JP3244099B2 - Wire abrasion detector for wire saws - Google Patents

Wire abrasion detector for wire saws

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JP3244099B2
JP3244099B2 JP18099794A JP18099794A JP3244099B2 JP 3244099 B2 JP3244099 B2 JP 3244099B2 JP 18099794 A JP18099794 A JP 18099794A JP 18099794 A JP18099794 A JP 18099794A JP 3244099 B2 JP3244099 B2 JP 3244099B2
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    • B23D57/00Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B23D57/0053Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels

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  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
ーで多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーの
ワイヤー磨耗量検知装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for detecting the amount of wire wear of a wire saw, and more particularly to cutting a large number of thin wafers with a wire running on a cylindrical workpiece such as a semiconductor ingot, ceramic or glass. The present invention relates to a device for detecting the amount of wire wear of a wire saw.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイ
ヤーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が
形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤー
リールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻
回される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと
他方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際
に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てると共に、ワ
イヤー列に砥粒を含む加工液を供給して砥粒のラッピン
グ作用により被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断
するものである。
2. Description of the Related Art A wire saw is one of the cutting devices for cutting a workpiece such as a semiconductor ingot, ceramic, glass or the like into a thin wafer. In this wire saw, a wire is wound around a plurality of grooved rollers to form a wire row, and one end of the wire is wound on one wire reel and the other end is wound on the other wire reel. Is done. When the wire reciprocates between one wire reel and the other wire reel at a high speed, the workpiece is pressed against the wire row and a processing liquid containing abrasive grains is supplied to the wire row. The workpiece is cut into many thin wafers by the lapping action of the abrasive grains.

【0003】このワイヤーソーのワイヤーは、被加工物
を切断しているうちに磨耗してくるため、切断中にワイ
ヤーが断線する危険性がある。このため、定期的にワイ
ヤーの磨耗量を検知して、断線する前にワイヤーを交換
する必要がある。従来、ワイヤーソーのワイヤー磨耗量
検知は、ワイヤーを一定時間使用したらワイヤーソーを
一時的に停止させて、この間に作業者がマイクロメータ
でワイヤー径を測定してワイヤー磨耗量を検知してい
た。そして、ワイヤーが所定の細さまで磨耗していた
ら、ワイヤーを交換するようにしていた。
[0003] Since the wire of this wire saw is worn while cutting the workpiece, there is a danger that the wire will break during cutting. Therefore, it is necessary to periodically detect the amount of wear of the wire and replace the wire before disconnection. Conventionally, wire wear of a wire saw is detected by temporarily stopping the wire saw when a wire has been used for a certain period of time, and then measuring the wire diameter with a micrometer to detect the wire wear. Then, if the wire is worn to a predetermined thickness, the wire is replaced.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法は、ワイヤーの
磨耗量を連続して検知することができないため、ワイヤ
ー径の測定から次の測定までの間にワイヤーが断線して
作業が停止するという危険性があった。また、測定の都
度ワイヤーソーを停止しなければならないので、作業能
率が悪くなるという欠点があった。
However, the conventional method for detecting the amount of wire wear of a wire saw cannot continuously detect the amount of wire wear, and therefore the method for detecting the amount of wire wear between the wire diameter measurement and the next measurement is not possible. There was a danger that the wire would break and the work would stop. In addition, since the wire saw must be stopped each time measurement is performed, there is a disadvantage that work efficiency is deteriorated.

【0005】このような観点から、本発明の出願人は、
ワイヤー走行経路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有す
る2点間に電圧をかけその電圧の変化でワイヤーの磨耗
量を検知する方法を提案した。この方法は、ワイヤーを
走行させたままワイヤー磨耗量を連続的に検知すること
ができるというメリットがある。しかしながら、この方
法は、ワイヤーの磨耗量をワイヤーの電気抵抗を測定す
ることによる間接的な測定方法であるため、測定の信頼
性を低下させる外部要因(例えば、ワイヤー以外の電気
抵抗)が測定に含まれ易いという欠点があった。
[0005] From such a viewpoint, the applicant of the present invention provides:
A method has been proposed in which a voltage is applied between two points of the wire running path having only the electric resistance of the wire and the amount of wear of the wire is detected based on a change in the voltage. This method has an advantage that the wire wear amount can be continuously detected while the wire is running. However, since this method is an indirect method of measuring the amount of wire wear by measuring the electrical resistance of the wire, external factors (for example, electrical resistance other than the wire) that reduce the reliability of the measurement may cause a problem. There was a disadvantage that it was easily included.

【0006】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ワイヤーソーの運転を停止することなく自動
でワイヤーの磨耗量を検知することができると共に、信
頼性の高い測定結果が得られるワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知装置を提供すること目的とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and it is possible to automatically detect the amount of wire wear without stopping the operation of the wire saw, and obtain highly reliable measurement results. It is an object of the present invention to provide a wire abrasion detection device for a wire saw.

【0007】[0007]

【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリ
ールの間を往復走行するワイヤーに被加工物を押し当て
ると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、
前記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイ
ヤーソーにおいて、前記ワイヤーを挟み付ける移動自在
な測定子を有すると共に、前記測定子の移動変位量を検
出する測定ヘッドと、前記ワイヤーを挟み付けた時の前
記測定子の移動変位量に基づいてワイヤー径を算出する
演算部と、を備えていることを特徴とする。
According to the present invention, in order to achieve the above object, a workpiece is pressed against a wire reciprocating between one wire reel and the other wire reel, and the wire is ground. Supply machining fluid containing grains,
In a wire saw for cutting the workpiece into a large number of thin wafers, a movable head for holding the wire is provided, and a measuring head for detecting a moving displacement of the probe is provided. And a calculation unit for calculating a wire diameter based on the amount of displacement of the tracing stylus when attached.

【0008】[0008]

【作用】本発明によれば、ワイヤーを測定ヘッドで挟み
付けるようにすると共に、測定ヘッドの測定子移動変位
量に基づいてワイヤー径を演算部で算出するようにし
た。これにより、ワイヤー径を直接測定できるので、信
頼性の高い測定結果を得ることができる。
According to the present invention, the wire is clamped by the measuring head, and the wire diameter is calculated by the calculating section based on the displacement of the tracing stylus of the measuring head. Thereby, since the wire diameter can be directly measured, a highly reliable measurement result can be obtained.

【0009】また、ワイヤーが往復行する方向転換時の
一時的なワイヤー走行停止時に測定すれば、ワイヤーソ
ーの運転を止めないで測定できる。また、押し付け手段
を設けたので、ワイヤーの張力に影響されないでワイヤ
ー径を測定することができる。また、測定ヘッドのワイ
ヤー走行上流にワイヤーに供給された加工液を除去する
除去手段を設けた。これにより、測定時にワイヤーに加
工液が付着していないので、より精度のよい測定を行う
ことができる。
In addition, if the measurement is performed when the traveling of the wire is temporarily stopped when the direction of the wire reciprocates, the measurement can be performed without stopping the operation of the wire saw. Further, since the pressing means is provided, the wire diameter can be measured without being affected by the tension of the wire. Further, a removing means for removing the working fluid supplied to the wire is provided upstream of the measuring head in the wire running direction. Thereby, since the processing liquid does not adhere to the wire at the time of measurement, more accurate measurement can be performed.

【0010】[0010]

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーのワイヤー磨耗量検知装置の好ましい実施例につい
て詳説する。本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知装置の実施例を説明する前に、まず、ワイヤーソー1
0の全体構成を図1に従って説明する。同図に示すよう
に、一方のリール12に巻回されたワイヤー1 4は、ワ
イヤー案内装置16、複数の固定ガイドローラ18、1
8、ダンサローラ20を経由して3本の溝付きローラ2
2、22、22に順次巻き掛けられてワイヤー列24を
形成した後、複数の固定ガイドローラ18、18、ダン
サローラ20、ワイヤー案内装置16を経て他方のリー
ル26に巻き取られるワイヤー走行路を形成する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view showing an apparatus for detecting the amount of wear of a wire saw according to the present invention; Before explaining an embodiment of the wire wear amount detecting device for a wire saw according to the present invention, first, a wire saw 1 will be described.
0 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1, a wire 14 wound around one of the reels 12 includes a wire guide device 16, a plurality of fixed guide rollers 18, and 1.
8. Three grooved rollers 2 via dancer rollers 20
After forming a wire row 24 by successively winding the wires 2, 22, and 22, a wire running path is formed through a plurality of fixed guide rollers 18, 18, a dancer roller 20, and a wire guide device 16 to be wound on the other reel 26. I do.

【0011】前記ダンサローラ20には、所定重量の錘
44が吊設され、錘44の荷重によりワイヤー走行路を
走行するワイヤー14に常に所要の張力が付与される。
また、ワイヤー走行路の途中にはワイヤー洗浄装置46
が設けられ、このワイヤー洗浄装置46によってワイヤ
ー14に付着した加工液40がワイヤー14から除去さ
れる。また、夫々のリール12、26は正逆回転可能な
駆動モータ28、30に連結されると共に、3本のうち
の1本の溝付きローラ22は正逆回転可能な駆動モータ
32に連結される。これにより、一方のリール12から
繰り出されたワイヤー14は、図中実線矢印34方向に
高速走行(600m/分以上)しながら他方のリール2
6に巻き取られる。また、他方のリール26に巻き取ら
れたワイヤー14は図中破線矢印36方向に逆走行して
一方のリール12に巻き取られる。即ち、ワイヤー14
は一方のリール12と他方のリール26の間を往復走行
する。また、ワイヤー列24には、砥液貯留タンク38
に貯留された砥粒(通常、GC♯600〜♯1000程
度のものが使用される)を含む加工液40が砥液供給ノ
ズル42から供給される。
A weight 44 having a predetermined weight is suspended from the dancer roller 20, and a predetermined tension is always applied to the wire 14 traveling on the wire traveling path by the load of the weight 44.
In the middle of the wire traveling path, a wire cleaning device 46 is provided.
The processing liquid 40 attached to the wire 14 is removed from the wire 14 by the wire cleaning device 46. Each of the reels 12 and 26 is connected to drive motors 28 and 30 that can rotate forward and reverse, and one of the three grooved rollers 22 is connected to a drive motor 32 that can rotate forward and reverse. . As a result, the wire 14 unreeled from one reel 12 moves at a high speed (600 m / min or more) in the direction of the solid arrow 34 in FIG.
It is wound by 6. The wire 14 wound on the other reel 26 runs backward in the direction of the dashed arrow 36 in the drawing and is wound on the one reel 12. That is, the wire 14
Reciprocates between one reel 12 and the other reel 26. Further, the wire row 24 has an abrasive liquid storage tank 38.
A working fluid 40 containing abrasive grains (usually, those having a GC of about $ 600 to $ 1000) is supplied from a grinding fluid supply nozzle 42.

【0012】また、前記ワイヤー列24の下方には、ワ
ーク送りテーブル48が設けられ、このワーク送りテー
ブル48はモータ50で回動するネジ桿52により切断
送り方向(図中Y−Y方向)に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル48のワイヤー列24側に
は、被加工物である半導体インゴット54がワークブロ
ック56とスライスベース58を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル48を切断送り方向(ワ
イヤー列24側)に移動させると、半導体インゴット5
4は高速走行するワイヤー列24に押し当てられ、ワイ
ヤー列24に供給される加工液40の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット54を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
A work feed table 48 is provided below the wire row 24. The work feed table 48 is driven by a screw rod 52 rotated by a motor 50 in a cutting feed direction (Y-Y direction in the drawing). A semiconductor ingot 54, which is a workpiece, is supported via a work block 56 and a slice base 58 on the side of the wire row 24 of the work feed table 48 while being movably provided. As a result, when the work feed table 48 is moved in the cutting feed direction (the wire row 24 side), the semiconductor ingot 5
4 is pressed against the wire row 24 running at a high speed, and cuts the semiconductor ingot 54 into a number of thin wafers by a lapping action of abrasives of the working fluid 40 supplied to the wire row 24.

【0013】次に、本発明に係るワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知装置について説明する。図2はワイヤー磨
耗量検知装置の構成を示すブロック図である。同図に示
すように、ワイヤー磨耗量検知装置60は、主としてテ
ーブル62、測定子64、測定ヘッド66、エアシリン
ダ68及びCPU70から構成されている。テーブル6
2はワイヤー14の近傍に設置されると共に、ワイヤー
14に対向する面に基準面62Aが形成されている。
Next, an apparatus for detecting the amount of wire wear of a wire saw according to the present invention will be described. FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of the wire wear amount detecting device. As shown in the figure, the wire wear detecting device 60 mainly includes a table 62, a tracing stylus 64, a measuring head 66, an air cylinder 68, and a CPU 70. Table 6
Reference numeral 2 is installed near the wire 14, and a reference surface 62 </ b> A is formed on a surface facing the wire 14.

【0014】測定子64は、ワイヤー14に対して前記
テーブル62の基準面62Aの反対側に配置されると共
に、測定ヘッド66に移動自在に支持される。測定ヘッ
ド66は、前記テーブル62の基準面62Aに対する測
定子64の移動変位量を測定ヘッド66内に内蔵された
検出部(例えば、差動変圧器、モアレスケール等)で検
出し、測定子64の移動変位量に応じた出力電圧を生じ
る。そして、出力電圧をA/D変換器71でデジタル信
号に変換してCPU70に出力する。
The tracing stylus 64 is arranged on the opposite side of the reference surface 62A of the table 62 with respect to the wire 14, and is movably supported by the measuring head 66. The measuring head 66 detects the amount of displacement of the tracing stylus 64 with respect to the reference surface 62A of the table 62 by a detection unit (for example, a differential transformer, a moiré scale, etc.) built in the measuring head 66, and An output voltage is generated in accordance with the amount of displacement. Then, the output voltage is converted into a digital signal by the A / D converter 71 and output to the CPU 70.

【0015】エアシリンダ68は、ロッド69に支持部
材72を介して測定子64に連結すると共に、前記測定
子64をテーブル62の基準面62Aに対して進退移動
させる。次に、上記のように構成されたワイヤー磨耗量
検知装置60により、ワイヤー径を測定する方法を説明
する。
The air cylinder 68 is connected to a rod 69 via a support member 72 to a tracing stylus 64, and moves the tracing stylus 64 forward and backward with respect to a reference surface 62A of a table 62. Next, a method of measuring the wire diameter by the wire wear amount detecting device 60 configured as described above will be described.

【0016】まず、ワイヤー径を測定する前に基準測定
が行われる、すなわち、測定子64とテーブル62の基
準面62Aとの間にワイヤー14がない状態でエアシリ
ンダ68を作動させて、測定子64を基準面62Aに当
接させる。そして、この時の測定子64の移動変位量を
基準値(ゼロ)とするようにCPU70でゼロ調整す
る。
First, a reference measurement is performed before measuring the wire diameter. That is, the air cylinder 68 is operated without the wire 14 between the probe 64 and the reference surface 62A of the table 62, and the probe is operated. 64 is brought into contact with the reference surface 62A. Then, the CPU 70 performs zero adjustment so that the displacement amount of the tracing stylus 64 at this time becomes a reference value (zero).

【0017】次に以下のようにワイヤー径を測定する。
前述したワイヤーソー10は、ワイヤー14が一方のワ
イヤーリール12と他方のワイヤーリール26の間を往
復走行している(図1参照)。従って、ワイヤー14が
往復行で走行方向を変える時、ワイヤー14は一時的に
走行を停止する。この時、ワイヤーリール12、26及
び溝付ローラ22に連結された駆動モータ28、30、
32の駆動も一時的に停止する。
Next, the wire diameter is measured as follows.
In the wire saw 10 described above, the wire 14 reciprocates between one wire reel 12 and the other wire reel 26 (see FIG. 1). Therefore, when the wire 14 changes the traveling direction in the reciprocating motion, the wire 14 temporarily stops traveling. At this time, drive motors 28 and 30 connected to the wire reels 12 and 26 and the grooved roller 22,
The driving of 32 is also temporarily stopped.

【0018】CPU70は、駆動モータ30が停止した
ことを確認すると、エアシリンダ68を駆動して測定子
64をテーブル62の基準面62Aに向けて移動させ
る。測定子64をテーブル62の基準面62Aに向けて
移動させて行くと、ワイヤー14は、テーブル62の基
準面62Aと測定子64の間にあるので、測定子64と
テーブル62の基準面62Aとの間で挟み付けられる。
測定ヘッド66は、このワイヤー14を測定子64とテ
ーブル62の基準面62Aとの間で挟み付けた時の測定
子64の移動変位量を検出して、CPU70に出力す
る。
When the CPU 70 confirms that the drive motor 30 has stopped, it drives the air cylinder 68 to move the tracing stylus 64 toward the reference surface 62A of the table 62. When the tracing stylus 64 is moved toward the reference surface 62A of the table 62, the wire 14 is located between the reference surface 62A of the table 62 and the tracing stylus 64. Sandwiched between.
The measuring head 66 detects the amount of displacement of the tracing stylus 64 when the wire 14 is clamped between the tracing stylus 64 and the reference surface 62A of the table 62, and outputs it to the CPU 70.

【0019】CPU70では、この測定ヘッド66から
出力された移動変位量と前記基準値(ゼロ)とを比較し
て測定子64の移動変位差を算出する。この算出された
移動変位差はワイヤー14の外径であるから、CPU7
0はこの値がワイヤーの使用可能領域内の値(通常0.
18〜0.13mm)であるか判断する。そして、算出さ
れた値が使用可能領域より小さい値であった場合は、C
PU70は警報装置76を作動させて、作業者にワイヤ
ーの交換時期であることを知らせる。
The CPU 70 compares the displacement amount output from the measuring head 66 with the reference value (zero) to calculate the displacement difference of the tracing stylus 64. Since the calculated displacement difference is the outer diameter of the wire 14, the CPU 7
0 is a value within the usable area of the wire (usually 0.
18 to 0.13 mm). If the calculated value is smaller than the usable area, C
The PU 70 activates the alarm device 76 to notify the worker that it is time to replace the wire.

【0020】また、CPU70は一連の測定操作を終了
したら、再びエアシリンダ68を駆動して、測定子64
を元の位置に退避させる。このように、本実施例のワイ
ヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置によれば、ワイヤー
14の径を測定するのに測定子64を直接接触させて測
定するので、信頼性の高い測定結果が得られる。また、
ワイヤーソー10の運転を停止することなく自動でワイ
ヤー14の磨耗量を検知することができるので作業能率
を向上させることができる。
When a series of measuring operations is completed, the CPU 70 drives the air cylinder 68 again to
To its original position. As described above, according to the wire abrasion amount detecting device for the wire saw of the present embodiment, the diameter of the wire 14 is measured by directly contacting the tracing stylus 64, so that a highly reliable measurement result can be obtained. . Also,
Since the amount of wear of the wire 14 can be automatically detected without stopping the operation of the wire saw 10, work efficiency can be improved.

【0021】尚、本実施例では、ワイヤー14をテーブ
ル62に押さえつける手段として、測定子64によりワ
イヤー14をテーブル62に押さえ付けていたが、図3
に示すようにしてもよい。すなわち、測定子62の両脇
に第二のエアシリンダ78を設置して、測定の際は、予
めワイヤー14をテーブル62に押さえ付けておく。こ
れにより、測定子64がワイヤー14の張力に抗してワ
イヤー14をテーブル62の基準面62Aに押し付ける
必要がなくなるため、ワイヤー14を挟み付ける圧力を
小さくすることができると共に、ワイヤー14を測定子
64と基準面62Aの間に確実に挟み込むことができ
る。
In this embodiment, the wire 14 is pressed against the table 62 by the tracing stylus 64 as means for pressing the wire 14 against the table 62.
As shown in FIG. That is, the second air cylinder 78 is installed on both sides of the tracing stylus 62, and the wire 14 is pressed against the table 62 in advance at the time of measurement. This eliminates the need for the tracing stylus 64 to press the wire 14 against the reference surface 62A of the table 62 against the tension of the wire 14, so that the pressure for pinching the wire 14 can be reduced and the wire 14 64 and the reference surface 62A.

【0022】また、図3に示すように、ワイヤー磨耗量
検知装置60の溝付ローラ22(図示せず)側にフェル
ト80を設置して、予めワイヤー14に付着した砥粒や
洗浄液等の付着物を拭き取ってから測定を開始すれば、
更に信頼性の高い測定値を得ることができる。
As shown in FIG. 3, a felt 80 is provided on the grooved roller 22 (not shown) side of the wire abrasion detecting device 60 to apply abrasive particles, cleaning liquid, etc., which have been attached to the wire 14 in advance. If you start measuring after wiping the kimono,
Further, a highly reliable measurement value can be obtained.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤー
ソーのワイヤー磨耗量検知装置によれば、ワイヤーの径
を直接測定するので、確実に測定できると共に、信頼性
の高い測定結果が得られる。また、ワイヤーソーの運転
を停止することなく自動でワイヤーの磨耗量を検知する
ことができるので作業能率を向上させることができる。
As described above, according to the apparatus for detecting the amount of wear of a wire saw according to the present invention, the diameter of the wire is directly measured, so that the measurement can be performed reliably and a highly reliable measurement result can be obtained. . Further, since the amount of wear of the wire can be automatically detected without stopping the operation of the wire saw, work efficiency can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、ワイヤーソーの全体構成図FIG. 1 is an overall configuration diagram of a wire saw.

【図2】図2は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗
量検知装置の構成図。
FIG. 2 is a configuration diagram of a wire wear amount detecting device for a wire saw according to the present invention.

【図3】図3は、ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装
置に第2のエアシリンダを設置したときの構成図
FIG. 3 is a configuration diagram when a second air cylinder is installed in the wire wear amount detecting device of the wire saw.

【符号の説明】 10…ワイヤーソー 14…ワイヤー 12、26…ワイヤーリール 22…溝付ローラ 28、30、32…駆動モータ 60…ワイヤー磨耗量検知装置 62…テーブル 64…測定子 66…測定ヘッド 68…エアシリンダ 70…CPU 76…警報装置 78…第2のエアシリンダ 80…フェルト[Description of Signs] 10 ... Wire saw 14 ... Wire 12, 26 ... Wire reel 22 ... Groove roller 28, 30, 32 ... Drive motor 60 ... Wire wear amount detecting device 62 ... Table 64 ... Measuring element 66 ... Measuring head 68 ... air cylinder 70 ... CPU 76 ... alarm device 78 ... second air cylinder 80 ... felt

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B28D 5/04 B24B 27/06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B28D 5/04 B24B 27/06

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリ
ールの間を往復走行するワイヤーに被加工物を押し当て
ると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、
前記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイ
ヤーソーにおいて、往復走行する前記ワイヤーの方向転換時のワイヤ走行停
止時に 前記ワイヤーを挟み付ける移動自在な測定子を有
すると共に、前記測定子の移動変位量を検出する測定ヘ
ッドと、 前記ワイヤーを挟み付けた時の前記測定子の移動変位量
に基づいてワイヤー径を算出する演算部と、 を備えていることを特徴とするワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知装置。
1. A workpiece is pressed against a wire that reciprocates between one wire reel and the other wire reel, and a working fluid containing abrasive grains is supplied to the wire.
In a wire saw for cutting the workpiece into a number of thin wafers, a wire traveling stop when the direction of the wire reciprocatingly traveling is changed.
A measuring head that has a movable measuring element that clamps the wire when stopped, and detects a moving displacement amount of the measuring element; and a wire diameter based on the moving displacement amount of the measuring element when the wire is clamped. And a calculating part for calculating the wear amount of the wire saw.
【請求項2】前記測定ヘッドで前記ワイヤーを挟み付け
る前に、予め前記ワイヤーを前記測定ヘッドの受面に押
しつけておく押し付け手段を設けたことを特徴とする請
求項1のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置。
2. A wire saw according to claim 1, further comprising pressing means for pressing said wire against a receiving surface of said measuring head before clamping said wire with said measuring head. Quantity detection device.
【請求項3】前記測定ヘッドのワイヤー走行上流側に前
記ワイヤーに供給された前記加工液を除去する除去手段
を設けたことを特徴とする請求項1のワイヤーソーのワ
イヤー磨耗量検知装置。
3. The apparatus according to claim 1, further comprising a removing means for removing the working fluid supplied to the wire at an upstream side of the measuring head in the wire running direction.
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