JP3180532B2

JP3180532B2 - 距離計測装置

Info

Publication number: JP3180532B2
Application number: JP26814893A
Authority: JP
Inventors: 司光平林; ロバートクラークアール
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 1993-09-29
Filing date: 1993-09-29
Publication date: 2001-06-25
Anticipated expiration: 2016-06-25
Also published as: JPH0798379A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、非接触で被測定物まで
の距離を３次元に測定する装置に関し、例えば、レーザ
ーレーダーにより被測定物までの距離を計測したり、ロ
ボットの眼として、周囲の物体の位置を計測する装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】測量器の分野では、レーザー光を変調し
て測定物に発光し、発信光と受信光との位相差を検出し
て、距離を測定する方式が実用化されている。一方、レ
ーザーパルスを測定物に向かって発射して、そのパルス
の往復時間を測定する方法があるが、非常に短い時間を
測定するために、高価な装置となり、測定精度も数セン
チ程度であった。パルスによる方式の測定精度を向上さ
せるため、受信回路がパルスを受信すると再び発信回路
が作動するように装置を構成して、測定物との間で測定
パルスを複数回往復させて、単位時間当たりの往復回数
から距離を測定する装置が考案された。例えば、特開昭
48-3865 号公報の方式では、発信装置と受信装置と周波
数測定器とから構成される。受信装置が発信装置の発射
したレーザーパルスの反射波を受信すると、発信装置を
駆動し、再びレーザーパルスを発射するのである。この
とき、発信装置を駆動させる周波数を測定することによ
って、レーザーパルスが１回往復する時間が測定でき
る。この方式では、１回だけのパルスの往復時間を測定
する装置に比べて、時間を測定する装置が低速なもので
も可能となる。同様な例として、特開平1-219691号公報
がある。この方式も受信回路からの信号により、発信回
路を駆動して、循環的にレーザーパルスを往復させ、単
位時間あたりの往復回数を測定するのである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、レーザー光を
変調する方式では、原理的に変調した光の波長の半分の
長さより長い距離を測定することはできなかった。した
がって、最大測定距離に応じて測定装置を変更しなけれ
ばならなかった。特開昭48-3865 号公報の方式では、レ
ーザーパルスを使用するため、レザーパルスの立ち上が
り検出が測定精度に影響する。たとえば、受信信号の強
さがあるしきい電圧を越えたときにパルスを受信したと
するなら、測定物の反射率により信号の立ち上がり具合
が異なる。よって、同じ距離でも測定物により測定結果
が異なる。しかも、基本的にレーザーパルス幅以上の分
解能は得られない。つまり、この方式は、複数回連続し
て測定をおこなうことによって、１回の往復時間の測定
精度を向上させるものであって、レーザーパルスの立ち
上がりの検出誤差に起因する誤差は解決しない。特開平
1-219691号公報の方式にしてもレーザーパルスの立ち上
がりの検出誤差に起因する誤差の解決にはならない。さ
らに都合の悪いことに、この方式では予め定められた時
間あたりの往復回数を測定するために、レーザーパルス
を発信して、戻ってくるまでに測定が終了することがあ
る。つまり、ある測定距離では、レーザーパルスが戻っ
てきた時に測定が終了するであろうし、別の測定距離で
は、レーザーパルス発射直後あるいは測定物に当たった
時に終了するであろう。この方式では１回分の往復時間
の誤差が生じるのである。これら２つの方法はパルスレ
ーザーを使用しているため、現実に存在するパルスレー
ザーを使用した場合、単位時間あたりに連続してパルス
信号を発射させる周期に限界がある。つまり、たとえば
１秒間に測定できる回数に限界がでてくるのである。こ
れは、測定物が運動している場合あるいは測定装置とス
キャナを組み合わせ複数の場所を連続して測定するとき
に、運動速度あるいはスキャニングの速度の限界に関わ
る。そこで本発明は、パルスレーザーの代わりに、連続
してレーザーを２つの発光状態で交互に発射し、反射信
号が到着したタイミングを正確に検出することによっ
て、測定距離に関わりなく同一の装置で距離を測定し、
従来方式より、測定精度、分解能を向上させた距離周波
数変換方式による光学式走査型距離計を提供することを
目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明は、任意の被測定物に対して連続光を発する
発光手段と、前記被測定物からの反射光を受光する受光
手段と、前記受光手段が反射光を受光したとき前記発光
手段に前記連続光の発光を停止させるとともに、前記受
光手段が反射光を受光しなくなったとき前記発光手段に
前記連続光の発光を開始させる手段と、前記発光手段の
発光と停止の周期を測定する手段と、を備えたことを特
徴とするものである。

【０００６】

【作用】特開昭48-3865 号公報や特開平1-219691号公報
の方式では、はじめから規定されたパルス幅（発光時
間）のパルス光を発射するから、パルス光の１回分の往
復時間の誤差が生じる。ただし、被測定物との距離によ
っては、誤差が生じないこともある。つまり、距離によ
って、パルス幅をうまく変えてやり、発光期間と停止期
間を同じくすれば、誤差は生じないわけである。ところ
が、被測定物との距離がわからない。そこで、パルス光
ではなく連続光を発射し、その反射光の有無で連続光の
発射をＯＮ・ＯＦＦすることで、この問題を解決したも
のである。本発明の原理を図７に示す。図７は下記よう
な動作順序をわかりやすく示すものである。（１）受光系がなにも受光していなければレーザー発信
器（発光源）を発振する。（２）レーザー光が物体にあたり反射する。（３）やがて反射したレーザー光が受光系により受光さ
れる。（４）レーザー光が受光系により受光されるとレーザー
発信器の発振を停止する。（５）やがて受光系がなにも受光しなくなる。（６）受光系がなにも受光していなければレーザー発信
器（発光源）を発振する（つまり（１）とおなじ）。このように、受光装置が何も受光していない間、光源が
光ビームを発し続け、受光装置が光ビームの反射を受光
している間、光源が光ビームの発光を停止することによ
り、光源が発光する期間と発光を停止する期間は等しく
なり、誤差は全く生じなくなる。また逆にこの発光期間
と発光停止期間が等しくなるように、受光装置から光源
への信号を制御すれば、いかなる被測定物からの反射光
にたいしても正確に光ビームの帰還したタイミングを捕
えることが可能となり測定精度が向上する。また上記の
ように、光ビームを循環的に発し、その循環回数とそれ
に要した時間を測定することにより１回の往復に要した
時間を正確に測定でき測定精度が向上する。さらに、循
環回数を多くすれば測定時間を長くすることが可能とな
り、低速な時間計測装置でも測定可能となり、低価格の
装置を実現することが可能となる。なお、発光のＯＮ・
ＯＦＦではなく、強弱でもよいことは勿論である。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の第１の実施例を図１に基づい
て説明する。まず、装置の概略と信号の流れを説明す
る。光源１からの光は、平行光線にするための光学系２
をへて平行光線３とされる。平行光線３は２つのプリズ
ム４、５を通過して任意の方向へ照射される。モーター
１７、２０によって、それぞれプリズム４、５が回転す
る。図２に示すように、図１で構成される距離計測装置
２６から発射された平行光線３は、被測定物２７にあた
り、その１部が反射光６となり装置２６へ戻る。反射光
６は、これを集める光学系７を通過して受光素子８に集
光されて検出される。受光素子８からの信号は電気信号
となり、A.C.カップリング増幅器９、反転器１０を通過
し光源１をドライブする変調器１１へ伝えられる。増幅
器の信号は増幅度測定用回路１４を経て増幅度信号とし
て外部機器へ出力される。反転器１０からの信号は周波
数測定用回路１３を経て周波数信号１５として外部機器
へ出力される。モーター１７、２０はモーター制御回路
２３によって制御される。

【０００８】この装置の動作原理を詳しく説明する。光
源１は変調器１１によって制御され、２つの強度のどち
らかの強度の光を発光する。強い強度の光を「オン」と
すれば、これはより強度の少ない「オフ」の強度（無発
光を含む）よりも、少なくとも数倍以上の強度である。
この「オン」の光を第１の強度の光とし、この「オフ」
の光を第２の強度の光とする。この場合の光源は、レー
ザーダイオードでも、ＬＥＤでも構わない。２つの異な
る強度の光を交互に生成できるものであればなんでもよ
い。ただしこの光源としては、より短い時間でスイッチ
されることが望ましい。本実施例では半導体レーザーを
使用した。光源１からの光は光学系２により、平行光線
３に変換されるとともに半導体レーザーが持っている非
点収差を取り除いた円形の光束になる。この光源と平行
光線にする光学系は、帰ってきた光を集める光学系７の
光軸にマウントされている。もちろん光源の設置場所は
ここに限定されず、光源を別の場所において、小さな鏡
あるいはビームスプリッタをレンズ７前方に設置して、
光源からの光を反射させてプリズム４、５を通るように
させることも可能である。平行光線３は、屈折用プリズ
ム４を通り、屈折しプリズム５に入射する。本実施例で
は２６度屈折する。そしてプリズム５の斜辺で反射し、
もう一方から出ていく。プリズム４および５はできれば
軽い材料、たとえばプラスティックでできていることが
望ましい。プリズムの形状、設置角度、屈折角度は限定
しない。走査光の走査範囲によってはその他の角度のプ
リズムでも可能である。プリズム４は緩やかな角度のプ
リズムでもよいし、くさび型のプリズムでもよいし、フ
レネルのプリズムでもよい。プリズム４は円形のホルダ
ー１６で支持されている。

【０００９】ホルダー１６は、ベアリングの上に設置さ
れている。モーター１７の回転がベルト１９で伝達さ
れ、ホルダー１６が回転する。ホルダー１６の回転軸と
同じ軸で回転するようにプリズム５が取付けられてい
る。モーター２０によって直接またはその他の方法、例
えばベルトドライブにより、プリズム５が回転される。
この２つのプリズムの回転軸は、送りだされる光の光軸
と同じであることが望ましい。ホルダー１６はプリズム
４の重量とバランスし、高速で回転できるように重心が
中心にあることが望ましい。プリズム４は光学系２と光
源１に近い方が望ましい、そうすることによりプリズム
４、５の表面で反射した散乱光のうちで平行光線３に平
行なものが受光に影響を及ぼさないようにできるからで
ある。プリズム４、５は、平行光線３ができるだけプリ
ズム４の中心の近くに入射するように、できるだけ接近
していた方がよい。平行光線３がプリズム５に入る時、
その中心方向に屈折する。これによりプリズム４から出
たときの屈折の角度を減らす。平行光線３はプリズム５
から出ていく時は、中心方向と逆方向へ屈折する。プリ
ズム５にはバランス用のおもり２２がついている。これ
らがモーター２０にたいして静的にも動的にもバランス
のとれた負荷となる。プリズム４とモーター１７の回転
角度、およびプリズム５とモーター２０の回転角度は、
それぞれエンコーダー１８、２１で検出される。モータ
ー制御回路２３はこの２つのモーターの位置を制御す
る。モーター制御回路２３でモーターの速度を設定して
もよいし、外部のコンピューターから指令されてもよい
し、その他の制御装置から指令されてもよい。

【００１０】実際のモーターの位置信号２５は、周波数
信号１５や増幅度信号１４と同様に外部のコンピュータ
ー等により読み込まれる。平行光線３は被測定物２７で
部分的に反射して、反射光６として距離計に帰ってく
る。反射光６のわずかな光はプリズムや鏡で反射される
が、大部分は光学系７に入り、受光素子８に集められ
る。受光素子８はフォトダイオードやその他の検出器で
特に限定しない。受光素子８からの信号２９を増幅器９
が増幅する。増幅器９で増幅された信号の振幅を増幅度
計測回路１２が測定する。一方、増幅器９で増幅された
信号は、反転器１０により位相が反転させられる。この
位相反転は増幅器９で増幅の途中出行われてもよい。反
転器１０の出力信号２８は論理レベル「１」または
「０」の信号となる。出力信号２８は光源１を駆動する
変調器１１に入力される。平均のしきい電圧３０よりも
信号の振幅が大きくなろうとしている時に、光源１が第
２の強度の光を発光し、逆にしきい電圧３０よりも小さ
くなろうとしている時に光源１が第１の強度の光を発光
する。このしきい電圧は、出力信号２８の論理レベル
「１」および「０」の比が等しくなるように制御され
る。なぜなら、本発明の原理では、距離計測装置２６と
被測定物２７の間の距離が一定ならば、光源１が第１の
強度の光を発光している時間と第２の強度の光を発光し
ている時間は等しいからである。

【００１１】計測装置の発振の期間３３は、被測定物２
７までの距離を往復する時間３１と、光の伝播速度と、
受光素子８から光源１までの信号の伝播の遅れ時間３２
によって決まる。本発明で光源１からの光が被測定物２
７まで行って帰ってきて、光源１の強度を変化させるま
での１往復が、このシステムの発振周期の１／２周期に
相当する。この１周期は次式で表わされる。Ｐ＝２Ｔ_e＋４Ｄ／Ｃ …（１）ここでＰは発振の周期、Ｔ_eは受光素子８から光源１ま
での信号の伝播時間３２、Ｄは被測定物２７までの距
離、Ｃは光の速度である。この発振のＮ周期分に要する
時間を測定した場合、その時間ＴはＮ×Ｐであり、目標
までの距離Ｄはこのように求めることができる。Ｄ＝Ｃ（Ｔ−２ＮＴ_e）／４Ｎ…（２）周波数測定器１３が、時間Ｔについて、ある最小時間ま
で測定できるとすれば、距離の分解能は測定する発振周
期Ｎの数に比例する。よって計測する発振周期Ｎを増や
せば分解能を向上させることができる。水晶時計の分解
能は非常に高く、しかも長時間にわたって正確であるの
で、発振周期Ｎを多く測定すれば高い分解能と精度を得
ることが可能である。測定する発振周期Ｎを多くすれば
するほど、測定の時間が長くなるので単位時間あたりの
測定回数と分解能との間には合い反する関係がある。タ
イマーそのものは１対１００億の精度があるので理論上
は高精度の測定を行うことが可能なはずである。

【００１２】本実施例について、さらに実機に基づき具
体的に説明する。被測定物の表面２７にぶつかる赤外光
ビームを作りだすために半導体レーザー１とレンズ２が
使用されている。光は被測定物の表面２７で散乱的に反
射し、そのうちのいくらかが集光レンズ７で集められフ
ォトダイオードセンサ８の上に焦点を結ぶ。センサーか
らの信号が増幅される。電気信号に変換される前にベル
研究所製の光学増幅器を使って光学的に増幅する。半導
体レーザーを駆動する変調器１１につながる反転比較器
１０に入力される。そのセンサーからの信号がある平均
値より大きければ、変調器１１は半導体レーザー１の発
光を停止して、逆に小さければ半導体レーザー１の発光
させる。フォトダイオードセンサ８からの信号は増幅器
９でＡＣカップリングされているので、ＤＣ信号や低い
周波数の信号（２００ＫＨｚ以下）は増幅された信号か
らは取り除かれている。装置に電源を投入した時点では
半導体レーザー１は発光しているかもしれないし、発光
していないかもしれない。フォトダイオードセンサ８と
増幅器９は、ランダムノイズにより微小信号を発生し、
ある時点で半導体レーザー１を逆の発光状態にするよう
変調器１１を駆動する。この遷移は連続して繰り返され
る。よってこの発振を引き起こしたり持続させたりする
回路は不要である。この遷移の周期は周波数計測回路で
計測される。これはある一定回数の周期、つまりある一
定回数、半導体レーザー１が発光停止状態から発光状態
へ遷移したときの時間を計測しているのである。ここで
ある発光停止状態から発光状態へ遷移し、次の発光停止
状態から発光状態へ遷移するまでを１サイクルとする。
実機ではタイマーの分解能は33.3ナノ秒で、最大２０４
８サイクルまでのいづれかのサイクル数を選択し、その
時間を計測した。光は１ナノ秒に３０ｃｍ進むのでこの
システムの分解能は（30×33.3）／（４×2048）＝0.122 ｃｍとなる。一回の測定あたり２０４８サイクル時間をかけ
るとすると、上記分解能は１秒あたり３６６２回の測定
のサンプルレートで得られるものである。この実機では
このサンプルレートを７５０万回／秒まで増やすことが
可能である。ただしこれに応じて分解能は低下する。よ
り早いサンプルレートでかつ高い分解能を持つシステム
はもう少し複雑な電子回路で実現できるかもしれない。
タイマーが測定した時間はメモリに格納され、外部のコ
ンピュータシステムやマイクロプロセッサーと表示装置
からなる小型の装置によって読みだすことが可能であ
る。このコンピュータにより（１）の式を使って時間を
距離に変換することができる。受光素子８から光源１ま
での信号の伝播時間Ｔｅは、予め距離のわかっているも
のを測定することにより知ることができる。本実施例で
は、一般的な物体からの反射を受光して距離を計測し
た。反射装置を被測定物体に設置して使用することも可
能で、使用範囲を数キロメータまで拡張できる。たとえ
ば、このような反射装置としてコーナーキューブがあ
る。土木測量で、キロメーター単位での距離測定をする
ときに、このような反射装置が使われている。

【００１３】実機での測定試験結果について説明する。
３、６６２Ｈｚのサンプルレートで０から１０メートル
までの範囲を1.22ミリメートルの精度で測定する。測定
距離が減少するとサンプルレートは増加する。2.5 メー
トルの測定でサンプルレートは最大7.5Mhzである。図４
に一定距離を一定時間計測した結果を示す。実験装置は
壁から約700 ミリメートルのところに置かれ31680 回の
測定がおこなわれた。ガウス分布で標準偏差は0.453 ミ
リメートルである。データのヒストグラムの分布状態
や、かけ離れたデータがないことから測定結果が一様に
分布することがわかる。つまり、ある測定精度内にデー
タがおさまるのである。

【００１４】図５に別の実験結果を示す。扇風機の回転
する羽を測定したものである。光ビームを一定速度で回
転する羽がさえぎる状況を表わしている。図の下側の測
定点は羽の横断面を表わし、上側の測定点は背後の壁を
示している。これは装置の動特性を意味し、動く被測定
物に対しても測定可能であることを証明している。さら
に別の実験結果を図６に示す。計測装置は実験室の中央
に置かれ、プリズムを３６０度回転させて試作機のまわ
りの実験室の状況を計測した。プロットした測定点は建
物の水平方向断面と内部にある物体を示す。これはあら
ゆる物体の表面にたいして、あらゆる照射角度で光線を
あてても、物体までの距離が測定することができること
を表わしている。

【００１５】他の距離測定システムと同様に、本発明で
の測定誤差の原因には２つある。１つはランダムノイズ
による誤差であり、もう１つはシステマティックな誤差
である。ランダムノイズは検出器の温度ノイズや外乱光
などのいろいろな原因が考えられる。計測においてこの
ランダムノイズを減らすいろいろな方法があるが、それ
らは多くの計測システムにとっても同様である。例えば
受信する光あるいは電気信号をフィルタリングするとか
送り出す光の出力を増やすとか、検出するために集める
光を増やすとか、低温に冷やされた検出器を使うという
ようなことである。ランダムノイズやホワイトノイズの
影響で測定誤差の標準偏差が増大する。これは何回かの
測定の平均をとることや、ある長い時間（多くのサイク
ル）にわたって測定をすることで減らすことができる。
ノイズによる絶対時間誤差の変動は合計の測定時間の平
方根に比例し、時間の誤差率は時間の平方根に反比例す
る。本発明の先の実施例では、レーザー光の継続的な強
さの変化として、その動作での論理信号「オン」及び
「オフ」レベルを使用ている。もちろん、これはアナロ
グ回路でも実施可能である。ここでノイズが受信信号の
半分より増幅されなければ、反転回路の状態を変化させ
ることがなく測定に影響しない。状態の遷移の途中にノ
イズが現われると精度に測定影響を与える。ノイズが状
態の遷移の途中で信号のレベルを変化させると、反転回
路の出力に影響をあたえる。状態の遷移が早ければ早い
ほどノイズによる影響は少なくなる。そのような高速の
回路は光ファイバー通信で使われ、状態の遷移を１ナノ
秒以下にできる。

【００１６】システマティックな誤差は発振の周波数の
変化や、受信信号の増幅率、それに部品の温度が電子回
路に影響されて起きる。これらの全ての要素は、測定に
より得た補正表に基づいて、装置が作動中に補正する。
一般に、この補正はシステムからの出力を調整するよう
にソフトウエアによっておこなわれる。本発明の動作が
２値化によるため、ランダムノイズが状態の遷移を招く
可能性がある。そして、そのような遷移した状態が持続
することがある。この現象では、周波数計測回路は本来
の３倍あるいはそれ以上の時間を測定し、間違った距離
計測をおこなう原因となる。図４に示すように、このよ
うな現象は本発明による実機で集めたデータからは観測
されなかった。データは自然に分布して、かけ離れた値
がないことが計測システムの信頼性を示している。余分
の状態の遷移による問題が明白だとしても、ある一定時
間にあるレベルでレーザーの出力を保ち、測定のための
最初の状態の遷移をおこし正常状態に戻すことによって
余分の状態の遷移による影響を防げる。

【００１７】第１の実施例では光のビームに２値化状態
を使用した。それは「オン」か「オフ」である。ここで
「オン」あるいは「オフ」とは２つの異なる強度か、２
つの反対の極性である。しかし、サイン曲線状に継続的
に変化する波形も使用可能であり、適応分野によっては
そのほうが適切かもしれない。第２の実施例として、光
源と受光素子を測定装置内に一緒に配置するかわりに、
受光素子を被測定物上に置き、光源を測定装置内に設置
して２つを分離することも可能である。被測定物と測定
装置の間の距離を計測するために、光源からの光が被測
定物に発射され被測定物上の受光素子が直接検出する。
よって、光源と受光素子の間の距離を直接測定できる。

【００１８】

【発明の効果】以上に述べたように、本発明によれば、
受光信号の状態によって発光信号の状態を２つの状態を
繰り返すように制御し、この２つの状態の時間の比が等
しくなるように発光状態を制御することにより、被測定
物の表面状態や、測定距離の変化による影響をうけるこ
となく、精度よく距離を測定することができる。また、
光を複数回往復させて時間を測定するので、安価な時間
測定回路で時間が測定できる。さらに、往復回数も計測
するので、１回の往復にかかる時間を正確に求めること
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す構成図

【図２】本実施例の装置で被測定物までの距離を計測す
るときの概略図

【図３】増幅回路９の入力信号と光源からの出力信号の
例を示した図

【図４】距離計測結果を示す図

【図５】扇風機の羽を計測した結果を示す図

【図６】実験室内部を計測した結果を示す図

【図７】本発明の原理説明図

【符号の説明】

１光源２平行光線にするための光学系４，５プリズム６反射光７反射光集光光学系８フォトダイオード（受光素子）９増幅器１０反転器１１光源１を駆動する変調器１４増幅度測定用回路１５周波数測定用回路１７，２０モーター２３モーター制御用回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平３−264885（ＪＰ，Ａ) 特開平１−219691（ＪＰ，Ａ) 特開昭58−198781（ＪＰ，Ａ) 特公昭51−6567（ＪＰ，Ｂ２) 特公昭47−34353（ＪＰ，Ｂ２) 特公昭46−36027（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01S 7/48 - 7/51 G01S 17/00 - 17/95

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】任意の被測定物に対して連続光を発する
発光手段と、前記被測定物からの反射光を受光する受光手段と、前記受光手段が反射光を受光したとき前記発光手段に前
記連続光の発光を停止させるとともに、前記受光手段が
反射光を受光しなくなったとき前記発光手段に前記連続
光の発光を開始させる手段と、前記発光手段の発光と停止の周期を測定する手段と、を
備えたことを特徴とする距離計測装置。
【請求項２】任意の被測定物に対して強さの異なる第
１と第２の２つの連続光のうち一方の強さの連続光を選
択して発する発光手段と、前記被測定物からの反射光を受光する受光手段と、前記受光手段が一方の強さの反射光を受光したとき前記
発光手段が発する前記連続光の強さを他方の強さに変更
する手段と、前記一方と他方の光の強弱の周期を測定する手段と、を
備えたことを特徴とする距離計測装置。
【請求項３】前記発光手段あるいは受光手段の方向を
変化させるための少なくとも１つのプリズムと、そのプ
リズムの駆動機構を備えたことを特徴とする請求項１ま
たは２記載の距離計測装置。