JP3214944B2 - Optical scanning device - Google Patents

Optical scanning device

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JP3214944B2
JP3214944B2 JP4123293A JP4123293A JP3214944B2 JP 3214944 B2 JP3214944 B2 JP 3214944B2 JP 4123293 A JP4123293 A JP 4123293A JP 4123293 A JP4123293 A JP 4123293A JP 3214944 B2 JP3214944 B2 JP 3214944B2
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optical scanning
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scanning device
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は光走査装置、より詳細
には、等速回転する偏向反射面を有する偏向手段により
偏向される偏向光束を反射結像素子の結像作用により被
走査面上に光スポットとして集光させ、実質的に等速走
査を行なう光走査装置に関する。この発明はデジタル複
写機や光プリンター等における書き込み光学系や、計測
機、ディスプレイ等の走査光学系に利用できる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical scanning device, and more particularly, to a method in which a deflecting light beam deflected by a deflecting means having a deflecting / reflecting surface rotating at a constant speed is scanned on a surface to be scanned by an image forming operation of a reflection image forming element. The present invention relates to an optical scanning device that converges light beams as light spots and performs substantially constant-speed scanning. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for a writing optical system in a digital copying machine, an optical printer, and the like, and a scanning optical system in a measuring machine, a display, and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】光走査装置において偏向光束を被走査面
上に光スポットとして集光する光学系として、従来から
「fθレンズ」が広く知られているが、近来、fθレン
ズに代えて反射性の結像素子(偏向光束を反射し、被走
査面上に光スポットとして集光させる機能をもつ光学素
子、この明細書中において反射結像素子と言う)を利用
するものが意図されている(例えば、特開平1−220
221号公報)。また上記「fθレンズに代わる反射結
像素子」の鏡面形状を非球面形状とし、像面湾曲とリニ
アリティとを良好に補正することも提案されている。
2. Description of the Related Art As an optical system for condensing a deflected light beam as a light spot on a surface to be scanned in an optical scanning apparatus, an "fθ lens" has been widely known. (An optical element having a function of reflecting a deflected light beam and condensing it as a light spot on a surface to be scanned, which is referred to as a reflection imaging element in this specification) is intended. For example, JP-A 1-220
221). It has also been proposed to make the mirror surface shape of the "reflection imaging element in place of the fθ lens" an aspherical surface shape and satisfactorily correct field curvature and linearity.

【0003】このような反射結像素子を用いる光走査装
置では偏向手段により偏向された偏向光束が反射結像素
子により偏向手段側に折り返されるため、偏向手段から
反射結像素子に向かう光路と、反射結像素子から被走査
面に向かう光路とを互いに分離する「光路分離手段」が
必要となる。
In an optical scanning device using such a reflective imaging element, the deflected light beam deflected by the deflecting means is turned back to the deflecting means by the reflective imaging element. "Optical path separating means" for separating an optical path from the reflective imaging element toward the surface to be scanned is required.

【0004】光路を分離する手段の一つとして、例えば
「偏向手段における偏向反射面の回転軸に対して傾いた
方向から光束を入射させ、偏向光束の方向が、上記回転
軸に直交する平面から傾くようにする」ことが考えられ
る。このようにすると反射結像素子に入射する偏向光束
の方向と反射光束の方向が分離するため、入射偏向光束
の光路と反射光束の光路とを分離できる。しかし、上記
手段のみにより光路分離を行なう場合、各光学素子のレ
イアウトを可能ならしめるためには、偏向反射面に対す
る入射光束の、上記平面に対する角度をある程度大きく
せざるを得ず、上記角度が大きくなると「被走査面上に
おける光スポットの軌跡」、即ち「走査線」に大きな曲
がりを生じ、良好な光走査の妨げとなる。
One of the means for separating the optical path is, for example, "a light beam is incident from a direction inclined with respect to the rotation axis of the deflecting / reflecting surface of the deflecting means, and the direction of the deflecting light beam is from a plane perpendicular to the rotation axis. To make it lean. " By doing so, the direction of the deflected light beam incident on the reflective imaging element is separated from the direction of the reflected light beam, so that the optical path of the incident deflected light beam and the optical path of the reflected light beam can be separated. However, when the optical path separation is performed only by the above means, in order to make the layout of each optical element possible, the angle of the incident light beam with respect to the deflecting / reflecting surface must be increased to some extent with respect to the plane, and the angle is large. If so, a large bend occurs in the “trajectory of the light spot on the surface to be scanned”, that is, the “scanning line”, which hinders good optical scanning.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】この発明は上述した事
情に鑑みてなされたものであって、屈折もしくは屈折と
反射により光路分離を行うようにした新規な光走査装置
の提供を目的とする。この発明の別の目的は、上記光路
分離に起因する走査線の曲がりを有効に補正できる新規
な光走査装置を提供することである。この発明の他の目
的は、上記各目的の達成に加え、「偏向手段における偏
向反射面の面倒れを補正する機能」を持つ光走査装置の
提供にある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and has as its object to provide a novel optical scanning device that performs refraction or optical path separation by refraction and reflection. Another object of the present invention is to provide a novel optical scanning device capable of effectively correcting the bending of a scanning line due to the optical path separation. Another object of the present invention is to provide an optical scanning device having "a function of correcting a surface tilt of a deflecting reflection surface in a deflecting means" in addition to achieving the above objects.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明の光走査装置は
「光源からの光束を、等速回転する偏向反射面を有する
偏向手段により偏向させ、偏向光束を反射結像素子に入
射せしめ、反射結像素子による反射光束を反射結像素子
の結像作用により被走査面上に光スポットとして集光さ
せ、実質的に等速的な光走査を行なう装置」である。
According to the optical scanning apparatus of the present invention, a light beam from a light source is deflected by a deflecting means having a deflecting / reflecting surface which rotates at a constant speed, and the deflecting light beam is made incident on a reflection / imaging element. An apparatus that converges the light beam reflected by the imaging element as a light spot on the surface to be scanned by the imaging operation of the reflection imaging element to perform substantially constant speed optical scanning.

【0007】「偏向手段」は上記のように、偏向光束を
偏向させるものあり、具体的には、ピラミダルミラー、
ほぞ型ミラー、回転多面鏡等である。
As described above, the "deflecting means" deflects a deflected light beam, and specifically includes a pyramidal mirror,
Mortise mirror, rotating polygon mirror, etc.

【0008】請求項1記載の光走査装置は「光源からの
光束を、等速回転する偏向反射面を有する偏向手段によ
り平面内で等角速度的に偏向させ、偏向光束を、ビーム
偏向面に対して傾けたハーフミラーを透過させて反射結
像素子に入射せしめ、反射結像素子による反射光束を上
記ハーフミラーにより反射させ、反射結像素子の結像作
用により被走査面上に光スポットとして集光させて光走
査を行なう装置」であって、「反射結像素子」が、光ス
ポットによる光走査を実質的に等速的に行なわしめる機
能を持ち、被走査面上における走査線の曲がりを補正す
るために、反射結像素子を「ビーム偏向面」に直交する
方向へ所定の「シフト量」ずらして配備することを特徴
とする。
According to a first aspect of the present invention, a light beam from a light source is deflected at a constant angular velocity in a plane by a deflecting means having a deflecting and reflecting surface rotating at a constant speed, and the deflected light beam is deflected with respect to the beam deflecting surface. The reflected light beam from the reflective imaging element is reflected by the half mirror, and is collected as a light spot on the surface to be scanned by the reflective imaging element. An apparatus for performing optical scanning by light, wherein a "reflection imaging element" has a function of performing optical scanning with a light spot at a substantially constant speed, and bends a scanning line on a surface to be scanned. In order to perform the correction, the reflective imaging element is arranged so as to be shifted by a predetermined “shift amount” in a direction orthogonal to the “beam deflecting surface”.

【0009】「ビーム偏向面」は、この発明において以
下のように定義される。前述のように、この発明の光走
査装置では、光束を偏向させる偏向手段は等速回転する
偏向反射面を有する。光源側からの光束は偏向反射面に
より反射され、反射光束は偏向反射面の回転により偏向
される。
The "beam deflection surface" is defined in the present invention as follows. As described above, in the optical scanning device according to the present invention, the deflecting unit that deflects the light beam has the deflecting / reflecting surface that rotates at a constant speed. The light beam from the light source is reflected by the deflecting / reflecting surface, and the reflected light beam is deflected by rotation of the deflecting / reflecting surface.

【0010】そこで、被走査面上に集光する光スポット
の「像高が0」の状態において偏向反射面に入射する光
束における主光線の入射位置を「入射基準位置」とし、
「入射基準位置を通り、偏向反射面の回転軸(軸振れ等
を考慮しない理想上の回転軸)に直交する平面」をビー
ム偏向面と定義するのである。「シフト量」は、反射結
像素子の光軸と反射面との交点(反射結像素子の中央点
という)と上記ビーム偏向面との隔たりを意味する。
Therefore, the incident position of the principal ray in the light beam incident on the deflecting reflection surface in the state where the image spot of the light spot condensed on the surface to be scanned is “0” is defined as “incident reference position”.
A “plane that passes through the incident reference position and is orthogonal to the rotation axis of the deflecting / reflecting surface (ideal rotation axis that does not take into account the shaft runout)” is defined as the beam deflecting surface. The “shift amount” means a distance between an intersection (referred to as a center point of the reflection imaging element) between the optical axis of the reflection imaging element and the reflection surface and the beam deflection surface.

【0011】請求項2記載の光走査装置は「光源からの
光束を、等速回転する偏向反射面を有する偏向手段によ
り平面内で等角速度的に偏向させ、偏向光束を、ビーム
偏向面に対して傾けたハーフミラーを透過させて反射結
像素子に入射せしめ、反射結像素子による反射光束を上
記ハーフミラーにより反射させ、反射結像素子の結像作
用により被走査面上に光スポットとして集光させて光走
査を行なう装置」であって、反射結像素子が、光スポッ
トによる光走査を実質的に等速的に行なわしめる機能を
持ち、被走査面上における走査線の曲がりを補正するた
めに、反射結像素子を、「その光軸がビーム偏向面に対
して所定のティルト量傾くように配備する」ことを特徴
とする。「ティルト量」は、上記の如く反射結像素子の
光軸とビーム偏向面とのなす角である。
According to a second aspect of the present invention, a light beam from a light source is deflected at a constant angular velocity in a plane by a deflecting means having a deflecting reflection surface rotating at a constant speed, and the deflected light beam is deflected with respect to the beam deflecting surface. The reflected light beam from the reflective imaging element is reflected by the half mirror, and is collected as a light spot on the surface to be scanned by the reflective imaging element. A device that performs optical scanning by light, wherein the reflective imaging element has a function of performing optical scanning with a light spot at a substantially constant speed, and corrects the bending of the scanning line on the surface to be scanned. For this purpose, the reflective imaging element is characterized in that “the optical axis is arranged so as to be inclined by a predetermined tilt amount with respect to the beam deflecting surface”. The “tilt amount” is an angle between the optical axis of the reflective imaging element and the beam deflecting surface as described above.

【0012】請求項1,2に記載された光走査装置にお
いて「ハーフミラー」は、片側の面(どちらの面でもよ
い)を半透鏡としたものであってもよいし、半透鏡面を
両側から透明平行平板で挾持したものであってもよい。
In the optical scanning device according to the first and second aspects, the "half mirror" may be configured such that one surface (either surface) is a semi-transparent mirror, or the semi-transparent mirror surface is formed on both sides. May be sandwiched between transparent parallel plates.

【0013】請求項3記載の光走査装置は「光源からの
光束を等速回転する偏向反射面を有する偏向手段により
平面内で等角速度的に偏向させ、偏向光束を、ビーム偏
向面に対して傾けたハーフミラーを透過させて反射結像
素子に入射せしめ、反射結像素子による反射光束を上記
ハーフミラーにより反射させ、反射結像素子の結像作用
により被走査面上に光スポットとして集光させて光走査
を行なう装置」であって、反射結像素子が、光スポット
による光走査を実質的に等速的に行なわしめる機能を持
ち、「ハーフミラーが、偏向手段側の面を半透鏡面とし
たもの」であることを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, there is provided an optical scanning apparatus comprising: a light beam from a light source is deflected at a constant angular velocity in a plane by a deflecting means having a deflecting / reflecting surface which rotates at a constant speed; The light is transmitted through the inclined half mirror to be incident on the reflection imaging element, and the light beam reflected by the reflection imaging element is reflected by the half mirror, and is condensed as a light spot on the surface to be scanned by the imaging operation of the reflection imaging element. A device for performing optical scanning by causing a reflective imaging element to perform optical scanning with a light spot at a substantially constant speed, and a "half mirror for semi-transmitting a surface on the deflecting means side". Mirror surface ".

【0014】請求項3記載の光走査装置においては、被
走査面上における走査線の曲がりを補正するために、
「反射結像素子をビーム偏向面に直交する方向へ所定の
シフト量ずらして配備する」ようにしてもよく(請求項
4)、「反射結像素子を、その光軸がビーム偏向面に対
して所定のティルト量傾くように配備する」ようにして
も良い(請求項5)。
In the optical scanning device according to the third aspect, in order to correct the bending of the scanning line on the surface to be scanned,
It may be arranged such that "the reflective imaging element is arranged with a predetermined shift amount in a direction orthogonal to the beam deflecting surface" (claim 4). In such a manner as to be tilted by a predetermined tilt amount "(claim 5).

【0015】請求項2または5記載の光走査装置におい
ては、被走査面上における走査線の曲がりを補正するた
めに、「反射結像素子の光軸をビーム偏向面に対して所
定のティルト量傾けるとともに、反射結像素子をビーム
偏向面に直交する方向へ所定のシフト量ずらして配備す
る」ことができる(請求項6)。即ち、走査線の曲がり
を補正するために、「反射結像素子をビーム偏向面に対
して傾ける」ことと、「反射結像素子をビーム偏向面か
らずらす」こととは共用できる。
In the optical scanning device according to the second or fifth aspect, in order to correct the bending of the scanning line on the surface to be scanned, the optical axis of the reflection image forming element is tilted by a predetermined tilt amount with respect to the beam deflection surface. Tilt and dispose the reflective imaging element with a predetermined shift amount in a direction perpendicular to the beam deflecting surface. " That is, in order to correct the bending of the scanning line, "tilting the reflective imaging element with respect to the beam deflecting surface" and "displacing the reflective imaging element from the beam deflecting surface" can be used in common.

【0016】請求項1ないし6の任意の1に記載された
光走査装置においては、「偏向手段として、回転軸に平
行な偏向反射面を有するものを用い、反射結像素子とし
て、偏向手段の偏向反射面位置と被走査面とを副走査対
応方向において幾何光学的に共役な関係とするものを用
い、光源からの光束が副走査対応方向(光源から被走査
面に到る光路を光軸に沿って直線的に展開した仮想的な
光路上において、副走査方向と平行的に対応する方向)
において、偏向反射面近傍に、主走査対応方向(上記仮
想的な光路上において、主走査方向と平行的に対応する
方向)に長い線像として結像させられる」ようにするこ
とができる(請求項7)。
According to the optical scanning device described in any one of the first to sixth aspects, "the deflecting means has a deflecting / reflecting surface parallel to the rotation axis, and the deflecting means includes a deflecting means. The deflecting reflection surface position and the surface to be scanned are geometrically conjugated in the sub-scanning direction, and the light beam from the light source is transmitted in the sub-scanning direction (the optical path from the light source to the surface to be scanned is the optical axis). Direction on the virtual optical path developed linearly along the sub scanning direction)
, An image is formed in the vicinity of the deflecting reflection surface as a long line image in the main scanning corresponding direction (in the virtual optical path, a direction corresponding to the main scanning direction in parallel). '' Item 7).

【0017】請求項8記載の光走査装置は、「光源から
の光束を等速回転する偏向反射面を有する偏向手段によ
り平面内で等角速度的に偏向させ、偏向光束をアナモフ
ィックな反射結像素子により反射させ、反射光束を反射
結像素子の結像作用により被走査面上に光スポットとし
て集光させて光走査を行なう装置」であって、「反射結
像素子が、光スポットによる光走査を実質的に等速的に
行なわしめる機能を持ち、偏向手段と反射結像素子との
間に、透明な平行平板を、偏向手段の回転軸に対して有
限の傾き角だけ傾くように配備して、偏向手段から反射
結像素子へ向かう光路と、反射結像素子から被走査面に
到る光路を分離し、且つ、平行平板の材質、厚さ、傾き
角を、走査線の曲がりが補正されるように定めたことを
特徴とする。「傾き角」とは、上記の如く、平行平板の
互いに平行な面が、偏向手段の回転軸方向に対してなす
角である。平行平板が「透明」であるとは、光走査に用
いられる光束に対して透明という意味であり、必ずしも
全波長領域の光に対して透明であることを要しない。
According to another aspect of the present invention, a light beam from a light source is deflected at a constant angular velocity in a plane by a deflecting means having a deflecting / reflecting surface that rotates at a constant speed, and the deflecting light beam is an anamorphic reflective imaging element. And a device for performing optical scanning by converging a reflected light beam as a light spot on a surface to be scanned by an image forming operation of a reflective image forming device, wherein the reflective image forming device performs optical scanning by a light spot. And a transparent parallel plate is disposed between the deflecting means and the reflective imaging element so as to be inclined by a finite inclination angle with respect to the rotation axis of the deflecting means. The optical path from the deflecting means to the reflective imaging element and the optical path from the reflective imaging element to the surface to be scanned are separated, and the material, thickness, and tilt angle of the parallel plate are corrected for the bending of the scanning line. The feature is that it is determined that The angle ", as described above, mutually parallel surfaces of the parallel plate is an angle with respect to the rotational axis of the deflecting means. The fact that the parallel flat plate is “transparent” means that it is transparent to a light beam used for optical scanning, and does not necessarily need to be transparent to light in all wavelength regions.

【0018】この請求項8記載の光走査装置において
は、「反射結像素子に入射する偏向光束と、反射結像素
子による反射光束とが、共に平行平板を透過する」よう
にしてもよいし(請求項9)、「反射結像素子に入射す
る偏向光束と反射結像素子による反射光束とのうち、反
射結像素子に入射する偏向光束のみが、平行平板を透過
する」ようにしてもよく(請求項10)、これら請求項
8〜10記載の光走査装置においては、「平行平板に入
射する偏向光束の入射角が、略ブリュースター角を満足
するように平行平板の傾き角を定める」ことができる
(請求項11)。
In the optical scanning device according to the eighth aspect, it is also possible that "the deflected light beam incident on the reflection imaging element and the light beam reflected by the reflection imaging element both pass through the parallel flat plate". (Claim 9), "Only the deflected light beam incident on the reflective imaging element among the deflected light beam incident on the reflective imaging element and the reflected light beam from the reflective imaging element is transmitted through the parallel flat plate". Often (claim 10), in the optical scanning device according to claims 8 to 10, "the tilt angle of the parallel plate is determined so that the incident angle of the deflected light beam incident on the parallel plate substantially satisfies the Brewster angle. (Claim 11).

【0019】上記請求項9記載の光走査装置において
は、偏向光束および反射光束が共に平行平板を透過する
が、この場合、「平行平板の、偏向手段側の面の一部に
反射膜を形成し、反射結像素子により反射されて平行平
板を透過した反射光束のみが選択的に上記反射膜により
反射される」ようにすることができる(請求項12)。
In the optical scanning device according to the ninth aspect, both the deflected light beam and the reflected light beam pass through the parallel flat plate. In this case, "a reflective film is formed on a part of the surface of the parallel flat plate on the deflection means side. Then, only the reflected light flux reflected by the reflective imaging element and transmitted through the parallel plate is selectively reflected by the reflective film.

【0020】請求項10記載の光走査装置において、反
射結像素子による反射光束は、そのまま被走査面へ導か
れてもよいが、「平行平板の反射結像素子側の面の一部
に反射膜を形成し、反射結像素子により反射された反射
光束のみが選択的に上記反射膜により反射される」よう
にしてもよい(請求項13)。
In the optical scanning device according to the tenth aspect, the light beam reflected by the reflective imaging element may be guided to the surface to be scanned as it is, but may be reflected on a part of the surface of the parallel plate on the reflective imaging element side. A film may be formed, and only the reflected light beam reflected by the reflective imaging element may be selectively reflected by the reflective film.

【0021】請求項14記載の光走査装置は、上記請求
項8ないし13の任意の1に記載された光走査装置にお
いて、「偏向手段として、回転軸に平行な偏向反射面を
有するものを用い、光源からの光束が偏向反射面近傍に
主走査対応方向に長い線像として結像するようにし、且
つ、反射結像素子により、偏向反射面位置と被走査面位
置とが副走査対応方向に関して幾何光学的に略共役な関
係となるようにした」ことを特徴とする。
According to a fourteenth aspect of the present invention, there is provided an optical scanning device according to any one of the eighth to thirteenth aspects, wherein the deflecting means has a deflecting / reflecting surface parallel to the rotation axis. The light flux from the light source is formed as a long line image in the main scanning corresponding direction in the vicinity of the deflecting / reflecting surface, and the position of the deflecting / reflecting surface and the position of the surface to be scanned are related to the sub-scanning corresponding direction by the reflective imaging element. It is made to have a substantially conjugate relationship in geometrical optics. "

【0022】請求項15記載の光走査装置は、「光源か
らの光束を偏向手段により平面内で等角速度的に偏向さ
せ、偏向光束を反射結像素子により反射させ、反射光束
を反射結像素子の結像作用により被走査面上に光スポッ
トとして集光させて光走査を行なう装置」であって、反
射結像素子が、光スポットによる光走査を実質的に等速
的に行なわしめる機能を持ち、「偏向手段と反射結像素
子との間に、断面形状が楔形の長尺プリズムを主走査対
応方向に平行に配備して、偏向手段から反射結像素子へ
向かう光路と、反射結像素子から被走査面に到る光路を
分離する」ことを特徴とする。
According to a fifteenth aspect of the present invention, there is provided an optical scanning device comprising: a light beam from a light source is deflected at a constant angular velocity in a plane by a deflecting means; a deflected light beam is reflected by a reflection imaging device; A device that performs light scanning by condensing light as a light spot on a surface to be scanned by the image forming function, wherein the reflective imaging element has a function of performing light scanning by the light spot at a substantially constant speed. A long prism having a wedge-shaped cross section is provided between the deflecting means and the reflective imaging element in parallel with the main scanning direction, and an optical path from the deflecting means to the reflective imaging element; The optical path from the element to the surface to be scanned is separated. "

【0023】この場合、走査線の曲がりを補正するため
に、「反射結像素子をビーム偏向面に直交する方向へ所
定のシフト量ずらして配備する」ことができ(請求項1
6)、あるいは、「反射結像素子を、その光軸がビーム
偏向面に対して所定のティルト量傾くように配備する」
ことができる(請求項17)。また、請求項16記載の
光走査装置においては、「反射結像素子の反射面形状を
共軸の球面もしくは非球面とする」ことができる(請求
項18)。
In this case, in order to correct the bending of the scanning line, it is possible to "deploy the reflective imaging element with a predetermined shift amount in a direction orthogonal to the beam deflecting surface".
6) Or, "the reflective imaging element is arranged so that its optical axis is inclined by a predetermined tilt amount with respect to the beam deflecting surface."
(Claim 17). Further, in the optical scanning device according to the sixteenth aspect, it is possible to "the reflective surface shape of the reflective imaging element is a coaxial spherical or aspherical surface" (claim 18).

【0024】さらに、請求項15または16または17
記載の光走査装置においては、「偏向手段として、回転
軸に平行な偏向反射面を有するものを用い、反射結像素
子として、アナモフィックで偏向手段の偏向反射面位置
と被走査面とを副走査対応方向において幾何光学的に共
役な関係とするものを用い、光源からの光束が、偏向反
射面近傍に主走査対応方向に長い線像として結像させら
れる」ようにすることができる(請求項19)。
Further, claim 15 or 16 or 17
In the optical scanning device described above, `` a device having a deflecting / reflecting surface parallel to the rotation axis is used as the deflecting means, and the deflecting / reflecting surface position of the deflecting means and the surface to be scanned are anamorphically scanned in the sub-scanning direction. By using one having a geometrically conjugate relationship in the corresponding direction, the light beam from the light source is formed as a long line image in the main scanning corresponding direction near the deflecting reflection surface. " 19).

【0025】請求項20記載の光走査装置は、「光源か
らの光束を等速回転する偏向反射面を有する偏向手段に
より平面内で等角速度的に偏向させ、偏向光束をアナモ
フィックな反射結像素子により反射させ、反射光束を反
射結像素子の結像作用により被走査面上に光スポットと
して集光させて光走査を行なう装置」であって、反射結
像素子が、光スポットによる光走査を実質的に等速的に
行なわしめる機能を持ち、「偏向手段と反射結像素子と
の間に、透明な平行平板を、偏向手段の回転軸に対して
有限の傾き角だけ傾くように配備して、偏向手段から反
射結像素子へ向かう光路と、反射結像素子から被走査面
に到る光路を分離し、反射結像素子をビーム偏向面に対
して所定のティルト量傾け、平行平板の材質、厚さ、傾
き角、反射結像素子のビーム偏向面に対する傾き角を、
走査線の曲がりが補正されるように定めた」ことを特徴
とする。
According to a twentieth aspect of the present invention, there is provided an optical scanning device comprising: a light beam from a light source is deflected at a constant angular velocity in a plane by a deflecting means having a deflecting / reflecting surface which rotates at a constant speed; And a light beam is condensed as a light spot on the surface to be scanned by the image forming function of the reflection image forming element, thereby performing light scanning. It has the function of performing substantially constant speed, and `` provided between the deflecting means and the reflective imaging element, a transparent parallel flat plate is arranged so as to be inclined by a finite inclination angle with respect to the rotation axis of the deflecting means. The optical path from the deflecting means to the reflective imaging element and the optical path from the reflective imaging element to the surface to be scanned are separated, and the reflective imaging element is tilted by a predetermined tilt amount with respect to the beam deflecting surface. Material, thickness, tilt angle, reflection imager The inclination angle of relative to the beam deflecting surface,
It has been determined that the curvature of the scanning line is corrected ".

【0026】この請求項20記載の光走査装置において
は、「反射結像素子に入射する偏向光束と、反射結像素
子による反射光束とが、共に平行平板を透過する」よう
にしてもよいし(請求項21)、「反射結像素子に入射
する偏向光束と反射結像素子による反射光束とのうち、
反射結像素子に入射する偏向光束のみが、平行平板を透
過する」ようにしてもよく(請求項22)、さらに、こ
れら請求項20〜22記載の光走査装置においては、
「平行平板に入射する偏向光束の入射角が、略ブリュー
スター角を満足するように平行平板の傾き角を定める」
ことができる(請求項23)。
In the optical scanning device according to the twentieth aspect, it is also possible that "the deflected light beam incident on the reflection imaging element and the light beam reflected by the reflection imaging element both pass through the parallel flat plate". (Claim 21), "Of the deflected light flux incident on the reflection imaging element and the reflection light flux by the reflection imaging element,
Only the deflected light beam incident on the reflective imaging element may pass through the parallel flat plate ”(claim 22). Further, in the optical scanning device according to any one of claims 20 to 22,
"The tilt angle of the parallel plate is determined so that the angle of incidence of the deflected light beam incident on the parallel plate satisfies the Brewster angle."
(Claim 23).

【0027】上記請求項21記載の光走査装置において
は、反射結像素子への入射光と、同素子による反射光束
が共に平行平板を透過するが、「平行平板の、偏向手段
側の面の一部に反射膜を形成し、反射結像素子により反
射されて平行平板を透過した反射光束のみが選択的に上
記反射膜により反射される」ようにしてもよい(請求項
24)。請求項22記載の光走査装置においては、反射
結像素子による反射光束は、そのまま被走査面へ導かれ
ても良いが、「平行平板の反射結像素子側の面の一部に
反射膜を形成し、反射結像素子により反射された反射光
束のみが選択的に上記反射膜により反射される」ように
しても良い(請求項25)。
In the optical scanning device according to the twenty-first aspect, both the light incident on the reflection imaging element and the light beam reflected by the element transmit through the parallel flat plate. A reflection film may be formed on a part, and only the reflected light beam reflected by the reflection imaging element and transmitted through the parallel flat plate is selectively reflected by the reflection film. In the optical scanning device according to claim 22, the light beam reflected by the reflective imaging element may be directly guided to the surface to be scanned. And only the reflected light flux reflected by the reflective imaging element is selectively reflected by the reflective film "(claim 25).

【0028】請求項26記載の光走査装置は、上記請求
項20〜25記載の光走査装置において、「偏向手段と
して、回転軸に平行な偏向反射面を有するものを用い、
光源からの光束が上記偏向反射面近傍に主走査対応方向
に長い線像として結像するようにし、且つ、反射結像素
子により、偏向反射面位置と被走査面位置とが副走査対
応方向に関して幾何光学的に略共役な関係となるように
した」ことを特徴とする。
According to a twenty-sixth aspect of the present invention, in the optical scanning device according to the twentieth to twenty-fifth aspects, "the deflecting means uses a deflecting means having a deflecting and reflecting surface parallel to the rotation axis,
A light beam from the light source is formed as a long line image in the main scanning corresponding direction in the vicinity of the deflecting / reflecting surface, and the position of the deflecting / reflecting surface and the position of the surface to be scanned are changed with respect to the sub-scanning corresponding direction by the reflective imaging element. It is made to have a substantially conjugate relationship in geometrical optics. "

【0029】上記のように、請求項1〜請求項26記載
の光走査装置においては、偏向手段による光束の偏向は
「平面内」において行われる。即ち、偏向手段により理
想的に偏向される偏向光束の主光線が偏向に伴い掃引す
る面は、偏向反射面の回転軸に対して直交する平面であ
り、この面は「ビーム偏向面」に一致する。
As described above, in the optical scanning device according to any one of the first to twenty-sixth aspects, the deflection of the light beam by the deflecting means is performed "in a plane". That is, the surface on which the principal ray of the deflected light beam ideally deflected by the deflector is swept with the deflection is a plane orthogonal to the rotation axis of the deflective reflection surface, and this surface coincides with the “beam deflection surface”. I do.

【0030】請求項27〜35記載の光走査装置は、
「光源からの光束を、等速回転する偏向反射面を有する
偏向手段により偏向させ、偏向光束をアナモフィックな
反射結像素子により反射させ、反射光束を上記反射結像
素子の結像作用により被走査面上に光スポットとして集
光させて光走査を行なう装置」であって、反射結像素子
は、光スポットによる光走査を実質的に等速的に行なわ
しめる機能を持つ。
The optical scanning device according to any one of claims 27 to 35,
`` The light beam from the light source is deflected by a deflecting means having a deflecting / reflecting surface rotating at a constant speed, the deflected light beam is reflected by an anamorphic reflection imaging element, and the reflected light beam is scanned by the imaging action of the reflection imaging element. An apparatus for performing optical scanning by condensing light as a light spot on a surface ", wherein the reflective imaging element has a function of performing optical scanning by the light spot at a substantially constant speed.

【0031】請求項27記載の光走査装置は、「偏向手
段と反射結像素子との間に、透明な平行平板を、偏向手
段の回転軸に対して有限の傾き角だけ傾くように配備す
るとともに、偏光手段の偏向反射面へ入射光束をビーム
偏光面に対して傾けて入射させることにより、偏向手段
から反射結像素子へ向かう光路と反射結像素子から被走
査面に到る光路を分離し、平行平板の材質、厚さ、傾き
角、偏向光束の反射結像素子に対する光線シフト量が走
査線の曲がりが補正されるように定められた」ことを特
徴とする。
According to a twenty-seventh aspect of the present invention, a transparent parallel plate is disposed between the deflecting means and the reflective imaging element so as to be inclined by a finite inclination angle with respect to the rotation axis of the deflecting means. At the same time, the incident light beam is incident on the deflecting / reflecting surface of the polarization means at an angle to the beam polarization plane, thereby separating the optical path from the deflecting means to the reflective imaging element and the optical path from the reflective imaging element to the surface to be scanned. The material, thickness, tilt angle, and amount of light beam shift of the deflected light beam with respect to the reflective imaging element are determined so as to correct the bending of the scanning line. "

【0032】反射結像素子の反射面と反射結像素子の光
軸との交点を反射結像素子の中央部と称するが、非走査
面上における光スポットの像高が0のとき、偏向光束の
主光線が上記反射面に入射する位置と上記中央部との間
の距離を「光線シフト量」と呼ぶのである。
The intersection of the reflection surface of the reflection imaging element and the optical axis of the reflection imaging element is called the center of the reflection imaging element. When the image height of the light spot on the non-scanning surface is 0, the deflected light flux The distance between the position at which the principal ray of light enters the reflecting surface and the central portion is referred to as the "ray shift amount".

【0033】請求項28記載の光走査装置は、「偏向手
段と反射結像素子との間に、透明な平行平板を、上記偏
向手段の回転軸に対して有限の傾き角だけ傾くように配
備するとともに、上記偏光手段の偏向反射面へ入射光束
をビーム偏光面に対して傾けて入射させることにより、
上記偏向手段から反射結像素子へ向かう光路と、反射結
像素子から被走査面に到る光路を分離し、反射結像素子
を、その光軸がビーム偏向面に対し所定のティルト量傾
くように配備し、平行平板の材質、厚さ、傾き角、反射
結像素子のティルト量を、走査線の曲がりが補正される
ように定めた」ことを特徴とする。
According to a twenty-eighth aspect of the present invention, in the optical scanning device, a transparent parallel flat plate is disposed between the deflecting means and the reflective imaging element so as to be inclined by a finite inclination angle with respect to the rotation axis of the deflecting means. In addition, by making the incident light flux incident on the deflection reflecting surface of the polarizing means obliquely with respect to the beam polarizing surface,
The optical path from the deflecting means to the reflective imaging element is separated from the optical path from the reflective imaging element to the surface to be scanned, and the reflective imaging element is tilted so that its optical axis is tilted by a predetermined tilt with respect to the beam deflection surface. And the material, thickness, tilt angle, and tilt amount of the reflective imaging element of the parallel plate are determined so that the scanning line bend is corrected. "

【0034】上記請求項27記載の光走査装置において
は、「反射結像素子を、その光軸がビーム偏向面に対し
所定のティルト量傾くように配備し、平行平板の材質、
厚さ、傾き角、光線シフト量およびティルト量を、走査
線の曲がりが補正されるように定める」ことができる
(請求項29)。
In the optical scanning device according to the twenty-seventh aspect, "the reflective imaging element is provided so that its optical axis is inclined by a predetermined tilt angle with respect to the beam deflecting surface.
The thickness, the tilt angle, the amount of light shift, and the amount of tilt can be determined so as to correct the bending of the scanning line ”(claim 29).

【0035】これら請求項27または28または29記
載の光走査装置においても、「反射結像素子に入射する
偏向光束と、反射結像素子による反射光束とが、共に平
行平板を透過する」ようにしてもよく(請求項30)、
あるいは、「反射結像素子に入射する偏向光束と反射結
像素子による反射光束とのうち、反射結像素子に入射す
る偏向光束のみが、平行平板を透過する」ようにしても
よい(請求項31)。さらに、上記請求項27〜31記
載の光走査装置においても、「平行平板に入射する偏向
光束の入射角が、略ブリュースター角を満足するように
平行平板の傾き角を定める」ことができる(請求項3
2)。
In the optical scanning device according to the twenty-seventh, twenty-eighth, or thirty-ninth aspects, "the deflected light beam incident on the reflective imaging device and the reflected light beam reflected by the reflective imaging device both pass through the parallel flat plate". (Claim 30),
Alternatively, of the deflection light beam incident on the reflection imaging element and the reflection light beam reflected by the reflection imaging element, only the deflection light beam incident on the reflection imaging element may pass through the parallel flat plate. 31). Furthermore, in the optical scanning device according to the twenty-seventh to thirty-first aspects, it is also possible to "determine the inclination angle of the parallel plate so that the incident angle of the deflected light beam incident on the parallel plate satisfies the Brewster angle" ( Claim 3
2).

【0036】請求項30記載の光走査装置においては、
「平行平板の、偏向手段側の面の一部に反射膜を形成
し、反射結像素子により反射されて平行平板を透過した
反射光束のみが選択的に上記反射膜により反射される」
ようにしても良いし(請求項33)、「平行平板の反射
結像素子側の面の一部に反射膜を形成し、反射結像素子
により反射された反射光束のみが選択的に上記反射膜に
より反射される」ようにしてもよい(請求項34)。
[0036] In the optical scanning device according to the thirtieth aspect,
"A reflective film is formed on a part of the plane of the parallel plate on the side of the deflecting means, and only the reflected light flux reflected by the reflective imaging element and transmitted through the parallel plate is selectively reflected by the reflective film."
Alternatively, a reflective film may be formed on a part of the surface of the parallel plate on the side of the reflective imaging element, and only the reflected light beam reflected by the reflective imaging element may be selectively reflected. (Reflected by the film) (claim 34).

【0037】さらに、上記請求項27〜34記載の光走
査装置においても、「偏向手段として、回転軸に平行な
偏向反射面を有するものを用い、光源からの光束が上記
偏向反射面近傍に主走査対応方向に長い線像として結像
するようにし、且つ、反射結像素子により、上記偏向反
射面位置と被走査面位置とが副走査対応方向に関して幾
何光学的に略共役な関係となる」ようにすることができ
る(請求項35)。
Further, in the optical scanning device according to the present invention, the deflecting means having a deflecting / reflecting surface parallel to the rotation axis is used, and the light beam from the light source is mainly located near the deflecting / reflecting surface. An image is formed as a long line image in the scanning corresponding direction, and the position of the deflecting / reflecting surface and the position of the surface to be scanned have a geometrically optically conjugate relationship with respect to the sub-scanning corresponding direction by the reflective imaging element. " (Claim 35).

【0038】請求項27〜35記載の光走査装置では、
光束は偏向手段の偏向反射面に対しビーム偏向面に対し
て傾けて入射させる。従ってこのとき、理想的に偏向さ
れる偏向光束の主光線の掃引する面は「円錐面」様の曲
面になる。
In the optical scanning device according to claims 27 to 35,
The light beam is incident on the deflecting and reflecting surface of the deflecting means at an angle to the beam deflecting surface. Therefore, at this time, the surface on which the principal ray of the deflected light beam ideally deflected sweeps has a curved surface like a “conical surface”.

【0039】[0039]

【作用】ビーム偏向面に光軸を合致させて反射結像素子
を配備し、これら偏向手段と反射結像素子との間に、ハ
ーフミラーをビーム偏向面に対して傾けて配備すると、
ハーフミラーの「厚さ」のために、ハーフミラーを透過
した偏向光束はビーム偏向面に直交する方向へずれるこ
とになる。このため偏向光束の反射結像素子に対する入
射位置が光軸からずれ、これが「光スポットの軌跡に曲
がり」を発生させる原因となる。
When a reflective imaging element is arranged with the optical axis coincident with the beam deflecting surface, and a half mirror is arranged between these deflecting means and the reflective imaging element with an inclination with respect to the beam deflecting surface,
Due to the “thickness” of the half mirror, the deflected light beam transmitted through the half mirror is shifted in a direction orthogonal to the beam deflection surface. For this reason, the position of incidence of the deflected light beam on the reflective imaging element is deviated from the optical axis, and this causes "bending of the trajectory of the light spot".

【0040】請求項1ないし7記載の光走査装置におい
ては、後述する各具体例で示すように、反射結像素子を
ビーム偏向面に直交する方向へ「ずらし」たり、あるい
は反射結像素子の光軸をビーム偏向面に対して「傾け」
たり、さらには「ハーフミラーの半透鏡面を偏向手段側
に位置させる」ようにして配備することにより、光スポ
ットの軌跡である「走査線」の曲がりを有効に補正する
ことが可能である。
In the optical scanning device according to the first to seventh aspects, as shown in each of the specific examples described later, the reflection imaging element is "shifted" in a direction orthogonal to the beam deflecting surface, or the reflection imaging element is "Tilt" the optical axis with respect to the beam deflection surface
In addition, by arranging such that “the semi-transparent mirror surface of the half mirror is positioned on the deflection unit side”, it is possible to effectively correct the curvature of the “scanning line” that is the trajectory of the light spot.

【0041】また、請求項8ないし14記載の光走査装
置では、偏向手段と反射結像素子との間に平行平板が配
備され、少なくとも偏向手段による偏向光束は、反射結
像素子への入射に先だって平行平板を透過する。後述す
る各実施例で示すように「平行平板の材質や厚さ、偏向
手段回転軸に対する傾き角を調整する」ことにより、走
査線の曲がりを有効に補正することが可能である。
Further, in the optical scanning device according to the present invention, a parallel flat plate is provided between the deflecting means and the reflective imaging element, and at least the deflecting light beam by the deflecting means is incident upon the reflective imaging element. It passes through the parallel plate beforehand. By adjusting the material and thickness of the parallel plate and the tilt angle with respect to the rotation axis of the deflecting means as shown in each embodiment described later, it is possible to effectively correct the scan line bending.

【0042】また請求項15記載の光走査装置では、偏
向手段と反射結像素子との間に長尺プリズムが配備さ
れ、屈折により、偏向光束の方向がビーム偏向面に対し
て傾くため、反射結像素子への入射方向と、同素子によ
る反射方向とが共に、ビーム偏向面に対して傾くため、
良好な光路分離を行うことができる。請求項16ないし
19記載の光走査装置では、後述する各具体例で示すよ
うに、反射結像素子をビーム偏向面に直交する方向へ
「ずらし」たり、あるいは反射結像素子の光軸をビーム
偏向面に対して「傾けて」たりして配備することによ
り、光スポットの軌跡である「走査線」の曲がりを有効
に補正することが可能である。
In the optical scanning device according to the fifteenth aspect, a long prism is provided between the deflecting means and the reflective imaging element, and the direction of the deflected light beam is inclined with respect to the beam deflection surface due to refraction. Since both the direction of incidence on the imaging element and the direction of reflection by the same element are inclined with respect to the beam deflection surface,
Good optical path separation can be performed. In the optical scanning device according to claims 16 to 19, as shown in each specific example described later, the reflection imaging element is "shifted" in a direction orthogonal to the beam deflecting surface, or the optical axis of the reflection imaging element is changed by the beam. By arranging it “tilted” with respect to the deflecting surface, it is possible to effectively correct the curvature of the “scanning line” that is the trajectory of the light spot.

【0043】さらに、請求項20ないし26記載の光走
査装置では、偏向手段と反射結像素子との間に平行平板
が配備され、少なくとも偏向手段による偏向光束は、反
射結像素子への入射に先だって平行平板を透過する。ま
た、反射結像素子は、ビーム偏向面に対して傾けられ
る。後述する各実施例で示すように「平行平板の材質や
厚さ、偏向手段回転軸に対する傾き角、反射結像素子の
ビーム偏向面に対する傾き角を調整する」ことにより、
走査線の曲がりを有効に補正することが可能である。
Further, in the optical scanning device according to the twentieth to twenty-sixth aspects, a parallel plate is provided between the deflecting means and the reflective imaging element, and at least the deflecting light beam by the deflecting means is incident upon the reflective imaging element. It passes through the parallel plate beforehand. Further, the reflection imaging element is inclined with respect to the beam deflection surface. As shown in each embodiment described later, by adjusting the material and thickness of the parallel plate, the tilt angle with respect to the rotation axis of the deflecting means, and the tilt angle of the reflective imaging element with respect to the beam deflecting surface,
It is possible to effectively correct the scan line bending.

【0044】また、請求項27ないし35記載の光走査
装置では、偏向手段と反射結像素子との間に平行平板が
配備され、少なくとも偏向手段による偏向光束は、反射
結像素子への入射に先だって平行平板を透過する。偏向
反射面への入射光束はビーム偏向面に対して傾いてい
る。
Further, in the optical scanning device according to the present invention, a parallel plate is provided between the deflecting means and the reflective imaging element, and at least the deflecting light beam by the deflecting means is incident upon the reflective imaging element. It passes through the parallel plate beforehand. The light beam incident on the deflecting reflecting surface is inclined with respect to the beam deflecting surface.

【0045】反射結像素子に対する偏向光束の光線シフ
ト量および/または反射結像素子のティルト量を、平行
平板の材質や厚さ、偏向手段回転軸に対する傾き角とと
もに調整する」ことにより、走査線の曲がりを有効に補
正することが可能である。
The amount of light beam shift of the deflected light beam with respect to the reflection imaging element and / or the amount of tilt of the reflection imaging element are adjusted together with the material and thickness of the parallel plate and the inclination angle with respect to the rotation axis of the deflection means. " Can be effectively corrected.

【0046】請求項7,14,19,26,35記載の
光走査装置におけるように「回転軸に平行な偏向反射面
を有する偏向手段を用い、光源からの光束が偏向反射面
近傍に主走査対応方向に長い線像として結像するように
するとともに、反射結像素子により、偏向手段の偏向反
射面位置と被走査面位置とを副走査対応方向に関して幾
何光学的な共役関係とする」ことにより、偏向反射面の
「面倒れ」を補正できる。各具体例に見るように、反射
結像素子のシフト量、ティルト量は共に小さいので、偏
向手段の偏向反射面位置と被走査面位置とを副走査対応
方向に関して、反射結像素子により高精度に共役関係と
することができる。
As in the optical scanning device according to the seventh aspect, "a deflection means having a deflecting / reflecting surface parallel to the rotation axis is used, and a light beam from a light source is main-scanned in the vicinity of the deflecting / reflecting surface. The image should be formed as a long line image in the corresponding direction, and the position of the deflecting / reflecting surface of the deflecting means and the position of the surface to be scanned should be geometrically conjugated with respect to the sub-scanning corresponding direction by the reflective imaging element. " Thereby, "surface tilt" of the deflecting reflection surface can be corrected. As can be seen from each specific example, since the shift amount and the tilt amount of the reflection imaging element are both small, the position of the deflecting reflection surface of the deflecting means and the position of the surface to be scanned can be more accurately adjusted by the reflection imaging element with respect to the sub-scanning corresponding direction. Can have a conjugate relationship.

【0047】光源との関係等を工夫すれば、偏向反射面
が回転軸に対し45度傾いているような偏向手段(ピラ
ミダルミラー等)を用いる場合でも上記面倒れの補正を
行うようにすることは可能である。
If the relationship with the light source is devised, the above-mentioned surface tilt can be corrected even when using a deflecting means (such as a pyramidal mirror) in which the deflecting / reflecting surface is inclined at 45 degrees with respect to the rotation axis. Is possible.

【0048】[0048]

【実施例】図1(A)は、請求項1ないし7記載の発明
を適用できる光走査装置の1例を要部のみ略示してい
る。図において符号1で示す光源はLDやLED等であ
る。光源1から放射される光束は正のパワーを持つレン
ズ2により発散傾向を抑制され、同レンズ2を透過する
と平行光束あるいは集光性の光束もしくは発散性の光束
の何れかとなり、シリンダレンズ3により副走査対応方
向にのみ集束傾向を与えられ、「ほぞ型ミラー」である
偏向手段4の偏向反射面近傍に「主走査対応方向に長い
線像」として結像する。
FIG. 1A schematically shows only an essential part of an example of an optical scanning apparatus to which the inventions of claims 1 to 7 can be applied. The light source denoted by reference numeral 1 in the drawing is an LD, an LED, or the like. The luminous flux emitted from the light source 1 is suppressed from diverging by the lens 2 having a positive power. When the luminous flux passes through the lens 2, it becomes either a parallel luminous flux, a convergent luminous flux, or a divergent luminous flux. The convergence tendency is given only in the sub-scanning corresponding direction, and an image is formed as a "long line image in the main scanning corresponding direction" near the deflecting reflection surface of the deflecting means 4 which is a "mortise mirror".

【0049】偏向手段4である「ほぞ型ミラー」は、回
転軸の頂部に所謂「ほぞ」を形成し、「ほぞ」の上記回
転軸に平行な面を偏向反射面とし、上記回転軸をモータ
ーで回転駆動するようになっている。光源1側からの光
束は、その主光線が偏向手段4の「回転軸に直交する面
内」で偏向反射面に入射するようになっており、従って
偏向手段4により等角速度的に偏向された偏向光束の主
光線が掃引する面は上記回転軸に直交し「ビーム偏向
面」と一致する。
The "mortise type mirror" serving as the deflecting means 4 forms a so-called "mortise" at the top of the rotation axis, the surface of the "mortise" parallel to the rotation axis is a deflecting reflection surface, and the rotation axis is a motor. It is designed to rotate. The luminous flux from the light source 1 side is such that the principal ray is incident on the deflecting / reflecting surface at "in a plane perpendicular to the rotation axis" of the deflecting means 4, and is therefore deflected by the deflecting means 4 at a constant angular velocity. The plane on which the principal ray of the deflected light beam sweeps is orthogonal to the rotation axis and coincides with the “beam deflection plane”.

【0050】偏向手段4により等角速度的に偏向された
偏向光束は、ハーフミラー5を透過して凹面鏡である反
射結像素子6に入射し、反射結像素子6により反射され
るとハーフミラー5に反射されて記録媒体7の表面に照
射される。この照射光束は反射結像素子6の作用によ
り、記録媒体7の周面上に光スポットとして集光する。
光スポットは偏向光束の偏向に従い、「理想的には」光
走査ラインL上を光走査する。従って、走査線は理想的
には光走査ラインLと合致するが、実際には曲がりを生
じて光走査ラインLからずれる。記録媒体7の周面にお
ける接平面の内で上記光走査ラインLを含むものが「被
走査面」である。
The deflected light beam deflected at a constant angular velocity by the deflecting means 4 is transmitted through the half mirror 5 and is incident on a reflection imaging element 6 which is a concave mirror. And irradiates the surface of the recording medium 7. This illuminating light beam is condensed as a light spot on the peripheral surface of the recording medium 7 by the action of the reflective imaging element 6.
The light spot follows the deflection of the deflected light beam and "ideally" optically scans on the optical scan line L. Therefore, the scanning line ideally matches the optical scanning line L, but actually bends and deviates from the optical scanning line L. The tangential plane on the peripheral surface of the recording medium 7 that includes the optical scanning line L is the “scanned surface”.

【0051】反射結像素子6は、偏向光束を被走査面上
に光スポットに集光させる機能とともに、光スポットに
よる光走査が実質的に等速的(光スポットの等速光走査
からのずれによる光走査の誤差が電気的な信号処理で補
正出来る程度)に行なわせる機能をも有する。また、上
述したように偏向手段4に入射する光束は偏向反射面近
傍に主走査対応方向に長い線像として結像するから、反
射結像素子6は副走査対応方向において、偏向反射面位
置と被走査面位置とを幾何光学的な共役関係としてい
る。即ち、反射結像素子6の結像機能は主走査対応方向
と副走査対応方向において異なり、同素子6は「アナモ
フィック」である。
The reflection image forming element 6 has a function of condensing the deflected light beam onto a light spot on the surface to be scanned, and makes the light scanning by the light spot substantially uniform (shift of the light spot from the constant speed light scanning). (To such an extent that optical scanning errors due to the above can be corrected by electrical signal processing). Further, as described above, the light beam incident on the deflecting means 4 forms an image near the deflecting and reflecting surface as a long linear image in the main scanning corresponding direction. The position of the surface to be scanned is set as a geometric optical conjugate relationship. That is, the imaging function of the reflective imaging element 6 differs in the main scanning corresponding direction and the sub-scanning corresponding direction, and the reflective imaging element 6 is “anamorphic”.

【0052】反射結像素子6は以下の如き鏡面形状を有
している。即ち、反射結像素子の光軸(鏡面の対称軸)
と、この光軸に直交し主走査対応方向に平行な直線とで
決定される面(主対称面という)内においては、反射結
像素子6の鏡面は、光軸方向の座標を:X、光軸位置を
原点とする光軸直交方向の座標を:Yとして、一般式 Y2=2RmX−(K+1)X2 (Rm:光軸上の曲率半
径、K:円錐定数) で表される形状を有する。鏡面の3次元的な形状は、
「光軸上で鏡面からRsだけ離れ、主対称面内で光軸に
直交する軸」を回転軸として、上記形状を回転させて形
成される「凹の樽型面」である。従って反射結像素子6
の鏡面形状は「Rm,Rs,K」という3つのパラメータ
ーで決定される。なお、反射結像素子の鏡面が上記一般
式で表される形状を持つとは、鏡面の形状が上記一般式
で実質的に表されることを意味する。
The reflection imaging element 6 has the following mirror surface shape. That is, the optical axis of the reflective imaging element (the axis of symmetry of the mirror surface)
And a straight line orthogonal to the optical axis and parallel to the main scanning direction (referred to as a main symmetry plane), the mirror surface of the reflective imaging element 6 has coordinates in the optical axis direction: X, Assuming that the coordinates in the direction perpendicular to the optical axis with the optical axis position as the origin are: Y, the general formula is expressed by Y 2 = 2R m X− (K + 1) X 2 (R m : radius of curvature on the optical axis, K: conical constant). It has the shape to be made. The three-dimensional shape of the mirror surface is
The “concave barrel-shaped surface” formed by rotating the above-described shape with the “axis that is separated from the mirror surface by R s on the optical axis and orthogonal to the optical axis in the main symmetry plane” as a rotation axis. Therefore, the reflective imaging element 6
Is determined by three parameters “R m , R s , K”. In addition, that the mirror surface of the reflective imaging element has a shape represented by the above general formula means that the shape of the mirror surface is substantially represented by the above general formula.

【0053】図1(B)は、請求項1記載の発明を図1
(A)の光走査装置に適用した実施例を要部のみ略示し
ている。符号BSで示すビーム偏向面は、この場合、偏
向手段4により理想的に偏向された偏向光束の主光線が
掃引する仮想的な平面に一致する。
FIG. 1B shows the first embodiment of the present invention.
An embodiment applied to the optical scanning device of FIG. In this case, the beam deflecting surface indicated by the symbol BS coincides with a virtual plane swept by the principal ray of the deflected light beam ideally deflected by the deflecting means 4.

【0054】偏向手段4と反射結像素子6の間に配備さ
れたハーフミラー5は、反射結像素子6の側の面5bが
「半透鏡面」であり、ビーム偏向面BSに対して傾けて
設けられる。偏向光束はハーフミラー5を透過し、反射
結像素子6により反射されるとハーフミラー5の面5b
に形成された半透鏡面により反射されて記録媒体7上に
光スポットとして集光する。
The half mirror 5 provided between the deflecting means 4 and the reflection imaging element 6 has a surface 5b on the reflection imaging element 6 side which is a "semi-transparent mirror surface" and is inclined with respect to the beam deflection surface BS. Provided. The deflected light beam passes through the half mirror 5 and is reflected by the reflective imaging element 6 so that the surface 5b of the half mirror 5
The light is reflected by the semi-transparent mirror surface formed on the recording medium 7 and condensed on the recording medium 7 as a light spot.

【0055】図1(B)の実施例において、反射結像素
子6の光軸AXはビーム偏向面BSに平行であり、反射
結像素子6全体がビーム偏向面BSに直交する方向へシ
フト量:ΔZだけずれている。この場合、反射結像素子
の光軸AXはビーム偏向面BSに平行であるので、シフ
ト量:ΔZは、ビーム偏向面BSに対する光軸AXのず
れ量であり、図1(B)においてビーム偏向面BSの上
側を+とする。
In the embodiment shown in FIG. 1B, the optical axis AX of the reflection imaging element 6 is parallel to the beam deflection surface BS, and the entire reflection imaging element 6 is shifted in a direction perpendicular to the beam deflection surface BS. : Shifted by ΔZ. In this case, since the optical axis AX of the reflective imaging element is parallel to the beam deflecting surface BS, the shift amount: ΔZ is the shift amount of the optical axis AX with respect to the beam deflecting surface BS. The upper side of the surface BS is defined as +.

【0056】反射結像素子6として、鏡面形状を決定す
る上記3パラメーターが、Rm=−277mm,Rs=−
91mm,K=−0.33で与えられるものを用い、ハ
ーフミラー5として、屈折率:n=1.51118,厚
さ:t=7mmのものを用いる。ハーフミラー5をビー
ム偏向面BSに対して、傾き角:α(面5a(面5bと
平行である)の法線とビーム偏向面BSとのなす角)=
45度に配備する。偏向反射面4aから反射結像素子6
に到る距離:L0=87.42mmとし、光走査幅:S
=216mmとする。
The three parameters for determining the mirror surface shape of the reflection imaging element 6 are R m = −277 mm and R s = −.
A mirror having a refractive index of n = 1.51118 and a thickness of t = 7 mm is used as the half mirror 5 as the half mirror 5. Angle of inclination of the half mirror 5 with respect to the beam deflection surface BS: α (the angle between the normal to the surface 5a (which is parallel to the surface 5b) and the beam deflection surface BS) =
Deploy at 45 degrees. From the deflecting / reflecting surface 4a to the reflective imaging element 6
Distance: L 0 = 87.42 mm, light scanning width: S
= 216 mm.

【0057】この場合、反射結像素子6のシフト量:Δ
Zを0とすると、光スポットによる走査線の曲がりは図
2(a)に示すようになる。即ち、走査線の曲がりは、
光走査領域の中央部近傍では殆ど問題とならないが、光
走査領域の両端部では著しく大きくなり、適正な光走査
を妨げる。
In this case, the shift amount of the reflective imaging element 6 is Δ
Assuming that Z is 0, the bending of the scanning line due to the light spot is as shown in FIG. That is, the bending of the scanning line is
There is almost no problem in the vicinity of the central portion of the optical scanning region, but it becomes extremely large at both ends of the optical scanning region, preventing proper optical scanning.

【0058】具体例1 上記のハーフミラーと反射結像素子とを用い、図1
(B)に示すように、反射結像素子6を同面BSに直交
する方向へシフト量:ΔZだけずらして配備する。シフ
ト量:ΔZ=−0.36mmとしたときの走査線の曲が
りは、図2(b)に示すように光走査領域全域に渡って
比較的小さい値に抑えられ、良好に補正された。
Example 1 Using the above-mentioned half mirror and reflective imaging element, FIG.
As shown in (B), the reflective imaging element 6 is arranged so as to be shifted by a shift amount ΔZ in a direction orthogonal to the same surface BS. When the shift amount: ΔZ = −0.36 mm, the bending of the scanning line was suppressed to a relatively small value over the entire optical scanning region as shown in FIG. 2B, and was corrected well.

【0059】図1(C)は、請求項2の発明を図1
(A)の光走査装置に適用した実施例を要部のみ略示し
ている。反射結像素子6は、その光軸AXと鏡面の交点
の位置がビーム偏向面BS上にあり、光軸AXはビーム
偏向面BSに対してティルト量:Δθだけ傾いている。
ティルト量:Δθは反射結像素子6の鏡面を時計回りに
回転させる場合を+とする。
FIG. 1C shows the second embodiment of the present invention.
An embodiment applied to the optical scanning device of FIG. The position of the intersection of the optical axis AX and the mirror surface of the reflective imaging element 6 is on the beam deflection surface BS, and the optical axis AX is inclined with respect to the beam deflection surface BS by a tilt amount: Δθ.
The tilt amount: Δθ is + when the mirror surface of the reflection imaging element 6 is rotated clockwise.

【0060】具体例2 具体例1におけると同一のハーフミラーおよび反射結像
素子を、傾き角:α=45度、距離:L0=87.42
mm、光走査幅:S=216mmに合わせて用い、反射
結像素子6のティルト量:Δθ=−0.22度に設定し
たところ、走査線の曲がりは図2(c)に示すようにな
り、具体例1の場合同様、走査線の曲がりが良好に補正
された。
Example 2 The same half mirror and reflective imaging element as in Example 1 were tilted at an inclination angle α = 45 degrees and a distance L 0 = 87.42.
mm, the optical scanning width: S = 216 mm, and the tilt amount of the reflective imaging element 6 was set to Δθ = −0.22 degrees. The bending of the scanning line was as shown in FIG. 2C. As in the case of the specific example 1, the bending of the scanning line was satisfactorily corrected.

【0061】次に、反射結像素子6として、鏡面形状を
決定する3パラメーターが、Rm=−218.6mm,
s=−109.4mm,K=−1.89で与えられる
ものを用い、ハーフミラー5として、屈折率:n=1.
51118,厚さ:t=8.4mmのものを用い、ハー
フミラー5をビーム偏向面BSに対して傾き角:α=5
6度に配備する。偏向反射面4aから反射結像素子6に
到る距離:L0=66.1mmとし、光走査幅:S=2
16mmとする。
Next, as the reflective imaging element 6, three parameters for determining the mirror surface shape are as follows: R m = −218.6 mm,
R s = -109.4mm, used as given by K = -1.89, a half mirror 5, the refractive index: n = 1.
51118, thickness: t = 8.4 mm, and the half mirror 5 is tilted with respect to the beam deflection surface BS at an inclination angle: α = 5.
Deploy 6 times. Distance from the deflecting / reflecting surface 4a to the reflective imaging element 6: L 0 = 66.1 mm, light scanning width: S = 2
16 mm.

【0062】この場合、反射結像素子6のビーム偏向面
BSからのシフト量:ΔZ=0、ティルト量:Δθ=0
とすると、光スポットの走査線は図3(a)に示すよう
に曲がり、走査線の曲がりは光走査領域の中央部近傍か
ら光走査領域両端部向かって急激に大きくなって、適正
な光走査を妨げる。
In this case, the shift amount from the beam deflecting surface BS of the reflective imaging element 6 is ΔZ = 0, and the tilt amount is Δθ = 0.
Then, the scanning line of the light spot bends as shown in FIG. 3A, and the bending of the scanning line increases sharply from near the center of the light scanning area toward both ends of the light scanning area. Hinder.

【0063】具体例3 上記条件において、前記具体例1におけると同じく、反
射結像素子6を同面BSに直交する方向へシフト量:Δ
Z=+0.33mmだけずらしたとき、走査線の曲がり
は図3(b)に示すように、光走査領域全域に渡って比
較的小さい値に抑えられ、良好に補正された。
Example 3 Under the above conditions, as in Example 1, the amount of shift of the reflective imaging element 6 in the direction orthogonal to the same surface BS: Δ
When shifted by Z = + 0.33 mm, the bending of the scanning line was suppressed to a relatively small value over the entire optical scanning area, as shown in FIG.

【0064】具体例4 上記具体例3の条件において、具体例2におけると同じ
く、反射結像素子6の光軸をビーム偏向面BSに対し
て、ティルト量:Δθ=+0.17度に傾けて設定した
ところ、走査線の曲がりは図3(c)に示すようにな
り、走査線の曲がりが良好に補正された。
Embodiment 4 Under the conditions of Embodiment 3, as in Embodiment 2, the optical axis of the reflective imaging element 6 is tilted with respect to the beam deflecting surface BS by an amount of tilt: Δθ = + 0.17 degrees. As a result, the curvature of the scanning line was as shown in FIG. 3C, and the curvature of the scanning line was corrected well.

【0065】上に説明した例では、ハーフミラー5は、
反射結像素子6側の面5bが半透鏡面である。図1
(D)は、請求項3の発明を図1(A)の光走査装置に
適用した実施例を要部のみ略示している。ハーフミラー
5は、偏向手段4側の面5aが半透鏡面となっている。
反射結像素子6は、その光軸がビーム偏向面BS内に位
置するように配備されている。
In the example described above, the half mirror 5
The surface 5b on the reflective imaging element 6 side is a semi-transparent mirror surface. FIG.
(D) schematically shows only an essential part of an embodiment in which the invention of claim 3 is applied to the optical scanning device of FIG. 1 (A). In the half mirror 5, the surface 5a on the deflecting means 4 side is a semi-transparent mirror surface.
The reflection imaging element 6 is provided so that its optical axis is located within the beam deflection surface BS.

【0066】反射結像素子6として、具体例1,2と同
じく鏡面形状を決定する3パラメーターが、Rm=−2
77mm,Rs=−91(mm),K=−0.33で与
えられるものを用い、ハーフミラー5としては、屈折
率:n=1.51118,厚さ:t=3.5mmのもの
を用い、ハーフミラー5をビーム偏向面BSに対して傾
き角:α=45度に配備する。偏向反射面4aから反射
結像素子6に到る距離:L0=87.42mmとし、光
走査幅:S=216mmとする。
As the reflective image forming element 6, three parameters for determining the mirror surface shape as in the first and second embodiments are Rm = −2.
A half mirror having a refractive index of n = 1.51118 and a thickness of t = 3.5 mm is used as the half mirror 5. The half mirror 5 is arranged at an inclination angle α = 45 degrees with respect to the beam deflection surface BS. The distance from the deflecting / reflecting surface 4a to the reflective imaging element 6 is L 0 = 87.42 mm, and the light scanning width is S = 216 mm.

【0067】この条件においてハーフミラー5の半透鏡
面を反射結像素子6側にし、シフト量:ΔZ=0,ティ
ルト量:Δθ=0としたところ、走査線の曲がりは図4
(a)に示すようになった。
Under these conditions, the semi-transparent mirror surface of the half mirror 5 is set to the reflective imaging element 6 side, and the shift amount: ΔZ = 0 and the tilt amount: Δθ = 0.
(A).

【0068】具体例5 上記条件において、ハーフミラー5の半透鏡面を図1
(D)に示すように偏向手段4側に向けて配備したとこ
ろ、走査線の曲がりは図4(b)に示す如くに改善され
た。ハーフミラーの半透鏡面を偏向手段側にすると、偏
向光束は、半透鏡面を透過した後に、ハーフミラーを3
回透過することになり、ハーフミラー内における光路が
長くなることから光路長を稼ぐことができるが、それと
同時に、図4(b)に示すように、走査線の曲がりを有
効に補正する機能が生じる。
Example 5 Under the above conditions, the semi-transparent mirror surface of the half mirror 5 is shown in FIG.
As shown in FIG. 4D, when the scanning line was arranged toward the deflecting means 4, the scanning line bending was improved as shown in FIG. 4B. When the semi-transparent mirror surface of the half mirror is set to the deflecting means side, the deflected light beam passes through the semi-transparent mirror surface and then passes through the half mirror to 3.
As a result, the optical path length can be increased because the optical path in the half mirror becomes longer, but at the same time, as shown in FIG. Occurs.

【0069】この場合、具体例5に示したように、反射
結像素子6を「ずらさず、傾けなくても」走査線の曲が
りが改善されるのである。ハーフミラーの半透鏡面を偏
向手段側に向けることによる「走査線の曲がり」補正
は、反射結像素子の「ずらし」あるいは「傾け」による
補正と共用することができる。
In this case, as shown in the specific example 5, the bending of the scanning line is improved "without shifting or tilting" the reflective imaging element 6. The correction of “scanning line bending” by turning the semi-transparent mirror surface of the half mirror toward the deflecting means can be shared with the correction by “shift” or “tilt” of the reflective imaging element.

【0070】例えば、反射結像素子6として、鏡面形状
を決定する3つのパラメーターが、Rm=−252m
m,Rs=−96mm,K=−1.0で与えられるもの
を用い、ハーフミラー5として、屈折率:n=1.51
118,厚さ:t=3.2mmのものを用い、半透鏡面
ハーフミラー5をビーム偏向面BSに対して傾き角:α
=45度に配備する。偏向反射面4aから反射結像素子
6に到る距離:L0=76.5mmとし、光走査幅:S
=216mmとする。
For example, as the reflective imaging element 6, three parameters for determining the mirror shape are as follows: R m = −252 m
m, R s = −96 mm, K = −1.0, and the refractive index: n = 1.51 as the half mirror 5
118, the thickness: t = 3.2 mm, and the semi-transparent mirror half mirror 5 is tilted with respect to the beam deflection surface BS at an inclination angle α
= Deploy at 45 degrees. Distance from the deflecting / reflecting surface 4a to the reflective imaging element 6: L 0 = 76.5 mm, light scanning width: S
= 216 mm.

【0071】このような条件において、反射結像素子6
のシフト量:ΔZ=0、ティルト量:Δθ=0とし、且
つハーフミラー5の半透鏡面が反射結像素子6側にある
と、走査線の曲がりは図5(a)に示す如きものとな
る。
Under these conditions, the reflective imaging element 6
When the shift amount of ΔZ = 0, the tilt amount: Δθ = 0, and the semi-transparent mirror surface of the half mirror 5 is on the reflective imaging element 6 side, the scanning line bends as shown in FIG. Become.

【0072】具体例6 このとき、ハーフミラー5の半透鏡面を偏向手段側に
し、反射結像素子6をビーム偏向面に対して、シフト
量:ΔZ=+0.25mmだけずらすと、走査線の曲が
りは図5(b)に示すように良好に改善される。
Specific Example 6 At this time, when the semi-transparent mirror surface of the half mirror 5 is set to the deflecting means side and the reflection imaging element 6 is shifted by a shift amount ΔZ = + 0.25 mm with respect to the beam deflecting surface, the scanning line The bending is satisfactorily improved as shown in FIG.

【0073】具体例7 上記具体例6の条件で、反射結像素子を「ずらす」代わ
りに、反射結像素子をティルト量:Δθ=+0.15度
だけ傾けて配備しても、走査線の曲がりは図5(c)に
示すように良好に改善される。
Specific Example 7 Under the conditions of the specific example 6, instead of “shifting” the reflection imaging element, even if the reflection imaging element is arranged with a tilt of Δθ = + 0.15 degrees, even if the scanning line is The bending is satisfactorily improved as shown in FIG.

【0074】なお、走査線の曲がりを補正するために、
反射結像素子6をビーム偏向面BSに対して傾けるとと
もに、ビーム偏向面BSに直交する方向へずらして配置
することも可能である。
Incidentally, in order to correct the bending of the scanning line,
It is also possible to tilt the reflection imaging element 6 with respect to the beam deflection surface BS and to displace it in a direction perpendicular to the beam deflection surface BS.

【0075】図6(A)は請求項8〜14記載の発明の
光走査装置の1実施例を要部のみ略示している。繁雑を
避けるため、混同の虞れがないと思われるものに就いて
は、図1(A)におけると同一の符号を付した。
FIG. 6A schematically shows only an essential part of an embodiment of the optical scanning device according to the present invention. In order to avoid complication, the same reference numerals as those in FIG.

【0076】光源1から放射される光束は、正のパワー
を持つレンズ2により発散傾向を抑制され、レンズ2を
透過した光束は同レンズ2のパワーと配置に応じて、平
行光束あるいは集光性の光束もしくは発散性の光束の何
れかとなる。レンズ2を透過した光束は、上記平行光
束、集光光束、発散光束の何れであっても良いが、この
例では発散光束となっている。レンズ2を透過した発散
光束はシリンダレンズ3により副走査対応方向にのみ集
束傾向を与えられ、偏向手段4の偏向反射面近傍に主走
査対応方向に長い線像として結像する。
The luminous flux radiated from the light source 1 is suppressed from diverging by the lens 2 having positive power, and the luminous flux transmitted through the lens 2 is converted into a parallel luminous flux or a condensing light depending on the power and arrangement of the lens 2. Or a divergent light flux. The light beam transmitted through the lens 2 may be any of the above-described parallel light beam, condensed light beam, and divergent light beam. In this example, the light beam is a divergent light beam. The divergent light flux transmitted through the lens 2 is given a tendency to converge only in the sub-scanning corresponding direction by the cylinder lens 3, and is formed near the deflecting reflection surface of the deflecting means 4 as a long line image in the main scanning corresponding direction.

【0077】偏向手段4により偏向された偏向光束は、
次いで平行平板5Aを介して反射結像素子6に入射し、
同素子6により反射されると反射光束となる。反射光束
は記録媒体7の表面に照射されるが、反射結像素子6の
作用により記録媒体7の周面上に光スポットとして集光
する。光スポットは偏向光束の偏向に従い「理想的に
は」光走査ラインL上を光走査する。走査線は理想的に
は光走査ラインLと合致するが、実際には一般に曲がり
を生じて光走査ラインLからずれる。
The deflection light beam deflected by the deflection means 4 is
Next, the light enters the reflective imaging element 6 via the parallel plate 5A,
When reflected by the element 6, it becomes a reflected light flux. The reflected light flux is applied to the surface of the recording medium 7, but is condensed as a light spot on the peripheral surface of the recording medium 7 by the operation of the reflection imaging element 6. The light spot optically scans the optical scanning line L "ideally" according to the deflection of the deflected light beam. The scanning line ideally matches the optical scanning line L, but in practice, it generally bends and deviates from the optical scanning line L.

【0078】反射結像素子6は、前述の図1(A)に即
して説明したものと同様、アナモフィックな凹面鏡6で
あって、「凹の樽型面」であり、その鏡面形状は前述の
3パラメーター「Rm,Rs,K」により決定される。
The reflection imaging element 6 is an anamorphic concave mirror 6 similar to that described with reference to FIG. 1A described above, and is a “concave barrel-shaped surface”. Is determined by the three parameters “R m , R s , K”.

【0079】また、上述したように偏向手段4に入射す
る光束は、偏向反射面近傍に主走査対応方向に長い線像
として結像し、反射結像素子6は副走査対応方向におい
て、偏向反射面位置と被走査面位置とを幾何光学的な共
役関係としている(従って、この実施例は請求項14記
載の光走査装置の実施例でもある)。
Further, as described above, the light beam incident on the deflecting means 4 forms an image as a long linear image in the main scanning direction in the vicinity of the deflecting / reflecting surface. The position of the surface and the position of the surface to be scanned have a geometrical conjugate relationship (therefore, this embodiment is also an embodiment of the optical scanning device according to claim 14).

【0080】図6(B)は図6(A)の光走査装置の偏
向手段4から記録媒体7に到る光路を、主走査対応方向
から見た状態を示している。図に現われた反射結像素子
6の鏡面形状は半径:Rsの円弧である。符号BSはビー
ム偏向面を示し、符号AXは反射結像素子6の光軸を示
している。光軸AXはビーム偏向面BSに平行であり、
従ってティルト量:Δθ=0である。
FIG. 6B shows a state where the optical path from the deflecting means 4 of the optical scanning device of FIG. 6A to the recording medium 7 is viewed from the main scanning corresponding direction. Specular shape of the reflective image forming element 6 that appear in Figure radius: an arc of R s. Reference symbol BS denotes a beam deflecting surface, and reference symbol AX denotes an optical axis of the reflective imaging element 6. The optical axis AX is parallel to the beam deflection surface BS,
Therefore, the tilt amount: Δθ = 0.

【0081】偏向手段4による偏向光束は平行平板5A
を透過して反射結像素子6に入射し、同素子6により反
射されると平行平板5Aを透過して記録媒体7の光走査
を行なう(従って、この例は請求項9記載の光走査装置
の実施例でもある)。
The light beam deflected by the deflecting means 4 is parallel plate 5A.
Is transmitted to the reflective imaging element 6, and when reflected by the element 6, the light passes through the parallel flat plate 5A to perform optical scanning of the recording medium 7 (therefore, in this example, the optical scanning apparatus according to claim 9). Is also an example).

【0082】図7〜9に変形例を示す。繁雑を避けるた
め、混同の虞れがないと思われるものに就いては図6に
おけると同一の符号を用いる。これらの変形例におい
て、光源から偏向手段に到る光路上の光学配置は、図6
に即して説明した例と同様であり、反射結像素子6によ
り、偏向反射面位置と被走査面位置とが「副走査対応方
向に関して、幾何光学的に略共役な関係」にされること
も、図6の実施例と同様である。
FIGS. 7 to 9 show modified examples. In order to avoid complication, the same reference numerals as those in FIG. 6 are used for those which do not seem to be confused. In these modifications, the optical arrangement on the optical path from the light source to the deflecting means is shown in FIG.
In the same manner as in the example described above, the position of the deflecting / reflecting surface and the position of the surface to be scanned are set to “geometrically and substantially conjugate with respect to the sub-scanning corresponding direction” by the reflective imaging element 6. This is the same as the embodiment of FIG.

【0083】図7に示す実施例は請求項10の光走査装
置の実施例であり、平行平板5Bは反射結像素子6に向
かう「偏向光束のみ」を透過させるように配備されてい
る。
The embodiment shown in FIG. 7 is an embodiment of the optical scanning device according to claim 10, wherein the parallel flat plate 5B is provided so as to transmit "only the deflected light beam" toward the reflection imaging element 6.

【0084】図8に示す変形実施例は請求項12記載の
光走査装置の実施例である。平行平板5Aの、偏向手段
4側の面の一部に反射膜5Mが形成され、反射結像素子
6による反射光束は平行平板5を透過した後、反射膜5
Mにより反射され、再度平行平板5を透過して記録媒体
7へ向かう。
The modified embodiment shown in FIG. 8 is an embodiment of the optical scanning device according to the twelfth aspect. A reflection film 5M is formed on a part of the surface of the parallel plate 5A on the side of the deflecting means 4, and a light beam reflected by the reflection imaging element 6 is transmitted through the parallel plate 5 and then reflected.
The light is reflected by M, passes through the parallel flat plate 5 again, and travels toward the recording medium 7.

【0085】図9に示す変形実施例は請求項13記載の
光走査装置の実施例である。平行平板5Aの、反射結像
素子6側の面の一部に反射膜5mが形成され、反射結像
素子6による反射光束は、反射膜5mにより反射されて
記録媒体7へ向かう。
The modified embodiment shown in FIG. 9 is an embodiment of the optical scanning device according to the thirteenth aspect. A reflection film 5m is formed on a part of the surface of the parallel flat plate 5A on the side of the reflective imaging element 6, and a light beam reflected by the reflective imaging element 6 is reflected by the reflective film 5m and travels toward the recording medium 7.

【0086】以下、図6〜図9に示す各実施例装置にお
ける光走査の具体例を挙げる。各具体例において、反射
結像素子6は上述した3パラメーター「Rm,Rs,K」
を与えて形状を特定し、平行平板に就いては、屈折率:
nにより材質を、厚さ:tにより形状を特定する。また
平行平板の配備態位は、その「傾き角(偏向手段の回転
軸に平行な方向からの傾きの角度):α」を与えて特定
する。なお、平行平板の屈折率:nは、全具体例を通じ
てn=1.51118である。また、ビーム偏向面はこ
の場合は、平面である。
Hereinafter, specific examples of the optical scanning in the respective embodiments shown in FIGS. 6 to 9 will be described. In each of the specific examples, the reflective imaging element 6 has the three parameters “R m , R s , K” described above.
To specify the shape, and for a parallel plate, the refractive index:
The material is specified by n, and the shape is specified by thickness: t. The deployment state of the parallel plate is specified by giving its “tilt angle (angle of inclination from a direction parallel to the rotation axis of the deflecting means): α”. Incidentally, the refractive index: n of the parallel plate is n = 1.5118 throughout all the specific examples. The beam deflecting surface is a plane in this case.

【0087】光源からの光束はレンズ2により発散光束
とされており、その発散の起点(発散光束の発散が始ま
っていると見做される幾何光学上の位置)の、反射結像
素子6の鏡面からの距離:S0を与える(これにより、
反射結像素子6に入射する入射偏向光束の主走査対応方
向に関する光源位置が定まる)。上記発散の起点は反射
結像素子6の鏡面の手前の位置にあるから負の距離で表
す。
The luminous flux from the light source is converted into a divergent luminous flux by the lens 2, and the starting point of the divergence (the position on the geometrical optics where the divergent luminous flux is considered to have started to diverge) is reflected by the reflective imaging element 6. Gives the distance from the mirror surface: S 0 (this gives
The position of the light source in the main scanning corresponding direction of the incident deflected light beam incident on the reflective imaging element 6 is determined). Since the starting point of the divergence is located in front of the mirror surface of the reflective imaging element 6, it is represented by a negative distance.

【0088】また、反射結像素子6は以下の具体例8〜
30において、その光軸がビーム偏向面と平行であり、
上記光軸とビーム偏向面との距離を反射結像素子の「シ
フト量」として与える。また上記偏向起点から反射結像
素子に到る距離:L0は、具体例8〜30において、L0
=66.1079mmである。上記シフト量とL0とに
より、反射結像素子の配置態位が定まる。「分離量」
は、偏向反射面位置もしくは平行平板の何れかの面にお
けるビーム偏向面と反射光束との距離を表す。「走査線
曲がり」は、実際の走査線と前述の光走査ラインLとの
ずれの最大値を表す。
Further, the reflective imaging element 6 has the following specific examples 8 to
At 30, the optical axis is parallel to the beam deflection plane;
The distance between the optical axis and the beam deflecting surface is given as the "shift amount" of the reflective imaging element. The distance reaches the reflective image forming element from the deflection origin: L 0, in embodiments 8 to 30, L 0
= 66.1079 mm. The arrangement of the reflective imaging element is determined by the shift amount and L 0 . "Separation amount"
Represents the distance between the beam deflecting surface and the reflected light beam in either the position of the deflecting / reflecting surface or the plane of the parallel plate. “Scanning line bending” represents the maximum value of the deviation between the actual scanning line and the above-described optical scanning line L.

【0089】最初に挙げる具体例8〜19は、図6の実
施例における具体例である。「分離量」は、偏向反射面
位置におけるビーム偏向面と反射光束との距離を表す。
The first specific examples 8 to 19 are specific examples in the embodiment of FIG. “Separation amount” indicates the distance between the beam deflecting surface and the reflected light beam at the position of the deflecting / reflecting surface.

【0090】具体例8 t=4mm,α=15度、S0=−314.089,K
=−1.87,Rm=−223.0,Rs=−110.
5,シフト量:0.41mm,分離量=0.91mm,
走査線曲がり=4μm 。
Specific Example 8 t = 4 mm, α = 15 degrees, S 0 = −314.089, K
= -1.87, R m = -223.0, R s = -110.
5, shift amount: 0.41 mm, separation amount = 0.91 mm,
Scan line bending = 4 μm.

【0091】具体例9 t=4mm,α=30度、S0=−314.089,K
=−1.87,Rm=−223.0,Rs=−110.
5,シフト量:0.71mm,分離量=1.75mm,
走査線曲がり=11μm 。
Specific Example 9 t = 4 mm, α = 30 degrees, S 0 = −314.089, K
= -1.87, R m = -223.0, R s = -110.
5, shift amount: 0.71 mm, separation amount: 1.75 mm,
Scan line bending = 11 μm.

【0092】具体例10 t=4mm,α=45度、S0=−314.089,K
=−1.87,Rm=−223.0,Rs=−110.
5,シフト量:0.70mm,分離量=2.36mm,
走査線曲がり=21μm 。
Specific Example 10 t = 4 mm, α = 45 degrees, S 0 = −314.089, K
= -1.87, R m = -223.0, R s = -110.
5, shift amount: 0.70 mm, separation amount = 2.36 mm,
Scan line bending = 21 μm.

【0093】具体例11 t=4mm,α=60度、S0=−314.089,K
=−1.89,Rm=−223.0,Rs=−110.6
3,シフト量:0.00mm,分離量=2.35mm,
走査線曲がり=31μm 。
Specific Example 11 t = 4 mm, α = 60 degrees, S 0 = −314.089, K
= -1.89, R m = -223.0, R s = -110.6
3, shift amount: 0.00 mm, separation amount = 2.35 mm,
Scan line bending = 31 μm.

【0094】具体例12 t=8mm,α=15度、S0=−292.339,K
=−1.85,Rm=−218.7,Rs=−108.
8,シフト量:0.86mm,分離量=1.84mm,
走査線曲がり=7μm 。
Specific Example 12 t = 8 mm, α = 15 degrees, S 0 = −292.339, K
= -1.85, R m = -218.7, R s = -108.
8, shift amount: 0.86 mm, separation amount = 1.84 mm,
Scan line bending = 7 μm.

【0095】具体例13 t=8mm,α=30度、S0=−292.339,K
=−1.85,Rm=−218.6,Rs=−108.
0,シフト量:1.50mm,分離量=3.50mm,
走査線曲がり=19μm 。
Specific Example 13 t = 8 mm, α = 30 degrees, S 0 = −292.339, K
= -1.85, R m = -218.6, R s = -108.
0, shift amount: 1.50 mm, separation amount = 3.50 mm,
Scan line bending = 19 μm.

【0096】具体例14 t=8mm,α=45度、S0=−292.339,K
=−1.88,Rm=−218.6,Rs=−108.
2,シフト量:1.48mm,分離量=4.72mm,
走査線曲がり=40μm 。
Specific Example 14 t = 8 mm, α = 45 degrees, S 0 = −292.339, K
= -1.88, R m = -218.6, R s = -108.
2, shift amount: 1.48 mm, separation amount: 4.72 mm,
Scan line bending = 40 μm.

【0097】具体例15 t=8mm,α=60度、S0=−292.339,K
=−1.81,Rm=−218.8,Rs=−108.
7,シフト量:0.11mm,分離量=4.69mm,
走査線曲がり=62μm 。
Specific Example 15 t = 8 mm, α = 60 degrees, S 0 = −292.339, K
= -1.81, R m = -218.8, R s = -108.
7, shift amount: 0.11 mm, separation amount: 4.69 mm,
Scan line bending = 62 μm.

【0098】具体例16 t=12mm,α=15度、S0=−249.97 ,
K=−1.81,Rm=−210.0,Rs=−105.
5,シフト量:1.42mm,分離量=2.94mm,
走査線曲がり= 6μm 。
Specific Example 16 t = 12 mm, α = 15 degrees, S 0 = −249.97,
K = -1.81, R m = -210.0 , R s = -105.
5, shift amount: 1.42 mm, separation amount = 2.94 mm,
Scan line bend = 6 μm.

【0099】具体例17 t=12mm,α=30度、S0=−259.68 ,
K=−1.83,Rm=−211.6,Rs=−104.
2,シフト量:2.50mm,分離量=5.70mm,
走査線曲がり=24μm 。
Specific Example 17 t = 12 mm, α = 30 degrees, S 0 = −259.68,
K = -1.83, R m = -211.6 , R s = -104.
2, shift amount: 2.50 mm, separation amount: 5.70 mm,
Scan line bending = 24 μm.

【0100】具体例18 t=12mm,α=45度、S0=−286.93 ,
K=−1.86,Rm=−216.5,Rs=−104.
2,シフト量:2.47mm,分離量=7.41mm,
走査線曲がり=60μm 。
Specific Example 18 t = 12 mm, α = 45 degrees, S 0 = −286.93,
K = -1.86, R m = -216.5 , R s = -104.
2, shift amount: 2.47 mm, separation amount: 7.41 mm,
Scan line bending = 60 μm.

【0101】具体例19 t=12mm,α=60度、S0=−292.339,
K=−1.89,Rm=−217.2,Rs=−105.
1,シフト量:0.38mm,分離量=7.20mm,
走査線曲がり=93μm 。
Specific Example 19 t = 12 mm, α = 60 degrees, S 0 = −292.339,
K = -1.89, R m = -217.2 , R s = -105.
1, shift amount: 0.38 mm, separation amount = 7.20 mm,
Scan line bending = 93 μm.

【0102】次ぎに挙げる具体例20〜23は、図8に
示す実施例における具体例である。「分離量」は、平行
平板の偏向手段側面におけるビーム偏向面と反射光束と
の距離を表す。
The following specific examples 20 to 23 are specific examples in the embodiment shown in FIG. The "separation amount" indicates the distance between the beam deflecting surface on the side of the deflecting means of the parallel plate and the reflected light beam.

【0103】具体例20 t=8mm,α=15度、S0=−292.339,K
=−1.85,Rm=−218.7,Rs=−108.
7,シフト量:0.95mm,分離量=1.32mm,
走査線曲がり=8μm 。
Specific Example 20 t = 8 mm, α = 15 degrees, S 0 = −292.339, K
= -1.85, R m = -218.7, R s = -108.
7, shift amount: 0.95 mm, separation amount = 1.32 mm,
Scan line bending = 8 μm.

【0104】具体例21 t=8mm,α=30度、S0=−292.339,K
=−1.86,Rm=−218.6,Rs=−107.
9,シフト量:1.67mm,分離量=2.47mm,
走査線曲がり=23μm 。
Specific Example 21 t = 8 mm, α = 30 degrees, S 0 = −292.339, K
= -1.86, R m = -218.6, R s = -107.
9, shift amount: 1.67 mm, separation amount: 2.47 mm,
Scan line bending = 23 μm.

【0105】具体例22 t=8mm,α=45度、S0=−292.339,K
=−1.89,Rm=−218.6,Rs=−107.
9,シフト量:1.72mm,分離量=3.12mm,
走査線曲がり=45μm 。
Specific Example 22 t = 8 mm, α = 45 degrees, S 0 = −292.339, K
= -1.89, R m = -218.6, R s = -107.
9, shift amount: 1.72 mm, separation amount: 3.12 mm,
Scan line bending = 45 μm.

【0106】具体例23 t=8mm,α=60度、S0=−292.339,K
=−1.91,Rm=−218.8,Rs=−108.
0,シフト量:0.40mm,分離量=2.93mm,
走査線曲がり=66μm 。
Specific Example 23 t = 8 mm, α = 60 degrees, S 0 = −292.339, K
= -1.91, R m = -218.8, R s = -108.
0, shift amount: 0.40 mm, separation amount = 2.93 mm,
Scan line bending = 66 μm.

【0107】次ぎに挙げる具体例24〜26は、図6に
示す実施例において、平行平板への偏向光束の入射角が
ブリュースター角を満足するようにした、請求項11記
載の光走査装置の具体例である。「分離量」は、偏向起
点位置におけるビーム偏向面と反射光束との距離を表
す。
In the following specific examples 24 to 26, in the embodiment shown in FIG. 6, the incident angle of the deflected light beam to the parallel flat plate satisfies the Brewster angle. This is a specific example. The “separation amount” indicates the distance between the beam deflection surface and the reflected light beam at the deflection start position.

【0108】具体例24 t=4mm,α=56.506度、S0=−314.0
89,K=−1.89,Rm=−223.0,Rs=−1
10.65,シフト量:0.24mm,分離量=2.4
2mm,走査線曲がり=29μm
Specific Example 24 t = 4 mm, α = 56.506 degrees, S 0 = −314.0
89, K = -1.89, R m = -223.0, R s = -1
10.65, shift amount: 0.24 mm, separation amount = 2.4
2 mm, scan line bending = 29 μm
.

【0109】具体例25 t=8mm,α=56.506度、S0=−292.3
39,K=−1.89,Rm=−218.6,Rs=−1
09.0,シフト量:0.58mm,分離量=4.81
mm,走査線曲がり=58μm
Specific Example 25 t = 8 mm, α = 56.506 degrees, S 0 = −292.3
39, K = -1.89, R m = -218.6, R s = -1
09.0, shift amount: 0.58 mm, separation amount = 4.81
mm, scanning line bending = 58 μm
.

【0110】具体例26 t=12mm,α=56.506度、S0=−292.
339,K=−1.88,Rm=−217.2,Rs=−
105.6,シフト量:1.05mm,分離量=7.3
5mm,走査線曲がり=86μm
Specific Example 26 t = 12 mm, α = 56.506 degrees, S 0 = −292.
339, K = -1.88, R m = -217.2, R s = -
105.6, shift amount: 1.05 mm, separation amount = 7.3
5 mm, scanning line bending = 86 μm
.

【0111】次ぎに挙げる具体例27は、図8に示す実
施例において、平行平板への偏向光束の入射角がブリュ
ースター角を満足するようにした、請求項11記載の光
走査装置の具体例である。「分離量」は、平行平板の偏
向手段側面におけるビーム偏向面と反射光束との距離を
表す。
A specific example 27 of the optical scanning device according to claim 11, wherein the incident angle of the deflected light beam to the parallel flat plate satisfies the Brewster angle in the embodiment shown in FIG. It is. The "separation amount" indicates the distance between the beam deflecting surface on the side of the deflecting means of the parallel plate and the reflected light beam.

【0112】具体例27 t=8mm,α=56.506度、S0=−292.3
39,K=−1.9,Rm=−218.6,Rs=−10
8.0,シフト量:0.86mm,分離量=3.05m
m,走査線曲がり=62μm
Specific Example 27 t = 8 mm, α = 56.506 degrees, S 0 = −292.3
39, K = -1.9, R m = -218.6, R s = -10
8.0, shift amount: 0.86 mm, separation amount = 3.05 m
m, scanning line bending = 62 μm
.

【0113】具体例28〜30は、図7,9に示す実施
例における具体例である。「分離量」は、平行平板の反
射結像素子側面における偏向光束と反射光束との偏向手
段回転軸方向の距離を表す。
Specific examples 28 to 30 are specific examples in the embodiment shown in FIGS. The “separation amount” represents the distance between the deflecting light beam and the reflected light beam on the side of the reflection imaging element of the parallel plate in the direction of the rotation axis of the deflecting means.

【0114】具体例28 t=12mm,α=30度、S0=−292.339,
K=−1.71,Rm=−218.8,Rs=−113.
3,シフト量:1.8mm,分離量=2.28mm,走
査線曲がり=37μm 。
Specific Example 28 t = 12 mm, α = 30 degrees, S 0 = −292.339,
K = -1.71, R m = -218.8 , R s = -113.
3, shift amount: 1.8 mm, separation amount: 2.28 mm, scanning line bending = 37 μm.

【0115】具体例29 t=12mm,α=45度、S0=−292.339,
K=−1.74,Rm=−218.8,Rs=−112.
0,シフト量:1.8mm,分離量=3.28mm,走
査線曲がり=83μm 。
Specific Example 29 t = 12 mm, α = 45 degrees, S 0 = −292.339,
K = -1.74, R m = -218.8 , R s = -112.
0, shift amount: 1.8 mm, separation amount = 3.28 mm, scanning line bending = 83 μm.

【0116】具体例30 t=12mm,α=60度、S0=−292.339,
K=−1.85,Rm=−219.5,Rs=−108.
45,シフト量:−0.1mm,分離量=3.93m
m,走査線曲がり=83μm
Specific Example 30 t = 12 mm, α = 60 degrees, S 0 = −292.339,
K = -1.85, R m = -219.5 , R s = -108.
45, shift amount: -0.1 mm, separation amount: 3.93 m
m, scanning line bending = 83 μm
.

【0117】図10〜32に、上記具体例8〜30に関
する、像面湾曲(左図)および走査特性(右図)を示
す。像面湾曲の図における実線はサジタル光線、破線は
メリディオナル光線を表す。走査特性は、偏向光束にお
ける偏向角θに対する理想像高をH(θ)、現実の像高
をH’(θ)とするとき、 [{H’(θ)−H(θ)}/H(θ)]×100% で定義される量であり、fθレンズにおけるfθ特性に
相当する。各具体例とも、像面湾曲・走査特性ともに良
好であり、上記のように走査線の曲がりも、最大で0.
1mm以下と極めて良好に補正されている。
FIGS. 10 to 32 show field curvature (left figure) and scanning characteristics (right figure) for the above Examples 8 to 30. In the figure of the field curvature, a solid line represents a sagittal ray, and a broken line represents a meridional ray. When the ideal image height for the deflection angle θ of the deflected light beam is H (θ) and the actual image height is H ′ (θ), the scanning characteristics are as follows: [{H ′ (θ) −H (θ)} / H ( θ)] × 100%, and corresponds to the fθ characteristic of the fθ lens. In each of the specific examples, both the curvature of field and the scanning characteristics are good, and as described above, the curvature of the scanning line is at most 0.
It is corrected very well to 1 mm or less.

【0118】上記各具体例では、反射結像素子として3
つのパラメーター「Rm,Rs,K」で鏡面形状の特定さ
れるものを用いたが、この発明は勿論、他の鏡面形状を
持つ反射結像素子を用いる場合にも適用可能である。
In each of the above specific examples, the reflection image forming element
Although the mirror surface shape is specified by the three parameters “R m , R s , K”, the present invention is of course applicable to the case where a reflective imaging element having another mirror surface shape is used.

【0119】図33(A)は請求項15〜19記載の発
明の光走査装置の1実施例を要部のみ略示している。繁
雑を避けるため、混同の虞れがないと思われるものに就
いては、図1(A)におけると同一の符号を付した。
FIG. 33A schematically shows only an essential part of an embodiment of the optical scanning device according to the present invention. In order to avoid complication, the same reference numerals as those in FIG.

【0120】光源1から放射される光束は、正のパワー
を持つレンズ2により発散傾向を抑制され、レンズ2を
透過した光束は同レンズ2のパワーと配置に応じて、平
行光束あるいは集光性の光束もしくは発散性の光束の何
れかとなる。レンズ2を透過した光束は、上記平行光
束、集光光束、発散光束の何れであっても良いが、この
例では発散光束となっている。レンズ2を透過した発散
光束はシリンダレンズ3により副走査対応方向にのみ集
束傾向を与えられ、偏向手段4の偏向反射面近傍に主走
査対応方向に長い線像として結像する。
The luminous flux emitted from the light source 1 is suppressed from diverging by the lens 2 having a positive power, and the luminous flux transmitted through the lens 2 is converted into a parallel luminous flux or a condensing light depending on the power and arrangement of the lens 2. Or a divergent light flux. The light beam transmitted through the lens 2 may be any of the above-mentioned parallel light beam, condensed light beam, and divergent light beam. In this example, the light beam is a divergent light beam. The divergent light beam transmitted through the lens 2 is given a tendency to converge only in the sub-scanning corresponding direction by the cylinder lens 3, and forms an image near the deflecting reflection surface of the deflecting means 4 as a long line image in the main scanning corresponding direction.

【0121】偏向手段4により偏向された偏向光束は、
次いで長尺プリズム50を介して反射結像素子6に入射
し、同素子6により反射されると反射光束となる。反射
光束は記録媒体7の表面に照射され、反射結像素子6の
作用により記録媒体7の周面上に光スポットとして集光
する。光スポットは偏向光束の偏向に従い「理想的に
は」光走査ラインL上を光走査する。走査線は理想的に
は光走査ラインLと合致するが、実際には一般に曲がり
を生じて光走査ラインLからずれる。
The deflection light beam deflected by the deflection means 4 is
Next, the light enters the reflective imaging element 6 via the long prism 50 and is reflected by the element 6 to become a reflected light flux. The reflected light beam is applied to the surface of the recording medium 7 and is condensed as a light spot on the peripheral surface of the recording medium 7 by the operation of the reflection imaging element 6. The light spot optically scans the optical scanning line L "ideally" according to the deflection of the deflected light beam. The scanning line ideally matches the optical scanning line L, but in practice, it generally bends and deviates from the optical scanning line L.

【0122】反射結像素子6は、前述の図1(A)に即
して説明したものと同様、アナモフィックな凹面鏡6で
あって、「凹の樽型面」であり、その鏡面形状は前述の
3パラメーター「Rm,Rs,K」により決定される。
The reflection imaging element 6 is an anamorphic concave mirror 6 similar to that described with reference to FIG. 1A, and is a “concave barrel-shaped surface”. Is determined by the three parameters “R m , R s , K”.

【0123】また、上述したように偏向手段4に入射す
る光束は、偏向反射面近傍に主走査対応方向に長い線像
として結像し、反射結像素子6は副走査対応方向におい
て、偏向反射面位置と被走査面位置とを幾何光学的な共
役関係としている(従って、この実施例は請求項19記
載の光走査装置の実施例でもある)。
As described above, the light beam incident on the deflecting means 4 forms an image as a long linear image in the direction corresponding to the main scanning near the deflecting / reflecting surface, and the reflecting / image forming element 6 deflects and reflects light in the direction corresponding to the sub-scanning. The position of the surface and the position of the surface to be scanned have a geometrical conjugate relationship (therefore, this embodiment is also an embodiment of the optical scanning device according to claim 19).

【0124】図33(B)は図33(A)の光走査装置
の偏向手段4から記録媒体7に到る光路を、主走査対応
方向から見た状態を示している。図に現われた反射結像
素子6の鏡面形状は半径:Rsの円弧である。符号BSは
「ビーム偏向面」を示し、符号AXは反射結像素子6の
光軸を示している。光軸AXはビーム偏向面BSに平行
である。偏向手段4による偏向光束は長尺プリズム50
を透過して反射結像素子6に入射し、同素子6により反
射されると記録媒体7の光走査を行なう。長尺プリズム
50は、その長手方向を主走査対応方向に平行にして配
備され、横断面形状が楔状であるが、偏向手段4の側の
面はビーム偏向面と直交しており従って射出側の面はビ
ーム偏向面BSに対して傾いている。
FIG. 33B shows a state in which the optical path from the deflecting means 4 of the optical scanning device of FIG. 33A to the recording medium 7 is viewed from the main scanning corresponding direction. Specular shape of the reflective image forming element 6 that appear in Figure radius: an arc of R s. Reference symbol BS indicates a “beam deflection surface”, and reference symbol AX indicates an optical axis of the reflective imaging element 6. The optical axis AX is parallel to the beam deflection surface BS. The light beam deflected by the deflecting means 4 is converted into a long prism 50.
Is transmitted to the reflection image forming element 6, and when reflected by the element 6, optical scanning of the recording medium 7 is performed. The long prism 50 is provided with its longitudinal direction parallel to the main scanning direction, and has a wedge-shaped cross section. However, the surface on the side of the deflecting means 4 is orthogonal to the beam deflecting surface, and therefore, on the exit side. The plane is inclined with respect to the beam deflection plane BS.

【0125】このため、長尺プリズム50から射出する
偏向光束は、射出面での屈折により光路方向をビーム偏
向面BSに対して傾けられ、反射結像素子6に対し、そ
の光軸AXと傾いて入射することになり、反射光束が入
射光束に対してビーム偏向面に直交する方向(図の上下
方向)において互いに角をなすようになり、光路分離が
行われるのである。
For this reason, the deflected light beam emitted from the long prism 50 is tilted in the optical path direction with respect to the beam deflection surface BS due to refraction at the emission surface, and is tilted with respect to the optical axis AX with respect to the reflection imaging element 6. As a result, the reflected light flux forms an angle with respect to the incident light flux in a direction perpendicular to the beam deflecting surface (the vertical direction in the drawing), and the optical path is separated.

【0126】図34(A)は、図33(B)の光学配置
において、偏向光束の反射結像素子6への入射位置を、
偏向光束の偏向角が0のとき(偏向手段4から長尺プリ
ズム50に向かう偏向光束の方向が、反射結像素子6の
光軸と平行になるとき。実線で示す)と、偏向角が大き
いとき(破線で示す)とにおいて示している。偏向角が
0のとき、長尺プリズム50により屈折された偏向光束
は、反射結像素子6の光軸位置に入射するが、偏向角が
大きくなるに従い、長尺プリズム50の射出面への偏向
光束の入射角が変化するので、射出面での屈折角も次第
に変化し、偏向角が大きくなると、破線で示しているよ
うに、被走査面上での光スポット位置は副走査対応方向
へずれ、走査線の曲がりが大きくなる。
FIG. 34A shows the incident position of the deflected light beam on the reflective imaging element 6 in the optical arrangement shown in FIG.
When the deflection angle of the deflected light beam is 0 (when the direction of the deflected light beam from the deflecting means 4 toward the long prism 50 is parallel to the optical axis of the reflection imaging element 6, indicated by a solid line), the deflection angle is large. At the time (indicated by a broken line). When the deflection angle is 0, the deflected light beam refracted by the long prism 50 is incident on the optical axis position of the reflective imaging element 6, but is deflected to the exit surface of the long prism 50 as the deflection angle increases. Since the angle of incidence of the light beam changes, the angle of refraction at the exit surface also changes gradually, and as the deflection angle increases, the position of the light spot on the surface to be scanned shifts in the direction corresponding to sub-scanning, as indicated by the broken line. , The bending of the scanning line becomes large.

【0127】図34(B)は請求項16記載の光走査装
置の1実施例を示す。この実施例では、図34(A)の
状態から反射結像素子6がビーム偏向面BSに直交する
方向へずらされ、ビーム偏向面BSと平行である光軸A
Xの位置が、偏向角0の偏向光束(実線)の反射結像素
子6への入射位置と、有効光走査領域における最大偏向
角の偏向光束(破線)の反射結像素子6への入射位置と
の間に位置するようにすることにより、走査線の曲がり
が補正されている。
FIG. 34B shows an embodiment of the optical scanning device according to the sixteenth aspect. In this embodiment, the reflective imaging element 6 is shifted from the state of FIG. 34A in a direction orthogonal to the beam deflecting surface BS, and the optical axis A is parallel to the beam deflecting surface BS.
The position of X is the incident position of the deflected light beam (solid line) with a deflection angle of 0 on the reflective imaging element 6, and the incident position of the deflected light beam (dashed line) with the maximum deflection angle in the effective optical scanning area on the reflective imaging element 6. Thus, the bending of the scanning line is corrected.

【0128】図34(C)は請求項17記載の光走査装
置の1実施例を示す。この実施例では、図34(A)の
状態から反射結像素子6が主走査対応方向(図面に直交
する方向)に平行で、鏡面と光軸の交点を通る直線を軸
として角:Δβだけ傾けられることにより、走査線の曲
がりが補正されている。
FIG. 34C shows an embodiment of the optical scanning device according to the seventeenth aspect. In this embodiment, from the state of FIG. 34 (A), the reflection imaging element 6 is parallel to the main scanning corresponding direction (the direction orthogonal to the drawing) and has an angle Δβ with a straight line passing through the intersection of the mirror surface and the optical axis as an axis. By being tilted, the curvature of the scanning line is corrected.

【0129】以下の具体例31は、図34(B)に示し
た請求項16記載の光走査装置の具体例である。反射結
像素子6は前述の3パラメーター「Rm,Rs,K」で形
状を特定し、長尺プリズム50に就いては、屈折率:n
と、偏向光束の入射位置での厚さ:t、頂角:δを与え
る。またL0は従前通り、偏向手段による偏向起点から
反射結像素子6に到る距離であり、光走査の書き込み幅
は216mmである。
The following specific example 31 is a specific example of the optical scanning device according to claim 16 shown in FIG. The shape of the reflective imaging element 6 is specified by the aforementioned three parameters “R m , R s , K”. For the long prism 50, the refractive index is n.
, The thickness at the incident position of the deflected light beam: t and the apex angle: δ. L 0 is the distance from the deflection starting point of the deflecting means to the reflective imaging element 6 as before, and the writing width of the optical scanning is 216 mm.

【0130】また「シフト量」は、この実施例では、図
34(A)の状態をシフト量0とし、同図において、反
射結像素子6を上側へ変位させるときを(+)として変
位量を表す。
In this embodiment, the "shift amount" is the shift amount 0 in the state of FIG. 34A, and (+) in FIG. 34 when the reflective imaging element 6 is displaced upward. Represents

【0131】具体例31 t=4mm,δ=10度,n=1.51118,L0
66.11,K=−1.72,Rm=−222.0,Rs
=−108.3,シフト量:6.45mm 。
Specific Example 31 t = 4 mm, δ = 10 degrees, n = 1.5118, L 0 =
66.11, K = -1.72, R m = -222.0, R s
= -108.3, shift amount: 6.45 mm.

【0132】以下の具体例32は、図34(C)に示し
た請求項17記載の光走査装置の具体例である。
「Rm,Rs,K」,n,t,L0は具体例30における
と同様の意味である。光走査の書き込み幅は216mm
である。
The following specific example 32 is a specific example of the optical scanning device according to claim 17 shown in FIG.
“R m , R s , K”, n, t, and L 0 have the same meanings as in the specific example 30. Writing width of optical scanning is 216mm
It is.

【0133】また反射結像素子の「ティルト量」は、こ
の実施例では図34(A)の状態をティルト量:0と
し、同図(C)のように反射結像素子6を反時計回りに
傾けたときを(−)として表す。
In this embodiment, the tilt amount of the reflection imaging element is set to 0 in the state shown in FIG. 34A, and the reflection imaging element 6 is rotated counterclockwise as shown in FIG. Is represented as (-).

【0134】具体例32 t=4mm,δ=10度,n=1.51118,L0
66.11,K=−1.72,Rm=−222.0,Rs
=−108.3,ティルト量:−3.4度 。
Specific Example 32 t = 4 mm, δ = 10 degrees, n = 1.5118, L 0 =
66.11, K = -1.72, R m = -222.0, R s
= -108.3, tilt amount: -3.4 degrees.

【0135】図35(a)は具体例31,32におい
て、シフト量およびティルト量を共に0としたときの走
査線の曲がりを示す。同図(b)(c)はそれぞれ。具
体例31,32により走査線の曲がりを補正したのちの
走査線の状況を示している。具体例31,32とも走査
線の曲がりが有効に補正されているのが分かる。
FIG. 35 (a) shows the bending of the scanning line when both the shift amount and the tilt amount are set to 0 in the specific examples 31 and 32. Figures (b) and (c) respectively. The situation of the scanning line after correcting the bending of the scanning line by specific examples 31 and 32 is shown. It can be seen that the curvatures of the scanning lines are effectively corrected in both the specific examples 31 and 32.

【0136】図33に即して説明した例では、反射結像
素子6はアナモフィックであって、副走査対応方向に関
して、偏向手段の偏向反射面位置と被走査面とを共役関
係として、偏向手段における面倒れを補正している。
In the example described with reference to FIG. 33, the reflective imaging element 6 is anamorphic, and the deflecting means has a conjugate relationship between the position of the deflecting reflective surface of the deflecting means and the surface to be scanned in the sub-scanning corresponding direction. Is corrected.

【0137】偏向手段として説明した「ほぞ型ミラー」
は、回転多面鏡とは異なり、面倒れは比較的小さく、従
って、面倒れの補正が実際上必要ない場合も多い。その
ような場合には、反射結像素子をアナモフィックとする
必要はなく、反射結像素子の鏡面形状を共軸の球面もし
くは共軸の非球面、即ち、光軸に関して回転対称な球面
もしくは非球面としてもよい(請求項18)。
The "mortise mirror" described as a deflecting means
Unlike the rotary polygon mirror, the tilt of the mirror is relatively small, and therefore, it is often not necessary to correct the tilt. In such a case, it is not necessary to make the reflective imaging element anamorphic, and the mirror surface shape of the reflective imaging element should be a coaxial spherical surface or a coaxial aspheric surface, that is, a spherical or aspherical surface rotationally symmetric with respect to the optical axis. (Claim 18).

【0138】以下の具体例33は、請求項18記載の光
走査装置の具体例である。反射結像素子は共軸非球面で
あり、光軸上の曲率半径:Rと、円錐定数:Kにより形
状が特定される。n,t,δ,L0は具体例31におけ
ると同様の意味である。光走査の書き込み幅は216m
mである。
The following specific example 33 is a specific example of the optical scanning device according to claim 18. The reflective imaging element is a coaxial aspherical surface, and its shape is specified by a radius of curvature on the optical axis: R and a conical constant: K. n, t, δ, and L 0 have the same meanings as in the specific example 31. Write width of optical scanning is 216m
m.

【0139】具体例33 t=4mm,δ=10度,n=1.51118,L0
137.76,K=2.14,R=−387.0,シフ
ト量=29.62mm 。
Specific Example 33 t = 4 mm, δ = 10 degrees, n = 1.5118, L 0 =
137.76, K = 2.14, R = -387.0, shift amount = 29.62 mm.

【0140】この具体例33において、シフト量を0と
した場合、即ち、共軸非球面形状の反射結像素子を図3
4(A)のように配備した場合の、走査線の曲がりは、
図36(a)に示すごとく大きいが、具体例33のよう
に反射結像素子に29.62mmのシフト量を与えて、
図34(B)の如き配置とすることにより、走査線の曲
がりを図36(b)に示すように有効に補正軽減するこ
とができた。
In this specific example 33, when the shift amount is set to 0, that is, the reflection imaging element having a coaxial aspherical shape is used as shown in FIG.
4 (A), when the scanning line is bent,
Although it is large as shown in FIG. 36A, a shift amount of 29.62 mm is given to the reflective imaging element as in the specific example 33,
With the arrangement as shown in FIG. 34B, it is possible to effectively reduce and correct the bending of the scanning line as shown in FIG. 36B.

【0141】図37(A)は請求項20〜26記載の発
明の光走査装置の1実施例を要部のみ略示している。繁
雑を避けるため、混同の虞れがないと思われるものに就
いては、図6(A)におけると同一の符号を付した。
FIG. 37A schematically shows only an essential part of an embodiment of the optical scanning device according to the present invention. In order to avoid complication, the same reference numerals as those in FIG.

【0142】光源1から放射される光束は、正のパワー
を持つレンズ2により発散傾向を抑制され、レンズ2を
透過した光束は同レンズ2のパワーと配置に応じて、平
行光束あるいは集光性の光束もしくは発散性の光束の何
れかとなる。レンズ2を透過した光束は、上記平行光
束、集光光束、発散光束の何れであっても良いが、この
例では発散光束となっている。レンズ2を透過した発散
光束はシリンダレンズ3により副走査対応方向にのみ集
束傾向を与えられ、偏向手段4の偏向反射面近傍に主走
査対応方向に長い線像として結像する。
The luminous flux radiated from the light source 1 is suppressed from diverging by the lens 2 having positive power, and the luminous flux transmitted through the lens 2 is converted into a parallel luminous flux or a condensing light depending on the power and arrangement of the lens 2. Or a divergent light flux. The light beam transmitted through the lens 2 may be any of the above-mentioned parallel light beam, condensed light beam, and divergent light beam. In this example, the light beam is a divergent light beam. The divergent light beam transmitted through the lens 2 is given a tendency to converge only in the sub-scanning corresponding direction by the cylinder lens 3, and forms an image near the deflecting reflection surface of the deflecting means 4 as a long line image in the main scanning corresponding direction.

【0143】偏向手段4により偏向された偏向光束は、
次いで平行平板5Aを介して反射結像素子6に入射し、
同素子6により反射されると反射光束となる。反射光束
は記録媒体7の表面に照射されるが、反射結像素子6の
作用により記録媒体7の周面上に光スポットとして集光
する。走査線は一般に曲がりを生じて光走査ラインLか
らずれる。
The deflected light beam deflected by the deflecting means 4 is
Next, the light enters the reflective imaging element 6 via the parallel plate 5A,
When reflected by the element 6, it becomes a reflected light flux. The reflected light flux is applied to the surface of the recording medium 7, but is condensed as a light spot on the peripheral surface of the recording medium 7 by the operation of the reflection imaging element 6. The scanning line generally bends and deviates from the optical scanning line L.

【0144】反射結像素子6は前述の図1(A)に即し
て説明したものと同様、アナモフィックな凹面鏡6であ
って、「凹の樽型面」であり、その鏡面形状は前述の3
パラメーター「Rm,Rs,K」により決定される。
The reflection imaging element 6 is an anamorphic concave mirror 6 similar to that described with reference to FIG. 1A, and is a “concave barrel-shaped surface”. 3
It is determined by the parameters “R m , R s , K”.

【0145】図6(A)の例と同様、偏向手段4に入射
する光束は偏向反射面近傍に主走査対応方向に長い線像
として結像し、反射結像素子6は副走査対応方向におい
て、偏向反射面位置と被走査面位置とを幾何光学的な共
役関係としている(従って、この実施例は請求項26記
載の光走査装置の実施例でもある)。
As in the example of FIG. 6A, the light beam incident on the deflecting means 4 forms an image as a long line image in the main scanning direction in the vicinity of the deflecting reflection surface, and the reflection image forming element 6 in the sub-scanning direction. The position of the deflecting / reflecting surface and the position of the surface to be scanned have a geometrical conjugate relationship.

【0146】図37(B)は図37(A)の光走査装置
の偏向手段4から記録媒体7に到る光路を、主走査対応
方向から見た状態を示している。図に現われた反射結像
素子6の鏡面形状は半径:Rsの円弧である。符号BSは
「ビーム偏向面」を示し、符号AXは反射結像素子6の
光軸を示している。
FIG. 37 (B) shows the optical path from the deflecting means 4 of the optical scanning device of FIG. 37 (A) to the recording medium 7 as viewed from the main scanning corresponding direction. Specular shape of the reflective image forming element 6 that appear in Figure radius: an arc of R s. Reference symbol BS indicates a “beam deflection surface”, and reference symbol AX indicates an optical axis of the reflective imaging element 6.

【0147】図6の実施例と異なるのは、この実施例に
おいては光軸AXはビーム偏向面BSに対して所定角:
Δθだけ傾いている点である。偏向手段による偏向光束
は平行平板5Aを透過して反射結像素子6に入射し、同
素子6により反射されると平行平板5Aを透過して記録
媒体7の光走査を行なう(従って、この例は請求項21
記載の光走査装置の実施例でもある)。
The difference from the embodiment of FIG. 6 is that in this embodiment, the optical axis AX is at a predetermined angle with respect to the beam deflection surface BS:
This is a point inclined by Δθ. The light beam deflected by the deflecting means passes through the parallel plate 5A and is incident on the reflective imaging element 6, and when reflected by the element 6, passes through the parallel plate 5A to perform optical scanning of the recording medium 7 (accordingly, in this example). Is claim 21
It is also an embodiment of the described optical scanning device).

【0148】図38〜40に変形例を示す。繁雑を避け
るため、混同の虞れがないと思われるものに就いては図
37におけると同一の符号を用いる。これらの変形例に
おいて、光源から偏向手段に到る光路上の光学配置は図
37に即して説明した例と同様であり、反射結像素子6
により、偏向反射面位置と被走査面位置とが「副走査対
応方向に関して、幾何光学的に略共役な関係」にされる
ことも図37の実施例と同様である。
FIGS. 38 to 40 show modified examples. In order to avoid complication, the same reference numerals as those in FIG. 37 are used for those which do not seem to be confused. In these modified examples, the optical arrangement on the optical path from the light source to the deflecting means is the same as the example described with reference to FIG.
37, the position of the deflecting reflecting surface and the position of the surface to be scanned are set to have a "geometrically optically conjugate relationship with respect to the sub-scanning corresponding direction."

【0149】図38に示す実施例は請求項22の光走査
装置の実施例であり、平行平板5Bは反射結像素子6に
向かう偏向光束のみを透過させるように配備されてい
る。
The embodiment shown in FIG. 38 is an embodiment of the optical scanning device according to claim 22, wherein the parallel flat plate 5B is provided so as to transmit only the deflected light beam directed to the reflective imaging element 6.

【0150】図39に示す変形実施例は請求項24記載
の光走査装置の実施例である。平行平板5Aの、偏向手
段4側の面の一部に反射膜5Mが形成され、反射結像素
子6による反射光束は平行平板5を透過した後、反射膜
5Mにより反射され、再度平行平板5を透過して記録媒
体7へ向かう。
The modified embodiment shown in FIG. 39 is an embodiment of the optical scanning device according to claim 24. A reflection film 5M is formed on a part of the surface of the parallel plate 5A on the side of the deflecting means 4, and a light beam reflected by the reflective imaging element 6 passes through the parallel plate 5, is reflected by the reflection film 5M, and is again formed. To the recording medium 7.

【0151】図40に示す変形実施例は請求項25記載
の光走査装置の実施例である。平行平板5Aの、反射結
像素子6側の面の一部に反射膜5mが形成され、反射結
像素子6による反射光束は、反射膜5mにより反射され
て記録媒体7へ向かう。
The modified embodiment shown in FIG. 40 is an embodiment of the optical scanning device according to claim 25. A reflection film 5m is formed on a part of the surface of the parallel flat plate 5A on the side of the reflective imaging element 6, and a light beam reflected by the reflective imaging element 6 is reflected by the reflective film 5m and travels toward the recording medium 7.

【0152】以下、図37〜図40に示す各実施例装置
における光走査の具体例を挙げる。各具体例において反
射結像素子6は上述した3パラメーター「Rm,Rs
K」を与えて形状を特定し、平行平板に就いては屈折
率:nにより材質を、厚さ:tにより形状を特定する。
平行平板の配備態位は、その「傾き角(偏向手段の回転
軸に平行な方向からの傾きの角度):α」を与えて特定
する。なお、平行平板の屈折率:nは、全具体例を通じ
てn=1.51118である。
Hereinafter, specific examples of the optical scanning in the respective embodiments shown in FIGS. 37 to 40 will be described. In each of the specific examples, the reflective imaging element 6 has the three parameters “R m , R s ,
K "is given to specify the shape. For a parallel plate, the material is specified by the refractive index: n, and the shape is specified by the thickness: t.
The deployment state of the parallel plate is specified by giving its “tilt angle (angle of inclination from a direction parallel to the rotation axis of the deflecting means): α”. Incidentally, the refractive index: n of the parallel plate is n = 1.5118 throughout all the specific examples.

【0153】光源からの光束はレンズ2により発散光束
とされており、その発散の起点(発散光束の発散が始ま
っていると見做される幾何光学上の位置)の、反射結像
素子6の鏡面からの距離:S0を与える(これにより、
反射結像素子6に入射する入射偏向光束の主走査対応方
向に関する光源位置が定まる)。上記発散の起点は反射
結像素子6の鏡面の手前の位置にあるから、負の距離で
表す。
The luminous flux from the light source is converted into a divergent luminous flux by the lens 2, and the starting point of the divergence (the position on the geometrical optics where the divergent luminous flux is considered to have started to diverge) is reflected by the reflection imaging element 6. Gives the distance from the mirror surface: S 0 (this gives
The position of the light source in the main scanning corresponding direction of the incident deflected light beam incident on the reflective imaging element 6 is determined). Since the starting point of the divergence is located in front of the mirror surface of the reflective imaging element 6, it is represented by a negative distance.

【0154】以下の具体例34〜43において、反射結
像素子6の光軸はビーム偏向面に対し、ティルト量:Δ
θ(単位:度)だけ傾いている。上記偏向起点から反射結
像素子に到る距離をL0とし、ΔθとL0とにより反射結
像素子の配置態位が定まる。
In the following specific examples 34 to 43, the optical axis of the reflective imaging element 6 is tilted by Δ with respect to the beam deflection surface.
It is inclined by θ (unit: degree). The distance reaching the reflective image forming element from the deflection origin and L 0, located state position of the reflective image forming element is determined by the Δθ and L 0.

【0155】「分離量」は、偏向反射面位置もしくは平
行平板の何れかの面におけるビーム偏向面と反射光束と
の距離を表す。「走査線曲がり」は、実際の走査線と前
述の光走査ラインLとのずれの最大値を表す。
The "separation amount" represents the distance between the beam deflecting surface and the reflected light beam in either the position of the deflecting / reflecting surface or the plane of the parallel plate. “Scanning line bending” represents the maximum value of the deviation between the actual scanning line and the above-described optical scanning line L.

【0156】最初に挙げる具体例34〜39は、図37
の実施例における具体例である。これら具体例において
「分離量」は、偏向反射面位置におけるビーム偏向面と
反射光束との距離を表す。
The first specific examples 34 to 39 are shown in FIG.
It is a specific example in the embodiment of the present invention. In these specific examples, the “separation amount” indicates the distance between the beam deflecting surface and the reflected light beam at the position of the deflecting and reflecting surface.

【0157】具体例34 t=4mm,α=15度、S0=−306.11,L0
66.11,K=−1.87,Rm=−223.0,Rs
=−110.5,Δθ=0.4,分離量=1.0mm,
走査線曲がり=7μm 。
Specific Example 34 t = 4 mm, α = 15 degrees, S 0 = −306.11, L 0 =
66.11, K = -1.87, R m = -223.0, R s
= −110.5, Δθ = 0.4, separation amount = 1.0 mm,
Scan line bending = 7 μm.

【0158】具体例35 t=4mm,α=60度、S0=−296.11,L0
66.11,K=−1.89,Rm=−221.2,Rs
=−109.7,Δθ=1.1,分離量=2.4mm,
走査線曲がり=27μm 。
Specific Example 35 t = 4 mm, α = 60 degrees, S 0 = −296.11, L 0 =
66.11, K = -1.89, R m = -221.2, R s
= −109.7, Δθ = 1.1, separation amount = 2.4 mm,
Scan line bending = 27 μm.

【0159】具体例36 t=8mm,α=15度、S0=−296.11,L0
66.11,K=−1.89,Rm=−218.7,Rs
=−108.8,Δθ=0.8,分離量=1.8mm,
走査線曲がり=22μm 。
Specific Example 36 t = 8 mm, α = 15 degrees, S 0 = −296.11, L 0 =
66.11, K = -1.89, R m = -218.7, R s
= −108.8, Δθ = 0.8, separation amount = 1.8 mm,
Scan line bending = 22 μm.

【0160】具体例37 t=8mm,α=60度、S0=−296.11,L0
66.11,K=−1.86,Rm=−218.8,Rs
=−108.7,Δθ=2.20,分離量=4.6m
m,走査線曲がり=54μm
Specific Example 37 t = 8 mm, α = 60 degrees, S 0 = −296.11, L 0 =
66.11, K = -1.86, R m = -218.8, R s
= −108.7, Δθ = 2.20, separation amount = 4.6 m
m, scanning line bending = 54 μm
.

【0161】具体例38 t=12mm,α=15度、S0=−296.61,L0
=68.61,K=−1.77,Rm=−218.0,
s=−109.05,Δθ=1.2,分離量=2.7
mm,走査線曲がり=6μm
Specific Example 38 t = 12 mm, α = 15 degrees, S 0 = −296.61, L 0
= 68.61, K = -1.77, R m = -218.0,
R s = -109.05, Δθ = 1.2 , amount of separation = 2.7
mm, scanning line bending = 6 μm
.

【0162】具体例39 t=12mm,α=60度、S0=−296.11,L0
=66.11,K=−1.87,Rm=−217.2,
s=−105.1,Δθ=3.6,分離量=7.3m
m,走査線曲がり=54μm
Specific Example 39 t = 12 mm, α = 60 degrees, S 0 = −296.11, L 0
= 66.11, K = -1.87, R m = -217.2,
R s = -105.1, Δθ = 3.6, separation amount = 7.3 m
m, scanning line bending = 54 μm
.

【0163】次に挙げる具体例40〜41は、図39に
示す実施例における具体例である。これら具体例におい
ては、「分離量」は平行平板5Aの偏向手段側面におけ
るビーム偏向面と反射光束との距離を表す。
The following specific examples 40 to 41 are specific examples of the embodiment shown in FIG. In these specific examples, the “separation amount” indicates the distance between the beam deflecting surface on the side of the deflecting means of the parallel plate 5A and the reflected light beam.

【0164】具体例40 t=8mm,α=30度、S0=−292.339,L0
=66.11,K=−1.86,Rm=−218.6,
s=−111.2,Δθ=1.63,分離量=2m
m,走査線曲がり=23μm
Specific Example 40 t = 8 mm, α = 30 degrees, S 0 = −292.339, L 0
= 66.11, K = -1.86, R m = -218.6,
R s = -111.2, Δθ = 1.63, separation amount = 2 m
m, scanning line bending = 23 μm
.

【0165】具体例41 t=8mm,α=60度、S0=−292.339,L0
=66.11,K=−1.91,Rm=−218.6,
s=−108.0,Δθ=2.4,分離量=3mm,
走査線曲がり=65μm 。
Specific Example 41 t = 8 mm, α = 60 degrees, S 0 = −292.339, L 0
= 66.11, K = -1.91, R m = -218.6,
R s = -108.0, Δθ = 2.4, separation amount = 3 mm,
Scan line bending = 65 μm.

【0166】次に挙げる具体例42は、図37の実施例
において、平行平板への偏向光束の入射角がブリュース
ター角を満足するようにした、請求項23記載の光走査
装置の具体例である。この具体例において、「分離量」
は偏向起点位置におけるビーム偏向面と反射光束との距
離を表す。
The following specific example 42 is a specific example of the optical scanning device according to claim 23, wherein the incident angle of the deflected light beam to the parallel flat plate satisfies the Brewster angle in the embodiment of FIG. is there. In this specific example, the "separation amount"
Represents the distance between the beam deflection surface and the reflected light beam at the deflection starting position.

【0167】具体例42 t=8mm,α=56.506度、S0=−296.1
1,L0=66.11,K=−1.89,Rm=−21
8.6,Rs=−109.0,Δθ=2.25,分離量
=4.8mm,走査線曲がり=44μm
Concrete Example 42 t = 8 mm, α = 56.506 degrees, S 0 = −296.1
1, L 0 = 66.11, K = −1.89, R m = −21
8.6, R s = -109.0, Δθ = 2.25, separation amount = 4.8 mm, scanning line bending = 44 μm
.

【0168】最後に挙げる具体例43は、図38の実施
例の具体例である。「分離量」は平行平板の反射結像素
子側面における偏向光束と反射光束との、ビーム偏向面
に直交する方向の距離を表す。
The last specific example 43 is a specific example of the embodiment of FIG. The “separation amount” represents the distance between the deflecting light beam and the reflected light beam on the side of the parallel-plate reflective imaging element in the direction perpendicular to the beam deflecting surface.

【0169】具体例43 t=12mm,α=45度、S0=−299.11,L0
=66.11,K=−1.74,Rm=−218.8,
s=−112.0,Δθ=2.9,分離量=3.0m
m,走査線曲がり=54μm
Specific Example 43 t = 12 mm, α = 45 degrees, S 0 = −299.11, L 0
= 66.11, K = -1.74, R m = -218.8,
R s = -112.0, Δθ = 2.9, separation amount = 3.0 m
m, scanning line bending = 54 μm
.

【0170】図41〜50に、上記具体例34〜43に
関する、像面湾曲(左図)および走査特性(右図)を示
す。具体例34〜43の何れも、像面湾曲および走査特
性が良好に補正され、また走査線曲がりも大きいもので
も0.1mm以下で極めて良好に補正されている。
FIGS. 41 to 50 show the field curvature (left figure) and the scanning characteristics (right figure) of the above Examples 34 to 43. In all of the specific examples 34 to 43, the curvature of field and the scanning characteristics are satisfactorily corrected, and even those having a large scanning line curve are corrected very well at 0.1 mm or less.

【0171】図51(A)は請求項27記載の発明の光
走査装置の1実施例を要部のみ略示している。繁雑を避
けるため、混同の虞れがないと思われるものに就いて
は、図37(A)におけると同一の符号を付した。
FIG. 51A schematically shows only an essential part of an embodiment of the optical scanning device according to the twenty-seventh aspect. In order to avoid complication, the same reference numerals as those in FIG. 37 (A) are used for those which are considered to be free from confusion.

【0172】光源1から放射される光束は、正のパワー
を持つレンズ2により発散傾向を抑制され、レンズ2を
透過した光束は同レンズ2のパワーと配置に応じて、平
行光束あるいは集光性の光束もしくは発散性の光束の何
れかとなる。レンズ2を透過した光束は、上記平行光
束、集光光束、発散光束の何れであっても良いが、この
例では発散光束となっている。レンズ2を透過した発散
光束はシリンダレンズ3により副走査対応方向にのみ集
束傾向を与えられ、偏向手段4の偏向反射面近傍に主走
査対応方向に長い線像として結像する。
The luminous flux radiated from the light source 1 is suppressed from diverging by the lens 2 having a positive power, and the luminous flux transmitted through the lens 2 is converted into a parallel luminous flux or a condensing light depending on the power and arrangement of the lens 2. Or a divergent light flux. The light beam transmitted through the lens 2 may be any of the above-mentioned parallel light beam, condensed light beam, and divergent light beam. In this example, the light beam is a divergent light beam. The divergent light beam transmitted through the lens 2 is given a tendency to converge only in the sub-scanning corresponding direction by the cylinder lens 3, and forms an image near the deflecting reflection surface of the deflecting means 4 as a long line image in the main scanning corresponding direction.

【0173】偏向手段4により偏向された偏向光束は、
次いで平行平板5Aを介して反射結像素子6に入射し、
同素子6により反射されると反射光束となる。反射光束
は記録媒体7の表面に照射されるが、反射結像素子6の
作用により記録媒体7の周面上に光スポットとして集光
する。走査線は一般に曲がりを生じて光走査ラインLか
らずれる。
The deflection light beam deflected by the deflecting means 4 is
Next, the light enters the reflective imaging element 6 via the parallel plate 5A,
When reflected by the element 6, it becomes a reflected light flux. The reflected light flux is applied to the surface of the recording medium 7, but is condensed as a light spot on the peripheral surface of the recording medium 7 by the operation of the reflection imaging element 6. The scanning line generally bends and deviates from the optical scanning line L.

【0174】反射結像素子6は前述の図1(A)に即し
て説明したものと同様、アナモフィックな凹面鏡6であ
って、「凹の樽型面」であり、その鏡面形状は前述の3
パラメーター「Rm,Rs,K」により決定される。
The reflection image forming element 6 is an anamorphic concave mirror 6 similar to that described with reference to FIG. 1A, and is a “concave barrel-shaped surface”. 3
It is determined by the parameters “R m , R s , K”.

【0175】図37(A)の例と同様、偏向手段4に入
射する光束は偏向反射面近傍に主走査対応方向に長い線
像として結像し、反射結像素子6は副走査対応方向にお
いて、偏向反射面位置と被走査面位置とを幾何光学的な
共役関係としている(従って、この実施例は請求項35
記載の光走査装置の実施例でもある)。
As in the example of FIG. 37A, the light beam incident on the deflecting means 4 forms an image as a long line image in the direction corresponding to the main scanning in the vicinity of the deflecting and reflecting surface, and the reflection imaging element 6 operates in the direction corresponding to the sub scanning. , The position of the deflecting reflection surface and the position of the surface to be scanned have a geometrical conjugate relationship.
It is also an embodiment of the described optical scanning device).

【0176】図51(B)は図51(A)の光走査装置
の偏向手段4から記録媒体7に到る光路を主走査対応方
向から見た状態を示している。図に現われた反射結像素
子6の鏡面形状は半径:Rsの円弧である。符号BSは
「ビーム偏向面」を示し、符号AXは反射結像素子6の
光軸を示している。
FIG. 51B shows a state where the optical path from the deflecting means 4 of the optical scanning device of FIG. 51A to the recording medium 7 is viewed from the main scanning corresponding direction. Specular shape of the reflective image forming element 6 that appear in Figure radius: an arc of R s. Reference symbol BS indicates a “beam deflection surface”, and reference symbol AX indicates an optical axis of the reflective imaging element 6.

【0177】図37の実施例と異なるのは、この実施例
においては、光源側からの光束が偏向反射面BSに対し
て傾いて入射することである。光源側から偏向反射面に
入射する光束のビーム偏向面に対する傾きと反射結像素
子との相対的な関係を表す指標として前述のように「光
線シフト量」なる量を用いる。
The difference from the embodiment shown in FIG. 37 is that, in this embodiment, a light beam from the light source side is obliquely incident on the deflecting / reflecting surface BS. As described above, the amount of "ray shift amount" is used as an index indicating the relative relationship between the inclination of the light beam incident on the deflection reflecting surface from the light source side with respect to the beam deflection surface and the reflection imaging element.

【0178】即ち、図51(B)に示すように、偏向光
束は平行平板5Aを介して反射結像素子6の反射面に入
射するが、被走査面上の光スポットの像高が0のときに
おける、入射位置:Pと前述した反射結像素子6の中央
部:O(光軸AXと反射面との交点)との隔たり:Δl
を「光線シフト量(単位:mm)」と呼び、入射位置:
Pが中央部:Oよりも下にあるときを「正」とする。
That is, as shown in FIG. 51B, the deflected light beam enters the reflecting surface of the reflecting and imaging element 6 via the parallel plate 5A, but the image height of the light spot on the surface to be scanned is zero. The distance between the incident position: P and the central portion of the above-described reflective imaging element 6: O (the intersection of the optical axis AX and the reflective surface): Δl
Is called “ray shift amount (unit: mm)”, and the incident position:
When P is below the center: O, it is defined as “positive”.

【0179】偏向手段による偏向光束は平行平板5Aを
透過して反射結像素子6に入射し、同素子6により反射
されると平行平板5Aを透過して記録媒体7の光走査を
行なう(従って、この例は請求項30記載の光走査装置
の実施例でもある)。
The light beam deflected by the deflecting means passes through the parallel flat plate 5A and is incident on the reflective imaging element 6, and when reflected by the same element 6, passes through the parallel flat plate 5A and scans the recording medium 7 (accordingly. This example is also an embodiment of the optical scanning device according to claim 30).

【0180】図52〜54に変形例を示す。繁雑を避け
るため、混同の虞れがないと思われるものに就いては図
38ないし40におけると同一の符号を用いる。これら
の変形例において、光源から偏向手段に到る光路上の光
学配置は図51に即して説明した例と同様であり、反射
結像素子6により、偏向反射面位置と被走査面位置とが
「副走査対応方向に関して、幾何光学的に略共役な関
係」にされることも図51の実施例と同様である。
FIGS. 52 to 54 show modified examples. In order to avoid complication, the same reference numerals as those in FIGS. 38 to 40 are used for those which do not seem to be confused. In these modified examples, the optical arrangement on the optical path from the light source to the deflecting means is the same as the example described with reference to FIG. 51. Is substantially "conjugated geometrically and optically with respect to the sub-scanning corresponding direction" as in the embodiment of FIG.

【0181】図52に示す実施例は請求項31の光走査
装置の実施例であり、平行平板5Bは反射結像素子6に
向かう偏向光束のみを透過させるように配備されてい
る。
The embodiment shown in FIG. 52 is an embodiment of the optical scanning device according to claim 31, wherein the parallel flat plate 5B is provided so as to transmit only the deflected light beam directed to the reflective imaging element 6.

【0182】図53に示す変形実施例は請求項33記載
の光走査装置の実施例である。平行平板5Aの、偏向手
段4側の面の一部に反射膜5Mが形成され、反射結像素
子6による反射光束は平行平板5を透過した後、反射膜
5Mにより反射され、再度平行平板5を透過して記録媒
体7へ向かう。
The modified embodiment shown in FIG. 53 is an embodiment of the optical scanning device according to claim 33. A reflection film 5M is formed on a part of the surface of the parallel plate 5A on the side of the deflecting means 4, and a light beam reflected by the reflective imaging element 6 passes through the parallel plate 5, is reflected by the reflection film 5M, and is again formed. To the recording medium 7.

【0183】図54に示す変形実施例は請求項34記載
の光走査装置の実施例である。平行平板5Aの、反射結
像素子6側の面の一部に反射膜5mが形成され、反射結
像素子6による反射光束は、反射膜5mにより反射され
て記録媒体7へ向かう。
The modified embodiment shown in FIG. 54 is an embodiment of the optical scanning device according to claim 34. A reflection film 5m is formed on a part of the surface of the parallel flat plate 5A on the side of the reflective imaging element 6, and a light beam reflected by the reflective imaging element 6 is reflected by the reflective film 5m and travels toward the recording medium 7.

【0184】図51ないし図54において、反射結像素
子6の光軸AXはビーム偏向面BSに対して平行であり
「ティルト量」は0であるが、上記光線シフト量を0と
し、有限のティルト量とすることもでき(請求項2
8)、光線シフト量とティルト量とを共に有限の大きさ
とすることもできる(請求項29)。
In FIGS. 51 to 54, the optical axis AX of the reflective imaging element 6 is parallel to the beam deflecting surface BS and the “tilt amount” is zero. The tilt amount may be used.
8) Both the light shift amount and the tilt amount can be finite.

【0185】以下、図51〜図54に示す各実施例装置
における光走査の具体例を挙げる。各具体例において反
射結像素子6は上述した3パラメーター「Rm,Rs
K」を与えて形状を特定し、平行平板に就いては屈折
率:nにより材質を、厚さ:tにより形状を特定する。
平行平板の配備態位は、その「傾き角(偏向手段の回転
軸に平行な方向からの傾きの角度=平行平板の法線とビ
ーム偏向面との間の角):α」を与えて特定する。なお
平行平板の屈折率:nは、以下の全具体例を通じてn=
1.51118である。
Hereinafter, specific examples of the optical scanning in the respective embodiments shown in FIGS. 51 to 54 will be described. In each of the specific examples, the reflective imaging element 6 has the three parameters “R m , R s ,
K "is given to specify the shape. For a parallel plate, the material is specified by the refractive index: n, and the shape is specified by the thickness: t.
The deployment position of the parallel plate is specified by giving its “tilt angle (angle of tilt from the direction parallel to the rotation axis of the deflecting means = angle between the normal of the parallel plate and the beam deflecting surface): α”. I do. The refractive index of the parallel plate: n is n = n through all the following specific examples.
1.51118.

【0186】光源からの光束はレンズ2により発散光束
とされており、その発散の起点(発散光束の発散が始ま
っていると見做される幾何光学上の位置)の、反射結像
素子6の鏡面からの距離:S0を与える(これにより、
反射結像素子6に入射する入射偏向光束の主走査対応方
向に関する光源位置が定まる)。上記発散の起点は反射
結像素子6の鏡面の手前の位置にあるから、負の距離で
表す。偏向光束の偏向手段による偏向起点から反射結像
素子に到る距離をL0とすると、一般に、光線シフト
量;Δlと、ティルト量:ΔθとL0とにより反射結像
素子6の配置態位が定まる。
The luminous flux from the light source is converted into a divergent luminous flux by the lens 2, and the starting point of the divergence (the position on the geometrical optics where the divergence of the divergent luminous flux is considered to have started) is reflected by the reflection imaging element 6. Gives the distance from the mirror surface: S 0 (this gives
The position of the light source in the main scanning corresponding direction of the incident deflected light beam incident on the reflective imaging element 6 is determined). Since the starting point of the divergence is located in front of the mirror surface of the reflective imaging element 6, it is represented by a negative distance. When the distance extending from the deflecting origin by the deflection means deflect light flux reflected image forming element and L 0, in general, light shift amount; .DELTA.l and, tilt quantity: [Delta] [theta] and L 0 and the arrangement state position of the reflective image forming element 6 Is determined.

【0187】以下の各具体例において、「分離量」は、
偏向反射面位置におけるビーム偏向面と反射光束との距
離を表す。「走査線曲がり」は、実際の走査線と前述の
光走査ラインLとのずれの最大値を表す。
In the following specific examples, the “separation amount”
The distance between the beam deflection surface and the reflected light beam at the position of the deflection reflection surface is shown. “Scanning line bending” represents the maximum value of the deviation between the actual scanning line and the above-described optical scanning line L.

【0188】最初に挙げる具体例44〜49は、図51
の実施例における具体例であり、従ってティルト量:Δ
θ=0である。
The first specific examples 44 to 49 are shown in FIG.
And the tilt amount: Δ
θ = 0.

【0189】具体例44 t=4mm,α=15度、S0=−315.1,L0=6
6.1,K=−1.87,Rm=−223.0,Rs=−
110.5,Δl=3.6,分離量=0.3mm,走査
線曲がり=26μm 。
Specific Example 44 t = 4 mm, α = 15 degrees, S 0 = −315.1, L 0 = 6
6.1, K = -1.87, R m = -223.0, R s = -
110.5, Δl = 3.6, separation amount = 0.3 mm, scanning line bending = 26 μm.

【0190】具体例45 t=4mm,α=60度、S0=−315.1,L0=6
6.11,K=−1.89,Rm=−223.0,Rs
−110.5,Δl=5.1,分離量=1.4mm,走
査線曲がり=20μm 。
Specific Example 45 t = 4 mm, α = 60 degrees, S 0 = −315.1, L 0 = 6
6.11, K = -1.89, R m = -223.0, R s =
−110.5, Δl = 5.1, separation amount = 1.4 mm, scanning line bending = 20 μm.

【0191】具体例46 t=8mm,α=15度、S0=−293.3,L0=6
6.1,K=−1.85,Rm=−218.7,Rs=−
108.7,Δl=4.2,分離量=0.5mm,走査
線曲がり=36μm 。
Specific Example 46 t = 8 mm, α = 15 degrees, S 0 = −293.3, L 0 = 6
6.1, K = -1.85, R m = -218.7, R s = -
108.7, Δl = 4.2, separation amount = 0.5 mm, scanning line bending = 36 μm.

【0192】具体例47 t=8mm,α=60度、S0=−293.3,L0=6
6.1,K=−1.91,Rm=−218.8,Rs=−
112.0,Δl=7.0,分離量=3.6mm,走査
線曲がり=46μm 。
Specific Example 47 t = 8 mm, α = 60 degrees, S 0 = −293.3, L 0 = 6
6.1, K = -1.91, R m = -218.8, R s = -
112.0, Δl = 7.0, separation amount = 3.6 mm, scanning line bending = 46 μm.

【0193】具体例48 t=12mm,α=15度、S0=−311.2,L0
70.3,K=−1.73,Rm=−223.34,Rs
=−112.0,Δl=4.9,分離量=1.2mm,
走査線曲がり=40μm 。
Specific Example 48 t = 12 mm, α = 15 degrees, S 0 = −311.2, L 0 =
70.3, K = -1.73, R m = -223.34, R s
= −112.0, Δl = 4.9, separation amount = 1.2 mm,
Scan line bending = 40 μm.

【0194】具体例49 t=12mm,α=60度、S0=−293.3,L0
66.1,K=−1.89,Rm=−217.2,Rs
−105.1,Δl=9.3,分離量=6.2mm,走
査線曲がり=46μm 。
Specific Example 49 t = 12 mm, α = 60 degrees, S 0 = −293.3, L 0 =
66.1, K = -1.89, R m = -217.2, R s =
−105.1, Δl = 9.3, separation amount = 6.2 mm, scanning line bending = 46 μm.

【0195】次に挙げる具体例50〜55も図51に示
す実施例における具体例である。これら実施例では、光
線シフト量:Δl=0であり、ティルト量:Δθは有限
の大きさである。
The following specific examples 50 to 55 are also specific examples in the embodiment shown in FIG. In these embodiments, the ray shift amount: Δl = 0, and the tilt amount: Δθ has a finite size.

【0196】具体例50 t=4mm,α=15度、S0=−315.1,L0=6
6.1,K=−1.87,Rm=−223.0,Rs=−
110.5,Δθ=2,分離量=0.0mm,走査線曲
がり=67μm 。
Specific Example 50 t = 4 mm, α = 15 degrees, S 0 = −315.1, L 0 = 6
6.1, K = -1.87, R m = -223.0, R s = -
110.5, Δθ = 2, separation amount = 0.0 mm, scanning line bending = 67 μm.

【0197】具体例51 t=4mm,α=60度、S0=−315.1,L0=6
6.1,K=−1.89,Rm=−223.0,Rs=−
110.63,Δθ=2.6,分離量=1.3mm,走
査線曲がり=9μm 。
Specific Example 51 t = 4 mm, α = 60 degrees, S 0 = −315.1, L 0 = 6
6.1, K = -1.89, R m = -223.0, R s = -
110.63, Δθ = 2.6, separation amount = 1.3 mm, scanning line bending = 9 μm.

【0198】具体例52 t=8mm,α=15度、S0=−293.3,L0=6
6.1,K=−1.85,Rm=−218.7,Rs=−
108.7,Δθ=2.3,分離量=0.7mm,走査
線曲がり=21μm 。
Specific Example 52 t = 8 mm, α = 15 degrees, S 0 = −293.3, L 0 = 6
6.1, K = -1.85, R m = -218.7, R s = -
108.7, Δθ = 2.3, separation amount = 0.7 mm, scanning line bending = 21 μm.

【0199】具体例53 t=8mm,α=60度、S0=−293.3,L0=6
6.1,K=−1.91,Rm=−218.8,Rs=−
218.8,Δθ=3.8,分離量=3.8mm,走査
線曲がり=35μm 。
Specific Example 53 t = 8 mm, α = 60 degrees, S 0 = −293.3, L 0 = 6
6.1, K = -1.91, R m = -218.8, R s = -
218.8, Δθ = 3.8, separation amount = 3.8 mm, scanning line bending = 35 μm.

【0200】具体例54 t=12mm,α=15度、S0=−311.2,L0
70.3,K=−1.73,Rm=−223.34,Rs
=−112.0,Δθ=2.5,分離量=1.2mm,
走査線曲がり=40μm 。
Specific Example 54 t = 12 mm, α = 15 degrees, S 0 = −311.2, L 0 =
70.3, K = -1.73, R m = -223.34, R s
= −112.0, Δθ = 2.5, separation amount = 1.2 mm,
Scan line bending = 40 μm.

【0201】具体例55 t=12mm,α=60度、S0=−293.3,L0
66.1,K=−1.89,Rm=−217.2,Rs
−105.1,Δθ=5.0,分離量=6.1mm,走
査線曲がり=60μm 。
Specific Example 55 t = 12 mm, α = 60 degrees, S 0 = −293.3, L 0 =
66.1, K = -1.89, R m = -217.2, R s =
−105.1, Δθ = 5.0, separation amount = 6.1 mm, scanning line bending = 60 μm.

【0202】次に挙げる実施例56〜57も図51に示
す実施例における具体例で、平行平板への入射角を「ブ
リュースター角」に設定したものであり、従って請求項
33記載の光走査装置の実施例である。
Embodiments 56 to 57 shown below are also specific examples of the embodiment shown in FIG. 51, in which the angle of incidence on the parallel plate is set to the "Brewster angle". It is an Example of an apparatus.

【0203】具体例56 t=8mm,α=56.506度、S0=−293.
3,L0=66.1,K=−1.89,Rm=−218.
6,Rs=−109.0,Δl=7.1,分離量=3.
7mm,走査線曲がり=36μm
Specific Example 56 t = 8 mm, α = 56.506 degrees, S 0 = −293.
3, L 0 = 66.1, K = −1.89, R m = −218.
6, R s = -109.0, Δl = 7.1, separation amount = 3.
7 mm, scanning line bending = 36 μm
.

【0204】具体例57 t=8mm,α=56.506度、S0=−293.
3,L0=66.1,K=−1.89,Rm=−218.
6,Rs=−109.0,Δθ=3.7,分離量=3.
6mm,走査線曲がり=32μm
Specific Example 57 t = 8 mm, α = 56.506 degrees, S 0 = −293.
3, L 0 = 66.1, K = −1.89, R m = −218.
6, R s = -109.0, Δθ = 3.7, separation amount = 3.
6 mm, scanning line bending = 32 μm
.

【0205】次に挙げる実施例58〜59は図52に示
す実施例における具体例であり、従って請求項31記載
の光走査装置の実施例である。
The following embodiments 58 to 59 are specific examples of the embodiment shown in FIG. 52, and are therefore embodiments of the optical scanning device according to claim 31.

【0206】具体例58 t=12m,α=45度、S0=−289.2,L0=6
9.0,K=−1.8,Rm=−218.8,Rs=−1
12.0,Δl=8.3,分離量=1.7mm,走査線
曲がり=20μm 。
Specific Example 58 t = 12 m, α = 45 degrees, S 0 = −289.2, L 0 = 6
9.0, K = -1.8, R m = -218.8, R s = -1
12.0, Δl = 8.3, separation amount = 1.7 mm, scanning line bending = 20 μm.

【0207】具体例59 t=12mm,α=45度、S0=−284.2,L0
69.0,K=−1.8,Rm=−218.8,Rs=−
112.0,Δθ=4.3,分離量=1.8mm,走査
線曲がり=27μm 。
Specific Example 59 t = 12 mm, α = 45 degrees, S 0 = −284.2, L 0 =
69.0, K = -1.8, R m = -218.8, R s = -
112.0, Δθ = 4.3, separation amount = 1.8 mm, scanning line bending = 27 μm.

【0208】これら具体例58,59の数値は、そのま
ま図54の実施例として用いることができる。但しこの
場合、分離量は、いずれも1.8mmになる。
The numerical values of these specific examples 58 and 59 can be used as they are in the embodiment of FIG. However, in this case, the separation amount is 1.8 mm in each case.

【0209】最後に挙げる具体例60〜63は図53の
実施例の具体例である。具体例60,61はティルト
量:Δθ=0の場合、具体例62は光線シフト量:Δl
=0の場合、具体例63は光線シフト量:Δl・ティル
ト量:Δθともに有限の大きさの場合である。
The specific examples 60 to 63 given last are specific examples of the embodiment of FIG. Specific examples 60 and 61 are cases where the tilt amount: Δθ = 0, and specific example 62 is a light shift amount: Δl
In the case of = 0, the specific example 63 is a case where both the amount of light shift: Δl and the amount of tilt: Δθ are finite.

【0210】具体例60 t=8mm,α=15度、S0=−294.3,L0=6
7.1,K=−1.85,Rm=−218.7,Rs=−
108.7,Δl=4.4,分離量=0.2mm,走査
線曲がり=39μm 。
Specific Example 60 t = 8 mm, α = 15 degrees, S 0 = −294.3, L 0 = 6
7.1, K = -1.85, R m = -218.7, R s = -
108.7, Δl = 4.4, separation amount = 0.2 mm, scanning line bending = 39 μm.

【0211】具体例61 t=8mm,α=56.506度、S0=−293.
3,L0=66.1,K=−1.91,Rm=−218.
8,Rs=−108.0,Δl=7.7,分離量=1.
7mm,走査線曲がり=56μm
Specific Example 61 t = 8 mm, α = 56.506 degrees, S 0 = −293.
3, L 0 = 66.1, K = -1.91, R m = -218.
8, R s = -108.0, Δl = 7.7, separation amount = 1.
7 mm, scanning line bending = 56 μm
.

【0212】具体例62 t=8mm,α=60度、S0=−293.3,L0=6
6.1,K=−1.91,Rm=−218.8,Rs=−
218.8,Δθ=4.1,分離量=1.7mm,走査
線曲がり=51μm 。
Specific Example 62 t = 8 mm, α = 60 degrees, S 0 = −293.3, L 0 = 6
6.1, K = -1.91, R m = -218.8, R s = -
218.8, Δθ = 4.1, separation amount = 1.7 mm, scanning line bending = 51 μm.

【0213】具体例63 t=8mm,α=15度、S0=−294.3,L0=6
7.1,K=−1.85,Rm=−218.7,Rs=−
108.7,Δl=0.2,Δθ=2.4,分離量=
0.2mm,走査線曲がり=29μm 。
Specific Example 63 t = 8 mm, α = 15 degrees, S 0 = −294.3, L 0 = 6
7.1, K = -1.85, R m = -218.7, R s = -
108.7, Δl = 0.2, Δθ = 2.4, separation amount =
0.2 mm, scanning line bending = 29 μm.

【0214】図55〜74に、上記具体例44〜63に
関する、像面湾曲(左図)および走査特性(右図)を示
す。具体例44〜63の何れも、像面湾曲および走査特
性が良好に補正され、また走査線曲がりも大きいもので
も0.1mm以下で極めて良好に補正されている。
FIGS. 55 to 74 show the curvature of field (left figure) and the scanning characteristics (right figure) of the above Examples 44 to 63. In all of the specific examples 44 to 63, the curvature of field and the scanning characteristics are satisfactorily corrected, and even those having a large scanning line curve are corrected very well at 0.1 mm or less.

【0215】なお、上記具体例44〜63において、偏
向手段の偏向反斜面へ入射する光束のビーム偏向面に対
する傾き角度は2度に設定されているが、これ以外の傾
き角でも勿論実施可能である。
In the specific examples 44 to 63, the angle of inclination of the light beam incident on the deflecting anti-slope surface of the deflecting means with respect to the beam deflecting surface is set to 2 degrees. is there.

【0216】[0216]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば新規な
光走査装置を提供できる。請求項1〜6記載の光走査装
置は上記の如き構成となっているから、光スポットを凹
面反射面形状を持つ反射結像素子で結像させる方式の光
走査装置において、ハーフミラーを光路分離手段として
用いることに起因する走査線の曲がりを有効に軽減して
良好な光走査を実現できる。
As described above, according to the present invention, a novel optical scanning device can be provided. Since the optical scanning device according to any one of claims 1 to 6 is configured as described above, in the optical scanning device of the type in which the light spot is imaged by the reflection imaging element having the concave reflection surface shape, the half mirror is separated by the optical path. Good optical scanning can be realized by effectively reducing the bending of the scanning line caused by using as a means.

【0217】請求項8〜13記載の光走査装置では、光
路分離手段として透明な平行平板を用いるので、ハーフ
ミラーを光路分離手段として用いる場合に比して一段と
光の利用効率が高く、しかも走査線の曲がりが極めて小
さいので高速且つ良好な光走査が可能である。また請求
項11記載の光走査装置は、平行平板への入射偏向光束
の入射角がブリュースター角を近似的に満足するため、
P偏向成分の反射量が極めて小さくなり、平行平板に反
射防止膜を設けなくても光利用効率を高めることができ
る。また請求項12,13記載の光走査装置は、光学系
のレイアウトの自由度が大きい。
In the optical scanning device according to the eighth to thirteenth aspects, since a transparent parallel flat plate is used as the optical path separating means, the light use efficiency is higher and the scanning efficiency is higher than when a half mirror is used as the optical path separating means. Since the bending of the line is extremely small, high-speed and good optical scanning is possible. In the optical scanning device according to the eleventh aspect, the incident angle of the incident deflected light beam on the parallel plate approximately satisfies the Brewster angle.
The amount of reflection of the P-deflection component becomes extremely small, and the light use efficiency can be increased without providing an anti-reflection film on the parallel plate. The optical scanning device according to the twelfth and thirteenth aspects has a large degree of freedom in the layout of the optical system.

【0218】請求項15〜18記載の光走査装置では、
長尺プリズムを光路分離手段として用いる新規な光走査
が可能となり、請求項16〜18記載の光走査装置で
は、長尺プリズムを光路分離手段として用いることに起
因する走査線の曲がりを有効に軽減して良好な光走査を
実現できる。
In the optical scanning device according to the fifteenth to eighteenth aspects,
New optical scanning using the long prism as the optical path separating means is enabled, and in the optical scanning device according to any one of claims 16 to 18, the bending of the scanning line caused by using the long prism as the optical path separating means is effectively reduced. As a result, good optical scanning can be realized.

【0219】請求項20〜25記載の光走査装置では、
平行平板による光路分離の効果と、反射結像素子を傾け
ることの効果とにより走査線曲がりを良好に補正でき
る。
In the optical scanning device according to the twentieth to twenty-fifth aspects,
The effect of separating the optical path by the parallel flat plate and the effect of tilting the reflective imaging element can favorably correct the scanning line bending.

【0220】請求項27〜34記載の光走査装置では、
平行平板による光路分離の効果と、偏向手段に対する光
束に入射方向をビーム偏向面から傾ける効果、あるいは
これらと反射結像素子をビーム偏向面に対して傾けると
により、走査線の曲がりを良好に補正できる。
[0220] In the optical scanning device according to claims 27 to 34,
Smooth correction of scanning line bending by the effect of separating the optical path by a parallel plate and the effect of inclining the light beam incident on the deflecting means from the beam deflecting surface, or by inclining these and the reflective imaging element with respect to the beam deflecting surface it can.

【0221】また、請求項7,14,19,26,35
記載の光走査装置では偏向面の面倒れを補正できるの
で、偏向手段として回転多面鏡等、多様な偏向手段の使
用が可能になる。
Further, claims 7, 14, 19, 26, 35
In the optical scanning device described above, since the tilt of the deflecting surface can be corrected, various deflecting means such as a rotary polygon mirror can be used as the deflecting means.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】請求項1〜7記載の発明を説明するための図で
ある。
FIG. 1 is a diagram for explaining the invention described in claims 1 to 7;

【図2】請求項1,2の発明の具体例による、走査線曲
がり補正効果を説明する図である。
FIG. 2 is a diagram for explaining a scanning line bending correction effect according to specific examples of the first and second aspects of the present invention.

【図3】請求項1,2の発明の別具体例による、走査線
曲がり補正効果を説明する図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a scanning line bending correction effect according to another specific example of the first and second aspects of the present invention.

【図4】請求項3の発明の具体例による、走査線曲がり
補正効果を説明する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a scanning line bending correction effect according to a specific example of the third embodiment of the present invention.

【図5】請求項4,5の発明の具体例による、走査線曲
がり補正効果を説明する図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating a scanning line bending correction effect according to specific examples of the inventions of claims 4 and 5;

【図6】請求項8〜14記載の発明の光走査装置の実施
例を説明するための図である。
FIG. 6 is a view for explaining an embodiment of the optical scanning device of the invention according to claims 8 to 14;

【図7】請求項8〜14記載の発明の変形実施例を説明
するための図である。
FIG. 7 is a view for explaining a modified embodiment of the invention according to claims 8 to 14;

【図8】請求項8〜14記載の発明の別の変形実施例を
説明するための図である。
FIG. 8 is a view for explaining another modified embodiment of the invention described in claims 8 to 14;

【図9】請求項8〜14記載の発明の他の変形実施例を
説明するための図である。
FIG. 9 is a view for explaining another modified embodiment of the invention described in claims 8 to 14;

【図10】具体例8に関する、像面湾曲と走査特性の図
である。
FIG. 10 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 8;

【図11】具体例9に関する、像面湾曲と走査特性の図
である。
FIG. 11 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 9;

【図12】具体例10に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 12 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 10;

【図13】具体例11に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 13 is a diagram illustrating a curvature of field and a scanning characteristic according to a specific example 11;

【図14】具体例12に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 14 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 12;

【図15】具体例13に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 15 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 13;

【図16】具体例14に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 16 is a diagram illustrating a curvature of field and a scanning characteristic according to a specific example 14;

【図17】具体例15に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 17 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to specific example 15;

【図18】具体例16に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 18 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 16;

【図19】具体例17に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 19 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 17;

【図20】具体例18に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 20 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 18;

【図21】具体例19に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 21 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic in the specific example 19;

【図22】具体例20に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 22 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic of the specific example 20;

【図23】具体例21に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 23 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 21;

【図24】具体例22に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 24 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 22;

【図25】具体例23に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 25 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic in the specific example 23;

【図26】具体例24に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 26 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic in the specific example 24;

【図27】具体例25に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 27 is a diagram illustrating a curvature of field and a scanning characteristic according to a specific example 25;

【図28】具体例26に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 28 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic in the specific example 26;

【図29】具体例27に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 29 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 27;

【図30】具体例28に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 30 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 28;

【図31】具体例29に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 31 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 29;

【図32】具体例30に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 32 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic in the specific example 30;

【図33】請求項15〜19記載の発明を説明するため
の図である。
FIG. 33 is a view for explaining the invention according to claims 15 to 19;

【図34】請求項16〜19記載の発明の実施例によ
る、走査線曲がり補正効果を説明する図である。
FIG. 34 is a diagram for explaining the effect of correcting a scan line bending according to the embodiments of the invention.

【図35】請求項16,17記載の発明の具体例によ
る、走査線曲がり補正効果を説明する図である。
FIG. 35 is a diagram for explaining the effect of correcting a scan line bending according to a specific example of the invention according to claims 16 and 17;

【図36】請求項18記載の発明の具体例による、走査
線曲がり補正効果を説明する図である。
FIG. 36 is a view for explaining a scanning line bending correction effect according to a specific example of the invention described in claim 18;

【図37】請求項20〜26記載の発明の、光走査装置
の実施例を説明するための図である。
FIG. 37 is a view for explaining an embodiment of the optical scanning device according to the invention described in claims 20 to 26;

【図38】請求項20〜26記載の発明の変形実施例を
説明するための図である。
FIG. 38 is a view for explaining a modified embodiment of the invention according to claims 20 to 26;

【図39】請求項20〜26記載の発明の別の変形実施
例を説明するための図である。
FIG. 39 is a view for explaining another modified embodiment of the invention described in claims 20 to 26;

【図40】請求項20〜26記載の発明の他の変形実施
例を説明するための図である。
FIG. 40 is a view for explaining another modified embodiment of the invention according to claims 20 to 26.

【図41】具体例34に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 41 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 34;

【図42】具体例35に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 42 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic of the specific example 35;

【図43】具体例36に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 43 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic of the specific example 36;

【図44】具体例37に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 44 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic of the specific example 37;

【図45】具体例38に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 45 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 38;

【図46】具体例39に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 46 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic in the specific example 39;

【図47】具体例40に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 47 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic in the specific example 40;

【図48】具体例41に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 48 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 41;

【図49】具体例42に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 49 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic regarding the specific example 42;

【図50】具体例43に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 50 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic in the specific example 43;

【図51】請求項27記載の発明の、光走査装置の実施
例を説明するための図である。
FIG. 51 is a view for explaining an embodiment of the optical scanning device according to the invention described in claim 27;

【図52】請求項30記載の発明の変形実施例を説明す
るための図である。
FIG. 52 is a view for explaining a modified embodiment of the invention according to claim 30;

【図53】請求項31記載の発明の別の変形実施例を説
明するための図である。
FIG. 53 is a view for explaining another modified embodiment of the invention described in claim 31;

【図54】請求項34記載の発明の他の変形実施例を説
明するための図である。
FIG. 54 is a view for explaining another modified embodiment of the invention described in claim 34;

【図55】具体例44に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 55 is a diagram showing a field curvature and a scanning characteristic in the specific example 44;

【図56】具体例45に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 56 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic of the specific example 45.

【図57】具体例46に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 57 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic relating to a specific example 46;

【図58】具体例47に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 58 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic in the specific example 47;

【図59】具体例48に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 59 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic according to a specific example 48;

【図60】具体例49に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 60 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic of the specific example 49;

【図61】具体例50に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 61 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic of the specific example 50;

【図62】具体例51に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 62 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic of the specific example 51;

【図63】具体例52に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 63 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic regarding the specific example 52;

【図64】具体例53に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 64 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic regarding a specific example 53;

【図65】具体例54に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 65 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic regarding the specific example 54;

【図66】具体例55に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 66 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic of the specific example 55;

【図67】具体例56に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 67 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic relating to a specific example 56;

【図68】具体例57に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 68 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic of the specific example 57;

【図69】具体例58に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 69 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic of the specific example 58;

【図70】具体例59に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 70 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic relating to a specific example 59;

【図71】具体例60に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 71 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic in the specific example 60;

【図72】具体例61に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 72 is a diagram illustrating a field curvature and a scanning characteristic in the specific example 61;

【図73】具体例62に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 73 is a diagram showing a field curvature and a scanning characteristic of the specific example 62;

【図74】具体例63に関する、像面湾曲と走査特性の
図である。
FIG. 74 is a diagram of a field curvature and a scanning characteristic relating to a specific example 63;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光源 2 集光レンズ 3 シリンダレンズ 4 偏向手段 5 ハーフミラー 5A 平行平板 50 長尺プリズム 6 反射結像素子 7 記録媒体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light source 2 Condensing lens 3 Cylinder lens 4 Deflection means 5 Half mirror 5A Parallel plate 50 Long prism 6 Reflection imaging element 7 Recording medium

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平5−14127 (32)優先日 平成5年1月29日(1993.1.29) (33)優先権主張国 日本(JP) (56)参考文献 特開 昭48−37011(JP,A) 特開 昭63−106719(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 26/10 ──────────────────────────────────────────────────の Continuation of front page (31) Priority claim number Japanese Patent Application No. 5-14127 (32) Priority date January 29, 1993 (1993.1.129) (33) Priority claim country Japan (JP) (56) References JP-A-48-37011 (JP, A) JP-A-63-106719 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02B 26/10

Claims (35)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】光源からの光束を、等速回転する偏向反射
面を有する偏向手段により平面内で等角速度的に偏向さ
せ、偏向光束を、ビーム偏向面に対して傾けたハーフミ
ラーを透過させて反射結像素子に入射せしめ、上記反射
結像素子による反射光束を上記ハーフミラーにより反射
させ、上記反射結像素子の結像作用により被走査面上に
光スポットとして集光させて光走査を行なう装置であっ
て、 上記反射結像素子は、上記光スポットによる光走査を実
質的に等速的に行なわしめる機能を持ち、 被走査面上における走査線の曲がりを補正するために、
上記反射結像素子を上記ビーム偏向面に直交する方向へ
所定のシフト量ずらして配備することを特徴とする、光
走査装置。
1. A light beam from a light source is deflected at a constant angular velocity in a plane by a deflecting means having a deflecting reflection surface rotating at a constant speed, and the deflected light beam is transmitted through a half mirror inclined with respect to the beam deflecting surface. The reflected light from the reflective imaging element is reflected by the half mirror, and the light is condensed as a light spot on the surface to be scanned by the reflective imaging element to perform optical scanning. A reflection imaging device, wherein the reflection imaging element has a function of performing light scanning by the light spot substantially at a constant speed, and in order to correct a bending of a scanning line on a surface to be scanned,
An optical scanning device, wherein the reflection imaging element is arranged by being shifted by a predetermined shift amount in a direction orthogonal to the beam deflection surface.
【請求項2】光源からの光束を等速回転する偏向反射面
を有する偏向手段により平面内で等角速度的に偏向さ
せ、偏向光束を、ビーム偏向面に対して傾けたハーフミ
ラーを透過させて反射結像素子に入射せしめ、上記反射
結像素子による反射光束を上記ハーフミラーにより反射
させ、上記反射結像素子の結像作用により被走査面上に
光スポットとして集光させて光走査を行なう装置であっ
て、 上記反射結像素子は、上記光スポットによる光走査を実
質的に等速的に行なわしめる機能を持ち、 被走査面上における走査線の曲がりを補正するために、
上記反射結像素子を、その光軸が上記ビーム偏向面に対
して所定のティルト量傾くように配備することを特徴と
する、光走査装置。
2. A light beam from a light source is deflected at a constant angular velocity in a plane by a deflecting means having a deflecting / reflecting surface rotating at a constant speed, and the deflected light beam is transmitted through a half mirror inclined with respect to the beam deflecting surface. The light is made incident on the reflection imaging element, the light beam reflected by the reflection imaging element is reflected by the half mirror, and the light is condensed as a light spot on the surface to be scanned by the imaging operation of the reflection imaging element to perform optical scanning. An apparatus, wherein the reflective imaging element has a function of performing light scanning by the light spot at a substantially constant speed, and in order to correct a bending of a scanning line on a surface to be scanned,
An optical scanning device, wherein the reflection imaging element is arranged so that its optical axis is inclined by a predetermined tilt amount with respect to the beam deflection surface.
【請求項3】光源からの光束を等速回転する偏向反射面
を有する偏向手段により平面内で等角速度的に偏向さ
せ、偏向光束を、ビーム偏向面に対して傾けたハーフミ
ラーを透過させて反射結像素子に入射せしめ、上記反射
結像素子による反射光束を上記ハーフミラーにより反射
させ、上記反射結像素子の結像作用により被走査面上に
光スポットとして集光させて光走査を行なう装置であっ
て、 上記反射結像素子は、上記光スポットによる光走査を実
質的に等速的に行なわしめる機能を持ち、 上記ハーフミラーは、偏向手段側の面が半透鏡面となっ
ていることを特徴とする光走査装置。
3. A light beam from a light source is deflected at a constant angular velocity in a plane by a deflecting means having a deflecting / reflecting surface rotating at a constant speed, and the deflected light beam is transmitted through a half mirror inclined with respect to the beam deflecting surface. The light is made incident on the reflection imaging element, the light beam reflected by the reflection imaging element is reflected by the half mirror, and the light is condensed as a light spot on the surface to be scanned by the imaging operation of the reflection imaging element to perform optical scanning. In the apparatus, the reflective imaging element has a function of performing light scanning by the light spot substantially at a constant speed, and the half mirror has a semi-transparent mirror surface on a deflecting unit side. An optical scanning device, comprising:
【請求項4】請求項3記載の光走査装置において、 被走査面上における走査線の曲がりを補正するために、
反射結像素子を、ビーム偏向面に直交する方向へ所定の
シフト量ずらして配備することを特徴とする光走査装
置。
4. The optical scanning device according to claim 3, wherein the curvature of the scanning line on the surface to be scanned is corrected by:
An optical scanning device, wherein a reflection imaging element is arranged by being shifted by a predetermined shift amount in a direction orthogonal to a beam deflecting surface.
【請求項5】請求項3記載の光走査装置において、 被走査面上における走査線の曲がりを補正するために、
反射結像素子を、その光軸がビーム偏向面に対して所定
のティルト量傾くように配備することを特徴とする光走
査装置。
5. The optical scanning device according to claim 3, wherein the curvature of the scanning line on the surface to be scanned is corrected.
An optical scanning device, wherein a reflection imaging element is provided so that an optical axis thereof is inclined by a predetermined tilt amount with respect to a beam deflection surface.
【請求項6】請求項2または5記載の光走査装置におい
て、 被走査面上における走査線の曲がりを補正するために、
反射結像素子の光軸をビーム偏向面に対して所定のティ
ルト量傾けるとともに、反射結像素子をビーム偏向面に
直交する方向へ所定のシフト量ずらして配備することを
特徴とする光走査装置。
6. The optical scanning device according to claim 2, wherein a curvature of a scanning line on the surface to be scanned is corrected.
An optical scanning device characterized in that an optical axis of a reflection imaging element is inclined with respect to a beam deflecting surface by a predetermined tilt amount, and the reflection imaging element is arranged so as to be shifted by a predetermined shift amount in a direction orthogonal to the beam deflecting surface. .
【請求項7】請求項1ないし6の任意の1に記載された
光走査装置において、 偏向手段が、回転軸に平行な偏向反射面を有し、 反射結像素子が、偏向手段の偏向反射面位置と被走査面
とを副走査対応方向において幾何光学的に共役な関係と
し、光源からの光束が副走査対応方向において、上記偏
向反射面近傍に、主走査対応方向に長い線像として結像
させられることを特徴とする光走査装置。
7. The optical scanning device according to claim 1, wherein the deflecting means has a deflecting / reflecting surface parallel to the rotation axis, and the deflecting / imaging element comprises a deflecting / reflecting means of the deflecting means. The surface position and the surface to be scanned are geometrically conjugated in the sub-scanning corresponding direction, and the light beam from the light source is formed near the deflecting reflection surface in the sub-scanning corresponding direction as a long line image in the main scanning corresponding direction. An optical scanning device characterized by being imaged.
【請求項8】光源からの光束を等速回転する偏向反射面
を有する偏向手段により平面内で等角速度的に偏向さ
せ、偏向光束をアナモフィックな反射結像素子により反
射させ、反射光束を上記反射結像素子の結像作用により
被走査面上に光スポットとして集光させて光走査を行な
う装置であって、 上記反射結像素子は、上記光スポットによる光走査を実
質的に等速的に行なわしめる機能を持ち、 上記偏向手段と反射結像素子との間に、透明な平行平板
を、上記偏向手段の回転軸に対して有限の傾き角だけ傾
くように配備して、偏向手段から反射結像素子へ向かう
光路と、反射結像素子から被走査面に到る光路を分離
し、 且つ、上記平行平板の材質、厚さ、傾き角を、走査線の
曲がりが補正されるように定めたことを特徴とする光走
査装置。
8. A luminous flux from a light source is deflected at a constant angular velocity in a plane by a deflecting means having a deflecting / reflecting surface rotating at a constant speed, the deflected luminous flux is reflected by an anamorphic reflective imaging element, and the reflected luminous flux is reflected. An apparatus for performing optical scanning by condensing light as a light spot on a surface to be scanned by an imaging action of an imaging element, wherein the reflective imaging element performs optical scanning by the light spot substantially at a constant speed. A transparent parallel plate is disposed between the deflecting means and the reflective imaging element so as to be inclined by a finite inclination angle with respect to the rotation axis of the deflecting means, and the light is reflected from the deflecting means. The optical path toward the imaging element and the optical path from the reflective imaging element to the surface to be scanned are separated, and the material, thickness, and tilt angle of the parallel plate are determined so that the scanning line bend is corrected. An optical scanning device.
【請求項9】請求項8記載の光走査装置において、 反射結像素子に入射する偏向光束と、反射結像素子によ
る反射光束とが、共に平行平板を透過するようにしたこ
とを特徴とする光走査装置。
9. The optical scanning device according to claim 8, wherein both the deflected light beam incident on the reflection imaging device and the reflection light beam reflected by the reflection imaging device are transmitted through a parallel flat plate. Optical scanning device.
【請求項10】請求項8記載の光走査装置において、 反射結像素子に入射する偏向光束と反射結像素子による
反射光束とのうち、反射結像素子に入射する偏向光束の
みが、平行平板を透過するようにしたことを特徴とする
光走査装置。
10. The optical scanning device according to claim 8, wherein, out of the deflected light beam incident on the reflection imaging element and the reflection light beam reflected by the reflection imaging element, only the deflected light beam incident on the reflection imaging element is a parallel plate. An optical scanning device characterized by transmitting light.
【請求項11】請求項8または9または10記載の光走
査装置において、 平行平板に入射する偏向光束の入射角が、略ブリュース
ター角を満足するように平行平板の傾き角を定めること
を特徴とする光走査装置。
11. The optical scanning device according to claim 8, wherein the angle of inclination of the parallel plate is determined so that the incident angle of the deflected light beam incident on the parallel plate substantially satisfies the Brewster angle. Optical scanning device.
【請求項12】請求項9記載の光走査装置において、 平行平板の、偏向手段側の面の一部に反射膜を形成し、
反射結像素子により反射されて平行平板を透過した反射
光束のみを選択的に上記反射膜により反射するようにし
たことを特徴とする光走査装置。
12. The optical scanning device according to claim 9, wherein a reflection film is formed on a part of the surface of the parallel plate on the side of the deflecting means.
An optical scanning device, wherein only a reflected light beam reflected by a reflective imaging element and transmitted through a parallel plate is selectively reflected by the reflective film.
【請求項13】請求項10記載の光走査装置において、 平行平板の反射結像素子側の面の一部に反射膜を形成
し、反射結像素子により反射された反射光束のみを選択
的に上記反射膜により反射するようにしたことを特徴と
する光走査装置。
13. The optical scanning device according to claim 10, wherein a reflection film is formed on a part of the surface of the parallel plate on the side of the reflective imaging element, and selectively reflects only the reflected light flux reflected by the reflective imaging element. An optical scanning device, wherein the light is reflected by the reflection film.
【請求項14】請求項8ないし13の任意の1に記載さ
れた光走査装置において、 偏向手段が、回転軸に平行な偏向反射面を有し、 光源からの光束が上記偏向反射面近傍に主走査対応方向
に長い線像として結像するようにし、 且つ、反射結像素子により、上記偏向反射面位置と被走
査面位置とが副走査対応方向に関して幾何光学的に略共
役な関係となるようにしたことを特徴とする光走査装
置。
14. The optical scanning device according to claim 8, wherein the deflecting means has a deflecting reflection surface parallel to the rotation axis, and a light beam from a light source is located near the deflecting reflection surface. An image is formed as a long line image in the main scanning corresponding direction, and the position of the deflecting / reflecting surface and the position of the surface to be scanned have a geometrically optically conjugate relationship with respect to the sub-scanning corresponding direction. An optical scanning device characterized by the above.
【請求項15】光源からの光束を偏向手段により平面内
で等角速度的に偏向させ、偏向光束を反射結像素子によ
り反射させ、反射光束を上記反射結像素子の結像作用に
より被走査面上に光スポットとして集光させて光走査を
行なう装置であって、 上記反射結像素子は、上記光スポットによる光走査を実
質的に等速的に行なわしめる機能を持ち、 上記偏向手段と反射結像素子との間に、断面形状が楔形
の長尺プリズムを主走査対応方向に平行に配備して、偏
向手段から反射結像素子へ向かう光路と、反射結像素子
から被走査面に到る光路を分離することを特徴とする光
走査装置。
15. A light beam from a light source is deflected at a constant angular velocity in a plane by a deflecting means, the deflected light beam is reflected by a reflection image forming element, and the reflected light beam is scanned by the image forming operation of the reflection image forming element. An apparatus for performing light scanning by converging light as a light spot thereon, wherein the reflective imaging element has a function of performing light scanning by the light spot at a substantially constant speed, A long prism having a wedge-shaped cross section is provided in parallel with the main scanning direction between the image forming element and the optical path from the deflecting means to the reflective image forming element and from the reflective image forming element to the surface to be scanned. An optical scanning device for separating an optical path.
【請求項16】請求項15記載の光走査装置において、 被走査面上における走査線の曲がりを補正するために、
上記反射結像素子をビーム偏向面に直交する方向へ所定
のシフト量ずらして配備することを特徴とする、光走査
装置。
16. An optical scanning device according to claim 15, wherein: in order to correct the curvature of the scanning line on the surface to be scanned,
An optical scanning device, wherein the reflection imaging element is provided with a predetermined shift amount shifted in a direction orthogonal to the beam deflection surface.
【請求項17】請求項15記載の光走査装置において、 被走査面上における走査線の曲がりを補正するために、
上記反射結像素子を、その光軸がビーム偏向面に対して
所定のティルト量傾くように配備することを特徴とす
る、光走査装置。
17. An optical scanning device according to claim 15, wherein: in order to correct the bending of the scanning line on the surface to be scanned,
An optical scanning device, wherein the reflection imaging element is provided so that its optical axis is inclined by a predetermined tilt amount with respect to a beam deflection surface.
【請求項18】請求項16記載の光走査装置において、 反射結像素子の反射面形状が共軸の球面もしくは非球面
であることを特徴とする、光走査装置。
18. The optical scanning device according to claim 16, wherein the reflection surface of the reflection imaging element is a coaxial spherical or aspherical surface.
【請求項19】請求項15または16または17記載の
光走査装置において、 偏向手段が、回転軸に平行な偏向反射面を有し、 反射結像素子がアナモフィックで、偏向手段の偏向反射
面位置と被走査面とを副走査対応方向において幾何光学
的に共役な関係とし、光源からの光束が副走査対応方向
において、上記偏向反射面近傍に、主走査対応方向に長
い線像として結像させられることを特徴とする光走査装
置。
19. An optical scanning device according to claim 15, wherein the deflecting means has a deflecting / reflecting surface parallel to the rotation axis, the reflecting / imaging element is anamorphic, and a position of the deflecting / reflecting surface of the deflecting means. And the surface to be scanned are geometrically conjugated in the sub-scanning corresponding direction, and the light beam from the light source is formed as a long line image in the main scanning corresponding direction in the sub-scanning corresponding direction near the deflecting reflection surface. An optical scanning device characterized in that:
【請求項20】光源からの光束を等速回転する偏向反射
面を有する偏向手段により平面内で等角速度的に偏向さ
せ、偏向光束をアナモフィックな反射結像素子により反
射させ、反射光束を上記反射結像素子の結像作用により
被走査面上に光スポットとして集光させて光走査を行な
う装置であって、 上記反射結像素子は、上記光スポットによる光走査を実
質的に等速的に行なわしめる機能を持ち、 上記偏向手段と反射結像素子との間に、透明な平行平板
を、上記偏向手段の回転軸に対して有限の傾き角だけ傾
くように配備して、偏向手段から反射結像素子へ向かう
光路と、反射結像素子から被走査面に到る光路を分離
し、 上記反射結像素子をビーム偏向面に対して所定のティル
ト量傾け、 上記平行平板の材質、厚さ、傾き角、上記反射結像素子
のビーム偏向面に対する傾き角を、走査線の曲がりが補
正されるように定めたことを特徴とする光走査装置。
20. A luminous flux from a light source is deflected at a constant angular velocity in a plane by a deflecting means having a deflecting / reflecting surface which rotates at a constant speed, and the deflecting luminous flux is reflected by an anamorphic reflective imaging element. An apparatus for performing optical scanning by condensing light as a light spot on a surface to be scanned by an imaging action of an imaging element, wherein the reflective imaging element performs optical scanning by the light spot substantially at a constant speed. A transparent parallel plate is disposed between the deflecting means and the reflective imaging element so as to be inclined by a finite inclination angle with respect to the rotation axis of the deflecting means, and the light is reflected from the deflecting means. The optical path toward the imaging element and the optical path from the reflective imaging element to the surface to be scanned are separated, the reflective imaging element is tilted by a predetermined tilt amount with respect to the beam deflecting surface, and the material and thickness of the parallel plate , Tilt angle, reflection imager above An optical scanning device, wherein an inclination angle of a sub-element with respect to a beam deflection surface is determined so as to correct the bending of a scanning line.
【請求項21】請求項20記載の光走査装置において、 反射結像素子に入射する偏向光束と、反射結像素子によ
る反射光束とが、共に平行平板を透過するようにしたこ
とを特徴とする光走査装置。
21. The optical scanning device according to claim 20, wherein both the deflected light beam incident on the reflection imaging element and the light beam reflected by the reflection imaging element are transmitted through a parallel plate. Optical scanning device.
【請求項22】請求項20記載の光走査装置において、 反射結像素子に入射する偏向光束と反射結像素子による
反射光束とのうち、反射結像素子に入射する偏向光束の
みが、平行平板を透過するようにしたことを特徴とする
光走査装置。
22. The optical scanning device according to claim 20, wherein, out of the deflecting light beam incident on the reflection imaging element and the reflection light beam reflected by the reflection imaging element, only the deflection light beam incident on the reflection imaging element is a parallel plate. An optical scanning device characterized by transmitting light.
【請求項23】請求項20または21または22記載の
光走査装置において、 平行平板に入射する偏向光束の入射角が、略ブリュース
ター角を満足するように平行平板の傾き角を定めること
を特徴とする光走査装置。
23. The optical scanning device according to claim 20, wherein the inclination angle of the parallel plate is determined so that the incident angle of the deflected light beam incident on the parallel plate substantially satisfies the Brewster angle. Optical scanning device.
【請求項24】請求項21記載の光走査装置において、 平行平板の、偏向手段側の面の一部に反射膜を形成し、
反射結像素子により反射されて平行平板を透過した反射
光束のみを選択的に上記反射膜により反射するようにし
たことを特徴とする光走査装置。
24. The optical scanning device according to claim 21, wherein a reflection film is formed on a part of the plane of the parallel plate on the side of the deflecting means.
An optical scanning device, wherein only a reflected light beam reflected by a reflective imaging element and transmitted through a parallel plate is selectively reflected by the reflective film.
【請求項25】請求項22記載の光走査装置において、 平行平板の反射結像素子側の面の一部に反射膜を形成
し、反射結像素子により反射された反射光束のみを選択
的に上記反射膜により反射するようにしたことを特徴と
する光走査装置。
25. The optical scanning device according to claim 22, wherein a reflection film is formed on a part of the surface of the parallel plate on the side of the reflective imaging element, and only the reflected light flux reflected by the reflective imaging element is selectively formed. An optical scanning device, wherein the light is reflected by the reflection film.
【請求項26】請求項20または21または22または
23または24または25記載の光走査装置において、 偏向手段は回転軸に平行な偏向反射面を有し、 光源からの光束が上記偏向反射面近傍に主走査対応方向
に長い線像として結像するようにし、 且つ、反射結像素子により、上記偏向反射面位置と被走
査面位置とが副走査対応方向に関して幾何光学的に略共
役な関係となるようにしたことを特徴とする光走査装
置。
26. The optical scanning device according to claim 20, wherein the deflecting means has a deflecting / reflecting surface parallel to the rotation axis, and the luminous flux from the light source is in the vicinity of the deflecting / reflecting surface. In the main scanning direction, a line image is formed as a long line image, and the position of the deflecting / reflecting surface and the position of the surface to be scanned are geometrically and optically substantially conjugated with respect to the sub-scanning corresponding direction. An optical scanning device characterized in that:
【請求項27】光源からの光束を、等速回転する偏向反
射面を有する偏向手段により偏向させ、偏向光束をアナ
モフィックな反射結像素子により反射させ、反射光束を
上記反射結像素子の結像作用により被走査面上に光スポ
ットとして集光させて光走査を行なう装置であって、 上記反射結像素子は、上記光スポットによる光走査を実
質的に等速的に行なわしめる機能を持ち、 上記偏向手段と反射結像素子との間に、透明な平行平板
を、上記偏向手段の回転軸に対して有限の傾き角だけ傾
くように配備するとともに、上記偏光手段の偏向反射面
へ入射光束をビーム偏光面に対して傾けて入射させるこ
とにより、上記偏向手段から反射結像素子へ向かう光路
と、反射結像素子から被走査面に到る光路を分離し、 上記平行平板の材質、厚さ、傾き角、偏向光束の上記反
射結像素子に対する光線シフト量を、走査線の曲がりが
補正されるように定めたことを特徴とする光走査装置。
27. A light beam from a light source is deflected by a deflecting means having a deflecting / reflecting surface rotating at a constant speed, the deflected light beam is reflected by an anamorphic reflection / imaging element, and the reflected light beam is imaged by the reflection / imaging element. An apparatus for performing optical scanning by condensing light as a light spot on a surface to be scanned by an operation, wherein the reflective imaging element has a function of performing optical scanning by the light spot substantially at a constant speed, A transparent parallel flat plate is provided between the deflecting means and the reflective imaging element so as to be inclined by a finite inclination angle with respect to the rotation axis of the deflecting means, and an incident light beam is incident on the deflecting / reflecting surface of the deflecting means. Is inclined with respect to the beam polarization plane, thereby separating the optical path from the deflecting means to the reflective imaging element and the optical path from the reflective imaging element to the surface to be scanned. The inclination The optical scanning device in which light shift, curvature of the scanning line, characterized in that the determined as correction for the reflective image forming element of the deflected beam.
【請求項28】光源からの光束を、等速回転する偏向反
射面を有する偏向手段により偏向させ、偏向光束をアナ
モフィックな反射結像素子により反射させ、反射光束を
上記反射結像素子の結像作用により被走査面上に光スポ
ットとして集光させて光走査を行なう装置であって、 上記反射結像素子は、上記光スポットによる光走査を実
質的に等速的に行なわしめる機能を持ち、 上記偏向手段と反射結像素子との間に、透明な平行平板
を、上記偏向手段の回転軸に対して有限の傾き角だけ傾
くように配備するとともに、上記偏光手段の偏向反射面
へ入射光束をビーム偏光面に対して傾けて入射させるこ
とにより、上記偏向手段から反射結像素子へ向かう光路
と、反射結像素子から被走査面に到る光路を分離し、 上記反射結像素子を、その光軸が上記ビーム偏向面に対
し所定のティルト量傾くように配備し、 上記平行平板の材質、厚さ、傾き角、上記反射結像素子
のティルト量を、走査線の曲がりが補正されるように定
めたことを特徴とする光走査装置。
28. A light beam from a light source is deflected by a deflecting means having a deflecting / reflecting surface rotating at a constant speed, the deflected light beam is reflected by an anamorphic reflection imaging element, and the reflected light beam is imaged by the reflection imaging element. An apparatus for performing optical scanning by condensing light as a light spot on a surface to be scanned by an operation, wherein the reflective imaging element has a function of performing optical scanning by the light spot substantially at a constant speed, A transparent parallel flat plate is provided between the deflecting means and the reflective imaging element so as to be inclined by a finite inclination angle with respect to the rotation axis of the deflecting means, and an incident light beam is incident on the deflecting / reflecting surface of the deflecting means. Is incident on the beam polarization plane at an angle to separate the optical path from the deflecting means to the reflective imaging element and the optical path from the reflective imaging element to the surface to be scanned, and the reflective imaging element Its optical axis The parallel plate is disposed so as to be tilted by a predetermined tilt amount with respect to the beam deflecting surface, and the material, thickness, tilt angle, and tilt amount of the reflective imaging element are set so that the bending of the scanning line is corrected. An optical scanning device, comprising:
【請求項29】請求項27記載の光走査装置において、 上記反射結像素子を、その光軸がビーム偏向面に対し所
定のティルト量傾くように配備し、 上記平行平板の材質、厚さ、傾き角、光線シフト量およ
びティルト量を、走査線の曲がりが補正されるように定
めたことを特徴とする光走査装置。
29. The optical scanning device according to claim 27, wherein the reflective imaging element is disposed so that its optical axis is inclined by a predetermined tilt amount with respect to the beam deflection surface, and the material, thickness, An optical scanning device, wherein an inclination angle, a light shift amount, and a tilt amount are determined so as to correct the bending of a scanning line.
【請求項30】請求項27または28または29記載の
光走査装置において、 反射結像素子に入射する偏向光束と、反射結像素子によ
る反射光束とが、共に平行平板を透過するようにしたこ
とを特徴とする光走査装置。
30. The optical scanning device according to claim 27, wherein the deflected light beam incident on the reflection imaging element and the reflection light beam reflected by the reflection imaging element both pass through a parallel flat plate. An optical scanning device characterized by the above-mentioned.
【請求項31】請求項27または28または29記載の
光走査装置において、 反射結像素子に入射する偏向光束と反射結像素子による
反射光束とのうち、反射結像素子に入射する偏向光束の
みが、平行平板を透過するようにしたことを特徴とする
光走査装置。
31. The optical scanning device according to claim 27, wherein only the deflected light beam incident on the reflection imaging element is selected from the deflected light beam incident on the reflection imaging element and the reflection light beam reflected by the reflection imaging element. An optical scanning device characterized by transmitting light through a parallel plate.
【請求項32】請求項27または28または29または
30または31記載の光走査装置において、 平行平板に入射する偏向光束の入射角が、略ブリュース
ター角を満足するように平行平板の傾き角を定めること
を特徴とする光走査装置。
32. The optical scanning device according to claim 27, wherein the inclination angle of the parallel plate is adjusted so that the incident angle of the deflected light beam incident on the parallel plate substantially satisfies the Brewster angle. An optical scanning device characterized in that:
【請求項33】請求項30記載の光走査装置において、 平行平板の、偏向手段側の面の一部に反射膜を形成し、
反射結像素子により反射されて平行平板を透過した反射
光束のみを選択的に上記反射膜により反射するようにし
たことを特徴とする光走査装置。
33. The optical scanning device according to claim 30, wherein a reflection film is formed on a part of the surface of the parallel plate on the side of the deflecting means.
An optical scanning device, wherein only a reflected light beam reflected by a reflective imaging element and transmitted through a parallel plate is selectively reflected by the reflective film.
【請求項34】請求項30記載の光走査装置において、 平行平板の反射結像素子側の面の一部に反射膜を形成
し、反射結像素子により反射された反射光束のみを選択
的に上記反射膜により反射するようにしたことを特徴と
する光走査装置。
34. The optical scanning device according to claim 30, wherein a reflection film is formed on a part of the surface of the parallel plate on the side of the reflection imaging element, and only the reflected light flux reflected by the reflection imaging element is selectively provided. An optical scanning device, wherein the light is reflected by the reflection film.
【請求項35】請求項27または28または29または
30または31または32または33または34記載の
光走査装置において、 偏向手段は回転軸に平行な偏向反射面を有し、 光源からの光束が上記偏向反射面近傍に主走査対応方向
に長い線像として結像するようにし、 且つ、反射結像素子により、上記偏向反射面位置と被走
査面位置とが副走査対応方向に関して幾何光学的に略共
役な関係となるようにしたことを特徴とする光走査装
置。
35. The optical scanning device according to claim 27, 28, 29, 30, 31, 32, 33, or 34, wherein the deflecting means has a deflecting / reflecting surface parallel to the rotation axis, and the luminous flux from the light source is An image is formed as a long line image in the main scanning corresponding direction in the vicinity of the deflecting reflecting surface, and the position of the deflecting reflecting surface and the position of the surface to be scanned are substantially geometrically optically related to the sub-scanning corresponding direction by the reflective imaging element. An optical scanning device having a conjugate relationship.
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