JP3152089B2 - Manufacturing method of ceramic wiring board - Google Patents

Manufacturing method of ceramic wiring board

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JP3152089B2
JP3152089B2 JP29409294A JP29409294A JP3152089B2 JP 3152089 B2 JP3152089 B2 JP 3152089B2 JP 29409294 A JP29409294 A JP 29409294A JP 29409294 A JP29409294 A JP 29409294A JP 3152089 B2 JP3152089 B2 JP 3152089B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えば電子部品として
利用されるセラミック配線板の製法に関し、特に無電解
銅めっきを施して導体層を形成するセラミック配線板の
製法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a ceramic wiring board used as, for example, an electronic component, and more particularly to a method of manufacturing a ceramic wiring board formed by electroless copper plating to form a conductor layer.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、セラミック基板表面に無電解銅め
っきを施して導体層を形成する場合は、フッ酸、リン
酸、水酸化ナトリウムなどの高温溶液にセラミック基板
を浸漬する化学エッチング法などの方法によってセラミ
ック基板表面を粗面化することにより、いわゆるアンカ
ー効果により導体層とセラミック基板との密着力を確保
することが一般的である。
2. Description of the Related Art Conventionally, when a conductor layer is formed by electroless copper plating on the surface of a ceramic substrate, a chemical etching method such as immersing the ceramic substrate in a high-temperature solution such as hydrofluoric acid, phosphoric acid, sodium hydroxide, or the like is used. Generally, the surface of the ceramic substrate is roughened by a method, so that the adhesion between the conductor layer and the ceramic substrate is secured by the so-called anchor effect.

【0003】しかし、セラミック基板表面を粗面化する
ことは高周波特性を損うという問題があるため、極力平
滑なセラミック基板表面に、強固に密着している導体層
が形成できるセラミック配線板の製法の開発が望まれて
いる。そこで、粗面化せずに、密着性の優れた導体層を
形成できる方法として、無電解銅めっきの前処理や、下
地層形成等について種々の研究がなされ、例えば、特公
昭63−4336号、特公平4−82043号及び特公
平3−69191号等の提案がされている。
However, since roughening the surface of the ceramic substrate has a problem of deteriorating high-frequency characteristics, a method of manufacturing a ceramic wiring board capable of forming a strongly adhered conductor layer on the surface of a ceramic substrate as smooth as possible. The development of is desired. Therefore, as a method of forming a conductor layer having excellent adhesion without roughening, various studies have been made on pretreatment of electroless copper plating, formation of an underlayer, and the like, for example, Japanese Patent Publication No. 63-4336. And Japanese Patent Publication No. 4-82043 and Japanese Patent Publication No. 3-69191.

【0004】特公昭63−4336号には、Cu、Z
n、Cd、Pb又はBiの化合物の少なくとも1種の成
分を含むペーストをセラミック基板に塗布し、その後、
非酸化性雰囲気中において350〜900℃の範囲内の
温度で熱処理を施して、Cu、Zn、Cd、Pb、Bi
の少なくとも1種の金属又は合金の粒子を析出させ、そ
の後、Pd又はPtの少なくとも一方のイオンを含む溶
液中で上記金属又は合金の金属の表面をPd又はPtの
少なくとも一方に置換する置換処理を施し、さらに無電
解めっきによりニッケル、コバルト又は銅の金属電極を
形成するセラミック電子部品の製造方法が記載されてい
る。しかし、この場合には非酸化性雰囲気中においての
熱処理が必要であるため、製造装置や製造工程が複雑に
なるという問題点があり、さらに、Pd又はPtの少な
くとも一方に置換する置換処理によって、下地層とセラ
ミック基板の密着性が損なわれるためと推定されるが、
特公昭63−4336号の実施例にみるように引っ張り
強度は最大値でも2.75kg/5φの面積(0.53
kg/4mm2 )程度であり、近年ではさらなる密着性
の向上が求められている。
Japanese Patent Publication No. 63-4336 discloses Cu, Z
A paste containing at least one component of a compound of n, Cd, Pb or Bi is applied to a ceramic substrate, and thereafter,
In a non-oxidizing atmosphere, heat treatment is performed at a temperature within the range of 350 to 900 ° C., and Cu, Zn, Cd, Pb, Bi
And then subjecting the surface of the metal or alloy metal to at least one of Pd or Pt in a solution containing at least one ion of Pd or Pt in a solution containing at least one ion of Pd or Pt. And a method of manufacturing a ceramic electronic component in which a nickel, cobalt or copper metal electrode is formed by electroless plating. However, in this case, a heat treatment in a non-oxidizing atmosphere is required, and therefore, there is a problem that a manufacturing apparatus and a manufacturing process are complicated, and further, by a substitution process of substituting at least one of Pd and Pt, It is estimated that the adhesion between the underlayer and the ceramic substrate is impaired,
As seen from the example of JP-B-63-4336, the maximum tensile strength is 2.75 kg / 5φ area (0.53
kg / 4 mm 2 ), and in recent years, further improvement in adhesion has been demanded.

【0005】特公平4−82043号にはセラミック表
面に無電解めっき法により金属薄膜形成後、900〜1
200℃で熱処理して、セラミックと金属薄膜との間に
化学結合を形成させ、その後、化学的にエッチングして
該金属薄膜を除去し、その後無電解めっき法によりセラ
ミック表面の金属化を行なう方法が記載されている。し
かし、この方法の場合、その密着力は形成される金属薄
膜の膜厚に大きく依存する傾向があり、安定した密着力
を得ることが困難であるという問題がある。
Japanese Patent Publication No. 4-82043 discloses that a metal thin film is formed on a ceramic surface by an electroless plating method.
Heat treatment at 200 ° C. to form a chemical bond between the ceramic and the metal thin film, then chemically remove the metal thin film, and then metallize the ceramic surface by electroless plating Is described. However, in the case of this method, the adhesion tends to largely depend on the thickness of the formed metal thin film, and there is a problem that it is difficult to obtain a stable adhesion.

【0006】また、特公平3−69191号にはアルミ
ナ基板に無電解銅めっきを施し、次いで300〜900
℃で酸化性雰囲気中で熱処理し、さらに還元性雰囲気中
200〜900℃で処理し、次いで無電解銅めっきを施
し、しかる後電気銅めっきを施す方法が記載されてい
る。しかし、この方法の場合、還元性雰囲気中での処理
を行なうため、製造装置や製造工程が複雑になるという
問題点や、還元処理が200〜900℃と高温で行われ
るため、得られる金属膜の表面の濡れ性が低くなるため
と推定されるが、還元処理を終えた下地層とその上に形
成する無電解銅めっき膜間の密着力が不十分であるとい
う問題点があった。
In Japanese Patent Publication No. 3-69191, an alumina substrate is subjected to electroless copper plating.
A method is described in which a heat treatment is performed in an oxidizing atmosphere at a temperature of 200 ° C., a treatment is performed in a reducing atmosphere at a temperature of 200 to 900 ° C., an electroless copper plating is performed, and then an electrolytic copper plating is performed. However, in this method, since the treatment is performed in a reducing atmosphere, the production apparatus and the production process are complicated, and the reduction treatment is performed at a high temperature of 200 to 900 ° C .; It is presumed that the wettability of the surface becomes low, but there was a problem that the adhesion between the base layer after the reduction treatment and the electroless copper plating film formed thereon was insufficient.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上記の事情に鑑みて、
本発明は、無電解銅めっきを施して導体層を形成するセ
ラミック配線板の製法であって、還元性雰囲気等の特殊
な雰囲気を必要とせず、かつ、粗化処理を施していな
い、平滑なセラミック基板表面に、安定した強固な密着
力を持つ導体層を形成することができるセラミック配線
板の製法を開発することを課題としている。
In view of the above circumstances,
The present invention is a method for manufacturing a ceramic wiring board in which a conductor layer is formed by performing electroless copper plating, and does not require a special atmosphere such as a reducing atmosphere, and has not been subjected to a roughening treatment, and has a smooth surface. It is an object of the present invention to develop a method for manufacturing a ceramic wiring board which can form a conductor layer having a stable and strong adhesion on a surface of a ceramic substrate.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明のセ
ラミック配線板の製法は、セラミック基板に対して、そ
の表面にビスマス及び銅を含有する下地層を形成し、次
に酸化性雰囲気中で600〜1100℃で熱処理し、次
に還元性溶液中に浸漬して還元処理し、次いで無電解銅
めっきを施すことを特徴としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a ceramic wiring board, comprising forming an underlayer containing bismuth and copper on a surface of a ceramic substrate, and then forming the underlayer in an oxidizing atmosphere. And then heat-treated at 600 to 1100 ° C., then immersed in a reducing solution for reduction treatment, and then subjected to electroless copper plating.

【0009】請求項2に係る発明のセラミック配線板の
製法は、請求項1記載のセラミック配線板の製法におい
て、ビスマス及び銅を含有する下地層を形成する方法
が、ビスマス及び銅の両金属成分を含有する材料をセラ
ミック基板表面にコーティングして形成する方法である
ことを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a ceramic wiring board according to the first aspect, wherein the method of forming the underlayer containing bismuth and copper comprises the steps of: The method is characterized in that the material is formed by coating a material containing

【0010】請求項3に係る発明のセラミック配線板の
製法は、請求項1記載のセラミック配線板の製法におい
て、ビスマス及び銅を含有する下地層を形成する方法
が、セラミック基板表面に銅含有層を形成し、次にこの
銅含有層上にビスマス含有層を形成する方法であること
を特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, in the method for manufacturing a ceramic wiring board according to the first aspect, the method of forming the underlayer containing bismuth and copper comprises the step of forming a copper-containing layer on the surface of the ceramic substrate. And then forming a bismuth-containing layer on the copper-containing layer.

【0011】請求項4に係る発明のセラミック配線板の
製法は、請求項1記載のセラミック配線板の製法におい
て、ビスマス及び銅を含有する下地層を形成する方法
が、セラミック基板表面にビスマス含有層を形成し、次
にこのビスマス含有層上に銅含有層を形成する方法であ
ることを特徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a ceramic wiring board according to the first aspect, the method of forming the underlayer containing bismuth and copper comprises the step of forming a bismuth-containing layer on the surface of the ceramic substrate. And then forming a copper-containing layer on the bismuth-containing layer.

【0012】請求項5に係る発明のセラミック配線板の
製法は、請求項1から請求項4までのいずれかに記載の
セラミック配線板の製法において、ビスマス及び銅を含
有する下地層を形成する銅成分がエチレンジアミン系キ
レート剤を用いて処理された金属銅粉末であることを特
徴としている。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a ceramic wiring board according to any one of the first to fourth aspects, wherein the base layer containing bismuth and copper is formed of copper. It is characterized in that the component is metallic copper powder treated with an ethylenediamine-based chelating agent.

【0013】請求項6に係る発明のセラミック配線板の
製法は、請求項1から請求項4までのいずれかに記載の
セラミック配線板の製法において、ビスマス及び銅を含
有する下地層を形成する銅成分がエチレンジアミン系キ
レート剤を含有する無電解めっき液から析出した金属銅
粉末であることを特徴としている。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a ceramic wiring board according to any one of the first to fourth aspects, wherein the copper for forming an underlayer containing bismuth and copper is provided. The component is a metal copper powder precipitated from an electroless plating solution containing an ethylenediamine-based chelating agent.

【0014】以下、本発明を詳細に説明する。本発明で
用いるセラミック基板の材質としては、例えば、アルミ
ナ、ジルコニア、コージェライト、チタン酸バリウム等
の酸化物系のセラミックや窒化アルミニウム、窒化珪素
等の窒化物系のセラミックや炭化珪素等の炭化物系のセ
ラミック等があり、特に限定はない。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. Examples of the material of the ceramic substrate used in the present invention include, for example, oxide-based ceramics such as alumina, zirconia, cordierite, and barium titanate; nitride-based ceramics such as aluminum nitride and silicon nitride; and carbide-based materials such as silicon carbide. And the like are not particularly limited.

【0015】上記のセラミック基板の表面にビスマス及
び銅を含有する下地層を形成するが、この形成方法とし
ては次の3種類が例示できるが、ビスマス及び銅を含有
する下地層が形成できる方法であれば特に限定はない。 例えばビスマスレジネートペーストと銅レジネートペ
ーストを混合した混合レジネートペースト等のビスマス
及び銅の両金属成分を含有する材料をコーティングして
ビスマス及び銅が混在する層を単一工程で形成する方
法。 銅含有層を形成し、次に銅含有層上にビスマス含有層
を形成することにより、ビスマス及び銅を含有する下地
層を形成する方法。 ビスマス含有層を形成し、次にビスマス含有層上に銅
含有層を形成することにより、ビスマス及び銅を含有す
る下地層を形成する方法。
An underlayer containing bismuth and copper is formed on the surface of the above-mentioned ceramic substrate. The following three methods can be used for forming the underlayer. A method capable of forming an underlayer containing bismuth and copper is used. There is no particular limitation if it exists. For example, a method of coating a material containing both bismuth and copper metal components such as a mixed resinate paste obtained by mixing a bismuth resinate paste and a copper resinate paste to form a layer in which bismuth and copper are mixed in a single step. A method for forming an underlayer containing bismuth and copper by forming a copper-containing layer and then forming a bismuth-containing layer on the copper-containing layer. A method of forming an underlayer containing bismuth and copper by forming a bismuth-containing layer and then forming a copper-containing layer on the bismuth-containing layer.

【0016】そして、ビスマス及び銅を含有する下地層
を形成するための、銅含有層、ビスマス含有層並びにビ
スマス及び銅が混在する層の形成手段に関しては、特に
限定はなく、例えば無電解めっき法、スパッタ法、金属
ペースト法、有機金属レジネート(またはそのペース
ト)法等で形成することができる。及びの方法のよ
うに、銅含有層とビスマス含有層とを独立して形成する
方法の場合には、銅含有層は回路パターンとなる部分の
みに形成し、ビスマス含有層はセラミック基板の全面に
形成するようにすれば、後工程で熱処理、還元処理を順
次施した場合に、回路パターン部以外の部分には酸化ビ
スマス単体(一部金属ビスマスが存在する)が形成され
る。この酸化ビスマス単体上には、無電解銅めっきは析
出せず、また酸化ビスマス単体は酸によってクイックエ
ッチングが可能であるため、無電解銅めっきのめっきレ
ジストの機能をビスマス含有層のみが形成されている部
分は果たすことができる。
The means for forming a copper-containing layer, a bismuth-containing layer, and a layer in which bismuth and copper are mixed for forming a base layer containing bismuth and copper are not particularly limited. , A sputtering method, a metal paste method, an organic metal resinate (or a paste thereof) method, or the like. In the case of a method in which the copper-containing layer and the bismuth-containing layer are independently formed as in the methods (1) and (2), the copper-containing layer is formed only on a portion to be a circuit pattern, and the bismuth-containing layer is formed on the entire surface of the ceramic substrate. If formed, when heat treatment and reduction treatment are sequentially performed in a subsequent step, bismuth oxide alone (partially metal bismuth is present) is formed in portions other than the circuit pattern portion. Since the electroless copper plating does not precipitate on this bismuth oxide alone, and the bismuth oxide alone can be quickly etched with an acid, only the bismuth-containing layer is formed to function as a plating resist for electroless copper plating. Can be fulfilled.

【0017】また、ビスマス及び銅を含有する下地層を
形成するための、銅含有層、ビスマス含有層及びビスマ
ス及び銅が混在する層の厚みについても、特に限定はな
い。ただし、上記ののようにセラミック基板の表面に
銅含有層を形成し、次に銅含有層上にビスマス含有層を
形成する場合には、銅含有層の厚みが0.05〜3.0
μmの範囲にあることが、最終的に得られる導体層が安
定した密着力を有するためには好ましい。
The thicknesses of the copper-containing layer, the bismuth-containing layer, and the layer in which bismuth and copper are mixed for forming the underlayer containing bismuth and copper are not particularly limited. However, when the copper-containing layer is formed on the surface of the ceramic substrate as described above, and then the bismuth-containing layer is formed on the copper-containing layer, the thickness of the copper-containing layer is 0.05 to 3.0.
The range of μm is preferable in order for the finally obtained conductor layer to have a stable adhesion.

【0018】また、ビスマスレジネートペーストを用い
る場合には、ビスマスレジネートペースト中のビスマス
の含有率は10重量%以上であることが好ましい。ビス
マスの含有率が10重量%未満の場合には、最終的に得
られる導体層のセラミック基板に対する密着力が低下す
るので好ましくない。
When a bismuth resinate paste is used, the bismuth content in the bismuth resinate paste is preferably 10% by weight or more. If the bismuth content is less than 10% by weight, the adhesion of the finally obtained conductor layer to the ceramic substrate is undesirably reduced.

【0019】本発明では、セラミック基板表面にビスマ
ス及び銅を含有する下地層を形成した後、熱処理してビ
スマス及び銅を酸化させる。この熱処理工程により、酸
化ビスマスが拡散することにより、ビスマス及び銅を含
有する下地層の表面には銅の酸化物が生成する。この熱
処理は大気中等の酸化性雰囲気中で600〜1100℃
の温度で行なうことが重要であり、600℃未満の温度
では、最終的に得られる導体層の平滑なセラミック基板
表面に対する密着力が不十分となり、また1100℃を
越える温度では銅の熱拡散が顕著となり、次の無電解銅
めっき工程において無電解銅めっきの触媒として作用す
る銅成分がセラミック基板の最表面に残留しないのでや
はり密着力が不十分となる。
In the present invention, after forming an underlayer containing bismuth and copper on the surface of the ceramic substrate, heat treatment is performed to oxidize bismuth and copper. By this heat treatment step, bismuth oxide is diffused, so that copper oxide is generated on the surface of the underlayer containing bismuth and copper. This heat treatment is performed at 600 to 1100 ° C. in an oxidizing atmosphere such as the air.
It is important to carry out at a temperature of less than 600 ° C. If the temperature is lower than 600 ° C., the adhesion of the finally obtained conductor layer to the smooth ceramic substrate surface becomes insufficient. In the next electroless copper plating step, the copper component acting as a catalyst for the electroless copper plating does not remain on the outermost surface of the ceramic substrate, so that the adhesion is also insufficient.

【0020】本発明では、上記の熱処理を終えたセラミ
ック基板を還元性溶液中に浸漬して還元処理を行う。こ
の工程により、ビスマス及び銅を含有する下地層の表面
に存在する銅の酸化物は還元されて金属銅となる。この
金属銅がこの後の無電解銅めっき工程での触媒核とな
り、所望する無電解銅めっきが可能となる。還元性溶液
については銅の酸化物を還元するものであればよく、特
に限定はないが、例えば、水素化ホウ素塩液、次亜リン
酸塩液、ジメチルアミンボラン液などを用いることがで
きる。還元性溶液の温度については、特に限定はない
が、室温より高い温度で行うことが還元処理の時間を短
縮するには好ましい。
In the present invention, the ceramic substrate after the above heat treatment is immersed in a reducing solution to perform a reduction treatment. By this step, the copper oxide present on the surface of the underlayer containing bismuth and copper is reduced to metallic copper. This metallic copper serves as a catalyst nucleus in the subsequent electroless copper plating step, and desired electroless copper plating can be performed. The reducing solution is not particularly limited as long as it can reduce copper oxide, and examples thereof include a borohydride solution, a hypophosphite solution, and a dimethylamine borane solution. The temperature of the reducing solution is not particularly limited, but it is preferable to perform the reduction at a temperature higher than room temperature in order to shorten the time of the reduction treatment.

【0021】次いで、上記の還元処理を終えたセラミッ
ク基板に無電解銅めっきを施して導体層を形成する。な
お、必要に応じて、電気めっき等の方法で金属層をさら
にその上に形成して導体層を形成するようにしてもよ
い。そして、この無電解銅めっきの方法については、特
に限定はない。
Next, a conductor layer is formed by performing electroless copper plating on the ceramic substrate that has been subjected to the above-described reduction treatment. If necessary, a metal layer may be further formed thereon by a method such as electroplating to form a conductor layer. The method of electroless copper plating is not particularly limited.

【0022】さらに、本発明において、前記のビスマス
及び銅を含有する下地層を形成する銅成分がエチレンジ
アミン系キレート剤を用いて処理された金属銅粉末又は
エチレンジアミン系キレート剤を含有する無電解めっき
液から析出した金属銅粉末であると、最終的に得られる
導体層の密着力がさらに高まり好ましい。本発明でいう
エチレンジアミン系キレート剤とは、銅のキレート化合
物を形成できるエチレンジアミン系の化学物質を指して
いて、エチレンジアミン系キレート剤としては、特に限
定するものではないが、エチレンジアミン四酢酸(以下
EDTAと略す)、エチレンジアミン二酢酸等のエチレ
ンジアミン系キレート試薬やエチレンジアミン四酢酸二
ナトリウム等のエチレンジアミン系キレート化合物を例
示できる。そして、エチレンジアミン系キレート剤を用
いて処理する方法としては、特に限定するものではない
が、例えば浸漬、塗布、噴霧等の方法が例示できる。
Further, in the present invention, the copper component forming the underlayer containing bismuth and copper is a metal copper powder treated with an ethylenediamine-based chelating agent or an electroless plating solution containing an ethylenediamine-based chelating agent. It is preferable that the metal copper powder be precipitated from further increases the adhesion of the conductor layer finally obtained. The ethylenediamine-based chelating agent in the present invention refers to an ethylenediamine-based chemical substance capable of forming a copper chelate compound. The ethylenediamine-based chelating agent is not particularly limited, but ethylenediaminetetraacetic acid (hereinafter, referred to as EDTA) Abbreviated), ethylenediamine-based chelate reagents such as ethylenediaminediacetate, and ethylenediamine-based chelate compounds such as disodium ethylenediaminetetraacetate. The method of treating with an ethylenediamine-based chelating agent is not particularly limited, but examples thereof include immersion, coating, and spraying.

【0023】[0023]

【作用】本発明に係るセラミック配線板の製法では、セ
ラミック基板表面にビスマス及び銅を含有する下地層を
形成し、次に酸化性雰囲気中で600〜1100℃で熱
処理するが、この熱処理により酸化ビスマスと銅の酸化
物が形成される。酸化ビスマスはセラミック基板へのぬ
れ性がよく、拡散してセラミック基板に対する密着剤と
して作用する。また、酸化ビスマスと銅の酸化物は化合
物を形成するので、それら同士の密着は強固なものにな
る。さらに、酸化ビスマスのセラミック基板側への拡散
速度は銅の酸化物に比べて速いことから、ビスマス及び
銅を含有する層を前記の〜のいずれの方法で形成し
ても、熱処理後のビスマス及び銅を含有する下地層の表
面には銅の酸化物層が現れることになる。
In the method for manufacturing a ceramic wiring board according to the present invention, an underlayer containing bismuth and copper is formed on the surface of a ceramic substrate, and then heat-treated at 600 to 1100 ° C. in an oxidizing atmosphere. An oxide of bismuth and copper is formed. Bismuth oxide has good wettability to the ceramic substrate and diffuses to act as an adhesive to the ceramic substrate. In addition, since bismuth oxide and copper oxide form a compound, the adhesion between them becomes strong. Furthermore, since the diffusion rate of bismuth oxide to the ceramic substrate side is higher than that of copper oxide, even if the layer containing bismuth and copper is formed by any of the above-mentioned methods, the bismuth and heat-treated A copper oxide layer appears on the surface of the copper-containing base layer.

【0024】本発明では、熱処理の後、還元性溶液中に
浸漬して還元処理し、次いで無電解銅めっきを施す構成
となっているので、熱処理後に下地層の表面に現れる銅
の酸化物層は還元処理によって金属銅に変わる。この金
属銅は、次の工程の無電解銅めっきにおけるめっき触媒
として作用する。また、酸化ビスマスの拡散速度が銅の
酸化物に比べて速いことは、下地層の膜厚ばらつきが密
着力に影響する度合いを軽減する作用をし、安定した密
着力が得られるようになる。
In the present invention, after the heat treatment, the substrate is immersed in a reducing solution, subjected to a reduction treatment, and then subjected to electroless copper plating. Therefore, the copper oxide layer which appears on the surface of the underlayer after the heat treatment is formed. Is converted to metallic copper by the reduction treatment. This metallic copper acts as a plating catalyst in the next step of electroless copper plating. In addition, the fact that the diffusion rate of bismuth oxide is higher than that of copper oxide acts to reduce the degree to which the thickness variation of the underlayer affects the adhesion, and a stable adhesion can be obtained.

【0025】そして、前記の及びの方法のように、
銅含有層とビスマス含有層とを独立して形成する場合に
は、ビスマス含有層をセラミック基板の全面に形成し、
銅含有層は回路パターンとなる部分のみに形成するよう
にすれば、ビスマス含有層のみが形成されている部分
は、無電解銅めっきが析出しないので、無電解銅めっき
のめっきレジストの機能を果たすことができる。
And, as in the above methods and,
When the copper-containing layer and the bismuth-containing layer are formed independently, the bismuth-containing layer is formed on the entire surface of the ceramic substrate,
If the copper-containing layer is formed only in the portion that becomes the circuit pattern, the portion in which only the bismuth-containing layer is formed does not deposit electroless copper plating, and thus functions as a plating resist for electroless copper plating. be able to.

【0026】さらに、本発明において、ビスマス及び銅
を含有する下地層を形成する銅成分がエチレンジアミン
系キレート剤を用いて処理された金属銅粉末又はエチレ
ンジアミン系キレート剤を含有する無電解めっき液から
析出した金属銅粉末であることは、金属銅粉末の表面に
銅のキレート化合物が形成されるため、酸化性雰囲気中
600〜1100℃で熱処理するときの銅の酸化物が完
全なCuOとはなりにくく、その結果、次の還元処理で
銅の酸化物層が金属銅に確実に変わりやすくなる。従っ
て、還元処理で得られた金属銅は、次の工程の無電解銅
めっきにおけるめっき触媒として確実に作用し、かつ形
成される銅膜と強固な結合をすることができ、導体層の
密着力の向上ができる。
Further, in the present invention, the copper component forming the underlayer containing bismuth and copper is precipitated from metallic copper powder treated with an ethylenediamine-based chelating agent or from an electroless plating solution containing an ethylenediamine-based chelating agent. Is that the copper chelate compound is formed on the surface of the metal copper powder, so that the copper oxide when heat-treated at 600 to 1100 ° C. in an oxidizing atmosphere is unlikely to become complete CuO As a result, the copper oxide layer can be easily changed to metallic copper in the next reduction treatment. Therefore, the metallic copper obtained by the reduction treatment reliably acts as a plating catalyst in the next step of electroless copper plating, and can form a firm bond with the copper film to be formed. Can be improved.

【0027】[0027]

【実施例】以下に、本発明の具体的な実施例及び比較例
を示す。
EXAMPLES Specific examples of the present invention and comparative examples are shown below.

【0028】(1)ビスマス(以下Biと略す)及び銅
の両金属成分を含有する材料を用いて、コーティングで
下地層を形成した実施例(実施例1〜実施例5) 表面粗化処理を行なっていない、表1に示す各種のセラ
ミック基板表面に、Biレジネートペースト(エヌ・イ
ー ケムキャット社製、#8365、Bi含有率20
%)2重量部と銅レジネートペースト(エヌ・イー ケ
ムキャット社製、#29−B、Cu含有率6%)8重量
部を混合した混合レジネートペーストを印刷して、回路
パターンを形成し、次いで、125℃、10分間の乾燥
を行なって、Bi及び銅が混在する下地層を形成した。
その後、この基板を850℃、1時間、大気中で熱処理
し、次いで80℃の水素化ホウ素ナトリウム水溶液(p
H12.5)に5分間浸漬して還元処理を行なった。
(1) Examples in which an underlayer is formed by coating using a material containing both metal components of bismuth (hereinafter abbreviated as Bi) and copper (Examples 1 to 5) A Bi resinate paste (manufactured by NE Chemcat, # 8365, Bi content 20
%) And 8 parts by weight of a copper resinate paste (manufactured by NE Chemcat Co., Ltd., # 29-B, Cu content 6%) were mixed to form a circuit pattern, and then a circuit pattern was formed. Drying was performed at 125 ° C. for 10 minutes to form an underlayer in which Bi and copper were mixed.
Thereafter, the substrate is heat-treated at 850 ° C. for 1 hour in the air, and then an aqueous solution of sodium borohydride (p
H12.5) for 5 minutes to perform a reduction treatment.

【0029】還元処理を終えた基板に、無電解銅めっき
を施し、前記の回路パターン上に厚みが10μmの銅め
っき膜を厚付けして導体層を形成し、セラミック配線板
を得た。得られたセラミック配線板におけるセラミック
基板と導体層との密着力を測定した。この導体層の密着
力の測定は、図1に示すように、セラミック基板1上に
形成した2mm角の導体層2に0.7mmφのスズめっ
き銅線4をはんだ3により接合した試験片を用いて行な
った。なお図1中の矢印は引張試験の引張方向を示す。
得られた密着力の測定結果を表1に示す。表1の結果か
ら、実施例1〜実施例5では良好な密着力が得られてい
ることがわかる。
The substrate after the reduction treatment was subjected to electroless copper plating, and a copper plating film having a thickness of 10 μm was formed on the circuit pattern to form a conductor layer, thereby obtaining a ceramic wiring board. The adhesive strength between the ceramic substrate and the conductor layer in the obtained ceramic wiring board was measured. As shown in FIG. 1, the adhesion of the conductor layer was measured using a test piece in which a 0.7 mmφ tin-plated copper wire 4 was joined to a 2 mm square conductor layer 2 formed on a ceramic substrate 1 by solder 3 as shown in FIG. I did it. The arrows in FIG. 1 indicate the tensile direction in the tensile test.
Table 1 shows the measurement results of the obtained adhesion. From the results in Table 1, it can be seen that in Examples 1 to 5, good adhesion was obtained.

【0030】[0030]

【表1】 [Table 1]

【0031】(2)銅含有層を形成し、次に銅含有層上
にBi含有層を形成して、下地層を形成した実施例(実
施例6〜実施例15) 表面粗化処理を行なっていない、表2に示す各種のセラ
ミック基板表面にPd成分を有する核付けをした後、無
電解銅めっきを施し表2に示す厚みの銅含有層(金属銅
膜)をセラミック基板表面の全面に形成した。次いで、
この銅含有層が回路パターンとなる部分のみに残るよう
にエッチング法にて加工して、銅含有層のパターニング
を行なった。その後、Biレジネートペースト(エヌ・
イー ケムキャット社製、#8365、Bi含有率20
%)を、基板の全面にスクリーン印刷法により塗布し、
125℃で10分間の乾燥処理を行なってBi含有層を
形成した。こうして、回路パターン部にはBi及び銅を
含有する下地層が形成され、回路パターン部以外の部分
にはBi含有層(Cuは含有していない)のみが形成さ
れた基板を得た。
(2) Examples in which a copper-containing layer is formed, and then a Bi-containing layer is formed on the copper-containing layer, and an underlayer is formed (Examples 6 to 15). After nucleation having a Pd component was performed on various ceramic substrate surfaces shown in Table 2 without electroplating, electroless copper plating was performed, and a copper-containing layer (metal copper film) having a thickness shown in Table 2 was applied to the entire surface of the ceramic substrate surface. Formed. Then
The copper-containing layer was processed by an etching method so that the copper-containing layer was left only in a portion to be a circuit pattern, and the copper-containing layer was patterned. After that, Bi resinate paste (N.
# 8365, Bi content 20, manufactured by E-Chemcat
%) Is applied to the entire surface of the substrate by a screen printing method,
A drying treatment was performed at 125 ° C. for 10 minutes to form a Bi-containing layer. In this way, a substrate was obtained in which the underlayer containing Bi and copper was formed in the circuit pattern portion, and only the Bi-containing layer (containing no Cu) was formed in portions other than the circuit pattern portion.

【0032】その後、上記基板を850℃、1時間、大
気中で熱処理し、次いで80℃の水素化ホウ素ナトリウ
ム水溶液(pH12.5)に5分間浸漬して還元処理を
行なった。還元処理を終えた基板に、無電解銅めっきを
施し、前記の回路パターン上に厚みが10μmの銅めっ
き膜を厚付けして導体層を形成した。なお、回路パター
ン部以外の部分は熱処理で生成した酸化Biの単体で覆
われているため(前記還元処理では酸化Biは還元され
ていない)、その箇所への無電解銅めっきの析出は認め
られず、Bi含有層のみが形成された部分は無電解銅め
っきのめっきレジストの機能を果たすことが確認され
た。
Thereafter, the substrate was heat-treated at 850 ° C. for 1 hour in the air, and then immersed in an aqueous solution of sodium borohydride (pH 12.5) at 80 ° C. for 5 minutes to perform a reduction treatment. The substrate after the reduction treatment was subjected to electroless copper plating, and a copper plating film having a thickness of 10 μm was formed on the circuit pattern to form a conductor layer. Since the portion other than the circuit pattern portion is covered with a single body of Bi oxide generated by the heat treatment (the Bi oxide is not reduced in the reduction treatment), deposition of electroless copper plating on the portion is recognized. However, it was confirmed that the portion where only the Bi-containing layer was formed functions as a plating resist for electroless copper plating.

【0033】次いで、回路パターン部以外の箇所に形成
されていた酸化Biの単体層を酸溶液によってクイック
エッチングしてセラミック配線板を得た。得られたセラ
ミック配線板における導体層の密着力を、前記の実施例
1〜実施例5の場合と同様の方法で測定し、得られた測
定結果を表2に示す。表2の結果から、実施例6〜実施
例15では良好な密着力が得られていることがわかる。
Next, the single layer of Bi oxide formed at locations other than the circuit pattern portion was quick-etched with an acid solution to obtain a ceramic wiring board. The adhesion of the conductor layer in the obtained ceramic wiring board was measured by the same method as in Examples 1 to 5, and the obtained measurement results are shown in Table 2. From the results in Table 2, it can be seen that in Examples 6 to 15, good adhesion was obtained.

【0034】[0034]

【表2】 [Table 2]

【0035】(3)Bi含有層を形成し、次にBi含有
層上に銅含有層を形成して下地層を形成した実施例(実
施例16〜実施例25) 表面粗化処理を行なっていない、表3に示す各種のセラ
ミック基板について、Biレジネートペースト(エヌ・
イー ケムキャット社製、#8365、Bi含有率20
%)をスクリーン印刷して乾燥するか、又はセラミッッ
ク基板の表面にPd成分を有する核付けした後、無電解
Biめっきを施して、Bi含有層をセラミック基板表面
の全面に形成した。なお、各実施例毎のBi含有層の形
成法は表3に示す通りとした。
(3) Examples in which a Bi-containing layer is formed and then a copper-containing layer is formed on the Bi-containing layer to form an underlayer (Examples 16 to 25). For each of the ceramic substrates shown in Table 3, a Bi resinate paste (N.
# 8365, Bi content 20, manufactured by E-Chemcat
%) Was dried by screen printing, or after a nucleus having a Pd component was applied to the surface of the ceramic substrate, and electroless Bi plating was applied to form a Bi-containing layer on the entire surface of the ceramic substrate surface. The method for forming the Bi-containing layer in each example was as shown in Table 3.

【0036】次いで、銅レジネートペースト(エヌ・イ
ー ケムキャット社製、#29−B、Cu含有率6%)
を用いて、印刷、乾燥して、回路パターンとなる部分の
みに銅含有層を形成して、回路パターン部にはBi及び
銅を含有する下地層が形成され、非回路パターン部分に
はBi含有層(銅は含有していない)が形成された基板
を得た。
Next, a copper resinate paste (manufactured by NE Chemcat, # 29-B, Cu content 6%)
Is printed and dried to form a copper-containing layer only on the portion that will become a circuit pattern, a base layer containing Bi and copper is formed on the circuit pattern portion, and a Bi-containing layer is formed on the non-circuit pattern portion. A substrate on which a layer (containing no copper) was formed was obtained.

【0037】その後、上記基板を850℃、1時間、大
気中で熱処理し、次いで80℃の水素化ホウ素ナトリウ
ム水溶液(pH12.5)に5分間浸漬して還元処理を
行なった。還元処理を終えた基板に、無電解銅めっきを
施し、前記の回路パターン上に厚みが10μmの銅めっ
き膜を厚付けして導体層を形成した。なお、回路パター
ン部以外の部分は熱処理で生成した酸化Biの単体で覆
われているため(前記還元処理では酸化Biは還元され
ていない)、その箇所への無電解銅めっきの析出は認め
られず、Bi含有層のみが形成された部分は無電解銅め
っきのめっきレジストの機能を果たすことが確認され
た。
Thereafter, the substrate was heat-treated at 850 ° C. for 1 hour in the air, and then immersed in an aqueous solution of sodium borohydride (pH 12.5) at 80 ° C. for 5 minutes to perform a reduction treatment. The substrate after the reduction treatment was subjected to electroless copper plating, and a copper plating film having a thickness of 10 μm was formed on the circuit pattern to form a conductor layer. Since the portion other than the circuit pattern portion is covered with a single body of Bi oxide generated by the heat treatment (the Bi oxide is not reduced in the reduction treatment), deposition of electroless copper plating on the portion is recognized. However, it was confirmed that the portion where only the Bi-containing layer was formed functions as a plating resist for electroless copper plating.

【0038】次いで、回路パターン部以外の箇所に形成
されていた酸化Biの単体層を酸溶液によってクイック
エッチングしてセラミック配線板を得た。得られたセラ
ミック配線板における導体層の密着力を、前記の実施例
1〜実施例5の場合と同様の方法で測定し、得られた測
定結果を表3に示す。表3の結果から、実施例16〜実
施例25では良好な密着力が得られていることがわか
る。
Next, the single layer of Bi oxide formed at locations other than the circuit pattern portion was quick-etched with an acid solution to obtain a ceramic wiring board. The adhesion of the conductor layer in the obtained ceramic wiring board was measured in the same manner as in Examples 1 to 5, and the obtained measurement results are shown in Table 3. From the results in Table 3, it can be seen that in Examples 16 to 25, good adhesion was obtained.

【0039】[0039]

【表3】 [Table 3]

【0040】(4)前記の実施例7の製造条件の中の、
Biレジネート中のBi含有率を変えた実施例(実施例
26〜29) Biレジネート中の粘度調整用樹脂の添加量を調整する
ことで、Biレジネート中のBi含有率を表4に示す量
にしたBiレジネートを用いた以外については、前記の
実施例7(使用したBiレジネート中のBi含有率は2
0%)と同様にして、セラミック配線板を得た。得られ
たセラミック配線板における導体層の密着力を、前記の
実施例1〜実施例5の場合と同様の方法で測定し、得ら
れた測定結果を実施例7の値も含めて表4に示す。表4
の結果から、Biレジネート中のBi含有率が10%以
上であればより良好な密着力が得られることがわかる。
(4) In the manufacturing conditions of the seventh embodiment,
Examples in which Bi content in Bi resinate was changed (Examples 26 to 29) By adjusting the amount of the viscosity adjusting resin in Bi resinate, the Bi content in Bi resinate was adjusted to the amount shown in Table 4. Example 7 (the Bi content in the used Bi resinate was 2%) except that the used Bi resinate was used.
0%) to obtain a ceramic wiring board. The adhesion of the conductor layer in the obtained ceramic wiring board was measured by the same method as in Examples 1 to 5 described above, and the obtained measurement results including the values of Example 7 are shown in Table 4. Show. Table 4
It can be seen from the results that better adhesion can be obtained if the Bi content in the Bi resinate is 10% or more.

【0041】[0041]

【表4】 [Table 4]

【0042】(5)前記の実施例16の製造条件の中
の、熱処理温度及び熱処理時間を変えた実施例及び比較
例(実施例30〜実施例33及び比較例1〜比較例3) 大気中で熱処理する熱処理温度及び熱処理時間を表5に
示す条件にした以外については、前記の実施例16(熱
処理温度850℃)と同様にして、セラミック配線板を
得た。得られたセラミック配線板における導体層の密着
力を、前記の実施例1〜実施例5の場合と同様の方法で
測定し、得られた測定結果を実施例16の値も含めて表
5に示す。
(5) Examples and Comparative Examples (Examples 30 to 33 and Comparative Examples 1 to 3) in which the heat treatment temperature and the heat treatment time in the manufacturing conditions of Example 16 were changed. A ceramic wiring board was obtained in the same manner as in Example 16 (heat treatment temperature of 850 ° C.) except that the heat treatment temperature and the heat treatment time for the heat treatment were changed to the conditions shown in Table 5. The adhesion of the conductor layer in the obtained ceramic wiring board was measured in the same manner as in Examples 1 to 5 above, and the obtained measurement results are shown in Table 5 including the values of Example 16. Show.

【0043】表5の結果から、熱処理温度が600〜1
100℃の範囲であれば良好な密着力が得られることが
わかる。なお、本発明では、設定する熱処理温度毎に適
切な熱処理時間を設定することが望ましい。
From the results shown in Table 5, the heat treatment temperature was from 600 to 1
It can be seen that good adhesion can be obtained in the range of 100 ° C. In the present invention, it is desirable to set an appropriate heat treatment time for each heat treatment temperature to be set.

【0044】[0044]

【表5】 [Table 5]

【0045】(6)Bi及び銅を含有する下地層を形成
する銅成分としてエチレンジアミン系キレート剤を用い
て処理された金属銅粉末を使用した例(実施例34、実
施例35) 実施例34では、エチレンジアミン四酢酸二ナトリウム
(EDTA・2Naと略す)のアルカリ性飽和水溶液を
準備し、平均粒径1μmの金属銅粉末をこのEDTA・
2Na溶液に浸漬し、攪拌後、ろ過、乾燥することによ
り、エチレンジアミン系キレート剤を用いて処理された
金属銅粉末を作製した。次いで、この処理された金属銅
粉末1.05重量部とBiレジネートペースト(エヌ・
イー ケムキャット社製、#8365、Bi含有率20
%)2重量部とを混合して混合ペーストを作製した。そ
して、実施例1における混合レジネートペーストに代え
て、この混合ペーストを用いた以外は、実施例1と同様
にしてセラミック配線板を得た。得られたセラミック配
線板における導体層の密着力を、前記の実施例1〜実施
例5の場合と同様の方法で測定し、得られた測定結果を
表6に示す
(6) Example in which metallic copper powder treated with an ethylenediamine-based chelating agent is used as a copper component for forming a base layer containing Bi and copper (Examples 34 and 35) , An alkaline saturated aqueous solution of disodium ethylenediaminetetraacetate (abbreviated as EDTA.2Na) was prepared, and a metal copper powder having an average particle size of 1 μm was prepared using the EDTA
After immersion in a 2Na solution, stirring, filtration, and drying, a metal copper powder treated with an ethylenediamine-based chelating agent was prepared. Subsequently, 1.05 parts by weight of the treated metal copper powder and Bi resinate paste (N.
# 8365, Bi content 20, manufactured by E-Chemcat
%) And 2 parts by weight to prepare a mixed paste. Then, a ceramic wiring board was obtained in the same manner as in Example 1 except that this mixed paste was used instead of the mixed resinate paste in Example 1. The adhesion of the conductor layer in the obtained ceramic wiring board was measured by the same method as in the above-described Examples 1 to 5, and the obtained measurement result was measured.
It is shown in Table 6 .

【0046】実施例35では、EDTAを含有する無電
解銅めっき液に、水素化ホウ素ナトリウムを添加して、
無電解銅めっき液を分解させて、金属銅粉末を析出させ
た。次いで、得られた金属銅粉末1.05重量部とBi
レジネートペースト(エヌ・イー ケムキャット社製、
#8365、Bi含有率20%)2重量部とを混合して
混合ペーストを作製した。そして、実施例1における混
合レジネートペーストに代えて、この混合ペーストを用
いた以外は、実施例1と同様にしてセラミック配線板を
得た。得られたセラミック配線板における導体層の密着
力を、前記の実施例1〜実施例5の場合と同様の方法で
測定し、得られた測定結果を表6に示す。
In Example 35, sodium borohydride was added to an electroless copper plating solution containing EDTA,
The electroless copper plating solution was decomposed to deposit metallic copper powder. Next, 1.05 parts by weight of the obtained metallic copper powder and Bi
Resinate paste (manufactured by NE Chemcat, Inc.
# 8365, Bi content 20%) and 2 parts by weight to prepare a mixed paste. Then, a ceramic wiring board was obtained in the same manner as in Example 1 except that this mixed paste was used instead of the mixed resinate paste in Example 1. The adhesion of the conductor layer in the obtained ceramic wiring board was measured in the same manner as in Examples 1 to 5 above, and the obtained measurement results are shown in Table 6.

【0047】表6の結果から、実施例34及び実施例3
5では、実施例1に比べてさらに良好な密着力が得られ
ていることがわかる。
From the results in Table 6, it can be seen from Examples 34 and 3 that
5, it can be seen that even better adhesion was obtained than in Example 1.

【0048】[0048]

【表6】 [Table 6]

【0049】[0049]

【発明の効果】請求項1及び請求項2の発明に係るセラ
ミック配線板の製法では、セラミック基板表面にBi及
びCuを含有する下地層を形成し、次に酸化性雰囲気中
で600〜1100℃で熱処理し、次に還元性溶液中に
浸漬して還元処理し、次いで無電解銅めっきを施す構成
となっているので、還元性雰囲気等の特殊な雰囲気を必
要とせずに、平滑なセラミック基板表面に、安定した強
固な密着力を持つ導体層を形成できる。
In the method for manufacturing a ceramic wiring board according to the first and second aspects of the present invention, an underlayer containing Bi and Cu is formed on the surface of a ceramic substrate, and then a temperature of 600 to 1100 ° C. in an oxidizing atmosphere. Heat treatment, then immersion in a reducing solution for reduction treatment, and then electroless copper plating.Therefore, there is no need for a special atmosphere such as a reducing atmosphere. A conductor layer having a stable and strong adhesion can be formed on the surface.

【0050】請求項3及び請求項4の発明に係るセラミ
ック配線板の製法では、銅含有層とBi含有層とを独立
して形成するので、めっきレジストの役割を果たすBi
含有層のみを形成した部分を設けることができるので、
上記の効果に加えて、工程設計の自由度が増すという効
果も達成する。
In the method for manufacturing a ceramic wiring board according to the third and fourth aspects of the present invention, since the copper-containing layer and the Bi-containing layer are formed independently, the Bi serving as a plating resist is formed.
Since it is possible to provide a portion where only the containing layer is formed,
In addition to the above effects, an effect of increasing the degree of freedom in process design is also achieved.

【0051】請求項5及び請求項6の発明に係るセラミ
ック配線板の製法によれば、下地層を形成する銅成分が
エチレンジアミン系キレート剤を用いて処理された金属
銅粉末又はエチレンジアミン系キレート剤を含有する無
電解めっき液から析出した金属銅粉末であるので、上記
の効果に加えて、さらに強固な密着力を持つ導体層を形
成できる。
According to the method for manufacturing a ceramic wiring board according to the fifth and sixth aspects of the present invention, the copper component forming the underlayer is made of metal copper powder or an ethylenediamine-based chelating agent treated with an ethylenediamine-based chelating agent. Since the metal copper powder is precipitated from the contained electroless plating solution, a conductor layer having a stronger adhesion can be formed in addition to the above-described effects.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】セラミック基板と導体層との密着力の測定法を
示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a method for measuring the adhesion between a ceramic substrate and a conductor layer.

【符号の説明】 1 セラミック基板 2 導体層 3 はんだ 4 スズめっき銅線[Description of Signs] 1 ceramic substrate 2 conductor layer 3 solder 4 tin-plated copper wire

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−55094(JP,A) 特開 昭61−1086(JP,A) 特開 昭61−66305(JP,A) 特開 平3−101291(JP,A) 特開 平3−136293(JP,A) 特開 平3−175689(JP,A) 国際公開93/7736(WO,A1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 3/18 H05K 3/38 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-59-55094 (JP, A) JP-A-61-1086 (JP, A) JP-A-61-66305 (JP, A) JP-A-3-3 101291 (JP, A) JP-A-3-136293 (JP, A) JP-A-3-175689 (JP, A) WO 93/7736 (WO, A1) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7) , DB name) H05K 3/18 H05K 3/38

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 セラミック基板に対して、その表面にビ
スマス及び銅を含有する下地層を形成し、次に酸化性雰
囲気中で600〜1100℃で熱処理し、次に還元性溶
液中に浸漬して還元処理し、次いで無電解銅めっきを施
すことを特徴とするセラミック配線板の製法。
An underlayer containing bismuth and copper is formed on the surface of a ceramic substrate, and then heat-treated at 600 to 1100 ° C. in an oxidizing atmosphere, and then immersed in a reducing solution. A method for producing a ceramic wiring board, which comprises subjecting a ceramic wiring board to reduction treatment and then electroless copper plating.
【請求項2】 前記のビスマス及び銅を含有する下地層
を形成する方法が、ビスマス及び銅の両金属成分を含有
する材料をセラミック基板表面にコーティングして形成
する方法であることを特徴とする請求項1記載のセラミ
ック配線板の製法。
2. The method of forming an underlayer containing bismuth and copper is a method of coating a material containing both metal components of bismuth and copper on a surface of a ceramic substrate. A method for producing a ceramic wiring board according to claim 1.
【請求項3】 前記のビスマス及び銅を含有する下地層
を形成する方法が、セラミック基板表面に銅含有層を形
成し、次にこの銅含有層上にビスマス含有層を形成する
方法であることを特徴とする請求項1記載のセラミック
配線板の製法。
3. The method of forming an underlayer containing bismuth and copper is a method of forming a copper-containing layer on the surface of a ceramic substrate and then forming a bismuth-containing layer on the copper-containing layer. The method for producing a ceramic wiring board according to claim 1, wherein:
【請求項4】 前記のビスマス及び銅を含有する下地層
を形成する方法が、セラミック基板表面にビスマス含有
層を形成し、次にこのビスマス含有層上に銅含有層を形
成する方法であることを特徴とする請求項1記載のセラ
ミック配線板の製法。
4. The method of forming an underlayer containing bismuth and copper is a method of forming a bismuth-containing layer on a surface of a ceramic substrate, and then forming a copper-containing layer on the bismuth-containing layer. The method for producing a ceramic wiring board according to claim 1, wherein:
【請求項5】 ビスマス及び銅を含有する下地層を形成
する銅成分がエチレンジアミン系キレート剤を用いて処
理された金属銅粉末であることを特徴とする請求項1か
ら請求項4までのいずれかに記載のセラミック配線板の
製法。
5. The copper component forming the underlayer containing bismuth and copper is metallic copper powder treated with an ethylenediamine-based chelating agent. 3. The method for producing a ceramic wiring board according to item 1.
【請求項6】 ビスマス及び銅を含有する下地層を形成
する銅成分がエチレンジアミン系キレート剤を含有する
無電解めっき液から析出した金属銅粉末であることを特
徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載の
セラミック配線板の製法。
6. A metal copper powder precipitated from an electroless plating solution containing an ethylenediamine-based chelating agent, wherein a copper component forming an underlayer containing bismuth and copper is a metal copper powder. The method for producing a ceramic wiring board according to any one of the above.
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