JP3148076B2 - インクジェットヘッドのアクチュエータ - Google Patents
インクジェットヘッドのアクチュエータInfo
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- JP3148076B2 JP3148076B2 JP12029394A JP12029394A JP3148076B2 JP 3148076 B2 JP3148076 B2 JP 3148076B2 JP 12029394 A JP12029394 A JP 12029394A JP 12029394 A JP12029394 A JP 12029394A JP 3148076 B2 JP3148076 B2 JP 3148076B2
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェットヘッドの
アクチュエータに係り、特に、インクジェットヘッドの
ノズルからインクを噴出させる振動板を駆動するための
インクジェットヘッドのアクチュエータに関する。
アクチュエータに係り、特に、インクジェットヘッドの
ノズルからインクを噴出させる振動板を駆動するための
インクジェットヘッドのアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ノズルが形成されたノズルプ
レートとこのノズルプレートに対向するように配設され
た振動板とにより構成されたインクジェットヘッドにお
いては、所定の印字信号基づいて、前記振動板を振動さ
せることにより、所定のインクを前記ノズルから噴出さ
せて所望の印字を行なうようになされており、従来、前
記振動板を振動させるためのアクチュエータとして、例
えば、圧電素子が用いられている。
レートとこのノズルプレートに対向するように配設され
た振動板とにより構成されたインクジェットヘッドにお
いては、所定の印字信号基づいて、前記振動板を振動さ
せることにより、所定のインクを前記ノズルから噴出さ
せて所望の印字を行なうようになされており、従来、前
記振動板を振動させるためのアクチュエータとして、例
えば、圧電素子が用いられている。
【０００３】このような従来のアクチュエータにおいて
は、平板状の圧電部材を切削加工等により複数の圧電素
子に分割することにより櫛型状に形成し、これら各圧電
素子にそれぞれ電極を接続し、所望の印字信号に基づい
て、対応する圧電素子の電極を介して所定の電源から電
圧を印加することにより、圧電素子を駆動するようにな
されている。
は、平板状の圧電部材を切削加工等により複数の圧電素
子に分割することにより櫛型状に形成し、これら各圧電
素子にそれぞれ電極を接続し、所望の印字信号に基づい
て、対応する圧電素子の電極を介して所定の電源から電
圧を印加することにより、圧電素子を駆動するようにな
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来のイ
ンクジェットヘッドの圧電素子においては、平板状の圧
電部材を切削加工することにより所望の櫛型の圧電素子
を形成するものであるため、各圧電素子の幅寸法を小さ
く形成することが極めて困難であり、また、前記各圧電
素子の幅寸法が大きくなってしまうことから、各圧電素
子に電極を接続した場合に、電極間距離が大きくなり、
駆動電圧が大きくなってしまうという問題を有してい
る。さらに、電極をそれぞれ接続するものであるため、
電極の形成作業が極めて困難であり、容易に製造するこ
とができないという問題をも有している。
ンクジェットヘッドの圧電素子においては、平板状の圧
電部材を切削加工することにより所望の櫛型の圧電素子
を形成するものであるため、各圧電素子の幅寸法を小さ
く形成することが極めて困難であり、また、前記各圧電
素子の幅寸法が大きくなってしまうことから、各圧電素
子に電極を接続した場合に、電極間距離が大きくなり、
駆動電圧が大きくなってしまうという問題を有してい
る。さらに、電極をそれぞれ接続するものであるため、
電極の形成作業が極めて困難であり、容易に製造するこ
とができないという問題をも有している。
【０００５】また、従来から、比較的小さい駆動電圧で
駆動することのできる積層型のアクチュエータが開発さ
れているが、製造コストが高く、しかも、積層圧電部材
を切削加工して圧電素子を形成する際に、積層間の剥離
が生じやすく、信頼性が著しく低下してしまうという問
題を有している。
駆動することのできる積層型のアクチュエータが開発さ
れているが、製造コストが高く、しかも、積層圧電部材
を切削加工して圧電素子を形成する際に、積層間の剥離
が生じやすく、信頼性が著しく低下してしまうという問
題を有している。
【０００６】本発明は前記した点に鑑みてなされたもの
で、積層型のアクチュエータを用いず、小さい駆動電圧
で駆動することができるとともに、電極を容易に形成す
ることができ、信頼性を著しく高めることのできるイン
クジェットヘッドのアクチュエータを提供することを目
的とするものである。
で、積層型のアクチュエータを用いず、小さい駆動電圧
で駆動することができるとともに、電極を容易に形成す
ることができ、信頼性を著しく高めることのできるイン
クジェットヘッドのアクチュエータを提供することを目
的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
請求項１に記載の発明に係るインクジェットヘッドは、
所定の印字信号に基づいてインクをノズルから噴出させ
て所望の印字を行なうインクジェットヘッドの振動板を
振動させるためのインクジェットヘッドのアクチュエー
タにおいて、複数のアクチュエータ素子を互いに所定間
隔を有するように櫛型に並列配置するとともに、これら
各アクチュエータ素子の基端部下面側に中間に導電層が
介設された基板を固着し、前記基板の上面であって前記
各アクチュエータ素子の間部分に凹部を形成し、これら
各凹部の底部に前記導電層に至る導電溝および前記導電
層に至らない分離溝をそれぞれ交互に形成し、前記アク
チュエータ素子の両側面、前記各凹部の内面および導電
溝の内面に電極を形成したことを特徴とするものであ
る。
請求項１に記載の発明に係るインクジェットヘッドは、
所定の印字信号に基づいてインクをノズルから噴出させ
て所望の印字を行なうインクジェットヘッドの振動板を
振動させるためのインクジェットヘッドのアクチュエー
タにおいて、複数のアクチュエータ素子を互いに所定間
隔を有するように櫛型に並列配置するとともに、これら
各アクチュエータ素子の基端部下面側に中間に導電層が
介設された基板を固着し、前記基板の上面であって前記
各アクチュエータ素子の間部分に凹部を形成し、これら
各凹部の底部に前記導電層に至る導電溝および前記導電
層に至らない分離溝をそれぞれ交互に形成し、前記アク
チュエータ素子の両側面、前記各凹部の内面および導電
溝の内面に電極を形成したことを特徴とするものであ
る。
【０００８】また、請求項２に記載の発明は、所定の印
字信号に基づいてインクをノズルから噴出させて所望の
印字を行なうインクジェットヘッドの振動板を振動させ
るためのインクジェットヘッドのアクチュエータにおい
て、複数のアクチュエータ素子を互いに所定間隔を有す
るように櫛型に並列配置するとともに、これら各アクチ
ュエータ素子の基端部下面側に前記各アクチュエータを
連結する基台部を一体に形成し、この基台部の下面側に
導電層を介して基板を固着し、前記基台部の上面であっ
て前記各アクチュエータ素子の間部分に凹部を形成し、
これら各凹部の底部に前記導電層に至る導電溝および前
記導電層に至らない分離溝をそれぞれ交互に形成し、前
記アクチュエータ素子の両側面、前記各凹部の内面およ
び導電溝の内面に電極を形成したことを特徴とするもの
である。
字信号に基づいてインクをノズルから噴出させて所望の
印字を行なうインクジェットヘッドの振動板を振動させ
るためのインクジェットヘッドのアクチュエータにおい
て、複数のアクチュエータ素子を互いに所定間隔を有す
るように櫛型に並列配置するとともに、これら各アクチ
ュエータ素子の基端部下面側に前記各アクチュエータを
連結する基台部を一体に形成し、この基台部の下面側に
導電層を介して基板を固着し、前記基台部の上面であっ
て前記各アクチュエータ素子の間部分に凹部を形成し、
これら各凹部の底部に前記導電層に至る導電溝および前
記導電層に至らない分離溝をそれぞれ交互に形成し、前
記アクチュエータ素子の両側面、前記各凹部の内面およ
び導電溝の内面に電極を形成したことを特徴とするもの
である。
【０００９】さらに、請求項３に記載の発明は、所定の
印字信号に基づいてインクをノズルから噴出させて所望
の印字を行なうインクジェットヘッドの振動板を振動さ
せるためのインクジェットヘッドのアクチュエータにお
いて、複数のアクチュエータ素子を互いに所定間隔を有
するように櫛型に並列配置するとともに、これら各アク
チュエータ素子の基端部下面側に基台部を一体に形成
し、前記アクチュエータ素子および基台部の後面に導電
層を形成し、前記アクチュエータ素子の基端部上面であ
って１つおきの各アクチュエータ素子の間部分に前記ア
クチュエータ素子の後面に至る切欠き溝を形成するとと
もに、前記アクチュエータ素子の間の前記切欠き溝が形
成されていない部分の内側面にこの内側面および前記基
台部の上面に沿って延在する分離溝を形成し、前記各ア
クチュエータ素子の両側面、前記切欠き溝の上面および
基台部の上面にそれぞれ電極を形成したことを特徴とす
るものである。
印字信号に基づいてインクをノズルから噴出させて所望
の印字を行なうインクジェットヘッドの振動板を振動さ
せるためのインクジェットヘッドのアクチュエータにお
いて、複数のアクチュエータ素子を互いに所定間隔を有
するように櫛型に並列配置するとともに、これら各アク
チュエータ素子の基端部下面側に基台部を一体に形成
し、前記アクチュエータ素子および基台部の後面に導電
層を形成し、前記アクチュエータ素子の基端部上面であ
って１つおきの各アクチュエータ素子の間部分に前記ア
クチュエータ素子の後面に至る切欠き溝を形成するとと
もに、前記アクチュエータ素子の間の前記切欠き溝が形
成されていない部分の内側面にこの内側面および前記基
台部の上面に沿って延在する分離溝を形成し、前記各ア
クチュエータ素子の両側面、前記切欠き溝の上面および
基台部の上面にそれぞれ電極を形成したことを特徴とす
るものである。
【００１０】
【作用】本発明によれば、基板が固着された圧電部材あ
るいは基台部が形成された圧電部材にスリットを形成す
ることにより、各アクチュエータ素子に分離するととも
に、凹部あるいは切欠き溝を形成するようにしているの
で、基板あるいは基台部によりアクチュエータ素子の強
度を確保することができ、アクチュエータ素子の割れ等
を防止して幅寸法の小さいアクチュエータ素子を形成す
ることができるものであり、前記アクチュエータ素子の
電極のうち、分離溝により分割される電極を個別電極と
するとともに、前記導電溝あるいは切欠き溝に形成され
た導電層に接続される電極を共通電極とし、所定の印字
信号に基づいて所定のアクチュエータ素子に対応する個
別電極に通電電圧を印加することにより、このアクチュ
エータ素子を動作させることができるものである。
るいは基台部が形成された圧電部材にスリットを形成す
ることにより、各アクチュエータ素子に分離するととも
に、凹部あるいは切欠き溝を形成するようにしているの
で、基板あるいは基台部によりアクチュエータ素子の強
度を確保することができ、アクチュエータ素子の割れ等
を防止して幅寸法の小さいアクチュエータ素子を形成す
ることができるものであり、前記アクチュエータ素子の
電極のうち、分離溝により分割される電極を個別電極と
するとともに、前記導電溝あるいは切欠き溝に形成され
た導電層に接続される電極を共通電極とし、所定の印字
信号に基づいて所定のアクチュエータ素子に対応する個
別電極に通電電圧を印加することにより、このアクチュ
エータ素子を動作させることができるものである。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１乃至図１０を参
照して説明する。
照して説明する。
【００１２】図１乃至図３は本発明に係るインクジェッ
トヘッドのアクチュエータの一実施例を示したもので、
所定の長さ寸法を有する複数のアクチュエータ素子とし
ての圧電素子１，１…が互いに所定間隔を有するように
櫛型に並列配置されており、これら各圧電素子１の基端
部下面側には、アルミナ等の絶縁性を有するセラミック
スあるいはアクリル等の剛性を有するプラスチック等か
らなり各圧電素子１を連結するための基板２が固着され
ている。また、前記基板２の上下方向中間位置には、導
電層３が介設されており、前記基板２の上面であって前
記各圧電素子１の間部分には、前記各圧電素子１の間隙
寸法と同様の幅寸法を有する凹部４が形成されている。
なお、前記基板２は、導体により形成するようにしても
よいし、この場合は、導電層３を設けなくてもよい。ま
た、前記基板２と圧電素子１とは同一材料により形成す
るようにしてもよい。
トヘッドのアクチュエータの一実施例を示したもので、
所定の長さ寸法を有する複数のアクチュエータ素子とし
ての圧電素子１，１…が互いに所定間隔を有するように
櫛型に並列配置されており、これら各圧電素子１の基端
部下面側には、アルミナ等の絶縁性を有するセラミック
スあるいはアクリル等の剛性を有するプラスチック等か
らなり各圧電素子１を連結するための基板２が固着され
ている。また、前記基板２の上下方向中間位置には、導
電層３が介設されており、前記基板２の上面であって前
記各圧電素子１の間部分には、前記各圧電素子１の間隙
寸法と同様の幅寸法を有する凹部４が形成されている。
なお、前記基板２は、導体により形成するようにしても
よいし、この場合は、導電層３を設けなくてもよい。ま
た、前記基板２と圧電素子１とは同一材料により形成す
るようにしてもよい。
【００１３】また、前記各凹部４のうち１つおきに位置
する凹部４の底部には、前記導電層３に至る導電溝５が
形成されており、前記導電溝５が形成された凹部４以外
の凹部４の底部には、前記導電層３に至らない分離溝６
が形成されている。さらに、前記圧電素子１の両側面、
前記各凹部４の内面および導電溝５の内面には、電極７
が形成されている。
する凹部４の底部には、前記導電層３に至る導電溝５が
形成されており、前記導電溝５が形成された凹部４以外
の凹部４の底部には、前記導電層３に至らない分離溝６
が形成されている。さらに、前記圧電素子１の両側面、
前記各凹部４の内面および導電溝５の内面には、電極７
が形成されている。
【００１４】次に、前記アクチュエータの製造手段につ
いて説明する。
いて説明する。
【００１５】まず、２つの基板材料の間に、薄膜形成法
によりアルミニウムあるいはニッケル等の所定の金属膜
を形成するか、または、導電性接着剤を塗布した後、各
基板材料を接着剤等により接合して間に導電層３が介設
された基板２を形成する。
によりアルミニウムあるいはニッケル等の所定の金属膜
を形成するか、または、導電性接着剤を塗布した後、各
基板材料を接着剤等により接合して間に導電層３が介設
された基板２を形成する。
【００１６】そして、圧電素子１を構成する平板状の圧
電部材を基板２の上面に接着あるいは一体焼成等の手段
により固着した後、この圧電部材および基板２に所定間
隔毎にスリットを形成することにより、前記圧電部材を
分割して複数の圧電素子１を形成するとともに、前記基
板２に凹部４を形成する。
電部材を基板２の上面に接着あるいは一体焼成等の手段
により固着した後、この圧電部材および基板２に所定間
隔毎にスリットを形成することにより、前記圧電部材を
分割して複数の圧電素子１を形成するとともに、前記基
板２に凹部４を形成する。
【００１７】その後、前記凹部４のうち１つおきに位置
する凹部４の底部に前記導電層３に至る導電溝５を形成
し、前記圧電素子１の両側面、前記各凹部４の内面およ
び導電溝５の内面に、無電解ニッケルメッキや薄膜形成
法等の手段により電極７を形成する。そして、前記導電
溝５が形成された凹部４以外の凹部４の底部に前記導電
層３に至らない分離溝６を形成するものであり、これに
より、内面に電極７が形成されていない分離溝６を形成
することができるものである。
する凹部４の底部に前記導電層３に至る導電溝５を形成
し、前記圧電素子１の両側面、前記各凹部４の内面およ
び導電溝５の内面に、無電解ニッケルメッキや薄膜形成
法等の手段により電極７を形成する。そして、前記導電
溝５が形成された凹部４以外の凹部４の底部に前記導電
層３に至らない分離溝６を形成するものであり、これに
より、内面に電極７が形成されていない分離溝６を形成
することができるものである。
【００１８】なお、前記分離溝６を導電溝５とともに形
成した後、前記分離溝６の内面部分をマスキング等の手
段により被覆した状態で、電極７を形成し、その後、前
記マスキングを除去することにより、電極７が形成され
ていない分離溝６を得るようにしてもよい。
成した後、前記分離溝６の内面部分をマスキング等の手
段により被覆した状態で、電極７を形成し、その後、前
記マスキングを除去することにより、電極７が形成され
ていない分離溝６を得るようにしてもよい。
【００１９】また、図４は前記構成のアクチュエータを
用いたインクジェットヘッドの一実施例を示したもの
で、インクジェットヘッド８のノズルプレート９の上方
には、所定のインクを噴射するためのノズル１０が形成
されており、このノズルプレート９の上端部内側には、
隔壁板１１が一体に形成されており、この隔壁板１１の
端部には、振動板１２が前記ノズルプレート９の内面に
対して平行に、かつ、所定間隔を有するように配設され
ている。さらに、前記インクジェットヘッド８の下端部
には、所定の色のインクを貯留するインクタンク１３が
接続されており、前記振動板１２の後面には、圧電素子
１の先端部が接続されている。
用いたインクジェットヘッドの一実施例を示したもの
で、インクジェットヘッド８のノズルプレート９の上方
には、所定のインクを噴射するためのノズル１０が形成
されており、このノズルプレート９の上端部内側には、
隔壁板１１が一体に形成されており、この隔壁板１１の
端部には、振動板１２が前記ノズルプレート９の内面に
対して平行に、かつ、所定間隔を有するように配設され
ている。さらに、前記インクジェットヘッド８の下端部
には、所定の色のインクを貯留するインクタンク１３が
接続されており、前記振動板１２の後面には、圧電素子
１の先端部が接続されている。
【００２０】そして、本実施例においては、例えば、前
記圧電素子１の電極７のうち、分離溝６が形成された凹
部４の電極７を図示しない電源の陽極側に接続される個
別電極７ａとするとともに、前記導電溝５が形成された
凹部４の電極７を共通電極７ｂとし、この共通電極７ｂ
は、前記導電層３を介して前記電源の陰極側に接続され
るようになっている。
記圧電素子１の電極７のうち、分離溝６が形成された凹
部４の電極７を図示しない電源の陽極側に接続される個
別電極７ａとするとともに、前記導電溝５が形成された
凹部４の電極７を共通電極７ｂとし、この共通電極７ｂ
は、前記導電層３を介して前記電源の陰極側に接続され
るようになっている。
【００２１】次に、本実施例の作用について説明する。
【００２２】本実施例においては、所定の印字信号に基
づいて所定の圧電素子１に対応する個別電極７ａに通電
電圧を印加することにより、この圧電素子１を動作させ
て振動板１２を振動動作させ、これにより、インクタン
ク１３からノズルプレート９と振動板１２との間に供給
されるインクを前記ノズル１０から噴射し、このインク
を所定の用紙等に付着させることにより、所望の印字を
行なうようになっている。
づいて所定の圧電素子１に対応する個別電極７ａに通電
電圧を印加することにより、この圧電素子１を動作させ
て振動板１２を振動動作させ、これにより、インクタン
ク１３からノズルプレート９と振動板１２との間に供給
されるインクを前記ノズル１０から噴射し、このインク
を所定の用紙等に付着させることにより、所望の印字を
行なうようになっている。
【００２３】したがって、本実施例においては、基板２
に圧電部材を固着した状態で、この圧電部材にスリット
を形成することにより、各圧電素子１に分離するととも
に、凹部４を形成するようにしているので、基板２によ
り圧電素子１の強度を確保することができ、圧電素子１
の割れ等を防止して幅寸法の小さい圧電素子１を形成す
ることができ、その結果、各圧電素子１の両側面に形成
された電極７に通電する場合に、小さい通電電圧で圧電
素子１を駆動することが可能となる。しかも、平板状の
圧電部材を加工して各圧電素子１を形成するものである
ため、従来の積層型の圧電素子１のように、積層間の剥
離等が生じることがなく、信頼性を高めることができ、
安価に製造することができる。
に圧電部材を固着した状態で、この圧電部材にスリット
を形成することにより、各圧電素子１に分離するととも
に、凹部４を形成するようにしているので、基板２によ
り圧電素子１の強度を確保することができ、圧電素子１
の割れ等を防止して幅寸法の小さい圧電素子１を形成す
ることができ、その結果、各圧電素子１の両側面に形成
された電極７に通電する場合に、小さい通電電圧で圧電
素子１を駆動することが可能となる。しかも、平板状の
圧電部材を加工して各圧電素子１を形成するものである
ため、従来の積層型の圧電素子１のように、積層間の剥
離等が生じることがなく、信頼性を高めることができ、
安価に製造することができる。
【００２４】また、前記電極７の一方を基板２に形成さ
れた導電層３に接続される共通電極７ｂとし、他方の電
極７を基板２に分離溝６を形成して個別電極７ａとする
ようにしているので、容易に電極７を形成することがで
きる。
れた導電層３に接続される共通電極７ｂとし、他方の電
極７を基板２に分離溝６を形成して個別電極７ａとする
ようにしているので、容易に電極７を形成することがで
きる。
【００２５】また、図５乃至図７は本発明の他の実施例
を示したもので、本実施例においては、櫛型に並列配置
された複数の圧電素子１の基端部の下面側には、下方に
突出する基台部１４が一体に形成されており、この基台
部１４の下面には、導電層３を介して基板２が固着され
ている。また、前記基台部１４の前記各圧電素子１の間
部分には、前記各圧電素子１の間隙寸法と同様の幅寸法
を有する凹部４が形成されており、前記各凹部４には、
前記実施例のものと同様に、前記導電層３に至る導電溝
５および前記導電層３に至らない分離溝６がそれぞれ交
互に形成されている。さらに、前記圧電素子１の両側
面、前記各凹部４の内面および導電溝５の内面には、電
極７が形成されている。
を示したもので、本実施例においては、櫛型に並列配置
された複数の圧電素子１の基端部の下面側には、下方に
突出する基台部１４が一体に形成されており、この基台
部１４の下面には、導電層３を介して基板２が固着され
ている。また、前記基台部１４の前記各圧電素子１の間
部分には、前記各圧電素子１の間隙寸法と同様の幅寸法
を有する凹部４が形成されており、前記各凹部４には、
前記実施例のものと同様に、前記導電層３に至る導電溝
５および前記導電層３に至らない分離溝６がそれぞれ交
互に形成されている。さらに、前記圧電素子１の両側
面、前記各凹部４の内面および導電溝５の内面には、電
極７が形成されている。
【００２６】本実施例においては、基端部に基台部１４
が一体に形成された平板状の圧電部材の前記基台部１４
の下面側に導電層３を介して基板２を固着した状態で、
この圧電部材に所定間隔毎にスリットを形成することに
より、前記圧電部材を分割して複数の圧電素子１を形成
するとともに、前記圧電部材に凹部４を形成する。
が一体に形成された平板状の圧電部材の前記基台部１４
の下面側に導電層３を介して基板２を固着した状態で、
この圧電部材に所定間隔毎にスリットを形成することに
より、前記圧電部材を分割して複数の圧電素子１を形成
するとともに、前記圧電部材に凹部４を形成する。
【００２７】その後、前記実施例と同様に、前記凹部４
の底部に１つおきに前記導電層３に至る導電溝５を形成
し、前記圧電素子１の両側面、前記各凹部４の内面およ
び導電溝５の内面に電極７を形成した後、前記導電溝５
が形成された凹部４以外の凹部４の底部に前記導電層３
に至らない分離溝６を形成するようになっている。
の底部に１つおきに前記導電層３に至る導電溝５を形成
し、前記圧電素子１の両側面、前記各凹部４の内面およ
び導電溝５の内面に電極７を形成した後、前記導電溝５
が形成された凹部４以外の凹部４の底部に前記導電層３
に至らない分離溝６を形成するようになっている。
【００２８】したがって、本実施例においても前記実施
例と同様に、基板２に圧電部材の基台部１４を固着した
状態で、この圧電部材にスリットを形成することによ
り、各圧電素子１に分離するようにしているので、圧電
素子１の強度を確保することができ、圧電素子１の割れ
等を防止して幅寸法の小さい圧電素子１を形成すること
ができ、その結果、小さい通電電圧で圧電素子１を駆動
することができる。しかも、平板状の圧電部材を加工し
て各圧電素子１を形成するものであるため、信頼性を高
めることができ、安価に製造することができるととも
に、容易に電極７を形成することができる。
例と同様に、基板２に圧電部材の基台部１４を固着した
状態で、この圧電部材にスリットを形成することによ
り、各圧電素子１に分離するようにしているので、圧電
素子１の強度を確保することができ、圧電素子１の割れ
等を防止して幅寸法の小さい圧電素子１を形成すること
ができ、その結果、小さい通電電圧で圧電素子１を駆動
することができる。しかも、平板状の圧電部材を加工し
て各圧電素子１を形成するものであるため、信頼性を高
めることができ、安価に製造することができるととも
に、容易に電極７を形成することができる。
【００２９】さらに、図８乃至図１０は本発明のさらに
他の実施例を示したもので、複数の圧電素子１が櫛型状
に形成されており、この圧電素子１の基端部下面側に
は、前記基台部１４が一体に形成されている。前記圧電
素子１の基端部上面であって１つおきの各圧電素子１の
間部分には、前記各圧電素子１の間隙寸法と同様の幅寸
法を有し圧電素子１の後面に至る切欠き溝１５が形成さ
れており、前記圧電素子１の間の前記切欠き溝１５が形
成されていない部分の内側面には、この内側面および前
記基台部１４の上面に沿って延在する分離溝６が形成さ
れている。また、前記各圧電素子１の両側面、前記切欠
き溝１５の上面および基台部１４の上面には、それぞれ
電極７が形成されており、前記圧電素子１および基台部
１４の後面には、導電層３が形成されている。
他の実施例を示したもので、複数の圧電素子１が櫛型状
に形成されており、この圧電素子１の基端部下面側に
は、前記基台部１４が一体に形成されている。前記圧電
素子１の基端部上面であって１つおきの各圧電素子１の
間部分には、前記各圧電素子１の間隙寸法と同様の幅寸
法を有し圧電素子１の後面に至る切欠き溝１５が形成さ
れており、前記圧電素子１の間の前記切欠き溝１５が形
成されていない部分の内側面には、この内側面および前
記基台部１４の上面に沿って延在する分離溝６が形成さ
れている。また、前記各圧電素子１の両側面、前記切欠
き溝１５の上面および基台部１４の上面には、それぞれ
電極７が形成されており、前記圧電素子１および基台部
１４の後面には、導電層３が形成されている。
【００３０】本実施例においては、基端部に基台部１４
が一体に形成された平板状の圧電部材の後面に導電層３
を形成した後、この圧電部材に所定間隔毎にスリットを
形成することにより、前記圧電部材を分割して複数の圧
電素子１を形成するとともに、前記圧電部材に切欠き溝
１５を形成する。その後、前記凹部４の底部に１つおき
に前記導電層３に至る導電溝５を形成し、前記圧電素子
１の両側面、前記切欠き溝１５の上面および基台部１４
の上面に電極７を形成した後、前記圧電素子１の間の前
記切欠き溝１５が形成されていない部分の内側面に分離
溝６を形成するようになっている。
が一体に形成された平板状の圧電部材の後面に導電層３
を形成した後、この圧電部材に所定間隔毎にスリットを
形成することにより、前記圧電部材を分割して複数の圧
電素子１を形成するとともに、前記圧電部材に切欠き溝
１５を形成する。その後、前記凹部４の底部に１つおき
に前記導電層３に至る導電溝５を形成し、前記圧電素子
１の両側面、前記切欠き溝１５の上面および基台部１４
の上面に電極７を形成した後、前記圧電素子１の間の前
記切欠き溝１５が形成されていない部分の内側面に分離
溝６を形成するようになっている。
【００３１】したがって、本実施例においても前記実施
例と同様に、基台部１４が一体に形成された圧電部材に
スリットを形成することにより、各圧電素子１に分離す
るようにしているので、圧電素子１の強度を確保するこ
とができ、圧電素子１の割れ等を防止して幅寸法の小さ
い圧電素子１を形成することができ、その結果、小さい
通電電圧で圧電素子１を駆動することができる。しか
も、平板状の圧電部材を加工して各圧電素子１を形成す
るものであるため、信頼性を高めることができ、安価に
製造することができるとともに、容易に電極７を形成す
ることができる。
例と同様に、基台部１４が一体に形成された圧電部材に
スリットを形成することにより、各圧電素子１に分離す
るようにしているので、圧電素子１の強度を確保するこ
とができ、圧電素子１の割れ等を防止して幅寸法の小さ
い圧電素子１を形成することができ、その結果、小さい
通電電圧で圧電素子１を駆動することができる。しか
も、平板状の圧電部材を加工して各圧電素子１を形成す
るものであるため、信頼性を高めることができ、安価に
製造することができるとともに、容易に電極７を形成す
ることができる。
【００３２】なお、本発明は前述した実施例に限定され
るものではなく、必要に応じて種々変更することが可能
である。
るものではなく、必要に応じて種々変更することが可能
である。
【００３３】
【発明の効果】以上述べたように本発明に係るインクジ
ェットヘッドのアクチュエータは、基板が固着された圧
電部材あるいは基台部が形成された圧電部材にスリット
を形成することにより、各アクチュエータ素子に分離す
るとともに、凹部あるいは切欠き溝を形成するようにし
ているので、基板あるいは基台部によりアクチュエータ
素子の強度を確保することができ、アクチュエータ素子
の割れ等を防止して幅寸法の小さいアクチュエータ素子
を形成することができ、その結果、各アクチュエータ素
子の両側面に形成された電極に通電する場合に、小さい
通電電圧でアクチュエータ素子を駆動することが可能と
なる。しかも、平板状の圧電部材を加工して各アクチュ
エータ素子を形成するものであるため、従来の積層型の
アクチュエータ素子のように、積層間の剥離等が生じる
ことがなく、信頼性を高めることができ、安価に製造す
ることができる。また、電極の一方を導電層に接続され
る共通電極とし、他方の電極を分離溝により分割される
個別電極とするようにしているので、容易に電極を形成
することができる等の効果を奏する。
ェットヘッドのアクチュエータは、基板が固着された圧
電部材あるいは基台部が形成された圧電部材にスリット
を形成することにより、各アクチュエータ素子に分離す
るとともに、凹部あるいは切欠き溝を形成するようにし
ているので、基板あるいは基台部によりアクチュエータ
素子の強度を確保することができ、アクチュエータ素子
の割れ等を防止して幅寸法の小さいアクチュエータ素子
を形成することができ、その結果、各アクチュエータ素
子の両側面に形成された電極に通電する場合に、小さい
通電電圧でアクチュエータ素子を駆動することが可能と
なる。しかも、平板状の圧電部材を加工して各アクチュ
エータ素子を形成するものであるため、従来の積層型の
アクチュエータ素子のように、積層間の剥離等が生じる
ことがなく、信頼性を高めることができ、安価に製造す
ることができる。また、電極の一方を導電層に接続され
る共通電極とし、他方の電極を分離溝により分割される
個別電極とするようにしているので、容易に電極を形成
することができる等の効果を奏する。
【図１】本発明に係るインクジェットヘッドのアクチュ
エータの一実施例を示す概略構成図
エータの一実施例を示す概略構成図
【図２】図１の側面図
【図３】図１の斜視図
【図４】図１のアクチュエータを用いたインクジェット
ヘッドの一実施例を示す概略構成図
ヘッドの一実施例を示す概略構成図
【図５】本発明の他の実施例を示す概略構成図
【図６】図５の側面図
【図７】図５の斜視図
【図８】本発明の他の実施例を示す概略構成図
【図９】図８の側面図
【図１０】図８の斜視図
１ 圧電素子 ２ 基板 ３ 導電層 ４ 凹部 ５ 導電溝 ６ 分離溝 ７ 電極 ８ インクジェットヘッド １０ ノズル １２ 振動板 １４ 基台部 １５ 切欠き溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 矢内 均 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アル プス電気株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−262141（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−86265（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−232431（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−318730（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055
Claims (3)
- 【請求項１】 所定の印字信号に基づいてインクをノズ
ルから噴出させて所望の印字を行なうインクジェットヘ
ッドの振動板を振動させるためのインクジェットヘッド
のアクチュエータにおいて、複数のアクチュエータ素子
を互いに所定間隔を有するように櫛型に並列配置すると
ともに、これら各アクチュエータ素子の基端部下面側に
中間に導電層が介設された基板を固着し、前記基板の上
面であって前記各アクチュエータ素子の間部分に凹部を
形成し、これら各凹部の底部に前記導電層に至る導電溝
および前記導電層に至らない分離溝をそれぞれ交互に形
成し、前記アクチュエータ素子の両側面、前記各凹部の
内面および導電溝の内面に電極を形成したことを特徴と
するインクジェットヘッドのアクチュエータ。 - 【請求項２】 所定の印字信号に基づいてインクをノズ
ルから噴出させて所望の印字を行なうインクジェットヘ
ッドの振動板を振動させるためのインクジェットヘッド
のアクチュエータにおいて、複数のアクチュエータ素子
を互いに所定間隔を有するように櫛型に並列配置すると
ともに、これら各アクチュエータ素子の基端部下面側に
前記各アクチュエータを連結する基台部を一体に形成
し、この基台部の下面側に導電層を介して基板を固着
し、前記基台部の上面であって前記各アクチュエータ素
子の間部分に凹部を形成し、これら各凹部の底部に前記
導電層に至る導電溝および前記導電層に至らない分離溝
をそれぞれ交互に形成し、前記アクチュエータ素子の両
側面、前記各凹部の内面および導電溝の内面に電極を形
成したことを特徴とするインクジェットヘッドのアクチ
ュエータ。 - 【請求項３】 所定の印字信号に基づいてインクをノズ
ルから噴出させて所望の印字を行なうインクジェットヘ
ッドの振動板を振動させるためのインクジェットヘッド
のアクチュエータにおいて、複数のアクチュエータ素子
を互いに所定間隔を有するように櫛型に並列配置すると
ともに、これら各アクチュエータ素子の基端部下面側に
基台部を一体に形成し、前記アクチュエータ素子および
基台部の後面に導電層を形成し、前記アクチュエータ素
子の基端部上面であって１つおきの各アクチュエータ素
子の間部分に前記アクチュエータ素子の後面に至る切欠
き溝を形成するとともに、前記アクチュエータ素子の間
の前記切欠き溝が形成されていない部分の内側面にこの
内側面および前記基台部の上面に沿って延在する分離溝
を形成し、前記各アクチュエータ素子の両側面、前記切
欠き溝の上面および基台部の上面にそれぞれ電極を形成
したことを特徴とするインクジェットヘッドのアクチュ
エータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12029394A JP3148076B2 (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | インクジェットヘッドのアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12029394A JP3148076B2 (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | インクジェットヘッドのアクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07323542A JPH07323542A (ja) | 1995-12-12 |
| JP3148076B2 true JP3148076B2 (ja) | 2001-03-19 |
Family
ID=14782657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12029394A Expired - Lifetime JP3148076B2 (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | インクジェットヘッドのアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3148076B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5447238B2 (ja) * | 2010-07-01 | 2014-03-19 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド |
-
1994
- 1994-06-01 JP JP12029394A patent/JP3148076B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07323542A (ja) | 1995-12-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20001219 |
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