JP3174296B2 - マイクロ波無電極放電ランプ装置 - Google Patents

マイクロ波無電極放電ランプ装置

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    • H01J23/36Coupling devices having distributed capacitance and inductance, structurally associated with the tube, for introducing or removing wave energy
    • H01J23/54Filtering devices preventing unwanted frequencies or modes to be coupled to, or out of, the interaction circuit; Prevention of high frequency leakage in the environment
    • HELECTRICITY
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マグネトロンで発
振したマイクロ波で発光物質を励起させて、放電発光す
るマイクロ波無電極放電ランプ装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のマイクロ波無電極放電ラ
ンプ装置は、例えば特開昭56−126250号公報に
開示されている。
【0003】すなわち、従来のものは、図5に示すよう
に、マイクロ波を発生させるマグネトロン14と、マイ
クロ波を透過せず、光を透過する金属メッシュ素材から
なる円筒形の空洞構成容器2と、発生したマイクロ波を
空洞構成容器2内に伝送する導波管15と、マグネトロ
ン14および空洞構成容器2を収納した容器16とを有
する。
【0004】マグネトロン14には、マイクロ波を発振
するアンテナ10と、実質的にマイクロ波を発生させる
マグネトロンチューブ17と、マグネトロンチューブ1
7を囲むように磁路を形成するヨーク9と、ヨーク9で
囲まれた空間に、マグネトロンチューブ17から発生し
た熱を放熱する放熱フィン18とが設けられている。空
洞構成容器2内には、石英ガラスからなる支持棒4で支
持固定され、かつ内部に発光物質が封入された無電極発
光管5が設けられている。容器16の壁の一部には、マ
グネトロン14を冷却するための冷却ファン19が設け
られている。
【0005】次に、このような従来のマイクロ波無電極
放電ランプ装置の動作について説明する。
【0006】マグネトロンチューブ17から発生したマ
イクロ波は、アンテナ10から導波管15内に発振さ
れ、導波管15内を伝送して、導波管15の給電口11
から空洞構成容器2内に供給される。供給されたマイク
ロ波は、無電極発光管5に封入された発光物質を励起し
て、放電発光させる。マグネトロン14がマイクロ波の
発生動作をしている時、マグネトロンチューブ17には
熱損失が発生し、その熱損失により、マグネトロンチュ
ーブ17の温度が上昇し、マグネトロン14の動作不安
定や短寿命の原因を招く。そこで、マグネトロンチュー
ブ17の温度を実用上支障のない程度の温度に抑制する
ために、冷却ファン19を作動させ、1分あたり約10
00リットルの流量で、ヨーク9内に冷却風を送り込ん
で、マグネトロンチューブ17を強制冷却している。そ
して、冷却風は導波管15に設けられた通風口20、給
電口11、空洞構成容器2を通って、外部に流れ出る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のマイクロ波無電極放電ランプ装置では、送風機を利
用した強制空冷機構を用いているために、周囲の使用環
境の影響を受けやすく、例えばほこり、塵、虫等の吸い
込みや蓄積により、マグネトロンチューブや冷却ファン
等が劣化しやすくなるために、長寿命化を図ることがで
きないという問題があった。
【0008】また、送風機の回転および気流により、大
きな騒音が発生するという問題があった。
【0009】本発明はこのような問題を解決するために
なされたもので、長寿命で、かつ騒音の発生を防止した
マイクロ波無電極放電ランプ装置を提供するものであ
る。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明のマイクロ波無電
極放電ランプ装置は、マグネトロンチューブと前記マグ
ネトロンチューブを囲むヨークとを有するマグネトロン
と、少なくとも前記マグネトロンチューブを収納した容
器と、前記マグネトロンが発振するマイクロ波を伝送す
る伝送路と、前記マイクロ波によって励起発光する発光
物質を封入した無電極発光管とを備え、前記ヨークで囲
まれた空間と前記容器の内部とが連通しており、前記容
器に流動体が封入されている構成を有している。
【0011】この構成により、マグネトロンチューブに
発生した熱は流動体、そして容器へと伝導されて外部に
放熱される。このため、マグネトロンチューブを安定に
動作させることができるとともに、マグネトロンチュー
ブ等にこれらの劣化の原因となる異物の混入を防止する
ことができる。また、流動体の循環は熱対流を利用して
いるために、静穏にマグネトロンチューブを冷却するこ
とができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて説明する。
【0013】本発明の第1の実施形態のマイクロ波無電
極放電ランプ装置は、図1に示すように、マイクロ波を
発生するマグネトロン1と、マイクロ波を透過させず、
光を透過させる導電性メッシュ素材等からなる円筒状の
空洞構成容器2と、マグネトロン1が発生したマイクロ
波を空洞構成容器2内に伝送させる導波管3と、誘電性
材料等からなる支持棒4で支持され、かつ空洞構成容器
2内に設けられた無電極発光管5と、例えば絶縁オイル
等からなる冷却用の流動体6を密閉封入した、銅、アル
ミニウム等からなる容器7とを備えている。
【0014】マグネトロン1には、実質的にマイクロ波
を発生させるマグネトロンチューブ8と、マグネトロン
チューブ8を囲むように磁路を形成するヨーク9と、発
生したマイクロ波を導波管3内に発振させるアンテナ1
0とを備えている。ヨーク9で囲まれた空間は、図2
(図1のA−A線の断面図)にも示すように、容器7の
内部空間と接続され、連通している。したがって、ヨー
ク9で囲まれた空間内に設けられたマグネトロンチュー
ブ8は、流動体6に浸された状態にある。
【0015】空洞構成容器2は、導波管3とマイクロ波
が外部に漏れないように電気的に接続されており、給電
口11を通じて導波管3内と連通している。
【0016】無電極発光管5は、透明の石英ガラスや透
光性セラミック等からなり、その内部には発光物質とし
てInBr等の金属ハロゲン化物と、Ar等の不活性ガ
スとが封入されている。
【0017】なお、安定、かつ均等な放電発光を得るた
めに、支持棒4にモーター等(図示せず)を接続して、
支持棒4を回転軸として無電極発光管5を回転させなが
ら点灯させても良い。
【0018】次に、上記実施の形態のマイクロ波無電極
放電ランプ装置の動作について説明する。
【0019】アンテナ10より発振されたマイクロ波
は、導波管3内を伝送し、給電口11を通って空洞構成
容器2内に供給される。供給されたマイクロ波は、無電
極発光管5に充填された発光物質を励起して、無電極発
光管5を放電発光させる。
【0020】このようにマイクロ波の発振動作が行われ
ると、マグネトロンチューブ8の温度が上昇し、マグネ
トロンチューブ8近辺の流動体6の温度も上昇する。そ
うすると、マグネトロンチューブ8近辺の流動体6の温
度とマグネトロンチューブ8から最も離れた流動体6の
温度との温度差が大きくなり、容器7内で流動体6の熱
対流が起こり、流動体6は容器7内を循環する。流動体
6が循環するうちに、容器7は熱伝導性が良いために、
流動体6の熱が容器7を通じて外部に放熱され、マグネ
トロンチューブ8近辺の流動体6の温度をかなり下げる
ことができる。すなわち、マグネトロンチューブ8の温
度をマグネトロン1が安定動作するのに必要な程度の温
度にまで十分低下させることができる。
【0021】なお、上記実施の形態ではマイクロ波の伝
送路に導波管3を用いたが、同軸線路を用いてもよい。
ただし、この場合、給電口11の代わりにアンテナ等を
用いる。
【0022】また、上記実施の形態では流動体6に絶縁
オイルを用いたが、流動体6には例えば、電気絶縁性、
流動性、低温流動性能、金属腐食性等に優れた性能を有
するものを用いることが好ましい。しかし、それ以外に
も安価な水、ヘリウム等を適度な熱伝導性能を持つよう
に圧力を調整した気体や、フロンガス等のように液体と
気体との相変化による発熱吸熱反応を利用した流動体等
を用いてもよい。
【0023】また、導波管3や容器7等を筐体(図示せ
ず)に収納する場合があるが、その場合は、導波管3や
容器7等の少なくとも一部を筐体と密着させるか、ある
いは導波管3や容器7等の少なくとも一部と筐体との間
に熱伝導体等を介在させて、導波管3や容器7等と筐体
とを熱的に結合させることで、マグネトロンチューブ8
に対する上記冷却効果を維持することができる。
【0024】上記第1の実施の形態の構成によると、マ
グネトロンチューブ8を効率よく冷却して、安定に動作
させるとともに、マグネトロンチューブ8等にこれを劣
化させる原因となる異物の混入を防いで、マグネトロン
チューブ8等の劣化を防止することができ、マイクロ波
無電極放電ランプ装置の長寿命化を図ることができる。
また、流動体6の循環には、ポンプ等の循環装置を用い
ずに、熱対流を利用しているために、騒音の発生を防止
することができる。さらに、マグネトロンチューブ8全
体を流動体6に浸しているために、冷却効率が従来の強
制空冷に比してはるかに良く、したがって従来の強制空
冷のマグネトロンに用いられていた放熱フィンを不要に
でき、構造を簡略化することができる。
【0025】次に、本発明の第2の実施の形態のマイク
ロ波無電極放電ランプ装置は、図3に示すように、容器
12が環路を形成するような二重壁を有し、流動体6が
その環路に封入され、容器12の環路内にマグネトロン
チューブ8とヨーク9とが設けられている点を除いて、
図1に示したマイクロ波無電極放電ランプ装置と構成が
同じである。図3において、図1と同一図番のものは同
様の機能を有するので、その説明は省略する。
【0026】上記第2の実施の形態の構成によると、流
動体6が容器12の環路を循環すると、容器12の表面
積は容器7の表面積より大きいので、流動体6の熱の放
熱量が増加し、マグネトロンチューブ8の冷却効率をよ
り向上させることができる。
【0027】さらに、本発明の第3の実施の形態のマイ
クロ波無電極放電ランプ装置は、図4に示すように、容
器12の環路上に放熱器13を設けた点を除いて、図3
に示したマイクロ波無電極放電ランプ装置の構成と同じ
である。図4において、図3と同一図番のものは同様の
機能を有するので、その説明は省略する。放熱器13
は、放熱量を増やすために、表面積を大きくした部品、
例えば外表面に放熱板を多数並べた導管や、生物の毛細
血管のように細い導管を複数並行に設けたもの等からな
る。
【0028】上記第3の実施の形態の構成によると、放
熱器13による流動体6の熱の放熱量が増加し、マグネ
トロンチューブ8の冷却効率をより一層に向上させるこ
とができる。また、流動体6の封入量を低減できるの
で、コストの削減やマイクロ波無電極放電ランプ装置の
小型化や、軽量化を行うことができる。
【0029】また、放熱器13は、前記第1の実施の形
態の容器7に用いても上記効果を得ることができる。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は長寿命
で、かつ騒音の発生を防止することのできるマイクロ波
無電極放電ランプ装置を提供することができるものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態のマイクロ波無電極
放電ランプ装置の一部切欠正面図
【図2】図1のA−A線の断面図
【図3】本発明の第2の実施の形態のマイクロ波無電極
放電ランプ装置の一部切欠正面図
【図4】本発明の第3の実施の形態のマイクロ波無電極
放電ランプ装置の一部切欠正面図
【図5】従来のマイクロ波無電極放電ランプ装置の一部
切欠正面図
【符号の説明】
1 マグネトロン 3 導波管 5 無電極発光管 6 流動体 7,12 容器 8 マグネトロンチューブ 9 ヨーク 13 放熱器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−273899(JP,A) 特開 昭52−137972(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F21S 2/00 H01J 65/04 H05B 41/24

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マグネトロンチューブと前記マグネトロ
    ンチューブを囲んだヨークとを有するマグネトロンと、
    少なくとも前記マグネトロンチューブを収納した容器
    と、前記マグネトロンが発振するマイクロ波を伝送する
    伝送路と、前記マイクロ波によって励起発光する発光物
    質を封入した無電極発光管とを備え、前記ヨークで囲ま
    れた空間と前記容器の内部とが連通しており、前記容器
    に流動体が封入されていることを特徴とするマイクロ波
    無電極放電ランプ装置。
  2. 【請求項2】 前記容器は、良熱伝導体からなることを
    特徴とする請求項1記載のマイクロ波無電極放電ランプ
    装置。
  3. 【請求項3】 前記容器に前記流動体が循環する環路を
    設けていることを特徴とする請求項1または請求項2に
    記載のマイクロ波無電極放電ランプ装置。
  4. 【請求項4】 前記容器に前記流動体の熱を放熱する手
    段を設けていることを特徴とする請求項1ないし請求項
    3のいずれかに記載のマイクロ波無電極放電ランプ装
    置。
  5. 【請求項5】 前記流動体は、絶縁オイルからなること
    を特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載
    のマイクロ波無電極放電ランプ装置。
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