JP3138532B2 - 圧電アクチュエータ制御装置 - Google Patents
圧電アクチュエータ制御装置Info
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- JP3138532B2 JP3138532B2 JP04151823A JP15182392A JP3138532B2 JP 3138532 B2 JP3138532 B2 JP 3138532B2 JP 04151823 A JP04151823 A JP 04151823A JP 15182392 A JP15182392 A JP 15182392A JP 3138532 B2 JP3138532 B2 JP 3138532B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば空気の通路の流
量を制御する圧電アクチュエータに利用される圧電アク
チュエータ制御装置に関する。
量を制御する圧電アクチュエータに利用される圧電アク
チュエータ制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電アクチュエータは、印加電圧に応じ
て変形するものであり、各種の制御装置として利用され
ている。
て変形するものであり、各種の制御装置として利用され
ている。
【０００３】例えば、図４〜図６は空気の通路の流量制
御に圧電アクチュエータを用いた場合を示している。
御に圧電アクチュエータを用いた場合を示している。
【０００４】これらの図において、１は圧電アクチュエ
ータであり、この圧電アクチュエータ１はシム２上に圧
電セラミックス３を貼付してなるものである。
ータであり、この圧電アクチュエータ１はシム２上に圧
電セラミックス３を貼付してなるものである。
【０００５】この圧電アクチュエータ１は板４に設けら
れた空気通路用の開口部５に配置され、圧電アクチュエ
ータ１の一端がボルト６により板４に固定されている。
れた空気通路用の開口部５に配置され、圧電アクチュエ
ータ１の一端がボルト６により板４に固定されている。
【０００６】また、圧電アクチュエータ１は、図７に示
すように、例えば長路のケーブル７を介して遠方にある
可変電圧電源８による電圧の印加により制御されるよう
になっている。
すように、例えば長路のケーブル７を介して遠方にある
可変電圧電源８による電圧の印加により制御されるよう
になっている。
【０００７】そして、電圧が印加されていないときに
は、圧電アクチュエータ１は変形しないので、図５に示
すように開口部５は塞がれた状態となる。
は、圧電アクチュエータ１は変形しないので、図５に示
すように開口部５は塞がれた状態となる。
【０００８】一方、電圧が印加されると、圧電アクチュ
エータ１は変形して、図６に示すように開口部５は開い
た状態となる。
エータ１は変形して、図６に示すように開口部５は開い
た状態となる。
【０００９】ところで、圧電アクチュエータ１の変形量
δは、印加電圧をＥ、圧電アクチュエータ１の長さを
ｌ、圧電セラミックス３の厚さをｔ、圧電定数をｄ31と
すると、定数ｋに対して、δ＝ｋｄ31（ｌ／ｔ）2 Ｅで
表すことができる（図８参照）。つまり、図８に示すよ
うに、圧電アクチュエータ１の変形量δは、印加電圧Ｅ
に依存する。
δは、印加電圧をＥ、圧電アクチュエータ１の長さを
ｌ、圧電セラミックス３の厚さをｔ、圧電定数をｄ31と
すると、定数ｋに対して、δ＝ｋｄ31（ｌ／ｔ）2 Ｅで
表すことができる（図８参照）。つまり、図８に示すよ
うに、圧電アクチュエータ１の変形量δは、印加電圧Ｅ
に依存する。
【００１０】また、圧電アクチュエータ１は、電気的に
は容量性の負荷とみなされるのが一般的である。したが
って、例えば図９に示すように、圧電アクチュエータ１
に直流電圧Ｅが印加されると、圧電アクチュエータ１の
内部抵抗をＲ、容量をＣとしたとき、その電流はｉ＝Ｅ
／Ｒ・ε-t/RC 、電圧はｅ＝ＣＥ（１−ε-t/RC ）と表
されるように、共に時間的に変化する。一方、圧電アク
チュエータ１に対する電圧の印加を止めると、ｅ＝ＣＥ
ε-t/RC と表されるように、時間的に減衰して変化す
る。
は容量性の負荷とみなされるのが一般的である。したが
って、例えば図９に示すように、圧電アクチュエータ１
に直流電圧Ｅが印加されると、圧電アクチュエータ１の
内部抵抗をＲ、容量をＣとしたとき、その電流はｉ＝Ｅ
／Ｒ・ε-t/RC 、電圧はｅ＝ＣＥ（１−ε-t/RC ）と表
されるように、共に時間的に変化する。一方、圧電アク
チュエータ１に対する電圧の印加を止めると、ｅ＝ＣＥ
ε-t/RC と表されるように、時間的に減衰して変化す
る。
【００１１】よって、圧電アクチュエータ１の変形量δ
を一定値に維持するためには、圧電アクチュエータ１に
対して可変電圧電源８により電圧を印加し続けなければ
ならない。
を一定値に維持するためには、圧電アクチュエータ１に
対して可変電圧電源８により電圧を印加し続けなければ
ならない。
【００１２】しかしながら、このように電圧を印加し続
けることは、特に上述したように圧電アクチュエータ１
が長路のケーブル７を介して遠方にある可変電圧電源８
による電圧の印加により制御される場合に、電源の損失
が過大になり、また印加される電圧がかなり高電圧であ
ることから漏電や感電の危険性が高いという問題があ
る。
けることは、特に上述したように圧電アクチュエータ１
が長路のケーブル７を介して遠方にある可変電圧電源８
による電圧の印加により制御される場合に、電源の損失
が過大になり、また印加される電圧がかなり高電圧であ
ることから漏電や感電の危険性が高いという問題があ
る。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】このように圧電アクチ
ュエータを空気の通路の流量制御等に用いた場合、従来
は圧電アクチュエータの変形量を一定値に維持するため
に圧電アクチュエータに対して電圧を印加し続けなけれ
ばならないため、電源の損失が過大になり、圧電アクチ
ュエータに対して電源を供給するためのケーブルによる
漏電や感電の危険性が高いという問題があった。
ュエータを空気の通路の流量制御等に用いた場合、従来
は圧電アクチュエータの変形量を一定値に維持するため
に圧電アクチュエータに対して電圧を印加し続けなけれ
ばならないため、電源の損失が過大になり、圧電アクチ
ュエータに対して電源を供給するためのケーブルによる
漏電や感電の危険性が高いという問題があった。
【００１４】本発明は、このような事情に基づきなされ
たもので、常時電源電圧を印加することなく、圧電アク
チュエータの変形量を一定値に維持することができる圧
電アクチュエータ制御装置を提供することを目的として
いる。
たもので、常時電源電圧を印加することなく、圧電アク
チュエータの変形量を一定値に維持することができる圧
電アクチュエータ制御装置を提供することを目的として
いる。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる課題を
解決するため、電源より印加された電圧に応じて変形す
る圧電アクチュエータを制御する圧電アクチュエータ制
御装置において、前記電源と圧電アクチュエータとの間
の接続／切断を行う第１のスイッチと、前記圧電アクチ
ュエータと並列に接続された容量素子と、前記圧電アク
チュエータと前記容量素子との間の接続／切断を行う第
２のスイッチと、前記圧電アクチュエータに並列に接続
された放電素子と、前記圧電アクチュエータと前記放電
素子との間の接続／切断を行う第３のスイッチと、前記
圧電アクチュエータに蓄積された電荷量を検出する電荷
量検出手段と、この電荷量検出手段により検出された電
荷量に応じて前記第１、第２および第３のスイッチの切
り替えを制御する制御手段とを具備するものである。
解決するため、電源より印加された電圧に応じて変形す
る圧電アクチュエータを制御する圧電アクチュエータ制
御装置において、前記電源と圧電アクチュエータとの間
の接続／切断を行う第１のスイッチと、前記圧電アクチ
ュエータと並列に接続された容量素子と、前記圧電アク
チュエータと前記容量素子との間の接続／切断を行う第
２のスイッチと、前記圧電アクチュエータに並列に接続
された放電素子と、前記圧電アクチュエータと前記放電
素子との間の接続／切断を行う第３のスイッチと、前記
圧電アクチュエータに蓄積された電荷量を検出する電荷
量検出手段と、この電荷量検出手段により検出された電
荷量に応じて前記第１、第２および第３のスイッチの切
り替えを制御する制御手段とを具備するものである。
【００１６】
【作用】初期時には、第１および第２のスイッチを閉
じ、第３のスイッチを開く。これにより、電源より圧電
アクチュエータおよび容量素子に圧電アクチュエータの
設定変位に相当する電圧が印加される。
じ、第３のスイッチを開く。これにより、電源より圧電
アクチュエータおよび容量素子に圧電アクチュエータの
設定変位に相当する電圧が印加される。
【００１７】この後、第１のスイッチを開く。これによ
り、電源より圧電アクチュエータおよび容量素子に対す
る電圧の印加が止まる。
り、電源より圧電アクチュエータおよび容量素子に対す
る電圧の印加が止まる。
【００１８】ここで、電源より電圧を印加されていない
圧電アクチュエータは、その内部抵抗により電荷が減衰
するが、圧電アクチュエータの内部抵抗は非常に大きく
自然放電が少なくしかも第１のスイッチが開いているた
め、減衰の変化は極めて小さい。よって、圧電アクチュ
エータは、容量素子が並列に接続されていることによ
り、電源より電圧を印加されなくても、かなりの長時間
に亙り設定変位に相当する電圧が維持されることにな
る。
圧電アクチュエータは、その内部抵抗により電荷が減衰
するが、圧電アクチュエータの内部抵抗は非常に大きく
自然放電が少なくしかも第１のスイッチが開いているた
め、減衰の変化は極めて小さい。よって、圧電アクチュ
エータは、容量素子が並列に接続されていることによ
り、電源より電圧を印加されなくても、かなりの長時間
に亙り設定変位に相当する電圧が維持されることにな
る。
【００１９】しかる後、圧電アクチュエータに蓄積され
た電荷量が設定変位に相当する値よりも小さくなったと
きには、第１のスイッチを閉じる。これにより、電源よ
り圧電アクチュエータおよび容量素子に圧電アクチュエ
ータの設定変位に相当する電圧が印加される。
た電荷量が設定変位に相当する値よりも小さくなったと
きには、第１のスイッチを閉じる。これにより、電源よ
り圧電アクチュエータおよび容量素子に圧電アクチュエ
ータの設定変位に相当する電圧が印加される。
【００２０】一方、設定変位の変更等により圧電アクチ
ュエータに蓄積された電荷量が設定変位に相当する値よ
りも大きくなったときには、第１および第２のスイッチ
を開き、第３のスイッチを閉じる。これにより、圧電ア
クチュエータの電荷は放電素子により放電され、圧電ア
クチュエータの電圧が設定変位に相当する値となる。
ュエータに蓄積された電荷量が設定変位に相当する値よ
りも大きくなったときには、第１および第２のスイッチ
を開き、第３のスイッチを閉じる。これにより、圧電ア
クチュエータの電荷は放電素子により放電され、圧電ア
クチュエータの電圧が設定変位に相当する値となる。
【００２１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
る。
【００２２】図１は本発明の一実施例に係る圧電アクチ
ュエータ制御装置の構成を示す図である。
ュエータ制御装置の構成を示す図である。
【００２３】同図において、１０は圧電アクチュエータ
であり、この圧電アクチュエータ１０は図４〜図６に示
したようにその変形により空気の通路の流量を制御する
ものである。
であり、この圧電アクチュエータ１０は図４〜図６に示
したようにその変形により空気の通路の流量を制御する
ものである。
【００２４】１１は圧電アクチュエータ１０に電圧を印
加する可変電圧電源である。すでに説明したように圧電
アクチュエータ１０の変形量は印加電圧に依存するた
め、可変電圧電源１１の電圧を変えることで空気の通路
の流量を制御することができる。 この可変電圧電源１
１は、例えば建造物内の制御室に配置され、長路のケー
ブル１２を介して建造物の天井裏等に配置された圧電ア
クチュエータ１０に接続されている。
加する可変電圧電源である。すでに説明したように圧電
アクチュエータ１０の変形量は印加電圧に依存するた
め、可変電圧電源１１の電圧を変えることで空気の通路
の流量を制御することができる。 この可変電圧電源１
１は、例えば建造物内の制御室に配置され、長路のケー
ブル１２を介して建造物の天井裏等に配置された圧電ア
クチュエータ１０に接続されている。
【００２５】可変電圧電源１１側には、可変電圧電源１
１と圧電アクチュエータ１０との間の接続／切断を行う
第１のスイッチ１３が配置されている。
１と圧電アクチュエータ１０との間の接続／切断を行う
第１のスイッチ１３が配置されている。
【００２６】圧電アクチュエータ１０側では、コンデン
サ１４、抵抗１５および圧電アクチュエータ１０に蓄積
された電荷量を検出する電荷量検出装置１６がそれぞれ
圧電アクチュエータ１０と並列に接続されている。ま
た、圧電アクチュエータ１０とコンデンサ１４との間に
は、接続／切断を行う第２のスイッチ１７が介挿され、
圧電アクチュエータ１０と抵抗１５との間にも、接続／
切断を行う第３のスイッチ１８が介挿されている。さら
に、電荷量検出装置１６には、この電荷量検出装置１６
により検出された電荷量に応じて第１、第２および第３
のスイッチ１３、１７、１８の切り替えを制御する制御
装置１９が接続されている。
サ１４、抵抗１５および圧電アクチュエータ１０に蓄積
された電荷量を検出する電荷量検出装置１６がそれぞれ
圧電アクチュエータ１０と並列に接続されている。ま
た、圧電アクチュエータ１０とコンデンサ１４との間に
は、接続／切断を行う第２のスイッチ１７が介挿され、
圧電アクチュエータ１０と抵抗１５との間にも、接続／
切断を行う第３のスイッチ１８が介挿されている。さら
に、電荷量検出装置１６には、この電荷量検出装置１６
により検出された電荷量に応じて第１、第２および第３
のスイッチ１３、１７、１８の切り替えを制御する制御
装置１９が接続されている。
【００２７】次に、このように構成された圧電アクチュ
エータ制御装置の動作を図２に基づき説明する。
エータ制御装置の動作を図２に基づき説明する。
【００２８】まず、可変電圧電源１１を所望の空気の通
路の流量に応じた電圧に設定する。すると、制御装置１
９では、設定された電圧に応じた電荷基準値が設定され
る。 この後、制御装置１９は、第１および第２のスイ
ッチ１３、１７を閉じ、第３のスイッチ１８を開く。こ
れにより、可変電圧電源１１より圧電アクチュエータ１
０およびコンデンサ１４に電圧が印加される。
路の流量に応じた電圧に設定する。すると、制御装置１
９では、設定された電圧に応じた電荷基準値が設定され
る。 この後、制御装置１９は、第１および第２のスイ
ッチ１３、１７を閉じ、第３のスイッチ１８を開く。こ
れにより、可変電圧電源１１より圧電アクチュエータ１
０およびコンデンサ１４に電圧が印加される。
【００２９】そして、制御装置１９は、第１のスイッチ
を開く。これにより、可変電圧電源１１より圧電アクチ
ュエータ１０およびコンデンサ１４に対する電圧の印加
が止まる。
を開く。これにより、可変電圧電源１１より圧電アクチ
ュエータ１０およびコンデンサ１４に対する電圧の印加
が止まる。
【００３０】この後、制御装置１９は、例えば数分毎
に、電荷量検出装置１６による電荷量の測定結果と電荷
基準値とを比較する。なお、空気の通路の流量の制御は
比較的緩慢でよいことから、このように数分間隔で調整
を行えば足りる。
に、電荷量検出装置１６による電荷量の測定結果と電荷
基準値とを比較する。なお、空気の通路の流量の制御は
比較的緩慢でよいことから、このように数分間隔で調整
を行えば足りる。
【００３１】そして、電荷量の測定結果が電荷基準値よ
り低くなった場合、制御装置１９は、第１および第２の
スイッチ１３、１７を閉じ、第３のスイッチ１８を開
く。これにより、可変電圧電源１１より圧電アクチュエ
ータ１０およびコンデンサ１４に電圧が印加され、再び
もとの電圧に戻る。
り低くなった場合、制御装置１９は、第１および第２の
スイッチ１３、１７を閉じ、第３のスイッチ１８を開
く。これにより、可変電圧電源１１より圧電アクチュエ
ータ１０およびコンデンサ１４に電圧が印加され、再び
もとの電圧に戻る。
【００３２】一方、可変電圧電源１の設定で電圧が変更
され電荷基準値が変更される等の理由により電荷量の測
定結果が電荷基準値より高くなった場合、制御装置１９
は、第１および第２のスイッチ１３、１７を開き、第３
のスイッチ１８を閉じる。これにより、圧電アクチュエ
ータ１０の電荷は抵抗１５により放電され、圧電アクチ
ュエータ１０の電圧が可変電圧電源１１で設定された電
圧まで下がる。
され電荷基準値が変更される等の理由により電荷量の測
定結果が電荷基準値より高くなった場合、制御装置１９
は、第１および第２のスイッチ１３、１７を開き、第３
のスイッチ１８を閉じる。これにより、圧電アクチュエ
ータ１０の電荷は抵抗１５により放電され、圧電アクチ
ュエータ１０の電圧が可変電圧電源１１で設定された電
圧まで下がる。
【００３３】したがって、本実施例の圧電アクチュエー
タ制御装置では、常に可変電圧電源１１より圧電アクチ
ュエータ１０に電圧を印加することなく、圧電アクチュ
エータ１０が設定された電圧に維持され、その変形量が
一定値に維持される。
タ制御装置では、常に可変電圧電源１１より圧電アクチ
ュエータ１０に電圧を印加することなく、圧電アクチュ
エータ１０が設定された電圧に維持され、その変形量が
一定値に維持される。
【００３４】つまり、可変電圧電源１１より電圧を印加
されていない圧電アクチュエータ１０は、その内部抵抗
により電荷が減衰する。しかし、圧電アクチュエータ１
０の内部抵抗は非常に大きいため、自然放電が少なく、
しかも第１のスイッチ１３が開いているため、ケーブル
１２による損失はない。このため、上記の減衰の変化
は、極めて小さく、並列に接続されたコンデンサ１４の
容量により決定されることになる。すなわち、圧電アク
チュエータ１０では、コンデンサ１４が並列に接続され
ていることにより、可変電圧電源１１より電圧を印加さ
れなくても、かなりの長時間に亙り設定変位に相当する
電圧が維持されることになる。
されていない圧電アクチュエータ１０は、その内部抵抗
により電荷が減衰する。しかし、圧電アクチュエータ１
０の内部抵抗は非常に大きいため、自然放電が少なく、
しかも第１のスイッチ１３が開いているため、ケーブル
１２による損失はない。このため、上記の減衰の変化
は、極めて小さく、並列に接続されたコンデンサ１４の
容量により決定されることになる。すなわち、圧電アク
チュエータ１０では、コンデンサ１４が並列に接続され
ていることにより、可変電圧電源１１より電圧を印加さ
れなくても、かなりの長時間に亙り設定変位に相当する
電圧が維持されることになる。
【００３５】かくして、本実施例の圧電アクチュエータ
制御装置では、ケーブル１２上に電圧が印加される機会
が激減するので、可変電圧電源１１の損失を必要最小限
に抑えることができ、またケーブル１２による漏電や感
電の危険性を回避することができる。
制御装置では、ケーブル１２上に電圧が印加される機会
が激減するので、可変電圧電源１１の損失を必要最小限
に抑えることができ、またケーブル１２による漏電や感
電の危険性を回避することができる。
【００３６】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れない。
れない。
【００３７】例えば、図３に示すように複数の圧電アク
チュエータ１０を並設した場合にも本発明を適用するこ
とができる。この場合、複数の圧電アクチュエータ１０
に対して第１、第２および第３のスイッチ１３、１７、
１８、コンデンサ１４、抵抗１５、電荷量検出装置１６
および制御装置１９は１組とし、群制御を行うようにし
てもよい。
チュエータ１０を並設した場合にも本発明を適用するこ
とができる。この場合、複数の圧電アクチュエータ１０
に対して第１、第２および第３のスイッチ１３、１７、
１８、コンデンサ１４、抵抗１５、電荷量検出装置１６
および制御装置１９は１組とし、群制御を行うようにし
てもよい。
【００３８】また、本発明は、コンデンサ１４に対応す
る第２のスイッチ１７を省略して単に接続するものであ
っても構わない。
る第２のスイッチ１７を省略して単に接続するものであ
っても構わない。
【００３９】さらに、本発明は、上述した空気の通路の
流量の制御ばかりでなく、圧電アクチュエータを用いた
種々の制御装置にも適用できる。
流量の制御ばかりでなく、圧電アクチュエータを用いた
種々の制御装置にも適用できる。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
常に電源より圧電アクチュエータに電圧を印加すること
なく、圧電アクチュエータが設定された電圧に維持さ
れ、その変形量が一定値に維持される。したがって、ケ
ーブル上に電圧が印加される機会が激減し、電源の損失
を必要最小限に抑えることができ、またケーブルによる
漏電や感電の危険性を回避することができる。
常に電源より圧電アクチュエータに電圧を印加すること
なく、圧電アクチュエータが設定された電圧に維持さ
れ、その変形量が一定値に維持される。したがって、ケ
ーブル上に電圧が印加される機会が激減し、電源の損失
を必要最小限に抑えることができ、またケーブルによる
漏電や感電の危険性を回避することができる。
【図１】本発明の一実施例に係る圧電アクチュエータ制
御装置の構成を示す図である。
御装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施例に係る圧電アクチュエータ制
御装置の動作を示す制御ブロックダイヤグラムである。
御装置の動作を示す制御ブロックダイヤグラムである。
【図３】本発明の他の実施例を示す図である。
【図４】従来の圧電アクチュエータを示す図である。
【図５】従来の圧電アクチュエータを示す図である。
【図６】従来の圧電アクチュエータを示す図である。
【図７】従来の圧電アクチュエータの回路図である。
【図８】圧電アクチュエータの変位と電圧の関係を示す
図である。
図である。
【図９】圧電アクチュエータの電圧の時間的変位を示す
図である。
図である。
１０…圧電アクチュエータ、１１…可変電圧電源、１２
…ケーブル、１３…第１のスイッチ、１４…コンデン
サ、１５…抵抗、１６…電荷量検出装置、１７…第２の
スイッチ、１８…第３のスイッチ、１９…制御装置。
…ケーブル、１３…第１のスイッチ、１４…コンデン
サ、１５…抵抗、１６…電荷量検出装置、１７…第２の
スイッチ、１８…第３のスイッチ、１９…制御装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G05D 3/00 - 3/20 H01G 1/00 - 1/017 H01G 4/00 - 4/42
Claims (1)
- 【請求項１】 電源より印加された電圧に応じて変形す
る圧電アクチュエータを制御する圧電アクチュエータ制
御装置において、前記電源と圧電アクチュエータとの間
の接続／切断を行う第１のスイッチと、前記圧電アクチ
ュエータと並列に接続された容量素子と、前記圧電アク
チュエータと前記容量素子との間の接続／切断を行う第
２のスイッチと、前記圧電アクチュエータに並列に接続
された放電素子と、前記圧電アクチュエータと前記放電
素子との間の接続／切断を行う第３のスイッチと、前記
圧電アクチュエータに蓄積された電荷量を検出する電荷
量検出手段と、この電荷量検出手段により検出された電
荷量に応じて前記第１、第２および第３のスイッチの切
り替えを制御する制御手段とを具備することを特徴とす
る圧電アクチュエータ制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04151823A JP3138532B2 (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 圧電アクチュエータ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04151823A JP3138532B2 (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 圧電アクチュエータ制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05341845A JPH05341845A (ja) | 1993-12-24 |
| JP3138532B2 true JP3138532B2 (ja) | 2001-02-26 |
Family
ID=15527100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04151823A Expired - Fee Related JP3138532B2 (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 圧電アクチュエータ制御装置 |
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