JP2001266310A - Magnetic head for perpendicular magnetic recording - Google Patents
Magnetic head for perpendicular magnetic recordingInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
等に用いられる垂直磁気記録用磁気ヘッドに関する。The present invention relates to a magnetic head for perpendicular magnetic recording used in a magnetic disk drive or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気ディスク装置における面記録密度を
高める技術として、垂直磁気記録が注目されている。こ
の垂直磁気記録用の薄膜磁気ヘッドには、リング型ヘッ
ドと単磁極型ヘッドとがある。単磁極型ヘッドは、リン
グ型ヘッドに比べて磁極近傍での磁束の漏れが小さいの
で、記録密度を高める点では有利である。単磁極型ヘッ
ドを用いる場合には、記録媒体としては一般的に、基板
上に高透磁率の軟磁性層と磁気記録層とを積層した２層
媒体が用いられる。2. Description of the Related Art Perpendicular magnetic recording has attracted attention as a technique for increasing the surface recording density in a magnetic disk drive. The thin film magnetic head for perpendicular magnetic recording includes a ring type head and a single pole type head. The single-pole type head is advantageous in that the recording density is increased because the leakage of magnetic flux near the magnetic pole is smaller than that of the ring-type head. When a single-pole type head is used, a two-layer medium in which a soft magnetic layer having a high magnetic permeability and a magnetic recording layer are laminated on a substrate is generally used as a recording medium.
【０００３】従来の単磁極型ヘッドは、例えば、特開平
３−１７８０７号公報に示されるように、磁束リターン
ヨークとして機能する磁性基板上に、主磁極を含むヘッ
ドの構成要素を形成した構成になっている。このような
構成の単磁極型ヘッドでは、記録媒体における上記軟磁
性層を、ヘッドの主磁極と磁性基板を含む磁路の一部と
して利用することで、記録媒体の磁気記録層に対する高
密度な垂直方向の磁気記録と再生とを可能にしている。[0003] A conventional single pole type head has a configuration in which constituent elements of a head including a main pole are formed on a magnetic substrate functioning as a magnetic flux return yoke, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 17807/1991. Has become. In the single pole type head having such a configuration, the soft magnetic layer in the recording medium is used as a part of the magnetic path including the main magnetic pole of the head and the magnetic substrate, so that the recording medium has a high density with respect to the magnetic recording layer. This enables perpendicular magnetic recording and reproduction.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のような
従来の垂直磁気記録用の薄膜磁気ヘッドは、単磁極型で
あると共に、主磁極と磁気シールドとして機能する磁性
基板との間隔が大きいため、磁性基板は、主磁極に対す
る外部からの漏洩磁界をシールドする効果を十分に発揮
できない。そのため、従来は、外部からの漏洩磁界によ
って記録媒体の磁化が減磁されて記録媒体上の情報が劣
化したり、最悪な場合には情報が消去されてしまうとい
う問題点があった。また、漏洩磁界を防ぐためには複雑
なシールド構造をとる必要があるという問題点があっ
た。However, the above-described conventional thin film magnetic head for perpendicular magnetic recording is of a single pole type and has a large distance between a main pole and a magnetic substrate functioning as a magnetic shield. On the other hand, the magnetic substrate cannot sufficiently exhibit an effect of shielding a leakage magnetic field from the outside with respect to the main magnetic pole. Therefore, conventionally, there has been a problem that the magnetization of the recording medium is demagnetized due to the leakage magnetic field from the outside, and the information on the recording medium is deteriorated, or at worst, the information is erased. In addition, there is a problem that a complicated shield structure needs to be taken in order to prevent a leakage magnetic field.
【０００５】また、上述のような従来の垂直磁気記録用
の薄膜磁気ヘッドは、主磁極の先端部と磁性基板との間
隔が大きいため、記録媒体に記録される垂直方向の磁化
パターンの形状は、主磁極の先端部の形状に直接依存し
てしまう。そのため、高記録密度化のためには主磁極全
体を微細化していくことが求められ、記録の高密度化を
図ることが困難であるという問題点があった。In the conventional thin film magnetic head for perpendicular magnetic recording as described above, since the distance between the tip of the main pole and the magnetic substrate is large, the shape of the perpendicular magnetization pattern recorded on the recording medium is small. Directly depends on the shape of the tip of the main pole. Therefore, in order to increase the recording density, it is required to make the entire main magnetic pole finer, and there is a problem that it is difficult to increase the recording density.
【０００６】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、構造が簡単で製造しやすく、２層媒
体だけでなく、軟磁性層を設けない単層媒体において
も、急峻な磁界勾配を実現でき、記録の高密度化を容易
に実現できるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッドを提
供することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a steep structure not only for a two-layer medium but also for a single-layer medium without a soft magnetic layer, which is easy to manufacture. An object of the present invention is to provide a magnetic head for perpendicular magnetic recording which can realize a magnetic field gradient and can easily realize high density recording.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の垂直磁気記録用
磁気ヘッドは、互いに磁気的に連結され、記録媒体に対
向する媒体対向面側においてギャップ部を介して互いに
対向する磁極部分を含み、それぞれ少なくとも１つの層
を含む第１および第２の磁性層と、少なくとも一部が第
１および第２の磁性層の間に、第１および第２の磁性層
に対して絶縁された状態で設けられた薄膜コイルとを備
え、第２の磁性層の磁極部分の媒体対向面側の端面は媒
体対向面から離れた位置に配置され、第１の磁性層の磁
極部分の媒体対向面側の端面は、第２の磁性層の磁極部
分の媒体対向面側の端面よりも媒体対向面側に配置され
ているものである。A magnetic head for perpendicular magnetic recording according to the present invention includes magnetic pole portions magnetically connected to each other and facing each other via a gap portion on a medium facing surface side facing a recording medium, First and second magnetic layers each including at least one layer, and at least a portion provided between the first and second magnetic layers while being insulated from the first and second magnetic layers. An end face of the magnetic pole portion of the second magnetic layer on the medium facing surface side is located at a position away from the medium facing surface, and an end surface of the magnetic pole portion of the first magnetic layer on the medium facing surface side. Is disposed closer to the medium facing surface than the end face of the magnetic pole portion of the second magnetic layer on the medium facing surface side.
【０００８】本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドでは、
第１の磁性層の磁極部分と第２の磁性層の磁極部分とが
ギャップ部を介して互いに対向し、且つ第２の磁性層の
磁極部分の媒体対向面側の端面は媒体対向面から離れた
位置に配置され、第１の磁性層の磁極部分の媒体対向面
側の端面は、第２の磁性層の磁極部分の媒体対向面側の
端面よりも媒体対向面側に配置されているので、垂直磁
気記録用の磁界はギャップ部近傍の小さな領域に集中す
る。In the magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention,
The magnetic pole portion of the first magnetic layer and the magnetic pole portion of the second magnetic layer face each other via the gap portion, and the end face of the magnetic pole portion of the second magnetic layer on the medium facing surface side is separated from the medium facing surface. And the end face of the magnetic pole portion of the first magnetic layer on the medium facing surface side is located closer to the medium facing surface than the end face of the magnetic pole portion of the second magnetic layer on the medium facing surface side. The magnetic field for perpendicular magnetic recording is concentrated in a small area near the gap.
【０００９】本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおい
て、第１の磁性層は記録媒体の進行方向の後側に配置さ
れ、第２の磁性層は記録媒体の進行方向の前側に配置さ
れてもよい。In the magnetic head for perpendicular magnetic recording according to the present invention, the first magnetic layer may be disposed on the rear side in the traveling direction of the recording medium, and the second magnetic layer may be disposed on the front side in the traveling direction of the recording medium. Good.
【００１０】また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッド
では、第１の磁性層において、磁極部分を含む少なくと
も一部は高飽和磁束密度材によって構成されていてもよ
い。[0010] In the magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention, at least a part of the first magnetic layer including the magnetic pole portion may be made of a high saturation magnetic flux density material.
【００１１】また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッド
では、第２の磁性層において、磁極部分を含む少なくと
も一部は高飽和磁束密度材によって構成されていてもよ
い。In the magnetic head for perpendicular magnetic recording according to the present invention, at least a part of the second magnetic layer including a magnetic pole portion may be made of a material having a high saturation magnetic flux density.
【００１２】また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッド
において、第１の磁性層の磁極部分と第２の磁性層の磁
極部分との間の距離は１μｍ以下であってもよい。Further, in the magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention, the distance between the magnetic pole portion of the first magnetic layer and the magnetic pole portion of the second magnetic layer may be 1 μm or less.
【００１３】また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッド
において、第２の磁性層の磁極部分の媒体対向面側の端
面と媒体対向面との距離は１μｍ以下であってもよい。In the magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention, the distance between the end face of the magnetic pole portion of the second magnetic layer on the medium facing surface side and the medium facing surface may be 1 μm or less.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。 ［第１の実施の形態］図１は本発明の第１の実施の形態
に係る垂直磁気記録用磁気ヘッド（以下、単に磁気ヘッ
ドと言う。）の構成を示す断面図である。なお、図１は
記録媒体に対向する媒体対向面および基板の面に垂直な
断面を示している。図２は本実施の形態に係る磁気ヘッ
ドの要部を示す平面図である。図３は本実施の形態に係
る磁気ヘッドの磁極部分の近傍を示す斜視図である。な
お、図２および図３は、磁気ヘッドを媒体対向面および
基板の面に垂直な面で左右対称に分割して得られる片側
半分（以下、１／２部分と言う。）を表している。ま
た、図４は本実施の形態に係る磁気ヘッドの磁極部分の
近傍を示す断面図である。なお、図４は媒体対向面およ
び基板の面に垂直な断面を示している。図５は本実施の
形態に係る磁気ヘッドの磁極部分の近傍を示す平面図で
ある。図６は本実施の形態に係る磁気ヘッドの磁極部分
の近傍を示す断面図である。なお、図６は媒体対向面に
平行な断面を示している。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. [First Embodiment] FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a magnetic head for perpendicular magnetic recording (hereinafter simply referred to as a magnetic head) according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a cross section perpendicular to the medium facing surface facing the recording medium and the surface of the substrate. FIG. 2 is a plan view showing a main part of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 3 is a perspective view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head according to the present embodiment. FIGS. 2 and 3 show one half (hereinafter, referred to as a half portion) obtained by dividing the magnetic head symmetrically in a plane perpendicular to the medium facing surface and the surface of the substrate. FIG. 4 is a sectional view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 4 shows a cross section perpendicular to the medium facing surface and the surface of the substrate. FIG. 5 is a plan view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 6 is a sectional view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 6 shows a cross section parallel to the medium facing surface.
【００１５】本実施の形態に係る磁気ヘッドは、アルテ
ィック（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）等のセラミック材料よりな
る基板１と、この基板１の上に形成されたアルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3）等の絶縁材料よりなる絶縁層２と、この絶縁層
２の上に形成された磁性材料よりなる下部シールド層３
と、この下部シールド層３の上に、絶縁層４を介して形
成された再生用のＭＲ（磁気抵抗効果）素子５と、この
ＭＲ素子５の上に絶縁層４を介して形成された磁性材料
よりなる第１の磁性層６とを備えている。第１の磁性層
６は、記録ヘッドにおける一方の磁性層と、再生ヘッド
における上部シールド層とを兼ねてもよい。The magnetic head according to the present embodiment has a substrate 1 made of a ceramic material such as AlTiC (Al 2 O 3 .TiC) and an alumina (A) formed on the substrate 1.
1 2 O 3 ) and a lower shield layer 3 made of a magnetic material formed on the insulating layer 2.
A reproducing MR (magnetoresistive effect) element 5 formed on the lower shield layer 3 via the insulating layer 4 and a magnetic recording element formed on the MR element 5 via the insulating layer 4. And a first magnetic layer 6 made of a material. The first magnetic layer 6 may also serve as one magnetic layer in the recording head and the upper shield layer in the reproducing head.
【００１６】ＭＲ素子５の一端部は媒体対向面３０に配
置されている。ＭＲ素子５には、ＡＭＲ（異方性磁気抵
抗効果）素子、ＧＭＲ（巨大磁気抵抗効果）素子あるい
はＴＭＲ（トンネル磁気抵抗効果）素子等の磁気抵抗効
果を示す感磁膜を用いた素子を用いることができる。One end of the MR element 5 is arranged on the medium facing surface 30. As the MR element 5, an element using a magneto-sensitive film exhibiting a magnetoresistive effect, such as an AMR (anisotropic magnetoresistive effect) element, a GMR (giant magnetoresistive effect) element or a TMR (tunnel magnetoresistive effect) element is used. be able to.
【００１７】第１の磁極層６は、後述する薄膜コイルの
一部に対向する領域を含む領域に配置されたヨーク部分
層６Ｂと、ヨーク部分層６Ｂの薄膜コイル側の面におい
て媒体対向面３０の近傍の位置に接続され、磁極部分６
ａを含む磁極部分層６Ａと、ヨーク部分層６Ｂの薄膜コ
イル側の面において薄膜コイルの中心の近傍の位置に接
続され、後述する第２の磁性層と接続される接続部分層
６Ｃとを有している。磁極部分層６Ａにおける磁極部分
６ａは、磁極部分層６Ａにおける他の部分より突出する
ように形成されている。The first magnetic pole layer 6 includes a yoke portion layer 6B disposed in a region including a region facing a part of the thin film coil described later, and a medium facing surface 30 on the thin film coil side surface of the yoke portion layer 6B. Is connected to a position near the
a magnetic pole portion layer 6A including a and a connection portion layer 6C connected to a position near the center of the thin film coil on the thin film coil side surface of the yoke portion layer 6B and connected to a second magnetic layer described later. are doing. The magnetic pole portion 6a in the magnetic pole portion layer 6A is formed so as to protrude from other portions in the magnetic pole portion layer 6A.
【００１８】磁極部分層６Ａは、高飽和磁束密度材によ
って構成されている。本出願において、高飽和磁束密度
材とは、飽和磁束密度が１．４Ｔ以上の磁性材料を言
う。高飽和磁束密度材の例としては、ＮｉＦｅ（Ｎｉ：
４５重量％，Ｆｅ：５５重量％）、ＦｅＮやその化合
物、Ｃｏ系アモルファス合金、Ｆｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−Ｍ、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｍの中のうちの少なくとも１種類を挙げる
ことができる。ここで、Ｍは、Ｎｉ，Ｎ，Ｃ，Ｂ，Ｓ
ｉ，Ａｌ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｎｂ，Ｃｕ
（いずれも化学記号）の中から選択された少なくとも１
種類である。The pole portion layer 6A is made of a high saturation magnetic flux density material. In the present application, a high saturation magnetic flux density material refers to a magnetic material having a saturation magnetic flux density of 1.4T or more. Examples of the high saturation magnetic flux density material include NiFe (Ni:
45 wt%, Fe: 55 wt%), FeN and its compounds, Co-based amorphous alloys, Fe-Co, Fe-M,
At least one of Fe-Co-M can be mentioned. Here, M is Ni, N, C, B, S
i, Al, Ti, Zr, Hf, Mo, Ta, Nb, Cu
At least one selected from (both chemical symbols)
Kind.
【００１９】磁気ヘッドは、更に、接続部分層６Ｃを中
心にして、一部が磁極部分層６Ａと接続部分層６Ｃとの
間を通るように巻回された薄膜コイル７を備えている。The magnetic head further includes a thin-film coil 7 partially wound around the connection part layer 6C so as to partially pass between the pole part layer 6A and the connection part layer 6C.
【００２０】磁気ヘッドは、更に、薄膜コイル７の一部
を挟んでヨーク部分層６Ｂに対向するように配置された
磁性材料よりなる第２の磁性層９を備えている。なお、
薄膜コイル７は、第１の磁性層６および第２の磁性層９
に対して絶縁された状態で設けられている。図２に示し
たように、第２の磁性層９は、媒体対向面３０の近傍に
配置された磁極部分９ａと、この磁極部分９ａの媒体対
向面３０とは反対側に配置されたヨーク部分９ｂとを含
んでいる。磁極部分９ａは一定の幅を有し、ヨーク部分
９ｂの幅は磁極部分９ａの幅よりも大きくなっている。
ヨーク部分９ｂは接続部分層６Ｃに接続されている。The magnetic head further includes a second magnetic layer 9 made of a magnetic material disposed so as to face the yoke portion layer 6B with a part of the thin film coil 7 interposed therebetween. In addition,
The thin-film coil 7 includes a first magnetic layer 6 and a second magnetic layer 9
It is provided in a state insulated from. As shown in FIG. 2, the second magnetic layer 9 includes a magnetic pole portion 9a arranged near the medium facing surface 30 and a yoke portion arranged on the opposite side of the magnetic pole portion 9a from the medium facing surface 30. 9b. The pole portion 9a has a constant width, and the width of the yoke portion 9b is larger than the width of the pole portion 9a.
The yoke portion 9b is connected to the connection portion layer 6C.
【００２１】図１および図４に示したように、第１の磁
性層６における磁極部分６ａと第２の磁性層９における
磁極部分９ａとの間にはギャップ部８が設けられてい
る。ギャップ部８はアルミナ等の非磁性且つ絶縁性の材
料によって形成されている。As shown in FIGS. 1 and 4, a gap portion 8 is provided between a magnetic pole portion 6a of the first magnetic layer 6 and a magnetic pole portion 9a of the second magnetic layer 9. The gap 8 is formed of a non-magnetic and insulating material such as alumina.
【００２２】また、磁気ヘッドは、更に、絶縁層２の上
に形成された上記各層を覆うように形成された絶縁層１
０を備えている。The magnetic head further includes an insulating layer 1 formed so as to cover the above-mentioned layers formed on the insulating layer 2.
0 is provided.
【００２３】本実施の形態に係る磁気ヘッドにおいて、
下部シールド層３、絶縁層４、ＭＲ素子５および第１の
磁性層６は再生ヘッドを構成する。また、第１の磁性層
６、薄膜コイル７、ギャップ部８および第２の磁性層９
は記録ヘッドを構成する。In the magnetic head according to this embodiment,
The lower shield layer 3, the insulating layer 4, the MR element 5, and the first magnetic layer 6 constitute a read head. Further, the first magnetic layer 6, the thin-film coil 7, the gap 8 and the second magnetic layer 9
Constitutes a recording head.
【００２４】図４に示したように、第１の磁性層６は記
録媒体の進行方向Ｔの後側に配置され、第２の磁性層９
は記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。As shown in FIG. 4, the first magnetic layer 6 is disposed on the rear side in the traveling direction T of the recording medium, and the second magnetic layer 9
Is disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium.
【００２５】また、図４に示したように、第２の磁性層
９の磁極部分９ａの媒体対向面３０側の端面は、媒体対
向面３０から離れた位置に配置されている。一方、第１
の磁性層６の磁極部分６ａの媒体対向面３０側の端面
は、第２の磁性層９の磁極部分９ａの媒体対向面３０側
の端面よりも媒体対向面３０側に配置されている。本実
施の形態では、特に、第１の磁性層６の磁極部分６ａの
媒体対向面３０側の端面は媒体対向面３０と同一位置に
配置されている。As shown in FIG. 4, the end face of the magnetic pole portion 9a of the second magnetic layer 9 on the medium facing surface 30 side is arranged at a position away from the medium facing surface 30. Meanwhile, the first
The end face of the magnetic pole portion 6a of the magnetic layer 6 on the medium facing surface 30 side is disposed closer to the medium facing surface 30 than the end face of the magnetic pole portion 9a of the second magnetic layer 9 on the medium facing surface 30 side. In the present embodiment, particularly, the end face of the magnetic pole portion 6a of the first magnetic layer 6 on the medium facing surface 30 side is arranged at the same position as the medium facing surface 30.
【００２６】第２の磁性層９の磁極部分９ａの媒体対向
面３０側の端面と媒体対向面３０との距離（以下、リセ
ス長と言う。）Ｄは１μｍ以下が好ましい。The distance D (hereinafter referred to as a recess length) between the end face of the magnetic pole portion 9a of the second magnetic layer 9 on the medium facing surface 30 side and the medium facing surface 30 is preferably 1 μm or less.
【００２７】また、第１の磁性層６の磁極部分６ａと第
２の磁性層９の磁極部分９ａとの間の距離（以下、ギャ
ップ長と言う。）Ｌは１μｍ以下が好ましい。The distance (hereinafter referred to as gap length) L between the magnetic pole portion 6a of the first magnetic layer 6 and the magnetic pole portion 9a of the second magnetic layer 9 is preferably 1 μm or less.
【００２８】第１の磁性層６の磁極部分６ａの幅Ｗ１は
記録のトラック幅を決定する。The width W1 of the magnetic pole portion 6a of the first magnetic layer 6 determines the recording track width.
【００２９】一例として、本実施の形態では、第１の磁
性層６の磁極部分６ａの幅Ｗ１を０．２μｍとし、第２
の磁性層９の磁極部分９ａの幅Ｗ２を２μｍとし、ギャ
ップ長Ｌを０．４μｍとし、リセス長Ｄを０．８μｍと
する。As an example, in the present embodiment, the width W1 of the magnetic pole portion 6a of the first magnetic layer 6 is set to 0.2 μm,
The width W2 of the magnetic pole portion 9a of the magnetic layer 9 is 2 μm, the gap length L is 0.4 μm, and the recess length D is 0.8 μm.
【００３０】本実施の形態に係る磁気ヘッドの作用およ
び効果は、他の実施の形態に係る磁気ヘッドの作用およ
び効果と共に後で説明する。The operation and effect of the magnetic head according to this embodiment will be described later together with the operation and effect of the magnetic head according to another embodiment.
【００３１】［第２の実施の形態］図７は本発明の第２
の実施の形態に係る磁気ヘッドの構成を示す断面図であ
る。なお、図７は媒体対向面および基板の面に垂直な断
面を示している。図８は本実施の形態に係る磁気ヘッド
の要部を示す平面図である。図９は本実施の形態に係る
磁気ヘッドの磁極部分の近傍を示す斜視図である。な
お、図８および図９は、１／２部分を表している。ま
た、図１０は本実施の形態に係る磁気ヘッドの磁極部分
の近傍を示す断面図である。なお、図１０は媒体対向面
および基板の面に垂直な断面を示している。図１１は本
実施の形態に係る磁気ヘッドの磁極部分の近傍を示す平
面図である。図１２は本実施の形態に係る磁気ヘッドの
磁極部分の近傍を示す断面図である。なお、図１２は媒
体対向面に平行な断面を示している。[Second Embodiment] FIG. 7 shows a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a magnetic head according to an embodiment. FIG. 7 shows a cross section perpendicular to the medium facing surface and the surface of the substrate. FIG. 8 is a plan view showing a main part of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 9 is a perspective view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head according to the present embodiment. 8 and 9 show a half portion. FIG. 10 is a sectional view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 10 shows a cross section perpendicular to the medium facing surface and the surface of the substrate. FIG. 11 is a plan view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 12 is a cross-sectional view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 12 shows a cross section parallel to the medium facing surface.
【００３２】本実施の形態に係る磁気ヘッドでは、第１
の磁極層６は以下のような構成になっている。すなわ
ち、第１の磁極層６は、薄膜コイル７の一部に対向する
領域を含む領域に配置された第１の層６Ｅと、この第１
の層６Ｅの薄膜コイル７側に隣接するように配置された
第２の層６Ｄと、第２の層６Ｄの薄膜コイル７側の面に
おいて薄膜コイル７の中心の近傍の位置に接続され、第
２の磁性層９と接続される接続部分層６Ｃとを有してい
る。In the magnetic head according to the present embodiment, the first
Has the following configuration. That is, the first magnetic pole layer 6 includes the first layer 6 </ b> E disposed in a region including a region facing a part of the thin-film coil 7 and the first layer 6 </ b> E.
A second layer 6D disposed adjacent to the thin film coil 7 side of the layer 6E, and a second layer 6D connected to a position near the center of the thin film coil 7 on the surface of the second layer 6D on the side of the thin film coil 7; And a connection partial layer 6C connected to the second magnetic layer 9.
【００３３】図１０に示したように、第２の層６Ｄは、
第１の層６Ｅの薄膜コイル７側の面全体に接するように
配置されたヨーク部分６Ｄ2と、このヨーク部分６Ｄ2に
おける媒体対向面３０の近傍の位置より、薄膜コイル７
側に突出するように形成された突出部分６Ｄ1とを含ん
でいる。突出部分６Ｄ1は、第１の磁極層６の磁極部分
６ａを含んでいる。磁極部分６ａは、突出部分６Ｄ1に
おける他の部分より突出するように形成されている。第
２の層６Ｄは高飽和磁束密度材によって構成されてい
る。As shown in FIG. 10, the second layer 6D comprises
A yoke portion 6D 2 arranged in contact with the entire surface of the thin film coil 7 side of the first layer 6E, the position in the vicinity of the medium facing surface 30 in the yoke portion 6D 2, the thin film coil 7
And a projecting portion 6D 1 which is formed to project to the side. Projecting portion 6D 1 includes a pole portion 6a of the first pole layer 6. Pole portion 6a is formed so as to protrude from the other portions in the protruding portion 6D 1. The second layer 6D is made of a high saturation magnetic flux density material.
【００３４】一例として、本実施の形態では、第１の磁
性層６の磁極部分６ａの幅Ｗ１を０．２μｍとし、第２
の磁性層９の磁極部分９ａの幅Ｗ２を４μｍとし、ギャ
ップ長Ｌを０．４μｍとし、リセス長Ｄを０．５μｍと
する。As an example, in the present embodiment, the width W1 of the magnetic pole portion 6a of the first magnetic layer 6 is set to 0.2 μm,
The width W2 of the magnetic pole portion 9a of the magnetic layer 9 is 4 μm, the gap length L is 0.4 μm, and the recess length D is 0.5 μm.
【００３５】本実施の形態に係る磁気ヘッドのその他の
構成は、第１の実施の形態と同様である。Other configurations of the magnetic head according to the present embodiment are the same as those of the first embodiment.
【００３６】以下、図１３ないし図１６を参照して、本
実施の形態における第１ないし第３の変形例について説
明する。Hereinafter, first to third modifications of the present embodiment will be described with reference to FIGS.
【００３７】図１３は第１の変形例の磁気ヘッドの磁極
部分の近傍を示す断面図である。なお、図１３は媒体対
向面に平行な断面を示している。第１の変形例では、第
１の磁性層６の第２の層６Ｄの上面の一部を選択的にエ
ッチングすることにより、磁極部分６ａを形成してい
る。FIG. 13 is a sectional view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head of the first modification. FIG. 13 shows a cross section parallel to the medium facing surface. In the first modification, the magnetic pole portion 6a is formed by selectively etching a part of the upper surface of the second layer 6D of the first magnetic layer 6.
【００３８】図１４は第２の変形例の磁気ヘッドの磁極
部分の近傍を示す断面図である。なお、図１４は媒体対
向面および基板の面に垂直な断面を示している。図１５
は第２の変形例の磁気ヘッドの磁極部分の近傍を示す断
面図である。なお、図１５は媒体対向面に平行な断面を
示している。第２の変形例では、第２の磁性層９を、第
１の磁性層６側の第１の層９Ａと、第１の磁性層６とは
反対側の第２の層９Ｂに分け、第１の層９Ａを高飽和磁
束密度材によって構成している。FIG. 14 is a sectional view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head of the second modification. FIG. 14 shows a cross section perpendicular to the medium facing surface and the surface of the substrate. FIG.
FIG. 9 is a sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a second modification. FIG. 15 shows a cross section parallel to the medium facing surface. In the second modification, the second magnetic layer 9 is divided into a first layer 9A on the first magnetic layer 6 side and a second layer 9B on the opposite side to the first magnetic layer 6, and One layer 9A is made of a high saturation magnetic flux density material.
【００３９】図１６は第３の変形例の磁気ヘッドの磁極
部分の近傍を示す断面図である。なお、図１６は媒体対
向面に平行な断面を示している。第３の変形例では、第
２の変形例における第１の磁性層６の第２の層６Ｄの上
面の一部を選択的にエッチングすることにより、磁極部
分６ａを形成している。FIG. 16 is a sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a third modification. FIG. 16 shows a cross section parallel to the medium facing surface. In the third modification, the magnetic pole portion 6a is formed by selectively etching a part of the upper surface of the second layer 6D of the first magnetic layer 6 in the second modification.
【００４０】本実施の形態に係る磁気ヘッドの作用およ
び効果は、他の実施の形態に係る磁気ヘッドの作用およ
び効果と共に後で説明する。The operation and effect of the magnetic head according to this embodiment will be described later together with the operation and effect of the magnetic head according to another embodiment.
【００４１】［第３の実施の形態］図１７は本発明の第
３の実施の形態に係る磁気ヘッドの構成を示す断面図で
ある。なお、図１７は媒体対向面および基板の面に垂直
な断面を示している。図１８は本実施の形態に係る磁気
ヘッドの要部を示す平面図である。図１９は本実施の形
態に係る磁気ヘッドの磁極部分の近傍を示す斜視図であ
る。なお、図１８および図１９は、１／２部分を表して
いる。また、図２０は本実施の形態に係る磁気ヘッドの
磁極部分の近傍を示す断面図である。なお、図２０は媒
体対向面および基板の面に垂直な断面を示している。図
２１は本実施の形態に係る磁気ヘッドの磁極部分の近傍
を示す平面図である。図２２は本実施の形態に係る磁気
ヘッドの磁極部分の近傍を示す断面図である。なお、図
２２は媒体対向面に平行な断面を示している。[Third Embodiment] FIG. 17 is a sectional view showing the structure of a magnetic head according to a third embodiment of the present invention. FIG. 17 shows a cross section perpendicular to the medium facing surface and the surface of the substrate. FIG. 18 is a plan view showing a main part of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 19 is a perspective view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head according to the present embodiment. FIGS. 18 and 19 show a half portion. FIG. 20 is a cross-sectional view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 20 shows a cross section perpendicular to the medium facing surface and the surface of the substrate. FIG. 21 is a plan view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 22 is a sectional view showing the vicinity of the magnetic pole portion of the magnetic head according to the present embodiment. FIG. 22 shows a cross section parallel to the medium facing surface.
【００４２】本実施の形態に係る磁気ヘッドは、第１の
実施の形態と同様の基板１、絶縁層２、下部シールド層
３、絶縁層４およびＭＲ素子５を備えている。The magnetic head according to this embodiment includes the same substrate 1, insulating layer 2, lower shield layer 3, insulating layer 4, and MR element 5 as in the first embodiment.
【００４３】磁気ヘッドは、更に、絶縁層４の上に形成
された磁性材料よりなる第１の磁性層１６を備えてい
る。第１の磁性層１６は、記録ヘッドにおける一方の磁
性層と、再生ヘッドにおける上部シールド層とを兼ねて
いる。本実施の形態では、第１の磁性層１６は、一つの
層で構成され、また、高飽和磁束密度材によって構成さ
れているが、第２の実施の形態と同様に、磁性層１６
は、２層構造とし、そのうちのギャップ部側の層を高飽
和磁束密度材によって構成してもよい。The magnetic head further includes a first magnetic layer 16 made of a magnetic material formed on the insulating layer 4. The first magnetic layer 16 also serves as one magnetic layer in the recording head and the upper shield layer in the reproducing head. In the present embodiment, the first magnetic layer 16 is formed of a single layer and is formed of a material having a high saturation magnetic flux density.
May have a two-layer structure, of which a layer on the gap side may be made of a high saturation magnetic flux density material.
【００４４】図１８、図１９、図２１および図２２に示
したよう、第１の磁性層１６は、後述する薄膜コイル側
の面において媒体対向面３０の近傍の位置に形成された
磁極部分１６ａを含んでいる。磁極部分１６ａは、その
周辺部分より突出するように形成されている。磁極部分
１６ａは、例えば、図１９に示したように、第１の磁性
層１６の上面の一部を選択的にエッチングすることによ
り形成されている。As shown in FIGS. 18, 19, 21 and 22, the first magnetic layer 16 has a magnetic pole portion 16a formed at a position near the medium facing surface 30 on the surface on the side of the thin film coil described later. Contains. The magnetic pole portion 16a is formed so as to protrude from its peripheral portion. The magnetic pole portion 16a is formed, for example, by selectively etching a part of the upper surface of the first magnetic layer 16, as shown in FIG.
【００４５】磁気ヘッドは、更に、第１の磁性層１６の
薄膜コイル側の面において薄膜コイルの中心の近傍の位
置に接続され、後述する第２の磁性層と接続される磁性
材料よりなる接続部分層２６を備えている。The magnetic head is further connected to a position near the center of the thin film coil on the surface of the first magnetic layer 16 on the side of the thin film coil, and is formed of a magnetic material connected to a second magnetic layer described later. A partial layer 26 is provided.
【００４６】磁気ヘッドは、更に、接続部分層２６を中
心にして巻回された薄膜コイル１７を備えている。The magnetic head further includes a thin-film coil 17 wound around the connection portion layer 26.
【００４７】磁気ヘッドは、更に、薄膜コイル１７の一
部を挟んで第１の磁性層１６に対向するように配置され
た磁性材料よりなる第２の磁性層１９を備えている。な
お、薄膜コイル１７は、第１の磁性層１６および第２の
磁性層１９に対して絶縁された状態で設けられている。
図１８に示したように、第２の磁性層１９は、媒体対向
面３０の近傍に配置された磁極部分１９ａと、この磁極
部分１９ａの媒体対向面３０とは反対側に配置されたヨ
ーク部分１９ｂとを含んでいる。磁極部分１９ａは一定
の幅を有し、ヨーク部分１９ｂの幅は磁極部分１９ａの
幅よりも大きくなっている。ヨーク部分１９ｂは接続部
分層２６に接続されている。また、ヨーク部分１９ｂに
おける媒体対向面３０側の一部は、媒体対向面３０に近
づくほど第１の磁性層１６に近づくように屈曲してい
る。The magnetic head further includes a second magnetic layer 19 made of a magnetic material disposed so as to face the first magnetic layer 16 with a part of the thin-film coil 17 interposed therebetween. The thin-film coil 17 is provided in a state insulated from the first magnetic layer 16 and the second magnetic layer 19.
As shown in FIG. 18, the second magnetic layer 19 includes a magnetic pole portion 19a arranged near the medium facing surface 30 and a yoke portion arranged on the opposite side of the magnetic pole portion 19a from the medium facing surface 30. 19b. The pole portion 19a has a constant width, and the width of the yoke portion 19b is larger than the width of the pole portion 19a. The yoke portion 19b is connected to the connection portion layer 26. In addition, a part of the yoke portion 19 b on the medium facing surface 30 side is bent so as to approach the first magnetic layer 16 as approaching the medium facing surface 30.
【００４８】また、第２の磁性層１９は、第１の磁性層
１６側に配置された第１の層１９Ａと、第１の磁性層１
６とは反対側に配置された第２の層１９Ｂとを含んでい
る。第１の層１９Ａは高飽和磁束密度材によって構成さ
れている。なお、第２の磁性層１９は、高飽和磁束密度
材を用いずに構成することも可能である。Further, the second magnetic layer 19 includes a first layer 19 A disposed on the first magnetic layer 16 side and a first magnetic layer 1.
6 and a second layer 19B disposed on the opposite side. The first layer 19A is made of a high saturation magnetic flux density material. Note that the second magnetic layer 19 can be configured without using a high saturation magnetic flux density material.
【００４９】図１７および図２０に示したように、第１
の磁性層１６における磁極部分１６ａと第２の磁性層１
９における磁極部分１９ａとの間にはギャップ部１８が
設けられている。ギャップ部１８はアルミナ等の非磁性
且つ絶縁性の材料によって形成されている。As shown in FIGS. 17 and 20, the first
Of the magnetic pole portion 16a of the second magnetic layer 1
The gap portion 18 is provided between the magnetic pole portion 9 and the magnetic pole portion 19a. The gap 18 is formed of a non-magnetic and insulating material such as alumina.
【００５０】また、磁気ヘッドは、更に、絶縁層２の上
に形成された上記各層を覆うように形成された絶縁層２
０を備えている。The magnetic head further includes an insulating layer 2 formed so as to cover the above-mentioned layers formed on the insulating layer 2.
0 is provided.
【００５１】図２０に示したように、第１の磁性層１６
は記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置され、第２の磁性
層１９は記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されてい
る。As shown in FIG. 20, the first magnetic layer 16
Is disposed on the rear side in the traveling direction T of the recording medium, and the second magnetic layer 19 is disposed on the front side in the traveling direction T of the recording medium.
【００５２】また、図２０に示したように、第２の磁性
層１９の磁極部分１９ａの媒体対向面３０側の端面は、
媒体対向面３０から離れた位置に配置されている。一
方、第１の磁性層１６の磁極部分１６ａの媒体対向面３
０側の端面は、第２の磁性層１９の磁極部分１９ａの媒
体対向面３０側の端面よりも媒体対向面３０側に配置さ
れている。本実施の形態では、特に、第１の磁性層１６
の磁極部分１６ａの媒体対向面３０側の端面は媒体対向
面３０と同一位置に配置されている。As shown in FIG. 20, the end face of the magnetic pole portion 19a of the second magnetic layer 19 on the medium facing surface 30 side is:
It is arranged at a position distant from the medium facing surface 30. On the other hand, the medium facing surface 3 of the magnetic pole portion 16a of the first magnetic layer 16
The end surface on the zero side is disposed closer to the medium facing surface 30 than the end surface of the magnetic pole portion 19a of the second magnetic layer 19 on the medium facing surface 30 side. In the present embodiment, in particular, the first magnetic layer 16
The end face of the magnetic pole portion 16a on the medium facing surface 30 side is arranged at the same position as the medium facing surface 30.
【００５３】第１の実施の形態と同様に、第２の磁性層
１９の磁極部分１９ａの媒体対向面３０側の端面と媒体
対向面３０との距離であるリセス長Ｄは１μｍ以下が好
ましい。また、第１の磁性層１６の磁極部分１６ａと第
２の磁性層１９の磁極部分１９ａとの間の距離であるギ
ャップ長Ｌは１μｍ以下が好ましい。As in the first embodiment, the recess length D, which is the distance between the end face of the magnetic pole portion 19a of the second magnetic layer 19 on the medium facing surface 30 side and the medium facing surface 30, is preferably 1 μm or less. The gap length L, which is the distance between the magnetic pole portion 16a of the first magnetic layer 16 and the magnetic pole portion 19a of the second magnetic layer 19, is preferably 1 μm or less.
【００５４】第１の磁性層１６の磁極部分１６ａの幅Ｗ
１は記録のトラック幅を決定する。The width W of the magnetic pole portion 16a of the first magnetic layer 16
1 determines the track width of recording.
【００５５】一例として、本実施の形態では、第１の磁
性層１６の磁極部分１６ａの幅Ｗ１を０．０８μｍと
し、第２の磁性層１９の磁極部分１９ａの幅Ｗ２を２μ
ｍとし、ギャップ長Ｌを０．４μｍとし、リセス長Ｄを
０．５μｍとする。As an example, in this embodiment, the width W1 of the magnetic pole portion 16a of the first magnetic layer 16 is 0.08 μm, and the width W2 of the magnetic pole portion 19a of the second magnetic layer 19 is 2 μm.
m, the gap length L is 0.4 μm, and the recess length D is 0.5 μm.
【００５６】図２３は、本実施の形態における変形例の
磁気ヘッドの磁極部分の近傍を示す断面図である。な
お、図２３は媒体対向面に平行な断面を示している。こ
の変形例では、第１の磁性層１６の上面において、磁極
部分１６ａの両側の部分は、第１の磁性層１６の両端部
までエッチングされている。FIG. 23 is a sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a modification of the present embodiment. FIG. 23 shows a cross section parallel to the medium facing surface. In this modification, on the upper surface of the first magnetic layer 16, portions on both sides of the magnetic pole portion 16 a are etched to both ends of the first magnetic layer 16.
【００５７】次に、上記第１ないし第３の実施の形態に
係る磁気ヘッドの作用および効果について説明する。Next, the operation and effect of the magnetic head according to the first to third embodiments will be described.
【００５８】上記各実施の形態に係る磁気ヘッドでは、
第１の磁性層６，１６の磁極部分６ａ，１６ａと第２の
磁性層９，１９の磁極部分９ａ，１９ａとがギャップ部
８，１８を介して互いに対向し、且つ第２の磁性層９，
１９の磁極部分９ａ，１９ａの媒体対向面３０側の端面
は媒体対向面３０から離れた位置に配置され、第１の磁
性層６，１６の磁極部分６ａ，１６ａの媒体対向面３０
側の端面は、第２の磁性層９，１９の磁極部分９ａ，１
９ａの媒体対向面３０側の端面よりも媒体対向面３０側
に配置されている。このような構成の磁気ヘッドでは、
垂直磁気記録用の磁界はギャップ部８，１８の近傍の小
さな領域に集中する。In the magnetic head according to each of the above embodiments,
The magnetic pole portions 6a, 16a of the first magnetic layers 6, 16 and the magnetic pole portions 9a, 19a of the second magnetic layers 9, 19 are opposed to each other via gaps 8, 18, and the second magnetic layer 9 ,
The end faces of the magnetic pole portions 9a, 19a on the side facing the medium facing surface 30 are located away from the medium facing surface 30, and the magnetic pole portions 6a, 16a of the first magnetic layers 6, 16 face the medium facing surface 30.
Side end faces are the magnetic pole portions 9a, 1 of the second magnetic layers 9, 19.
9a is located closer to the medium facing surface 30 than the end surface on the medium facing surface 30 side. In a magnetic head having such a configuration,
The magnetic field for perpendicular magnetic recording is concentrated in a small area near the gaps 8 and 18.
【００５９】図２４は、第１ないし第３の実施の形態に
係る磁気ヘッドについて、磁気ヘッドの媒体対向面３０
から２０ｎｍ離れた位置における垂直方向の磁界（相対
値）と記録媒体の進行方向の位置との関係を求めた結果
の一例を示す特性図である。図２４において、右側が記
録媒体の進行方向前方、左側が記録媒体の進行方向後方
である。また、図２４において、一点鎖線は第１の実施
の形態の磁気ヘッドの特性を示し、点線は第２の実施の
形態の磁気ヘッドの特性を示し、実線は第３の実施の形
態の磁気ヘッドの特性を示している。なお、図２４にお
ける位置の原点は、第１の磁性層６，１６の磁極部分６
ａ，１６ａのギャップ部８，１８側の端部の位置として
いる。FIG. 24 shows a magnetic head according to the first to third embodiments.
FIG. 10 is a characteristic diagram illustrating an example of a result obtained by calculating a relationship between a vertical magnetic field (relative value) at a position 20 nm away from the recording medium and a position in a traveling direction of a recording medium. In FIG. 24, the right side is the front in the traveling direction of the recording medium, and the left side is the rear in the traveling direction of the recording medium. In FIG. 24, the dashed line indicates the characteristic of the magnetic head of the first embodiment, the dotted line indicates the characteristic of the magnetic head of the second embodiment, and the solid line indicates the magnetic head of the third embodiment. It shows the characteristic of. Note that the origin of the position in FIG. 24 is the magnetic pole portion 6 of the first magnetic layers 6 and 16.
a, 16a at the ends of the gap portions 8 and 18 side.
【００６０】図２４から、本発明の各実施の形態に係る
磁気ヘッドでは、垂直磁気記録用の磁界となる垂直方向
の磁界がギャップ部８，１８の近傍の小さな領域に集中
することが分かる。これにより、各実施の形態に係る磁
気ヘッドによれば、記録媒体に対して微細で高密度の磁
化パターンを形成することができ、その結果、記録の高
密度化を容易に実現することができる。FIG. 24 shows that in the magnetic head according to each of the embodiments of the present invention, the vertical magnetic field, which is the magnetic field for perpendicular magnetic recording, is concentrated in a small area near the gaps 8 and 18. Thereby, according to the magnetic head according to each embodiment, a fine and high-density magnetization pattern can be formed on the recording medium, and as a result, high-density recording can be easily realized. .
【００６１】また、図２４から、垂直方向の磁界の勾配
は、記録媒体の進行方向後方（図２４における左側）に
比べて、記録媒体の進行方向前方（図２４における右
側）の方が急峻である。従って、各実施の形態のよう
に、第１の磁性層６，１６を記録媒体の進行方向の後側
に配置し、第２の磁性層９，１９を記録媒体の進行方向
の前側に配置すると、これとは逆の配置の場合に比べ
て、記録媒体における磁化反転遷移幅が小さくなり、記
録媒体においてより高密度の磁化パターンを形成するこ
とができ、その結果、より記録の高密度化が可能にな
る。Further, from FIG. 24, the gradient of the magnetic field in the vertical direction is steeper in the forward direction of the recording medium (right side in FIG. 24) than in the backward direction of the recording medium (left side in FIG. 24). is there. Therefore, as in each embodiment, the first magnetic layers 6 and 16 are arranged on the rear side in the traveling direction of the recording medium, and the second magnetic layers 9 and 19 are arranged on the front side in the traveling direction of the recording medium. However, as compared with the case of the reverse arrangement, the transition width of the magnetization reversal in the recording medium becomes smaller, and a higher density magnetization pattern can be formed in the recording medium. As a result, the recording density becomes higher. Will be possible.
【００６２】次に、図２５を参照して、本発明の各実施
の形態に係る磁気ヘッドにおいてギャップ長Ｌが磁気ヘ
ッドの特性に与える影響について説明する。図２５は、
本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドにおいて、
ギャップ長Ｌと、磁気ヘッドの媒体対向面３０から２０
ｎｍ離れた位置における垂直方向の磁界の最大値（相対
値）との関係を求めた結果の一例を示す特性図である。
この例では、垂直方向の磁界の最大値は、ギャップ長Ｌ
が０．４μｍのときに最も大きく、ギャップ長Ｌが大き
くなるに従って小さくなっている。従って、ギャップ長
Ｌは、ある程度小さい方が好ましく、具体的には１μｍ
以下が好ましい。なお、図２５は第３の実施の形態に係
る磁気ヘッドについての特性を示したが、第１または第
２の実施の形態に係る磁気ヘッドについての特性も図２
５とほぼ同様である。Next, the effect of the gap length L on the characteristics of the magnetic head in the magnetic head according to each embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG.
In the magnetic head according to the third embodiment of the present invention,
The gap length L and the medium facing surface 30 to 20 of the magnetic head
FIG. 9 is a characteristic diagram showing an example of a result of obtaining a relationship with a maximum value (relative value) of a magnetic field in a vertical direction at a position separated by nm.
In this example, the maximum value of the vertical magnetic field is the gap length L
Is 0.4 μm, and decreases as the gap length L increases. Therefore, it is preferable that the gap length L is small to some extent, specifically, 1 μm
The following is preferred. Although FIG. 25 shows the characteristics of the magnetic head according to the third embodiment, the characteristics of the magnetic head according to the first or second embodiment are also shown in FIG.
It is almost the same as 5.
【００６３】次に、図２６を参照して、本発明の各実施
の形態に係る磁気ヘッドにおいてリセス長Ｄが磁気ヘッ
ドの特性に与える影響について説明する。図２６は、本
発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドにおいて、リ
セス長Ｄと、磁気ヘッドの媒体対向面３０から２０ｎｍ
離れた位置における垂直方向の磁界（相対値）との関係
を求めた結果の一例を示す特性図である。図２６におい
て、実線はリセス長Ｄが０．３μｍのときの特性を示
し、点線はリセス長Ｄが０．５μｍのときの特性を示し
ている。図２６から、リセス長Ｄが大きくなると、垂直
方向の磁界の最大値が小さくなることが分かる。従っ
て、リセス長Ｄは、ある程度小さい方が好ましく、具体
的には１μｍ以下が好ましい。なお、最適なリセス長Ｄ
の値は、磁気ヘッドに要求される特性等に応じて変化す
る。また、図２５は第１の実施の形態に係る磁気ヘッド
についての特性を示したが、第２または第３の実施の形
態に係る磁気ヘッドについての特性も図２５とほぼ同様
である。Next, the effect of the recess length D on the characteristics of the magnetic head in the magnetic head according to each embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 26 shows the recess length D and the distance from the medium facing surface 30 of the magnetic head of 20 nm in the magnetic head according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a characteristic diagram illustrating an example of a result of obtaining a relationship with a vertical magnetic field (relative value) at a distant position. In FIG. 26, the solid line shows the characteristics when the recess length D is 0.3 μm, and the dotted line shows the characteristics when the recess length D is 0.5 μm. FIG. 26 shows that the maximum value of the magnetic field in the vertical direction decreases as the recess length D increases. Therefore, it is preferable that the recess length D is small to some extent, specifically, it is preferable that the recess length D is 1 μm or less. The optimum recess length D
Varies depending on characteristics required for the magnetic head and the like. FIG. 25 shows the characteristics of the magnetic head according to the first embodiment, but the characteristics of the magnetic head according to the second or third embodiment are almost the same as those of FIG.
【００６４】ところで、垂直磁気記録用の記録媒体に
は、磁気記録層の他に軟磁性層を有しない単層媒体と、
磁気記録層の他に軟磁性層を有する２層媒体とがある。
２層媒体は、軟磁性層を有するために、単層媒体に比べ
てノイズの影響を受けやすい。しかしながら、従来の単
磁極型ヘッドでは、軟磁性層を磁路の一部として利用す
るため、記録媒体として２層媒体を用いる必要があっ
た。これに対し、本発明の各実施の形態に係る磁気ヘッ
ドでは、記録媒体として単層媒体も２層媒体も使用可能
である。このことを図２７および図２８を参照して説明
する。Incidentally, a recording medium for perpendicular magnetic recording includes a single-layer medium having no soft magnetic layer in addition to the magnetic recording layer;
There is a two-layer medium having a soft magnetic layer in addition to the magnetic recording layer.
Since the two-layer medium has the soft magnetic layer, it is more susceptible to noise than the single-layer medium. However, in the conventional single-pole type head, since the soft magnetic layer is used as a part of the magnetic path, it is necessary to use a two-layer medium as the recording medium. On the other hand, in the magnetic head according to each embodiment of the present invention, a single-layer medium or a two-layer medium can be used as a recording medium. This will be described with reference to FIGS. 27 and 28.
【００６５】図２７は、従来の単磁極型ヘッドについ
て、記録媒体として単層媒体を用いた場合と２層媒体を
用いた場合とで特性を比較した結果の一例を示す特性図
である。図２７では、磁気ヘッドの媒体対向面３０から
２０ｎｍ離れた位置における垂直方向の磁界（相対値）
と記録媒体の進行方向の位置との関係を示している。ま
た、図２７において、実線は単層媒体を用いた場合の特
性を示し、点線は２層媒体を用いた場合の特性を示して
いる。図２７から、単磁極型ヘッドを用いる場合には、
記録媒体として単層媒体を用いると垂直方向の磁界が極
端に小さくなるため、単層媒体では記録磁界を確保しに
くい。FIG. 27 is a characteristic diagram showing an example of the result of comparing the characteristics of a conventional single-pole type head when using a single-layer medium as a recording medium and when using a two-layer medium. In FIG. 27, a vertical magnetic field (relative value) at a position 20 nm away from the medium facing surface 30 of the magnetic head.
And the position of the recording medium in the traveling direction. In FIG. 27, the solid line shows the characteristics when a single-layer medium is used, and the dotted line shows the characteristics when a two-layer medium is used. From FIG. 27, when a single pole type head is used,
When a single-layer medium is used as the recording medium, the magnetic field in the vertical direction becomes extremely small. Therefore, it is difficult to secure a recording magnetic field with the single-layer medium.
【００６６】図２８は、第３の実施の形態に係る磁気ヘ
ッドについて、記録媒体として単層媒体を用いた場合と
２層媒体を用いた場合とで特性を比較した結果の一例を
示す特性図である。図２８では、磁気ヘッドの媒体対向
面３０から２０ｎｍ離れた位置における垂直方向の磁界
（相対値）と記録媒体の進行方向の位置との関係を示し
ている。また、図２８において、実線は単層媒体を用い
た場合の特性を示し、点線は２層媒体を用いた場合の特
性を示している。図２８から分かるように、第３の実施
の形態に係る磁気ヘッドを用いる場合には、記録媒体と
して単層媒体を用いても２層媒体を用いても特性に大き
な差異はない。従って、第３の実施の形態に係る磁気ヘ
ッドでは、記録媒体として、２層媒体のみならず、ノイ
ズの影響を受けにくい単層媒体も使用することが可能で
ある。なお、このことは第１または第２の実施の形態に
係る磁気ヘッドについて同様である。FIG. 28 is a characteristic diagram showing an example of the result of comparing the characteristics of the magnetic head according to the third embodiment when using a single-layer medium as a recording medium and when using a two-layer medium. It is. FIG. 28 shows the relationship between the vertical magnetic field (relative value) at a position 20 nm away from the medium facing surface 30 of the magnetic head and the position of the recording medium in the traveling direction. In FIG. 28, the solid line shows the characteristics when a single-layer medium is used, and the dotted line shows the characteristics when a two-layer medium is used. As can be seen from FIG. 28, when the magnetic head according to the third embodiment is used, there is no significant difference in characteristics even when a single-layer medium or a two-layer medium is used as a recording medium. Therefore, in the magnetic head according to the third embodiment, not only a two-layer medium but also a single-layer medium which is not easily affected by noise can be used as a recording medium. This is the same for the magnetic head according to the first or second embodiment.
【００６７】以上説明したように、本発明の各実施の形
態に係る磁気ヘッドは、互いに磁気的に連結され、媒体
対向面３０側においてギャップ部８，１８を介して互い
に対向する磁極部分６ａ，１６ａを含み、それぞれ少な
くとも１つの層を含む第１の磁性層６，１６および第２
の磁性層９，１９と、少なくとも一部が第１の磁性層
６，１６および第２の磁性層９，１９の間に、第１の磁
性層６，１６および第２の磁性層９，１９に対して絶縁
された状態で設けられた薄膜コイル７，１７とを備えて
いる。第２の磁性層９，１９の磁極部分９ａ，１９ａの
媒体対向面３０側の端面は媒体対向面３０から離れた位
置に配置され、第１の磁性層６，１６の磁極部分６ａ，
１６ａの媒体対向面３０側の端面は、第２の磁性層９，
１９の磁極部分９ａ，１９ａの媒体対向面３０側の端面
よりも媒体対向面３０側に配置されている。As described above, the magnetic heads according to the embodiments of the present invention are magnetically connected to each other, and are opposed to each other via the gaps 8 and 18 on the medium facing surface 30 side. 16a, the first magnetic layers 6, 16 and the second
The first magnetic layers 6, 16 and the second magnetic layers 9, 19 are at least partially between the first magnetic layers 6, 16 and the second magnetic layers 9, 19. And the thin-film coils 7 and 17 provided insulated from the thin-film coils. The end faces of the magnetic pole portions 9a, 19a of the second magnetic layers 9, 19 on the medium facing surface 30 side are arranged at positions away from the medium facing surface 30, and the magnetic pole portions 6a, 19a of the first magnetic layers 6, 16 are arranged.
The end face 16a on the medium facing surface 30 side is the second magnetic layer 9,
The 19 magnetic pole portions 9a, 19a are arranged closer to the medium facing surface 30 than the end surfaces of the magnetic pole portions 9a, 19a on the medium facing surface 30 side.
【００６８】本発明の各実施の形態に係る磁気ヘッドに
よれば、第１の磁性層６，１６の磁極部分６ａ，１６ａ
と第２の磁性層９，１９の磁極部分９ａ，１９ａとがギ
ャップ部８，１８を介して接近した位置に配置されてい
ると共に、第２の磁性層９，１９の磁極部分９ａ，１９
ａの媒体対向面３０側の端面が媒体対向面３０から離れ
た位置に配置されていることから、垂直磁気記録用の磁
界がギャップ部８，１８の近傍の小さな領域に集中す
る。そのため、各実施の形態に係る磁気ヘッドによれ
ば、記録媒体に対して高密度の磁化パターンを形成する
ことができ、その結果、記録の高密度化を容易に実現す
ることができる。According to the magnetic head of each embodiment of the present invention, the magnetic pole portions 6a, 16a of the first magnetic layers 6, 16
And the magnetic pole portions 9a, 19a of the second magnetic layers 9, 19 are arranged at positions close to each other via the gap portions 8, 18, and the magnetic pole portions 9a, 19 of the second magnetic layers 9, 19 are arranged.
Since the end face a on the medium facing surface 30 side is located away from the medium facing surface 30, the magnetic field for perpendicular magnetic recording concentrates on a small area near the gap portions 8, 18. Therefore, according to the magnetic head according to each embodiment, a high-density magnetization pattern can be formed on a recording medium, and as a result, high-density recording can be easily realized.
【００６９】また、本発明の各実施の形態に係る磁気ヘ
ッドは、構造が簡単であり、製造が容易である。The magnetic head according to each embodiment of the present invention has a simple structure and is easy to manufacture.
【００７０】また、本発明の各実施の形態に係る磁気ヘ
ッドによれば、第１の磁性層６，１６の磁極部分６ａ，
１６ａと第２の磁性層９，１９の磁極部分９ａ，１９ａ
とがギャップ部８，１８を介して接近した位置に配置さ
れているので、外部磁界によって磁極からの漏洩磁界が
増大して、記録媒体における磁化を消去するような問題
もない。Further, according to the magnetic head of each embodiment of the present invention, the magnetic pole portions 6a, 6a of the first magnetic layers 6, 16 are provided.
16a and the magnetic pole portions 9a, 19a of the second magnetic layers 9, 19
Are located close to each other via the gaps 8 and 18, there is no problem that the external magnetic field increases the leakage magnetic field from the magnetic pole and erases the magnetization in the recording medium.
【００７１】また、本発明の各実施の形態に係る磁気ヘ
ッドによれば、記録媒体として、２層媒体のみならず、
媒体によるノイズを発生しにくい単層媒体も使用するこ
とができ、ノイズの影響を低減することが可能になると
共に、記録媒体の設計および選択の自由度が増す。According to the magnetic head of each embodiment of the present invention, not only a two-layer medium but also a recording medium
A single-layer medium in which noise due to the medium hardly occurs can be used, so that the influence of noise can be reduced and the degree of freedom in designing and selecting a recording medium increases.
【００７２】また、本発明の各実施の形態に係る磁気ヘ
ッドにおいて、第１の磁性層６，１６における磁極部分
６ａ，１６ａを含む少なくとも一部や、第２の磁性層
９，１９における磁極部分９ａ，１９ａを含む少なくと
も一部を高飽和磁束密度材によって構成すれば、記録の
性能を更に向上させることができる。Further, in the magnetic head according to each embodiment of the present invention, at least a portion including the magnetic pole portions 6a, 16a in the first magnetic layers 6, 16 and the magnetic pole portions in the second magnetic layers 9, 19 are provided. If at least a part including 9a and 19a is made of a high saturation magnetic flux density material, the recording performance can be further improved.
【００７３】なお、本発明は上記各実施の形態に限定さ
れず、種々の変更が可能である。例えば、各実施の形態
では、第１の磁性層６，１６を記録媒体の進行方向の後
側に配置し、第２の磁性層９，１９を記録媒体の進行方
向の前側に配置したが、これとは逆の配置とすることも
可能である。The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications are possible. For example, in each of the embodiments, the first magnetic layers 6 and 16 are arranged on the rear side in the traveling direction of the recording medium, and the second magnetic layers 9 and 19 are arranged on the front side in the traveling direction of the recording medium. It is also possible to make the arrangement reverse to this.
【００７４】[0074]
【発明の効果】以上説明したように請求項１ないし６の
いずれかに記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドによれば、
第１の磁性層の磁極部分と第２の磁性層の磁極部分とが
ギャップ部を介して接近した位置に配置されていると共
に、第２の磁性層の磁極部分の媒体対向面側の端面が媒
体対向面から離れた位置に配置されていることから、垂
直磁気記録用の磁界がギャップ部の近傍の小さな領域に
集中する。従って、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッド
によれば、記録媒体に対して高密度の磁化パターンを形
成することができ、その結果、２層媒体だけでなく、軟
磁性層を設けない単層媒体においても、急峻な磁界勾配
を実現でき、記録の高密度化を容易に実現することがで
きるという効果を奏する。また、本発明の垂直磁気記録
用磁気ヘッドによれば、磁気ヘッドの構造が簡単であ
り、製造が容易になるという効果を奏する。As described above, according to the magnetic head for perpendicular magnetic recording according to any one of claims 1 to 6,
The magnetic pole portion of the first magnetic layer and the magnetic pole portion of the second magnetic layer are arranged at positions close to each other via the gap portion, and the end face of the magnetic pole portion of the second magnetic layer on the medium facing surface side has The magnetic field for perpendicular magnetic recording is concentrated in a small area near the gap because it is arranged at a position away from the medium facing surface. Therefore, according to the magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention, a high-density magnetization pattern can be formed on a recording medium. As a result, not only a two-layer medium but also a single-layer medium without a soft magnetic layer is provided. Also in a medium, a steep magnetic field gradient can be realized, and the effect of easily realizing high-density recording can be achieved. Further, according to the magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention, there is an effect that the structure of the magnetic head is simple and the manufacture is easy.
【００７５】また、請求項２記載の垂直磁気記録用磁気
ヘッドによれば、第１の磁性層を記録媒体の進行方向の
後側に配置し、第２の磁性層を記録媒体の進行方向の前
側に配置したので、より記録の高密度化が可能になると
いう効果を奏する。According to the magnetic head for perpendicular magnetic recording of the present invention, the first magnetic layer is disposed on the rear side in the traveling direction of the recording medium, and the second magnetic layer is disposed in the traveling direction of the recording medium. The arrangement on the front side has an effect that the recording density can be further increased.
【００７６】また、請求項３記載の垂直磁気記録用磁気
ヘッドによれば、第１の磁性層において、磁極部分を含
む少なくとも一部を高飽和磁束密度材によって構成した
ので、記録の性能を向上させることができるという効果
を奏する。According to the magnetic head for perpendicular magnetic recording according to the third aspect, since at least a part including the magnetic pole portion is made of the high saturation magnetic flux density material in the first magnetic layer, the recording performance is improved. The effect that it can be made to play is produced.
【００７７】また、請求項４記載の垂直磁気記録用磁気
ヘッドによれば、第２の磁性層において、磁極部分を含
む少なくとも一部を高飽和磁束密度材によって構成した
ので、記録の性能を向上させることができるという効果
を奏する。According to the magnetic head for perpendicular magnetic recording according to the fourth aspect of the present invention, at least a portion including the magnetic pole portion of the second magnetic layer is made of a high saturation magnetic flux density material, so that the recording performance is improved. The effect that it can be made to play is produced.
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの
構成を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of a magnetic head according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの
要部を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a main part of the magnetic head according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの
磁極部分の近傍を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing the vicinity of a magnetic pole portion of the magnetic head according to the first embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの
磁極部分の近傍を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of the magnetic head according to the first embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの
磁極部分の近傍を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing the vicinity of a magnetic pole portion of the magnetic head according to the first embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの
磁極部分の近傍を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of the magnetic head according to the first embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドの
構成を示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing a configuration of a magnetic head according to a second embodiment of the present invention.
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドの
要部を示す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing a main part of a magnetic head according to a second embodiment of the present invention.
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドの
磁極部分の近傍を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a second embodiment of the present invention.
【図１０】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッド
の磁極部分の近傍を示す断面図である。FIG. 10 is a sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a second embodiment of the present invention.
【図１１】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッド
の磁極部分の近傍を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a second embodiment of the present invention.
【図１２】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッド
の磁極部分の近傍を示す断面図である。FIG. 12 is a sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a second embodiment of the present invention.
【図１３】本発明の第２の実施の形態における第１の変
形例の磁気ヘッドの磁極部分の近傍を示す断面図であ
る。FIG. 13 is a cross-sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a first modification of the second embodiment of the present invention.
【図１４】本発明の第２の実施の形態における第２の変
形例の磁気ヘッドの磁極部分の近傍を示す断面図であ
る。FIG. 14 is a cross-sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a second modification of the second embodiment of the present invention.
【図１５】本発明の第２の実施の形態における第２の変
形例の磁気ヘッドの磁極部分の近傍を示す断面図であ
る。FIG. 15 is a cross-sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a second modification of the second embodiment of the present invention.
【図１６】本発明の第２の実施の形態における第３の変
形例の磁気ヘッドの磁極部分の近傍を示す断面図であ
る。FIG. 16 is a cross-sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a third modification of the second embodiment of the present invention.
【図１７】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッド
の構成を示す断面図である。FIG. 17 is a sectional view illustrating a configuration of a magnetic head according to a third embodiment of the invention.
【図１８】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッド
の要部を示す平面図である。FIG. 18 is a plan view illustrating a main part of a magnetic head according to a third embodiment of the invention.
【図１９】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッド
の磁極部分の近傍を示す斜視図である。FIG. 19 is a perspective view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a third embodiment of the present invention.
【図２０】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッド
の磁極部分の近傍を示す断面図である。FIG. 20 is a sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a third embodiment of the present invention.
【図２１】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッド
の磁極部分の近傍を示す平面図である。FIG. 21 is a plan view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a third embodiment of the present invention.
【図２２】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッド
の磁極部分の近傍を示す断面図である。FIG. 22 is a sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a third embodiment of the present invention.
【図２３】本発明の第３の実施の形態における変形例の
磁気ヘッドの磁極部分の近傍を示す断面図である。FIG. 23 is a sectional view showing the vicinity of a magnetic pole portion of a magnetic head according to a modification of the third embodiment of the present invention.
【図２４】本発明の各実施の形態に係る磁気ヘッドにつ
いて垂直方向の磁界と記録媒体の進行方向の位置との関
係を求めた結果の一例を示す特性図である。FIG. 24 is a characteristic diagram showing an example of a result of obtaining a relationship between a magnetic field in a vertical direction and a position in a traveling direction of a recording medium in the magnetic head according to each embodiment of the present invention.
【図２５】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッド
においてギャップ長と垂直方向の磁界の最大値との関係
を求めた結果の一例を示す特性図である。FIG. 25 is a characteristic diagram illustrating an example of a result of obtaining a relationship between a gap length and a maximum value of a vertical magnetic field in the magnetic head according to the third embodiment of the present invention.
【図２６】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッド
においてリセス長と垂直方向の磁界との関係を求めた結
果の一例を示す特性図である。FIG. 26 is a characteristic diagram showing an example of a result of obtaining a relationship between a recess length and a vertical magnetic field in the magnetic head according to the first embodiment of the present invention.
【図２７】従来の単磁極型ヘッドについて記録媒体とし
て単層媒体を用いた場合と２層媒体を用いた場合とで特
性を比較した結果の一例を示す特性図である。FIG. 27 is a characteristic diagram showing an example of a result of comparing characteristics between a case where a single-layer medium is used as a recording medium and a case where a two-layer medium is used for a conventional single-pole type head.
【図２８】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッド
について記録媒体として単層媒体を用いた場合と２層媒
体を用いた場合とで特性を比較した結果の一例を示す特
性図である。FIG. 28 is a characteristic diagram showing an example of a result of comparing characteristics of a magnetic head according to a third embodiment of the present invention when a single-layer medium is used as a recording medium and when a two-layer medium is used; is there.
６…第１の磁性層、６ａ…磁極部分、７…薄膜コイル、
８…ギャップ部、９…第２の磁性層、９ａ…磁極部分。6 first magnetic layer, 6a magnetic pole portion, 7 thin film coil,
8: gap portion, 9: second magnetic layer, 9a: magnetic pole portion.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野村 いづみ 東京都中央区日本橋１丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 Ｆターム(参考） 5D033 AA05 BA08 BA12 BA22 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing from the front page (72) Inventor Izumi Nomura 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo FTD term (reference) 5D033 AA05 BA08 BA12 BA22
Claims (6)
向する媒体対向面側においてギャップ部を介して互いに
対向する磁極部分を含み、それぞれ少なくとも１つの層
を含む第１および第２の磁性層と、 少なくとも一部が前記第１および第２の磁性層の間に、
前記第１および第２の磁性層に対して絶縁された状態で
設けられた薄膜コイルとを備え、 前記第２の磁性層の磁極部分の媒体対向面側の端面は媒
体対向面から離れた位置に配置され、 前記第１の磁性層の磁極部分の媒体対向面側の端面は、
前記第２の磁性層の磁極部分の媒体対向面側の端面より
も媒体対向面側に配置されていることを特徴とする垂直
磁気記録用磁気ヘッド。A first and a second magnetic layer magnetically coupled to each other and including magnetic pole portions facing each other via a gap on a medium facing surface side facing a recording medium, each including at least one layer. And at least a portion between the first and second magnetic layers,
A thin film coil provided in a state insulated from the first and second magnetic layers. The end face of the magnetic pole portion of the first magnetic layer on the medium facing surface side is:
A magnetic head for perpendicular magnetic recording, wherein the magnetic pole portion of the second magnetic layer is located closer to the medium facing surface than the end surface of the magnetic pole facing the medium facing surface.
の後側に配置され、前記第２の磁性層は記録媒体の進行
方向の前側に配置されることを特徴とする請求項１記載
の垂直磁気記録用磁気ヘッド。2. The recording medium according to claim 1, wherein the first magnetic layer is disposed on the rear side in the traveling direction of the recording medium, and the second magnetic layer is disposed on the front side in the traveling direction of the recording medium. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to the above.
含む少なくとも一部は高飽和磁束密度材によって構成さ
れていることを特徴とする請求項１または２記載の垂直
磁気記録用磁気ヘッド。3. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 1, wherein at least a part of the first magnetic layer including a magnetic pole part is made of a high saturation magnetic flux density material.
含む少なくとも一部は高飽和磁束密度材によって構成さ
れていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか
に記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。4. The perpendicular magnetic recording according to claim 1, wherein at least a part of the second magnetic layer including a magnetic pole part is made of a high saturation magnetic flux density material. Magnetic head.
の磁性層の磁極部分との間の距離は１μｍ以下であるこ
とを特徴とする請求項１ないし４のいずれか記載の垂直
磁気記録用磁気ヘッド。5. A magnetic pole portion of the first magnetic layer and the second magnetic layer.
5. The magnetic head for perpendicular magnetic recording according to claim 1, wherein a distance between the magnetic layer and the magnetic pole portion is 1 [mu] m or less.
面側の端面と媒体対向面との距離は１μｍ以下であるこ
とを特徴とする請求項１ないし５のいずれか記載の垂直
磁気記録用磁気ヘッド。6. The perpendicular magnetic device according to claim 1, wherein a distance between an end surface of the magnetic pole portion of the second magnetic layer on the medium facing surface side and the medium facing surface is 1 μm or less. Recording magnetic head.
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Legal Events
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040603 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040615 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041019 |