JP3149564B2 - Resistor - Google Patents

Resistor

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JP3149564B2
JP3149564B2 JP25983792A JP25983792A JP3149564B2 JP 3149564 B2 JP3149564 B2 JP 3149564B2 JP 25983792 A JP25983792 A JP 25983792A JP 25983792 A JP25983792 A JP 25983792A JP 3149564 B2 JP3149564 B2 JP 3149564B2
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浩幸 久保田
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晃慶 中山
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、抵抗特性のばらつきを
防止でき、かつ湿度等に対する耐環境性を向上できると
ともに、電力容量,及び機械的強度を向上できるように
した抵抗体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resistor capable of preventing variations in resistance characteristics, improving environmental resistance to humidity and the like, and improving power capacity and mechanical strength.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、Ru酸化物,又はRu化合物
を主体としたサーメット抵抗体は精度の優れた抵抗素子
として広く用いられている。このような抵抗体は、例え
ばアルミナ基板の表面に、上記Ru酸化物等からなる抵
抗ペーストを印刷して厚膜の抵抗膜を形成し、これを80
0 〜900 ℃で焼き付ける。そして上記アルミナ基板の抵
抗膜の表面にガラスペーストを塗布した後、焼き付けて
ガラス膜を形成し、これにより湿度等に対する耐環境性
を向上するようにしている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a cermet resistor mainly composed of a Ru oxide or a Ru compound has been widely used as a resistance element having excellent accuracy. Such a resistor is formed, for example, by printing a resistor paste made of the above-mentioned Ru oxide or the like on the surface of an alumina substrate to form a thick resistor film,
Bake at 0-900 ° C. Then, a glass paste is applied to the surface of the resistive film of the alumina substrate and then baked to form a glass film, thereby improving environmental resistance to humidity and the like.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の抵抗体では、抵抗膜にガラス膜を直接コーティング
することから抵抗値が変化し易く、特性にばらつきが生
じ易いという問題がある。また上記ガラス膜にピンホー
ルが生じる場合があり、この結果湿度の高い雰囲気中で
はピンホールから水分等が侵入して抵抗特性を悪化させ
るという問題もある。さらに上記従来の抵抗体では、ア
ルミナ基板,抵抗膜,及びガラス膜の熱膨張率がそれぞ
れ異なることから、抵抗膜の基板への密着性が低く、そ
の結果大きな電力容量が得られず、100mW 程度が限度で
あった。
However, in the above-mentioned conventional resistor, since the glass film is directly coated on the resistance film, there is a problem that the resistance value is liable to change and the characteristics are likely to vary. In addition, a pinhole may be formed in the glass film, and as a result, there is a problem that moisture or the like intrudes from the pinhole in a humid atmosphere to deteriorate resistance characteristics. Furthermore, in the above-mentioned conventional resistor, the thermal expansion coefficients of the alumina substrate, the resistive film, and the glass film are different from each other, so that the adhesiveness of the resistive film to the substrate is low, and as a result, a large power capacity cannot be obtained. Was the limit.

【0004】本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされ
たもので、抵抗特性のばらつきを回避でき、かつ湿度に
対する耐環境性を向上できるとともに、大きな電力容量
が得られる抵抗体を提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional circumstances, and provides a resistor capable of avoiding variation in resistance characteristics, improving environmental resistance to humidity, and obtaining a large power capacity. It is an object.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】そこで本発明は、ZnO
を主成分とする複数のセラミクスシートを、該セラミク
スシートにRuを含む抵抗ペーストを印刷してなる抵抗
膜を介在させて積層し、該積層体を上記抵抗膜とともに
一体焼結して直方体状のセラミクス焼結体を形成し、該
焼結体にガラスを拡散させるとともに、該焼結体の表面
に上記抵抗膜に電気的に接続される外部電極を形成した
ことを特徴する抵抗体である。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention provides ZnO
A plurality of ceramics sheets having as a main component are laminated with a resistance film formed by printing a resistance paste containing Ru on the ceramics sheet interposed therebetween, and the laminated body is integrally sintered with the resistance film to form a rectangular parallelepiped. A resistor characterized in that a ceramic sintered body is formed, glass is diffused into the sintered body, and external electrodes electrically connected to the resistance film are formed on the surface of the sintered body.

【0006】ここで、上記ガラス材料としては、セラミ
クスと抵抗膜とを一体焼結する際の焼成温度以下の軟化
点を有し、かつ絶縁性を有するものであればよく、特に
限定するものではないが、耐酸性や耐溶剤性に優れたも
のを用いるのが望ましい。また、上記ガラスを拡散させ
る手段としては、ガラス,又はガラス質の材料にワニス
等を加えてペースト状とし、これを焼結体の表面に付着
させる方法、または上記ガラス材料を溶融,蒸発させた
雰囲気下で焼結体を熱処理して拡散浸透させる方法等が
採用でき、特に限定するものではない。
Here, the glass material may be any material having a softening point not higher than the sintering temperature at the time of integrally sintering the ceramics and the resistive film and having an insulating property, and is not particularly limited. However, it is desirable to use one having excellent acid resistance and solvent resistance. As a means for diffusing the glass, a method of adding a varnish or the like to glass or a vitreous material to form a paste and attaching the paste to the surface of a sintered body, or melting and evaporating the glass material A method of heat-treating the sintered body in an atmosphere to diffuse and infiltrate it can be adopted, and the method is not particularly limited.

【0007】また、上記ガラスの拡散量を変化させるこ
とにより抵抗値を任意にコントロールすることが可能で
あり、この拡散量はガラス量や熱処理時の雰囲気濃度,
温度,あるいは時間等を適宜設定することとなる。ちな
みに、拡散量を増やすほど抵抗値は大きくなる。
The resistance value can be arbitrarily controlled by changing the diffusion amount of the glass.
The temperature, time, or the like is appropriately set. Incidentally, the resistance value increases as the diffusion amount increases.

【0008】さらに、上記抵抗体を製造するには、複数
のセラミクスシートをこれの間に上記抵抗膜を介在させ
て積層し、該積層体を抵抗膜とともに一体焼結して焼結
体を形成し、しかる後、この焼結体にガラスを外部から
拡散させることとなる。
In order to manufacture the resistor, a plurality of ceramic sheets are laminated with the resistor film interposed therebetween, and the laminated body is sintered together with the resistor film to form a sintered body. Thereafter, glass is diffused from the outside into the sintered body.

【0009】[0009]

【作用】本発明に係る抵抗体によれば、ZnOを主成分
とする複数のセラミクスシートをRuを含む抵抗膜を介
在させて積層し、該積層体を一体焼結してなる直方体状
のセラミクス焼結体にガラスを拡散させ、さらに上記焼
結体の表面に上記抵抗膜に接続される外部電極を形成し
たので、上記抵抗膜の周囲はセラミクスで覆われてお
り、しかも焼結体の表面はガラス膜で覆われていること
から、従来の抵抗膜に直接ガラスコーティングする場合
のような抵抗値の変化による特性のばらつきを回避でき
る。また、上記抵抗膜の周囲は同一の材料の焼結体で囲
まれることから、放熱性を向上でき、かつ熱膨張の差に
よる歪も小さくでき、それだけ大きな電力容量を得るこ
とができる。さらに、上記焼結体にガラスを拡散させた
ことにより、焼結体に含まれる微細な空孔を埋めること
ができることから、従来のピンホールによる問題を解消
でき、湿度等に対する耐環境性を改善でき、寿命を向上
できる。さらには、上記ガラスの拡散により抵抗体素子
の機械的強度を向上できる。
According to the resistor according to the present invention, a plurality of ceramic sheets mainly composed of ZnO are laminated with a resistance film containing Ru interposed therebetween, and the laminated body is integrally sintered to form a rectangular parallelepiped ceramic. Glass was diffused into the sintered body, and an external electrode connected to the resistance film was formed on the surface of the sintered body, so that the periphery of the resistance film was covered with ceramics, and the surface of the sintered body Is covered with a glass film, it is possible to avoid a variation in characteristics due to a change in resistance value as in the case where a conventional resistive film is directly coated with glass. Further, since the periphery of the resistance film is surrounded by a sintered body of the same material, heat dissipation can be improved, distortion due to a difference in thermal expansion can be reduced, and a large power capacity can be obtained. Furthermore, by diffusing glass into the sintered body, fine pores contained in the sintered body can be filled, so that problems caused by conventional pinholes can be solved and environmental resistance to humidity and the like can be improved. And life can be improved. Further, the mechanical strength of the resistor element can be improved by the diffusion of the glass.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明の実施例を図について説明す
る。図1及び図2は本発明の一実施例による抵抗体を説
明するための図である。図において、1は本実施例のサ
ーメット抵抗体である。この抵抗体1は略直方体状のセ
ラミクス焼結体3の内部にRu酸化物,又はその化合物
からなる抵抗膜4を埋設して構成されている。この抵抗
膜4の左, 右端面4a,4bは上記焼結体3の左, 右側
面3a,3bに露出しており、残り他の端面は焼結体3
内に封入されている。また、上記焼結体3の左, 右側面
3a,3bにはAg−Pdからなる外部電極5が被覆形
成されており、該外部電極5は上記抵抗膜4の各端面4
a,4bに電気的に接続されている。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 and 2 are views for explaining a resistor according to an embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a cermet resistor according to the present embodiment. The resistor 1 is constituted by burying a resistance film 4 made of Ru oxide or a compound thereof in a substantially rectangular ceramic sintered body 3. The left and right end faces 4a, 4b of the resistance film 4 are exposed on the left and right side faces 3a, 3b of the sintered body 3, and the remaining other end faces are the sintered body 3
Enclosed within. Further, external electrodes 5 made of Ag-Pd are formed on the left and right side surfaces 3a and 3b of the sintered body 3 so as to cover the respective end surfaces 4 of the resistance film 4.
a, 4b.

【0011】また、上記焼結体3は、ZnOを主成分と
し、これに副添加物を混合してなる複数のセラミクスシ
ート2を積層して積層体を形成し、この積層体を一体焼
結して形成されたものである。そしてこの場合に、厚さ
方向中央に位置する1枚のセラミクスシート2の上面に
上記抵抗膜4をパターン形成し、この抵抗膜4が形成さ
れたセラミクスシート2に残りのセラミクスシート2を
サンドイッチ状に重ね合わせている。
The sintered body 3 is formed by laminating a plurality of ceramic sheets 2 containing ZnO as a main component and a mixture of sub-additives to form a laminated body. It was formed as follows. In this case, the resistance film 4 is pattern-formed on the upper surface of one ceramic sheet 2 located at the center in the thickness direction, and the remaining ceramic sheet 2 is sandwiched on the ceramic sheet 2 on which the resistance film 4 is formed. Is superimposed.

【0012】そして、上記焼結体3の表面部分にはガラ
ス層6が形成されている。このガラス層6は、上記焼結
体3とガラス粉末とを磁性容器内に収容し、この磁性容
器を回転させながら上記ガラス粉末の軟化点以上の温度
で熱処理し、これによりガラスを上記焼結体3内に拡散
浸透させて形成したものである。
A glass layer 6 is formed on the surface of the sintered body 3. The glass layer 6 accommodates the sintered body 3 and the glass powder in a magnetic container and heat-treats the glass container at a temperature equal to or higher than the softening point of the glass powder while rotating the magnetic container. It is formed by diffusing and penetrating into the body 3.

【0013】次に本実施例の作用効果について説明す
る。本実施例の抵抗体1によれば、焼結体3に抵抗膜4
を埋設するとともにガラス層6を形成したので、この抵
抗膜4の周囲はセラミクスで覆われていることから、従
来のガラスコーティングを不要にでき、それだけ抵抗値
の変化による特性のばらつきを回避できる。また、焼結
体3の外表面部分にガラスを拡散させたので、これによ
り焼結体3内の空孔を埋めることができ、ピンホールの
問題も解消できることから、湿度等に対する耐環境性を
向上でき、寿命特性を向上できる。
Next, the operation and effect of this embodiment will be described. According to the resistor 1 of this embodiment, the sintered body 3 has the resistance film 4
Is embedded and the glass layer 6 is formed, so that the periphery of the resistance film 4 is covered with the ceramics, so that the conventional glass coating can be eliminated, and the characteristic variation due to the change in the resistance value can be avoided accordingly. Further, since the glass is diffused to the outer surface portion of the sintered body 3, the pores in the sintered body 3 can be filled, and the problem of the pinhole can be solved. And the life characteristics can be improved.

【0014】また、上記抵抗膜4の周囲はセラミクス材
料で囲まれていることから、放熱性を向上でき、かつ熱
膨張率の差による歪も少なくでき、それだけ電力容量を
向上できる。ちなみに、従来の抵抗素子では100mW 程度
であったのに対して、本実施例の抵抗体1では、従来素
子の体積に比較して小型化を図りながら2〜10倍以上の
電力容量が得られる。
Further, since the periphery of the resistance film 4 is surrounded by the ceramic material, the heat dissipation can be improved, the distortion due to the difference in the coefficient of thermal expansion can be reduced, and the power capacity can be improved accordingly. By the way, while the resistance value of the conventional resistance element was about 100 mW, the resistance body 1 of the present embodiment can achieve a power capacity of 2 to 10 times or more while reducing the size of the conventional element. .

【0015】さらに、本実施例では、焼結体3にガラス
層6を形成したことにより、抵抗体1の抗折強度を向上
できるとともに、ガラスの拡散量を変化させることによ
り抵抗値をコントロールすることが可能であるから、用
途を拡大できる。さらにまた複数の抵抗膜4を積層化で
きることから、同一パターン,同一工程で抵抗値の異な
る各種の抵抗体を自由に設計でき、この点からも用途を
拡大できる。
Further, in this embodiment, by forming the glass layer 6 on the sintered body 3, the bending strength of the resistor 1 can be improved, and the resistance value can be controlled by changing the amount of diffusion of glass. It is possible to expand applications. Furthermore, since a plurality of resistance films 4 can be laminated, various resistors having different resistance values can be freely designed in the same pattern and the same process, and the application can be expanded from this point as well.

【0016】なお、上記実施例では、焼結体3の外表面
部分にガラス層6を形成した場合を例にとって説明した
が、本発明は焼結体3の内部全域わたってに拡散させて
もよく、あるいは焼結体の表面にガラスを付着させても
よい。
In the above embodiment, the case where the glass layer 6 is formed on the outer surface of the sintered body 3 has been described as an example. However, the present invention can be applied to the case where the glass layer 6 is diffused over the entire area of the sintered body 3. Alternatively, glass may be adhered to the surface of the sintered body.

【0017】次に本実施例の抵抗体1の一製造方法につ
いて説明する。まず、ZnOを主成分とし、これにB
i,Sb,Co,MnをBi2 3 ,Sb2 3 ,Co
O,MnO酸化物に換算してそれぞれ1.0 mol %,0.5mo
l %,0.5mol %,0.5mol %となるよう配合してセラミク
ス粉末を形成する。この粉末に純水を加えてボールミル
で粉砕混合してスラリーを形成する。
Next, one method of manufacturing the resistor 1 of the present embodiment will be described. First, ZnO is used as a main component, and B
i, Sb, Co, Mn are represented by Bi 2 O 3 , Sb 2 O 3 , Co
1.0 mol% and 0.5 mol, respectively, in terms of O and MnO oxides
l%, 0.5 mol%, 0.5 mol% to form a ceramic powder. Pure water is added to the powder, and the mixture is pulverized and mixed by a ball mill to form a slurry.

【0018】次に、上記スラリーを蒸発乾燥させて、75
0 ℃で2時間仮焼成する。この仮焼成物を粗粉砕し、こ
れに純水を加えてボールミルで微粉砕してセラミクス原
料を形成する。次いで、この原料に、エチルアルコール
及びトルエンを6:4の割合で混合した溶媒を加えてボ
ールミルで混合してスラリーを形成する。
Next, the slurry is evaporated to dryness to give 75
Pre-fire at 0 ° C for 2 hours. The calcined product is roughly pulverized, and pure water is added thereto, and finely pulverized by a ball mill to form a ceramic material. Next, a solvent in which ethyl alcohol and toluene are mixed at a ratio of 6: 4 is added to the raw materials, and mixed with a ball mill to form a slurry.

【0019】上記スラリーをドクタブレード法により、
厚さ70μm のグリーンシートを形成し、このグリーシー
トを乾燥させた後、所定の大きさにカットして矩形状の
セラミクスシート2を多数枚形成する。
The above slurry is subjected to a doctor blade method.
After forming a green sheet having a thickness of 70 μm and drying the green sheet, the green sheet is cut into a predetermined size to form a large number of rectangular ceramic sheets 2.

【0020】次に、RuO2 :Ru2 Pb2 7 :Ru
2 Bi2 7 =6:2:2mol 比で配合してなる組成物
に、ビヒクル及びガラスを加えて抵抗ペーストを形成す
る。この抵抗ペーストを上記1枚のセラミクスシート2
の上面に印刷して抵抗膜4を形成する。この場合、上記
抵抗膜4の左, 右端面4a,4bがセラミクスシート2
の左, 右外縁に位置し、残り他の端面はシート2の内側
に位置するよう形成する。
Next, RuO 2 : Ru 2 Pb 2 O 7 : Ru
A vehicle and glass are added to a composition prepared by mixing 2 Bi 2 O 7 = 6: 2: 2 mol to form a resistance paste. This resistance paste is applied to the one ceramic sheet 2
The resistive film 4 is formed by printing on the upper surface of the substrate. In this case, the left and right end surfaces 4a and 4b of the resistance film 4 are
Are formed on the left and right outer edges, and the other end face is formed on the inside of the sheet 2.

【0021】次いで、上記抵抗膜4が形成されたセラミ
クスシート2の上面,及び下面に複数枚のセラミクスシ
ート2を重ね合わせて積層し、これに2t/cm2 の圧力を
加えて圧着し、これにより積層体を形成する。次に、こ
の積層体を所定の大きさにカットし、これを400 ℃に加
熱してバインダーを飛散させた後、930 ℃に昇温加熱し
て3時間焼成し、これにより焼結体3を得る。これによ
り得られた焼結体3をバレル研磨する。
Next, a plurality of ceramic sheets 2 are superimposed and laminated on the upper and lower surfaces of the ceramic sheet 2 on which the resistance film 4 is formed, and a pressure of 2 t / cm 2 is applied thereto and pressed. To form a laminate. Next, the laminate is cut into a predetermined size, heated to 400 ° C. to disperse the binder, and then heated to 930 ° C. and fired for 3 hours. obtain. The sintered body 3 thus obtained is barrel-polished.

【0022】そして、上記焼結体3を磁性容器内に収容
するとともに、この容器内に所定量のホウケイ酸ガラス
粉末を入れる。この状態で上記磁性容器を回転させなが
ら上記ガラス粉末の軟化点以上の800 ℃に加熱し、2時
間熱処理する。この熱処理によって、上記ガラス粉末が
焼結体3の表面部分に拡散浸透して付着し、これにより
ガラス層6が形成されることとなる。
The sintered body 3 is housed in a magnetic container, and a predetermined amount of borosilicate glass powder is put in the container. In this state, the glass container is heated to 800 ° C., which is higher than the softening point of the glass powder, while rotating, and heat-treated for 2 hours. By this heat treatment, the glass powder diffuses and penetrates into and adheres to the surface portion of the sintered body 3, whereby the glass layer 6 is formed.

【0023】最後に、上記焼結体3の左, 右側面3a,
3bにAg:Pd=7:3wt比からなる電極ペーストを
塗布し、これを850 ℃で10分間焼き付けて外部電極5を
形成し、該外部電極5と抵抗膜4の左, 右端面4a,4
bとを電気的に接続する。これにより本実施例の抵抗体
1が製造される。
Finally, the left and right side surfaces 3a of the sintered body 3
An electrode paste having an Ag: Pd = 7: 3 wt ratio is applied to 3b and baked at 850 ° C. for 10 minutes to form an external electrode 5. The external electrode 5 and the left and right end faces 4a, 4 of the resistive film 4 are formed.
b is electrically connected. Thereby, the resistor 1 of the present embodiment is manufactured.

【0024】[0024]

【表1】 [Table 1]

【0025】[0025]

【表2】 [Table 2]

【0026】次に本実施例の抵抗体1の効果を確認する
ために行った試験について説明する。この試験は、表1
及び表2に示すように、ホウケイ酸ガラス粉末の添加量
を0.3 〜1.5 wt%の範囲とし、これによりガラスの拡
散,付着量を変化させて上記製造方法により多数の実施
例試料No. 3〜No. 7を作成した。そして上記各実施例
試料No. 3〜No. 7の抵抗値(Ω),3CV(3σ/平
均×100 %) ,電力容量(mW) ,及び抵抗値の直線性
(α)を測定した。この直線性はα=1/log( R1m A /
0.1mA )により求めた。また、上記各実施例試料の抗
折強度Kg, 及び1Wの電力を負荷したプレッシャークッ
カー(2気圧, 湿度100 %RH) により96時間後の抵抗値の
変化率%を測定した。なお、比較するために、ガラスの
拡散,及び熱処理をしない比較試料NO. 1と、ガラスの
拡散をしないで熱処理のみ施した比較試料NO. 2を作成
し、これについても同様の測定を行った。
Next, a test performed to confirm the effect of the resistor 1 of this embodiment will be described. This test is shown in Table 1.
As shown in Table 2 and Table 2, the addition amount of the borosilicate glass powder was in the range of 0.3 to 1.5 wt%, thereby changing the diffusion and adhesion amount of the glass. No. 7 was created. Then, the resistance value (Ω), 3 CV (3σ / average × 100%), power capacity (mW), and linearity (α) of the resistance value of each of the sample samples No. 3 to No. 7 were measured. The linearity α = 1 / log (R 1m A /
R 0.1 mA ). In addition, the bending strength Kg of each of the above-mentioned examples and the rate of change of the resistance value after 96 hours were measured by a pressure cooker (2 atm, 100% RH) loaded with 1 W of electric power. For comparison, a comparative sample No. 1 without diffusion of glass and no heat treatment and a comparative sample No. 2 with only heat treatment without diffusion of glass were prepared, and the same measurement was performed. .

【0027】表2からも明らかなように、ガラスを拡散
しない両比較試料NO. 1,NO. 2の場合、電力容量,直
線性,抗折強度等のいずれの特性も使用可能なレベルと
なっているが、抗折強度では2.6,2.3Kg 、抵抗変化率で
は5.2,5.6 %と満足できる値が得られていない。これに
対してガラスを拡散させた各実施例試料NO. 3〜NO.7
の場合は、抵抗値のばらつきが9.0 〜13%, 電力容量が
1360〜1530mW, 直線性が1.00〜1.01と満足できる値が得
られている。しかも抗折強度では3.2,〜4.3Kg、抵抗変
化率では2.2 〜1.1 %と上記比較試料に比べて大幅に向
上しており、寿命特性が向上していることがわかる。ま
た、上記実施例試料NO. 3〜NO. 7では、ガラスの拡散
量を増やすほど抵抗値が大きくなっており、このことか
ら拡散量をコントロールすることにより抵抗値を任意に
設定できることがわかる。
As is clear from Table 2, in the case of both Comparative Samples No. 1 and No. 2 which do not diffuse glass, any of the characteristics such as power capacity, linearity, and bending strength are at usable levels. However, a satisfactory value of 2.6, 2.3 kg in the transverse rupture strength and 5.2, 5.6% in the rate of resistance change was not obtained. On the other hand, each of the sample Nos. 3 to 7 in which the glass was diffused
In the case of, the variation in resistance value is 9.0 to 13%, and the power capacity is
Satisfactory values of 1360 to 1530 mW and linearity of 1.00 to 1.01 have been obtained. In addition, the transverse rupture strength is 3.2 to 4.3 kg, and the resistance change rate is 2.2 to 1.1%, which is significantly improved as compared with the comparative sample, indicating that the life characteristics are improved. Further, in the above-mentioned example samples No. 3 to No. 7, the resistance value increases as the amount of diffusion of the glass increases, which indicates that the resistance value can be arbitrarily set by controlling the amount of diffusion.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上のように本発明に係る抵抗体によれ
ば、ZnOを主成分とする複数のセラミクスシートをR
uを含む抵抗膜を介在させて積層して一体焼結し、該焼
結体にガラスを拡散させるとともに、該焼結体の表面に
上記抵抗膜に接続される外部電極を形成したので、抵抗
値の変化による特性のばらつきを回避でき、かつ湿度に
対する耐環境性を向上できる効果があるとともに、電力
容量,及び寿命特性を向上できる効果がある。
As described above, according to the resistor of the present invention, a plurality of ceramic sheets mainly composed of ZnO are
Since the resistance film containing u is interposed and laminated and sintered integrally, glass is diffused into the sintered body, and an external electrode connected to the resistance film is formed on the surface of the sintered body. This has the effect of avoiding variations in the characteristics due to the change in the value, improving the environmental resistance to humidity, and improving the power capacity and the life characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例による抵抗体を説明するため
の断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a resistor according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記実施例の抵抗体の製造方法を示す分解斜視
図である。
FIG. 2 is an exploded perspective view showing a method for manufacturing the resistor of the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 抵抗体 3 焼結体 4 抵抗膜 6 ガラス層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Resistor 3 Sintered body 4 Resistance film 6 Glass layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中山 晃慶 京都府長岡京市天神2丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (72)発明者 後 外茂昭 京都府長岡京市天神2丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (56)参考文献 特開 平4−18701(JP,A) 特開 昭60−201601(JP,A) 特開 昭64−67901(JP,A) 特開 昭52−41856(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01C 7/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Kokei Nakayama 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto Inside Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Inventor Shigeaki Go 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto No. 56 Murata Manufacturing Co., Ltd. (56) References JP-A-4-18701 (JP, A) JP-A-60-201601 (JP, A) JP-A-64-6701 (JP, A) JP-A 52-187 41856 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H01C 7/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ZnOを主成分とする複数のセラミクス
シートを、該セラミクスシートにRuを含む抵抗ペース
トを印刷してなる抵抗膜を介在させて積層し、該積層体
を上記抵抗膜とともに一体焼結して直方体状のセラミク
ス焼結体を形成し、該焼結体にガラスを拡散させるとと
もに、該焼結体の表面に上記抵抗膜に電気的に接続され
る外部電極を形成したことを特徴する抵抗体。
1. A plurality of ceramics containing ZnO as a main component
The resistance sheet containing Ru in the ceramics sheet
Laminated with a resistive film formed by printing
Is sintered together with the above resistance film to form a rectangular parallelepiped ceramic.
When a sintered body is formed and glass is diffused into the sintered body,
In addition, the surface of the sintered body is electrically connected to the resistance film.
A resistor having an external electrode formed thereon.
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