JP3228117U - 顕微鏡用検査治具、それを備えた顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】三次元構造を有する検査対象物の顕微鏡検査に適用できる顕微鏡用検査治具と、それを備えた顕微鏡装置を提供する。【解決手段】検査治具は作動モジュール10と動力源20を含む。作動モジュールは、アクチュエータ101とキャリア102を含む。アクチュエータは、検査対象物の表面に接触し、回転対象物を検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転させるように駆動する。キャリアはアクチュエータを載せる。動力源はアクチュエータと相互接続され、アクチュエータを回転駆動する。【選択図】図1
Description
本考案は、顕微鏡用検査治具に関し、特に、三次元構造を有する検査対象物を検査するために適用できる検査治具、およびそれを備えた顕微鏡装置および検査方法に関する。
一般に、光学顕微鏡または電子顕微鏡の検査プロセスでは、光ビームまたは荷電粒子ビームを検査対象物に透過させて検査するために、検査試料を薄片にスライスするように切断または研削などの方法がしばしば使用される。しかし、科学技術の発展と製造プロセスの進化に伴って、検査対象物の種類と検査の目的はより広範囲になり、たとえば、部品完成品の全体構造、または超高精度セラミックの詳細な構造を含むことがある。この場合、検査試料を薄片にスライスすれば、試料に損害や損傷が生じることは避けられない。また、検査対象物が三次元構造を持っているため、検査のターゲットは二次元平面に限定されない。そのため、三次元構造の検査に適した顕微鏡用検査治具を開発する必要がある。
ここでは、顕微鏡により三次元構造を有する検査対象物が検査されるように検査対象物を固定および回転させる検査治具が提供される。
本考案の実施形態に係る検査治具は、作動モジュールと動力源を含む。作動モジュールは、アクチュエータとキャリアを含む。アクチュエータは、検査対象物の表面に接触し、回転対象物を検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転させるように駆動する。キャリアはアクチュエータを載せる。動力源はアクチュエータと相互接続され、アクチュエータを回転駆動する。本考案に係る検査治具は、三次元構造を有する検査対象物の顕微鏡検査に適用できる。
好ましくは、アクチュエータは、検査対象物の外面に接触して前記検査対象物を乗せ、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する第1のローラ素子と、検査対象物の表面に当接して前記検査対象物を支持するキャリアと、を含んでもよい。
好ましくは、アクチュエータは、それぞれ検査対象物の下に配置され、前記検査対象物の外面に接触し、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する一対の第2ローラ素子を含んでもよい。
好ましくは、アクチュエータは、検査対象物の周りに巻かれて前記検査対象物の外面に接触し、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動するテープを含む。
好ましくは、アクチュエータは、検査対象物の外面に直接接触し、前記アクチュエータと前記検査対象物の表面との間の摩擦力によって、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する。
好ましくは、本考案に係る検査冶具は、検査対象物に配置され、アクチュエータと前記検査対象物との間の摩擦力を増加させるように前記検査対象物に外力を加える補助素子をさらに含んでもよい。
本考案に係る検査治具は、検査対象物上に延設される延長部材をさらに含んでもよい。アクチュエータは、延長部材に直接接触し、前記アクチュエータと前記延長部材との間の摩擦力によって、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する。
好ましくは、アクチュエータは、検査対象物に挿入されて前記検査対象物を自体回転運動させる回転シャフトを含んでもよい。
好ましくは、本考案に係る検査冶具における動力源は、連結部材を介してアクチュエータと相互接続されることができる。連結部材は、自在継手、連結ロッドまたはギアセットを含んでもよい。
好ましくは、本考案に係る検査冶具は、検査対象物上に配置され、前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子をさらに含んでもよい。
好ましくは、制限素子は、検査対象物を固定して前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するためのクランプであってもよい。
好ましくは、本考案に係る検査治具は、検査対象物に挿入されて、検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子をさらに含んでもよい。
好ましくは、キャリアは、そのX軸、Z軸、およびZ軸方向の少なくとも1つに沿って移動することができる。
本考案に係る別の実施形態は、放射部品と検査治具を含む顕微鏡装置を提供する。放射部品は放射源とレンズ群を含む。検査治具は作動モジュールと動力源を含む。作動モジュールは、アクチュエータと、前記アクチュエータを乗せるキャリアとを含む。アクチュエータは、検査対象物の表面に接触し、前記検査対象物を、前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動する。動力源は、アクチュエータと相互接続されて、前記アクチュエータを駆動する。放射源はエネルギー源を放射し、レンズ群は前記エネルギー源を前記検査対象物に導く。
本考案に係る別の実施形態は、放射部品と検査治具を含む顕微鏡装置を提供する。放射部品は放射源とレンズ群を含む。検査治具は、作動モジュール、動力源および真空室を含む。作動モジュールは、アクチュエータと、前記アクチュエータを乗せるキャリアとを含む。アクチュエータは、検査対象物の表面に接触し、前記検査対象物を、前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動する。動力源は、アクチュエータと相互接続されて、前記アクチュエータを駆動する。真空室の中には、検査治具が配置される。放射源はエネルギー源を放射し、レンズ群は前記エネルギー源を前記検査対象物に導く。
本考案に係る別の実施形態は、顕微鏡装置の検査方法を提供し、以下のステップを含む:顕微鏡装置の検査治具に検査対象物を提供する;前記顕微鏡装置を駆動して、エネルギー源を検査対象物へ放射させる;エネルギー源が検査対象物の表面における複数の検査対象点を走査するように前記検査対象物を回転駆動する。検査治具はアクチュエータと動力源を含み、前記アクチュエータは検査対象物の表面に接触し、アクチュエータと検査対象物の表面との間の摩擦力によって、検査対象物を前記検査対象物の幾何学的中心軸に対して自体回転運動させるように駆動し、動力源は、アクチュエータと相互接続されて前記アクチュエータを駆動する。
以下は、本考案によって達成される目的、技術的内容、特徴および効果をより容易に理解するために、添付の図面と合わせて、特定の実施形態を詳細に説明する。
以下、本考案の実施形態を詳細に説明し、図面と併せて例示する。これらの詳細な説明に加えて、本考案は、他の実施形態でも広く実施することができる。実施形態のいずれかの容易な置換、修正、および同等の変更は、特許請求の範囲により定められる本考案の範囲に含まれる。本明細書の説明では、読者が本考案をより完全に理解できるようにするために、多くの特定の詳細を提供するが、特定の詳細の一部または全部を省略する場合でも本考案を実施することができる。さらに、本考案を不必要に制限することを避けるために、周知の手順や素子などは詳細に説明されていない。図面中の同一または類似の素子は、同一または類似の符号で表される。特に、図面は説明のみを目的としており、素子の実際サイズまたは数量を表すものではないことに注意すべきである。
図1を参照すると、本考案の実施形態に係る顕微鏡用検査治具は、作動モジュール10と動力源20とを含む。作動モジュール10は、アクチュエータ101とキャリア102を含む。アクチュエータ101は、検査対象物11の表面に接触し、検査対象物11を検査対象物11の幾何学的中心軸Aに対して自体回転運動させるように駆動する。動力源20は、アクチュエータ101と相互接続されて、アクチュエータ101を駆動して回転させることができる。また、アクチュエータ101は、キャリア102上に乗せられる。図1に示されるキャリア102は、アクチュエータ101よりも大きい基部であるが、本考案はこれに限定されない。また、キャリア102は、アクチュエータ101の一部であってもよく、アクチュエータ101を動力源20または他の構成素子と接続するための接続部材として使用されてもよく、または作動モジュール10全体を移動させるための移動素子として使用されてもよい。
引き続き図1を参照すると、本実施形態では、アクチュエータ101は、第1のローラ素子111およびサポーター112を含むことができる。第1のローラ素子111は、検査対象物11の下に配置され、検査対象物11を支持し、検査対象物11の外面に直接接触し、検査対象物11を自体回転させるように駆動する。サポーター112も検査対象物11の下に配置され、第1のローラ素子111とは検査対象物11の反対側にそれぞれ配置され、検査対象物11を支持することもできる。
別の実施形態では、図1および図2を参照すると、アクチュエータ101は、それぞれ検査対象物11の下に配置される、検査対象物11の外面に直接接触して検査対象物11を自体回転させるように駆動する、一対の第2のローラ素子113を含むことができる。ここで、検査対象物11の表面は、検査対象物11の構造(検査対象物の検査される部分または検査されない部分であってもよい)の表面であってもよいし、一時的に検査対象物11に着脱可能に固定された構造の表面であってもよい。図3を参照すると、本考案に係る検査治具は、検査対象物11上に延設される延長部材30をさらに含んでよい。アクチュエータ101は、延長部材30に直接接触し、アクチュエータ101と延長部材30との間の摩擦力によって、検査対象物11を自体回転運動させるように駆動する。
引き続き図1および図2を参照すると、第2のローラ素子113は、検査対象物11を駆動および支持する機能を同時に実行することができる。動力源20は、接続部材40を介して第2のローラ素子113に接続され、第2のローラ素子113を駆動する。あるいは、本実施形態において、アクチュエータ101は、他のサポーター112をさらに備えてもよい。このサポーター112は、適切な位置に配置される。例えば、サポーター112は、一対の第2のローラ素子113の間に配置される。
したがって、図1に示す実施形態によれば、検査対象物11および第1のローラ素子111は、それぞれの中心軸を回転軸として回転する。それぞれの回転軸は平行であるが同一軸ではない。よって、本考案の検査治具は、異軸回転という方式で、検査対象物を自体回転させることができる。図2の検査対象物11および一対の第2のローラ素子111も、それぞれの中心軸を回転軸として回転するため、異軸回転という態様でもある。しかしながら、本考案はこれに限定されるものではなく、図4に示すように、検査対象物11およびアクチュエータ101は、非平行且つ同一軸ではないそれぞれの中心軸を回転軸として回転することもできる。図4では、アクチュエータ101の第1のローラ素子113は、検査対象物11の外側表面に接触して検査対象物11を支持し、検査対象物11を自体回転させるように駆動する。そのうち、検査対象物11の幾何学的中心軸Aと第1のローラ素子113の中心軸Bは平行ではない。
さらに別の実施形態では、図5を参照すると、アクチュエータは、検査対象物11の外面に巻き付けられて検査対象物11を自体回転運動させるように駆動するためのテープ114を含むことができる。別の実施形態では、図6を参照すると、アクチュエータは、検査対象物11を自体回転させるように検査対象物11に挿入できる回転シャフト115を含むことができる。これによって、接続部材40を省略することができる。このうち、アクチュエータとしての回転シャフト115は、検査対象物11の内面に直接接触し、回転シャフト115と検査対象物11との摩擦力によって、検査対象物11を自体回転させるように駆動する。これによって、図6に示す実施形態によれば、検査対象物11および回転シャフト115は、検査対象物11の幾何学的中心軸を回転軸として回転運動する。そのうち、検査対象物11の幾何学的中心軸と回転シャフト115の回転軸は同一軸であるため、本考案に係る検査治具は、同軸回転という方式で検査対象物を回転させることができる。
上記実施形態では、アクチュエータが検査対象物に直接接触して検査対象物を回転させるように駆動するが、別の実施形態では、本考案の検査治具は、検査対象物を保持するための保持素子(図示せず)をさらに含んでもよい。アクチュエータは保持素子に直接接触し、検査対象物を自体回転運動させるように間接的に駆動する。
ここで、本考案に記載のアクチュエータは、検査対象物の表面に直接または間接に接触して、アクチュエータと検査対象物との間の摩擦力によって検査対象物を自体回転させるように駆動するため、両者間の摩擦力が検査対象物を回転駆動するために必要な条件であることに留意されたい。あるいは、アクチュエータは、検査対象物の内側と直接または間接に接触して、アクチュエータと検査対象物との間の摩擦力によって、検査対象物を自体回転運動させるように駆動してもよい。本考案の別の実施形態によれば、図7を参照すると、本考案の検査治具は、検査対象物11に配置される、検査対象物11に外力を加えることによってアクチュエータ101と検査対象物11との間の摩擦力を増加させるための補助部材50をさらに含んでよい。図7に示す補助部材50は単なる例示であり、補助部材50の位置および形態は必要に応じて調整することができる。アクチュエータ101と検査対象物11との間の摩擦を増加させることができるものであればよい。
本考案の実施形態では、動力源20は、図2および図3に示すように、接続部材40を介してアクチュエータ101に接続されてもよい。接続部材40は、例えば、自在継手、連結ロッドまたはギアセットであってよいが、本考案はそれに限らない。接続部材40は、動力源20とアクチュエータ101を接続できる任意の素子であってよい。したがって、すべての部材が限られたスペースに配置されている場合、アクチュエータ101と動力源20との間の接続は、接続部材40による接続によって、より柔軟に位置を配置することができる。例えば、検査治具のすべての部材が限られたサイズであるキャリア102上に乗せられ時、接続部材40は、接続および位置調整という役割を果たすことができる。よって、本考案に係る検査治具によっては、部材の配置がより柔軟になる。
本考案の目的は、三次元構造の検査に適した顕微鏡用検査治具を開発することである。上記実施形態では、検査対象物を自体回転させるように駆動することによって、一定の幾何学的中心軸の方向で、検査対象物の各向きにおける三次元構造を検査できる。別の実施形態では、キャリア102は、検査対象物の位置を変更するために移動してもよい。例えば、キャリア102は、そのX軸、Y軸、およびZ軸方向の少なくとも1つに沿って移動することができる。
別の実施形態では、本考案に係る検査治具は、検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更できる制限素子をさらに含むことができる。換言すれば、検査対象物の軸中心方向Aと検査ビームまたは電子ビームの方向Cとの間の角度を固定または変更できる。図8および図9を参照すると、制限素子60および制限素子61は、アクチュエータと同等であり、検査対象物11の表面に接触し、検査対象物11を、検査対象物11の幾何学的中心軸Aに対して自体回転運動させるように駆動するとともに、検査対象物11の幾何学的中心軸Aと検査ビームまたは電子ビームの方向Cとの間の角度を固定または変更する。また、制限素子60および制限素子61は、検査対象物11上にそれぞれ配置され、検査対象物11の幾何学的中心軸Aの方向を維持または変更できる。それは、検査対象物を固定するクランプ(図8を参照)であってもよいし、検査対象物11の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための検査対象物11に挿入される挿入素子(図9を参照)であってもよい。図8および図9に示すように、制限素子60および制限素子61は、検査対象物11の幾何学的中心軸Aとビーム/電子ビームの方向Cとの間の角度α(90度〜0度)を変化させることによって、幾何学的中心軸Aが変化したときの検査対象物11の各向きにおける三次元構造が検査される。
本考案に係る検査治具により検査される検査対象物の幾何学的中心軸の方向は、上記実施形態に限定されない。本考案の他の実施形態では、図10に示すように、検査対象物の幾何学的中心軸Aの方向は、ビーム/電子ビームの方向Cと平行であり、すなわち、検査対象物の幾何学的中心軸Aと光ビーム/電子ビームの方向Cとの間の角度αは0度であってもよい。ここで分かるように、本考案に係る検査治具は、三次元構造を有する検査対象物を検査するために適用でき、好ましくは、異なる幾何学的中心軸の方向の下で検査対象物の各向きにける三次元構造を検査するために適用できることもできる。
一方、他の実施形態によれば、図11および図12に示すように、本考案に係る検査治具の接続部材の中心軸と検査対象物との間の距離は可変であり、好ましくは、本考案に係る検査治具の連結ロッドの中心軸と検査対象物との間の距離は可変である。ここで、本考案に係る検査治具の動力源20は、連結ロッド40を介してアクチュエータ101に接続される。よって、アクチュエータ101は、検査対象物を自体回転させるように駆動することができる。再び図12を参照すると、これは図11の方向Eから見た検査治具の正面図であり、連結ロッド40の中心軸と検査対象物11の幾何学的中心軸との間の距離Dは調整可能である。すなわち、距離Dは、必要に応じて増減することができる。これによって、本考案に係る検査治具の使用の柔軟性を改善できる。
本考案の別の実施形態によれば、上記の検査治具を含む顕微鏡装置が提供される。図13を参照すると、検査中に検査対象物を真空室内に入れる必要のない顕微鏡は、放射部品701、検査治具702、制御システム703、および信号検出システム704を含む。上記の実施形態で説明したように、検査対象物11は、検査治具702に設置され、放射部品701から放射された、干渉した後に所望の信号(画像信号など)を形成できるエネルギーを受ける。この信号は信号検出システム704によって検出されることができる。次に、放射部品701は、放射源711およびレンズ群721を含む。放射源711は、可視光または不可視光など、検査対象物11に作用するエネルギーまたは物質を放射するエネルギー源として機能する。レンズ群721は、複数の光学素子を備えて、可視光または不可視光を通過させて、検査対象物11との干渉後に検出できる信号を形成する。さらに、制御システム703は、放射部品701および信号検出システム704に接続されて、放射部品701から放射されるエネルギーの量および検出される信号の処理を制御することができる。しかしながら、制限なしに、制御システム703は、検査治具702の作動速度または他の部材の動作も制御することができる。
図14を参照すると、図14は、検査中に真空室内に入れた検査対象物を検査する顕微鏡を示すという点で図13とは異なる。ここで、図14の顕微鏡は、真空システム705および真空室706をさらに含む。真空システム705は、真空室706を制御して、検査に必要な真空または低圧環境を維持しながら、検査対象物11および検査治具を真空室706内に入れる。図14の実施形態では、放射源711によって放射されたエネルギー源は、例えば、電子ビームであるが、これに限定されない。よって、本考案の減少したサイズの検査治具706は、真空室706などのスペースに制約のある環境に配置することができる。
本考案の別の実施形態は、以下のステップを含む顕微鏡装置の検査方法を提供する。顕微鏡装置の検査治具上に検査対象物を提供する;検査対象物にエネルギー源を放射するように顕微鏡装置を駆動する;および、エネルギー源が検査対象物の表面上の複数の検査対象点を走査するように、検査対象物を駆動して回転させる。そのうち、検査治具は上記の実施形態で開示したものと同じであるため、その部材構造の詳細は繰り返さない。図15(a)を参照すると、検査対象物11は、その幾何学的中心軸A方向に対して自体回転運動を行うことができる。よって、検査ビームまたは電子ビーム(エネルギー源)は検査対象物11の表面における複数の検査対象点d1を走査することができる。一つの実施形態によれば、エネルギー源は、検査対象物の表面で環状軌跡を有する複数の検査対象点d1を走査することができる。検査対象物の幾何学的中心軸Aの方向が固定される場合、複数の検査対象点から幾何学的中心軸Aまでの距離は同じである。検査対象物11を移動させようとする場合、例えば、本考案に係る検査治具のキャリア102を介して検査対象物11の位置を変化させる時、図15(b)に示すように、エネルギー源は、検査対象物の表面で別の環状軌跡を有する複数の検査対象点d2を走査することができる。上記によれば、本考案に係る検査方法は、検査対象物を自体回転させるように駆動することによって、複数回または複数の軸方向に検査対象物を移動させるような複雑で遅い方法を使用せず、検査対象物の同一表面における複数の検査対象位置を迅速かつ容易に連続検出することができる。
なお、検査対象物11の幾何学的中心軸Aの方向は、必要に応じて調整することができる。好ましくは、上記の実施形態で説明した制限素子を介して幾何学的中心軸Aの方向を維持または変更できるが、これには限らない。幾何学的中心軸Aの方向は、図15に示すように、検査ビームまたは電子ビームの方向C(即ちエネルギー源の放射方向)に平行または略平行にすることができる。幾何中心軸Aの方向は、図16に示すように、検査ビームまたは電子ビームの方向Cに垂直または略垂直にすることもできる。図16(a)を参照すると、検査対象物11がその幾何学的中心軸Aの方向に対して自体回転運動を実行できるため、検査ビームまたは電子ビーム(エネルギー源)は、検査対象物11の表面における複数の検査対象点d3を走査することができる。一実施形態によれば、エネルギー源は、検査対象物の表面で環状軌跡を有する複数の検査対象点d3を走査することができる。検査対象物の幾何学的中心軸Aの方向が固定されている場合、複数の検査対象点から幾何学的中心軸Aとの間の距離は同じである。例えば、図16(b)に示すように、検査対象物11を移動させようとする場合、本考案に係る検査治具のキャリア102を介して検査対象物11の位置を変化させる時、エネルギー源は、検査対象物の表面上で別の環状軌跡を有する複数の検査対象点d4を走査することができる。なお、本考案に係る検査治具は、三次元構造を検査するための光学的検査に適用し、電子顕微鏡が使用される場合、真空室内で適用できる。
要約すると、本考案に係る顕微鏡用検査治具は、三次元構造の顕微鏡検査に適用できる。従来の検査方法は、検査対象物を薄片にスライスするため、検査対象物に損傷を与えるだけでなく、その検査のターゲットも平面に限られてしまう。一方、本考案に係る検査治具は、検査対象物の完全な構造を維持しながら検査を行うことができるので、部品完成品の歩留まり検査に適用できる。また、本考案に係る検査治具は、アクチュエータまたは制限素子の駆動により、検査対象物を回転または光ビーム/電子ビームとの角度を変化させるため、検査対象物の外観の各側面を検査することができるので、従来の検査方法では三次元構造を検査できないという欠点を改善する。
上記の実施形態は、本考案の技術的思想および特徴を説明するためのものだけであり、当業者が本考案の内容を理解して実施できるようにすることを目的とするが、本考案の特許範囲を制限するものではない。すなわち、本考案で開示された趣旨に従って行われたすべての同等の変更または修正は、依然として本考案の特許範囲に含まれるべきである。
10 作動モジュール
11 検査対象物
20 動力源
30 延長部材
40 接続部材
50 補助部材
60、61 制限素子
101 アクチュエータ
102 キャリア
111 第1のローラ素子
112 サポーター
113 第2のローラ素子
114 テープ
115 回転シャフト
A 幾何学的中心軸
B アクチュエータの中心軸方向
C 検査ビームまたは電子ビームの方向
D 距離
E 観測方向
d1、d4、d3、d4 検査対象点
α 角度
701 放射部品
702 検査治具
703 制御システム
704 信号検出システム
705 真空システム
706 真空室
711 放射源
721 レンズ群
[項目1]
顕微鏡用検査治具であって
検査対象物の表面に接触し、上記検査対象物を、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、上記アクチュエータが設けられるキャリアと、を有する作動モジュールと、
上記アクチュエータと相互接続され、上記アクチュエータを駆動する動力源と、
を備える、
顕微鏡用検査治具。
[項目2]
上記アクチュエータは、
上記検査対象物の外面に接触して上記検査対象物を乗せ、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する第1のローラ素子と、
上記検査対象物の表面に当接して上記検査対象物を支持するキャリアと、
を有する、項目1に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目3]
上記アクチュエータは、
それぞれ上記検査対象物の下に配置され、上記検査対象物の外面に接触し、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する一対の第2ローラ素子を有する、項目1に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目4]
上記アクチュエータは、
上記検査対象物の周りに巻かれ、上記検査対象物の外面に接触し、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動するテープを有する、項目1に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目5]
上記アクチュエータは、上記検査対象物の外面に直接接触し、上記アクチュエータと上記検査対象物の表面との間の摩擦力によって、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する、項目1から4のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目6]
上記検査対象物に配置され、上記アクチュエータと上記検査対象物との間の摩擦力を増加させるように上記検査対象物に外力を加える補助素子をさらに備える、項目5に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目7]
上記検査対象物上に延設される延長部材をさらに備え、
上記アクチュエータは、上記延長部材に直接接触し、上記アクチュエータと上記延長部材との間の摩擦力によって、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する、項目1から6のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目8]
上記アクチュエータは、
上記検査対象物に挿入され、上記検査対象物を自体回転運動させる回転シャフトを有する、項目1から7のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目9]
上記動力源は、自在継手、連結ロッドまたはギアセットの少なくとも一つを含む連結部材を介して上記アクチュエータと相互接続される、項目1から8のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目10]
上記検査対象物上に配置され、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子をさらに備える、項目1から9のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目11]
上記制限素子は、上記検査対象物を固定し、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するためのクランプである、項目10に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目12]
上記検査対象物に挿入され、上記検査対象物の上記幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子をさらに備える、項目1から11のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目13]
上記キャリアは、そのX軸、Y軸、およびZ軸方向の少なくとも1つに沿って移動する、項目1から12のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目14]
顕微鏡装置であって、
放射源とレンズ群を含む放射部品と、
検査対象物の表面に接触し、上記検査対象物を、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、上記アクチュエータを乗せるキャリアと、を含む作動モジュールと、上記アクチュエータと相互接続され、上記アクチュエータを駆動する動力源と、を有する検査治具と、
を備え、
上記放射源はエネルギー源を放射し、上記レンズ群は上記エネルギー源を上記検査対象物に導く、
顕微鏡装置。
[項目15]
上記放射部品の動作を制御する制御システムと、上記制御システムと電気的に接続された信号検出システムと、をさらに備え、
上記信号検出システムは、上記エネルギー源と上記検査対象物が干渉した後に生成された信号を検出して、上記制御システムに送信する、
項目14に記載の顕微鏡装置。
[項目16]
顕微鏡装置であって、
放射源とレンズ群を含む放射部品と、
検査治具であって
検査対象物の表面に接触し、上記検査対象物を、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、上記アクチュエータを乗せるキャリアとを含む作動モジュールと、上記アクチュエータと相互接続され、上記アクチュエータを駆動する動力源と、中に上記検査治具が配置される真空室と、を有する検査治具と、
を備え、
上記放射源はエネルギー源を放射し、上記レンズ群は上記エネルギー源を上記検査対象物に導く、
顕微鏡装置。
[項目17]
上記放射部品の動作を制御する制御システムと、上記制御システムと電気的に接続された信号検出システムと、をさらに備え、
上記信号検出システムは、上記エネルギー源と上記検査対象物が干渉した後に生成された信号を検出し、上記制御システムに送信する、
項目16に記載の顕微鏡装置。
[項目18]
顕微鏡装置の検査方法であって、
上記顕微鏡装置の検査治具に検査対象物を提供するステップと、
上記顕微鏡装置を駆動して、エネルギー源を上記検査対象物へ放射させるステップと、
上記エネルギー源が上記検査対象物の表面における複数の検査対象点を走査するように上記検査対象物を回転駆動するステップと、
を備え、
上記検査治具は、上記検査対象物の表面に接触し、上記検査対象物の表面との間の摩擦力によって、上記検査対象物を上記検査対象物の幾何学的中心軸に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、上記アクチュエータと相互接続され、上記アクチュエータを駆動する動力源と、を有する、顕微鏡装置の検査方法。
[項目19]
上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向は、上記エネルギー源の放射方向と平行または略平行である、項目18に記載の顕微鏡装置の検査方法。
[項目20]
上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向は、上記エネルギー源の放射方向と垂直または略垂直である、項目18または19に記載の顕微鏡装置の検査方法。
[項目21]
上記検査対象物の幾何学的中心軸が固定されている場合、上記複数の検査対象点から上記幾何学的中心軸までの距離は同じである、項目18から20のいずれか一項に記載の顕微鏡装置の検査方法。
11 検査対象物
20 動力源
30 延長部材
40 接続部材
50 補助部材
60、61 制限素子
101 アクチュエータ
102 キャリア
111 第1のローラ素子
112 サポーター
113 第2のローラ素子
114 テープ
115 回転シャフト
A 幾何学的中心軸
B アクチュエータの中心軸方向
C 検査ビームまたは電子ビームの方向
D 距離
E 観測方向
d1、d4、d3、d4 検査対象点
α 角度
701 放射部品
702 検査治具
703 制御システム
704 信号検出システム
705 真空システム
706 真空室
711 放射源
721 レンズ群
[項目1]
顕微鏡用検査治具であって
検査対象物の表面に接触し、上記検査対象物を、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、上記アクチュエータが設けられるキャリアと、を有する作動モジュールと、
上記アクチュエータと相互接続され、上記アクチュエータを駆動する動力源と、
を備える、
顕微鏡用検査治具。
[項目2]
上記アクチュエータは、
上記検査対象物の外面に接触して上記検査対象物を乗せ、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する第1のローラ素子と、
上記検査対象物の表面に当接して上記検査対象物を支持するキャリアと、
を有する、項目1に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目3]
上記アクチュエータは、
それぞれ上記検査対象物の下に配置され、上記検査対象物の外面に接触し、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する一対の第2ローラ素子を有する、項目1に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目4]
上記アクチュエータは、
上記検査対象物の周りに巻かれ、上記検査対象物の外面に接触し、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動するテープを有する、項目1に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目5]
上記アクチュエータは、上記検査対象物の外面に直接接触し、上記アクチュエータと上記検査対象物の表面との間の摩擦力によって、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する、項目1から4のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目6]
上記検査対象物に配置され、上記アクチュエータと上記検査対象物との間の摩擦力を増加させるように上記検査対象物に外力を加える補助素子をさらに備える、項目5に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目7]
上記検査対象物上に延設される延長部材をさらに備え、
上記アクチュエータは、上記延長部材に直接接触し、上記アクチュエータと上記延長部材との間の摩擦力によって、上記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する、項目1から6のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目8]
上記アクチュエータは、
上記検査対象物に挿入され、上記検査対象物を自体回転運動させる回転シャフトを有する、項目1から7のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目9]
上記動力源は、自在継手、連結ロッドまたはギアセットの少なくとも一つを含む連結部材を介して上記アクチュエータと相互接続される、項目1から8のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目10]
上記検査対象物上に配置され、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子をさらに備える、項目1から9のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目11]
上記制限素子は、上記検査対象物を固定し、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するためのクランプである、項目10に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目12]
上記検査対象物に挿入され、上記検査対象物の上記幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子をさらに備える、項目1から11のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目13]
上記キャリアは、そのX軸、Y軸、およびZ軸方向の少なくとも1つに沿って移動する、項目1から12のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
[項目14]
顕微鏡装置であって、
放射源とレンズ群を含む放射部品と、
検査対象物の表面に接触し、上記検査対象物を、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、上記アクチュエータを乗せるキャリアと、を含む作動モジュールと、上記アクチュエータと相互接続され、上記アクチュエータを駆動する動力源と、を有する検査治具と、
を備え、
上記放射源はエネルギー源を放射し、上記レンズ群は上記エネルギー源を上記検査対象物に導く、
顕微鏡装置。
[項目15]
上記放射部品の動作を制御する制御システムと、上記制御システムと電気的に接続された信号検出システムと、をさらに備え、
上記信号検出システムは、上記エネルギー源と上記検査対象物が干渉した後に生成された信号を検出して、上記制御システムに送信する、
項目14に記載の顕微鏡装置。
[項目16]
顕微鏡装置であって、
放射源とレンズ群を含む放射部品と、
検査治具であって
検査対象物の表面に接触し、上記検査対象物を、上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、上記アクチュエータを乗せるキャリアとを含む作動モジュールと、上記アクチュエータと相互接続され、上記アクチュエータを駆動する動力源と、中に上記検査治具が配置される真空室と、を有する検査治具と、
を備え、
上記放射源はエネルギー源を放射し、上記レンズ群は上記エネルギー源を上記検査対象物に導く、
顕微鏡装置。
[項目17]
上記放射部品の動作を制御する制御システムと、上記制御システムと電気的に接続された信号検出システムと、をさらに備え、
上記信号検出システムは、上記エネルギー源と上記検査対象物が干渉した後に生成された信号を検出し、上記制御システムに送信する、
項目16に記載の顕微鏡装置。
[項目18]
顕微鏡装置の検査方法であって、
上記顕微鏡装置の検査治具に検査対象物を提供するステップと、
上記顕微鏡装置を駆動して、エネルギー源を上記検査対象物へ放射させるステップと、
上記エネルギー源が上記検査対象物の表面における複数の検査対象点を走査するように上記検査対象物を回転駆動するステップと、
を備え、
上記検査治具は、上記検査対象物の表面に接触し、上記検査対象物の表面との間の摩擦力によって、上記検査対象物を上記検査対象物の幾何学的中心軸に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、上記アクチュエータと相互接続され、上記アクチュエータを駆動する動力源と、を有する、顕微鏡装置の検査方法。
[項目19]
上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向は、上記エネルギー源の放射方向と平行または略平行である、項目18に記載の顕微鏡装置の検査方法。
[項目20]
上記検査対象物の幾何学的中心軸の方向は、上記エネルギー源の放射方向と垂直または略垂直である、項目18または19に記載の顕微鏡装置の検査方法。
[項目21]
上記検査対象物の幾何学的中心軸が固定されている場合、上記複数の検査対象点から上記幾何学的中心軸までの距離は同じである、項目18から20のいずれか一項に記載の顕微鏡装置の検査方法。
Claims (10)
- 顕微鏡用検査治具であって
検査対象物の表面に接触し、前記検査対象物を、前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、前記アクチュエータが設けられるキャリアと、を有する作動モジュールと
前記アクチュエータと相互接続され、前記アクチュエータを駆動する動力源と、
を備える、
顕微鏡用検査治具。 - 前記アクチュエータは、
前記検査対象物の外面に接触して前記検査対象物を乗せ、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する第1のローラ素子と、
前記検査対象物の表面に当接して前記検査対象物を支持するキャリアと、
それぞれ前記検査対象物の下に配置され、前記検査対象物の外面に接触し、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する一対の第2ローラ素子と、
前記検査対象物の周りに巻かれて前記検査対象物の外面に接触し、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動するテープと、
前記検査対象物に挿入されて前記検査対象物を自体回転運動させる回転シャフトと、
を有する、請求項1に記載の顕微鏡用検査治具。 - 前記アクチュエータは、前記検査対象物の外面に直接接触し、前記アクチュエータと前記検査対象物の表面との間の摩擦力によって、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する、請求項1に記載の顕微鏡用検査治具。
- 前記検査対象物に配置され、前記アクチュエータと前記検査対象物との間の摩擦力を増加させるように前記検査対象物に外力を加える補助素子をさらに含む、請求項3に記載の顕微鏡用検査治具。
- 前記検査対象物上に延設される延長部材を備え、
前記アクチュエータは、前記延長部材に直接接触し、前記アクチュエータと前記延長部材との間の摩擦力によって、前記検査対象物を自体回転運動させるように駆動する、請求項1または2に記載の顕微鏡用検査治具。 - 前記動力源は、自在継手、連結ロッドまたはギアセットの少なくとも一つを含む連結部材を介して前記アクチュエータと相互接続される請求項1から5のいずれか一項に記載の顕微鏡用検査治具。
- 前記検査対象物に挿入され、前記検査対象物の前記幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子と、
前記検査対象物上に配置され、前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するための制限素子と、を備え、
前記制限素子は、前記検査対象物を固定して前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向を維持または変更するためのクランプである、
請求項1に記載の顕微鏡用検査治具。 - 前記キャリアは、そのX軸、Y軸、およびZ軸方向の少なくとも1つに沿って移動する、請求項1に記載の顕微鏡用検査治具。
- 顕微鏡装置であって、
放射源とレンズ群を含む放射部品と、
検査治具であって、
検査対象物の表面に接触し、前記検査対象物を、前記検査対象物の幾何学的中心軸の方向に対して自体回転運動させるように駆動するアクチュエータと、前記アクチュエータを乗せるキャリアとを含む作動モジュールと、前記アクチュエータと相互接続されて、前記アクチュエータを駆動する動力源と、中に前記検査治具が配置される真空室と、を有する検査治具と、
を備え、
前記放射源はエネルギー源を放射し、前記レンズ群は前記エネルギー源を前記検査対象物に導く、
顕微鏡装置。 - 前記放射部品の動作を制御する制御システムと、前記制御システムと電気的に接続された信号検出システムと、を備え、
前記信号検出システムは、前記エネルギー源と前記検査対象物が干渉した後に生成された信号を検出し、前記制御システムに送信する、
請求項9に記載の顕微鏡装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW108123095A TW202102830A (zh) | 2019-07-01 | 2019-07-01 | 顯微鏡之檢測治具、包含其之顯微鏡裝置及檢測方法 |
TW108123095 | 2019-07-01 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=72665815
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020002612U Active JP3228117U (ja) | 2019-07-01 | 2020-06-30 | 顕微鏡用検査治具、それを備えた顕微鏡装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3228117U (ja) |
CN (1) | CN212276097U (ja) |
TW (1) | TW202102830A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023007827A1 (ja) * | 2021-07-26 | 2023-02-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 試料観察装置及び試料観察方法 |
-
2019
- 2019-07-01 TW TW108123095A patent/TW202102830A/zh unknown
-
2020
- 2020-06-18 CN CN202021134024.3U patent/CN212276097U/zh active Active
- 2020-06-30 JP JP2020002612U patent/JP3228117U/ja active Active
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WO2023007827A1 (ja) * | 2021-07-26 | 2023-02-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 試料観察装置及び試料観察方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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