JP3155951B1 - Method for removing warpage of film carrier tape for mounting electronic components and apparatus for removing warpage of film carrier tape for mounting electronic components therefor - Google Patents

Method for removing warpage of film carrier tape for mounting electronic components and apparatus for removing warpage of film carrier tape for mounting electronic components therefor

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JP3155951B1
JP3155951B1 JP2000023143A JP2000023143A JP3155951B1 JP 3155951 B1 JP3155951 B1 JP 3155951B1 JP 2000023143 A JP2000023143 A JP 2000023143A JP 2000023143 A JP2000023143 A JP 2000023143A JP 3155951 B1 JP3155951 B1 JP 3155951B1
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Abstract

【要約】 【課題】 電子部品実装用フィルムキャリアテープにつ
いて、反りを除去するための電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの反り除去方法および電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの反り除去装置を提供する。 【解決手段】 上下に交互に変位して配設したレベラー
ローラからなるレベラーユニット、電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束し
て、逆反りを付与する逆反り付与拘束部材を、加熱工
程、冷却工程において、種々組み合わせて用い、電子部
品実装用フィルムキャリアテープに生じた反りが、これ
らのレベラーユニット、逆反り付与拘束部材で矯正され
て、ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材
料が硬化した状態となり、フラットな状態が保持される
ようにした。
The present invention provides a method for removing a warpage of a film carrier tape for mounting an electronic component and a device for removing the warpage of the film carrier tape for mounting an electronic component. A leveler unit comprising leveler rollers alternately displaced up and down, and a reverse warpage restraint that restrains the electronic component mounting film carrier tape in the width direction and reversely warps the reverse direction. The members are used in various combinations in the heating step and the cooling step, and the warpage generated in the film carrier tape for mounting electronic components is corrected by the leveler unit and the reverse warp imparting restraining member, and the solder resist, the adhesive, and the base are used. A material such as a material film is brought into a cured state, and a flat state is maintained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープ(TAB(Tape AutomatedBondin
g)テープ、T-BGA(Tape Ball Grid Array)テープ、
CSP(Chip Size Package)テープ、 ASIC(Appl
ication Specific Integrated Circuit)テープなど)
(以下、単に「電子部品実装用フィルムキャリアテー
プ」と言う。)について、反りを除去するための電子部
品実装用フィルムキャリアテープの反り除去方法および
電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り除去装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film carrier tape (TAB) for mounting electronic parts.
g) Tape, T-BGA (Tape Ball Grid Array) tape,
CSP (Chip Size Package) tape, ASIC (Appl
ication Specific Integrated Circuit) tape etc.)
The present invention relates to a method for removing a warp of a film carrier tape for mounting an electronic component and a device for removing a warp of the film carrier tape for mounting an electronic component for removing a warp (hereinafter, simply referred to as “film carrier tape for mounting an electronic component”).

【0002】[0002]

【従来の技術】エレクトロニクス産業の発達に伴い、I
C(集積回路)、LSI(大規模集積回路)などの電子
部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加して
いるが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望さ
れ、これら電子部品の実装方法として、最近ではTAB
テープ、T-BGAテープ、CSPおよびASICテー
プなどの電子部品実装用フィルムキャリアテープを用い
た実装方式が採用されている。特に、パーソナルコンピ
ュータなどのように高精細化、薄型化、液晶画面の額縁
面積の狭小化が要望されている液晶表示素子(LCD)
を使用する電子産業においてその重要性が高まってい
る。
2. Description of the Related Art With the development of the electronics industry,
The demand for printed wiring boards on which electronic components such as C (integrated circuits) and LSIs (large-scale integrated circuits) are mounted has been rapidly increasing, but there has been a demand for smaller, lighter, and more sophisticated electronic devices. Recently, TAB has been used as a mounting method for these electronic components.
A mounting method using a film carrier tape for mounting electronic components such as a tape, a T-BGA tape, a CSP and an ASIC tape has been adopted. In particular, liquid crystal display elements (LCDs), such as personal computers, which are required to have higher definition, thinner, and smaller frame areas of liquid crystal screens
Is increasingly important in the electronics industry that uses it.

【0003】従来より、このような電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープでは、例えば、TABテープを製造
する方法としては、下記のような行程を経て製造されて
いる。すなわち、先ず、ポリイミドフィルムのような基
材となる絶縁フィルムをプレス機でパターン打ち抜きを
行った後、この絶縁フィルムに接着剤を介して銅箔を熱
圧着により貼着する。そして、この銅箔の上面にフォト
レジストを全面に塗布して、このフォトレジストをフォ
トレジストマスクを使用して所望のパターン形状に紫外
線により露光し、この露光されたフォトレジスト部分を
現像液によって溶解除去する。このフォトレジストで覆
われていない銅箔部分を、エッチング液である酸で化学
的に溶解(エッチング処理)して除去するとともに、フ
ォトレジストをアルカリ液にて溶解除去することによっ
て絶縁フィルム上に残った銅箔により所望の配線パター
ンを形成する。
Conventionally, such a film carrier tape for mounting electronic components has been manufactured through the following steps as a method of manufacturing a TAB tape, for example. That is, first, an insulating film serving as a base material such as a polyimide film is subjected to pattern punching by a press machine, and then a copper foil is adhered to the insulating film via an adhesive by thermocompression bonding. Then, a photoresist is applied to the entire upper surface of the copper foil, the photoresist is exposed to ultraviolet rays in a desired pattern shape using a photoresist mask, and the exposed photoresist portions are dissolved by a developer. Remove. The copper foil that is not covered with the photoresist is removed by chemically dissolving (etching) with an acid as an etchant, and the photoresist is dissolved and removed with an alkaline solution to remain on the insulating film. A desired wiring pattern is formed with the copper foil.

【0004】そして、実装時のゴミやウィスカー、マイ
グレーションによる短絡を防止し、配線間の保護並びに
絶縁のために、配線パターンのうち、IC、LSIなど
のデバイス(電子部品)に接続されるインナーリードお
よび液晶表示素子などに接続されるアウターリードなど
のリード部分を除いて、絶縁樹脂であるエポキシ系樹脂
などのソルダーレジストを、スクリーン印刷法によりス
キージを用いて塗布パターンの形成されたスクリーンを
介して塗布した後、乾燥、硬化させてソルダーレジスト
被覆層を形成している。
[0004] Among the wiring patterns, inner leads connected to devices (electronic parts) such as ICs and LSIs for preventing short circuits due to dust, whiskers, and migration during mounting, and for protecting and insulating between wirings. Except for the lead parts such as the outer leads connected to the liquid crystal display element, etc., a solder resist such as an epoxy resin as an insulating resin is applied through a screen on which a coating pattern is formed using a squeegee by screen printing. After being applied, it is dried and cured to form a solder resist coating layer.

【0005】その後、露出したリード部分の酸化、変色
を防止するとともに、リード部分に接続されるデバイス
のバンプなどの接続部分との接着強度を確保するため
に、リード部分を、例えば、スズメッキ、金メッキ、ス
ズ−鉛の共晶合金メッキなどを施すことにより製造され
ている。そして、TABテープのインナーリードと、I
Cチップなどの電子部品上の電極とを金などのバンプを
介して、ギャングボンディングなどの方法(Inner Lead
Bonding)で接続している。
[0005] Thereafter, in order to prevent oxidation and discoloration of the exposed lead portion and to secure adhesion strength to a connection portion such as a bump of a device connected to the lead portion, the lead portion is made of, for example, tin plating or gold plating. And tin-lead eutectic alloy plating. Then, the inner lead of the TAB tape and I
A method such as gang bonding (inner lead) is used to connect electrodes on electronic components such as C chips via bumps such as gold.
Bonding).

【0006】ICチップなどの電子部品を接続したフィ
ルムキャリアテープは、ICチップなどの電子部品の保
護のために、エポキシ系樹脂などでポッティングやトラ
ンスファモールドにより樹脂封止された後、樹脂は加熱
硬化される。一方、TABテープのアウターリードは、
異方性導電膜、ハンダ付けなどにより液晶表示素子など
のプリント基板に熱圧着または接続される(Outer Lead
Bonding)。
A film carrier tape to which electronic components such as an IC chip are connected is sealed with an epoxy resin or the like by potting or transfer molding to protect the electronic components such as the IC chip, and then the resin is cured by heating. Is done. On the other hand, the outer lead of TAB tape is
Thermo-compression bonding or connection to a printed circuit board such as a liquid crystal display element by anisotropic conductive film, soldering, etc. (Outer Lead
Bonding).

【0007】一方、T−BGA用テープは、インナーリ
ードボンディングから樹脂封止まではTABテープと共
通の場合が多いが、アウターリードボンディングの代わ
りに、ハンダボールをマトリックス状に配列し、これら
のハンダボールを介してプリント基板との接続を行って
いる。このようなハンダボール接続のため、ソルダーレ
ジスト層には、0.5〜2.0mmのピッチで2次元的
に縦横に配列した100〜800μmΦの多数の微小孔
が形成されている。このような、T−BGA用テープの
ハンダボール接続では、配線ピッチはアウターリードボ
ンディングよりも粗く、しかも、よりピン数の多いIC
に対応できるため、近年採用が増えつつある。
On the other hand, T-BGA tapes are often the same as TAB tapes from inner lead bonding to resin encapsulation. However, instead of outer lead bonding, solder balls are arranged in a matrix, and these solder balls are used. The connection with the printed circuit board is performed via the. For such solder ball connection, a large number of micropores having a diameter of 100 to 800 μmφ are formed in the solder resist layer two-dimensionally and horizontally at a pitch of 0.5 to 2.0 mm. In such a solder ball connection of the T-BGA tape, the wiring pitch is coarser than that of the outer lead bonding, and the IC having a larger number of pins is used.
In recent years, adoption has increased.

【0008】また、CSP(Chip Size Package)と呼
ばれるICのサイズとフィルムキャリアーテープのパッ
ケージのサイズとが同じであり、その接続方法が主にB
GAと同じであるCSPも最近では、BGA用テープと
同様に注目されている。このような、T−BGA用テー
プ、CSPは、従来のTABテープとほぼ同じ工程、材
料により製造することができる。TABテープ、T−B
GA用テープ、CSPともいずれも、テープ幅は35m
m〜70mmが一般的であり、テープ厚みとしては、樹
脂フィルムは20〜125μm、銅層厚みは12〜35
μmが多く用いられている。
The size of an IC called a CSP (Chip Size Package) and the size of a package of a film carrier tape are the same, and the connection method is mainly B
CSPs, which are the same as GAs, have recently been receiving attention as well as BGA tapes. Such a T-BGA tape and CSP can be manufactured by substantially the same process and material as the conventional TAB tape. TAB tape, TB
Both GA tape and CSP have a tape width of 35m
m to 70 mm, and the thickness of the tape is 20 to 125 μm for the resin film, and the thickness of the copper layer is 12 to 35 μm.
μm is often used.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
にエポキシ系樹脂などのソルダーレジストは、その主成
分が熱硬化性のものが主流であるため、ソルダーレジス
トを塗布した後、電子部品実装用フィルムキャリアテー
プを、加熱炉や、熱風乾燥炉で乾燥することにより、ソ
ルダーレジストを硬化する必要がある。
As described above, since the main component of the solder resist such as an epoxy resin is mainly a thermosetting resin, after the solder resist is applied, the solder resist is used for mounting electronic parts. It is necessary to cure the solder resist by drying the film carrier tape in a heating furnace or a hot air drying furnace.

【0010】しかしながら、TABテープ、T−BGA
用テープ、CSPなどの電子部品実装用フィルムキャリ
アテープでは、ポリイミドフィルムなどのベーステープ
と、接着剤と、銅箔と、ソルダーレジストなどの材料の
間の熱膨張率の差や、接着剤や、ソルダーレジストの熱
収縮に起因して、ソルダーレジスト側に凹状の反りが生
ずる。
However, TAB tape, T-BGA
Tapes, film carrier tapes for mounting electronic components such as CSP, base tapes such as polyimide film, adhesives, copper foil, differences in the coefficient of thermal expansion between materials such as solder resist, adhesives, Due to the thermal shrinkage of the solder resist, a concave warpage occurs on the solder resist side.

【0011】すなわち、上記のような構成を有する電子
部品実装用フィルムキャリアテープは、各層を構成する
素材の特性が全く異なるために、得られる電子部品実装
用フィルムキャリアテープには反り変形が発生する。こ
のような反り変形は、可撓性絶縁フィルムの吸水膨張、
接着剤層の硬化収縮、導電性金属の熱膨張および収縮、
ソルダーレジストの硬化収縮などが複合的に作用して生
ずるものと考えられている。そして電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの幅方向において、配線パターンが
形成された側が凹面になるように反り変形しやすい。こ
うした配線パターンが形成された面が凹面になるような
テープ幅方向における反り変形は、テープ幅に対して1
0%程度にもいたることもある。
That is, in the film carrier tape for mounting electronic parts having the above-described structure, since the characteristics of the materials forming each layer are completely different, the resulting film carrier tape for mounting electronic parts warps. . Such warping deformation is caused by water absorption and expansion of the flexible insulating film,
Curing shrinkage of the adhesive layer, thermal expansion and shrinkage of the conductive metal,
It is considered that the curing shrinkage of the solder resist and the like act in a complex manner. Then, in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components, it is easy to bend and deform so that the side on which the wiring pattern is formed becomes concave. The warp deformation in the tape width direction such that the surface on which such a wiring pattern is formed becomes concave is 1 to the tape width.
It can be as low as 0%.

【0012】近時、電子部品に形成される配線パターン
は非常にファインピッチ化しており、最も配線パターン
幅の狭いインナーリードなどにおいては、十数μm以下
といった非常にファインピッチのリード幅を有するもの
も製造されている。こうしたファインピッチの電子部品
実装用フィルムキャリアテープにおいて、テープ幅に対
して反り変形が10%にも及ぶと、実装される電子部品
に形成されているバンプ電極の位置と、電子部品実装用
フィルムキャリアテープのインナーリードの位置とが一
致せず、正常なボンディングを行えないことが多くな
る。また、上記のようにファインピッチ化が進むにつれ
て、使用される可撓性絶縁フィルム、導電性金属箔など
電子部品実装用フィルムキャリアテープの形態を保持す
る作用を有していた部材の厚さが次第に薄くなってきて
おり、こうした面からもファインピッチ化が進むにつれ
て、反り変形が起こりやすく状況がいっそう多くなって
きている。
In recent years, wiring patterns formed on electronic parts have become very fine pitch. In the case of inner leads having the narrowest wiring pattern width, those having a very fine pitch lead width of not more than tens of μm are used. Are also manufactured. In such a fine pitch electronic component mounting film carrier tape, if the warpage of the tape width is as large as 10%, the position of the bump electrode formed on the electronic component to be mounted and the electronic component mounting film carrier are determined. In many cases, the position of the inner lead of the tape does not match, and normal bonding cannot be performed. In addition, as the fine pitch progresses as described above, the thickness of a member that has a function of holding the form of the electronic component mounting film carrier tape such as a flexible insulating film and a conductive metal foil to be used is reduced. As the pitch becomes finer from this aspect, warpage deformation is likely to occur, and the situation is increasing.

【0013】特に、ソルダーレジストを、加熱炉や、熱
風乾燥炉などで乾燥、硬化(キュア)した後の電子部品
実装用フィルムキャリアテープは、図13に示したよう
に、電子部品実装用フィルムキャリアテープ200のソ
ルダーレジスト加工面202が凹状となるように、上方
に湾曲して反りが生じる。このようなソルダーレジスト
の乾燥、硬化工程で発生する反りは、その後のメッキ工
程、洗浄工程後の乾燥工程などにおいて、除去できない
うえ、その熱的影響を受けて、ますます反りが増す傾向
にある。
In particular, the film carrier tape for mounting electronic parts after the solder resist is dried and cured (cured) in a heating furnace, a hot air drying furnace, or the like, as shown in FIG. The tape 200 is curved upward and warped so that the solder resist processed surface 202 of the tape 200 becomes concave. Such a warp generated in the drying and curing steps of the solder resist cannot be removed in a subsequent plating step, a drying step after a cleaning step, etc., and the warpage tends to increase due to its thermal influence. .

【0014】このように反りが発生した電子部品実装用
フィルムキャリアテープは、TABテープの場合には、
アウターリードボンディング工程において、位置合わせ
の精度が低下し、作業性が悪くなり、そのボンディング
性能に影響を与えることとなっていた。また、T−BG
A用テープの場合には、ICのインナーリードボンディ
ングから、補強等のためのスティフナー接着までの実装
段階において、インナーリードの切断、封止樹脂の割れ
などが生じることになる。
[0014] In the case of a TAB tape, the warped film carrier tape for mounting electronic parts is as follows.
In the outer lead bonding step, the accuracy of the alignment is reduced, the workability is deteriorated, and the bonding performance is affected. Also, T-BG
In the case of the tape for A, in the mounting stage from the inner lead bonding of the IC to the bonding of the stiffener for reinforcement and the like, cutting of the inner lead, cracking of the sealing resin, and the like occur.

【0015】このようなフィルムキャリアテープの反り
を防止する方法として、従来より下記のような種々の方
法が提案されている。すなわち、(1)ソルダーレジス
トとして、加熱硬化後の熱収縮によるテープの反りが少
ないポリイミド系樹脂を使用する方法、(2)絶縁保護
層として、ソルダーレジストの代わりに所定の領域を被
覆しないように打抜かれた耐熱性保護フィルムを貼着す
る(特開平9−64112号公報)方法、(3) 導体
パターン形成面を長尺方向に対して垂直な方向にカール
させ盛り上げた(ふくらませるようにわん曲して)、フィ
ルムキャリアテープに熱を一定時間加えて反りを低減す
る方法(特開平8−45984号公報、特開平10−1
78051号公報(特許第2816841号))、など
があるしかしながら、上記(1)のポリイミド系樹脂
は、銅等の導体表面との密着性が従来のエポキシ系樹脂
よりもやや劣るため、特許2509509号のように、
ポリイミド系樹脂及びエポキシ系樹脂をフィルムキャリ
アテープの部分によって使い分けしており、工程が煩雑
である。
As methods for preventing such warpage of the film carrier tape, the following various methods have been conventionally proposed. That is, (1) a method of using a polyimide-based resin in which tape warpage due to heat shrinkage after heat curing is small as a solder resist, and (2) an insulating protective layer so as not to cover a predetermined area instead of the solder resist. A method in which a punched heat-resistant protective film is attached (Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-64112). (3) The conductor pattern forming surface is curled in a direction perpendicular to the longitudinal direction and raised (bent so as to expand). And applying a heat to the film carrier tape for a certain period of time to reduce warpage (Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 8-451984 and 10-1).
78051 (Japanese Patent No. 2816841). However, the polyimide resin of the above (1) is slightly inferior in adhesion to a conductor surface such as copper to a conventional epoxy resin. like,
Since the polyimide resin and the epoxy resin are selectively used depending on the portion of the film carrier tape, the process is complicated.

【0016】また、上記(2)の方法では、接着剤層に
ボイドが発生しやすく、信頼性低下の原因となる。ま
た、接着剤の染み出し等の問題もあるため、近年狭幅化
しつつあるTABテープには不向きである。さらに、ハ
ンダボール接合用の微小孔を要するT−BGA用テープ
には適用できない。さらに、上記(3)の方法では、湾
曲による反りが効きすぎて、かえって逆方向に反りが発
生してしまうことがあるとともに、フィルムキャリアテ
ープが、図14に示したように、デバイスホールを介し
て山形に屈曲してしまうことがあり、インナーリードの
切断、封止樹脂の割れ、ボンディング不良などの原因と
なり、好ましくなかった。
In the above method (2), voids are apt to be generated in the adhesive layer, which causes a decrease in reliability. In addition, it is not suitable for TAB tapes, which are becoming narrower in recent years, because of problems such as exudation of adhesives. Furthermore, it cannot be applied to a T-BGA tape that requires micro holes for solder ball bonding. Further, in the method (3), too effectiveness warp due to the curvature, with warp may occur in the opposite direction rather, the film carrier tape
As shown in FIG. 14, the loop may be bent into a mountain shape via the device hole, which causes cutting of the inner lead, cracking of the sealing resin, bonding failure, and the like, which is not preferable.

【0017】本発明の目的は、このような現状を考慮し
て、ソルダーレジストの密着性を低下させることなく、
ソルダーレジスト層の狭幅化および微小孔等のファイン
パターンへの適用性も良好で、ICなどの電子部品の実
装組立時に、インナーリードの切断、封止樹脂の割れ等
の支障が生じず、しかも、液晶表示素子などのプリント
基板への実装時においても、位置合わせ不良等生じない
正確な位置あわせを行うことができるように、電子部品
実装用フィルムキャリアテープの反りを除去するこの可
能とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り
除去方法および電子部品実装用フィルムキャリアテープ
の反り除去装置を提供することを目的とする。
[0017] An object of the present invention is to provide a solder resist without lowering its adhesion in consideration of the current situation.
It has good applicability to narrow patterns of solder resist layers and fine patterns such as micro holes.In mounting and assembling electronic components such as ICs, there are no problems such as cutting of inner leads and cracking of sealing resin. In addition, even when mounting on a printed circuit board such as a liquid crystal display element, the warping of the film carrier tape for mounting electronic components can be removed so that accurate positioning can be performed without causing misalignment or the like. An object of the present invention is to provide a method for removing warpage of a film carrier tape for mounting components and an apparatus for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】本発明は、前述したよう
な従来技術における課題及び目的を達成するために発明
なされたものであって、本発明の電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの反り除去方法は、電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープを、加熱状態で電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束し
て、逆反りを付与した後、前記電子部品実装用フィルム
キャリアテープの送給方向に対して、上下に交互に変位
して配設した複数のレベラーローラの間を、電子部品実
装用フィルムキャリアテープを通過させつつ、電子部品
実装用フィルムキャリアテープを冷却して、その反りを
除去するとともに、反りを除去した状態を保持するよう
にすることを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to achieve the above-mentioned problems and objects in the prior art, and is intended to provide a method for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic parts according to the present invention. The electronic component mounting film carrier tape, in a heated state, constrained in the direction opposite to the warp in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape, after imparting reverse warpage, the electronic component mounting film carrier tape In the feeding direction, the film carrier tape for electronic component mounting is cooled while passing the film carrier tape for electronic component mounting between a plurality of leveler rollers arranged alternately and vertically. It is characterized in that the warpage is removed and the state in which the warp is removed is maintained.

【0019】また、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープの反り除去装置は、本発明の電子部品実装用フィル
ムキャリアテープを、加熱状態で電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束して、
逆反りを付与する逆反り付与拘束部材を備えた加熱逆反
り付与部と、前記電子部品実装用フィルムキャリアテー
プの送給方向に対して、上下に交互に変位して配設した
複数のレベラーローラを備え、前記レベラーローラの間
を、前記加熱逆反り付与部で逆反りを付与された電子部
品実装用フィルムキャリアテープを、冷却状態で通過さ
せることによって、反りを除去した状態を保持するよう
構成した反り除去冷却部と、を備えることを特徴とす
る。
Further, the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting an electronic component is characterized in that the film carrier tape for mounting an electronic component of the present invention is restrained in a heated state in a direction opposite to the direction of warping in the width direction of the film carrier tape for mounting an electronic component. do it,
A heating reverse warp applying portion provided with a reverse warp applying restraining member for applying a reverse warp, and a plurality of leveler rollers disposed so as to be alternately displaced up and down with respect to a feeding direction of the film carrier tape for mounting electronic components. The electronic component mounting film carrier tape to which the reverse warpage is applied by the heating reverse warpage applying section between the leveler rollers in a cooled state, so that the warped state is maintained. And a warp removal cooling unit.

【0020】このように構成することによって、ソルダ
ーレジストを、加熱炉や、熱風乾燥炉などで乾燥、硬化
(キュア)した後に、ソルダーレジスト加工面が凹状と
なるように、上方に湾曲して生じた電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープに生じた反りが、電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープが、加熱状態で逆反り付与拘束部
材で電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に
反りと逆方向に上方に湾曲して、拘束されることにな
る。従って、ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルム
などの材料が軟化した状態で塑性変形が生じて、電子部
品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に反りと逆方
向に逆反りが付与された状態となる。
With this configuration, after the solder resist is dried and cured (cured) in a heating furnace, a hot air drying furnace, or the like, the solder resist is curved upward so that the processed surface of the solder resist becomes concave. The warpage that has occurred in the electronic component mounting film carrier tape is such that the electronic component mounting film carrier tape is heated in a reverse direction by a reverse warp imparting restricting member, and is upward in a direction opposite to the width direction of the electronic component mounting film carrier tape. It will bend and be constrained. Accordingly, plastic deformation occurs in a state in which the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are softened, and a state in which a warp is applied in a direction opposite to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components is provided. .

【0021】そして、上下に交互に変位して配設したレ
ベラーローラの間を、電子部品実装用フィルムキャリア
テープが、冷却状態で上下に通過することによって、レ
ベラーローラの上下交互に位置する相互に対峙するレベ
ラーローラの曲率を有する周面によって、フラットな状
態に交互に矯正されることになる。従って、これらのレ
ベラーローラを通過した電子部品実装用フィルムキャリ
アテープは、最終的に全体的にフラットな状態となる。
そして、この状態のままで、ソルダーレジスト、接着
剤、基材フィルムなどの材料が硬化した状態となり、フ
ラットな状態が保持されることになる。
Then, the film carrier tape for mounting electronic components passes vertically between the leveler rollers arranged alternately displaced up and down in a cooled state. The flat surfaces are alternately corrected by the peripheral surfaces having the curvature of the facing leveler rollers. Therefore, the electronic component mounting film carrier tape that has passed through these leveler rollers eventually becomes entirely flat.
Then, in this state, the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are cured, and the flat state is maintained.

【0022】また、本発明の電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの反り除去方法は、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの送給方向に対して、上下に交互に変
位して配設した複数のレベラーローラの間を、加熱状態
で電子部品実装用フィルムキャリアテープを通過させ
て、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを除
去した後、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープ
を、その幅方向に反りと逆方向に拘束して逆反りを付与
しつつ、電子部品実装用フィルムキャリアテープを冷却
して、反りを除去した状態を保持するようにすることを
特徴とする。
Further, the method for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic parts according to the present invention is directed to a method for removing a warpage of a film carrier tape for mounting electronic parts. After passing through the electronic component mounting film carrier tape in a heated state to remove the warpage of the electronic component mounting film carrier tape, the electronic component mounting film carrier tape is inverted in the width direction. It is characterized in that the film carrier tape for mounting electronic components is cooled to maintain a state in which the warpage is removed, while the film carrier tape for mounting electronic components is constrained in the direction to give a reverse warp.

【0023】また、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープの反り除去装置は、電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの送給方向に対して、上下に交互に変位して配
設した複数のレベラーローラを備え、前記レベラーロー
ラの間を、電子部品実装用フィルムキャリアテープを加
熱状態で通過させることによって、電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの反りを除去するように構成した加
熱反り除去部と、前記加熱反り除去部で反りの除去され
た電子部品実装用フィルムキャリアテープを、冷却状態
で電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に反
りと逆方向に拘束して、逆反りを付与する逆反り付与拘
束部材を備えた冷却逆反り付与部と、を備えることを特
徴とする。
The device for removing warpage of a film carrier tape for mounting an electronic component is provided with a plurality of leveler rollers which are disposed so as to be alternately displaced up and down with respect to a feeding direction of the film carrier tape for mounting an electronic component. Between the leveler rollers, by passing the electronic component mounting film carrier tape in a heated state, thereby removing the warpage of the electronic component mounting film carrier tape; and a heating warp removing unit configured to remove the warpage of the electronic component mounting film carrier tape. The electronic component mounting film carrier tape from which the warp has been removed is provided with a reverse warp imparting restricting member that constrains the electronic component mounting film carrier tape in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape in a cooling direction in a direction opposite to the warpage, and imparts reverse warpage. And a cooling reverse warpage imparting section.

【0024】このように構成することによって、上下に
交互に変位して配設したレベラーローラの間を、電子部
品実装用フィルムキャリアテープが、加熱状態で上下に
通過することによって、レベラーローラの上下交互に位
置する相互に対峙するレベラーローラの曲率を有する周
面によって、ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルム
などの材料が軟化した状態で塑性変形が生じ、フラット
な状態に交互に矯正されることになる。従って、これら
のレベラーローラを通過した電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープは、全体的にフラットな状態となる。
[0024] With this configuration, the film carrier tape for mounting electronic parts passes vertically between the leveler rollers that are alternately displaced up and down while being heated. Due to the curved surfaces of the leveler rollers that are alternately facing each other, plastic deformation occurs in the softened state of materials such as solder resist, adhesive, and base film, and is alternately corrected to a flat state become. Therefore, the electronic component mounting film carrier tape that has passed through these leveler rollers is in a flat state as a whole.

【0025】そして、このように全体的にフラットな状
態となった電子部品実装用フィルムキャリアテープは、
冷却状態で逆反り付与拘束部材によって、電子部品実装
用フィルムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘
束されて、逆反りが付与された状態で矯正されることに
なる。従って、この逆反りによって電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープに生じている反り変形が相殺され、
この状態のままで、ソルダーレジスト、接着剤、基材フ
ィルムなどの材料が硬化した状態となり、ほぼフラット
な状態が保持されることになる。
The film carrier tape for mounting electronic parts, which is in a flat state as a whole, is as follows.
In the cooled state, the film carrier tape for mounting electronic components is restrained in the width direction by the reverse warp imparting restraint member in the opposite direction to the warpage, and is corrected in a state where the reverse warpage is imparted. Therefore, the warpage generated in the electronic component mounting film carrier tape by the reverse warpage is offset,
In this state, the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are cured, and a substantially flat state is maintained.

【0026】また、本発明の電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの反り除去方法は、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープを加熱状態で、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束して、
逆反りを付与し、前記電子部品実装用フィルムキャリア
テープの送給方向に対して、上下に交互に変位して配設
した複数のレベラーローラの間を、加熱状態で電子部品
実装用フィルムキャリアテープを通過させて電子部品実
装用フィルムキャリアテープの反りを除去した後、前記
電子部品実装用フィルムキャリアテープを、その幅方向
に反りと逆方向に拘束して逆反りを付与しつつ、電子部
品実装用フィルムキャリアテープを冷却して、反りを除
去した状態を保持するようにすることを特徴とする。
In the method for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention, the film carrier tape for mounting electronic components is restrained in a heated state in a direction opposite to the warpage in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components. do it,
The film carrier tape for mounting an electronic component in a heated state is provided between a plurality of leveler rollers arranged to be alternately displaced up and down with respect to a feeding direction of the film carrier tape for mounting an electronic component. To remove the warpage of the electronic component mounting film carrier tape, and constraining the electronic component mounting film carrier tape in the width direction of the film carrier tape in the opposite direction to that of the electronic component mounting tape, thereby providing the electronic component mounting. And cooling the film carrier tape to maintain a state in which the warpage is removed.

【0027】また、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープの反り除去装置は、電子部品実装用フィルムキャリ
アテープを、加熱状態で電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの幅方向に反りと逆方向に拘束して、逆反りを
付与する逆反り付与拘束部材を備えた加熱逆反り付与部
と、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給
方向に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレ
ベラーローラを備え、前記レベラーローラの間を、前記
加熱逆反り付与部で逆反りを付与された電子部品実装用
フィルムキャリアテープを、加熱状態で通過させること
によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反
りを除去するように構成した加熱反り除去部と、前記加
熱反り除去部で反りの除去された電子部品実装用フィル
ムキャリアテープを、冷却状態で電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束して、
逆反りを付与する逆反り付与拘束部材を備えた冷却逆反
り付与部と、を備えることを特徴とする。
Further, the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting an electronic component restrains the film carrier tape for mounting an electronic component in a heated state in a direction opposite to the warpage in the width direction of the film carrier tape for mounting an electronic component. A heating reverse warp applying portion provided with a reverse warp applying restraining member for applying a reverse warp, and a plurality of leveler rollers disposed so as to be alternately displaced up and down with respect to a feeding direction of the film carrier tape for mounting electronic components. The electronic component mounting film carrier tape to which the warpage of the electronic component mounting is applied in a heated state, between the leveler rollers, by passing the electronic component mounting film carrier tape to which the reverse warpage is applied by the heating reverse warpage applying unit, thereby reducing the warpage of the electronic component mounting film carrier tape. A heating warp removing portion configured to be removed, and an electronic component mounting film carrier tape from which the warpage has been removed by the heating warp removing portion , To restrain the warp direction opposite the cooling conditions in the width direction of the film carrier tape,
And a cooling reverse warpage imparting portion having a reverse warpage imparting restraint member for imparting a reverse warpage.

【0028】このように構成することによって、電子部
品実装用フィルムキャリアテープに生じた反りが、電子
部品実装用フィルムキャリアテープが、加熱状態で逆反
り付与拘束部材で電子部品実装用フィルムキャリアテー
プの幅方向に反りと逆方向に上方に湾曲して、拘束され
ることになる。従って、ソルダーレジスト、接着剤、基
材フィルムなどの材料が軟化した状態で塑性変形が生じ
て、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に
反りと逆方向に逆反りが付与された状態となる。
With this configuration, the warpage generated in the electronic component mounting film carrier tape is caused by the fact that the electronic component mounting film carrier tape is heated by the reverse warp imparting and restraining member. It is bent upward in the direction opposite to the warp in the width direction and is constrained. Accordingly, plastic deformation occurs in a state in which the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are softened, and a state in which a warp is applied in a direction opposite to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components is provided. .

【0029】そして、上下に交互に変位して配設したレ
ベラーローラの間を、逆反りが付与された状態となった
電子部品実装用フィルムキャリアテープが、加熱状態で
上下に通過することによって、レベラーローラの上下交
互に位置する相互に対峙するレベラーローラの曲率を有
する周面によって、ソルダーレジスト、接着剤、基材フ
ィルムなどの材料が軟化した状態で塑性変形が生じ、フ
ラットな状態に交互に矯正されることになる。従って、
これらのレベラーローラを通過した電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープは、全体的にフラットな状態とな
る。
Then, the film carrier tape for mounting electronic components, which is in a state in which reverse warpage has been applied, passes between the leveler rollers arranged alternately and displaced up and down alternately in a heated state. Due to the curved peripheral surfaces of the leveler rollers, which are located alternately above and below the leveler rollers, plastic deformation occurs in a softened state of materials such as solder resist, adhesive, and base film, and alternately to a flat state Will be corrected. Therefore,
The electronic component mounting film carrier tape that has passed through these leveler rollers is entirely flat.

【0030】このように全体的にフラットな状態となっ
た電子部品実装用フィルムキャリアテープは、冷却状態
で逆反り付与拘束部材によって、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束され
て、逆反りが付与された状態で矯正されることになる。
従って、この逆反りによって電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープに生じている反り変形が相殺され、この状
態のままで、ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルム
などの材料が硬化した状態となり、ほぼフラットな状態
が保持されることになる。
The film carrier tape for mounting electronic components, which is in a flat state as a whole in this way, is cooled by a reverse warp imparting restraining member so that it is warped in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components and in the opposite direction. It will be restrained and will be corrected in a state where reverse warpage has been given.
Therefore, the warpage generated in the film carrier tape for mounting electronic components is offset by the reverse warpage, and in this state, the material such as the solder resist, the adhesive, and the base film is hardened, and is almost flat. The state will be maintained.

【0031】また、本発明の電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの反り除去方法は、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープを加熱状態で、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束して、
逆反りを付与し、前記電子部品実装用フィルムキャリア
テープの送給方向に対して、上下に交互に変位して配設
した複数のレベラーローラの間を、加熱状態で電子部品
実装用フィルムキャリアテープを通過させて、電子部品
実装用フィルムキャリアテープの反りを除去した後、前
記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向に
対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラー
ローラの間を、電子部品実装用フィルムキャリアテープ
を通過させつつ、電子部品実装用フィルムキャリアテー
プを冷却して、その反りを除去するとともに、反りを除
去した状態を保持するようにすることを特徴とする。
In the method for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention, the film carrier tape for mounting electronic components is restrained in a heated state while being warped in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components. do it,
The film carrier tape for mounting an electronic component in a heated state is provided between a plurality of leveler rollers arranged to be alternately displaced up and down with respect to a feeding direction of the film carrier tape for mounting an electronic component. After removing the warpage of the electronic component mounting film carrier tape, the feeding direction of the electronic component mounting film carrier tape, the plurality of leveler rollers disposed alternately displaced up and down alternately. While passing through the electronic component mounting film carrier tape, the electronic component mounting film carrier tape is cooled to remove the warp and maintain the state where the warp is removed. .

【0032】また、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープの反り除去装置は、電子部品実装用フィルムキャリ
アテープを加熱状態で、電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの幅方向に反りと逆方向に拘束して逆反りを付
与する逆反り付与拘束部材を備えた加熱逆反り付与部
と、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給
方向に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレ
ベラーローラを備え、前記レベラーローラの間を、前記
加熱逆反り付与部で逆反りを付与された電子部品実装用
フィルムキャリアテープを加熱状態で通過させることに
よって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り
を除去するように構成した加熱反り除去部と、前記電子
部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向に対し
て、上下に交互に変位して配設した複数のレベラーロー
ラを備え、前記レベラーローラの間を、前記加熱反り除
去部で反りの除去された電子部品実装用フィルムキャリ
アテープを、冷却状態で通過させることによって、反り
を除去した状態を保持するよう構成した反り除去冷却部
と、を備えることを特徴とする。
Further, the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting an electronic component is configured to restrain the film carrier tape for mounting an electronic component in a heated state while restraining the film carrier tape in the width direction of the film carrier tape in the width direction. And a plurality of leveler rollers disposed alternately and displaced up and down with respect to the feeding direction of the electronic component mounting film carrier tape. And removing the warpage of the electronic component mounting film carrier tape by passing the electronic component mounting film carrier tape to which the reverse warpage has been applied by the heating reverse warpage applying section between the leveler rollers in a heated state. The warp removing unit configured as described above and the feed direction of the film carrier tape for mounting electronic components are alternately displaced up and down. A plurality of leveler rollers disposed in a horizontal direction, and the electronic component mounting film carrier tape from which the warp was removed by the heating warp removing section was passed between the leveler rollers in a cooled state to remove the warp. A warp removal cooling unit configured to maintain a state.

【0033】このように構成することによって、電子部
品実装用フィルムキャリアテープに生じた反りが、電子
部品実装用フィルムキャリアテープが、加熱状態で逆反
り付与拘束部材で電子部品実装用フィルムキャリアテー
プの幅方向に反りと逆方向に上方に湾曲して、拘束され
ることになる。従って、ソルダーレジスト、接着剤、基
材フィルムなどの材料が軟化した状態で塑性変形が生じ
て、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に
反りと逆方向に逆反りが付与された状態となる。
With such a configuration, the warpage of the film carrier tape for mounting the electronic component is caused by the film carrier tape for mounting the electronic component being heated by the reverse warp imparting restraining member in the heated state. It is bent upward in the direction opposite to the warp in the width direction and is constrained. Accordingly, plastic deformation occurs in a state in which the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are softened, and a state in which a warp is applied in a direction opposite to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components is provided. .

【0034】そして、上下に交互に変位して配設したレ
ベラーローラの間を、逆反りが付与された状態となった
電子部品実装用フィルムキャリアテープが、加熱状態で
上下に通過することによって、レベラーローラの上下交
互に位置する相互に対峙するレベラーローラの曲率を有
する周面によって、ソルダーレジスト、接着剤、基材フ
ィルムなどの材料が軟化した状態で塑性変形が生じ、フ
ラットな状態に交互に矯正されることになる。従って、
これらのレベラーローラを通過した電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープは、全体的にフラットな状態とな
る。
Then, the film carrier tape for mounting electronic components, which is in a state in which reverse warpage is applied, passes between the leveler rollers which are alternately displaced up and down in a heated state. Due to the curved peripheral surfaces of the leveler rollers, which are located alternately above and below the leveler rollers, plastic deformation occurs in a softened state of materials such as solder resist, adhesive, and base film, and alternately to a flat state Will be corrected. Therefore,
The electronic component mounting film carrier tape that has passed through these leveler rollers is entirely flat.

【0035】このように全体的にフラットな状態となっ
た電子部品実装用フィルムキャリアテープは、上下に交
互に変位して配設したレベラーローラの間を、冷却状態
で上下に通過することによって、レベラーローラの上下
交互に位置する相互に対峙するレベラーローラの曲率を
有する周面によって、さらによりフラットな状態に交互
に矯正されることになる。従って、これらのレベラーロ
ーラを通過した電子部品実装用フィルムキャリアテープ
は、最終的に全体的によりフラットな状態となる。そし
て、この状態のままで、ソルダーレジスト、接着剤、基
材フィルムなどの材料が硬化した状態となり、極めてフ
ラットな状態が保持されることになる。
The film carrier tape for mounting electronic parts, which is in a flat state as a whole, passes vertically through leveler rollers which are alternately displaced up and down in a cooled state. Due to the peripheral surfaces having the curvature of the leveler rollers facing each other which are located alternately on the upper and lower sides, the flattened state is corrected alternately. Therefore, the electronic component mounting film carrier tape that has passed through these leveler rollers eventually becomes flatter overall. Then, in this state, the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are in a cured state, and an extremely flat state is maintained.

【0036】また、本発明の電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの反り除去方法は、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの送給方向に対して、上下に交互に変
位して配設した複数のレベラーローラの間を、加熱状態
で電子部品実装用フィルムキャリアテープを通過させ
て、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを除
去し、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを、
加熱状態で電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅
方向に反りと逆方向に拘束して、逆反りを付与した後、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを、その幅
方向に反りと逆方向に拘束して逆反りを付与しつつ、電
子部品実装用フィルムキャリアテープを冷却して、反り
を除去した状態を保持するようにすることを特徴とす
る。
The method for removing warpage of a film carrier tape for mounting an electronic component according to the present invention is directed to a method of removing a plurality of leveler rollers which are disposed so as to be alternately displaced up and down with respect to a feeding direction of the film carrier tape for mounting an electronic component. In between, passing the electronic component mounting film carrier tape in a heated state, removing the warpage of the electronic component mounting film carrier tape, the electronic component mounting film carrier tape,
After being restrained in the opposite direction to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components in a heated state and imparting a reverse warp,
The electronic component mounting film carrier tape is constrained in a direction opposite to the warp in the width direction to impart a reverse warp, while cooling the electronic component mounting film carrier tape to maintain a state in which the warp is removed. It is characterized by the following.

【0037】また、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープの反り除去装置は、電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの送給方向に対して、上下に交互に変位して配
設した複数のレベラーローラを備え、前記レベラーロー
ラの間を、電子部品実装用フィルムキャリアテープを加
熱状態で通過させることによって、電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの反りを除去するように構成した加
熱反り除去部と、前記加熱反り除去部で反りの除去され
た電子部品実装用フィルムキャリアテープを、加熱状態
で電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に反
りと逆方向に拘束して、逆反りを付与する逆反り付与拘
束部材を備えた加熱逆反り付与部と、前記加熱逆反り付
与部で逆反りを付与された電子部品実装用フィルムキャ
リアテープを、冷却状態で電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束して逆反りを
付与する逆反り付与拘束部材を備えた冷却逆反り付与部
と、を備えることを特徴とする。
Further, the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting an electronic component is provided with a plurality of leveler rollers which are disposed so as to be alternately displaced up and down with respect to a feeding direction of the film carrier tape for mounting an electronic component. Between the leveler rollers, by passing the electronic component mounting film carrier tape in a heated state, thereby removing the warpage of the electronic component mounting film carrier tape; and a heating warp removing unit configured to remove the warpage of the electronic component mounting film carrier tape. The electronic component mounting film carrier tape from which the warp has been removed is provided with a reverse warp imparting restricting member that constrains the electronic component mounting film carrier tape in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape in a direction opposite to the warp in a heated state, and imparts a reverse warp. The heated reverse warp imparting section and the electronic component mounting film carrier tape to which reverse warpage has been imparted by the heated reverse warp imparting section are cooled. Characterized in that it comprises a cooling inverse warp applying portion having a reverse warp applying restraining member for applying an inverse warp constraining the warp direction opposite to the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components in the state.

【0038】このように構成することによって、電子部
品実装用フィルムキャリアテープに生じた反りが、上下
に交互に変位して配設したレベラーローラの間を、逆反
りが付与された状態となった電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープが、加熱状態で上下に通過することによっ
て、レベラーローラの上下交互に位置する相互に対峙す
るレベラーローラの曲率を有する周面によって、ソルダ
ーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材料が軟化し
た状態で塑性変形が生じ、フラットな状態に交互に矯正
されることになる。従って、これらのレベラーローラを
通過した電子部品実装用フィルムキャリアテープは、全
体的にフラットな状態となる。
With such a configuration, the warpage generated in the film carrier tape for mounting electronic components is in a state in which reverse warpage is applied between the leveler rollers disposed alternately and vertically. The electronic component mounting film carrier tape is passed through up and down in a heated state, so that the peripheral surfaces having the curvatures of the leveler rollers facing each other are alternately positioned above and below the leveler rollers, so that a solder resist, an adhesive, and a base film are formed. Plastic deformation occurs when the material is softened, and the material is alternately corrected to a flat state. Therefore, the electronic component mounting film carrier tape that has passed through these leveler rollers is in a flat state as a whole.

【0039】そして、このように全体的にフラットな状
態となった電子部品実装用フィルムキャリアテープは、
加熱状態で逆反り付与拘束部材で電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に上方に湾曲
して、拘束されることになる。従って、ソルダーレジス
ト、接着剤、基材フィルムなどの材料が軟化した状態で
塑性変形が生じて、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープの幅方向に反りと逆方向に逆反りが付与された状態
となる。
The film carrier tape for mounting electronic parts, which is in a flat state as a whole, is as follows.
In the heated state, the film carrier tape for mounting electronic components is curved upward and in the opposite direction to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components and is restrained by the reverse warp imparting and restraining member. Accordingly, plastic deformation occurs in a state in which the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are softened, and a state in which a warp is applied in a direction opposite to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components is provided. .

【0040】このように逆反りが付与された状態ととな
った電子部品実装用フィルムキャリアテープは、冷却状
態で逆反り付与拘束部材によって、電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束され
て、逆反りが付与された状態で矯正されることになる。
従って、この逆反りによって電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープに生じている反り変形が相殺され、この状
態のままで、ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルム
などの材料が硬化した状態となり、ほぼフラットな状態
が保持されることになる。
The electronic component mounting film carrier tape in the state in which the reverse warpage has been applied as described above is reversely warped in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape in the cooled state by the reverse warp application restricting member. It is constrained in the direction and is corrected in a state where the reverse warpage is given.
Therefore, the warpage generated in the film carrier tape for mounting electronic components is offset by the reverse warpage, and in this state, the material such as the solder resist, the adhesive, and the base film is hardened, and is almost flat. The state will be maintained.

【0041】また、本発明の電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの反り除去方法は、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの送給方向に対して、上下に交互に変
位して配設した複数のレベラーローラの間を、加熱状態
で電子部品実装用フィルムキャリアテープを通過させ
て、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを除
去し、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを、
加熱状態で電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅
方向に反りと逆方向に拘束して、逆反りを付与した後、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラの間を、電子部品実装用フィルムキャリアテー
プを通過させつつ、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープを冷却して、その反りを除去するとともに、反りを
除去した状態を保持するようにすることを特徴とする。
Further, the method of removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention is directed to a method of removing a plurality of leveler rollers which are disposed so as to be alternately displaced up and down with respect to a feeding direction of the film carrier tape for mounting electronic components. In between, passing the electronic component mounting film carrier tape in a heated state, removing the warpage of the electronic component mounting film carrier tape, the electronic component mounting film carrier tape,
After being restrained in the opposite direction to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components in a heated state and imparting a reverse warp,
In the feeding direction of the electronic component mounting film carrier tape, between a plurality of leveler rollers arranged alternately displaced up and down, while passing the electronic component mounting film carrier tape, the electronic component mounting It is characterized in that the film carrier tape is cooled to remove the warp and to maintain the state where the warp has been removed.

【0042】また、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープの反り除去装置は、電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの送給方向に対して、上下に交互に変位して配
設した複数のレベラーローラを備え、前記レベラーロー
ラの間を、電子部品実装用フィルムキャリアテープを加
熱状態で通過させることによって、電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの反りを除去するように構成した加
熱反り除去部と、前記加熱反り除去部で反りの除去され
た電子部品実装用フィルムキャリアテープを、加熱状態
で電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に反
りと逆方向に拘束して逆反りを付与する逆反り付与拘束
部材を備えた加熱逆反り付与部と、前記電子部品実装用
フィルムキャリアテープの送給方向に対して、上下に交
互に変位して配設した複数のレベラーローラを備え、前
記レベラーローラの間を、前記加熱逆反り付与部で逆反
りを付与された電子部品実装用フィルムキャリアテープ
を、冷却状態で通過させることによって、反りを除去し
た状態を保持するよう構成した反り除去冷却部と、を備
えることを特徴とする。
The device for removing warpage of a film carrier tape for mounting an electronic component is provided with a plurality of leveler rollers which are alternately displaced up and down with respect to a feeding direction of the film carrier tape for mounting an electronic component. Between the leveler rollers, by passing the electronic component mounting film carrier tape in a heated state, thereby removing the warpage of the electronic component mounting film carrier tape; and a heating warp removing unit configured to remove the warpage of the electronic component mounting film carrier tape. The electronic component mounting film carrier tape from which the warp was removed was provided with a reverse warp imparting restraint member for imparting a reverse warp by constraining the electronic component mounting film carrier tape in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape in a heating direction in the opposite direction. The heating reverse warpage imparting section and the electronic component mounting film carrier tape are arranged so as to be alternately displaced up and down with respect to the feeding direction. A plurality of leveler rollers, and a film carrier tape for mounting electronic components to which a reverse warp has been applied by the heating reverse warp applying section, in a cooled state, between the leveler rollers, thereby removing the warp. And a warp removal cooling unit configured to hold

【0043】このように構成することによって、電子部
品実装用フィルムキャリアテープに生じた反りが、上下
に交互に変位して配設したレベラーローラの間を、逆反
りが付与された状態となった電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープが、加熱状態で上下に通過することによっ
て、レベラーローラの上下交互に位置する相互に対峙す
るレベラーローラの曲率を有する周面によって、ソルダ
ーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材料が軟化し
た状態で塑性変形が生じ、フラットな状態に交互に矯正
されることになる。従って、これらのレベラーローラを
通過した電子部品実装用フィルムキャリアテープは、全
体的にフラットな状態となる。
With this configuration, the warpage generated in the film carrier tape for mounting electronic components is in a state in which reverse warpage is applied between the leveler rollers disposed alternately up and down. The electronic component mounting film carrier tape is passed through up and down in a heated state, so that the peripheral surfaces having the curvatures of the leveler rollers facing each other are alternately positioned above and below the leveler rollers, so that a solder resist, an adhesive, and a base film are formed. Plastic deformation occurs when the material is softened, and the material is alternately corrected to a flat state. Therefore, the electronic component mounting film carrier tape that has passed through these leveler rollers is in a flat state as a whole.

【0044】そして、このように全体的にフラットな状
態となった電子部品実装用フィルムキャリアテープは、
加熱状態で逆反り付与拘束部材で電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に上方に湾曲
して、拘束されることになる。従って、ソルダーレジス
ト、接着剤、基材フィルムなどの材料が軟化した状態で
塑性変形が生じて、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープの幅方向に反りと逆方向に逆反りが付与された状態
となる。
The film carrier tape for mounting electronic parts, which is in a flat state as a whole, is as follows.
In the heated state, the film carrier tape for mounting electronic components is curved upward and in the opposite direction to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components and is restrained by the reverse warp imparting and restraining member. Accordingly, plastic deformation occurs in a state in which the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are softened, and a state in which a warp is applied in a direction opposite to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components is provided. .

【0045】このように逆反りが付与された状態ととな
った電子部品実装用フィルムキャリアテープは、上下に
交互に変位して配設したレベラーローラの間を、冷却状
態で上下に通過することによって、レベラーローラの上
下交互に位置する相互に対峙するレベラーローラの曲率
を有する周面によって、さらによりフラットな状態に交
互に矯正されることになる。従って、これらのレベラー
ローラを通過した電子部品実装用フィルムキャリアテー
プは、最終的に全体的によりフラットな状態となる。そ
して、この状態のままで、ソルダーレジスト、接着剤、
基材フィルムなどの材料が硬化した状態となり、極めて
フラットな状態が保持されることになる。
The film carrier tape for mounting electronic components in the state in which the reverse warpage has been imparted as described above, passes vertically between the leveler rollers that are alternately displaced up and down in a cooled state. As a result, the leveler rollers are alternately corrected into a flatter state by the peripheral surfaces having the curvatures of the leveler rollers facing each other which are alternately positioned vertically. Therefore, the electronic component mounting film carrier tape that has passed through these leveler rollers eventually becomes flatter overall. And in this state, solder resist, adhesive,
The material such as the base film is in a cured state, and an extremely flat state is maintained.

【0046】[0046]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態(実施例)について説明する。図1は、本
発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り除
去装置の第1の実施例の全体の概略図、図2は、図1の
電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り除去装置
の加熱逆反り付与部の主要部分の概略を説明する断面
図、図3は、図1の電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープの反り除去装置の反り除去冷却部の上面図、図4
は、図3のA方向の側面図、図5は、図3のB−B線で
の断面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments (examples) of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall schematic view of a first embodiment of a device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing heating of the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components of FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view schematically illustrating a main part of the reverse warp imparting unit. FIG. 3 is a top view of a warp removing cooling unit of the warp removing device of the electronic component mounting film carrier tape of FIG.
Is a side view in the direction A in FIG. 3, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.

【0047】図1に示したように、10は全体で本発明
の電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り除去装
置(以下、単に「反り除去装置」と言う。)を示してい
る。反り除去装置10は、図1に示したように、送り出
し部12と、加熱逆反り付与部14と、反り除去冷却部
16と、巻き取り部18とを備えている。送り出し部1
2には、例えば、CSP、BGAのようなタイプの電子
部品実装用フィルムキャリアテープであって、ポリイミ
ドフィルム等のフィルムに接着剤層を塗布したベーステ
ープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダーレ
ジスト層が設けられた電子部品実装用フィルムキャリア
テープTが、スペーサSを介して巻装されたリールR
が、送り出し駆動軸20に装着されている。
As shown in FIG. 1, reference numeral 10 denotes a warp removing device (hereinafter, simply referred to as a "warp removing device") of the film carrier tape for mounting electronic components of the present invention. As shown in FIG. 1, the warp removing device 10 includes a sending-out unit 12, a heating reverse warpage applying unit 14, a warp removing cooling unit 16, and a winding unit 18. Delivery unit 1
2 is a film carrier tape for mounting electronic components such as CSP and BGA, for example, a base tape in which an adhesive layer is applied to a film such as a polyimide film, and a solder resist as a circuit pattern and a protective insulating layer. A reel R on which a film carrier tape T for mounting electronic components provided with a layer is wound via a spacer S
Are mounted on the delivery drive shaft 20.

【0048】そして、図示しない駆動モータの駆動によ
り、送り出し駆動軸20が回転して、電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープTが、リールRからスペーサSと
ともに繰り出されて、案内ローラ22を介して、加熱逆
反り付与部14へと供給されるようになっている。加熱
逆反り付与部14は、図1に示したように、加熱逆反り
付与室13を備えており、この加熱逆反り付与室13の
内部に、電子部品実装用フィルムキャリアテープTの搬
送方向に沿って、逆反り付与拘束部材11が配置されて
いる。
Then, by driving a drive motor (not shown), the feed drive shaft 20 rotates, and the film carrier tape T for mounting electronic components is fed out from the reel R together with the spacer S, and is heated via the guide roller 22. It is supplied to the reverse warpage imparting section 14. As shown in FIG. 1, the heating reverse warpage imparting section 14 includes a heating reverse warpage imparting chamber 13, and inside the heating reverse warpage imparting chamber 13, in the transport direction of the electronic component mounting film carrier tape T. Along the way, a reverse warp imparting restraint member 11 is arranged.

【0049】この逆反り付与拘束部材11は、図2に示
したように、加熱逆反り付与室13の両側の内側壁13
aに脱着自在に配設されており、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープTの搬送方向に延設された一対のレー
ル15を備えている。これらのレール15は、電子部品
実装用フィルムキャリアテープTの幅方向の端部T’を
案内する上方に傾斜した案内溝17が形成されている。
As shown in FIG. 2, the reverse warp imparting restraining member 11 is provided with inner side walls 13 on both sides of the heating reverse warp imparting chamber 13.
a, a pair of rails 15 extending in the direction of transport of the film carrier tape T for mounting electronic components. These rails 15 are formed with guide grooves 17 that are inclined upward and guide the ends T ′ in the width direction of the film carrier tape T for mounting electronic components.

【0050】これらの案内溝17の間の距離は、電子部
品実装用フィルムキャリアテープTの幅よりも小さくな
るように設定されており、これにより、図2に示したよ
うに、案内溝17に挿通された電子部品実装用フィルム
キャリアテープTが、上方に湾曲するように案内される
ようになっている。また、加熱逆反り付与室13は、図
示しないが、熱風などの熱源に接続されており、加熱逆
反り付与室13内を一定温度に加熱できるようになって
いる。なお、この加熱逆反り付与室13内を加熱する方
式としては、限定されるものではなく、例えば、電気
炉、熱風炉、赤外線加熱炉など種々採用可能である。
The distance between the guide grooves 17 is set so as to be smaller than the width of the film carrier tape T for mounting electronic components, and as a result, as shown in FIG. The inserted electronic component mounting film carrier tape T is guided to be curved upward. Although not shown, the heating reverse warpage imparting chamber 13 is connected to a heat source such as hot air so that the inside of the heating reverse warpage imparting chamber 13 can be heated to a constant temperature. The method of heating the inside of the heating reverse warp imparting chamber 13 is not limited, and various methods such as an electric furnace, a hot blast furnace, and an infrared heating furnace can be adopted.

【0051】このように構成することによって、ソルダ
ーレジストを、加熱炉や、熱風乾燥炉などで乾燥、硬化
(キュア)した後に、ソルダーレジスト加工面が凹状と
なるように、上方に湾曲して生じた電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープTに生じた反りが、電子部品実装用
フィルムキャリアテープTが、加熱状態で逆反り付与拘
束部材11の案内溝17で、図2に示したように、電子
部品実装用フィルムキャリアテープTの幅方向に反りと
逆方向に上方に湾曲して、すなわち、電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープTの配線パターンが形成された面
を上にして凸状に湾曲した状態で拘束されることにな
る。
With this configuration, after the solder resist is dried and cured (cured) in a heating furnace, a hot air drying furnace, or the like, the solder resist is bent upward so that the processed surface of the solder resist becomes concave. The warpage generated in the film carrier tape T for mounting electronic components is caused by the fact that the film carrier tape T for mounting electronic components is heated by the guide grooves 17 of the reverse warp imparting and restraining member 11 as shown in FIG. The film carrier tape for mounting T is curved upward in the direction opposite to the warp in the width direction, that is, in a state in which the surface on which the wiring pattern of the film carrier tape T for mounting electronic components is formed is upwardly curved. You will be bound.

【0052】従って、ソルダーレジスト、接着剤、基材
フィルムなどの材料が軟化した状態で塑性変形が生じ
て、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に
反りと逆方向に逆反りが付与された状態となる。この場
合、逆反り拘束部材11によって、電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープTを湾曲させる程度としては、電子
部品実装用フィルムキャリアテープTの厚さ、幅、ソル
ダーレジストなどの材質にもよるが、図2に示したよう
に、電子部品実装用フィルムキャリアテープTの中央部
分での反り距離Zが、2〜15mm、好ましくは、5〜
10mm、また、電子部品実装用フィルムキャリアテー
プTの幅に対して、10〜20%の割合とするのが望ま
しい。
Therefore, plastic deformation occurs in a softened state of the material such as the solder resist, the adhesive, and the base film, so that the film carrier tape for mounting electronic components is warped in the width direction and in the opposite direction. State. In this case, the degree to which the film carrier tape T for mounting electronic components is bent by the reverse warp restraining member 11 depends on the thickness, width, material such as solder resist of the film carrier tape T for mounting electronic components. As shown in FIG. 2, the warp distance Z at the center of the film carrier tape T for mounting electronic components is 2 to 15 mm, preferably 5 to 15 mm.
It is desirable to set the ratio to 10 mm and 10 to 20% of the width of the film carrier tape T for mounting electronic components.

【0053】また、上記加熱逆反り付与室13内の温度
は、ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材
料などの種類にもよるが、少なくとも、ソルダーレジス
トを軟化させる必要があるため、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープTの表面の温度が、例えば、ソルダー
レジストがエポキシ系である場合に、80〜300℃、
好ましくは、150〜200℃となるようにするのが望
ましい。
The temperature in the heating and reverse warpage applying chamber 13 depends on the kind of the material such as the solder resist, the adhesive, and the base film, but at least the solder resist must be softened. When the temperature of the surface of the component mounting film carrier tape T is, for example, 80 to 300 ° C. when the solder resist is epoxy-based,
Preferably, the temperature is set to 150 to 200 ° C.

【0054】また、この上記加熱逆反り付与室13内を
電子部品実装用フィルムキャリアテープTを通過させる
時間は、電子部品実装用フィルムキャリアテープTの厚
さ、幅、材質にもよるが、上記反り除去効果を付与する
ためには、1〜5m/分の送給速度、30〜150秒の
時間、特に、逆反り拘束部材11を通過する時間を30
〜60秒とするのが望ましい。
The time required for the electronic component mounting film carrier tape T to pass through the heating reverse warp imparting chamber 13 depends on the thickness, width and material of the electronic component mounting film carrier tape T. In order to impart the warp removing effect, the feed speed is 1 to 5 m / min, the time of 30 to 150 seconds, and particularly, the time of passing through the reverse warp restraining member 11 is 30 minutes.
It is desirable to set it to 60 seconds.

【0055】このように、逆反りが付与された状態とな
った電子部品実装用フィルムキャリアテープTは、つづ
いて、反り除去冷却部16を通過することによって、電
子部品実装用フィルムキャリアテープTが冷却され、ソ
ルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材料が硬
化した状態となり、フラットな状態に保持されることに
なる。
As described above, the electronic component mounting film carrier tape T in a state in which the reverse warpage has been imparted subsequently passes through the warp removal cooling unit 16 so that the electronic component mounting film carrier tape T is formed. Upon cooling, the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are in a hardened state, and are kept flat.

【0056】この反り除去冷却部16は、冷却反り除去
室24を備えており、この冷却反り除去室24の内部
に、冷却反り除去レベラーユニット26が配置されてい
る。冷却反り除去レベラーユニット26は、図3〜図5
に示したように、支持棒部材28で固定された一対の側
板30の間に、導入ローラ32、複数のレベラーローラ
34〜40、ならびに導出ローラ42が、それぞれ回転
支持軸44を介して装着されている。なお、これらの導
入ローラ32、レベラーローラ34〜40、ならびに導
出ローラ42は、それぞれ回転支持軸44にベアリング
41を介して、回転可能に装着されている。
The warp removing cooling section 16 has a cooling warp removing chamber 24, and a cooling warp removing leveler unit 26 is disposed inside the cooling warp removing chamber 24. The cooling / warping removal leveler unit 26 is shown in FIGS.
As shown in FIG. 5, between the pair of side plates 30 fixed by the support rod member 28, the introduction roller 32, the plurality of leveler rollers 34 to 40, and the discharge roller 42 are mounted via the rotation support shaft 44, respectively. ing. The introduction roller 32, the leveler rollers 34 to 40, and the output roller 42 are rotatably mounted on a rotation support shaft 44 via a bearing 41.

【0057】これらの導入ローラ32、レベラーローラ
34〜40、ならびに導出ローラ42には、それぞれ電
子部品実装用フィルムキャリアテープTをガイドするた
めの段部45が形成されている。また、側板30には、
4箇所に係合フランジ46が突設されており、これらの
フランジ46が、冷却反り除去室24の内側壁48に形
成されたフランジ50に脱着自在に係合することによっ
て、冷却反り除去レベラーユニット26を冷却反り除去
室24から取り外しできるようになっている。
Steps 45 for guiding the film carrier tape T for mounting electronic components are formed on the introduction roller 32, the leveler rollers 34 to 40, and the lead-out roller 42, respectively. Also, on the side plate 30,
Engaging flanges 46 are protrudingly provided at four places, and these flanges 46 are detachably engaged with flanges 50 formed on the inner wall 48 of the cooling warp removing chamber 24, whereby a cooling warp removing leveler unit is provided. 26 can be removed from the cooling warp removal chamber 24.

【0058】この冷却反り除去レベラーユニット26で
は、図4に示したように、冷却反り除去室24へと供給
された電子部品実装用フィルムキャリアテープTが、冷
却反り除去室24内を一点鎖線で示すように導入ローラ
32に導入され、この電子部品実装用フィルムキャリア
テープTの送給方向Cに対して、レベラーローラ34〜
40が上下方向に交互に変位して配設されている。
In the cooling warp removing leveler unit 26, as shown in FIG. 4, the electronic component mounting film carrier tape T supplied to the cooling warp removing chamber 24 is dashed and dotted inside the cooling warp removing chamber 24. As shown in the drawing, it is introduced into the introduction roller 32, and the leveler rollers 34 to
Numerals 40 are alternately arranged in the vertical direction.

【0059】そして、図4の一点鎖線Dで示すように、
導入ローラ32に導入され電子部品実装用フィルムキャ
リアテープTは、レベラーローラ34〜40のそれぞれ
外側に位置する外周面34a〜40aの間を通過するよ
うに巻き回しされている。なお、冷却反り除去室24
は、図示しないが、冷却反り除去室24内に送風して強
制的冷却するものであってもよく、また、自然に冷却す
るものであってもよい。
Then, as shown by a dashed line D in FIG.
The electronic component mounting film carrier tape T introduced into the introduction roller 32 is wound so as to pass between the outer peripheral surfaces 34a to 40a located outside the leveler rollers 34 to 40, respectively. The cooling warp removal chamber 24
Although not shown, air may be blown into the cooling warp removal chamber 24 to perform forced cooling, or may be naturally cooled.

【0060】このように構成することによって、加熱逆
反り付与部14を通過することによって、逆反りの付与
された電子部品実装用フィルムキャリアテープTは、こ
れらの上下に交互に変位して配設したレベラーローラ3
4〜40の間を、冷却状態で上下に通過する。これによ
って、レベラーローラ34〜40の上下交互に位置する
相互に対峙するレベラーローラの曲率を有する外周面3
4a〜40aによって、フラットな状態に交互に矯正さ
れることになる。従って、これらのレベラーローラ34
〜40を通過した電子部品実装用フィルムキャリアテー
プは、最終的に全体的にフラットな状態となる。この状
態のままで、電子部品実装用フィルムキャリアテープT
が冷却されるので、ソルダーレジスト、接着剤、基材フ
ィルムなどの材料が硬化した状態となり、フラットな状
態が保持されることになる。
With this configuration, the film carrier tape T for mounting electronic components to which the reverse warp is applied by passing through the heating reverse warp applying section 14 is alternately displaced up and down. Leveler roller 3
It passes between 4 and 40 in the cooled state up and down. Thereby, the outer peripheral surface 3 having the curvature of the leveler rollers 34 to 40 which are located alternately in the upper and lower directions and which face each other.
By 4a-40a, it will be alternately corrected to a flat state. Therefore, these leveler rollers 34
The electronic component mounting film carrier tape that has passed through 40 finally becomes entirely flat. In this state, the electronic component mounting film carrier tape T
Is cooled, the material such as the solder resist, the adhesive, and the base film is in a cured state, and a flat state is maintained.

【0061】この場合、上記反り除去効果を付与するた
めには、電子部品実装用フィルムキャリアテープTの厚
さ、幅、材質にもよるが、図6に示したように、レベラ
ーローラ34〜40の曲率半径Rを10〜50mmの
間、好ましくは、15〜30mmとし、レベラーローラ
34〜40の、電子部品実装用フィルムキャリアテープ
Tの送給方向Cに対する上下の変位量、すなわち押し込
み量Xは、0〜100mm、好ましくは10〜30m
m、レベラーローラ34〜40の間の離間距離Yは、3
0〜100mm、好ましくは50〜80mmと設定する
のが望ましい。
In this case, in order to impart the above-described warp removing effect, depending on the thickness, width and material of the film carrier tape T for mounting electronic components, as shown in FIG. The curvature radius R is 10 to 50 mm, preferably 15 to 30 mm, and the amount of vertical displacement of the leveler rollers 34 to 40 with respect to the feeding direction C of the film carrier tape T for mounting electronic components, that is, the pushing amount X is , 0-100 mm, preferably 10-30 m
m, the distance Y between the leveler rollers 34 to 40 is 3
It is desirably set to 0 to 100 mm, preferably 50 to 80 mm.

【0062】なお、図示しないが、これらのレベラーロ
ーラ34〜40の相互の離間距離、ならびに上下の変位
量を、自由に調整できるように、側板30に溝を設けて
おき、この溝内を、回転支持軸44が位置移動できるよ
うにしてもよい。また、上記冷却反り除去室24内の温
度は、ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの
材料などの種類にもよるが、少なくとも、ソルダーレジ
ストを硬化させ、反りが矯正された状態を固定するため
には、電子部品実装用フィルムキャリアテープTの表面
の温度が、例えば、ソルダーレジストがエポキシ系であ
る場合に、80〜300℃、好ましくは、150〜20
0℃となるようにするのが望ましい。
Although not shown, a groove is provided in the side plate 30 so that the distance between the leveler rollers 34 to 40 and the amount of vertical displacement can be freely adjusted. The rotation support shaft 44 may be moved in position. The temperature in the cooling and warp removal chamber 24 depends on the type of material such as a solder resist, an adhesive, and a base film, but at least the solder resist is cured to fix the warped state. For example, when the temperature of the surface of the electronic component mounting film carrier tape T is, for example, 80 to 300 ° C., preferably 150 to 20 ° C. when the solder resist is epoxy-based,
It is desirable that the temperature be 0 ° C.

【0063】なお、この場合、図示しないが、これらの
導入ローラ32、レベラーローラ34〜40、ならびに
導出ローラ42自体を冷媒に接続された冷却ローラとし
て、電子部品実装用フィルムキャリアテープTの表面を
直接冷却するようにしてもよい。また、この上記冷却反
り除去室24内を電子部品実装用フィルムキャリアテー
プTを通過させる時間は、電子部品実装用フィルムキャ
リアテープTの厚さ、幅、材質にもよるが、上記反り除
去効果を付与するためには、1〜5m/分の送給速度、
30〜120秒の時間、特に、冷却反り除去レベラーユ
ニット26を通過する時間を30〜60秒とするのが望
ましい。
In this case, although not shown, the introduction roller 32, the leveler rollers 34 to 40, and the discharge roller 42 themselves are used as cooling rollers connected to a refrigerant, and the surface of the film carrier tape T for mounting electronic components is used. You may make it cool directly. The time required for the electronic component mounting film carrier tape T to pass through the cooling warp removal chamber 24 depends on the thickness, width, and material of the electronic component mounting film carrier tape T. To apply, feed speed of 1-5m / min,
It is desirable that the time of 30 to 120 seconds, particularly the time of passing through the cooling warp removing leveler unit 26 be 30 to 60 seconds.

【0064】また、レベラーローラ34〜40の数も、
ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材料な
どの種類にもよるが、少なくとも上下に2つ以上とし、
5〜20とするのが、電子部品実装用フィルムキャリア
テープTの破損が生じず、一定の強度を保持するために
は望ましい。このように、上記冷却反り除去室24内の
冷却反り除去レベラーユニット26を通過することによ
って、反りが矯正され全体的にフラットな状態となった
電子部品実装用フィルムキャリアテープTは、案内ロー
58を通過して、次の巻き取り部18に供給される。
The number of leveler rollers 34 to 40 is also
Depending on the type of material such as solder resist, adhesive, base film, etc., at least two at the top and bottom,
A value of 5 to 20 is desirable in order to prevent the electronic component mounting film carrier tape T from being damaged and to maintain a certain strength. As described above, the film carrier tape T for mounting electronic components, which has been corrected to be a flat state as a whole by passing through the cooling warp removing leveler unit 26 in the cooling warp removing chamber 24, is guided by the guide rollers 58. And is supplied to the next winding unit 18.

【0065】図1に示したように、巻き取り部18に供
給された電子部品実装用フィルムキャリアテープTは、
巻き取り駆動軸56に装着されたリールRに、案内ロー
ラ58を介して、図示しない駆動モータの駆動により巻
き取り軸56が回転することにより、電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープTが巻き取られる。この際、送り
出し部12のリールRから繰り出されたスペーサSが、
案内ローラ59、60及びダンサーローラ(段差ロー
ラ)62を介して、巻き取り部18のリールRに供給さ
れ、電子部品実装用フィルムキャリアテープTの間に介
装され、電子部品実装用フィルムキャリアテープ同士が
接触して損傷しないように保護するようになっている。
As shown in FIG. 1, the film carrier tape T for mounting electronic components supplied to the winding section 18 is
The film carrier tape T for mounting electronic components is wound on the reel R mounted on the winding drive shaft 56 by the drive of a drive motor (not shown) via the guide roller 58. At this time, the spacer S fed from the reel R of the sending section 12 is
It is supplied to the reel R of the winding unit 18 via the guide rollers 59 and 60 and the dancer roller (step roller) 62, is interposed between the electronic component mounting film carrier tapes T, and is mounted on the electronic component mounting film carrier tape. They are designed to protect them from contact and damage.

【0066】このような構成の本発明の反り除去装置1
0によれば、ソルダーレジストの密着性を低下させるこ
となく、ソルダーレジスト層の狭幅化および微小孔等の
ファインパターンへの適用性も良好で、ICなどの電子
部品の実装組立時に、インナーリードの切断、封止樹脂
の割れ等の支障が生じず、しかも、液晶表示素子などの
プリント基板への実装時においても、位置合わせ不良等
生じない正確な位置あわせを行うことができる。
The warp removing apparatus 1 of the present invention having such a configuration
According to No. 0, the applicability to the narrow pattern of the solder resist layer and the fine pattern such as the fine hole are good without lowering the adhesiveness of the solder resist, and the inner lead is used for mounting and assembling electronic components such as ICs. It does not cause any trouble such as cutting of the sealing resin or cracking of the sealing resin, and can perform accurate positioning without causing a positioning defect or the like even when mounted on a printed circuit board such as a liquid crystal display element.

【0067】なお、上記実施例では、図6に示したよう
に、電子部品実装用フィルムキャリアテープTを、レベ
ラーローラ34〜40のそれぞれ外側に位置する外周面
34a〜40aの間を通過するように巻き回ししたが、
電子部品実装用フィルムキャリアテープTの反りが小さ
い場合には、図6に示したように、電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープTを、レベラーローラ34〜40の
それぞれ内側に位置する内周面34b〜40bの間を通
過するように巻き回しすることも可能である。
In the above embodiment, as shown in FIG. 6, the electronic component mounting film carrier tape T is passed between the outer peripheral surfaces 34a to 40a located outside the leveler rollers 34 to 40, respectively. Was wound around
When the warpage of the electronic component mounting film carrier tape T is small, as shown in FIG. 6, the electronic component mounting film carrier tape T is transferred to the inner peripheral surfaces 34b to 34h located inside the leveler rollers 34 to 40, respectively. It is also possible to wind so as to pass between 40b.

【0068】図7は、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープの反り除去装置の第2の実施例を示す図
1と同様な概略構成図である。上記の第1の実施例と、
基本的には同様な構成であり、同じ構成部材には、10
0を加えた同じ参照番号を付してその説明は省略する。
この実施例の反り除去装置110では、上記第1の実施
例の逆反り付与部14の代わりに、加熱反り除去部11
4を設けている。
FIG. 7 is a schematic structural view similar to FIG. 1 showing a second embodiment of the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention. The first embodiment described above,
Basically, the configuration is the same.
The same reference numerals to which 0 has been added are assigned, and description thereof is omitted.
In the warp removing device 110 of this embodiment, a heating warp removing unit 11 is used instead of the reverse warp imparting unit 14 of the first embodiment.
4 are provided.

【0069】この加熱反り除去部114には、加熱反り
除去室113が設けられており、この加熱反り除去室1
13の内部に、加熱反り除去レベラーユニット126が
配置されている。加熱反り除去レベラーユニット126
は、上記の第1の実施例の冷却反り除去レベラーユニッ
ト26と同様な構成となっている。また、この実施例の
反り除去装置110では、上記第1の実施例の反り除去
冷却部16の代わりに、冷却逆反り付与部116が設け
られている。
The heating warp removing section 114 is provided with a heating warp removing chamber 113.
The heating / warping removal leveler unit 126 is disposed inside the unit 13. Heat warpage removal leveler unit 126
Has a configuration similar to that of the cooling warpage removal leveler unit 26 of the first embodiment. Further, in the warp removing device 110 of this embodiment, a cooling reverse warpage imparting unit 116 is provided instead of the warp removing cooling unit 16 of the first embodiment.

【0070】この冷却逆反り付与部116には冷却反り
除去室124、逆反り付与拘束部材111が配置されて
いる。逆反り付与拘束部材111は、上記の第1の実施
例の逆反り付与拘束部材11と同様な構成となってい
る。このように構成することによって、ソルダーレジス
トを、加熱炉や、熱風乾燥炉などで乾燥、硬化(キュ
ア)した後に、ソルダーレジスト加工面が凹状となるよ
うに、上方に湾曲して生じた電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTに生じた反りが、これらの上下に交互に
変位して配設したレベラーローラ134〜140の間
を、電子部品実装用フィルムキャリアテープが、加熱状
態で上下に通過する。
In the cooling reverse warpage providing section 116, a cooling warp removing chamber 124 and a reverse warp providing restraint member 111 are arranged. The reverse warp imparting restricting member 111 has the same configuration as the reverse warp imparting restricting member 11 of the first embodiment. With this configuration, after the solder resist is dried and cured in a heating furnace, a hot air drying furnace, or the like, an electronic component generated by curving upward so that the processed surface of the solder resist becomes concave. The warpage generated in the mounting film carrier tape T passes vertically between the leveler rollers 134 to 140 which are alternately displaced up and down in the heated state.

【0071】これによって、レベラーローラ134〜1
40の上下交互に位置する相互に対峙するレベラーロー
ラの曲率を有する外周面134a〜140aによって、
ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材料が
軟化した状態で塑性変形が生じ、フラットな状態に交互
に矯正されることになる。従って、これらのレベラーロ
ーラ134〜140を通過した電子部品実装用フィルム
キャリアテープは、最終的に全体的にフラットな状態と
なる。
Thus, the leveler rollers 134-1
Due to the outer peripheral surfaces 134a to 140a having the curvature of the leveler rollers facing each other which are alternately located in the upper and lower positions of 40,
Plastic deformation occurs when the material such as the solder resist, the adhesive, and the base film is softened, and is alternately corrected to a flat state. Therefore, the film carrier tape for mounting electronic components, which has passed through these leveler rollers 134 to 140, eventually becomes entirely flat.

【0072】この場合、上記反り除去効果を付与するた
めには、電子部品実装用フィルムキャリアテープTの厚
さ、幅、材質にもよるが、図5に示したように、レベラ
ーローラ134〜140の曲率半径Rを10mm〜50
mmの間、好ましくは、15mm〜30mmとし、レベ
ラーローラ134〜140の、電子部品実装用フィルム
キャリアテープTの送給方向Cに対する上下の変位量、
すなわち押し込み量Xは、0mm〜100mm、好まし
くは10mm〜30mm、レベラーローラ134〜14
0の間の離間距離Yは、30mm〜100mm、好まし
くは50〜80mmに設定するのが望ましい。
In this case, in order to impart the above-mentioned warpage removing effect, as shown in FIG. 5, the leveler rollers 134 to 140 depend on the thickness, width and material of the film carrier tape T for mounting electronic components. Radius of curvature R of 10 mm to 50 mm
mm, preferably 15 mm to 30 mm, the amount of vertical displacement of the leveler rollers 134 to 140 with respect to the feeding direction C of the film carrier tape T for mounting electronic components,
That is, the pushing amount X is 0 mm to 100 mm, preferably 10 mm to 30 mm, and the leveler rollers 134 to 14.
It is desirable to set the separation distance Y between 0 and 30 mm to 100 mm, preferably 50 to 80 mm.

【0073】また、上記加熱反り除去室124内の温度
は、ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材
料などの種類にもよるが、少なくとも、ソルダーレジス
トを軟化させる必要があるため、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープTの表面の温度が、例えば、ソルダー
レジストがエポキシ系である場合に、80〜300℃、
好ましくは、150〜200℃となるようにするのが望
ましい。
The temperature in the heating and warping removal chamber 124 depends on the type of material such as a solder resist, an adhesive, and a base film. However, at least the solder resist must be softened. When the temperature of the surface of the mounting film carrier tape T is, for example, an epoxy-based solder resist,
Preferably, the temperature is set to 150 to 200 ° C.

【0074】また、この上記加熱反り除去室124内を
電子部品実装用フィルムキャリアテープTを通過させる
時間は、電子部品実装用フィルムキャリアテープTの厚
さ、幅、材質にもよるが、上記反り除去効果を付与する
ためには、1〜5m/分の送給速度、30〜100秒の
時間、特に、加熱反り除去レベラーユニット126を通
過する時間を30〜60秒とするのが望ましい。
The time required for the electronic component mounting film carrier tape T to pass through the heating / warping removal chamber 124 depends on the thickness, width and material of the electronic component mounting film carrier tape T. In order to provide the removal effect, it is desirable that the feeding speed is 1 to 5 m / min, the time of 30 to 100 seconds, and particularly the time of passing through the heating warp removal leveler unit 126 is 30 to 60 seconds.

【0075】また、レベラーローラ34〜40の数も、
ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材料な
どの種類にもよるが、少なくとも上下に2つ以上とし、
5〜20個とするのが、電子部品実装用フィルムキャリ
アテープTの破損が生じず、一定の強度を保持するため
には望ましい。なお、この場合、図示しないが、これら
の導入ローラ132、レベラーローラ134〜140、
ならびに導出ローラ142自体を加熱ローラとして、電
子部品実装用フィルムキャリアテープTの表面を直接加
熱するようにしてもよい。
The number of the leveler rollers 34 to 40 is also
Depending on the type of material such as solder resist, adhesive, base film, etc., at least two at the top and bottom,
It is desirable to use 5 to 20 pieces in order to prevent the film carrier tape T for mounting electronic components from being damaged and to maintain a certain strength. In this case, although not shown, these introduction rollers 132, leveler rollers 134 to 140,
In addition, the surface of the electronic component mounting film carrier tape T may be directly heated by using the discharge roller 142 itself as a heating roller.

【0076】そして、このように全体的にフラットな状
態となった電子部品実装用フィルムキャリアテープT
は、冷却状態で冷却逆反り付与部116の逆反り付与拘
束部材111を通過することによって、電子部品実装用
フィルムキャリアテープTの幅方向に反りと逆方向に拘
束されて、逆反りが付与された状態で矯正されることに
なる。従って、この逆反りによって電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープに生じている反り変形が相殺され、
この状態のままで、ソルダーレジスト、接着剤、基材フ
ィルムなどの材料が硬化した状態となり、ほぼフラット
な状態が保持されることになる。
Then, the film carrier tape T for mounting electronic components, which is in a flat state as described above,
Is passed through the reverse warp imparting restricting member 111 of the cooling reverse warpage imparting portion 116 in a cooled state, thereby being constrained in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape T in a direction opposite to the warp direction, and the reverse warpage is imparted. It will be corrected in the state that it was. Therefore, the warpage generated in the electronic component mounting film carrier tape by the reverse warpage is offset,
In this state, the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are cured, and a substantially flat state is maintained.

【0077】この場合、逆反り拘束部材111によっ
て、電子部品実装用フィルムキャリアテープTを湾曲さ
せる程度としては、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープTの厚さ、幅、ソルダーレジストなどの材質にもよ
るが、図2の場合と同様に、電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTの中央部分での反り距離Zが、2〜15
mm、好ましくは、5〜10mm、また、電子部品実装
用フィルムキャリアテープTの幅に対して、10〜20
%の割合とするのが望ましい。
In this case, the degree to which the film carrier tape T for mounting an electronic component is curved by the reverse warp restraining member 111 depends on the thickness, width, material such as a solder resist of the film carrier tape T for mounting an electronic component. However, as in the case of FIG. 2, the warp distance Z at the central portion of the film carrier tape T for mounting electronic components is 2-15.
mm, preferably 5 to 10 mm, and 10 to 20 with respect to the width of the film carrier tape T for mounting electronic components.
% Is desirable.

【0078】また、冷却反り除去室124内の温度は、
ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材料な
どの種類にもよるが、少なくとも、ソルダーレジストを
硬化させ、反りが矯正された状態を固定するためには、
電子部品実装用フィルムキャリアテープTの表面の温度
が、例えば、ソルダーレジストがエポキシ系である場合
に、80〜300℃、好ましくは、100〜200℃と
なるようにするのが望ましい。
The temperature inside the cooling and warping removing chamber 124 is as follows.
Depending on the type of material such as solder resist, adhesive, base film, etc., at least to cure the solder resist and fix the warped state,
The temperature of the surface of the electronic component mounting film carrier tape T is desirably 80 to 300 ° C., preferably 100 to 200 ° C., for example, when the solder resist is epoxy-based.

【0079】また、この冷却反り除去室124内を電子
部品実装用フィルムキャリアテープTを通過させる時間
は、電子部品実装用フィルムキャリアテープTの厚さ、
幅、材質にもよるが、上記反り除去効果を付与するため
には、1〜5m/分の送給速度、30〜120秒の時
間、特に、逆反り拘束部材111を通過する時間を30
〜60秒とするのが望ましい。
The time required for the electronic component mounting film carrier tape T to pass through the cooling / warping removing chamber 124 depends on the thickness of the electronic component mounting film carrier tape T,
Although it depends on the width and the material, in order to provide the above-described warpage removing effect, the feeding speed is 1 to 5 m / min, the time for 30 to 120 seconds, and especially the time for passing through the reverse warp restraining member 111 is 30 minutes.
It is desirable to set it to 60 seconds.

【0080】以上、本発明の電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの反り除去装置および電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの反り除去方法について、第1の実
施例および第2の実施例について説明したが、本発明で
は、下記の表1のように、上記の第1の実施例および第
2の実施例を組み合わせることも可能である。以下にそ
の組み合わせについて説明する。なお、以下の実施例に
おける詳細な温度などの条件は、上記第1の実施例およ
び第2の実施例に基づいて、適宜変更可能なものであ
り、その詳細な説明は省略する。
The apparatus for removing warpage of the film carrier tape for mounting electronic components and the method for removing the warpage of the film carrier tape for mounting electronic parts according to the present invention have been described with reference to the first and second embodiments. In the invention, as shown in Table 1 below, it is also possible to combine the first embodiment and the second embodiment. The combination will be described below. The conditions such as the detailed temperature in the following embodiments can be appropriately changed based on the first and second embodiments, and the detailed description thereof will be omitted.

【0081】[0081]

【表1】 [Table 1]

【0082】図8は、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープの反り除去装置の第3の実施例を示す図
1と同様な概略構成図である。上記の第1の実施例と、
基本的には同様な構成であり、同じ構成部材には、10
0を加えた同じ参照番号を付してその説明は省略する。
この実施例の反り除去装置110では、上記表1に示し
たように、加熱室102に、電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTを、加熱状態で電子部品実装用フィルム
キャリアテープTの幅方向に反りと逆方向に拘束して、
逆反りを付与する逆反り付与拘束部材111を備えた加
熱逆反り付与部114を備えている。
FIG. 8 is a schematic structural view similar to FIG. 1 showing a third embodiment of the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention. The first embodiment described above,
Basically, the configuration is the same.
The same reference numerals to which 0 has been added are assigned, and description thereof is omitted.
In the warp removing device 110 of this embodiment, as shown in Table 1 above, the electronic component mounting film carrier tape T is warped in the heating chamber 102 in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape T in a heated state. And in the opposite direction,
A heating reverse warp imparting section 114 having a reverse warp imparting restraining member 111 for imparting a reverse warp is provided.

【0083】また、加熱室102には、電子部品実装用
フィルムキャリアテープTの送給方向に対して、上下に
交互に変位して配設した複数のレベラーローラからなる
加熱反り除去レベラーユニット126を備え、レベラー
ローラの間を、加熱逆反り付与部で逆反りを付与された
電子部品実装用フィルムキャリアテープTを、加熱状態
で通過させることによって、電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTの反りを除去するように構成した加熱反
り除去部114’を備えている。
Further, in the heating chamber 102, there is provided a heating warp removing leveler unit 126 comprising a plurality of leveler rollers disposed alternately and vertically displaced with respect to the feeding direction of the film carrier tape T for mounting electronic components. The warp of the electronic component mounting film carrier tape T is removed by passing the electronic component mounting film carrier tape T, which has been provided with the reverse warp by the heating reverse warp applying portion, between the leveler rollers in a heated state. And a heating warp removing unit 114 ′ configured to perform heating.

【0084】さらに、この実施例の反り除去装置110
では、加熱反り除去部114’で反りの除去された電子
部品実装用フィルムキャリアテープTを、冷却状態で電
子部品実装用フィルムキャリアテープTの幅方向に反り
と逆方向に拘束して、逆反りを付与する逆反り付与拘束
部材111’を備えた冷却逆反り付与部116を備えて
いる。
Further, the warp removing device 110 of this embodiment
Then, the electronic component mounting film carrier tape T from which the warp has been removed by the heat warp removing portion 114 ′ is constrained in the cooling direction in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape T in a direction opposite to the warp, and the reverse warp is generated. Is provided with a cooling reverse warpage imparting portion 116 provided with a reverse warpage imparting restraining member 111 ′ that imparts the following.

【0085】このように構成することによって、電子部
品実装用フィルムキャリアテープTに生じた反りが、電
子部品実装用フィルムキャリアテープTが、加熱状態で
逆反り付与拘束部材111で電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTの幅方向に反りと逆方向に上方に湾曲し
て、拘束されることになる。従って、ソルダーレジス
ト、接着剤、基材フィルムなどの材料が軟化した状態で
塑性変形が生じて、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープの幅方向に反りと逆方向に逆反りが付与された状態
となる。
With this configuration, the warpage of the film carrier tape T for mounting an electronic component can be prevented by the film carrier tape T for mounting an electronic component being heated by the reverse warp imparting restricting member 111 in a heated state. The carrier tape T is bent upward in the direction opposite to the warp in the width direction of the carrier tape T and is restrained. Accordingly, plastic deformation occurs in a state in which the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are softened, and a state in which a warp is applied in a direction opposite to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components is provided. .

【0086】そして、上下に交互に変位して配設したレ
ベラーローラからなる加熱反り除去レベラーユニット1
26のレベラーローラ間を、逆反りが付与された状態と
なった電子部品実装用フィルムキャリアテープが、加熱
状態で上下に通過することによって、レベラーローラの
上下交互に位置する相互に対峙するレベラーローラの曲
率を有する周面によって、ソルダーレジスト、接着剤、
基材フィルムなどの材料が軟化した状態で塑性変形が生
じ、フラットな状態に交互に矯正されることになる。従
って、これらのレベラーローラを通過した電子部品実装
用フィルムキャリアテープTは、全体的にフラットな状
態となる。
[0086] The leveling unit 1 for removing warpage of heating, comprising leveler rollers arranged alternately vertically.
26, the film carrier tape for mounting electronic components in a state in which a reverse warp is applied passes upward and downward in a heated state, so that the leveler rollers which are alternately located above and below the leveler rollers are opposed to each other. Solder resist, adhesive,
Plastic deformation occurs when the material such as the base film is softened, and the material is alternately corrected to a flat state. Therefore, the electronic component mounting film carrier tape T that has passed through these leveler rollers is entirely flat.

【0087】このように全体的にフラットな状態となっ
た電子部品実装用フィルムキャリアテープは、冷却状態
で逆反り付与拘束部材111’によって、電子部品実装
用フィルムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘
束されて、逆反りが付与された状態で矯正されることに
なる。従って、この逆反りによって電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープに生じている反り変形が相殺され、
この状態のままで、ソルダーレジスト、接着剤、基材フ
ィルムなどの材料が硬化した状態となり、ほぼフラット
な状態が保持されることになる。
The electronic component mounting film carrier tape which has become flat as a whole in this way is reversely warped in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape by the reverse warp imparting restraining member 111 ′ in a cooled state. It is constrained in the direction and is corrected in a state where the reverse warpage is given. Therefore, the warpage generated in the electronic component mounting film carrier tape by the reverse warpage is offset,
In this state, the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are cured, and a substantially flat state is maintained.

【0088】図9は、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープの反り除去装置の第4の実施例を示す図
1と同様な概略構成図である。上記の第1の実施例と、
基本的には同様な構成であり、同じ構成部材には、10
0を加えた同じ参照番号を付してその説明は省略する。
この実施例の反り除去装置110では、上記表1に示し
たように、加熱室102に、電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTを、加熱状態で電子部品実装用フィルム
キャリアテープTの幅方向に反りと逆方向に拘束して、
逆反りを付与する逆反り付与拘束部材111を備えた加
熱逆反り付与部114を備えている。
FIG. 9 is a schematic structural view similar to FIG. 1 showing a fourth embodiment of the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention. The first embodiment described above,
Basically, the configuration is the same.
The same reference numerals to which 0 has been added are assigned, and description thereof is omitted.
In the warp removing device 110 of this embodiment, as shown in Table 1 above, the electronic component mounting film carrier tape T is warped in the heating chamber 102 in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape T in a heated state. And in the opposite direction,
A heating reverse warp imparting section 114 having a reverse warp imparting restraining member 111 for imparting a reverse warp is provided.

【0089】また、加熱室102には、電子部品実装用
フィルムキャリアテープTの送給方向に対して、上下に
交互に変位して配設した複数のレベラーローラからなる
加熱反り除去レベラーユニット126を備え、レベラー
ローラの間を、加熱逆反り付与部で逆反りを付与された
電子部品実装用フィルムキャリアテープTを、加熱状態
で通過させることによって、電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTの反りを除去するように構成した加熱反
り除去部114’を備えている。
Further, in the heating chamber 102, there is provided a heating warp removing leveler unit 126 composed of a plurality of leveler rollers disposed alternately up and down with respect to the feeding direction of the film carrier tape T for mounting electronic components. The warp of the electronic component mounting film carrier tape T is removed by passing the electronic component mounting film carrier tape T, which has been provided with the reverse warp by the heating reverse warp applying portion, between the leveler rollers in a heated state. And a heating warp removing unit 114 ′ configured to perform heating.

【0090】さらに、この実施例の反り除去装置110
では、電子部品実装用フィルムキャリアテープTの送給
方向に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレ
ベラーローラからなる冷却反り除去レベラーユニット1
26’を備え、レベラーローラの間を、加熱反り除去部
114’で反りの除去された電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTを、冷却状態で通過させることによっ
て、反りを除去した状態を保持するよう構成した反り除
去冷却部116を備えている。
Further, the warp removing device 110 of this embodiment
Then, a cooling warp removing leveler unit 1 including a plurality of leveler rollers disposed alternately and vertically displaced with respect to a feeding direction of the film carrier tape T for mounting electronic components.
26 ′, the film carrier tape T for mounting electronic components, from which the warpage has been removed by the heating warp removing unit 114 ′, is passed between the leveler rollers in a cooled state, so that the warped state is maintained. It has a configured warp removal cooling unit 116.

【0091】このように構成することによって、電子部
品実装用フィルムキャリアテープTに生じた反りが、電
子部品実装用フィルムキャリアテープTが、加熱状態で
逆反り付与拘束部材111で電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTの幅方向に反りと逆方向に上方に湾曲し
て、拘束されることになる。従って、ソルダーレジス
ト、接着剤、基材フィルムなどの材料が軟化した状態で
塑性変形が生じて、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープの幅方向に反りと逆方向に逆反りが付与された状態
となる。
With this configuration, the warpage of the electronic component mounting film carrier tape T is prevented by the electronic component mounting film carrier tape T when the electronic component mounting film carrier tape T is heated. The carrier tape T is bent upward in the direction opposite to the warp in the width direction of the carrier tape T and is restrained. Accordingly, plastic deformation occurs in a state in which the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are softened, and a state in which a warp is applied in a direction opposite to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components is provided. .

【0092】そして、上下に交互に変位して配設したレ
ベラーローラからなる加熱反り除去レベラーユニット1
26のレベラーローラ間を、逆反りが付与された状態と
なった電子部品実装用フィルムキャリアテープが、加熱
状態で上下に通過することによって、レベラーローラの
上下交互に位置する相互に対峙するレベラーローラの曲
率を有する周面によって、ソルダーレジスト、接着剤、
基材フィルムなどの材料が軟化した状態で塑性変形が生
じ、フラットな状態に交互に矯正されることになる。従
って、これらのレベラーローラを通過した電子部品実装
用フィルムキャリアテープTは、全体的にフラットな状
態となる。
Then, the leveling unit 1 for removing the warped heating, which is made up of leveling rollers alternately displaced up and down.
26, the film carrier tape for mounting electronic components in a state in which a reverse warp is applied passes upward and downward in a heated state, so that the leveler rollers which are alternately located above and below the leveler rollers are opposed to each other. Solder resist, adhesive,
Plastic deformation occurs when the material such as the base film is softened, and the material is alternately corrected to a flat state. Therefore, the electronic component mounting film carrier tape T that has passed through these leveler rollers is entirely flat.

【0093】このように全体的にフラットな状態となっ
た電子部品実装用フィルムキャリアテープTは、上下に
交互に変位して配設したレベラーローラからなる冷却反
り除去レベラーユニット126’のレベラーローラ間
を、冷却状態で上下に通過することによって、レベラー
ローラの上下交互に位置する相互に対峙するレベラーロ
ーラの曲率を有する周面によって、さらによりフラット
な状態に交互に矯正されることになる。従って、これら
のレベラーローラを通過した電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープは、最終的に全体的によりフラットな状態
となる。そして、この状態のままで、ソルダーレジス
ト、接着剤、基材フィルムなどの材料が硬化した状態と
なり、極めてフラットな状態が保持されることになる。
The film carrier tape T for mounting electronic components, which is in a flat state as a whole as described above, is placed between the leveler rollers of the cooling warp removing leveler unit 126 'composed of leveler rollers arranged alternately up and down. Is cooled in the up and down direction, whereby the leveler roller is alternately corrected to a flatter state by the peripheral surfaces having the curvature of the leveler roller facing each other which are located alternately in the upper and lower directions. Therefore, the electronic component mounting film carrier tape that has passed through these leveler rollers eventually becomes flatter overall. Then, in this state, the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are in a cured state, and an extremely flat state is maintained.

【0094】図10は、本発明の電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの反り除去装置の第5の実施例を示す
図1と同様な概略構成図である。上記の第1の実施例
と、基本的には同様な構成であり、同じ構成部材には、
100を加えた同じ参照番号を付してその説明は省略す
る。この実施例の反り除去装置110では、上記表1に
示したように、加熱室102に、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープTの送給方向に対して、上下に交互に
変位して配設した複数のレベラーローラからなる加熱反
り除去レベラーユニット126を備え、レベラーローラ
の間を、電子部品実装用フィルムキャリアテープTを加
熱状態で通過させることによって、電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープTの反りを除去するように構成した
加熱反り除去部114を備えている。
FIG. 10 is a schematic structural view similar to FIG. 1 showing a fifth embodiment of the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention. The configuration is basically the same as that of the first embodiment, and the same constituent members include:
The same reference numerals as those obtained by adding 100 are assigned, and the description thereof is omitted. In the warp removing apparatus 110 of this embodiment, as shown in Table 1, the heating chamber 102 is disposed so as to be alternately displaced up and down with respect to the feeding direction of the film carrier tape T for mounting electronic components. Eliminating the warpage of the electronic component mounting film carrier tape T by providing a heating and warping removing leveler unit 126 composed of a plurality of leveler rollers and passing the electronic component mounting film carrier tape T between the leveler rollers in a heated state. And a heating warp removing unit 114 configured to perform the heating and warping.

【0095】また、加熱室102には、加熱反り除去部
114で反りの除去された電子部品実装用フィルムキャ
リアテープTを、加熱状態で電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTの幅方向に反りと逆方向に拘束して、逆
反りを付与する逆反り付与拘束部材111を備えた加熱
逆反り付与部114’を備えている。さらに、この実施
例の反り除去装置110では、加熱逆反り除去部11
4’で逆反りの付与された電子部品実装用フィルムキャ
リアテープTを、冷却状態で電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTの幅方向に反りと逆方向に拘束して、逆
反りを付与する逆反り付与拘束部材111’を備えた冷
却逆反り付与部116を備えている。
In the heating chamber 102, the electronic component mounting film carrier tape T whose warpage has been removed by the heating warp removing section 114 is placed in a heated state opposite to the width of the electronic component mounting film carrier tape T in the width direction. A heating reverse warp imparting section 114 ′ having a reverse warp imparting restricting member 111 for imparting a reverse warp in a direction is provided. Further, in the warp removing device 110 of this embodiment, the heating reverse warp removing unit 11 is used.
The electronic component mounting film carrier tape T to which reverse warpage is applied in 4 'is restrained in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape T in the width direction of the electronic component mounting film carrier T in a cooled state, and reverse warpage is applied. The cooling reverse warpage imparting section 116 having the imparting constraint member 111 'is provided.

【0096】このように構成することによって、電子部
品実装用フィルムキャリアテープTに生じた反りが、上
下に交互に変位して配設したレベラーローラからなる加
熱反り除去レベラーユニット126のレベラーローラ間
を、逆反りが付与された状態となった電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープTが、加熱状態で上下に通過する
ことによって、レベラーローラの上下交互に位置する相
互に対峙するレベラーローラの曲率を有する周面によっ
て、ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材
料が軟化した状態で塑性変形が生じ、フラットな状態に
交互に矯正されることになる。従って、これらのレベラ
ーローラを通過した電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープTは、全体的にフラットな状態となる。
With this configuration, the warpage generated in the film carrier tape T for mounting electronic components causes the leveling rollers between the leveling rollers 126 of the leveling unit 126, which is composed of leveling rollers alternately displaced up and down. When the electronic component mounting film carrier tape T in a state in which reverse warpage is applied passes upward and downward in a heated state, the peripheral carrier having the curvature of the leveler rollers opposite to each other, which is positioned alternately above and below the leveler rollers. Depending on the surface, plastic deformation occurs in a state where materials such as a solder resist, an adhesive, and a base film are softened, and are alternately corrected to a flat state. Therefore, the electronic component mounting film carrier tape T that has passed through these leveler rollers is entirely flat.

【0097】そして、このように全体的にフラットな状
態となった電子部品実装用フィルムキャリアテープT
は、加熱状態で逆反り付与拘束部材111で電子部品実
装用フィルムキャリアテープTの幅方向に反りと逆方向
に上方に湾曲して、拘束されることになる。従って、ソ
ルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材料が軟
化した状態で塑性変形が生じて、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に逆反りが付
与された状態となる。
Then, the film carrier tape T for mounting electronic parts, which is in a flat state as a whole as described above, is obtained.
In the heating state, the warp is restrained by the reverse warp imparting restraining member 111 by bending upward in the direction opposite to the warp in the width direction of the film carrier tape T for mounting electronic components. Accordingly, plastic deformation occurs in a state in which the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are softened, and a state in which a warp is applied in a direction opposite to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components is provided. .

【0098】このように逆反りが付与された状態ととな
った電子部品実装用フィルムキャリアテープTは、冷却
状態で逆反り付与拘束部材111’によって、電子部品
実装用フィルムキャリアテープTの幅方向に反りと逆方
向に拘束されて、逆反りが付与された状態で矯正される
ことになる。従って、この逆反りによって電子部品実装
用フィルムキャリアテープに生じている反り変形が相殺
され、この状態のままで、ソルダーレジスト、接着剤、
基材フィルムなどの材料が硬化した状態となり、ほぼフ
ラットな状態が保持されることになる。
The electronic component mounting film carrier tape T in the state in which the reverse warpage has been applied as described above is cooled by the reverse warp application restricting member 111 ′ in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape T. In the direction opposite to the warpage, and is corrected in a state where the reverse warpage is given. Therefore, the warpage generated in the electronic component mounting film carrier tape is offset by the reverse warpage, and in this state, the solder resist, the adhesive,
The material such as the base film is in a cured state, and a substantially flat state is maintained.

【0099】図11は、本発明の電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの反り除去装置の第6の実施例を示す
図1と同様な概略構成図である。上記の第1の実施例
と、基本的には同様な構成であり、同じ構成部材には、
100を加えた同じ参照番号を付してその説明は省略す
る。この実施例の反り除去装置110では、上記表1に
示したように、加熱室102に、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープTの送給方向に対して、上下に交互に
変位して配設した複数のレベラーローラからなる加熱反
り除去レベラーユニット126を備え、レベラーローラ
の間を、電子部品実装用フィルムキャリアテープTを加
熱状態で通過させることによって、電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープTの反りを除去するように構成した
加熱反り除去部114を備えている。
FIG. 11 is a schematic diagram similar to FIG. 1 showing a sixth embodiment of the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention. The configuration is basically the same as that of the first embodiment, and the same constituent members include:
The same reference numerals as those obtained by adding 100 are assigned, and the description thereof is omitted. In the warp removing apparatus 110 of this embodiment, as shown in Table 1, the heating chamber 102 is disposed so as to be alternately displaced up and down with respect to the feeding direction of the film carrier tape T for mounting electronic components. Eliminating the warpage of the electronic component mounting film carrier tape T by providing a heating and warping removing leveler unit 126 including a plurality of leveler rollers and passing the electronic component mounting film carrier tape T between the leveler rollers in a heated state. And a heating warp removing unit 114 configured to perform the heating and warping.

【0100】また、加熱室102には、加熱反り除去部
114で反りの除去された電子部品実装用フィルムキャ
リアテープTを、加熱状態で電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTの幅方向に反りと逆方向に拘束して、逆
反りを付与する逆反り付与拘束部材111を備えた加熱
逆反り付与部114’を備えている。さらに、この実施
例の反り除去装置110では、電子部品実装用フィルム
キャリアテープTの送給方向に対して、上下に交互に変
位して配設した複数のレベラーローラからなる冷却反り
除去レベラーユニット126’を備え、レベラーローラ
の間を、前記加熱逆反り付与部114’で逆反りを付与
された電子部品実装用フィルムキャリアテープTを、冷
却状態で通過させることによって、反りを除去した状態
を保持するよう構成した反り除去冷却部116を備えて
いる。
In the heating chamber 102, the electronic component mounting film carrier tape T whose warpage has been removed by the heating warp removing section 114 is heated in a state opposite to the width of the electronic component mounting film carrier tape T in the width direction. A heating reverse warp imparting section 114 ′ having a reverse warp imparting restricting member 111 for imparting a reverse warp in a direction is provided. Further, in the warp removing device 110 of this embodiment, the cooling warp removing leveler unit 126 composed of a plurality of leveler rollers disposed alternately up and down with respect to the feeding direction of the film carrier tape T for mounting electronic components. The electronic component mounting film carrier tape T provided with the reverse warp by the heating reverse warp applying section 114 ′ is provided between the leveler rollers, and is kept in a state where the warp is removed by passing the electronic component mounting film carrier tape T in a cooled state. The cooling unit 116 includes a warp removal cooling unit 116 configured to perform the above-described operation.

【0101】このように構成することによって、電子部
品実装用フィルムキャリアテープTに生じた反りが、上
下に交互に変位して配設したレベラーローラからなる加
熱反り除去レベラーユニット126のレベラーローラ間
を、逆反りが付与された状態となった電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープTが、加熱状態で上下に通過する
ことによって、レベラーローラの上下交互に位置する相
互に対峙するレベラーローラの曲率を有する周面によっ
て、ソルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材
料が軟化した状態で塑性変形が生じ、フラットな状態に
交互に矯正されることになる。従って、これらのレベラ
ーローラを通過した電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープTは、全体的にフラットな状態となる。
With this configuration, the warpage generated in the film carrier tape T for mounting electronic components causes the leveling between the leveler rollers of the heating warp removing leveler unit 126 including the leveler rollers that are alternately displaced up and down. When the electronic component mounting film carrier tape T in a state in which reverse warpage is applied passes upward and downward in a heated state, the peripheral carrier having the curvature of the leveler rollers opposite to each other, which is positioned alternately above and below the leveler rollers. Depending on the surface, plastic deformation occurs in a state where materials such as a solder resist, an adhesive, and a base film are softened, and are alternately corrected to a flat state. Therefore, the electronic component mounting film carrier tape T that has passed through these leveler rollers is entirely flat.

【0102】そして、このように全体的にフラットな状
態となった電子部品実装用フィルムキャリアテープT
は、加熱状態で逆反り付与拘束部材111で電子部品実
装用フィルムキャリアテープTの幅方向に反りと逆方向
に上方に湾曲して、拘束されることになる。従って、ソ
ルダーレジスト、接着剤、基材フィルムなどの材料が軟
化した状態で塑性変形が生じて、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に逆反りが付
与された状態となる。
Then, the film carrier tape T for mounting electronic components, which is in a flat state as described above,
In the heating state, the warp is restrained by the reverse warp imparting restraining member 111 by bending upward in the direction opposite to the warp in the width direction of the film carrier tape T for mounting electronic components. Accordingly, plastic deformation occurs in a state in which the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are softened, and a state in which a warp is applied in a direction opposite to the warp in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components is provided. .

【0103】このように逆反りが付与された状態ととな
った電子部品実装用フィルムキャリアテープTは、上下
に交互に変位して配設したレベラーローラからなる冷却
反り除去レベラーユニット126’のレベラーローラ間
を、冷却状態で上下に通過することによって、レベラー
ローラの上下交互に位置する相互に対峙するレベラーロ
ーラの曲率を有する周面によって、さらによりフラット
な状態に交互に矯正されることになる。従って、これら
のレベラーローラを通過した電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープTは、最終的に全体的によりフラットな状
態となる。そして、この状態のままで、ソルダーレジス
ト、接着剤、基材フィルムなどの材料が硬化した状態と
なり、極めてフラットな状態が保持されることになる。
The film carrier tape T for mounting electronic components in the state in which the reverse warp has been applied as described above is a leveler of the cooling warp removing leveler unit 126 ′ including leveler rollers disposed alternately vertically. By passing between the rollers up and down in a cooled state, the leveler rollers are alternately corrected to a flatter state by the peripheral surfaces having the curvatures of the leveler rollers facing each other which are located alternately in the upper and lower directions. . Therefore, the electronic component mounting film carrier tape T that has passed through these leveler rollers eventually becomes flatter overall. Then, in this state, the materials such as the solder resist, the adhesive, and the base film are in a cured state, and an extremely flat state is maintained.

【0104】なお、上記のようにすることによって、共
通のレベラーユニット26、逆反り付与拘束部材11
を、交換して使用することができるので、その汎用性が
向上することになる。なお、上記実施例では、逆反り付
与拘束部材11を、案内溝17を有する一対のレール1
5から構成したが、本発明は、何らこれに限定されるも
のではなく、例えば、この代わりに、図12に示したよ
うに、中央部分にいくにつれて漸次その直径が大きくな
るように樽形状となった複数のローラを配置した逆反り
付与拘束部材11とすることも可能である。
By the above, the common leveler unit 26, the reverse warp imparting restricting member 11
Can be used interchangeably, so that its versatility is improved. In the above embodiment, the reverse warp imparting restraining member 11 is connected to the pair of rails 1 having the guide grooves 17.
5, the present invention is not limited to this. For example, instead of this, as shown in FIG. 12, a barrel shape is formed so that the diameter gradually increases toward the central portion. It is also possible to provide the reverse warpage imparting and restraining member 11 in which a plurality of rollers are arranged.

【0105】以上、本発明の好ましい実施の態様を説明
してきたが、本発明はこれ何らに限定されることはな
く、例えば、本発明では、レベラーローラ34〜40を
上下に1個づつ交互に変位するようにしたが、一つおき
に上下に変位して配置することも可能であり、また、電
子部品実装用フィルムキャリアテープTを縦方向にして
搬送する縦タイプにも適用できるなど本発明の目的を逸
脱しない範囲で種々の変更が可能である。
The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to these embodiments. For example, in the present invention, the leveler rollers 34 to 40 are alternately arranged one by one up and down. The present invention is applied to a vertical type in which the film carrier tape T for mounting electronic components is transported in a vertical direction. Various changes can be made without departing from the purpose of the invention.

【0106】[0106]

【発明の効果】本発明によれば、上下に交互に変位して
配設したレベラーローラからなるレベラーユニット、電
子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に反りと
逆方向に拘束して、逆反りを付与する逆反り付与拘束部
材を、加熱工程、冷却工程において、種々組み合わせて
用いているので、ソルダーレジストを、加熱炉や、熱風
乾燥炉などで乾燥、硬化(キュア)した後に、ソルダー
レジスト加工面が凹状となるように、上方に湾曲して生
じた電子部品実装用フィルムキャリアテープに生じた反
りが、これらのレベラーユニット、逆反り付与拘束部材
で矯正されて、ソルダーレジスト、接着剤、基材フィル
ムなどの材料が硬化した状態となり、フラットな状態が
保持されることになる。
According to the present invention, a leveler unit composed of leveler rollers alternately displaced up and down and a film carrier tape for mounting electronic components are restrained in a direction opposite to a warp in a width direction, thereby causing a reverse warp. In the heating step and the cooling step, various combinations of the reverse warp imparting and restraining members for imparting the resin are used. After the solder resist is dried and cured (cured) in a heating furnace or a hot air drying furnace, the solder resist processing is performed. The warpage of the film carrier tape for mounting electronic components, which is curved upward so that the surface becomes concave, is corrected by the leveler unit and the reverse warpage imparting restraining member, and the solder resist, the adhesive, and the base are removed. The material such as the material film is in a cured state, and a flat state is maintained.

【0107】従って、本発明によれば、ソルダーレジス
トの密着性を低下させることなく、ソルダーレジスト層
の狭幅化および微小孔等のファインパターンへの適用性
も良好で、ICなどの電子部品の実装組立時に、インナ
ーリードの切断、封止樹脂の割れ等の支障が生じず、し
かも、液晶表示素子などのプリント基板への実装時にお
いても、位置合わせ不良等生じない正確な位置あわせを
行うことができるなどの幾多の作用効果を奏する極めて
優れた発明である。
Therefore, according to the present invention, the applicability of the solder resist layer to narrow patterns and fine patterns such as micro holes is excellent without deteriorating the adhesiveness of the solder resist. Precise positioning that does not cause problems such as cutting of the inner leads and cracking of the sealing resin during mounting and assembly, and also does not cause poor positioning or the like when mounting on a printed circuit board such as a liquid crystal display element This is an extremely excellent invention that has many effects, such as the ability to work.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明の電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの反り除去装置の第1の実施例の全体の概略
図である。
FIG. 1 is an overall schematic view of a first embodiment of a device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.

【図2】図2は、図1の電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの反り除去装置の加熱逆反り付与部の主要部分
の概略を説明する断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view schematically illustrating a main part of a heating reverse warpage imparting portion of the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components of FIG. 1;

【図3】図3は、図1の電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの反り除去装置の反り除去冷却部の上面図であ
る。
FIG. 3 is a top view of a warp removal cooling unit of the device for removing warpage of the film carrier tape for mounting electronic components of FIG. 1;

【図4】図4は、図3のA方向の側面図である。FIG. 4 is a side view in the direction A of FIG. 3;

【図5】図5は、図3のB−B線での断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line BB in FIG. 3;

【図6】図6は、本発明の電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの反り除去装置の加熱反り除去レベラーユニ
ットのローラの配置状態の別の実施例を説明する概略図
である。
FIG. 6 is a schematic view for explaining another embodiment of the arrangement of the rollers of the leveler unit for removing the warpage of the film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.

【図7】図7は、本発明の電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの反り除去装置の第2の実施例を示す図1と
同様な概略構成図である。
FIG. 7 is a schematic configuration diagram similar to FIG. 1 showing a second embodiment of the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.

【図8】図8は、本発明の電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの反り除去装置の第3の実施例を示す図1と
同様な概略構成図である。
FIG. 8 is a schematic configuration diagram similar to FIG. 1, showing a third embodiment of the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.

【図9】図9は、本発明の電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの反り除去装置の第4の実施例を示す図1と
同様な概略構成図である。
FIG. 9 is a schematic configuration diagram similar to FIG. 1 showing a fourth embodiment of the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.

【図10】図10は、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープの反り除去装置の第5の実施例を示す図
1と同様な概略構成図である。
FIG. 10 is a schematic configuration diagram similar to FIG. 1, showing a fifth embodiment of the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.

【図11】図11は、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープの反り除去装置の第6の実施例を示す図
1と同様な概略構成図である。
FIG. 11 is a schematic configuration diagram similar to FIG. 1, showing a sixth embodiment of the device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.

【図12】図12は、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープの反り除去装置の逆反り付与拘束部材の
別の実施例を示概略図である。
FIG. 12 is a schematic view showing another embodiment of the reverse warp imparting restraining member of the device for removing warpage of the film carrier tape for mounting electronic components of the present invention.

【図13】図13は、電子部品実装用フィルムキャリア
テープの反りの状態を示す断面図である。
FIG. 13 is a sectional view showing a warped state of the electronic component mounting film carrier tape.

【図14】図14は、従来の反り取り方法による電子部
品実装用フィルムキャリアテープの反りの状態を示す断
面図である。
FIG. 14 is a cross-sectional view showing a warped state of a film carrier tape for mounting electronic components by a conventional warping method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 反り除去装置 11 逆反り付与拘束部材 12 送り出し部 13a 内側壁 13 加熱逆反り付与室 14 加熱逆反り付与部 15 レール 16 反り除去冷却部 17 案内溝 18 巻き取り部 20 駆動軸 22 案内ローラ 24 冷却反り除去室 26 冷却反り除去レベラーユニット 28 支持棒部材 30 側板 32 導入ローラ 34〜40 レベラーローラ 34a 〜40a 外周面 34b 〜40b 内周面 41 ベアリング 42 導出ローラ 44 回転支持軸 45 段部 46 係合フランジ 48 内側壁 50 フランジ 54 案内ローラ 56 駆動軸 58 案内ローラ 62 ダンサーローラ 102 加熱室 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Warp removal apparatus 11 Reverse warp provision restraining member 12 Sending part 13a Inner side wall 13 Heat reverse warp provision room 14 Heat reverse warp provision part 15 Rail 16 Warp removal cooling part 17 Guide groove 18 Winding part 20 Drive shaft 22 Guide roller 24 Cooling Warp removal chamber 26 Cooling warp removal leveler unit 28 Support rod member 30 Side plate 32 Introducing roller 34-40 Leveler roller 34a-40a Outer peripheral surface 34b-40b Inner peripheral surface 41 Bearing 42 Outgoing roller 44 Rotary support shaft 45 Step 46 Engagement flange 48 inner wall 50 flange 54 guide roller 56 drive shaft 58 guide roller 62 dancer roller 102 heating chamber

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−260535(JP,A) 特開 昭64−51692(JP,A) 特開 平5−36757(JP,A) 特開 昭63−262227(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/60 311 B29C 53/18 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-6-260535 (JP, A) JP-A-64-51692 (JP, A) JP-A-5-36657 (JP, A) JP-A 63-26057 262227 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01L 21/60 311 B29C 53/18

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 フィルムに接着剤層を塗布したベーステ
ープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダーレ
ジスト層が設けられた電子部品実装用フィルムキャリア
テープの電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り
除去方法であって、 前記 電子部品実装用フィルムキャリアテープを、加熱状
態で電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に
反りと逆方向に拘束して、逆反りを付与した後、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラの間を、電子部品実装用フィルムキャリアテー
プを通過させつつ、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープを冷却して、その反りを除去するとともに、反りを
除去した状態を保持するようにすることを特徴とする電
子部品実装用フィルムキャリアテープの反り除去方法。
1. A base plate obtained by applying an adhesive layer to a film.
Solder pattern as a circuit pattern and protective insulating layer
Film carrier for mounting electronic components provided with a dist layer
Warpage of film carrier tape for mounting electronic components on tape
A removing method, the film carrier tape for mounting electronic components, in the width direction of the film carrier tape to restrain the warp direction opposite in a heated state, after applying the inverse warping, the electronic component mounting The film carrier tape for electronic component mounting is passed while passing the film carrier tape for electronic component mounting between a plurality of leveler rollers arranged alternately displaced up and down with respect to the feeding direction of the film carrier tape for electronic component mounting. A method for removing a warp of a film carrier tape for mounting electronic components, wherein the warp is removed while cooling to remove the warp.
【請求項2】 フィルムに接着剤層を塗布したベーステ
ープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダーレ
ジスト層が設けられた電子部品実装用フィルムキャリア
テープの電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り
除去方法であって、 前記 電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラの間を、加熱状態で電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープを通過させて、電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの反りを除去した後、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを、その幅
方向に反りと逆方向に拘束して逆反りを付与しつつ、電
子部品実装用フィルムキャリアテープを冷却して、反り
を除去した状態を保持するようにすることを特徴とする
電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り除去方
法。
2. A base material comprising an adhesive layer applied to a film.
Solder pattern as a circuit pattern and protective insulating layer
Film carrier for mounting electronic components provided with a dist layer
Warpage of film carrier tape for mounting electronic components on tape
A removal method for feeding direction of the film carrier tape for mounting electronic components, between a plurality of leveler rollers arranged displaced alternately up and down, the film carrier tape in a heated state After removing the warpage of the electronic component mounting film carrier tape, the electronic component mounting film carrier tape is constrained in the width direction and in the opposite direction to the warpage to impart the reverse warp, A method for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components, wherein the film carrier tape for mounting is cooled to maintain a state in which the warpage has been removed.
【請求項3】 フィルムに接着剤層を塗布したベーステ
ープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダーレ
ジスト層が設けられた電子部品実装用フィルムキャリア
テープの電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り
除去方法であって、 前記 電子部品実装用フィルムキャリアテープを加熱状態
で、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に
反りと逆方向に拘束して、逆反りを付与し、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラの間を、加熱状態で電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープを通過させて電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの反りを除去した後、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを、その幅
方向に反りと逆方向に拘束して逆反りを付与しつつ、電
子部品実装用フィルムキャリアテープを冷却して、反り
を除去した状態を保持するようにすることを特徴とする
電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り除去方
法。
3. A base plate obtained by applying an adhesive layer to a film.
Solder pattern as a circuit pattern and protective insulating layer
Film carrier for mounting electronic components provided with a dist layer
Warpage of film carrier tape for mounting electronic components on tape
A removing method, the electronic components mounting film heating state carrier tape, to restrain the warp direction opposite to the width direction of the film carrier tape, to impart the inverse warp, the electronic component mounting The film carrier tape for electronic component mounting is passed by passing the film carrier tape for electronic component mounting in a heated state between a plurality of leveler rollers arranged alternately displaced up and down with respect to the feeding direction of the film carrier tape. After removing the warp, the electronic component mounting film carrier tape is constrained in the direction opposite to the warp in the width direction to impart a reverse warp, while cooling the electronic component mounting film carrier tape to reduce the warpage. A method for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components, characterized by maintaining the removed state.
【請求項4】 フィルムに接着剤層を塗布したベーステ
ープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダーレ
ジスト層が設けられた電子部品実装用フィルムキャリア
テープの電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り
除去方法であって、 前記 電子部品実装用フィルムキャリアテープを加熱状態
で、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に
反りと逆方向に拘束して、逆反りを付与し、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラの間を、加熱状態で電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープを通過させて、電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの反りを除去した後、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラの間を、電子部品実装用フィルムキャリアテー
プを通過させつつ、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープを冷却して、その反りを除去するとともに、反りを
除去した状態を保持するようにすることを特徴とする電
子部品実装用フィルムキャリアテープの反り除去方法。
4. A base plate obtained by applying an adhesive layer to a film.
Solder pattern as a circuit pattern and protective insulating layer
Film carrier for mounting electronic components provided with a dist layer
Warpage of film carrier tape for mounting electronic components on tape
A removing method, the electronic components mounting film heating state carrier tape, to restrain the warp direction opposite to the width direction of the film carrier tape, to impart the inverse warp, the electronic component mounting By passing the film carrier tape for mounting electronic components in a heated state between a plurality of leveler rollers arranged alternately up and down with respect to the feeding direction of the film carrier tape, the film carrier for mounting electronic components After removing the warp of the tape, the electronic component mounting film carrier tape is moved between a plurality of leveler rollers arranged alternately up and down with respect to the feeding direction of the electronic component mounting film carrier tape. While passing, the film carrier tape for mounting electronic components is cooled to remove the warp and maintain the state where the warp is removed. The film carrier tape bowing method which is characterized in that the.
【請求項5】 フィルムに接着剤層を塗布したベーステ
ープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダーレ
ジスト層が設けられた電子部品実装用フィルムキャリア
テープの電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り
除去方法であって、 前記 電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラの間を、加熱状態で電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープを通過させて、電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの反りを除去し、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを、加熱状
態で電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に
反りと逆方向に拘束して、逆反りを付与した後、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを、その幅
方向に反りと逆方向に拘束して逆反りを付与しつつ、電
子部品実装用フィルムキャリアテープを冷却して、反り
を除去した状態を保持するようにすることを特徴とする
電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り除去方
法。
5. A base plate obtained by applying an adhesive layer to a film.
Solder pattern as a circuit pattern and protective insulating layer
Film carrier for mounting electronic components provided with a dist layer
Warpage of film carrier tape for mounting electronic components on tape
A removal method for feeding direction of the film carrier tape for mounting electronic components, between a plurality of leveler rollers arranged displaced alternately up and down, the film carrier tape in a heated state To remove the warpage of the electronic component mounting film carrier tape, the electronic component mounting film carrier tape is restrained in a direction opposite to the warp in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape in a heated state. After applying the reverse warp, the electronic component mounting film carrier tape is cooled in the electronic component mounting film carrier tape while applying the reverse warp by constraining the electronic component mounting film carrier tape in the width direction and the reverse direction. A method for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components, characterized by maintaining a state in which the film carrier tape has been removed.
【請求項6】 フィルムに接着剤層を塗布したベーステ
ープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダーレ
ジスト層が設けられた電子部品実装用フィルムキャリア
テープの電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り
除去方法であって、 前記 電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラの間を、加熱状態で電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープを通過させて、電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの反りを除去し、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを、加熱状
態で電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に
反りと逆方向に拘束して、逆反りを付与した後、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラの間を、電子部品実装用フィルムキャリアテー
プを通過させつつ、電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープを冷却して、その反りを除去するとともに、反りを
除去した状態を保持するようにすることを特徴とする電
子部品実装用フィルムキャリアテープの反り除去方法。
6. A base plate obtained by applying an adhesive layer to a film.
Solder pattern as a circuit pattern and protective insulating layer
Film carrier for mounting electronic components provided with a dist layer
Warpage of film carrier tape for mounting electronic components on tape
A removal method for feeding direction of the film carrier tape for mounting electronic components, between a plurality of leveler rollers arranged displaced alternately up and down, the film carrier tape in a heated state To remove the warpage of the electronic component mounting film carrier tape, the electronic component mounting film carrier tape is restrained in a direction opposite to the warp in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape in a heated state. After imparting the reverse warp, between the plurality of leveler rollers arranged alternately displaced up and down with respect to the feeding direction of the electronic component mounting film carrier tape, the electronic component mounting film carrier tape While passing, the film carrier tape for mounting electronic components is cooled to remove the warp and maintain the state where the warp is removed. The film carrier tape bowing method which is characterized in that the.
【請求項7】 フィルムに接着剤層を塗布したベーステ
ープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダーレ
ジスト層が設けられた電子部品実装用フィル ムキャリア
テープの電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り
除去装置であって、 前記 電子部品実装用フィルムキャリアテープを、加熱状
態で電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に
反りと逆方向に拘束して、逆反りを付与する逆反り付与
拘束部材を備えた加熱逆反り付与部と、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラを備え、前記レベラーローラの間を、前記加熱
逆反り付与部で逆反りを付与された電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープを、冷却状態で通過させることによ
って、反りを除去した状態を保持するよう構成した反り
除去冷却部と、 を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの反り除去装置。
7. A base plate obtained by applying an adhesive layer to a film.
Solder pattern as a circuit pattern and protective insulating layer
Electronic component mounting fill-time carriers resist layer is provided
Warpage of film carrier tape for mounting electronic components on tape
A removal device, wherein the electronic component mounting film carrier tape, in a heated state, constrained in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape in a direction opposite to the warp, a reverse warp imparting restraint member for imparting a reverse warp. The provided heating reverse warp imparting section, with respect to the feeding direction of the electronic component mounting film carrier tape, comprising a plurality of leveler rollers arranged alternately displaced up and down, between the leveler rollers, The electronic component mounting film carrier tape to which the reverse warpage has been applied by the heating reverse warp applying section, by passing the film carrier tape in a cooled state, so as to maintain a state where the warp has been removed, and a warp removing cooling section. Characteristic device for removing warpage of film carrier tape for mounting electronic components.
【請求項8】 フィルムに接着剤層を塗布したベーステ
ープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダーレ
ジスト層が設けられた電子部品実装用フィルムキャリア
テープの電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り
除去装置であって、 前記 電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラを備え、前記レベラーローラの間を、電子部品
実装用フィルムキャリアテープを加熱状態で通過させる
ことによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ
の反りを除去するように構成した加熱反り除去部と、 前記加熱反り除去部で反りの除去された電子部品実装用
フィルムキャリアテープを、冷却状態で電子部品実装用
フィルムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束
して、逆反りを付与する逆反り付与拘束部材を備えた冷
却逆反り付与部と、 を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの反り除去装置。
8. A base plate obtained by applying an adhesive layer to a film.
Solder pattern as a circuit pattern and protective insulating layer
Film carrier for mounting electronic components provided with a dist layer
Warpage of film carrier tape for mounting electronic components on tape
A removal device, comprising: a plurality of leveler rollers disposed alternately displaced up and down with respect to the feeding direction of the electronic component mounting film carrier tape, and between the leveler rollers, for mounting electronic components. A heating warp removing unit configured to remove the warpage of the electronic component mounting film carrier tape by passing the film carrier tape in a heated state, and an electronic component mounting film from which the warping has been removed by the heating warp removing unit A cooling reverse warpage imparting portion having a reverse warpage imparting restraint member for imparting a reverse warp by constraining the carrier tape in a cooling state in a width direction of the electronic component mounting film carrier tape in a width direction. An apparatus for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components.
【請求項9】 フィルムに接着剤層を塗布したベーステ
ープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダーレ
ジスト層が設けられた電子部品実装用フィル ムキャリア
テープの電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り
除去装置であって、 前記 電子部品実装用フィルムキャリアテープを、加熱状
態で電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に
反りと逆方向に拘束して、逆反りを付与する逆反り付与
拘束部材を備えた加熱逆反り付与部と、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラを備え、前記レベラーローラの間を、前記加熱
逆反り付与部で逆反りを付与された電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープを、加熱状態で通過させることによ
って、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを
除去するように構成した加熱反り除去部と、 前記加熱反り除去部で反りの除去された電子部品実装用
フィルムキャリアテープを、冷却状態で電子部品実装用
フィルムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束
して、逆反りを付与する逆反り付与拘束部材を備えた冷
却逆反り付与部と、 を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの反り除去装置。
9. A base plate obtained by applying an adhesive layer to a film.
Solder pattern as a circuit pattern and protective insulating layer
Electronic component mounting fill-time carriers resist layer is provided
Warpage of film carrier tape for mounting electronic components on tape
A removal device, wherein the electronic component mounting film carrier tape, in a heated state, constrained in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape in a direction opposite to the warp, a reverse warp imparting restraint member for imparting a reverse warp. The provided heating reverse warp imparting section, with respect to the feeding direction of the electronic component mounting film carrier tape, comprising a plurality of leveler rollers arranged alternately displaced up and down, between the leveler rollers, A heating warp removing unit configured to remove the warpage of the electronic component mounting film carrier tape by passing the electronic component mounting film carrier tape to which the reverse warpage has been applied in the heating reverse warpage applying unit in a heated state. The electronic component-mounting film carrier tape from which the warp has been removed by the heating warp removing section is cooled and the electronic component-mounting film carrier tape is cooled. A cooling reverse warpage imparting portion having a reverse warpage imparting restraint member for imparting a reverse warp by being constrained in a direction opposite to the warp in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape. apparatus.
【請求項10】 フィルムに接着剤層を塗布したベース
テープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダー
レジスト層が設けられた電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの電子部品実装用フィルムキャリアテープの反
り除去装置であって、 前記 電子部品実装用フィルムキャリアテープを加熱状態
で、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に
反りと逆方向に拘束して逆反りを付与する逆反り付与拘
束部材を備えた加熱逆反り付与部と、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラを備え、前記レベラーローラの間を、前記加熱
逆反り付与部で逆反りを付与された電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープを加熱状態で通過させることによっ
て、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを除
去するように構成した加熱反り除去部と、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラを備え、前記レベラーローラの間を、前記加熱
反り除去部で反りの除去された電子部品実装用フィルム
キャリアテープを、冷却状態で通過させることによっ
て、反りを除去した状態を保持するよう構成した反り除
去冷却部と、 を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの反り除去装置。
10. A base obtained by applying an adhesive layer to a film.
Solder on tape as circuit pattern and protective insulating layer
Film carrier for electronic component mounting with resist layer
Of tape carrier for electronic component mounting film carrier tape
A device for removing warpage , wherein the electronic component mounting film carrier tape is in a heated state, and the electronic component mounting film carrier tape is provided with a reverse warp imparting restricting member that constrains in the direction opposite to the warp in the width direction of the film carrier tape and imparts reverse warpage. The provided heating reverse warp imparting section, with respect to the feeding direction of the electronic component mounting film carrier tape, comprising a plurality of leveler rollers arranged alternately displaced up and down, between the leveler rollers, By passing the electronic component mounting film carrier tape, to which the reverse warpage has been applied in the heating reverse warpage applying unit, in a heated state, a heating warp removing unit configured to remove the warpage of the electronic component mounting film carrier tape, A plurality of leveler rollers which are alternately displaced up and down with respect to a feeding direction of the film carrier tape for mounting electronic components; Between the roller, the electronic component mounting film carrier tape from which the warpage has been removed by the heating warp removing unit, by passing in a cooled state, a warp removal cooling unit configured to maintain the state where the warp is removed, An apparatus for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components, comprising:
【請求項11】 フィルムに接着剤層を塗布したベース
テープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダー
レジスト層が設けられた電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの電子部品実装用フィルムキャリアテープの反
り除去装置であって、 前記 電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラを備え、前記レベラーローラの間を、電子部品
実装用フィルムキャリアテープを加熱状態で通過させる
ことによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ
の反りを除去するように構成した加熱反り除去部と、 前記加熱反り除去部で反りの除去された電子部品実装用
フィルムキャリアテープを、加熱状態で電子部品実装用
フィルムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束
して、逆反りを付与する逆反り付与拘束部材を備えた加
熱逆反り付与部と、 前記加熱逆反り付与部で逆反りを付与された電子部品実
装用フィルムキャリアテープを、冷却状態で電子部品実
装用フィルムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に
拘束して逆反りを付与する逆反り付与拘束部材を備えた
冷却逆反り付与部と、 を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの反り除去装置。
11. A base in which an adhesive layer is applied to a film
Solder on tape as circuit pattern and protective insulating layer
Film carrier for electronic component mounting with resist layer
Of tape carrier for electronic component mounting film carrier tape
A Ri removing device, with respect to the feeding direction of the film carrier tape, vertically displaced alternately provided with a plurality of leveler rollers disposed, between the leveler roller, the electronic component mounting By removing the warpage of the film carrier tape for mounting electronic components by passing the film carrier tape for heating in a heated state, and for mounting the electronic components from which the warping has been removed by the heating warp removing unit. A heating reverse warpage applying unit including a reverse warpage applying restricting member that constrains the film carrier tape in a heated state in a direction opposite to the warp in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape, and applies a reverse warp; The electronic component mounting film carrier tape provided with the reverse warp in the reverse warp imparting section is cooled, and Conversely warp imparting a restraining member cooling inverse warp applying portion having, the film carrier tape of warp removal device, characterized in that it comprises the imparting reverse warp constraining the warp direction opposite to the direction.
【請求項12】 フィルムに接着剤層を塗布したベース
テープに、回路パターン及び保護絶縁層としてソルダー
レジスト層が設けられた電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの電子部品実装用フィルムキャリアテープの反
り除去装置であって、 前記 電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラを備え、前記レベラーローラの間を、電子部品
実装用フィルムキャリアテープを加熱状態で通過させる
ことによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ
の反りを除去するように構成した加熱反り除去部と、 前記加熱反り除去部で反りの除去された電子部品実装用
フィルムキャリアテープを、加熱状態で電子部品実装用
フィルムキャリアテープの幅方向に反りと逆方向に拘束
して逆反りを付与する逆反り付与拘束部材を備えた加熱
逆反り付与部と、 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの送給方向
に対して、上下に交互に変位して配設した複数のレベラ
ーローラを備え、前記レベラーローラの間を、前記加熱
逆反り付与部で逆反りを付与された電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープを、冷却状態で通過させることによ
って、反りを除去した状態を保持するよう構成した反り
除去冷却部と、 を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの反り除去装置。
12. A base in which an adhesive layer is applied to a film.
Solder on tape as circuit pattern and protective insulating layer
Film carrier for electronic component mounting with resist layer
Of tape carrier for electronic component mounting film carrier tape
A Ri removing device, with respect to the feeding direction of the film carrier tape, vertically displaced alternately provided with a plurality of leveler rollers disposed, between the leveler roller, the electronic component mounting By removing the warpage of the film carrier tape for mounting electronic components by passing the film carrier tape for heating in a heated state, and for mounting the electronic components from which the warpage has been removed by the heating warp removing portion. A heating and reverse warp applying portion provided with a reverse warp applying restraining member for applying a reverse warp by constraining the film carrier tape in a heated state to a direction opposite to the warp in the width direction of the electronic component mounting film carrier tape; and the electronic component. A plurality of leveler rollers disposed alternately and vertically displaced with respect to a feeding direction of the mounting film carrier tape; The warp removal cooling unit is configured to maintain the state where the warpage is removed by passing the electronic component mounting film carrier tape to which the reverse warpage has been applied by the heating reverse warp applying unit in a cooled state. A device for removing warpage of a film carrier tape for mounting electronic components, comprising:
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