JP3232269U - 吸液システム - Google Patents

Abstract

【課題】貯液タンクを載置面上の特定位置に移動させることを補助し、省人化を達成し、作業性を向上させる吸液システムを提供する【解決手段】吸液システム１は、ベース１１０と、少なくとも１つの動力補助部材１２０と、複数の把持部材１３０と、クランプ１４０とを備える。ベース１１０は、載置面１１２及び旋回軸Ｘを有する。旋回軸Ｘは、載置面１１２に対して垂直である。ベース１１０は、旋回軸Ｘで旋回可能である。動力補助部材１２０は、載置面１１２上に配設される。把持部材１３０は、ベース１１０に移動可能に連結されるとともに、ベース１１０に対称的に設けられる。クランプ１４０は、載置面１１２に対向して配置される。ベース１１０及びクランプ１４０は、収容空間Ｓを画成する。収容空間Ｓには、貯液タンクが収容される。【選択図】図２

Description

本考案は、吸液システムに関し、特に、貯液タンクを載置面上の特定位置に移動させることを補助する吸液システムに関する。

半導体及び精密電子産業の製造工程では、平坦化製造工程又は関連製造装置を清浄するために研磨液、清浄剤などの薬液を使う場合が多かった。これらの薬液は、使用した後、薬液タンクに一時的に貯蔵され、容量が一定量になったときに吸液方式又は手作業により取り除かれていた。しかし残留薬液で満タンになった貯液タンクは非常に重く、手作業により貯液タンクを吸液専用の載置プラットフォームまで移動させることは非常に大変であった。また、市販されているほとんどの載置プラットフォームは固定型であり、貯液タンクのタンク蓋及び貯液用のクランプの相対位置がずれた場合、貯液タンクをクランプで吸液できる位置まで移動できるように、手作業によりずれを修正しなければならなかったため、作業をする上で不便であった。

そこで、本考案者は、上記課題を解決するための鋭意検討を重ねた結果、かかる知見に基づいて、本考案に想到するに至った。
本考案の課題は、貯液タンクを載置面上の特定位置に移動させることを補助し、省人化を達成し、作業性を向上させる吸液システムを提供することである。

上記課題を解決するために、本考案の第１の形態によれば、ベースと、少なくとも１つの動力補助部材と、複数の把持部材と、クランプと、を備えた吸液システムであって、前記ベースは、載置面及び旋回軸を有し、前記旋回軸は、前記載置面に対して垂直であり、前記ベースは、前記旋回軸で旋回可能であり、前記動力補助部材は、前記載置面上に配設され、前記把持部材は、前記ベースに移動可能に連結されるとともに、前記ベースに対称的に設けられ、前記クランプは、前記載置面に対向して配置され、前記ベース及び前記クランプは、収容空間を画成し、前記収容空間には、貯液タンクが収容されることを特徴とする、吸液システムを提供する。

複数のリードスクリューをさらに備え、前記リードスクリューは、前記ベースの径方向に沿って配置され、前記旋回軸は、前記複数の把持部材の中心を通り、前記把持部材は、中央部及び複数の端部をそれぞれ有し、前記リードスクリューは、前記ベース及び前記把持部材の前記中央部にそれぞれ接続され、前記中央部から中心までの距離は、前記端部から中心までの距離より小さく、各前記端部上には、転動部材が配設され、各前記転動部材は、前記載置面に対して高度差を有することが好ましい。

前記動力補助部材は、単方向ローラ、全方向ローラ、転動体又はキャタピラであることが好ましい。

位置規制部材をさらに備え、前記位置規制部材は、前記ベース及び前記クランプにそれぞれ接続されるとともに、前記貯液タンクに対応した形状を有することが好ましい。

上記課題を解決するために、本考案の第２の形態によれば、ベースと、少なくとも１つの動力補助部材と、複数の把持部材と、を備えた吸液システムであって、前記ベースは、載置面及び旋回軸を有し、前記旋回軸は、前記載置面に対して垂直であり、前記ベースは、前記旋回軸で旋回可能であり、前記動力補助部材は、前記載置面上に配設され、前記把持部材は、前記ベースに移動可能に連結されるとともに、前記ベースに対称的に設けられることを特徴とする、吸液システムを提供する。

傾斜機構をさらに備え、前記傾斜機構は、地面に枢着されるとともに、ベースを有することが好ましい。

前記傾斜機構の一端上には、接続部が設けられ、前記ベースは、前記傾斜機構の前記接続部から遠い他端の一部上に配設され、前記一端が地面に接触されると、前記ベース及び前記傾斜機構と、地面との間に角度が形成されることが好ましい。

複数のリードスクリューをさらに備え、前記リードスクリューは、前記ベースの径方向に沿って配置され、前記旋回軸は、前記把持部材の中心を通り、前記把持部材は、中央部及び複数の端部をそれぞれ有し、前記リードスクリューは、前記ベース及び前記把持部材の前記中央部に接続され、前記中央部から中心までの距離は、端部から中心までの距離より小さく、前記端部上には、転動部材が配設され、前記転動部材は、前記載置面に対してそれぞれ高度差を有することが好ましい。

前記載置面には、貯液タンクが載置され、前記ベースは、センサユニットを有し、前記載置面に前記貯液タンクが載置されると、前記センサユニットは、物理的変形又は電子信号を発生させることが好ましい。

位置規制部材をさらに備え、前記位置規制部材は、前記ベースに接続され、前記載置面には、貯液タンクが載置され、前記位置規制部材は、前記貯液タンクに対応した形状を有することが好ましい。

本考案の吸液システムは、載置面上の動力補助部材により、貯液タンクを載置面上に移動させることを補助することができる上、ベースが旋回軸で旋回できるため、使用者が様々な方向に移動しなくても、旋回可能なベースにより、貯液タンクを特定位置に移動させることができ、省人化を達成し、作業性を向上させることができる。

本考案の吸液システムの一実施形態と貯液タンクとの協働作用を示す分解斜視図である。 図１の吸液システムを示す斜視図である。 図２の吸液システムの下方部材を示す斜視図である。 図３の下方部材を示す正面図である。 図３の下方部材の把持部材がベースに対して展開された状態を示す上面図である。 図５の把持部材をベースに対して収納し、ベースを一方向で回転させたときの状態を示す上面図である。 本考案の吸液システムの他の実施形態の下方部材の把持部材がベースに対して展開された状態を示す上面図である。 図７の把持部材をベースに対して収納し、ベースを一方向で回転させたときの状態を示す上面図である。 本考案の吸液システムの他の実施形態の下方部材の把持部材がベースに対して展開された状態を示す上面図である。 図９の把持部材をベースに対して収納し、ベースを一方向で回転させたときの状態を示す上面図である。 図３の下方部材を示す側面図である。 図１１の下方部材に貯液タンクを載置して所定角度で傾けた状態の説明図である。

以下、本考案の目的、特徴及び効果をより分かりやすくするために、具体的な実施形態について図に基づいて詳しく説明する。

図１及び図２を参照する。図１は、本考案の吸液システムの一実施形態と貯液タンクとの協働作用を示す分解斜視図である。図２は、図１の吸液システムを示す斜視図である。本考案の一実施形態に係る吸液システム１は、ベース１１０と、少なくとも１つの動力補助部材１２０と、複数の把持部材１３０と、から構成されてなる。ベース１１０は、載置面１１２及び旋回軸Ｘを有する。旋回軸Ｘは、載置面１１２に対して垂直である。ベース１１０は、旋回軸Ｘで旋回可能である。動力補助部材１２０は、載置面１１２上に配設される。把持部材１３０は、ベース１１０に移動可能に連結されるとともに、ベース１１０に対称的に設けられる。吸液システム１は、クランプ１４０を有することが好ましい。クランプ１４０は、載置面１１２に対向して配置される。ベース１１０及びクランプ１４０は、収容空間Ｓを画成する。収容空間Ｓには、貯液タンク２が収容可能である。

さらに詳細には、本実施形態のベース１１０は、旋回軸Ｘに対して時計回り又は反時計回りに自由に回転可能な旋回テーブルであり、載置面１１２は、貯液タンク２を載置するのに適している。好適には、本実施形態の吸液システム１は、位置規制部材１５０をさらに備える。位置規制部材１５０は、ベース１１０及びクランプ１４０に接続され、ベース１１０とクランプ１４０との間の接続部材として用いられる。本実施形態の位置規制部材１５０は、弧面状当て板であり、貯液タンク２に対応した形状を有し、ベース１１０が位置規制部材１５０の底部に枢着されているため、貯液タンク２が載置面１１２に押圧され、不用意に貯液タンク２の位置がずれても、位置規制部材１５０により貯液タンク２の位置が拘束されるため、貯液タンク２がベース１１０上から滑落することを防ぐ。

以下、本実施形態の吸液システム１が、使用者により貯液タンク２を如何にベース１１０上に移動させるかを詳細に説明する。図３及び図４を参照する。図３は、図２の吸液システムの下方部材を示す斜視図である。図４は、図３の下方部材を示す正面図である。上述したように、載置面１１２上には、少なくとも１つの動力補助部材１２０が配設される。本実施形態の動力補助部材１２０は、一方向のローラであり、数は１０個である。使用者がベース１１０の縁部から貯液タンク２の一部を載置面１１２に寄りかからせるとき、動力補助部材１２０の転動により、貯液タンク２を載置面１１２上の特定位置（例えば、真ん中）までスムーズに摺動させることができる。また、ベース１１０が旋回軸Ｘで自由に旋回可能であるため、使用者が如何なる方向から貯液タンク２をベース１１０上へ移動させたとしても、移動前又は移動中に旋回しているベース１１０は、正確な転動方向の動力補助部材１２０の補助を得て、スムーズに搬送させることができる。

本実施形態のベース１１０は、残留薬液が収容された貯液タンク２の重量を検知し、載置面１１２の中央に配置されたセンサユニット１１４を有する。センサユニット１１４は、一般のばねばかりでもよいし、デジタル信号又は電子信号を発生させる荷重計、歪みゲージ又は圧電部材でもよい。載置面１１２に貯液タンク２を載置させるとき、センサユニット１１４は、物理的変形又は電子信号を発生させ、吸液システム１又は使用者に貯液タンク２の現在の重量を知らせ、吸液を行うか、貯液タンク２を取り外すなどの工程を行う。しかし、他の実施形態では、ベース１１０はセンサユニット１１４を含まなくてもよく、配置する位置及び数も、貯液タンク２の外観など、実際の必要に応じて変えてもよいが、勿論、本考案はこれだけに限定されない。

また、貯液タンク２の載置過程において、ベース１１０が旋回するか、その他の要素によりベース１１０から落下することを防ぐために、ベース１１０の周囲に把持部材１３０を対称的に配置し、貯液タンク２を把持する。さらに詳細には、本実施形態の吸液システム１は、複数のリードスクリュー１６０をさらに備える。リードスクリュー１６０は、把持部材１３０と同じ数である上、ベース１１０の径方向に沿って配置される。さらに言えば、各把持部材１３０は、各中央部１３２及び複数の端部１３４を含む。これら複数の端部１３４は、対応した中央部１３２を介して互いに接続されるとともに、リードスクリュー１６０がベース１１０及びこれら複数の把持部材１３０の各中央部１３２に接続される。図４に示すように、旋回軸Ｘは、複数の把持部材１３０の中心Ｃを通り、リードスクリュー１６０上に螺着された把持部材１３０は、旋回軸Ｘを中心として、離れるか近づいて移動する。

さらに、各端部１３４上には、転動部材１３６が配設されてもよい。転動部材１３６は、例えばローラ又はスリーブであり、載置面１１２に対して高度差Ｈを有し、対応した端部１３４に枢着され、貯液タンク２のタンク本体に当接されて把持される。さらに詳細には、図４に示すように、各中央部１３２から中心Ｃまでの距離は、各端部１３４から中心Ｃまでの距離より小さい。リードスクリュー１６０が旋回するとき、リードスクリュー１６０に接続された中央部１３２が、ベース１１０の底側内部に先ず進入し、ベース１１０の外部の端部１３４上に配設された転動部材１３６が径方向で内側に後退し、貯液タンク２のタンク本体に当接される。

以下、把持部材１３０により貯液タンク２を把持する過程について詳細に説明する。図５及び図６を参照する。図５は、図３の下方部材の把持部材がベースに対して展開された状態を示す上面図である。図６は、図５の把持部材をベースに対して収納し、ベースを一方向で回転させたときの状態を示す上面図である。

貯液タンク２を移動させる際、先ず、貯液タンク２の一部を載置面１１２上に寄りかからせると、把持部材１３０がベース１１０に対して図５に示すような展開された状態となり、使用者は、リードスクリュー１６０を回して貯液タンク２が寄りかかる側の把持部材１３０に近づけ、転動部材１３６を貯液タンク２上に当接させて一時的に把持し、貯液タンク２が上述した動力補助部材１２０及びベース１１０の旋回により所定の位置まで移動されると、全ての把持部材１３０の転動部材１３６が貯液タンク２のタンク本体に当接されるまで後退して図６に示すような状態となり、貯液タンク２がベース１１０の各方向で転動部材１３６により確実に把持され、外力又はその他の要素によりベース１１０から外れて落下してしまうことを防ぎ、転動部材１３６が貯液タンク２のタンク本体の曲線に沿って転動するため、要素が軟質タンク本体に接触されたときの圧力によりタンク本体が変形することを防ぐことができる。また、載置された貯液タンク２のサイズ規格が異なる場合、把持部材１３０が後退し、貯液タンク２の中心が所定位置まで移動されるため、様々な規格及びサイズの貯液タンク２に対応させることができる。

図７〜図１０を参照する。図７は、本考案の吸液システムの他の実施形態の下方部材の把持部材がベースに対して展開された状態を示す上面図である。図８は、図７の把持部材をベースに対して収納し、ベースを一方向で回転させたときの状態を示す上面図である。図９は、本考案の吸液システムの他の実施形態の下方部材の把持部材がベースに対して展開された状態を示す上面図である。図１０は、図９の把持部材をベースに対して収納し、ベースを一方向で回転させたときの状態を示す上面図である。上述した単方向ローラの他の実施形態の動力補助部材１２０には、例えば、キャタピラ補助移動の動力補助部材１２０ａを利用するか（図７及び図８を参照する）、全方向ローラ補助移動の動力補助部材１２０ｂを利用するか（図９及び図１０を参照する）、長尺状転動体（ｒｏｌｌｉｎｇ ｅｌｅｍｅｎｔ）が載置面１１２上に設置された動力補助部材を利用してもよいし（図示せず）、上述したタイプの動力補助部材を組み合わせて使用してもよいが、勿論、本考案はこれだけに限定されない。

図１１及び図１２を参照する。図１１は、図３の下方部材を示す側面図である。図１２は、図１１の下方部材に貯液タンクを載置して所定角度で傾けた状態の説明図である。吸液システム１上方のクランプ１４０によりタンク蓋を把持し、貯液タンク２から一定程度吸液すると、タンク内の残余液体が減少し、貯液タンク２内の吸取り装置では吸取ることが困難なことがあった。この問題を解決するために、本実施形態の吸液システム１は、地面に枢着された傾斜機構１７０をさらに備えてもよい。この傾斜機構１７０上には、ベース１１０が配設されてもよい。

さらに詳細には、図１１に示すように、傾斜機構１７０の一端上には、傾斜機構１７０を押下げる支持杆（図示せず）に接続される接続部１７２が設けられてもよい。ベース１１０は、傾斜機構１７０の接続部１７２から遠い他端の一部上に配設される。吸液する際、吸液システム１又は使用者は、例えば、貯液タンク２内の残留薬液が一定割合より少なくなったことが上述したセンサユニット１１４により検知され、使用者が接続部１７２に接続された支持杆を押下げると、傾斜機構１７０が枢軸を中心に旋回し、接続部１７２の一端が下方へ変位して地面に接触される。接続部１７２の一端が地面に接触されると、ベース１１０、傾斜機構１７０及びベース１１０上に載置された貯液タンク２の底面と、地面とのなす角度θにより、貯液タンク２内の残留液体が貯液タンク２底部の一箇所に集中されるため、吸液システム１により残留液体を容易かつ完全に吸取ることができる。実際の試験結果から分かったように、角度θが５〜１０度の範囲内である場合、吸液システム１により残留液体を効果的に全て吸取ることができるため、傾斜角度が大きくなりすぎてタンク本体がひっくり返ってしまうことを防ぐことができる。

当該分野の当業者にとって理解できるように、本考案の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本考案を限定するものではない。本考案の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本考案の実用新案登録請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。

１ 吸液システム
２ 貯液タンク
１１０ ベース
１１２ 載置面
１１４ センサユニット
１２０ 動力補助部材
１２０ａ 動力補助部材
１２０ｂ 動力補助部材
１３０ 把持部材
１３２ 中央部
１３４ 端部
１３６ 転動部材
１４０ クランプ
１５０ 位置規制部材
１６０ リードスクリュー
１７０ 傾斜機構
１７２ 接続部
Ｃ 中心
Ｈ 高度差
Ｓ 収容空間
Ｘ 旋回軸
θ 角度

Claims (10)

1. ベースと、少なくとも１つの動力補助部材と、複数の把持部材と、クランプと、を備えた吸液システムであって、
   前記ベースは、載置面及び旋回軸を有し、前記旋回軸は、前記載置面に対して垂直であり、前記ベースは、前記旋回軸で旋回可能であり、
   前記動力補助部材は、前記載置面上に配設され、
   前記把持部材は、前記ベースに移動可能に連結されるとともに、前記ベースに対称的に設けられ、
   前記クランプは、前記載置面に対向して配置され、前記ベース及び前記クランプは、収容空間を画成し、前記収容空間には、貯液タンクが収容されることを特徴とする、吸液システム。
2. 複数のリードスクリューをさらに備え、
   前記リードスクリューは、前記ベースの径方向に沿って配置され、
   前記旋回軸は、前記複数の把持部材の中心を通り、
   前記把持部材は、中央部及び複数の端部をそれぞれ有し、
   前記リードスクリューは、前記ベース及び前記把持部材の前記中央部にそれぞれ接続され、
   前記中央部から中心までの距離は、前記端部から中心までの距離より小さく、各前記端部上には、転動部材が配設され、各前記転動部材は、前記載置面に対して高度差を有することを特徴とする請求項１に記載の吸液システム。
3. 前記動力補助部材は、単方向ローラ、全方向ローラ、転動体又はキャタピラであることを特徴とする請求項１に記載の吸液システム。
4. 位置規制部材をさらに備え、
   前記位置規制部材は、前記ベース及び前記クランプにそれぞれ接続されるとともに、前記貯液タンクに対応した形状を有することを特徴とする請求項１に記載の吸液システム。
5. ベースと、少なくとも１つの動力補助部材と、複数の把持部材と、を備えた吸液システムであって、
   前記ベースは、載置面及び旋回軸を有し、前記旋回軸は、前記載置面に対して垂直であり、前記ベースは、前記旋回軸で旋回可能であり、
   前記動力補助部材は、前記載置面上に配設され、
   前記把持部材は、前記ベースに移動可能に連結されるとともに、前記ベースに対称的に設けられることを特徴とする、吸液システム。
6. 傾斜機構をさらに備え、
   前記傾斜機構は、地面に枢着されるとともに、ベースを有することを特徴とする請求項５に記載の吸液システム。
7. 前記傾斜機構の一端上には、接続部が設けられ、
   前記ベースは、前記傾斜機構の前記接続部から遠い他端の一部上に配設され、前記一端が地面に接触されると、前記ベース及び前記傾斜機構と、地面との間に角度が形成されることを特徴とする請求項６に記載の吸液システム。
8. 複数のリードスクリューをさらに備え、
   前記リードスクリューは、前記ベースの径方向に沿って配置され、
   前記旋回軸は、前記把持部材の中心を通り、
   前記把持部材は、中央部及び複数の端部をそれぞれ有し、
   前記リードスクリューは、前記ベース及び前記把持部材の前記中央部に接続され、
   前記中央部から中心までの距離は、端部から中心までの距離より小さく、前記端部上には、転動部材が配設され、前記転動部材は、前記載置面に対してそれぞれ高度差を有することを特徴とする請求項５に記載の吸液システム。
9. 前記載置面には、貯液タンクが載置され、
   前記ベースは、センサユニットを有し、
   前記載置面に前記貯液タンクが載置されると、前記センサユニットは、物理的変形又は電子信号を発生させることを特徴とする請求項５に記載の吸液システム。
10. 位置規制部材をさらに備え、
    前記位置規制部材は、前記ベースに接続され、
    前記載置面には、貯液タンクが載置され、
    前記位置規制部材は、前記貯液タンクに対応した形状を有することを特徴とする請求項５に記載の吸液システム。

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