JP3223341B2 - Dielectric porcelain composition - Google Patents

Dielectric porcelain composition

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JP3223341B2
JP3223341B2 JP04188795A JP4188795A JP3223341B2 JP 3223341 B2 JP3223341 B2 JP 3223341B2 JP 04188795 A JP04188795 A JP 04188795A JP 4188795 A JP4188795 A JP 4188795A JP 3223341 B2 JP3223341 B2 JP 3223341B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は誘電体磁器組成物に関
し、より詳細には、主としてマイクロ波帯域において使
用されるレゾネータ、フィルタ、コンデンサ及び回路基
板等を構成する高周波用誘電体磁器組成物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric porcelain composition, and more particularly, to a high frequency dielectric porcelain composition mainly used in a microwave band for forming a resonator, a filter, a capacitor and a circuit board. .

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、高周波用誘電体磁器は、自動車電
話、携帯電話、コードレス電話などの無線通信機器のフ
ィルタや、デュプレクサー、電圧制御発振器(VCO)
などに使用される共振器、あるいは各種高周波回路で使
用されるコンデンサ、基板などに多く用いられている。
例えば共振器などにおいては、高誘電率材料を使用する
ことにより高周波の波長を真空中のεr -1/2(εr :比
誘電率)の長さに短縮し、かかる周波数における1波
長、1/2波長、あるいは1/4波長のマイクロ波を高
周波用誘電体磁器の中に閉じこめ、所定の作用効果が得
られるように小型に構成されたものが一般的に知られて
いる。
2. Description of the Related Art In recent years, high frequency dielectric porcelains have been used for filters, duplexers, and voltage controlled oscillators (VCOs) in wireless communication devices such as automobile phones, mobile phones, and cordless phones.
It is widely used for resonators used in devices and the like, or capacitors and substrates used in various high-frequency circuits.
For example, in a resonator or the like, by using a high dielectric constant material, the wavelength of a high frequency wave is shortened to the length of ε r -1/2r : relative dielectric constant) in a vacuum, and one wavelength at such a frequency is reduced. It is generally known that a microwave having a half wavelength or a quarter wavelength is confined in a dielectric ceramic for high frequency and configured to be small in size so as to obtain a predetermined effect.

【0003】一方、現在主として用いられているマイク
ロ波帯域は、民生用機器では1GHz前後であるが、情
報量の増大ならびに機器動作の高速化のため、より高い
周波数帯域(1〜数GHz)でも利用できるマイクロ波
用電子部品が必要となってきている。従って、このよう
なマイクロ波用電子部品を構成する誘電体磁器組成物と
しては、マイクロ波の損失をできる限り少なくするた
め、特にQ値の大きい、すなわち誘電損失の小さい材料
が求められている。
On the other hand, the microwave band mainly used at present is around 1 GHz for consumer devices, but even in a higher frequency band (1 to several GHz) due to an increase in the amount of information and a higher speed of device operation. There is a need for available microwave electronic components. Therefore, as a dielectric ceramic composition constituting such a microwave electronic component, a material having a particularly large Q value, that is, a material having a small dielectric loss is required in order to minimize microwave loss.

【0004】従来、前記の誘電体磁器組成物としては、
例えばMgTiO3 −CaTiO3系のものが知られて
いる。このMgTiO3 −CaTiO3 系誘電体磁器組
成物はMgTiO3 とCaTiO3 との混晶からなる誘
電体磁器組成物で、MgTiO3 :CaTiO3 (モル
比)を(97〜92):(3〜8)の範囲に設定するこ
とにより比誘電率(εr )を19〜22、fQ値を10
数万〜数万GHz、共振周波数の温度係数(τf )を−
30〜+30ppm/℃の範囲に調整することができる
ため、温度特性に優れ、高いQ値を有する誘電体材料と
して知られている。
[0004] Conventionally, as the above-mentioned dielectric porcelain composition,
Such as those of the MgTiO 3 -CaTiO 3 system is known. In this MgTiO 3 -CaTiO 3 based dielectric ceramic composition dielectric ceramic composition comprising a mixed crystal of MgTiO 3 and CaTiO 3, MgTiO 3: CaTiO 3 (molar ratio) (97-92) :( 3 8), the relative dielectric constant (ε r ) is 19 to 22, and the fQ value is 10
Tens of thousands to tens of thousands GHz, temperature coefficient of resonance frequency (τ f )
Since it can be adjusted in the range of 30 to +30 ppm / ° C., it is known as a dielectric material having excellent temperature characteristics and a high Q value.

【0005】しかしながら、このMgTiO3 −CaT
iO3 系誘電体磁器組成物を製造するに際しては、予め
MgOとTiO2 、及びCaOとTiO2 とをそれぞれ
反応させてイルメナイト構造のMgTiO3 とペロブス
カイト構造のCaTiO3 を合成し、その後合成された
MgTiO3 とCaTiO3 とを所定のモル比で混合
し、焼成することが必要で、工程数が多いため必然的に
製造コストが高くなるという問題点があった。
However, this MgTiO 3 -CaT
In producing the iO 3 -based dielectric porcelain composition, MgO and TiO 2 , and CaO and TiO 2 were respectively reacted in advance to synthesize MgTiO 3 having an ilmenite structure and CaTiO 3 having a perovskite structure, and then synthesized. MgTiO 3 and CaTiO 3 must be mixed at a predetermined molar ratio and fired, and the number of steps is large, so that there is a problem that the manufacturing cost is necessarily increased.

【0006】この問題点を克服するため、特公昭61−
14605号公報においては、MgOのモル量がTiO
2 のモル量より多く、さらにCaOまたはSrOが所定
量添加された組成を有するMgTiO3 −CaTiO3
系磁器組成物が提案されている。しかし、このような組
成を有するMgTiO3 −CaTiO3 系誘電体磁器組
成物においても、実際に製造する際の焼成温度が135
0〜1450℃と比較的高温であるために製造コストが
高いという問題があった。
To overcome this problem, Japanese Patent Publication No.
No. 14,605, the molar amount of MgO is TiO 2
MgTiO 3 —CaTiO 3 having a composition larger than the molar amount of 2 and to which a predetermined amount of CaO or SrO is added
Based porcelain compositions have been proposed. However, even in the MgTiO 3 -CaTiO 3 based dielectric porcelain composition having such a composition, the firing temperature in the actual manufacture 135
There was a problem that the production cost was high because of the relatively high temperature of 0 to 1450 ° C.

【0007】また、特開平5−24914号公報では、
MgTiO3 とCaTiO3 の混晶のみからなり、Mg
O、CaO及びTiO2 が含有されない誘電体磁器組成
物が開示されている。これは高いQ値を発現させようと
するものであるが、この組成物においても焼成温度は1
350〜1425℃と高温であり、またQ値も十分高い
値とは言えない。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-24914,
It consists only of a mixed crystal of MgTiO 3 and CaTiO 3 ,
A dielectric porcelain composition free of O, CaO and TiO 2 is disclosed. This aims to develop a high Q value, but the firing temperature is also 1 in this composition.
The temperature is as high as 350 to 1425 ° C, and the Q value cannot be said to be a sufficiently high value.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような課
題に鑑みなされたもので、低い焼成温度で焼成すること
が可能であり、しかも、高いQ値を発現する誘電体磁器
組成物を提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and provides a dielectric ceramic composition which can be fired at a low firing temperature and has a high Q value. It is intended to be.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、下記
(1)及び(2)の誘電体磁器組成物にある。
The gist of the present invention resides in the following dielectric ceramic compositions (1) and (2).

【0010】(1)組成式が下記式で表されることを
特徴とする誘電体磁器組成物。
(1) A dielectric porcelain composition characterized in that the composition formula is represented by the following formula:

【0011】 (Mg1-x Cax )(Ti1-y Gey )O3 ・・・ ただし、 x≦0.11 0<y≦0.15 (2)組成式が下記式で表される組成物を主成分とす
る誘電体磁器組成物であって、前記主成分1molに対
し、BがB2 3 に換算して0.10mol以下および
ZnがZnOに換算して0.50mol以下の割合で含
まれていることを特徴とする誘電体磁器組成物。
(Mg 1-x Ca x ) (Ti 1-y Ge y ) O 3 ... Where x ≦ 0.110 <y ≦ 0.15 (2) The composition formula is represented by the following formula: A dielectric ceramic composition containing the composition as a main component, wherein B is 0.10 mol or less in terms of B 2 O 3 and Zn is 0.50 mol or less in terms of ZnO, based on 1 mol of the main component. A dielectric porcelain composition characterized by being contained in a proportion.

【0012】 (Mg1-x Cax )(Ti1-y Gey )O3 ・・・ ただし、 x≦0.11 0<y≦0.15(Mg 1-x Ca x ) (Ti 1-y Ge y ) O 3 , where x ≦ 0.110 <y ≦ 0.15

【0013】[0013]

【作用】前記(1)記載の誘電体磁器組成物は、(M
g、Ca)TiO3 系磁器組成物にGeを含有させたも
ので、(Mg1-x Cax )(Ti1-y Gey )O3 (式
中、x及びyは、それぞれx≦0.11及び0<y≦
0.15の範囲内の値)の組成を有している。
The dielectric ceramic composition according to the above (1) has a (M
g, Ca) a TiO 3 -based porcelain composition containing Ge, wherein (Mg 1-x Ca x ) (Ti 1-y Ge y ) O 3 (where x and y are each x ≦ 0 .11 and 0 <y ≦
(Value in the range of 0.15).

【0014】上記の組成式において、xはMgとCaの
合計量に対するCaの原子比であるが、xが0.11を
超えると誘電体磁器組成物のQ値が小さくなるので、x
≦0.11とする。下限については特に定めないが、共
振周波数の温度係数(τf )が負側で大きくなりすぎな
いように、0.03とすることが望ましい。
In the above composition formula, x is the atomic ratio of Ca to the total amount of Mg and Ca. When x exceeds 0.11, the Q value of the dielectric ceramic composition becomes small.
≦ 0.11. The lower limit is not particularly defined, but is preferably set to 0.03 so that the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency does not become too large on the negative side.

【0015】また、yはTiとGeの合計量に対するG
eの原子比で、Geが含まれることによって誘電体磁器
組成物の焼結温度が著しく低くなるとともにQ値が向上
する。しかし、Geが0.15を超えて過剰に含まれる
と0.15以下の場合に比べてQ値が低下するので、y
については、0<y≦0.15の範囲内の値とする。
Further, y is G with respect to the total amount of Ti and Ge.
The inclusion of Ge in the atomic ratio of e significantly lowers the sintering temperature of the dielectric ceramic composition and improves the Q value. However, when Ge is excessively contained in excess of 0.15, the Q value is reduced as compared with the case where Ge is 0.15 or less.
Is a value within the range of 0 <y ≦ 0.15.

【0016】上記本発明の誘電体磁器組成物は、製造時
における焼成温度が低く、しかも、従来の誘電体材料と
同等かもしくは高いQ値を有している。
The above-mentioned dielectric ceramic composition of the present invention has a low firing temperature at the time of manufacture and has a Q value equal to or higher than that of a conventional dielectric material.

【0017】前記(2)に記載の誘電体磁器組成物は、
上記(1)に記載の誘電体磁器組成物(前記のの組成
式で表される誘電体磁器組成物)を主成分とするもので
あって、さらに、この主成分1molに対してBがB2
3 に換算して0.1mol以下、及びZnがZnOに
換算して0.5mol以下の割合で含まれている組成物
である。B2 3 、ZnOのいずれかが0、すなわち含
まれていなくてもよい。
The dielectric porcelain composition according to the above (2),
It is mainly composed of the dielectric porcelain composition according to the above (1) (the dielectric porcelain composition represented by the above composition formula). Two
The composition contains 0.1 mol or less in terms of O 3 and 0.5 mol or less in terms of ZnO. Either B 2 O 3 or ZnO may be 0, that is, may not be contained.

【0018】Bが含まれることにより焼結温度が低下す
るが、0.1molを超えて含有されるとQ値の劣化が
顕著になるので、その含有量は上記のように、主成分
(前記のの組成式で表される誘電体磁器組成物)1m
olに対してB2 3 に換算して0.1mol以下とす
る。また、Znが含まれると焼結温度が低下するととも
にQ値が向上する。しかし、0.5molを超えて含有
されると0.5mol以下の場合に比べてQ値が低下す
るので、その含有量は上記のように主成分(前記のの
組成式で表される誘電体磁器組成物)1molに対して
ZnOに換算して0.5mol以下とする。
Although the sintering temperature is lowered by containing B, if the content exceeds 0.1 mol, the deterioration of the Q value becomes remarkable. Dielectric ceramic composition represented by the following composition formula): 1 m
ol is converted to B 2 O 3 to 0.1 mol or less. Further, when Zn is contained, the sintering temperature is lowered and the Q value is improved. However, when the content exceeds 0.5 mol, the Q value is reduced as compared with the case where the content is 0.5 mol or less, so the content is determined as described above for the main component (the dielectric material represented by the above composition formula). 0.5 mol or less in terms of ZnO per 1 mol of the porcelain composition).

【0019】上記(2)の誘電体磁器組成物も焼成温度
が低く、Q値が従来の誘電体材料と比べて同等レベルか
もしくは高い。
The dielectric ceramic composition of the above (2) also has a low firing temperature, and the Q value is equal to or higher than that of a conventional dielectric material.

【0020】[0020]

【実施例】以下、本発明に係わる誘電体磁器組成物の実
施例及び比較例について説明する。
EXAMPLES Examples and comparative examples of the dielectric ceramic composition according to the present invention will be described below.

【0021】まず、試薬のMgO粉末、CaCO3
末、TiO2 粉末、GeO2 粉末、B2 3 粉末及びZ
nO粉末を原料として用い、これらの原料を、前記の
(Mg1- x Cax )(Ti1-y Gey )O3 式における
x及びy、ならびにB2 3 含有量及びZnO含有量が
本発明で定める範囲を含む種々の値になるようにそれぞ
れ秤量してポットミルに投入し、湿式混合した。
First, MgO powder, CaCO 3 powder, TiO 2 powder, GeO 2 powder, B 2 O 3 powder and Z
used nO powder as a raw material, these raw materials, said (Mg 1- x Ca x) ( Ti 1-y Ge y) x in O 3 type and y, as well as the content of B 2 O 3 and ZnO content Each was weighed so as to have various values including the range defined in the present invention, and charged into a pot mill, and wet-mixed.

【0022】次に、この混合物を乾燥させた後、950
〜1150℃で1〜3時間仮焼し、さらにこの仮焼物を
ポットミルで湿式紛砕した。次いで、得られたスラリを
乾燥させ、適量の有機バインダ(PVA)を添加して整
粒した後、1〜2ton/cm2 の圧力で直径20m
m、厚さ10mmの円柱状に成形した。
Next, after drying this mixture, 950
Calcination was performed at 〜1150 ° C. for 1 to 3 hours, and the calcined product was wet-crushed with a pot mill. Next, the obtained slurry was dried, and after adding an appropriate amount of an organic binder (PVA) and sizing, the diameter was 20 m at a pressure of 1 to 2 ton / cm 2.
m, and formed into a cylindrical shape having a thickness of 10 mm.

【0023】この成形体を空気中で1110〜1400
℃の温度範囲で1〜3時間焼成し、誘電体磁器組成物を
得た。
The molded body is placed in the air at 110 to 1400.
Firing was performed at a temperature in the range of 1 to 3 hours to obtain a dielectric ceramic composition.

【0024】上記の方法により得られた円柱状の誘電体
磁器組成物について、共振周波数6〜7.5GHzにお
ける比誘電率(εr )、Q値及び−20〜+80℃にお
ける共振周波数の温度係数(τf )を、円柱共振器法に
より測定した。なお、Q値は測定周波数により変化する
ので、ほぼ一定となるfQ値により表した。
With respect to the cylindrical dielectric porcelain composition obtained by the above method, the relative dielectric constant (ε r ) at a resonance frequency of 6 to 7.5 GHz, the Q value, and the temperature coefficient of the resonance frequency at −20 to + 80 ° C. (Τ f ) was measured by the cylindrical resonator method. Since the Q value changes depending on the measurement frequency, it is represented by an almost constant fQ value.

【0025】測定結果を図1〜図4に示す。The measurement results are shown in FIGS.

【0026】図1は、(Mg1-x Cax )(Ti1-y
y )O3 系誘電体磁器組成物(yは0または0.03
とした)のfQ値、εr 及びτf に対するxの影響、す
なわちMgに対するCa置換量の影響を示した図であ
る。x≦0.11のとき、fQ値が50000GHz以
上の大きな値を示した。
FIG. 1 shows (Mg 1-x C a x ) (Ti 1-y G
e y ) O 3 -based dielectric porcelain composition (y is 0 or 0.03)
FIG. 6 is a diagram showing the effect of x on the fQ value, ε r and τ f of the above, that is, the effect of the Ca substitution amount on Mg. When x ≦ 0.11, the fQ value showed a large value of 50,000 GHz or more.

【0027】図2は、(Mg1-x Cax )(Ti1-y
y )O3 系誘電体磁器組成物(xは0.05、0.0
7または0.09とした)のfQ値、εr 及び焼成温度
に対するyの影響、すなわちTiに対するGe置換量の
影響を示した図である。0<y≦0.15であれば、G
eが含まれないy=0のときに比べてfQ値が大きく、
また、焼成温度がy=0の場合に比べて最大で250℃
程度以上低下した。
FIG. 2 shows (Mg 1-x Ca x ) (Ti 1-y G
e y ) O 3 -based dielectric porcelain composition (x is 0.05, 0.0
7 is a diagram showing the effect of y on the fQ value, ε r, and the firing temperature, ie, the effect of the amount of Ge substitution on Ti. If 0 <y ≦ 0.15, G
The fQ value is larger than when y = 0 where e is not included,
In addition, the firing temperature is 250 ° C. at the maximum compared to the case where y = 0.
More than a drop.

【0028】図3は、(Mg0.93Ca0.07)(Ti1-y
Gey )O3 +aB2 3 系誘電体磁器組成物(yは0
または0.03とした)のfQ値及び焼成温度に対する
23 添加量の影響を示した図である。B2 3
(Mg0.93Ca0.07)(Ti1- y Gey )O3 1mol
に対して0.10mol以下の範囲で含まれると、含ま
れない場合に比べて、fQ値が比較的高い値に維持され
た状態で焼成温度が低下した。特に、Geが含まれてい
ないy=0のときの測定値から推察されるように、Ti
に対するGe置換量が少ないときに顕著で、最大240
℃程度低下した。
FIG. 3 shows (Mg 0.93 Ca 0.07 ) (Ti 1-y
Ge y ) O 3 + aB 2 O 3 based dielectric ceramic composition (y is 0
FIG. 3 is a diagram showing the effect of the amount of B 2 O 3 added on the fQ value and the firing temperature of 0.03). B 2 O 3 is (Mg 0.93 Ca 0.07 ) (Ti 1- y Ge y ) O 3 1 mol
If the fQ value is contained in the range of 0.10 mol or less, the firing temperature is lowered while the fQ value is maintained at a relatively high value, as compared with the case where it is not contained. In particular, as inferred from the measured values when y = 0 where Ge is not included, Ti
Is remarkable when the amount of Ge substitution with respect to
℃ fell.

【0029】図4は、(Mg0.93Ca0.07)(Ti0.94
Ge0.06)+aB2 3 +bZnO系誘電体磁器組成物
(aは0、0.01または0.10とした)のfQ値及
び焼成温度に対するB2 3 及びZnO添加量の影響を
示した図である。(Mg0.93Ca0.07)(Ti1-y Ge
y )O3 1molに対してB2 3 が0.10mol以
下含まれ、さらにZnOが0.50mol以下含有され
る場合、ZnOが含有されないときに比べてfQ値が向
上し、しかも焼成温度が低下した。B2 3 が0mol
(図中でa=0の場合)、すなわち含まれない場合も、
fQ値の向上効果は若干小さかったが同様の結果が得ら
れた。
FIG. 4 shows (Mg 0.93 Ca 0.07 ) (Ti 0.94
Ge 0.06) + aB 2 O 3 + bZnO based dielectric ceramic composition (a showed the effect of B 2 O 3 and ZnO amount for fQ value or firing temperature of the) and 0,0.01 or 0.10 Figure It is. (Mg 0.93 Ca 0.07 ) (Ti 1-y Ge
y) O 3 B 2 O 3 with respect to 1mol are included below 0.10 mol, if the further ZnO is contained below 0.50 mol, fQ value is improved as compared with the case where ZnO is not contained, yet the baking temperature is Dropped. 0 mol of B 2 O 3
(When a = 0 in the figure), that is, when not included,
Although the effect of improving the fQ value was slightly small, similar results were obtained.

【0030】[0030]

【発明の効果】本発明のMgTiO3 −CaTiO3
誘電体磁器組成物は従来提案されている磁器組成物に比
べて低温での焼成が可能で、焼成温度を従来の1400
℃前後から250℃程度以上低下させることができる。
しかも、Q値が同等かもしくは高く、高周波用誘電体磁
器組成物として極めて有用である。
MgTiO 3 -CaTiO 3 based dielectric ceramic composition of the present invention exhibits can be fired at low temperatures compared to ceramic compositions proposed in the prior art, a sintering temperature conventional 1400
The temperature can be lowered from about 250C to about 250C or more.
In addition, the Q value is the same or higher, and it is extremely useful as a dielectric ceramic composition for high frequencies.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(Mg1-x Cax )(Ti1-y Gey )O3
誘電体磁器組成物のfQ値、εr 及びτf に対するx
(Mgに対するCa置換量)の影響を示す図である。
FIG. 1 shows the relationship between the fQ value, ε r and τ f of (Mg 1-x Ca x ) (Ti 1-y Ge y ) O 3 based dielectric ceramic composition.
It is a figure which shows the influence of (Ca substitution amount with respect to Mg).

【図2】(Mg1-x Cax )(Ti1-y Gey )O3
誘電体磁器組成物のfQ値、εr 及び焼成温度に対する
y(Tiに対するGe置換量)の影響を示す図である。
Shows the effect of y (Ge substitution amount for Ti) with respect to FIG. 2 (Mg 1-x Ca x) fQ value of (Ti 1-y Ge y) O 3 based dielectric porcelain composition, epsilon r and the firing temperature FIG.

【図3】(Mg0.93Ca0.07)(Ti1-y Gey )O3
系誘電体磁器組成物(yは0または0.03)のfQ値
及び焼成温度に対するB2 3 添加量の影響を示す図で
ある。
FIG. 3 (Mg 0.93 Ca 0.07 ) (Ti 1-y Ge y ) O 3
System dielectric ceramic composition (y is 0 or 0.03) is a diagram showing the effect of B 2 O 3 added amount for fQ value and firing temperature.

【図4】(Mg0.93Ca0.07)(Ti0.94Ge0.06)系
誘電体磁器組成物のfQ値及び焼成温度に対するB2
3 及びZnO添加量の影響を示す図である。
[4] (Mg 0.93 Ca 0.07) (Ti 0.94 Ge 0.06) based B 2 O for fQ value and the firing temperature of the dielectric ceramic composition
FIG. 3 is a diagram showing the effect of 3 and the amount of ZnO added.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】組成式が下記式で表されることを特徴と
する誘電体磁器組成物。 (Mg1-x Cax )(Ti1-y Gey )O3 ・・・ ただし、 x≦0.11 0<y≦0.15
1. A dielectric porcelain composition characterized in that the composition formula is represented by the following formula. (Mg 1-x Ca x ) (Ti 1-y Ge y ) O 3 where x ≦ 0.110 <y ≦ 0.15
【請求項2】組成式が下記式で表される組成物を主成
分とする誘電体磁器組成物であって、前記主成分1mo
lに対し、BがB2 3 に換算して0.10mol以下
およびZnがZnOに換算して0.50mol以下の割
合で含まれていることを特徴とする誘電体磁器組成物。 (Mg1-x Cax )(Ti1-y Gey )O3 ・・・ ただし、 x≦0.11 0<y≦0.15
2. A dielectric ceramic composition comprising a composition represented by the following formula as a main component:
1. A dielectric porcelain composition characterized by containing B in an amount of 0.10 mol or less in terms of B 2 O 3 and Zn in an amount of 0.50 mol or less as ZnO. (Mg 1-x Ca x ) (Ti 1-y Ge y ) O 3 where x ≦ 0.110 <y ≦ 0.15
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