの光源を
隔てる距離は、たとえば第２図及び第３図に示されてい
るように、光源から発する光束が少なくとも表面３のレ
ベルで一部交わるようにすると有利である。
錐形のその光束を送り、かつ有利には表面３からほぼ等
しい距離の位置にある。第二平面P2からそれらの光源を
隔てる距離は、たとえば第２図及び第３図に示されてい
るように、光源から発する光束が少なくとも表面３のレ
ベルで一部交わるようにすると有利である。
第１図、第２図、第３図はまた、有利には、光軸９を
備えた電子カメラ８を有する観察手段の幾何学的配置を
示している、カメラ８は、第１図、第２図、第３図に示
されているように、有利には第二平面P2と一致し、表面
３に対する垂線４と第三の角度β３を形成する光軸９に
よって４つの光源S1、S2、S3、S4によって照明される文
字１を結像する。第三の角度β３は、第５図、第６図、
第７図により詳細に示されているように、特に40゜から
60゜までの値で調節可能であると有利である。
備えた電子カメラ８を有する観察手段の幾何学的配置を
示している、カメラ８は、第１図、第２図、第３図に示
されているように、有利には第二平面P2と一致し、表面
３に対する垂線４と第三の角度β３を形成する光軸９に
よって４つの光源S1、S2、S3、S4によって照明される文
字１を結像する。第三の角度β３は、第５図、第６図、
第７図により詳細に示されているように、特に40゜から
60゜までの値で調節可能であると有利である。
本発明による装置の照明手段の幾何学的配置の実施形
態の第二の例が第４図に概略的に示されている。照明手
段は、表面３に対する垂線４と有利には約45゜を中心と
して複数のそれぞれの角度βｎをなし、前記の表面３を
通る複数の平面Pn内に位置する複数の光源Snを備えてい
る。複数の平面Pnの各々は、第１図、第２図、第３図に
示されているのと同様の方法で配置されるのが有利であ
り、さらに複数の光源Snの各々は各平面内に配置されて
いる。
態の第二の例が第４図に概略的に示されている。照明手
段は、表面３に対する垂線４と有利には約45゜を中心と
して複数のそれぞれの角度βｎをなし、前記の表面３を
通る複数の平面Pn内に位置する複数の光源Snを備えてい
る。複数の平面Pnの各々は、第１図、第２図、第３図に
示されているのと同様の方法で配置されるのが有利であ
り、さらに複数の光源Snの各々は各平面内に配置されて
いる。
第５図は、本発明による装置の実施形態の一例の第１
図、第２図、第３図に従って描かれた幾何学的配置を有
する照明手段及び観察手段の運動の一例を示している。
図、第２図、第３図に従って描かれた幾何学的配置を有
する照明手段及び観察手段の運動の一例を示している。
ウエハ２は動かず、それらが備えているID文字が一列
に並ぶように配置されており、第６図と第７図により詳
細に示されているように表面３はほぼ平行である。４つ
の光源S1、S2、S3、S4は、平らな表面３に対する垂線４
に平行な方向12に沿って、ウエハ２に対して並進移動す
るサポート11上に固定されるのが有利である。カメラ８
は、その光軸９に平行な方向14でサポートに対して並進
移動し、かつ方向13に沿ってほぼ表面３の最長軸の周囲
をサポート11に対して回転移動することができるよう
に、サポート11上に取り付けるのが好ましい。
に並ぶように配置されており、第６図と第７図により詳
細に示されているように表面３はほぼ平行である。４つ
の光源S1、S2、S3、S4は、平らな表面３に対する垂線４
に平行な方向12に沿って、ウエハ２に対して並進移動す
るサポート11上に固定されるのが有利である。カメラ８
は、その光軸９に平行な方向14でサポートに対して並進
移動し、かつ方向13に沿ってほぼ表面３の最長軸の周囲
をサポート11に対して回転移動することができるよう
に、サポート11上に取り付けるのが好ましい。
方向12に沿ったサポート11の並進移動によって、各ウ
エハの文字の照明と観察が可能となり、方向14に沿った
カメラ８の並進移動によって、観察の最適化が可能にな
り、方向13に沿ったカメラ８の回転移動によって、特
に、第三の角度β３の適切な調節によって、各ウエハを
隔てる間隔10に応じて観察を調節することが可能であ
る。
エハの文字の照明と観察が可能となり、方向14に沿った
カメラ８の並進移動によって、観察の最適化が可能にな
り、方向13に沿ったカメラ８の回転移動によって、特
に、第三の角度β３の適切な調節によって、各ウエハを
隔てる間隔10に応じて観察を調節することが可能であ
る。
第５図に示されているように、水平軸に沿ってウエハ
が一列に並んでいる場合には、照明及び観察手段は、ウ
エハの下に位置しながら作用するように設計されるのが
好ましい。ウエハは、本発明によればあらゆるウエハの
識別時間中ずっと動かないままであることに注目された
い。ウエハをこのように静止させ、照明手段及び観察手
段をウエハの下方に位置決めすることによって、特に、
ウエハの粒子の汚染を最小限に抑えることができる。
が一列に並んでいる場合には、照明及び観察手段は、ウ
エハの下に位置しながら作用するように設計されるのが
好ましい。ウエハは、本発明によればあらゆるウエハの
識別時間中ずっと動かないままであることに注目された
い。ウエハをこのように静止させ、照明手段及び観察手
段をウエハの下方に位置決めすることによって、特に、
ウエハの粒子の汚染を最小限に抑えることができる。
第６図及び第７図は、それぞれ、第５図に従った本発
明による装置の実施形態の一例を示す断面図及び前面図
である。
明による装置の実施形態の一例を示す断面図及び前面図
である。
この装置は、ウエハ２の位置決め手段を備え、この手
段には、ウエハのフォーマットに従って変化する規則正
しい間隔で溝の中に次々と垂直に配置される各ウエハ２
を備えたバスケット15を水平位置に保持できる構造16
と、第７図に示されているように、各ウエハのID文字が
バスケット15に対してより低い位置で一列に並ぶよう
に、あらゆるウエハ２をその整列軸の周りで角度をつけ
て配向させるための機構（図示せず）が含まれる。この
機構は、ウエハがその円周上に備えているノッチまたは
ルート面（図示せず）を一列にすることができる一般的
によく知られた機構であることに注目されたい。この機
構は、構造16の内側でバスケット15の下方に位置し、中
央処理装置18から制御することができる用にするのが有
利である。この結果、前記の機構の自動制御が可能にな
る。
段には、ウエハのフォーマットに従って変化する規則正
しい間隔で溝の中に次々と垂直に配置される各ウエハ２
を備えたバスケット15を水平位置に保持できる構造16
と、第７図に示されているように、各ウエハのID文字が
バスケット15に対してより低い位置で一列に並ぶよう
に、あらゆるウエハ２をその整列軸の周りで角度をつけ
て配向させるための機構（図示せず）が含まれる。この
機構は、ウエハがその円周上に備えているノッチまたは
ルート面（図示せず）を一列にすることができる一般的
によく知られた機構であることに注目されたい。この機
構は、構造16の内側でバスケット15の下方に位置し、中
央処理装置18から制御することができる用にするのが有
利である。この結果、前記の機構の自動制御が可能にな
る。
この装置はまた、第１図、第２図、第３図、第５図に
よって規定されるような照明手段及び観察手段を備えて
いると有利である。サポート11は、たとえば、ウエハの
整列軸に平行な２本のガイドバー17に沿って並進誘導さ
れる。サポート11に対するカメラ８の並進及び回転誘導
は、従来の何らかの方法、たとえばガイドレールシステ
ム（図示せず）によって行われ、サポート11に対するカ
メラ８の移動は特に手動で行われる。サポート11に対す
るカメラ８の位置は識別プロセスの前に調節される。サ
ポート11の移動は、従来の何らかの方法によって、機械
化され（図示せず）、照明手段及び観察手段の移動の自
動誘導が可能なように中央処理装置18を介して制御可能
である。同様に、カメラ８と光源S1、S2、S3、S4の作動
は、照明手段及び観察手段の完全な自動誘導、またはモ
ニタを用いた文字識別の監視（図示せず）あるいはその
両方が可能なように、中央処理装置18を介して制御可能
とするのが望ましい。
よって規定されるような照明手段及び観察手段を備えて
いると有利である。サポート11は、たとえば、ウエハの
整列軸に平行な２本のガイドバー17に沿って並進誘導さ
れる。サポート11に対するカメラ８の並進及び回転誘導
は、従来の何らかの方法、たとえばガイドレールシステ
ム（図示せず）によって行われ、サポート11に対するカ
メラ８の移動は特に手動で行われる。サポート11に対す
るカメラ８の位置は識別プロセスの前に調節される。サ
ポート11の移動は、従来の何らかの方法によって、機械
化され（図示せず）、照明手段及び観察手段の移動の自
動誘導が可能なように中央処理装置18を介して制御可能
である。同様に、カメラ８と光源S1、S2、S3、S4の作動
は、照明手段及び観察手段の完全な自動誘導、またはモ
ニタを用いた文字識別の監視（図示せず）あるいはその
両方が可能なように、中央処理装置18を介して制御可能
とするのが望ましい。
この装置はさらに、特に、映像処理ソフトウェア及び
ニューロンネットワークによる文字認識ソフトウェアを
含み、この装置の有利にはカメラ８によって観察され伝
送された映像に応じて文字を識別する手段を備えてい
る。
ニューロンネットワークによる文字認識ソフトウェアを
含み、この装置の有利にはカメラ８によって観察され伝
送された映像に応じて文字を識別する手段を備えてい
る。
映像処理ソフトウェアは伝送された映像を粗描するこ
とができ、またニューロンネットワーク式認識ソフトウ
ェアによって、オペレータは、たとえばモニタ（図示せ
ず）を介して文字を視覚化及び識別することが可能にな
る。ニューロンネットワーク式認識ソフトウェアはま
た、伝送された映像をネットワーク上の情報処理に利用
できる情報に変換することができる。このような利用法
の場合には特に、中央処理装置は、必要に応じて一定の
製造プロセスやプロセスのある段階に適合したウエハ識
別サイクルの管理ソフトウェアを備えている。このよう
に、本発明による装置は、全面的に自動化された誘導が
可能である。
とができ、またニューロンネットワーク式認識ソフトウ
ェアによって、オペレータは、たとえばモニタ（図示せ
ず）を介して文字を視覚化及び識別することが可能にな
る。ニューロンネットワーク式認識ソフトウェアはま
た、伝送された映像をネットワーク上の情報処理に利用
できる情報に変換することができる。このような利用法
の場合には特に、中央処理装置は、必要に応じて一定の
製造プロセスやプロセスのある段階に適合したウエハ識
別サイクルの管理ソフトウェアを備えている。このよう
に、本発明による装置は、全面的に自動化された誘導が
可能である。
ニューロンネットワーク式認識ソフトウェアはまた、
文字認識の迅速性の利点つまり生産性ゲイン、さらに文
字識別エラー率の低さつまり製造不良率の低さをもたら
す。
文字認識の迅速性の利点つまり生産性ゲイン、さらに文
字識別エラー率の低さつまり製造不良率の低さをもたら
す。
本発明による装置のウエハ位置決め手段及び文字の照
明及び観察手段は、識別プロセス中にウエハが静止して
いるため、また照明手段と観察手段とバスケットの下方
へのウエハの配向機構が一体化しているため、特に比較
的コンパクトな大きさに組み込まれる。プラスチック材
料を大量に使用することによって、重量を15キログラム
未満に抑えることができ、その結果、移動や持ち運びが
容易になる。最後に、情報処理の統合化、本発明による
装置をネットワークとつないで利用することもできる。
明及び観察手段は、識別プロセス中にウエハが静止して
いるため、また照明手段と観察手段とバスケットの下方
へのウエハの配向機構が一体化しているため、特に比較
的コンパクトな大きさに組み込まれる。プラスチック材
料を大量に使用することによって、重量を15キログラム
未満に抑えることができ、その結果、移動や持ち運びが
容易になる。最後に、情報処理の統合化、本発明による
装置をネットワークとつないで利用することもできる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ａ (72)発明者 オラニョン，マルセル フランス国 エフ―31840 オソンヌ・ ゾーン アンド ストリエル ドゥ ム ーラン・（番地なし) (72)発明者 ポリ，ベルナール フランス国 エフ―31480 コックス・ （番地なし) (56)参考文献 特開 平１−212329（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G06T 1/00 420 G06T 1/00 400 G06T 1/00 305 G06T 1/00 310 H01L 21/02
Claims (14)
- 【請求項１】垂直に配置した静止する複数の基板（２）
上に刻まれた文字（１）の識別方法であって、少なくと
も ＊前記複数の基板の下方に位置し、前記複数の基板の第
一の基板の前記の文字全体を書き込む最小の平らな表面
（３）を通り、その平らな面に対する垂線（４）と第一
の角度（β１）をなす第一平面（P1）内に位置し、かつ
前記の平らな表面を通り、その平らな表面に垂直で第一
の平面（P1）に垂直な第二の平面（P2）と第二の角度
（β２）をなす、直線（D1）上に位置する、少なくとも
一つの第一光源（S1）を用いて前記複数の第一の基板の
文字を直接的に照らし出す段階と、 ＊前記複数の基板の下方に位置し、第二の平面（P2）に
少なくとも平行で、前記の平面（P1）と25゜以下の角度
をなす、光軸（９）を備え、前記の平らな表面（３）に
対する前記の垂線（４）と第三の角度（β３）をなす、
電子式観察手段（８）によって前記の文字を観察する段
階と、 ＊少なくともニューロンネットワーク式認識ソフトウェ
アによって前記第一の基板の前記の文字を識別する段階
と、 ＊少なくとも前記第一の光源と前記観察手段を、前記複
数の基板の整列軸と平行に並進移動させて、前記複数の
基板のうちの第二の基板の文字識別位置に配置する段階
と を含むことを特徴とする方法。 - 【請求項２】前記の第一の角度（β１）が35〜65゜、好
ましくは45゜であることを特徴とする請求項１に記載の
方法。 - 【請求項３】前記の第二の角度（β２）が35〜65゜、好
ましくは45゜であることを特徴とする請求項１または２
に記載の方法。 - 【請求項４】前記の第三の角度（β３）が40〜60゜、好
ましくは48゜であることを特徴とする請求項１ないし３
のいずれか一項に記載の方法。 - 【請求項５】前記の第二の平面（P2）に対して前記の第
一の光源（S1）と対称な少なくとも一つの第二の光源
（S2）を用いて前記の文字（１）を照らし出すことを特
徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の方
法。 - 【請求項６】前記の平らな表面（３）を通り、それぞれ
前記の平らな表面に対する垂線（４）と複数の角度（β
ｎ）をなす、複数の平面（Pn）内に位置する複数の光源
（Sn）を用いて前記の文字を照らし出すことを特徴とす
る請求項１ないし５のいずれか一項に記載の方法。 - 【請求項７】基板（２）上に刻まれた文字の識別装置
（１）であって、前記の基板の位置決め手段と前記の文
字の照明手段、前記の文字の観察手段及び前記の文字の
識別手段を備えており、前記位置決め手段が、前記基板
を垂直の静止位置に保持することのできるバスケット
（15）を備え、基板の前記した前記文字全体を書き込む
ことのできる、少なくとも一つの最小の平らな表面
（３）を規定し、前記の照明手段が、一つの基板の文字
全体を書き込む最小の平らな表面（３）を通り、前記の
平らな表面に対する垂線（４）と第一の角度（β１）を
なす、第一平面（P1）内に位置する少なくとも一つの第
一の光源を備えており、前記の第一の光源が、前記の平
らな表面に垂直で前記の第一平面にも垂直な第二の平面
（P2）と第二の角度（β２）のなし、前記の平らな表面
を通る、直線（D1）上に位置しており、前記の観察手段
が、前記の識別手段に対して少なくとも一つの映像を伝
送し、前記の平らな表面（３）に対する前記の垂線
（４）と第三の角度（β３）をなし、前記の第一の平面
と25゜未満の角度をなす、電子カメラ（８）を備えてお
り、前記装置が、前記照明手段と前記観察手段を前記基
板の整列軸と平行に並進移動する手段を備えていること
を特徴とする装置。 - 【請求項８】前記の第一の角度（β１）が35〜65゜、好
ましくは45゜であることを特徴とする請求項７に記載の
装置。 - 【請求項９】前記の第二の角度（β２）が35〜65゜、好
ましくは45゜であることを特徴とする請求項７または８
に記載の装置。 - 【請求項１０】前記の第三の角度（β３）が40〜60゜、
好ましくは48゜であることを特徴とする請求項７ないし
９のいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項１１】前記の照明手段が、前記の第二の平面
（P2）に関して前記の第一の光源（S1）と対称な少なく
とも一つの第二の光源（S2）を備えていることを特徴と
する請求項７ないし10のいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項１２】前記の平らな表面（３）を通り、それぞ
れ前記の平らな表面に対する垂線（４）と複数の角度
（βｎ）をなす、複数の平面（Pn）内に位置する複数の
光源（Sn）を備えていることを特徴とする請求項７ない
し11のいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項１３】少なくとも前記の位置決め手段と前記の
照明手段と前記の観察手段が前記の基板（２）の下方に
延びることを特徴とする請求項７ないし12のいずれか一
項に記載の装置。 - 【請求項１４】前記の文字の前記の識別手段が、前記の
観察手段によって伝送された映像を解釈するための少な
くとも一つのニューロンネットワーク式認識ソフトウェ
アを備えていることを特徴とする請求項７ないし13のい
ずれか一項に記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9312770A FR2711824B1 (fr) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | Procédés et dispositifs d'identification de caractères inscrits sur des substrats. |
| FR93/12770 | 1993-10-21 | ||
| PCT/FR1994/001228 WO1995011491A1 (fr) | 1993-10-21 | 1994-10-21 | Procedes et dispositifs d'identification de caracteres inscrits sur des substrats |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09504892A JPH09504892A (ja) | 1997-05-13 |
| JP3252327B2 true JP3252327B2 (ja) | 2002-02-04 |
Family
ID=9452230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51142395A Expired - Fee Related JP3252327B2 (ja) | 1993-10-21 | 1994-10-21 | 基板上に書き込まれた文字の識別方法及び識別装置 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0724753B1 (ja) |
| JP (1) | JP3252327B2 (ja) |
| KR (1) | KR100346828B1 (ja) |
| AT (1) | ATE164697T1 (ja) |
| DE (1) | DE69409395T2 (ja) |
| ES (1) | ES2115266T3 (ja) |
| FR (1) | FR2711824B1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| US7016539B1 (en) | 1998-07-13 | 2006-03-21 | Cognex Corporation | Method for fast, robust, multi-dimensional pattern recognition |
| FR2835337B1 (fr) | 2002-01-29 | 2004-08-20 | Recif Sa | Procede et dispositif d'identification de caracteres inscrits sur une plaque de semi-conducteur comportant au moins une marque d'orientation |
| US8081820B2 (en) | 2003-07-22 | 2011-12-20 | Cognex Technology And Investment Corporation | Method for partitioning a pattern into optimized sub-patterns |
| US9734419B1 (en) | 2008-12-30 | 2017-08-15 | Cognex Corporation | System and method for validating camera calibration in a vision system |
| US9533418B2 (en) | 2009-05-29 | 2017-01-03 | Cognex Corporation | Methods and apparatus for practical 3D vision system |
| US9393694B2 (en) | 2010-05-14 | 2016-07-19 | Cognex Corporation | System and method for robust calibration between a machine vision system and a robot |
| US9124873B2 (en) | 2010-12-08 | 2015-09-01 | Cognex Corporation | System and method for finding correspondence between cameras in a three-dimensional vision system |
| DE202012003661U1 (de) * | 2012-04-12 | 2013-07-15 | Mühlbauer Ag | Vorrichtung zum Erkennen von Codes |
| US9679224B2 (en) | 2013-06-28 | 2017-06-13 | Cognex Corporation | Semi-supervised method for training multiple pattern recognition and registration tool models |
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|---|---|---|---|---|
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| FR2594982A1 (fr) * | 1986-02-21 | 1987-08-28 | Eram Sarl Manuf Fse Chaussures | Mode de realisation de codes a lecture optique, procede de lecture desdits codes et installation pour la mise en oeuvre du procede |
| DE3742485A1 (de) * | 1987-12-15 | 1989-06-29 | Sick Optik Elektronik Erwin | Optische abtastvorrichtung |
-
1993
- 1993-10-21 FR FR9312770A patent/FR2711824B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-10-21 ES ES94931618T patent/ES2115266T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1994-10-21 DE DE69409395T patent/DE69409395T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-10-21 EP EP94931618A patent/EP0724753B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1994-10-21 KR KR1019960701383A patent/KR100346828B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-10-21 WO PCT/FR1994/001228 patent/WO1995011491A1/fr active IP Right Grant
- 1994-10-21 JP JP51142395A patent/JP3252327B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1994-10-21 AT AT94931618T patent/ATE164697T1/de not_active IP Right Cessation
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|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |