JP3211532B2 - プラスチックス表面改質方法 - Google Patents
プラスチックス表面改質方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｃ−Ｆ結合を有するプ
ラスチックスの表面への塗装、印刷、あるいはプラスチ
ックスの接着などが容易に行うことができるようにする
ためのＣ−Ｆ結合を有するプラスチックス表面の改質方
法に関する。
ラスチックスの表面への塗装、印刷、あるいはプラスチ
ックスの接着などが容易に行うことができるようにする
ためのＣ−Ｆ結合を有するプラスチックス表面の改質方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】プラスチックスの表面改質方法として
は、例えばポリプロピレン系の樹脂を紫外線吸収性溶剤
と接触させて水銀ランプからの紫外光を照射すると良い
という技術が特開昭６４−７５０７９に開示され、１９
９１年４月号の「Ｏ plus Ｅ 第９７頁〜第１０２頁」
には、弗素樹脂の処理に、アンモニア化合物や硼素化合
物と接触させてアルゴン弗素エキシマレーザから放射さ
れる紫外光１９３ｎｍの光を照射すると良いことが示さ
れている。また最近では、弗素樹脂の表面改質を水酸化
アルミニウム水溶液と接触させてアルゴン弗素エキシマ
レーザからの波長１９３ｎｍの紫外光を照射する方法
（レーザー学会学術講演会２０周年記念（第１３回）年
次大会 講演予稿集第１３０頁）、ポリエチレンフィル
ムの表面改質を、水と接触させて誘電体バリヤ放電ラン
プから放射される紫外光１７２ｎｍの光を照射する方法
（第５４回応用物理学会学術講演会 講演予稿集第１
頁）などが開示され、表面が低活性なために、塗装、印
刷、染色、接着のしにくいプラスチックスの表面改質の
研究が盛んに行われている。
は、例えばポリプロピレン系の樹脂を紫外線吸収性溶剤
と接触させて水銀ランプからの紫外光を照射すると良い
という技術が特開昭６４−７５０７９に開示され、１９
９１年４月号の「Ｏ plus Ｅ 第９７頁〜第１０２頁」
には、弗素樹脂の処理に、アンモニア化合物や硼素化合
物と接触させてアルゴン弗素エキシマレーザから放射さ
れる紫外光１９３ｎｍの光を照射すると良いことが示さ
れている。また最近では、弗素樹脂の表面改質を水酸化
アルミニウム水溶液と接触させてアルゴン弗素エキシマ
レーザからの波長１９３ｎｍの紫外光を照射する方法
（レーザー学会学術講演会２０周年記念（第１３回）年
次大会 講演予稿集第１３０頁）、ポリエチレンフィル
ムの表面改質を、水と接触させて誘電体バリヤ放電ラン
プから放射される紫外光１７２ｎｍの光を照射する方法
（第５４回応用物理学会学術講演会 講演予稿集第１
頁）などが開示され、表面が低活性なために、塗装、印
刷、染色、接着のしにくいプラスチックスの表面改質の
研究が盛んに行われている。
【０００３】これらの従来の方法において、例えば、特
開昭６４−７５０７９に記載の、紫外線吸収性有機化合
物と水銀ランプとの組み合わせでは、弗素樹脂の表面改
質が十分に行えないこと、アルゴン弗素エキシマレーザ
によるものでは、装置が高価で大型であり、かつ保守が
極めてやっかいであって、産業界での実用化にはまだ一
般化できていない。このエキシマレーザに代わって、最
近、装置が安価、小型、取扱容易な誘電体バリヤ放電エ
キシマランプが開発され、上記のとうり、プラスチック
スの表面改質のための光源として注目され始めた。
開昭６４−７５０７９に記載の、紫外線吸収性有機化合
物と水銀ランプとの組み合わせでは、弗素樹脂の表面改
質が十分に行えないこと、アルゴン弗素エキシマレーザ
によるものでは、装置が高価で大型であり、かつ保守が
極めてやっかいであって、産業界での実用化にはまだ一
般化できていない。このエキシマレーザに代わって、最
近、装置が安価、小型、取扱容易な誘電体バリヤ放電エ
キシマランプが開発され、上記のとうり、プラスチック
スの表面改質のための光源として注目され始めた。
【０００４】しかしながら、誘電体バリヤ放電エキシマ
ランプについては、表面が低活性なＣ−Ｆ結合を有する
プラスチックスの表面改質用としてのランプ設計技術や
使用方法について未解決な部分があり、特に、アルミニ
ウム化合物の水溶液、硼素化合物の水溶液との組み合わ
せについては最適技術は開発されていない。
ランプについては、表面が低活性なＣ−Ｆ結合を有する
プラスチックスの表面改質用としてのランプ設計技術や
使用方法について未解決な部分があり、特に、アルミニ
ウム化合物の水溶液、硼素化合物の水溶液との組み合わ
せについては最適技術は開発されていない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事情に鑑
みなされたものであって、その目的とするところは、
（１）誘電体バリヤ放電ランプを用いて効率良く弗素樹
脂の表面改質が行える方法、（２）水銀放電ランプと、
アルミニウム化合物の水溶液、硼素化合物の水溶液との
組み合わせ方法、などを研究することによって、Ｃ−Ｆ
結合を有するプラスチックス表面改質のための光源と、
光源と被処理物との位置関係、ランプからの放射光取出
部の設計、ランプの管壁負荷などの最適条件を見出すこ
とにある。これによって、Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチ
ックスの表面改質を高速で行い、大量処理に適するよう
にすることである。本発明の目的は、低活性な弗素樹脂
系のプラスチックスの表面改質を、安価で高速で実行で
きる方法を提供することにある。
みなされたものであって、その目的とするところは、
（１）誘電体バリヤ放電ランプを用いて効率良く弗素樹
脂の表面改質が行える方法、（２）水銀放電ランプと、
アルミニウム化合物の水溶液、硼素化合物の水溶液との
組み合わせ方法、などを研究することによって、Ｃ−Ｆ
結合を有するプラスチックス表面改質のための光源と、
光源と被処理物との位置関係、ランプからの放射光取出
部の設計、ランプの管壁負荷などの最適条件を見出すこ
とにある。これによって、Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチ
ックスの表面改質を高速で行い、大量処理に適するよう
にすることである。本発明の目的は、低活性な弗素樹脂
系のプラスチックスの表面改質を、安価で高速で実行で
きる方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明は、紫外線放射源として誘電体バリヤ放電ラ
ンプを選び、紫外線照射処理において弗素用スカベンジ
ャーを組み合わせ、それらを次のように組み合わせると
ともに、種々の条件を設定する。
め、本発明は、紫外線放射源として誘電体バリヤ放電ラ
ンプを選び、紫外線照射処理において弗素用スカベンジ
ャーを組み合わせ、それらを次のように組み合わせると
ともに、種々の条件を設定する。
【０００７】（１）Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチックス
の表面を、アルミニウム化合物の水溶液もしくは硼素化
合物の水溶液と接触させ、当該接触部分に、キセノンも
しくはキセノンを主成分とするガスを封入した誘電体バ
リヤ放電ランプからの放射光を照射して該接触部分のプ
ラスチックスの表面を改質するに際し、該ランプは、放
電空間を取り囲む容器の一部もしくは全部を放射光取出
部として構成し、水溶液の層の、放射光透過最短距離を
５μｍ以下に保持する。 （２）Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表面を、ア
ルミニウム化合物の水溶液もしくは硼素化合物の水溶液
と接触させ、当該接触部分に、アルゴンと塩素を含むガ
スもしくは塩素化合物を含むガスを封入した誘電体バリ
ヤ放電ランプからの放射光を照射して該接触部分のプラ
スチックスの表面を改質するに際し、該ランプは、放電
空間を取り囲む容器の一部もしくは全部を放射光取出部
として構成し、水溶液の層の、放射光透過最短距離を２
０μｍ以下に保持する。 （３）Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表面を、ア
ルミニウム化合物の水溶液もしくは硼素化合物の水溶液
と接触させ、当該接触部分に、アルゴンと弗素とを含む
ガスもしくは弗素化合物を含むガスを封入した誘電体バ
リヤ放電ランプからの放射光を照射して該接触部分のプ
ラスチックスの表面を改質するに際し、該ランプは、放
電空間を取り囲む容器の一部もしくは全部を放射光取出
部として構成し、水溶液の層の、放射光透過最短距離を
２０００μｍ以下に保持する。
の表面を、アルミニウム化合物の水溶液もしくは硼素化
合物の水溶液と接触させ、当該接触部分に、キセノンも
しくはキセノンを主成分とするガスを封入した誘電体バ
リヤ放電ランプからの放射光を照射して該接触部分のプ
ラスチックスの表面を改質するに際し、該ランプは、放
電空間を取り囲む容器の一部もしくは全部を放射光取出
部として構成し、水溶液の層の、放射光透過最短距離を
５μｍ以下に保持する。 （２）Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表面を、ア
ルミニウム化合物の水溶液もしくは硼素化合物の水溶液
と接触させ、当該接触部分に、アルゴンと塩素を含むガ
スもしくは塩素化合物を含むガスを封入した誘電体バリ
ヤ放電ランプからの放射光を照射して該接触部分のプラ
スチックスの表面を改質するに際し、該ランプは、放電
空間を取り囲む容器の一部もしくは全部を放射光取出部
として構成し、水溶液の層の、放射光透過最短距離を２
０μｍ以下に保持する。 （３）Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表面を、ア
ルミニウム化合物の水溶液もしくは硼素化合物の水溶液
と接触させ、当該接触部分に、アルゴンと弗素とを含む
ガスもしくは弗素化合物を含むガスを封入した誘電体バ
リヤ放電ランプからの放射光を照射して該接触部分のプ
ラスチックスの表面を改質するに際し、該ランプは、放
電空間を取り囲む容器の一部もしくは全部を放射光取出
部として構成し、水溶液の層の、放射光透過最短距離を
２０００μｍ以下に保持する。
【０００８】つまり、誘電体バリヤ放電ランプの種類と
弗素用スカベンジャーと処理条件との組み合わせに特徴
がある。
弗素用スカベンジャーと処理条件との組み合わせに特徴
がある。
【０００９】また、紫外線放射源として水銀放電ランプ
を選択した場合は、次の方法が良い。すなわち、Ｃ−Ｆ
結合を有するプラスチックスの表面を、アルミニウム化
合物の水溶液もしくは硼素化合物の水溶液と接触させ、
当該接触部分に、水銀を主発光物として封入した水銀放
電ランプからの放射光を照射して該接触部分のプラスチ
ックスの表面を改質するに際し、該ランプは、放電空間
を取り囲む容器の一部もしくは全部を放射光取出部とし
て構成し、水溶液の層の、放射光透過最短距離を８０μ
ｍ以下に保持する。
を選択した場合は、次の方法が良い。すなわち、Ｃ−Ｆ
結合を有するプラスチックスの表面を、アルミニウム化
合物の水溶液もしくは硼素化合物の水溶液と接触させ、
当該接触部分に、水銀を主発光物として封入した水銀放
電ランプからの放射光を照射して該接触部分のプラスチ
ックスの表面を改質するに際し、該ランプは、放電空間
を取り囲む容器の一部もしくは全部を放射光取出部とし
て構成し、水溶液の層の、放射光透過最短距離を８０μ
ｍ以下に保持する。
【００１０】ここで、後述するように誘電体バリヤ放電
ランプは、従来のアーク放電ランプやグロー放電ランプ
とはかなり異なった特徴を有し、放電空間を取り囲む容
器の内壁表面積をＳ（ｃｍ2 ）、電気入力をＷ（ワッ
ト）とする時、管壁負荷Ｗ／Ｓの値を０．２以上に当該
ランプを制御点灯すると良い。しかも、冷却しても分光
放射特性が殆ど変わらないので、容器の放射光取出部と
取出部以外の部分の少なくとも一方を二重壁構造とし、
その間隙に液体窒素を流すことによって、あるいは、容
器の放射光取出部を二重壁構造とし、その間隙に液体窒
素を流すことによって放射光取出部の温度を２５０℃以
下にしても良い。取出部を直接冷却する場合には冷却水
を用いてもよい。
ランプは、従来のアーク放電ランプやグロー放電ランプ
とはかなり異なった特徴を有し、放電空間を取り囲む容
器の内壁表面積をＳ（ｃｍ2 ）、電気入力をＷ（ワッ
ト）とする時、管壁負荷Ｗ／Ｓの値を０．２以上に当該
ランプを制御点灯すると良い。しかも、冷却しても分光
放射特性が殆ど変わらないので、容器の放射光取出部と
取出部以外の部分の少なくとも一方を二重壁構造とし、
その間隙に液体窒素を流すことによって、あるいは、容
器の放射光取出部を二重壁構造とし、その間隙に液体窒
素を流すことによって放射光取出部の温度を２５０℃以
下にしても良い。取出部を直接冷却する場合には冷却水
を用いてもよい。
【００１１】また上記の冷却流体で、プラスチックスと
接触している水溶液の層を冷却するようにしても良い
し、放電用電極の少なくとも一方が容器と接している場
合、当該電極の接する容器壁部分の温度を３００℃以下
に保持する。
接触している水溶液の層を冷却するようにしても良い
し、放電用電極の少なくとも一方が容器と接している場
合、当該電極の接する容器壁部分の温度を３００℃以下
に保持する。
【００１２】
【作用】放電容器内にエキシマ分子を形成する放電用ガ
スを充満し、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あ
るいは無声放電。電気学会発行改定新版（放電ハンドブ
ック）平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）
によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子か
ら放射される光を取り出す放射器、すなわち誘電体バリ
ヤ放電ランプは、従来の低圧水銀放電ランプや高圧アー
ク放電ランプにはない種々の特徴を有している。このラ
ンプ自体は、例えば特開平２−７３５３等によって既知
である。
スを充満し、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あ
るいは無声放電。電気学会発行改定新版（放電ハンドブ
ック）平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）
によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子か
ら放射される光を取り出す放射器、すなわち誘電体バリ
ヤ放電ランプは、従来の低圧水銀放電ランプや高圧アー
ク放電ランプにはない種々の特徴を有している。このラ
ンプ自体は、例えば特開平２−７３５３等によって既知
である。
【００１３】このランプにおいて、透光窓部材として合
成石英ガラスを使用し、放電用ガスとしてキセノンもし
くはキセノンを主成分とするガスを選定すると、波長１
７２ｎｍをピークとする波長１６０ｎｍから波長１９０
ｎｍにまたがる真空紫外エキシマ光が得られ、アルゴン
と塩素を含むガスもしくは塩素化合物を含むガスを選定
すると、波長１６５ｎｍから波長１９０ｎｍにまたがる
真空紫外エキシマ光が得られ、アルゴンと弗素を含むガ
スもしくは弗素化合物を含むガスを選定すると、波長１
８０から波長２００ｎｍにまたがる真空紫外エキシマ光
が得られる。他方、アルミニウム化合物や硼素化合物の
水溶液の吸収波長帯域は波長２００ｎｍ以下の真空紫外
光にあり、それぞれの溶液の層における放射光透過最短
距離を適切に選ぶと、Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチック
スの表面において、Ｃ−Ｆ結合が切断されるとともに、
遊離したＦを水溶液中のアルミニウムもしくは硼素が捕
獲し、Ｃ−Ｆ再結合を防止するとともに、Ｃに対して
は、ＯやＯＨなどの他のラジカルが結合する。これによ
ってＣ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表面を親水性
に変えることが出来ると推定される。
成石英ガラスを使用し、放電用ガスとしてキセノンもし
くはキセノンを主成分とするガスを選定すると、波長１
７２ｎｍをピークとする波長１６０ｎｍから波長１９０
ｎｍにまたがる真空紫外エキシマ光が得られ、アルゴン
と塩素を含むガスもしくは塩素化合物を含むガスを選定
すると、波長１６５ｎｍから波長１９０ｎｍにまたがる
真空紫外エキシマ光が得られ、アルゴンと弗素を含むガ
スもしくは弗素化合物を含むガスを選定すると、波長１
８０から波長２００ｎｍにまたがる真空紫外エキシマ光
が得られる。他方、アルミニウム化合物や硼素化合物の
水溶液の吸収波長帯域は波長２００ｎｍ以下の真空紫外
光にあり、それぞれの溶液の層における放射光透過最短
距離を適切に選ぶと、Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチック
スの表面において、Ｃ−Ｆ結合が切断されるとともに、
遊離したＦを水溶液中のアルミニウムもしくは硼素が捕
獲し、Ｃ−Ｆ再結合を防止するとともに、Ｃに対して
は、ＯやＯＨなどの他のラジカルが結合する。これによ
ってＣ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表面を親水性
に変えることが出来ると推定される。
【００１４】誘電体バリヤ放電ランプは前記のとうり、
従来のアーク放電ランプやグロー放電ランプとは異な
り、強く冷却しても分光放射特性が殆ど変わらないの
で、電気入力を大きくしても十分に冷却できるので、一
般的に熱に弱いプラスチックスに極接近させて使用して
も、被照射物であるプラスチックスへの熱ダメージを与
えない長所を有する。特に、このランプにおいて、ラン
プの管壁負荷、（電気入力／管壁面積）の値を０．２Ｗ
／ｃｍ2 以上に設計し、液体窒素や水で冷却を十分に行
いながらプラスチックスに極接近させて使用すると、表
面改質のスピードが著しく大きい。
従来のアーク放電ランプやグロー放電ランプとは異な
り、強く冷却しても分光放射特性が殆ど変わらないの
で、電気入力を大きくしても十分に冷却できるので、一
般的に熱に弱いプラスチックスに極接近させて使用して
も、被照射物であるプラスチックスへの熱ダメージを与
えない長所を有する。特に、このランプにおいて、ラン
プの管壁負荷、（電気入力／管壁面積）の値を０．２Ｗ
／ｃｍ2 以上に設計し、液体窒素や水で冷却を十分に行
いながらプラスチックスに極接近させて使用すると、表
面改質のスピードが著しく大きい。
【００１５】誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該放電
から生ずるエキシマ光は、自己吸収が小さいので、ラン
プの容器を棒状あるいは板状に長く設計し、長手方向と
直交する方向に放電電流を流しておいて長手方向から放
射光を取り出せる。したがって、強力なビーム光を得易
い。
から生ずるエキシマ光は、自己吸収が小さいので、ラン
プの容器を棒状あるいは板状に長く設計し、長手方向と
直交する方向に放電電流を流しておいて長手方向から放
射光を取り出せる。したがって、強力なビーム光を得易
い。
【００１６】真空紫外光としては、水銀放電ランプから
放射される波長１８５ｎｍの光も利用でき、アルミニウ
ム化合物の水溶液、硼素化合物の水溶液の吸収率を考慮
しながらＣ−Ｆ結合を有するプラスチックスに極接近さ
せて使用すると、表面改質のスピードは著しく大きい。
この場合、冷却が必要な時は、液体窒素より水の方が良
い。また、ランプの冷却に水を使用する場合は、プラス
チックスの表面に接しているアルミニウム化合物の水溶
液、硼素化合物の水溶液をも同時に冷却し、液の沸騰の
防止やプラスチックスの昇温を防止する。
放射される波長１８５ｎｍの光も利用でき、アルミニウ
ム化合物の水溶液、硼素化合物の水溶液の吸収率を考慮
しながらＣ−Ｆ結合を有するプラスチックスに極接近さ
せて使用すると、表面改質のスピードは著しく大きい。
この場合、冷却が必要な時は、液体窒素より水の方が良
い。また、ランプの冷却に水を使用する場合は、プラス
チックスの表面に接しているアルミニウム化合物の水溶
液、硼素化合物の水溶液をも同時に冷却し、液の沸騰の
防止やプラスチックスの昇温を防止する。
【００１７】
【実施例】図１は、本発明に使用する誘電体バリヤ放電
ランプの設計例の説明図である。図において、１は偏平
な箱状をした容器であって、材料は、ＯＨを４００重量
ｐｐｍ含む合成石英ガラスである。肉厚は１ｍｍであっ
て、大きさは内寸法で、たて方向２０ｃｍ、横方向３ｍ
ｍ、紙面に垂直な奥行方向３０ｃｍである。一対の電極
２，２が一対の広い面積の外壁に設けられる。したがっ
てバリヤ放電の距離ｄは３ｍｍである。電極は、反射板
を兼ねる意味で厚さ０．３μｍのアルミニウム膜から成
り、図面からは省略したが酸化防止保護膜でおおわれて
いる。バリヤ放電からの放射光を有効に利用するため、
放射光取出部３以外の他の外壁面には保護膜付の反射膜
４を設ける。保護膜としてはセラミックスによるコート
が良い。したがって、放電空間５に放電用ガスとしてキ
セノンを充填し、一対の電極２，２に電力を供給して放
電させると、ランプからの放射光の形状は、横約３ｍ
ｍ、幅約３０ｃｍのスリット状のビームとなる。前記の
とうり、自己吸収が小さいので、強力なビーム光が得ら
れる。
ランプの設計例の説明図である。図において、１は偏平
な箱状をした容器であって、材料は、ＯＨを４００重量
ｐｐｍ含む合成石英ガラスである。肉厚は１ｍｍであっ
て、大きさは内寸法で、たて方向２０ｃｍ、横方向３ｍ
ｍ、紙面に垂直な奥行方向３０ｃｍである。一対の電極
２，２が一対の広い面積の外壁に設けられる。したがっ
てバリヤ放電の距離ｄは３ｍｍである。電極は、反射板
を兼ねる意味で厚さ０．３μｍのアルミニウム膜から成
り、図面からは省略したが酸化防止保護膜でおおわれて
いる。バリヤ放電からの放射光を有効に利用するため、
放射光取出部３以外の他の外壁面には保護膜付の反射膜
４を設ける。保護膜としてはセラミックスによるコート
が良い。したがって、放電空間５に放電用ガスとしてキ
セノンを充填し、一対の電極２，２に電力を供給して放
電させると、ランプからの放射光の形状は、横約３ｍ
ｍ、幅約３０ｃｍのスリット状のビームとなる。前記の
とうり、自己吸収が小さいので、強力なビーム光が得ら
れる。
【００１８】６は、前記奥行方向に沿って放射光取出部
３の近傍に設けた樋状の溝であって、底部にはスリット
７が設けられている。この溝に液体を入れると、スリッ
ト７から、ビーム光に沿って線状に液体が降下するよう
になっている。
３の近傍に設けた樋状の溝であって、底部にはスリット
７が設けられている。この溝に液体を入れると、スリッ
ト７から、ビーム光に沿って線状に液体が降下するよう
になっている。
【００１９】図２は、上記の誘電体バリヤ放電ランプを
用いたプラスチックスの表面改質の方法の説明図であ
る。図において、１００は誘電体バリヤ放電ランプであ
り、その放射光取出部の前方極近傍を、間隙１０２をお
いて、ポリ四弗化エチレンシート１０１が矢印方向へ送
行する。溝６からは水酸化アウミニウムの水溶液を落下
させ、シート１０１とともに間隙１０２を通過する。こ
の場合、ランプ１００への電気入力を４００Ｗとして、
走行スピードを６ｍｍ／分とすると、最初水に対する接
触角が１２０度であったシートが、３０度になる。電気
入力が７００Ｗの場合は、走行スピードが１０ｍｍ／分
で、接触角が３０度になる。水溶液の層の厚みは、この
場合５μｍ以下が良いので、間隙１０２の距離を調節す
ることによって、この層の厚みを調節することが出来
る。５μｍより大きいと、実用上の表面改質ができなか
った。尚、間隙１０２は、数μｍのオーダーに展延され
た白金箔をゲージとして使用した。
用いたプラスチックスの表面改質の方法の説明図であ
る。図において、１００は誘電体バリヤ放電ランプであ
り、その放射光取出部の前方極近傍を、間隙１０２をお
いて、ポリ四弗化エチレンシート１０１が矢印方向へ送
行する。溝６からは水酸化アウミニウムの水溶液を落下
させ、シート１０１とともに間隙１０２を通過する。こ
の場合、ランプ１００への電気入力を４００Ｗとして、
走行スピードを６ｍｍ／分とすると、最初水に対する接
触角が１２０度であったシートが、３０度になる。電気
入力が７００Ｗの場合は、走行スピードが１０ｍｍ／分
で、接触角が３０度になる。水溶液の層の厚みは、この
場合５μｍ以下が良いので、間隙１０２の距離を調節す
ることによって、この層の厚みを調節することが出来
る。５μｍより大きいと、実用上の表面改質ができなか
った。尚、間隙１０２は、数μｍのオーダーに展延され
た白金箔をゲージとして使用した。
【００２０】図３は、本発明に使用する誘電体バリヤ放
電ランプの他の設計例の説明図である。図において、放
電空間５を取り囲む四方の壁は、二重の壁８１，８２か
ら成り、他の対面する一対の壁も同様の構造をしてお
り、壁８１，８２の間１４には、冷却流体である液体窒
素がらせん状に流れるように、階段状もしくはらせん状
の仕切９が設けられている。ランプ１０３の上面は、上
面部材１０でおおい、電力供給線１１を引き出す。ラン
プ１０３の下面は、放射光取出部３であるが、中央部１
２が、放射光が集光できるように凸レンズ状になってお
り、かつ溝６から流れる液体が、中央部１２の頂点（頂
線）１３に伝わり易く形成されている。集光のために、
中央部を凹レンズ状に形成しても、その周淵において頂
点（頂線）を形成させることができる。放電空間５の大
きさは、図１に示したランプ１００と同様であって、内
寸法でたて方向２０ｃｍ、横方向３ｍｍ、紙面に垂直な
奥行方向３０ｃｍである。したがって、放射光の形は前
記同様、線状のビームである。
電ランプの他の設計例の説明図である。図において、放
電空間５を取り囲む四方の壁は、二重の壁８１，８２か
ら成り、他の対面する一対の壁も同様の構造をしてお
り、壁８１，８２の間１４には、冷却流体である液体窒
素がらせん状に流れるように、階段状もしくはらせん状
の仕切９が設けられている。ランプ１０３の上面は、上
面部材１０でおおい、電力供給線１１を引き出す。ラン
プ１０３の下面は、放射光取出部３であるが、中央部１
２が、放射光が集光できるように凸レンズ状になってお
り、かつ溝６から流れる液体が、中央部１２の頂点（頂
線）１３に伝わり易く形成されている。集光のために、
中央部を凹レンズ状に形成しても、その周淵において頂
点（頂線）を形成させることができる。放電空間５の大
きさは、図１に示したランプ１００と同様であって、内
寸法でたて方向２０ｃｍ、横方向３ｍｍ、紙面に垂直な
奥行方向３０ｃｍである。したがって、放射光の形は前
記同様、線状のビームである。
【００２１】上記ランプ１０３の放電空間５に、アルゴ
ンと塩素とを等モル封入し、バッファーガスとしてネオ
ン６００トール封入して、４００Ｗで点灯する。溝６に
注入する液体は、硼酸の水溶液であって、図２に示す方
法と同様に、ポリ四弗化エチレンシートと対接させて表
面改質を行った。この時、ランプ１０３とシート１０１
との間隙１０２は頂点（頂線）１３とシート１０１との
距離であって、硼酸水溶液は一部はスリット７から降下
し、一部はその頂点（頂線）まで伝わって来る。この場
合は、シート１０１の走行スピードが２ｍｍ／分の時
で、水に対する接触角を３０度まで小さく出来る。そし
て、硼酸水溶液の層の厚みが、２０μｍを越すと、ほと
んど表面改質効果が見られない。尚、上記ランプ１０３
では、ランプの上面、下面を除いた四辺を液体窒素で冷
却しており、電極２の附されている壁８１の温度を１０
０℃以下に保つことが出来るとともに、そのように低温
制御しても、ランプからの分光放射特性は変わらない。
むしろ、３００℃を越えるとランプからの放射強度が低
下する。
ンと塩素とを等モル封入し、バッファーガスとしてネオ
ン６００トール封入して、４００Ｗで点灯する。溝６に
注入する液体は、硼酸の水溶液であって、図２に示す方
法と同様に、ポリ四弗化エチレンシートと対接させて表
面改質を行った。この時、ランプ１０３とシート１０１
との間隙１０２は頂点（頂線）１３とシート１０１との
距離であって、硼酸水溶液は一部はスリット７から降下
し、一部はその頂点（頂線）まで伝わって来る。この場
合は、シート１０１の走行スピードが２ｍｍ／分の時
で、水に対する接触角を３０度まで小さく出来る。そし
て、硼酸水溶液の層の厚みが、２０μｍを越すと、ほと
んど表面改質効果が見られない。尚、上記ランプ１０３
では、ランプの上面、下面を除いた四辺を液体窒素で冷
却しており、電極２の附されている壁８１の温度を１０
０℃以下に保つことが出来るとともに、そのように低温
制御しても、ランプからの分光放射特性は変わらない。
むしろ、３００℃を越えるとランプからの放射強度が低
下する。
【００２２】また、上記の実施例では、放射光取出部３
の温度を１００℃以下に冷却できるので、間隙１０２が
極端に小さくても、硼酸水溶液やシートの加熱を抑制で
きる。
の温度を１００℃以下に冷却できるので、間隙１０２が
極端に小さくても、硼酸水溶液やシートの加熱を抑制で
きる。
【００２３】上記の誘電体バリヤ放電ランプ１０３の放
電空間５に、アルゴンと弗素と、バッファーガスとして
ネオンを充填し、冷却流体として１０℃の水を間１４に
流す。被処理物としては、弗素樹脂のシートとし、溝６
には硼酸の水溶液を供給して表面改質を行うと、走行ス
ピード６ｍｍ／分で、シートの水に対する接触角を１１
０度から３０度にすることができる。この場合、水溶液
の層の厚みが２０００μｍを越えると表面改質効果が得
られず、したがってその厚みの値は２０００μｍ以下と
する。
電空間５に、アルゴンと弗素と、バッファーガスとして
ネオンを充填し、冷却流体として１０℃の水を間１４に
流す。被処理物としては、弗素樹脂のシートとし、溝６
には硼酸の水溶液を供給して表面改質を行うと、走行ス
ピード６ｍｍ／分で、シートの水に対する接触角を１１
０度から３０度にすることができる。この場合、水溶液
の層の厚みが２０００μｍを越えると表面改質効果が得
られず、したがってその厚みの値は２０００μｍ以下と
する。
【００２４】上記ランプを含め種々のランプで改質テス
トを行ったがランプの管壁負荷と改質速度に相関がある
ことが判明した。Ｗ／Ｓ≧０．２で実用的な反応速度が
得られた。上記いずれの実施例においても、放電空間５
を取り囲む内表面積は、１２００ｃｍ2 であるので、そ
れらを例えば４００Ｗ、７００Ｗ等、２４０Ｗから１０
００Ｗの電気入力で点灯すると、ランプの管壁負荷（Ｗ
／Ｓ）の値は０．２以上となり、封入ガスの種類に大き
く依存せずに効率良く所定の放射光を得ることができ
る。また、ランプその他の昇温については、冷却によっ
て十分に制御できる。
トを行ったがランプの管壁負荷と改質速度に相関がある
ことが判明した。Ｗ／Ｓ≧０．２で実用的な反応速度が
得られた。上記いずれの実施例においても、放電空間５
を取り囲む内表面積は、１２００ｃｍ2 であるので、そ
れらを例えば４００Ｗ、７００Ｗ等、２４０Ｗから１０
００Ｗの電気入力で点灯すると、ランプの管壁負荷（Ｗ
／Ｓ）の値は０．２以上となり、封入ガスの種類に大き
く依存せずに効率良く所定の放射光を得ることができ
る。また、ランプその他の昇温については、冷却によっ
て十分に制御できる。
【００２５】図４は、本発明に使用する低圧水銀ランプ
１０４の設計例の説明図である。図において、１５は石
英ガラス製の管状バルブであって、一対の電極１６，１
６間の距離は２０ｃｍである。放電空間１７には、ラン
プ点灯始動用のアルゴン４トールと、水銀をバルブ内容
積１ｃｍ3 当たり１ｍｇ封入し、電流２．８Ａ、約１０
０Ｗの消費電力で点灯するよう設計されている。このラ
ンプ１０４からは、波長１８５ｎｍと波長２５４ｎｍの
紫外光が放射される。このランプ１０４を、図５に示す
ように、ポリ四弗化エチレンシート１０１に、間隙１０
２を設けて極接近させ、シートの走行の上流側から、ラ
ンプのバルブ軸に平行な線状のノズル１８から、シート
１０１に水酸化アルミニウムの水溶液を供給しながらラ
ンプ１０４でシート１０１を照射する。この場合、間隙
１０２を１０μｍに保っているので、水酸化アルミニウ
ムの水溶液の層の厚みも１０μｍである。この状態でシ
ートの走行スピードを４ｍｍ／分に保って表面改質を行
うと、シート１０１の水に対する接触角は１２０度から
３０度になった。層の厚みは８０μｍを越えると改質効
果が著しく劣るので、８０μｍ以下が良い。尚、従来、
ポリ四弗化エチレンの表面改質は、低圧水銀ランプによ
る照射では出来ないとされていたが、上記のように水酸
化アルミニウムの水溶液の層と接触させておくと表面改
質が可能であることが分かるとともに、水酸化アルミニ
ウムの水溶液に代えて、硼酸の水溶液でも同様の効果を
奏することが分かった。
１０４の設計例の説明図である。図において、１５は石
英ガラス製の管状バルブであって、一対の電極１６，１
６間の距離は２０ｃｍである。放電空間１７には、ラン
プ点灯始動用のアルゴン４トールと、水銀をバルブ内容
積１ｃｍ3 当たり１ｍｇ封入し、電流２．８Ａ、約１０
０Ｗの消費電力で点灯するよう設計されている。このラ
ンプ１０４からは、波長１８５ｎｍと波長２５４ｎｍの
紫外光が放射される。このランプ１０４を、図５に示す
ように、ポリ四弗化エチレンシート１０１に、間隙１０
２を設けて極接近させ、シートの走行の上流側から、ラ
ンプのバルブ軸に平行な線状のノズル１８から、シート
１０１に水酸化アルミニウムの水溶液を供給しながらラ
ンプ１０４でシート１０１を照射する。この場合、間隙
１０２を１０μｍに保っているので、水酸化アルミニウ
ムの水溶液の層の厚みも１０μｍである。この状態でシ
ートの走行スピードを４ｍｍ／分に保って表面改質を行
うと、シート１０１の水に対する接触角は１２０度から
３０度になった。層の厚みは８０μｍを越えると改質効
果が著しく劣るので、８０μｍ以下が良い。尚、従来、
ポリ四弗化エチレンの表面改質は、低圧水銀ランプによ
る照射では出来ないとされていたが、上記のように水酸
化アルミニウムの水溶液の層と接触させておくと表面改
質が可能であることが分かるとともに、水酸化アルミニ
ウムの水溶液に代えて、硼酸の水溶液でも同様の効果を
奏することが分かった。
【００２６】図６は、本発明の他の実施例の説明図であ
る。図において、誘電体バリヤ放電ランプ１０５には、
放電空間５の寸法・形状は図１のランプと同じではある
が、溝６がなく、またランプ全体を冷却する構造とはな
っていない。しかし、放射光取出部３には、両側から冷
却流体ノズル２６から噴射される冷却液によってその部
分のみ冷却できるようになっている。放電空間５には、
アルゴンと弗素とネオンが充填され、放射光取出部３
は、被処理物である弗素樹脂系のシートに極接近して配
置される。ここで冷却液を硼酸の水溶液にすれば、放射
光取出部３の冷却流体とスカベンジャー用水溶液１９と
が兼務でき、かつ、その液の層の厚さも、間隙１０２の
距離によって実質上決めることができる。このシート
で、水に対する接触角は１１０度のものが２０度にまで
小さくすることができ、表面改質効果が得られることが
分かる。
る。図において、誘電体バリヤ放電ランプ１０５には、
放電空間５の寸法・形状は図１のランプと同じではある
が、溝６がなく、またランプ全体を冷却する構造とはな
っていない。しかし、放射光取出部３には、両側から冷
却流体ノズル２６から噴射される冷却液によってその部
分のみ冷却できるようになっている。放電空間５には、
アルゴンと弗素とネオンが充填され、放射光取出部３
は、被処理物である弗素樹脂系のシートに極接近して配
置される。ここで冷却液を硼酸の水溶液にすれば、放射
光取出部３の冷却流体とスカベンジャー用水溶液１９と
が兼務でき、かつ、その液の層の厚さも、間隙１０２の
距離によって実質上決めることができる。このシート
で、水に対する接触角は１１０度のものが２０度にまで
小さくすることができ、表面改質効果が得られることが
分かる。
【００２７】図７は、本発明の他の実施例の説明図であ
る。図において、誘電体バリヤ放電ランプ１０７の放電
空間５の寸法、形状は、図１に示すランプと同じである
が、充填ガスはアルゴンと塩素である。放射光取出部３
は二重構造になっており、中空部２０には、液体窒素も
しくはその気化窒素ガスが流せるようにしてある。これ
によって、放射光取出部３とその周囲も昇温が抑制さ
れ、弗素樹脂のシート１０８との間に作られる間隙１０
２を満たすスカベンジャー用流体、例えばアルミニウム
化合物の水溶液も十分に冷却できる。このシートで、水
に対する接触角は、１１０度のものが１０度にまで小さ
くすることができ、表面改質効果が得られることが分か
る。
る。図において、誘電体バリヤ放電ランプ１０７の放電
空間５の寸法、形状は、図１に示すランプと同じである
が、充填ガスはアルゴンと塩素である。放射光取出部３
は二重構造になっており、中空部２０には、液体窒素も
しくはその気化窒素ガスが流せるようにしてある。これ
によって、放射光取出部３とその周囲も昇温が抑制さ
れ、弗素樹脂のシート１０８との間に作られる間隙１０
２を満たすスカベンジャー用流体、例えばアルミニウム
化合物の水溶液も十分に冷却できる。このシートで、水
に対する接触角は、１１０度のものが１０度にまで小さ
くすることができ、表面改質効果が得られることが分か
る。
【００２８】図８は、本発明の他の実施例の説明図であ
る。図において、２１は、水溶液２２を収容する水槽で
あって、その中に、誘電体バリヤ放電ランプ１０５が、
放射光取出部３の頂点（頂線）１３を上方に位置して配
置されている。液面２３と頂点（頂線）１３との間１１
１が液層の厚みになると同時に放射光透過最短距離を形
成する。プラスチックスシート１０９は、４個のローラ
２４を介して、液面２３近傍を通過するようになってお
り、間隙１１０は実質上零の方が良い。この状態で、ラ
ンプ１０５を点灯してシート１０９の表面改質処理作業
を続けると、液２２の温度が昇温してしまうので、冷却
手段２５を設ける。この結果、液とランプとの両者が冷
却できるとともに、ランプの高さを変えるだけで液層の
放射光透過最短距離を容易に決定できる長所がある。
る。図において、２１は、水溶液２２を収容する水槽で
あって、その中に、誘電体バリヤ放電ランプ１０５が、
放射光取出部３の頂点（頂線）１３を上方に位置して配
置されている。液面２３と頂点（頂線）１３との間１１
１が液層の厚みになると同時に放射光透過最短距離を形
成する。プラスチックスシート１０９は、４個のローラ
２４を介して、液面２３近傍を通過するようになってお
り、間隙１１０は実質上零の方が良い。この状態で、ラ
ンプ１０５を点灯してシート１０９の表面改質処理作業
を続けると、液２２の温度が昇温してしまうので、冷却
手段２５を設ける。この結果、液とランプとの両者が冷
却できるとともに、ランプの高さを変えるだけで液層の
放射光透過最短距離を容易に決定できる長所がある。
【００２９】以上の実施例の説明に使用されたランプ類
の構造と冷却方法、弗素捕獲用水溶液すなわちスカベン
ジャー用水溶液の供給方法、水溶液の層の放射光透過最
短距離の決定方法には、上記実施例以外にも種々の方式
が採用できることは明らかである。
の構造と冷却方法、弗素捕獲用水溶液すなわちスカベン
ジャー用水溶液の供給方法、水溶液の層の放射光透過最
短距離の決定方法には、上記実施例以外にも種々の方式
が採用できることは明らかである。
【００３０】
【発明の効果】本発明は、以上の実施例の説明からも理
解できるように、波長１６０ｎｍから波長２００ｎｍの
真空紫外光を放射する誘電体バリヤ放電ランプとして、
キセノンエキシマもしくはアルゴン塩素エキシマもしく
はアルゴン弗素エキシマから放射されるエキシマ光を放
射するランプを選択し、もしくは低圧水銀ランプから放
射される波長１８５ｎｍの真空紫外光を選択し、他方、
スカベンジャー用水溶液としては波長域約２００ｎｍ以
下に吸収帯を有する硼素化合物の水溶液もしくはアルミ
ニウム化合物の水溶液を選択し、両者を組み合わせて、
従来表面改質が出来なかったＣ−Ｆ結合を有するプラス
チックスの表面改質を行ったり、あるいは著しく速いス
ピード処理が出来るようにしたものである。
解できるように、波長１６０ｎｍから波長２００ｎｍの
真空紫外光を放射する誘電体バリヤ放電ランプとして、
キセノンエキシマもしくはアルゴン塩素エキシマもしく
はアルゴン弗素エキシマから放射されるエキシマ光を放
射するランプを選択し、もしくは低圧水銀ランプから放
射される波長１８５ｎｍの真空紫外光を選択し、他方、
スカベンジャー用水溶液としては波長域約２００ｎｍ以
下に吸収帯を有する硼素化合物の水溶液もしくはアルミ
ニウム化合物の水溶液を選択し、両者を組み合わせて、
従来表面改質が出来なかったＣ−Ｆ結合を有するプラス
チックスの表面改質を行ったり、あるいは著しく速いス
ピード処理が出来るようにしたものである。
【００３１】前記のとうり、誘電体バリヤ放電ランプ
は、放電用ガスや放射光取出部が昇温すると放射強度が
落ちる反面、冷却を十分行っても分光放射特性は変わら
ないので、ランプを被処理物に極接近させて冷却を十分
に行い、ランプ自体の冷却とともに、水溶液、被処理物
も冷却できる長所があり、プラスチックスへの熱ダメー
ジは、従来のアーク放電ランプに比べ小さくすることが
できる。この冷却が十分可能なことから、ランプへの電
気入力も１０Ｗ／ｃｍ2 以上とすることができ、他方、
電極を設けたランプ壁の温度を３００℃以下、放射光取
出部の温度も２５０℃以下に保ことができ、ランプの分
光放射特性と放射強度との両者を維持しながらＣ−Ｆ結
合を有するプラスチックスの表面改質作業ができる。
は、放電用ガスや放射光取出部が昇温すると放射強度が
落ちる反面、冷却を十分行っても分光放射特性は変わら
ないので、ランプを被処理物に極接近させて冷却を十分
に行い、ランプ自体の冷却とともに、水溶液、被処理物
も冷却できる長所があり、プラスチックスへの熱ダメー
ジは、従来のアーク放電ランプに比べ小さくすることが
できる。この冷却が十分可能なことから、ランプへの電
気入力も１０Ｗ／ｃｍ2 以上とすることができ、他方、
電極を設けたランプ壁の温度を３００℃以下、放射光取
出部の温度も２５０℃以下に保ことができ、ランプの分
光放射特性と放射強度との両者を維持しながらＣ−Ｆ結
合を有するプラスチックスの表面改質作業ができる。
【００３２】各ランプから放射される真空紫外光は全く
同一ではないので、それぞれのランプに応じて、水溶液
の層の放射光透過最短距離を実験的に定め、実用上の最
適条件を見出したものであるので、従来のＣ−Ｆ結合を
有するプラスチックスの表面改質の処理スピードより著
しく速い表面改質方法が提供できる。
同一ではないので、それぞれのランプに応じて、水溶液
の層の放射光透過最短距離を実験的に定め、実用上の最
適条件を見出したものであるので、従来のＣ−Ｆ結合を
有するプラスチックスの表面改質の処理スピードより著
しく速い表面改質方法が提供できる。
【図１】本発明に使用する誘電体バリヤ放電ランプの設
計例の説明図である。
計例の説明図である。
【図２】プラスチックスシートの表面改質方法の説明図
である。
である。
【図３】本発明に使用する誘電体バリヤ放電ランプの他
の設計例の説明図である。
の設計例の説明図である。
【図４】本発明に使用する低圧水銀ランプの設計例の説
明図である。
明図である。
【図５】本発明の他の実施例の説明図である。
【図６】本発明の他の実施例の説明図である。
【図７】本発明の他の実施例の説明図である。
【図８】本発明の他の実施例の説明図である。
１ 容器 ２ 電極 ３ 放射光取出部 ４ 反射膜 ５ 放電空間 ６ 溝 ７ スリット ９ 仕切 １８ ノズル ２１ 水槽 ２３ 液面 ２４ ローラ ２５ 冷却手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 磯 慎一 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシ オ電機株式会社内 審査官 森川 聡 (56)参考文献 特開 平５−306346（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C08J 7/04 304
Claims (14)
- 【請求項１】 Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表
面を、アルミニウム化合物の水溶液もしくは硼素化合物
の水溶液と接触させ、当該接触部分に、キセノンもしく
はキセノンを主成分とするガスを封入した誘電体バリヤ
放電ランプからの放射光を照射して該接触部分のプラス
チックスの表面を改質するに際し、 該ランプは、放電空間を取り囲む容器の一部もしくは全
部を放射光取出部として構成し、 水溶液の層の、放射光透過最短距離を５μｍ以下に保持
することを特徴とするプラスチックス表面改質方法。 - 【請求項２】 Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表
面を、アルミニウム化合物の水溶液もしくは硼素化合物
の水溶液と接触させ、当該接触部分に、アルゴンと塩素
を含むガスもしくは塩素化合物を含むガスを封入した誘
電体バリヤ放電ランプからの放射光を照射して該接触部
分のプラスチックスの表面を改質するに際し、 該ランプは、放電空間を取り囲む容器の一部もしくは全
部を放射光取出部として構成し、 水溶液の層の、放射光透過最短距離を２０μｍ以下に保
持することを特徴とするプラスチックス表面改質方法。 - 【請求項３】 Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表
面を、アルミニウム化合物の水溶液もしくは硼素化合物
の水溶液と接触させ、当該接触部分に、アルゴンと弗素
とを含むガスもしくは弗素化合物を含むガスを封入した
誘電体バリヤ放電ランプからの放射光を照射して該接触
部分のプラスチックスの表面を改質するに際し、 該ランプは、放電空間を取り囲む容器の一部もしくは全
部を放射光取出部として構成し、 水溶液の層の、放射光透過最短距離を２０００μｍ以下
に保持することを特徴とするプラスチックス表面改質方
法。 - 【請求項４】 Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表
面を、アルミニウム化合物の水溶液もしくは硼素化合物
の水溶液と接触させ、当該接触部分に、水銀を主発光物
として封入した水銀放電ランプからの放射光を照射して
該接触部分のプラスチックスの表面を改質するに際し、 該ランプは、放電空間を取り囲む容器の一部もしくは全
部を放射光取出部として構成し、 水溶液の層の、放射光透過最短距離を８０μｍ以下に保
持することを特徴とするプラスチックス表面改質方法。 - 【請求項５】 容器内を流れる電流の方向と直交する方
向から放射光を取り出すことを特徴とする請求項１乃至
３のいずれかに記載のプラスチックス表面改質方法。 - 【請求項６】 放電空間を取り囲む容器の内壁表面積を
Ｓ（ｃｍ２）、電気入力をＷ（ワット）とする時、Ｗ／
Ｓの値を０．２Ｗ／ｃｍ２以上に当該ランプを制御点灯
することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載
のプラスチックス表面改質方法。 - 【請求項７】 放射光取出部もしくはその近傍を、室温
程度もしくは室温以下の温度の冷却流体で冷却すること
を特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のプラス
チックス表面改質方法。 - 【請求項８】 放電空間を取り囲む容器を室温程度もし
くは室温以下の温度の冷却流体で冷却することを特徴と
する請求項１乃至５のいずれかに記載のプラスチックス
表面改質方法。 - 【請求項９】 冷却流体が容器もしくは放射光取出部に
接触しており、プラスチックスと接触している水溶液の
層も冷却することを特徴とする請求項７もしくは請求項
８に記載のプラスチックス表面改質方法。 - 【請求項１０】 冷却流体が、プラスチックスの表面に
接触している水溶液であることを特徴とする請求項７も
しくは請求項８に記載のプラスチックス表面改質方法。 - 【請求項１１】 容器の放射光取出部と取出部以外の部
分の少なくとも一方を二重壁構造とし、その間隙に液体
窒素もしくはその気化窒素ガスを流すことを特徴とする
請求項１乃至３のいずれかに記載のプラスチックス表面
改質方法。 - 【請求項１２】 容器の放射光取出部を二重壁構造と
し、その間隙に冷却水を流すことを特徴とする請求項１
乃至３のいずれかに記載のプラスチックス表面改質方
法。 - 【請求項１３】 放射光取出部の温度が２５０℃以下に
保持されることを特徴とする請求項１１もしくは請求項
１２に記載のプラスチックス表面改質方法。 - 【請求項１４】 放電用の電極が一対設けられ、当該電
極の少なくとも一方が容器と接している場合、当該電極
の接する容器壁部分の温度を３００℃以下に保持するこ
とを特徴とする請求項１１もしくは請求項１２に記載の
プラスチックス表面改質方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34465793A JP3211532B2 (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | プラスチックス表面改質方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34465793A JP3211532B2 (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | プラスチックス表面改質方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07179628A JPH07179628A (ja) | 1995-07-18 |
| JP3211532B2 true JP3211532B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=18370972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34465793A Expired - Fee Related JP3211532B2 (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | プラスチックス表面改質方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3211532B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| US20050208308A1 (en) | 2001-05-21 | 2005-09-22 | 3M Innovative Properties Company | Bonding compositions |
| US6753087B2 (en) | 2001-05-21 | 2004-06-22 | 3M Innovative Properties Company | Fluoropolymer bonding |
| US6630047B2 (en) | 2001-05-21 | 2003-10-07 | 3M Innovative Properties Company | Fluoropolymer bonding composition and method |
| US7485371B2 (en) | 2004-04-16 | 2009-02-03 | 3M Innovative Properties Company | Bonding compositions |
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