JP2004225910A - 泡で動かされる弁、弁システム、および、弁を流れる流体を制御する方法 - Google Patents
泡で動かされる弁、弁システム、および、弁を流れる流体を制御する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004225910A JP2004225910A JP2004014780A JP2004014780A JP2004225910A JP 2004225910 A JP2004225910 A JP 2004225910A JP 2004014780 A JP2004014780 A JP 2004014780A JP 2004014780 A JP2004014780 A JP 2004014780A JP 2004225910 A JP2004225910 A JP 2004225910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- foam
- outlet
- valve
- inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
- F15C5/00—Manufacture of fluid circuit elements; Manufacture of assemblages of such elements integrated circuits
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
- F16K99/0023—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member with ball-shaped valve members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
- F16K99/0055—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
- F16K99/0061—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids actuated by an expanding gas or liquid volume
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K2099/0071—Microvalves with latching means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
- F16K2099/0074—Fabrication methods specifically adapted for microvalves using photolithography, e.g. etching
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
- F16K2099/008—Multi-layer fabrications
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Temperature-Responsive Valves (AREA)
- Safety Valves (AREA)
- Infusion, Injection, And Reservoir Apparatuses (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Agricultural Chemicals And Associated Chemicals (AREA)
- Percussion Or Vibration Massage (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 基層108と、キャップ層と、基層およびキャップ層の少なくとも一方に形成された少なくともひとつの入口102と、基層およびキャップ層の少なくとも一方に形成された少なくともひとつの出口104と、基層およびキャップ層の少なくとも一方に形成されて少なくともひとつの入口を少なくともひとつの出口に結合する少なくともひとつの流れチャネル110と、泡を形成するための少なくともひとつの装置112と、流体が少なくともひとつの入口から少なくともひとつの出口へ流れる第1の位置と流体が少なくともひとつの入口から少なくともひとつの出口へ流れるのが阻止される第2の位置との間を移動可能で、泡および泡の生成によって生じた力の少なくとも一方によって動かされる移動可能な固体の物体106とを含む。
【選択図】 図1
Description
ΔP=2σcosθ/r (1)
ここで、ΔPは境界面での圧力差であり、σは液体の表面張力であり、θは液体と隣接する固体表面との面角であり、rは蒸気(気体)と液体の境界面の曲率半径である。層流の条件のもとでの円筒形のチャネル内の体積流量の簡単な方程式が以下に与えられる。
Q=πΔPR4 /8μL (2)
ここで、ΔPは上記の式で与えられた流量を流すための圧力差であり、Rは円形のチャネル(チャネルの横断面)の半径であり、μは流体の粘性率であり、Lはチャネルの長さである。医療での用途などの必要とされる流量が比較的小さい用途においてさえ、調速物理学(governing physics)を原因とする制限が問題となることがある。例えば、チャネルの長さが35mmで水溶液および14080kg/m2 (20psi)から35200kg/m2 (50psi)までの駆動圧力を使用する1ml/週の流量を必要とする医療装置では、泡を所定の位置に保つのに必要な開口は、必要とされるチャネルの全体の寸法より小さいオーダーの大きさとなる。
ΔP=2σcosθ/r (3)
(1) 泡を形成するための少なくともひとつの装置が基層およびキャップ層の少なくとも一方に取り付けられた加熱要素からなる、請求項1記載の弁。
(2) 移動可能な固体の物体が球形の要素からなる、請求項1記載の弁。
(3) 基層がシリコンからなる、請求項1記載の弁。
(4) 基層が高分子材料からなる、請求項1記載の弁。
(5) 基層がセラミック材料からなる、請求項1記載の弁。
(7) キャップ層がシリコンからなる、請求項1記載の弁。
(8) キャップ層が高分子材料からなる、請求項1記載の弁。
(9) キャップ層がセラミック材料からなる、請求項1記載の弁。
(10) キャップ層がガラスからなる、請求項1記載の弁。
(12) 基層が高分子材料からなる、請求項2記載の弁。
(13) 基層がセラミック材料からなる、請求項2記載の弁。
(14) 基層がガラスからなる、請求項2記載の弁。
(15) キャップ層がシリコンからなる、請求項2記載の弁。
(17) キャップ層がセラミック材料からなる、請求項2記載の弁。
(18) キャップ層がガラスからなる、請求項2記載の弁。
(19) 泡を形成するための少なくともひとつの装置が、基層およびキャップ層の少なくとも一方に配置された加熱要素からなる、請求項2記載の弁。
(20) 加熱要素が抵抗加熱要素からなる、上記実施態様(19)記載の弁。
(22) 泡を形成するための少なくともひとつの装置が、基層およびキャップ層の少なくとも一方に機能的に関連した気体供給源からなる、請求項2記載の弁。
(23) 移動可能な固体の物体が球形の要素からなる、請求項2記載の弁。
(24) 移動可能な固体の物体が係留された機構からなる、請求項2記載の弁。
(25) 移動可能な固体の物体が双安定な物体からなる、請求項2記載の弁。
(26) 保持機構が基層およびキャップ層の少なくとも一方内の気体の小さい貯蔵部からなる、請求項2記載の弁。
(27) 保持機構が保持アクチュエーターからなる、請求項2記載の弁。
102 入口
104 出口
106 移動可能な固体の物体
108 基層
110 流れチャネル
112 ヒーター
112a,112b ヒーター
114 間隙
200 泡
600 弁
602 入口
604 出口
606 物体
608 基層
610 流れチャネル
612a,612b 泡を形成するための装置
616 戻しチャネル
618 泡
620 表面
700 弁
702 入口
704 出口
706 物体
708 基層
710 流れチャネル
712a,712b 泡を形成するための装置
716 戻しチャネル
720,722,724 湾曲した表面
800 弁
802 入口
804 出口
806 物体
808 基層
810 流れチャネル
812 キャップ層
812a,812b 泡を形成するための装置
900 弁
902 弁システム
Claims (8)
- 基層と、
キャップ層と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成された少なくともひとつの入口と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成された少なくともひとつの出口と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成されて上記少なくともひとつの入口を上記少なくともひとつの出口に結合する少なくともひとつの流れチャネルと、
泡を形成するための少なくともひとつの装置と、
流体が上記少なくともひとつの入口から上記少なくともひとつの出口へ流れる第1の位置と流体が上記少なくともひとつの入口から上記少なくともひとつの出口へ流れるのが阻止される第2の位置との間を移動可能で、上記泡および上記泡の生成によって生じた力の少なくとも一方によって動かされる移動可能な固体の物体と
を含む、泡で動かされる弁。 - 小型の泡で動かされる弁であって、
基層と、
キャップ層と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成された少なくともひとつの流体入口と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成された少なくともひとつの流体出口と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成されて上記少なくともひとつの流体入口を上記少なくともひとつの流体出口に結合する少なくともひとつの流れチャネルと、
泡を形成するための少なくともひとつの装置と、
流体が上記少なくともひとつの流体入口から上記少なくともひとつの流体出口へ流れる第1の位置と流体が上記少なくともひとつの流体入口から上記少なくともひとつの流体出口へ流れるのが阻止される第2の位置との間を移動可能で、上記泡および上記泡の生成によって生じた力の少なくとも一方によって動かされる移動可能な固体の物体と、
上記弁の電力が停止されたときに上記移動可能な固体の物体を保持するための保持機構と
を含む、小型の泡で動かされる弁。 - 小型の泡で動かされる弁であって、
基層と、
キャップ層と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成された少なくともひとつの流体入口と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成された少なくともひとつの流体出口と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成されて上記少なくともひとつの流体入口を上記少なくともひとつの流体出口に結合する少なくともひとつの流れチャネルであって、上記少なくともひとつの流体入口および上記少なくともひとつの流体出口が上記少なくともひとつの流れチャネルと同一平面に配置された、上記少なくともひとつの流れチャネルと、
泡を形成するための少なくともひとつの装置と、
流体が上記少なくともひとつの流体入口から上記少なくともひとつの流体出口へ流れる第1の位置と流体が上記少なくともひとつの流体入口から上記少なくともひとつの流体出口へ流れるのが阻止される第2の位置との間を移動可能で、上記泡および上記泡の生成によって生じた力の少なくとも一方によって動かされる移動可能な固体の物体と
を含む、小型の泡で動かされる弁。 - 小型の泡で動かされる弁であって、
基層と、
キャップ層と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成された少なくともひとつの流体入口と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成された少なくともひとつの流体出口と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成されて上記少なくともひとつの流体入口を上記少なくともひとつの流体出口に結合する少なくともひとつの流れチャネルであって、上記少なくともひとつの流体入口および上記少なくともひとつの流体出口が上記少なくともひとつの流れチャネルと異なる平面上に配置されている、少なくともひとつの流れチャネルと、
泡を形成するための少なくともひとつの装置と、
流体が上記少なくともひとつの流体入口から上記少なくともひとつの流体出口へ流れる第1の位置と流体が上記少なくともひとつの流体入口から上記少なくともひとつの流体出口へ流れるのが阻止される第2の位置との間を移動可能で、上記泡および上記泡の生成によって生じた力の少なくとも一方によって動かされる移動可能な固体の物体と
を含む、小型の泡で動かされる弁。 - 基層と、
中間層と、
キャップ層と、
上記基層、上記中間層、および上記キャップ層の少なくともひとつに形成された少なくともひとつの流体入口と、
上記基層、上記中間層、および上記キャップ層の少なくともひとつに形成された少なくともひとつの流体出口と、
上記基層、上記中間層、および上記キャップ層の少なくともひとつに形成されて上記少なくともひとつの流体入口を上記少なくともひとつの流体出口に結合する少なくともひとつの流れチャネルと、
泡を形成するための少なくともひとつの装置と、
流体が上記少なくともひとつの流体入口から上記少なくともひとつの流体出口へ流れる第1の位置と流体が上記少なくともひとつの流体入口から上記少なくともひとつの流体出口へ流れるのが阻止される第2の位置との間を移動可能で、上記泡および上記泡の生成によって生じた力の少なくとも一方によって動かされる移動可能な固体の物体と
を含む、泡で動かされる弁。 - 泡によって動かされるひとつまたは複数の弁を含む弁システムであって、
上記弁の各々は、
基層と、
キャップ層と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成された少なくともひとつの入口と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成された少なくともひとつの出口と、
上記基層および上記キャップ層の少なくとも一方に形成されて上記少なくともひとつの入口を上記少なくともひとつの出口に結合する少なくともひとつの流れチャネルと、
泡を形成するための少なくともひとつの装置と、
流体が上記少なくともひとつの入口から上記少なくともひとつの出口へ流れる第1の位置と流体が上記少なくともひとつの入口から上記少なくともひとつの出口へ流れるのが阻止される第2の位置との間を移動可能で泡および泡の形成によって生じた力の少なくとも一方によって動かされる移動可能な固体の物体とを含み、
上記弁システムは、上記泡によって動かされるひとつまたは複数の弁を相互に結合する流体導管をさらに含む、弁システム。 - 弁を流れる流体を制御する方法であって、
第1の泡を形成して固体の物体を第1の位置から第2の位置へ動かすことによって液体が弁の入口から弁の出口へ流れるのを阻止する過程と、
第2の泡を形成して上記固体の物体を上記第2の位置から上記第1の位置へ動かすことによって上記液体が上記弁の入口から上記弁の出口へ流れるようにする過程と
を含む、弁を流れる流体を制御する方法。 - 少なくともひとつの入口と、
少なくともひとつの出口と、
上記少なくともひとつの入口を上記少なくともひとつの出口に結合する少なくともひとつの流れチャネルと、
泡を形成するための少なくともひとつの装置と、
流体が上記少なくともひとつの入口から上記少なくともひとつの出口へ流れる第1の位置と流体が上記少なくともひとつの入口から上記少なくともひとつの出口へ流れるのが阻止される第2の位置との間を移動可能で、上記泡および上記泡の生成によって生じた力の少なくとも一方によって動かされる移動可能な固体の物体と
を含む、泡で動かされる弁。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US44196503P | 2003-01-23 | 2003-01-23 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004225910A true JP2004225910A (ja) | 2004-08-12 |
JP4531409B2 JP4531409B2 (ja) | 2010-08-25 |
Family
ID=32595368
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004014780A Expired - Fee Related JP4531409B2 (ja) | 2003-01-23 | 2004-01-22 | 泡で動かされる弁、弁システム、および、弁を流れる流体を制御する方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6981687B2 (ja) |
EP (1) | EP1441132B1 (ja) |
JP (1) | JP4531409B2 (ja) |
AT (1) | ATE383518T1 (ja) |
CA (1) | CA2455651C (ja) |
DE (1) | DE602004011126T2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008517218A (ja) * | 2004-09-01 | 2008-05-22 | ハリス コーポレイション | 液晶ポリマー中に埋め込まれたマイクロ流体チェックバルブ |
JP2009022922A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Foundation For The Promotion Of Industrial Science | マイクロビーズの配列装置における解放装置及びその解放装置の設定方法 |
KR101092847B1 (ko) | 2011-05-31 | 2011-12-14 | 한국에너지기술연구원 | 기포를 이용한 초소형 액추에이터 장치 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8198812B1 (en) | 2002-05-21 | 2012-06-12 | Imaging Systems Technology | Gas filled detector shell with dipole antenna |
US7932674B1 (en) | 2002-05-21 | 2011-04-26 | Imaging Systems Technology | Plasma-dome article of manufacture |
US8513887B1 (en) | 2002-05-21 | 2013-08-20 | Imaging Systems Technology, Inc. | Plasma-dome article of manufacture |
US7405516B1 (en) | 2004-04-26 | 2008-07-29 | Imaging Systems Technology | Plasma-shell PDP with organic luminescent substance |
US7727040B1 (en) | 2002-05-21 | 2010-06-01 | Imaging Systems Technology | Process for manufacturing plasma-disc PDP |
US7772773B1 (en) | 2003-11-13 | 2010-08-10 | Imaging Systems Technology | Electrode configurations for plasma-dome PDP |
US8129906B1 (en) | 2004-04-26 | 2012-03-06 | Imaging Systems Technology, Inc. | Lumino-shells |
US8113898B1 (en) | 2004-06-21 | 2012-02-14 | Imaging Systems Technology, Inc. | Gas discharge device with electrical conductive bonding material |
US8368303B1 (en) | 2004-06-21 | 2013-02-05 | Imaging Systems Technology, Inc. | Gas discharge device with electrical conductive bonding material |
WO2006018044A1 (en) * | 2004-08-18 | 2006-02-23 | Agilent Technologies, Inc. | Microfluidic assembly with coupled microfluidic devices |
US8951608B1 (en) | 2004-10-22 | 2015-02-10 | Imaging Systems Technology, Inc. | Aqueous manufacturing process and article |
EP1857173A4 (en) * | 2005-02-21 | 2010-05-05 | Univ Okayama Nat Univ Corp | FLOW ADJUSTING DEVICE, MICROTEACTOR AND IDOINE USE |
US8299696B1 (en) | 2005-02-22 | 2012-10-30 | Imaging Systems Technology | Plasma-shell gas discharge device |
US7730746B1 (en) * | 2005-07-14 | 2010-06-08 | Imaging Systems Technology | Apparatus to prepare discrete hollow microsphere droplets |
US7863815B1 (en) | 2006-01-26 | 2011-01-04 | Imaging Systems Technology | Electrode configurations for plasma-disc PDP |
US7535175B1 (en) | 2006-02-16 | 2009-05-19 | Imaging Systems Technology | Electrode configurations for plasma-dome PDP |
US8035303B1 (en) | 2006-02-16 | 2011-10-11 | Imaging Systems Technology | Electrode configurations for gas discharge device |
US20120033019A1 (en) | 2010-08-09 | 2012-02-09 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Inkjet recording apparatus and inkjet recording method |
EP2620681A1 (en) * | 2012-01-26 | 2013-07-31 | Alcatel Lucent | A fluidic valve unit |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6283440B1 (en) * | 1998-11-30 | 2001-09-04 | The Regents Of The University Of California | Apparatus and method for regulating fluid flow with a micro-electro mechanical block |
WO2001094823A1 (en) * | 2000-06-02 | 2001-12-13 | The Regents Of The University Of California | Controlling physical motion with electrolytically formed bubbles |
US20030057391A1 (en) * | 2001-09-21 | 2003-03-27 | The Regents Of The University Of California | Low power integrated pumping and valving arrays for microfluidic systems |
JP2004125172A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-22 | Canon Inc | 液体搬送装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5058856A (en) * | 1991-05-08 | 1991-10-22 | Hewlett-Packard Company | Thermally-actuated microminiature valve |
US6062681A (en) * | 1998-07-14 | 2000-05-16 | Hewlett-Packard Company | Bubble valve and bubble valve-based pressure regulator |
AU2002357768A1 (en) * | 2001-11-28 | 2003-06-10 | The Research Foundation Of State University Of New York | Electrochemically driven monolithic microfluidic systems |
US20040086872A1 (en) * | 2002-10-31 | 2004-05-06 | Childers Winthrop D. | Microfluidic system for analysis of nucleic acids |
-
2004
- 2004-01-22 AT AT04250325T patent/ATE383518T1/de not_active IP Right Cessation
- 2004-01-22 US US10/763,144 patent/US6981687B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-01-22 DE DE602004011126T patent/DE602004011126T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-01-22 CA CA2455651A patent/CA2455651C/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-01-22 JP JP2004014780A patent/JP4531409B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-01-22 EP EP04250325A patent/EP1441132B1/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6283440B1 (en) * | 1998-11-30 | 2001-09-04 | The Regents Of The University Of California | Apparatus and method for regulating fluid flow with a micro-electro mechanical block |
WO2001094823A1 (en) * | 2000-06-02 | 2001-12-13 | The Regents Of The University Of California | Controlling physical motion with electrolytically formed bubbles |
US20030057391A1 (en) * | 2001-09-21 | 2003-03-27 | The Regents Of The University Of California | Low power integrated pumping and valving arrays for microfluidic systems |
JP2004125172A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-22 | Canon Inc | 液体搬送装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008517218A (ja) * | 2004-09-01 | 2008-05-22 | ハリス コーポレイション | 液晶ポリマー中に埋め込まれたマイクロ流体チェックバルブ |
JP2009022922A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Foundation For The Promotion Of Industrial Science | マイクロビーズの配列装置における解放装置及びその解放装置の設定方法 |
KR101092847B1 (ko) | 2011-05-31 | 2011-12-14 | 한국에너지기술연구원 | 기포를 이용한 초소형 액추에이터 장치 |
WO2012165773A2 (ko) * | 2011-05-31 | 2012-12-06 | 한국에너지기술연구원 | 기포 이용 초소형 액추에이터 |
WO2012165773A3 (ko) * | 2011-05-31 | 2013-02-21 | 한국에너지기술연구원 | 기포 이용 초소형 액추에이터 |
US9103360B2 (en) | 2011-05-31 | 2015-08-11 | Korea Institute Of Energy Research | Microactuator using bubble growth and destruction |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1441132A2 (en) | 2004-07-28 |
DE602004011126T2 (de) | 2009-01-02 |
US6981687B2 (en) | 2006-01-03 |
ATE383518T1 (de) | 2008-01-15 |
CA2455651A1 (en) | 2004-07-23 |
US20040149943A1 (en) | 2004-08-05 |
DE602004011126D1 (de) | 2008-02-21 |
EP1441132A3 (en) | 2005-05-18 |
EP1441132B1 (en) | 2008-01-09 |
CA2455651C (en) | 2013-07-16 |
JP4531409B2 (ja) | 2010-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4531409B2 (ja) | 泡で動かされる弁、弁システム、および、弁を流れる流体を制御する方法 | |
US20040013536A1 (en) | Micro-fluidic pump | |
JP4199127B2 (ja) | マイクロ流体バルブ、およびそのためのシステム | |
AU2005240397B2 (en) | A valve for a microfluidic device | |
Man et al. | Microfabricated capillarity-driven stop valve and sample injector | |
US6224728B1 (en) | Valve for fluid control | |
US7431050B2 (en) | Liquid delivery device | |
US20050001182A1 (en) | Thermopneumatic microvalve | |
CN101668973A (zh) | 先导式滑阀 | |
KR20040065647A (ko) | 유체의 상변화에 의해 구동되는 마이크로 펌프 | |
US20040011977A1 (en) | Micro-fluidic valves | |
WO2002018785A1 (en) | Micro-fluidic system | |
Papavasiliou et al. | Fabrication of a free floating silicon gate valve | |
WO2002018827A1 (en) | Micro-fluidic valves | |
US20050072147A1 (en) | Micro-fluidic actuator | |
CA2420948A1 (en) | Micro-fluidic pump | |
Cheng et al. | A capillary system with thermal-bubble-actuated 1/spl times/N microfluidic switches via time-sequence power control for continuous liquid handling | |
Frank | Planar microfluidic devices for control of pressure-driven flow | |
WO2023229599A1 (en) | One-time-open microfluidic valves | |
Bazargan et al. | A thermally actuated microfluidic relay valve | |
Selvaganapathy et al. | Batch fabricated inline microfluidic valve | |
Xu et al. | Microfluidic Control Using Vapor Based Valves | |
Cheng et al. | A capillary system with thermal-bubble-actuated 1/spl times/N micro flow switch via time-sequence power control for continuous liquid handling | |
Fazal | Development of a gas microvalve based on fine and micromachining | |
KR20050055451A (ko) | 공기조화기용 마이크로밸브 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070122 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071128 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091020 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100601 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100609 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |