JP3145745B2 - マイクロポンプ - Google Patents
マイクロポンプInfo
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- JP3145745B2 JP3145745B2 JP28084991A JP28084991A JP3145745B2 JP 3145745 B2 JP3145745 B2 JP 3145745B2 JP 28084991 A JP28084991 A JP 28084991A JP 28084991 A JP28084991 A JP 28084991A JP 3145745 B2 JP3145745 B2 JP 3145745B2
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- pump chamber
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロポンプに関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、マイクロマシンの研究が活発化
し、その一例としてのマイクロポンプも数例、例えば電
気収縮性高分子を用いたケミカルバルブ等が提案されて
いる。
し、その一例としてのマイクロポンプも数例、例えば電
気収縮性高分子を用いたケミカルバルブ等が提案されて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
この種のマイクロバルブでは、（１）構造が複雑であ
る、（２）十分に小さくすることが困難である、（３）
流入流路及び／又は流出流路を十分確実に開閉するのが
困難である、等の解決すべき問題が存在する。
この種のマイクロバルブでは、（１）構造が複雑であ
る、（２）十分に小さくすることが困難である、（３）
流入流路及び／又は流出流路を十分確実に開閉するのが
困難である、等の解決すべき問題が存在する。
【０００４】本発明の課題は、上述した従来の問題を解
消し、十分小さくすることができると共に、流路の開閉
も確実である、優れたマイクロバルブを提供することで
ある。また構造が簡単であることから、組立が容易なマ
イクロポンプを提供することである。
消し、十分小さくすることができると共に、流路の開閉
も確実である、優れたマイクロバルブを提供することで
ある。また構造が簡単であることから、組立が容易なマ
イクロポンプを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のマイクロバルブ
では、吸入バルブ手段及び排出バルブ手段は、夫々、円
錐内面形状の弁座を有するバルブ室を規定するバルブ本
体と、このバルブ室に配設された弁手段と、流路を閉塞
する方向に弁手段を弾性的に偏倚せしめる弾性膜体と、
を有し、弁手段は吸水性高分子ゲル材料からなる複数個
の球状体により形成されている。
では、吸入バルブ手段及び排出バルブ手段は、夫々、円
錐内面形状の弁座を有するバルブ室を規定するバルブ本
体と、このバルブ室に配設された弁手段と、流路を閉塞
する方向に弁手段を弾性的に偏倚せしめる弾性膜体と、
を有し、弁手段は吸水性高分子ゲル材料からなる複数個
の球状体により形成されている。
【０００６】
【作用】かかるマイクロバルブにおいては、弁手段が吸
水性高分子ゲル材料からなる複数個の球状体により形成
されているので、供給される流体によって弁手段がゲル
化される。また、複数個の球状体よりなる弁手段は、流
路より大きな直径を有し、弾性膜体により流路を閉塞す
る方向に偏倚され、これに対応してこれら球状体はバル
ブ室の円錐内面形状の弁座に沿って流路側に確実に偏倚
されるので、ゲル化された弁手段は上記流路を確実に閉
塞する。
水性高分子ゲル材料からなる複数個の球状体により形成
されているので、供給される流体によって弁手段がゲル
化される。また、複数個の球状体よりなる弁手段は、流
路より大きな直径を有し、弾性膜体により流路を閉塞す
る方向に偏倚され、これに対応してこれら球状体はバル
ブ室の円錐内面形状の弁座に沿って流路側に確実に偏倚
されるので、ゲル化された弁手段は上記流路を確実に閉
塞する。
【０００７】
【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明に従うマ
イクロバルブの一実施例について説明する。
イクロバルブの一実施例について説明する。
【０００８】図１において、図示のマイクロバルブは外
形が略円筒形状のハウジング２を備えている。ハウジン
グ２の大きさは、例えば直径が８ｍｍ程度で、長さが１
４．５ｍｍ程度である。実施例では、ハウジング２は筒
状の中間ハウジング部４と、中間ハウジング部４の両端
部に装着された端ハウジング部６及び８を有している。
中間ハウジング部４の一端部（図１において下端部）内
面には、図１にて左右方向に間隔を置いて一対の接続壁
１０が設けられており、かかる接続壁１０の上面にアク
チュエータとして機能するゲル体１２が配設されてい
る。このゲル体１２は、ポリビニルメチルエーテル系の
樹脂の如き熱感応性高分子ゲル材料から形成することが
できる。
形が略円筒形状のハウジング２を備えている。ハウジン
グ２の大きさは、例えば直径が８ｍｍ程度で、長さが１
４．５ｍｍ程度である。実施例では、ハウジング２は筒
状の中間ハウジング部４と、中間ハウジング部４の両端
部に装着された端ハウジング部６及び８を有している。
中間ハウジング部４の一端部（図１において下端部）内
面には、図１にて左右方向に間隔を置いて一対の接続壁
１０が設けられており、かかる接続壁１０の上面にアク
チュエータとして機能するゲル体１２が配設されてい
る。このゲル体１２は、ポリビニルメチルエーテル系の
樹脂の如き熱感応性高分子ゲル材料から形成することが
できる。
【０００９】中間ハウジング部４と片方のハウジング部
６との間には、薄いシート状部材１４が装着されてい
る。シート状部材１４は、例えば合成ゴムから形成する
ことができ、図１に示す通り、端ハウジング部６と協働
してポンプ室１６を規定する。このシート状部材１４
は、また、ゲル体１２の上面に貼着され、後述するゲル
体１２の膨張・収縮によって同様に膨張・収縮する。
６との間には、薄いシート状部材１４が装着されてい
る。シート状部材１４は、例えば合成ゴムから形成する
ことができ、図１に示す通り、端ハウジング部６と協働
してポンプ室１６を規定する。このシート状部材１４
は、また、ゲル体１２の上面に貼着され、後述するゲル
体１２の膨張・収縮によって同様に膨張・収縮する。
【００１０】この中間ハウジング部４と他方の端ハウジ
ング部８との間にも、薄いシート状部材１８が装着され
ている。シート状部材１８も、例えば合成ゴムから形成
することができ、上記シート状部材１４及び中間ハウジ
ング部４と協働して流体溜室２０を規定し、この流体溜
室２０内にゲル体１２が配設される。流体溜室２０に
は、通常温度のときにゲル体１２に吸収される水の如き
液体が収容される。
ング部８との間にも、薄いシート状部材１８が装着され
ている。シート状部材１８も、例えば合成ゴムから形成
することができ、上記シート状部材１４及び中間ハウジ
ング部４と協働して流体溜室２０を規定し、この流体溜
室２０内にゲル体１２が配設される。流体溜室２０に
は、通常温度のときにゲル体１２に吸収される水の如き
液体が収容される。
【００１１】端ハウジング部８の端壁８ａには、また、
貫通孔２２が形成されている。従って、図３に示す如
く、シート状部材１８が膨張したときには、空間２４内
の空気が貫通孔２２を通して外部に排出され、一方、シ
ート状部材１８が図４に示す如く収縮したときには、外
部の空気が貫通孔２２を通して空間２４に流入し、これ
によりシート状部材１８の膨張・収縮が容易となる。
貫通孔２２が形成されている。従って、図３に示す如
く、シート状部材１８が膨張したときには、空間２４内
の空気が貫通孔２２を通して外部に排出され、一方、シ
ート状部材１８が図４に示す如く収縮したときには、外
部の空気が貫通孔２２を通して空間２４に流入し、これ
によりシート状部材１８の膨張・収縮が容易となる。
【００１２】片方の端ハウジング部６には、吸入バルブ
手段２６及び排出バルブ手段２８が装着されている。吸
入バルブ手段２６と排出バルブ手段２８は実質上同一の
構成であり、以下図２を参照して排出バルブ手段２８
（吸入バルブ手段２６）について説明する。
手段２６及び排出バルブ手段２８が装着されている。吸
入バルブ手段２６と排出バルブ手段２８は実質上同一の
構成であり、以下図２を参照して排出バルブ手段２８
（吸入バルブ手段２６）について説明する。
【００１３】バルブ手段２８（２６）は、バルブ室３０
を規定するバルブ本体３２を有している。実施例では、
バルブ本体３２は弁座３４が規定された第１の部材３６
と、この第１の部材３６に装着される第２の部材３８を
有し、第１の部材３６及び第２の部材３８によってバル
ブ室３０を規定する。第１の部材３６には、弁座３４か
ら延びる流路４０が形成され、また第２の部材３８には
バルブ室３０から延びる流路４２が形成されている。
を規定するバルブ本体３２を有している。実施例では、
バルブ本体３２は弁座３４が規定された第１の部材３６
と、この第１の部材３６に装着される第２の部材３８を
有し、第１の部材３６及び第２の部材３８によってバル
ブ室３０を規定する。第１の部材３６には、弁座３４か
ら延びる流路４０が形成され、また第２の部材３８には
バルブ室３０から延びる流路４２が形成されている。
【００１４】バルブ室３０には、また、弁手段が配設さ
れている。弁手段は、例えばポリアクリル酸塩系ゲルの
如き高吸水性高分子ゲル材料から形成された球状部材４
４から構成され、実施例ではバルブ室３０に３個の球状
部材４４が配設されている。球状部材４４は、容易に理
解される如く、バルブによって供給される流体を吸収し
て幾分膨張し、弾性を有するようになる。
れている。弁手段は、例えばポリアクリル酸塩系ゲルの
如き高吸水性高分子ゲル材料から形成された球状部材４
４から構成され、実施例ではバルブ室３０に３個の球状
部材４４が配設されている。球状部材４４は、容易に理
解される如く、バルブによって供給される流体を吸収し
て幾分膨張し、弾性を有するようになる。
【００１５】また、弁手段に関連して、この弁手段を弁
座に向けて偏倚せしめる偏倚手段が配設されている。偏
倚手段は、バルブによって供給される液体を透過する弾
性膜体４６から構成され、第１の部材３６及び第２の部
材３８の間に装着されている。かく偏倚手段が設けられ
ているので、通常、偏倚手段の作用によって弁手段、詳
しくは弁座３４に近接する球状部材４４が弁座３４に弾
性的に押圧され、この球状部材４４によって流路４０が
閉塞される。
座に向けて偏倚せしめる偏倚手段が配設されている。偏
倚手段は、バルブによって供給される液体を透過する弾
性膜体４６から構成され、第１の部材３６及び第２の部
材３８の間に装着されている。かく偏倚手段が設けられ
ているので、通常、偏倚手段の作用によって弁手段、詳
しくは弁座３４に近接する球状部材４４が弁座３４に弾
性的に押圧され、この球状部材４４によって流路４０が
閉塞される。
【００１６】実施例では、吸入バルブ手段２６にあって
は、第２の部材３８に設けられた接続突部３８ａが端ハ
ウジング部６に形成された孔に装着される。従って、容
易に理解される如く、流路４０及び４２が吸入流路を構
成し、かかる吸入流路に弁手段が配設される。この弁手
段は、通常、弾性膜体４６の作用によって流入流路を閉
塞する。尚、第１の部材２６に設けられた接続突部３６
ａは、流体圧源（図示せず）に接続される。
は、第２の部材３８に設けられた接続突部３８ａが端ハ
ウジング部６に形成された孔に装着される。従って、容
易に理解される如く、流路４０及び４２が吸入流路を構
成し、かかる吸入流路に弁手段が配設される。この弁手
段は、通常、弾性膜体４６の作用によって流入流路を閉
塞する。尚、第１の部材２６に設けられた接続突部３６
ａは、流体圧源（図示せず）に接続される。
【００１７】また、排出バルブ手段２８にあっては、第
１の部材３６に設けられた接続突部３６ａが端ハウジン
グ６に形成された孔に装着される。従って、流路４０及
び４２が排出流路を構成し、この排出流路に弁手段が配
設され、弁手段は、通常、弾性膜体４６の作用によって
排出流路を閉塞する。尚、排出バルブ手段２８の第２の
部材３８に設けられた接続突部３８ａは、流体供給側に
接続される。
１の部材３６に設けられた接続突部３６ａが端ハウジン
グ６に形成された孔に装着される。従って、流路４０及
び４２が排出流路を構成し、この排出流路に弁手段が配
設され、弁手段は、通常、弾性膜体４６の作用によって
排出流路を閉塞する。尚、排出バルブ手段２８の第２の
部材３８に設けられた接続突部３８ａは、流体供給側に
接続される。
【００１８】次いで、主として図３及び図４を参照し
て、このマイクロバルブの作用について説明する。
て、このマイクロバルブの作用について説明する。
【００１９】図示のマイクロバルブは、ゲル体１２を加
熱、冷却することによって吸入流路から排出流路に流体
を供給する。即ち、ゲル体１２を加熱して相転移温度を
越える（図示していないが、例えばニクロム線等で加熱
する）と、吸収した水の如き液体がゲル体１２から脱水
され、この液体は液体溜室３０に溜まる。かくすると、
図３に示す通り、ポンプ室１６を規定するシート状部材
１４が収縮してポンプ室１６の容積が増大する（かくシ
ート状部材１４が収縮すると、流体溜室２０内の流体に
よって他方のシート状部材１８は膨張する）。かく容積
が増大すると、ポンプ室１６の負圧が吸入バルブ手段２
６の球状部材４４に作用し、弾性膜体１４の弾性力に抗
して球状部材４４が開方向に移動し、かくして矢印５０
（図１、図３）で示す通り、吸入流路を通して流体がポ
ンプ室１６に流入する。
熱、冷却することによって吸入流路から排出流路に流体
を供給する。即ち、ゲル体１２を加熱して相転移温度を
越える（図示していないが、例えばニクロム線等で加熱
する）と、吸収した水の如き液体がゲル体１２から脱水
され、この液体は液体溜室３０に溜まる。かくすると、
図３に示す通り、ポンプ室１６を規定するシート状部材
１４が収縮してポンプ室１６の容積が増大する（かくシ
ート状部材１４が収縮すると、流体溜室２０内の流体に
よって他方のシート状部材１８は膨張する）。かく容積
が増大すると、ポンプ室１６の負圧が吸入バルブ手段２
６の球状部材４４に作用し、弾性膜体１４の弾性力に抗
して球状部材４４が開方向に移動し、かくして矢印５０
（図１、図３）で示す通り、吸入流路を通して流体がポ
ンプ室１６に流入する。
【００２０】一方、ゲル体１２を冷却する（自然放熱で
もよいし、強制的に冷却するようにしてもよい）と、ゲ
ル体１２が流体溜室３０内の流体を吸収して膨張し、こ
れと一体にシート状部材１４も膨張し、図４に示す通
り、ポンプ室１６の容積が減少する（かく流体がゲル体
１２に吸収されると、他方のシート状部材１８は収縮す
る）。かく容積が増大すると、ポンプ室１６内の流体圧
力が排出バルブ手段２８の球状部材４４に作用し、弾性
膜体１４の弾性力に抗して球状部材４４が開方向に移動
し、かくして矢印５２（図１、図２）で示す通り、排出
流路を通してポンプ室１６内の流体が排出される。
もよいし、強制的に冷却するようにしてもよい）と、ゲ
ル体１２が流体溜室３０内の流体を吸収して膨張し、こ
れと一体にシート状部材１４も膨張し、図４に示す通
り、ポンプ室１６の容積が減少する（かく流体がゲル体
１２に吸収されると、他方のシート状部材１８は収縮す
る）。かく容積が増大すると、ポンプ室１６内の流体圧
力が排出バルブ手段２８の球状部材４４に作用し、弾性
膜体１４の弾性力に抗して球状部材４４が開方向に移動
し、かくして矢印５２（図１、図２）で示す通り、排出
流路を通してポンプ室１６内の流体が排出される。
【００２１】かくの通りであるので、ゲル体１２を連続
的に加熱、冷却することによって、流体を所要の通り供
給することができ、加熱、冷却のサイクルを変えること
によって流体の供給量を制御することができる。
的に加熱、冷却することによって、流体を所要の通り供
給することができ、加熱、冷却のサイクルを変えること
によって流体の供給量を制御することができる。
【００２２】以上、本発明に従うマイクロバルブの一実
施例について説明したが、本発明はかかる実施例に限定
されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく
種々の変形乃至修正が可能である。
施例について説明したが、本発明はかかる実施例に限定
されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく
種々の変形乃至修正が可能である。
【００２３】例えば、図示の実施例では、弁手段を３個
の球状部材から構成しているが、１個、２個又は４個以
上の球状部材から構成するようにしてもよい。
の球状部材から構成しているが、１個、２個又は４個以
上の球状部材から構成するようにしてもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明のマイクロバルブでは、弁手段が
吸水性高分子ゲル材料からなる複数個の球状体により形
成されているので、供給される流体によって弁手段がゲ
ル化される。また、複数個の球状体よりなる弁手段は、
流路より大きな直径を有し、弾性膜体により流路を閉塞
する方向に偏倚され、これに対応してこれら球状体はバ
ルブ室の円錐内面形状の弁座に沿って流路側に確実に偏
倚されるので、ゲル化された弁手段は上記流路を確実に
閉塞する。加えて係る簡単な構造の弁を有しているた
め、その組立は容易であり、より小型の安価なマイクロ
ポンプを実現することができる。
吸水性高分子ゲル材料からなる複数個の球状体により形
成されているので、供給される流体によって弁手段がゲ
ル化される。また、複数個の球状体よりなる弁手段は、
流路より大きな直径を有し、弾性膜体により流路を閉塞
する方向に偏倚され、これに対応してこれら球状体はバ
ルブ室の円錐内面形状の弁座に沿って流路側に確実に偏
倚されるので、ゲル化された弁手段は上記流路を確実に
閉塞する。加えて係る簡単な構造の弁を有しているた
め、その組立は容易であり、より小型の安価なマイクロ
ポンプを実現することができる。
【図１】本発明に従うマイクロバルブの一実施例を示す
断面図。
断面図。
【図２】図１のバルブにおけるバルブ手段を拡大して示
す断面図。
す断面図。
【図３】マイクロバルブの作動を説明するための断面
図。
図。
【図４】マイクロバルブの作動を説明するための断面
図。
図。
２ ハウジング １２ ゲル体 １４，１８ シート状部材 １６ ポンプ室 ２６ 吸入バルブ手段 ２８ 排出バルブ手段 ３０ バルブ室 ３２ バルブ本体 ４４ 球状部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−161046（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−65674（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−113457（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−298552（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−162980（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F04B 9/00
Claims (3)
- 【請求項１】 ポンプ室を規定するためのハウジング
と、該ポンプ室に連通する吸入流路に配設された吸入バ
ルブ手段と、該ポンプ室に連通する排出流路に配設され
た排出バルブ手段と、該ポンプ室の容積を変えるための
アクチュエータと、を具備するマイクロポンプにおい
て、該吸入バルブ手段及び該排出バルブ手段は、夫々、
円錐内面形状の弁座を有するバルブ室を規定するバルブ
本体と、該バルブ室に配設された弁手段と、流路を閉塞
する方向に該弁手段を弾性的に偏倚せしめる弾性膜体
と、を有し、該弁手段は吸水性高分子ゲル材料からなる
複数個の球状体により形成されている、ことを特徴とす
るマイクロポンプ。 - 【請求項２】 該弾性膜体は、マイクロポンプによって
供給する流体を透過する膜体から構成されている請求項
１記載のマイクロポンプ。 - 【請求項３】 該アクチュエータは、熱感応性高分子ゲ
ル材料から形成されている請求項１記載のマイクロポン
プ
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28084991A JP3145745B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | マイクロポンプ |
| US07/954,310 US5288214A (en) | 1991-09-30 | 1992-09-30 | Micropump |
| US08/094,253 US5336057A (en) | 1991-09-30 | 1993-07-20 | Micropump with liquid-absorptive polymer gel actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28084991A JP3145745B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | マイクロポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0587042A JPH0587042A (ja) | 1993-04-06 |
| JP3145745B2 true JP3145745B2 (ja) | 2001-03-12 |
Family
ID=17630840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28084991A Expired - Fee Related JP3145745B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | マイクロポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3145745B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002053290A2 (en) * | 2001-01-08 | 2002-07-11 | President And Fellows Of Harvard College | Valves and pumps for microfluidic systems and method for making microfluidic systems |
| CN101458249B (zh) * | 2007-12-14 | 2013-09-11 | 东莞博识生物科技有限公司 | 一种具有溶液储室兼泵体结构的微流体样品舟 |
| JP6418897B2 (ja) * | 2014-10-29 | 2018-11-07 | 京セラ株式会社 | アクチュエータおよびそれを用いたポンプ |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP28084991A patent/JP3145745B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0587042A (ja) | 1993-04-06 |
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