JP3236691B2 - Sealing method and mold for electronic parts - Google Patents

Sealing method and mold for electronic parts

Info

Publication number
JP3236691B2
JP3236691B2 JP2756093A JP2756093A JP3236691B2 JP 3236691 B2 JP3236691 B2 JP 3236691B2 JP 2756093 A JP2756093 A JP 2756093A JP 2756093 A JP2756093 A JP 2756093A JP 3236691 B2 JP3236691 B2 JP 3236691B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
molding
mold
lead frame
sealing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2756093A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH06224244A (en
Inventor
道男 長田
Original Assignee
トーワ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by トーワ株式会社 filed Critical トーワ株式会社
Priority to JP2756093A priority Critical patent/JP3236691B2/en
Publication of JPH06224244A publication Critical patent/JPH06224244A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3236691B2 publication Critical patent/JP3236691B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、半導体等の電子部品
を封止成形するための方法及び金型の改良に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for encapsulating and molding electronic parts such as semiconductors and a mold.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、リードフレームの表裏両面に樹
脂成形体を一体化させると共に、その一面に電子部品の
装着用凹所を設け、該凹所に装着した電子部品における
電極と上記リードフレームにおけるインナーリードとの
間をボンディングワイヤを介して電気的に接続し、その
後に、上記装着用凹所の内外を遮蔽する形式の電子部品
の封止成形方法及び金型が知られている。
2. Description of the Related Art For example, a resin molded body is integrated on both front and back surfaces of a lead frame, and a recess for mounting an electronic component is provided on one surface thereof. There is known a method of sealing and molding an electronic component in which an inner lead is electrically connected to the inner lead via a bonding wire, and thereafter the inside and outside of the mounting recess are shielded.

【0003】上記した従来の金型は、例えば、図10に示
すように、上型1と下型2とを対向配置し、該上下両型
1・2には上記リードフレーム3の上下両面に一体化さ
せる樹脂成形体成形用の上型キャビティ4と下型キャビ
ティ5とが対設され、また、該上型1には上記リードフ
レーム3におけるインナーリード6の上面への接合部7
と上記電子部品装着用凹所を成形するためのコア8とが
夫々設けられている。従って、上記上下両型1・2によ
り成形された成形品には、図11に示すように、リードフ
レーム3の上下両面に樹脂成形体9・10が一体化される
と共に、その上面側の中央部には電子部品11を装着する
ための凹所12が成形されることになる。そして、上記凹
所12内に装着した電子部品11における電極と上記インナ
ーリード6との間をボンディングワイヤ13を介して電気
的に接続し、或は、ICチップの電極部を直接的に接続
し、その後に、該凹所12の内外を遮蔽して電子部品を封
止成形した完成品を得ることができる。なお、特開平4
−339612号公報には、インナーリードにおける樹
脂バリ付着防止面に樹脂バリが付着形成されるのを防止
する手段が開示されている。 これは、まず、キャビティ
内にて上記樹脂バリ付着防止面を該キャビティ面に強圧
支持するための樹脂成形体を成形する第一の樹脂成形工
程を行い、次に、該キャビティの所定位置にリードフレ
ームを供給すると共に、該インナーリードの樹脂バリ付
着防止面を、上記第一の樹脂成形工程にて成形した樹脂
成形体を介して、該キャビティの所定位置に固定する第
二の工程を行い、次に、キャビティ内に樹脂を充填させ
る第二の樹脂成形工程を行うものである。従って、この
手段によれば、インナーリードの樹脂バリ付着防止面を
キャビティの所定位置に固定することができるので、該
インナーリードに樹脂バリが付着形成されるのを防止で
きる効果が期待される。しかしながら、この手段におい
ては、予め、第一の樹脂成形工程を行なってインナーリ
ードの樹脂バリ付着防止面をキャビティの所定位置に強
圧支持するための樹脂成形体を製作しておく必要があ
り、更に、成形時に は、該樹脂成形体をその都度キャビ
ティの所定位置に供給して嵌合装着しなければならない
と云った成形上の煩わしさがある。 また、実開昭61−
83045号公報には、キャビティ内におけるリードフ
レーム下面を一定の樹脂厚として成形するために、該リ
ードフレームと一体形成された支持ピンを金型面間にて
挟持した状態で樹脂成形すること、及び、このために、
成形後において樹脂成形体(モールドパッケージ)から
外部に露出することになる支持ピンの絶縁手段等に関し
て開示されている。上記支持ピンの絶縁手段は、樹脂成
形体内の支持ピンを外部に露出させた状態で成形してお
き、その露出した支持ピンを打ち抜き等にて切断すると
云うものであるが、樹脂成形体内の支持ピンを外部に露
出させた状態で成形する手段として、キャビティ内に支
持ピンの切断個所を支受させる凸状部を設けることによ
り、成形後の樹脂成形体に内部の支持ピンが外部に露出
するような成形穴を成形することが記載されている。即
ち、これは、成形後において、樹脂成形体内部の支持ピ
ンを切断して外部との絶縁処理を図ることができる手段
を提案したものである。
In the above-mentioned conventional mold, for example, as shown in FIG. 10, an upper mold 1 and a lower mold 2 are arranged to face each other. An upper mold cavity 4 and a lower mold cavity 5 for molding a resin molded body to be integrated are opposed to each other, and the upper mold 1 has a joining portion 7 to the upper surface of the inner lead 6 in the lead frame 3.
And a core 8 for forming the electronic component mounting recess. Therefore, as shown in FIG. 11, the resin molded bodies 9 and 10 are integrated on the upper and lower surfaces of the lead frame 3 and the center of the upper surface side is formed on the molded product molded by the upper and lower molds 1 and 2. A recess 12 for mounting the electronic component 11 is formed in the portion. Then, an electrode of the electronic component 11 mounted in the recess 12 and the inner lead 6 are electrically connected via a bonding wire 13 or an electrode portion of the IC chip is directly connected. After that, it is possible to obtain a finished product in which the inside and outside of the recess 12 are shielded and the electronic component is sealed and molded. Note that Japanese Patent Application Laid-Open
No. 3,396,612 discloses a tree in the inner lead.
Prevents resin burrs from forming on grease burrs
Means for doing so are disclosed. This is, first, the cavity
Press the resin burr adhesion prevention surface on the cavity surface
The first resin molding machine that forms a resin molded body to support
Process, and then place the lead frame in the predetermined position of the cavity.
With a resin burr on the inner lead
The resin whose adhesion preventing surface is formed in the first resin molding step.
Via a molded body, the second fixed to a predetermined position of the cavity.
Perform the second step, then fill the cavity with resin
The second resin molding step is performed. Therefore, this
According to the means, the resin burr adhesion prevention surface of the inner lead is
Since it can be fixed at a predetermined position in the cavity,
Prevents resin burrs from forming on inner leads
The expected effect is expected. However, this means
In advance, perform the first resin molding process to
Make sure that the resin burr adhesion prevention surface of the
It is necessary to manufacture a resin molding to support the pressure.
In addition, at the time of molding , the resin molded body is
Must be supplied to the predetermined position of the tee and fitted
There is a trouble in molding. Also,
No. 83045 discloses a lead wire in a cavity.
In order to mold the lower surface of the frame to a certain resin thickness,
With the support pin integrated with the load frame between the mold surfaces
Molding the resin in the sandwiched state, and for this,
After molding, from the resin molded product (mold package)
Regarding insulation means for support pins that will be exposed to the outside
Is disclosed. The insulating means of the support pin is made of resin.
Mold with the support pins inside the mold exposed to the outside.
When the exposed support pin is cut by punching
In other words, the support pins inside the resin molding are exposed to the outside.
As a means for molding in the state of being
By providing a convex part to support the cutting point of the holding pin
And the internal support pins are exposed to the outside of the molded resin
It is described that a molding hole is formed. Immediately
That is, after molding, the supporting pins inside the resin molded body are formed.
For cutting off the insulation for insulation with the outside
Is proposed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、図10に示し
従来の金型構成においては、上記リードフレームにお
けるインナーリード6の上面に樹脂バリが発生し易いと
云った問題がある。更に、これに起因して、該インナー
リード6の上面と電子部品11における電極との間を接続
するボンディングワイヤ13の電気的接続が不充分若しく
は不可能となる等、品質上の重大な弊害がある。また、
このような弊害を解消するためには上記したインナーリ
ード6の樹脂バリを除去する必要があるが、この場合は
該樹脂バリ除去作業に多大の手数を要して全体的な成形
時間が長くなると云った問題がある。
The problem to be solved by the present invention is shown in FIG.
In the conventional mold structure, there is a problem that resin burrs are easily generated on the upper surface of the inner lead 6 in the lead frame. Further, due to this, serious adverse effects on quality such as insufficient or impossible electrical connection of the bonding wire 13 connecting the upper surface of the inner lead 6 and the electrode of the electronic component 11 are caused. is there. Also,
In order to eliminate such adverse effects, it is necessary to remove the resin burrs of the inner leads 6 described above. In this case, however, the operation of removing the resin burrs requires a great deal of work and the overall molding time becomes longer. There is a problem.

【0005】そこで、本発明は、上記したリードフレー
ムにおけるインナーリードの上面等のように、樹脂バリ
の発生に起因して生ずる諸種の弊害を効率良く且つ確実
に防止することができる電子部品の封止成形方法とこれ
に用いられる電子部品の封止成形用金型を提供すること
を目的とするものである。
Accordingly, the present invention provides a method for sealing electronic components which can efficiently and reliably prevent various adverse effects caused by the generation of resin burrs, such as the upper surface of the inner lead in the above-described lead frame. An object of the present invention is to provide a stop molding method and a mold for sealing and molding an electronic component used in the method.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の技術的課題を解決
するための本発明に係る電子部品の封止成形方法は、固
定型と可動型との型締時においてリードフレームにおけ
る樹脂バリ付着防止面を強圧支持するリードフレームの
強圧支持工程を行い、次に、上記リードフレームの強圧
支持工程によってリードフレームにおける樹脂バリ付着
防止面に樹脂バリが付着するのを防止する状態で該リー
ドフレームにおける第一次樹脂封止範囲を樹脂によって
封止成形する第一次樹脂封止成形工程を行い、次に、
記第一次樹脂封止成形工程後において、リードフレーム
における樹脂バリ付着防止面以外の第二次樹脂封止範囲
を樹脂によって封止成形する第二次樹脂封止成形工程
行うことを特徴とするものである。
According to the present invention, there is provided a method of sealing and molding an electronic component, which is capable of preventing the adhesion of resin burrs on a lead frame when a fixed mold and a movable mold are clamped. Performing a high pressure supporting step of the lead frame for strongly supporting the surface; A primary resin sealing molding step of sealing and molding the primary resin sealing area with a resin is performed, and then, after the first resin sealing molding step , the first resin sealing molding except for the resin burr adhesion preventing surface on the lead frame. A secondary resin sealing molding step of sealing and molding the secondary resin sealing area with resin.
It is characterized by performing .

【0007】また、上記した技術的課題を解決するため
の本発明に係る電子部品の封止成形用金型は、固定型と
可動型とを対向配置した電子部品の封止成形用の金型で
あって、該固定型及び可動型の両型の型締時にリードフ
レームにおける樹脂バリ付着防止面を強圧支持するリー
ドフレームの強圧支持部材と、該強圧支持部材によって
リードフレームの上記樹脂バリ付着防止面を強圧支持し
た状態で、該リードフレームにおける第一次樹脂封止範
囲を樹脂によって封止成形する第一次樹脂封止成形部
と、該リードフレームにおける樹脂バリ付着防止面以外
の第二次樹脂封止範囲を樹脂によって封止成形する第二
次樹脂封止成形部とを備えて構成されていることを特徴
とするものである。
Further, a mold for sealing and molding an electronic component according to the present invention for solving the above technical problem is a mold for sealing and molding an electronic component in which a fixed mold and a movable mold are arranged to face each other. And a high-pressure support member of the lead frame for strongly supporting the resin-burr-adhesion preventing surface of the lead frame at the time of clamping of both the fixed mold and the movable mold, and the high-pressure support member for preventing the resin burr from adhering to the lead frame. While the surface is strongly supported, a primary resin sealing molding portion for sealing and molding the primary resin sealing area of the lead frame with a resin, and a secondary resin sealing portion other than the resin burr adhesion preventing surface on the lead frame. And a second resin sealing molding portion for sealing and molding the resin sealing area with a resin.

【0008】[0008]

【作用】本発明方法によれば、第一次樹脂封止成形工程
時において、リードフレームにおけるインナーリードの
上面等のようなリードフレームにおける樹脂バリ付着防
止面を強圧支持するので、該リードフレームの樹脂バリ
付着防止面に樹脂バリが付着するのを効率良く且つ確実
に防止することができる。また、第二次樹脂封止成形工
程時において、リードフレームにおける樹脂バリ付着防
止面以外の第二次樹脂封止範囲を樹脂によって封止成形
することができる。
According to the method of the present invention, at the time of the first resin sealing molding step, the resin burr adhesion preventing surface of the lead frame such as the upper surface of the inner lead of the lead frame is strongly supported. It is possible to efficiently and reliably prevent the resin burrs from adhering to the resin burr adhesion preventing surface. Further, in the second resin sealing molding step, the second resin sealing area other than the resin burr adhesion preventing surface of the lead frame can be sealed and molded with the resin.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明を図1〜図9に示す実施例図に
基づいて詳細に説明する。図1は、電子部品の封止成形
用金型における第一次樹脂封止成形部の要部であって、
その型締状態を示している。図2は、図1に対応する金
型の第二次樹脂封止成形部の要部であって、その型締状
態を示している。図3及び図4は、図1及び図2に対応
する金型にて成形された成形品の要部を示している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the embodiments shown in FIGS. FIG. 1 is a main part of a primary resin sealing molding part in a sealing molding die of an electronic component,
This shows the mold clamping state. FIG. 2 is a main part of a secondary resin sealing molded part of the mold corresponding to FIG. 1 and shows a clamped state thereof. FIGS. 3 and 4 show a main part of a molded product formed by a mold corresponding to FIGS. 1 and 2.

【0010】上記電子部品の封止成形用金型は、図1に
示すように、固定上型101 と、該固定上型101 に対向配
置した可動下型102 とから成る第一次樹脂封止成形部
と、図2に示すように、固定上型101 と、該固定上型10
1 に対向配置した可動下型102とから成る第二次樹脂封
止成形部とから構成されている。
As shown in FIG. 1, the mold for encapsulating and molding the above-mentioned electronic component comprises a fixed upper mold 101 and a movable lower mold 102 opposed to the fixed upper mold 101. The molding part, as shown in FIG. 2, the fixed upper mold 101, and the fixed upper mold 10
1 and a secondary resin-sealed molded part comprising a movable lower mold 102 opposed to the second mold.

【0011】第一次樹脂封止成形部における上下両型(1
01・102) には、リードフレーム103の上下両面に樹脂成
形体を成形して一体化させるための上型キャビティ104
と下型キャビティ105 とが対設されている。また、該上
型101 には、上記リードフレーム103 におけるインナー
リード106 の上面側への接合部107 と、上記電子部品の
装着用凹所を成形するためのコア108とが夫々設けられ
ている。また、該下型102 には、上記リードフレーム10
3 におけるインナーリード106 の下面側に対して接離自
在に設けられると共に、上下両型(101・102) の型締時に
該インナーリード106 を上型の接合部107 側に押圧し
て、該インナーリードの上面側、即ち、樹脂バリ付着防
止面側を該上型の接合部107 側に強圧状態に支持するリ
ードフレーム(インナーリード106 )の強圧支持部材11
4 が設けられている。
The upper and lower dies (1.
01 and 102), an upper mold cavity 104 for molding and integrating resin moldings on the upper and lower surfaces of the lead frame 103.
And the lower mold cavity 105 are opposed to each other. The upper die 101 is provided with a joint portion 107 of the lead frame 103 to the upper surface side of the inner lead 106 and a core 108 for forming a mounting recess for the electronic component. The lower die 102 has the lead frame 10
3, the inner lead 106 is provided so as to be able to freely contact and separate from the lower surface side of the inner lead 106, and when the upper and lower dies (101 and 102) are clamped, the inner lead 106 is pressed toward the joint 107 of the upper die to The high-pressure support member 11 of the lead frame (inner lead 106) for supporting the upper surface side of the lead, that is, the resin-burr-adhesion-preventing surface side, on the upper die joining portion 107 side in a high pressure state
4 are provided.

【0012】また、第二次樹脂封止成形部における上下
両型(101・102) には、上記第一次樹脂封止成形部におい
て成形された樹脂成形体(109・110) を嵌合装着させるた
めの上下両キャビティ(104・105) が対設されている。
The upper and lower molds (101 and 102) in the secondary resin sealing molded part are fitted with the resin molded bodies (109 and 110) molded in the primary resin sealing molded part. Upper and lower cavities (104, 105) are provided opposite to each other.

【0013】上記構成を有する電子部品の封止成形用金
型を用いた樹脂封止成形は、次のようにして行われる。
まず、リードフレーム103 を第一次樹脂封止成形部にお
ける下型102 の型面所定位置に嵌装セットすると共に、
該下型102 を上動させて上下両型(101・102) の型締めを
行う。なお、このとき、リードフレーム103 の第一次樹
脂封止範囲は上下両型のキャビティ(104・105) 内に嵌装
される。次に、強圧支持部材114 を上動させてインナー
リード106 を上型の接合部107 側に押圧し、該インナー
リード106 の上面側(樹脂バリ付着防止面側)を該接合
部107 側に強圧状態に支持するリードフレームの強圧支
持工程を行う。次に、溶融樹脂材料を上下両キャビティ
(104・105) 内に注入充填させて、該上下両キャビティ(1
04・105) 内に嵌装セットした第一次樹脂封止範囲を樹脂
封止成形する。このとき、上記インナーリード106 の上
面側は上型の接合部107 側に強圧状態に支持されている
ので、該インナーリード106 の上面と上型の接合部107
との間に溶融樹脂材料が浸入することがない。このた
め、該溶融樹脂材料の浸入に起因する樹脂バリの発生を
防止することができる。次に、上記リードフレーム103
を第一次樹脂封止成形部から離型させると共に、該リー
ドフレーム103 を第二次樹脂封止成形部の所定位置に嵌
装セットする。このとき、第一次樹脂封止成形部におい
て成形された樹脂成形体(109・110) は、図2に示すよう
に、第二次樹脂封止成形部における上下両キャビティ(1
04・105) 内に嵌合装着される。次に、該リードフレーム
103 における樹脂バリ付着防止面以外の第二次樹脂封止
範囲、即ち、上記第一次樹脂封止成形部の強圧支持部材
114 の形状に対応して形成された下型キャビティ105 内
の空間部115 内に溶融樹脂材料を注入充填させて該空間
部115 内に樹脂成形体116 (図3参照)を成形して一体
化させる第二次樹脂封止成形工程を行う。
[0013] Resin encapsulation using an encapsulation mold for an electronic component having the above configuration is performed as follows.
First, the lead frame 103 is fitted and set at a predetermined position on the mold surface of the lower mold 102 in the primary resin sealing molded portion,
The lower mold 102 is moved upward to clamp the upper and lower molds (101 and 102). At this time, the primary resin sealing area of the lead frame 103 is fitted into the upper and lower cavities (104 and 105). Next, the high-pressure support member 114 is moved upward to press the inner lead 106 toward the joining portion 107 of the upper die, and the upper surface side (the resin burr adhesion preventing surface side) of the inner lead 106 is strongly pressed toward the joining portion 107 side. A step of strongly supporting the lead frame to be supported in the state is performed. Next, the upper and lower cavities
(104, 105).
04 ・ 105) Resin sealing molding is performed for the primary resin sealing area fitted and set inside. At this time, since the upper surface of the inner lead 106 is strongly supported by the upper joint 107 side, the upper surface of the inner lead 106 and the upper mold 107 are connected to each other.
The molten resin material does not penetrate into the gap. For this reason, it is possible to prevent the occurrence of resin burrs due to the infiltration of the molten resin material. Next, the lead frame 103
Is released from the first resin-sealed molded part, and the lead frame 103 is fitted and set at a predetermined position of the second resin-sealed molded part. At this time, the resin molded body (109, 110) molded in the primary resin sealing molded part is, as shown in FIG.
04 ・ 105). Next, the lead frame
103, the second resin sealing area other than the resin burr adhesion preventing surface, that is, the high pressure supporting member of the first resin sealing molded part
A molten resin material is injected and filled into a space 115 in a lower mold cavity 105 formed corresponding to the shape of 114, and a resin molded body 116 (see FIG. 3) is molded and integrated in the space 115. A second resin sealing molding step is performed.

【0014】従って、まず第一次樹脂封止成形工程を行
い、次に、第二次樹脂封止成形工程を行うことによって
成形される成形品には、図3及び図4に示すように、リ
ードフレーム103 の上下両面に樹脂成形体(109・110・11
6) が一体化されると共に、その上面側の中央部には電
子部品111 を装着するための凹所112 が成形されること
になる。また、上記したように、上記成形品におけるイ
ンナーリード106 の上面には樹脂バリが発生していない
ので、該インナーリード106 の上面と電子部品111 にお
ける電極との間を接続するボンディングワイヤ113 の電
気的接続を確実に行うことができる。
Therefore, firstly, the molded article formed by performing the first resin encapsulation molding step and then performing the second resin encapsulation molding step has the following features, as shown in FIG. 3 and FIG. Resin molded bodies (109, 110, 11
6) are integrated, and a recess 112 for mounting the electronic component 111 is formed in the center on the upper surface side. Further, as described above, since no resin burr is generated on the upper surface of the inner lead 106 of the molded product, the electric potential of the bonding wire 113 connecting the upper surface of the inner lead 106 and the electrode of the electronic component 111 is reduced. Connection can be reliably performed.

【0015】上記した実施例は、例えば、図5乃至図9
に示した他の電子部品の封止成形用金型にも応用するこ
とができる。図5及び図6は、放熱板を備えた電子部品
の封止成形用金型における第一次樹脂封止成形部の要部
であって、その型締状態を示している。図7及び図8
は、図5及び図6に対応する金型の第二次樹脂封止成形
部の要部であって、その型締状態を示している。図9
は、図5〜図8に対応する金型にて成形された成形品の
要部を示している。
The above-described embodiment is described, for example, in FIGS.
The present invention can be applied to a mold for encapsulation molding of other electronic components shown in FIG. FIGS. 5 and 6 show a main part of a first resin sealing molding portion in a mold for encapsulation molding of an electronic component having a heat radiating plate, and show a clamped state thereof. 7 and 8
Is a main part of the secondary resin sealing molded portion of the mold corresponding to FIGS. 5 and 6, and shows a mold-clamped state. FIG.
Indicates a main part of a molded product molded by a mold corresponding to FIGS. 5 to 8.

【0016】上記電子部品の封止成形用金型は、図5及
び図6に示すように、固定上型101と、該固定上型101
に対向配置した可動下型102 とから成る第一次樹脂封止
成形部と、図7及び図8に示すように、固定上型101
と、該固定上型101 に対向配置した可動下型102 とから
成る第二次樹脂封止成形部とから構成されている。
As shown in FIGS. 5 and 6, a mold for encapsulating and molding the electronic component includes a fixed upper mold 101 and the fixed upper mold 101.
And a fixed lower mold 101 as shown in FIGS. 7 and 8.
And a secondary resin-sealed molded part comprising a movable lower mold 102 disposed opposite to the fixed upper mold 101.

【0017】なお、この実施例におけるリードフレーム
103 には、放熱板117 が備えられている点や、該リード
フレーム103 には予め電子部品が装着されており、従っ
て、放熱板117 の表面(図においては、該放熱板の下面
側)を外部に露出させて該放熱板117 の表面に樹脂バリ
を付着させないようにすると共に、第一次樹脂封止成形
工程において該電子部品を樹脂封止成形する点等を除い
て、前実施例のものと実質的に同じ目的と構成及び作用
効果を有している。このため、実施例のものと実質的に
同じ構成部分に前実施例に付した符号と同じ符号を付し
て詳細な説明は省略する。
The lead frame in this embodiment
103 is provided with a heat radiating plate 117, and electronic components are mounted on the lead frame 103 in advance. Therefore, the surface of the heat radiating plate 117 (the lower surface side of the heat radiating plate in FIG. Except that the electronic parts are exposed to the outside to prevent resin burrs from adhering to the surface of the heat radiating plate 117, and that the electronic component is resin-sealed and molded in the first resin-sealing molding step, etc. It has substantially the same purpose, structure, and effect as those of the first embodiment. Therefore, the same components as those of the embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the previous embodiment, and the detailed description is omitted.

【0018】本発明は、上述した実施例のものに限定さ
れるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内
で、必要に応じて、任意に且つ適宜に変更・選択して採
用できるものである。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be arbitrarily and appropriately changed and selected as necessary within a range not departing from the gist of the present invention. It is.

【0019】例えば、上記した強圧支持部材114 を適宜
な弾性部材を介して上型接合部107側に弾性突出させる
構成を採用してもよい。また、上記強圧支持部材114 を
上型接合部107 に対向配置させた下型コアとして構成し
てもよい。
For example, a configuration may be adopted in which the above-described high-pressure support member 114 is elastically protruded toward the upper mold joint 107 via an appropriate elastic member. Further, the high-pressure support member 114 may be configured as a lower mold core arranged to face the upper mold joint 107.

【0020】また、上記した第一次樹脂封止成形工程の
終了後において、例えば、強圧支持部材114 を下型キャ
ビティ105 の底面位置まで後退させると共に、該強圧支
持部材114 の後退によって生じた下型キャビティ105 内
の空間部115 内に溶融樹脂材料を注入充填させる第二次
樹脂封止成形工程を行うようにしてもよい。この場合
は、第一次樹脂封止成形部と第二次樹脂封止成形部とを
兼用することができて金型の構成を簡易化できると云っ
た利点がある。
After the above-described first resin encapsulation molding step is completed, for example, the high-pressure support member 114 is retracted to the bottom position of the lower mold cavity 105, and the lower pressure generated by the retraction of the high-pressure support member 114 is reduced. A second resin sealing molding step of injecting and filling a molten resin material into the space 115 in the mold cavity 105 may be performed. In this case, there is an advantage that the configuration of the mold can be simplified because the first resin sealing molding portion and the second resin sealing molding portion can also be used.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明方法によれば、第一次樹脂封止成
形工程時においてリードフレームにおける樹脂バリ付着
防止面を強圧支持するので、該樹脂バリ付着防止面に樹
脂バリが付着するのを効率良く且つ確実に防止すること
できる。このため、リードフレームに樹脂バリが付着
することに起因して生ずる前述したような諸種の弊害を
効率良く且つ確実に防止することができる電子部品の封
止成形方法とこれに用いられる電子部品の封止成形用金
型を提供することができると云った優れた実用的な効果
を奏することができるものである。
According to the method of the present invention, the resin burr adhesion preventing surface of the lead frame is strongly supported during the first resin encapsulation molding step, so that the resin burr adhesion preventing surface is prevented from adhering to the resin burr adhesion preventing surface. The prevention can be performed efficiently and reliably . For this reason, an electronic component encapsulation molding method capable of efficiently and reliably preventing the above-described various adverse effects caused by resin burrs adhering to a lead frame, and a method of sealing an electronic component used in the electronic component. An excellent practical effect such that a mold for sealing molding can be provided can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る電子部品の封止成形用金型におけ
る第一次樹脂封止成形部の要部を示す一部切欠縦断面図
であって、リードフレームを嵌装セットして型締めした
状態を示している。
FIG. 1 is a partially cutaway vertical cross-sectional view showing a main part of a primary resin encapsulation molding part in an electronic component encapsulation molding die according to the present invention, wherein a lead frame is fitted and set. This shows a tightened state.

【図2】図1に対応する金型の第二次樹脂封止成形部の
要部を示す一部切欠縦断面図であって、その型締状態を
示している。
FIG. 2 is a partially cutaway longitudinal sectional view showing a main part of a secondary resin sealing molded portion of the mold corresponding to FIG. 1, showing a mold-clamped state.

【図3】図1及び図2に対応する金型にて成形された成
形品の要部を示す一部切欠縦断面図である。
FIG. 3 is a partially cutaway longitudinal sectional view showing a main part of a molded product formed by a mold corresponding to FIGS. 1 and 2;

【図4】図3に対応する成形品のA−A線における縦断
面図である。
FIG. 4 is a longitudinal sectional view taken along line AA of the molded product corresponding to FIG.

【図5】本発明に係る他の金型における第一次樹脂封止
成形部の要部を示す一部切欠縦断面図であって、放熱板
を備えたリードフレームを嵌装セットして型締めした状
態を示している。
FIG. 5 is a partially cut-away longitudinal sectional view showing a main part of a primary resin sealing molded portion in another mold according to the present invention, in which a lead frame provided with a heat sink is fitted and set. This shows a tightened state.

【図6】図5に対応する金型のB−B線における縦断面
図である。
FIG. 6 is a longitudinal sectional view of the mold corresponding to FIG. 5, taken along line BB.

【図7】図5に対応する金型の第二次樹脂封止成形部の
要部を示す一部切欠縦断面図であって、その型締状態を
示している。
FIG. 7 is a partially cutaway longitudinal sectional view showing a main part of a secondary resin sealing molded portion of the mold corresponding to FIG. 5, and shows a clamped state thereof.

【図8】図7に対応する金型のC−C線における縦断面
図である。
8 is a vertical sectional view of the mold corresponding to FIG. 7, taken along line CC.

【図9】図5乃至図8に対応する金型にて成形された成
形品の縦断面図である。
FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a molded product formed by a mold corresponding to FIGS. 5 to 8;

【図10】従来の電子部品の封止成形用金型の構成例を
示す一部切欠縦断面図であって、リードフレームを嵌装
セットして型締めした状態を示している。
FIG. 10 is a partially cutaway longitudinal sectional view showing a configuration example of a conventional mold for sealing and molding an electronic component, showing a state in which a lead frame is fitted and set and the mold is clamped.

【図11】図10に対応する従来金型にて成形された成形
品の要部を示す一部切欠縦断面図である。 101 固定上型 102 可動下型 103 リードフレーム 104 上型キャビティ 105 下型キャビティ 106 インナーリード 107 接合部 108 コ ア 109 樹脂成形体 110 樹脂成形体 111 電子部品 112 凹 所 113 ボンディングワイヤ 114 強圧支持部材 115 空間部 116 樹脂成形体 117 放熱板
11 is a partially cutaway longitudinal sectional view showing a main part of a molded product formed by a conventional mold corresponding to FIG. 101 Fixed upper die 102 Movable lower die 103 Lead frame 104 Upper die cavity 105 Lower die cavity 106 Inner lead 107 Joint 108 Core 109 Resin molded body 110 Resin molded body 111 Electronic component 112 Depression 113 Bonding wire 114 High pressure support member 115 Space 116 Resin molded body 117 Heat sink

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI // B29L 31:34 B29L 31:34 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI // B29L 31:34 B29L 31:34

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 固定型と可動型との型締時においてリー
ドフレームにおける樹脂バリ付着防止面を強圧支持する
リードフレームの強圧支持工程を行い、 次に、 上記リードフレームの強圧支持工程によってリー
ドフレームにおける樹脂バリ付着防止面に樹脂バリが付
着するのを防止する状態で該リードフレームにおける第
一次樹脂封止範囲を樹脂によって封止成形する第一次樹
脂封止成形工程を行い、 次に、 上記第一次樹脂封止成形工程後において、リード
フレームにおける樹脂バリ付着防止面以外の第二次樹脂
封止範囲を樹脂によって封止成形する第二次樹脂封止成
形工程を行うことを特徴とする電子部品の封止成形方
法。
1. A make strong pressure supporting process of the lead frame at the time of clamping the fixed mold and the movable mold to strong pressure support resin burr adhesion preventing surface of the lead frame, then, the lead frame by strong pressure supporting step of the lead frame Perform a first resin sealing molding step of sealing and molding the first resin sealing area in the lead frame with a resin in a state of preventing the resin burr adhesion preventing surface from adhering to the resin burr , After the primary resin encapsulation molding step, a secondary resin encapsulation molding step of encapsulating and molding the secondary resin encapsulation area with a resin other than the resin burr adhesion preventing surface of the lead frame is performed. Molding method for electronic components.
【請求項2】 固定型と可動型とを対向配置した電子部
品の封止成形用の金型であって、該固定型及び可動型の
両型の型締時にリードフレームにおける樹脂バリ付着防
止面を強圧支持するリードフレームの強圧支持部材と、
該強圧支持部材によってリードフレームの上記樹脂バリ
付着防止面を強圧支持した状態で、該リードフレームに
おける第一次樹脂封止範囲を樹脂によって封止成形する
第一次樹脂封止成形部と、該リードフレームにおける樹
脂バリ付着防止面以外の第二次樹脂封止範囲を樹脂によ
って封止成形する第二次樹脂封止成形部とを備えて構成
されていることを特徴とする電子部品の封止成形用金
型。
2. A mold for sealing and molding an electronic component having a fixed mold and a movable mold opposed to each other, wherein a resin burr adhesion preventing surface on a lead frame when the fixed mold and the movable mold are clamped. A high-pressure support member of a lead frame that strongly supports the
In a state where the resin burr adhesion preventing surface of the lead frame is strongly supported by the high pressure support member, a first resin sealing molding portion for sealing and molding a first resin sealing area in the lead frame with a resin; A secondary resin sealing molding portion for sealing and molding the secondary resin sealing area other than the resin burr adhesion preventing surface of the lead frame with resin.
A mold for encapsulating and molding electronic parts, characterized in that it is made .
JP2756093A 1993-01-21 1993-01-21 Sealing method and mold for electronic parts Expired - Fee Related JP3236691B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2756093A JP3236691B2 (en) 1993-01-21 1993-01-21 Sealing method and mold for electronic parts

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2756093A JP3236691B2 (en) 1993-01-21 1993-01-21 Sealing method and mold for electronic parts

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06224244A JPH06224244A (en) 1994-08-12
JP3236691B2 true JP3236691B2 (en) 2001-12-10

Family

ID=12224432

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2756093A Expired - Fee Related JP3236691B2 (en) 1993-01-21 1993-01-21 Sealing method and mold for electronic parts

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3236691B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5539814B2 (en) * 2010-08-30 2014-07-02 Towa株式会社 Method and apparatus for manufacturing resin-sealed molded article having substrate exposed surface
JP2013062383A (en) * 2011-09-13 2013-04-04 Polyplastics Co Manufacturing method of sealing compact and sealing compact
DE102012215449A1 (en) 2012-08-31 2014-03-27 Osram Opto Semiconductors Gmbh HOUSING FOR AN ELECTRONIC COMPONENT, ELECTRONIC MODULE, METHOD FOR MANUFACTURING A HOUSING FOR AN ELECTRONIC COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING AN ELECTRONIC MODULE

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06224244A (en) 1994-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3885321B2 (en) Manufacturing method of resin-encapsulated semiconductor parts
JPH0774195A (en) Manufacture of resin-sealed semiconductor device
JPH06275764A (en) Lead frame and manufacture of semiconductor device using same
KR0185790B1 (en) Manufacture of semiconductor
JP3236691B2 (en) Sealing method and mold for electronic parts
JP4118353B2 (en) Manufacturing method of resin-encapsulated semiconductor device and mold die
JPS587322A (en) Sealing method of resin and metallic mold therefor
JPH088375A (en) Semiconductor device, lead frame and mold for manufacturing semiconductor device
KR100230520B1 (en) Method of manufacturing element package base
JP4520056B2 (en) Semiconductor device
JP3207586B2 (en) Semiconductor device and resin mold for manufacturing the same
JPH06252188A (en) Method and device for manufacturing resin-encapsulated semiconductor chip
JP3008015B2 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JPS5992534A (en) Manufacture of resin sealed integrated circuit
JPH10144713A (en) Molding method, molding device and semiconductor device
JPS5841661B2 (en) Manufacturing method for resin-encapsulated semiconductor device
KR100239708B1 (en) Manufacturing method of blp package
JP2570157B2 (en) Mold for resin sealing
JPH08156009A (en) Resin molding device
JP2955954B2 (en) Method for manufacturing resin-encapsulated electronic component
JPH07114213B2 (en) Lead frame for semiconductor device
JPS6222468A (en) Lead frame for semiconductor device
JPS6065551A (en) Resin-sealed semiconductor device and manufacture thereof
JP2885708B2 (en) Resin sealing mold and method of manufacturing semiconductor device
JPH04276648A (en) Frame for electronic-component manufacture use; manufacture of electronic component using it; electronic component manufactured by same manufacture

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees