JP3275120B2 - Capacitive force sensor - Google Patents

Capacitive force sensor

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JP3275120B2
JP3275120B2 JP06960994A JP6960994A JP3275120B2 JP 3275120 B2 JP3275120 B2 JP 3275120B2 JP 06960994 A JP06960994 A JP 06960994A JP 6960994 A JP6960994 A JP 6960994A JP 3275120 B2 JP3275120 B2 JP 3275120B2
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force sensor
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森本  英夫
和義 安藤
順道 中津川
和廣 岡田
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明はセンサー、特に、静電
容量式力センサーに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sensor, and more particularly to a capacitive force sensor.

【0002】[0002]

【従来の技術】静電容量式力センサーとしては、例え
ば、図5に示すようなものがある。
2. Description of the Related Art As a capacitance type force sensor, for example, there is one as shown in FIG.

【0003】このセンサーは、同図に示すように、中央
部にダイヤフラム部90を有し且つ前記ダイヤフラム部
90の中央に操作軸91を有した起歪体9aと、前記起
歪体9aに取付けられた基体9bとを具備し、前記起歪
体9aと基体9b相互間に空室Kを形成させると共にそ
の空室K内において、起歪体9a側に図6に示す電極部
Cが、基体9b側に図7に示す電極部Cx+,Cx−,
Cy+,Cy−がそれぞれ取付けられた構成としてあ
る。尚、前記基体9bの下面側には電子装置92を取付
けてあり、またこの電子装置92の周りを包囲するよう
にして環状板9cを配置させてある。
As shown in FIG. 1, this sensor has a diaphragm body 90a having a diaphragm portion 90 at the center and an operation shaft 91 at the center of the diaphragm portion 90, and is attached to the strain body 9a. A substrate K is provided between the strain generating body 9a and the substrate 9b. In the chamber K, the electrode portion C shown in FIG. On the 9b side, the electrode portions Cx +, Cx-,
The configuration is such that Cy + and Cy− are respectively attached. An electronic device 92 is mounted on the lower surface of the base 9b, and an annular plate 9c is arranged so as to surround the electronic device 92.

【0004】上記した電子装置92は、電極板1,2相
互間のギャップGの変化に伴う電極部Cと電極部Cx
+相互間,電極部Cと電極部Cx−相互間,電極部
Cと電極部Cy+相互間,電極部Cと電極部Cy−相
互間における静電容量の変化を例えば電圧の変化に変換
するものとしてある。
The above-described electronic device 92 includes an electrode portion C and an electrode portion Cx with a change in a gap G between the electrode plates 1 and 2.
+ For converting a change in capacitance between the electrodes C and Cx-, between the electrodes C and Cy +, and between the electrodes C and Cy- to a change in voltage, for example. There is.

【0005】この静電容量式力センサーは上記の如く構
成であるから、操作軸91に作用する大きさ及び方向を
それに対応する正負の電圧値に変換でき、この機能を利
用すれば、技術的にはディスプレイに表示されるカーソ
ルの操作部(所謂ジョイスティック)として使用でき
る。
Since the capacitance type force sensor is configured as described above, the magnitude and direction acting on the operation shaft 91 can be converted into corresponding positive / negative voltage values. Can be used as a cursor operation unit (a so-called joystick) displayed on a display.

【0006】しかしながら、このセンサーは、操作軸9
1に力を加えてダイヤフラム部90を変形させる形式の
ものであることから操作軸91の傾倒量が非常に小さ
く、カーソル操作部として使用した場合にはあまり操作
感がないという問題があった。
[0006] However, this sensor has an operation shaft 9
Since the diaphragm unit 90 is deformed by applying a force to 1, the tilt amount of the operation shaft 91 is very small, and there is a problem that the operation shaft 91 does not have much operational feeling when used as a cursor operation unit.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、ディスプレイに表示されるカーソルの操作部として
使用する場合に、優れた操作感を有する静電容量式力セ
ンサーを提供することを課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a capacitive force sensor having an excellent operability when used as a cursor operation unit displayed on a display. .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明の静電容量式力
センサーは、孔10を有する上基板1と、前記孔10よ
りも小径の操作軸3を上面に配設してある下基板2とを
具備しており、前記操作軸3を孔10から貫通突出させ
ると共にバネBにより上方に付勢し、前記上・下基板
1,2の対向する面のうち、一方側に電極部Cを、他方
側に電極部Cx+,Cx−,Cy+,Cy−を、設ける
と共に前記電極部Cと電極部Cx+,Cx−,Cy+,
Cy−との間に小隙間を形成させてあり、操作軸3の中
心軸線上における下基板2の下方に、小隙間を設けて上
方に突出する膨らみ部52aを設けてある。
The capacitive force sensor according to the present invention comprises an upper substrate 1 having a hole 10 and a lower substrate 2 having an operation shaft 3 smaller in diameter than the hole 10 disposed on the upper surface. The operating shaft 3 is made to penetrate and protrude from the hole 10 and is urged upward by a spring B, so that the electrode portion C is formed on one of the opposing surfaces of the upper and lower substrates 1 and 2. And electrode portions Cx +, Cx-, Cy +, Cy- on the other side, and the electrode portion C and the electrode portions Cx +, Cx-, Cy +,
A small gap is formed between the operating shaft 3 and Cy-, and a bulging portion 52a is provided below the lower substrate 2 on the center axis of the operation shaft 3 so as to provide a small gap and protrude upward.

【0009】この発明の静電容量式力センサーは、孔1
0を有する上基板1と、前記孔10よりも小径の操作軸
3を上面に配設してある下基板2とを具備しており、前
記操作軸3を孔10から貫通突出させると共にバネBに
より上方に付勢し、前記上・下基板1,2のうち一方側
を電極部Cとして機能する金属で構成すると共に他方側
に電極部Cx+,Cx−,Cy+,Cy−を設け、前記
電極部Cと電極部Cx+,Cx−,Cy+,Cy−との
間に小隙間を形成させてあり、操作軸3の中心軸線上に
おける下基板2の下方に、小隙間を設けて上方に突出す
る膨らみ部(52a)を設けてある。
The capacitance type force sensor of the present invention has a hole 1
0, and a lower substrate 2 having an operation shaft 3 having a diameter smaller than that of the hole 10 disposed on the upper surface thereof. , And one of the upper and lower substrates 1 and 2 is made of a metal functioning as an electrode portion C, and the other side is provided with electrode portions Cx +, Cx−, Cy + and Cy−. A small gap is formed between the portion C and the electrode portions Cx +, Cx−, Cy +, Cy−, and a small gap is provided below the lower substrate 2 on the center axis of the operation shaft 3 to protrude upward. A bulge (52a) is provided.

【0010】なお、上記静電容量式力センサーに関し、
膨らみ部52aは、断面R状であることが好ましい。
Incidentally, regarding the above-mentioned capacitance type force sensor,
The bulging portion 52a preferably has an R-shaped cross section.

【0011】[0011]

【作用】この発明は次のように作用する。The present invention operates as follows.

【0012】上基板1の孔10から突出している操作軸
3を傾倒力を加えると、前記操作軸3はバネBの付勢力
に抗して傾倒することになり、このため従来の技術の欄
に記載したダイヤフラム部を変形させるセンサーと比較
すると、その傾倒量は大きなものとなる。また、バネB
の強さ(バネ係数)を変えることで力の検出感度を容易
に変えることができる。
When a tilting force is applied to the operation shaft 3 protruding from the hole 10 of the upper substrate 1, the operation shaft 3 tilts against the urging force of the spring B. In comparison with the sensor for deforming the diaphragm described in (1), the amount of tilt is large. Also, spring B
By changing the strength (spring coefficient), the force detection sensitivity can be easily changed.

【0013】なお、この発明のセンサーでは、操作軸3
の上記傾倒に伴い上基板1に対して下基板2が姿勢変化
し、これら相互に形成された電極部Cと電極部Cx+,
Cx−,Cy+,Cy−は部分的に接近・離反すること
になり、従来の技術の欄に記載したセンサーと同様にデ
ィスプレイに表示されるカーソルの操作部として使用で
きる。
In the sensor of the present invention, the operation shaft 3
The posture of the lower substrate 2 changes with respect to the upper substrate 1 due to the above inclination, and the electrode portion C and the electrode portions Cx +,
Cx−, Cy +, and Cy− partially approach and move away from each other, and can be used as an operation unit of a cursor displayed on a display similarly to the sensors described in the related art section.

【0014】[0014]

【実施例】この発明の構成を実施例として示した図面に
従って説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The configuration of the present invention will be described with reference to the drawings shown as embodiments.

【0015】この実施例は、この発明の静電容量式力セ
ンサーをキーボードに施してカーソル操作部を構成させ
たものであり、図1に示すように、キーベース板50に
形成した開口部51からセンサーの下基板2をアルミ板
52と対向させるべく挿入し、この状態でセンサーの上
基板1を前記キーベース板50にビス止めするようにし
てセンサー全体をキーボードに取付けている。
In this embodiment, a cursor operation section is formed by applying the capacitance type force sensor of the present invention to a keyboard. As shown in FIG. 1, an opening 51 formed in a key base plate 50 is provided. Then, the lower substrate 2 of the sensor is inserted so as to face the aluminum plate 52, and in this state, the upper substrate 1 of the sensor is screwed to the key base plate 50, and the entire sensor is attached to the keyboard.

【0016】上記静電容量式力センサーは、図1に示す
ように基本的には、上基板1と、これの下方に位置する
下基板2と、前記下基板2の上面に形成された操作軸3
と、前記上基板1に取付けられた電子装置4とから構成
されている。
As shown in FIG. 1, the capacitance type force sensor basically includes an upper substrate 1, a lower substrate 2 located below the upper substrate 1, and an operation formed on the upper surface of the lower substrate 2. Axis 3
And an electronic device 4 attached to the upper substrate 1.

【0017】上基板1は、図1や図2に示すように、P
CB(Print Circuit Board )製の板材で構成された略
T字状のもので、後述する軸主体30が遊挿できる大き
さの孔10を形成してあると共に、その下面には電子装
置4を配置させてある。また、この上基板1における下
基板2との対向面には、図3や図4に示すような形状の
電極部Cx+,Cx−,Cy+,Cy−を設けてあると
共にこの電極部Cx+,Cx−,Cy+,Cy−の配設
域と孔20との間に前記電極部よりも厚い円環状のスペ
ーサ11を配設してあり、操作軸3に外力が作用してい
ない状態において、電極部Cx+,Cx−,Cy+,C
y−と下基板2とが接触しないようにしてある。尚、こ
の実施例では前記電極部Cx+,Cx−,Cy+,Cy
−に電圧を加えるようにしてあり、図4に示すように結
線ともどもエッチング又はスクリーン印刷により形成し
てある。
As shown in FIG. 1 and FIG.
It is a substantially T-shaped plate made of a plate material made of CB (Print Circuit Board), and has a hole 10 large enough to allow a shaft main body 30 to be described later to be loosely inserted. It is arranged. On the surface of the upper substrate 1 facing the lower substrate 2, there are provided electrode portions Cx +, Cx-, Cy +, Cy- having the shapes as shown in FIGS. An annular spacer 11 thicker than the electrode portion is provided between the-, Cy +, and Cy- placement regions and the hole 20. When no external force is applied to the operation shaft 3, the electrode portion is Cx +, Cx-, Cy +, C
The y- and the lower substrate 2 do not come into contact with each other. In this embodiment, the electrode portions Cx +, Cx−, Cy +, Cy
A negative voltage is applied, and as shown in FIG. 4, both the connection and the connection are formed by etching or screen printing.

【0018】下基板2は、図1や図3に示すように、導
電性を有する金属製の円形板により構成されており、そ
の上面中央には操作軸3を構成する軸主体30(上部域
を雄ネジ部30aとしている)を突設してある。尚、こ
の下基板2には電極部は形成されていないが、この下基
板2自体が電極部として機能する。
As shown in FIGS. 1 and 3, the lower substrate 2 is made of a conductive metal circular plate, and has a shaft main body 30 (upper region) constituting the operation shaft 3 in the center of its upper surface. Are male screw portions 30a). Although no electrode portion is formed on the lower substrate 2, the lower substrate 2 itself functions as an electrode portion.

【0019】操作軸3は、図1や図2に示すように、上
記軸主体30と、中空部31aを有し且つ前記軸主体3
0の雄ネジ部30aに螺着される樹脂製の太軸31と、
前記軸主体30に外挿される態様で中空部31a内に配
設された金属製の座金32及び圧縮コイルバネ33とか
ら構成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the operating shaft 3 has the shaft main body 30 and a hollow portion 31a.
A thick shaft 31 made of resin screwed to the male screw portion 30a
It is composed of a metal washer 32 and a compression coil spring 33 which are disposed inside the hollow portion 31 a so as to be extrapolated to the shaft main body 30.

【0020】尚、上記圧縮コイルバネ33の下端部は上
基板1の上面に形成されたGND(接地)用電極12と
電気的接続状態となっており、下基板2は、GND用電
極12→圧縮コイルバネ33→座金32→軸主体30の
経路で接地状態ならしめてある。
The lower end of the compression coil spring 33 is electrically connected to the GND (ground) electrode 12 formed on the upper surface of the upper substrate 1, and the lower substrate 2 is connected to the GND electrode 12 → compression. The grounding state is established along the path of the coil spring 33 → the washer 32 → the shaft main body 30.

【0021】電子装置4は、電極部Cと電極部Cx+
相互間,電極部Cと電極部Cx−相互間,電極部C
と電極部Cy+相互間,電極部Cと電極部Cy−相互
間,における静電容量の変化をそれぞれ電圧Vx+,V
x−,Vy+,Vy−に変換するものとしてあり、X−
X方向の操作軸3の傾倒量が〔(Vx+)−(Vx
−)〕に、Y−Y方向の操作軸3の傾倒量が〔(Vy
+)−(Vy−)〕に、それぞれ変換されると共にこれ
ら電圧の大きさによりディスプレイに表示されたカーソ
ルの移動速度と方向が決定されるようにしてある。
The electronic device 4 includes an electrode portion C and an electrode portion Cx +
Between each other, between the electrode part C and the electrode part Cx-between, the electrode part C
The change in capacitance between the electrode part Cy + and the electrode part Cy +, and the change between the electrode part C and the electrode part Cy−,
x-, Vy +, Vy-, and X-
When the tilt amount of the operation shaft 3 in the X direction is [(Vx +)-(Vx
−)], The tilt amount of the operation shaft 3 in the YY direction is [(Vy
+)-(Vy-)], and the magnitude and magnitude of these voltages determine the moving speed and direction of the cursor displayed on the display.

【0022】また、上記アルミ板52には、図1や図2
に示すように、軸主体30の中心線上に上方に突出する
脹らみ部52aを形成してあり、この脹らみ部52aは
これの頂部と下基板2の下面相互間に小間隙が形成され
る高さに設定してある。
Also, the aluminum plate 52 has a structure shown in FIGS.
As shown in FIG. 7, an upwardly protruding bulge 52a is formed on the center line of the shaft main body 30, and a small gap is formed between the top of the bulge 52a and the lower surface of the lower substrate 2. It is set to the height that is set.

【0023】この実施例のカーソル操作部は上記構成と
してあるから、指で太軸31の上端を押さえると圧縮コ
イルバネ33の付勢力に抗して下基板2の下面が脹らみ
部52aと当接することとなり、この状態で操作軸3に
傾倒力を加えると、下基板2の姿勢が図1の状態から図
2の状態に変化する。したがって、作用の欄に記載した
如く、従来の技術の欄に記載したダイヤフラム部を変形
させるセンサーと比較してその傾倒量を大きなものとな
り、優れた操作感を有することとなる。
Since the cursor operating portion of this embodiment has the above-described structure, when the upper end of the thick shaft 31 is pressed by a finger, the lower surface of the lower substrate 2 comes into contact with the bulging portion 52a against the urging force of the compression coil spring 33. When the tilting force is applied to the operation shaft 3 in this state, the posture of the lower substrate 2 changes from the state of FIG. 1 to the state of FIG. Therefore, as described in the section of the operation, the amount of tilt is larger than that of the sensor for deforming the diaphragm section described in the section of the prior art, so that an excellent operational feeling is obtained.

【0024】尚、上記実施例では、下基板2を導電性を
有する金属で構成したが、これに限定されることなく、
下基板2を硬質合成樹脂で構成させるようにしてもよ
く、この場合には下基板2の上面に電極部Cを形成すれ
ばよい。
In the above embodiment, the lower substrate 2 is made of a conductive metal. However, the present invention is not limited to this.
The lower substrate 2 may be made of a hard synthetic resin. In this case, the electrode portion C may be formed on the upper surface of the lower substrate 2.

【0025】また、上記実施例にかえて、上基板1側に
電極部Cを形成し、下基板2側に電極部Cx+,Cx
−,Cy+,Cy−を形成するようにしてもよい。
Further, in place of the above embodiment, an electrode portion C is formed on the upper substrate 1 side, and the electrode portions Cx +, Cx
−, Cy +, Cy− may be formed.

【0026】そして、上記実施例の電極部の形成方法に
かえて、上・下基板1,2に金属板をインサートモール
ディングして電極部を形成してもよく、また、プリント
基板の製法により電極部を形成するようにしてもよい。
In place of the method of forming the electrode portion of the above-described embodiment, the electrode portion may be formed by insert molding a metal plate on the upper and lower substrates 1 and 2. Alternatively, the electrode portion may be formed by a printed board manufacturing method. A part may be formed.

【0027】他方、上記実施例の静電容量式力センサー
に関し、電極C又は電極部Cx+,Cx−,Cy+,C
y−のうち、少なくともどちらか一方に絶縁塗料を塗布
してあることが好ましい。
On the other hand, regarding the capacitance type force sensor of the above embodiment, the electrode C or the electrode portions Cx +, Cx−, Cy +, C
It is preferable that at least one of y- is coated with an insulating paint.

【0028】[0028]

【発明の効果】上記作用の欄に記載した内容から、ディ
スプレイに表示されるカーソルの操作部として使用する
場合に、優れた操作感を有する静電容量式力センサーを
提供できた。
According to the above description, a capacitance type force sensor having an excellent operational feeling when used as an operation section of a cursor displayed on a display can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施例の静電容量式力センサーをキ
ーボードに取付けた状態を示す断面図。
FIG. 1 is a sectional view showing a state in which a capacitance type force sensor according to an embodiment of the present invention is attached to a keyboard.

【図2】前記静電容量式力センサーの操作軸を傾倒させ
た状態を示す断面図。
FIG. 2 is a sectional view showing a state in which an operation axis of the capacitance type force sensor is tilted.

【図3】前記静電容量式力センサーを斜め下方から見た
分解斜視図。
FIG. 3 is an exploded perspective view of the capacitance type force sensor as viewed obliquely from below.

【図4】前記静電容量式力センサーの上基板に形成した
電極部を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing an electrode section formed on an upper substrate of the capacitance type force sensor.

【図5】先行技術の静電容量式力センサーの断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view of a prior art capacitive force sensor.

【図6】先行技術の静電容量式力センサーにおける起歪
体側の電極部の平面図。
FIG. 6 is a plan view of an electrode portion on a strain body in a capacitance type force sensor according to the related art.

【図7】先行技術の静電容量式力センサーにおける基体
側の電極部の平面図。
FIG. 7 is a plan view of a base-side electrode portion in a prior art capacitive force sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

B バネ C 電極部 Cx+ 電極部 Cx− 電極部 Cy+ 電極部 Cy− 電極部 1 上基板 2 下基板 3 操作軸 10 孔 B spring C electrode part Cx + electrode part Cx- electrode part Cy + electrode part Cy- electrode part 1 upper substrate 2 lower substrate 3 operation axis 10 hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中津川 順道 埼玉県上尾市菅谷4丁目73番地 株式会 社ワコー内 (72)発明者 岡田 和廣 埼玉県上尾市菅谷4丁目73番地 株式会 社ワコー内 (56)参考文献 特開 昭59−23420(JP,A) 特開 昭60−238907(JP,A) 特開 平4−277816(JP,A) 実開 昭60−50447(JP,U) 特表 平2−504079(JP,A) 米国特許4719538(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01L 5/16 G06F 3/033 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Jundo Nakatsugawa 4-73, Sugaya, Ageo City, Saitama Prefecture Wako Co., Ltd. (72) Inventor Kazuhiro Okada 4-73, Sugaya, Ageo City, Saitama Prefecture Wako Co., Ltd. (56) References JP-A-59-23420 (JP, A) JP-A-60-238907 (JP, A) JP-A-4-277816 (JP, A) JP-A-60-50447 (JP, U) Table Hei 2-504079 (JP, A) US Patent 4,791,538 (US, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01L 5/16 G06F 3/033

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 孔(10)を有する上基板(1)と、前
記孔(10)よりも小径の操作軸(3)を上面に配設し
てある下基板(2)とを具備しており、前記操作軸
(3)を孔(10)から貫通突出させると共にバネ
(B)により上方に付勢し、前記上・下基板(1)
(2)の対向する面のうち、一方側に電極部(C)を、
他方側に電極部(Cx+)(Cx−)(Cy+)(Cy
−)を、設けると共に前記電極部(C)と電極部(Cx
+)(Cx−)(Cy+)(Cy−)との間に小隙間を
形成させてあり、操作軸(3)の中心軸線上における下
基板(2)の下方に、小隙間を設けて上方に突出する膨
らみ部(52a)を設けてあることを特徴とする静電容
量式力センサー。
An upper substrate (1) having a hole (10), and a lower substrate (2) having an operation shaft (3) smaller in diameter than the hole (10) disposed on the upper surface. The operating shaft (3) is made to penetrate and protrude from the hole (10), and is urged upward by a spring (B).
The electrode part (C) is provided on one side of the opposing surfaces of (2),
On the other side, the electrode portion (Cx +) (Cx −) (Cy +) (Cy
-), And the electrode part (C) and the electrode part (Cx
+, (Cx-), (Cy +), and (Cy-), and a small gap is provided below the lower substrate (2) on the center axis of the operation shaft (3). A capacitive force sensor characterized in that a bulging portion (52a) protruding from the sensor is provided.
【請求項2】 孔(10)を有する上基板(1)と、前
記孔(10)よりも小径の操作軸(3)を上面に配設し
てある下基板(2)とを具備しており、前記操作軸
(3)を孔(10)から貫通突出させると共にバネ
(B)により上方に付勢し、前記上・下基板(1)
(2)のうちの一方側を電極部(C)として機能する金
属で構成すると共に他方側に電極部(Cx+)(Cx
−)(Cy+)(Cy−)を設け、前記電極部(C)と
電極部(Cx+)(Cx−)(Cy+)(Cy−)との
間に小隙間を形成させてあり、操作軸(3)の中心軸線
上における下基板(2)の下方に、小隙間を設けて上方
に突出する膨らみ部(52a)を設けてあることを特徴
とする静電容量式力センサー。
2. An upper substrate (1) having a hole (10), and a lower substrate (2) having an operation shaft (3) smaller in diameter than the hole (10) disposed on the upper surface. The operating shaft (3) is made to penetrate and protrude from the hole (10), and is urged upward by a spring (B).
One side of (2) is made of a metal that functions as an electrode section (C), and the other side has an electrode section (Cx +) (Cx
−) (Cy +) (Cy−), and a small gap is formed between the electrode part (C) and the electrode part (Cx +) (Cx −) (Cy +) (Cy−). A capacitance type force sensor characterized in that a bulging portion (52a) is provided below the lower substrate (2) on the center axis of (3) with a small gap provided and protruding upward.
【請求項3】 膨らみ部(52a)は、断面R状である
ことを特徴とする請求項1又は2記載の静電容量式力セ
ンサー。
3. The capacitive force sensor according to claim 1, wherein the bulging portion has an R-shaped cross section.
JP06960994A 1994-04-07 1994-04-07 Capacitive force sensor Expired - Fee Related JP3275120B2 (en)

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