JP3227449U - プリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置 - Google Patents

Abstract

【課題】残渣除去作業の時間を節約でき、且つ手間も省くことができ、また、洗剤の使用寿命を向上させることができるプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置を提供する。【解決手段】プリント基板製造用の自動的に残渣を排出する濾過装置であって、タンクベース１０と、濾過ユニット２０と、振動ユニット３０とを備え、タンクベース１０は貯液タンク１１を含み、濾過ユニット２０は、濾過ユニット２０の上方に配置されて、貯液タンク１１の一側から残渣排出方向に向かって突出し、残渣が混在している洗剤を濾過するために使用され、濾過ユニット２０における、貯液タンク１１の一側から突出する側に残渣排出口が設けられ、濾過ユニット２０の底板２２はメッシュフィルター２２１を有し、振動ユニット３０は、濾過ユニット２０に連結され、濾過ユニット２０を、タンクベース１０に対して往復振動変位させるように駆動し、往復振動変位の変位方向のうちの一つの方向は、残渣排出方向に向かっている。【選択図】図１

Description

本考案は、プリント基板を現像またはドライフィルム剥離する工程に使用される化学洗浄剤内に混在するレジストやドライフィルムを除去する濾過装置に関し、特に濾過されたレジストやドライフィルムを自動的に排出する濾過装置に関するものである。

プリント基板の製造においての、従来技術の現象工程や剥離工程に使用される様々な製造設備のうち、貯液タンク、洗浄装置、ポンプを含み、洗浄装置は、貯液タンクの上方に設置されると共に、基板に化学洗浄剤を吹き付けて、基板表面のレジストやドライフィルムを取り除き、基板に吹き付けた洗剤が、取り除かれたレジストやドライフィルム（以下の「レジスト」或は「ドライフィルム」を「残渣」と称する。）と一緒に貯液タンク内に収集され、該貯液タンクの底部に固定式の平板状フィルターが設けられていることから、貯液タンク内に収集された洗剤は、フィルターによって濾過されて、内に混在する残渣を取り除いてから、ポンプによって洗浄装置に循環させて利用される。しかしながら、従来技術の現象工程や剥離工程に使用される製造設備には、以下の欠点がある。

その１、濾過された残渣が、貯液タンクのフィルターに徐々に蓄積しまう。つまり、その貯液タンクの容量は限られており、且つフィルターが蓄積される残渣によって詰まると濾過性能が低下してしまうことから、貯液タンクに蓄積された残渣を常に人力で除去しなければならないので、時間と手間がかかるといった問題点があった。

その２、フィルターに蓄積されている残渣は、長時間にわたり洗剤に浸されていることから、洗剤が残渣と化学反応してしまい、洗剤の使用寿命が低下してしまうといった問題点もあった。

故に、従来技術の現象工程や剥離工程に使用される製造設備を改良する必要があった。

本考案は、前記の従来技術の欠点に鑑みてなされたものであり、残渣除去作業の時間を節約でき、且つ手間も省くことができ、また、洗剤の使用寿命を向上させることができるプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本考案は、プリント基板の製造過程中において、流出口から放出される洗剤を漉すために使用される、プリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置であって、タンクベースと、濾過ユニットと、振動ユニットとを備え、前記タンクベースは、貯液タンクを含み、前記濾過ユニットは、前記貯液タンクの上方に配置され、該貯液タンクの一側から残渣排出方向に向かって突出すると共に、互いに連通する収容空間及び上方開口を含み、該上方開口は、前記流出口から放出される洗剤を受け入れるために使用され、該濾過ユニットにおける、該貯液タンクの一側から突出する側に残渣排出口が設けられ、該濾過ユニットの底板はメッシュフィルターを有し、前記振動ユニットは、前記濾過ユニットに連結され、該濾過ユニットを、前記タンクベースに対して往復振動変位させるように駆動し、該往復振動変位の変位方向のうちの一つの方向は、残渣排出方向に向かっていることを特徴とする。

前記振動ユニットは、少なくとも一つの運動変換部材と、回転軸と、モーターとを含み、前記少なくとも一つの運動変換部材が、前記濾過ユニットと連結され、前記回転軸は、前記タンクベースに、残渣排出方向と非平行に回転可能に設置され、該回転軸の外周壁面上に、少なくとも一つの偏心部が突出するように形成され、該少なくとも一つの偏心部の外周面における偏心中心線が、該回転軸の回転中心線からオフセットされ、該回転軸は、該少なくとも一つの偏心部で、前記少なくとも一つの運動変換部材を貫通し、該少なくとも一つの偏心部が、該少なくとも一つの運動変換部材に対して回転自在に保持され、前記モーターは、前記タンクベースに設置されると共に、前記回転軸を回転させることを特徴とする。

前記タンクベースと濾過ユニットを連結すると共に、残渣排出方向に沿って前記振動ユニットと間隔をおいて設置される連結ユニットを備えることを特徴とする。

前記連結ユニットは、少なくとも一つの弾性部材を含み、該少なくとも一つの弾性部材は、前記タンクベースに取り付けられれると共に、前記濾過ユニットを上向きに付勢することを特徴とする。

前記少なくとも一つの弾性部材は、圧縮コイルバネであり、一端が前記タンクベースに連結され、他端が前記濾過ユニットに上向きに付勢するように当接することを特徴とする。

前記濾過ユニットは、底板が上下方向に対する傾斜状態で、前記貯液タンクの上方に配置され、該底板は、残渣排出方向に沿った一側を残渣排出側とし、該残渣排出側は、傾斜状態での該底板の最上部に位置し、且つ該貯液タンクの一側から残渣排出方向に向かって突出することを特徴とする。

前記濾過ユニットは、底板と水平面との間の角度が１〜１０度の範囲であることを特徴とする。

前記濾過ユニットは、対向する両側壁と少なくとも一つの残渣案内部材をさらに含み、前記残渣排出口が該両側壁間に配置され、該少なくとも一つの残渣案内部材が、少なくとも一つの該側壁から突出するように形成され、これにより、該濾過ユニットの収容空間の幅が、残渣排出方向に沿って徐々に狭くなることを特徴とする。

本考案に係る濾過装置は、残渣収集具をさらに備え、該残渣収集具は、前記残渣排出口の下方に移動可能に設置され、その底面に複数のキャスターが設置されることを特徴とする。

前記濾過ユニットは、対向する両側壁をさらに含み、前記残渣排出口は、該両側壁間に配置され、本考案に係る濾過装置は、オーバーフロー槽をさらに備え、該オーバーフロー槽は、前記濾過ユニットにおける、残渣排出方向と反対する側に位置し、且つ前記流出口の下方に配置され、該オーバーフロー槽における該濾過ユニットの上方にオーバーフロー口が形成され、該オーバーフロー口が、前記両側壁間において残渣排出方向と直交するように延在することを特徴とする。

本考案に係る濾過装置を使用する時は、まず、プリント基板の製造における、現象工程や剥離工程に使用される洗剤（残渣が混在しており）を、本考案の濾過ユニットに流し込み、洗剤内に混在している残渣を、メッシュフィルターによって取り除いて、濾過ユニット内に集中させ、一方、きれいな洗剤は、メッシュフィルターを通して循環使用させるために、下方の貯液タンクに溜めておく。

本考案の優れた点は、従来技術の平板状フィルターを濾過ユニットに変更したことや、該濾過ユニットを貯液タンクの上に設置すると共に、振動ユニットと連結されたこと、該振動ユニットによって濾過ユニットをタンクベースに対して往復振動変位させるように駆動させることであり、これにより、残渣が、振動ユニットの往復振動によって前後に移動して、均等に濾過ユニット内に分散し、洗剤が濾過ユニットに流入する領域のみに溜まってしまう虞がなくなる。また、濾過ユニット内に溜まっている残渣の高さを残渣排出口の縁の高さより高くすると、前記往復振動変位の変位方向のうちの一つは、残渣排出方向に向かっているので、残渣排出口周辺の残渣が、振動しながら残渣排出方向に向かって移動しつつ、残渣排出口の縁を越えて排出される。つまり、振動ユニットは、残渣を排出方向へ押す効果をもたらし、その結果、残渣が自動的に排出される目的を達成できるので、以下の利点が生まれる。

その１、濾過された残渣が、残渣排出口から自動的に排出されることにより、貯液タンクやフィルターに蓄積された残渣を人力で除去する手間がなく、残渣排出口の下方に、残渣収集具又は搬送用コンベアを設置するだけでよいので、時間と労力を節約することができ、さらに、振動ユニットがメッシュフィルターに振動を与えることにより、メッシュフィルターの目詰まりを防止できるので、濾過性能を維持することができる。

その２、貯液タンク内に残渣がなく、且つメッシュフィルター上に残渣が大量に溜まることがないことから、洗剤が残渣と触れ合うことによる劣化の進み具合を遅くできるので、洗剤の使用寿命を向上させることができる。

本考案の第１の実施例の斜視図である。 本考案の第１の実施例の部分分解斜視図である。 本考案の第１の実施例の側面視断面模式図である。 本考案の第１の実施例の上面視模式図である。 本考案の第１の実施例における回転軸の部分側面図である。 本考案の第１の実施例における回転軸の端面図である。 本考案の第１の実施例における回転軸の部分斜視断面図である。 本考案の第１の実施例においての、振動ユニットの作動状態を示す模式図である。 本考案の第１の実施例においての、振動ユニットの作動状態を示す模式図である。 本考案の第１の実施例においての、振動ユニットの作動状態を示す模式図である。 本考案の第１の実施例においての、振動ユニットの作動状態を示す模式図である。 本考案の第１の実施例においての、振動ユニットが濾過ユニットを往復振動変位させて駆動する作動状態を示す模式図である。 本考案の第１の実施例においての、振動ユニットが濾過ユニットを往復振動変位させて駆動する作動状態を示す模式図である。 本考案の第１の実施例においての、振動ユニットが濾過ユニットを往復振動変位させて駆動する作動状態を示す模式図である。 本考案の第１の実施例においての、振動ユニットが濾過ユニットを往復振動変位させて駆動する作動状態を示す模式図である。 本考案の第２の実施例の側面視断面模式図である。

以下、図面に合わせて本考案の好適な実施例を説明し、本考案が予定の創作目的を達成するために取られた技術的手段をさらに述べる。

図１〜図３に示すように、本考案に係るプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置は、タンクベース１０と、濾過ユニット２０と、振動ユニット３０とを備え、本考案の好適な実施形態においては、連結ユニット４０及び残渣収集具５０をさらに備える。本考案は、プリント基板の生産過程中において、洗剤Ｂを漉すために使用される濾過装置であり、残渣Ｃが混在する洗剤Ｂは、流出口Ａから放出されて、本考案の濾過装置に流れ込み、又、ポンプ（図示せず）を介して、残渣Ｃが濾過された洗剤Ｂを、本考案の濾過装置から抽出して循環利用する。

前記タンクベース１０は、貯液タンク１１を含み、前記濾過ユニット２０は、該タンクベース１０の上方に位置すると共に、該貯液タンク１１の一側から残渣排出方向Ｄに向かって突出し、互いに連通する収容空間２５及び上方開口２６を含み、該上方開口２６は、前記流出口Ａから放出される洗剤Ｂを受け入れるために利用され、該濾過ユニット２０における前記貯液タンク１１の一側から突出する側に、残渣排出口２１が設けられ、該濾過ユニット２０の底板２２は、メッシュフィルター２２１を有し、該メッシュフィルター２２１は、金属製であることが好ましい。

本実施例において、前記底板２２については、平面状であり、大部分の領域が前記メッシュフィルター２２１であり、上下傾斜の状態で前記貯液タンク１１の上方に位置し、その傾斜角度は、水平面に対して１〜１０度の範囲であることが好ましく、さらに、残渣排出方向Ｄに沿った側を残渣排出側２２２とし、該残渣排出側２２２は、傾斜状態における該底板２２の最上部に位置すると共に、該貯液タンク１１の一側から残渣排出方向Ｄに向かって突出し、該残渣排出口２１の下側周縁を形成する。

さらに、図１及び図４に示すように、前記濾過ユニット２０は、対向する両側壁２４と複数の残渣案内部材２３をさらに含み、前記残渣排出口２１が、該二つの側壁２４の間に配置され、該複数の残渣案内部材２３が、該側壁２４から突出するように形成されることによって、該濾過ユニット２０の収容空間２５の幅が、該残渣排出口２１に向かって徐々に狭くなる。前記残渣案内部材２３は、残渣Ｃを前記残渣排出側２２２の中央に集中させて、地面に散らばらないようにするために用いられ、その数は、複数に限定されるものではなく、一つであってもよい。

さらに、図１、図２及び図７に示すように、前記振動ユニット３０は、前記濾過ユニット２０に連結されると共に、該濾過ユニット２０を、前記タンクベース１０に対して往復振動変位させるように駆動させ、この往復振動変位の変位方向のうちの一つは、前記残渣排出方向Ｄに向かっている。尚、本実施例においては、前記振動ユニット３０が、二つの運動変換部材３１と、回転軸３２と、モーター３３とを含み、該運動変換部材３１が、前記濾過ユニット２０と連結され、該回転軸３２が、前記タンクベース１０に、残渣排出方向Ｄと非平行に回転可能に設置される。

さらに、図５及び図６に示すように、前記回転軸３２は、外周壁面上に、二つの偏心部３２１が突出するように設けられ、該偏心部３２１の外周面における偏心中心線Ｌ１が、該回転軸３２の回転中心線Ｌ２からオフセットされ、つまり、該回転軸３２の端面から見ると、該偏心中心線Ｌ１が、該回転中心線Ｌ２から一定距離離間しており、その距離は離間距離Ｅと定義され、該離間距離Ｅは１.５〜４ｍｍの範囲であることが好ましい。前記回転軸３２は、それぞれの前記両偏心部３２１で、前記両運動変換部材３１を貫通し、該両偏心部３２１がそれぞれ、該対応する運動変換部材３１に対して回転自在に保持される。前記モーター３３は、前記タンクベース１０に設置されると共に、前記回転軸３２の回転により、前記偏心部３２１を高速で回転させる。

さらに、図８〜図１１に示すように、前記回転軸３２が、前記モーター３３によって回転駆動すると、該回転軸３２の偏心部３２１が、該回転軸３２の回転中心線Ｌ２を中心に回転するように移動し、該偏心部３２１の回転移動に応じて、前記運動変換部材３１が、該回転中心線Ｌ２を囲繞するよに振動し、前記濾過ユニット２０は、該運動変換部材３１の振動により駆動して往復振動変位し（図１２〜図１５を参照）、また、該回転軸３２は残渣排出方向Ｄと平行ではないので、該濾過ユニット２０の往復振動変位における変位方向のうちの一つは、残渣排出方向Ｄに向かっている。

前記回転軸３２は、残渣排出方向Ｄと直交する水平軸であることが好ましいが、これに限定されるものではなく、残渣排出方向Ｄと直交する垂直軸であってもよい。尚、本実施例において、前記振動ユニット３０は、前記回転軸３２の偏心部３２１を用いて、前記濾過ユニット２０を駆動することから、該濾過ユニット２０の往復振動変位は略円運動での揺動であるが、これに限定されることはなく、該振動ユニット３０は、状況に応じて異なる構造であってもよく、濾過ユニット２０を駆動して直線往復運動させる目的を達成できれば、どのような構成でもよい。また、前述の直線往復運動の直線方向は、残渣排出方向Ｄに対してずれていても構わない（すなわち、この直線方向は、残渣排出方向Ｄと平行でない）。一方、前記振動ユニット３０が、前記タンクベース１０に接続されずに、前記濾過ユニット２０上に別途設置されてもよく、例えば、電動歯ブラシや電動マッサージ器と同じ原理の振動機構を採用する場合、該振動ユニット３０は、該タンクベース１０に接続されていなくても、濾過ユニット２０を往復振動変位させることができる。

前記モーター３３の回転数は、１３００ｒｐｍ以上であることが好ましい。尚、本実施例において、該モーター３３は、伝動機構３５を介して、前記回転軸３２を駆動し、該回転軸３２は、軸受け座１２を介して、前記タンクベース１０に回動可能に設置され、前記二つの運動変換部材３１は、スリーブ３４を介して連結され、該スリーブ３４は、前記回転軸３２の錆防止手段として、該回転軸３２の外周に環装される。

さらに、図１〜図３に示すように、前記連結ユニット４０は、前記タンクベース１０と前記濾過ユニット２０とを連結すると共に、残渣排出方向Ｄに沿って前記振動ユニット３０と間隔をおいて設置される。尚、本実施例においては、該連結ユニット４０が二つの弾性部材４１を含み、該二つの弾性部材４１が、圧縮コイルバネであることが好ましく、該二つの弾性部材４１はそれぞれ、前記タンクベース１０に取り付けられれると共に、前記濾過ユニット２０における、残渣排出方向Ｄと直交する両側壁２４の下方に配置されて、該濾過ユニット２０を上向きに付勢する。更に、前記弾性部材４１と回転軸３２とは、残渣排出方向Ｄに沿って互いに離間していることから、前記濾過ユニット２０の一側が、該弾性部材４１の軸方向の弾性力によって、前記貯液タンク１１の上方で支持されており、同時に、該弾性部材４１は、該濾過ユニット２０が、残渣排出方向Ｄに沿って往復移動することを可能にするだけでなく、該弾性部材４１の径方向の弾性力を利用することにより、前記振動ユニット３０による濾過ユニット２０の残渣排出方向Ｄに沿った往復移動の振動効果を一層に高める効果をもたらす。尚、前記連結ユニット４０は、複数の圧縮コイルバネに限定されるものではなく、例えば、一つの圧縮コイルバネのみであってもよく、該濾過ユニット２０の上面に接続される引張りコイルバネであってもよく、該濾過ユニット２０の下面に接続される複数のローラであってもよく、該複数のローラの外周面は、前記タンクベース１０の上面に下向きに当接し、いずれにしても、該連結ユニット４０は、該タンクベース１０と濾過ユニット２０とを接続できれば、且つ該濾過ユニット２０が、該タンクベース１０に対して残渣排出方向Ｄに沿って往復移動することが可能であれば、他の構成であってもよい。

本実施例における、前記振動ユニット３０と濾過ユニット２０とは、ほぼ枢設によって連結されており、該濾過ユニット２０が十分な支持を得ることができるように、連結ユニット４０がさらに設けられているが、このような設計に限定されることはない。つまり、本考案は、該連結ユニット４０を有しなくてもよく、該濾過ユニット２０が、単に該振動ユニット３０のみにより保持される構成であってもよい。

前記残渣収集具５０は、前記残渣排出口２１の下方に移動可能に設置され、前記濾過ユニット２０から排出される残渣Ｃを収集し、該残渣収集具５０の底面に複数のキャスター５１が設置されることにより、該残渣収集具５０が、該濾過ユニット２０から離れる方向（例えば、残渣排出方向Ｄ）に移動することができるので、該残渣収集具５０内の残渣Ｃを簡単に廃棄処分することができる。

本考案に係る濾過装置を使用する時は、まず、プリント基板の製造における、現象工程や剥離工程に使用される洗剤Ｂ（残渣Ｃが混在しており）を、本考案の濾過ユニット２０に流し込み、洗剤Ｂ内に混在している残渣Ｃを、前記メッシュフィルター２２１によって取り除いて、前記濾過ユニット２０内に集中させ、一方、きれいな洗剤Ｂは、該メッシュフィルター２２１を通して循環使用させるために、下方の前記貯液タンク１１に溜めておく。

前記振動ユニット３０の回転軸３２が前記モーター３３によって回転駆動すると、前記運動変換部材３１が該回転軸３２の回転中心線Ｌ２を囲繞するよに振動し、それにより、前記濾過ユニット２０が、該運動変換部材３１の振動に駆動されて残渣排出方向Ｄに沿って往復振動変位し、該濾過ユニット２０が残渣排出方向Ｄに沿って変位すると、残渣Ｃが、該濾過ユニット２０の変位に連動して、残渣排出方向Ｄに沿って移動する（図１５を参照）。更に、該濾過ユニット２０が残渣排出方向Ｄと反対する方向に沿って変位すると（図１１を参照）、前記残渣排出口２１周辺の残渣Ｃの一部が自身の慣性質量により、該濾過ユニット２０の移動に追従せずに、該残渣排出口２１の縁を越えて、前記残渣収集具５０内に落ち、該濾過ユニット２０が下方へ変位すると、残渣Ｃを前記メッシュフィルター２２１から強制的に分離させ、該メッシュフィルター２２１の目詰まりを改善する効果をもたらす。

最後に、図１６に示すように、本考案の第２の実施例においてはさらに、オーバーフロー槽６０Ａを備え、該オーバーフロー槽６０Ａは、前記濾過ユニット２０Ａにおける残渣排出方向Ｄと反対する側に位置し、且つ洗剤Ｂを受け入れるために前記流出口Ａの下方に配置される。更に、前記オーバーフロー槽６０Ａにおける、前記濾過ユニット２０Ａの上方にオーバーフロー口６１Ａが形成され、該オーバーフロー槽６０Ａ及びオーバーフロー口６１Ａが、該濾過ユニット２０Ａの両側壁２４間において残渣排出方向Ｄと直交するように延在する。このオーバーフロー槽６０Ａがさらに設置されることで、前記流出口Ａから放出される洗剤Ｂは、まず、該オーバーフロー槽６０に流入し、その後、前記オーバーフロー口６１Ａから溢れ出して、前記濾過ユニット２０Ａに流入し、これにより、洗剤Ｂが該濾過ユニット２０に流入する流速を低減させることで、濾過効果を向上させる。

上述した技術特徴によれば、本考案は、前記濾過ユニット２０が前記貯液タンク１１の上に設置されると共に、該貯液タンク１１の一側から残渣排出方向Ｄに向かって突出することや、前記振動ユニット３０が、該濾過ユニット２０を、残渣排出方向Ｄに沿って往復振動変位させるように駆動することにより、該濾過ユニット２０内の残渣Ｃを、残渣排出口２１から自動的に排出されるので、時間と労力を節約することができる。

以上の説明は、本考案の好ましい実施形態に過ぎず、本考案に対して何ら限定を行うものではない。本考案について、比較的好ましい実施形態をもって上記のとおり開示したが、これは本考案を限定するものではなく、すべての当業者が、本考案の技術構想を逸脱しない範囲において、本考案の技術の本質に基づいて上記の実施形態に対して行ういかなる簡単な修正、変更及び修飾も、依然としてすべて本考案の技術構想の範囲内にある。

１０ タンクベース
１１ 貯液タンク
１２ 軸受け座
２０ 濾過ユニット
２１ 残渣排出口
２２ 底板
２２１ メッシュフィルター
２２２ 残渣排出側
２３ 残渣案内部材
２４ 側壁
２５ 収容空間
２６ 上方開口
３０ 振動ユニット
３１ 運動変換部材
３２ 回転軸
３２１ 偏心部
３３ モーター
３４ スリーブ
３５ 伝動機構
４０ 連結ユニット
４１ 弾性部材
５０ 残渣収集具
５１ キャスター
Ｄ 残渣排出方向
Ｅ 偏心距離
Ｌ１ 偏心中心線
Ｌ２ 回転中心線
２０Ａ 濾過ユニット
６０Ａ オーバーフロー槽
６１Ａ オーバーフロー口
Ａ 流出口
Ｂ 洗剤
Ｃ 残渣

Claims (10)

1. プリント基板の製造過程中において、流出口から放出される洗剤を漉すために使用される、プリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置であって、タンクベースと、濾過ユニットと、振動ユニットとを備え、
   前記タンクベースは、貯液タンクを含み、
   前記濾過ユニットは、前記貯液タンクの上方に配置され、該貯液タンクの一側から残渣排出方向に向かって突出すると共に、互いに連通する収容空間及び上方開口を含み、該上方開口は、前記流出口から放出される洗剤を受け入れるために使用され、該濾過ユニットにおける、該貯液タンクの一側から突出する側に残渣排出口が設けられ、該濾過ユニットの底板はメッシュフィルターを有し、
   前記振動ユニットは、前記濾過ユニットに連結され、該濾過ユニットを、前記タンクベースに対して往復振動変位させるように駆動し、該往復振動変位の変位方向のうちの一つの方向は、残渣排出方向に向かっていることを特徴とするプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置。
2. 前記振動ユニットは、少なくとも一つの運動変換部材と、回転軸と、モーターとを含み、
   前記少なくとも一つの運動変換部材が、前記濾過ユニットと連結され、
   前記回転軸は、前記タンクベースに、残渣排出方向と非平行に回転可能に設置され、該回転軸の外周壁面上に、少なくとも一つの偏心部が突出するように形成され、該少なくとも一つの偏心部の外周面における偏心中心線が、該回転軸の回転中心線からオフセットされ、該回転軸は、該少なくとも一つの偏心部で、前記少なくとも一つの運動変換部材を貫通し、該少なくとも一つの偏心部が、該少なくとも一つの運動変換部材に対して回転自在に保持され、
   前記モーターは、前記タンクベースに設置されると共に、前記回転軸を回転させることを特徴とする前記請求項１に記載のプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置。
3. 前記タンクベースと濾過ユニットを連結すると共に、残渣排出方向に沿って前記振動ユニットと間隔をおいて設置される連結ユニットを備えることを特徴とする前記請求項１又は請求項２に記載のプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置。
4. 前記連結ユニットは、少なくとも一つの弾性部材を含み、該少なくとも一つの弾性部材は、前記タンクベースに取り付けられれると共に、前記濾過ユニットを上向きに付勢することを特徴とする請求項３に記載のプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置。
5. 前記少なくとも一つの弾性部材は、圧縮コイルバネであり、一端が前記タンクベースに連結され、他端が前記濾過ユニットに上向きに付勢するように当接することを特徴とする前記請求項４に記載のプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置。
6. 前記濾過ユニットは、底板が上下方向に対する傾斜状態で、前記貯液タンクの上方に配置され、該底板は、残渣排出方向に沿った一側を残渣排出側とし、該残渣排出側は、傾斜状態での該底板の最上部に位置し、且つ該貯液タンクの一側から残渣排出方向に向かって突出することを特徴とする前記請求項１又は請求項２に記載のプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置。
7. 前記濾過ユニットは、底板と水平面との間の角度が１〜１０度の範囲であることを特徴とする前記請求項６に記載のプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置。
8. 前記濾過ユニットは、対向する両側壁と少なくとも一つの残渣案内部材をさらに含み、前記残渣排出口が該両側壁間に配置され、該少なくとも一つの残渣案内部材が、少なくとも一つの該側壁から突出するように形成され、これにより、該濾過ユニットの収容空間の幅が、残渣排出方向に沿って徐々に狭くなることを特徴とする前記請求項１又は請求項２に記載のプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置。
9. 本考案に係る濾過装置は、残渣収集具をさらに備え、該残渣収集具は、前記残渣排出口の下方に移動可能に設置され、その底面に複数のキャスターが設置されることを特徴とする前記請求項１又は請求項２に記載のプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置。
10. 前記濾過ユニットは、対向する両側壁をさらに含み、前記残渣排出口は、該両側壁間に配置され、
    本考案に係る濾過装置は、オーバーフロー槽をさらに備え、該オーバーフロー槽は、前記濾過ユニットにおける、残渣排出方向と反対する側に位置し、且つ前記流出口の下方に配置され、該オーバーフロー槽における該濾過ユニットの上方にオーバーフロー口が形成され、該オーバーフロー口が、前記両側壁間において残渣排出方向と直交するように延在することを特徴とする前記請求項１又は請求項２に記載のプリント基板製造に使用する自動的に残渣を排出する濾過装置。