JP3183853B2 - In-line particle size distribution analyzer - Google Patents

In-line particle size distribution analyzer

Info

Publication number
JP3183853B2
JP3183853B2 JP28657197A JP28657197A JP3183853B2 JP 3183853 B2 JP3183853 B2 JP 3183853B2 JP 28657197 A JP28657197 A JP 28657197A JP 28657197 A JP28657197 A JP 28657197A JP 3183853 B2 JP3183853 B2 JP 3183853B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
particle size
size distribution
transparent glass
transmission path
open transmission
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP28657197A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH11118697A (en
Inventor
位 高橋
Original Assignee
東日コンピュータアプリケーションズ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 東日コンピュータアプリケーションズ株式会社 filed Critical 東日コンピュータアプリケーションズ株式会社
Priority to JP28657197A priority Critical patent/JP3183853B2/en
Priority to JP10283895A priority patent/JPH11190691A/en
Publication of JPH11118697A publication Critical patent/JPH11118697A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3183853B2 publication Critical patent/JP3183853B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、粉粒体の粒度測定
技術に関するものであり、更に詳細には、流動処理装置
又は空気輸送パイプに取り付けられて、流動層内又は空
気輸送パイプ中の粉体の粒度分布をリアルタイムで、か
つ、正確に測定することができるインライン粒度分布測
定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for measuring the particle size of a granular material, and more particularly, to a technique for mounting a powdery substance in a fluidized bed or in a pneumatic transport pipe attached to a fluid treatment device or an air transport pipe. The present invention relates to an in-line particle size distribution measuring device capable of accurately and accurately measuring the particle size distribution of a body in real time.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、砂糖、コーンスターチ、薬品
等に代表される粉粒体の粒径を合わせる際に行われる粒
度分布測定においては、その都度流動層内又は空気輸送
パイプ中から粉粒体をサンプリングし、検査室等に設置
されたレーザ光式粒径センサーで計測し、計測後の粉粒
体は再び流動層処理装置に戻すという方法が採られてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, in the particle size distribution measurement performed when adjusting the particle size of a granular material represented by sugar, corn starch, chemicals, etc., the granular material is measured from a fluidized bed or an air transport pipe each time. Is sampled and measured by a laser beam type particle size sensor installed in an inspection room or the like, and the measured powder or granular material is returned to the fluidized bed processing apparatus again.

【0003】しかし、この方法では、サンプリング自体
が面倒であるだけでなく、リアルタイムに流動層内の粒
度分布を把握できないという大きな問題があった。
However, this method has a serious problem that not only the sampling itself is troublesome, but also that the particle size distribution in the fluidized bed cannot be grasped in real time.

【0004】そこで、流動処理装置又は空気輸送パイプ
に、インライン方式で粒度分布測定装置の計測部を取り
付けて、流動状態又は輸送状態にある粉粒体を直接的に
計測する技術が考えられている。
Therefore, a technique has been considered in which a measuring unit of a particle size distribution measuring device is attached to a fluid processing device or a pneumatic transport pipe in an in-line manner to directly measure a powder in a fluid state or a transport state. .

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このイ
ンライン方式を採用した場合は、流動層又は空気輸送パ
イプ中を流動又は移動する粉粒体が、計測部に設けられ
た遮蔽ガラスに付着して汚れてしまうため、レーザ光の
散乱状態に影響が及び、測定誤差の大きな要因となると
いう大きな問題が生じる。
However, when this in-line method is adopted, particles flowing or moving in a fluidized bed or a pneumatic transport pipe adhere to a shielding glass provided in a measuring section and become contaminated. Therefore, there is a large problem that the scattering state of the laser light is affected and a large factor of measurement error is caused.

【0006】そこで、本発明は、計測部に設けられた遮
蔽ガラスに対する粉粒体の付着による汚れを防止して、
精度の高い粒度分布測定をリアルタイムに行うことがで
きるインライン粒度分布測定装置を提供することを目的
とする。
Accordingly, the present invention is to prevent the contamination due to the adhesion of the granular material to the shielding glass provided in the measuring section,
It is an object of the present invention to provide an in-line particle size distribution measurement device capable of performing highly accurate particle size distribution measurement in real time.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、以下の手段を採用する。請求項1では、
まず、レーザ光発生装置から出力されたレーザ光が通過
する一対の対向する筒型の測定ヘッドが設けられ、該測
定ヘッド間に形成された開放伝送路中に入った粉粒体に
よって発生する散乱光を集光し、散乱角を検知して、粉
粒体の粒度を測定する粒度分布測定装置とし、前記一対
の測定ヘッドを流動層処理装置内部に突設する。そし
て、各測定ヘッドは、レーザ光と直交するように配置さ
れた遮蔽透明ガラスと、該遮蔽透明ガラスの前方を取り
囲むように開放伝送路側に延びる外筒部と該外筒部先端
から半径方向内側に回り込んで遮蔽透明ガラス側に接近
するように延びる内筒部とから構成された円環状の中空
部と、該外筒部に形成された少なくとも一つのエアー流
入孔と、から構成されて、前記内筒部内に遮蔽透明ガラ
スの前面から前記開放伝送路へ向かう空気層流を形成す
る。即ち、エアー流入孔から所定方法により送り込まれ
るエアーは、測定ヘッド内に円環状に設けられた中空部
で滞流しつつ、前記内筒部先端と前記遮蔽透明ガラスの
間の隙間を通り抜けて吹き出し、遮蔽透明ガラス表面に
対して全円周方向から均等に吹きわたり、遮蔽透明ガラ
スから開放伝送路へ向かう空気層流を形成する。この空
気層流は、開放伝送路に入り込んだ粉粒体の測定ヘッド
への侵入を防止するとともに、遮蔽透明ガラス表面に空
気の渦をつくらないので、粉粒体の吹き溜まりを形成す
ることがない。請求項2では、レーザ光発生装置から出
力されたレーザ光が通過する一対の対向する筒型の測定
ヘッドが設けられ、該測定ヘッド間に形成された開放伝
送路中に入った粉粒体によって発生する散乱光を集光
し、散乱角を検知して、粉粒体の粒度を測定する粒度分
布測定装置とし、前記開放伝送路が粉体輸送路を横断す
るように測定ヘッドを粉体輸送パイプに取り付ける。そ
して、各測定ヘッドの構成を請求項1と同様の構成とし
て、前記内筒部内に遮蔽透明ガラスの前面から前記開放
伝送路へ向かう空気層流を形成する。この手段を採用す
ることにより、粉体輸送路内を移動する粉粒体が、開放
伝送路を通過する際に、測定ヘッドへ侵入することがな
く、遮蔽透明ガラス表面に粉粒体が付着することがなく
なる。請求項3では、測定ヘッド内に光伝送路を形成す
る内筒部が、遮蔽透明ガラスから開放伝送路側に向かう
ほど口径が狭くなるテーパー状に形成されたことを特徴
とする請求項1又は請求項2記載のインライン粒度分布
測定装置手段である。この手段により、空気層流の速度
が、遮蔽透明ガラスから開放伝送路側に向かうほどおお
きくなり、開放伝送路に入ってくる粉粒体が測定ヘッド
内へ侵入するのをより確実に防いで、粒度分布の測定精
度をより高める。請求項4では、エアー流入孔が、周方
向等間隔に複数箇所設けられたことを特徴とする請求項
1、請求項2、請求項3のいずれかに記載のインライン
粒度分布測定装置手段である。この手段により、前記内
筒部先端と前記遮蔽透明ガラスの間の隙間を通り抜けて
吹き出すエアーが、遮蔽透明ガラス表面に対して、全円
周方向からより均等に吹きわたり、遮蔽透明ガラス表面
に空気の渦をつくらず、粉粒体の吹き溜まりを形成する
ことがない。請求項5では、粉粒体により発生するレー
ザ光の散乱光を受光センサに集光して散乱角を検知し、
該受光センサに自動焦点機構を設けたことを特徴とする
請求項1、請求項2、請求項3,請求項4のいずれかに
記載のインライン粒度分布測定装置手段である。この手
段により、レーザ光に光伝送路中に使用するミラーや反
射プリズムのズレにより生ずる集光レンズの後の焦点の
ズレを、簡単に光軸調整し、容易に焦点合わせを行うこ
とができる。請求項6では、自動焦点機構が、リアルタ
イム測定中に自動的に焦点合わせができるようにプログ
ラムされたソフトウエアーを備えたことを特徴とする請
求項5に記載のインライン粒度分布測定装置手段を採用
する。この手段では、流動層処理装置内において、リア
ルタイム測定中に温度変化や振動で生じうる光軸のズレ
による焦点ズレを自動的に修正する。
In order to achieve the above object, the present invention employs the following means. In claim 1,
First, a pair of opposed cylindrical measuring heads through which a laser beam output from a laser beam generator passes is provided, and scattering generated by powder particles entering an open transmission path formed between the measuring heads. A particle size distribution measuring device that collects light, detects a scattering angle, and measures the particle size of the granular material is provided, and the pair of measuring heads are protruded inside the fluidized bed processing device. Each measurement head includes a shielded transparent glass disposed so as to be orthogonal to the laser beam, an outer cylindrical portion extending toward the open transmission path so as to surround the front of the shielded transparent glass, and a radially inner side from the outer cylindrical portion tip. An annular hollow portion formed of an inner cylindrical portion extending so as to approach the shielding transparent glass side by wrapping around, and at least one air inflow hole formed in the outer cylindrical portion, A laminar airflow from the front surface of the shielded transparent glass toward the open transmission path is formed in the inner cylindrical portion. That is, the air sent from the air inflow hole by a predetermined method is blown out through the gap between the inner cylindrical portion tip and the shielding transparent glass while flowing in the hollow portion provided in the annular shape in the measuring head, It blows evenly from the entire circumferential direction to the surface of the shielding transparent glass, or forms a laminar air flow from the shielding transparent glass to the open transmission path. This laminar air flow prevents the granular material that has entered the open transmission path from entering the measuring head, and does not create a swirl of air on the surface of the shielded transparent glass, so that no dust is trapped. . According to the second aspect, a pair of opposed cylindrical measuring heads through which the laser light output from the laser light generating device passes are provided, and the powdery and granular materials that enter the open transmission path formed between the measuring heads are provided. A scattered light generated is collected, a scattering angle is detected, and a particle size distribution measuring device for measuring the particle size of the granular material is provided. The measuring head is configured to transport the powder so that the open transmission path crosses the powder transport path. Attach to pipe. The configuration of each measurement head is the same as that of the first aspect, and a laminar air flow from the front surface of the shielded transparent glass to the open transmission path is formed in the inner cylindrical portion. By adopting this means, the powder particles moving in the powder transport path do not enter the measuring head when passing through the open transmission path, and the powder particles adhere to the surface of the shielding transparent glass. Disappears. According to a third aspect of the present invention, the inner cylindrical portion forming the optical transmission path in the measurement head is formed in a tapered shape in which the diameter becomes narrower from the shielding transparent glass toward the open transmission path side. Item 2 is an inline particle size distribution measuring device means. By this means, the velocity of the laminar air flow increases from the shielded transparent glass toward the open transmission path side, and the granular material entering the open transmission path is more reliably prevented from entering the measurement head, and the particle size is reduced. Increase the distribution measurement accuracy. According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the inline particle size distribution measuring device according to any one of the first to third aspects, wherein a plurality of air inlet holes are provided at equal intervals in a circumferential direction. . By this means, the air blown out through the gap between the inner cylindrical portion tip and the shielding transparent glass is blown more uniformly from all circumferential directions to the shielding transparent glass surface, or the air is blown to the shielding transparent glass surface. Vortices are not formed, and no dust pools are formed. In claim 5, the scattered light of the laser light generated by the granular material is focused on the light receiving sensor to detect the scattering angle,
An in-line particle size distribution measuring device according to any one of claims 1, 2, 3, and 4, wherein the light receiving sensor is provided with an automatic focusing mechanism. By this means, it is possible to easily adjust the optical axis of the focal point after the condenser lens, which is caused by the deviation of the mirror or the reflection prism used in the optical transmission path for the laser light, and to easily perform the focusing. According to a sixth aspect of the present invention, the automatic focusing mechanism comprises software programmed to automatically focus during the real-time measurement. I do. In this means, in the fluidized bed processing apparatus, the focus shift due to the shift of the optical axis which may be caused by the temperature change or the vibration during the real time measurement is automatically corrected.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】次に、本発明の好適な実施例につ
いて添付図面を参照して説明する。図1は、本発明に係
る第1の実施例の全体概略図、図2は、同実施例の要部
である測定ヘッド部の断面図、図3は、同実施例の発光
部及び受光部を示すブロック図、図4は、同実施例の受
光センサのチャンネルの構造を示す図、図5は、同実施
例の自動焦点機構の手順を示すフロー図、図6は、同機
構の測定中の手順を示すフロー図、図7は、同実施例の
変形例を示す全体概略図、図8は、本発明に係る第2の
実施例の全体概略図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an overall schematic view of a first embodiment according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of a measuring head section which is a main part of the first embodiment, and FIG. 3 is a light emitting section and a light receiving section of the same embodiment. FIG. 4 is a diagram showing the structure of the channel of the light receiving sensor of the embodiment, FIG. 5 is a flowchart showing the procedure of the automatic focusing mechanism of the embodiment, and FIG. FIG. 7 is an overall schematic diagram showing a modification of the embodiment, and FIG. 8 is an overall schematic diagram of a second embodiment according to the present invention.

【0009】以下に説明する本発明に係る第1の実施例
は、レーザ光散乱法に基づく粒度分布測定装置であっ
て、インライン方式、即ち、流動層処理装置等の中に計
測部となる測定ヘッド2を設ける方式の装置であり、具
体的には、粉粒体20によりレーザー光10が散乱する
場所となる開放伝送路12(図1等参照)を流動層処理
装置18内に設けた装置である。
A first embodiment according to the present invention described below is a particle size distribution measuring apparatus based on a laser light scattering method, which is an in-line method, that is, a measuring apparatus which serves as a measuring unit in a fluidized bed processing apparatus or the like. This is a device in which the head 2 is provided, and specifically, a device in which an open transmission path 12 (see FIG. 1 and the like) where a laser beam 10 is scattered by a granular material 20 is provided in a fluidized bed processing device 18. It is.

【0010】その基本的な原理は、粒度分布測定装置本
体1内に配置されたレーザ発光装置8(He−Neレー
ザ)から発射されて、コリメータ9を経たレーザ光10
が、流動層処理装置18内で流動する粉粒体20により
散乱し、この散乱したレーザ光10を受光し、その強さ
等から散乱物質である粉粒体20の粒径をリアルタイム
に測定するものである。
The basic principle is that a laser beam 10 emitted from a laser light emitting device 8 (He-Ne laser) disposed in the particle size distribution measuring device main body 1 and passed through a collimator 9 is used.
Is scattered by the granular material 20 flowing in the fluidized bed processing apparatus 18, receives the scattered laser light 10, and measures the particle size of the scattered substance 20 in real time from the intensity or the like. Things.

【0011】まず、図1に基づいて、本発明に係る第1
の実施例の構成について説明する。本実施例は、流動層
処理装置18内に、開放伝送路12を備えた測定ヘッド
2(2a、2b)が突き出して設けられ、流動層処理装
置18内で流動する粉粒体20に直接レーザ光10を照
射して、その粒径をリアルタイムに測定できるように工
夫されている装置である。
First, referring to FIG. 1, a first embodiment according to the present invention will be described.
The configuration of this embodiment will be described. In the present embodiment, a measuring head 2 (2a, 2b) provided with an open transmission path 12 is provided to protrude into a fluidized bed processing apparatus 18, and a laser beam is directly applied to a powder 20 flowing in the fluidized bed processing apparatus 18. This device is designed so that it can be irradiated with light 10 and its particle size can be measured in real time.

【0012】即ち、この装置によれば、流動層処理装置
18内から測定時に流動層処理装置18内から粉粒体2
0を都度サンプリングして、測定室等に持ち帰って測定
する不便が一気に解消されるだけでなく、リアルタイム
で、粒径の変化を継続して測定できる。
In other words, according to this apparatus, the powder and granules 2 are removed from inside the fluidized bed processing device 18 during measurement from inside the fluidized bed processing device 18.
The inconvenience of sampling 0 every time and bringing it back to a measurement room or the like for measurement is not only eliminated at once, but also the change in particle size can be continuously measured in real time.

【0013】詳細に説明すると、まず、レーザ発光装置
8(He−Neレーザ)から発射されたレーザ光10
は、コリメータ9で直径が約14mmのきれいな円形の
平行ビームとなり、第一の反射プリズム6aで、直角に
反射し、続いて、第二の反射プリズム6bで直角に反射
して、測定ヘッド2aに向かう。
More specifically, first, a laser beam 10 emitted from a laser emitting device 8 (He-Ne laser) is emitted.
Is converted into a clear circular parallel beam having a diameter of about 14 mm by the collimator 9, reflected at a right angle by the first reflecting prism 6 a, subsequently reflected at a right angle by the second reflecting prism 6 b, and transmitted to the measuring head 2 a. Heading.

【0014】続いて、レーザ光10は、測定ヘッド2a
の反射プリズム6a側の端部位置に、レーザ光伝送路
(レーザ光10が通過する道筋をいう。)と直交するよ
うに配置され、遮蔽透明ガラス3aを通過し、測定ヘッ
ド2a内部の光伝送路を経て、流動層処理装置18に開
口している開放伝送路12に進行する。
Subsequently, the laser beam 10 is applied to the measuring head 2a.
Is disposed at an end position on the side of the reflection prism 6a so as to be orthogonal to the laser light transmission path (refers to a path through which the laser light 10 passes), passes through the shielding transparent glass 3a, and transmits light inside the measurement head 2a. After passing through the channel, it proceeds to the open transmission channel 12 which is open to the fluidized bed processing device 18.

【0015】この開放伝送路12は、流動層処理装置1
8内に完全に解放された光伝送路であり、流動装置によ
り流動している粉粒体20が入り込んで来る部分であっ
て、粉粒体20による散乱光発生場所、即ち、粒径測定
個所となる。
The open transmission line 12 is connected to the fluidized bed processing device 1
8 is a part of the optical transmission line completely opened, into which the granular material 20 flowing by the flow device enters, and where the scattered light is generated by the granular material 20, that is, the particle size measuring point Becomes

【0016】続いて、開放伝送路12を通過した散乱光
を含むレーザ光10は、測定ヘッド2aに対向するもう
一方の測定ヘッド2b内部に形成されている光伝送路を
経て、遮蔽透明ガラス3bを通過する。そして、この遮
蔽透明ガラス3bを通過したレーザ光10は、集光レン
ズ7により集光し、受光センサ21に向かって進行す
る。
Subsequently, the laser beam 10 including the scattered light that has passed through the open transmission path 12 passes through an optical transmission path formed inside the other measurement head 2b facing the measurement head 2a, and then passes through the shielding transparent glass 3b. Pass through. The laser light 10 that has passed through the shielding transparent glass 3b is condensed by the condensing lens 7 and proceeds toward the light receiving sensor 21.

【0017】ここで、上記散乱光は、個々の粉粒体20
によって生じた散乱パターンがすべて合わさったもの
で、この散乱パターンは粒子の大きさによってどのよう
なパターンによるかを計算できる。即ち、開放伝送路1
2中に様々な大きさの粒子がある場合には、レーザ光1
0は各粒子によって散乱パターンを前方に生じさせる。
そして、この散乱パターンの合わさった散乱光を前方の
集光レンズ7で集光し、多重リング状に形成された受光
センサ21(後述)によって散乱角に対応した散乱光強
度分布として測定し、この散乱角に対応した散乱光強度
分布から、粒度分布を算出する。
Here, the scattered light is applied to individual powder
The scattering patterns generated by the scattering are all combined, and this scattering pattern can be calculated depending on the size of the particles. That is, the open transmission path 1
If there are particles of various sizes in 2, laser light 1
0 causes the scattering pattern to be caused by each particle forward.
The scattered light having the combined scattering pattern is condensed by the front condenser lens 7 and measured as a scattered light intensity distribution corresponding to the scatter angle by a light receiving sensor 21 (described later) formed in a multiple ring shape. The particle size distribution is calculated from the scattered light intensity distribution corresponding to the scattering angle.

【0018】尚、受光センサ21(後述する各チャンネ
ル)で検出した微妙なアナログ信号は、高速データ処理
部27(図3参照)で電気信号に変換されて増幅器(図
示せず)で増幅された後、AD変換器(図示せず)によ
ってデジタル値に変換され、データ処理装置・転送装置
(図示せず)を経由してパソコン26に送られ、粒度分
布が算出されるという構成である。
The delicate analog signal detected by the light receiving sensor 21 (each channel described later) is converted into an electric signal by the high-speed data processing unit 27 (see FIG. 3) and amplified by an amplifier (not shown). Thereafter, the data is converted into a digital value by an AD converter (not shown), sent to the personal computer 26 via a data processing device / transfer device (not shown), and the particle size distribution is calculated.

【0019】ここで、主に、図2を参照して、本実施例
の要部である測定ヘッド2(2a、2b)の構成につい
て詳細に説明する。該測定ヘッド2(2a、2b)は、
全体として略円筒形状をなし、左右方向の中央部に設け
られた開放伝送路12を形成する空間を挟んで対向する
ように配置されている。
Here, mainly with reference to FIG. 2, the configuration of the measuring head 2 (2a, 2b) which is a main part of the present embodiment will be described in detail. The measuring head 2 (2a, 2b)
It has a substantially cylindrical shape as a whole, and is arranged so as to face each other across a space forming an open transmission line 12 provided at the center in the left-right direction.

【0020】各測定ヘッド2a、2bの反射プリズム6
(6a、6b)(図1参照)側の端部付近には、遮蔽透
明ガラス3(3a、3b)が、光伝送路と直交するよう
に配置されている。この遮蔽透明ガラス3は、装置本体
1と流動層処理装置18内とを隔成する隔壁として機能
し、粒体20の侵入を防止する役割を果たしている。
The reflecting prism 6 of each measuring head 2a, 2b
Near the end on the (6a, 6b) (see FIG. 1) side, the shielding transparent glass 3 (3a, 3b) is arranged so as to be orthogonal to the optical transmission path. The shielding transparent glass 3 functions as a partition wall separating the apparatus main body 1 and the inside of the fluidized bed processing apparatus 18 and plays a role of preventing the intrusion of the particles 20.

【0021】しかし、この遮蔽透明ガラス3(3a、3
b)が、開放伝送路12に入り込んでくる測定粉粒体2
0が付着して汚れると、測定に誤差が生じ、測定精度が
低くなるので、常にクリアな状態に保持されている必要
がある。即ち、本実施例は、流動装置内部18で流動す
る粉粒体20を直接測定するインライン方式の粒度分布
測定装置であるため、遮蔽透明ガラス3(3a、3b)
の汚れの問題を解決することが必須となる。
However, this shielding transparent glass 3 (3a, 3a
b) is the measurement granular material 2 entering the open transmission line 12
If 0 is attached and contaminated, an error occurs in the measurement and the measurement accuracy is lowered. Therefore, it is necessary to always keep a clear state. That is, since the present embodiment is an in-line type particle size distribution measuring device for directly measuring the powder 20 flowing in the flow device interior 18, the shielding transparent glass 3 (3a, 3b)
It is essential to solve the problem of dirt.

【0022】そこで、本実施例においては、測定ヘッド
2(2a、2b)に、以下のような工夫を施している。
即ち、各測定ヘッド2a、2bには、それぞれの遮蔽透
明ガラス3a、3bよりも開放伝送路12側に延設して
外筒部4a、4bを形成する。そして、該外筒部4a、
4bの開放伝送路12の空間に臨むそれぞれの先端部分
16を半径方向内側に直角に屈曲させ、更に遮蔽透明ガ
ラス3a、3b側に接近するように延設して、内筒部5
a、5bを形成する。
Therefore, in the present embodiment, the following contrivance is applied to the measuring head 2 (2a, 2b).
That is, each of the measuring heads 2a, 2b is formed so as to extend toward the open transmission path 12 side from the respective shielding transparent glass 3a, 3b to form the outer cylindrical portion 4a, 4b. Then, the outer cylindrical portion 4a,
4b are bent at right angles inward in the radial direction, and further extended so as to approach the shielding transparent glass 3a, 3b side.
a and 5b are formed.

【0023】これにより、開放伝送路12に開口する光
伝送路を測定ヘッド2a、2bそれぞれの内部に形成す
るとともに、この光伝送路の周りに外筒部4aと内筒部
5a及び外筒部4bと内筒部5bに囲まれた円環状の中
空部13a、13bを形成する。
Thus, an optical transmission path that opens to the open transmission path 12 is formed inside each of the measuring heads 2a and 2b, and the outer cylindrical section 4a, the inner cylindrical section 5a, and the outer cylindrical section are formed around the optical transmission path. Annular hollow portions 13a and 13b surrounded by the inner cylindrical portion 5b and the inner cylindrical portion 5b are formed.

【0024】ここで、外筒部4a、4bのそれぞれに
は、各中空部13a、13bに臨むエアー流入孔15
(15a、15b)が形成されており、該エアー流入孔
15からは、図示しないコンプレッサーから供給される
エアー(圧搾空気)が噴出して中空部13a、13bに
流入する。
Here, each of the outer cylindrical portions 4a and 4b has an air inlet hole 15 facing each hollow portion 13a and 13b.
(15a, 15b) are formed, and air (compressed air) supplied from a compressor (not shown) is ejected from the air inflow hole 15 and flows into the hollow portions 13a, 13b.

【0025】中空部13a、13bに流入したエアー
は、中空部13a、13b内で滞流しながら、内筒部5
a、5bの遮蔽透明ガラス3a、3bに対向する端部2
2(22a、22b)と遮蔽透明ガラス3a、3bの間
に形成された隙間23(23a、23b)から吹き出
す。
The air that has flowed into the hollow portions 13a and 13b flows in the hollow portions 13a and 13b,
a, 5b, end portions 2 facing the shielding transparent glass 3a, 3b
2 (22a, 22b) and the gap 23 (23a, 23b) formed between the shielding transparent glass 3a, 3b.

【0026】この手段により、遮蔽透明ガラス3a、3
bの全円周方向から半径方向内側に向かう比較的に速度
の遅い均等な空気層流14を形成することができる。こ
のため、遮蔽透明ガラス3a、3bの表面に空気の渦を
形成することがなく、そのまま内筒部5a、5bに沿っ
て、開放伝送路12へ向かうスムーズな空気層流14が
形成されて、粉粒体20の測定ヘッド2a、2b内への
侵入が阻止される。
By this means, the shielding transparent glasses 3a, 3a
It is possible to form a uniform laminar air flow 14 having a relatively low velocity from the entire circumferential direction of b to the inside in the radial direction. Therefore, a smooth air laminar flow 14 toward the open transmission path 12 is formed along the inner cylindrical portions 5a, 5b without forming a vortex of air on the surfaces of the shielding transparent glasses 3a, 3b. The entry of the powder 20 into the measuring heads 2a and 2b is prevented.

【0027】即ち、遮蔽透明ガラス3a、3bの表面に
空気の渦をつくらないため、粉粒体20の侵入による吹
き溜まりを一切形成することがなく、常に、遮蔽透明ガ
ラス3a、3b表面をクリアな状態に保持することがで
きる。
In other words, since no air vortex is formed on the surfaces of the shielding transparent glasses 3a and 3b, no air bubbles are formed due to the intrusion of the powder 20 and the surfaces of the shielding transparent glasses 3a and 3b are always cleared. Can be kept in a state.

【0028】尚、エアー流入孔15を、外筒部4に周方
向等間隔に複数箇所設ければ、遮蔽透明ガラス3a、3
bの全円周方向から半径方向内側に向かう速度の遅い、
より均等な空気層流14を形成することができる。
If a plurality of air inlet holes 15 are provided in the outer cylinder portion 4 at equal intervals in the circumferential direction, the shielding transparent glasses 3a, 3a
b, the speed from the entire circumferential direction toward the inside in the radial direction is low,
A more uniform laminar air flow 14 can be formed.

【0029】また、内筒部5a、5bを遮蔽透明ガラス
3a、3bから開放伝送路12側に向かうほど口径が狭
くなるテーパー状に形成してあるため、この空気層流1
4は、開放伝送路12側に向かうほどその流速が大き
く、開放伝送路に臨む位置では最大となる。これによ
り、粉粒体20が飛散して、遮蔽透明ガラス3a、3b
側へ侵入することをより有効に防ぐことができる。
Further, since the inner cylindrical portions 5a and 5b are formed in a tapered shape in which the diameter becomes smaller from the shielding transparent glasses 3a and 3b toward the open transmission line 12, the inner laminar flow 1
In No. 4, the flow velocity increases toward the open transmission line 12 side, and becomes maximum at a position facing the open transmission line. As a result, the powder 20 is scattered, and the shielding transparent glass 3a, 3b
Invasion to the side can be prevented more effectively.

【0030】以下、主に図3から図6に基づいて、本実
施例の受光部及び自動焦点機構の構成について説明す
る。まず、受光部について説明すると、レーザ発光装置
8(He−Neレーザ)から発射されて、コリメータ9
を経た平行なレーザ光10は、集光レンズ7を通過して
その先で焦点24を結ぶ。この焦点距離Fに合わせて受
光センサ21を設置する。この受光センサ21には、複
数のチャンネルから構成されるセンサが設けられてい
る。
Hereinafter, the configurations of the light receiving section and the automatic focusing mechanism of the present embodiment will be described mainly with reference to FIGS. First, the light receiving section will be described. The collimator 9 emits light from a laser light emitting device 8 (He-Ne laser).
Is passed through the condenser lens 7 and forms a focal point 24 at the point. The light receiving sensor 21 is installed in accordance with the focal length F. The light receiving sensor 21 is provided with a sensor including a plurality of channels.

【0031】具体的には、受光センサ21の中心は、第
1チャンネル(半径90ミクロン程度のもの)21aが
あり、その外側には同心円状の第2チャンネルのセンサ
21bが形成され、さらにその外側には半同心円状の第
3チャンネルのセンサ21c(同様に21d、21e,
21fと続く)という構成で、外側に広がる多重リング
状に交互に計32チャンネルのセンサが設けられてい
る。このセンサー25の値は、パソコン26からのセン
サー値読み込みのコマンドによって、計32チャンネル
のセンサ値が、該パソコン26に送られて解析される。
More specifically, the center of the light receiving sensor 21 has a first channel (with a radius of about 90 microns) 21a, and a concentric second channel sensor 21b is formed outside the first channel 21a. The sensor 21c of the semi-concentric third channel (also 21d, 21e,
21f), and a total of 32 channels of sensors are provided alternately in a multiplex ring shape spreading outward. As for the value of the sensor 25, a total of 32 channels of sensor values are sent to the personal computer 26 and analyzed by a sensor value reading command from the personal computer 26.

【0032】次に、受光センサ21に取り付けられた自
動焦点機構11は、X軸およびY軸の移動ステージ11
aと、該ステージを1ステップにつき20ミクロンずつ
前後に動かすことができるステッピングモータ11bと
から構成されている。
Next, the automatic focusing mechanism 11 attached to the light receiving sensor 21 is provided with a moving stage 11 for the X axis and the Y axis.
a, and a stepping motor 11b capable of moving the stage back and forth by 20 microns per step.

【0033】焦点距離Fの位置で絞られたレーザ光10
は、前記した受光センサ25の中心の第1チャンネル2
5aに集中すると、その値が最大にになり、その外側の
第2チャンネルの値が最小になった状態が、焦点24が
合った状態となることから、パソコン26に予め組み込
まれたプログラムで、焦点24を第1チャンネルに移動
させる。
The laser beam 10 focused at the position of the focal length F
Is the first channel 2 at the center of the light receiving sensor 25 described above.
When concentrated on 5a, the value becomes the maximum, and the state where the value of the second channel outside it becomes the minimum is the state where the focus 24 is in focus. The focal point 24 is moved to the first channel.

【0034】図5に示す、自動焦点合わせのフロー図を
参照して、上記した自動焦点合わせの手順を説明する。
まず、ステップ1(以下「S1」という。)では、ステ
ッピングモータ11bにより移動ステージ11aを上下
左右に動かして各地点でのセンサ値を読み込む。S2で
は、最も焦点24に近い位置にセンサを移動させ、続い
てS3では、再び、移動ステージ11aを上下左右に移
動して各地点でのセンサ値を読み込む。そして、S4で
は、現在地が最も焦点に近い点か否かを予め入力されて
いる最大値と比較判断し、YESの場合は、S5で自動
焦点合わせを終了し、NOの場合は、再びS2に戻って
焦点合わせを行う。
The procedure of the above-described automatic focusing will be described with reference to the flowchart of the automatic focusing shown in FIG.
First, in step 1 (hereinafter referred to as "S1"), the moving stage 11a is moved up, down, left and right by the stepping motor 11b to read the sensor values at each point. In S2, the sensor is moved to the position closest to the focal point 24. Subsequently, in S3, the moving stage 11a is moved up, down, left, and right again to read the sensor values at each point. Then, in S4, it is determined whether or not the current position is the point closest to the focal point by comparing it with a previously input maximum value. In the case of YES, the automatic focusing is ended in S5. Go back and focus.

【0035】以上説明した自動焦点機構11により、本
実施例では、散乱光をセンサ25に集光して散乱角を検
知する受光センサ21に自動焦点機構11を設けること
により、焦点合わせを測定前に行うことができる。
In this embodiment, the automatic focusing mechanism 11 described above is provided with the automatic focusing mechanism 11 in the light-receiving sensor 21 which collects the scattered light on the sensor 25 and detects the scattering angle. Can be done.

【0036】しかしながら、レーザ光伝送路中に集光レ
ンズ7や反射プリズム6を使用しているため、測定中の
温度変化や振動によって、これらの部材のわずかなズレ
が生じると、光軸がずれて、受光部の焦点24のズレを
引き起こしてしまう。従って、リアルタイム測定中にお
いても、自動的に焦点合わせを行うことができれば、イ
ンライン方式の粒度分布測定において、安定したリアル
タイム測定が可能となる。
However, since the condenser lens 7 and the reflecting prism 6 are used in the laser light transmission path, if a slight displacement of these members occurs due to a temperature change or vibration during the measurement, the optical axis is shifted. As a result, a shift of the focal point 24 of the light receiving section is caused. Therefore, if focusing can be performed automatically even during real-time measurement, stable real-time measurement can be performed in the in-line type particle size distribution measurement.

【0037】一方、リアルタイム測定中に焦点24がず
れているか否かは、受光センサ21のどの部分にレーザ
光10が焦点24を結んでいるかを測定することにより
判断することができる(受光センサ21の中心にレーザ
光10が、焦点24を結んでいるときに焦点が合ってい
る。)。
On the other hand, whether or not the focal point 24 is deviated during the real-time measurement can be determined by measuring to which part of the light receiving sensor 21 the laser light 10 is focused. Are focused when the laser beam 10 is focused on the focal point 24 at the center of the laser beam.)

【0038】そこで、リアルタイム測定中に光軸がずれ
て焦点24が合わなくなった場合に、自動的に自動焦点
機構11を作動させるようにプログラムを組んだソフト
ウエアで自動焦点機構11を制御する構成とすることに
より、リアルタイム測定中の自動焦点合わせを行う。
Therefore, when the optical axis shifts during the real-time measurement and the focus 24 becomes out of focus, the automatic focusing mechanism 11 is controlled by software which is programmed to automatically operate the automatic focusing mechanism 11. Then, automatic focusing during the real-time measurement is performed.

【0039】以下、測定中の自動焦点合わせの手順を図
6に基づいて説明する。まず、S10では、測定間隔T
秒と測定回数N回を設定し、続くS11で、自動焦点合
わせを行って装置を測定可能な状態にした後、S12で
連続測定を開始する。そして、S13で焦点が合ってい
るか否かを判断し、YESの場合は、S14で粉粒体2
0の粒度分布測定を開始し、S15で粒度分布の計算を
行う。
The procedure of automatic focusing during measurement will be described below with reference to FIG. First, in S10, the measurement interval T
Seconds and the number of measurements N are set, and in S11, automatic focusing is performed to set the device in a measurable state. Then, in S12, continuous measurement is started. Then, it is determined in S13 whether or not the focus is in focus.
The particle size distribution measurement of 0 is started, and the particle size distribution is calculated in S15.

【0040】S15での計算が終了すると、S16で測
定回数が所定のN回に達しているかを判断して、N回に
達している場合は、S17自動焦点合わせを終了する。
一方、S13での判断がNOの場合、即ち焦点が合って
いない場合は、S18で再び前記S1からS5同様の自
動焦点合わせを行った後、S14、S15へと進む。
When the calculation in S15 is completed, it is determined in S16 whether the number of measurements has reached a predetermined N times, and if it has reached N times, the automatic focusing in S17 is ended.
On the other hand, if the determination in S13 is NO, that is, if the focus is out of focus, the automatic focusing similar to the above S1 to S5 is performed again in S18, and then the process proceeds to S14 and S15.

【0041】また、S16で測定回数が所定のN回に達
していない場合は、S19で所定の測定間隔T秒が経過
しているかを判断して、経過している場合には、再びS
13に戻って、上記同様に進行する。一方、測定間隔が
T秒に達していない場合には、再度T秒経過しているか
の判断を繰り返し、T秒経過後にS13に戻って上記同
様に進行する。
If the number of measurements has not reached the predetermined N times in S16, it is determined in S19 whether a predetermined measurement interval T seconds has elapsed.
13 and proceed as above. On the other hand, if the measurement interval has not reached T seconds, it is determined whether T seconds have elapsed again, and after the elapse of T seconds, the process returns to S13 and proceeds as described above.

【0042】尚、本実施例の自動焦点機構においては、
上記手順で行っているが、必ずしも当該手順に限定した
ものではなく、焦点合わせのアルゴリズムは適宜選択す
ることが可能である。
In the automatic focusing mechanism of this embodiment,
Although the above procedure is performed, the present invention is not necessarily limited to this procedure, and a focusing algorithm can be appropriately selected.

【0043】次に、図7に示す、第1の実施例の変形例
を説明する。上記した実施例と異なる点は、流動装置1
8内部に突設された測定ヘッド2(2a、2b)の配置
の仕方にある。即ち、図1に示す実施例においては、測
定ヘッド2a、2b間の光伝送路が流動層装置18の側
壁18aと直交するように構成されているのに対して、
本変形例では、測定ヘッド2(2a、2b)間の光伝送
路が流動層処理装置18の側壁18aに沿う方向となる
ように構成されている点で相違している。
Next, a modification of the first embodiment shown in FIG. 7 will be described. The difference from the above embodiment is that the flow device 1
The arrangement of the measuring heads 2 (2a, 2b) protruding into the interior 8 is described. That is, in the embodiment shown in FIG. 1, while the optical transmission path between the measuring heads 2a and 2b is configured to be orthogonal to the side wall 18a of the fluidized bed apparatus 18,
The present modification is different in that the optical transmission path between the measuring heads 2 (2a, 2b) is configured to be in a direction along the side wall 18a of the fluidized bed processing device 18.

【0044】また、レーザ発光装置8(He−Neレー
ザ)から発射されて、コリメータ9を経たレーザ光10
が、図1に示す実施例においては、第一の反射プリズム
6aで、直角に反射し、続いて、第二の反射プリズム6
bで直角に反射して、測定ヘッド2a、2bのを光伝送
路を通過し集光レンズ7に向かう構成であるのに対し
て、本変形例では、第一の反射プリズム6aで直角に反
射し、続いて、測定ヘッド2a、2b内の光伝送路を通
過した後、第二の反射プリズム6bで直角に反射して、
集光レンズ7に向かう構成である点においても相違して
いる。
A laser beam 10 emitted from a laser emitting device 8 (He-Ne laser) and passing through a collimator 9
However, in the embodiment shown in FIG. 1, the light is reflected at a right angle by the first reflecting prism 6a, and subsequently, reflected by the second reflecting prism 6a.
b, the light is reflected at a right angle, and the measuring heads 2a, 2b pass through the optical transmission path and travel toward the condenser lens 7. On the other hand, in this modification, the light is reflected at a right angle by the first reflecting prism 6a. Then, after passing through the optical transmission paths in the measuring heads 2a and 2b, the light is reflected at a right angle by the second reflecting prism 6b.
It is also different in that the configuration is directed toward the condenser lens 7.

【0045】それ以外の構成においては、上記第1の実
施例と同様の構成である。該変形例と上記実施例を考慮
すれば、流動層処理装置18内部の構造等によって、適
宜に測定ヘッド2の配置方法を選択することが可能であ
る。
The other structure is the same as that of the first embodiment. In consideration of the modified example and the above-described embodiment, it is possible to appropriately select a method of arranging the measuring head 2 depending on the internal structure of the fluidized bed processing apparatus 18 and the like.

【0046】次に、図8に示す本発明に係る第2の実施
例について説明する。図4に示す符号17は、パイプ等
からなる粉体輸送路を示している。本実施例において
は、粉体輸送路17の途中に、該輸送路17を挟むよう
に測定ヘッド2aと2bを対向配置し、粉体輸送路17
を直交して横切るレーザ光10伝送路を設けている。
Next, a second embodiment according to the present invention shown in FIG. 8 will be described. Reference numeral 17 shown in FIG. 4 indicates a powder transport path made of a pipe or the like. In the present embodiment, the measuring heads 2a and 2b are arranged to face each other in the middle of the powder transport path 17 so as to sandwich the transport path 17,
Are provided at right angles to the laser beam 10 transmission line.

【0047】即ち、測定ヘッド2a、2bに挟まれた粉
体輸送路17の空間部分19が、開放伝送路12の役割
を果たして、輸送中の粉粒体20にレーザ光10が照射
され、散乱光が発生する構成となっている。
That is, the space portion 19 of the powder transport path 17 sandwiched between the measuring heads 2a and 2b plays the role of the open transmission path 12, and the granular material 20 being transported is irradiated with the laser beam 10 and scattered. Light is generated.

【0048】尚、本実施例の測定ヘッド2a、2bの構
造については、前記第1実施例で示す構造と同一であ
り、同一の符号を付すことによりその説明は省略する。
また、自動焦点機構11の構成及びその焦点合わせの手
順についても同様である。これにより、空気輸送中の粉
粒体20の粒度分布をリアルタイムで測定することがで
きるので、トナー等の粉粒体20の粒度分布測定にも好
適である。
The structure of the measuring heads 2a and 2b of the present embodiment is the same as that of the first embodiment, and the description thereof will be omitted by retaining the same reference numerals.
The same applies to the configuration of the automatic focusing mechanism 11 and the focusing procedure. Thus, the particle size distribution of the powder 20 during pneumatic transportation can be measured in real time, so that it is also suitable for measuring the particle size distribution of the powder 20 such as toner.

【0049】[0049]

【発明の効果】本願により開示される発明の効果を列記
して説明すれば、以下の通りである。 (1)一対の測定ヘッドを流動層処理装置内部に突設
し、該測定ヘッドに設けたエアー流入孔から所定方法に
より送り込むエアーが、測定ヘッド内に円環状に設けら
れた中空部で滞流しつつ、前記内筒部先端と前記遮蔽透
明ガラスの間の隙間を通り抜けて吹き出し、遮蔽透明ガ
ラス表面に対して全円周方向から均等に吹きわたるとと
もに、遮蔽透明ガラスから開放伝送路へ向かう空気層流
を形成するので、開放伝送路に入り込んだ粉粒体の測定
ヘッドへの侵入を防止し、かつ、遮蔽透明ガラス表面に
粉粒体の吹き溜まりを形成することがない。従って、遮
蔽透明ガラス表面を常にクリアな状態に保持することが
でき、測定誤差のない高精度のリアルタイムの粒度分布
測定を行うことができる。
The effects of the invention disclosed by the present application will be listed and described as follows. (1) A pair of measuring heads are protruded inside the fluidized bed processing apparatus, and air sent by a predetermined method from an air inlet hole provided in the measuring head flows in a hollow portion provided in the measuring head in an annular shape. While blowing out through the gap between the inner cylindrical portion tip and the shielding transparent glass, the air layer blows evenly from the entire circumferential direction to the shielding transparent glass surface, and goes from the shielding transparent glass to the open transmission path. Since the flow is formed, it is possible to prevent the granular material entering the open transmission path from entering the measuring head, and to prevent the particulate material from being trapped on the surface of the shielding transparent glass. Therefore, the surface of the shielding transparent glass can always be kept in a clear state, and highly accurate real-time particle size distribution measurement without measurement error can be performed.

【0050】(2)開放伝送路が粉体輸送路を横断する
ように測定ヘッドを粉体輸送パイプに取り付け、(1)
同様の空気層流を測定ヘッド内に発生させることによ
り、測定ヘッド内への粉粒体の侵入を防止し、かつ、遮
蔽透明ガラス表面に粉粒体の吹き溜まりを形成しないよ
うにしたため、粉体輸送路内を移動する粉粒体の粒度分
布をリアルタイムで正確に測定できる。
(2) The measuring head is attached to the powder transport pipe so that the open transmission path crosses the powder transport path.
A similar air laminar flow is generated in the measuring head to prevent the intrusion of the granular material into the measuring head, and to prevent the formation of dust accumulation on the surface of the shielding transparent glass. The particle size distribution of the powder moving in the transportation path can be accurately measured in real time.

【0051】(3)測定ヘッド内に形成された内筒部
が、遮蔽透明ガラスから開放伝送路側に向かうほど口径
が狭くなるテーパー状に形成したことにより、空気層流
の速度が、遮蔽透明ガラスから開放伝送路側に向かうほ
ど大きくなり、開放伝送路に入ってくる粉粒体が測定ヘ
ッド内へ侵入するのをより確実に防いで、粒度分布の測
定精度をより高めることができる。
(3) The inner cylindrical portion formed in the measuring head is formed in a tapered shape in which the diameter decreases from the shielding transparent glass toward the open transmission path side, so that the velocity of the laminar air flow is reduced. , The size of the particle increases toward the open transmission path side, so that the particles entering the open transmission path can be more reliably prevented from entering the measurement head, and the measurement accuracy of the particle size distribution can be further improved.

【0052】(4)エアー流入孔を、測定ヘッド外筒部
に周方向等間隔に複数箇所設けたことにより、遮蔽透明
ガラスの全円周方向から、より均等なエアーを遮蔽透明
ガラスに吹き付けることができるので、さらに測定精度
を高めることができる。
(4) By providing a plurality of air inlet holes at equal intervals in the circumferential direction in the outer cylinder portion of the measuring head, more uniform air can be blown to the shielding transparent glass from all circumferential directions of the shielding transparent glass. Therefore, the measurement accuracy can be further improved.

【0053】(5)粉粒体により発生するレーザ光の散
乱光を受光センサに集光して散乱角を検知し、該受光セ
ンサに、自動的に自動焦点機構を作動させるようにプロ
グラムを組んだソフトウエアにより制御された自動焦点
機構を設けたことにより、リアルタイム測定中の温度変
化や振動に起因するレーザ光伝送路中に使用するミラー
や反射プリズムのズレにより生ずる光軸のズレを、自動
的に調整して焦点合わせを行うことができるので、イン
ライン方式の粒度分布装置の高精度のリアルタイム測定
を長時間連続して安定して行うことができる。
(5) Scattered light of laser light generated by the granular material is focused on a light receiving sensor to detect a scattering angle, and a program is set in the light receiving sensor to automatically operate an automatic focusing mechanism. The automatic focusing mechanism controlled by the software automatically detects the deviation of the optical axis caused by the deviation of the mirror and reflection prism used in the laser light transmission path due to temperature change and vibration during real-time measurement. Since the focusing can be performed by appropriately adjusting the size, highly accurate real-time measurement of the in-line type particle size distribution device can be performed continuously and stably for a long time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る第1の実施例の全体概略図FIG. 1 is an overall schematic diagram of a first embodiment according to the present invention.

【図2】同実施例の要部である測定ヘッド部の断面図FIG. 2 is a cross-sectional view of a measuring head part, which is a main part of the embodiment.

【図3】同実施例の発光部及び受光部を示すブロック図FIG. 3 is a block diagram showing a light emitting unit and a light receiving unit of the embodiment.

【図4】同実施例の受光センサのチャンネルの構造を示
す図
FIG. 4 is a diagram showing a structure of a channel of the light receiving sensor of the embodiment.

【図5】同実施例の自動焦点機構の手順を示すフロー図FIG. 5 is a flowchart showing a procedure of the automatic focusing mechanism of the embodiment.

【図6】同機構の測定中の手順を示すフロー図FIG. 6 is a flowchart showing a procedure during measurement by the mechanism.

【図7】 同実施例の変形例を示す全体概略図 FIG. 7 Overall schematic diagram showing a modification of the embodiment

【図8】 本発明に係る第2の実施例の全体概略図FIG. 8 Overall schematic diagram of a second embodiment according to the present invention

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 粒度分布測定装置本体 2(2a、2b)測定ヘッド 3(3a、3b)遮蔽透明ガラス 4(4a、4b)外筒部 5(5a、5b)内筒部 8 レーザ光発生装置 10 レーザ光 11 自動焦点機構 12 開放伝送路 13(13a、13b)中空部 14 空気層流 15(15a、15b)エアー流入孔 16 外筒部先端 17 粒体輸送路 18 流動層処理装置 20 粉粒体 21 受光センサ 22(22a、22b)隙間 23(23a、23b)内筒部先端 REFERENCE SIGNS LIST 1 particle size distribution measuring device main body 2 (2a, 2b) measuring head 3 (3a, 3b) shielding transparent glass 4 (4a, 4b) outer cylindrical portion 5 (5a, 5b) inner cylindrical portion 8 laser light generator 10 laser light 11 Automatic focusing mechanism 12 Open transmission path 13 (13a, 13b) hollow part 14 Air laminar flow 15 (15a, 15b) air inflow hole 16 Tip of outer cylinder part 17 Particle transport path 18 Fluidized bed processing device 20 Powder and granular material 21 Light receiving sensor 22 (22a, 22b) gap 23 (23a, 23b) inner cylindrical portion tip

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 レーザ光発生装置から出力されたレーザ
光が通過する一対の対向する筒型の測定ヘッドが設けら
れ、該測定ヘッド間に形成された開放伝送路中に入った
粉粒体によって発生する散乱光を集光し、散乱角を検知
して、粉粒体の粒度を測定する粒度分布測定装置であっ
て、 前記一対の測定ヘッドは、流動層処理装置内部に突設さ
れるとともに、 各測定ヘッドは、レーザ光と直交するように配置された
遮蔽透明ガラスと、 該遮蔽透明ガラスの前方を取り囲むように前記開放伝送
路側にびる外筒部と該外筒部先端から半径方向内側に回
り込んで遮蔽透明ガラス側に接近するように延設された
内筒部とから構成された円環状の中空部と、 該外筒部に形成された少なくとも一つのエアー流入孔
と、から構成されて、 前記内筒部内には、遮蔽透明ガラスの前面から、前記開
放伝送路へ向かう空気層流が形成されたことを特徴とす
るインライン粒度分布測定装置。
1. A pair of opposed cylindrical measuring heads through which a laser beam output from a laser beam generator passes is provided, and a powdery material entered into an open transmission path formed between the measuring heads. A particle size distribution measuring device that collects the scattered light generated, detects the scattering angle, and measures the particle size of the granular material, wherein the pair of measuring heads are protruded inside the fluidized bed processing device. Each measurement head is provided with a shielded transparent glass disposed so as to be orthogonal to the laser beam, an outer cylindrical portion extending toward the open transmission path so as to surround the front of the shielded transparent glass, and a radially inner side from a tip of the outer cylindrical portion. An annular hollow portion formed of an inner cylindrical portion extending so as to approach the shielding transparent glass side by wrapping around, and at least one air inflow hole formed in the outer cylindrical portion. The inside of the inner cylinder portion is shielded. From the front of the transparent glass, inline particle size distribution measuring apparatus, wherein an air layer flow toward the open transmission paths are formed.
【請求項2】レーザ光発生装置から出力されたレーザ光
が通過する一対の対向する筒型の測定ヘッドが設けら
れ、該測定ヘッド間に形成された開放伝送路中に入った
粉粒体によって発生する散乱光を集光し、散乱角を検知
して、粉粒体の粒度を測定する粒度分布測定装置であっ
て、 前記開放伝送路が、粉体輸送路を横断するように設けら
れるとともに、 各測定ヘッドは、レーザ光と直交するように配置された
遮蔽透明ガラスと、 該遮蔽透明ガラスの前方を取り囲むように開放伝送路側
に延びる外筒部と該外筒部先端から半径方向内側に回り
込んで遮蔽透明ガラス側に接近するように延びる内筒部
とから構成された円環状の中空部と、 該外筒部に形成された少なくとも一つのエアー流入孔
と、から構成されて、 前記内筒部内には、遮蔽透明ガラスの前面から、前記開
放伝送路へ向かう空気層流が形成されたことを特徴とす
るインライン粒度分布測定装置。
2. A pair of opposed cylindrical measuring heads through which a laser beam output from a laser beam generator passes is provided, and a powdery or granular material entered into an open transmission path formed between the measuring heads. A particle size distribution measuring device that collects the scattered light to be generated, detects the scattering angle, and measures the particle size of the granular material, wherein the open transmission path is provided so as to cross the powder transport path. Each measurement head is provided with a shielded transparent glass disposed so as to be orthogonal to the laser beam, an outer cylinder portion extending toward the open transmission path so as to surround the front of the shielded transparent glass, and a radially inner side from the tip of the outer cylinder portion. An annular hollow portion formed by an inner cylindrical portion extending around and approaching the shield transparent glass side; and at least one air inflow hole formed in the outer cylindrical portion; Shielding transparent inside the inner cylinder From the front of the lath, inline particle size distribution measuring apparatus, wherein an air layer flow toward the open transmission paths are formed.
【請求項3】前記内筒部は、遮蔽透明ガラスから開放伝
送路側に向かうほど口径が狭くなるテーパー状に形成さ
れたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載のイン
ライン粒度分布測定装置。
3. The in-line particle size distribution measuring device according to claim 1, wherein the inner cylindrical portion is formed in a tapered shape in which the diameter decreases from the shielding transparent glass toward the open transmission path side. .
【請求項4】前記エアー流入孔が、周方向等間隔に複数
箇所設けられたことを特徴とする請求項1、請求項2、
請求項3のいずれかに記載のインライン粒度分布測定装
置。
4. The air inlet according to claim 1, wherein a plurality of air inlet holes are provided at equal intervals in a circumferential direction.
The inline particle size distribution measuring device according to claim 3.
【請求項5】前記散乱光を受光センサに集光して散乱角
を検知し、該受光センサには、自動焦点機構が設けられ
たことを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3,請
求項4のいずれかに記載のインライン粒度分布測定装
置。
5. The light-receiving sensor according to claim 1, wherein said scattered light is collected on a light-receiving sensor to detect a scattering angle, and said light-receiving sensor is provided with an automatic focusing mechanism. 3. An in-line particle size distribution measuring device according to claim 4.
【請求項6】前記自動焦点機構が、リアルタイム測定中
に自動的に焦点合わせができるようにプログラムされた
ソフトウエアーを備えたことを特徴とする請求項5に記
載のインライン粒度分布測定装置。
6. An in-line particle size distribution measuring apparatus according to claim 5, wherein said automatic focusing mechanism comprises software programmed to automatically focus during real-time measurement.
JP28657197A 1997-10-20 1997-10-20 In-line particle size distribution analyzer Expired - Fee Related JP3183853B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28657197A JP3183853B2 (en) 1997-10-20 1997-10-20 In-line particle size distribution analyzer
JP10283895A JPH11190691A (en) 1997-10-20 1998-10-06 Automatic focusing mechanism for measuring particle size distribution

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28657197A JP3183853B2 (en) 1997-10-20 1997-10-20 In-line particle size distribution analyzer

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10283895A Division JPH11190691A (en) 1997-10-20 1998-10-06 Automatic focusing mechanism for measuring particle size distribution

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11118697A JPH11118697A (en) 1999-04-30
JP3183853B2 true JP3183853B2 (en) 2001-07-09

Family

ID=17706142

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28657197A Expired - Fee Related JP3183853B2 (en) 1997-10-20 1997-10-20 In-line particle size distribution analyzer
JP10283895A Pending JPH11190691A (en) 1997-10-20 1998-10-06 Automatic focusing mechanism for measuring particle size distribution

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10283895A Pending JPH11190691A (en) 1997-10-20 1998-10-06 Automatic focusing mechanism for measuring particle size distribution

Country Status (1)

Country Link
JP (2) JP3183853B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015224973A (en) * 2014-05-28 2015-12-14 アズビル株式会社 Particle detector
KR20190084537A (en) * 2018-01-08 2019-07-17 (주)싸이닉솔루션 Dust measuring apparatus

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3375319B2 (en) * 2000-03-31 2003-02-10 東日コンピュータアプリケーションズ株式会社 Particle size distribution measuring device and particle size distribution measuring method
KR102117422B1 (en) * 2018-08-30 2020-06-02 한국기계연구원 Apparatus for measuring concentration of dust
CN112461717B (en) * 2020-11-06 2024-04-26 东莞东阳光科研发有限公司 Method for detecting mixing uniformity of dry powder

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015224973A (en) * 2014-05-28 2015-12-14 アズビル株式会社 Particle detector
KR20190084537A (en) * 2018-01-08 2019-07-17 (주)싸이닉솔루션 Dust measuring apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11118697A (en) 1999-04-30
JPH11190691A (en) 1999-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0441904B1 (en) Multiport parallel flow particle sensor
FI98160B (en) Analyser for particle asymmetry
US5084629A (en) Split flow uniform multisensor detection
US4777368A (en) Apparatus and method for noncontact measurement of the velocity of a moving mass
JP3183853B2 (en) In-line particle size distribution analyzer
JPS61139747A (en) Particle analyser
US6580503B2 (en) Particle sizing and concentration sensor using a hollow shaped beam
JP3258889B2 (en) Optical axis adjustment method in scattering particle size distribution analyzer
US6956230B1 (en) Integrated particles sensor formed on single substrate using fringes formed by diffractive elements
US6465802B1 (en) Particle measurement apparatus flow cell useful for sample fluids having different refractive indexes
JP2004138499A (en) Gas concentration detection sensor
JP2001021480A (en) Flow cell and particle measuring apparatus using the flow cell
JP2004184119A (en) Opacimeter
JP3966851B2 (en) Light scattering particle counter
JP2000266661A (en) Flow cell and particle-measuring apparatus using the same
JP3258904B2 (en) Scattered light detector
JPH0754291B2 (en) Particle size distribution measuring device
JP3874047B2 (en) Laser diffraction / scattering particle size distribution analyzer
JPH05206235A (en) Measuring method for particle
JP2522880B2 (en) Particle size distribution measuring device
JPS61144548A (en) Fine particle counting device
JPH08178830A (en) Detector
JPH0570098B2 (en)
JPS6318243A (en) Method and apparatus for measuring fine particle in liquid
JPH10148639A (en) Method and device for bifocal laser flow velocity measurement

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090427

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100427

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100427

Year of fee payment: 9

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100427

Year of fee payment: 9

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110427

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160427

Year of fee payment: 15

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees