JP3210967B2 - 静電マイクロアクチュエータの駆動方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、静電マイクロアク
チュエータの駆動方法に関し、さらに詳しくは、ＭＯ駆
動装置やＤＶＤ駆動装置などにおける各種光ピックアッ
プのマイクロレンズ駆動用アクチュエータ、マイクロス
テージ、及びマイクロ除振台などの各種マイクロ機構用
のアクチュエータにおいて好適に使用することのでき
る、静電マイクロアクチュエータの駆動方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】マイクロマシン技術の発達にともない、
高性能なマイクロアクチュエータの要求が高まってい
る。特に、上記ＭＯ駆動装置などにおいては極めて小型
で制御性に優れる、高性能な静電アクチュエータが求め
られている。かかる観点から、近年、これらの分野にお
いて静電マイクロアクチュエータの需要が高まってい
る。静電マイクロアクチュエータとしては、回転型、櫛
歯型、及び片持ち梁型など多くの種類が存在する。しか
しながら、上記のような分野においては、光ピックアッ
プなどを面内から面外、すなわち、ある一定の面から垂
直方向へ駆動させる必要があることから、主に片持ち梁
型及び両持ち梁型の静電マイクロアクチュエータが用い
られてきた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、片持ち
梁型の静電マイクロアクチュエータは、駆動力の発生点
が垂直方向への駆動途中において駆動方向の軸より大き
くずれてしまうという問題があった。また、両持ち梁型
の静電アクチュエータは両端が固定されているため、梁
の長さに比してその厚さ方向のストロークが小さい。し
たがって、駆動すべき物体に対して理論上必要とされる
大きさよりも大型の静電マイクロアクチュエータを使用
する必要があった。これは上記ＭＯ駆動装置などの大型
化の要因にもなっていた。

【０００４】また、このような静電マイクロアクチュエ
ータはオン／オフ的な動作によって駆動されるため、多
段階の駆動を行うことが困難であった。このため、多段
階に駆動されることが要求される微小ステージなどの位
置決めやマイクロレンズの焦点合わせなどの微小光学の
分野においては、上記のような静電マイクロアクチュエ
ータを使用することができないでいた。

【０００５】本発明は、垂直方向への大きな駆動が可能
であるとともに駆動力の発生点が駆動中において変化し
ない、新たな静電マイクロアクチュエータの駆動方法を
提供することを目的とする。また、本発明は、垂直方向
への大きな駆動が可能であるとともに駆動力の発生点が
駆動中において変化せず、多段階に駆動することが可能
な新たな静電マイクロアクチュエータの駆動方法を提供
することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の静電マイクロア
クチュエータの駆動方法においては、基板と、基板電極
絶縁層と、基板電極と、駆動電極絶縁層と、過冷却液体
域を有する非晶質合金からなる螺旋状の駆動電極とがこ
の順に積層されてなる静電マイクロアクチュエータを使
用する。そして、前記基板電極と前記駆動電極との間に
所定の電圧を印加することにより、前記駆動電極を前記
基板電極に吸着させて平面形状とする。さらに、前記基
板電極と前記駆動電極との間に印加された前記所定の電
圧を除去することにより、前記駆動電極を前記基板電極
から開放させて立体形状とし、前記静電マイクロアクチ
ュエータを駆動するようにしたことを特徴とする。

【０００７】本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意
検討を重ねた。その結果、静電マイクロアクチュエータ
を、基板上に基板電極と過冷却液体域を有する非晶質合
金からなる螺旋状の駆動電極とがこの順に形成された構
成とする。そして、これらの電極間に所定の電圧を印加
して所定の電場を発生させると、前記駆動電極が前記基
板電極面に吸着されて平面形状となる。また、前記駆動
電極と前記基板電極との間の前記所定の電圧を除去する
と、前記駆動電極が前記基板電極から開放されて元の立
体形状を呈するようになる。すなわち、前記駆動電極及
び前記基板電極間に対する電圧の有無によって、前記駆
動電極を平面形状と立体形状との間で大きく駆動させる
ことができ、基板面に対して垂直方向に大きく駆動でき
ることを見出した。前記駆動電極の螺旋中心部分に駆動
すべき物体を取り付けた場合においても、かかる物体へ
の駆動力が常に一定となり駆動力の発生点が変化するこ
とはない。このため、静電マイクロアクチュエータの大
きさを小さくすることができ、その結果、上記ＭＯ駆動
装置などの小型化を可能とすることができる。

【０００８】また、本発明の静電マイクロアクチュエー
タの駆動方法は、上記基板電極が複数に分割された静電
マイクロアクチュエータを使用する。そして、この複数
に分割された基板電極のそれぞれに段階的に電圧を印加
することにより前記駆動電極を前記基板電極に段階的に
吸着させる。さらに、前記複数に分割された基板電極の
それぞれから前記印加した電圧を段階的に除去すること
により前記駆動電極を前記基板電極から段階的に開放さ
せて、前記静電マイクロアクチュエータを多段階に駆動
するようにしたことを特徴とする。

【０００９】本発明者らは、上述したような構成の静電
マイクロアクチュエータにおいて、前記基板電極を複数
に分割し、この複数に分割した基板電極のそれぞれに段
階的に電圧を印加あるいは除去することによって、前記
螺旋電極が前記分割された基板電極に対し部分的に吸着
されたり、開放されたりすることを見出した。また、こ
のような吸着や開放は基板電極、すなわち基板面に対し
て垂直方向に出現することをも見出した。したがって、
本発明により駆動力の発生点を変化させることなく、多
段階の駆動が可能な静電マイクロアクチュエータを提供
することができる。このため、上述したような微小ステ
ージなどの位置決めやマイクロレンズの焦点合わせなど
の微小光学などにも静電マイクロアクチュエータを使用
することができる。なお、本発明における「過冷却液体
域」とは、ガラス転移温度（Ｔｇ）から結晶化開始温度
（Ｔｘ）までの温度領域（ΔＴｘ）をいう。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明を発明の実施の形態
に則して詳細に説明する。図１及び２は、本発明の静電
マイクロアクチュエータの駆動方法の一例を説明するた
めの斜視図である。図１は駆動電極が上昇位置にある場
合を示し、図２は駆動電極が下降位置にある場合を示し
ている。

【００１１】図１及び２に示す静電マイクロアクチュエ
ータ２０は、基板１と、基板電極絶縁層２と、基板電極
３と、駆動電極絶縁層５と、螺旋状の駆動電極８とを具
えている。そして、これらの電極などはこの順に積層さ
れている。基板電極絶縁層２及び駆動電極絶縁層５は、
それぞれ基板１と基板電極３、及び基板電極３と駆動電
極８とを分離絶縁しており、これら電極間に電圧が印加
できるように構成されている。

【００１２】基板電極３には基板電極パッド部４が形成
されており、駆動電極８には駆動電極パッド部７が形成
されている。これらのパッド部は、それぞれ基板電極３
及び駆動電極８における端子としての役割を果たし、ス
イッチ１１を介して外部電源１０に接続されている。ス
イッチ１１は端子１２及び１３の間で切り替えを行うこ
とにより、前記パッド部を通じて基板電極３及び駆動電
極８間に電圧を印加できるようになっている。

【００１３】図１に示すように、スイッチ１１内で端子
１３側が接続されている場合においては、基板電極パッ
ド部４及び駆動電極パッド部７間に電圧が印加されてい
ないため、基板電極３と駆動電極８との間に電場は発生
しない。したがって、駆動電極８が基板電極３に吸着さ
れることはない。このため、駆動電極８は外周部から中
心部にかけて上昇し円錐状の螺旋形状を呈して存在す
る。

【００１４】一方、図２に示すように、スイッチ１１内
で端子１２側に接続されている場合においては、基板電
極パッド部４及び駆動電極パッド部７間に外部電源１０
から所定の電圧Ｖ１が印加されるため、基板電極３と駆
動電極８との間に電場が発生して駆動電極８が基板電極
３に吸着される。このため、駆動電極８は渦巻き状を呈
して存在する。

【００１５】前記電場は基板電極３の主面３Ａに垂直な
方向において駆動電極８に直接作用する。したがって、
駆動電極８は基板電極３の主面３Ａ、すなわち基板１の
主面１Ａに対して垂直に引き付けられ、図２に示すよう
な状態で吸着する。また、前記電場が除去された場合に
おいては前記吸着と逆の過程を辿り、基板電極３の主面
３Ａ、すなわち基板１の主面１Ａと垂直に開放される。
このため、駆動電極８の８Ａ部分に駆動すべき物体を取
り付けることによって、この物体は常に基板１の主面１
Ａに対して垂直な方向に駆動力を受け、螺旋中心軸Ａ−
Ａ線に沿って上下動する。したがって、静電マイクロア
クチュエータの駆動中において駆動力の発生点が変化す
ることがない。また、上下方向において大きなストロー
クを有するようになる。

【００１６】図３〜６は、本発明の静電マイクロアクチ
ュエータの駆動方法の他の例を説明するための斜視図で
ある。図３〜６に示す静電マイクロアクチュエータ４０
は、基板２１と、基板電極絶縁層２２と、分割されてな
る基板電極２３−１〜２３−４と、駆動電極絶縁層２５
と、螺旋状の駆動電極２８とを具えている。そして、こ
れらはこの順に積層されてなり、基板電極絶縁層２２及
び駆動電極絶縁層２５によって、基板２１と基板電極２
３−１〜２３−４、及び基板電極２３−１〜２３−４と
駆動電極２８とを分離絶縁し、これら電極間に電圧が印
加できるように構成されている。

【００１７】基板電極２３−１〜２３−４のそれぞれに
は基板電極パッド部２４−１〜２４−４が形成されてお
り、駆動電極２８には駆動電極パッド部２７が形成され
ている。これらのパッド部は、それぞれ基板電極２３−
１〜２３−４及び駆動電極２８における端子としての役
割を果たし、切替器３１を介して外部電源３０に接続さ
れている。切替器３１は、端子３２及び３３と端子３４
〜３７との間で切替を行うことにより、前記パッド部を
通じて基板電極２３−１〜２３−４のそれぞれと駆動電
極２８との間に電圧を印加できるようになっている。

【００１８】図３に示すように、切替器３１の端子３２
及び３３と端子３４〜３７とがいずれも接続されていな
い場合においては、基板電極パッド部２４−１〜２４−
４と基板電極パッド部２７との間に電圧は印加されな
い。したがって、基板電極２３−１〜２３−４と駆動電
極２８との間には電場が発生せず、駆動電極２８が基板
電極に引き付けられることはない。このため、駆動電極
２８は外周部から中心部にかけて上昇し円錐状の螺旋形
状を呈して存在する。

【００１９】次に、図４に示すように切替器３１の端子
３２と端子３４及び３７とが接続され、切替器３１の端
子３３と端子３５及び３６とが接続されると、第１及び
第２の基板電極パッド部２４−１及び２４−２と駆動電
極パッド部２７との間に外部電源３０から電圧Ｖ２電圧
が印加される。すると、第１及び第２の基板電極２３−
１及び２３−２と駆動電極２８の第１及び第２の基板電
極２３−１及び２３−２に位置する部分との間に電場が
発生する。この電場の強さは距離の２乗に反比例するた
め、前記電場は第１及び第２の基板電極２３−１及び２
３−２に位置する駆動電極２８の内、第１及び第２の基
板電極２３−１及び２３−２に最も近い駆動電極部分２
８−１及び２８−２のみに作用する。したがって、図４
に示すように、この部分のみが第１及び第２の基板電極
２３−１及び２３−２に吸着する。

【００２０】次に、図５に示すように切替器３１の端子
３２と端子３４及び３５とが接続され、端子３３と端子
３６及び３７とが接続されると、第２及び第３の基板電
極パッド部２４−２及び２４−３と駆動電極パッド部２
７との間に電圧が印加される。すると、第２及び第３の
基板電極２３−２及び２３−３と、駆動電極２８のこれ
らの基板電極部分に位置する部分との間に電場が発生す
る。前記同様に、電場の大きさは距離の２乗に反比例す
るため、このような駆動電極の内、第２及び第３の基板
電極２３−２及び２３−３に最も近い部分２８−２及び
２８−３のみがこれらの基板電極に吸着する。

【００２１】なお、図５においては、切替器３１におけ
る端子３２と端子３７との接続が切られているため、第
１の基板電極２３−１と駆動電極部分２８−１との間に
生じていた電場は消滅している。しかしながら、駆動電
極部分２８−２及び２８−３が第２及び第３の基板電極
２３−２及び２３−３と静電的に吸着しているため、駆
動電極部分２８−１は第１の基板電極２３−１に接触し
た状態を維持する。

【００２２】次に、図６に示すように、切替器３１の端
子３２と端子３５及び３６とを接続し、端子３３と端子
３４及び３７とを接続すると、第３及び第４の基板電極
パッド部２４−３及び２４−４と駆動電極パッド部２７
との間に外部電源３０から電圧Ｖ２が印加される。する
と、前記のようにして、第３及び第４の基板電極２３−
３及び２３−４に位置する駆動電極部分２８−３及び２
８−４のみがこれらの基板電極に吸着される。なお、前
記同様の理由から駆動電極部分２８−１及び２８−２は
それぞれ第１及び第２の基板電極２３−１及び２３−２
に接触して存在する。

【００２３】以降、切替器３１内の端子の接続を切替る
ことによって、再度第１及び第２のの基板電極２３−１
及び２３−２と駆動電極２８のかかる基板電極部分に位
置する部分との間に電場を発生させ、駆動電極部分２８
−５及び２８−６などを第１及び第２の基板電極２３−
１及び２３−２などに吸着させることができる。したが
って、静電マイクロアクチュエータを極めて多段階に駆
動させることができる。

【００２４】また、駆動電極部分の基板電極との吸着を
開放させる場合には、上述した操作と逆の操作を行い、
上述した過程と逆の過程を辿ることによって行うことが
できる。

【００２５】駆動電極部分の基板電極への吸着及び開放
は、これらの間に発生した電場によって行われるため、
基板電極面すなわち基板２１の主面２１Ａに対して垂直
に行われる。したがって、図１及び２の場合と同様の理
由から、駆動すべき物体を駆動電極２８の中心部分２８
Ａに取り付けることによって、前記物体は基板２１の主
面２１Ａに垂直な螺旋中心軸Ｂ−Ｂ線に沿って駆動す
る。したがって、静電マイクロアクチュエータの駆動中
に駆動力の発生点が変化することもない。また、上下方
向のストロークも大きくなる。

【００２６】図７は、上記のような駆動電極の吸着過程
における、基板電極２３−１〜２３−４に対する電圧印
加のプロファイルを示す図である。図７から明らかなよ
うに、図３〜６に示す過程においては、隣接する基板電
極同士を組とし、この組を構成する基板電極に同じ電圧
を印加している。そして、このような電圧印加が隣接す
る基板電極間で連続するようにしている。すなわち、最
初に、隣接する第１の基板電極及び第２の基板電極を組
とし、これらの基板電極に電圧Ｖ２を印加する。次い
で、隣接する第２の基板電極及び第３の基板電極を組と
し、これらの基板電極に電圧Ｖ２を印加する。次いで、
隣接する第３に基板電極と第４の基板電極とを組とし
て、これら基板電極に電圧Ｖ２を印加するというように
している。

【００２７】分割した基板電極と駆動電極との間の電圧
印加を、図７に示すようにプロファイルにしたがって行
うことにより、駆動電極の駆動方向が基板の主面に対し
てより垂直な方向に近付く。このため、静電マイクロア
クチュエータを駆動させた場合における駆動力の発生点
の変化をより小さくすることができる。

【００２８】図３〜６に示すように多段階の駆動を行う
に当たっては、基板電極の分割数は、駆動電極の重複数
の３倍以上であることが好ましく、さらには３〜６０倍
であることが好ましい。特に２重または３重の螺旋構造
を持った駆動電極を用い、その重複数の３倍以上の数に
分割された基板電極を用いる。そして、駆動電極のそれ
ぞれの基部付近の基板電極から順次、電圧を印加するこ
とによって、多段階に駆動させる際の駆動方向と駆動す
べき物体を取り付ける部分の駆動方向とがより精密に一
致するため、駆動力の発生点をより一定に保つことがで
きる。さらには、多重ばねにすることで、ばねとしての
反発力を増すことができるため、アクチュエータとして
の出力が増加するという効果を得ることもできる。

【００２９】本発明の静電マイクロアクチュエータの駆
動電極は過冷却液体域を有する非晶質合金からなること
が必要である。このような非晶質合金から駆動電極を構
成し、この駆動電極を過冷却液体にまで加熱することに
より、図１〜６に示すように上下方向に大きく駆動する
ことができる螺旋状の駆動電極を形成することができ
る。このような非晶質材料としてはＺｒ−Ｃｕ−Ａｌ、
Ｐｄ−Ｃｕ−Ｓｉ、Ｐｄ−Ｎｉ−Ｐ及びＡｕ−Ｓｉを例
示することができる。

【００３０】また、基板を構成する半導体材料について
も、シリコンやガリウムなどの半導体材料、パイレック
スや酸化シリコンなどのガラス材料、ポリイミドやベー
クライトなどの高分子材料、及び銅、アルミニウムなど
の金属材料を使用することができる。同様に基板電極に
ついてもクロム、ニッケル、及びアルミニウムなど、公
知の導電性材料から構成することができる。基板電極絶
縁層及び駆動電極絶縁層についても酸化シリコン、窒化
シリコン、及びポリイミドなど、公知の絶縁材料から構
成することができる。なお、基板材料がガラス材料、高
分子材料など絶縁物質である場合は、基板電極は必ずし
も必要ではない。

【００３１】以上、具体例を挙げながら、本発明の発明
の実施に形態に則して説明してきたが、本発明は上記内
容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しな
い限りにおいて、あらゆる変形や変更可能である。

【００３２】

【発明の効果】本発明の静電マイクロアクチュエータの
駆動方法によれば、駆動電極を基板面に対して垂直な方
向に駆動させることができ、駆動電極と駆動すべき物体
の駆動方向を一致させることができる。したがって、静
電マイクロアクチュエータの駆動中において駆動力の発
生点が変化することがない。このため、静電マイクロア
クチュエータの大きさ自体を小さくすることができ、こ
の静電マイクロアクチュエータを搭載するＭＯ駆動装置
などの小型化が可能となる。さらに、基板電極を複数に
分割することにより多段階の駆動を可能としているの
で、微小ステージなどの位置決めや、マイクロレンズの
焦点合わせなどの微小光学の分野などへの応用も可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の静電マイクロアクチュエータの駆動
方法の一例を説明するための斜視図である。

【図２】 同じく、本発明の静電マイクロアクチュエー
タの駆動方法の一例を説明するための斜視図である。

【図３】 本発明の静電マイクロアクチュエータの駆動
方法の他の例を説明するための斜視図である。

【図４】 同じく、本発明の静電マイクロアクチュエー
タの駆動方法の他の例を説明するための斜視図である。

【図５】 同じく、本発明の静電マイクロアクチュエー
タの駆動方法の他の例を説明するための斜視図である。

【図６】 同じく、本発明の静電マイクロアクチュエー
タの駆動方法の他の例を説明するための斜視図である。

【図７】 本発明の静電マイクロアクチュエータの駆動
方法における、電圧印加プロファイルを示す図である。

【符号の説明】

１、２１ 基板 ２、２２ 基板電極絶縁層 ３ 基板電極 ４ 基板電極パッド部 ５、２５ 駆動電極絶縁層 ７、２７ 駆動電極パッド部 ８、２８ 駆動電極 ８Ａ、２８Ａ 駆動すべき物体の取り付け位置 １０、３０ 外部電源 １１ スイッチ １２、１３、３２、３３、３４、３５、３６、３７ 端
子 ２０、４０ 静電マイクロアクチュエータ ２３−１ 第１の基板電極 ２３−２ 第２の基板電極 ２３−３ 第３の基板電極 ２３−４ 第４の基板電極 ２４−１ 第１の基板電極パッド部 ２４−２ 第２の基板電極パッド部 ２４−３ 第３の基板電極パッド部 ２４−４ 第４の基板電極パッド部 ２８−１、２８−５ 第１の基板電極に位置する駆動電
極部分 ２８−２、２８−６ 第２の基板電極に位置する駆動電
極部分 ２８−３ 第３の基板電極に位置する駆動電極部分 ２８−４ 第４の基板電極に位置する駆動電極部分 ３１ 切替器 Ａ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線 駆動電極の螺旋中心軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−339284（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−318012（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−240033（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−126833（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−237906（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−129875（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B81B 3/00 B66F 1/00 B81C 1/00

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 静電マイクロアクチュエータの駆動方法
   であって、前記静電マイクロアクチュエータは、基板
   と、基板電極絶縁層と、基板電極と、駆動電極絶縁層
   と、過冷却液体域を有する非晶質合金からなる螺旋状の
   駆動電極とがこの順に積層されてなり、前記基板電極と
   前記駆動電極との間に所定の電圧を印加することにより
   前記駆動電極を前記基板電極に吸着させて平面形状と
   し、前記基板電極と前記駆動電極との間の前記印加した
   所定の電圧を除去することにより前記駆動電極を前記基
   板電極から開放させて立体形状とし、前記静電マイクロ
   アクチュエータを駆動するようにしたことを特徴とす
   る、静電マイクロアクチュエータの駆動方法。
2. 【請求項２】 前記基板電極は複数に分割されてなり、
   この複数に分割された基板電極のそれぞれに段階的に電
   圧を印加することによって前記駆動電極を前記基板電極
   に段階的に吸着させ、前記複数に分割された基板電極の
   それぞれから前記印加した電圧を段階的に除去すること
   によって前記駆動電極を前記基板電極から段階的に開放
   させて、前記静電マイクロアクチュエータを多段階に駆
   動するようにしたことを特徴とする、請求項１に記載の
   静電マイクロアクチュエータの駆動方法。
3. 【請求項３】 前記複数に分割された基板電極への段階
   的な電圧印加は、前記複数の分割された基板電極のそれ
   ぞれに対して段階的に行うとともに、互いに隣接する前
   記分割された基板電極間において連続するようにして行
   うことを特徴とする、請求項２に記載の静電マイクロア
   クチュエータの駆動方法。
4. 【請求項４】 前記複数に分割された基板電極への段階
   的な電圧印加は、互いに隣接する前記分割された基板電
   極同士を組として、前記分割された基板電極からなる前
   記組に対して段階的に行うとともに、互いに隣接する前
   記分割された基板電極間において連続するようにして行
   うことを特徴とする、請求項３に記載の静電マイクロア
   クチュエータの駆動方法。
5. 【請求項５】 前記複数に分割された基板電極からの段
   階的な電圧除去は、前記複数の分割された基板電極のそ
   れぞれに対して段階的に行うとともに、互いに隣接する
   前記分割された基板電極間において連続するようにして
   行うことを特徴とする、請求項２〜４のいずれか一に記
   載の静電マイクロアクチュエータの駆動方法。
6. 【請求項６】 前記複数に分割された基板電極からの段
   階的な電圧除去は、互いに隣接する前記分割された基板
   電極同士を組として、前記分割された基板電極からなる
   前記組に対して段階的に行うとともに、互いに隣接する
   前記分割された基板電極間において連続するようにして
   行うことを特徴とする、請求項５に記載の静電マイクロ
   アクチュエータの駆動方法。
7. 【請求項７】 前記基板電極の分割数は、前記駆動電極
   の重複数の３倍以上であることを特徴とする、請求項２
   〜６のいずれか一に記載の静電マイクロアクチュエータ
   の駆動方法。
8. 【請求項８】 前記基板電極の分割数は、前記駆動電極
   の重複数の３〜６０倍であることを特徴とする、請求項
   ７に記載の静電マイクロアクチュエータの駆動方法。
9. 【請求項９】 前記非晶質合金は、Ｚｒ−Ｃｕ−Ａｌ、
   Ｐｄ−Ｃｕ−Ｓｉ、Ｐｄ−Ｎｉ−Ｐ及びＡｕ−Ｓｉから
   選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする、請求
   項１〜８のいずれか一に記載の静電マイクロアクチュエ
   ータの駆動方法。