JP3211020B2 - 変位検出装置 - Google Patents
変位検出装置Info
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
変位検出装置に関するものである.
場合,従来は図面1で示すように,電子回路1で一次電
圧としてのサイン波等2を作成し,2をセンサーである
差動変圧器3の一次コイル4に加え,変位量に比例した
二次コイル5の出力電圧を増幅,整流6,位相検波7等
によりDC電圧に変え,フィルター8を通してA/D変
換器9に導き,A/D変換を行うことで変位量10を求
めていた.
方法では,サイン波2を作成する電子回路1や,整流
6,位相検波7,フィルター8の機能をもつ回路は部品
数が多く故障の確率が高かかったし,回路で生じる信号
の乱れのため測定精度が悪かった.また,常時動作して
いるため消費電流が多く,測定する変位量とセンサーの
二次電圧とが比例する範囲でしか測定ができなかった
し,プリント基板上で回路が占める面積が大きかった
り,回路の調整が難しい等の欠点があった.本発明の目
的は,図面2で示す実施例のように,回路を簡略化した
測定精度の高い変位検出装置を提供することにある.そ
のために,センサー3に一次電圧を加えるD/A変換器
11と出力信号を処理するA/D変換器9をマイクロプ
ロセッサ12による制御信号13で間欠的に制御する.
を達成するため図面2で示す実施例のようにマイクロプ
ロセッサ12より制御信号13を出しD/A変換器11
を制御し一次コイル4に電圧を加え,必要に応じて二次
コイル5の出力を増幅し,A/D変換器9でデジタル値
に変換し,演算14によって精度の高い測定結果15を
得る.
マイクロプロセッサ12により一次コイル4に加える電
圧の変化を正確に制御できるため,一定の周期で一次コ
イル4に加える電圧を間欠的に変化させつつ,マイクロ
プロセッサ12の制御に従いプログラムされた回数,プ
ログラムされた時間にA/D変換器9でA/D変換を行
い,デジタル値を得,これらのデジタル値を演算14に
て平滑し,二次コイル5の出力変化に比例した値を算出
すれば,従来の方法で行われている整流6に相当する測
定結果15を求めることができる.図面3は1周期の間
に縦線の部分で二次コイル5より出力される信号のA/
D変換を行い,その変換値の算術平均を演算で求める例
である.この方法によると, 1)二次コイル5の出力信号をA/D変換器9で直接A
/D変換するため整流6,位相検波7,フィルター8の
回路で生じる誤差がなく,測定精度が向上する. 2)図面3で示したタイミング図のように,一次コイル
4に加えられる電圧変化の単位周期内に行うA/D変換
の回数を多くすれば,演算14により測定精度が向上す
る.一方,二次コイル5の出力はマイクロプロセッサ1
2で制御可能な一次コイル4に加える電圧の変化より一
定時間遅延して変化するから,何回かマイクロプロセッ
サ12でタイミングを制御しつつA/D変換を行って得
たデジタル値を,図面4で示すように,マイクロプロセ
ッサ12を用いて一次コイル4の変化の位相に対応さ
せ,個別に平滑を行って演算14で結果を求めれば,従
来の位相検波7に相当する測定結果15を求めることが
できる. 図面4は一次コイル4に加えられる電圧変化
の1周期の0から t1 の時刻までに行ったA/D変
換値の算術平均Aと,その後 t2 までに行ったA/
D変換値の算術平均Bから,シグナルの平均値C=(A
+B)/2を求め,C−A,C−BをA/D変換器9に
加える制御信号13のタイミングよりそれぞれの位相に
対応させ,両者の差をとることで負号も含めて二次コイ
ル5より出力される信号の大きさを求める例である.こ
の方法の場合も二次コイル5より出力される信号を直接
A/D変換するため,上述したと同様の理由で測定精度
が向上する.本発明で示した方法によるとマイクロプロ
セッサ12とD/A変換器11で一次コイル4に加える
サイン波2を制御できるから,電子回路1の特性に適し
た波形を一次コイル4に加えられるし,二次コイル5の
出力信号の振幅が大きいときに合わせて,二次コイル5
の出力をA/D変換器9でデジタル化するようマイクロ
プロセッサ12で時間を選定できるし,一次コイル4に
加えられる電圧の変化する周期内に行うA/D変換の回
数を多くさえすれば,フィルター8等を介さず演算14
にて精度のよい測定結果15が得られる効果がある.一
方,図面5で示すようにD/A変換器11を介さずマイ
クロプロセッサ12でトランジスター等を制御し,短い
時間のみ一次コイル4に電圧をパルス的に加えて,二次
コイル5の出力をA/D変換してもA/D変換器9やマ
イクロプロセッサ12等の装置を構成する部分は応答速
度が速いため,演算14により図面3で説明したと同じ
ように測定結果15が得られる.この例のように回路を
間欠的に動作するようマイクロプロセッサ12にて制御
すれば,より消費電流の少ない測定装置が作成できる.
図面5の例では,実線で仮想した信号の出力レベルを示
し,一次コイル4にパルス的に電圧を加える時刻を黒い
縦線で,二次コイル5の出力をA/D変換する時刻を白
い縦線で示した.なお,センサーの出力が複数であって
もマルチプレクサーを用いて信号を順次A/D変換すれ
ば上記の図面2から図面5で説明したと同様に複数のセ
ンサーで平行して変位検出ができるし,二次コイル5の
出力を増幅すれば高感度の検出装置を作成できる.ま
た,本発明によるとA/D変換の結果を演算で変位量に
換算できるため,センサーから信号として出力される二
次電圧が必ずしも変位量と比例していなくてもよく,従
来の方法よりセンサーのダイナミックレンジを広くとれ
るし,差動変圧器だけでなく一次電圧の供給により変位
量に対応した二次電圧が出力されるセンサーであれば,
変位検出に使用できる効果がある.
図
……… 差動変圧器 4 ……… 一次コイル, 5 ……… 二次コイル,
6 ……… 整流 7 ……… 位相検波, 8 ……… フィルター 9 ……… A/D変換器 10 ……… 変位量 11 ……… D/A変換器, 12 ……… マイク
ロプロセッサ,13 ……… 制御信号, 14 ……
… 演算, 15 ……… 測定結果
Claims (1)
- 【請求項1】 一次電圧の供給により変位量に対応した
二次電圧が出力されるセンサを使用する変位検出装置に
おいて,マイクロプロセッサによりD/A変換器でセン
サーに加えるサイン波である一次電圧の制御を行い,一
次電圧の変化と同期して出力される二次電圧のA/D変
換を行い,A/D変換の結果得られたデジタル値の演算
より変位量を求め,低消費電流で動作することを特徴と
する変位検出装置.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05967495A JP3211020B2 (ja) | 1995-02-10 | 1995-02-10 | 変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP05967495A JP3211020B2 (ja) | 1995-02-10 | 1995-02-10 | 変位検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH08219704A JPH08219704A (ja) | 1996-08-30 |
JP3211020B2 true JP3211020B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=13119985
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05967495A Expired - Fee Related JP3211020B2 (ja) | 1995-02-10 | 1995-02-10 | 変位検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3211020B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001133237A (ja) * | 1999-11-01 | 2001-05-18 | Techno Togo:Kk | フィードバック式変位測定装置 |
US6753686B2 (en) * | 2001-05-21 | 2004-06-22 | Mitutoyo Corporation | Method and apparatus for detecting failure of differential transformer, and method and apparatus for signal processing of differential transformer |
JP2005527817A (ja) * | 2002-05-24 | 2005-09-15 | アサイラム リサーチ コーポレーション | デジタル電子機器を持つ線形可変差動変圧器 |
-
1995
- 1995-02-10 JP JP05967495A patent/JP3211020B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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