JP3185182U - 円弧形接触稜線を備えたセンサプローブ - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体装置などの半田ボール電極に接触して電気的特性を計測するセンサプローブにおいて接触面積を増やし、検査の精度を向上させたセンサプローブを提供する。
【解決手段】センサプローブ10の計測端に多数のプローブ爪12を具えると共に各該プローブ爪の間を結んでそれぞれ接触稜線121を形成し、且つ各該接触稜線を円弧形曲線に成形する。各該プローブ爪が円弧状の接触稜線であることによって、被計測物の円弧曲面の半田ボール電極表面に対して線接触することができる。
【選択図】図1
【解決手段】センサプローブ10の計測端に多数のプローブ爪12を具えると共に各該プローブ爪の間を結んでそれぞれ接触稜線121を形成し、且つ各該接触稜線を円弧形曲線に成形する。各該プローブ爪が円弧状の接触稜線であることによって、被計測物の円弧曲面の半田ボール電極表面に対して線接触することができる。
【選択図】図1
Description
本考案は、半導体装置等の特性試験に用いる円弧形接触稜線を備えたセンサプローブに関するもので、特にセンサプローブの計測端が多数のプローブ爪を具え、且つ各該プローブ爪はそれぞれの間を結ぶ接触稜線を形成し、更に各該接触稜線は円弧形曲線であり、被計測物の半田ボール電極との接触面積を増やす。
現在、生産している中央処理装置、集積回路等の電子装置は、通常多数の半田ボール電極でその電気的接続面を構成し、製作工程完了後、プローブを各半田ボール電極に接触させてその電気的特性を測定して、電子装置の各項機能が正常か否かを確定することが、品質管理の重要項目の一つである。
公知技術においては、電子装置の半田ボール電極に接触させてその電気的特性を計測するプローブは、その計測端は錐状である。計測時、その前端を対応する半田ボール電極に押圧して電気的に接続し、電気的特性を計測する。しかしながら、この方式は錐状のプローブヘッドを半田ボール電極に接触させる時、一点の点接触であるため、電気的接続特性が極めて不安定で、接触不良を起こしやすく、それによって検査値が不正確になるという欠点がある。
特許文献1及び2に示すのは、それぞれ多爪型式のプローブで、各爪は尖った錐状で検査時に、各爪の尖鋭点で被計測物の半田ボール電極に押圧される。また、多点接触により、前項で述べた公知のプローブの一点による点接触の欠点を改善し、多点接触による導通によって電気的接続が安定する。
しかしながら、特許文献1及び2の両公知案は、検査時、多点接触の目的は達成できているが、プローブの直径が非常に細いため、形成できるプローブ爪の数に制限があり、多くても4〜5爪である。これはつまり、半田ボール電極の接触点が多くても4〜5点の接触であることを表す。
解決しようとする問題点は、通常4〜5個よりも少ない接触点であるため、このように少数の接触点ではやはり、電気的接続が不安定である欠点が残る。他に、検査の接触方式は点接触であり、且つ各検査点の間隔は非常に近いため、隣り合う接触点間で電磁干渉を起こしやすく、検査の制度に影響するため、改善の必要がある。
本考案の考案者は、これらを鑑み、円弧形接触稜線を備えたセンサプローブを提案する。
本考案は、その計測端に多数のプローブ爪を具え、各該プローブ爪は、それぞれの爪の間を結ぶ接触稜線を形成し、且つ各該接触稜線を円弧形曲線に成形する。各該プローブ爪が円弧状の接触稜線を具えることにより、被計測物の半田ボール電極表面に相対して線接触することを最も主要な特徴とする。
本考案の円弧形接触稜線を備えたセンサプローブは、接触面積を増やし、検査の制度を向上させるという利点がある。
桿体を具え、該桿体の先端境界に計測端を形成し、該計測端は多数のプローブ爪を具える。各該プローブ爪は、それぞれの間を結ぶ接触稜線を形成し、各該接触稜線が円弧形線を形成する。仮に各該プローブ爪が円弧状の接触稜線である場合、計測物が円弧曲面の半田ボール電極表面に相対して線接触する。これらにより、接触面積を増やし、検査の精度を向上させる円弧形接触稜線を備えたセンサプローブを提供することを本考案の目的とする。
本考案が提示する円弧形接触稜線を備えたセンサプローブはそれを形成するプローブ爪の数について、本考案は制限しない。
本考案が提示する円弧形接触稜線を備えたセンサプローブは、その製造には、切削長さが該センサプローブの直径よりも大きい切削円柱(切削刀具が回転して構成)二個もしくは二個以上を用い、それぞれ相互に交錯させて、それぞれが該センサプローブの計測端を切削し、該計測端で複数の爪及び各爪の間を結ぶ円弧状接触稜線を多数備えるプローブ爪を形成する。例として、二切削円柱の交錯点は、該センサプローブの円周同一点上で通過し、その間に形成された接触稜線は、該センサプローブの円周から軸心までの円弧形内で凹曲線となる。但し、本考案は、これらの爪及び各爪の間を結んで形成される円弧状接触稜線の製造方法をこれらの製造方法に制限しない。
本考案が提示する円弧形接触稜線を備えたセンサプローブは、スリーブ内にスライド可能に挿入し、該スリーブ内で、第一バネを押さえ、該第一バネを計測物の対応する半田ボール電極に弾性押圧する。計測に際して、該スリーブは検査治具のスリーブ穴内に差し込む。本考案が提示するセンサプローブは更に、その外縁に凸縁部を設置し、該凸縁部と該検査治具のスリーブ穴間では第二バネを押さえ、該センサプローブが第一バネ及び第二バネの弾力を受けて、計測物の対応する半田ボール電極表面に弾性的に押圧し、計測の電気数値を更に向上させる。
本考案が提示する円弧形接触稜線を備えたセンサプローブに於いて、該センサプローブの各該プローブ爪が弧形曲線の接触稜線と検査する計測物の半田ボール電極で線接触し、対面接触する。本考案のセンサプローブと計測する半田ボール電極表面が複数本の線接触するため、周知の点接触と比較して、接触面積が増え、良好な電気的接続特性を確保し、計測結果を更に向上させる。
その他、本考案が提示する円弧形接触稜線を備えたセンサプローブに於いて、計測物の半田ボール電極表面と線接触することで、尖鋭な点接触に依る電界集中が発生しないため、電気的干渉作用が低減して、計測精度が向上し、本考案の新規性及び、産業利用性が向上する。
本考案は、以下に図式と共に、実施例を挙げて説明する。
図1及び図2に示すとおり、本考案は、円弧形接触稜線を備えたセンサプローブ10であり、それは桿体11を具える。該桿体11の先端には計測端を成形し、該計測端は多数のプローブ爪12を具え、各該プローブ爪12は、それぞれの間を結ぶ接触稜線121を形成し、各該接触稜線121は円弧形線を形成する。仮に、各該プローブ爪12が円弧状の接触稜線121である場合、計測物20は円弧曲面の半田ボール電極21表面に相対して線接触して、接触面積を増やし、検査の精度を向上させる。
本考案が提示する円弧形接触稜線を備えたセンサプローブにおいて、それを形成するプローブ爪12の数については、格別に制限を受けない。
本考案が提示する円弧形接触稜線を備えたセンサプローブは、その製造に際して、図3に示すように、切削長さが該センサプローブ10直径よりも大きい切削円柱C〔切削刀具が回転して構成〕二個もしくは二個以上を交互に交錯させてそれぞれ該センサプローブ10の計測端を切削し、該計測端に円弧状接触稜線121を多数備えたプローブ爪12を形成する。図3に示すのは、二切削円柱Cの交錯点であり、該センサプローブ10の円周上の同一点Pを通過して形成した各接触稜線121を形成し、該センサプローブ10端面の円周から軸心までに形成した円弧形内の凹曲線とする。また各該プローブ爪12の前端を尖らせて形成される。
本考案の製造方法は、これらの製造方法に制限するものではなく、押出でもプレス方式成型でもよい。
本考案の製造方法は、これらの製造方法に制限するものではなく、押出でもプレス方式成型でもよい。
図4に示すとおり、本考案が提示する円弧形接触稜線を備えたセンサプローブ10は、スリーブ30内にスライド可能に挿入されてスリーブ30内の第一バネ31を押圧し、該第一バネ31の弾発力により被計測物20の対応する半田ボール電極21に押圧して接触する。
測定時には該スリーブ30は検査治具40のスリーブ穴41内に差し込まれる。
図5に示すとおり、本考案のセンサプローブ10は、更にその外縁に凸縁部13を凸設して、該凸縁部13と該検査治具40のスリーブ穴41の間で第二バネ32を押圧し、該センサプローブ10は第一バネ31及第二バネ32の弾性的支持によって,被計測物20の対応する半田ボール電極21表面に弾性的に押圧されて電気的接続の安定性を確保し、計測の電気的数値の精度を向上する。
測定時には該スリーブ30は検査治具40のスリーブ穴41内に差し込まれる。
図5に示すとおり、本考案のセンサプローブ10は、更にその外縁に凸縁部13を凸設して、該凸縁部13と該検査治具40のスリーブ穴41の間で第二バネ32を押圧し、該センサプローブ10は第一バネ31及第二バネ32の弾性的支持によって,被計測物20の対応する半田ボール電極21表面に弾性的に押圧されて電気的接続の安定性を確保し、計測の電気的数値の精度を向上する。
本考案が提示する円弧形接触稜線を備えたセンサプローブは、該センサプローブ10の各該プローブ爪12が円弧形曲線の接触稜線121を形成して検査する被計測物20の半田ボール電極21と、相対して線接触するため、本考案のセンサプローブ10と計測する被計測物20の半田ボール電極21表面は、複数本の稜線で接触し、拠って公知の点接触と比較すると、接触面積が増加し、良好な電気接続特性を確保し、検査によって得た結果は更に精度が高まる。
その他、本考案が提示する円弧形接触稜線を備えたセンサプローブ10は被計測物20の半田ボール電極21表面とは線で接触するため、尖鋭点に於いて電界が集中しない効果が発生し、干渉が低下し、検査がより精密になり、本考案の新規性及び産業利用性が向上する。
本考案が提示したセンサプローブの構造、形状は、本考案の精神及び範囲の中で修飾応用を含め、本考案は上述の実施方式に制限を受けない。
10 センサプローブ
11 桿体
12 プローブ爪
121 接触稜線
13 凸縁部
20 計測物
21 半田ボール電極
30 スリーブ
31 第一バネ
32 第二バネ
40 検査治具
41 スリーブ穴
C 切削円柱
P 円周上的一点
11 桿体
12 プローブ爪
121 接触稜線
13 凸縁部
20 計測物
21 半田ボール電極
30 スリーブ
31 第一バネ
32 第二バネ
40 検査治具
41 スリーブ穴
C 切削円柱
P 円周上的一点
Claims (3)
- センサプローブにおいて、
桿体を具え、該桿体の先端に半田ボール電極表面に相対して接触する計測端を形成し、
該計測端は多数のプローブ爪を具えると共に、各該プローブ爪はそれぞれの間を結ぶ接触稜線を形成し,各該接触稜線は円弧形線を形成し、
各該プローブ爪がそれぞれの間を結ぶ円弧状の接触稜線を具えることにより、被計測物の円弧曲面の半田ボール電極表面に相対して線接触することを特徴とする円弧形接触稜線を備えたセンサプローブ。 - 前記円弧形接触稜線を備えたセンサプローブの形成する各接触稜線は、該センサプローブの計測端の円周から軸心の円弧形内までの凹曲線をなすことを特徴とする請求項1記載の円弧形接触稜線を備えたセンサプローブ。
- 前記センサプローブは、スリーブ内にスライド可能に挿入し、該スリーブ内で第一バネを押さえ、該第一バネによって計測物の対応半田ボール電極上で弾性押圧し、他に該センサプローブの外縁には凸縁部を設置し、該凸縁部と該検査治具のスリーブ穴間では第二バネを押さえることを特徴とする請求項1記載の円弧形接触稜線を備えたセンサプローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013002921U JP3185182U (ja) | 2013-05-24 | 2013-05-24 | 円弧形接触稜線を備えたセンサプローブ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021131997A1 (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-01 | 株式会社エンプラス | コンタクトピンの製造方法、コンタクトピン、及びソケット |
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- 2013-05-24 JP JP2013002921U patent/JP3185182U/ja not_active Expired - Fee Related
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