JP3166496B2 - Eccentric error correction device for rotary encoder - Google Patents
Eccentric error correction device for rotary encoderInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、発電機の回転子の如き
大型回転体の回転軸に同軸的に取り付けられて該回転体
の回転角度に比例するパルス信号を出力する回転エンコ
ーダ(パルスエンコーダとも略す)に関するものであ
り、更に詳しくは、該回転エンコーダを構成する回転円
板の偏心に起因して、時間位相的に正しい出力信号が得
られないとき、これを補正した出力信号を作成して出力
する回転エンコーダの偏心誤差補正装置に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotary encoder (pulse encoder) which is mounted coaxially on a rotating shaft of a large rotating body such as a rotor of a generator and outputs a pulse signal proportional to the rotation angle of the rotating body. More specifically, when an output signal that is correct in time phase cannot be obtained due to the eccentricity of the rotating disk that constitutes the rotary encoder, an output signal corrected for this is created. The present invention relates to an eccentricity error correction device for a rotary encoder that outputs an output signal.
【0002】なお、以下各図において同一の符号は同一
もしくは相当部分を示す。[0002] In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.
【0003】[0003]
【従来の技術】発電機の回転子の如き大型回転体の回転
軸に同軸的にパルスエンコーダを取り付け、該回転体の
回転に応じてパルスエンコーダから出力されるパルス列
から前記回転体の回転数や回転速度を知り、それに従っ
て回転体の回転を制御することが行われている。回転体
が発電機の回転子である場合には、パルスエンコーダの
出力を用いて回転子の回転を制御することになるので、
結局発電機からの出力電圧や出力電流を制御することに
なる。2. Description of the Related Art A pulse encoder is coaxially mounted on a rotating shaft of a large rotating body such as a rotor of a generator, and the number of rotations of the rotating body is determined from a pulse train output from the pulse encoder according to the rotation of the rotating body. It is practiced to know the rotation speed and control the rotation of the rotating body accordingly. If the rotating body is a generator rotor, the rotation of the rotor will be controlled using the output of the pulse encoder.
Eventually, the output voltage and output current from the generator will be controlled.
【0004】図8は、かかるパルスエンコーダの動作原
理説明のための概念図である。同図において、1は回転
円板、cはその回転中心、2a〜2fはそれぞれ突起、
3a,3bはそれぞれピックアップ(パルスセンサとも
いう)である。突起2aと2bは、回転中心cから見て
相互に角度180度だけ離れた位置にある(換言すれ
ば、突起2aと回転中心cと突起2bは一直線上に存在
する)。突起2cと2dの組についても、また突起2e
と2fの組についても、全く同様である。ピックアップ
3a,3bは円板1から離れた或る固定位置にあるわけ
であるが、その相対配置は、やはりピックアップ3a,
回転中心c,ピックアップ3bが一直線上に揃うように
配置されている。FIG. 8 is a conceptual diagram for explaining the operation principle of such a pulse encoder. In the figure, 1 is a rotating disk, c is its rotation center, 2a to 2f are projections,
3a and 3b are pickups (also referred to as pulse sensors). The projections 2a and 2b are located at a position 180 degrees apart from each other when viewed from the rotation center c (in other words, the projection 2a, the rotation center c, and the projection 2b are on a straight line). For the set of projections 2c and 2d,
The same is true for the pair of and 2f. The pickups 3a and 3b are located at certain fixed positions away from the disk 1, but their relative arrangement is still the pickups 3a and 3b.
The rotation center c and the pickup 3b are arranged so as to be aligned on a straight line.
【0005】円板1が図示せざる回転体と同軸的に取り
付けられ、中心cを回転中心として回転すると、突起2
a〜2fは順次、ピックアップ3a,3bの近傍を通過
し、ピックアップ3a,3bはそれを検出する都度、パ
ルスを出力する。ピックアップと突起の関係は、突起が
磁石でピックアップがコイルであってもよく、或いは突
起が光の反射体でありピックアップが光電変換素子であ
って、突起がピックアップに接近したとき、或る光源か
らの光を反射してピックアップに入射するような構成で
あってもよい。When the disc 1 is mounted coaxially with a rotating body (not shown) and rotates about the center c, the projection 2
a to 2f sequentially pass near the pickups 3a and 3b, and the pickups 3a and 3b output a pulse each time they are detected. The relationship between the pickup and the protrusion may be such that the protrusion is a magnet and the pickup is a coil, or the protrusion is a light reflector and the pickup is a photoelectric conversion element. The light may be reflected to be incident on the pickup.
【0006】今、突起2cと2dの組について考える
と、突起2cがピックアップ3aに接近してピックアッ
プ3aがパルスを出力するとき、その同じタイミングに
おいて、突起2dがピックアップ3bに接近してピック
アップ3bもパルスを出力する。突起2aと2bの組,
突起2eと2fの組についても全く同様である。このよ
うにして、ピックアップ3aと3bは同じタイミングで
パルスを出力しており、このパルス列から回転体の回転
速度,回転数などを知ることができる。Now, considering the set of the projections 2c and 2d, when the projection 2c approaches the pickup 3a and the pickup 3a outputs a pulse, the projection 2d approaches the pickup 3b and the pickup 3b at the same timing. Output pulse. A set of projections 2a and 2b,
The same is true for the set of projections 2e and 2f. In this manner, the pickups 3a and 3b output pulses at the same timing, and the rotation speed and the number of rotations of the rotating body can be known from the pulse train.
【0007】上述の如きパルスエンコーダにおいて、円
板の回転中心が偏心していると問題が生じる。図9はパ
ルスエンコーダにおける回転中心の偏心状況を示す説明
図である。同図に見られるように、円板1の物理的中心
がcであるにもかかわらず、何らかの理由で偏心が発生
し、実際の回転中心c′が偏心を起こして円板中心cか
らずれたとする。このずれた範囲5がふれ回りを起こす
範囲である。In the above-described pulse encoder, a problem arises when the rotation center of the disk is eccentric. FIG. 9 is an explanatory diagram showing the state of eccentricity of the rotation center in the pulse encoder. As can be seen from the figure, although the physical center of the disk 1 is c, the eccentricity occurs for some reason, and the actual rotation center c ′ is eccentric and deviates from the disk center c. I do. The shifted range 5 is a range in which whirling occurs.
【0008】図10は図9においてピックアップ3a,
3bが出力するパルスのタイミング図である。円板1が
偏心を起こしておらず、その回転中心c′が物理的中心
cと一致しているときには、ピックアップ3aが出力す
るパルスaのタイミングと、ピックアップ3bが出力す
るパルスbのタイミングは、図10(イ)に見られるよ
うに全く一致しており問題はない。FIG. 10 shows a pickup 3a,
It is a timing chart of the pulse which 3b outputs. When the disk 1 is not eccentric and its center of rotation c 'coincides with the physical center c, the timing of the pulse a output by the pickup 3a and the timing of the pulse b output by the pickup 3b are: As can be seen from FIG.
【0009】ところが偏心により、回転中心c′が物理
的中心cよりずれていると、そのずれ具合により、ピッ
クアップ3bが出力するパルスbの方がピックアップ3
aが出力するパルスaよりも、図10(ロ)に見られる
ように時間Δtだけ先行したり、或いは図10(ハ)に
見られるように時間Δtだけ遅れたりする。このよう
に、ピックアップ3aから出力されるパルスとピックア
ップ3bから出力されるパルスとは、回転円板に偏心が
なければタイミング的に一致するのに、偏心があるが故
に時間的にずれてしまい、どちらのパルスを採用しても
タイミング的に正確なものとはいえなくなる。すなわ
ち、回転体が一定角速度で回転している場合を考える
と、偏心がなければピックアップ3a(又は3b)から
出力されるパルスは一定間隔を置いて常に同じタイミン
グで出力されるのに偏心があると、ピックアップ3aと
3bの何れの出力パルスを見ても遅れ,進みがあり、回
転体が一定角速度で回転している状況を表わすことがで
きない。However, if the center of rotation c 'is deviated from the physical center c due to eccentricity, the pulse b output by the pickup 3b will be smaller than that of the pickup 3 depending on the degree of the deviation.
The pulse a is advanced by the time Δt as shown in FIG. 10B or delayed by the time Δt as shown in FIG. As described above, the pulse output from the pickup 3a and the pulse output from the pickup 3b match in terms of timing if the rotating disk does not have eccentricity, but are temporally shifted due to the eccentricity. Whichever pulse is employed, the timing is not accurate. That is, considering the case where the rotating body is rotating at a constant angular velocity, if there is no eccentricity, the pulses output from the pickup 3a (or 3b) are always output at the same timing with a constant interval, but there is eccentricity. When the output pulse of either of the pickups 3a and 3b is viewed, there is a delay and advance, and it is not possible to represent a situation where the rotating body is rotating at a constant angular velocity.
【0010】この問題の解決策としては本出願人の先願
になる特開平1−113614号において、ピックアッ
プ3aから出力されるパルスとピックアップ3bから出
力されるパルスとの丁度中間に位置するパルスに相当す
るパルスを人為的に作り出し、真に相当するパルスとし
て出力する装置が提案されている。As a solution to this problem, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-113614, filed by the present applicant, discloses a method in which the pulse output from the pickup 3a and the pulse output from the pickup 3b are positioned exactly in the middle. An apparatus has been proposed which artificially generates a corresponding pulse and outputs the pulse as a truly corresponding pulse.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記先願
の装置では、軸の1次回転振動(1サイクル/回転)に
基づく偏心誤差しか補正できず、例えば現代制御理論に
基づく軸の高次の振動も考慮した発電機の高精度の制御
には適用ができないという問題が残っている。そこで本
発明は軸の高次の回転振動(多サイクル/回転)の偏心
誤差も補正でき、軸の高精度の回転角検出ができるよう
な回転エンコーダの偏心誤差補正装置を提供することを
課題とする。However, the above-mentioned prior art device can correct only the eccentricity error based on the primary rotational vibration (1 cycle / rotation) of the shaft, and for example, the higher order vibration of the shaft based on modern control theory. However, there remains a problem that the method cannot be applied to high-precision control of a generator in consideration of the above. Accordingly, an object of the present invention is to provide an eccentricity error correction device for a rotary encoder that can correct an eccentricity error of a high-order rotational vibration (multi-cycle / rotation) of a shaft and can detect a rotation angle of the shaft with high accuracy. I do.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めに、請求項1の偏心誤差補正装置は、偏心して回転し
得る回転円板(1など)の回転に伴い前記回転円板の円
周上に等間隔に設けられた位置識別子(突起2a,2
b,・・・など)が近傍を通過することを検出して位置
検出信号(ピックアップ出力パルス20など)を発生す
る3つ以上の(ピックアップ3−1,3−2,3−3な
ど)を、回転円板の周辺近傍の固定位置に、回転円板の
中心から見てほぼ等間隔に、かつ回転円板の偏心が無い
とき各検出器の発生する前記位置検出信号(21,2
2,23など)の位相が一致するように配置し、且つ前
記位置識別子の総数を検出器の総数の整数倍とし、前記
の各検出器から、回転円板の偏心に起因し、位相のずれ
(位相差時間t1 ,t2 ,t3)を生じて出力された位
置検出信号から偏心誤差補正後の位置検出信号(平均パ
ルス出力30など、以下補正位置検出信号という)を生
成し、回転エンコード出力とする回転エンコーダの偏心
誤差補正装置(6など)であって、According to a first aspect of the present invention, there is provided an eccentricity error correcting device according to the first aspect of the present invention, wherein a rotating disk (1 or the like) that can rotate eccentrically rotates. Position identifiers (protrusions 2a, 2a) provided at equal intervals on the circumference
, etc.) pass through the vicinity and generate three or more (pickups 3-1, 3-2, 3-3, etc.) for generating position detection signals (pickup output pulses 20, etc.). The position detection signals (21, 2) generated by the detectors at fixed positions near the periphery of the rotating disk, at substantially equal intervals when viewed from the center of the rotating disk, and when there is no eccentricity of the rotating disk.
2, 23, etc.), and the total number of the position identifiers is an integral multiple of the total number of the detectors. (Phase difference times t1, t2, t3), a position detection signal after eccentricity error correction (hereinafter referred to as a corrected position detection signal, such as an average pulse output 30) is generated from the output position detection signal, and the rotation encode output is generated. Eccentricity error correction device (6 etc.)
【0013】前記補正位置検出信号の出力ごとにリセッ
トされ、前記検出器ごと1つづつの位置検出信号の発生
のつど、この発生数(ピックアップ出力パルス到来数
N)に計時用の所定の原クロック周波数(fc )を前記
検出器の総数(n)で除してなるクロック周波数(fc
/n)を乗じた周波数(fc ×N/n)の可変クロック
(43aなど)を生成する周波数逓倍手段(ラッチ4
1,加算器42,プログラマブルカウンタ43など)
と、同じく前記補正位置検出信号の出力ごとにリセット
され、前記周波数逓倍手段によって順次周波数が逓倍さ
れる前記可変クロックを計数積算し、この積算値(総ク
ロック数31など)が前記の原クロック周波数と、1つ
の検出器から出力される位置検出信号の周期より小さい
所定の遅延時間(T)との積(fc ×T)に一致した時
点に前記補正位置検出信号を出力する手段(fc ×Tカ
ウンタ44,モノステーブルFF45など)とを備えた
ものであるようにする。Each time the corrected position detection signal is output, the number of occurrences (the number N of pick-up output pulses) is reset to a predetermined original clock frequency for timing each time a position detection signal is generated for each detector. A clock frequency (fc) obtained by dividing (fc) by the total number (n) of the detectors.
/ N) to generate a variable clock (43a or the like) having a frequency (fc × N / n) multiplied by the frequency multiplication means (latch 4).
1, adder 42, programmable counter 43, etc.)
The variable clock, which is reset every time the corrected position detection signal is output and whose frequency is sequentially multiplied by the frequency multiplying means, is counted and integrated. Means (fc × T) for outputting the corrected position detection signal at a point in time when the product coincides with the product (fc × T) of a predetermined delay time (T) smaller than the period of the position detection signal output from one detector. Counter 44, monostable FF 45, etc.).
【0014】請求項2の偏心誤差補正装置は、偏心して
回転し得る回転円板(1など)の回転に伴い前記回転円
板の円周上に等間隔に設けられた位置識別子(突起2
a,2b,・・・など)が近傍を通過することを検出し
て位置検出信号(ピックアップ出力パルス20など)を
発生する3つ以上の(ピックアップ3−1,3−2,3
−3など)を、回転円板の周辺近傍の固定位置に、回転
円板の中心から見てほぼ等間隔に、かつ回転円板の偏心
が無いとき各検出器の発生する前記位置検出信号(2
1,22,23など)の位相が一致するように配置し、
且つ前記位置識別子の総数を検出器の総数の整数倍と
し、前記の各検出器から、回転円板の偏心に起因し、位
相のずれ(位相差時間t1 ,t2 ,t3 )を生じて出力
された位置検出信号から偏心誤差補正後の位置検出信号
(平均パルス出力30など、以下補正位置検出信号とい
う)を生成し、回転エンコード出力とする回転エンコー
ダの偏心誤差補正装置(6など)であって、計時用の所
定の原クロック周波数(fc )の各パルスを、所定の順
番を附した前記の全ての検出器に、その順番に1対1
に、かつ検出器の順番の末尾が先頭に続くようにサイク
リックに割当てる手段(1/nカウンタ51,デコーダ
52など)と、前記補正位置検出信号の出力ごとにリセ
ットされ、前記検出器ごと1つづつの位置検出信号の発
生後、夫々、当該の検出器に割当てられた原クロック周
波数の各パルスを有効とする手段(ラッチ41,AND
ゲート61〜63など)と、同じく前記補正位置検出信
号の出力ごとにリセットされ、原クロック周波数の前記
のように有効とされたパルスのみを計数積算し、この積
算値が前記の原クロック周波数と、1つの検出器から出
力される位置検出信号の周期より小さい所定の遅延時間
との積(fc ×T)に一致した時点に前記補正位置検出
信号を出力する手段(ORゲート53,fc ×Tカウン
タ44,モノステーブルFF45など)とを備えたもの
であるようにする。An eccentricity error correcting device according to a second aspect of the present invention provides a position identifier (protrusion 2) provided at equal intervals on the circumference of the rotating disk with the rotation of the rotating disk (1 or the like) which can rotate eccentrically.
a, 2b,...) pass through the vicinity and generate position detection signals (such as the pickup output pulse 20).
-3) at a fixed position near the periphery of the rotating disk, at substantially equal intervals as viewed from the center of the rotating disk, and when there is no eccentricity of the rotating disk, the position detection signal ( 2
1, 2, 23, etc.)
In addition, the total number of the position identifiers is set to an integral multiple of the total number of the detectors, and each detector outputs a phase shift (phase difference time t1, t2, t3) due to the eccentricity of the rotating disk. An eccentricity error correction device (6 or the like) for a rotary encoder that generates a position detection signal after eccentricity error correction (average pulse output 30 or the like, hereinafter referred to as a corrected position detection signal) from the obtained position detection signal and outputs the rotation encoded output. Each pulse of a predetermined original clock frequency (fc) for timekeeping is applied to all the detectors assigned in a predetermined order in a one-to-one manner.
Means for cyclically assigning the end of the detector order to the head (1 / n counter 51, decoder 52, etc.); resetting each time the correction position detection signal is output; After each successive position detection signal is generated, means for validating each pulse of the original clock frequency assigned to the corresponding detector (latch 41, AND
Gates 61 to 63, etc.), and also resets each time the corrected position detection signal is output, counts and integrates only the pulses of the original clock frequency that are validated as described above, and this integrated value is compared with the original clock frequency. Means (OR gate 53, fc × T) for outputting the corrected position detection signal at a time when the product coincides with a product (fc × T) of a predetermined delay time smaller than the cycle of the position detection signal output from one detector. Counter 44, monostable FF 45, etc.).
【0015】[0015]
【作用】円周上に等間隔に3つ以上の突起を持つパルス
エンコーダの回転円板の周縁に対向する固定位置に周縁
に沿いほぼ等間隔に、かつ回転円板に偏心がないときは
各ピックアップの出力パルスの位相が一致するように3
個以上のピックアップを設け、回転円板の偏心に起因し
この各ピックアップから出力される位相のずれたパルス
の平均のタイミングを真のパルスのタイミングとする。In a pulse encoder having three or more projections at equal intervals on the circumference, at a fixed position opposed to the circumference of the rotary disk, substantially at equal intervals along the circumference, and when the rotary disk is not eccentric, 3 so that the phases of the pickup output pulses match.
A plurality of pickups are provided, and the average timing of the phase-shifted pulses output from the respective pickups due to the eccentricity of the rotating disk is defined as the true pulse timing.
【0016】図2はピックアップを3−1,〜3−3の
3個とした場合における、一次振動の偏心軸に取付けら
れた回転エンコーダの円板の回転角θとピックアップの
検出する回転角度誤差Δθの関係の例を示す。このよう
に検出角度誤差Δθは恰も3相交流のようになるが、3
つのピックアップの角度誤差の平均値は0となることが
判る。FIG. 2 shows the rotation angle θ of the disk of the rotary encoder mounted on the eccentric shaft of the primary vibration and the rotation angle error detected by the pickup when three pickups 3-1 and 3-3 are used. An example of the relationship of Δθ is shown. As described above, the detected angle error Δθ becomes like a three-phase alternating current.
It can be seen that the average value of the angle errors of the two pickups is zero.
【0017】しかし真の平均のタイミングは、少なくと
も最も早く検出された既発生のピックアップ出力パルス
と最も遅く検出される未発生のピックアップ出力パルス
との中間にあり、概念上は存在しても現実には検出でき
ない。このため、この真の平均のタイミングから一定の
遅延時間T(但し1つのピックアップの出力パルスの周
期より充分短い時間とする)だけ遅れ、かつ最も遅く検
出されるピックアップ出力パルスの発生後となる時点に
回転エンコード出力としてのパルスを発生させ、真の平
均タイミングのパルスの代わりとする。However, the true average timing is at least halfway between the earliest detected pick-up output pulse detected earlier and the latest detected pick-up output pulse detected later. Cannot be detected. For this reason, a point in time which is delayed from the true average timing by a fixed delay time T (provided that the time is sufficiently shorter than the period of the output pulse of one pickup) and after the generation of the pickup output pulse detected latest. , A pulse as a rotation encode output is generated, and is used instead of the pulse at the true average timing.
【0018】[0018]
【実施例】図1は本発明の一実施例としての原理的な全
体の構成図である。本発明においては、回転円板1の円
周に沿いほぼ等間隔に3つ以上のピックアップを設けて
パルス平均化の効果を高めるようにする。この例では3
(3−1,3−2,3−3)の3つのピックアップを設
けた例を示す。回転円板1の円周上に設けられた突起2
a,2b,・・・は等間隔に配置され、円板中心cと回
転中心c′が一致している場合、各ピックアップ3−
1,3−2,3−3からは常に同位相のピックアップ出
力パルス20(21,22,23)が発生するように構
成されている。偏心誤差補正装置6は、円板中心cと回
転中心c′との不一致に起因する位相のずれたピックア
ップ出力パルス21〜23の平均タイミング(真のパル
ス位置)から一定の遅延時間Tだけ遅れたパルス(平均
パルス出力という)30を生成し出力する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a diagram showing the entire configuration of the principle of an embodiment of the present invention. In the present invention, three or more pickups are provided at substantially equal intervals along the circumference of the rotating disk 1 to enhance the effect of pulse averaging. In this example, 3
An example in which three pickups (3-1, 3-2, 3-3) are provided is shown. Projection 2 provided on the circumference of rotating disk 1
are arranged at equal intervals, and when the center c of the disk and the center of rotation c 'coincide with each other, each pickup 3-
The pickup output pulses 20 (21, 22, 23) of the same phase are always generated from 1, 3-2 and 3-3. The eccentricity error correction device 6 is delayed by a fixed delay time T from the average timing (true pulse positions) of the pickup output pulses 21 to 23 out of phase due to the mismatch between the disk center c and the rotation center c ′. A pulse (referred to as an average pulse output) 30 is generated and output.
【0019】図3は図1の動作説明用のタイムチャート
である。図3において、真のパルス位置32に対する各
ピックアップ3−1,3−2,3−3の夫々の出力パル
ス21,22,23の時間差(位相差時間という)tを
t1 ,t2 ,t3 (但しこの例ではt1 ,t3 >0,t
2 <0)とすると、次式(1)の関係にある。FIG. 3 is a time chart for explaining the operation of FIG. In FIG. 3, t 1 true time difference between the output pulses 21, 22, 23 of each of the pick-up 3-1, 3-2 and 3-3 with respect to the pulse position 32 (called retardation time) t, t 2, t 3 (However, in this example, t 1 , t 3 > 0, t
If 2 <0), the following equation (1) is established.
【0020】[0020]
【数1】 t1 +t2 +t3 =0 ・・・(1) つまり、常に各ピックアップの出力パルス21,22,
23の到来時間差(位相差時間)の合計が0となる時点
が真のパルス位置32となる。そして偏心誤差補正装置
6は、真のパルス位置32から一定の遅延時間Tだけ遅
れた位置33に平均パルス出力30を発生する。但し、
遅延時間Tは1つのピックアップからの出力パルス周期
より充分小さいものとする。T 1 + t 2 + t 3 = 0 (1) That is, the output pulses 21, 22, 22 of each pickup are always obtained.
The time point at which the sum of the arrival time differences (phase difference times) of the 23 becomes zero is the true pulse position 32. Then, the eccentric error correction device 6 generates an average pulse output 30 at a position 33 which is delayed from the true pulse position 32 by a certain delay time T. However,
It is assumed that the delay time T is sufficiently shorter than the output pulse period from one pickup.
【0021】ところで(1)式は次式(2)のように変
形できる。The equation (1) can be modified as the following equation (2).
【0022】[0022]
【数2】 t1 +t2 +t3 +3T=3T ∴(T+t1 )/3+(T+t2 )/3+(T+t3 )/3=T (2) この(2)式は図3の斜線部分の時間長、つまり各パル
ス21,22,23の発生後の経過時間(T+t1 ),
(T+t2 ),(T+t3 )の平均が遅延時間Tである
ような位置が平均パルス位置33であることを示し、さ
らに換言すればこの2(式)は各ピックアップ3−1,
〜3−3のチャンネルごとに、パルス到来後の経過時間
を1/3の時計進度でカウントしたとき、その計数値の
和が遅延時間Tに一致した点が、真のパルス位置32か
らT時間遅れの平均パルス位置33となることを表わし
ている。## EQU2 ## t 1 + t 2 + t 3 + 3T = 3T∴ (T + t 1 ) / 3 + (T + t 2 ) / 3 + (T + t 3 ) / 3 = T (2) Equation (2) is the time of the hatched portion in FIG. Length, that is, the elapsed time (T + t 1 ) after the generation of each pulse 21, 22, 23,
The position where the average of (T + t 2 ) and (T + t 3 ) is the delay time T is the average pulse position 33. In other words, this 2 (Expression) shows that each pickup 3-1 and
When the elapsed time after the arrival of the pulse is counted at a clock advance of 1/3 for each of the channels from 3 to 3-3, the point where the sum of the counted values coincides with the delay time T is the time T from the true pulse position 32. This indicates that the average pulse position 33 is delayed.
【0023】ここで(2)式の両辺に計時用の所定のク
ロック周波数fc を乗じ、かつピックアップ3を3個
(3チャンネル)から一般にnチャンネルとして(2)
式を書換えると下記(3)式が得られる。[0023] Generally as n-channel from where (2) both sides multiplied by a predetermined clock frequency f c for counting the of, and three pickup 3 (3 channels) (2)
By rewriting the equation, the following equation (3) is obtained.
【0024】[0024]
【数3】 (T+t1 )fc /n+(T+t2 )fc /n+(T+t3 )fc /n+ ・・・+(T+tn )fc /n=T×fc ・・・(3) 図4はこの式(3)の演算の説明図で、この図4の階段
状図形Fの面積は(3)式の左辺の値、すなわちピック
アップ出力パルス21,22,・・・2nの発生後の平
均パルス位置33までの経過時間(T+t1 ),(T+
t2 ),・・・(T+tn )の各々とクロック分周周波
数fc /nとの積であるクロック計数値の総和(総クロ
ック数)31を示しており、この総クロック数31の値
は(3)式の右辺の値T×fc に等しい。Equation 3] (T + t 1) f c / n + (T + t 2) f c / n + (T + t 3) f c / n + ··· + (T + t n) f c / n = T × f c ··· (3 FIG. 4 is an explanatory view of the calculation of the equation (3). The area of the step-like figure F in FIG. 4 is the value on the left side of the equation (3), that is, the generation of the pickup output pulses 21, 22,. The elapsed time (T + t 1 ), (T +
t 2), ··· (T + t each the sum of the clock count value which is the product of the clock division frequency f c / n of n) (which indicates the total number of clocks) 31, the total number of clocks 31 value It is equal to the value T × f c of the right side of equation (3).
【0025】図5は(3)式の原理に基づいて平均パル
ス30を出力する本発明の第1の実施例としての偏心誤
差補正装置6の構成を示すブロック回路図である。この
図5において、ラッチ41はピックアップ出力パルス2
1,22,・・・2nのパルスエッジの到来時、到来し
た各パルスを保持し、その保持ごとに1本づつ出力信号
としてのパルスラッチ出力81〜8nを有効化する。加
算器42はラッチ41の有効な出力本数を加算し、この
加算値としてのピックアップ出力パルスの到来数Nを出
力してプログラマブルカウンタ43にプログラム入力と
して与える。クロック周波数fc を原入力のクロックと
するプログラム可能な分周カウンタとしてのプログラマ
ブルカウンタ43は、与えられたピックアップパルス到
来数Nの値に応じてクロック周波数fc を分周してなる
周波数fc ×N/nの可変クロック43aを出力する。
fc ×Tカウンタ44はこの可変クロック43aを計数
し、この計数値がfc ×Tに達するとカウントアップ信
号44aを出力し、モノステーブルフリップフロップ
(フリップフロップをFFとも略記する)45に与え
る。モノステーブルFF45はカウントアップ信号44
aの入力後、一定時間、Hレベルの出力信号としての平
均パルス出力30を発生する。この平均パルス出力30
はラッチ41,fc ×Tカウンタ44にも与えられてこ
れらをリセットする。FIG. 5 is a block circuit diagram showing the configuration of the eccentricity error correcting device 6 according to the first embodiment of the present invention which outputs the average pulse 30 based on the principle of equation (3). In FIG. 5, a latch 41 detects a pickup output pulse 2
When the pulse edges of 1, 22,... 2n arrive, each of the incoming pulses is held, and the pulse latch outputs 81 to 8n as output signals are enabled one by one for each holding. The adder 42 adds the number of valid output lines of the latch 41, outputs the arrival number N of pickup output pulses as the added value, and gives the number to the programmable counter 43 as a program input. Programmable counter 43 as a programmable divider counter to the clock frequency f c and the original input clock frequency obtained by dividing the clock frequency f c in accordance with the value of a given pick-up pulses arriving number N f c A variable clock 43a of × N / n is output.
f c × T counter 44 counts the variable clock 43a, the count value is output a count-up signal 44a reaches the f c × T, a monostable flip-flop (flip-flops abbreviated as FF) given to the 45 . The monostable FF 45 outputs the count-up signal 44
After the input of a, an average pulse output 30 as an H level output signal is generated for a certain period of time. This average pulse output 30
Reset these be given to the latch 41, f c × T counter 44.
【0026】これにより次回到来のピックアップパルス
21〜2nについて、再び上記と同様な動作が繰返され
る。この図5の回路では実際上、プログラマブルカウン
タ43の応答速度の制限からクロック周波数fc を高め
ることが難しく、ピックアップ3の個数を増加させ、よ
り高精度の回転角度測定を行うことが難しい。As a result, the same operation as described above is repeated for pickup pulses 21 to 2n arriving next time. The practice in the circuit of FIG. 5, it is difficult to increase the clock frequency f c from the limit of response speed of the programmable counter 43 increases the number of the pickup 3, it is difficult to carry out more accurate rotation angle measurements.
【0027】図6はこの点を解決した本発明の第2の実
施例としての偏心誤差補正装置6の回路構成を示す。図
6においては図5の加算器42,プログラマブルカウン
タ43に代わり、1/nカウンタ51、デコーダ52、
ANDゲート61,62,63,・・・、ORゲート5
3が用いられている。但し、図6のfc ×Tカウンタ4
4はカウンタイネーブル信号90の入力期間のみクロッ
クfc を計数する。FIG. 6 shows a circuit configuration of an eccentricity error correcting device 6 according to a second embodiment of the present invention which solves this problem. In FIG. 6, instead of the adder 42 and the programmable counter 43 of FIG.
AND gates 61, 62, 63,..., OR gate 5
3 is used. However, the fc × T counter 4 shown in FIG.
4 counts the clock f c only input period of the counter enable signal 90.
【0028】図7は図6の動作説明用のタイムチャート
である。次に図7を参照しつつ図6の動作を説明する。
1/nカウンタはクロック周波数fc を1/nに分周す
るカウンタで、この周波数fc を計数し、n(=ピック
アップ3の総個数)をカウントアップ値とする形で、1
からnまでの計数を繰返し、その計数値をfc /nコー
ドとして出力する。FIG. 7 is a time chart for explaining the operation of FIG. Next, the operation of FIG. 6 will be described with reference to FIG.
1 / n counter is a counter which divides the clock frequency f c to 1 / n, in the form of the frequency f c are counted and n a (= total number of the pickup 3) the count-up value, 1
To n are repeated, and the counted value is output as an fc / n code.
【0029】デコーダ52はfc /nコードをデコード
し、fc /nの周波数で、かつ1周期中の1/n期間づ
つ順番にHレベルであるような、位相が順にずれた信号
としてのfc /nクロック位相信号71,72,73,
・・・を出力し、夫々ANDゲート61,62,63,
・・・に与える。一方、各ANDゲート61,62,6
3,・・・6n(但し6nは図外)にはピックアップパ
ルス21,22,23,・・・2nの到来時、夫々を保
持してHレベルとして出力する信号(パルスラッチ出
力)81,82,83,・・・8nが与えられる。従っ
て、ANDゲート61,62,63,・・・は夫々ピッ
クアップパルス21,22,23,・・・の到来後、f
c /nクロック位相信号71,72,73,・・・がH
レベルの期間のみ、Hレベルの信号61a,62a,6
3a,・・・を出力し、ORゲート53は入力信号61
a,62a,63a,・・・の何れかがHレベルである
期間、Hレベルであるようなカウンタイネーブル信号9
0を出力する。これによりfc ×Tカウンタ44はカウ
ンタイネーブル信号90がHレベルである期間のみクロ
ックfc を計数し、この計数値がfc ×Tに達するとカ
ウントアップ信号44aを出力する。The decoder 52 decodes the f c / n code, at a frequency of f c / n, and the 1 / n period increments order in one cycle such that H level, as a signal whose phase is shifted in the order f c / n clock phase signals 71, 72,
, And AND gates 61, 62, 63,
Give to ... On the other hand, each AND gate 61, 62, 6
6n (where 6n is not shown), signals (pulse latch outputs) 81, 82 which hold and output the H level when pickup pulses 21, 22, 23,. , 83,... 8n. Therefore, the AND gates 61, 62, 63,...
The c / n clock phase signals 71, 72, 73,.
Only during the level period, the H-level signals 61a, 62a, 6
, And the OR gate 53 outputs the input signal 61
a, 62a, 63a,... are at the H level while the counter enable signal 9 is at the H level.
Outputs 0. Thus f c × T counter 44 counter enable signal 90 counts the clock f c only period is at H level, and outputs a count-up signal 44a when the count value reaches the f c × T.
【0030】つまりこの図6では(3)式の左辺におけ
る、例えば(T+t1 )×fc /nの値を計数する際、
クロックfc を分周することなくそのまま計数する代わ
りに、fc /nクロック位相信号71で割当てられた
(T+t1 )/nに相当する期間のみ計数することと
し、この(T1 +t1 )/nの期間を時分割で作ってい
ることになる。That is, in FIG. 6, when counting the value of (T + t 1 ) × f c / n, for example, on the left side of equation (3),
Instead of directly counting without dividing the clock f c, and counting only the period corresponding to the f assigned by c / n clock phase signal 71 (T + t 1) / n, the (T 1 + t 1) This means that the period of / n is made by time division.
【0031】[0031]
【発明の効果】請求項1に関わる発明によれば、回転円
板1の突起2の通過を検出するピックアップ3を3個以
上とし、クロック周波数fc を可変分周するプログラマ
ブルカウンタ43を用い、ピックアップ出力パルスの到
来ごとに、このプログラマブルカウンタ43からこの到
来数Nに比例した周波数fc ×N/n(nはピックアッ
プの総数)の可変クロック43aを出力させ、fc ×T
カウンタ44にこの可変クロック43aを計数させて平
均パルス出力30を発生させるようにしたので、次のよ
うな効果を得ることができる。According to the first aspect of the present invention, the number of pickups 3 for detecting the passage of the projections 2 of the rotating disk 1 is three or more, and the programmable counter 43 for variably dividing the clock frequency fc is used. Each time an output pulse arrives, the programmable counter 43 outputs a variable clock 43a having a frequency fc × N / n (n is the total number of pickups) proportional to the number N of arrivals.
Since the counter 44 counts the variable clock 43a to generate the average pulse output 30, the following effects can be obtained.
【0032】(1)ピッチ誤差の無い回転エンコーダで
偏心誤差はキャンセルできる。 (2)回転エンコーダのピッチ誤差、又はピックアップ
(パルスセンサ)の設置誤差により生じる測定誤差は、
一ケ所に対し平均化され1/nとなる。 (3)回転エンコーダ自身が巨大で動的歪みの発生する
ものでも、パルスセンサの総数nを増せば、同様に平均
化の効果が得られる。 (4)ピックアップの多チャンネル化ができるほか、入
力チャンネル数の多くない回路においてプログラマブル
カウンタの分周でクロック周波数を可変できるので、回
路を小型化することができる。(1) An eccentric error can be canceled by a rotary encoder having no pitch error. (2) The measurement error caused by the pitch error of the rotary encoder or the installation error of the pickup (pulse sensor) is
It is averaged to 1 / n for one location. (3) Even if the rotary encoder itself is huge and generates dynamic distortion, if the total number n of pulse sensors is increased, the averaging effect can be obtained similarly. (4) The number of channels of the pickup can be increased, and the clock frequency can be varied by dividing the frequency of the programmable counter in a circuit having a small number of input channels, so that the circuit can be downsized.
【0033】請求項2に関わる発明によれば、クロック
周波数fc を1/nに分周するカウンタ51とこのカウ
ンタ出力をデコードするデコーダ52によりクロック周
波数fc の各パルスを各ピックアップに割付け、ピック
アップ出力パルス到来後の経過時間をfc ×Tカウンタ
44を介しこの割付けパルスの計数によって、つまりク
ロック周波数fc の時分割の計数によって計時し、平均
パルス出力を得るようにしたので、3チャンネル以上の
ピックアップ出力パルスの検出チャンネルを容易に得る
ことができるほか、この検出チャンネル数の多い偏心誤
差補正装置の回路において、高周波クロックでカスケー
ド接続の困難なプログラマブルカウンタを使用しないた
め回路設計が容易にできる。According to the invention of claim 2, each pulse of the clock frequency fc is assigned to each pickup by the counter 51 for dividing the clock frequency fc by 1 / n and the decoder 52 for decoding the output of the counter. The elapsed time after the arrival of the pulse is counted by counting the allocated pulses via the fc × T counter 44, that is, by counting the time division of the clock frequency fc, and an average pulse output is obtained. In addition to easily obtaining a pulse detection channel, the circuit of the eccentricity error correction device having a large number of detection channels does not use a programmable counter that is difficult to cascade with a high-frequency clock, so that circuit design can be facilitated.
【0034】[0034]
【図1】本発明の一実施例としての原理的な全体の構成
図FIG. 1 is a diagram showing the entire configuration of a principle as an embodiment of the present invention.
【図2】図1の円板の回転角とピックアップの検出する
角度誤差との関係の例を示す図FIG. 2 is a diagram showing an example of the relationship between the rotation angle of the disk shown in FIG. 1 and an angle error detected by a pickup;
【図3】図1のピックアップ出力パルスと偏心誤差補正
装置の出力する平均パルスとの関係を示すタイムチャー
トFIG. 3 is a time chart showing the relationship between the pickup output pulse of FIG. 1 and the average pulse output by the eccentricity error correction device.
【図4】請求項2に関わる発明の動作説明用のタイムチ
ャートFIG. 4 is a time chart for explaining the operation of the invention according to claim 2;
【図5】請求項2に関わる発明の構成を示すブロック回
路図FIG. 5 is a block circuit diagram showing a configuration of the invention according to claim 2;
【図6】請求項3に関わる発明の構成を示すブロック回
路図FIG. 6 is a block circuit diagram showing a configuration of the invention according to claim 3;
【図7】図6の動作説明用のタイムチャートFIG. 7 is a time chart for explaining the operation of FIG. 6;
【図8】パルスエンコーダの動作原理の説明図FIG. 8 is an explanatory diagram of the operating principle of the pulse encoder.
【図9】回転円板の偏心状況の説明図FIG. 9 is an explanatory view of an eccentric state of a rotating disk.
【図10】図9におけるピックアップ出力パルスのタイ
ミング図FIG. 10 is a timing chart of a pickup output pulse in FIG. 9;
1 回転円板 2(2a,2b,・・・) 突起 3(3−1,3−2,3−3) ピックアップ 5 ふれ回り範囲 6 偏心誤差補正装置 20(21,22,23,・・・2n) ピックアップ
出力パルス 30 平均パルス出力 31 総クロック数 32 真のパルス位置 33 平均パルス位置 T 遅延時間 fc クロック周波数(クロック) t(t1 ,t2 ,t3 ) 位相差時間 41 ラッチ 42 加算器 43 プログラマブルカウンタ 43a 可変クロック 44 fc ×Tカウンタ 45 モノステーブルFF N ピックアップ出力パルス到来数 n 検出器の総数 51 1/nカウンタ 52 デコーダ 53 ORゲート 61,62,63,・・・ ANDゲート 71,72,73,・・・7n fc /nクロック位
相信号 81,82,83,・・・8n パルスラッチ出力 90 カウンタイネーブル信号1 Rotating disk 2 (2a, 2b, ...) Projection 3 (3-1, 3-2, 3-3) Pickup 5 Whirling range 6 Eccentric error correction device 20 (21, 22, 23, ...) 2n) pickup output pulse 30 average pulse output 31 total clock number 32 true pulse position 33 average pulse position T delay time f c clock frequency (clock) t (t 1, t 2 , t 3) the phase difference time 41 latch 42 added vessel 43 programmable counter 43a variable clock 44 f c × T counter 45 monostable FF n pickup output pulses arriving number n detectors of the total number 51 1 / n counter 52 decoder 53 OR gates 61, 62, 63, · · · the AND gate 71 , 72,73, ··· 7n f c / n clock phase signals 81, 82, 83, · · · 8n pulse latch Force 90 counter enable signal
Claims (2)
前記回転円板の円周上に等間隔に設けられた位置識別子
が近傍を通過することを検出して位置検出信号を発生す
る3つ以上の検出器を、回転円板の周辺近傍の固定位置
に、回転円板の中心から見てほぼ等間隔に、かつ回転円
板の偏心が無いとき各検出器の発生する前記位置検出信
号の位相が一致するように配置し、 且つ前記位置識別子の総数を検出器の総数の整数倍と
し、 前記の各検出器から、回転板の偏心に起因し、位相のず
れを生じて出力された位置検出信号から偏心誤差補正後
の位置検出信号(以下補正位置検出信号という)を生成
し、回転エンコード出力とする回転エンコーダの偏心誤
差補正装置であって、 前記補正位置検出信号の出力ごとにリセットされ、前記
検出器ごと1つづつの位置検出信号の発生のつど、この
発生数に計時用の所定の原クロック周波数を前記検出器
の総数で除してなるクロック周波数を乗じた周波数の可
変クロックを生成する周波数逓倍手段と、 同じく前記補正位置検出信号の出力ごとにリセットさ
れ、前記周波数逓倍手段によって順次周波数が逓倍され
る前記可変クロックを計数積算し、この積算値が前記の
原クロック周波数と、1つの検出器から出力される位置
検出信号の周期より小さい所定の遅延時間との積に一致
した時点に前記補正位置検出信号を出力する手段とを備
えたものであることを特徴とする回転エンコーダの偏心
誤差補正装置。1. A position detection signal is generated by detecting that position identifiers provided at equal intervals on the circumference of the rotating disk pass close to the rotating disk as the rotating disk rotates eccentrically. Three or more detectors at fixed positions near the periphery of the rotating disk, at substantially equal intervals when viewed from the center of the rotating disk, and the position detection generated by each detector when there is no eccentricity of the rotating disk. The signals are arranged so as to have the same phase, and the total number of the position identifiers is an integral multiple of the total number of the detectors. Each of the detectors is output with a phase shift due to the eccentricity of the rotating plate. An eccentricity error correction device for a rotary encoder that generates a position detection signal after eccentricity error correction (hereinafter referred to as a corrected position detection signal) from the obtained position detection signal and outputs the rotation encoded output. Reset, every detector Frequency multiplying means for generating a variable clock having a frequency obtained by multiplying the number of occurrences of each position detection signal by a clock frequency obtained by dividing a predetermined original clock frequency for timing by the total number of the detectors, Similarly, the variable clock, which is reset every time the corrected position detection signal is output and whose frequency is sequentially multiplied by the frequency multiplying means, is counted and integrated, and the integrated value is output from the original clock frequency and one detector. And a means for outputting the corrected position detection signal at a time when a product of a predetermined delay time smaller than a cycle of the position detection signal is output.
前記回転円板の円周上に等間隔に設けられた位置識別子
が近傍を通過することを検出して位置検出信号を発生す
る3つ以上の検出器を、回転円板の周辺近傍の固定位置
に、回転円板の中心から見てほぼ等間隔に、かつ回転円
板の偏心が無いとき各検出器の発生する前記位置検出信
号の位相が一致するように配置し、 且つ前記位置識別子の総数を検出器の総数の整数倍と
し、 前記の各検出器から、回転板の偏心に起因し、位相のず
れを生じて出力された位置検出信号から偏心誤差補正後
の位置検出信号(以下補正位置検出信号という)を生成
し、回転エンコード出力とする回転エンコーダの偏心誤
差補正装置であって、 計時用の所定の原クロック周波数の各パルスを、所定の
順番を附した前記の全ての検出器に、その順番に1対1
に、かつ検出器の順番の末尾が先頭に続くようにサイク
リックに割当てる手段と、 前記補正位置検出信号の出力ごとにリセットされ、前記
検出器ごと1つづつの位置検出信号の発生後、夫々、当
該の検出器に割当てられた原クロック周波数の各パルス
を有効とする手段と、 同じく前記補正位置検出信号の出力ごとにリセットさ
れ、原クロック周波数の前記のように有効とされたパル
スのみを計数積算し、この積算値が前記の原クロック周
波数と、1つの検出器から出力される位置検出信号の周
期より小さい所定の遅延時間との積に一致した時点に前
記補正位置検出信号を出力する手段とを備えたものであ
ることを特徴とする回転エンコーダの偏心誤差補正装
置。2. A position detection signal is generated by detecting that a position identifier provided at equal intervals on the circumference of the rotating disk passes nearby in accordance with the rotation of the rotating disk that can rotate eccentrically. Three or more detectors at fixed positions near the periphery of the rotating disk, at substantially equal intervals when viewed from the center of the rotating disk, and the position detection generated by each detector when there is no eccentricity of the rotating disk. The signals are arranged so as to have the same phase, and the total number of the position identifiers is an integral multiple of the total number of the detectors. Each of the detectors is output with a phase shift due to the eccentricity of the rotating plate. An eccentricity error correction device for a rotary encoder that generates a position detection signal after eccentricity error correction (hereinafter, referred to as a corrected position detection signal) from the detected position detection signal and outputs the rotation encoded signal. Each pulse is assigned in a predetermined order. All of the detector of the pair to the order 1
And means for cyclically allocating such that the end of the order of the detectors follows the head, and resetting each time the corrected position detection signal is output, and after generating one position detection signal for each of the detectors, Means for validating each pulse of the original clock frequency assigned to the detector; and similarly counting only the pulses which are reset for each output of the corrected position detection signal and are valid as described above of the original clock frequency. A means for outputting the corrected position detection signal when the integrated value coincides with the product of the original clock frequency and a predetermined delay time smaller than the period of the position detection signal output from one detector; An eccentricity error correcting device for a rotary encoder, comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19509494A JP3166496B2 (en) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | Eccentric error correction device for rotary encoder |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19509494A JP3166496B2 (en) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | Eccentric error correction device for rotary encoder |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0861979A JPH0861979A (en) | 1996-03-08 |
JP3166496B2 true JP3166496B2 (en) | 2001-05-14 |
Family
ID=16335434
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19509494A Expired - Lifetime JP3166496B2 (en) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | Eccentric error correction device for rotary encoder |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3166496B2 (en) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7068001B2 (en) | 2004-07-29 | 2006-06-27 | Japan Servo Co., Ltd. | Motor control system |
GB0508325D0 (en) | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Rotary encoders |
JP5263033B2 (en) | 2009-06-26 | 2013-08-14 | 富士ゼロックス株式会社 | Speed detection apparatus, image recording apparatus, and speed detection program |
JP5695410B2 (en) * | 2010-12-20 | 2015-04-08 | 株式会社ミツトヨ | Angle detection device and eccentricity estimation method thereof |
KR101982460B1 (en) | 2012-03-26 | 2019-05-27 | 가부시키가이샤 니콘 | Substrate processing device, processing device, and method for manufacturing device |
JP6332482B2 (en) * | 2017-01-13 | 2018-05-30 | 株式会社ニコン | Substrate processing equipment |
JP6528882B2 (en) * | 2018-05-01 | 2019-06-12 | 株式会社ニコン | Substrate processing equipment |
CN115014244B (en) * | 2022-05-30 | 2023-03-10 | 吉林大学 | Method for measuring eccentricity angle of turntable by continuous modulation period and transposition compensation |
-
1994
- 1994-08-19 JP JP19509494A patent/JP3166496B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0861979A (en) | 1996-03-08 |
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