JP3143271U - サーボ式静電容量型3軸センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】任意の傾斜角で重力加速度の影響を相殺させ、従来の機械式センサと同サイズ・同性能を維持しつつ、製造コストが廉価なサーボ式静電容量型センサを提供する。
【解決手段】錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ錘を駆動するように構成されたZ軸方向を検出するサーボ式静電容量型センサにおいて、錘を直流的に高電圧で駆動する装置20を備えていることを特徴とする静電容量型センサであり、錘を駆動する装置は、DC−DCコンバータであることが好ましい。
【選択図】図1
【解決手段】錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ錘を駆動するように構成されたZ軸方向を検出するサーボ式静電容量型センサにおいて、錘を直流的に高電圧で駆動する装置20を備えていることを特徴とする静電容量型センサであり、錘を駆動する装置は、DC−DCコンバータであることが好ましい。
【選択図】図1
Description
本考案は一般に、サーボ式静電容量型センサに関する。より詳細には、本考案は、高感度、高分解能、小型、軽量、安価を特徴とするサーボ式静電容量型センサに関する。本考案のサーボ式静電容量型センサとしては、加速度センサの他、力覚センサ、圧力センサなどが含まれる。
通常の加速度センサ(非サーボ式加速度センサ)は、図4(a)に示されるように、錘とバネのモデルとして模式的に表すことができる。非サーボ式加速度センサでは、加速度が小さい場合には、比較的線形に変位するが、加速度が大きくなると、変位が非線形的となり(図4(b)参照)、非線形誤差の増大や高調波ノイズの発生などの弊害が生ずる。特に、MEMS(Micro Electro-Mechanical System )型の非サーボ式加速度センサでは、機械式センサと比較して、その構造上そのような弊害が生ずる傾向が大きい。
一方、サーボ式加速度センサは、アクチュエータを設けて錘の変位をゼロに保持するように構成されており(図5(a)参照)、錘の変位が常にゼロ付近となるため、アクチュエータが錘を抑える力は、加速度の変化に対して完全に線形となる(図5(b)参照)。したがって、サーボ式加速度センサにおいては、非サーボ式加速度センサにおける非線形誤差や高調波ノイズなどの問題は発生しない。
しかしながら、従来のサーボ式加速度センサでは、錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ錘を駆動しようとする場合、通常の電源電圧が3V〜5V程度であるにもかかわらず、任意の傾斜角で重力加速度の影響を相殺させるには20V程度の電圧が必要となるため、使用できる傾斜角の範囲が限定されるという不都合があった。
本考案は、このような現状に鑑みて開発されたものであって、任意の傾斜角で重力加速度の影響を相殺させ、従来の機械式センサと同サイズ・同性能を維持しつつ、製造コストが廉価なサーボ式静電容量型センサを提供することを目的としている。
本願請求項1に記載された、錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ前記錘を駆動するように構成されたZ軸方向を検出するサーボ式静電容量型センサは、前記錘を直流的に高電圧で駆動する装置を備えていることを特徴とするものである。
本願請求項2に記載された、錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ前記錘を駆動するように構成されたX軸方向又はY軸方向を検出するサーボ式静電容量型センサは、前記錘を直流的に高電圧で駆動する装置を備えていることを特徴とするものである。
本願請求項3に記載された、錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ前記錘を駆動するように構成されたX軸方向とY軸方向を同時に検出するサーボ式静電容量型2軸センサは、前記錘を直流的に高電圧で駆動する装置を備えていることを特徴とするものである。
本願請求項4に記載された、錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ前記錘を駆動するように構成されたX軸方向又はY軸方向とZ軸方向を同時に検出するサーボ式静電容量型2軸センサは、前記錘を直流的に高電圧で駆動する装置を備えていることを特徴とするものである。
本願請求項5に記載された、錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ前記錘を駆動するように構成されたX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向を同時に検出するサーボ式静電容量型3軸センサは、前記錘を直流的に高電圧で駆動する装置を備えていることを特徴とするものである。
本願請求項6に記載されたサーボ式静電容量型センサは、前記請求項1から前記請求項5までのいずれか1項のセンサにおいて、駆動電極と検出電極が共通化されていることを特徴とするものである。
本願請求項7に記載されたサーボ式静電容量型センサは、前記請求項1から前記請求項5までのいずれか1項のセンサにおいて、駆動電極と検出電極が分離していることを特徴とするものである。
本願請求項8に記載されたサーボ式静電容量型センサは、前記請求項1から前記請求項7までのいずれか1項のセンサにおいて、前記錘を駆動する装置が、DC−DCコンバータであることを特徴とするものである。
本考案のサーボ式静電容量型センサによれば、任意の傾斜角において飽和することなくサーボ制御することが可能になり、例えば微小加速度の検出などに効果的である。本考案のサーボ式静電容量型センサは、構造が簡単であるため、従来の機械式センサのサイズと性能を同等に維持しつつ、廉価な製造コストを実現することができる。
本考案のサーボ式静電容量型センサは、例えば、エレベータ用の地震検知装置や微小傾斜角検知器などに用いられる。
次に図面を参照して、加速度センサに用いられる場合を例として、本考案の好ましい実施の形態に係るサーボ式静電容量型センサについて詳細に説明する。図1は、本考案の好ましい実施の形態に係るサーボ式静電容量型センサを模式的に示したブロック図である。本考案の好ましい実施の形態に係るサーボ式静電容量型センサは、センサ本体10と、センサ本体10に接続されたCV変換器12とを備えている。
センサ本体10として、通常の静電容量型加速度センサを用いてよい。図2は、センサ本体10を模式的に示した分解斜視図である。図2において、右方向にX軸、紙面直交方向にY軸、上方向にZ軸が定められる。センサ本体10は、ガラス板10a−シリコン基板10b−ガラス板10cを接合した3層構造をなしている。センサ本体10の中心に位置するシリコン基板10bには、加速度を感知する錘10b1、基板周囲の支持部10b2、および錘10b1を支持するビーム部10b3が設けられている。
センサ本体10の上側に位置するガラス板10aには、中央に、Z軸方向駆動電極10aZ1、Z軸方向検出電極10aZ2、それらの周囲に、X軸方向駆動電極10aX1、X軸方向検出電極10aX2、Y軸方向駆動電極10aY1、Y軸方向検出電極10aY2がそれぞれ設けられている。また、センサ本体10の下側に位置するガラス板10cには、中央に、Z軸方向駆動電極10cZ1、Z軸方向検出電極10cZ2、それらの周囲に、X軸方向駆動電極10cX1、X軸方向検出電極10cX2、Y軸方向駆動電極10cY1、Y軸方向検出電極10cY2がそれぞれ設けられている。
図3は、別の型式のセンサ本体10を模式的に示した分解斜視図である。図3においても、図2と同様に、右方向にX軸、紙面直交方向にY軸、上方向にZ軸が定められる。図3のセンサ本体10は、駆動電極と検出電極が分離して設けられている図2のセンサ本体10と異なり、駆動電極と検出電極が共通化されている点を除いて、図2のセンサ本体10と実質的に同一の構成を有している。すなわち、図3のセンサ本体10では、ガラス板10aに、X軸方向(駆動・検出)電極10aX′、Y軸方向(駆動・検出)電極10aY′、Z軸方向(駆動・検出)電極10aZ′がそれぞれ設けられ、ガラス板10cに、X軸方向(駆動・検出)電極10cX′、Y軸方向(駆動・検出)電極10cY′、Z軸方向(駆動・検出)電極10cZ′がそれぞれ設けられている。
上述のセンサ本体10は、各電極間の静電容量の変化を測定し、この測定値に基づいてセンサ本体10に作用した加速度を検出するように構成されている。CV変換器12は、静電容量型加速度センサの信号処理に用いられる機器であり、各電極間の静電容量を電圧に変換するように構成されている。
サーボ式静電容量型センサは又、CV変換器12と、マイコン16、ドライバ18に信号電圧を供給するための電源14と、CV変換器12に接続されたマイコン16と、マイコン16に接続されたドライバ18とを備えており、ドライバ18が、センサ本体10に接続されている。また、マイコン16は、USB端子を介して、パーソナルコンピュータに接続されている。ICの場合、電源14の電圧は通常3V〜5V程度である。
サーボ式静電容量型センサは更に、センサ本体10の錘10b1を直流的に高電圧で駆動する装置20を備えている。好ましくは、装置20としては、DC−DCコンバー
タが用いられる。装置20は、センサ本体10および電源14に接続されている。
タが用いられる。装置20は、センサ本体10および電源14に接続されている。
センサ本体10、CV変換器12、電源14、マイコン16、ドライバ18およびDC−DCコンバータ20は通常、ひとつの基板上に配置され、センサモジュール(図1において破線で図示)を構成している。
次に、以上のように構成されたサーボ式静電容量型センサが、どのように動作するのかについて説明する。本考案のサーボ式静電容量型センサでは、センサ本体10に例えばZ方向に加速度が作用すると、錘10b1が変位して電極の静電容量が変化し、この静電容量の変化をCV変換器12により電圧に変換し、マイコン16およびドライバ18により、アクチュエータを駆動させて錘10b1の変位がゼロに保持されるようにフィードバック制御が行われる。X方向又はY方向に加速度が作用する場合、X方向とY方向に同時に加速度が作用する場合、X方向又はY方向とZ方向に同時に加速度が作用する場合、X方向、Y方向、Z方向に同時に加速度が作用する場合も、上述と同様である。なお、かかるフィードバック制御においては、パーソナルコンピュータにより、所要のデータの入出力やパラメータの設定などが行われる。
いま、センサ本体10に1Gが作用するとき、錘10b1を変位させる(錘の位置を中心に保持する)のに必要な駆動電圧は、約10Vである。したがって、傾斜角が−180°〜180°変化した場合に錘に作用する加速度は−1G〜+1Gまで変化するため、錘を変位させるのに必要な駆動電圧は、約20Vとなる。本考案のサーボ式静電容量型加速度センサでは、電源14の電圧をDC−DCコンバータ20で昇圧してセンサ本体10に供給するため、任意の傾斜角において飽和することなく、サーボ制御をすることができる。
本考案は、以上の考案の実施の形態に限定されることなく、実用新案登録請求の範囲に記載された考案の範囲内で、種々の変更が可能であり、それらも本考案の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
たとえば、前記実施の形態では、加速度センサを例として、本考案のサーボ式静電容量型センサについて説明されているが、加速度センサ以外のセンサ、例えば、力覚センサや圧力センサなどにも、本考案を適用することができる。
10 センサ本体
10a ガラス板
10b シリコン基板
10c ガラス板
12 CV変換器
14 電源
16 マイコン
18 ドライバ
20 DC−DCコンバータ
10a ガラス板
10b シリコン基板
10c ガラス板
12 CV変換器
14 電源
16 マイコン
18 ドライバ
20 DC−DCコンバータ
Claims (8)
- 錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ前記錘を駆動するように構成されたZ軸方向を検出するサーボ式静電容量型センサにおいて、
前記錘を直流的に高電圧で駆動する装置を備えていることを特徴とするサーボ式静電容量型センサ。 - 錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ前記錘を駆動するように構成されたX軸方向又はY軸方向を検出するサーボ式静電容量型センサにおいて、
前記錘を直流的に高電圧で駆動する装置を備えていることを特徴とするサーボ式静電容量型センサ。 - 錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ前記錘を駆動するように構成されたX軸方向とY軸方向を同時に検出するサーボ式静電容量型2軸センサにおいて、
前記錘を直流的に高電圧で駆動する装置を備えていることを特徴とするサーボ式静電容量型2軸センサ。 - 錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ前記錘を駆動するように構成されたX軸方向又はY軸方向とZ軸方向を同時に検出するサーボ式静電容量型2軸センサにおいて、
前記錘を直流的に高電圧で駆動する装置を備えていることを特徴とするサーボ式静電容量型2軸センサ。 - 錘の位置を中心に保持するようにフィードバック制御しつつ前記錘を駆動するように構成されたX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向を同時に検出するサーボ式静電容量型3軸センサにおいて、
前記錘を直流的に高電圧で駆動する装置を備えていることを特徴とするサーボ式静電容量型3軸センサ。 - 駆動電極と検出電極が共通化されていることを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載のサーボ式静電容量型センサ。
- 駆動電極と検出電極が分離していることを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載のサーボ式静電容量型センサ。
- 前記錘を駆動する装置が、DC−DCコンバータであることを特徴とする請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載のサーボ式静電容量型センサ。
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JP2008002376U JP3143271U (ja) | 2008-04-15 | 2008-04-15 | サーボ式静電容量型3軸センサ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010169522A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 静電容量型検出装置及びそれを用いた加速度・角速度検出装置 |
JP2011106822A (ja) * | 2009-11-12 | 2011-06-02 | Mitsubishi Electric Corp | 加速度センサ |
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- 2008-04-15 JP JP2008002376U patent/JP3143271U/ja not_active Expired - Fee Related
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