JP3235703U - ナノ量子技術活用による大容量薄膜キャパシタ装置 - Google Patents
ナノ量子技術活用による大容量薄膜キャパシタ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3235703U JP3235703U JP2021004144U JP2021004144U JP3235703U JP 3235703 U JP3235703 U JP 3235703U JP 2021004144 U JP2021004144 U JP 2021004144U JP 2021004144 U JP2021004144 U JP 2021004144U JP 3235703 U JP3235703 U JP 3235703U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- thin film
- film capacitor
- current collector
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Abstract
【課題】小型で、かつ、大容量で大きな電気エネルギーを得ることができる薄膜キャパシタ装置を提供する。
【解決手段】薄膜キャパシタ装置1において、第一の電極4と、第一の電極4と向かい合うように位置付けられている第二の電極7と、第一の電極4と第二の電極7に挟まれるように形成された誘電体層6とからなる。第一の電極4と誘電体層6との間及び第二の電極7と誘電体層6との間に、材質が金属、カーボン、グラファイト、ダイアモンド、超電導材料、導電性有機物又は導電性セラミックのいずれかの導電物質からなる微粒子形態基材により構成された集電子体により集電子体層5が形成される。微粒子形態基材は、ナノレベルの外径寸法を有する基材と量子レベルの外形寸法を有する基材の2種類で構成された集電体である。
【選択図】図1
【解決手段】薄膜キャパシタ装置1において、第一の電極4と、第一の電極4と向かい合うように位置付けられている第二の電極7と、第一の電極4と第二の電極7に挟まれるように形成された誘電体層6とからなる。第一の電極4と誘電体層6との間及び第二の電極7と誘電体層6との間に、材質が金属、カーボン、グラファイト、ダイアモンド、超電導材料、導電性有機物又は導電性セラミックのいずれかの導電物質からなる微粒子形態基材により構成された集電子体により集電子体層5が形成される。微粒子形態基材は、ナノレベルの外径寸法を有する基材と量子レベルの外形寸法を有する基材の2種類で構成された集電体である。
【選択図】図1
Description
本考案は、キャパシタ装置で、特に大容量の誘電体式薄膜キャパシタ装置に関する。
電気エネルギー蓄積装置として大容量のキャパシタを利用する場合は、電解コンデンサやフィルムコンデンサなどが一般的に用いられている。近年電気自動車を代表に大容量バッテリーへのニーズからリチウムイオン電池の大容量化が進む中で、リチウムイオン電池の火災発生のリスクが100%回避されておらず、一部火災リスクを伴いながらも電気自動車を推進する一方でハイブリッド自動車としてニッケル水素イオン電池と高出力としてのフィルムコンデンサの使用が大きく前進するとともに、燃料電池車へのシフト傾向が強まっている。また、燃料電池車においてもニッケル水素イオン電池とフィルムコンデンサを用いるハイブリッド車の編成タイプが推進されている。
一方セラミックコンデンサをベースに数千V(2000V以上)の超高電圧蓄電により大容量を確保する方法が研究されているが、高電圧のインターフェースが課題となっている。また電解コンデンサを機能拡張した電気二重層電池の開発が盛んに行われているが 、充放電による劣化の課題が解決されていないこと、および蓄電電圧が低く、リチウムイオン電池の蓄電容量の約二十分の一位しかないため容積が課題となるとともに部材の価格などにより製造コストの低減に限界がある。
また、積層セラミックキャパシタなどの所謂コンデンサには、総合的な性能を低下させる放電時の急速放電圧力に伴う電流リークの問題がある。さらに、リチウムイオン電池などの化学変化により電気エネルギーを蓄積する所謂電池は、充電および放電が部分的に行われるとメモリ効果の問題により性能が低下するという課題があった。
このような種々の課題を解決するために、例えば、巨大磁気抵抗効果(GMRと称される)を利用した電気エネルギー蓄積装置が提案されている(特許文献1など)。これらのGMRを利用した電気エネルギー蓄積キャパシタは、磁性セクションが薄膜で形成されているため、容量を増大するためには磁性セクションを2次元方向に拡大して面積を増やすこととなるが、その場合、装置の小型化が困難になるという問題があった。
また、本願の考案者は先に特許文献2において、セラミックキャパシタに代表される薄膜キャパシタでの大容量化のために、電極材と誘電体との界面に形成される集電体としてナノ微粒子(200~2000nm程度)を用いることにより集電効率を上げて電気エネルギーの蓄積量を増大させる発明を開示した。これらの薄膜キャパシタは、電極材と誘電体との界面に形成される集電体に蓄積される電気エネルギーを利用するもので、用途としては、メモリバックアップ用の小容量品から、電気自動車のパワーアシスト用としての中容量品、そして電気自動車のパワー供給などの電力貯蔵用蓄電池代替としての大容量品まで幅広く利用可能である。しかし従来のセラミックキャパシタでは静電容量が低く、実用化するには大量に並列接続する必要性があった。
また、このような薄膜キャパシタの単位キャパシタ(セルと称される)の耐電圧は、その構成要素である誘電体、すなわち電子とホールを分離する絶縁体の耐電圧で決まり、材質、薄膜厚さ、均一度等に依存し、例えば、チタン酸バリウム系誘電体の場合誘電体の厚みが1μmで約200Vとなる。薄膜キャパシタは、誘電体の耐電圧以上の電圧を印加すると破損する性質があるため、高電圧を要求される用途においては、誘電体の厚さを増やすか、複数個の単位キャパシタを直列接続して用いる必要性があった。
また、電気二重層キャパシタにおいてナノカーボンなどを多数積層してイオン集合体の表面積を拡大して静電容量を確保する技術も開示されているが電解液を使用することで蓄電圧が2.5Vと低いため、蓄電容量はリチウムイオン電池の二十分の一以上に拡大することは困難であった。一方セラミックキャパシタ、フィルムコンデンサなどの電解液を使用しないキャパシタも静電容量が低いのが課題であった。
このようにキャパシタにおける大容量化は種々の用途において切望され、種々の方式が提案されているもののいずれの方式においても、容積の小型化、軽量化、劣化、コストなどの多くの課題を有している。
本考案は、このような事情に鑑みてなされたものであり、小型で、かつ、大容量で大きな電気エネルギーを得ることができる薄膜キャパシタ装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため請求項1に係る考案では、誘電体式薄膜キャパシタ装置において、薄膜キャパシタが、導電性材料で形成された第一の電極と、前記第一の電極と向かい合うように位置付けられている導電性材料で形成された第二の電極と、前記第一の電極と前記第二の電極に挟まれるように形成された誘電体層とからなり、前記第一の電極と前記誘電体層との間および前記第二の電極と前記誘電体層との間に、材質が金属、カーボン、グラファイト、ダイアモンド、超電導材料、導電性有機物または導電性セラミックのいずれかの導電物質からなる微粒子形態基材により構成された集電子体により集電子体層が形成され、前記微粒子形態基材がナノレベルの外形寸法を有する基材と量子レベルの外形寸法を有する基材の2種類で構成された集電子体であることを特徴とする。
本考案によれば、ナノレベルの導電性微粒子基材(以下ナノ基材とも称する)と量子レベルの導電性微粒子基材(以下量子基材とも称する)により電極の表面積を飛躍的に拡大化するとともに電子感受性を高めることで電子流動性および電子集合性を高める相乗効果により静電容量および蓄電容量を飛躍的に高めた薄膜キャパシタ装置を提供することができる。
また、請求項2に係る考案においては、請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置において、前記量子レベルの外形寸法を有する基材は、球状、躯体状、テトラポット形状、長繊維状または短繊維状のいずれか、またはそれらを組み合わせた形状を有することを特徴とする。
本考案によれば、量子レベルの外形寸法を有する基材(量子基材)の種々の形状のいずれかまたはそれらの組み合わせにより大容量の薄膜キャパシタ装置を提供することが可能となる。
また、請求項3に係る考案においては、請求項2に記載の薄膜キャパシタ装置において、前記量子レベルの外形寸法を有する基材は、中空状の形態を有する基材であることを特徴とする。
本考案によれば、量子レベルの外形寸法を有する基材(量子基材)を中空にすることで電極の表面積が拡大し、より電子感受性が増加し、大容量の薄膜キャパシタ装置を提供することが可能となる。
また、請求項4に係る考案においては、請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置において、前記集電子体層は、ナノレベルの外形寸法を有する基材と量子レベルの外形寸法を有する基材とがその材質または形態が単一または複合して複数層を電極表面上に積層されていることを特徴とする。
本考案によれば、ナノ基材および量子基材の材質または形態が単一または複合して複数層を構成するため単位容積あたりの金属の表面積を拡大するとともに電子感受性が増加し、大容量の薄膜キャパシタ装置を提供することが可能となる。
また、請求項5に係る考案においては、請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置において、前記集電子体層は、前記第一の電極または第二の電極表面上にナノレベルの外形寸法を有する基材を複数層積層し、その上から量子レベルの外形寸法を有する基材を積層する集電子体層で、それぞれの材質および形態が単一あるいは複合して複数層を電極表面上に積層する集電体であることを特徴とする。
本考案によれば、ナノ基材の上に量子基材を積層することで表面積の拡大と電子感受性が増加するとともに円滑に電子流動性が拡大され、大容量の薄膜キャパシタ装置を提供することが可能となる。
また、請求項6に係る考案においては、請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置において、前記集電子体層は、第一の電極または第二の電極表面上にナノレベルの外形寸法を有する基材と量子レベルの外形寸法を有する基材とを混合して複数層積層する集電子体層からなることを特徴とする。
本考案によれば、ナノ基材と量子基材とを混合して複数層積層することで、大容量の薄膜キャパシタを提供することが可能となる。
また、請求項7に係る考案においては、請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置において、前記ナノレベルの外形寸法を有する基材は、縦・横・高さのいずれかが1000nm未 満の外形寸法で、好ましくは縦・横・高さのいずれかが100nm未満の外形寸法であることを特徴とする。
本考案によれば、本考案を実施する上で適切なナノ基材の外形寸法を使用することで大容量の薄膜キャパシタ装置を提供することが可能となる。
また、請求項8に係る考案においては、請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置において、前記量子レベルの外形寸法を有する基材は、縦、横、高さまたは先端形状のいずれかが1nm以下の外形寸法であることを特徴とする。
本考案によれば、本考案を実施する上で適切な量子基材の外形寸法を使用することで大容量の薄膜キャパシタ装置を提供することが可能となる。
また、請求項9に係る考案においては、請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置において、前記集電子体層に用いられる基材は、磁化または超電導化されていることを特徴とする。
本考案によれば、磁化または超電導化された集電体基材を使用することで、より大容量の薄膜キャパシタ装置を提供することが可能となる。
また、請求項10に係る考案においては、薄膜キャパシタ装置において、薄膜キャパシタが、導電性材料で形成された第一の電極と、前記第一の電極と向かい合うように位置付けられている導電性材料で形成された第二の電極と、前記第一の電極と前記第二の電極に挟まれるように形成されたプラスチック或いはセラミックによる誘電体層とからなり、前記第一の電極と前記誘電体層との間および前記第二の電極と前記誘電体層との間に、材質が金属、カーボン、グラファイト、ダイアモンド、超電導材料、導電性有機物または導電性セラミックのいずれかの導電物質からなる微粒形態基材により構成された集電子体により集電子体層が形成され、前記微粒形態基材がナノレベルの外形寸法を有する基材と量子レベルの外形寸法を有する基材の2種類で構成された集電体で形成され、前記第一の電極と、前記誘電体層と、前記第二の電極と、前記集電子体層とがロール状に多層巻回されていることを特徴とする。
本考案によれば、薄膜キャパシタ装置をロール状に巻回して形成することで大容量で利便性の高い薄膜キャパシタ装置を提供することができる。
また、請求項11に係る考案においては、請求項1または請求項10に記載の薄膜キャパシタ装置において、前記薄膜キャパシタが、スイッチ装置により充電回路または放電回路に切換可能に接続されており、前記放電回路は、安定して放電するためスイッチング回路により電圧および電流を制御するように構成されており、設定放電電圧よりも前記薄膜キャパシタの放電電圧が高い場合には降圧型の回路を構成し、前記薄膜キャパシタの放電電圧が低い場合には昇圧型の回路を構成するように、急速放電圧力を受けるための補助コイルおよび一次的に電荷を蓄える補助キャパシタを組み込んでいる回路を接続してなることを特徴とする。
本考案によれば、適切な充電および放電装置を有する大容量の薄膜キャパシタ装置を提供することが可能となる。
本考案によれば、誘電体式キャパシタ装置に関して、ナノレベルおよび量子レベルの導電性あるいは誘電体の微粒子基材を単独あるいは複合して積層することで、電極表面積を拡大するとともに電子感受性を高める相乗効果により静電容量を大幅に高めるとともに高電圧で蓄電することで蓄電容量を大幅に高めたキャパシタ装置を提供することができる。
はじめに、本考案の着想に至った従前技術について説明する。この「従前技術」とは、本考案の着想前に出願人が考案・検討した発明を示すものであり、従来技術(公知技術)とは異なる。
一般に、蓄電容量は誘電体の誘電率、電極表面積、蓄電電圧の二乗に比例することが知られている。従来の誘電率は電極表面を平坦形状で計測した値であって、電極表面にナノ粒子あるいは量子粒子などの積層により表面積を拡大し、かつ電子感受性を高めた場合の実効データは規定化されていない。
従前技術として、キャパシタ(またはコンデンサ、蓄電器とも称する)には、主に電解コンデンサ、セラミックコンデンサおよびフィルムコンデンサがあり、従来の電気二重層キャパシタは発火リスクの無い畜電池を目的として、電解コンデンサの電極表面に凹凸をつけ酸化処理で薄膜の誘電体を構成し電解液でイオン化集合する方式であり比較的静電容量が高いことを活用しその拡大策として、ナノカーボン等でイオン集合部分の拡大を行って静電容量を高めており、製造方法はフィルム巻方式が主体となっている。しかし電気二重層キャパシタは蓄電圧が低く(2.5V~3.8V)、電解液を用いることで充放電劣化があり100%の充放電が行えないなどの欠点があり、ナノカーボンを用いた場合はコスト低減が困難などの理由により全面的な普及に至っていない。
一方、セラミックコンデンサは粉末焼結方式と多層フィルム方式があるが、単位静電容量が低いが耐電圧が高いという特徴を有する。ノイズ対策デバイスあるいは電流平滑、電圧変換主体のデバイスとしてオンボード用には小型化が求められるためその多くが粉末焼結方式になっている。一方、フィルム方式コンデンサはプラスチックフィルムを誘電体としてフィルム巻コンデンサとして安定した耐電圧デバイスとして使用されてきた。
本考案は、キャパシタの中でも発火リスクが無く、充放電劣化が少なく、かつ蓄電圧を高く取れ、誘電率の高度化が見込まれるセラミックコンデンサに着目して、ナノレベルの微粒子基材および量子レベルの微粒子基材を用いて集電体部の表面積の拡大を行うことで、静電容量および蓄電容量を飛躍的に高めることが可能となった。本考案はセラミックコンデンサの従来製造方法として主体となっている粉末焼結方式では実現が極めて困難であったが、本考案においては、微粒子化することでスパッタリング方式などの蒸着法あるいはコーティング方式により実現可能とした。合わせてフィルムコンデンサにおいても同様な取り組みによりフィルムコンデンサ自体の静電容量を大きく向上することができる。
導電物質をナノレベルあるいは量子レベルに微粒子化することで電子流動性が高まり電気抵抗が低下することは実証されており、本考案はキャパシタの集電子体部にナノレベルあるいは量子レベルに隣接した界面の積層構造を構築することで集電子体の表面積を拡張するとともに電子感受性を極大化し、それらの相乗効果によりキャパシタの静電容量を飛躍的に拡大することにある。またセラミックキャパシタ及びフィルムコンデンサなどの高耐電圧の誘電体式キャパシタは高電圧での蓄電が可能となり高容量蓄電が可能である。
以下、本考案に係る薄膜キャパシタ装置の好適な実施の形態について、以下に示す実施例により詳細に説明する。
[実施例1]
本考案の薄膜キャパシタの好適実施例について図面を参照しながら説明する。なお、これらの図面は説明上模式的なもので、実体寸法や形状の詳細とは異なるものである。図1は本考案に係る誘電体式薄膜キャパシタ装置1を模式的に示した断面図である。薄膜キャパシタ装置1は、支持基板2と、バッファ層3と、第一電極4と、集電子体層5と、誘電体層6と、第二電極7と、端子8および9とを備えている。
本考案の薄膜キャパシタの好適実施例について図面を参照しながら説明する。なお、これらの図面は説明上模式的なもので、実体寸法や形状の詳細とは異なるものである。図1は本考案に係る誘電体式薄膜キャパシタ装置1を模式的に示した断面図である。薄膜キャパシタ装置1は、支持基板2と、バッファ層3と、第一電極4と、集電子体層5と、誘電体層6と、第二電極7と、端子8および9とを備えている。
支持基材2は、特に限定しないが、多層フィルム式キャパシタの場合はフィルムコンデンサに使用される絶縁性が高い可撓性のある樹脂性フィルムを用いる。シート式キャパシタの場合は前記樹脂性フィルムの他絶縁性の高いセラミック系の薄膜シートを用いる。例えば、シリコン単結晶、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)単結晶、酸化マグネシウム(MgO)単結晶、酸化ジルコニウム(ZrO2)単結晶、あるいはガラス基材などによって、形成することができる。コストなどの観点からシリコン単結晶材が多く使われる。また、支持基材2の厚さは、電気エネルギー蓄積装置1全体の機械的強度を確保することができれば、とくに限定されるものではなく、例えば、10ないし1000μm程度 に設定すればよい。
バッファ層3は、支持基材2の上層に形成され、支持基材2と第一電極4を構成する電極薄膜との反応を防ぐバリア層としての役割を果たす。バッファ層3を形成するための材料は、例えば、酸化ジルコニウム(ZrO2)、マグネシウムアルミネート(MgAlO4)、γ一A12O3、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)、ランタナアルミネート(LaAlO3)などによって、形成することができる。具体的には、これらの中から、支持基板2との格子整合性に優れ、熱膨張係数が、支持基板2と誘電体層6を構成する薄膜材料の間にある材料を選択して、バッファ層3を形成することが好ましい。また、バ ッファ層3は単層構造であっても、多層構造であってもよい。そして、バッファ層3の厚さは、支持基材2と第一電極4を構成する電極薄膜との反応を防ぐバリア層としての機能を確保することができれば、特に限定されず、例えば、1ないし1000nm程度に設定すればよい。なお、バッファ層3は設けなくてもよい。バッファ層3を設けない場合は、支持基材2の表面に、第一電極4を形成する。
第一電極4は、従来のセラミックコンデンサの電極材料を使用することができ、例えば 、アルミニウム(AL)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)などがあり、チタン(Ti)、金(Au)、銀(Ag)、などの導電性の金属あるいは合金によって、形成することができる。また、第一電極4の電極薄膜の厚さは、薄膜キャパシタ1の一方の電極として機能することができれば、特に限定されるものではなく、例えば、500~2000nm程度に設定すればよい。
集電子体層5は、微粒子基材が寸法的にはナノレベルの外形寸法を有する基材(以下ナノレベル基材とも称する)と量子レベルの外形寸法を有する基材(以下量子レベル基材共称する)の2種類から成る集電子体である。これらの集電子体は図1の模式図においては球状で示しているが、その形状は球状、躯体状、凹凸を有する形状、棒状、繊維状、短繊維状などいずれの同一形状でも、またはそれぞれの形状の混合物でも良い。あるいは前記形状においてその内部を中空状にした形状であっても良い。
これら集電子体の基材は、ナノレベルの基材および量子レベルの基材のいずれもその表面積が拡大することと、微粒子化し、ナノレベル基材と量子レベル基材とを混在させることで電子流動性が高まり電気抵抗が低下し、電子感受性を高めるよう働くことが重要である。
集電子体層5は金属の導電物質の微粒子により構成されるが、材質が金属あるいはカーボンあるいはグラファイトあるいはダイアモンドあるいは超電導材料あるいは導電性有機物あるいは導電性セラミックなどの導電物質であればよい。また磁性材料として、鉄コバルト合金などの軟磁性材料あるいはマンガン酸化物のようにコロッサル効果(超巨大磁気抵抗効果)により磁性抵抗が常温で極めて高い材料を選定してもよい。さらに電子感受性が極めて高い超伝導性材料を選定してもよい。
図2は、本考案の実施例1の電極と集電子体層部分を模式的に示した拡大図である。本実施例の集電子体層5は、集電子体のナノレベルの微粒子層5aの上に量子レベルの微粒子層5bをスパッタリング法などにより、第一電極4の表面に(図2では上層に)粒子径を制御しながら成形する。
ナノレベルの外形寸法を有する基材5aは、縦・横・高さのいずれかが1000nm未満の外形寸法で、好ましくは縦・横・高さのいずれかが100nm未満の外形寸法である。また、本考案において量子レベルの外形寸法を有する基材5bは、縦・横・高さ、または先端形状のいずれかがほぼ1nm以下の外形寸法である。ただし、これら基材は微粒子であり、その形状は必ずしも同一形状に成形されているものでなく、その大きさはその形 状により縦横比が一定とは限らずまた同一の大きさや形状である必要もない。本考案では 、粒子の大きさが1000nm以下(より好ましくは100nm以下)のナノレベルの外 形寸法を有する基材5aと1nm以下の量子レベルの外形寸法を有する基材5bとから構 成されているもので良好な効果が得られるものである。
量子レベルの外形寸法を有する基材5bとしては、いわゆる量子ドットとして市販されているものを利用することができ、図5に球形以外の代表的形状を模式的に示す。これら量子ドットと称される材料は製造過程において種々の形状が得られるものである。図5では、aテトラポット形状量子レベル、b棒状量子レベル、c長繊維状または短繊維状量子レベル、d棒状量子レベルを中空にしたもの、e立方体形状の量子レベル、f躯体状(立方体上に凹凸を備えた形状の量子レベル)、を例示として示す。これらの量子レベルは製造過程や流通過程 、または使用条件などでその形状が変形したり、結合した形状となることがあるが、それら形状自体は問題でなく、集電子体として表面積が拡大したものであることが重要である。また、同一の形状である必要もなく、これらの組み合わせや混合であってもよい。
図6は、前記テトラポット形状の典型的セレン化カドミニュウム(CdSe)量子レベル実物の電子顕微鏡拡大図である。このCdSeテトラポッド構造量子レベルは、閃亜鉛鉱(Zincblende)のコアにカドミニュウム(Cd)とセレン(Se)を有するベンゼン環が数本のアームとして成長したものである。図6の如く量子レベル形状は、製造方法(量子成長過程や量産化過程)によりその形状が異なり正確に形状を示すものではない。
集電子体層5は、全体で200~2000nm程度の厚さで設定され、積層数は数層から20層程度で成形され合わせて1μm~2μm程度の厚みに複合積層される。これらの複合積層にはスパッタリング法およびコーティング法およびフィルム積層法を複数回繰り返し積層することが出来る。図2はナノレベル基材2層の上部に量子レベル基材2層を積層した例である。
ナノレベル微粒子層5aの材料は、前記導電性基材を用いる。ナノレベル微粒子層5aの材料として第一電極4と同一の材料とした場合、微粒子の形状にも因るが電極の表面積が100~1000倍に増大しうることとなる。また、磁性材料あるいは超伝導材料を用いた場合は磁界の集電効果あるいは電子感受性がより拡大することにより電気エネルギーの蓄積量を更に増大させることができる。磁性材料または超電導材料の種類や着磁条件にも因るが、更に数十倍以上に増大させることも考えられる。
誘電体層6は、第一電極4に積層した集電子体層5の上層に形成される。誘電体層6の材料としてはフィルムコンデンサ用フィルムあるいは高い誘電率を持つ材料、例えばチタン酸バリウムで形成される。誘電体層6は、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、パルスレーザー蒸着法(PLD)、有機金属化学気相成長法(MOCVD)、有機金属分解法(MOD)やゾル・ゲル法などの液相法(CSD法)、多層フィルム積層法などの各種薄膜形成法を用いて形成することができる。特に低温で、誘電体層6を形成する必要がある場合には、プラズマCVD、光CVD、レーザーCVD、光 CSD、レーザーCSD法を用いることが好ましい。
誘電体層6の表面(上層〉には、第一電極4と同様に集電子体層としてナノレベルの微粒子5aと量子レベルの微粒子5bとをスパッタリング法などにより粒子径を制御しながら成形する。積層数は5層程度で成形され合わせて集電子体層は1μm~2μm程度の厚みに複合積層される。
第二電極7は、誘電体層6の上層に形成した集電子体層5の上層に薄膜に形成されている。第二電極7は、導電性を有していれば特に限定されるものではなく、第一電極4と同様な材料によって形成することができるが、製造上格子整合性を考慮した方が好ましい。また、室温で形成することができるから、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)などの卑金属や、WSi、MoSiなどの合金を用いて形成することもできる。また、第二電極7の電極薄膜の厚さは、薄膜キャパシタの他方の電極として機能することができれば、特に限定されるものではなく、例えば、1~10μm程度に設定すればよい。
端子8は、第一電極4から引き出され、入出力回路(本実施例では充電回路または放電回路)と接続するための一方の端子であり、端子8を引き出すために第一電極4は表出してマスキングで部分露出が行われている。端子9は、第二電極7から引き出され、前記入出力回路と接続するための他方の端子である。上述したように形成することで、第一電極4と誘電体層6および第二電極7と誘電体層6の間に集電子体層5が形成される。
上述した薄膜キャパシタ1は、充電回路に端子8、9を接続することで、電荷(電気エネルギー)を充電(蓄積)する。この際に集電子体層5のナノレベル微粒子層5aおよび量子レベル微粒子層5bが磁性材料で構成されていれば、巨大磁気抵抗効果により電流のリークを防止し誘電体層6により多くの電荷を蓄積することができる。そして、端子8、9を充電回路から、放電回路に切り替えることで充電した電荷を放電して負荷に電気エネルギーを供給し薄膜キャパシタとして動作する。
本実施例によれば、第一電極4と誘電体層6との間および第二電極7と誘電体層6との間に、集電子体のナノレベルの微粒子5aと量子レベルの微粒子5bとにより構成された集電子体層6が形成されているので、第一電極4および第二電極7の表面積を拡大することができ、そのために蓄積できる電気エネルギーを増大させることができる。
前述の例において、微粒子層は第一または第二電極上に形成されているが、この微粒子形態基材は誘電体層上に形成することも可能である。この場合、材質となる導電性有機物または導電物質は誘電体物質との格子整合性を考慮する必要がある。
また、集電子体層5のナノレベルの外形寸法を有する基材5aおよび量子レベルの外形寸法を有する基材5bが、磁性材料で形成されている場合には、第一電極4と第二電極7との間に電圧を印加した場合に、電界によりナノレベル微粒子層5aおよび量子レベル微粒子層5bの磁性性能による集電率の向上が可能になり、より多くの電気エネルギーを蓄積することができる。
上記集電子体層5は第一電極4と誘電体層6との間と、第2電極と誘電体層6との間にそれぞれ形成しているが、いずれか片方でも電極の表面積を拡大し、集電率を高め、電子 感受性を高めることは可能である。
なお、上述した集電子体層5のナノレベルの外形寸法を有する基材5aおよび量子レベルの外形寸法を有する基材5bを磁性材料で形成する際は、予め着磁された状態で微粒子層を形成してもよいし、電気エネルギー形成装置として製造して当該電気エネルギー形成装置の使用前に外部から磁界をかけて着磁してもよい。予め着磁すれば、後から着磁する必要が無く、そのための回路や装置等も必要ない。
[実施例2]
図3は他の実施例で、第一の電極4の表面上に集電子体層5が形成され、その構成がナノレベルの微粒子層5a(2層)と量子レベルの微粒子層5b(2層)の上にさらに同様のナノレベルの微粒子層5a(2層)と量子レベルの微粒子層5b(2層)とが形成されたものである。この場合の製造法としては複数回のスパッタリングを順次繰り返して行うこととなる。
図3は他の実施例で、第一の電極4の表面上に集電子体層5が形成され、その構成がナノレベルの微粒子層5a(2層)と量子レベルの微粒子層5b(2層)の上にさらに同様のナノレベルの微粒子層5a(2層)と量子レベルの微粒子層5b(2層)とが形成されたものである。この場合の製造法としては複数回のスパッタリングを順次繰り返して行うこととなる。
図3の実施例においては、ナノレベルの微粒子層5aの上に量子レベルの微粒子層5bが形成されているが、量子レベルの微粒子層5bを第一電極4上に形成し、その上にナノレベルの微粒子層5aを形成することも可能である。
上述のように集電子体層5を、ナノレベル微粒子層5aと量子レベルの微粒子層5bとを繰り返し交互に積層することでより一層の表面積の拡大が図れる。この積層は数層亘って形成することは可能であり、その積層数が上がると表面積も拡大し、集電率を高めることも可能であるが、必ずしも積層数に比例して集電率が高まることはなく、スパッタリング回数が増加し、製造時間およびコスを要することとなるため、現実的には5~20層としている。
[実施例3]
図4は他の実施例で、集電子体層5の構成がナノレベルの微粒子層5aの各微粒子間に量子レベルの微粒子層5bの各微粒子を混在して形成したものである。このようにナノ微粒子の間(隙間)に量子レベル(または量子レベルの微粒子)を混在させることで、各粒子間に間隙が生じ効果的に集電率および電子感受性を高めることが可能となる。
図4は他の実施例で、集電子体層5の構成がナノレベルの微粒子層5aの各微粒子間に量子レベルの微粒子層5bの各微粒子を混在して形成したものである。このようにナノ微粒子の間(隙間)に量子レベル(または量子レベルの微粒子)を混在させることで、各粒子間に間隙が生じ効果的に集電率および電子感受性を高めることが可能となる。
このような構成の集電子体は、予めナノ微粒子基材と量子レベル基材とを混合し、コーティング法あるいはスッパタリング法により成膜することができる。また、ナノ微粒子を分散状態(間隙を持って成膜した状態)またはクラスター(数個の群れ)状態に分散させ、その上に量子レベル基材をスパッタリングすることで形成することが可能である。上述した実施例では、薄膜キャパシタの各層は矩形平型の形状で積層していくが、マスキングの方式、薄膜成形方式により自由な形状を選択することが出来る。
[実施例4]
図7は、上記実施例の薄膜キャパシタ装置1を多層フィルムとして円筒形態にした薄膜キャパシタ装置である。この薄膜キャパシタ装置は、バッファ層3の上層に、第一電極4、集電子体層5、誘電体層6、集電子体層5、第二電極7、集電子体層5、誘電体層6、集電子体層5、を単位ユニット層として多層フィルムとして製造したもので、巻取時は絶縁材質で製作された円筒形態材を中心に初期端部処理を施してバッファ層3の上に、第一電極4フィルム4、さらにその上に、誘電体層6・・・というように順次交互に積層し、巻き取る。第一電極4の表面上には図1に示す集電子体層5がスパッタリング法などにより薄膜層が形成され、第二電極7の表面上にも同様に図1に示す集電子体層5が薄膜層として形成されている。本方法はフィルムコンデンサと同等の製造工程であり絶縁基剤を底部に用いるためユニット層間の絶縁破壊リスクが少なくフィルムコンデンサより安全性が高いと言える。
図7は、上記実施例の薄膜キャパシタ装置1を多層フィルムとして円筒形態にした薄膜キャパシタ装置である。この薄膜キャパシタ装置は、バッファ層3の上層に、第一電極4、集電子体層5、誘電体層6、集電子体層5、第二電極7、集電子体層5、誘電体層6、集電子体層5、を単位ユニット層として多層フィルムとして製造したもので、巻取時は絶縁材質で製作された円筒形態材を中心に初期端部処理を施してバッファ層3の上に、第一電極4フィルム4、さらにその上に、誘電体層6・・・というように順次交互に積層し、巻き取る。第一電極4の表面上には図1に示す集電子体層5がスパッタリング法などにより薄膜層が形成され、第二電極7の表面上にも同様に図1に示す集電子体層5が薄膜層として形成されている。本方法はフィルムコンデンサと同等の製造工程であり絶縁基剤を底部に用いるためユニット層間の絶縁破壊リスクが少なくフィルムコンデンサより安全性が高いと言える。
電極部の端子8および9は、外出しあるいは外部構成等はフィルムコンデンサあるいは電気二重層キャパシタの工程をそのまま継承すればよい。キャパシシタの積層数、つまり誘電体層の巻き数は例えば100~1000程度の巻回を設定する。
図8は、上述した実施例に適用される充放電回路の一例を示すブロック図である。本実施例では、薄膜キャパシタ20の端子の一方8と他方9がスイッチ21により切換可能に接続される充電回路C1と放電回路C2とを有している。放電回路C2では、薄膜キャパシタ20とDC/DCコンバータ40との間に補助キャパシタ30を付設しており、薄膜キャパシタ20の蓄電量が0に近くなるまで変換を行う構成からなっている。
スイッチ21の操作により充電回路C1が選択された場合は電源装置22より薄膜キャパシタ20に充電が行われる。薄膜キャパシタ20の初期充電の際に直流電源と直接接続すると大電流が流れて許容電流値を超える恐れがあるので、電源装置22には定電流制御機能または大電流の入力を制限する電流制限手段を付加することが好ましい。
つまり、スイッチ21により放電回路C2が選択されると薄膜キャパシタ20より補助コイル23を介してDC/DCコンバータ40へ蓄電量を放電する。この補助コイル23は急速放電圧力を受け止めるために挿入されている。また、DC/DCコンバータ40の前部に一次的に電荷を蓄える補助キャパシタ30を組み込んでいる。これにより、補助キャパシタ30による設定放電電圧よりも薄膜キャパシタ20の放電電圧が高い場合には降圧型の回路を形成し、薄膜キャパシタ20の放電電圧が低い場合には昇圧型のデバイスに切り替えを行う。
上記実施例の薄膜キャパシタ装置は一例を示すものであり、本考案は上記実施例の構成に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で種々設計変更しうる。
1 薄膜キャパシタ装置
2 支持基板
3 バッファ層
4 第一電極
5 集電子体層
5a 集電子体層のナノサイズ微粒子層(ナノレベルの外形寸法を有する基材)
5b 集電子体層の量子サイズ微粒子層(量子レベルの外形寸法を有する基材)
6 誘電体層
7 第二電極
8 端子
9 端子
20 薄膜キャパシタ
21 スイッチ
22 電源装置
23 補助コイル
30 補助キャパシタ
40 DC/DCコンバータ
2 支持基板
3 バッファ層
4 第一電極
5 集電子体層
5a 集電子体層のナノサイズ微粒子層(ナノレベルの外形寸法を有する基材)
5b 集電子体層の量子サイズ微粒子層(量子レベルの外形寸法を有する基材)
6 誘電体層
7 第二電極
8 端子
9 端子
20 薄膜キャパシタ
21 スイッチ
22 電源装置
23 補助コイル
30 補助キャパシタ
40 DC/DCコンバータ
Claims (11)
- 誘電体式薄膜キャパシタ装置において、薄膜キャパシタが、導電性材料で形成された第一の電極と、前記第一の電極と向かい合うように位置付けられている導電性材料で形成された第二の電極と、前記第一の電極と前記第二の電極に挟まれるように形成された誘電体層とからなり、前記第一の電極と前記誘電体層との間および前記第二の電極と前記誘電体層との間に、材質が金属、カーボン、グラファイト、ダイアモンド、超電導材料、導電性有機物または導電性セラミックのいずれかの導電物質からなる微粒子形態基材により構成された集電子体により集電子体層が形成され、前記微粒子形態基材がナノレベルの外形寸法を有する基材と量子レベルの外形寸法を有する基材の2種類で構成された集電子体であることを特徴とする薄膜キャパシタ装置。
- 前記量子レベルの外形寸法を有する基材は、球状、躯体状、テトラポット形状、長繊維状または短繊維状のいずれか、またはそれらを組み合わせた形状を有することを特徴とする請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置。
- 前記量子レベルの外形寸法を有する基材は、中空状の形態を有する基材であることを特徴とする請求項2に記載の薄膜キャパシタ装置。
- 前記集電子体層は、ナノレベルの外形寸法を有する基材と量子レベルの外形寸法を有する基材とがその材質または形態が単一または複合して複数層を電極表面上に積層されていることを特徴とする請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置。
- 前記集電子体層は、前記第一の電極または第二の電極表面上にナノレベルの外形寸法を有する基材を複数層積層し、その上から量子レベルの外形寸法を有する基材を積層する集電子体層で、それぞれの材質および形態が単一あるいは複合して複数層を電極表面上に積層する集電体であることを特徴とする請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置。
- 前記集電子体層は、第一の電極または第二の電極表面上にナノレベルの外形寸法を有する基材と量子レベルの外形寸法を有する基材とを混合して複数層積層する集電子体層からなることを特徴とする請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置。
- 前記ナノレベルの外形寸法を有する基材は、縦・横・高さのいずれかが1000nm未満の外形寸法で、好ましくは縦・横・高さのいずれかが100nm未満の外形寸法であることを特徴とする請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置。
- 前記量子レベルの外形寸法を有する基材は、縦、横、高さまたは先端形状のいずれかが1nm以下の外形寸法であることを特徴とする請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置。
- 前記集電子体層に用いられる基材は、磁化または超電導化されていることを特徴とする請求項1に記載の薄膜キャパシタ装置。
- 誘電体式薄膜キャパシタ装置において、薄膜キャパシタが、導電性材料で形成された第一の電極と、前記第一の電極と向かい合うように位置付けられている導電性材料で形成された第二の電極と、前記第一の電極と前記第二の電極に挟まれるように形成されたプラスチック或いはセラミックによる誘電体層とからなり、前記第一の電極と前記誘電体層との間および前記第二の電極と前記誘電体層との間に、材質が金属、カーボン、グラファイト、ダイアモンド、超電導材料、導電性有機物または導電性セラミックのいずれかの導電物質からなる微粒形態基材により構成された集電子体により集電子体層が形成され、前記微粒形態基材がナノレベルの外形寸法を有する基材と量子レベルの外形寸法を有する基材の2種類で構成された集電体で形成され、前記第一の電極と、前記誘電体層と、前記第二の電極と、前記集電子体層とがロール状に多層巻回されていることを特徴とする薄膜キャパシタ装置。
- 前記薄膜キャパシタが、スイッチ装置により充電回路または放電回路に切換可能に接続されており、前記放電回路は、安定して放電するためスイッチング回路により電圧および電流を制御するように構成されており、設定放電電圧よりも前記薄膜キャパシタの放電電圧が高い場合には降圧型の回路を構成し、前記薄膜キャパシタの放電電圧が低い場合には昇圧型の回路を構成するように、急速放電圧力を受けるための補助コイルおよび一次的に電荷を蓄える補助キャパシタを組み込んでいる回路を接続してなることを特徴とする請求項1または請求項10に記載の薄膜キャパシタ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021004144U JP3235703U (ja) | 2021-10-27 | 2021-10-27 | ナノ量子技術活用による大容量薄膜キャパシタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021004144U JP3235703U (ja) | 2021-10-27 | 2021-10-27 | ナノ量子技術活用による大容量薄膜キャパシタ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3235703U true JP3235703U (ja) | 2022-01-12 |
Family
ID=80081311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021004144U Active JP3235703U (ja) | 2021-10-27 | 2021-10-27 | ナノ量子技術活用による大容量薄膜キャパシタ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3235703U (ja) |
-
2021
- 2021-10-27 JP JP2021004144U patent/JP3235703U/ja active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Sherrill et al. | High to ultra-high power electrical energy storage | |
JP6019533B2 (ja) | ナノポ−ラス金属コア・セラミックス堆積層型コンポジット及びその製造法並びにスーパーキャパシタ装置及びリチウムイオン電池 | |
US8259432B2 (en) | Capacitors using preformed dielectric | |
US8863363B2 (en) | Method for fabricating a supercapacitor electronic battery | |
WO2011155078A1 (ja) | 電気エネルギー蓄積装置 | |
JP2018517285A (ja) | 電極材料及びエネルギー貯蔵装置 | |
JP5394987B2 (ja) | 電気エネルギー蓄積装置 | |
US11037737B2 (en) | Energy storage technology with extreme high energy density capability | |
JP3235703U (ja) | ナノ量子技術活用による大容量薄膜キャパシタ装置 | |
JP4996775B1 (ja) | 薄膜キャパシタ装置 | |
JP2016207994A (ja) | 大容量キャパシタ装置 | |
JP3216923U (ja) | 大容量キャパシタ装置 | |
NL1018266C1 (nl) | Gemengd oxidemateriaal met hoog geleidingsvermogen voor elektronen; elektrode voor een elektrochemische cel die dit materiaal omvat; werkwijze voor het vervaardigen van een elektrode voor een elektrochemische cel en elektrochemische cel die tenminste een dergelijke elektrode omvat. | |
WO2023064054A2 (en) | Manufacture of electrodes for energy storage devices | |
JP2020188031A (ja) | 薄膜キャパシタ装置 | |
JP2013065674A (ja) | 電気エネルギー蓄積装置 | |
Lokhande et al. | Nanostructured metal chalcogenide/oxide films based supercapacitors | |
JP2020068304A (ja) | ウルトラキャパシタ材料およびウルトラキャパシタ | |
JP6903276B2 (ja) | 大容量キャパシタ装置及び二次電池 | |
KR101913937B1 (ko) | 슈퍼커패시터 전극 및 그 제조방법 | |
JP6839386B2 (ja) | 蓄電材料および蓄電デバイス | |
JP2024014349A (ja) | 導電微粒子堆積集電層を備えたキャパシタ二次電池 | |
TW201015834A (en) | DC circuit with adjustable output voltage | |
NL1017632C1 (nl) | Elektrode voor een elektrochemische cel. | |
TW201022878A (en) | A constant current source circuit |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3235703 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |