JP3160234U - Sample cell and particle size distribution measuring apparatus using the same - Google Patents

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Abstract

【課題】測定用凹部に試料を収容する際に、測定用凹部内に気泡が混入することがなく、かつ、試料が外部にはみ出ないようにする。【解決手段】 試料セル５は、平板形状の透明な第一基板１１と、平板形状の透明な第二基板１３とを備え、第一基板１１の上面には、試料が収容されるための測定用凹部１２ａが形成されており、第二基板１３の下面は、第一基板１１の上面と当接するように配置されることにより、第二基板１３の下面と測定用凹部１２ａの下面との間の距離が設定距離となる。第一基板１１の上面には、測定用凹部１２ａに試料が収容される際に、余分な試料又は空気が導かれる非測定用凹部１２ｂが形成されている。【選択図】 図３An object of the present invention is to prevent bubbles from entering a measurement recess and prevent the sample from protruding outside when the sample is accommodated in the measurement recess. A sample cell (5) includes a flat plate-shaped transparent first substrate (11) and a flat plate-shaped transparent second substrate (13), and a measurement is performed on the upper surface of the first substrate (11) for accommodating a sample. The concave portion 12a is formed, and the lower surface of the second substrate 13 is disposed so as to be in contact with the upper surface of the first substrate 11, so that the gap between the lower surface of the second substrate 13 and the lower surface of the measuring concave portion 12a. Is the set distance. On the upper surface of the first substrate 11, there is formed a non-measuring recess 12b through which extra sample or air is introduced when the sample is accommodated in the measuring recess 12a. [Selection] Figure 3

Description

本考案は、試料セル及びそれを用いた粒度分布測定装置に関し、特に高濃度で粒子群を含有する少量の試料における粒子群の粒度分布を測定するレーザ回折式粒度分布測定装置に用いられる試料セルに関する。   The present invention relates to a sample cell and a particle size distribution measuring apparatus using the same, and more particularly to a sample cell used in a laser diffraction particle size distribution measuring apparatus for measuring the particle size distribution of a particle group in a small amount of sample containing a particle group at a high concentration. About.

レーザ回折式粒度分布測定装置においては、媒体中に分散状態の粒子群にレーザ光を照射することにより、粒子群で回折・散乱されたレーザ光の空間的な強度分布を光検出素子で検出して、その測定結果からフラウンホーファ回折理論やミーの散乱理論に基づく演算を行うことによって、粒子群の粒度分布を算出する。
このようなフラウンホーファの回折理論やミーの散乱理論に基づく演算方法は、レーザ光が粒子で１度だけ散乱されるものとして考えられたものである。よって、媒体中の粒子群の濃度が適正濃度範囲であれば、粒子群の粒度分布を精度よく算出することができる。 In a laser diffraction particle size distribution measuring device, a group of dispersed particles in a medium is irradiated with laser light, and the spatial intensity distribution of the laser light diffracted and scattered by the particle group is detected by a photodetector. Then, the particle size distribution of the particle group is calculated by performing calculations based on the measurement results based on Fraunhofer diffraction theory and Mie scattering theory.
Such a calculation method based on Fraunhofer's diffraction theory or Mie's scattering theory is considered that the laser beam is scattered only once by particles. Therefore, if the concentration of the particle group in the medium is within an appropriate concentration range, the particle size distribution of the particle group can be calculated with high accuracy.

しかし、媒体中の粒子群の濃度が高すぎる場合には、レーザ光がある粒子によって散乱された散乱光が、さらに別の粒子で散乱される多重散乱が発生するので、算出された粒子群の粒度分布と実際の粒子群の粒度分布との誤差が大きくなってしまう。
よって、ペーストやスラリー等の高濃度で粒子群を含有するサンプル（試料）における粒子群の粒度分布を測定する場合、多重散乱光の発生を低減するために、レーザ光の光軸方向のサンプルの厚さを薄くする必要がある。 However, if the concentration of the particle group in the medium is too high, multiple scattering occurs in which the scattered light scattered by one particle of the laser beam is scattered by another particle. The error between the particle size distribution and the actual particle size distribution of the particle group becomes large.
Thus, when measuring the particle size distribution of a particle group in a sample (specimen) containing the particle group at a high concentration such as paste or slurry, in order to reduce the generation of multiple scattered light, It is necessary to reduce the thickness.

ここで、レーザ回折式粒度分布測定装置の一例について説明する。図５は、従来の粒度分布測定装置を示す概略構成図である。
粒度分布測定装置９０は、サンプルＳが収容される試料セル１０５と、レーザ光通過孔１０４ａを有する設置台１０４と、レーザ光源１とコリメータ２と透明カバー３とを有する照射光学系１１０と、集光レンズ６とリングディテクタ（前方回折／散乱光センサ）７とを有する測定光学系１２０とを備える。 Here, an example of a laser diffraction type particle size distribution measuring apparatus will be described. FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing a conventional particle size distribution measuring apparatus.
The particle size distribution measuring apparatus 90 includes a sample cell 105 in which a sample S is accommodated, an installation base 104 having a laser light passage hole 104a, an irradiation optical system 110 having a laser light source 1, a collimator 2 and a transparent cover 3, and a collection unit. A measurement optical system 120 having an optical lens 6 and a ring detector (forward diffraction / scattered light sensor) 7 is provided.

粒度分布測定装置９０の下部には、照射光学系１１０として、下から順にレーザ光源１とコリメータ２と透明カバー３とが配置されている。
そして、粒度分布測定装置９０の上下方向の中央部には、設置台１０４が配置されており、設置台１０４上に試料セル１０５が載置されることになる。
このような照射光学系１１０の構成において、レーザ光源１で発生されたレーザ光は、コリメータ２を通過して平行光とされ、上方向（下から上へ）に向かうように試料セル１０５に照射される。なお、平行光は、光軸に垂直な断面積が約１ｃｍ２であり、円形状となる。これにより、レーザ光は、試料セル１０５内の粒子群で回折・散乱して、空間的に回折・散乱光の強度分布パターンが生ずることになる。 A laser light source 1, a collimator 2, and a transparent cover 3 are arranged in order from the bottom as an irradiation optical system 110 under the particle size distribution measuring device 90.
An installation table 104 is disposed at the center of the particle size distribution measuring apparatus 90 in the vertical direction, and the sample cell 105 is mounted on the installation table 104.
In such a configuration of the irradiation optical system 110, the laser light generated by the laser light source 1 passes through the collimator 2 and becomes parallel light, and irradiates the sample cell 105 so as to go upward (from bottom to top). Is done. The parallel light has a circular cross section with a cross-sectional area perpendicular to the optical axis of about 1 cm 2 . As a result, the laser light is diffracted and scattered by the particle group in the sample cell 105, and an intensity distribution pattern of the diffracted / scattered light is generated spatially.

粒度分布測定装置９０の上部には、測定光学系１２０として、下から順に集光レンズ６とリングディテクタ７とが配置されている。
リングディテクタ７は、互いに異なる半径を持つリング状ないしは半リング状の受光面を持つ複数（例えば、６４個）の光検出素子を、集光レンズ６の光軸を中心とするように同心円状に配置してあり、各光検出素子には、それぞれの位置に応じた回折・散乱角度を持つ光が入射するようにしてある。したがって、各光検出素子の出力信号は、各回折・散乱角度ごとの光の強度を表すことになる。
このような測定光学系１２０の構成において、上方向に対して６０°以内の回折・散乱光は、集光レンズ６を介してリングディテクタ７の受光面上に集光されて、リング状の回折・散乱像を結ぶようになる。 On the upper part of the particle size distribution measuring device 90, a condenser lens 6 and a ring detector 7 are arranged as a measurement optical system 120 in order from the bottom.
The ring detector 7 concentrically arranges a plurality of (for example, 64) photodetecting elements having ring-shaped or semi-ring-shaped light receiving surfaces with different radii so as to be centered on the optical axis of the condenser lens 6. It is arranged so that light having a diffraction / scattering angle corresponding to each position is incident on each light detection element. Therefore, the output signal of each light detection element represents the light intensity for each diffraction / scattering angle.
In such a configuration of the measurement optical system 120, the diffracted / scattered light within 60 ° with respect to the upward direction is condensed on the light receiving surface of the ring detector 7 via the condenser lens 6, and is diffracted in a ring shape.・ Become a scattered image.

ここで、従来の試料セル１０５の一例について説明する（例えば、特許文献１参照）。図６は、試料セルの斜視図である。
試料セル１０５は、平板形状（厚さｔ、横（左右）Ｘ、縦Ｙ）の透明なガラスプレート（第一基板）１１１と、平板形状（厚さｔ、横（左右）Ｘ、縦Ｙ）の透明なガラスプレート（第二基板）１１３とを備える。
ガラスプレート１１１の上面の中央部には、サンプルＳが収容されるための凹部（測定用凹部）１１２が形成されている。凹部１１２は平面視で断面積が約１ｃｍ２である円形状であり、凹部１１２の深さは設定距離Δｔ（例えば、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下）となっている。 Here, an example of a conventional sample cell 105 will be described (for example, see Patent Document 1). FIG. 6 is a perspective view of the sample cell.
The sample cell 105 includes a transparent glass plate (first substrate) 111 having a flat plate shape (thickness t, horizontal (left and right) X, vertical Y) and a flat plate shape (thickness t, horizontal (left and right) X, vertical Y). Transparent glass plate (second substrate) 113.
A recess (measuring recess) 112 for accommodating the sample S is formed at the center of the upper surface of the glass plate 111. The recess 112 has a circular shape with a cross-sectional area of about 1 cm 2 in plan view, and the depth of the recess 112 is a set distance Δt (for example, 0.1 mm or more and 0.5 mm or less).

ガラスプレート１１３の下面は、ガラスプレート１１１の上面と当接するように配置されることにより、ガラスプレート１１３の下面と凹部１１２の底面との間の距離が設定距離Δｔとなる。
よって、このような試料セル１０５によれば、凹部１１２にサンプルＳを収容すれば、レーザ光の光軸に対し、サンプルＳの厚さを所定の薄さΔｔとすることができ、その結果、多重散乱光の発生を抑制することができる。 The lower surface of the glass plate 113 is disposed so as to come into contact with the upper surface of the glass plate 111, so that the distance between the lower surface of the glass plate 113 and the bottom surface of the recess 112 becomes the set distance Δt.
Therefore, according to such a sample cell 105, if the sample S is accommodated in the recess 112, the thickness of the sample S can be set to a predetermined thickness Δt with respect to the optical axis of the laser beam. Generation of multiple scattered light can be suppressed.

また、試料セルの他の一例について説明する（例えば、特許文献２参照）。図７は、試料セル２０５の図である。なお、図７（ａ）は、試料セル２０５の斜視図であり、図７（ｂ）は、試料セル２０５の側面図である。
試料セル２０５は、平板形状（厚さｔ、左右Ｘ、縦Ｙ）の透明なガラスプレート（第一基板）２１１を備える。
ガラスプレート２１１の上面には、サンプルＳが収容されるための凹部（測定用凹部）２１２が形成されている。凹部２１２は平面視で右端部から左端部まで貫通するように伸びる長方形（左右Ｘ、縦Ｗ）であり、凹部２１２の深さは設定距離Δｔとなっている。 Another example of the sample cell will be described (see, for example, Patent Document 2). FIG. 7 is a diagram of the sample cell 205. 7A is a perspective view of the sample cell 205, and FIG. 7B is a side view of the sample cell 205.
The sample cell 205 includes a transparent glass plate (first substrate) 211 having a flat plate shape (thickness t, left and right X, vertical Y).
A recess (measuring recess) 212 for accommodating the sample S is formed on the upper surface of the glass plate 211. The recess 212 is a rectangle (left and right X, length W) extending so as to penetrate from the right end to the left end in plan view, and the depth of the recess 212 is a set distance Δt.

よって、このような試料セル２０５によれば、凹部２１２にサンプルＳを収容する際に、凹部２１２の中央部の高さΔｔからはみ出したサンプルＳを、スクレイパ等を用いて左右方向にスクレイパを動かすことで、凹部２１２の両端部に排除することにより、レーザ光の光軸に対し、サンプルＳの厚さを所定の薄さΔｔと容易にすることができ、その結果、多重散乱光の発生を抑制することができる。   Therefore, according to such a sample cell 205, when the sample S is accommodated in the recess 212, the sample S that protrudes from the height Δt of the central portion of the recess 212 is moved in the left-right direction using a scraper or the like. Thus, by eliminating both ends of the recess 212, the thickness of the sample S can be easily reduced to a predetermined thickness Δt with respect to the optical axis of the laser beam, and as a result, the generation of multiple scattered light can be achieved. Can be suppressed.

特開平９−７２８４１号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-72841 特開２００８−２８１５８２号公報JP 2008-281582 A

しかしながら、上述したような試料セル１０５を用いた場合には、凹部１１２にサンプルＳを収容する際、凹部１１２内に気泡が混入することがあり、その結果、気泡を粒子として測定してしまうことがあった。
一方、上述したような試料セル２０５を用いた場合には、凹部２１２にサンプルＳを収容する際に、左右方向にスクレイパを動かすことで凹部２１２の両端部に排除するため、多量のサンプルＳが必要になった。また、試料セル２０５の右端部や左端部からサンプルＳがはみ出ることもあった。
そこで、本考案は、測定用凹部に試料を収容する際に、測定用凹部内に気泡が混入することがなく、かつ、試料が外部にはみ出ない試料セル及びそれを用いた粒度分布測定装置を提供することを目的とする。 However, when the sample cell 105 as described above is used, when the sample S is accommodated in the recess 112, bubbles may be mixed in the recess 112, and as a result, the bubbles are measured as particles. was there.
On the other hand, when the sample cell 205 as described above is used, when the sample S is accommodated in the recess 212, the scraper is moved in the left-right direction so as to be removed at both ends of the recess 212. I needed it. Further, the sample S sometimes protrudes from the right end or the left end of the sample cell 205.
Therefore, the present invention provides a sample cell in which bubbles are not mixed in the measurement recess when the sample is accommodated in the measurement recess and the sample does not protrude outside, and a particle size distribution measuring apparatus using the sample cell. The purpose is to provide.

上記課題を解決するためになされた本考案の試料セルは、平板形状の透明な第一基板と、平板形状の透明な第二基板とを備え、前記第一基板の上面には、試料が収容されるための測定用凹部が形成されており、前記第二基板の下面は、前記第一基板の上面と当接するように配置されることにより、前記第二基板の下面と測定用凹部の底面との間の距離が設定距離となる試料セルであって、前記第一基板の上面には、前記測定用凹部と連通する非測定用凹部が形成されており、前記非測定用凹部には、前記測定用凹部に試料が収容される際に、余分な試料及び／又は空気が導かれるようにしている。   The sample cell of the present invention made to solve the above-mentioned problems includes a flat plate-shaped transparent first substrate and a flat plate-shaped transparent second substrate, and a sample is accommodated on the upper surface of the first substrate. And a bottom surface of the second substrate and a bottom surface of the measurement recess are arranged so that the lower surface of the second substrate is in contact with the upper surface of the first substrate. Is a sample cell in which the distance between the first substrate and the first substrate is formed with a non-measurement recess communicating with the measurement recess, When the sample is stored in the measurement recess, excess sample and / or air is introduced.

ここで、「設定距離」とは、試料セルの設計者等によって測定する試料を考慮して予め決められた任意の距離であり、例えば、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下等となる。なお、設定距離は、試料に含まれる粒子の最大粒子直径と略同一であるか、あるいは、最大粒子直径の数倍（２倍〜３倍）程度であることが好ましい。   Here, the “set distance” is an arbitrary distance determined in advance in consideration of the sample measured by the designer of the sample cell or the like, and is, for example, 0.1 mm to 0.5 mm. The set distance is preferably substantially the same as the maximum particle diameter of the particles contained in the sample, or about several times (2 to 3 times) the maximum particle diameter.

本考案の試料セルによれば、余分な試料や空気を非測定用凹部に導く（押し出す）ように、測定用凹部に試料を収容することができるので、測定用凹部内に気泡が混入することがなく、かつ、試料が外部にはみ出ることをなくすことができる。   According to the sample cell of the present invention, since the sample can be accommodated in the measurement recess so as to introduce (extrude) excess sample or air to the non-measurement recess, bubbles are mixed in the measurement recess. And the sample can be prevented from protruding outside.

（その他の課題を解決するための手段及び効果）
また、本考案の試料セルは、前記非測定用凹部は、前記測定用凹部の側部と第一基板の側部とを貫通するように形成されているようにしてもよい。
また、本考案の試料セルは、前記第二基板には、上下方向に貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔は、前記第二基板の下面が第一基板の上面と当接するように配置された際に、前記非測定用凹部の上方に位置するようにしてもよい。 (Means and effects for solving other problems)
In the sample cell of the present invention, the non-measuring recess may be formed so as to penetrate the side of the measuring recess and the side of the first substrate.
In the sample cell of the present invention, a through-hole penetrating in the vertical direction is formed in the second substrate, and the lower surface of the second substrate is in contact with the upper surface of the first substrate. May be positioned above the non-measuring recess.

また、本考案の試料セルは、前記第一基板の上面には、前記第二基板の下面が第一基板の上面と当接するように配置された後に、前記試料を測定用凹部に収容させるための導入用凹部が形成されているようにしてもよい。
本考案の試料セルによれば、第一基板の上面には、第二基板の下面が第一基板の上面と当接するように配置された後に、測定用凹部に試料を収容することができるので、レーザ光の光軸に対し、試料の厚さを設定距離とすることが容易にできる。 In addition, the sample cell of the present invention is configured to accommodate the sample in the measurement recess after the lower surface of the second substrate is disposed on the upper surface of the first substrate so as to contact the upper surface of the first substrate. A recess for introduction may be formed.
According to the sample cell of the present invention, since the lower surface of the second substrate is disposed on the upper surface of the first substrate so as to contact the upper surface of the first substrate, the sample can be accommodated in the measurement recess. The thickness of the sample can be easily set to the set distance with respect to the optical axis of the laser beam.

また、本考案の試料セルは、前記非測定用凹部は、前記測定用凹部の左側部と第一基板の左側部とを貫通するように形成されているとともに、前記導入用凹部は、前記測定用凹部の右側部と第一基板の右側部とを貫通するように形成されているようにしてもよい。
また、本考案の試料セルは、前記導入用凹部は、前記測定用凹部の右側部と第一基板の右側部とを貫通するように形成されているとともに、前記非測定用凹部は、前記測定用凹部の左側部と連通するように形成されており、前記第二基板には、上下方向に貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔は、前記第二基板の下面が第一基板の上面と当接するように配置された際に、前記非測定用凹部の上方に位置するようにしてもよい。 In the sample cell of the present invention, the non-measurement recess is formed so as to penetrate the left side of the measurement recess and the left side of the first substrate, and the introduction recess is the measurement It may be formed so as to penetrate the right side portion of the concave portion for use and the right side portion of the first substrate.
In the sample cell of the present invention, the introduction recess is formed so as to penetrate the right side of the measurement recess and the right side of the first substrate, and the non-measurement recess is the measurement The second substrate is formed with a through hole penetrating in the vertical direction, and the lower surface of the second substrate is the first substrate. When arranged so as to be in contact with the upper surface of the non-measuring concave portion, it may be positioned above the non-measuring concave portion.

また、本考案の試料セルは、前記設定距離は、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であり、前記非測定用凹部の深さは、２．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であり、前記導入用凹部の深さは、２．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であるようにしてもよい。
本考案の試料セルによれば、導入用凹部の深さは、２．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であるので、注射器の針等を導入用凹部に挿入することができる。 In the sample cell of the present invention, the set distance is from 0.1 mm to 0.5 mm, the depth of the non-measurement recess is from 2.0 mm to 3.0 mm, and the introduction recess The depth of may be 2.0 mm or more and 3.0 mm or less.
According to the sample cell of the present invention, since the depth of the introduction recess is 2.0 mm or more and 3.0 mm or less, a needle of a syringe or the like can be inserted into the introduction recess.

そして、本考案の粒度分布測定装置は、上述した試料セルと、前記試料セルにレーザ光を照射するレーザ光源を有する照射光学系と、前記試料セルから放射される光の空間強度分布を測定する前方回折／散乱光センサを有する測定光学系とを備えることを特徴とする。   The particle size distribution measuring apparatus of the present invention measures the spatial intensity distribution of the light emitted from the sample cell, an irradiation optical system having a laser light source that irradiates the sample cell with laser light, and the sample cell. And a measuring optical system having a forward diffraction / scattering light sensor.

本考案に係る粒度分布測定装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the particle size distribution measuring apparatus which concerns on this invention. 図１に示す設置台の図である。It is a figure of the installation stand shown in FIG. 本考案に係る試料セルの斜視図である。It is a perspective view of a sample cell concerning the present invention. 本考案に係る試料セルの斜視図である。It is a perspective view of a sample cell concerning the present invention. 従来の粒度分布測定装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the conventional particle size distribution measuring apparatus. 従来の試料セルの斜視図である。It is a perspective view of the conventional sample cell. 従来の試料セルの図である。It is a figure of the conventional sample cell.

以下、本考案の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本考案は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本考案の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments described below, and it goes without saying that various aspects are included without departing from the spirit of the present invention.

＜第一の実施形態＞
図１は、本考案に係る粒度分布測定装置の一例を示す概略構成図である。図２は、図１に示す設置台の図である。なお、上述した粒度分布測定装置９０と同様のものについては、同じ符号を付している。
粒度分布測定装置３０は、サンプルＳが収容される試料セル５と、レーザ光通過孔４ａを有する設置板４と、レーザ光源１とコリメータ２と透明カバー３とを有する照射光学系１０と、集光レンズ６とリングディテクタ（前方回折／散乱光センサ）７とを有する測定光学系２０とを備える。 <First embodiment>
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a particle size distribution measuring apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a diagram of the installation base shown in FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the thing similar to the particle size distribution measuring apparatus 90 mentioned above.
The particle size distribution measuring apparatus 30 includes a sample cell 5 in which a sample S is accommodated, an installation plate 4 having a laser light passage hole 4a, an irradiation optical system 10 having a laser light source 1, a collimator 2, and a transparent cover 3, A measurement optical system 20 having an optical lens 6 and a ring detector (forward diffraction / scattered light sensor) 7 is provided.

粒度分布測定装置３０の左部には、照射光学系１０として、左から順にレーザ光源１とコリメータ２と透明カバー３とが配置されている。
そして、粒度分布測定装置３０の左右方向の中央部には、設置板４が配置されており、２本の止め具４ｂを用いて試料セル５が設置板４に取り付けられることになる。
このような照射光学系１０の構成において、レーザ光源１で発生されたレーザ光は、コリメータ２を通過して平行光とされ、右方向（左から右へ）に向かうように試料セル５に照射される。なお、平行光は、光軸に垂直な断面積が約１ｃｍ２であり、円形状となる。これにより、レーザ光は、試料セル５内の粒子群で回折・散乱して、空間的に回折・散乱光の強度分布パターンが生ずることになる。 A laser light source 1, a collimator 2, and a transparent cover 3 are arranged in order from the left as the irradiation optical system 10 at the left part of the particle size distribution measuring device 30.
And the installation board 4 is arrange | positioned in the center part of the left-right direction of the particle size distribution measuring apparatus 30, and the sample cell 5 is attached to the installation board 4 using the two fasteners 4b.
In such a configuration of the irradiation optical system 10, the laser light generated by the laser light source 1 passes through the collimator 2 and becomes parallel light, and irradiates the sample cell 5 in the right direction (from left to right). Is done. The parallel light has a circular cross section with a cross-sectional area perpendicular to the optical axis of about 1 cm 2 . As a result, the laser light is diffracted and scattered by the particle group in the sample cell 5, and an intensity distribution pattern of the diffracted / scattered light is generated spatially.

粒度分布測定装置３０の右部には、測定光学系２０として、左から順に集光レンズ６とリングディテクタ７とが配置されている。
リングディテクタ７は、互いに異なる半径を持つリング状ないしは半リング状の受光面を持つ複数（例えば、６４個）の光検出素子を、光軸を中心とするように同心円状に配置してあり、各光検出素子には、それぞれの位置に応じた回折・散乱角度を持つ光が入射するようにしてある。したがって、各光検出素子の出力信号は、各回折・散乱角度ごとの光の強度を表すことになる。
このような測定光学系２０の構成において、光軸から６０°以内の回折・散乱光は、集光レンズ６を介してリングディテクタ７の受光面上に集光されて、リング状の回折・散乱像を結ぶようになる。 A condenser lens 6 and a ring detector 7 are arranged in order from the left as the measurement optical system 20 on the right part of the particle size distribution measuring device 30.
The ring detector 7 has a plurality of (for example, 64) photodetectors having ring-shaped or semi-ring-shaped light receiving surfaces with different radii arranged concentrically with the optical axis as the center, Light having a diffraction / scattering angle corresponding to each position is incident on each photodetecting element. Therefore, the output signal of each light detection element represents the light intensity for each diffraction / scattering angle.
In such a configuration of the measurement optical system 20, the diffracted / scattered light within 60 ° from the optical axis is condensed on the light receiving surface of the ring detector 7 via the condenser lens 6 and is diffracted / scattered in a ring shape. It comes to tie a statue.

次に、本考案に係る試料セルの一例について説明する。図３は、試料セルの斜視図である。
試料セル５は、平板形状（厚さｔ、左右Ｘ、縦Ｙ）の透明なガラスプレート（第一基板）１１と、平板形状（厚さｔ、左右Ｘ、縦Ｙ）の透明なガラスプレート（第二基板）１３とを備える。
ガラスプレート１１の上面の中央部には、サンプルＳが収容されるための測定用凹部１２ａが形成されている。測定用凹部１２ａは平面視で断面積が約３ｃｍ２である円形状であり、測定用凹部１２ａの深さは設定距離Δｔ（例えば、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下）となっている。なお、測定用凹部１２ａは、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下の深さである。また、測定用凹部１２ａの底面は測定光を通す透明でなければならないので光学研磨によって作製されている。 Next, an example of a sample cell according to the present invention will be described. FIG. 3 is a perspective view of the sample cell.
The sample cell 5 includes a transparent glass plate (first substrate) 11 having a flat plate shape (thickness t, left and right X, vertical Y) and a transparent glass plate (thickness t, left and right X, vertical Y) ( A second substrate) 13.
At the center of the upper surface of the glass plate 11, a measurement recess 12a for accommodating the sample S is formed. The measurement recess 12a has a circular shape with a cross-sectional area of about 3 cm 2 in plan view, and the depth of the measurement recess 12a is a set distance Δt (for example, 0.1 mm or more and 0.5 mm or less). The measurement recess 12a has a depth of 0.1 mm or more and 0.5 mm or less. Further, since the bottom surface of the measurement recess 12a must be transparent to allow measurement light to pass, it is manufactured by optical polishing.

ガラスプレート１１の上面の左端部には、測定用凹部１２ａの左側部とガラスプレート１１の左側部とを貫通するように非測定用凹部１２ｂが形成されている。非測定用凹部１２ｂは平面視で長方形（縦ｙ１は測定用凹部１２ａの直径より小さい）であり、非測定用凹部１２ｂの深さは距離ｔ１（例えば、２．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下）となっている。
ガラスプレート１１の上面の右端部には、測定用凹部１２ａの右側部とガラスプレート１１の右側部とを貫通するように導入用凹部１２ｃが形成されている。導入用凹部１２ｃは平面視で長方形（縦ｙ１）であり、導入用凹部１２ｃの深さも距離ｔ１（例えば、２．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下）となっている。 A non-measurement recess 12 b is formed at the left end of the upper surface of the glass plate 11 so as to penetrate the left side of the measurement recess 12 a and the left side of the glass plate 11. The non-measuring recess 12b is rectangular in a plan view (the length y 1 is smaller than the diameter of the measuring recess 12a), and the depth of the non-measuring recess 12b is a distance t 1 (for example, 2.0 mm or more and 3.0 mm or less). ).
At the right end of the upper surface of the glass plate 11, an introduction recess 12 c is formed so as to penetrate the right side of the measurement recess 12 a and the right side of the glass plate 11. The introduction recess 12c is rectangular (vertical y 1 ) in plan view, and the depth of the introduction recess 12c is also a distance t 1 (for example, 2.0 mm or more and 3.0 mm or less).

つまり、導入用凹部１２ｃは、非測定用凹部１２ｂと同様な形状をしている。よって、導入用凹部１２ｃと非測定用凹部１２ｂとは、場合によって役割を入れ替えて使用することができる。また、導入用凹部１２ｃと非測定用凹部１２ｂとは、２．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下の深さであり、切削加工によって作製されている。非測定用凹部１２ｂは測定光を通す必要がないため、光学研磨で作製する必要はない。
上記縦ｙ１は、サンプルＳが外部にはみ出ないようにする点や、後述する注射器の針等を挿入することができるようにする点から、３ｍｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましい。
ガラスプレート１３の下面は、ガラスプレート１１の上面と当接するように配置されることにより、ガラスプレート１３の下面と測定用凹部１２ａの底面との間の距離が設定距離Δｔとなる。 That is, the introduction recess 12c has the same shape as the non-measurement recess 12b. Therefore, the introduction recess 12c and the non-measuring recess 12b can be used with their roles changed depending on circumstances. The introduction recess 12c and the non-measurement recess 12b have a depth of 2.0 mm or more and 3.0 mm or less, and are manufactured by cutting. Since the non-measuring recess 12b does not need to pass measurement light, it does not need to be prepared by optical polishing.
The length y 1 is preferably 3 mm or more and 5 mm or less from the viewpoint of preventing the sample S from protruding to the outside and enabling the insertion of a syringe needle or the like to be described later.
Since the lower surface of the glass plate 13 is disposed so as to contact the upper surface of the glass plate 11, the distance between the lower surface of the glass plate 13 and the bottom surface of the measurement recess 12a becomes the set distance Δt.

次に、試料セル５の使用方法の一例について説明する。
まず、ガラスプレート１３の下面を、ガラスプレート１１の上面と当接するように配置する。次に、注射器等を用いて注射器の針を導入用凹部１２ｃ内に挿入して、測定用凹部１２ａにサンプルＳを導入していく。このとき、測定用凹部１２ａにサンプルＳが収容されていく際に、測定用凹部１２ａに存在した空気が非測定用凹部１２ｂに導かれていくことになる。また、非測定用凹部１２ｂに存在した空気は外部に導かれていくことになる。
さらに、測定用凹部１２ａにサンプルＳを導入していくと、非測定用凹部１２ｂに余分なサンプルＳが導かれていくことになる。このとき、非測定用凹部１２ｂの断面積は小さいため、サンプルＳは表面張力によって外部に導かれない。
そして、サンプルＳを収容した試料セル５を粒度分布測定装置３０の設置板４に取り付ける。このとき、試料セル５の左端部が下側になるように、試料セル５が配置される。 Next, an example of how to use the sample cell 5 will be described.
First, the lower surface of the glass plate 13 is disposed so as to contact the upper surface of the glass plate 11. Next, the needle of the syringe is inserted into the introduction recess 12c using a syringe or the like, and the sample S is introduced into the measurement recess 12a. At this time, when the sample S is accommodated in the measurement recess 12a, the air present in the measurement recess 12a is guided to the non-measurement recess 12b. Further, the air present in the non-measuring recess 12b is guided to the outside.
Furthermore, when the sample S is introduced into the measurement concave portion 12a, the extra sample S is guided to the non-measurement concave portion 12b. At this time, since the cross-sectional area of the non-measuring recess 12b is small, the sample S is not guided to the outside due to the surface tension.
Then, the sample cell 5 containing the sample S is attached to the installation plate 4 of the particle size distribution measuring device 30. At this time, the sample cell 5 is arranged so that the left end portion of the sample cell 5 is on the lower side.

以上のように、試料セル５によれば、余分なサンプルＳや空気を非測定用凹部１２ｂに導く（押し出す）ように、測定用凹部１２ａにサンプルＳを収容することができるので、測定用凹部１２ａ内に気泡が混入することがなく、かつ、サンプルＳが外部にはみ出ることをなくすことができる。さらに、ガラスプレート１１の上面には、ガラスプレート１３の下面がガラスプレート１１の上面と当接するように配置された後に、測定用凹部１２ａにサンプルＳを収容することができるので、レーザ光の光軸方向のサンプルＳの厚さを設定距離Δｔと容易にすることができる。   As described above, according to the sample cell 5, since the sample S can be accommodated in the measurement recess 12a so that excess sample S and air are guided (extruded) to the non-measurement recess 12b, the measurement recess It is possible to prevent bubbles from entering 12a and prevent the sample S from protruding outside. Furthermore, since the sample S can be accommodated in the measurement recess 12a after the lower surface of the glass plate 13 is disposed on the upper surface of the glass plate 11 so as to contact the upper surface of the glass plate 11, the light of the laser beam can be accommodated. The thickness of the sample S in the axial direction can be easily set to the set distance Δt.

＜第二の実施形態＞
本考案に係る試料セルの他の一例について説明する。図４（ａ）は、試料セルの斜視図である。なお、上述した試料セル５と同様のものについては、同じ符号を付している。
試料セル５５は、平板形状（厚さｔ、左右Ｘ、縦Ｙ）の透明なガラスプレート（第一基板）６１と、平板形状（厚さｔ、左右Ｘ、縦Ｙ）の透明なガラスプレート（第二基板）６３とを備える。
ガラスプレート６１の上面の中央部には、サンプルＳが収容されるための測定用凹部６２ａが形成されている。測定用凹部６２ａは平面視で断面積が約３ｃｍ２である円形状であり、測定用凹部６２ａの深さは設定距離Δｔ（例えば、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下）となっている。なお、測定用凹部６２ａは、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下の深さであり、光学研磨によって作製されている。 <Second Embodiment>
Another example of the sample cell according to the present invention will be described. FIG. 4A is a perspective view of the sample cell. In addition, about the thing similar to the sample cell 5 mentioned above, the same code | symbol is attached | subjected.
The sample cell 55 includes a flat glass plate (thickness t, left and right X, vertical Y) 61 (transparent glass plate (first substrate)) and a flat plate shape (thickness t, left and right X, vertical Y) transparent glass plate ( Second substrate) 63.
At the center of the upper surface of the glass plate 61, a measurement recess 62a for accommodating the sample S is formed. The measurement recess 62a has a circular shape with a cross-sectional area of about 3 cm 2 in plan view, and the depth of the measurement recess 62a is a set distance Δt (for example, 0.1 mm or more and 0.5 mm or less). The measurement recess 62a has a depth of 0.1 mm to 0.5 mm and is manufactured by optical polishing.

ガラスプレート６１の上面の右端部には、測定用凹部６２ａの右側部とガラスプレート６１の右側部とを貫通するように導入用凹部６２ｃが形成されている。導入用凹部６２ｃは平面視で長方形（縦ｙ１は測定用凹部６２ａの直径より小さい）であり、導入用凹部６２ｃの深さは距離ｔ１（例えば、２．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下）となっている。なお、導入用凹部６２ｃは、２．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下の深さであり、切削加工によって作製されている。
上記縦ｙ１は、注射器の針等を挿入することができるようにする点から２ｍｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましい。 At the right end of the upper surface of the glass plate 61, an introduction recess 62c is formed so as to penetrate the right side of the measurement recess 62a and the right side of the glass plate 61. The introduction recess 62c is rectangular in a plan view (the length y 1 is smaller than the diameter of the measurement recess 62a), and the depth of the introduction recess 62c is a distance t 1 (for example, 2.0 mm or more and 3.0 mm or less). It has become. The introduction recess 62c has a depth of 2.0 mm or more and 3.0 mm or less, and is manufactured by cutting.
The vertical y 1 is preferably 2 mm or more and 5 mm or less from the viewpoint that a needle of a syringe or the like can be inserted.

ガラスプレート６１の上面の左端部には、測定用凹部６２ａの左側部と開口（例えば、１．５ｃｍ２〜３ｃｍ２）を介して連通するように非測定用凹部６２ｂが形成されている。非測定用凹部６２ｂは平面視で断面積が例えば、０．８ｃｍ２〜１ｃｍ２である円形状であり、非測定用凹部６２ｂの深さは距離Δｔ（例えば、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下）となっている。なお、非測定用凹部６２ｂは、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下の深さであり、光学研磨によって作製されている。もちろん、非測定用凹部６２ｂは測定光を通す必要がないので切削加工によって作製してもよい。 A non-measurement recess 62b is formed at the left end of the upper surface of the glass plate 61 so as to communicate with the left side of the measurement recess 62a through an opening (for example, 1.5 cm 2 to 3 cm 2 ). Non-measuring concave portions 62b are cross-sectional area in plan view for example, a circular shape is 0.8 cm 2 1 cm 2, the depth of the non-measuring concave portions 62b is distance Delta] t (e.g., 0.1 mm or more 0.5mm or less ). The non-measuring recess 62b has a depth of 0.1 mm or more and 0.5 mm or less and is manufactured by optical polishing. Of course, the non-measuring recess 62b does not need to pass measurement light and may be manufactured by cutting.

ガラスプレート６３の下面は、ガラスプレート６１の上面と当接するように配置されることにより、ガラスプレート６３の下面と測定用凹部６２ａの下面との間の距離が設定距離Δｔとなる。
ガラスプレート６３には、上下方向に貫通する断面積が例えば、０．０３ｃｍ２〜０．１ｃｍ２である円形状の貫通孔６３ａが形成されており、貫通孔６３ａは、ガラスプレート６３の下面がガラスプレート６１の上面と当接するように配置された際に、非測定用凹部６２ｂの中央部の上方に位置するようになっている。 Since the lower surface of the glass plate 63 is disposed so as to contact the upper surface of the glass plate 61, the distance between the lower surface of the glass plate 63 and the lower surface of the measurement recess 62a becomes the set distance Δt.
The glass plate 63 is formed with a circular through hole 63a having a cross-sectional area penetrating in the vertical direction of, for example, 0.03 cm 2 to 0.1 cm 2 , and the through hole 63a is formed on the lower surface of the glass plate 63. When arranged so as to be in contact with the upper surface of the glass plate 61, the glass plate 61 is positioned above the central portion of the non-measuring recess 62b.

次に、試料セル５５の使用方法の一例について説明する。
まず、ガラスプレート６３の下面を、ガラスプレート６１の上面と当接するように配置する。次に、注射器等を用いて注射器の針を導入用凹部６２ｃ内に挿入して、測定用凹部６２ａにサンプルＳを導入していく。このとき、測定用凹部６２ａにサンプルＳが収容されていく際に、測定用凹部６２ａに存在した空気が非測定用凹部６２ｂに導かれていくことになる。また、非測定用凹部６２ｂに存在した空気は貫通孔６３ａを介して外部に導かれていくことになる。
さらに、測定用凹部６２ａにサンプルＳを導入していくと、非測定用凹部６２ｂに余分なサンプルＳが導かれていくことになる。このとき、貫通孔６３ａの断面積は小さいため、サンプルＳは表面張力によって外部に導かれない。
そして、試料セル５５を粒度分布測定装置３０の設置板４に取り付ける。このとき、試料セル５５の左端部が下側になるように、試料セル５５が配置される。 Next, an example of how to use the sample cell 55 will be described.
First, the lower surface of the glass plate 63 is disposed so as to contact the upper surface of the glass plate 61. Next, the needle of the syringe is inserted into the introduction recess 62c using a syringe or the like, and the sample S is introduced into the measurement recess 62a. At this time, when the sample S is accommodated in the measurement recess 62a, the air present in the measurement recess 62a is guided to the non-measurement recess 62b. Further, the air present in the non-measuring recess 62b is guided to the outside through the through hole 63a.
Furthermore, when the sample S is introduced into the measurement recess 62a, the excess sample S is guided to the non-measurement recess 62b. At this time, since the cross-sectional area of the through hole 63a is small, the sample S is not guided to the outside due to the surface tension.
Then, the sample cell 55 is attached to the installation plate 4 of the particle size distribution measuring device 30. At this time, the sample cell 55 is arranged so that the left end portion of the sample cell 55 is on the lower side.

以上のように、試料セル５５によれば、余分なサンプルＳや空気を非測定用凹部６２ｂに導く（押し出す）ように、測定用凹部６２ａにサンプルＳを収容することができるので、測定用凹部６２ａ内に気泡が混入することがなく、かつ、サンプルＳが外部にはみ出ることをなくすことができる。さらに、ガラスプレート６１の上面には、ガラスプレート６３の下面がガラスプレート６１の上面と当接するように配置された後に、測定用凹部６２ａにサンプルＳを収容することができるので、レーザ光の光軸方向のサンプルＳの厚さを設定距離Δｔと容易にすることができる。   As described above, according to the sample cell 55, the sample S can be accommodated in the measurement recess 62a so as to guide (extrude) excess sample S and air to the non-measurement recess 62b. It is possible to prevent air bubbles from entering 62a and prevent the sample S from protruding outside. Further, the sample S can be accommodated in the measurement recess 62a after the lower surface of the glass plate 63 is disposed on the upper surface of the glass plate 61 so as to contact the upper surface of the glass plate 61. The thickness of the sample S in the axial direction can be easily set to the set distance Δt.

＜第三の実施形態＞
本考案に係る試料セルの他の一例について説明する。図４（ｂ）は、試料セルの斜視図である。なお、上述した試料セル５と同様のものについては、同じ符号を付している。
試料セル７５は、平板形状（厚さｔ、左右Ｘ、縦Ｙ）の透明なガラスプレート（第一基板）８１と、平板形状（厚さｔ、左右Ｘ、縦Ｙ）の透明なガラスプレート（第二基板）８３とを備える。
ガラスプレート８１の上面の中央部には、サンプルＳが収容されるための測定用凹部８２ａが形成されている。測定用凹部８２ａは平面視で断面積が約３ｃｍ２である円形状であり、測定用凹部８２ａの深さは設定距離Δｔ（例えば、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下）となっている。なお、測定用凹部８２ａは、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下の深さであり、光学研磨によって作製されている。 <Third embodiment>
Another example of the sample cell according to the present invention will be described. FIG. 4B is a perspective view of the sample cell. In addition, about the thing similar to the sample cell 5 mentioned above, the same code | symbol is attached | subjected.
The sample cell 75 includes a flat glass plate (thickness t, left and right X, vertical Y) 81 (transparent glass plate (first substrate)) and a flat plate shape (thickness t, left and right X, vertical Y) transparent glass plate ( A second substrate) 83.
At the center of the upper surface of the glass plate 81, a measurement recess 82a for accommodating the sample S is formed. The measurement recess 82a has a circular shape with a cross-sectional area of about 3 cm 2 in plan view, and the depth of the measurement recess 82a is a set distance Δt (for example, 0.1 mm to 0.5 mm). The measurement recess 82a has a depth of 0.1 mm to 0.5 mm and is manufactured by optical polishing.

ガラスプレート８１の上面の左端部には、測定用凹部８２ａの左側部と開口（例えば、０．００３ｃｍ２〜０．０１５ｃｍ２）を介して連通するように非測定用凹部８２ｂが形成されている。非測定用凹部８２ｂは平面視で断面積が例えば、０．５ｃｍ２〜１ｃｍ２である円形状であり、非測定用凹部８２ｂの深さは距離Δｔ（例えば、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下）となっている。なお、非測定用凹部８２ｂは、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下の深さであり、光学研磨によって作製されている。もちろん、非測定用凹部８２ｂは測定光を通す必要がないので切削加工によって作製してもよい。
ガラスプレート８３の下面は、ガラスプレート８１の上面と当接するように配置されることにより、ガラスプレート８３の下面と測定用凹部８２ａの底面との間の距離が設定距離Δｔとなる。 A non-measurement recess 82b is formed at the left end of the upper surface of the glass plate 81 so as to communicate with the left side of the measurement recess 82a via an opening (for example, 0.003 cm 2 to 0.015 cm 2 ). . Non-measuring concave portions 82b are cross-sectional area in plan view for example, a circular shape is 0.5 cm 2 1 cm 2, the depth of the non-measuring concave portions 82b is distance Delta] t (e.g., 0.1 mm or more 0.5mm or less ). Note that the non-measuring recess 82b has a depth of 0.1 mm to 0.5 mm and is manufactured by optical polishing. Of course, the non-measuring recess 82b does not need to pass measurement light and may be manufactured by cutting.
The lower surface of the glass plate 83 is disposed so as to contact the upper surface of the glass plate 81, so that the distance between the lower surface of the glass plate 83 and the bottom surface of the measurement recess 82a becomes the set distance Δt.

次に、試料セル７５の使用方法の一例について説明する。
まず、測定用凹部８２ａにサンプルＳを導入していく。さらに、測定用凹部８２ａにサンプルＳを導入していくと、非測定用凹部８２ｂに余分なサンプルＳが導かれていくことになる。次に、固定用ガラスプレート８３の下面を、ガラスプレート８１の上面と当接するように配置する。
そして、試料セル７５を粒度分布測定装置３０の設置板４に取り付ける。このとき、試料セル７５の左端部が下側になるように、試料セル７５が配置される。 Next, an example of how to use the sample cell 75 will be described.
First, the sample S is introduced into the measurement recess 82a. Furthermore, when the sample S is introduced into the measurement recess 82a, the excess sample S is guided to the non-measurement recess 82b. Next, the lower surface of the fixing glass plate 83 is disposed so as to contact the upper surface of the glass plate 81.
Then, the sample cell 75 is attached to the installation plate 4 of the particle size distribution measuring device 30. At this time, the sample cell 75 is arranged so that the left end portion of the sample cell 75 is on the lower side.

以上のように、試料セル７５によれば、余分なサンプルＳや空気を非測定用凹部８２ｂに導く（押し出す）ように測定用凹部８２ａにサンプルＳを収容することができるので、測定用凹部８２ａ内に気泡が混入することがなく、かつ、サンプルＳが外部にはみ出ることをなくすことができる。   As described above, according to the sample cell 75, since the sample S can be accommodated in the measurement recess 82a so as to introduce (extrude) excess sample S and air to the non-measurement recess 82b, the measurement recess 82a. It is possible to prevent air bubbles from being mixed in and the sample S from protruding outside.

＜他の実施形態＞
（１）上述した粒度分布測定装置３０では、レーザ光は右方向に向かうように試料セル５に照射される構成を示したが、レーザ光は上方向に向かうように試料セルに照射されるような構成としてもよい。
（２）上述した試料セル５では、非測定用凹部１２ｂは平面視で長方形である構成を示したが、非測定用凹部は平面視で長方形でなく、蛇行しながらガラスプレート１１の左側部に到達してもよく、非測定用凹部の中央部が円形状となるような串刺しにされた団子のような形状でもよい。
（３）上述した試料セル５では、非測定用凹部１２ｂは測定用凹部１２ａの左側部とガラスプレート１１の左側部とを貫通する構成を示したが、非測定用凹部は測定用凹部の前側部とガラスプレートの前側部とを貫通するような構成としてもよい。 <Other embodiments>
(1) In the particle size distribution measuring apparatus 30 described above, the laser light is irradiated on the sample cell 5 so as to be directed in the right direction. However, the laser light is irradiated on the sample cell so as to be directed in the upward direction. It is good also as a simple structure.
(2) In the sample cell 5 described above, the non-measuring concave portion 12b has a rectangular shape in plan view, but the non-measuring concave portion is not rectangular in plan view and is meandering on the left side of the glass plate 11 while meandering. It may reach, or it may be a skewered dumpling shape in which the central part of the non-measuring recess is circular.
(3) In the sample cell 5 described above, the non-measurement recess 12b is configured to penetrate the left side of the measurement recess 12a and the left side of the glass plate 11, but the non-measurement recess is the front side of the measurement recess. It is good also as a structure which penetrates a part and the front side part of a glass plate.

本考案は、試料における粒子群の粒度分布を測定するレーザ回折式粒度分布測定装置に利用することができる。   The present invention can be used for a laser diffraction type particle size distribution measuring apparatus for measuring the particle size distribution of a particle group in a sample.

５、５５、７５： 試料セル
１１、６１、８１： ガラスプレート（第一基板）
１２ａ、６２ａ、８２ａ： 測定用凹部
１２ｂ、６２ｂ、８２ｂ： 非測定用凹部
１３、６３、８３： ガラスプレート（第二基板）
３０、９０： レーザ回折式粒度分布測定装置 5, 55, 75: Sample cell 11, 61, 81: Glass plate (first substrate)
12a, 62a, 82a: measurement recesses 12b, 62b, 82b: non-measurement recesses 13, 63, 83: glass plate (second substrate)
30, 90: Laser diffraction particle size distribution analyzer

Claims (8)

平板形状の透明な第一基板と、
平板形状の透明な第二基板とを備え、
前記第一基板の上面には、試料が収容されるための測定用凹部が形成されており、
前記第二基板の下面は、前記第一基板の上面と当接するように配置されることにより、前記第二基板の下面と測定用凹部の底面との間の距離が設定距離となる試料セルであって、
前記第一基板の上面には、前記測定用凹部と連通する非測定用凹部が形成されており、
前記非測定用凹部には、前記測定用凹部に試料が収容される際に、余分な試料及び／又は空気が導かれることを特徴とする試料セル。 A flat plate-shaped transparent first substrate;
A flat second transparent substrate,
On the upper surface of the first substrate, a measurement recess for accommodating a sample is formed,
The lower surface of the second substrate is a sample cell in which the distance between the lower surface of the second substrate and the bottom surface of the measurement recess is a set distance by being arranged to contact the upper surface of the first substrate. There,
On the upper surface of the first substrate is formed a non-measuring recess that communicates with the measuring recess,
An extra sample and / or air is introduced into the non-measurement recess when a sample is stored in the measurement recess. 前記非測定用凹部は、前記測定用凹部の側部と第一基板の側部とを貫通するように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の試料セル。 2. The sample cell according to claim 1, wherein the non-measuring concave portion is formed so as to penetrate a side portion of the measuring concave portion and a side portion of the first substrate. 前記第二基板には、上下方向に貫通する貫通孔が形成されており、
前記貫通孔は、前記第二基板の下面が第一基板の上面と当接するように配置された際に、前記非測定用凹部の上方に位置することを特徴とする請求項１に記載の試料セル。 In the second substrate, a through hole penetrating in the vertical direction is formed,
2. The sample according to claim 1, wherein the through hole is positioned above the non-measuring recess when the lower surface of the second substrate is disposed so as to contact the upper surface of the first substrate. cell. 前記第一基板の上面には、前記第二基板の下面が第一基板の上面と当接するように配置された後に、前記試料を測定用凹部に収容させるための導入用凹部が形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の試料セル。 On the upper surface of the first substrate, an introduction recess for accommodating the sample in the measurement recess is formed after the lower surface of the second substrate is placed in contact with the upper surface of the first substrate. The sample cell according to any one of claims 1 to 3, wherein: 前記非測定用凹部は、前記測定用凹部の左側部と第一基板の左側部とを貫通するように形成されているとともに、
前記導入用凹部は、前記測定用凹部の右側部と第一基板の右側部とを貫通するように形成されていることを特徴とする請求項４に記載の試料セル。 The non-measurement recess is formed so as to penetrate the left side of the measurement recess and the left side of the first substrate,
The sample cell according to claim 4, wherein the introduction recess is formed so as to penetrate the right side of the measurement recess and the right side of the first substrate. 前記導入用凹部は、前記測定用凹部の右側部と第一基板の右側部とを貫通するように形成されているとともに、
前記非測定用凹部は、前記測定用凹部の左側部と連通するように形成されており、
前記第二基板には、上下方向に貫通する貫通孔が形成されており、
前記貫通孔は、前記第二基板の下面が第一基板の上面と当接するように配置された際に、前記非測定用凹部の上方に位置することを特徴とする請求項４に記載の試料セル。 The introduction recess is formed so as to penetrate the right side of the measurement recess and the right side of the first substrate,
The non-measurement recess is formed to communicate with the left side of the measurement recess,
In the second substrate, a through hole penetrating in the vertical direction is formed,
5. The sample according to claim 4, wherein the through hole is located above the non-measuring recess when the lower surface of the second substrate is disposed so as to contact the upper surface of the first substrate. cell. 前記設定距離は、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であり、
前記非測定用凹部の深さは、２．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であり、
前記導入用凹部の深さは、２．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項４〜請求項６のいずれかに記載の試料セル。 The set distance is 0.1 mm or more and 0.5 mm or less,
The depth of the non-measurement recess is 2.0 mm or more and 3.0 mm or less,
The depth of the said recessed part for introduction is 2.0 mm or more and 3.0 mm or less, The sample cell in any one of Claims 4-6 characterized by the above-mentioned. 請求項１〜請求項７のいずれかに記載の試料セルと、
前記試料セルにレーザ光を照射するレーザ光源を有する照射光学系と、
前記試料セルから放射される光の空間強度分布を測定する前方回折／散乱光センサを有する測定光学系とを備えることを特徴とする粒度分布測定装置。 The sample cell according to any one of claims 1 to 7,
An irradiation optical system having a laser light source for irradiating the sample cell with laser light;
A particle size distribution measuring apparatus comprising: a measuring optical system having a forward diffraction / scattered light sensor for measuring a spatial intensity distribution of light emitted from the sample cell.
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