JP3235001B2 - Capacitive sensor - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、コンピュータのカー
ソルの移動操作部（ポインティング・デバイス）等とし
て使用することのできる静電容量式センサーに関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a capacitance type sensor which can be used as a cursor moving operation section (pointing device) of a computer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の静電容量式センサーとし
ては、例えば図１３〜１５に示すものが存在する。この
センサーは、同図に示すように、中央部に入力軸９０ａ
を有した基板９０と、前記基板９０と対向配設された基
板９１とを有し、前記基板９０の下面に電極Ｃを、前記
基板９１の上面に中心部から四方向に電極Ｃｘ＋、Ｃｘ
−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−を、それぞれ設けると共に、前記し
た上下の電極相互間に薄い弾性板９２を介在させてい
る。また、このセンサーの基板９１の下面には、図１３
に示すように電子装置９３を備えており、この電子装置
９３により、電極Ｃと電極Ｃｘ＋相互間、電極Ｃと電極
Ｃｘ−相互間、電極Ｃと電極Ｃｙ＋相互間、電極Ｃと電
極Ｃｙ−相互間、における静電容量の変化を電圧の変化
に変換できるようにしている。2. Description of the Related Art Conventionally, as this type of capacitance type sensor, for example, those shown in FIGS. This sensor has an input shaft 90a at the center as shown in FIG.
, A substrate 91 disposed opposite to the substrate 90, electrodes C on the lower surface of the substrate 90, and electrodes Cx +, Cx on the upper surface of the substrate 91 in four directions from the center.
−, Cy +, and Cy− are provided, and a thin elastic plate 92 is interposed between the upper and lower electrodes. Further, on the lower surface of the substrate 91 of this sensor, FIG.
As shown in FIG. 7, the electronic device 93 includes an electronic device 93, which is provided between the electrode C and the electrode Cx +, between the electrode C and the electrode Cx-, between the electrode C and the electrode Cy +, and between the electrode C and the electrode Cy-. The change in capacitance during the period can be converted into a change in voltage.
【０００３】したがって、手指で上記入力軸９０ａの上
端を左右前後方向（Ｘ−Ｘ方向、Ｙ−Ｙ方向）に変位さ
せると、弾性板９２への付勢力に応じて電極相互間の各
部のギャップＧが変化することとなり、その結果、変位
した方向の入力軸９０ａの変位量が電圧出力として取り
出せる。このセンサーをディスプレイに表示されるカー
ソルの移動操作部として使用する場合、図１３に示すよ
うにキーボードＫＢの上壁から入力軸９０ａの上端のみ
を突出する態様で組み込めばよく、ギャップＧの変化に
伴う上記電圧出力の大小によりカーソルの移動速度や移
動方向が決定されるようにすればよい。Accordingly, when the upper end of the input shaft 90a is displaced in the left-right and front-rear directions (XX direction, YY direction) by a finger, the gap between the electrodes is changed according to the urging force on the elastic plate 92. G changes, and as a result, the amount of displacement of the input shaft 90a in the displaced direction can be taken out as a voltage output. When this sensor is used as a moving operation unit of a cursor displayed on a display, it is sufficient to incorporate the sensor so that only the upper end of the input shaft 90a protrudes from the upper wall of the keyboard KB as shown in FIG. The moving speed and moving direction of the cursor may be determined according to the magnitude of the voltage output.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の静電容量式センサーをカーソルの移動操作部として
使用する場合、電極Ｃ、Ｃｘ＋、Ｃｘ−、Ｃｙ＋、Ｃｙ
−が平面的に配置されているため、キーボードＫＢ上で
の設置スペースが比較的大きくなるという課題を有して
いた。However, when the above-mentioned conventional capacitive sensor is used as a cursor moving operation unit, the electrodes C, Cx +, Cx-, Cy +, and Cy are used.
Since-is arranged in a plane, there is a problem that the installation space on the keyboard KB becomes relatively large.
【０００５】そこで、この発明は、上記電極Ｃ、Ｃｘ
＋、Ｃｘ−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−を立体的に配置することに
より、キーボードＫＢ上での設置スペースを極めて小さ
くすることのできる静電容量式センサーを提供すること
を目的としてなされたものである。[0005] Therefore, the present invention provides the above-mentioned electrodes C, Cx
It is an object of the present invention to provide a capacitance-type sensor in which the installation space on the keyboard KB can be extremely reduced by arranging +, Cx−, Cy +, and Cy− three-dimensionally.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】そのため、この発明の静
電容量式センサーは、筒状収容体１内に入力軸３を、当
該筒状収容体１の軸芯方向に沿って移動できるように収
容し、前記筒状収容体１の内周面１ｂ又は入力軸３の外
周面３ｂのうち、一方に電極Ｃを、他方に電極Ｃｘ＋，
Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−を、それぞれ形成し、電極Ｃと
電極Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−の間には、ギャッ
プＧが形成されている。Therefore, the capacitance type sensor according to the present invention can move the input shaft 3 into the cylindrical housing 1 along the axis of the cylindrical housing 1. The electrode C is disposed on one of the inner peripheral surface 1b of the cylindrical container 1 or the outer peripheral surface 3b of the input shaft 3, and the electrodes Cx +,
Cx−, Cy +, and Cy− are formed, and a gap G is formed between the electrode C and the electrodes Cx +, Cx−, Cy +, and Cy−.
【０００７】そして、前記筒状収容体１の収容部を円筒
としたときには、入力軸３を丸棒とし、前記筒状収容体
１の収容部を角筒としたときには、入力軸３を角棒とす
ることができる。さらに、前記入力軸３の下端部３ｃ
を、弾性復帰体とした支持体４により筒状収容体１の下
面１ｃに支持したものとしてもよい。また、前記ギャッ
プ（Ｇ）には弾性部材（７）を介在させることができ
る。When the accommodating portion of the tubular housing 1 is cylindrical, the input shaft 3 is a round bar, and when the accommodating portion of the tubular housing 1 is a square tube, the input shaft 3 is a square bar. It can be. Further, the lower end 3c of the input shaft 3
May be supported on the lower surface 1c of the cylindrical housing 1 by the support 4 as an elastic return body. Further, an elastic member (7) can be interposed in the gap (G).
【０００８】[0008]
【作用】この発明の静電容量式センサーは、上記構成と
したため、手指等で入力軸３を左右前後方向（Ｘ−Ｘ方
向、Ｙ−Ｙ方向）に変位させると電極相互間の各部のギ
ャップＧが変化することとなり、また手指等で入力軸３
を上下方向（Ｚ−Ｚ方向）に変位させると電極相互間の
各部の対向面積が変化することとなり、これら相互間の
静電容量が変化する。その結果、変位した方向の入力軸
２の変位量が、静電容量を電圧に変換することにより電
圧出力として取り出せる。Since the capacitance type sensor of the present invention has the above-described structure, when the input shaft 3 is displaced in the left-right and front-rear directions (XX direction, YY direction) by a finger or the like, the gap between the electrodes is reduced. G changes, and the input shaft 3
Is displaced in the vertical direction (Z-Z direction), the facing area of each part between the electrodes changes, and the capacitance between them changes. As a result, the displacement of the input shaft 2 in the displaced direction can be taken out as a voltage output by converting the capacitance into a voltage.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、この発明の静電容量式センサーの構成
を、実施例として示した図面に基づいて詳細に説明す
る。図１〜３は、この発明の静電容量式センサーの第一
実施例を示しており、収容部を円筒とした筒状収容体１
の上面１ａに設けた開口２から上方に、丸棒とした入力
軸３の上端部３ａが突出するようにして、筒状収容体１
内にこの入力軸３を適宜ギャップＧを有して収容してい
る。前記筒状収容体１内において、入力軸３の外周面３
ｂには電極Ｃを設けている。さらに、この電極Ｃに対向
する筒状収容体１の内周面１ｂに、この内周面１ｂを左
右前後方向（Ｘ−Ｘ方向、Ｙ−Ｙ方向）に４分割した電
極Ｃｘ＋、Ｃｘ−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−を設けている。ま
た、前記入力軸３の下端部３ｃは、筒状収容体１の下面
１ｃに支持体４により支持されている。なお、前記電極
Ｃと電極Ｃｘ＋、Ｃｘ−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−とは、図２に
示したようにそれぞれの全面どうしが対向するように配
置してもよいが、図４に示したように電極Ｃｘ＋、Ｃｘ
−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−を上方にずらせたり、図示していな
いが電極Ｃｘ＋、Ｃｘ−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−を下方にずら
せたりして、それぞれの一部面どうしが対向するように
配置してもよい。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a capacitance type sensor according to the present invention. 1 to 3 show a first embodiment of a capacitance type sensor according to the present invention.
The upper end portion 3a of the input shaft 3 formed as a round bar projects upward from the opening 2 provided in the upper surface 1a of the
The input shaft 3 is accommodated therein with an appropriate gap G. In the cylindrical container 1, the outer peripheral surface 3 of the input shaft 3
b is provided with an electrode C. Further, on the inner peripheral surface 1b of the cylindrical container 1 facing the electrode C, the electrodes Cx +, Cx-, which are obtained by dividing the inner peripheral surface 1b into four in the left-right and front-rear directions (XX direction, YY direction). Cy + and Cy− are provided. A lower end 3 c of the input shaft 3 is supported by a support 4 on the lower surface 1 c of the tubular housing 1. The electrode C and the electrodes Cx +, Cx−, Cy +, Cy− may be arranged so that their entire surfaces face each other as shown in FIG. 2, but as shown in FIG. Cx +, Cx
−, Cy + and Cy− may be shifted upward, or electrodes Cx +, Cx−, Cy + and Cy− (not shown) may be shifted downward so that their respective partial surfaces face each other. Good.
【００１０】図８、９は、この発明の静電容量式センサ
ーの第二実施例を示しており、収容部を円筒とした筒状
収容体１の上面１ａに設けた開口２から上方に、丸棒と
した入力軸３の上端部３ａが突出するようにして、筒状
収容体１内にこの入力軸３を適宜ギャップＧを有して収
容している。前記筒状収容体１内において、入力軸３の
外周面３ｂには、この外周面３ｂを左右前後方向（Ｘ−
Ｘ方向、Ｙ−Ｙ方向）に４分割した電極Ｃｘ＋、Ｃｘ
−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−を設けている。さらに、この電極Ｃ
ｘ＋、Ｃｘ−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−に対向する筒状収容体１
の内周面１ｂに電極Ｃを設けている。また、前記入力軸
３の下端部３ｃは、筒状収容体１の下面１ｃに支持体４
により支持されている。なお、前記電極Ｃｘ＋、Ｃｘ
−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−と電極Ｃとは、第一実施例と同様、
例えば図１０に示したようにそれぞれの一部面どうしが
対向するように配置してもよい。FIGS. 8 and 9 show a second embodiment of the capacitance type sensor according to the present invention. The capacitance type sensor is arranged so as to extend upward from an opening 2 provided in an upper surface 1a of a cylindrical housing 1 having a cylindrical housing. The input shaft 3 is accommodated in the cylindrical housing 1 with an appropriate gap G so that the upper end portion 3a of the input shaft 3 formed as a round bar projects. In the cylindrical housing 1, the outer peripheral surface 3b of the input shaft 3 is attached to the outer peripheral surface 3b in the front-rear direction (X-
Electrodes Cx +, Cx divided into four in X direction and YY direction)
−, Cy + and Cy− are provided. Further, this electrode C
Cylindrical container 1 facing x +, Cx-, Cy +, Cy-
The electrode C is provided on the inner peripheral surface 1b. The lower end 3c of the input shaft 3 is provided on the lower surface 1c of the cylindrical housing 1 with a support 4
Supported by The electrodes Cx +, Cx
−, Cy +, Cy− and the electrode C are the same as in the first embodiment.
For example, as shown in FIG. 10, they may be arranged such that their respective partial surfaces face each other.
【００１１】図１１、１２は、この発明の静電容量式セ
ンサーの第三実施例を示しており、収容部を四角筒とし
た筒状収容体１の上面１ａに設けた開口２から上方に、
四角棒とした入力軸３の上端部３ａが突出するようにし
て、筒状収容体１内にこの入力軸３を適宜ギャップＧを
有して収容している。前記筒状収容体１内において、入
力軸３の外周面３ｂには電極Ｃを設けている。さらに、
この電極Ｃに対向する筒状収容体１の内周面１ｂに、こ
の内周面１ｂの左右前後方向（Ｘ−Ｘ方向、Ｙ−Ｙ方
向）に電極Ｃｘ＋、Ｃｘ−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−を設けてい
る。また、前記入力軸３の下端部３ｃは、筒状収容体１
の下面１ｃに支持体４により支持されている。なお、入
力軸回り（Ｚ軸回り）のモーメントＭｚを検出するため
に、前記電極Ｃｘ＋、Ｃｘ−、電極Ｃｙ＋、Ｃｙ−の何
れも、または何れかをそれぞれ二分割することができ
る。実施例では、図示したように電極Ｃｘ＋をＣｘ
1 ＋、Ｃｘ 2 ＋に、電極Ｃｘ−をＣｘ1 −、Ｃｘ2 −に
分割している。FIGS. 11 and 12 show a capacitance type cell according to the present invention.
This shows a third embodiment of the sensor, in which the accommodating portion is a square tube.
Upward from the opening 2 provided on the upper surface 1a of the cylindrical container 1
Make the upper end 3a of the input shaft 3 which is a square bar project
Then, the input shaft 3 is appropriately connected to the gap G in the cylindrical container 1.
It is housed. In the cylindrical container 1,
An electrode C is provided on the outer peripheral surface 3b of the force shaft 3. further,
The inner peripheral surface 1b of the cylindrical container 1 facing the electrode C is
Left and right front and rear directions of the inner peripheral surface 1b (XX direction, YY direction)
Electrodes Cx +, Cx-, Cy +, Cy-
You. The lower end 3c of the input shaft 3 is
Is supported by the support 4 on the lower surface 1c of the first member. In addition,
To detect the moment Mz around the force axis (around the Z axis)
The electrodes Cx + and Cx- and the electrodes Cy + and Cy-
Or any of them can be divided into two
You. In the embodiment, as shown, the electrode Cx + is connected to Cx
1+, Cx Two+ To the electrode Cx-1-, CxTwoTo-
Divided.
【００１２】前記第一〜三実施例において、この発明の
静電容量式センサーは、前記入力軸３を左右前後方向、
上下方向、及び入力軸回りの方向（Ｘ−Ｘ方向、Ｙ−Ｙ
方向、Ｚ−Ｚ方向、Ｍｚ−Ｍｚ方向）に変位させた後、
元の位置に復帰させるために、図２、４、５、６、１
０、１１に示したように前記支持体４をバネやゴム等の
弾性復帰体としたり、図５に示したように開口２付き弾
性キャップ６を筒状収容体１の上部に被せたり、図６、
８、１０、１１に示したように開口２にバネやゴム等の
弾性部材５を配設している。さらに、前記入力軸３を元
の位置に復帰させるためには、図６、７に示したように
前記ギャップＧにゴム等の弾性部材７を介在させてもよ
い。In the first to third embodiments, the capacitance type sensor according to the present invention is characterized in that the input shaft 3 is moved in the left-right and front-rear directions,
Up and down direction, and directions around the input axis (XX direction, YY
Direction, Z-Z direction, Mz-Mz direction),
2, 4, 5, 6, 1 to return to the original position.
As shown in FIGS. 0 and 11, the support 4 is an elastic return body such as a spring or rubber, or the elastic cap 6 with the opening 2 is put on the upper part of the cylindrical container 1 as shown in FIG. 6,
As shown in 8, 10, and 11, elastic members 5 such as springs and rubbers are provided in the openings 2. Further, in order to return the input shaft 3 to the original position, an elastic member 7 such as rubber may be interposed in the gap G as shown in FIGS.
【００１３】さらに、前記第一〜三実施例において、筒
状収容体１の上面１ａに設けた開口２から上方に、入力
軸３の上端部３ａが突出するようにしたが、この入力軸
３全体を筒状収容体１内に収容し、入力軸３の上端に操
作棒（図示せず）等を連結して、この操作棒を前記開口
２から上方に突出するようにしてもよい。また、前記第
一〜三実施例において、前記電極Ｃと、電極Ｃｘ＋、Ｃ
ｘ−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−の何れも、または何れかを絶縁膜
８で被覆することができる。第一〜三実施例では、電極
Ｃにテフロンコーティングを施している。Further, in the first to third embodiments, the upper end portion 3a of the input shaft 3 projects upward from the opening 2 provided in the upper surface 1a of the cylindrical housing 1. The whole may be housed in the cylindrical housing 1, and an operating rod (not shown) may be connected to the upper end of the input shaft 3 so that the operating rod projects upward from the opening 2. In the first to third embodiments, the electrode C and the electrodes Cx + and Cx +
Any or all of x−, Cy +, and Cy− can be covered with the insulating film 8. In the first to third embodiments, the electrode C is coated with Teflon.
【００１４】なお、この発明の静電容量式センサーは、
電子装置（図示せず）を備えたものとしている。この電
子装置は、前記第一、二実施例では電極Ｃと各電極Ｃｘ
＋、Ｃｘ−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−相互間のギャップＧまたは
対向面積の変化にともなう各静電容量をそれぞれ電圧Ｖ
ｘ＋、Ｖｘ−、Ｖｙ＋、Ｖｙ−に変換するものとしてい
る。The capacitance type sensor of the present invention
An electronic device (not shown) is provided. In the first and second embodiments, the electronic device includes an electrode C and each electrode Cx.
+, Cx−, Cy +, Cy−, the respective capacitances due to the change of the gap G or the facing area between them are respectively expressed by the voltage V
x +, Vx-, Vy +, and Vy-.
【００１５】したがって、入力軸２をＸ−Ｘ方向に変位
させたときの電圧Ｖｘは（Ｖｘ＋）−（Ｖｘ−）で、入
力軸２をＹ−Ｙ方向に変位させたときの電圧Ｖｙは（Ｖ
ｙ＋）−（Ｖｙ−）で、入力軸２をＺ−Ｚ方向に変位さ
せたときの電圧Ｖｚは（Ｖｘ＋）＋（Ｖｘ−）＋（Ｖｙ
＋）＋（Ｖｙ−）で求めることができる。また、前記電
子装置は、前記第三実施例では電極Ｃと各電極Ｃｘ
1 ＋、Ｃｘ2＋、Ｃｘ1 −、Ｃｘ2 −、Ｃｙ＋、Ｃｙ−
相互間のギャップＧまたは対向面積の変化にともなう各
静電容量をそれぞれ電圧Ｖｘ1 ＋、Ｖｘ2 ＋、Ｖｘ
1 −、Ｖｘ 2 −、Ｖｙ＋、Ｖｙ−に変換するものとして
いる。Therefore, the input shaft 2 is displaced in the X-X direction.
The voltage Vx at this time is (Vx +)-(Vx-),
The voltage Vy when the force axis 2 is displaced in the Y-Y direction is (V
y +)-(Vy-), the input shaft 2 is displaced in the ZZ direction.
The voltage Vz is (Vx +) + (Vx −) + (Vy
+) + (Vy-). In addition, the electric
In the third embodiment, the slave device is provided with the electrode C and each electrode Cx.
1+, CxTwo+, Cx1-, CxTwo-, Cy +, Cy-
Each change in the gap G or the opposing area
Capacitance is each voltage Vx1+, VxTwo+, Vx
1-, Vx Two-, Vy +, Vy-
I have.
【００１６】したがって、入力軸２をＸ−Ｘ方向に変位
させたときの電圧Ｖｘは〔（Ｖｘ1＋）＋（Ｖｘ
2 ＋）〕−〔（Ｖｘ1 −）＋（Ｖｘ2 −）〕で、入力軸
２をＹ−Ｙ方向に変位させたときの電圧Ｖｙは（Ｖｙ
＋）−（Ｖｙ−）で、入力軸２をＺ−Ｚ方向に変位させ
たときの電圧Ｖｚは（Ｖｘ1 ＋）＋（Ｖｘ2 ＋）＋（Ｖ
ｘ1 −）＋（Ｖｘ2 −）＋（Ｖｙ＋）＋（Ｖｙ−）で、
入力軸２をＭｚ−Ｍｚ方向に変位させたときの電圧Ｖmz
は〔（Ｖｘ1 ＋）＋（Ｖｘ2 −）〕−〔（Ｖｘ2 ＋）＋
（Ｖｘ1 −）〕で求めることができる。Therefore, when the input shaft 2 is displaced in the XX direction, the voltage Vx is [(Vx 1 +) + (Vx
2 +)] − [(Vx 1 −) + (Vx 2 −)], and the voltage Vy when the input shaft 2 is displaced in the YY direction is (Vy
+) − (Vy−), the voltage Vz when the input shaft 2 is displaced in the ZZ direction is (Vx 1 +) + (Vx 2 +) + (V
x 1 −) + (Vx 2 −) + (Vy +) + (Vy−)
Voltage Vmz when input shaft 2 is displaced in Mz-Mz direction
Is [(Vx 1 +) + (Vx 2 −)] − [(Vx 2 +) +
(Vx 1 −)].
【００１７】[0017]
【発明の効果】この発明の静電容量式センサーは、以上
に述べたように構成されており、この静電容量式センサ
ーをコンピュータのカーソルの移動操作部（ポインティ
ング・デバイス）等として使用する場合、電極Ｃ、Ｃｘ
＋、Ｃｘ−、Ｃｙ＋、Ｃｙ−を立体的に配置しているの
で、キーボードＫＢ上での設置スペースを極めて小さく
することができる。The capacitive sensor according to the present invention is configured as described above. When the capacitive sensor is used as a cursor moving operation unit (pointing device) of a computer or the like. , Electrode C, Cx
Since +, Cx-, Cy +, and Cy- are arranged three-dimensionally, the installation space on the keyboard KB can be extremely reduced.
【図１】この発明の静電容量式センサーの第一実施例の
斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a first embodiment of a capacitance type sensor according to the present invention.
【図２】この発明の静電容量式センサーの第一実施例の
縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the first embodiment of the capacitance type sensor of the present invention.
【図３】この発明の静電容量式センサーの第一実施例の
横断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the first embodiment of the capacitance type sensor of the present invention.
【図４】この発明の静電容量式センサーの第一実施例の
変形例の縦断面図である。FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a modification of the first embodiment of the capacitance type sensor of the present invention.
【図５】この発明の静電容量式センサーの第一実施例の
変形例の縦断面図である。FIG. 5 is a longitudinal sectional view of a modification of the first embodiment of the capacitance type sensor of the present invention.
【図６】この発明の静電容量式センサーの第一実施例の
変形例の縦断面図である。FIG. 6 is a longitudinal sectional view of a modification of the first embodiment of the capacitance type sensor of the present invention.
【図７】この発明の静電容量式センサーの第一実施例の
変形例の横断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of a modification of the first embodiment of the capacitance type sensor of the present invention.
【図８】この発明の静電容量式センサーの第二実施例の
縦断面図である。FIG. 8 is a longitudinal sectional view of a second embodiment of the capacitance type sensor according to the present invention.
【図９】この発明の静電容量式センサーの第二実施例の
横断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of a second embodiment of the capacitance type sensor according to the present invention.
【図１０】この発明の静電容量式センサーの第二実施例
の変形例の縦断面図である。FIG. 10 is a longitudinal sectional view of a modification of the second embodiment of the capacitance type sensor according to the present invention.
【図１１】この発明の静電容量式センサーの第三実施例
の縦断面図である。FIG. 11 is a longitudinal sectional view of a third embodiment of the capacitance type sensor according to the present invention.
【図１２】この発明の静電容量式センサーの第三実施例
の横断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view of a third embodiment of the capacitance type sensor according to the present invention.
【図１３】従来の静電容量式センサーの縦断面図であ
る。FIG. 13 is a longitudinal sectional view of a conventional capacitive sensor.
【図１４】従来の静電容量式センサーの上側の基板に設
けた電極の説明図である。FIG. 14 is an explanatory diagram of electrodes provided on a substrate on the upper side of a conventional capacitive sensor.
【図１５】従来の静電容量式センサーの下側の基板に設
けた電極の説明図である。FIG. 15 is an explanatory diagram of an electrode provided on a substrate below a conventional capacitive sensor.
１ 筒状収容体 １ｂ 内周面 １ｃ 下面 ３ 入力軸 ３ｂ 外周面 ３ｃ 下端部 ４ 支持体 ７ 弾性部材 Ｃ 電極 Ｃｘ＋ 電極 Ｃｘ− 電極 Ｃｙ＋ 電極 Ｃｙ− 電極 Ｇ ギャップ Reference Signs List 1 cylindrical container 1b inner peripheral surface 1c lower surface 3 input shaft 3b outer peripheral surface 3c lower end 4 support 7 elastic member C electrode Cx + electrode Cx- electrode Cy + electrode Cy- electrode G gap
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中津川 順道 埼玉県上尾市菅谷４丁目73番地 株式会 社ワコー内 (72)発明者 岡田 和廣 埼玉県上尾市菅谷４丁目73番地 株式会 社ワコー内 (56)参考文献 特開 昭63−302302（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−9006（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−90816（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−38005（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 7/00 - 7/34 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Jundo Nakatsugawa 4-73, Sugaya, Ageo City, Saitama Prefecture Wako Co., Ltd. (72) Inventor Kazuhiro Okada 4-73, Sugaya, Ageo City, Saitama Prefecture Wako Co., Ltd. (56) References JP-A-63-302302 (JP, A) JP-A-58-9006 (JP, A) JP-A-3-90816 (JP, A) Japanese Utility Model Application Sho-63-38005 (JP, U) 58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01B 7/ 00-7/34
Claims (5)
当該筒状収容体（１）の軸芯方向に沿って移動できるよ
うに収容し、前記筒状収容体（１）の内周面（１ｂ）又
は入力軸（３）の外周面（３ｂ）のうち、一方に電極
（Ｃ）を、他方に電極（Ｃｘ＋）（Ｃｘ−）（Ｃｙ＋）
（Ｃｙ−）を、それぞれ形成し、電極（Ｃ）と電極（Ｃ
ｘ＋）（Ｃｘ−）（Ｃｙ＋）（Ｃｙ−）の間には、ギャ
ップ（Ｇ）が形成されていることを特徴とする静電容量
式センサー。1. An input shaft (3) in a cylindrical container (1),
The cylindrical housing (1) is accommodated so as to be movable along the axial direction, and the inner circumferential surface (1b) of the cylindrical housing (1) or the outer circumferential surface (3b) of the input shaft (3) is formed. The electrode (C) is on one side and the electrode (Cx +) (Cx −) (Cy +) is on the other side.
(Cy-) are formed respectively, and the electrode (C) and the electrode (C
A capacitance type sensor having a gap (G) formed between (x +) (Cx −) (Cy +) (Cy−).
したときには、入力軸（２）を丸棒としたことを特徴と
する請求項１記載の静電容量式センサー。2. The capacitance-type sensor according to claim 1, wherein when the housing portion of the tubular housing body (1) is a cylinder, the input shaft (2) is a round bar.
したときには、入力軸（２）を角棒としたことを特徴と
する請求項１記載の静電容量式センサー。3. The capacitance-type sensor according to claim 1, wherein the input shaft (2) is a square bar when the housing portion of the cylindrical housing (1) is a square tube.
弾性復帰体とした支持体（４）により筒状収容体（１）
の下面（１ｃ）に支持したことを特徴とする請求項１記
載の静電容量式センサー。4. A lower end (3c) of the input shaft (3)
Tubular container (1) with support (4) as elastic return body
2. A capacitance type sensor according to claim 1, wherein said capacitance type sensor is supported on a lower surface of said first member.
介在させたことを特徴とする請求項１記載の静電容量式
センサー。5. The capacitive sensor according to claim 1, wherein an elastic member is interposed in the gap.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP19262993A JP3235001B2 (en) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | Capacitive sensor |
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| JP19262993A JP3235001B2 (en) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | Capacitive sensor |
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| JPH0749205A JPH0749205A (en) | 1995-02-21 |
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