JP3207585B2 - 光音響試料セル及びその検出方法、その取り付け方法、その取り付け不良判断法 - Google Patents
光音響試料セル及びその検出方法、その取り付け方法、その取り付け不良判断法Info
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- JP3207585B2 JP3207585B2 JP03913293A JP3913293A JP3207585B2 JP 3207585 B2 JP3207585 B2 JP 3207585B2 JP 03913293 A JP03913293 A JP 03913293A JP 3913293 A JP3913293 A JP 3913293A JP 3207585 B2 JP3207585 B2 JP 3207585B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光音響試料セル及びそ
の検出方法，その取り付け方法，その取り付け不良判断
法に係り、詳しくは、光音響を利用した光音響試料セル
の評価技術に適用することができ、特に、試料交換を容
易に短時間で行うことができる光音響試料セルの改良に
関する。
の検出方法，その取り付け方法，その取り付け不良判断
法に係り、詳しくは、光音響を利用した光音響試料セル
の評価技術に適用することができ、特に、試料交換を容
易に短時間で行うことができる光音響試料セルの改良に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来の光音響試料セルの構造を示
す断面図である。図５において、51は圧力変化検出器及
び励起光導入窓52を有する試料覆い部であり、53は試料
覆い部51で覆われるように設けられた試料受け皿であ
り、54は試料覆い部51及び試料受け皿53周囲の所定箇所
を固定するネジである。そして、55は試料受け皿53のネ
ジ54止めされている箇所よりも内側の所定箇所に設けた
凹部56と試料覆い部51間に設けられたＯリングであり、
57は試料受け皿53の試料室内の凹部58底板上に試料覆い
部51の励起光導入窓52と対向するように設けられた試料
である。この従来の試料セルでは、Ｏリング55等を介し
てボルト締めやネジ54止めをして構成することにより、
気密性を保持できるという利点を有する。
す断面図である。図５において、51は圧力変化検出器及
び励起光導入窓52を有する試料覆い部であり、53は試料
覆い部51で覆われるように設けられた試料受け皿であ
り、54は試料覆い部51及び試料受け皿53周囲の所定箇所
を固定するネジである。そして、55は試料受け皿53のネ
ジ54止めされている箇所よりも内側の所定箇所に設けた
凹部56と試料覆い部51間に設けられたＯリングであり、
57は試料受け皿53の試料室内の凹部58底板上に試料覆い
部51の励起光導入窓52と対向するように設けられた試料
である。この従来の試料セルでは、Ｏリング55等を介し
てボルト締めやネジ54止めをして構成することにより、
気密性を保持できるという利点を有する。
【０００３】さて、従来、被検体と圧電素子との音響的
結合方法については、例えば特開平１−２１４７５６号
公報で報告されたものがあり、ここでは、被検体の圧電
素子に相対する面を真空吸引して圧電素子に密着させ、
真空吸引系を大気と連通可能にし、被検体と圧電素子間
の密着を着脱可能に構成することにより、音響インピー
ダンスの整合を図ることができるという利点を有する。
結合方法については、例えば特開平１−２１４７５６号
公報で報告されたものがあり、ここでは、被検体の圧電
素子に相対する面を真空吸引して圧電素子に密着させ、
真空吸引系を大気と連通可能にし、被検体と圧電素子間
の密着を着脱可能に構成することにより、音響インピー
ダンスの整合を図ることができるという利点を有する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た図５の従来の試料セルでは、気密性を保つためにＯリ
ング55等を介してボルト締めやネジ54止めして構成して
いるため、試料を交換する際はその度に開かなくてはな
らず、作業が煩雑となって作業時間が掛かる他、試料セ
ル内に納める都合上、試料サイズも制約を受けるという
問題があった。
た図５の従来の試料セルでは、気密性を保つためにＯリ
ング55等を介してボルト締めやネジ54止めして構成して
いるため、試料を交換する際はその度に開かなくてはな
らず、作業が煩雑となって作業時間が掛かる他、試料セ
ル内に納める都合上、試料サイズも制約を受けるという
問題があった。
【０００５】また、真空吸引によって試料覆い部51を試
料57に被せると、試料室（セル）内の圧力が極端に下が
り、検出感度が低下するという問題もあった。次に、上
記した特開平１−２１４７５６号公報のものでは、被検
体と圧電素子との結合方法を述べているが、これをマイ
クロホンによる光音響信号検出に適用させる場合は、上
記と同様試料を気密状態内に置かなければならず、試料
室内の圧力が変化すると、上記と同様検出感度が低下す
るという問題があった。
料57に被せると、試料室（セル）内の圧力が極端に下が
り、検出感度が低下するという問題もあった。次に、上
記した特開平１−２１４７５６号公報のものでは、被検
体と圧電素子との結合方法を述べているが、これをマイ
クロホンによる光音響信号検出に適用させる場合は、上
記と同様試料を気密状態内に置かなければならず、試料
室内の圧力が変化すると、上記と同様検出感度が低下す
るという問題があった。
【０００６】また、上記した何れの従来の場合でも試料
セルの取り付け不良を判断することが困難であり、測定
作業の効率が悪くなるという問題があった。そこで本発
明では、試料交換を容易に短時間で行うことができると
ともに、試料覆い部自体の面積を小さくすることがで
き、しかも試料室内の圧力を調整して検出感度の低下を
抑えることができ、更に試料セルの取り付け不良を判断
して測定作業の効率を良くすることができる光音響試料
セル構造及びその検出方法，その取り付け方法，その取
り付け不良判断法を提供することを目的としている。
セルの取り付け不良を判断することが困難であり、測定
作業の効率が悪くなるという問題があった。そこで本発
明では、試料交換を容易に短時間で行うことができると
ともに、試料覆い部自体の面積を小さくすることがで
き、しかも試料室内の圧力を調整して検出感度の低下を
抑えることができ、更に試料セルの取り付け不良を判断
して測定作業の効率を良くすることができる光音響試料
セル構造及びその検出方法，その取り付け方法，その取
り付け不良判断法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
圧力変化検出器及び励起光導入窓を有する試料覆い部を
設けた光音響信号を検出する光音響試料セルにおいて、
該試料覆い部の内面に、真空吸着用のシーリング部と試
料気密用のシーリング部とを設けることを特徴とするも
のである。
圧力変化検出器及び励起光導入窓を有する試料覆い部を
設けた光音響信号を検出する光音響試料セルにおいて、
該試料覆い部の内面に、真空吸着用のシーリング部と試
料気密用のシーリング部とを設けることを特徴とするも
のである。
【０００８】請求項２記載の発明は、上記請求項１記載
の発明において、測定箇所の周囲に２重のシーリング部
を設けることを特徴とするものである。請求項３記載の
発明は、前記請求項１乃至２の前記試料覆い部を測定物
に直に密着させ吸引することにより測定箇所を気密状態
中に置くことを特徴とするものである。
の発明において、測定箇所の周囲に２重のシーリング部
を設けることを特徴とするものである。請求項３記載の
発明は、前記請求項１乃至２の前記試料覆い部を測定物
に直に密着させ吸引することにより測定箇所を気密状態
中に置くことを特徴とするものである。
【０００９】請求項４記載の発明は、上記請求項２記載
の発明において、前記請求項２の前記試料覆い部に、外
部と雰囲気を出し入れできるリーク弁を設けることを特
徴とするものである。請求項５記載の発明は、前記請求
項４の前記試料セルを測定物又は受け皿に取り付ける際
に、リーク弁を開いた状態で２重のシーリング間を吸引
し、密着完了後にリーク弁を閉じて気密状態にすること
を特徴とするものである。
の発明において、前記請求項２の前記試料覆い部に、外
部と雰囲気を出し入れできるリーク弁を設けることを特
徴とするものである。請求項５記載の発明は、前記請求
項４の前記試料セルを測定物又は受け皿に取り付ける際
に、リーク弁を開いた状態で２重のシーリング間を吸引
し、密着完了後にリーク弁を閉じて気密状態にすること
を特徴とするものである。
【００１０】請求項６記載の発明は、前記請求項５の前
記測定物を取り付ける際、一定時間吸引後も所定の圧力
に下がらない場合にリーク不良と見做すことを特徴とす
るものである。
記測定物を取り付ける際、一定時間吸引後も所定の圧力
に下がらない場合にリーク不良と見做すことを特徴とす
るものである。
【００１１】
【作用】請求項１記載の発明では、圧力変化検出器及び
励起光導入窓を有する試料覆い部の内面に、真空吸着用
のシーリング部と試料気密用のシーリング部とを設けて
構成している。このため、試料覆い部の内面に設けた真
空吸着用のシーリング部と試料気密用のシーリング部と
により真空吸引によって試料覆い部を適宣脱着すること
ができるので、試料交換を容易に短時間で行うことがで
きる。
励起光導入窓を有する試料覆い部の内面に、真空吸着用
のシーリング部と試料気密用のシーリング部とを設けて
構成している。このため、試料覆い部の内面に設けた真
空吸着用のシーリング部と試料気密用のシーリング部と
により真空吸引によって試料覆い部を適宣脱着すること
ができるので、試料交換を容易に短時間で行うことがで
きる。
【００１２】請求項２記載の発明では、上記請求項１記
載の発明において、測定箇所の周囲に２重のシーリング
部を設け、この２重のシーリング部間を吸引可能な構成
にしている。このため、２重のシーリング部の間を吸引
することで試料を前記試料覆い部内に気密状態で保持す
ることができる。従って、吸着部の面積を小さくするこ
とができるので、試料覆い部自体の大きさを小さくする
ことができる。
載の発明において、測定箇所の周囲に２重のシーリング
部を設け、この２重のシーリング部間を吸引可能な構成
にしている。このため、２重のシーリング部の間を吸引
することで試料を前記試料覆い部内に気密状態で保持す
ることができる。従って、吸着部の面積を小さくするこ
とができるので、試料覆い部自体の大きさを小さくする
ことができる。
【００１３】請求項３記載の発明では、上記請求項１乃
至２の上記試料覆い部を測定物に直に密着させ吸引する
ことにより測定箇所を気密状態に置いて測定するように
構成している。このため、試料に直接試料覆い部の検出
部を取り付けることができるので、試料サイズの大きな
ものも容易に測定することができる。請求項４記載の発
明では、上記請求項２の試料覆い部に、外部と雰囲気を
出し入れできるように試料室内の圧力を調節するリーク
弁を設けて構成している。このため、試料覆い部に設け
たリーク弁によって試料室内の減圧や増圧に対して試料
室内の圧力を適宜調整することができるので、検出感度
の低下を防ぐことができる。
至２の上記試料覆い部を測定物に直に密着させ吸引する
ことにより測定箇所を気密状態に置いて測定するように
構成している。このため、試料に直接試料覆い部の検出
部を取り付けることができるので、試料サイズの大きな
ものも容易に測定することができる。請求項４記載の発
明では、上記請求項２の試料覆い部に、外部と雰囲気を
出し入れできるように試料室内の圧力を調節するリーク
弁を設けて構成している。このため、試料覆い部に設け
たリーク弁によって試料室内の減圧や増圧に対して試料
室内の圧力を適宜調整することができるので、検出感度
の低下を防ぐことができる。
【００１４】請求項５記載の発明では、上記請求項４の
試料セルを測定物又は受け皿に取り付ける際、リーク弁
を開いた状態で２重のシーリング部間を吸引し、密着完
了後にリーク弁を閉じて気密状態にするように構成して
いる。このため、試料セルを取り付けた時にリークによ
って試料室内が減圧するのを生じないようにできるの
で、低感度状態で測定してしまうというミスを防ぐこと
ができる。
試料セルを測定物又は受け皿に取り付ける際、リーク弁
を開いた状態で２重のシーリング部間を吸引し、密着完
了後にリーク弁を閉じて気密状態にするように構成して
いる。このため、試料セルを取り付けた時にリークによ
って試料室内が減圧するのを生じないようにできるの
で、低感度状態で測定してしまうというミスを防ぐこと
ができる。
【００１５】請求項６記載の発明では、上記請求項５の
試料セルを測定物又は受け皿に取り付ける際、一定時間
吸引後も所定の圧力に下がらない場合にリーク不良と見
做すように構成している。このため、試料セル取り付け
ミスを取り付け時に判断することができるので、測定作
業の効率を良くすることができる。
試料セルを測定物又は受け皿に取り付ける際、一定時間
吸引後も所定の圧力に下がらない場合にリーク不良と見
做すように構成している。このため、試料セル取り付け
ミスを取り付け時に判断することができるので、測定作
業の効率を良くすることができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明（請求項１，２）の一実施例に則し
た光音響試料セルの構造を示す断面及び平面図である。
図示例は圧力変化検出器及び励起光導入窓を有する試料
覆い部を設けた光音響信号を検出する光音響試料セルに
適用することができる。図１において、１は圧力検出器
及び励起光導入窓２を有する試料覆い部であり、この試
料覆い部１の内面に、真空吸着用シーリング（Ｏリン
グ）３と試料気密保持用シーリング（Ｏリング）４とが
設けられている。次いで、５は真空吸着用シーリング３
と試料気密保持用シーリング４間から試料覆い部１上に
かけて設けられた真空吸引口であり、６は試料覆い部１
で覆われる受け皿（又は試料）であり、７は試料覆い部
１と受け皿６間に設けられた試料室であり、８はマイク
ロホン取り付け口である。
する。図１は本発明（請求項１，２）の一実施例に則し
た光音響試料セルの構造を示す断面及び平面図である。
図示例は圧力変化検出器及び励起光導入窓を有する試料
覆い部を設けた光音響信号を検出する光音響試料セルに
適用することができる。図１において、１は圧力検出器
及び励起光導入窓２を有する試料覆い部であり、この試
料覆い部１の内面に、真空吸着用シーリング（Ｏリン
グ）３と試料気密保持用シーリング（Ｏリング）４とが
設けられている。次いで、５は真空吸着用シーリング３
と試料気密保持用シーリング４間から試料覆い部１上に
かけて設けられた真空吸引口であり、６は試料覆い部１
で覆われる受け皿（又は試料）であり、７は試料覆い部
１と受け皿６間に設けられた試料室であり、８はマイク
ロホン取り付け口である。
【００１７】このように、本実施例では、試料覆い部１
の内面に真空吸着用シーリング３と試料気密保持用シー
リング４を設けて構成しているため、真空吸着で試料覆
い部１を試料上に固定することができるうえ、試料覆い
部１の脱着をエアー吸引機のＯＮ／ＯＦＦで適宜操作す
ることができるので、試料覆い部１を適宜脱着すること
ができ、試料交換を容易に短時間で行うことができる。
しかも、試料気密保持用シーリング４により試料周囲の
気密性を保持することができるので、試料覆い部１の固
定の際の真空吸引によって内圧の低下を抑えることがで
きる。
の内面に真空吸着用シーリング３と試料気密保持用シー
リング４を設けて構成しているため、真空吸着で試料覆
い部１を試料上に固定することができるうえ、試料覆い
部１の脱着をエアー吸引機のＯＮ／ＯＦＦで適宜操作す
ることができるので、試料覆い部１を適宜脱着すること
ができ、試料交換を容易に短時間で行うことができる。
しかも、試料気密保持用シーリング４により試料周囲の
気密性を保持することができるので、試料覆い部１の固
定の際の真空吸引によって内圧の低下を抑えることがで
きる。
【００１８】また、本実施例では、真空吸着用シーリン
グ３と試料気密保持用シーリング４を２重に設け、その
間を吸引可能な真空吸引部で構成し、内側シーリングの
内部を試料室７として構成する。そして、真空吸引部に
は真空吸引口５を設け、試料覆い部１を受け皿６等に押
しあてて、ポンプ等で吸引することで２重シーリング間
の圧力を下げ、この試料覆い部１を受け皿６に密着させ
る。このため、内側シーリングによって試料室７内の気
密性を保つことができるので、圧力の低下を防ぐことが
できる。しかも、吸着部の面積を小さくすることができ
るので、試料覆い部１自体の大きさを小さくすることが
できる。
グ３と試料気密保持用シーリング４を２重に設け、その
間を吸引可能な真空吸引部で構成し、内側シーリングの
内部を試料室７として構成する。そして、真空吸引部に
は真空吸引口５を設け、試料覆い部１を受け皿６等に押
しあてて、ポンプ等で吸引することで２重シーリング間
の圧力を下げ、この試料覆い部１を受け皿６に密着させ
る。このため、内側シーリングによって試料室７内の気
密性を保つことができるので、圧力の低下を防ぐことが
できる。しかも、吸着部の面積を小さくすることができ
るので、試料覆い部１自体の大きさを小さくすることが
できる。
【００１９】次に、本発明（請求項３）においては、図
１の試料覆い部１を受け皿６等でなく直接試料に吸着さ
せるために試料覆い部１を測定物に直に密着させ吸引す
ることにより測定箇所を気密状態中に置くように構成し
てもよく、この場合、試料に直接検出部を取り付けるこ
とができるので、試料サイズの大きなものも測定するこ
とができる。
１の試料覆い部１を受け皿６等でなく直接試料に吸着さ
せるために試料覆い部１を測定物に直に密着させ吸引す
ることにより測定箇所を気密状態中に置くように構成し
てもよく、この場合、試料に直接検出部を取り付けるこ
とができるので、試料サイズの大きなものも測定するこ
とができる。
【００２０】次に、本発明（請求項４）においては、図
２に示す如く、試料覆い部１に外部と雰囲気を出し入れ
できるように試料室内の圧力を調整するリーク弁10を設
けて構成してもよく、この場合、試料覆い部１に設けた
リーク弁10によって試料室７内の減圧や増圧に対して試
料室７内の圧力を適宜調整することができるので、検出
感度の低下を防ぐことができる。ここでは図１の構造に
外部と試料室７内とを繋ぐリーク弁10を設けた構造であ
る。なお、図３に示す如く、この試料覆い部１を試料に
直接又は受け皿６等に密着させる場合、内側のシーリン
グ13にリークがあると、吸引する際、試料室７内の雰囲
気まで吸引してしまうため、密着しても圧力変化の検出
感度が落ちてしまう。
２に示す如く、試料覆い部１に外部と雰囲気を出し入れ
できるように試料室内の圧力を調整するリーク弁10を設
けて構成してもよく、この場合、試料覆い部１に設けた
リーク弁10によって試料室７内の減圧や増圧に対して試
料室７内の圧力を適宜調整することができるので、検出
感度の低下を防ぐことができる。ここでは図１の構造に
外部と試料室７内とを繋ぐリーク弁10を設けた構造であ
る。なお、図３に示す如く、この試料覆い部１を試料に
直接又は受け皿６等に密着させる場合、内側のシーリン
グ13にリークがあると、吸引する際、試料室７内の雰囲
気まで吸引してしまうため、密着しても圧力変化の検出
感度が落ちてしまう。
【００２１】そこで、本発明（請求項５）においては、
試料セルを測定物又は受け皿に取り付ける際、リーク弁
を開いた状態で２重のシーリング間を吸引し、密着完了
後にリーク弁を閉じて気密状態にするように構成すると
よく、この場合、試料セルを取り付けた時にリークによ
って試料室内が減圧するのを生じないようにできるの
で、低感度状態で測定してしまうというミスを防ぐこと
ができる。
試料セルを測定物又は受け皿に取り付ける際、リーク弁
を開いた状態で２重のシーリング間を吸引し、密着完了
後にリーク弁を閉じて気密状態にするように構成すると
よく、この場合、試料セルを取り付けた時にリークによ
って試料室内が減圧するのを生じないようにできるの
で、低感度状態で測定してしまうというミスを防ぐこと
ができる。
【００２２】なお、真空吸引時は上記弁を開いておけ
ば、リークがある場合は弁よりエアーが流入し、試料覆
い部が密着しない。この吸引時間を予め見積もっておい
て、その一定時間後も密着しない場合はリーク不良と見
做せる。そこで、本発明（請求項６）においては、測定
物を取り付ける際、一定時間吸引後も所定の圧力に下が
らない場合にリーク不良と見做すように構成するとよ
く、この場合、試料セル取り付けミスを取り付け時に判
断できるので、測定作業を効率良くすることができる。
ば、リークがある場合は弁よりエアーが流入し、試料覆
い部が密着しない。この吸引時間を予め見積もっておい
て、その一定時間後も密着しない場合はリーク不良と見
做せる。そこで、本発明（請求項６）においては、測定
物を取り付ける際、一定時間吸引後も所定の圧力に下が
らない場合にリーク不良と見做すように構成するとよ
く、この場合、試料セル取り付けミスを取り付け時に判
断できるので、測定作業を効率良くすることができる。
【００２３】次に、本発明においては、図４に示す如
く、試料気密保持用シーリング４の周辺に複数個の真空
吸引口５を設けて構成してもよく、この場合、受け皿６
等に固定することで脱着容易な試料セルを実現すること
ができる。
く、試料気密保持用シーリング４の周辺に複数個の真空
吸引口５を設けて構成してもよく、この場合、受け皿６
等に固定することで脱着容易な試料セルを実現すること
ができる。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、試料交換を容易に短時
間で行うことができるとともに、試料覆い部自体の面積
を小さくすることができ、しかも試料室内の圧力を調整
して検出感度の低下を抑えることができ、更に試料セル
の取り付け不良を判断して測定作業の効率を良くするこ
とができるという効果がある。
間で行うことができるとともに、試料覆い部自体の面積
を小さくすることができ、しかも試料室内の圧力を調整
して検出感度の低下を抑えることができ、更に試料セル
の取り付け不良を判断して測定作業の効率を良くするこ
とができるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例に則した光音響試料セルの構
造を示す断面及び平面図である。
造を示す断面及び平面図である。
【図２】本発明に適用できる光音響試料セルの構造を示
す断面図である。
す断面図である。
【図３】試料覆い部を受け皿等に密着させて内側のシー
リングにリークが生じた時に圧力変化の検出感度が低下
する様子を示す図である。
リングにリークが生じた時に圧力変化の検出感度が低下
する様子を示す図である。
【図４】本発明に適用できる光音響試料セル構造の構造
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図５】従来例の光音響試料セル構造の構造を示す断面
図である。
図である。
１ 試料覆い部 ２ 励起光導入窓 ３ 真空吸着用シーリング ４ 試料気密保持用シーリング ５ 真空吸引口 ６ 受け皿 ７ 試料室 ８ マイクロホン切り付け口 10 リーク弁 13 シーリング
Claims (6)
- 【請求項１】圧力変化検知器及び励起光導入窓を有する
試料覆い部を設け、前記試料覆い部で覆われるように試
料受け皿を設けた光音響信号を検出する光音響試料セル
において、前記試料覆い部と前記試料受け皿を真空吸着させるシー
リングと前記試料覆い部と前記試料受け皿で張られる空
間を気密化させるシーリングが、前記試料覆い部の前記
試料受け皿と接する部分に設けられた ことを特徴とする
光音響試料セル。 - 【請求項２】測定箇所の周囲に２重のシーリング部を設
け、該２重のシーリング部間を吸引可能な構成にするこ
とを特徴とする請求項１記載の光音響試料セル。 - 【請求項３】請求項１乃至２記載の光音響試料セルの試
料覆い部を測定物に直に密着させ吸引することにより測
定箇所を気密状態に置いて測定することを特徴とする光
音響試料セルの検出方法。 - 【請求項４】前記試料覆い部に試料室内の圧力を調節す
るリーク弁を設けることを特徴とする請求項２記載の光
音響試料セル。 - 【請求項５】上記請求項４の上記試料セルを測定物又は
受け皿に取り付ける際、上記リーク弁を開いた状態で上
記２重のシーリング部間を吸引し、密着完了後に上記リ
ーク弁を閉じて気密状態にすることを特徴とする光音響
試料セルの取り付け方法。 - 【請求項６】請求項５記載の試料セル取り付け方法によ
り上記試料セルを上記測定物又は上記受け皿に取り付け
る際、一定時間吸引後も所定圧力に下がらない場合にリ
ーク不良と見なすことを特徴とする光音響セルの取り付
け不良判断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03913293A JP3207585B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 光音響試料セル及びその検出方法、その取り付け方法、その取り付け不良判断法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03913293A JP3207585B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 光音響試料セル及びその検出方法、その取り付け方法、その取り付け不良判断法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06249837A JPH06249837A (ja) | 1994-09-09 |
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