JP3215244B2 - Device package and method of manufacturing the same - Google Patents
Device package and method of manufacturing the sameInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、外部電極に接続される
素子が組み込まれている素子パッケージおよびその製造
方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an element package in which elements connected to external electrodes are incorporated, and a method of manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般に、IC、LSIなどの素子の実装
技術としては、ワイヤボンディング方式、TAB(Tape
Automated Bonding) 方式、FC(フィリップチップ)
方式などがある。各方式では、素子に形成されているパ
ッドとリードとがワイヤまたはバンプを媒体として電気
的に接続されている。2. Description of the Related Art In general, as a mounting technology of an element such as an IC or an LSI, a wire bonding method, a TAB (Tape) is used.
Automated Bonding) method, FC (Philip chip)
There are methods. In each method, pads and leads formed on the element are electrically connected using wires or bumps as a medium.
【0003】次に、基板のリードとCCD(電荷結合素
子)のパッドがバンプを介して接続されているCCDパ
ッケージについて図を参照しながら説明する。図5は従
来のCCDのパッケージを示す縦断面図である。Next, a CCD package in which leads of a substrate and pads of a CCD (charge coupled device) are connected via bumps will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a conventional CCD package.
【0004】COG(Chip on Glass)方式で製造される
CCDパッケージは、図5に示すように、ガラス基板1
と、ガラス基板1に接合されているCCD3とを備え
る。ガラス基板1の一方の面には、金材からなる厚膜状
の配線路2が形成され、配線路2の所定の部位にはIn
−Pbなどの複数の低融点金属体(図示せず)が印刷さ
れている。A CCD package manufactured by a COG (Chip on Glass) method has a glass substrate 1 as shown in FIG.
And a CCD 3 joined to the glass substrate 1. On one surface of the glass substrate 1, a thick film-shaped wiring path 2 made of a gold material is formed.
A plurality of low melting point metal bodies (not shown) such as -Pb are printed.
【0005】これに対し、CCD3には複数のバンプ4
が接続され、各バンプ4はボールボンディング方式によ
って形成されている。各バンプ4は対応する低融点金属
体に接合されている。On the other hand, the CCD 3 has a plurality of bumps 4
Are connected, and each bump 4 is formed by a ball bonding method. Each bump 4 is joined to a corresponding low melting point metal body.
【0006】配線路2にはリード5が接合され、リード
5はフレキシブル配線板からなる。A lead 5 is joined to the wiring path 2, and the lead 5 is made of a flexible wiring board.
【0007】ガラス基板1とCCD3との間に形成され
ている空間は樹脂材6で封止され、この樹脂材封止によ
ってガラス基板1とCCD3との接合強度の向上が図ら
れている。[0007] The space formed between the glass substrate 1 and the CCD 3 is sealed with a resin material 6, and the sealing strength between the glass substrate 1 and the CCD 3 is improved by this resin material sealing.
【0008】次に、COG方式によるCCDパッケージ
の製造方法について説明する。Next, a method of manufacturing a CCD package by the COG method will be described.
【0009】まず、ガラス基板1に金材からなる厚膜状
の配線路2が形成され、配線路2上にはIn−Pbから
なる低融点金属体が印刷される。First, a thick-film-shaped wiring path 2 made of a gold material is formed on a glass substrate 1, and a low-melting metal body made of In-Pb is printed on the wiring path 2.
【0010】これに対し、CCD3のパッドにはボール
ボンディング法によってボール状のバンプが形成され
る。On the other hand, ball-shaped bumps are formed on the pads of the CCD 3 by a ball bonding method.
【0011】次いで、ガラス基板1とCCD3とは低融
点金属体とバンプとが互いに対向するように位置決めさ
れる。位置決め完了後、ガラス基板1とCCD3とは加
熱、加圧され、ガラス基板1の低融点金属体とCCD3
のバンプ4とは互いに接合される。Next, the glass substrate 1 and the CCD 3 are positioned such that the low-melting point metal body and the bump face each other. After the positioning is completed, the glass substrate 1 and the CCD 3 are heated and pressurized, and the low melting metal body of the glass substrate 1 and the CCD 3 are heated.
Are bonded to each other.
【0012】ガラス基板1の低融点金属体とCCD3の
バンプ4との接合後、ガラス基板1とCCD3との間に
形成された空間に樹脂材6が流し込まれ、その空間は樹
脂材6で封止される。この樹脂材6の封止によってガラ
ス基板1とCCD3との接合強度が高められる。After joining the low melting point metal body of the glass substrate 1 and the bumps 4 of the CCD 3, a resin material 6 is poured into a space formed between the glass substrate 1 and the CCD 3, and the space is sealed with the resin material 6. Is stopped. The sealing strength of the glass substrate 1 and the CCD 3 is increased by the sealing of the resin material 6.
【0013】次いで、ガラス基板1の配線路2とリード
5とが接合され、CCDパッケージの作成が完了する。Next, the wiring path 2 of the glass substrate 1 and the lead 5 are joined, and the fabrication of the CCD package is completed.
【0014】しかし、ガラス基板1とCCD3との間の
空間が樹脂材で封止されているから、入射光はガラス基
板1および樹脂材6を通過してCCD3へ到達する。よ
って、CCD3で得られた画像は樹脂材6の光学的特性
の影響を受けることがある。また、CCD3の高感度化
を達成するためのマイクロレンズは樹脂材6で覆われる
から、マイクロレンズの効果が得られないことがある。
さらに、リード5の折り曲げ強度は、ガラス基板1とC
CD3との接合強度に比して大きいから、ガラス基板1
とCCD3との接合を破壊しないようにリード5を折り
曲げる必要があり、リード5の折り曲げ作業に十分な注
意が必要である。However, since the space between the glass substrate 1 and the CCD 3 is sealed with the resin material, the incident light reaches the CCD 3 through the glass substrate 1 and the resin material 6. Therefore, the image obtained by the CCD 3 may be affected by the optical characteristics of the resin material 6. Further, since the microlens for achieving high sensitivity of the CCD 3 is covered with the resin material 6, the effect of the microlens may not be obtained.
Further, the bending strength of the lead 5 is the same as that of the glass substrate 1.
Since the bonding strength with CD3 is large, the glass substrate 1
It is necessary to bend the lead 5 so as not to break the joint between the lead 5 and the CCD 3, and it is necessary to pay sufficient attention to the operation of bending the lead 5.
【0015】COG方式によるCCDパッケージに代わ
るものして、SP−TAB方式によるCCDパッケージ
と、TOG(Tab On Glass)方式によるCCDパッケージ
とがある。As alternatives to the COG type CCD package, there are a SP-TAB type CCD package and a TOG (Tab On Glass) type CCD package.
【0016】まず、SP−TAB方式によるCCDパッ
ケージについて図を参照しながら説明する。図6はSP
−TAB方式によるCCDパッケージを示す縦断面図で
ある。First, a CCD package based on the SP-TAB method will be described with reference to the drawings. FIG. 6 shows SP
It is a longitudinal cross-sectional view which shows the CCD package by -TAB system.
【0017】SP−TAB方式によるCCDパッケージ
は、図6に示すように、表面に複数のバンプ4が形成さ
れ、マイクロレンズ(図示せず)が組み込まれているC
CD3を備える。各バンプ4は転写バンプ方式によって
形成されている。As shown in FIG. 6, a CCD package according to the SP-TAB method has a plurality of bumps 4 formed on the surface and a microlens (not shown) incorporated therein.
It has CD3. Each bump 4 is formed by a transfer bump method.
【0018】バンプ4には、TABリード10が接着さ
れている。各TABリード10は、可撓性基板11と、
可撓性基板11の一方に面に形成されている帯状の複数
の銅箔体12とからなる。各TABリード10の銅箔体
12は対応するバンプ4に電気的に接続されている。各
TABリード10はCCD3に対し直角に折り曲げられ
ている。A TAB lead 10 is bonded to the bump 4. Each TAB lead 10 has a flexible substrate 11
It comprises a plurality of strip-shaped copper foil bodies 12 formed on one surface of a flexible substrate 11. The copper foil body 12 of each TAB lead 10 is electrically connected to the corresponding bump 4. Each TAB lead 10 is bent at right angles to the CCD 3.
【0019】CCD3の表面はガラスカバー13で覆わ
れている。ガラスカバー13はCCD3の表面に接着さ
れ、ガラスカバー13とCCD3との間の空間には接着
剤層14が形成されている。The surface of the CCD 3 is covered with a glass cover 13. The glass cover 13 is adhered to the surface of the CCD 3, and an adhesive layer 14 is formed in a space between the glass cover 13 and the CCD 3.
【0020】しかし、ガラスカバー13とCCD3との
間の空間に接着剤層14が形成されているから、入射光
はガラスカバー13および接着剤層14を通過してCC
D3へ到達する。よって、CCD3で得られた画像は接
着剤層14の光学的特性の影響を受けることがある。ま
た、CCD3の高感度化を達成するためのマイクロレン
ズは接着剤層14で覆われるから、マイクロレンズの効
果が得られないことがある。さらに、TABリード10
の折り曲げ強度は、TABリード10とCCD3のバン
プとの接合強度に比して大きいから、TABリードとC
CD3のバンプとの接合を破壊しないようにTABリー
ド10を折り曲げる必要がある。However, since the adhesive layer 14 is formed in the space between the glass cover 13 and the CCD 3, the incident light passes through the glass cover 13 and the adhesive
Reach D3. Therefore, the image obtained by the CCD 3 may be affected by the optical characteristics of the adhesive layer 14. In addition, since the microlens for achieving high sensitivity of the CCD 3 is covered with the adhesive layer 14, the effect of the microlens may not be obtained. Furthermore, TAB lead 10
Is larger than the bonding strength between the TAB lead 10 and the bumps of the CCD 3.
It is necessary to bend the TAB lead 10 so as not to break the junction between the CD3 and the bump.
【0021】次に、TOG方式によるCCDパッケージ
について図を参照しながら説明する。図7はTOG方式
によるCCDパッケージを示す縦断面図である。Next, a CCD package according to the TOG method will be described with reference to the drawings. FIG. 7 is a longitudinal sectional view showing a CCD package by the TOG method.
【0022】TOG方式によるCCDパッケージは、図
7に示すように、表面に複数のバンプ4が形成され、マ
イクロレンズ(図示せず)が組み込まれているCCD3
を備える。As shown in FIG. 7, the CCD package according to the TOG method has a plurality of bumps 4 formed on the surface and a microlens (not shown).
Is provided.
【0023】バンプ4には、TABリード10が接着さ
れている。各TABリード10は、可撓性基板11と、
可撓性基板11の一方に面に印刷によって形成されてい
る帯状の複数の銅箔体12とからなる。各TABリード
10の銅箔体12は対応するバンプ4に電気的に接続さ
れている。各TABリード10はCCD3に対し直角に
折り曲げられている。A TAB lead 10 is bonded to the bump 4. Each TAB lead 10 has a flexible substrate 11
It comprises a plurality of strip-shaped copper foil bodies 12 formed on one side of a flexible substrate 11 by printing. The copper foil body 12 of each TAB lead 10 is electrically connected to the corresponding bump 4. Each TAB lead 10 is bent at right angles to the CCD 3.
【0024】CCD3の表面はガラスカバー13で覆わ
れている。ガラスカバー13は各TABリード10の他
方の面に接着され、ガラスカバー13とTABリード1
0との接着部位、およびTABリード10とCCD3と
の接着部位は樹脂材15で封止されている。The surface of the CCD 3 is covered with a glass cover 13. The glass cover 13 is bonded to the other surface of each TAB lead 10, and the glass cover 13 and the TAB lead 1
0 and the adhesion between the TAB lead 10 and the CCD 3 are sealed with a resin material 15.
【0025】よって、ガラスカバー13とCCD3との
間に形成されている空間には樹脂材または接着剤が充填
されていないから、CCD3に設けられているマイクロ
レンズの効果は十分に得られるが、大きい接合強度を得
ることができない。また、TABリード10の折り曲げ
強度は、TABリード10とCCD3のバンプとの接合
強度に比して大きいから、TABリード10とCCD3
のバンプとの接合を破壊しないようにTABリード10
の折曲げ作業を行う必要があり、ひいては接合部の損傷
を招くことがある。Therefore, since the space formed between the glass cover 13 and the CCD 3 is not filled with a resin material or an adhesive, the effect of the micro lens provided in the CCD 3 can be sufficiently obtained. High joining strength cannot be obtained. Since the bending strength of the TAB lead 10 is larger than the bonding strength between the TAB lead 10 and the bump of the CCD 3, the bending strength of the TAB lead 10
TAB lead 10 so as not to break the joint with the bump.
It is necessary to perform the bending operation of the joint, which may result in damage to the joint.
【0026】[0026]
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のCOG方式、またはSP−TAB方式によるCCDパ
ッケージでは、CCDが有する機能を十分に得ることが
できず、リード5またはTABリード10の折曲げ作業
が非常に難しく、ひいては接合部の損傷を招くことがあ
る。As described above, in the conventional CCD package based on the COG system or the SP-TAB system, the function of the CCD cannot be sufficiently obtained, and the lead 5 or the TAB lead 10 must be folded. The bending operation is very difficult and may result in damage to the joint.
【0027】TOG方式によるCCDパッケージでは、
CCDの機能を十分に得ることができるが、TABリー
ド10の折り曲げ作業が非常に難しく、ひいては接合部
の損傷を招くことがある。In the TOG type CCD package,
Although the function of the CCD can be sufficiently obtained, the work of bending the TAB lead 10 is very difficult, and the joint may be damaged.
【0028】本発明は、素子が有する機能を十分に得る
ことができ、リードの折り曲げ作業に起因する損傷の発
生を未然に防止することができる素子パッケージおよび
その製造方法を提供することを目的とする。An object of the present invention is to provide an element package and a method of manufacturing the element package which can sufficiently obtain the functions of the element and can prevent the occurrence of damage due to the bending of the lead. I do.
【0029】本発明は、略直線状の断続的な位置に形成
される屈曲状の切り込みを有し、前記切り込みによって
規定される折り曲げ部に沿って折り曲げることにより、
前記屈曲状の切り込み部分が開口して突出片を形成する
リードと、前記リードに電気的に接続されると共に、前
記リードの折り曲げによって生じた開口及び突出片部分
において接着剤によって接合される素子とを備える。 According to the present invention, the device is formed at a substantially linear intermittent position.
Having a bent cut formed by the cut,
By bending along the prescribed bending part,
The bent cut portion opens to form a projecting piece
A lead, electrically connected to said lead, and
Openings and protruding pieces caused by bending of the lead
And an element joined by an adhesive.
【0030】[0030]
【作用】本発明の素子パッケージでは、前記外部電極に
前記素子を接続するためのリードが設けられ、このリー
ドは、予め設けられている切込によって規定される部位
が外部に突出する突出片を形成するように折り曲げられ
ている可撓性の基板と、この基板の一方の面に形成され
ている導体線路とを有する。In the device package of the present invention, a lead for connecting the device to the external electrode is provided, and the lead is formed by a projecting piece whose portion defined by a cut provided in advance protrudes to the outside. It has a flexible substrate that is bent to form, and a conductor line formed on one surface of the substrate.
【0031】例えば、前記素子が表面にマイクロレンズ
を有するCCDからなるとき、このCCDの表面はガラ
スカバーで覆われる。CCDとガラスカバーとの間に
は、折り曲げられているリードの一方が挟み込まれ、こ
のリードの一方はCCDとガラスカバーとにそれぞれ接
着剤で接合される。For example, when the element comprises a CCD having a microlens on the surface, the surface of the CCD is covered with a glass cover. One of the bent leads is sandwiched between the CCD and the glass cover, and one of the leads is bonded to the CCD and the glass cover with an adhesive.
【0032】リードの基材は予め設けられている切込に
よって規定される部位が外部に突出する突出片を形成す
るように折り曲げられているから、突出片によってガラ
スカバーとリードとの間の接着面積、CCDとリードと
の間の接着面積は増し、ガラスカバーとCCDとの間に
樹脂材、接着剤などの充填を行うことなくガラスカバ
ー、CCDおよびリード間の接合強度を高くすることが
できる。その結果、マイクロレンズの効果の損失を防ぐ
ことができる、すなわち素子が有する機能を十分に得る
ことができる。Since the base material of the lead is bent so that a portion defined by a cut provided in advance forms a protruding piece projecting to the outside, the bonding between the glass cover and the lead is made by the protruding piece. The area and the bonding area between the CCD and the lead are increased, and the bonding strength between the glass cover, the CCD and the lead can be increased without filling the glass cover and the CCD with a resin material, an adhesive, or the like. . As a result, loss of the effect of the microlens can be prevented, that is, the function of the element can be sufficiently obtained.
【0033】基材に切込が設けられているから、リード
の折曲げが容易になり、ガラスカバー、CCDおよびリ
ード間の接合強度を配慮しながらリードの折り曲げ作業
を行う必要がない。その結果、リードの折り曲げ作業に
起因する損傷の発生を未然に防止することができる。Since the cut is provided in the base material, the lead can be easily bent, and it is not necessary to perform the lead bending operation while considering the bonding strength between the glass cover, the CCD and the lead. As a result, it is possible to prevent the occurrence of damage due to the lead bending operation.
【0034】[0034]
【実施例】以下に、本発明の実施例について図を参照し
ながら説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0035】図1は本発明の素子パッケージであるCC
Dパッケージの一実施例を示す縦断面図である。図2は
図1のCCDパッケージに用いられるTABリードを示
す平面図、図3は図2のA−A線で折り曲げられたTA
Bリードを示す斜視図である。FIG. 1 shows a device package CC of the present invention.
It is a longitudinal section showing one example of a D package. FIG. 2 is a plan view showing a TAB lead used in the CCD package of FIG. 1, and FIG. 3 is a TA bent along the line AA in FIG.
It is a perspective view which shows B lead.
【0036】CCDパッケージ20は、図1に示すよう
に、表面に複数のバンプ4が形成され、マイクロレンズ
(図示せず)が設けられているCCD3を備える。As shown in FIG. 1, the CCD package 20 includes a CCD 3 having a plurality of bumps 4 formed on its surface and a microlens (not shown).
【0037】バンプ4には、TABリード21が接着さ
れている。各TABリード21は、図2に示すように、
ポリイミドからなるテープ状の可撓性基板22と、可撓
性基板22の一方に面に印刷によって形成されている帯
状の複数の銅箔体23とを有する。A TAB lead 21 is bonded to the bump 4. Each TAB lead 21 is, as shown in FIG.
It has a tape-shaped flexible substrate 22 made of polyimide and a plurality of strip-shaped copper foil bodies 23 formed on one surface of the flexible substrate 22 by printing.
【0038】可撓性基板22には、U字形状の複数の切
込24が形成されている。各切込24は互いに間隔をお
いて可撓性基板22の幅方向に配列され、各切込24の
間には対応する銅箔体23が配置されている。各TAB
リード21の銅箔体23は対応するバンプ4に電気的に
接続されている。A plurality of U-shaped cuts 24 are formed in the flexible substrate 22. The cuts 24 are arranged in the width direction of the flexible substrate 22 at intervals from each other, and a corresponding copper foil body 23 is arranged between the cuts 24. Each TAB
The copper foil 23 of the lead 21 is electrically connected to the corresponding bump 4.
【0039】各TABリード21がA−A線で折り曲げ
られることによって、各TABリード21には、図3に
示すように、複数の突出片25が形成されるとともに開
口27が形成される。各TABリード21はCCD3に
対し直角に折り曲げられている。By bending each TAB lead 21 along the line AA, a plurality of protruding pieces 25 and an opening 27 are formed in each TAB lead 21 as shown in FIG. Each TAB lead 21 is bent at right angles to the CCD 3.
【0040】CCD3の表面はガラスカバー13で覆わ
れている。ガラスカバー13は各TABリード21の他
方の面に接着され、ガラスカバー13とTABリード2
1との接着部位、およびTABリード21とCCD3と
の接着部位は接着剤層26で覆われている。The surface of the CCD 3 is covered with a glass cover 13. The glass cover 13 is bonded to the other surface of each TAB lead 21, and the glass cover 13 and the TAB lead 2
1 and the bonding portion between the TAB lead 21 and the CCD 3 are covered with an adhesive layer 26.
【0041】次に、CCDパッケージの製造方法につい
て説明する。Next, a method for manufacturing a CCD package will be described.
【0042】まず、CCD3のパッドにはボールボンデ
ィング法によってボール状のバンプが形成される。First, ball-shaped bumps are formed on the pads of the CCD 3 by a ball bonding method.
【0043】これに対し、TABリード21を形成する
ための可撓性基板22には、U字状の複数の切込24が
互いに間隔をおいて可撓性基板22の幅方向に配列され
るようにレーザ加工によって形成される。なお、本実施
例では、切り込みの形成にレーザ加工を用いているが、
これに代えて、エッチングによる切込形成を行うことも
できる。On the other hand, on the flexible substrate 22 for forming the TAB leads 21, a plurality of U-shaped cuts 24 are arranged in the width direction of the flexible substrate 22 at intervals. Is formed by laser processing. In this embodiment, laser processing is used for forming the cuts.
Alternatively, a notch can be formed by etching.
【0044】次いで、可撓性基板22には、帯状の複数
の銅箔体23が各切込24の間に配置されるように形成
される。Next, a plurality of strip-shaped copper foil bodies 23 are formed on the flexible substrate 22 so as to be arranged between the cuts 24.
【0045】CCD3およびTABリード21の準備完
了後、TABリード21の各面には接着剤が塗布され
る。TABリード21の接着剤塗布面の一方にはCCD
3が重ね合わされ、TABリード21の銅箔体の23そ
れぞれと対応するCCD3のバンプ4とは互いに接合さ
れる。TABリード21の接着剤塗布面の他方にはガラ
スカバー13が重ね合わされ、TABリード21の他方
の面とガラスカバー13とは互いに接合される。After the preparation of the CCD 3 and the TAB lead 21 is completed, an adhesive is applied to each surface of the TAB lead 21. One of the adhesive coated surfaces of the TAB lead 21 has a CCD
3 are superimposed, and each of the copper foils 23 of the TAB lead 21 and the corresponding bump 4 of the CCD 3 are joined to each other. The glass cover 13 is overlaid on the other adhesive-coated surface of the TAB lead 21, and the other surface of the TAB lead 21 and the glass cover 13 are joined to each other.
【0046】次いで、TABリード21が予め設定され
ている折曲線で折り曲げられ、予め形成されている切込
24によって規定される可撓性基板22の部分は折り曲
げられず、複数の突出片25が形成される。複数の突出
片25の形成に伴い複数の開口27が形成される。Next, the TAB lead 21 is bent at a predetermined bending curve, the portion of the flexible substrate 22 defined by the cut 24 formed in advance is not bent, and a plurality of protruding pieces 25 are formed. It is formed. A plurality of openings 27 are formed with the formation of the plurality of projecting pieces 25.
【0047】各突出片25の形成に伴いCCD3とTA
Bリード21との接着面積、およびガラスカバー13と
TABリード21との接着面積は増大するから、CCD
3、ガラスカバー13、およびTABリード21間の接
合強度は増し、ガラスカバー13とCCD3との間に樹
脂材、接着剤などの充填を行う必要がなくなり、マイク
ロレンズの効果の損失を防ぐことができる。With the formation of each protruding piece 25, the CCD 3 and the TA
Since the bonding area between the B lead 21 and the bonding area between the glass cover 13 and the TAB lead 21 increase, the CCD
3, the bonding strength between the glass cover 13 and the TAB lead 21 is increased, and there is no need to fill the glass cover 13 and the CCD 3 with a resin material, an adhesive, or the like, thereby preventing the loss of the effect of the microlens. it can.
【0048】また、可撓性基板22に切込24が設けら
れているから、TABリード21の折曲げが容易にな
り、ガラスカバー13、CCD3およびTABリード2
1間の接合強度を配慮しながらTABリードの折り曲げ
作業を行う必要がない。その結果、TABリード21の
折曲げ作業に起因する損傷の発生を未然に防止すること
ができる。Further, since the notch 24 is provided in the flexible substrate 22, the TAB lead 21 can be easily bent, and the glass cover 13, the CCD 3 and the TAB lead 2 can be bent.
There is no need to perform the bending work of the TAB lead while considering the bonding strength between the two. As a result, it is possible to prevent the occurrence of damage due to the bending operation of the TAB lead 21 beforehand.
【0049】なお、本実施例では、CCD3、ガラスカ
バー13とTABリード21との接着後にTABリード
21を折り曲げているが、TABリード21を折り曲げ
た後にTABリード21とCCD3、ガラスカバー13
との接着を行うこともできる。 TABリード21を折
り曲げた後にTABリード21とCCD3、ガラスカバ
ー13との接着を行うとき、接着剤が開口27を介して
TABリード21のCCD3側の面に流し込まれ、TA
Bリード21にCCD3とガラスカバー13とを同時に
接着することができる。In this embodiment, the TAB lead 21 is bent after the CCD 3 and the glass cover 13 are bonded to the TAB lead 21, but after the TAB lead 21 is bent, the TAB lead 21, the CCD 3 and the glass cover 13 are bent.
Can also be bonded. When bonding the TAB lead 21 to the CCD 3 and the glass cover 13 after bending the TAB lead 21, an adhesive is poured into the surface of the TAB lead 21 on the CCD 3 side through the opening 27, and
The CCD 3 and the glass cover 13 can be simultaneously bonded to the B lead 21.
【0050】次に、他のCCDパッケージについて図を
参照しながら説明する。図4は本発明の素子パッケージ
であるCCDパッケージの他の実施例を示す平面図であ
る。Next, another CCD package will be described with reference to the drawings. FIG. 4 is a plan view showing another embodiment of a CCD package which is an element package of the present invention.
【0051】CCDパッケージ30は、図4に示すよう
に、CCD(図示せず)が組み込まれている円筒形の筐
体31と、筐体31のCCDを覆うガラスカバー13と
を備える。As shown in FIG. 4, the CCD package 30 includes a cylindrical housing 31 in which a CCD (not shown) is incorporated, and a glass cover 13 that covers the CCD of the housing 31.
【0052】筐体31内のCCDには複数のTABリー
ド21が接続されている。各TABリード21は、ポリ
イミドからなるテープ状の可撓性基板22と、可撓性基
板22の一方に面に印刷によって形成されている帯状の
複数の銅箔体23とを有する。可撓性基板22には、U
字形状の複数の切込24が形成されている。各切込24
は互いに間隔をおいて可撓性基板22の幅方向に配列さ
れ、各切込24の間には対応する銅箔体23が配置され
ている。各TABリード21の銅箔体23は対応するC
CDのバンプに電気的に接続されている。A plurality of TAB leads 21 are connected to the CCD in the housing 31. Each TAB lead 21 has a tape-shaped flexible substrate 22 made of polyimide, and a plurality of strip-shaped copper foil bodies 23 formed on one surface of the flexible substrate 22 by printing. The flexible substrate 22 has U
A plurality of cuts 24 having a character shape are formed. 24 for each cut
Are arranged in the width direction of the flexible substrate 22 at an interval from each other, and a corresponding copper foil body 23 is arranged between the cuts 24. The copper foil body 23 of each TAB lead 21 has a corresponding C
It is electrically connected to the bump of the CD.
【0053】各TABリード21は筐体31の外方に向
けて伸び、各TABリード21の所定の部位は所定の曲
線に沿って折り曲げられている。各TABリード21が
折り曲げられることによって、各TABリード21には
複数の突出片25が形成されている。Each TAB lead 21 extends outward of the housing 31, and a predetermined portion of each TAB lead 21 is bent along a predetermined curve. By bending each TAB lead 21, a plurality of projecting pieces 25 are formed on each TAB lead 21.
【0054】各TABリード21が曲線に沿って折り曲
げられているから、CCDのバンプとTAB21の銅箔
体23との接合部に掛る応力が軽減される。Since each TAB lead 21 is bent along a curve, the stress applied to the joint between the bump of the CCD and the copper foil body 23 of the TAB 21 is reduced.
【0055】なお、本実施例では、CCDパッケージに
ついて説明しているが、前記TABリードを用いること
によって、他のIC、LSIなどの素子が組み込まれて
いる素子パッケージに対し同様の効果を得ることができ
る。In this embodiment, the CCD package is described. However, by using the TAB lead, a similar effect can be obtained for an element package in which elements such as other ICs and LSIs are incorporated. Can be.
【0056】図8乃至図10は本発明の他の実施例を示
す。8 to 10 show another embodiment of the present invention.
【0057】この例では、突出片25の形成を第1の実施
例とは90度異ならしめたもので、作用効果は第1の実
施例と同じである。In this embodiment, the formation of the projecting piece 25 is different from that of the first embodiment by 90 degrees, and the operation and effect are the same as those of the first embodiment.
【0058】[0058]
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の素子パ
ッケージによれば、素子が有する機能を十分に得ること
ができ、リードの折曲げ作業に起因する損傷の発生を未
然に防止することができる。As described above, according to the element package of the present invention, the function of the element can be sufficiently obtained, and the damage caused by the bending operation of the lead can be prevented from occurring. Can be.
【0059】本発明の素子パッケージの製造方法によれ
ば、素子が有する機能を十分に得られ、リードの折曲げ
作業に起因する損傷の発生が未然に防止される素子パッ
ケージを得ることができる。According to the method for manufacturing an element package of the present invention, it is possible to obtain an element package in which the function of the element can be sufficiently obtained and the damage caused by the lead bending operation can be prevented.
【図1】本発明の素子パッケージであるCCDパッケー
ジの一実施例を示す縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing one embodiment of a CCD package which is an element package of the present invention.
【図2】図1のCCDパッケージの用いられているTA
Bリードを示す平面図である。FIG. 2 shows a TA used in the CCD package of FIG. 1;
It is a top view which shows B lead.
【図3】図2のA−A線で折り曲げられたTABリード
を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a TAB lead bent along the line AA in FIG. 2;
【図4】本発明の素子パッケージであるCCDパッケー
ジの他の実施例を示す縦断面図である。FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing another embodiment of a CCD package which is an element package of the present invention.
【図5】従来のCOG方式によるCCDパッケージを示
す縦断面図である。FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a conventional COG-based CCD package.
【図6】従来のSP−TAB方式によるCCDパッケー
ジを示す縦断面図である。FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing a conventional CCD package according to the SP-TAB method.
【図7】従来のTOG方式によるCCDパッケージを示
す縦断面図である。FIG. 7 is a vertical sectional view showing a conventional TOG type CCD package.
【図8】本発明の他の実施例を示す縦断面図である。FIG. 8 is a longitudinal sectional view showing another embodiment of the present invention.
【図9】図8のCCDパッケージの用いられているTA
Bリードを示す平面図である。FIG. 9 shows a TA used in the CCD package of FIG. 8;
It is a top view which shows B lead.
【図10】図9のA−A線で折り曲げられたTABリー
ドを示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing a TAB lead bent along the line AA in FIG. 9;
3…CCD、4…バンプ、13…ガラスカバー、20,
30…CCDパッケージ、21…TABリード、22…
可撓性基板、23…銅箔体、24…切込、25…突出
片、26…接着剤、27…開口。3 ... CCD, 4 ... Bump, 13 ... Glass cover, 20,
30 ... CCD package, 21 ... TAB lead, 22 ...
Flexible substrate, 23: copper foil, 24: cut, 25: projecting piece, 26: adhesive, 27: opening.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大井 一成 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株式会社東芝 マルチメディア技術研究 所内 (72)発明者 杉木 忠 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株式会社東芝 マルチメディア技術研究 所内 (72)発明者 篠塚 顕一 東京都港区新橋3丁目3番9号 東芝エ ー・ブイ・イー株式会社内 (56)参考文献 実開 平2−35442(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/60 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Kazunari Oi 8 Shinsugita-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Pref. Toshiba Multimedia Technology Research Institute (72) Inventor Tadashi Sugigi 8 Shin-Sugita-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa (72) Inventor Kenichi Shinozuka 3-3-9, Shimbashi, Minato-ku, Tokyo Inside Toshiba AV EE Co., Ltd. (56) References JP-A-2-35442 (JP, U) (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 21/60
Claims (6)
状の切り込みを有し、前記切り込みによって規定される
折り曲げ部に沿って折り曲げることにより、前記屈曲状
の切り込み部分が開口して突出片を形成するリードと、 前記リードに電気的に接続されると共に、前記リードの
折り曲げによって生じた開口及び突出片部分において接
着剤によって接合される素子とを具備したことを特徴と
する素子パッケージ。 1. A bend formed at a substantially linear intermittent position.
Having a notch-like notch, defined by said notch
By bending along the bent part, the bent shape
A notch is opened to form a protruding piece, and a lead is electrically connected to the lead, and
Contact at the opening and protruding piece caused by bending
And an element bonded by an adhesive.
Device package.
形成されているTABリードからなることを特徴とする
請求項1に記載の素子パッケージ。2. The device package according to claim 1, wherein said leads are TAB leads having a conductor line formed integrally with a base material .
いる電荷結合素子からなることを特徴とする請求項1に
記載の素子パッケージ。3. The device package according to claim 1, wherein said device comprises a charge-coupled device provided with a microlens.
法であって、 前記リードを折り曲げる工程を含むことを特徴とする素
子パッケージの製造方法。4. The method for manufacturing an element package according to claim 1, further comprising a step of bending the lead.
する基材に形成された導体路を前記素子に接続する工程
を含むことを特徴とする請求項4に記載の素子パッケー
ジの製造方法。5. The method according to claim 1, wherein the lead is bent before bending the lead.
Method of manufacturing a device package according to claim 4 in which the conductor paths formed in the base material, characterized in that it comprises a step of connecting to said element.
する基材に形成された導体路を前記素子に接続する工程
を含むことを特徴とする請求項4に記載の素子パッケー
ジの製造方法。 6. The lead is formed after bending the lead.
Method of manufacturing a device package according to claim 4 in which the conductor paths formed in the base material, characterized in that it comprises a step of connecting to said element.
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JP32534393A JP3215244B2 (en) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | Device package and method of manufacturing the same |
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JPH07183329A JPH07183329A (en) | 1995-07-21 |
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