JP3209290B2 - Thin film magnetic head and magnetic disk drive - Google Patents

Thin film magnetic head and magnetic disk drive

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JP3209290B2
JP3209290B2 JP30641992A JP30641992A JP3209290B2 JP 3209290 B2 JP3209290 B2 JP 3209290B2 JP 30641992 A JP30641992 A JP 30641992A JP 30641992 A JP30641992 A JP 30641992A JP 3209290 B2 JP3209290 B2 JP 3209290B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド及び磁
気ディスク装置に関し、更に詳しくは、磁気抵抗効果素
子(以下MR素子と称する)を読み出し素子とし、誘導
型磁気変換素子を書き込み素子として用いた薄膜磁気ヘ
ッドの改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin film magnetic head and a magnetic disk drive, and more particularly, to a magnetoresistive element (hereinafter referred to as an MR element) as a read element and an inductive magnetic transducer as a write element. The improvement of thin-film magnetic heads.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、薄膜磁気ヘッドとしては、誘導型
薄膜磁気変換素子を読み書き素子として使用したものが
最もよく知られている。誘導型薄膜磁気変換素子を用い
た薄膜磁気ヘッドにおいて、高い読み出し出力を得るに
は、磁気ディスクと磁気ヘッドとの間の相対速度を上げ
るか、または、コイルのターン数を増大させる必要があ
る。しかし、磁気ディスクが小型化される傾向にあるた
め、相対速度の高速化による読み出し出力の増大は実情
に合わない。また、コイルのターン数増大による読み出
し出力は、コイルのインダクタンス及び直流抵抗値の増
大を招き、高周波特性を悪化させ、高速読み出しに適応
できなくなる。かかる問題点を解決する手段として、読
み出し素子をMR素子によって構成し、誘導型薄膜磁気
変換素子は書込み専用として用いるようにした技術が提
案されている。公知技術文献としては、例えば特公昭5
9−35088号公報、特公昭64ー1846号公報等
がある。
2. Description of the Related Art Hitherto, a thin film magnetic head using an inductive thin film magnetic transducer as a read / write element has been most well known. In a thin-film magnetic head using an inductive thin-film magnetic transducer, to obtain a high read output, it is necessary to increase the relative speed between the magnetic disk and the magnetic head or to increase the number of turns of the coil. However, since magnetic disks tend to be miniaturized, an increase in read output due to an increase in relative speed does not match the actual situation. Further, the read output due to the increase in the number of turns of the coil causes an increase in the inductance and DC resistance of the coil, deteriorating the high-frequency characteristics, and making it impossible to adapt to high-speed reading. As means for solving such a problem, there has been proposed a technique in which a read element is constituted by an MR element and an inductive thin film magnetic transducer is used only for writing. Known technical documents include, for example,
JP-A-9-35088 and JP-B 64-1846.

【0003】これらの公知文献に示された薄膜磁気ヘッ
ドは、読み出し素子の上に分離膜を介して書き込み素子
を積層した構造となっている。読み出し素子は、磁気シ
ールド膜と、MR素子を含み、MR素子が磁気シールド
膜間の電気絶縁層中に配置されている。分離膜は、主
に、書き込み磁場によって読み出し素子側で生じるバル
クハウゼン.ノイズを防止する目的で設けられている。
MR素子を用いた薄膜磁気ヘッドにおけるバルクハウゼ
ン.ノイズは、MR素子における磁区の磁化方向が書き
込み磁場の方向に配向することによって生じるものであ
る。バルクハウゼン.ノイズを抑制する手段として、従
来は分離膜を厚くすることによって対応している。
[0003] The thin film magnetic heads disclosed in these known documents have a structure in which a write element is stacked on a read element via an isolation film. The read element includes a magnetic shield film and an MR element, and the MR element is disposed in the electrical insulating layer between the magnetic shield films. The separation film is mainly composed of a Barkhausen. It is provided for the purpose of preventing noise.
Barkhausen in a thin film magnetic head using an MR element. The noise is generated when the magnetization direction of the magnetic domain in the MR element is oriented in the direction of the write magnetic field. Barkhausen. Conventionally, as means for suppressing noise, a thicker separation film has been used.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述のように、バルク
ハウゼン.ノイズを抑制する手段として、従来は分離膜
の厚み選定によって対応していたため、MR素子と書き
込み素子との間に生じる間隔を、バルクハウゼン.ノイ
ズ抑制に必要な値以下には小さくできない。
As described above, Barkhausen. Conventionally, as means for suppressing noise, the distance between the MR element and the writing element is reduced by the thickness of the separation film. It cannot be reduced below the value required for noise suppression.

【0005】しかも、通常、この種の薄膜磁気ヘッド
は、書き込み素子と読み出し素子との間に磁気シールド
膜を有するので、MR素子と書き込み素子との間の間隔
が、磁気シールド膜の厚みによっても左右される。磁気
シールド膜の厚みを決定する重要な要因の一つに、磁気
シールド膜の飽和磁束密度Bsがあり、磁気シールド膜
は飽和磁束密度Bsによって定まる厚み以下には薄くす
ることができない。具体的には、従来の磁気シールド膜
は、飽和磁束密度Bsが8(kGauss)程度のパー
マロイ膜によって構成されており、外部磁場、特に他の
磁化反転遷移領域から生じる磁場による磁気飽和を回避
するために、2μm以上の膜厚が必要である。
In addition, since this type of thin-film magnetic head usually has a magnetic shield film between a write element and a read element, the distance between the MR element and the write element depends on the thickness of the magnetic shield film. It depends. One of the important factors that determine the thickness of the magnetic shield film is the saturation magnetic flux density Bs of the magnetic shield film, and the magnetic shield film cannot be made thinner than the thickness determined by the saturation magnetic flux density Bs. Specifically, the conventional magnetic shield film is made of a permalloy film having a saturation magnetic flux density Bs of about 8 (kGauss), and avoids magnetic saturation due to an external magnetic field, particularly a magnetic field generated from another magnetization reversal transition region. Therefore, a film thickness of 2 μm or more is required.

【0006】従来の薄膜磁気ヘッドでは、MR素子と書
き込み素子との間に生じる間隔は9μm程度であり、そ
れよりも縮小することが困難である。このため、特に、
ロータリ・アクチュエータ式位置決め装置を用いた場
合、MR素子と書き込み素子との間で、トラック幅方向
の位置ずれを生じる。トラック幅方向の位置ずれによる
トラックズレを吸収する手段として、通常、記録トラッ
ク幅を再生トラック幅よりも広くとり、位置ズレを生じ
ても再生トラックが常に記録トラック内をトレースする
ようになっている。この結果、トラック.ロスが大きく
なり、磁気ディスク上での記録密度が低下する。従来の
の薄膜磁気ヘッドにおいて、トラック.ロス幅は3.2
μm以上になる。上述した公知文献には、このような問
題を解決する手段が開示されていない。
In the conventional thin-film magnetic head, the distance between the MR element and the writing element is about 9 μm, and it is difficult to reduce the distance. Because of this,
When the rotary actuator type positioning device is used, a positional shift in the track width direction occurs between the MR element and the writing element. As a means for absorbing a track shift due to a positional deviation in the track width direction, a recording track width is generally set to be wider than a reproduction track width, and the reproduction track always traces the recording track even if a position deviation occurs. . As a result, the track. The loss increases and the recording density on the magnetic disk decreases. In a conventional thin-film magnetic head, the track. The loss width is 3.2
μm or more. The above-mentioned known documents do not disclose means for solving such a problem.

【0007】そこで、本発明の課題は、トラック.ロス
を減少させ、高記録密度を達成し得る薄膜磁気ヘッド及
び磁気ディスク装置を提供することである。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a truck. An object of the present invention is to provide a thin-film magnetic head and a magnetic disk drive capable of reducing a loss and achieving a high recording density.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明は、スライダと、読み出し素子と、書き込
み素子と、分離膜とを含む薄膜磁気ヘッドであって、前
記読み出し素子は、MR素子を含み、前記スライダ上に
設けられており、前記書き込み素子は、前記読み出し素
子の上に積層して設けられており、前記分離膜は、前記
読み出し素子と前記書き込み素子との間に設けられ、反
磁性膜を含む。
According to the present invention, there is provided a thin-film magnetic head including a slider, a read element, a write element, and an isolation film. An element, provided on the slider, the write element is provided by being stacked on the read element, and the separation film is provided between the read element and the write element. And a diamagnetic film.

【0009】[0009]

【作用】読み出し素子は、MR素子を含んでいるから、
誘導型素子の場合と異なって、インダクタンスが小さ
く、高周波特性が悪化しない。
Since the readout element includes the MR element,
Unlike the case of the inductive element, the inductance is small and the high frequency characteristics are not deteriorated.

【0010】分離膜は、読み出し素子と書き込み素子と
の間に設けられ、反磁性膜を含むから、書き込み素子側
から読み出し素子側への書き込み磁場の通過が反磁性膜
によって阻止される。このため、分離膜の膜厚を薄く
し、書き込み素子と読み出し素子との間の間隔を縮小す
ることができる。反磁性は、磁場をかけたとき逆向きに
磁化される特性、すなわち、磁化率が負である特性とし
て知られており、磁化率が正である常磁性と対応する特
性である。ある物質に磁場をかけたときの磁化率をX、
反磁性項をXd、常磁性項をXpとすると、 X=Xd+Xp となる。本発明に係る反磁性膜はXp≒0を満たすよう
な反磁性材料によって構成される。反磁性材料の具体例
としては、BiもしくはSb系反磁性材料または超電導
材料、好ましくは高温超電導材料を挙げることができ
る。
Since the separation film is provided between the read element and the write element and includes a diamagnetic film, the passage of the write magnetic field from the write element to the read element is prevented by the diamagnetic film. Therefore, the thickness of the separation film can be reduced, and the distance between the writing element and the reading element can be reduced. Diamagnetism is a characteristic that is magnetized in the opposite direction when a magnetic field is applied, that is, a characteristic whose magnetic susceptibility is negative, and is a characteristic corresponding to paramagnetism whose magnetic susceptibility is positive. The magnetic susceptibility when a magnetic field is applied to a substance is X,
If the diamagnetic term is Xd and the paramagnetic term is Xp, then X = Xd + Xp. The diamagnetic film according to the present invention is made of a diamagnetic material satisfying XpX0. Specific examples of the diamagnetic material include a Bi or Sb diamagnetic material or a superconducting material, preferably a high-temperature superconducting material.

【0011】また、書き込み素子側から読み出し素子側
への書き込み磁場の通過が反磁性膜によって阻止される
ため、磁気シールド膜の膜厚を従来よりも著しく薄くで
きる。一般的な薄膜磁気ヘッドを例にとると、従来、2
μm以上必要であった磁気シールド膜の膜厚を、1μm
未満の範囲に設定できる。場合によっては、磁気シール
ド膜を省略し、より一層、間隔を縮小することも可能で
ある。
Further, since the passage of the write magnetic field from the write element side to the read element side is blocked by the diamagnetic film, the thickness of the magnetic shield film can be made significantly thinner than before. Taking a general thin film magnetic head as an example,
The thickness of the magnetic shield film, which was required to be
Can be set in the range of less than. In some cases, it is possible to omit the magnetic shield film and further reduce the interval.

【0012】この結果、書き込み素子とMR素子との間
の間隔が、例えば、例えば5μm以下に縮小され、ロー
タリ・アクチュエータ式位置決め装置によって駆動した
場合、スキュー角の大きくなる領域において、書き込み
素子とMR素子との間のトラック幅方向のずれが縮小
し、トラック.ロスが減少し、高密度記録が可能にな
る。また、スキュー角を大きくしてもトラック幅方向の
ずれが少なくて済むので、最大スキュー角を大きくでき
る。このため、最大スキュー角が大きくなる傾向にある
小型の磁気ディスク装置に対応し得るようになる。
As a result, the distance between the writing element and the MR element is reduced to, for example, 5 μm or less, and when driven by a rotary actuator type positioning device, the area between the writing element and the MR element increases in the skew angle. The deviation in the track width direction from the element is reduced, and the track. Loss is reduced, and high-density recording becomes possible. Further, even if the skew angle is increased, the deviation in the track width direction can be reduced, so that the maximum skew angle can be increased. Therefore, it is possible to cope with a small-sized magnetic disk device in which the maximum skew angle tends to be large.

【0013】[0013]

【実施例】図1は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの断面
図、図2は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの磁極配置を示
す拡大図である。1はスライダ、2は読み出し素子、3
は書き込み素子、4は分離膜、5は反磁性膜である。
1 is a sectional view of a thin-film magnetic head according to the present invention, and FIG. 2 is an enlarged view showing a magnetic pole arrangement of the thin-film magnetic head according to the present invention. 1 is a slider, 2 is a read element, 3
Is a write element, 4 is a separation film, and 5 is a diamagnetic film.

【0014】スライダ1はセラミック構造体でなる基体
部分10を有し、媒体対向面側が高度の平面度を有する
空気ベアリング面101となっている。aは媒体走行方
向を示す。
The slider 1 has a base portion 10 made of a ceramic structure, and an air bearing surface 101 having a high degree of flatness on the medium facing surface side. a indicates the medium running direction.

【0015】読み出し素子2は、MR素子20を含み、
スライダ1上に設けられている。書き込み素子3は、読
み出し素子2の上に積層して設けられている。分離膜4
は、読み出し素子2と書き込み素子3との間に設けら
れ、反磁性膜5を含んでいる。
The read element 2 includes an MR element 20,
It is provided on the slider 1. The writing element 3 is provided on the reading element 2 in a stacked manner. Separation membrane 4
Is provided between the read element 2 and the write element 3 and includes a diamagnetic film 5.

【0016】上述のように、読み出し素子2は、MR素
子20を含んでいるから、誘導型素子の場合と異なっ
て、インダクタンスが小さく、高周波特性が悪化しな
い。
As described above, since the read element 2 includes the MR element 20, unlike the inductive element, the read element 2 has a small inductance and the high-frequency characteristics do not deteriorate.

【0017】分離膜4は、読み出し素子2と書き込み素
子3との間に設けられ、反磁性膜5を含むから、書き込
み素子3側から読み出し素子2側への書き込み磁場の通
過が、反磁性膜5によって阻止される。このため、分離
膜4の膜厚を薄くし、書き込み素子3と読み出し素子2
との間の間隔d1(図2参照)を縮小することができ
る。間隔d1は従来の薄膜磁気ヘッドでは9μm程度が
標準であるが、本発明によれば5μm以下に設定するこ
とは容易である。
The separation film 4 is provided between the read element 2 and the write element 3 and includes the diamagnetic film 5, so that the passage of the write magnetic field from the write element 3 to the read element 2 is prevented by the diamagnetic film. Blocked by 5. For this reason, the thickness of the separation film 4 is reduced, and the write element 3 and the read element 2
Can be reduced (see FIG. 2). The standard distance d1 is about 9 μm in a conventional thin film magnetic head, but it is easy to set it to 5 μm or less according to the present invention.

【0018】この結果、書き込み素子3とMR素子20
との間の間隔d1が縮小され、ロータリ・アクチュエー
タ式位置決め装置によって駆動した場合、スキュー角の
大きくなる領域において、書き込み素子3とMR素子2
0との間のトラック幅方向のずれが縮小し、トラック.
ロスが減少し、高密度記録が可能になる。また、スキュ
ー角を大きくしてもトラック幅方向のずれが少なくて済
むので、最大スキュー角を大きくできる。このため、最
大スキュー角が大きくなる傾向にある小型の磁気ディス
ク装置に対応し得るようになる。
As a result, the write element 3 and the MR element 20
The distance d1 between the writing element 3 and the MR element 2 is reduced in a region where the skew angle is large when driven by a rotary actuator type positioning device.
0, the deviation in the track width direction is reduced.
Loss is reduced, and high-density recording becomes possible. Further, even if the skew angle is increased, the deviation in the track width direction can be reduced, so that the maximum skew angle can be increased. Therefore, it is possible to cope with a small-sized magnetic disk device in which the maximum skew angle tends to be large.

【0019】図示の読み出し素子2は、MR素子20の
ほかに、下部磁気シールド膜21と、上部磁気シールド
膜22とを含んでいる。
The illustrated read element 2 includes a lower magnetic shield film 21 and an upper magnetic shield film 22 in addition to the MR element 20.

【0020】MR素子20は、下部磁気シールド膜21
と上部磁気シールド膜22との間の電気絶縁膜11の内
部に埋設されている。MR素子20はNi−Fe、Ni
−Co等の磁性薄膜材料を用いた薄膜であり、図2に図
示するように、導体膜24ー25間に配置されている。
導体膜24、25は間隔を隔ててほぼ平行に横並びに配
置され、空気ベアリング面101側に位置する間隔がト
ラック幅を規定している。電気絶縁膜11はAl23
たはSiO2等によって構成されている。読み出し動作
において、導体膜24、25を通してMR素子20にセ
ンス電流を流すと共に、磁気ディスク(図示しない)の
磁場の変化を、MR素子20の電気抵抗値の変化として
検出する。MR素子20には、導体膜24、25を通し
てセンス電流を流す他、入力磁場に対して直線性のよい
検出信号を得るため、バイアス磁場が加えられる。バイ
アス磁場を発生する手段として、MR素子20に直接に
バイアス導体膜を成膜し、バイアス導体膜に流す電流に
よる発生磁場を利用してバイアスを加えるシャントバイ
アス方式、MR素子20からマグネティク・セパレーシ
ョン・レイヤー(MSL)によって分離されて配置され
たソフト・アジェースント・レイヤー(SAL)から発
生する磁場を利用するソフト・フィルム・バイアス方
法、MR素子20に近接して薄膜永久磁石を配置し、薄
膜永久磁石の発生磁場を利用するマグネットバイアス方
式等が知られている。そして、磁気ディスクの磁場の変
化を、MR素子20の電気抵抗値の変化として検出す
る。
The MR element 20 includes a lower magnetic shield film 21
And the upper magnetic shield film 22 is buried in the electric insulating film 11. The MR element 20 is made of Ni-Fe, Ni
This is a thin film using a magnetic thin film material such as -Co, and is arranged between the conductor films 24 and 25 as shown in FIG.
The conductor films 24 and 25 are arranged side by side substantially in parallel with a space therebetween, and the space located on the air bearing surface 101 side defines the track width. The electric insulating film 11 is made of Al 2 O 3 or SiO 2 or the like. In the read operation, a sense current is supplied to the MR element 20 through the conductor films 24 and 25, and a change in a magnetic field of a magnetic disk (not shown) is detected as a change in the electric resistance value of the MR element 20. A bias magnetic field is applied to the MR element 20 in order to flow a sense current through the conductor films 24 and 25 and to obtain a detection signal having good linearity with respect to an input magnetic field. As means for generating a bias magnetic field, a bias conductor film is formed directly on the MR element 20 and a bias is applied using a magnetic field generated by a current flowing through the bias conductor film, and a magnetic separation from the MR element 20 is performed. A soft film biasing method utilizing a magnetic field generated from a soft adjective layer (SAL) separated and arranged by a layer (MSL), wherein a thin film permanent magnet is disposed close to the MR element 20 A magnet bias system utilizing a generated magnetic field is known. Then, a change in the magnetic field of the magnetic disk is detected as a change in the electric resistance value of the MR element 20.

【0021】下部磁気シールド膜21は基体部分10の
上にほぼ均一な膜厚となるように形成され、上部磁気シ
ールド膜22は下部磁気シールド膜21から間隔を隔て
て分離膜4中に配置されている。下部磁気シールド膜2
1及び上部磁気シールド膜22は例えばパーマロイなど
の他の磁性材料によって構成できる。
The lower magnetic shield film 21 is formed on the base portion 10 so as to have a substantially uniform thickness, and the upper magnetic shield film 22 is disposed in the separation film 4 at a distance from the lower magnetic shield film 21. ing. Lower magnetic shield film 2
The first and upper magnetic shield films 22 can be made of another magnetic material such as permalloy.

【0022】書き込み素子3は、下部磁性膜31、上部
磁性膜32、コイル膜33、アルミナ等でなるギャップ
膜34、ノボラック樹脂等の有機樹脂で構成された絶縁
膜35及び保護膜36などを有して、読み出し素子2の
上に積層されている。
The write element 3 has a lower magnetic film 31, an upper magnetic film 32, a coil film 33, a gap film 34 made of alumina or the like, an insulating film 35 made of an organic resin such as a novolak resin, a protective film 36, and the like. And is stacked on the read element 2.

【0023】下部磁性膜31及び上部磁性膜32の先端
部は微小厚みのギャップ膜34を隔てて対向するポール
部P1、P2となっており、ポール部P1、P2におい
て書き込みを行なう。下部磁性膜31及び上部磁性膜3
2のヨーク部であり、ポール部P1、P2とは反対側に
あるバックギャップ部において、磁気回路を完成するよ
うに互いに結合されている。絶縁膜35の上に、ヨーク
部の結合部のまわりを渦巻状にまわるように、コイル膜
33を形成してある。
The distal ends of the lower magnetic film 31 and the upper magnetic film 32 are pole portions P1 and P2 opposed to each other with a gap film 34 having a small thickness therebetween, and writing is performed in the pole portions P1 and P2. Lower magnetic film 31 and upper magnetic film 3
2 are connected to each other to complete a magnetic circuit at a back gap portion opposite to the pole portions P1 and P2. A coil film 33 is formed on the insulating film 35 so as to spiral around the joint of the yoke.

【0024】分離膜4はAl23またはSiO2等の電
気絶縁膜であり、書き込み素子3はこの分離膜4の上に
積層されている。反磁性膜5は分離膜4の膜厚の中間部
に配置されている。
The separation film 4 is an electric insulating film such as Al 2 O 3 or SiO 2 , and the writing element 3 is laminated on the separation film 4. The diamagnetic film 5 is arranged in the middle of the thickness of the separation film 4.

【0025】書き込み素子3側から読み出し素子2側へ
の書き込み磁場の通過が、反磁性膜5によって阻止され
るため、磁気シールド膜22の膜厚を従来よりも著しく
薄くできる。一般的な薄膜磁気ヘッドを例にとると、従
来、2μm以上必要であった磁気シールド膜の膜厚を、
1μm未満の範囲に設定できる。このため、書き込み素
子3とMR素子20との間の間隔d1が一層縮小され、
ロータリ・アクチュエータ式位置決め装置によって駆動
した場合、スキュー角の大きくなる領域において、書き
込み素子3とMR素子30との間のトラック幅方向のず
れが縮小し、トラック.ロスが減少し、高密度記録が可
能になる。また、スキュー角を大きくしてもトラック幅
方向のずれが少なくて済むので、最大スキュー角を大き
くできる。
Since the passage of the write magnetic field from the write element 3 side to the read element 2 side is blocked by the diamagnetic film 5, the thickness of the magnetic shield film 22 can be made remarkably thinner than before. Taking a general thin-film magnetic head as an example, the thickness of the magnetic shield film, which was conventionally required to be 2 μm or more,
It can be set to a range of less than 1 μm. Therefore, the distance d1 between the writing element 3 and the MR element 20 is further reduced,
When driven by the rotary actuator type positioning device, in the region where the skew angle is large, the deviation between the writing element 3 and the MR element 30 in the track width direction is reduced, and the track. Loss is reduced, and high-density recording becomes possible. Further, even if the skew angle is increased, the deviation in the track width direction can be reduced, so that the maximum skew angle can be increased.

【0026】図2を参照すると、ロータリ・アクチュエ
ータ式位置決め装置を用いた場合において、MR素子2
0と書き込み素子3との間におけるトラック幅方向の位
置ずれによるトラックズレを吸収する手段として、下部
磁性膜31及び上部磁性膜32による記録トラック幅T
Wを、MR素子20を用いた読み出し素子2の再生トラ
ック幅TRよりも広くとり、位置ズレを生じても再生ト
ラックが常に記録トラック内をトレースするようになっ
ている。d1はMR素子20と書き込み素子3との間の
間隔、G1はギャップ幅、d31は下部磁性膜31の膜
厚、d22は上部磁気シールド膜22の膜厚、d32は
上部磁性膜32の膜厚、TLは記録トラック幅TWと再
生トラック幅TRとの間に差を持たせたことによって生
じるトラック.ロス幅、△Tはトラック.マージン、G
1は書き込み変換ギャップである。
Referring to FIG. 2, when the rotary actuator type positioning device is used, the MR element 2
As a means for absorbing a track shift due to a positional shift between the write element 3 and the write element 3 in the track width direction, a recording track width T by the lower magnetic film 31 and the upper magnetic film 32 is used.
W is set to be wider than the reproduction track width TR of the read element 2 using the MR element 20, so that the reproduction track always traces the recording track even if a positional deviation occurs. d1 is the distance between the MR element 20 and the writing element 3, G1 is the gap width, d31 is the thickness of the lower magnetic film 31, d22 is the thickness of the upper magnetic shield film 22, and d32 is the thickness of the upper magnetic film 32. , TL are the tracks .T, which are caused by providing a difference between the recording track width TW and the reproduction track width TR. Loss width, ΔT is track. Margin, G
1 is a write conversion gap.

【0027】図3は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に
別の実施例を示す断面図である。図において、図1と同
一の参照符号は同一性ある構成部分を示している。この
実施例では、反磁性膜5が上部磁気シールド膜を構成し
ている。すなわち、反磁性膜5から独立する上部磁気シ
ールド膜を有していない。したがって、この実施例の場
合は、書き込み素子3とMR素子23との間の間隔をよ
り一層縮小することができる。
FIG. 3 is a sectional view showing still another embodiment of the thin-film magnetic head according to the present invention. In the figure, the same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same components. In this embodiment, the diamagnetic film 5 constitutes an upper magnetic shield film. That is, the upper magnetic shield film independent of the diamagnetic film 5 is not provided. Therefore, in the case of this embodiment, the distance between the writing element 3 and the MR element 23 can be further reduced.

【0028】図4は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に
別の実施例を示す拡大断面図である。この実施例の場
合、反磁性膜5が読み出し素子2の上部磁気シールド膜
を構成している他、書き込み素子3の下部磁性膜31
が、飽和磁束密度Bsが10(kGauss)以上であ
る磁性材料によって構成されている。従来、下部磁性膜
31は、飽和磁束密度Bsが8(kGauss)程度の
パーマロイ膜によって構成されており、必要なオーバラ
イト特性(O/W<−30dB)を確保するため、2μ
m以上の膜厚が必要であった。実施例における下部磁性
膜31は飽和磁束密度Bsが10(kGauss)以上
であり、その膜厚d31を2μm未満に設定しても、必
要なオーバライト特性(O/W<−30dB)を確保で
きる。下部磁性膜31のために適した磁性材料の例はC
o−Fe系磁性材料、Co−Zr系磁性材料またはFe
N系磁性材料である。上部磁性膜32は下部磁性膜31
と同一の材料または例えばパーマロイなどの他の磁性材
料によって構成できる。
FIG. 4 is an enlarged sectional view showing still another embodiment of the thin-film magnetic head according to the present invention. In the case of this embodiment, the diamagnetic film 5 constitutes the upper magnetic shield film of the read element 2 and the lower magnetic film 31 of the write element 3
Are made of a magnetic material having a saturation magnetic flux density Bs of 10 (kGauss) or more. Conventionally, the lower magnetic film 31 is made of a permalloy film having a saturation magnetic flux density Bs of about 8 (kGauss), and has a thickness of 2 μm to secure necessary overwrite characteristics (O / W <−30 dB).
m was required. In the embodiment, the lower magnetic film 31 has a saturation magnetic flux density Bs of 10 (kGauss) or more, and can maintain a necessary overwrite characteristic (O / W <−30 dB) even when the film thickness d31 is set to less than 2 μm. . An example of a suitable magnetic material for the lower magnetic film 31 is C
o-Fe magnetic material, Co-Zr magnetic material or Fe
N-based magnetic material. The upper magnetic film 32 is the lower magnetic film 31
Or another magnetic material such as permalloy.

【0029】図5は本発明に係る磁気ディスク装置を示
す図である。6は位置決め装置、7は磁気ディスク、8
は周知のヘッド支持装置、9は本発明に係る薄膜磁気ヘ
ッドである。磁気ディスク7は、図示しない回転駆動機
構により、矢印aの方向に回転駆動される。位置決め装
置6は、ロータリ・アクチュエータ式であり、ヘッド支
持装置8の一端側を支持し磁気ディスク7の面上で所定
角度で、矢印b1またはb2の方向に駆動する。それに
よって、所定のトラックにおいて、磁気ディスク7への
書き込み及び読み出しが行なわれる。
FIG. 5 is a diagram showing a magnetic disk drive according to the present invention. 6 is a positioning device, 7 is a magnetic disk, 8
Is a known head support device, and 9 is a thin film magnetic head according to the present invention. The magnetic disk 7 is driven to rotate in the direction of arrow a by a rotation drive mechanism (not shown). The positioning device 6 is of a rotary actuator type, supports one end of the head support device 8, and is driven at a predetermined angle on the surface of the magnetic disk 7 in the direction of the arrow b1 or b2. Thus, writing and reading to and from the magnetic disk 7 are performed on a predetermined track.

【0030】図6は磁気ヘッド装置の正面部分断面図、
図7は同じく底面部分断面図である。ヘッド支持装置8
は、金属薄板でなる支持体81の長手方向の一端にある
自由端に、同じく金属薄板でなる可撓体82を取付け、
この可撓体82の下面に薄膜磁気ヘッド9を取付けた構
造となっていて、磁気ディスク7に薄膜磁気ヘッド9を
押付ける荷重力を与える。図示の可撓体82は、支持体
81の長手方向軸線O2と略平行して伸びる2つの外側
枠部821、822と、支持体81から離れた端におい
て外側枠部821、822を連結する横枠823と、横
枠823の略中央部から外側枠部821、822に略平
行するように延びていて先端を自由端とした舌状片82
4とを有して構成され、横枠823のある方向とは反対
側の一端を、支持体81の自由端付近に溶接等の手段に
よって取付けてある。
FIG. 6 is a partial front sectional view of the magnetic head device.
FIG. 7 is a partial sectional view of the bottom surface. Head support device 8
A flexible body 82 also made of a thin metal plate is attached to a free end at one longitudinal end of a support body 81 made of a thin metal plate,
The thin film magnetic head 9 is mounted on the lower surface of the flexible member 82, and a load force for pressing the thin film magnetic head 9 is applied to the magnetic disk 7. The illustrated flexible body 82 has two outer frame portions 821 and 822 extending substantially in parallel with the longitudinal axis O2 of the support 81, and a lateral portion connecting the outer frame portions 821 and 822 at an end remote from the support 81. A frame 823 and a tongue-shaped piece 82 extending from a substantially central portion of the horizontal frame 823 so as to be substantially parallel to the outer frame portions 821 and 822 and having a free end at the tip.
4, and one end opposite to the direction in which the horizontal frame 823 is located is attached to the vicinity of the free end of the support 81 by means such as welding.

【0031】可撓体82の舌状片824の上面には、例
えば半球状の荷重用突起825が設けられていて、この
荷重用突起825により、支持体81の自由端から舌状
片824へ荷重力を伝えるようにしてある。
On the upper surface of the tongue-shaped piece 824 of the flexible member 82, for example, a hemispherical load projection 825 is provided. The load force is transmitted.

【0032】舌状片824の下面に薄膜磁気ヘッド9を
接着等の手段によって取付けてある。薄膜磁気ヘッド9
は、スライダ1及び磁気変換素子2、3を有し、磁気変
換素子2、3がスライダ1の長さ方向の1側端面に設け
られており、長さ方向がヘッド支持装置8の長手方向に
一致するように、磁気ヘッド支持装置8に取付けられて
いる。本発明に適用可能なヘッド支持装置8は、上記実
施例に限らない。これまで提案され、またはこれから提
案されることのあるヘッド支持装置を、広く適用でき
る。
The thin-film magnetic head 9 is attached to the lower surface of the tongue-like piece 824 by means such as bonding. Thin film magnetic head 9
Has a slider 1 and magnetic transducers 2 and 3, and the magnetic transducers 2 and 3 are provided on one end face in the length direction of the slider 1, and the length direction is in the longitudinal direction of the head support device 8. It is attached to the magnetic head support device 8 so as to match. The head support device 8 applicable to the present invention is not limited to the above embodiment. A head support device that has been proposed or may be proposed can be widely applied.

【0033】図8は図5に示した磁気ディスク装置の動
作を説明する図である。読み書き動作において、薄膜磁
気ヘッド9を支持するヘッド支持装置8がロータリ・ア
クチュエータ式位置決め装置4によりピポット中心O1
を中心にして、矢印b1、b2の方向にスイングするご
とく駆動される。磁気ディスク7上の薄膜磁気ヘッド9
の位置は、通常、スキュー角によって表現される。図示
の場合、薄膜磁気ヘッド9が磁気ディスク7の最内周に
位置する時をスキュー角=0となるように設定し、外周
側にスキューするようになっているので、ヘッド支持装
置8の回転角度がスキュー角に対応する。
FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the magnetic disk device shown in FIG. In the read / write operation, the head supporting device 8 supporting the thin-film magnetic head 9 is moved by the rotary actuator type positioning device 4 to the pivot center O1.
Are driven as if swinging in the directions of arrows b1 and b2 around. Thin-film magnetic head 9 on magnetic disk 7
Is usually represented by a skew angle. In the illustrated case, the skew angle is set to 0 when the thin-film magnetic head 9 is located at the innermost circumference of the magnetic disk 7, and the skew is performed toward the outer circumference. The angle corresponds to the skew angle.

【0034】図9は図5の磁気ディスク装置に図1及び
図2に示した本発明に係る薄膜磁気ヘッドを組み合わせ
た場合におけるスキュー角=0の時の記録トラックと再
生トラックとの関係を示す図、図10は図5の磁気ディ
スク装置に図1及び図2に示した薄膜磁気ヘッドを組み
合わせた場合におけるスキュー角=20度の時の記録ト
ラックWと再生トラックRとの関係を示す図である。M
R素子20と書き込み素子3との間の間隔d1(図2参
照)を5μmとし、最大スキュー角を20度に設定し、
再生トラック幅TRを3μmとしたとき、記録トラック
幅TWは5.8μmでよく、トラック.ロス幅TLは
1.8μmになる。従来は、再生トラック幅TRを2μ
mとした場合、7.7μmの記録トラック幅TWが必要
になり、3.3μmのトラック.ロス幅TLを生じてい
た。従って、本発明によれば、トラック.ロス幅TLを
従来の約半分近くまで縮小できる。
FIG. 9 shows the relationship between the recording track and the reproduction track when the skew angle = 0 when the magnetic disk drive of FIG. 5 is combined with the thin-film magnetic head according to the present invention shown in FIGS. FIGS. 10A and 10B are diagrams showing the relationship between the recording track W and the reproducing track R when the skew angle = 20 degrees in the case where the thin-film magnetic head shown in FIGS. 1 and 2 is combined with the magnetic disk device of FIG. is there. M
The distance d1 (see FIG. 2) between the R element 20 and the writing element 3 is set to 5 μm, the maximum skew angle is set to 20 degrees,
When the reproduction track width TR is 3 μm, the recording track width TW may be 5.8 μm. The loss width TL becomes 1.8 μm. Conventionally, the reproduction track width TR is 2 μm.
m, a recording track width TW of 7.7 μm is required, and a track width of 3.3 μm is required. The loss width TL occurred. Therefore, according to the invention, the track. The loss width TL can be reduced to about half of the conventional case.

【0035】図示は、面内記録再生用磁気ヘッドである
が、垂直磁気記録再生用磁気ヘッド等であってもよい。
Although the illustration shows a magnetic head for in-plane recording and reproduction, a magnetic head for perpendicular magnetic recording and reproduction may be used.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。 (a)読み出し素子は、MR素子を含んでいるから、誘
導型素子の場合と異なって、インダクタンス値が小さ
く、高周波特性が悪化しない。 (b)分離膜は、読み出し素子と書き込み素子との間に
設けられ、反磁性膜を含むから、書き込み素子側から読
み出し素子側への書き込み磁場の通過が反磁性膜によっ
て阻止される。この結果、書き込み素子とMR素子との
間の間隔が縮小され、ロータリ・アクチュエータ式位置
決め装置によって駆動した場合、スキュー角の大きくな
る領域において、書き込み素子とMR素子との間のトラ
ック幅方向のずれが縮小し、トラック.ロスが減少し、
高密度記録が可能になる。 (c)スキュー角を大きくしてもトラック幅方向のずれ
が少なくて済むので、最大スキュー角を大きくできる。
このため、最大スキュー角が大きくなる傾向にある小型
の磁気ディスク装置に対応し得るようになる。 (d)書き込み素子側から読み出し素子側への書き込み
磁場の通過が反磁性膜によって阻止されるため、磁気シ
ールド膜の膜厚を従来よりも著しく薄くし、または省略
し、より一層、間隔を縮小することも可能である。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. (A) Since the read element includes the MR element, the inductance value is small and the high-frequency characteristics do not deteriorate unlike the case of the inductive element. (B) Since the separation film is provided between the read element and the write element and includes the diamagnetic film, the passage of the write magnetic field from the write element to the read element is prevented by the diamagnetic film. As a result, the distance between the write element and the MR element is reduced, and when driven by a rotary actuator type positioning device, the gap between the write element and the MR element in the track width direction in a region where the skew angle is large. Is reduced and the track. Loss is reduced,
High density recording becomes possible. (C) Even if the skew angle is increased, the deviation in the track width direction can be reduced, so that the maximum skew angle can be increased.
Therefore, it is possible to cope with a small-sized magnetic disk device in which the maximum skew angle tends to be large. (D) Since the passage of the write magnetic field from the write element side to the read element side is blocked by the diamagnetic film, the thickness of the magnetic shield film is made significantly thinner or omitted than before, and the interval is further reduced. It is also possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る薄膜磁気ヘッドをモデル化して示
す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a model of a thin-film magnetic head according to the present invention.

【図2】図1に示した薄膜磁気ヘッドの磁極配置を示す
拡大図である。
FIG. 2 is an enlarged view showing a magnetic pole arrangement of the thin-film magnetic head shown in FIG.

【図3】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の例をモデル
化して示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing a model of another example of the thin-film magnetic head according to the present invention.

【図4】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の例をモデル
化して示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a model of another example of the thin-film magnetic head according to the present invention.

【図5】本発明に係る薄膜磁気ヘッドを用いた磁気ディ
スク装置を示す図である。
FIG. 5 is a view showing a magnetic disk drive using the thin-film magnetic head according to the present invention.

【図6】図5に示した磁気ディスク装置を構成する磁気
ヘッド装置の正面部分断面図である。
FIG. 6 is a partial front sectional view of a magnetic head device constituting the magnetic disk device shown in FIG. 5;

【図7】図5に示した磁気ディスク装置を構成する磁気
ヘッド装置の底面部分断面図である。
7 is a partial bottom sectional view of a magnetic head device constituting the magnetic disk device shown in FIG. 5;

【図8】図5に示した磁気ディスク装置の動作を説明す
る図である
FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the magnetic disk device shown in FIG.

【図9】図5の磁気ディスク装置に図1及び図2に示し
た本発明に係る薄膜磁気ヘッドを組み合わせた場合にお
けるスキュー角=0の時の記録トラックと再生トラック
との関係を示す図である。
9 is a diagram showing a relationship between a recording track and a reproduction track when the skew angle = 0 when the magnetic disk device of FIG. 5 is combined with the thin-film magnetic head according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2; is there.

【図10】図5の磁気ディスク装置に図1及び図2に示
した本発明に係る薄膜磁気ヘッドを組み合わせた場合に
おけるスキュー角=20度の時の記録トラックと再生ト
ラックとの関係を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a relationship between a recording track and a reproduction track when a skew angle = 20 degrees when the magnetic disk device of FIG. 5 is combined with the thin-film magnetic head according to the present invention shown in FIGS. It is.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 スライダ 2 読み出し素子 20 MR素子 3 書き込み素子 4 分離膜 5 反磁性膜 Reference Signs List 1 slider 2 read element 20 MR element 3 write element 4 separation film 5 diamagnetic film

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 スライダと、読み出し素子と、書き込み
素子と、分離膜とを含む薄膜磁気ヘッドであって、 前記読み出し素子は、磁気抵抗効果素子を含み、前記ス
ライダ上に設けられており、 前記書き込み素子は、前記読み出し素子の上に積層して
設けられており、 前記分離膜は、前記読み出し素子と前記書き込み素子と
の間に設けられ、反磁性膜を含む薄膜磁気ヘッド。
A thin-film magnetic head including a slider, a read element, a write element, and a separation film, wherein the read element includes a magnetoresistive element, and is provided on the slider; A thin-film magnetic head, wherein the write element is provided so as to be stacked on the read element, and the separation film is provided between the read element and the write element and includes a diamagnetic film.
【請求項2】 前記反磁性膜は、超電導材料でなる請求
項1に記載の薄膜磁気ヘッド。
2. The thin-film magnetic head according to claim 1, wherein said diamagnetic film is made of a superconducting material.
【請求項3】前記読み出し素子は、前記書き込み素子側
に上部磁気シールド膜を有しており、 前記反磁性膜は、前記上部磁気シールド膜と、前記書き
込み素子との間に配置されている請求項1または2に記
載の薄膜磁気ヘッド。
3. The read element has an upper magnetic shield film on the write element side, and the diamagnetic film is disposed between the upper magnetic shield film and the write element. Item 3. The thin film magnetic head according to item 1 or 2.
【請求項4】 前記読み出し素子は、前記書き込み素子
側に上部磁気シールド膜を有しており、 前記反磁性膜は、前記上部磁気シールド膜を構成する請
求項1または2に記載の薄膜磁気ヘッド。
4. The thin-film magnetic head according to claim 1, wherein the read element has an upper magnetic shield film on the write element side, and the diamagnetic film constitutes the upper magnetic shield film. .
【請求項5】 前記書き込み素子は、下部磁性膜と、上
部磁性膜と、コイル膜とを有し、前記読み出し素子の上
に設けられており、前記下部磁性膜及び上部磁性膜は、
先端が書き込みギャップを構成し、後方が互いに結合さ
れて磁気回路を構成しており、前記コイル膜は前記下部
磁性膜及び前記上部磁性膜の後方結合部を回るように配
置されている請求項1、2、3または4に記載の薄膜磁
気ヘッド。
5. The write element has a lower magnetic film, an upper magnetic film, and a coil film, and is provided on the read element. The lower magnetic film and the upper magnetic film
2. The magnetic head according to claim 1, wherein a tip forms a write gap, and a rear portion is connected to each other to form a magnetic circuit, and the coil film is arranged so as to go around a rear connection portion of the lower magnetic film and the upper magnetic film. 5. The thin-film magnetic head according to 2, 3, or 4.
【請求項6】 前記下部磁性膜は、飽和磁束密度Bsが
10(kGauss)以上である磁性材料によって構成
されている請求項5に記載の薄膜磁気ヘッド。
6. The thin-film magnetic head according to claim 5, wherein the lower magnetic film is made of a magnetic material having a saturation magnetic flux density Bs of 10 (kGauss) or more.
【請求項7】 前記下部磁性膜は、Co−Fe系磁性材
料、Co−Zr系磁性材料またはFeN系磁性材料の少
なくとも一種でなる請求項6に記載の薄膜磁気ヘッド。
7. The thin-film magnetic head according to claim 6, wherein the lower magnetic film is made of at least one of a Co—Fe magnetic material, a Co—Zr magnetic material, and a FeN magnetic material.
【請求項8】 磁気ディスクと、位置決め装置と、ヘッ
ド支持装置と、薄膜磁気ヘッドとを含む磁気ディスク装
置であって、 前記位置決め装置は、前記ヘッド支持装置の一端側を支
持し前記磁気ディスクの面上で所定角度で面回転させる
ものであり、 前記ヘッド支持装置は、他端側で前記薄膜磁気ヘッドを
支持しており、 前記薄膜磁気ヘッドは、請求項1乃至7に記載の何れか
でなる磁気ディスク装置。
8. A magnetic disk device including a magnetic disk, a positioning device, a head support device, and a thin-film magnetic head, wherein the positioning device supports one end of the head support device, and The head is rotated at a predetermined angle on a surface, and the head support device supports the thin-film magnetic head at the other end, wherein the thin-film magnetic head is any one of claims 1 to 7. Magnetic disk device.
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