JP3226958B2 - 吹出ボックス - Google Patents
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム等に使
用する吹出ボックスに関するものである。
用する吹出ボックスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームに設置される半導体製造
プロセス等の生産ラインは、半導体技術の急峻な発達に
伴い、わずかな期間で大幅に改造されるのは周知であ
る。この改造に、エネルギーロスを可能な限り少なくし
て容易に適合させることのできる各種の手段が開発され
ているが、現在のところ、分散小型ファン方式たるファ
ンフィルタユニットを用いる方式が最も有効と考えられ
ている。この方式は、天井に格子状の天井フレームを設
けて、該天井フレームにファンフィルタユニットつまり
フィルタの上にファンを装備させてユニット化したもの
を配列し、それらのファンによりサプライチャンバー内
の空気を各フィルタで浄化してクリーン内室へと供給
し、一方、クリーン内室の汚れた空気を、それらのファ
ンの吸引作用により通風床からレタンチャンバーを介し
て前記サプライチャンバーへと帰還させるものであり、
それらのファンフィルタユニットをクリーン内室の生産
ラインに適合させて選択的に作動させ、無用部のユニッ
トを盲板等で閉じて休止させることによりエネルギーロ
スを回避したものである。
プロセス等の生産ラインは、半導体技術の急峻な発達に
伴い、わずかな期間で大幅に改造されるのは周知であ
る。この改造に、エネルギーロスを可能な限り少なくし
て容易に適合させることのできる各種の手段が開発され
ているが、現在のところ、分散小型ファン方式たるファ
ンフィルタユニットを用いる方式が最も有効と考えられ
ている。この方式は、天井に格子状の天井フレームを設
けて、該天井フレームにファンフィルタユニットつまり
フィルタの上にファンを装備させてユニット化したもの
を配列し、それらのファンによりサプライチャンバー内
の空気を各フィルタで浄化してクリーン内室へと供給
し、一方、クリーン内室の汚れた空気を、それらのファ
ンの吸引作用により通風床からレタンチャンバーを介し
て前記サプライチャンバーへと帰還させるものであり、
それらのファンフィルタユニットをクリーン内室の生産
ラインに適合させて選択的に作動させ、無用部のユニッ
トを盲板等で閉じて休止させることによりエネルギーロ
スを回避したものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このファンフ
ィルタユニットを用いる方式では、ユニット自体が高価
となり、クリーンルーム全体としてかなりのコスト高と
なるだけでなく、無用部のユニットを休止させるので
は、設備としての稼働率が甚だ悪い。また、頻繁に使用
するものと、あまり使用しないものとが生じて、ユニッ
ト寿命のアンバランス、保守・点検の困難を伴う。かか
る問題点を解決するため、本出願人は、図９、図１０に
示す二層式サプライチャンバーのクリーンルームを開発
した。図において、１は、クリーン内室、２は、該クリ
ーン内室の上方に設けたサプライチャンバー、３は、ク
リーン内室の下方に設けたレタンチャンバー、４は、該
レタンチャンバーと前記サプライチャンバーとを連ねた
レタンダクトである。サプライチャンバー２は、レタン
チャンバー４に連なるファンチャンバー５と該ファンチ
ャンバーに連なるフィルタチャンバー６との上下二層に
形成し、その上層のファンチャンバー５と下層のフィル
タチャンバー６との境界部には、各所に複数の窓孔８を
配した仕切パネル７を設けて、各窓孔８にファン10と盲
板９とのいずれか一方を交換可能に気密に装着し、ま
た、下層のフィルタチャンバー６とクリーン内室１との
境界部には、フィルタ天井11を設けている。フィルタ天
井11は、格子状天井フレーム12に多数のフィルタ14と盲
板13とを適宜に且つ交換可能に気密に配備させて成る。
なお、上層のファンチャンバー５は、ファン10と盲板９
との交換、これらの保守・点検等のため、作業員の出入
りを可能にする。下層のフィルタチャンバー６も同様に
してもよい。レタンチャンバー３は、グレーチング等の
通風床15の下に形成し、ドライコイル、冷房コイル等の
空調コイル16を介してレタンダクト４に連通させてい
る。上記構成であるから、取り付けられている全てのフ
ァン10が作動すると、サプライチャンバー２の上層のフ
ァンチャンバー５から下層のフィルタチャンバー６へと
空気が加圧供給され、該フィルタチャンバー内で均圧化
される。この加圧空気は、フィルタ14を経て浄化され、
下のクリーン内室１へと吹き出る。また、クリーン内室
１の汚れた空気は、天井のファン10の吸引力により、通
風床15を通ってレタンチャンバー３に流入し、空調コイ
ル16で空調され、レタンダクト４を経て前記ファンチャ
ンバー５に帰還される。生産ラインの変更等の際には、
まず、フィルタ天井11において、清浄空気の吹き出しを
要しないフィルタ14について，盲板13と交換する。次
に、所要の風量を選んで、使用するファン10の数を定
め、これらのファン10を吹出量の多いフィルタ天井11の
部位に対応させて適宜窓孔８に気密に装備させる。他の
窓孔８は盲板９で気密に閉じる。なお、フィルタ14と盲
板13の交換は、クリーン内室１から行えばよく、ファン
10と盲板９の交換は、ファンチャンバー５に作業員が入
り込んで行えばよい。本発明は、このようなクリーンル
ームの窓孔８に使用して便利な吹出ボックスを提供しよ
うとするものであり、請求項１の発明は、騒音の減少と
送風の均一化を図ろうとするものであり、請求項２の発
明は、クリーンルーム運転中のファンの取り替えを容易
に行えるようにしようとするものであり、また、請求項
３の発明は、クリーンルーム運転中のファンの取り替え
を容易にするとともに、騒音の減少と送風の均一化をも
図ろうとするものである。而して、いずれも一般の建物
での空調設備の吹出口等に応用できるようにしようとす
るものである。
ィルタユニットを用いる方式では、ユニット自体が高価
となり、クリーンルーム全体としてかなりのコスト高と
なるだけでなく、無用部のユニットを休止させるので
は、設備としての稼働率が甚だ悪い。また、頻繁に使用
するものと、あまり使用しないものとが生じて、ユニッ
ト寿命のアンバランス、保守・点検の困難を伴う。かか
る問題点を解決するため、本出願人は、図９、図１０に
示す二層式サプライチャンバーのクリーンルームを開発
した。図において、１は、クリーン内室、２は、該クリ
ーン内室の上方に設けたサプライチャンバー、３は、ク
リーン内室の下方に設けたレタンチャンバー、４は、該
レタンチャンバーと前記サプライチャンバーとを連ねた
レタンダクトである。サプライチャンバー２は、レタン
チャンバー４に連なるファンチャンバー５と該ファンチ
ャンバーに連なるフィルタチャンバー６との上下二層に
形成し、その上層のファンチャンバー５と下層のフィル
タチャンバー６との境界部には、各所に複数の窓孔８を
配した仕切パネル７を設けて、各窓孔８にファン10と盲
板９とのいずれか一方を交換可能に気密に装着し、ま
た、下層のフィルタチャンバー６とクリーン内室１との
境界部には、フィルタ天井11を設けている。フィルタ天
井11は、格子状天井フレーム12に多数のフィルタ14と盲
板13とを適宜に且つ交換可能に気密に配備させて成る。
なお、上層のファンチャンバー５は、ファン10と盲板９
との交換、これらの保守・点検等のため、作業員の出入
りを可能にする。下層のフィルタチャンバー６も同様に
してもよい。レタンチャンバー３は、グレーチング等の
通風床15の下に形成し、ドライコイル、冷房コイル等の
空調コイル16を介してレタンダクト４に連通させてい
る。上記構成であるから、取り付けられている全てのフ
ァン10が作動すると、サプライチャンバー２の上層のフ
ァンチャンバー５から下層のフィルタチャンバー６へと
空気が加圧供給され、該フィルタチャンバー内で均圧化
される。この加圧空気は、フィルタ14を経て浄化され、
下のクリーン内室１へと吹き出る。また、クリーン内室
１の汚れた空気は、天井のファン10の吸引力により、通
風床15を通ってレタンチャンバー３に流入し、空調コイ
ル16で空調され、レタンダクト４を経て前記ファンチャ
ンバー５に帰還される。生産ラインの変更等の際には、
まず、フィルタ天井11において、清浄空気の吹き出しを
要しないフィルタ14について，盲板13と交換する。次
に、所要の風量を選んで、使用するファン10の数を定
め、これらのファン10を吹出量の多いフィルタ天井11の
部位に対応させて適宜窓孔８に気密に装備させる。他の
窓孔８は盲板９で気密に閉じる。なお、フィルタ14と盲
板13の交換は、クリーン内室１から行えばよく、ファン
10と盲板９の交換は、ファンチャンバー５に作業員が入
り込んで行えばよい。本発明は、このようなクリーンル
ームの窓孔８に使用して便利な吹出ボックスを提供しよ
うとするものであり、請求項１の発明は、騒音の減少と
送風の均一化を図ろうとするものであり、請求項２の発
明は、クリーンルーム運転中のファンの取り替えを容易
に行えるようにしようとするものであり、また、請求項
３の発明は、クリーンルーム運転中のファンの取り替え
を容易にするとともに、騒音の減少と送風の均一化をも
図ろうとするものである。而して、いずれも一般の建物
での空調設備の吹出口等に応用できるようにしようとす
るものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的達成のため、請
求項１記載のは発明は、クリーンルーム用フィルタの上
方に設けた仕切りパネルに窓孔を形成し、かつ該窓孔に
吹出口と一対の吹込口とを有する吸音材からなるファン
接続筐を取り付けるとともに、該ファン接続筐内部に吹
出口に対応させて邪魔板を設け、かつ両吹込口にファン
を接続するとともに、これら一対のファン間に２軸を有
するファン駆動用のモータを設け、かつ該モータの両軸
をそれぞれのファンに連結したことを特徴とする。請求
項２記載の発明は、クリーンルーム用フィルタの上方に
設けた仕切りパネルに窓孔を形成するとともに、該窓孔
に吹出口と一対の吹込口とを有するファン接続筐を取り
付け、かつ両吹込口にファンを着脱自在に装着するとと
もに、これら一対のファン間に２軸を有するファン駆動
用のモータを設け、かつ該モータの両軸をそれぞれのフ
ァンに連結し、さらに各吹込口にチャッキダンパを装着
したことを特徴とする。また、請求項３記載の発明は、
クリーンルーム用フィルタの上方に設けた仕切りパネル
に窓孔を形成し、かつ該窓孔に吹出口と一対の吹込口と
を有する吸音材からなるファン接続筐を取り付けるとと
もに、該ファン接続筐内部に吹出口に対応させて邪魔板
を設け、かつ両吹込口にファンを着脱自在に装着すると
ともに、これら一対のファン間に２軸を有するファン駆
動用のモータを設け、かつ該モータの両軸をそれぞれの
ファンに連結し、さらに各吹込口にチャッキダンパを装
着したことを特徴とする。
求項１記載のは発明は、クリーンルーム用フィルタの上
方に設けた仕切りパネルに窓孔を形成し、かつ該窓孔に
吹出口と一対の吹込口とを有する吸音材からなるファン
接続筐を取り付けるとともに、該ファン接続筐内部に吹
出口に対応させて邪魔板を設け、かつ両吹込口にファン
を接続するとともに、これら一対のファン間に２軸を有
するファン駆動用のモータを設け、かつ該モータの両軸
をそれぞれのファンに連結したことを特徴とする。請求
項２記載の発明は、クリーンルーム用フィルタの上方に
設けた仕切りパネルに窓孔を形成するとともに、該窓孔
に吹出口と一対の吹込口とを有するファン接続筐を取り
付け、かつ両吹込口にファンを着脱自在に装着するとと
もに、これら一対のファン間に２軸を有するファン駆動
用のモータを設け、かつ該モータの両軸をそれぞれのフ
ァンに連結し、さらに各吹込口にチャッキダンパを装着
したことを特徴とする。また、請求項３記載の発明は、
クリーンルーム用フィルタの上方に設けた仕切りパネル
に窓孔を形成し、かつ該窓孔に吹出口と一対の吹込口と
を有する吸音材からなるファン接続筐を取り付けるとと
もに、該ファン接続筐内部に吹出口に対応させて邪魔板
を設け、かつ両吹込口にファンを着脱自在に装着すると
ともに、これら一対のファン間に２軸を有するファン駆
動用のモータを設け、かつ該モータの両軸をそれぞれの
ファンに連結し、さらに各吹込口にチャッキダンパを装
着したことを特徴とする。
【０００５】
【作用】如上の構成であり、いずれも前記クリーンルー
ムの窓孔８、一般の建物での空調設備の吹出部等に取り
付けて使用するが、請求項１の発明では、ファン接続筐
の消音手段は、ファンからの送風の騒音を低減し、ま
た、気流分布改善手段は、吹出空気の分散を良好にし、
クリーンルームにおいて、その送風の多くが直接に直下
のフィルタを通過することによる清浄空気の吹き出しの
アンバランスを解消する。請求項２の発明では、ファン
を停止させたり、そのファンをファン接続筐から取り外
したりすると、ファン接続筐に装備されたチャッキダン
パーが自動的に閉じる。このことは、クリーンルーム、
空調設備等の運転中でも同様であり、運転中のファンの
交換等も可能とする。特に、前記クリーンルームでの使
用にあっては、フィルタチャンバー内の気圧がファンチ
ャンバー内の気圧よりも高くても、フィルタチャンバー
内の空気がファンチャンバーへと逆流することはなく、
その気圧が低下することもない。したがって、チャッキ
ダンパーを有するファン接続筐は、クリーンルーム運転
中のファンの停止、交換等を可能とし、盲板との交換を
不要とする。なお、クリーンルーム運転中でも、ファン
の交換等の際には作業員がファンチャンバーに入り込ん
で行えばよい。而して、請求項３の発明では、上記請求
項２の発明において、更に、ファン接続筐の消音手段が
ファンからの送風の騒音を低減し、気流分布改善手段が
その送風の分散を良好にし、吹き出しのアンバランスを
解消する。勿論、両手段を共通の部材で兼用することは
可能である。
ムの窓孔８、一般の建物での空調設備の吹出部等に取り
付けて使用するが、請求項１の発明では、ファン接続筐
の消音手段は、ファンからの送風の騒音を低減し、ま
た、気流分布改善手段は、吹出空気の分散を良好にし、
クリーンルームにおいて、その送風の多くが直接に直下
のフィルタを通過することによる清浄空気の吹き出しの
アンバランスを解消する。請求項２の発明では、ファン
を停止させたり、そのファンをファン接続筐から取り外
したりすると、ファン接続筐に装備されたチャッキダン
パーが自動的に閉じる。このことは、クリーンルーム、
空調設備等の運転中でも同様であり、運転中のファンの
交換等も可能とする。特に、前記クリーンルームでの使
用にあっては、フィルタチャンバー内の気圧がファンチ
ャンバー内の気圧よりも高くても、フィルタチャンバー
内の空気がファンチャンバーへと逆流することはなく、
その気圧が低下することもない。したがって、チャッキ
ダンパーを有するファン接続筐は、クリーンルーム運転
中のファンの停止、交換等を可能とし、盲板との交換を
不要とする。なお、クリーンルーム運転中でも、ファン
の交換等の際には作業員がファンチャンバーに入り込ん
で行えばよい。而して、請求項３の発明では、上記請求
項２の発明において、更に、ファン接続筐の消音手段が
ファンからの送風の騒音を低減し、気流分布改善手段が
その送風の分散を良好にし、吹き出しのアンバランスを
解消する。勿論、両手段を共通の部材で兼用することは
可能である。
【０００６】
【実施例】以下、図１乃至図８に示す実施例について説
明する。これらの実施例は、図９、図１０に示すクリー
ンルームに使用する吹出ボックスに係るものである。図
１、図２は、請求項１の発明の実施例であり、この実施
例は、図９、図１０に示す前記クリーンルームにおい
て、仕切パネル７の窓孔８にファン10に代えて使用する
吹出ボックスを示している。換言すれば、窓孔８にファ
ン10を直に取り付けずに、ファン接続筐17を設けて、該
ファン接続筐にファン10を接続し、これを窓孔８に着脱
自在に取り付けるようにしている。ファン接続筐17は、
下面に前記窓孔８に対応する吹出口19を有し、背面にフ
ァン10を接続させる吹込口20を有する吸音材から成るケ
ーシング18を設け、該ケーシング内に吹出口19に対応さ
せて吸音材による邪魔板21を配し、その吹込口20にファ
ン10を接続している。つまり、吸音材から成るケーシン
グ18と邪魔板21が、送風の騒音を吸収して消音手段をな
し、また、風向きを変更させて気流分布改善手段をな
す。ファン10は、吸音材による外筐22でカバーし、該外
筐には、上面に吸込口23を設けるとともに、該吸込口に
スライドダンパー24を備えている。この場合、ファン接
続筐17において、吸音材から成るケーシング18と邪魔板
21が消音手段と気流分布改善手段をなすので、各フィル
タ14からの清浄空気の吹き出しを静かで均一なものにす
る。なお、ファン接続筐17は、窓孔８を通してフィルタ
チャンバー６内に挿入させるようにしてもよい。この場
合、吹込口20を上面に、邪魔板21を下面に、吹出口19を
両側面に設けてもよい。ファン10は、着脱自在としても
よいが、その場合には取り外した吹込口20を盲板で閉じ
る必要がある。邪魔板21の片側又は両側に、二点鎖線で
示すような屏風状のものを起立させてもよく、こうする
ことで、邪魔板としての効果をより高めることができ
る。
明する。これらの実施例は、図９、図１０に示すクリー
ンルームに使用する吹出ボックスに係るものである。図
１、図２は、請求項１の発明の実施例であり、この実施
例は、図９、図１０に示す前記クリーンルームにおい
て、仕切パネル７の窓孔８にファン10に代えて使用する
吹出ボックスを示している。換言すれば、窓孔８にファ
ン10を直に取り付けずに、ファン接続筐17を設けて、該
ファン接続筐にファン10を接続し、これを窓孔８に着脱
自在に取り付けるようにしている。ファン接続筐17は、
下面に前記窓孔８に対応する吹出口19を有し、背面にフ
ァン10を接続させる吹込口20を有する吸音材から成るケ
ーシング18を設け、該ケーシング内に吹出口19に対応さ
せて吸音材による邪魔板21を配し、その吹込口20にファ
ン10を接続している。つまり、吸音材から成るケーシン
グ18と邪魔板21が、送風の騒音を吸収して消音手段をな
し、また、風向きを変更させて気流分布改善手段をな
す。ファン10は、吸音材による外筐22でカバーし、該外
筐には、上面に吸込口23を設けるとともに、該吸込口に
スライドダンパー24を備えている。この場合、ファン接
続筐17において、吸音材から成るケーシング18と邪魔板
21が消音手段と気流分布改善手段をなすので、各フィル
タ14からの清浄空気の吹き出しを静かで均一なものにす
る。なお、ファン接続筐17は、窓孔８を通してフィルタ
チャンバー６内に挿入させるようにしてもよい。この場
合、吹込口20を上面に、邪魔板21を下面に、吹出口19を
両側面に設けてもよい。ファン10は、着脱自在としても
よいが、その場合には取り外した吹込口20を盲板で閉じ
る必要がある。邪魔板21の片側又は両側に、二点鎖線で
示すような屏風状のものを起立させてもよく、こうする
ことで、邪魔板としての効果をより高めることができ
る。
【０００７】図３乃至図４は、請求項２の実施例であ
り、この実施例は、前記請求項１の実施例において、フ
ァン接続筐17内にチャッキダンパー25を設け、各ファン
接続筐にファン10を着脱自在に装着している。ファン接
続筐17は、下面に前記窓孔８に対応する吹出口19を有
し、背面にファン10を接続させる吹込口20を有する吸音
材から成るケーシング18を設け、該ケーシング内にて吹
込口20にチャッキダンパー25を配し、その吹込口20にフ
ァン10を着脱自在に接続している。チャッキダンパー25
は、吹込口20の内側下辺部に回動開閉自在に枢着し、常
時閉口用ウエイト26を備え、ファン10からの送風に伴い
その風圧で自動的に開くようにしている。なお、枢着部
は、上辺部等でもよく、また、前記ウエイト26に代えス
プリング等を用いてもよい。この場合、図５、図６に示
すように、仕切パネル７の全ての窓孔８にそれぞれファ
ン接続筐17を取り付ける。つまり、生産ラインの変更等
の際にも、ファン10と盲板９との交換を要せず、ファン
10を所要のファン接続筐17に取り付け、不要のファン接
続筐17から取り外せばよい。このファン10の着脱は、作
業員がファンチャンバーに入り込んで行えばよく、クリ
ーンルーム運転中にも行うことができ、ファン10を停止
させたり、取り外したりすると、ファン接続筐17に装備
されたチャッキダンパー25が自動的に閉じて、フィルタ
チャンバー６内の気圧がファンチャンバー５内の気圧よ
りも高くても、フィルタチャンバー６内の空気がファン
チャンバー５へと逆流することはなく、その気圧が低下
することもない。
り、この実施例は、前記請求項１の実施例において、フ
ァン接続筐17内にチャッキダンパー25を設け、各ファン
接続筐にファン10を着脱自在に装着している。ファン接
続筐17は、下面に前記窓孔８に対応する吹出口19を有
し、背面にファン10を接続させる吹込口20を有する吸音
材から成るケーシング18を設け、該ケーシング内にて吹
込口20にチャッキダンパー25を配し、その吹込口20にフ
ァン10を着脱自在に接続している。チャッキダンパー25
は、吹込口20の内側下辺部に回動開閉自在に枢着し、常
時閉口用ウエイト26を備え、ファン10からの送風に伴い
その風圧で自動的に開くようにしている。なお、枢着部
は、上辺部等でもよく、また、前記ウエイト26に代えス
プリング等を用いてもよい。この場合、図５、図６に示
すように、仕切パネル７の全ての窓孔８にそれぞれファ
ン接続筐17を取り付ける。つまり、生産ラインの変更等
の際にも、ファン10と盲板９との交換を要せず、ファン
10を所要のファン接続筐17に取り付け、不要のファン接
続筐17から取り外せばよい。このファン10の着脱は、作
業員がファンチャンバーに入り込んで行えばよく、クリ
ーンルーム運転中にも行うことができ、ファン10を停止
させたり、取り外したりすると、ファン接続筐17に装備
されたチャッキダンパー25が自動的に閉じて、フィルタ
チャンバー６内の気圧がファンチャンバー５内の気圧よ
りも高くても、フィルタチャンバー６内の空気がファン
チャンバー５へと逆流することはなく、その気圧が低下
することもない。
【０００８】図７、図８は、請求項３の実施例であり、
この実施例は、上記請求項１の実施例と上記請求項２の
実施例との双方の構成要素を備えている。この場合、消
音及び気流分布改善につ請求項１の実施例と、ファン10
の着脱につき請求項２の実施例と同じであり、それらの
実施例の説明をもって詳細な説明を省略する。
この実施例は、上記請求項１の実施例と上記請求項２の
実施例との双方の構成要素を備えている。この場合、消
音及び気流分布改善につ請求項１の実施例と、ファン10
の着脱につき請求項２の実施例と同じであり、それらの
実施例の説明をもって詳細な説明を省略する。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、同時に開発した二層式
サプライチャンバーのクリーンルームに都合よく使用で
き、勿論、一般の建物における空調設備の吹出部に便利
に使用できる。而して、請求項１の発明によれば、ファ
ン接続筐は吸音材からなるため、ファンからの送風の騒
音を低減でき、また、邪魔板により吹出空気の分散を良
好にでき、前記二層式サプライチャンバーのクリーンル
ームにおいて、フィルタからの清浄空気の吹き出しのア
ンバランスを解消できる。さらに、１つの吹出口に対応
するファンの数は２つで、その間に２軸を有するモータ
が設けられているため、コンパクトで大風量が得られる
送風ユニットを構成することができる。さらにまた、モ
ータの回転軸の両端にファンが連結されているため、回
転軸の左右両部の釣り合いのバランスがよく、モータの
ベアリングに偏荷重がかからないためベアリングの長寿
命化を図ることができる。さらにまた、一対の吹出口は
モータの左右両側に位置しているため、邪魔板と相まっ
て吹出空気の一層の分散化が図れ、フィルタへの吹出風
速の分布を良好にすることができる。請求項２の発明に
よれば、前記二層式サプライチャンバーのクリーンルー
ムにおいて、窓孔に盲板を用いないから、生産ラインの
変更等の際には、ファンと盲板との交換を要せず、ファ
ンを所要のファン接続筐に取り付け、不要のファン接続
筐からは取り外せばよく、極めて容易に行え、そして、
このファンの着脱は、クリーンム運転中にも作業員がフ
ァンチャンバーに入り込んで行うことができ、その際、
ファンの停止、取り外しに伴いチャッキダンパーが自動
的に閉じるから、フィルタチャンバー内の気圧が低下す
ることはなく、清浄空気の吹出量が低下することもな
い。勿論、この場合も、クリーンルーム運転中にファン
の点検等を要すれば、作業員がファンチャンバーに入り
込んで支障なく極めて容易に行うことができ、フィルタ
チャンバーにもフィルタにも影響を与えないから、クリ
ーン内室の清浄度を落とすこともない。また、そのよう
なチャッキダンパーによる利益は、一般の建物における
空調設備の吹出部に使用した場合も同様に得ることがで
きる。請求項３の発明によれば、上記請求項２の効果に
加え、上記請求項１で得られる、ファン接続筐の吸音材
によりファンからの送風の騒音を低減でき、また、邪魔
板により吹出空気の分散を良好にでき、吹き出しのアン
バランスを解消できるという効果も奏し、頗る有益であ
る。
サプライチャンバーのクリーンルームに都合よく使用で
き、勿論、一般の建物における空調設備の吹出部に便利
に使用できる。而して、請求項１の発明によれば、ファ
ン接続筐は吸音材からなるため、ファンからの送風の騒
音を低減でき、また、邪魔板により吹出空気の分散を良
好にでき、前記二層式サプライチャンバーのクリーンル
ームにおいて、フィルタからの清浄空気の吹き出しのア
ンバランスを解消できる。さらに、１つの吹出口に対応
するファンの数は２つで、その間に２軸を有するモータ
が設けられているため、コンパクトで大風量が得られる
送風ユニットを構成することができる。さらにまた、モ
ータの回転軸の両端にファンが連結されているため、回
転軸の左右両部の釣り合いのバランスがよく、モータの
ベアリングに偏荷重がかからないためベアリングの長寿
命化を図ることができる。さらにまた、一対の吹出口は
モータの左右両側に位置しているため、邪魔板と相まっ
て吹出空気の一層の分散化が図れ、フィルタへの吹出風
速の分布を良好にすることができる。請求項２の発明に
よれば、前記二層式サプライチャンバーのクリーンルー
ムにおいて、窓孔に盲板を用いないから、生産ラインの
変更等の際には、ファンと盲板との交換を要せず、ファ
ンを所要のファン接続筐に取り付け、不要のファン接続
筐からは取り外せばよく、極めて容易に行え、そして、
このファンの着脱は、クリーンム運転中にも作業員がフ
ァンチャンバーに入り込んで行うことができ、その際、
ファンの停止、取り外しに伴いチャッキダンパーが自動
的に閉じるから、フィルタチャンバー内の気圧が低下す
ることはなく、清浄空気の吹出量が低下することもな
い。勿論、この場合も、クリーンルーム運転中にファン
の点検等を要すれば、作業員がファンチャンバーに入り
込んで支障なく極めて容易に行うことができ、フィルタ
チャンバーにもフィルタにも影響を与えないから、クリ
ーン内室の清浄度を落とすこともない。また、そのよう
なチャッキダンパーによる利益は、一般の建物における
空調設備の吹出部に使用した場合も同様に得ることがで
きる。請求項３の発明によれば、上記請求項２の効果に
加え、上記請求項１で得られる、ファン接続筐の吸音材
によりファンからの送風の騒音を低減でき、また、邪魔
板により吹出空気の分散を良好にでき、吹き出しのアン
バランスを解消できるという効果も奏し、頗る有益であ
る。
【図１】請求項１の発明に係る吹出ボックスの実施例を
示す截断側面図である。
示す截断側面図である。
【図２】同例の截断正面図である。
【図３】請求項２の発明に係る吹出ボックスの実施例を
示す截断側面図である。
示す截断側面図である。
【図４】同例の截断正面図である。
【図５】請求項２の発明に係る吹出ボックスを使用した
クリーンルームの実施例を示す截断正面図である。
クリーンルームの実施例を示す截断正面図である。
【図６】同例の截断平面図である。
【図７】請求項２の発明に係る吹出ボックスの実施例を
示す截断側面図である。
示す截断側面図である。
【図８】同例の截断正面図である。
【図９】関連技術に係る同時開発のクリーンルームを示
す截断正面図である。
す截断正面図である。
【図１０】同クリーンルームの截断平面図である。
１ クリーン内室 ２ サプライチャンバー ３ レタンチャンバー ４ レタンダクト ５ ファンチャンバー ６ フィルタチャンバー ７ 仕切パネル ８ 窓孔 ９ 盲板 10 ファン 11 フィルタ天井 12 天井フレーム 13 盲板 14 フィルタ 15 通風床 16 空調コイル 17 ファン接続筐 18 ケーシング 19 吹出口 20 吹込口 21 邪魔板 22 外筐 23 吸込口 24 スライドダンパー 25 チャッキダンパー 26 ウエイト
フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭57−43400（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭64−36700（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−114326（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F04D 29/66 B01D 46/00 F24F 7/06
Claims (3)
- 【請求項１】クリーンルーム用フィルタの上方に設けた
仕切りパネルに窓孔を形成し、かつ該窓孔に吹出口と一
対の吹込口とを有する吸音材からなるファン接続筐を取
り付けるとともに、該ファン接続筐内部に吹出口に対応
させて邪魔板を設け、かつ両吹込口にファンを接続する
とともに、これら一対のファン間に２軸を有するファン
駆動用のモータを設け、かつ該モータの両軸をそれぞれ
のファンに連結したことを特徴とする吹出ボックス。 - 【請求項２】クリーンルーム用フィルタの上方に設けた
仕切りパネルに窓孔を形成するとともに、該窓孔に吹出
口と一対の吹込口とを有するファン接続筐を取り付け、
かつ両吹込口にファンを着脱自在に装着するとともに、
これら一対のファン間に２軸を有するファン駆動用のモ
ータを設け、かつ該モータの両軸をそれぞれのファンに
連結し、さらに各吹込口にチャッキダンパを装着したこ
とを特徴とする吹出ボックス。 - 【請求項３】クリーンルーム用フィルタの上方に設けた
仕切りパネルに窓孔を形成し、かつ該窓孔に吹出口と一
対の吹込口とを有する吸音材からなるファン接続筐を取
り付けるとともに、該ファン接続筐内部に吹出口に対応
させて邪魔板を設け、かつ両吹込口にファンを着脱自在
に装着するとともに、これら一対のファン間に２軸を有
するファン駆動用のモータを設け、かつ該モータの両軸
をそれぞれのファンに連結し、さらに各吹込口にチャッ
キダンパを装着したことを特徴とする吹出ボックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11998492A JP3226958B2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | 吹出ボックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11998492A JP3226958B2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | 吹出ボックス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05296198A JPH05296198A (ja) | 1993-11-09 |
| JP3226958B2 true JP3226958B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=14775035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11998492A Expired - Fee Related JP3226958B2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | 吹出ボックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3226958B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6336837B1 (en) | 1997-07-30 | 2002-01-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Tungsten halogen lamp and method for manufacturing the same |
| EP3495664A1 (en) * | 2009-10-27 | 2019-06-12 | Nortek Air Solutions, LLC | Fan array control system |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110345091B (zh) * | 2019-06-19 | 2020-11-10 | 上海德惠特种风机有限公司 | 一种防震的环保节能风机 |
-
1992
- 1992-04-13 JP JP11998492A patent/JP3226958B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6336837B1 (en) | 1997-07-30 | 2002-01-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Tungsten halogen lamp and method for manufacturing the same |
| EP3495664A1 (en) * | 2009-10-27 | 2019-06-12 | Nortek Air Solutions, LLC | Fan array control system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05296198A (ja) | 1993-11-09 |
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