JP3194528U

JP3194528U - 超音波洗浄装置

Info

Publication number: JP3194528U
Application number: JP2014004911U
Authority: JP
Inventors: 永強林
Original assignee: 朗曦科技股▲ふん▼有限公司
Priority date: 2014-09-16
Filing date: 2014-09-16
Publication date: 2014-11-27
Anticipated expiration: 2024-09-16

Abstract

【課題】板材に汚れが残る問題を改善する超音波洗浄装置を提供する。【解決手段】駆動軸１１、ブラシ本体１２、および超音波発生器１３を備える。駆動軸１１は、外力により駆動され回転可能である。ブラシ本体１２は、駆動軸１１に固接されており駆動軸１１により駆動され回転可能である。超音波発生器１３は、駆動軸１１を連結されており、超音波を発生し、超音波を駆動軸１１に伝達し、駆動軸１１によって超音波をブラシ本体１２に伝達させる。【選択図】図１

Description

本考案は、洗浄装置に関し、特に板材の洗浄作業に適用する超音波洗浄装置に関する。

通常、板材（例えばウエハーあるいはガラス基板）を洗浄する方法は、乾式洗浄及び湿式洗浄を含む。乾式洗浄は、紫外線（UV light）が板材を照射することによって、板材に付着した有機物質と酸素とを反応させ、発生した一酸化炭素、二酸化炭素、あるいは水蒸気を空気中に散逸させることで有機物質を除去する。湿式洗浄は、ブラシと水あるいは洗剤との組みあわせによって、板材の微粒子汚染、有機物質汚染及びイオン汚染等の問題を解決する。その原理は、ブラシにより板材に対する洗浄を行いブラシの毛材に表面に付着した微粒子汚れを除去することである。しかしながら、どのようにブラシを配置しても、板材に汚れが残る。

本考案は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、板材に汚れが残る問題を改善する超音波洗浄装置を提供することにある。

本考案が提供した超音波洗浄装置は、駆動軸、ブラシ本体、および超音波発生器を備える。駆動軸は、外力により駆動され回転可能である。ブラシ本体は、駆動軸に固接されており駆動軸により駆動され回転可能である。超音波発生器は、駆動軸を連結されており、超音波を発生し、超音波を駆動軸に伝達し、駆動軸によって超音波をブラシ本体に伝達させる。

本考案による超音波洗浄装置において、駆動軸がブラシ本体を駆動し、ブラシ本体が板材に対して洗浄を行う。また超音波発生器は、超音波を発生し、超音波をブラシ本体に伝達する。よって、板材に対するブラシ本体の洗浄効果を向上させることができる。

本考案の第一実施形態による超音波洗浄装置を示す斜視図である。本考案の第一実施形態による超音波洗浄装置を示す側面図である。本考案の第二実施形態による超音波洗浄装置を示す側面図である。本考案の第三実施形態による超音波洗浄装置を示す斜視図である。

（第一実施形態）
図１及び図２に示すように、本考案の第一実施形態による超音波洗浄装置は、一つの駆動軸１１、一つのブラシ本体１２及び一つの超音波発生器１３を備える。

駆動軸１１は、円柱状を呈し、外力（例えばモーターの駆動力）により駆動され回転可能である。

ブラシ本体１２は、駆動軸１１に固接され、また駆動軸により駆動され回転可能である。本実施形態において、ブラシ本体１２は、駆動軸１１に套設され、また駆動軸に沿い設置されている。

超音波発生器１３は、駆動軸１１を連結し、超音波を発生し、超音波を駆動軸に伝達し、また駆動軸１１によって超音波をブラシ本体１２に伝達する。

（第二実施形態）
図３に示すように、本考案の第二実施形態による超音波洗浄装置において、第一実施形態と違う点は、ブラシ本体１２が可撓性材料（例えば、プラスチック、ゴム、スポンジあるいは織物等）で製造されている、また複数の穴１２１がブラシ本体１２の外表面に設置されていることにある。使用時に板材の表面からブラシ本体１２に除去された汚れが各穴１２１に入るため、板材に対する洗浄効果を向上させることができる。

（第三実施形態）
図４に示すように、本考案の第三実施形態による超音波洗浄装置において、ブラシ本体１２は、駆動軸１１の一端に固接され、駆動軸１１により駆動され回転可能である。

板材に対して洗浄作業を行う時、本考案が提供した超音波洗浄装置において、駆動軸１１は、ブラシ本体１２を駆動し回転させる。ブラシ本体１２は、板材を接触し、洗浄作業を行う。超音波発生器１３は、超音波を発生し、超音波を駆動軸１１に伝達し、また駆動軸１１により超音波をブラシ本体１２に伝達する。よって、本考案による超音波洗浄装置において、駆動軸１１がブラシ本体１２を駆動し板材に対して洗浄を行わせ、また超音波発生器が超音波を発生しブラシ本体１２に伝達するため、板材１２に対するブラシ本体の洗浄効果を向上させ、板材に汚れが残る問題を改善することができる。

１１駆動軸
１２ブラシ本体
１２１穴
１３超音波発生器

Claims

外力により駆動され回転可能な一つの駆動軸と、
前記駆動軸に固接されており、前記駆動軸により駆動され回転可能な一つのブラシ本体と、
前記駆動軸に連結されており、超音波を発生し、超音波を前記駆動軸に伝達し、前記駆動軸により超音波を前記ブラシ本体に伝達させる一つの超音波発生器と、を備えることを特徴とする超音波洗浄装置。
前記ブラシ本体は、駆動軸に覆設されており、前記駆動軸に沿って設置されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波洗浄装置。
前記ブラシ本体は、外表面に複数の穴が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の超音波洗浄装置。
前記ブラシ本体は、前記駆動軸の一端に固接されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波洗浄装置。
前記ブラシ本体は、外表面に複数の穴が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の超音波洗浄装置。